KR101337063B1 - Vibratory conveying apparatus - Google Patents

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KR101337063B1
KR101337063B1 KR1020130056029A KR20130056029A KR101337063B1 KR 101337063 B1 KR101337063 B1 KR 101337063B1 KR 1020130056029 A KR1020130056029 A KR 1020130056029A KR 20130056029 A KR20130056029 A KR 20130056029A KR 101337063 B1 KR101337063 B1 KR 101337063B1
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vibration
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piezoelectric drive
conveying direction
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KR1020130056029A
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Inventor
쥰이치 하라
무네야스 하타코시
야스히로 미나가와
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가부시기가이샤 다이신
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Abstract

Provided is a vibrating carrier which can reduce reaction applying to an installation surface and, at the same time, facilitate the high frequency made for vibration or the speed up for a carrying speed in a simple structure. The vibrating carrier prepared by the present invention comprises: a pair of vibration isolation springs (13a, 13b) in a plate shape; a reference mass body (11) which is supported at a front and a back position in a carrying direction of D by the pair of vibration isolation springs; an upper mass body (12A) which is placed in the upper side of the reference mass body; a lower mass body (12B) which is placed in the lower side of the reference mass body; a pair of upper vibration springs (14a, 14b) in a plate shape, which is elastically in contact with the reference mass body and the upper mass body at the front and back positions respectively in the carrying direction; a pair of lower vibration springs (15a, 15b) in a plate shape, which is elastically in contact with the reference mass body and the lower mass body at the front and back positions respectively in the carrying direction; and in-phase excitation units (16a, 16b) which applies exciting force in order to generate in-phase vibration in the carrying direction between the reference mass body and the upper mass body, and between the reference mass body and the lower mass body.

Description

진동식 반송장치{Vibratory Conveying Apparatus}Vibratory Conveying Apparatus}

본 발명은 진동식 반송장치에 관한 것이고, 특히, 직선형상으로 부품을 반송하는 경우에 적합한 반송장치의 반송기구에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to a vibrating conveying apparatus. In particular, it is related with the conveying mechanism of the conveying apparatus suitable for conveying a component in linear form.

일반적으로, 진동식 반송장치는, 가대(架臺) 상에 판 스프링을 개재시켜 반송체를 탄성 지지하고, 이 반송체를 전자 구동체나 압전 구동체 등의 가진(加振) 수단에 의해 가진함으로써 반송의 방향으로 비스듬히 위쪽으로 향하는 진동을 일으키게 함으로써, 반송체 상에 형성된 반송로를 따라 부품 등의 반송물을 반송하도록 하고 있다. 근년은, 반송물로서 미세한 전자 부품이 많아지고, 또한, 이러한 미세한 반송물을 고속으로 공급할 필요성이 높아지고 있기 때문에, 압전 구동원을 사용한 가진에 의해, 미세한 반송물을 고속으로 정렬시키면서 반송하는 장치가 많이 요구되어 오고 있다. 이와 같은 고속 반송의 요구를 충족시키려고 하였을 때에 발생하는 진동식 반송장치의 공통된 문제점은, 반송체의 진동의 반력이 설치면에 전달됨으로써 설치면을 개재시켜 주위의 다른 장치류에 진동적인 영향을 미칠 우려가 있는 점이나, 반송체를 진동시키기 위한 가진 구조 전체의 피칭동작 등에 의해 반송체가 본래의 진동방향과는 다른 방향으로 진동함으로써, 반송속도가 반송방향의 위치에 따라 다르거나 반송물이 반송방향 이외의 방향으로 진동하여 반송자세가 흐트러지거나 하는 점이다.Generally, an oscillating conveying apparatus carries out elastic support of a conveying body through a leaf spring on a mount, and conveys this conveying body by excitation means by an electromagnetic drive body, a piezoelectric drive body, etc. By causing the vibration to be directed upward at an angle in the direction of, the conveyed material such as parts is conveyed along the conveying path formed on the conveying body. In recent years, since there are many fine electronic components as a conveyed object, and the necessity of supplying such a fine conveyed object at high speed becomes high, the apparatus which conveys a fine conveyed object at high speed by the excitation using a piezoelectric drive source has been requested | required a lot. have. The common problem of the vibrating conveying device that occurs when attempting to meet such a high-speed conveying demand is that the reaction force of the vibration of the conveying body is transmitted to the mounting surface, thereby causing a vibrational influence on other devices around the mounting surface. The conveyer vibrates in a direction different from the original vibration direction by virtue of the presence of the point or the pitching operation of the whole excitation structure for vibrating the conveyer, so that the conveying speed varies depending on the position in the conveying direction or the conveyed material is not in the conveying direction. The conveyance posture is disturbed by vibrating in the direction.

상기의 문제점을 해결하기 위해서 종래의 진동식 반송장치에 있어서 제안되어 있는 하나의 방법은, 방진 스프링을 개재시켜 진동계(振動系)를 지지하는 동시에, 그 진동계 내에 반송체와는 역상으로 진동하는 반작용 웨이트(관성체)를 마련하고, 이 반작용 웨이트의 진동에 의해 반송체의 진동의 반력을 상쇄하여, 설치면 상에 전달되는 진동에너지를 저감하려고 하는 것이다(예를 들어, 이하의 특허 문헌 1). 그러나 이와 같은 구조에서는, 반송체와 반작용 웨이트의 중심이 상하로 어긋나 있기 때문에, 반송체의 진동에 수반하여 장치 전체에 피칭 운동이 생기고, 이에 따라 반송 효율이 저하되는 동시에 반송방향의 위치에 따라 반송속도가 변화하거나 반송자세가 흐트러지거나 한다. 이 때문에, 반송체의 중심과 반작용 웨이트의 중심의 어긋남을 저감시켜 상기 피칭을 억제하도록 한 것이 알려져 있다. 예를 들어, 반송체에 대해, 반작용 웨이트보다 아래쪽에 배치된 균형잡이용 추를 접속한 구조(예를 들어, 이하의 특허 문헌 2), 방진 스프링으로 지지된 압전식 진동부와 반송체를 연결하는 동시에, 압전식 진동부와 반송체의 사이에 카운터 웨이트를 배치하고, 압전식 진동부와 반송체의 합계의 중심위치와 카운터 웨이트의 중심위치를 잇는 직선을, 반송물에 부여되는 진동방향과 평행하게 배치하는 구조(예를 들어, 이하의 특허 문헌 3), 방진 스프링으로 지지된 고정 프레임의 위쪽에 반송체에 접속된 가동판을 탄성 지지하고, 가동판의 아래쪽에 하부 웨이트를 접속하는 동시에 고정 프레임의 위쪽에 고정 웨이트를 접속함으로써 양자의 중심위치를 접근시키고, 회전 모멘트의 발생을 억제한 구조(예를 들어, 이하의 특허 문헌 4) 등이 알려져 있다.In order to solve the above problem, one method proposed in the conventional vibrating conveying apparatus supports a vibrating system via an anti-vibration spring, and at the same time, the reaction weight vibrates in reverse with the conveying body in the vibrating system. (Inertial body) is provided, and the reaction force of the vibration of a carrier body is canceled by the vibration of this reaction weight, and it is going to reduce the vibration energy transmitted on an installation surface (for example, following patent document 1). However, in such a structure, since the center of a conveyance body and reaction weight shifts up and down, pitching movement arises in the whole apparatus with vibration of a conveyance body, and conveyance efficiency falls and conveyance according to the position of a conveyance direction by this, The speed may change or the posture may be disturbed. For this reason, it is known that the shift | offset | difference of the center of a conveyance body and the center of reaction weight is reduced, and the said pitching is suppressed. For example, the structure which connected the balancing weight arrange | positioned below reaction weight with respect to a conveyance body (for example, following patent document 2), connects a piezoelectric vibrating part supported by the vibration-proof spring, and a carrier body. At the same time, a counterweight is disposed between the piezoelectric vibrator and the carrier, and a straight line connecting the center position of the total of the piezoelectric vibrator and the carrier and the center position of the counterweight is parallel to the vibration direction imparted to the carrier. Structure (e.g., Patent Document 3 below), which is arranged so as to be elastic, elastically supports the movable plate connected to the carrier on the upper side of the fixed frame supported by the anti-vibration spring, and simultaneously fixes the lower weight to the lower side of the movable plate. The structure (for example, following patent document 4) etc. which known that the center weight of both approaches by making fixed weight upper side of a frame approach, and suppressed generation | occurrence | production of a rotation moment is known.

일본국 특개 평 2－204210호 공보Japanese Unexamined Patent Publication No. 2-204210 일본국 특개 평 4－39206호 공보JP-A 4-39206 일본국 특개 2006－248727호 공보JP 2006-248727 A 일본국 특개 2009－298498호 공보JP 2009-298498 A

그러나 상기 종래의 반작용 웨이트를 구비한 진동식 반송장치에서는, 반송체의 중심과 반작용 웨이트의 중심을 접근시키거나 직선형상으로 배열시키거나 하기 위해 구조가 복잡하게 되므로 장치의 대형화나 제조 코스트의 증대를 초래하는 동시에, 중심위치를 극히 정밀하게 설정할 필요가 있기 때문에, 반송물의 종류나 반송속도 등의 상황이 변화하는 제조 현장에서는 충분한 효과를 얻는 것이 어렵다고 하는 문제점이 있다. 특히, 중심위치의 근소한 어긋남이 있는 것만으로도, 고속 반송을 가능하게 하기 위해 구동 주파수를 높이면 피칭이나 상하동 등이 격심해져 적정한 반송 상태를 얻을 수 없기 때문에, 고주파수화나 고속 반송을 실현하는 것이 곤란하다.However, in the conventional vibrating conveying device having the reaction weight, the structure is complicated to approach the center of the conveying body and the center of the reaction weight or arrange them in a linear shape, resulting in an increase in the size of the apparatus and an increase in the manufacturing cost. At the same time, since the center position needs to be set extremely precisely, there is a problem that it is difficult to obtain a sufficient effect at a manufacturing site in which a situation such as the kind of conveyed material or the conveying speed changes. In particular, even if there is only a slight misalignment of the center position, if the driving frequency is increased to enable high speed conveyance, the pitching, vertical movement, etc. become severe and an appropriate conveyance state cannot be obtained. Therefore, it is difficult to realize high frequency and high speed conveyance. .

그래서 본 발명은 상기 문제점을 해결하는 것이므로, 그 과제는, 설치면에 부여되는 반력의 저감과 함께 진동의 고주파수화 혹은 반송속도의 고속화를 간이한 구조로 용이하게 실현할 수 있는 진동식 반송장치를 제공하는 것에 있다.Therefore, since this invention solves the said problem, the subject is providing the vibration conveyance apparatus which can implement | achieve easily the high frequency of vibration and the speed of conveyance speed with a simple structure, with the reduction of reaction force applied to an installation surface. Is in.

이러한 실정에 비추어, 본 발명의 진동식 반송장치는, 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 한 쌍의 방진 스프링과, 상기 한 쌍의 방진 스프링에 의해 상기 반송방향의 전후 위치에서 지지된 기준 질량체와, 상기 기준 질량체의 위쪽에 배치된 상측 질량체와, 상기 기준 질량체의 아래쪽에 배치된 하측 질량체와, 상기 기준 질량체와 상기 상측 질량체를 상기 반송방향의 전후 위치에서 각각 탄성 접속하는, 상기 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 한 쌍의 상측 진동 스프링과, 상기 기준 질량체와 상기 하측 질량체를 상기 반송방향의 전후 위치에서 각각 탄성 접속하는, 상기 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 한 쌍의 하측 진동 스프링과, 상기 기준 질량체와 상기 상측 질량체와의 사이 및 상기 기준 질량체와 상기 하측 질량체와의 사이의 쌍방에, 상기 반송방향으로 동 위상의 진동을 일으키게 하기 위한 가진력을 부여하는 동상(同相) 가진수단을 구비하고, 상기 기준 질량체, 상기 상측 질량체 혹은 상기 하측 질량체의 적어도 어느 하나에 반송물을 반송하는 반송로가 마련되고, 상기 동상 가진수단에 의해, 상기 상측 질량체와 상기 하측 질량체가 상기 반송방향으로 보아 동 위상으로 진동하는 동시에 상기 기준 질량체와 상기 상측 질량체 및 상기 하측 질량체가 역위상으로 진동하는 것을 특징으로 한다.In view of such circumstances, the vibrating conveying apparatus of the present invention includes a pair of plate-shaped vibration-proof springs having a plate surface facing the conveying direction, and a reference mass body supported at the front-back position in the conveying direction by the pair of vibration-proof springs. And the upper mass disposed above the reference mass, the lower mass disposed below the reference mass, and the reference mass and the upper mass respectively elastically connected at the front and rear positions in the conveying direction. A pair of plate-shaped lower vibrations having a plate-shaped pair of upper vibration springs having a plate surface and a plate surface facing the conveying direction, respectively, in which the reference mass and the lower mass are elastically connected at front and rear positions in the conveying direction. Springs, between the reference mass and the upper mass, and between the reference mass and the lower mass Both of them are provided with in-phase excitation means for imparting excitation force for causing vibration of the same phase in the conveying direction, and conveying the conveyed material to at least one of the reference mass, the upper mass, or the lower mass. A conveying path is provided, and the in-phase excitation means causes the upper mass and the lower mass to vibrate in the same phase in the conveying direction, and the reference mass, the upper mass and the lower mass to vibrate out of phase. It features.

본 발명에 의하면, 반송방향의 전후 위치에서 각각 방진 스프링에 의해 지지된 기준 질량체의 상하 각각에, 상측 질량체와 하측 질량체가 반송방향의 전후 위치에 있어서 진동 스프링을 개재시켜 탄성 접속되는 동시에, 동상 가진수단이 가진력을 부여함으로써, 상측 질량체와 하측 질량체가 반송방향으로 보아 동 위상으로 진동하는 동시에 기준 질량체와 상측 질량체 및 하측 질량체가 반송방향으로 보아 역위상으로 진동한다. 따라서, 기준 질량체의 중심위치와 상측 질량체 및 하측 질량체의 합계의 중심위치의 상하방향의 어긋남을 저감할 수 있기 때문에, 기준 질량체와 상측 질량체 및 하측 질량체의 반송방향의 진동의 반력의 상쇄작용을 높일 수 있다. 또한, 진동시에 있어서는, 기준 질량체에 대해 상측 질량체가 부여하는 회전 모멘트와 하측 질량체가 부여하는 회전 모멘트가 서로 역방향이 되기 때문에, 기준 질량체가 받는 진동에 의한 회전 방향의 반력이 서로 상쇄 내지는 감쇄되기 때문에, 피칭동작(회전운동)을 억제할 수 있다. 따라서, 방진 스프링을 개재시켜 설치면에 전달되는 반송방향 및 상하방향의 반력이 저감되어, 방진 스프링을 개재시킨 설치면으로의 진동에너지의 누출을 억제할 수 있다. 게다가 피칭동작이 억제됨으로써, 고주파화 하여도 진동이 흐트러지기 어렵고, 반송물의 자세도 안정되기 때문에, 고속 반송이 가능하게 되는 동시에, 반송로를 따른 반송속도나 반송자세 등의 반송 상태의 균일성도 향상시킬 수 있다.According to the present invention, the upper and lower masses are elastically connected at the front and rear positions in the conveying direction by the vibration springs at the upper and lower portions of the reference masses respectively supported by the anti-vibration springs at the forward and backward positions in the conveying direction, respectively. By applying the excitation force, the upper mass and the lower mass vibrate in the same phase as seen in the conveying direction, while the reference mass, the upper mass and the lower mass vibrate in the opposite phase as viewed in the conveying direction. Therefore, since the deviation of the up-down direction of the center position of a reference mass, and the center position of the sum total of an upper mass and a lower mass can be reduced, the counteraction of the reaction force of the vibration of the conveyance direction of a reference mass, an upper mass, and a lower mass is heightened. Can be. In the case of vibration, since the rotation moment given by the upper mass and the rotation moment given by the lower mass are reversed with respect to the reference mass, the reaction force in the rotational direction due to the vibration received by the reference mass cancels or attenuates each other. , Pitching motion (rotational motion) can be suppressed. Therefore, reaction force in the conveyance direction and the up-down direction transmitted to the installation surface via the vibration damping spring is reduced, and the leakage of vibration energy to the installation surface which interposed the vibration damping spring can be suppressed. In addition, the pitching operation is suppressed, so that vibrations are less likely to be disturbed even at high frequencies, and the attitude of the conveyed material is stabilized. Therefore, high-speed conveying is possible, and the uniformity of conveying states such as conveying speed and conveyance posture along the conveying path is also improved. You can.

본 발명에 있어서, 상기 동상 가진수단은, 상기 기준 질량체와 상기 상측 질량체와의 사이에 직접 상기 가진력을 부여하는 상측 가진부와, 상기 기준 질량체와 상기 하측 질량체와의 사이에 직접 상기 가진력을 부여하는 하측 가진부를 가지는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 상측 가진부와 하측 가진부가 직접 또한 따로따로 가진력을 부여하도록 구성됨으로써, 장치의 전체 구조를 간이화할 수 있는 동시에, 상황을 따른 동상 가진수단의 조정을 용이하게 행하는 것이 가능하게 된다. 이 경우에, 상기 상측 가진부는, 상기 상측 진동 스프링의 길이방향의 일부에 장착되어, 상기 반송방향을 향한 판면이 휨 변형하는 판형상의 상측 압전 구동부에 의해 구성되고, 상기 하측 가진부는, 상기 하측 진동 스프링의 길이방향의 일부에 장착되어, 상기 반송방향을 향한 판면이 휨 변형하는 판형상의 하측 압전 구동부에 의해 구성되는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 기준 질량체와 상측 질량체 및 하측 질량체의 사이를 탄성 접속하는 상측 진동 스프링 및 하측 진동 스프링의 길이방향의 일부에 상측 압전 구동부 및 하측 압전 구동부가 장착됨으로써, 기준 질량체와 상측 질량체 및 하측 질량체와의 사이에 상측 진동 스프링 및 하측 진동 스프링만을 개재시켜 가진력을 부여할 수 있기 때문에, 회전 방향의 반력이나 반송방향이나 상하방향의 반력을 더욱 용이하게 상쇄 내지는 감쇄 할 수 있다. 여기서, 상기 상측 압전 구동부 및 하측 압전 구동부는, 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 탄성 기판의 표리 적어도 어느 한쪽의 면에 압전체를 적층한 구조로 할 수 있다. 또한, 상측 진동 스프링은, 상측 압전 구동부와, 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 상측 증폭 스프링을 길이방향으로 직렬로 접속한 구조로 하는 것이 바람직하다. 이 경우에, 상측 압전 구동부는, 상측 증폭 스프링에 대해 기준 질량체의 측에 접속되고 있어도 되고, 상측 질량체의 측에 접속되어 있어도 된다. 마찬가지로 하측 진동 스프링은, 하측 압전 구동부와, 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 하측 증폭 스프링을 길이방향으로 직렬로 접속한 구조로 하는 것이 바람직하다. 이 경우에, 하측 압전 구동부는, 하측 증폭 스프링에 대해 기준 질량체의 측에 접속되어 있어도 되고, 하측 질량체의 측에 접속되어 있어도 된다.In the present invention, the in-phase excitation means is configured to directly impart the excitation force between the upper excitation portion for directly imparting the excitation force between the reference mass and the upper mass, and the reference mass and the lower mass. It is preferable to have a lower excitation part. According to this configuration, the upper and lower excitation portions are configured to directly and separately impart excitation force, thereby simplifying the overall structure of the apparatus and making it possible to easily adjust the in-phase excitation means according to the situation. In this case, the upper excitation part is constituted by a plate-shaped upper piezoelectric drive part which is mounted on a part of the longitudinal direction of the upper vibration spring, and the plate surface facing the conveyance direction is deflected, and the lower excitation part is the lower vibration. It is preferable to be comprised by the plate-shaped lower piezoelectric drive part which is mounted in a part of the longitudinal direction of a spring, and the board surface facing the said conveyance direction bending-deforms. According to this, the upper piezoelectric drive part and the lower piezoelectric drive part are mounted in a part of the longitudinal direction of the upper vibration spring and the lower vibration spring that elastically connect the reference mass with the upper mass and the lower mass, so that the reference mass, the upper mass, and the lower mass are Since only the upper vibration spring and the lower vibration spring can be provided with the excitation force in between, the reaction force in the rotational direction and the reaction force in the conveying direction or the vertical direction can be more easily canceled or reduced. Here, the upper piezoelectric drive part and the lower piezoelectric drive part may have a structure in which a piezoelectric body is laminated on at least one of the front and back surfaces of a plate-shaped elastic substrate provided with a plate surface facing the conveying direction. Moreover, it is preferable to set it as the structure which connected the upper piezoelectric drive part and the plate-shaped upper amplification spring provided with the plate surface facing a conveyance direction in series in the longitudinal direction. In this case, the upper piezoelectric drive portion may be connected to the side of the reference mass with respect to the upper amplification spring, or may be connected to the side of the upper mass. Similarly, it is preferable to set it as the structure which connected the lower piezoelectric drive part and the plate-shaped lower amplification spring provided with the plate surface toward a conveyance direction in series in the longitudinal direction. In this case, the lower piezoelectric drive unit may be connected to the side of the reference mass with respect to the lower amplification spring, or may be connected to the side of the lower mass.

본 발명에 있어서, 상기 상측 압전 구동부와 상기 하측 압전 구동부는, 상기 기준 질량체에 대해 상기 반송방향의 전후 위치에서 각각 결합되고, 상기 기준 질량체의 위쪽으로 신장되는 부분이 상기 상측 압전 구동부를 형성하는 동시에 상기 기준 질량체의 아래쪽으로 신장되는 부분이 상기 하측 압전 구동부를 형성하고, 전체적으로 상기 반송방향을 향한 판면이 일체로 휨 변형하는 판형상의 압전 구동체에 의해 구성되는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 반송방향의 전후 위치에서 각각 일체로 구성되는 압전 구동체의 중간 부분이 기준 질량체에 결합되어, 기준 질량체의 위쪽으로 신장되는 상측 압전 구동부가 상측 질량체를 가진하고, 기준 질량체의 아래쪽으로 신장되는 하측 압전 구동부가 하측 질량체를 가진 함으로써, 상측 질량체와 하측 질량체를 용이하게 또한 확실하게 동 위상으로 진동시킬 수 있다. 또한, 일체의 압전 구동체로 상측 질량체와 하측 질량체를 가진할 수 있기 때문에, 장치 전체의 높이를 저감할 수 있어 장치를 컴팩트하게 구성할 수 있다. 그리고 상기 일체의 압전 구동체는, 위에서 설명한 동상 가진수단의 일 형태이다.In the present invention, the upper piezoelectric drive unit and the lower piezoelectric drive unit are respectively coupled to the reference mass in front and rear positions in the conveying direction, and a portion extending upward of the reference mass forms the upper piezoelectric drive unit. It is preferable that the part extended below the said reference mass forms the said lower piezoelectric drive part, and is comprised by the plate-shaped piezoelectric drive body by which the plate surface toward the said conveyance direction as a whole is deflected integrally. According to this, the intermediate part of the piezoelectric drive body which is integrally formed at the front-back position of a conveyance direction is couple | bonded with the reference mass body, and the upper piezoelectric drive part extended upward of a reference mass body has an upper mass body, and extends below a reference mass body. By having the lower piezoelectric drive portion having the lower mass, the upper mass and the lower mass can be easily and reliably vibrated in the same phase. In addition, since the upper and lower masses can be excited by the integral piezoelectric drive body, the height of the entire apparatus can be reduced, and the apparatus can be compactly configured. And the said integral piezoelectric drive body is one form of in-phase excitation means demonstrated above.

본 발명에 있어서, 상기 상측 진동 스프링은, 상기 반송방향의 전후 위치에서 상기 기준 질량체에 결합되어 상기 기준 질량체의 위쪽으로 신장되는 상측 압전 구동부와, 상기 상측 압전 구동부의 상단에 접속된, 상기 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 상측 증폭 스프링에 의해 구성되고, 상기 하측 진동 스프링은, 상기 기준 질량체에 대해 상기 반송방향의 전후 위치에서 결합되어 상기 기준 질량체의 위쪽으로 신장되는 하측 압전 구동부와, 상기 한 쌍의 하측 압전 구동부의 하단에 접속된, 상기 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 하측 증폭 스프링에 의해 구성되는 것이 바람직하다. 그리고 반송방향의 전후 위치에서 각각 상측 압전 구동부와 하측 압전 구동부가 마련되는 경우에는, 전후 위치의 각 압전 구동부는 서로 상기 반송방향으로 보아 동 위상으로 구동된다.In this invention, the said upper vibration spring is connected to the said reference mass body in the front-back position of the said conveyance direction, and the said conveyance direction connected to the upper piezoelectric drive part extended upward of the said reference mass body, and the upper piezoelectric drive part. And a lower piezoelectric drive unit coupled to the reference mass body at a forward and backward position in the conveying direction with respect to the reference mass body and extending upward of the reference mass body. It is preferable to be comprised by the plate-shaped lower amplification spring provided with the plate surface facing the said conveyance direction connected to the lower end of a pair of lower piezoelectric drive parts. And when the upper piezoelectric drive part and the lower piezoelectric drive part are provided in the front-back position of a conveyance direction, respectively, each piezoelectric drive part of a back-and-front position is mutually driven in the said conveyance direction, and is driven in the same phase.

본 발명에 있어서, 상기 기준 질량체는 상기 한 쌍의 방진 스프링에 의해 아래쪽으로부터 지지되는 것이 바람직하다. 방진 스프링에 의한 기준 질량체의 지지는 임의의 방향으로부터 행할 수 있으나, 이 구성에 의하면, 기준 질량체를 매달거나 측방으로부터 지지하거나 하는 경우에 비해 장치 전체의 설치 면적을 저감시킬 수 있다.In the present invention, the reference mass is preferably supported from below by the pair of anti-vibration springs. The reference mass can be supported by the vibration-proof spring from any direction, but according to this configuration, the installation area of the entire apparatus can be reduced as compared with the case where the reference mass is suspended or supported from the side.

본 발명에 있어서, 상기 방진 스프링, 상기 상측 진동 스프링 및 상기 하측 진동 스프링은, 모두 상기 반송방향의 한쪽 측을 향하여 경사진 자세로 설치되는 것이 바람직하다. 반송로 상에서 반송물에 반송력을 미치기 위해서는 반송로의 표면을 한쪽 측을 향해서는 비스듬히 위쪽으로 향하는 방향으로 진동시키면 된다. 이와 같은 비스듬히 위쪽의 진동방향을 실현하는 방법으로서는, 스프링 구조를 그 길이방향(상하방향)의 도중에서 스페이서 등을 개재시켜 단차형상으로 접속한 것으로 하는 등의 방법이 있는데, 스프링을 경사진 자세로 설치함으로써 부품 개수의 증가를 회피하여 용이하게 반송력을 일으키게 할 수 있다.In this invention, it is preferable that all the said antivibration spring, the said upper vibration spring, and the said lower vibration spring are provided in the inclined posture toward one side of the said conveyance direction. What is necessary is just to vibrate the surface of a conveyance path obliquely upward toward one side, in order to exert a conveyance force on a conveyed material on a conveyance path. As a method of realizing such an obliquely upward vibration direction, there is a method in which the spring structure is connected in a stepped shape via a spacer or the like in the middle of the longitudinal direction (up and down direction). By providing it, an increase in the number of parts can be avoided and a conveyance force can be easily produced.

본 발명에 있어서, 상기 반송로는 상기 상측 질량체에 마련되는 것이 바람직하다. 3개의 질량체 중 가장 위쪽에 배치되는 상측 질량체에 반송로를 마련함으로써, 가동시의 장치나 반송물의 취급이 용이하게 된다.In this invention, it is preferable that the said conveyance path is provided in the said upper mass body. By providing a conveyance path in the upper mass body arrange | positioned uppermost among three mass bodies, handling of the apparatus and conveyed object at the time of operation becomes easy.

본 발명에 있어서, 상기 기준 질량체의 질량은, 상기 상측 질량체와 상기 하측 질량체의 질량의 합과 실질적으로 동등하거나 혹은, 상기 질량의 합보다 큰 것이 바람직하다. 기준 질량체와 상측 질량체 및 하측 질량체는 서로 반송방향(진동방향)의 반력을 서로 상쇄하는 관계에 있기 때문에, 기준 질량체의 질량이 상측 질량체와 하측 질량체의 질량의 합과 실질적으로 동등함으로써 반력의 상쇄효과를 높일 수 있으나, 기준 질량체는 방진 스프링에 의해 설치면에 대해 지지되는 동시에 구속되어 있기 때문에, 상기 질량의 합보다도 기준 질량체의 질량을 크게 함으로써, 기준 질량체의 진폭을 억제할 수 있어, 설치면으로 흐르는 진동에너지를 억제할 수 있는 동시에, 상측 질량체 및 하측 질량체에 있어서도 보다 안정된 진동 형태를 실현할 수 있다.In this invention, it is preferable that the mass of the said reference mass is substantially equal to the sum of the mass of the said upper mass and the said lower mass, or is larger than the sum of the said mass. Since the reference mass, the upper mass, and the lower mass have a relation of mutually canceling reaction forces in the conveying direction (vibration direction) with each other, the canceling effect of the reaction force is achieved because the mass of the reference mass is substantially equal to the sum of the masses of the upper and lower masses. However, since the reference mass is supported and restrained against the installation surface by the anti-vibration spring, the amplitude of the reference mass can be suppressed by making the mass of the reference mass larger than the sum of the masses. The vibration energy flowing can be suppressed, and a more stable vibration mode can also be realized in the upper mass and the lower mass.

본 발명에 있어서, 상기 상측 질량체의 질량과 상기 하측 질량체의 질량은 실질적으로 동등하고, 상기 기준 질량체와 상기 상측 질량체의 사이의 중심 간격 및 스프링 정수와, 상기 기준 질량체와 상기 하측 질량체의 사이의 중심 간격 및 스프링 정수가 실질적으로 동등한 것이 바람직하다. 이에 따르면, 기준 질량체에 대해 상측 질량체와 하측 질량체의 관성 질량 및 탄성 접속 형태가 대칭적으로 구성되기 때문에, 회전 모멘트를 상쇄하고, 피칭동작을 더욱 저감시킬 수 있다.In the present invention, the mass of the upper mass and the mass of the lower mass are substantially equal, the center spacing and spring constant between the reference mass and the upper mass, and the center between the reference mass and the lower mass. It is preferred that the spacing and spring constants are substantially equivalent. According to this, since the inertial mass and the elastic connection form of the upper mass and the lower mass are symmetrically formed with respect to the reference mass, the rotation moment can be canceled and the pitching operation can be further reduced.

본 발명에 있어서, 상기 반송로는 직선형상이고, 상기 반송방향은 직선을 따른 방향인 것이 바람직하다. 본 발명은, 소정의 축선의 주위에서 주회하는 방향(축선 주위의 접선방향)을 반송방향으로 하는 회전 진동기와, 이 회전 진동기 상에 설치되는 나선형상의 반송로를 가지는 진동식 반송장치에 있어서, 회전 방향의 진동에 의해 반송물을 나선형상의 반송로를 따라 반송하는 경우에도 적용 가능하지만, 직선형상의 반송로를 따라 직선형상으로 반송물을 반송하는 경우에는, 후술하는 실시 예에도 나타내는 바와 같이, 장치 구조를 간이하게 구성할 수 있는 동시에, 반송속도의 향상이나 반송 상태의 안정화를 용이하게 도모할 수 있다.In this invention, it is preferable that the said conveyance path is linear shape, and the said conveyance direction is a direction along a straight line. This invention is a vibrating conveying apparatus which has a rotating vibrator which makes the direction (circumference | circular tangential direction periphery) circumferentially rotates around a predetermined axis | shaft, and a spiral conveyance path provided on this rotating vibrator, rotation direction Although it is applicable also when conveying a conveyed article along a spiral conveyance path by the vibration of the case, when conveying a conveyed object in linear form along a linear conveyance path, as shown also in the below-mentioned Example, the apparatus structure is simplified In addition, the conveyance speed can be improved and the conveyance state can be stabilized easily.

본 발명에 있어서, 상기 압전 구동체는 상기 기준 질량체에 대한 결합 위치로부터 상하 양측으로 신장되는 일체의 압전체를 가지는 것이 바람직하다. 상기 압전 구동체에서는, 예를 들어, 탄성 기판을 일체의 것으로 하면서, 기준 질량체의 위쪽의 상측 압전 구동부와 아래쪽의 하측 압전 구동부에 있어서 따로따로의 압전체를 마련하는 것도 가능하나, 상기한 바와 같이 상하 양측으로 신장되는 일체의 압전체를 마련함으로써, 구조의 간이화, 제조 코스트의 저감, 상하의 진동 형태의 균일화 등을 용이하게 도모할 수 있다.In this invention, it is preferable that the said piezoelectric drive body has an integral piezoelectric body which extends upward and downward from both the coupling position with respect to the said reference mass. In the piezoelectric drive body, it is also possible to provide separate piezoelectric bodies in the upper piezoelectric drive part above the reference mass body and the lower piezoelectric drive part below, while the elastic substrate is integrated, for example. By providing an integral piezoelectric member which extends to both sides, the structure can be simplified, the manufacturing cost can be reduced, the vibration form of the upper and lower sides can be easily achieved, and the like.

본 발명에 있어서, 상기 상측 압전 구동부와 상기 하측 압전 구동부는 상기 기준 질량체에 대한 결합 위치로부터 실질적으로 상하로 대칭적인 구조를 가지는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 대칭적인 구조를 가지는 상측 압전 구동부와 하측 압전 구동부에 의해, 상하 양측에 대칭적인 동작 형태를 얻을 수 있다.In the present invention, it is preferable that the upper piezoelectric drive part and the lower piezoelectric drive part have a symmetrical structure substantially up and down from a coupling position with respect to the reference mass. According to this, the upper piezoelectric drive part and the lower piezoelectric drive part which have a symmetrical structure can obtain a symmetrical operation form on both the upper and lower sides.

본 발명에 있어서, 상기 압전 구동체는, 상기 기준 질량체에 대한 결합 위치가 폭 방향 양측에 마련되고, 상기 결합 위치 사이에 압전체가 배치되어 있는 것이 바람직하다. 이에 따르면, 압전 구동체와 기준 질량체가 폭 방향 양측에서 결합되는 동시에, 그 결합 위치의 사이에 압전체가 배치됨으로써, 기준 질량체에 대해 폭 방향 양측에 균등한 결합 강성을 확보할 수 있어 안정된 가진 상태를 용이하게 실현할 수 있다.In this invention, it is preferable that the said piezoelectric drive body is provided with the coupling position with respect to the said reference mass body in the width direction both sides, and the piezoelectric body is arrange | positioned between the said coupling positions. According to this structure, the piezoelectric drive body and the reference mass are coupled at both sides in the width direction, and the piezoelectric body is disposed between the coupling positions, thereby ensuring equal bonding rigidity at both sides in the width direction with respect to the reference mass, thereby providing a stable excitation state. It can be easily realized.

본 발명에 의하면, 설치면에 부여하는 반력의 저감과 동시에 진동의 고주파수화 혹은 반송속도의 고속화를 간이한 구조로 용이하게 실현할 수 있는 진동식 반송장치를 제공할 수 있다고 하는 뛰어난 효과를 얻을 수 있다.According to the present invention, it is possible to obtain an excellent effect of providing a vibrating conveying apparatus which can easily realize a high frequency of vibration and a high speed of conveying speed with a reduction in reaction force applied to the installation surface with a simple structure.

도 1은 본 발명에 관한 진동식 반송장치의 실시형태의 전체 구성을 나타내는 개략 사시도이다.
도 2는 동 실시형태의 측면도이다.
도 3은 동 실시형태의 압전 구동체의 사시도(a), 압전 구동체와 상하의 증폭 스프링과의 접속 상태를 나타내는 측면도(b) 및 이 접속 상태에 있을 때의 압전 구동체의 정면도(c)이다.
도 4는 도 3에 나타내는 압전 구동체와는 다른 압전 구동체의 예를 나타내는 사시도(a), 접속 상태의 측면도(b) 및 압전 구동체의 정면도(c)이다.
도 5는 다른 압전 구동체의 예를 나타내는 정면도(a) 및 (b)이다.
도 6은 실시형태와는 다른 형태의 압전 구동체와 기준 질량체와의 접속구조의 예를 나타내는 정면도(a) 및 (b)이다.
도 7은 본 발명의 원리 구성을 나타내는 설명도이다.
도 8은 상기 실시형태의 원리 구성을 나타내는 설명도이다.
도 9는 상기 실시형태의 모덜 해석(Modal analysis)을 행한 결과로서의 애니메이션 동작의 어느 타이밍에 있어서의 진동 형태를 나타내는 측면도이다.
도 10은 동 애니메이션 동작의 다른 타이밍에 있어서의 진동 형태를 나타내는 측면도이다.
도 11은 동 애니메이션 동작의 상기 어느 타이밍에 있어서의 진동 형태를 나타내는 사시도이다.
도 12는 동 애니메이션 동작의 상기 다른 타이밍에 있어서의 진동 형태를 나타내는 사시도이다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS It is a schematic perspective view which shows the whole structure of embodiment of the vibration conveyance apparatus which concerns on this invention.
2 is a side view of the embodiment.
Fig. 3 is a perspective view (a) of the piezoelectric drive body of the embodiment, a side view (b) showing a connection state between the piezoelectric drive body and the amplification springs above and below, and a front view (c) of the piezoelectric drive body when in this connection state; to be.
4: is a perspective view (a) which shows an example of a piezoelectric drive body different from the piezoelectric drive body shown in FIG. 3, the side view (b) of a connection state, and the front view (c) of a piezoelectric drive body.
5 is a front view (a) and (b) showing an example of another piezoelectric drive body.
FIG. 6: is a front view (a) and (b) which show an example of the connection structure of the piezoelectric drive body of a form different from embodiment, and a reference mass body. FIG.
7 is an explanatory diagram showing the principle configuration of the present invention.
It is explanatory drawing which shows the principle structure of the said embodiment.
Fig. 9 is a side view showing the vibration pattern at any timing of the animation operation as a result of the modal analysis of the embodiment.
10 is a side view showing a vibration pattern at different timings of the animation operation.
11 is a perspective view illustrating a vibration pattern at any of the timings of the animation operation.
It is a perspective view which shows the vibration form at the said other timing of the same animation operation.

다음으로, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태에 대해 상세하게 설명한다. 최초로, 실시형태의 전체 구성에 대해 도 1 및 도 2를 참조하여 설명한다.Next, embodiment of this invention is described in detail with reference to an accompanying drawing. First, the whole structure of embodiment is demonstrated with reference to FIG. 1 and FIG.

본 실시형태의 진동식 반송장치(10)는, 기준 질량체(11)와, 이 기준 질량체(11)의 위쪽에 배치되는 상측 질량체(12A)와, 기준 질량체(11)의 아래쪽에 배치되는 하측 질량체(12B)를 가진다. 기준 질량체(11)는, 반송방향 D의 전후 위치에 있어서 각각 반송방향 D를 향한(정확하게는 진동방향 B에 거의 정면으로 맞대한, 이하 같음) 판면을 구비한 판형상의 방진 스프링(13a)과 (13b)에 의해 아래쪽으로부터 지지되어 있다. 이들의 방진 스프링(13a, 13b)의 하단은, 설치면 혹은 설치면 상에 배치된 기대(2)에 고정된다. 여기서, 반송방향 D의 전후 위치라 함은, 반송방향 D를 따라 서로 이간된 2개의 위치, 즉, 전방의 위치가 반송의 방향 F측의 위치, 후방의 위치가 반송의 방향 F와는 반대 측의 위치이다. 그리고 본 명세서에 있어서, 반송방향 D라 함은, 진동식 반송장치(10)에 있어서의 반송로(12c)에 있어서 전자 부품 등의 반송물이 반송되어 가는 방향이며, 반송의 방향 F라 함은, 반송방향 D 중의 상기 반송물이 진행하는 방향이다.The vibration conveyance apparatus 10 of this embodiment has the reference mass 11, the upper mass 12A arrange | positioned above this reference mass 11, and the lower mass body arrange | positioned below the reference mass 11 ( 12B). The reference mass 11 has a plate-shaped anti-vibration spring 13a each having a plate surface facing the conveying direction D (preferably equal to the front face in the vibration direction B) at the forward and backward positions in the conveying direction D, and ( 13b) is supported from below. The lower ends of these vibration-proof springs 13a and 13b are fixed to the base 2 disposed on the mounting surface or the mounting surface. Here, the front-rear position of the conveyance direction D means two positions spaced apart from each other along the conveyance direction D, namely, the position in front of the position on the side of the direction F of conveyance, and the position in the rear of the conveyance direction D on the side opposite to the direction F of conveyance. Location. In addition, in this specification, conveyance direction D is a direction to which conveyances, such as an electronic component, are conveyed in the conveyance path 12c in the vibrating conveyance apparatus 10, and conveyance direction F is conveyance It is a direction which the said conveyed thing in the direction D advances.

또한, 기준 질량체(11)와 상측 질량체(12A)는, 반송방향 D의 전후 위치에 있어서 각각 반송방향 D를 향한 판면을 구비한 판형상의 상측 진동 스프링(14a)과 (14b)에 의해 탄성 접속되어 있다. 즉, 상측 질량체(12A)는, 반송방향 D의 전후 위치에 있어서 각각 상측 진동 스프링(14a, 14b)에 의해 아래쪽으로부터 지지되어 있다. 게다가 기준 질량체(11)와 하측 질량체(12B)는, 반송방향 D의 전후 위치에 있어서 각각 반송방향 D를 향한 판면을 구비한 판형상의 하측 진동 스프링(15a)과 (15b)에 탄성 접속되어 있다. 즉, 하측 질량체(12B)는, 반송방향 D의 전후 위치에 있어서 각각 하측 진동 스프링(15a, 15b)에 의해 위쪽으로부터 매달려 있다.In addition, the reference mass 11 and the upper mass 12A are elastically connected by plate-shaped upper vibration springs 14a and 14b each having a plate surface facing the conveying direction D at the forward and backward positions in the conveying direction D. have. That is, the upper mass body 12A is supported from the lower side by the upper vibration springs 14a and 14b at the forward and backward positions in the conveying direction D, respectively. In addition, the reference mass 11 and the lower mass 12B are elastically connected to the plate-shaped lower vibration springs 15a and 15b each having a plate surface facing the conveying direction D at the forward and backward positions in the conveying direction D. FIG. That is, the lower mass body 12B is suspended from the upper side by the lower vibration springs 15a and 15b in the forward and backward positions in the conveying direction D, respectively.

상기 방진 스프링(13a, 13b), 상측 진동 스프링(14a, 14b) 및 하측 진동 스프링(15a, 15b)은, 모두 전체적으로 판형상으로 구성되고, 그 판면이 정면으로 맞대하는 방향의 스프링 정수는 낮고, 길이방향(상하 양측으로 접속되는 물체 사이를 잇는 방향)의 스프링 정수는 높다. 따라서, 도시 예에서는 길이방향을 따라 근소하게 경사진 상하방향으로 본 지지 강성이 높은 것에 대하여, 반송방향 D를 따라 근소하게 경사진 진동방향 B로 본 강성은 낮다. 이에 따라, 기준 질량체(11), 상측 질량체(12A) 및 하측 질량체(12B)의 상호 간의 지지 구조가 안정되고, 서로의 위치 관계가 유지되기 쉬워지는 동시에, 반송물에 대해 반송의 방향 F의 반송력을 부여하기 위한 진동을 용이하게 발생시키면서, 상기 반송력에 기여하지 않는, 혹은, 상기 반송을 방해하는 형태의 불필요한 진동의 발생을 억제한다. 여기서, 방진 스프링(13a, 13b)은 다른 스프링보다도 폭을 크게 함으로써 폭 방향의 지지 강성을 높이는 동시에, 다른 스프링보다도 길이를 크게 함으로써 진동방향 B의 탄성 변형을 용이하게 하고 있다. 그리고 상기 각 스프링의 탄성 특성은 재질이나 판 두께에 의해서도 조정할 수 있다.The antivibration springs 13a and 13b, the upper vibration springs 14a and 14b, and the lower vibration springs 15a and 15b are all formed in a plate shape, and the spring constant of the direction in which the plate surface faces the front is low, The spring constant in the longitudinal direction (the direction connecting the objects connected to both the upper and lower sides) is high. Therefore, in the illustrated example, the rigidity seen in the oscillation direction B slightly inclined along the conveyance direction D is low while the support rigidity seen in the vertical direction slightly inclined along the longitudinal direction. Thereby, the support structure of the reference mass 11, the upper mass 12A, and the lower mass 12B is stabilized, and the positional relationship of each other is easily maintained, and the conveyance force of the direction F of conveyance with respect to a conveyed object is carried out. While easily generating a vibration for imparting, the occurrence of unnecessary vibrations that do not contribute to the conveying force or hinder the conveyance is suppressed. Here, the vibration-proof springs 13a and 13b increase the supporting rigidity in the width direction by making the width larger than other springs, and facilitate the elastic deformation in the vibration direction B by making the length larger than the other springs. The elastic properties of the springs can also be adjusted by material or plate thickness.

본 실시형태에 있어서, 상측 진동 스프링(14a, 14b)은, 기준 질량체(11)의 전방부(11a)와 후방부(11b)에 각각 결합(접속 고정)된 압전 구동체(16a, 16b) 중의 기준 질량체(11)의 위쪽으로 신장되는 부분인 상측 압전 구동부(16au, 16bu)와, 이 상측 압전 구동부(16au, 16bu)의 상단에 접속된, 반송방향 D를 향한 판면을 구비한 판형상의 상측 증폭 스프링(17a, 17b)과의 직렬 접속구조에 의해 각각 구성되어 있다. 마찬가지로 하측 진동 스프링(15a, 15b)은, 기준 질량체(11)의 전방부(11a)와 후방부(11b)에 각각 결합(접속 고정)된 압전 구동체(16a, 16b) 중의 기준 질량체(11)의 아래쪽으로 신장되는 부분인 하측 압전 구동부(16ad, 16bd)와, 이 하측 압전 구동부(16ad, 16bd)의 하단에 접속된, 반송방향 D를 향한 판면을 구비한 판형상의 하측 증폭 스프링(18a, 18b)과의 직렬 접속구조에 의해 각각 구성되어 있다.In the present embodiment, the upper vibration springs 14a and 14b are formed in the piezoelectric drive bodies 16a and 16b respectively coupled (connected and fixed) to the front portion 11a and the rear portion 11b of the reference mass 11. Plate-shaped upper amplification having an upper piezoelectric drive part 16au, 16bu, which is a portion extending upward of the reference mass 11, and a plate face in a conveying direction D connected to an upper end of the upper piezoelectric drive part 16au, 16bu. It is comprised by the series connection structure with the spring 17a, 17b, respectively. Similarly, the lower vibration springs 15a and 15b are the reference mass bodies 11 of the piezoelectric drive bodies 16a and 16b which are respectively coupled (connected and fixed) to the front portion 11a and the rear portion 11b of the reference mass body 11. Plate-shaped lower amplification springs 18a and 18b having lower piezoelectric drive portions 16ad and 16bd, which are portions extending downward, and a plate surface in a conveying direction D connected to lower ends of the lower piezoelectric drive portions 16ad and 16bd. It is comprised by the series connection structure with), respectively.

기준 질량체(11)는, 반송방향 D의 전후에 있는 전방부(11a)와 후방부(11b)가 박육화되고, 그들의 사이에 있는 반송방향 D의 중간부가 상하 양측으로 튀어 나와 후육화된 구조를 가지고 있다. 전방부(11a)의 단면에는 압전 구동체(16a, 16b)의 길이방향의 중간부가 고정되고, 이 중간부는, 기준 질량체(11)의 일부를 구성하는 스페이서(19a, 19b)를 개재시켜 반송방향 D의 더욱 전방 및 후방의 위치에 있어서 방진 스프링(13a, 13b)의 상단부에 접속 고정되어 있다. 그리고 방진 스프링(13a, 13b)이 하측 진동 스프링(15a, 15b)보다도 반송방향 D의 전후 외측에 배치됨으로써, 진동계 전체의 안정성이 향상된다.The reference mass 11 has a structure in which the front part 11a and the rear part 11b in front and rear of the conveyance direction D are thinned, and the intermediate part of the conveyance direction D which intervenes between them protrudes to upper and lower sides, and is thickened. have. The intermediate part of the longitudinal direction of the piezoelectric drive bodies 16a and 16b is fixed to the cross section of the front part 11a, and this intermediate part is conveyance direction through the spacers 19a and 19b which comprise a part of the reference mass 11 It is connected and fixed to the upper end portions of the anti-vibration springs 13a and 13b at positions further forward and rearward of D. FIG. And since the antivibration springs 13a and 13b are arrange | positioned before and after the conveyance direction D than the lower vibration springs 15a and 15b, the stability of the whole vibration system improves.

도 3에는 본 실시형태의 압전 구동체(16a, 16b)의 구조를 나타낸다. 압전 구동체(16a, 16b)는, 심(simm)판으로 호칭되는 금속제의 탄성 기판(16s)과, 이 탄성 기판(16s)의 표리면에 첩착(적층)된 압전체(압전층)(16p)를 가진다. 탄성 기판(16s)은, 그 길이방향의 양단(상하 양단)에 각각 상측 증폭 스프링(17a, 17b)과 하측 증폭 스프링(18a, 18b)에 대한 상부 접속구조(도시 예에서는 연결용의 구멍)(16u) 및 하부 접속구조(16d)를 구비하고 있다. 또한, 탄성 기판(16s)은, 그 길이방향의 중간부의 폭 방향의 양측에 기준 질량체(11)에 대한 측부 접속구조(도시 예에서는 폭 방향으로 돌출하는 구멍이 붙은 돌출부)(16t, 16t)를 가진다. 이 때, 압전체(16p)는, 탄성 기판(16s) 상에 있어서, 좌우의 측부 접속구조(16t)의 사이의 폭 방향의 중간 위치에 배치된다. 이와 같이 하면, 기준 질량체(11)에 대한 결합 위치가 압전체(16p)를 회피한 폭 방향 양측에 마련되기 때문에. 압전 구동체(16a, 16b)의 휨 변형 동작에 영향을 미치기 어려워지는 동시에, 좌우 양측에서 확실하게 기준 질량체(11)에 결합시킴으로써, 압전 구동체(16a, 16b)를 기준 질량체(11)에 강고하게 고정할 수 있어, 이 기준 질량체(11)에 대해 상하 양측에 가진력을 확실하게 부여하는 것이 가능하게 된다. 그리고 도시 예의 압전 구동체(16a, 16b)는, 탄성 기판(16s)의 양면에 압전체(16p)가 배치된 바이모르프 구조를 가지되, 탄성 기판(16s)의 한 면에만 압전체가 배치되어 이루어지는 유니모르프 구조여도 좋고, 그 외, 공지의 여러 가지의 압전 구동체를 사용할 수 있다. 또한, 압전 구동체(16a, 16b)는, 상기 중간부를 대칭축으로 하여 길이방향(상하)으로 대칭적인 구조를 가지고, 폭 방향(좌우)으로도 대칭적으로 구성된다.3, the structure of the piezoelectric drive bodies 16a and 16b of this embodiment is shown. The piezoelectric drive bodies 16a and 16b are made of a metal elastic substrate 16s called a shim plate and a piezoelectric body (piezoelectric layer) 16p affixed (stacked) on the front and back surfaces of the elastic substrate 16s. Has The elastic substrate 16s has upper connection structures (holes for connection in the illustrated example) for the upper amplification springs 17a and 17b and the lower amplification springs 18a and 18b, respectively, at both ends in the longitudinal direction thereof (upper and lower ends) ( 16u) and lower connection structure 16d. Further, the elastic substrate 16s has side connection structures (protrusions with holes projecting in the width direction) 16t and 16t with respect to the reference mass 11 on both sides in the width direction of the intermediate portion in the longitudinal direction thereof. Have At this time, the piezoelectric body 16p is disposed on the elastic substrate 16s at an intermediate position in the width direction between the left and right side connection structures 16t. In this case, the coupling position with respect to the reference mass 11 is provided on both sides in the width direction avoiding the piezoelectric body 16p. The piezoelectric drive bodies 16a and 16b are firmly attached to the reference mass bodies 11 by hardly affecting the bending deformation motions of the piezoelectric drives 16a and 16b, and by reliably engaging the reference masses 11 on both the right and left sides. It can be fixed so that it is possible to reliably apply excitation force to both the upper and lower sides with respect to this reference mass 11. The piezoelectric drives 16a and 16b in the illustrated example have a bimorph structure in which the piezoelectric body 16p is disposed on both surfaces of the elastic substrate 16s, but the piezoelectric body is disposed only on one surface of the elastic substrate 16s. A unimorph structure may be sufficient and other well-known various piezoelectric drive bodies can be used. Moreover, the piezoelectric drive bodies 16a and 16b have a symmetrical structure in the longitudinal direction (up and down) with the said intermediate part as a symmetry axis, and are comprised symmetrically also in the width direction (left and right).

상기 압전 구동체(16a, 16b)에서는, 압전체(16p)의 표리에 전압을 인가하면, 전압에 따라서 압전체(16p)가 변형하고, 이에 따라 탄성 기판(16s)은 길이방향으로 휘도록 만곡된다. 그리고 소정 주파수의 교번전압(交番電壓)을 인가함으로써, 압전 구동체(16a, 16b)는 번갈아 역방향으로 휨 변형하여 진동하고, 그 진동은 상측 증폭 스프링(17a, 17b) 및 하측 증폭 스프링(18a, 18b)을 개재시켜 기준 질량체(11)와 상측 질량체(12A) 및 하측 질량체(12B)와의 사이에 반송방향 D를 거의 따른 진동방향 B의 진동을 일으키게 한다. 여기서, 반송방향 D의 전후 위치의 압전 구동체(16a, 16b)는 모두 동 위상으로 휨 변형하고, 상측 압전 구동부(16au, 16bu)와 하측 압전 구동부(16ad, 16bd)도 동 위상으로 변형하므로, 기준 질량체(11)에 대해 상측 질량체(12A)와 하측 질량체(12B)도 동 위상으로 진동방향 B로 진동한다. 이때, 기준 질량체(11)는, 상측 질량체(12A) 및 하측 질량체(12B)의 진동방향 B의 진동에 의한 반력을 상쇄하도록, 이들과는 역위상으로 진동방향 B로 진동한다.In the piezoelectric drive bodies 16a and 16b, when a voltage is applied to the front and back of the piezoelectric body 16p, the piezoelectric body 16p deforms in accordance with the voltage, and thus the elastic substrate 16s is curved to bend in the longitudinal direction. By applying an alternating voltage of a predetermined frequency, the piezoelectric drive bodies 16a and 16b alternately bend and deform in a reverse direction to vibrate, and the vibrations are oscillated by the upper amplification springs 17a and 17b and the lower amplification springs 18a and 18b. 18b) is interposed between the reference mass 11, the upper mass 12A, and the lower mass 12B to cause the vibration in the vibration direction B along the conveyance direction D to occur. Here, since the piezoelectric drive bodies 16a and 16b at the front and rear positions in the conveying direction D are both warped and deformed in the same phase, the upper piezoelectric drive parts 16au and 16bu and the lower piezoelectric drive parts 16ad and 16bd also deform in the same phase, The upper mass 12A and the lower mass 12B also vibrate in the vibration direction B in the same phase with respect to the reference mass 11. At this time, the reference mass 11 vibrates in the vibration direction B in a reverse phase with these so as to cancel the reaction force caused by the vibration in the vibration direction B of the upper mass 12A and the lower mass 12B.

그리고 기준 질량체(11)(실제로는 진동계 전체)를 탄성 지지하는 방진 스프링(13a, 13b)과, 상기의 기준 질량체(11), 상측 질량체(12A) 및 하측 질량체(12B)의 사이를 접속하는 상측 진동 스프링(14a, 14b) 및 하측 진동 스프링(15a, 15b)의 각 판면은, 반송방향 D에 대해 반송의 방향 F를 향해서는 비스듬히 위쪽, 반대 측의 방향을 향해서는 경사진 아래쪽으로 향한 자세로 설치되어 있다. 이 방향은, 이들의 진동계 전체의 진동방향 B와 대략 일치하고 있다. 진동방향 B는, 통상은 1~10도, 바람직하게는 2~8도, 더욱 바람직하게는 3~6도의 범위 내의 수평 방향에 대한 경사각을 가지고 있다. 도 2에 나타내는 바와 같이, 상기 진동방향 B는, 상측 반송체(12A)에 마련된 반송로(12c) 상의 반송물을 반송의 방향 F를 향해 반송하기 위한 반송력을 일으키게 한다.And the upper side which connects between the antivibration spring 13a, 13b which elastically supports the reference mass 11 (actually the whole vibration system), and the said reference mass 11, the upper mass 12A, and the lower mass 12B. Each plate surface of the vibration spring 14a, 14b and the lower vibration spring 15a, 15b is obliquely upward toward the conveyance direction F toward the conveyance direction D, and inclined downward toward the opposite direction. It is installed. This direction is substantially coincident with the vibration direction B of these whole vibration systems. The vibration direction B usually has an inclination angle with respect to the horizontal direction in the range of 1-10 degrees, Preferably it is 2-8 degrees, More preferably, it is 3-6 degrees. As shown in FIG. 2, the said vibration direction B causes the conveyance force for conveying the conveyed thing on the conveyance path 12c provided in 12 A of upper conveyance toward the direction F of conveyance.

도시 예에서는 기준 질량체(11)의 전단부에 있어서는, 상기 진동방향 B와 대략 일치하는 축선 Sax를 따라 전방부(11a), 압전 구동체(16a), 스페이서(19a) 및 방진 스프링(13a)이 볼트와 고정판(좌금, 워셔) 등을 개재시켜 접속 고정된다. 또한, 기준 질량체(11)의 후단부에 있어서는, 상기 진동방향 B와 대략 일치하는 축선 Sbx를 따라 후방부(11b), 압전 구동체(16b), 스페이서(19b) 및 방진 스프링(13b)이 볼트와 고정판(좌금, 워셔) 등을 개재시켜 접속 고정된다. 여기서, 축선 Sax와 Sbx는, 서로 평행하되, 기준 질량체(11)가 대략 반송방향 D(수평 방향)로 직선형상으로 연재하는 판형상 혹은 블록형상으로 구성되어 있기 때문에, 서로 일치하는 선은 아니다. 또한, 상측 질량체(12A) 및 하측 질량체(12B)도 또한, 반송방향 D(수평 방향)를 따라 직선형상으로 연재하는 판형상 혹은 블록형상으로 구성된다. 그리고 도면에 나타내는 바와 같이, 상측 진동 스프링(14a)과 하측 진동 스프링(15a), 및 상측 진동 스프링(14b)과 하측 진동 스프링(15b)은, 각각, 대략 직선형상으로 배열되어 있는 것이 피칭동작을 더욱 경감하는 데 바람직하다.In the example of illustration, in the front end of the reference mass 11, the front part 11a, the piezoelectric drive body 16a, the spacer 19a, and the antivibration spring 13a along the axis S ax which substantially coincides with the said vibration direction B. FIG. Connection is fixed through this bolt, a fixed plate (seat, washer), and the like. In addition, at the rear end of the reference mass 11, the rear portion 11b, the piezoelectric drive member 16b, the spacer 19b, and the anti-vibration spring 13b are arranged along the axis S bx approximately coinciding with the vibration direction B. Connection is fixed through a bolt and a fixing plate (seat, washer) and the like. Here, the axes S ax and S bx are parallel to each other, but since the reference mass 11 is formed in a plate shape or a block shape extending in a straight line substantially in the conveying direction D (horizontal direction), the lines coinciding with each other are no. Moreover, the upper mass 12A and the lower mass 12B are also comprised by the plate shape or block shape extended linearly along the conveyance direction D (horizontal direction). And as shown in the figure, the upper vibration spring 14a and the lower vibration spring 15a, and the upper vibration spring 14b and the lower vibration spring 15b are arranged in a substantially straight line, respectively, to perform the pitching operation. It is desirable to further alleviate.

도 4는, 상기 실시형태에 그대로 사용할 수 있는, 상기 압전 구동체(16a, 16b)와는 다른 압전 구동체(16a´, 16b´)의 구조를 나타내는 것이다. 이 압전 구동체(16a´, 16b´)는, 기본적으로는 상기와 같은 탄성 기판(16s´), 상부 접속구조(16u´), 하부 접속구조(16d´), 측부 접속구조(16t´)를 구비하고 있되, 탄성 기판(16s´) 상에 적층된 압전체가, 그 길이방향의 중간부(기준 질량체(11)에 대한 결합 위치)의 상하로 분단됨으로써, 길이방향으로 2분할되어 있는 점에서 상기의 것과 다르다. 즉, 탄성 기판(16s´)상에는, 상기 결합 위치의 위쪽에 배치된 상측 압전체(16pu´)와, 상기 결합 위치의 아래쪽에 배치된 하측 압전체(16pd´)가 형성되어 있다. 이와 같이 구성하여도, 압전 구동체(16a´, 16b´)의 구동력을 상하 각각에서 확실하게 생기게 할 수 있다. 한편, 이 경우에는, 길이방향의 중간부(결합 위치)의 폭 방향 전체를 기준 질량체(11)에 고정하는 것도 가능하게 되고, 보다 강고한 결합 상태를 실현하여, 진동계의 상하 대칭성이나 밸런스를 높일 수 있다.FIG. 4 shows the structure of the piezoelectric drive bodies 16a 'and 16b' different from the piezoelectric drive bodies 16a and 16b which can be used as it is in the above embodiment. The piezoelectric drive bodies 16a 'and 16b' basically have the elastic substrate 16s ', the upper connection structure 16u', the lower connection structure 16d ', and the side connection structure 16t' as described above. Although the piezoelectric body laminated | stacked on the elastic substrate 16s' is divided | segmented up and down of the middle part (bonding position with respect to the reference mass body 11) in the longitudinal direction, it is divided | segmented in the longitudinal direction in the said point. It's different from that of That is, on the elastic substrate 16s', an upper piezoelectric body 16pu 'disposed above the engaging position and a lower piezoelectric member 16pd' disposed below the engaging position are formed. Even if it is comprised in this way, the driving force of the piezoelectric drive bodies 16a 'and 16b' can be reliably produced above and below each other. In this case, on the other hand, it is also possible to fix the whole width direction of the middle part (coupling position) of the longitudinal direction to the reference mass body 11, and to realize a firmer coupling state, and to increase the vertical symmetry and balance of the vibration system. Can be.

도 5는, 또 다른 압전 구동체(16a˝, 16b˝)를 나타내는 정면도(a) 및 (b)이다. 이들은 기본적으로 탄성 기판(16s˝), 압전체(16p˝) 또는 상측 압전체(16pu˝)와 하측 압전체(16pd˝), 상부 접속구조(16u˝) 및 하부 접속구조(16d˝)를 가지는 점에서는 도 3 및 도 4에 나타내는 것과 같다. 도 5(a)에 나타내는 것은, 상기 압전 구동체(16a, 16b)의 변형례이고, 탄성 기판(16s˝)의 평면 형상을 바꾸어, 폭 방향 양측으로 돌출한 측부 접속구조(16t)를 마련하는 대신에 전체적으로 폭을 크게 한 직사각형의 평면 형상을 가지는 것으로 하고, 이 폭 방향의 양단부에 구멍 등의 측부 접속구조(16t˝)를 형성한 것이다. 도 5(b)는 마찬가지로 압전 구동체(16a´, 16b´)의 변형례이고, 도 5(a)와 마찬가지로 탄성 기판(16s˝)의 평면 형상을 바꾸어, 측부 접속구조(16t´)를 마련하는 대신에 광폭으로 하고, 폭 방향의 양단부에 측부 접속구조(16t˝)를 형성한 것이다.5 is a front view (a) and (b) showing still another piezoelectric drive bodies 16a 'and 16b'. They basically have an elastic substrate (16s '), a piezoelectric body (16p') or an upper piezoelectric body (16pu '), a lower piezoelectric body (16pd'), an upper connection structure (16u '), and a lower connection structure (16d'). It is as showing in 3 and FIG. It is a modification of the said piezoelectric drive bodies 16a and 16b shown to FIG. 5 (a), changing the planar shape of the elastic substrate 16s', and providing the side connection structure 16t which protruded in the width direction both sides. Instead, it is assumed that it has a rectangular planar shape with the width enlarged as a whole, and the side connection structure (16 t '), such as a hole, was formed in the both ends of this width direction. FIG. 5B is similarly a modification of the piezoelectric drive bodies 16a 'and 16b'. Similarly to FIG. 5A, the planar shape of the elastic substrate 16s 'is changed to provide the side connection structure 16t'. Instead, it is made wide and the side connection structure 16t 'is formed in the both ends of the width direction.

도 6은, 상측 진동 스프링(14a, 14b) 및 하측 진동 스프링(15a, 15b)에 포함되는 상측 압전 구동부(16au, 16bu)와 하측 압전 구동부(16ad, 16bd)가 다른 형태를 나타내는 정면도(a) 및 (b)이다. 도 6(a)에 나타내는 예에서는, 상기와 같은 상하 일체의(즉, 일체적으로 휨 변형하여 진동을 일으키게 함) 압전 구동체(16a, 16b)를 마련하는 대신에, 상하 따로따로의 압전 구동체, 즉, 서로 별개체의(따로따로 휨 변형하여 진동함) 상측 압전 구동체(16A)와 하측 압전 구동체(16B)를 모두 기준 질량체(11)에 고정한 구조를 나타낸다. 즉, 상측 압전 구동체(16A)의 하단을 기준 질량체(11)(의 전방부(11a) 및 후방부(11b)의 상부)에 접속 고정하는 동시에, 하측 압전 구동체(16B)의 상단을 기준 질량체(11)(의 전방부(11a) 및 후방부(11b)의 하부)에 접속 고정한다. 이와 같이 하여도, 상측 압전 구동체(16A)와 하측 압전 구동체(16B)를 동 위상이 되도록 구동하면, 상기와 같은 진동 형태를 실현할 수 있다. 단, 이 경우에는, 반송방향 D의 전후 위치의 각각에 있어서 상측 압전 구동체(16A)와 하측 압전 구동체(16B)는 직접 상하에 인접하고, 바람직하게는 서로 판면이 연속되는 면상에 배치되도록 직선형상으로 배열된다.FIG. 6 is a front view illustrating a form in which the upper piezoelectric drive portions 16au and 16bu and the lower piezoelectric drive portions 16ad and 16bd included in the upper vibration springs 14a and 14b and the lower vibration springs 15a and 15b are different. ) And (b). In the example shown in Fig. 6 (a), instead of providing the piezoelectric drive bodies 16a and 16b as described above (i.e., integrally bent and deformed to generate vibrations), piezoelectric driving separately up and down is provided. The structure, that is, a structure in which both the upper piezoelectric drive body 16A and the lower piezoelectric drive body 16B, which are separate from each other (vibrates by bending and vibrating separately), is fixed to the reference mass 11. That is, while connecting and fixing the lower end of the upper piezoelectric drive body 16A to the reference mass 11 (upper part of the front part 11a and the rear part 11b), the upper end of the lower piezoelectric drive member 16B is referred to. It connects and fixes to the mass 11 (lower part of the front part 11a and the rear part 11b). Even in this way, when the upper piezoelectric drive body 16A and the lower piezoelectric drive body 16B are driven in the same phase, the above-described vibration mode can be realized. In this case, however, the upper piezoelectric drive body 16A and the lower piezoelectric drive body 16B are directly adjacent to the upper and lower sides in each of the front and rear positions in the conveying direction D, and preferably disposed on a surface where the plate surfaces are continuous with each other. It is arranged in a straight line.

도 6(b)는, 상측 압전 구동체(16A)를 기준 질량체(11)의 상부에 접속 고정하는 동시에 하측 압전 구동체(16B)를 기준 질량체(11)의 하부에 접속 고정하는 점에서는 도 6(a)의 구조와 같으나, 상측 압전 구동체(16A)와 하측 압전 구동체(16B)의 사이에 기준 질량체(11)의 일부가 배치되어 양자가 직접 인접하고 있지 않은 점에서 다르다. 이 경우에서도, 상측 압전 구동체(16A)와 하측 압전 구동체(16B)를 동 위상이 되도록 구동하면, 상기와 같은 진동 형태를 실현할 수 있다. 또한, 이 경우에서도, 상측 압전 구동체(16A)와 하측 압전 구동체(16B)가 서로 판면이 연속되는 면상에 배치되도록 직선형상으로 배열되는 것이 바람직한 점은 마찬가지이다. 그리고 상측 압전 구동체(16A) 및 하측 압전 구동체(16B)는, 상기 압전 구동체(16a, 16b)와 같은 구성으로 할 수 있다.FIG. 6B shows that the upper piezoelectric drive body 16A is connected and fixed to the upper portion of the reference mass body 11 while the lower piezoelectric drive body 16B is connected and fixed to the lower portion of the reference mass body 11. As in the structure of (a), a part of the reference mass 11 is disposed between the upper piezoelectric drive body 16A and the lower piezoelectric drive body 16B, and differs in that they are not directly adjacent to each other. Also in this case, when the upper piezoelectric drive body 16A and the lower piezoelectric drive body 16B are driven in the same phase, the above-described vibration mode can be realized. Also in this case, it is the same that the upper piezoelectric drive body 16A and the lower piezoelectric drive body 16B are preferably arranged in a linear shape so as to be arranged on a surface where the plate surfaces are continuous with each other. The upper piezoelectric drive body 16A and the lower piezoelectric drive body 16B can have the same configuration as the piezoelectric drive bodies 16a and 16b.

마지막으로, 도 7 내지 도 12를 참조하여, 본 실시형태의 진동식 반송장치(10)의 작용 효과를 설명한다. 도 7은, 본 발명의 진동계의 원리 구성을 나타내는 설명도이다. 설명도 중의 각 부분에는, 상기 실시형태의 대응하는 부분의 부호를 붙이고 있다. 본 발명의 진동계에서는, 기준 질량체(11)의 상하 양측에 상측 질량체(12A)와 하측 질량체(12B)가 상측 진동 스프링(14a, 14b)과 하측 진동 스프링(15a, 15b)을 개재시켜 탄성 접속되어 있다. 그리고 상측 질량체(12A)와 하측 질량체(12B)는, 동상 가진수단인 압전 구동체(16a, 16b)에 의해 각각 기준 질량체(11)와의 사이에 부여되는 가진력, 즉, 상측 진동 스프링(14a, 14b)으로부터 받는 가진력 F2A와 하측 진동 스프링(15a, 15b)으로부터 받는 가진력 F2B에 의해, 기준 질량체(11)에 대해 반송방향 D로 보아 동 위상으로 진동한다. 여기서, F1A는 기준 질량체(11)가 상측 진동 스프링(14a, 14b)으로부터 받는 가진력, F1B는 기준 질량체(11)가 하측 진동 스프링(15a, 15b)으로부터 받는 가진력이다. 이 때문에, 반송방향 D로 보면, 기준 질량체(11)의 위상 φ1은, 상측 질량체(12A) 및 하측 질량체(12B)의 위상 φ2A, φ2B와는 역위상이 된다. 따라서, 설치면(2)을 기준으로 하여 생각하면, 기준 질량체(11)의 진동에 의한 반송방향 D의 반력과, 상측 질량체(12A)와 하측 질량체(12B)의 진동에 의한 합성된 반력과는 서로 상쇄하는 관계(상쇄 혹은 감쇄하는 관계)가 된다. 그 결과, 방진 스프링(13a, 13b)을 개재시켜 설치면(2) 측으로 전달되는 반송방향 D의 진동이 저감된다.Finally, with reference to FIGS. 7-12, the effect of the vibrating conveyance apparatus 10 of this embodiment is demonstrated. 7 is an explanatory diagram showing a principle configuration of a vibration system of the present invention. Each part in explanatory drawing is attached | subjected with the code | symbol of the corresponding part of the said embodiment. In the vibration system of the present invention, the upper mass 12A and the lower mass 12B are elastically connected to the upper and lower sides of the reference mass 11 via the upper vibration springs 14a and 14b and the lower vibration springs 15a and 15b. have. In addition, the upper mass 12A and the lower mass 12B are excited by the piezoelectric drive bodies 16a and 16b which are in-phase excitation means with respect to the reference mass 11, that is, the upper vibration springs 14a and 14b. By vibrating force F 2A received from) and the excitation force F 2B received from lower vibration springs 15a and 15b, the reference force 11 vibrates in the same phase as seen in the conveying direction D. Here, F 1A is an excitation force that the reference mass 11 receives from the upper vibration springs 14a and 14b, and F 1B is an excitation force that the reference mass 11 receives from the lower vibration springs 15a and 15b. For this reason, in the conveyance direction D, the phase phi 1 of the reference mass 11 is in reverse phase with the phases phi 2A and phi 2B of the upper mass 12A and the lower mass 12B. Therefore, considering the installation surface 2 as a reference, the reaction force in the conveying direction D caused by the vibration of the reference mass 11 and the combined reaction force caused by the vibration of the upper mass 12A and the lower mass 12B are different. The relationship cancels each other (compensation or attenuation). As a result, the vibration of the conveyance direction D transmitted to the installation surface 2 side via the vibration damping springs 13a and 13b is reduced.

한편, 기준 질량체(11)를 기준으로 하여 생각하면, 상측 질량체(12A)로부터 받는 가진력 F1A와 하측 질량체(12B)로부터 받는 가진력 F1B는 모두 진동방향 B를 따른 방향의 같은 방향이지만, 서로 동 위상으로 진동하는 상측 질량체(12A)의 회전 모멘트와 하측 질량체(12B)의 회전 모멘트는 역방향으로 되어 서로 상쇄하는 관계(상쇄 혹은 감쇄하는 관계)가 된다. 따라서, 기준 질량체(11)가 받는 회전 방향의 반력은 저감되어 피칭동작이 생기기 어려워지는 동시에, 방진 스프링(13a, 13b)을 개재시켜 설치면(2) 측으로 전달되는 상하방향의 진동도 저감된다. 또한, 이것에 의해, 반송로(12c)의 길이방향을 따른 반송물의 반송속도나 반송자세 등의 반송 상태도 균일화된다.On the other hand, considering the reference mass 11 as a reference, the excitation force F 1A received from the upper mass 12A and the excitation force F 1B received from the lower mass 12B are both the same direction in the direction along the vibration direction B. The rotation moment of the upper mass 12A oscillating in phase and the rotation moment of the lower mass 12B are reversed to each other to cancel each other (offset or attenuation). Therefore, reaction force in the rotational direction which the reference mass 11 receives is reduced, so that pitching motion is less likely to occur, and vibration in the vertical direction transmitted to the installation surface 2 side via the vibration-proof springs 13a and 13b is also reduced. In addition, this also makes the conveyance state such as the conveyance speed and conveyance posture of the conveyed article along the longitudinal direction of the conveying path 12c uniform.

본 발명에서는, 도 7에 나타내는 진동계에 있어서, 기준 질량체(11)에 대해 상측 질량체(12A)와 하측 질량체(12B)가 동 위상으로 진동하도록 가진력을 부여하는 동상 가진수단인 압전 구동체(16a, 16b)를 마련함으로써, 상측 질량체(12A)와 하측 질량체(12B)가 실질적으로 하나의 질량체로서 동작하기 때문에, 환언하면, 동상 가진수단에 의해 하나의 질량체로서 동작하도록 구속되기 때문에, 방진 스프링(13a, 13b)을 개재시켜 설치면(2)에 대해 탄성 접속된 한쪽의 질량체인 기준 질량체(11)와, 이 기준 질량체(11)에 대해 4개의 진동 스프링(14a, 14b, 15a, 15b)을 개재시켜 탄성 접속된 다른 쪽의 질량체(상측 질량체(12A)와 하측 질량체(12B))를 갖는, 실질적으로 2 자유도 혹은 2 질점의 강제(감쇠) 진동계가 구성된다. 이 진동계에서는, 고저 2개의 공진 진동수 ω1과 ω2를 가지는 동시에, 이 2개의 공진 진동수 ω1와 ω2의 사이의 진동수 대역에서 2개의 질량체가 서로 역위상으로 진동한다.In the present invention, in the vibration system shown in Fig. 7, the piezoelectric drive member 16a, which is an in-phase excitation means for applying an excitation force so that the upper mass 12A and the lower mass 12B vibrate in the same phase with respect to the reference mass 11, By providing 16b), since the upper mass 12A and the lower mass 12B operate substantially as one mass, in other words, since they are constrained to operate as one mass by the in-phase excitation means, the anti-vibration spring 13a , 13b) via a reference mass 11, which is one mass body elastically connected to the mounting surface 2, and four vibration springs 14a, 14b, 15a, and 15b with respect to the reference mass 11. A forced (damping) vibrometer having substantially two degrees of freedom or two quality points having the other mass body (upper mass body 12A and lower mass body 12B) that is elastically connected to each other is configured. In this vibration system, two high and low at the same time having a different resonance frequency ω 1 and ω 2, 2 and the two masses vibrate in opposite phases to each other in the frequency band between the resonance frequency ω 1 and ω 2.

이들의 2개의 질량체(11)와 (12A)＋(12B)를 가지는 진동계의 역위상 모드에서는, 2개의 질량체 사이의 반송방향 D의 반력이 서로 상쇄하는 관계에 있는데, 본 발명에서는, 위에서 설명한 바와 같이, 한쪽의 질량체인 기준 질량체(11)에 대해 다른 쪽의 질량체가 상측 질량체(12A)와 하측 질량체(12B)로 2분할 되어 서로 반대 측에 탄성 접속되어 있기 때문에, 기준 질량체(11)가 받는 회전 모멘트도 서로 상쇄하는 관계에 있다. 여기서, 기준 질량체(11)의 질량 M1의 중심위치를 기준으로 하면, 상측 질량체(12A)의 회전 모멘트는, 그 질량과 중심간 거리의 곱, 즉 M2A×R2A로 되고, 하측 질량체(12B)의 회전 모멘트는, 마찬가지로 M2B×R2B로 된다. 단, 양 회전 모멘트는 역방향이다. 이와 같은 진동계의 구성은, 종래 장치와는 기본적으로 다른 진동 형태를 형성하고, 설치면에 의한 고정력에 의존하지 않는 반송 형태를 실현한다. 종래 장치에서는, 반송로 상의 반송물의 반송 상태를 확보하기 위해서는, 설치면으로의 강고한 고정이나 기대의 중량화가 필요하였던 것에 대해, 본 발명에서는, 극단적으로 말하면, 방진 스프링(13a, 13b)의 하단을 부드러운 이불과 같은 설치면 상에 고정하지 않고 재치하였을 뿐인 경우, 혹은, 경량화된 기대(2)를 고정하지 않고 설치한 경우라도, 진동 형태의 변화(악화)는 거의 없고, 반송로(12c) 상의 반송 형태도 거의 변함없다. 그리고 도면에서 확실한 바와 같이, 반송방향 D의 반력을 상쇄하는데 있어서는, 실질적으로 M1=M2A＋M2B로 하는 것이 바람직하고, 상기 2개의 회전 모멘트를 상쇄하는데 있어서는, 실질적으로 M2A×R2A=M2B×R2B로 하는 것이 바람직하고, 피칭동작을 저감하는데 있어서는, 실질적으로 M2A=M2B 또한 R2A=R2B로 하는 것이 바람직하다.In the antiphase mode of the vibration system having these two masses 11 and (12A) + (12B), the reaction forces in the conveying direction D between the two masses cancel each other out. Similarly, since the other mass is divided into the upper mass 12A and the lower mass 12B and elastically connected to the opposite sides with respect to the reference mass 11 that is one mass, the reference mass 11 receives The rotation moments also cancel each other out. Here, based on the center position of the mass M 1 of the reference mass 11, the rotation moment of the upper mass 12A is the product of the mass and the distance between the centers, that is, M 2A × R 2A , and the lower mass ( The rotation moment of 12B) is likewise M 2B × R 2B . However, both rotation moments are in the reverse direction. The structure of such a vibration system forms a vibration form fundamentally different from the conventional apparatus, and realizes the conveyance form which does not depend on the fixing force by an installation surface. In the conventional apparatus, in order to secure the conveyance state of the conveyed object on the conveyance path, the firm fixing to the installation surface and the weight of the base were required. In the present invention, in the extreme, the lower ends of the dustproof springs 13a and 13b. Is mounted on a mounting surface such as a soft duvet without being fixed, or even when the lightweight base 2 is not fixed, there is almost no change in vibration form (deterioration). The conveyance form of the phase is almost unchanged. And as is clear from the figure, in canceling the reaction force of the conveyance direction D, it is preferable to set it as M < 1 > M <2> A + M <2> B substantially, and in canceling the said two rotation moments, it is substantially M <2> A < R <2> A = in the reduction to be preferred, and a pitching operation of a M × 2B R 2B, practically it is preferable that the M = M 2A 2B also R 2A = R 2B.

이상의 구성 및 작용 효과는, 기본적으로 본 발명의 개념을 나타내는 도 7에 나타내는 구성에 근거하는 것이나, 본 실시형태에서는, 상기 동상 가진수단이 상측 가진부와 하측 가진부를 각각 가지고, 직접 또한 따로따로 가진력 F2A(F1A)와 가진력 F2B(F1B)를 부여함으로써, 장치 구조를 간이화할 수 있는 동시에, 예를 들어, 반송물이나 반송로의 바리에이션 등에 대응하기 위한 가진측의 주파수나 진폭 등의 조정을 용이하게 행하는 것도 가능하게 된다. 특히, 본 실시형태에 있어서는, 상측 진동 스프링(14a, 14b)에 장착된 상측 압전 구동부(16au, 16bu)와, 하측 진동 스프링(15a, 15b)에 장착된 하측 압전 구동부(16ad, 16bd)를 마련하여 압전 구동 방식에 의해 가진하고 있기 때문에, 진동계와는 별도의 가진 기구를 마련할 필요가 없으므로, 장치 구조를 더욱 간이하게 구성할 수 있다.Although the above structure and effect are basically based on the structure shown in FIG. 7 which shows the concept of this invention, in this embodiment, the said in-phase excitation means has an upper excitation part and a lower excitation part, respectively and directly and separately excitation force By applying the F 2A (F 1A ) and the excitation force F 2B (F 1B ), the device structure can be simplified and, for example, adjustment of the frequency and amplitude of the excitation side to cope with variations of the conveyed material or the conveying path, etc. It is also possible to perform easily. In particular, in the present embodiment, the upper piezoelectric drive portions 16au and 16bu mounted to the upper vibration springs 14a and 14b and the lower piezoelectric drive portions 16ad and 16bd attached to the lower vibration springs 15a and 15b are provided. Because of the excitation by the piezoelectric drive method, it is not necessary to provide an excitation mechanism separate from the vibrometer, so that the device structure can be configured more simply.

도 8은 상기 실시형태의 진동 모델을 나타내는 도면이다. 본 실시형태에서는, 도 8에 나타내는 바와 같이, 상측 진동 스프링(14a, 14b)과 하측 진동 스프링(15a, 15b)이 직접 접속되는 동시에, 그 접속점이 기준 질량체(11)에 접속 고정되어 있다. 따라서, 위에서 설명한 가진력 F1A과 F1B가 기준 질량체(11)에 작용하는 점은 서로 일치하기 때문에, 도 7에 나타내는 진동 모델에 있어서의 가진력 F1A와 F1B가 작용하는 위치의 어긋남에 기인하는 불필요한 진동이나 모멘트의 발생은 저감된다. 또한, 상측 진동 스프링(14a, 14b)과 하측 진동 스프링(15a, 15b)이 직접 접속되어 있으므로, 상하의 진동 구조 부분의 사이의 진동에너지의 교환이 용이하게 되기 때문에, 보다 안정된 진동계를 구성할 수 있다고 생각할 수 있다. 게다가 본 실시형태에서는, 상기의 구성에 의해, 도면으로부터 확실한 바와 같이, 진동식 반송장치(10)의 높이를 저감할 수 있다고 하는 효과를 가진다.8 is a diagram illustrating a vibration model of the embodiment. In this embodiment, as shown in FIG. 8, the upper vibration springs 14a and 14b and the lower vibration springs 15a and 15b are directly connected, and the connection point is connected and fixed to the reference mass body 11. Therefore, the points on which the excitation forces F 1A and F 1B described above act on the reference mass 11 coincide with each other, and thus are caused by the deviation of the positions at which the excitation forces F 1A and F 1B act in the vibration model shown in FIG. 7. The generation of unnecessary vibrations and moments is reduced. In addition, since the upper vibration springs 14a and 14b and the lower vibration springs 15a and 15b are directly connected, the exchange of vibration energy between the upper and lower vibration structure parts is facilitated, so that a more stable vibration system can be configured. I can think of it. Furthermore, in this embodiment, as mentioned above, the height of the vibration conveyance apparatus 10 can be reduced by the said structure.

게다가 본 실시형태에서는, 상측 진동 스프링(14a, 14b)과 하측 진동 스프링(15a, 15b)이 직선형상으로 배열되는 동시에, 이 직선과 직교하는 서로 평행한 축선 Sax와 Sbx를 따라, 기준 질량체(11), 상측 진동 스프링(14a, 14b)과 하측 진동 스프링(15a, 15b)의 접속점, 방진 스프링(13a, 13b)의 지지점이 배열되기 때문에, 회전 방향의 불필요한 진동이나 피칭동작이 발생하기 어렵게 구성된다고 생각할 수 있다. 특히, 기준 질량체(11)의 질량 M1의 중심위치와, 상측 질량체(12A)의 질량 M2A의 중심위치와, 하측 질량체(12B)의 질량 M2B의 중심위치가, 상기 직선과 평행한 직선상, 즉 상기축선 Sax, Sbx와 직교하는 직선상에 배치되도록 구성함으로써, 진동계를 더욱 안정시킬 수 있다. 그리고 도 8에서는 진동방향의 경사각을 강조하여 기재하고 있으나, 실제로는 경사각은 위에서 설명한 바와 같이 한자리수 도수 정도이며, 진동의 진폭도 충분히 작고, 각 스프링의 길이방향의 강성은 충분히 높기 때문에, 경사각에 기인하는 상하동의 영향은 적다.In addition, in this embodiment, the upper vibration springs 14a and 14b and the lower vibration springs 15a and 15b are arranged in a linear shape, and along the mutually parallel axes S ax and S bx orthogonal to this straight line, the reference mass body. (11) Since the connection points of the upper vibration springs 14a and 14b and the lower vibration springs 15a and 15b and the support points of the antivibration springs 13a and 13b are arranged, unnecessary vibration and pitching motion in the rotational direction are less likely to occur. It can be thought of as composed. In particular, the center position of the mass M 1 of the reference mass 11, the center position of the mass M 2A of the upper mass 12A, and the center position of the mass M 2B of the lower mass 12B are parallel to the straight line. The vibration system can be further stabilized by being arranged so as to be disposed on an image, i.e., a straight line orthogonal to the axes S ax and S bx . In FIG. 8, the inclination angle of the vibration direction is emphasized, but in reality, the inclination angle is about one order of magnitude as described above, and the amplitude of the vibration is small enough, and the rigidity of the longitudinal direction of each spring is sufficiently high, resulting from the inclination angle. The effect of vertical motion is small.

그리고 도 8의 진동 모델은 본 발명 및 본 실시형태에 관하여 어떠한 한정은 하는 것은 아니지만, M2A=M2B, R2A=R2B, 상측 진동 스프링(14a, 14b) 및 하측 진동 스프링(15a, 15b)의 길이 및 스프링 정수는 모두 동일하고, 방진 스프링(13a)과 (13b)의 길이 및 스프링 정수도 동일하게 하고 있다. 또한, 정지 상태에 있어서, 기준 질량체(11)(질량 M1)의 중심위치는, 상측 질량체(12A)(질량 M2A)의 중심위치와 하측 질량체(12B)(질량 M2B)의 중심위치를 잇는 직선상에 있는 것으로 도시하고 있다.The vibration model of FIG. 8 is not limited to the present invention and the present embodiment, but M 2A = M 2B , R 2A = R 2B , upper vibration springs 14a and 14b and lower vibration springs 15a and 15b. The length and the spring constant of () are the same, and the length and the spring constant of the antivibration springs 13a and 13b are also the same. In the stationary state, the center position of the reference mass 11 (mass M 1 ) is the center position of the upper mass 12A (mass M 2A ) and the center position of the lower mass 12B (mass M 2B ). The connection is shown as being on a straight line.

본 실시형태에서는, 기준 질량체(11)에 대하여 길이방향의 중간부가 결합된 일체의 압전 구동체(16a, 16b)를 사용함으로써, 상측 질량체(12A)와 하측 질량체(12B)의 쌍방에 대해 확실하게 또한 안정되게 가진력을 부여할 수 있다. 특히, 압전 구동체(16a, 16b)는, 일체의 휨 변형에 의해 양 질량체에 대해 확실하게 동 위상의 가진력을 부여할 수 있다. 또한, 상측 진동 스프링(14a, 14b) 및 하측 진동 스프링(15a, 15b)에 있어서 기준 질량체(11)의 측에 상측 압전 구동부(16au, 16bu) 및 하측 압전 구동부(16ad, 16bd)가 배치되기 때문에, 상측 증폭 스프링(17a, 17b) 또는 하측 증폭 스프링(18a, 18b)에 의해 상측 질량체(12A) 또는 하측 질량체(12B)에 반송로를 마련하는 경우에 필요하게 되는 충분한 진폭을 발생시킬 수 있다.In this embodiment, by using the integral piezoelectric drive bodies 16a and 16b which the intermediate part of the longitudinal direction couple | bonded with respect to the reference mass 11, it is reliably about both the upper mass 12A and the lower mass 12B. In addition, it can stably provide excitation force. In particular, the piezoelectric drive bodies 16a and 16b can provide the same phase excitation force to both mass bodies reliably by integral bending deformation. Further, in the upper vibration springs 14a and 14b and the lower vibration springs 15a and 15b, the upper piezoelectric drive portions 16au and 16bu and the lower piezoelectric drive portions 16ad and 16bd are disposed on the side of the reference mass 11. By the upper amplification springs 17a and 17b or the lower amplification springs 18a and 18b, sufficient amplitude required when providing a conveying path to the upper mass 12A or the lower mass 12B can be generated.

도 9 내지 도 12는, 상기 실시형태의 구조 모델에 근거하여 모덜 해석을 행한 결과를 나타내는 애니메이션 동작의 일부를 나타내는 것이다. 여기서, 상기 기준 질량체(11), 상측 질량체(12A), 하측 질량체(12B), 기대(2), 방진 스프링(13a, 13b), 압전 구동체(16a, 16b), 상측 증폭 스프링(17a, 17b), 하측 증폭 스프링(18a, 18b), 스페이서(19a, 19b), 그 외의 좌금이나 볼트 등의 각 재질 및 치수와, 각 재질의 영률(Young's modulus), 푸아송비(Poisson's ratio), 밀도 등의 데이터를 사용하여, 전체 구조의 진동 모드의 해석을 행하고, 그 해석 결과(모덜 파라미터, 즉, 고유 모드, 고유 진동수, 모드 감쇠비)에 근거하여, 애니메이션 동영상을 작성하였다. 도 9 및 도 11은 한쪽의 최대 변위에 가까운 시점에서의 진동 형태를 나타내고, 도 10 및 도 12는 다른 쪽의 최대 변위에 가까운 시점에서의 진동 형태를 나타내고 있다. 그리고 이 해석에 사용한 데이터에서는, 기준 질량체(11)의 질량 M1을 1로 하였을 때, 상측 질량체(12A)의 질량 M2A를 0.46, 하측 질량체(12B)의 질량 M2B를 0.38로 하고 있다.9-12 show a part of the animation operation | movement which shows the result of having performed the modal analysis based on the structural model of the said embodiment. Here, the reference mass 11, the upper mass 12A, the lower mass 12B, the base 2, the anti-vibration springs 13a and 13b, the piezoelectric driving bodies 16a and 16b, and the upper amplification springs 17a and 17b. ), Lower amplification springs 18a and 18b, spacers 19a and 19b, and other materials and dimensions of other seats and bolts, and the Young's modulus, Poisson's ratio, density, etc. Using the data, the vibration mode of the whole structure was analyzed, and an animated video was created based on the analysis result (modal parameters, ie, eigenmode, natural frequency, mode damping ratio). 9 and 11 show the vibration form at a time point close to the maximum displacement of one side, and FIGS. 10 and 12 show the vibration form at the time point close to the maximum displacement of the other side. In the data used for this analysis, when the mass M 1 of the reference mass 11 is 1, the mass M 2A of the upper mass 12A is 0.46 and the mass M 2B of the lower mass 12B is 0.38.

본 발명에 있어서, 기준 질량체(11)의 질량 M1은 상측 질량체(12A)와 하측 질량체(12B)의 질량의 합 M2A＋M2B와 거의 동등(예를 들어, 양자의 질량의 차이가 양자의 중간치의 10% 이하)이거나, 혹은, 그 질량의 합 M2A＋M2B보다도 큰 것이 안정된 진동 형태를 얻는데 있어서 바람직하다. 또한, 상측 질량체(12A)의 질량 M2A와 하측 질량체(12B)의 질량 M2B는 거의 동등하다고 하는 것이 바람직하나, 상기의 수치를 보면 알 수 있는 바와 같이, 양자의 질량의 차이도 양자의 중간치의 30% 이하이면 큰 문제는 없고, 20% 이하이면 더욱 바람직하다.In the present invention, the mass M 1 of the reference mass 11 is approximately equal to the sum M 2A + M 2B of the masses of the upper mass 12A and the lower mass 12B (for example, the difference in mass between the two 10% or less of the median), or larger than the sum of the masses M 2A + M 2B is preferable for obtaining a stable vibration mode. In addition, one preferred to that mass M 2B of mass M 2A and the lower mass (12B) of the upper mass (12A) is substantially the same, as can be seen from the figures, the difference of the two mass also of the two median If it is 30% or less, there is no big problem, and if it is 20% or less, it is more preferable.

상기의 애니메이션 화상이 나타내는 진동 형태에 의하면, 피칭동작이 거의 생기지 않고, 게다가, 각 질량체는 반송방향 D인 수평 방향으로 정연하게 왕복 진동하고 있기 때문에, 반송방향 D로 본 반송 상태(반송속도, 반송자세)의 균일성도 충분히 얻을 수 있음을 알 수 있다.According to the vibration form indicated by the above-mentioned animation image, almost no pitching operation occurs, and since each mass body vibrates reciprocally in the horizontal direction in the conveying direction D, the conveying state seen in the conveying direction D (conveying speed, conveying) It can be seen that uniformity of posture) can be obtained sufficiently.

그리고 본 발명의 진동식 반송장치는, 위에서 설명한 도시 예에만 한정되는 것은 아니고, 본 발명의 요지를 일탈하지 않는 범위 내에 있어서 여러 가지 변경을 가할 수 있음은 물론이다. 예를 들어, 상기 실시형태에서는, 동상 가진수단, 혹은, 상측 가진부 및 하측 가진부로서 압전 구동체, 혹은, 압전 구동부를 사용하고 있으나, 전자 구동체를 사용하여도 무관하다. 또한, 상기 실시형태에서는, 기준 질량체의 측에 압전 구동체 혹은 압전 구동부를 배치하고, 상측 질량체 및 하측 질량체의 측에 증폭 스프링을 배치하고 있는데, 그 배치 관계를 서로 반대로 설정하여, 압전 구동체 혹은 압전 구동부를 상측 질량체 및 하측 질량체의 측에 배치하고, 기준 질량체의 측에 증폭 스프링을 배치하여도 좋다.In addition, the vibrating conveying apparatus of this invention is not limited only to the example of illustration demonstrated above, Of course, various changes can be added in the range which does not deviate from the summary of this invention. For example, in the said embodiment, although a piezoelectric drive body or a piezoelectric drive part is used as an in-phase excitation means, or an upper excitation part and a lower excitation part, you may use an electromagnetic drive body. In addition, in the said embodiment, the piezoelectric drive body or the piezoelectric drive part is arrange | positioned at the side of a reference mass body, and the amplification spring is arrange | positioned at the side of an upper mass body and a lower mass body, The arrangement relationship is set mutually opposite, and a piezoelectric drive body or The piezoelectric drive part may be disposed on the side of the upper and lower masses, and the amplification spring may be disposed on the side of the reference mass.

10: 진동식 반송장치
11: 기준 질량체
11a: 전방부
11b: 후방부
12A: 상측 질량체
12B: 하측 질량체
12c: 반송로
13a, 13b: 방진 스프링
14a, 14b: 상측 진동 스프링
15a, 15b: 하측 진동 스프링
16a, 16b: 압전 구동체
16au, 16bu: 상측 압전 구동부
16ad, 16bd: 하측 압전 구동부
16s: 탄성 기판
16p: 압전체
17a, 17b: 상측 증폭 스프링
18a, 18b: 하측 증폭 스프링
19a, 19b: 스페이서
2: 기대(설치면)
D: 반송방향
F: 반송의 방향
B: 진동방향10: vibratory conveying device
11: reference mass
11a: front part
11b: rear
12A: Upper Mass
12B: lower mass
12c: return path
13a, 13b: dustproof spring
14a, 14b: upper vibration spring
15a, 15b: lower vibration spring
16a, 16b: piezoelectric drive body
16au, 16bu: Upper piezoelectric drive part
16ad, 16bd: lower piezoelectric drive part
16s: elastic substrate
16p: piezoelectric
17a, 17b: upper amplification spring
18a, 18b: lower amplification spring
19a, 19b: spacer
2: Expectation (Mounting Surface)
D: conveying direction
F: direction of conveyance
B: vibration direction

Claims (7)

반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 한 쌍의 방진 스프링과,
상기 한 쌍의 방진 스프링에 의해 상기 반송방향의 전후 위치에서 지지된 기준 질량체와,
상기 기준 질량체의 위쪽에 배치된 상측 질량체와,
상기 기준 질량체의 아래쪽에 배치된 하측 질량체와,
상기 기준 질량체와 상기 상측 질량체를 상기 반송방향의 전후 위치에서 각각 탄성 접속하는, 상기 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 한 쌍의 상측 진동 스프링과,
상기 기준 질량체와 상기 하측 질량체를 상기 반송방향의 전후 위치에서 각각 탄성 접속하는, 상기 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 한 쌍의 하측 진동 스프링과,
상기 기준 질량체와 상기 상측 질량체와의 사이, 및, 상기 기준 질량체와 상기 하측 질량체와의 사이의 쌍방에, 상기 반송방향으로 동 위상의 진동을 일으키게 하기 위한 가진력을 부여하는 동상 가진수단을 구비하고,
상기 기준 질량체, 상기 상측 질량체 혹은 상기 하측 질량체의 적어도 어느 하나에 반송물을 반송하는 반송로가 마련되고,
상기 동상 가진수단에 의해, 상기 상측 질량체와 상기 하측 질량체가 상기 반송방향으로 보아 동 위상으로 진동하는 동시에 상기 기준 질량체와 상기 상측 질량체 및 상기 하측 질량체가 상기 반송방향으로 보아 역위상으로 진동하는 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치.A pair of plate-shaped vibration-proof springs having a plate surface facing the conveying direction,
A reference mass supported by the pair of dustproof springs at the forward and backward positions in the conveying direction,
An upper mass disposed above the reference mass;
A lower mass disposed below the reference mass,
A pair of plate-shaped upper vibration springs each having a plate surface facing the conveying direction for elastically connecting the reference mass and the upper mass at front and rear positions in the conveying direction;
A pair of plate-shaped lower vibration springs each having a plate surface facing the conveying direction for elastically connecting the reference mass and the lower mass at front and rear positions in the conveying direction;
And in-phase excitation means for imparting excitation force for causing vibration of the same phase in the conveying direction between both the reference mass and the upper mass, and between the reference mass and the lower mass,
The conveyance path which conveys a conveyed thing is provided in at least one of the said reference mass, the said upper mass, or the said lower mass,
Wherein, by the in-phase excitation means, the upper mass and the lower mass vibrate in the same phase when viewed in the conveying direction, and the reference mass, the upper mass, and the lower mass vibrate in the opposite phase when viewed in the conveying direction. Vibrating conveyer 제 1항에 있어서,
상기 동상 가진수단은, 상기 기준 질량체와 상기 상측 질량체와의 사이에 직접 상기 가진력을 부여하는 상측 가진부와, 상기 기준 질량체와 상기 하측 질량체와의 사이에 직접 상기 가진력을 부여하는 하측 가진부를 가지는 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치.The method of claim 1,
The in-phase excitation means includes an upper excitation portion that directly imparts the excitation force between the reference mass and the upper mass, and a lower excitation portion that imparts the excitation force directly between the reference mass and the lower mass. Vibratory conveying device characterized in that. 제 2항에 있어서,
상기 상측 가진부는, 상기 상측 진동 스프링의 길이방향의 일부에 장착되어, 상기 반송방향을 향한 판면이 휨 변형하는 판형상의 상측 압전 구동부에 의해 구성되고, 상기 하측 가진부는, 상기 하측 진동 스프링의 길이방향의 일부에 장착되어, 상기 반송방향을 향한 판면이 휨 변형하는 판형상의 하측 압전 구동부에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치.3. The method of claim 2,
The upper vibration part is constituted by a plate-shaped upper piezoelectric drive part which is attached to a part of the longitudinal direction of the upper vibration spring, and the plate surface facing the conveying direction is deflected, and the lower vibration part is in the longitudinal direction of the lower vibration spring. And a plate-shaped lower piezoelectric drive unit which is attached to a portion of the plate surface and is deflected in the conveying direction to bend and deform. 제 3항에 있어서,
상기 상측 압전 구동부와 상기 하측 압전 구동부는, 상기 기준 질량체에 대해 상기 반송방향의 전후 위치에서 각각 결합되고, 상기 기준 질량체의 위쪽으로 신장되는 부분이 상기 상측 압전 구동부를 형성하는 동시에 상기 기준 질량체의 아래쪽으로 신장되는 부분이 상기 하측 압전 구동부를 형성하고, 전체적으로 상기 반송방향을 향한 판면이 일체적으로 휨 변형하는 판형상의 압전 구동체에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치.The method of claim 3, wherein
The upper piezoelectric drive unit and the lower piezoelectric drive unit are respectively coupled to the reference mass in a forward and backward position in the conveying direction, and portions extending upward of the reference mass form the upper piezoelectric drive unit and at the same time beneath the reference mass. The vibrating conveying apparatus is formed by a plate-shaped piezoelectric driving body in which a portion extended to the lower portion forms the lower piezoelectric driving portion, and the plate surface facing the conveying direction as a whole is integrally bent and deformed. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 기준 질량체의 질량은, 상기 상측 질량체와 상기 하측 질량체의 질량의 합과 동일하거나 혹은, 상기 질량의 합보다 큰 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치.The method according to any one of claims 1 to 4,
The mass of the said reference mass is equal to the sum of the mass of the said upper mass and the said lower mass, or is larger than the sum of the said mass. 제 1항 내지 제 4항 중 어느 한 항에 있어서,
상기 상측 진동 스프링은, 상기 반송방향의 전후 위치에서 상기 기준 질량체에 결합되어 상기 기준 질량체의 위쪽으로 신장되는 상측 압전 구동부와, 상기 상측 압전 구동부의 상단에 접속된, 상기 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 상측 증폭 스프링에 의해 구성되고, 상기 하측 진동 스프링은, 상기 기준 질량체에 대해 상기 반송방향의 전후 위치에서 결합되어 상기 기준 질량체의 위쪽으로 신장되는 하측 압전 구동부와, 상기 한 쌍의 하측 압전 구동부의 하단에 접속된, 상기 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 하측 증폭 스프링에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치. The method according to any one of claims 1 to 4,
The upper vibration spring includes an upper piezoelectric drive unit coupled to the reference mass body at a forward and backward position in the conveyance direction and extending upward of the reference mass body, and a plate surface facing the conveyance direction connected to an upper end of the upper piezoelectric drive unit. A lower piezoelectric drive unit coupled to a front-rear position in the conveying direction with respect to the reference mass and extending upward of the reference mass, and the pair of lower piezoelectric elements. An oscillating conveying apparatus comprising: a plate-shaped lower amplification spring having a plate face in the conveying direction connected to a lower end of a drive section. 제 5항에 있어서,
상기 상측 진동 스프링은, 상기 반송방향의 전후 위치에서 상기 기준 질량체에 결합되어 상기 기준 질량체의 위쪽으로 신장되는 상측 압전 구동부와, 상기 상측 압전 구동부의 상단에 접속된, 상기 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 상측 증폭 스프링에 의해 구성되고, 상기 하측 진동 스프링은, 상기 기준 질량체에 대해 상기 반송방향의 전후 위치에서 결합되어 상기 기준 질량체의 위쪽으로 신장되는 하측 압전 구동부와, 상기 한 쌍의 하측 압전 구동부의 하단에 접속된, 상기 반송방향을 향한 판면을 구비한 판형상의 하측 증폭 스프링에 의해 구성되는 것을 특징으로 하는 진동식 반송장치. 6. The method of claim 5,
The upper vibration spring includes an upper piezoelectric drive unit coupled to the reference mass body at a forward and backward position in the conveyance direction and extending upward of the reference mass body, and a plate surface facing the conveyance direction connected to an upper end of the upper piezoelectric drive unit. A lower piezoelectric drive unit coupled to a front-rear position in the conveying direction with respect to the reference mass and extending upward of the reference mass, and the pair of lower piezoelectric elements. An oscillating conveying apparatus comprising: a plate-shaped lower amplification spring having a plate face in the conveying direction connected to a lower end of a drive section.
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