KR101319320B1

KR101319320B1 - shadow mask

Info

Publication number: KR101319320B1
Application number: KR1020060136657A
Authority: KR
Inventors: 이강주; 유충근
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2006-12-28
Filing date: 2006-12-28
Publication date: 2013-10-16
Also published as: KR20080061676A

Abstract

본 발명은 프레임 변형을 방지할 수 있는 유기 전계 발광 소자 제작용 섀도우 마스크를 제공하기 위한 것으로, 이와 같은 목적을 달성하기 위한 섀도우 마스크는, 분리되어 구성된 복수개의 마스크 시트와; 상기 분리된 마스크 시트가 고정되도록 전체 외곽부에 구성된 프레임과; 상기 마스크 시트의 분리된 하부를 커버하도록 상기 프레임에 삽입되어 고정된 보강대를 포함함을 특징으로 한다. The present invention provides a shadow mask for fabricating an organic EL device capable of preventing frame deformation, and a shadow mask for achieving the above object includes: a plurality of mask sheets separately configured; A frame configured on an entire outer edge of the separated mask sheet to be fixed; And a reinforcing bar inserted and fixed to the frame to cover the separated lower portion of the mask sheet.

섀도우 마스크, 프레임, 보강대, 홈, 마스크 시트 Shadow mask, frame, reinforcement, groove, mask sheet

Description

섀도우 마스크{shadow mask} Shadow mask

도 1은 일반적인 유기발광소자의 개략적 단면도 1 is a schematic cross-sectional view of a general organic light emitting device

도 2는 종래의 프레임과 분리된 섀도우 마스크의 분리 평면도2 is an exploded plan view of a shadow mask separated from a conventional frame

도 3은 본 발명을 적용하기 위한 분할형 섀도우 마스크의 구조 단면도 3 is a structural cross-sectional view of a split shadow mask for applying the present invention

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 분할형 섀도우 마스크의 구조 단면도 4 is a structural cross-sectional view of a split shadow mask according to an embodiment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

41 : 프레임 42 : 마스크 시트41 frame 42 mask sheet

43 : 관통홀 44 : 홈43: through hole 44: groove

45 : 보강대45: reinforcement

본 발명은 유기 전계 발광 소자 형성용 섀도우 마스크에 관한 것으로, 특히, 프레임 변형을 방지할 수 있는 유기 전계 발광 소자 제작용 섀도우 마스크에 관한 것이다. The present invention relates to a shadow mask for forming an organic electroluminescent device, and more particularly, to a shadow mask for manufacturing an organic electroluminescent device capable of preventing frame deformation.

최근에 들어, 기존의 음극선관(cathode ray tube: CRT)의 단점인 무거운 무게와 큰 부피를 해결하기 위해 각종 평판 표시 장치가 개발되고 있다. 이러한 평판 표시장치 중에는 액정표시장치(liquid crystal display: LCD), 전계방출표시장치(field emission display: FED), 플라즈마 디스플레이 패널(plasma display panel: PDP), 유기발광소자(organic light emitting diode: OLED) 등이 있다. 특히, 유기발광소자는 정공수송층, 발광층, 전자수송층을 갖는 전계발광층의 양면에 전극을 형성한 형태로, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징 때문에 차세대 평판 표시장치로서 주목받고 있다.Recently, various flat panel displays have been developed to solve the heavy weight and the large volume, which are disadvantages of the conventional cathode ray tube (CRT). Among such flat panel displays, liquid crystal displays (LCDs), field emission displays (FEDs), plasma display panels (PDPs), and organic light emitting diodes (OLEDs) Etc. In particular, the organic light emitting device is formed in the form of electrodes formed on both sides of the electroluminescent layer having a hole transport layer, a light emitting layer, an electron transport layer, attracting attention as a next-generation flat panel display device because of the characteristics of a wide viewing angle, high aperture ratio, high color.

도 1은 전계에 의해 발광하는 유기 발광물질층(Emitting Material Layer, EML)을 적용한 유기발광소자(organic light emitting device, OLED)의 전형적인 구조를 나타낸 도면다. FIG. 1 is a view showing a typical structure of an organic light emitting device (OLED) using an organic light emitting material layer (EML) emitting light by an electric field.

도 1을 참조하면, 유기발광소자는 기판(1) 상에 투명성 애노드 전극(2)이 형성되고, 그 위에 최상부에 위치하는 캐소드전극(8), 캐소드 전극(8) 및 애노드 전극(2) 사이에 형성되는 발광층(5)과, 발광층(5) 및 캐소드 전극(8)의 사이에 형성되는 전자 주입층(7) 및 전자 수송층(6), 발광층(5) 및 투명전극(2)의 사이에 형성되는 정공 주입층(3) 및 정공 수송층(4)을 포함한다. Referring to FIG. 1, in the organic light emitting diode, a transparent anode electrode 2 is formed on the substrate 1, and is disposed between the cathode electrode 8, the cathode electrode 8, and the anode electrode 2 positioned on the top thereof. Between the light emitting layer 5 formed on the light emitting layer 5 and the electron injection layer 7 and the electron transport layer 6, the light emitting layer 5, and the transparent electrode 2 formed between the light emitting layer 5 and the cathode electrode 8. And a hole injection layer 3 and a hole transport layer 4 to be formed.

상기 캐소드 전극(8)은 알미늄이나 은으로 구성되어 있는데, 주로 알루미늄으로 형성된다. 이 캐소드 전극은 기판 상에 형성되는 게이트 구동회로에 연결된다. 이 구동회로는 액티브 매트릭스 타입의 경우 스위칭 소자를 포함하며, 캐소드 전극(8) 이 형성되기 전에 기판(1) 표면에 먼저 형성되어 있게 된다. 상기 애노드 전극(2)은 ITO(Indium-Tin-Oxide) 등의 투명 전도성 물질로 형성된다. The cathode electrode 8 is made of aluminum or silver, and is mainly formed of aluminum. This cathode electrode is connected to a gate driving circuit formed on the substrate. This drive circuit includes a switching element in the case of an active matrix type, and is formed first on the surface of the substrate 1 before the cathode electrode 8 is formed. The anode electrode 2 is formed of a transparent conductive material such as indium-tin-oxide (ITO).

이 애노드 전극(2)에는 데이터 구동회로로부터 신호가 인가된다. 캐소드 전 극(8)에서 주사펄스가 공급되고 애노드 전극(2)에서 데이터가 인가되면 애노드 전극(2)으로부터 생성된 정공(hole)은 캐소드 전극(8)쪽으로 가속되고, 캐소드 전극(8)으로부터 생성된 전자는 투명 전극인 애노드 전극(2)쪽으로 가속된다. 전자 주입층(7)은 캐소드 전극(8)으로부터 공급되는 전자(electron)를 전자 수송층(6)으로 공급한다. 전자 수송층(6)은 전자 주입층(7)으로부터 공급된 전자를 가속시켜 발광층(5)으로 공급한다. 정공 주입층(3)은 애노드 전극(2)으로부터 공급되는 정공을 정공 수송층(4)으로 공급한다. 정공 수송층(4)을 통해 공급된 정공과 전자 수송층(6)을 통해 공급된 전자는 발광층(5)의 중심부에서 충돌한다. 이때 발광층(5)에서는 전자와 정공이 재결합(recombination)함으로써 가시광선의 빛이 발생하게 된다. 이러한 가시광선은 투명전극을 통하여 외부로 나오게 되어 소정의 영상을 표시하게 된다.A signal is applied to the anode electrode from the data driving circuit. When a scanning pulse is supplied at the cathode electrode 8 and data is applied at the anode electrode 2, holes generated from the anode electrode 2 are accelerated toward the cathode electrode 8 and from the cathode electrode 8. The generated electrons are accelerated toward the anode electrode 2 which is a transparent electrode. The electron injection layer 7 supplies electrons supplied from the cathode electrode 8 to the electron transport layer 6. The electron transport layer 6 accelerates and supplies electrons supplied from the electron injection layer 7 to the light emitting layer 5. The hole injection layer 3 supplies holes supplied from the anode electrode 2 to the hole transport layer 4. Holes supplied through the hole transport layer 4 and electrons supplied through the electron transport layer 6 collide at the center of the light emitting layer 5. In this case, in the light emitting layer 5, light of visible light is generated by recombination of electrons and holes. The visible light comes out through the transparent electrode to display a predetermined image.

위의 구조에서 애노드 전극(2) 및 정공 주입층(3)은 유리 기판(1) 위에 ITO, IZO, ITZO 등의 물질을 사진 식각법(Photolithgraphy)에 의해 차례로 형성된다.In the above structure, the anode electrode 2 and the hole injection layer 3 are sequentially formed on the glass substrate 1 by materials such as ITO, IZO, ITZO, etc. by photolithgraphy.

정공관련층, 발광층 및 전자관련층은 저분자 화합물인 경우에는 진공증착 또는 기상 유기물 증착법에 의해 증착된다. 유기 EL소자의 발광층은 대기 중의 수분 및 산소에 쉽게 열화 되는 특성으로 인하여 인캡슐레이션(Encapsulation) 방법에 따라 에폭시 수지와 같은 씨일제를 사이에 두고 애노드 전극과 패키징판이 합착된다.The hole related layer, the light emitting layer and the electron related layer are deposited by vacuum deposition or vapor phase organic vapor deposition in the case of low molecular weight compounds. The light emitting layer of the organic EL device is easily deteriorated by moisture and oxygen in the air, and thus, the anode electrode and the packaging plate are bonded to each other with a sealing agent such as an epoxy resin interposed according to an encapsulation method.

유기 EL의 패터닝 방법은 일반적으로 섀도우 마스크(shadow mask)가 많이 이용된다.The patterning method of organic EL generally uses a shadow mask.

좀 더 자세하게, 상기 유기발광소자의 제조를 위한 투명 절연성 기판 상에 진공증착공정에 의해 유기물 다층막을 증착할 때, 상기 기판의 소자형성영역 상에만 유기물 다층막을 증착하고 상기 기판의 나머지 영역 상에 상기 다층막을 증착하지 않도록 하기 위해, 섀도우마스크(shadow mask)를 사용하는 것이 일반적이다. In more detail, when depositing an organic multilayer film by a vacuum deposition process on a transparent insulating substrate for manufacturing the organic light emitting device, the organic multilayer film is deposited only on the device forming region of the substrate and the rest on the remaining region of the substrate In order not to deposit a multilayer film, it is common to use a shadow mask.

상기 섀도우마스크는 주로 자성체인 금속판으로 구성되며, 상기 금속판에 상기 유기물 다층막을 위한 유기물의 통과를 위한 관통홀이 상기 소자형성영역에 대응하여 형성된다. 상기 섀도우마스크는 상기 유기발광소자의 품위와 전체 수율에 상당히 큰 영향을 미치므로 상기 섀도우마스크의 중요성이 더욱 높아지고 있다.The shadow mask is mainly composed of a metal plate which is a magnetic material, and through holes for passing organic materials for the organic multilayer film are formed in the metal plate corresponding to the device formation region. Since the shadow mask has a great influence on the quality and overall yield of the organic light emitting device, the shadow mask is more important.

이하, 첨부 도면을 참조하여 종래 기술에 따른 섀도우 마스크에 대하여 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, a shadow mask according to the prior art will be described with reference to the accompanying drawings.

도 2는 종래의 프레임과 분리된 섀도우 마스크의 분리 평면도이다. 2 is an exploded plan view of a shadow mask separated from a conventional frame.

종래의 유기 전계 발광 소자의 제조에 사용되는 섀도우 마스크는 EL 기판(미도시)상에 R,G,B의 유기물층을 형성하기 위해서 유기물층에 대응되는 영역에 유기물층이 통과할 수 있도록 관통홀(23)이 형성되어 있는 마스크 시트(22)와, 상기 마스크 시트(22)를 고정시키기 위해 가장자리에 사각틀 형태로 구성된 프레임(21)으로 구성되어 있다. The shadow mask used in the manufacture of a conventional organic electroluminescent device is a through-hole 23 to allow the organic material layer to pass through the region corresponding to the organic material layer in order to form an organic material layer of R, G, B on the EL substrate (not shown). The mask sheet 22 is formed, and the frame 21 is formed in the form of a square frame at the edge in order to fix the mask sheet 22.

상기 유기 전계 발광 소자용으로 제작되는 섀도우 마스크는 50㎛ 이하의 얇은 금속판으로 되어 있어 휘어짐 현상이 발생하기 쉽다. 이에 따라서, 인장기를 사용하여 도 2에 화살표로 나타낸 바와 같이 텐션(tension)을 가한 상태에서 용접(welding)을 통해서 마스크 시트(22)를 프레임(21)에 고정시켜서 섀도우 마스크 를 제작한다. The shadow mask fabricated for the organic electroluminescent device is made of a thin metal plate having a thickness of 50 μm or less, so that warpage is likely to occur. Accordingly, a shadow mask is manufactured by fixing the mask sheet 22 to the frame 21 by welding in a state where tension is applied as shown by an arrow in FIG. 2 using a tensioner.

이때 텐션력에 의해 마스크 시트(22)의 변형이 발생하여 유기 전계 발광 소자의 화소영역과 대응되지 않고 어긋나는 문제가 발생한다. At this time, deformation of the mask sheet 22 occurs due to the tension force, which causes a problem that the mask sheet 22 does not correspond to the pixel region of the organic EL device.

그리고, 유기 전계 발광 소자가 대면적화 됨에 따라서 섀도우 마스크도 필연적으로 대면적화 되어야 하는데, 섀도우 마스크에 화소영역에 대응되도록 관통홀(23)과 같은 균일한 패턴을 형성해야 하는데, 대면적 마스크 시트(22)에 에칭 공정으로 균일한 관통홀(23)을 형성하기가 어렵다. In addition, as the organic EL device becomes larger, the shadow mask inevitably needs to be made larger, and a uniform pattern such as the through hole 23 is formed in the shadow mask so as to correspond to the pixel area. It is difficult to form a uniform through hole 23 by the etching process.

그리고, 대면적 마스크 시트(22)는 중력에 의해서 아래로 처지는 현상이 발생함으로 유기 전계 발광 소자에 균일한 유기물층을 형성하기가 어렵다. In addition, the large-area mask sheet 22 sags downward due to gravity, and thus it is difficult to form a uniform organic material layer on the organic EL device.

본 발명은 상기와 같은 문제를 해결하기 위하여 안출한 것으로 특히, 프레임 변형을 방지할 수 있는 유기 전계 발광 소자 제작용 섀도우 마스크를 제공하는데 그 목적이 있다. The present invention has been made to solve the above problems, and in particular, an object of the present invention is to provide a shadow mask for manufacturing an organic EL device capable of preventing the frame deformation.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 섀도우 마스크는 분리되어 구성된 복수개의 마스크 시트와; 상기 분리된 마스크 시트가 고정되도록 전체 외곽부에 구성된 프레임과; 상기 마스크 시트의 분리된 하부를 커버하도록 상기 프레임에 삽입되어 고정된 보강대를 포함함을 특징으로 한다. A shadow mask according to the present invention for achieving the above object is a plurality of mask sheets configured separately; A frame configured on an entire outer edge of the separated mask sheet to be fixed; And a reinforcing bar inserted and fixed to the frame to cover the separated lower portion of the mask sheet.

상기 프레임에는 상기 보강대를 삽입 고정시키기 위해서 상기 마스크 시트의 분리된 하부에 대응되는 부분에 홈이 구성되어 있음을 특징으로 한다. The frame is characterized in that the groove is formed in a portion corresponding to the separated lower portion of the mask sheet for inserting and fixing the reinforcing bar.

상기 마스크 시트에는 복수개의 관통홀이 형성되어 있음을 특징으로 한다. A plurality of through holes is formed in the mask sheet.

상기 보강대는 상기 마스크 시트 사이를 하부에서 커버하도록 그 하부에 동일 방향으로 배열되어 있음을 특징으로 한다. The reinforcing rod is characterized in that it is arranged in the same direction under the cover to cover between the mask sheet from the bottom.

상기 보강대는 단면이 직사각형인 직육면체로 구성하는 것을 특징으로 한다. The reinforcing bar is characterized by consisting of a rectangular parallelepiped having a rectangular cross section.

상기 보강대는 단면이 삼각형 또는 반원 모양을 갖도록 구성하는 것을 더 포함함을 특징으로 한다. The reinforcing bar is characterized in that it further comprises a cross section configured to have a triangular or semi-circular shape.

상기 마스크 시트는 INVAR(불변강, 철63.5% 니켈 36.5%를 첨가한 열팽창계수가The mask sheet has a coefficient of thermal expansion added with INVAR (constant steel, iron 63.5% nickel 36.5%).

작은 합금)으로 구성함을 특징으로 한다. Small alloy).

상기 보강대는 상기 마스크 시트와 동일 물질로 구성함을 특징으로 한다. The reinforcing rod is characterized in that it is made of the same material as the mask sheet.

상기 마스크 시트는 상기 프레임에 용접되어 고정됨을 특징으로 한다. The mask sheet is characterized in that the welding is fixed to the frame.

상기 마스크 시트는 상기 보강대에도 용접되어 고정되는 것을 더 포함함을 특징으로 한다. The mask sheet is characterized in that it further comprises a welded and fixed to the reinforcement.

이하, 상기의 특징을 갖는 본 발명을 설명하기에 앞서서, 상기 본 발명에 적용하기 위한 분리된 섀도우 마스크에 대하여 설명한다. Hereinafter, before describing the present invention having the above characteristics, a separate shadow mask for applying to the present invention will be described.

도 3은 본 발명을 적용하기 위한 분할형 섀도우 마스크의 구조 단면도이다. 3 is a structural cross-sectional view of a split shadow mask for applying the present invention.

종래에는 대면적 유기 전계 발광 소자와 대응되도록 마스크 시트를 1장으로 구성하여 섀도우 마스크가 구성되었다. 그러나 이와 같이 대면적으로 섀도우 마스크를 제작할 때, 마스크 시트를 1장으로 구성하면 상기와 같이 마스크 처짐과 같은 문제가 발생하고, 이에 따라 유기 전계 발광 소자의 정확한 위치에 유기물층을 구성시키는 것이 어려워진다. Conventionally, a shadow mask is constructed by configuring one sheet of mask sheet so as to correspond to a large area organic EL device. However, when manufacturing the shadow mask in such a large area, if the mask sheet is composed of one sheet, problems such as mask deflection occur as described above, and thus, it becomes difficult to form the organic material layer at the correct position of the organic EL device.

상기와 같은 문제를 해결하기 위한 섀도우 마스크는, 도 3에 도시한 바와 같이, 마스크 시트(32)를 분리하여 복수개 구성하고, 분리된 마스크 시트(32)를 고정하도록 마스크 시트(32)의 전체 외곽부에 프레임(31)을 구성하여 형성된다. As shown in FIG. 3, a shadow mask for solving the above-described problems is formed by separating a plurality of mask sheets 32, and the entire outer edge of the mask sheet 32 to fix the separated mask sheets 32. The frame 31 is formed in the part.

즉, 마스크 시트(32)를 1장의 대면적 시트로 제작하지 않고 여러 개의 작은 면적을 갖도록 나누어 제작하였다. That is, the mask sheet 32 was produced by dividing the mask sheet 32 into several small areas without producing one large area sheet.

이와 같이 마스크 시트(32)를 분리하여 복수개 구성하면, 각 마스크 시트(32)에 유기물층 형성을 위한 관통홀(33)을 형성하는 것도 용이해지고, 마스크 시트(32)가 중력에 의해서 아래로 처지는 현상도 완화시킬 수 있다. When the plurality of mask sheets 32 are separated and constituted as described above, it is also easy to form through holes 33 for forming an organic material layer in each mask sheet 32, and the mask sheet 32 sags downward due to gravity. It can also be alleviated.

그리고, 상기와 같이 일정 간격 이격된 복수개의 마스크 시트(32)는 인장기를 사용하여 텐션(tension)을 가한 상태에서 용접(welding)을 통해서 프레임(31)에 고정시켜서 섀도우 마스크를 제작한다. In addition, the plurality of mask sheets 32 spaced apart as described above are fixed to the frame 31 by welding in a state where tension is applied using a tensioner to manufacture a shadow mask.

그러나, 상기와 같이 마스크 시트(32)를 나누어 구성하더라도, 마스크 시트(32)에 텐션이 가해진 상태에서 마스크 시트(32)를 프레임(31)에 용접하여 고정시키는 것이므로, 프레임(31)이 변형되는 문제가 있다. However, even if the mask sheet 32 is divided and configured as described above, the mask sheet 32 is welded and fixed to the frame 31 in a state where tension is applied to the mask sheet 32, so that the frame 31 is deformed. there is a problem.

이에 의해서, 섀도우 마스크의 관통홀이 유기 전계 발광 소자의 화소영역과 대응되지 않고 어긋나는 문제가 여전히 발생한다. As a result, the through-hole of the shadow mask does not correspond to the pixel region of the organic EL device, and the problem still occurs.

또한, 상기와 같이 마스크 시트(32)를 나누어 구성할 경우, 마스크 시트(32)의 분리된 영역이 노출되는 문제가 발생한다. In addition, when the mask sheet 32 is divided and configured as described above, a problem arises in which the separated area of the mask sheet 32 is exposed.

이에, 본 발명에서는 상기와 같이 마스크 시트의 프레임이 변형되는 문제 및 마스크 시트의 분리된 영역이 노출되는 문제를 해결하기 위한 섀도우 마스크에 대하여 설명하기로 한다. Thus, the shadow mask for solving the problem of the deformation of the frame of the mask sheet and the problem of exposing the separated region of the mask sheet as described above will be described.

이하, 첨부 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 섀도우 마스크에 대하여 설명하면 다음과 같다. Hereinafter, a shadow mask according to a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 분할형 섀도우 마스크의 구조 단면도이다. 4 is a structural cross-sectional view of the divided shadow mask according to the embodiment of the present invention.

본 발명의 실시예에 따른 섀도우 마스크는, 유기 전계 발광 소자의 R,G,B 발광층을 형성할 때 사용되는 것으로, 도 4에 도시된 바와 같이, 마스크 시트(42)를 분리하여 복수개 구성하고, 분리된 마스크 시트(42)를 고정하도록 마스크 시트(42)의 전체 외곽부에 프레임(41)이 구성되어 있고, 상기 마스크 시트(42)의 분리된 부분에 대응되는 프레임(41)에 복수개의 홈(44)이 형성되어 있고, 상기 마스크 시트(42)의 분리된 부분을 하부에서 커버하도록 상기 홈(44)에 삽입되어 있는 보강대(45)로 구성되어 있다. 이때 마스크 시트(42)에는 각 화소영역에 R,G,B 발광층을 형성하기 위해서 각 화소영역 대응되는 부분에 관통홀(43)이 형성되어 있다. The shadow mask according to the embodiment of the present invention is used to form R, G, and B light emitting layers of the organic EL device. As shown in FIG. 4, a plurality of mask sheets 42 are separated and constituted. A frame 41 is formed in the entire outer portion of the mask sheet 42 to fix the separated mask sheet 42, and a plurality of grooves are formed in the frame 41 corresponding to the separated portion of the mask sheet 42. 44 is formed, and is comprised by the reinforcement stand 45 inserted in the said groove 44 so that the separated part of the said mask sheet 42 may be covered from the bottom. At this time, the through-hole 43 is formed in the mask sheet 42 to correspond to each pixel region in order to form R, G, and B light emitting layers in each pixel region.

상기에서와 같이, 마스크 시트(42)를 1장의 대면적 시트로 제작하지 않고 여러 개의 작은 면적을 갖도록 나누어 제작하고, 마스크 시트(42)의 분리된 부분을 하부에서 보강대(45)로 가려주었다. As described above, the mask sheet 42 was manufactured by dividing the mask sheet 42 into several small areas instead of one large area sheet, and the separated portion of the mask sheet 42 was covered by the reinforcing bar 45 at the bottom.

이때, 보강대(45)는 도 4에 도시한 바와 같이, 마스크 시트(42) 사이를 커버하도록 그 하부에 동일 방향으로 배열되며, 단면이 직사각형인 직육면체로 구성할 수도 있고, 단면이 삼각형 또는 반원 모양을 갖도록 구성할 수도 있다. At this time, as shown in Figure 4, the reinforcing bar 45 is arranged in the same direction in the lower portion so as to cover between the mask sheets 42, may be composed of a rectangular parallelepiped cross-section, the cross section is triangular or semi-circular It can also be configured to have.

상기 보강대(45)를 삽입하여 고정시키기 위한 홈(44)은 상기 보강대(45)의 단면 형상에 맞게 구성되어 있고, 보강대(45)가 프레임(41)이 휘는 것을 잡아주기 위해서, 마스크 시트(42)의 분리된 부분의 프레임(41)에 대응되는 위치에 형성되어 있다. The groove 44 for inserting and fixing the reinforcing bar 45 is configured to conform to the cross-sectional shape of the reinforcing bar 45, and the reinforcing bar 45 holds the mask sheet 42 in order to hold the frame 41 bent. It is formed at a position corresponding to the frame 41 of the separated portion of the ().

그리고, 상기 마스크 시트(42)는 온도에 따른 변형율이 적고, 녹이 슬지 않는 INVAR(불변강, 철63.5% 니켈 36.5%를 첨가한 열팽창계수가 작은 합금)로 구성할 수 있는데, 이때 상기 프레임(41) 및 보강대(45)도 상기 마스크 시트(42)와 동일 물질로 구성할 수 있다. In addition, the mask sheet 42 may be formed of INVAR (an alloy having a low thermal expansion coefficient added with 36.5% of iron, 63.5% iron, invariant steel), which has a low strain rate according to temperature and does not rust. ) And the reinforcing table 45 may also be made of the same material as the mask sheet 42.

상술한 바와 같이, 마스크 시트(42)를 분리하여 복수개 구성하면, 각 마스크 시트(42)에 유기물층 형성을 위한 관통홀(33)을 형성하는 것이 용이하고, 마스크 시트(42)가 중력에 의해서 아래로 처지는 현상도 완화시킬 수 있다. As described above, when a plurality of mask sheets 42 are separated and configured, it is easy to form through holes 33 for forming an organic material layer in each mask sheet 42, and the mask sheet 42 is lowered by gravity. This can also alleviate the drooping phenomenon.

상기와 같이 구성된 섀도우 마스크는, 일정 간격 이격된 복수개의 마스크 시트(42)를 인장기를 사용하여 텐션(tension)을 가한 상태에서 용접(welding)을 통해서 프레임(41)에 고정시켜서 제작한다. 이때, 보강대(45)도 상기 마스크 시트(42)와 용접되어 고정될 수 있다. The shadow mask constructed as described above is manufactured by fixing the plurality of mask sheets 42 spaced at regular intervals to the frame 41 by welding in a state in which tension is applied using a tensioner. In this case, the reinforcing bar 45 may also be fixed by welding the mask sheet 42.

상기와 같이 마스크 시트(42)를 나누어 구성하고, 마스크 시트(42)에 텐션이 가해진 상태에서 마스크 시트(42)를 프레임(41)에 용접하여 고정시키더라도, 프레임(41)의 홈(44)에 보강대(45)가 삽입되어 있으므로, 프레임(41)이 변형되는 문제를 방지할 수 있다. Even if the mask sheet 42 is divided and configured as described above, and the mask sheet 42 is welded and fixed to the frame 41 in a state where tension is applied to the mask sheet 42, the grooves 44 of the frame 41 are fixed. Since the reinforcement stand 45 is inserted in the frame, the problem that the frame 41 is deformed can be prevented.

이에 의해서, 섀도우 마스크의 관통홀(43)이 유기 전계 발광 소자의 화소영역과 대응되도록 구성할 수 있다. As a result, the through hole 43 of the shadow mask may be configured to correspond to the pixel area of the organic EL device.

또한, 상기에서 마스크 시트(42)의 분리된 하부를 보강대(45)가 커버하여 줌으로, 유기 전계 발광 소자의 화소영역에 R,G,B 발광층을 안정적으로 형성시킬 수 있다.In addition, since the reinforcing bar 45 covers the separated lower portion of the mask sheet 42, the R, G, and B light emitting layers may be stably formed in the pixel area of the organic EL device.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit of the invention.

따라서, 본 발명의 기술 범위는 상기 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라, 특허 청구의 범위에 의하여 정해져야 한다.Accordingly, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the above embodiments, but should be determined by the claims.

상기와 같은 본 발명에 따른 섀도우 마스크는 다음과 같은 효과가 있다. The shadow mask according to the present invention as described above has the following effects.

첫째, 마스크 시트를 나누어 구성하고, 마스크 시트에 텐션이 가해진 상태에서 마스크 시트를 프레임에 용접하여 고정시키더라도, 프레임의 홈에 보강대가 삽입되어 있으므로, 프레임이 휘거나 수축되어 변형되는 문제를 방지할 수 있다. First, even if the mask sheet is divided and configured, even if the mask sheet is welded and fixed to the frame while the tension is applied to the mask sheet, since the reinforcement is inserted into the groove of the frame, the frame is prevented from being deformed or deformed and deformed. Can be.

둘째, 마스크 시트의 분리된 하부를 보강대가 커버하여 줌으로, 유기 전계 발광 소자의 화소영역에 R,G,B 발광층을 안정적으로 형성시킬 수 있다.Second, as the reinforcing bar covers the separated lower portion of the mask sheet, the R, G, and B light emitting layers may be stably formed in the pixel area of the organic EL device.

Claims

분리되어 구성되며 각각의 상측에 복수개의 관통홀이 형성된 복수개의 마스크 시트들과; A plurality of mask sheets configured separately and each having a plurality of through holes formed thereon;

상기 분리된 마스크 시트가 고정되도록 전체 외곽부에 구성된 프레임과; A frame configured on an entire outer edge of the separated mask sheet to be fixed;

분리된 상기 마스크 시트들의 하부를 커버하도록 상기 프레임에 삽입되어 고정되고, 분리된 각각의 상기 프레임을 연결하도록 동일 방향으로 나란히 배열되며, 단면이 반원 또는 다각형의 형상으로 형성되는 보강대를 포함하고, Inserted and fixed to the frame to cover the lower portion of the separated mask sheets, arranged side by side in the same direction to connect each of the separated frames, and includes a reinforcement cross-section formed in the shape of a semi-circle or polygon,

상기 프레임에는 상기 보강대를 삽입 고정시키기 위해서 상기 마스크 시트의 분리된 하부에 대응되는 부분에 형성된 홈을 포함하는 것을 특징으로 하는 섀도우 마스크.The frame has a shadow mask, characterized in that it comprises a groove formed in a portion corresponding to the separated lower portion of the mask sheet for fixing the reinforcement.

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제 1 항에 있어서, The method of claim 1,

상기 마스크 시트는 INVAR(불변강, 철63.5% 니켈 36.5%를 첨가한 열팽창계수가 작은 합금)로 구성함을 특징으로 하는 섀도우 마스크.The mask sheet is a shadow mask, characterized in that composed of INVAR (constant alloy, alloy having a low coefficient of thermal expansion with addition of iron 63.5% nickel 36.5%).

제 1 항에 있어서, The method of claim 1,

상기 보강대는 상기 마스크 시트와 동일 물질로 구성함을 특징으로 하는 섀도우 마스크.The shadow mask is characterized in that the shadow mask is composed of the same material as the mask sheet.

제 1 항에 있어서, The method of claim 1,

상기 마스크 시트는 상기 프레임에 용접되어 고정됨을 특징으로 하는 섀도우 마스크.The mask sheet is characterized in that the shadow mask is welded to the frame fixed.

제 1 항에 있어서, The method of claim 1,

상기 마스크 시트는 상기 보강대에도 용접되어 고정되는 것을 더 포함함을 특징으로 하는 섀도우 마스크.And the mask sheet is welded to and fixed to the reinforcement.