KR101284248B1 - 기판 반송용 오링 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 또는 FPD(Flat Panel Display) 제조공정의 생산설비에서 기판을 전공정에서 후속공정으로 반송하는 기판 반송장치에 관한 기술로서, 기판과 오링의 상호간 미끌림 현상을 방지하는 한편 반송 도중에 기판의 좌우 틀어짐을 방지하여 정확성을 높이므로 기판의 탈선을 막고, 후속공정의 오동작을 방지하여 제품의 품질을 더욱 높이는 기판 반송용 오링에 관한 것이다.
이러한 본 발명의 실시예에 따른 주요 구성은 기판을 전공정에서 후속공정으로 반송하는 기판 반송장치에 있어서, 반송롤러의 외주연에 끼워져 설치되는 오링의 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부와 홈부를 형성하여 구현된다.
또한 본 발명의 바람직한 실시예로서, 오링의 외주면에 형성되는 돌기부와 홈부는 각각 사각 형태로 구현되고, 서로 번갈아 형성되는 한편 오링의 외주면에 2줄로 구현되며, 상기 2줄로 구현된 돌기부와 홈부가 서로 교호되게 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 반송용 오링 {Substrate carrier for O-rings}
본 발명은 반도체 또는 FPD(Flat Panel Display) 제조공정의 생산설비에서 기판을 전공정에서 후속공정으로 반송하는 기판 반송장치에 관한 기술로서, 보다 상세하게 설명하면 기판 반송장치에서 반송롤러의 외주연에 끼워져 설치되는 오링의 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부와 홈부가 구현되어 기판과의 마찰력을 높이도록 구성됨으로써, 기판과 오링의 상호간 미끌림 현상을 방지하는 한편 반송 도중에 기판의 좌우 틀어짐을 방지하여 정확성을 높이므로 기판의 탈선을 막고, 후속공정의 오동작을 방지하여 제품의 품질을 더욱 높이는 기판 반송용 오링에 관한 것이다.
일반적으로 브라운관(CRT;Cathod Ray Tube)의 여러가지 단점들을 개선하기 위한 대체 기술로서, 최근 FPD(Flat Panel Display)가 주목받고 있으며, 이러한 FPD는 박형화, 대형화, 경량화 및 소비전력 절감화 등의 장점 때문에 그 사용이 점차 확대되고 있다.
최근에 제조되고 있는 FPD는 액정표시소자(LCD;Liquid Crystal Display), ELD(Electro Luminescence Display), FED(Field Emission Display), LED(Light Emitting Diode), PDP(Plasma Display Panel), VFD(Vacuum Fluorescent Display) 등으로 구분된다.
FPD 제조공정은 기판 제조공정 - 셀 제조공정 - 모듈 제조공정 등으로 수행되며, 여기서 기판 제조공정은 기판 상에 패턴들을 형성하기 위한 공정으로서, 세정공정을 시작으로 포토 레지스트 형성, 노광, 현상, 식각, 포토 레지스트 제거로 이루어지는 패터닝 공정을 수행한 후, 검사 공정을 거친다.
상기의 기판 제조공정에서 여러 공정들을 단계적으로 수행하기 위해서는 기판을 전공정에서 후공정으로 반송 또는 이송하는 과정이 필요하며, 이러한 과정은 기판 반송장치에 의해 수행되고, 상기 기판 반송장치는 대부분 다수개의 반송용 롤러를 적용하여 기판을 반송 또는 이송하고 있다.
종래 기판 반송장치를 개략적으로 살펴보면, 도면에서 도 1 내지 도 2와 같이, 모터로부터 구동력을 전달받아 회전하는 구동축(10)과, 상기 구동축(10)에 일정한 간격으로 구현된 다수개의 반송롤러(20)와, 상기 반송롤러(20)의 외주연에 끼워져 설치되고, 기판(40)의 저면부와 접촉하여 기판(40)을 일방향으로 전진시키는 오링(30)으로 구성되어 있다.
상기에서 기판 반송장치는 기판이 로딩부에 로딩되면, 모터의 구동력이 구동축으로 전달되어 구동축과 반송롤러 및 오링이 일방향으로 회전함에 따라 기판을 수평상으로 이동시켜 언로딩부로 이송하게 된다.
종래 기판 반송장치에서 오링은 기판과의 마찰력을 높이고자 고무 또는 합성수지 재질로 구현되며, 모터의 구동력을 전달받아 구동축이 회전할 경우, 오링의 외주면과 기판의 저면부 표면이 접촉하여 그 마찰력으로 기판이 이송되는 방식이나, 오링의 외주면과 기판의 저면부 표면이 선접촉되고, 오링과 기판의 표면이 매끄럽기 때문에 마찰력이 낮으므로 상호간 미끌림 현상이 발생하는 한편 기판이 좌우로 틀어지고, 탈선을 야기하는 문제점이 있었다.
특히, 기판의 세정공정에서 물이나 약품 용액이 기판의 표면에 묻을 경우, 수막현상으로 인하여 기판과 오링의 마찰력이 더욱 낮으므로 상호간 미끌림 현상이 심하고, 기판이 좌우로 틀어져 정확성이 떨어짐으로써, 후속공정에 오동작이 발생하는 한편 제품의 품질이 저하되는 문제점들이 있었다.
본 발명은 종래 기판 반송장치에서 기판과 오링이 선접촉하고, 표면이 매끄러워 마찰력이 낮으므로 상호간 미끌림 현상이 발생하는 한편 반송 도중에 기판이 좌우로 틀어지고, 탈선을 야기하는 문제점들을 개선하고자 안출된 기술로서, 기판 반송장치에서 반송롤러의 외주연에 끼워져 설치되는 오링의 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부와 홈부가 구현되어 기판과의 마찰력을 높이도록 구성되는 기판 반송용 오링을 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상기와 같은 소기의 목적을 실현하고자,
기판을 전공정에서 후속공정으로 반송하는 기판 반송장치에 있어서, 반송롤러의 외주연에 끼워져 설치되는 오링의 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부와 홈부를 형성하여 구현된다.
또한 본 발명의 바람직한 실시예로서, 오링의 외주면에 형성되는 돌기부와 홈부는 각각 사각 형태로 구현되고, 서로 번갈아 형성되는 한편 오링의 외주면에 2줄로 구현되며, 상기 2줄로 구현된 돌기부와 홈부가 서로 교호되게 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 바람직한 실시예로서, 오링의 외주면에 형성되는 돌기부와 홈부는 각각 일자 형태로 구현되고, 서로 번갈아 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 바람직한 실시예로서, 오링의 외주면에 형성되는 돌기부와 홈부는 각각 마름모 형태로 연결되어 구현되고, 오링의 외주면에 복수줄로 형성되는 한편 돌기부와 홈부가 서로 교호되게 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 실시예에 의하면, 기판 반송장치에서 반송롤러의 외주연에 끼워져 설치되는 오링의 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부와 홈부가 구현되어 기판과의 마찰력을 높이도록 구성됨으로써, 기판과 오링의 상호간 미끌림 현상을 방지하는 한편 반송 도중에 기판의 좌우 틀어짐을 방지하여 정확성을 높이므로 기판의 탈선을 막고, 후속공정의 오동작을 방지하여 제품의 품질을 더욱 높이는 효과를 제공하는 것이다.
특히, 본 발명의 실시예는 오링의 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부와 홈부가 구현됨에 따라 세정공정에서 물이나 약품 용액이 기판의 표면에 묻더라도 기판과 오링의 마찰력이 높으므로 상호간 미끌림 현상을 방지하는 한편 반송 도중에 기판의 좌우 틀어짐을 방지하여 정확성을 높이는 효과를 제공하는 것이다.
도 1은 종래 기판 반송장치를 나타낸 요부 사시도.
도 2는 종래 기판 반송장치를 나타낸 요부 정면도.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송장치를 나타낸 요부 사시도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송용 오링을 나타낸 사시도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송용 오링에서 돌기부와 홈부의 실시예를 나타낸 구성도.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송용 오링의 요부 구성도.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송용 오링의 요부 단면도.
본 발명의 실시예에서 주된 요지는 기판 반송장치에서 오링의 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부와 홈부를 구현하여 기판과의 마찰력을 높이므로 기판과 오링의 상호간 미끌림 현상을 방지하는 한편 반송 도중에 기판의 좌우 틀어짐을 방지하여 정확성을 높이므로 기판의 탈선을 막고, 후속공정의 오동작을 방지하여 제품의 품질을 더욱 높이고자 하는 것이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예에 따른 기판 반송용 오링의 주요 구성을 살펴보면, 기판을 전공정에서 후속공정으로 반송하는 기판 반송장치에 있어서, 반송롤러(20)의 외주연에 끼워져 설치되는 오링(30)의 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부(31)와 홈부(32)를 형성하여 이루어진다.
또한 본 발명의 바람직한 실시예로서, 오링(30)의 외주면에 형성되는 돌기부(31)와 홈부(32)는 각각 사각 형태로 구현되고, 서로 번갈아 형성되는 한편 오링(30)의 외주면에 2줄로 구현되며, 상기 2줄로 구현된 돌기부(31)와 홈부(32)가 서로 교호되게 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 바람직한 실시예로서, 오링(30)의 외주면에 형성되는 돌기부(31)와 홈부(32)는 각각 일자 형태로 구현되고, 서로 번갈아 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한 본 발명의 바람직한 실시예로서, 오링(30)의 외주면에 형성되는 돌기부(31)와 홈부(32)는 각각 마름모 형태로 연결되어 구현되고, 오링(30)의 외주면에 복수줄로 형성되는 한편 돌기부(31)와 홈부(32)가 서로 교호되게 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 실시예의 주요 구성에서 기판 반송장치는 도면에서 도 3과 같이, 모터로부터 구동력을 전달받아 회전하는 구동축(10)과, 상기 구동축(10)에 일정한 간격으로 구현된 다수개의 반송롤러(20)와, 상기 반송롤러(20)의 외주연에 끼워져 설치되고, 기판(40)의 저면부와 접촉하여 기판(40)을 일방향으로 전진시키는 오링(30)으로 구성된다.
상기에서 구동축(10)은 기판(40)의 반송 거리에 따라 일정한 간격으로 다수가 설치되고, 상기 구동축(10)에 설치된 오링(30)의 상부에 기판(40)이 수평상으로 놓이며, 모터의 구동력을 전달받아 구동축(10)이 회전할 경우, 기판(40)이 일방향으로 전진 이송된다.
본 발명의 실시예에서 오링(30)은 기판(40)과의 마찰력을 높이고자 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부(31)와 홈부(32)가 구현되는 것으로서, 도면에서 도 4 내지 도 5와 같이, 외주면에 양각과 음각으로 돌기부(31)와 홈부(32)를 구현할 경우, 기판(40)의 저면부 표면과 마찰력을 높이므로 기판(40)과 오링(30)의 상호간 미끌림 현상을 방지할 수 있다.
한편 오링(30)의 외주면에 구현되는 돌기부(31)와 홈부(32)는 도면에서 도 5의 (a)와 같이, 각각 사각 형태로 구현할 수 있고, 상기 돌기부(31)와 홈부(32)가 서로 번갈아 반복적으로 형성되는 한편 오링(30)의 외주면에 2줄로 구현되며, 상기 2줄로 구현되는 돌기부(31)와 홈부(32)가 서로 대칭으로 교호되게 구성됨이 바람직하다.
상기에서 돌기부(31)와 홈부(32)가 서로 번갈아 2줄로 구현되어 대칭으로 교호되게 구성될 경우, 양측부에 2줄로 구현된 돌기부(31)가 기판(40)의 표면과 마찰되어 기판(40)의 반송 도중에 기판(40)의 좌우 틀어짐을 잡아주므로 반송의 정확성을 높이는 한편 기판(40)과 오링(30)의 미끌림 현상을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한 오링(30)의 외주면에 구현되는 돌기부(31)와 홈부(32)의 다른 실시예로서, 도면에서 도 5의 (b)와 같이, 돌기부(31)와 홈부(32)를 각각 일자 형태로 구현할 수 있고, 상기 돌기부(31)와 홈부(32)가 서로 번갈아 반복적으로 형성됨이 바람직하다.
상기에서 돌기부(31)와 홈부(32)가 각각 일자 형태로 서로 번갈아 형성될 경우, 기판의 세정공정에서 물이나 약품 용액이 기판의 표면에 묻더라도 홈부(32)에서 배수력이 우수하여 기판(40)과 오링(30)의 마찰력이 높으므로 수막현상으로 인한 미끌림을 효과적으로 방지할 수 있다.
또한 오링(30)의 외주면에 구현되는 돌기부(31)와 홈부(32)의 또다른 실시예로서, 도면에서 도 5의 (c)와 같이, 돌기부(31)와 홈부(32)를 각각 마름모 형태로 연결하여 구현할 수 있고, 상기 돌기부(31)와 홈부(32)가 오링(30)의 외주면에 복수줄로 형성되는 한편 돌기부(31)와 홈부(32)가 서로 대칭으로 교호되게 구성됨이 바람직하다.
상기에서 돌기부(31)와 홈부(32)가 각각 마름모 형태로 연결되어 서로 대칭으로 교호되게 구성될 경우, 마름모 형태로 연결된 복수줄의 돌기부(31)가 기판(40)의 표면과 마찰되어 기판(40)의 반송 도중에 좌우 틀어짐을 잡아주고, 복수줄로 구현된 홈부(32)에서 배수력이 우수하여 수막현상으로 인한 미끌림을 효과적으로 방지할 수 있다.
이러한 본 발명의 실시예는 기판 반송장치에서 오링의 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부와 홈부가 구현됨으로써, 기판과 오링의 마찰력을 높이므로 상호간 미끌림 현상을 방지하는 한편 반송 도중에 기판의 좌우 틀어짐을 방지하여 정확성을 높이므로 기판의 탈선을 막고, 후속공정의 오동작을 방지하게 된다.
또한 본 발명의 실시예는 오링의 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부와 홈부가 구현됨에 따라 기판의 세정공정에서 물이나 약품 용액이 기판의 표면에 묻더라도 기판과 오링의 마찰력 및 배수력이 우수하여 상호간 미끌림 현상을 방지하므로 반송의 정확성을 높이게 된다.
상기에서 본 발명의 바람직한 실시예를 참고로 설명 하였으며, 상기의 실시예에 한정되지 아니하고, 상기의 실시예를 통해 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명의 요지를 벗어나지 않는 범위에서 다양한 변경으로 실시할 수 있는 것이다.
10: 구동축 20: 반송롤러
30: 오링 31: 돌기부
32: 홈부 33: 엠보싱

Claims (5)

  1. 모터로부터 구동력을 전달받아 회전하는 구동축(10)과, 상기 구동축(10)에 일정한 간격으로 구현된 다수개의 반송롤러(20)와, 상기 반송롤러(20)의 외주연에 끼워져 설치되고, 기판(40)의 저면부와 접촉하여 기판(40)을 일방향으로 전진시키는 오링(30)으로 구성되어 기판(40)을 전공정에서 후속공정으로 반송하는 기판 반송장치에 있어서,
    상기 반송롤러(20)의 외주연에 끼워져 설치되는 오링(30)의 외주면에 양각과 음각으로 다수개의 돌기부(31)와 홈부(32)를 형성하여 구성되고,
    상기 돌기부(31)와 홈부(32)는 각각 사각형태로 구현되고, 서로 번갈아 반복적으로 형성되는 한편 오링(30)의 외주면에 2줄로 구현되며, 상기 2줄로 구현된 돌기부(31)와 홈부(32)가 서로 대칭으로 교호되게 구성되고, 상기 돌기부(31)의 표면에 엠보싱(33)이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송용 오링.
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