KR101282923B1 - The bonding method of Lambda shape metal-ceramic ultrasonic vibrator - Google Patents

The bonding method of Lambda shape metal-ceramic ultrasonic vibrator Download PDF

Info

Publication number
KR101282923B1
KR101282923B1 KR1020060130720A KR20060130720A KR101282923B1 KR 101282923 B1 KR101282923 B1 KR 101282923B1 KR 1020060130720 A KR1020060130720 A KR 1020060130720A KR 20060130720 A KR20060130720 A KR 20060130720A KR 101282923 B1 KR101282923 B1 KR 101282923B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
jig
lambda
metal
aligned
joining
Prior art date
Application number
KR1020060130720A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20080057436A (en
Inventor
김영덕
김광일
Original Assignee
재단법인 포항산업과학연구원
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 재단법인 포항산업과학연구원 filed Critical 재단법인 포항산업과학연구원
Priority to KR1020060130720A priority Critical patent/KR101282923B1/en
Publication of KR20080057436A publication Critical patent/KR20080057436A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101282923B1 publication Critical patent/KR101282923B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/50—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure
    • H10N30/503—Piezoelectric or electrostrictive devices having a stacked or multilayer structure having a non-rectangular cross-section in a plane orthogonal to the stacking direction, e.g. polygonal or circular in top view
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/20—Piezoelectric or electrostrictive devices with electrical input and mechanical output, e.g. functioning as actuators or vibrators
    • H—ELECTRICITY
    • H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/80—Constructional details
    • H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
    • H10N30/853—Ceramic compositions

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • General Electrical Machinery Utilizing Piezoelectricity, Electrostriction Or Magnetostriction (AREA)

Abstract

본 발명은 메탈세라믹(metal-ceramic) 초음파 진동자의 접합에 관한 것으로, 특히 휴대용 정보통신 기기 등과 같이 가볍고 작으며, 저속에서 큰 토크가 필요한 초음파 모터에 적용하기 위한 초음파 진동자의 접합 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the joining of metal-ceramic ultrasonic vibrators, and more particularly, to a method of joining ultrasonic vibrators for application to an ultrasonic motor which is light and small, such as a portable information communication device, and which requires a large torque at a low speed.

본 발명은 초음파 모터용 메탈 세라믹 진동자에서 메탈과 세라믹을 정밀하게 접합하기 위하여 내부에 정사각형의 돌출부가 있는 람다(Lambda)모양의 치구와; 이보다 높이가 낮고 한쪽 모서리부가 정사각형으로 잘려나가 앞의 치구에 정확하게 결합되는 치구; Lambda 모양의 돌출된 정사각형의 양 변에 낮은 치구 위에서 정확히 정렬될 직사각형의 압전체; 정렬된 직사각형의 압전체 뒷부분을 밀어주어 정확히 정렬되도록 한 2 단 돌출된 Lambda 모양의 치구; 정렬된 압전세라믹 위에 정확히 놓이게 되는 Lambda형 모양의 메탈; 그 메탈 위에 정확히 정렬된 직사각형의 압전체; 2단 돌출 구조의 Lambda 형 치구의 돌출된 2 단에 정확히 정렬되는 구조의 치구를 포함하는 고효율 초음파 진동자 접합을 위한 정렬방법을 제공한다.The present invention includes a lambda-shaped jig having a square protrusion therein for precisely joining metal and ceramic in a metal ceramic vibrator for an ultrasonic motor; Jig lower than this and one edge is cut into a square to be precisely coupled to the front jig; Rectangular piezoelectric elements to be exactly aligned on the lower jig on both sides of the Lambda-shaped protruding square; A two-stage protruding Lambda-shaped jig for pushing back the aligned rectangular piezoelectric body for precise alignment; Lambda shaped metal placed exactly on the aligned piezoceramic; Rectangular piezoelectric elements exactly aligned on the metal; The present invention provides an alignment method for joining a high efficiency ultrasonic vibrator including a jig of a structure that is exactly aligned with a projected two-stage of a Lambda-type jig of a two-stage projecting structure.

Description

람다형 메탈세라믹 초음파 진동자 접합방법 {The bonding method of Lambda shape metal-ceramic ultrasonic vibrator}Lambda shape metal-ceramic ultrasonic vibrator

도 1은 람다형 메탈 세라믹 진동자의 구조도이다.1 is a structural diagram of a lambda type metal ceramic vibrator.

도 2는 람다형 메탈 세라믹 진동자의 조립 방법이다,2 is a method of assembling a lambda type metal ceramic vibrator,

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>Description of the Related Art

3 : 압전체 5 : 메탈3: piezoelectric 5: metal

11 : 제1치구 12 : 제2치구 14 : 제3치구11: 1st fixture 12: 2nd fixture 14: 3rd fixture

16 : 제4치구16: fourth fixture

본 발명은 메탈세라믹(metal-ceramic) 초음파 진동자의 접합에 관한 것으로, 특히 휴대용 정보통신 기기 등과 같이 가볍고 작으며, 저속에서 큰 토크가 필요한 초음파 모터에 적용하기 위한 초음파 진동자의 접합 방법에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to the joining of metal-ceramic ultrasonic vibrators, and more particularly, to a method of joining ultrasonic vibrators for application to an ultrasonic motor which is light and small, such as a portable information communication device, and which requires a large torque at a low speed.

일반적으로 모터에는 전자기 모터와 초음파 모터가 있다. 통상 30W 이상의 출력을 갖는 경우에는 전자기 모터의 효율이 아주 우수하지만, 그 이하의 적은 출력에서는 전자기 모터 코일의 굵기가 가늘어 지면서 손실이 증가하여, 전자기 모터 의 효율이 30% 이하로 출력이 감소하면서 거의 선형적으로 떨어지는 특성이 있다. 반면에 출력에 관계없이 거의 30%의 일정한 효율을 갖는 초음파 모터는 30W 이하에서 효율이 전자기 모터에 비하여 훨씬 높은 소형 모터를 제작할 수 있는 장점이 있어, 미국, 일본을 비롯한 선진국에서 많은 연구가 진행되고 있다.Generally, motors include electromagnetic motors and ultrasonic motors. In general, the efficiency of the electromagnetic motor is very good when the output is 30W or more, but at the lower output, the loss increases as the thickness of the electromagnetic motor coil becomes thinner, and the efficiency of the electromagnetic motor decreases to 30% or less, and the output is almost reduced. There is a characteristic of falling linearly. On the other hand, ultrasonic motors with a constant efficiency of almost 30%, regardless of output, have the advantage of producing smaller motors with a higher efficiency than electromagnetic motors at less than 30W. Therefore, many studies have been conducted in developed countries including the US and Japan. have.

이러한 초음파 모터는 특정한 모양의 금속에 PZT 압전 세라믹을 접합하여 전기적 여기에 의해 압전 세라믹이 금속을 진동하여 특정 주파수에서 공진을 만들어 낸다. 이때 만들어진 공진 모드 중 서로 직각되는 공진 모드의 변위를 동시에 발생시켜 타원 운동을 만들어내 모터의 구동력으로 사용한다.Such an ultrasonic motor bonds a PZT piezoelectric ceramic to a metal of a specific shape, and the piezoelectric ceramic vibrates the metal by electrical excitation to generate a resonance at a specific frequency. At this time, the displacements of the resonance modes that are perpendicular to each other in the resonance modes are generated at the same time to generate an elliptic motion and use it as the driving force of the motor.

도 1에는 압전체 4개를 사용한 람다(lambda)형 초음파 모터의 구조를 나타내었다.1 shows the structure of a lambda type ultrasonic motor using four piezoelectric elements.

일반적으로, 공진 주파수가 일정하고 진동 변위가 우수한 특성의 진동자를 접합하기 위하여, 종래에는 수작업을 통하거나 간단한 치구를 이용하여 접합하는 방식을 이용하였다. 그러나, 2가지 직각 모드의 공진변위 사이의 주파수에서 타원모양의 진동을 이용하는 초음파 모터의 응용에서는 압전 세라믹과 메탈이 정확한 위치에 정렬되지 않고 접합되면 진동자의 2개 모드 공진 주파수가 원래보다 멀어지거나 이동이 일어나 진동특성이 떨어지는 문제점이 발생한다. In general, in order to bond a vibrator having a constant resonance frequency and excellent vibration displacement, a conventional method of joining by hand or using a simple jig is used. However, in applications of ultrasonic motors that use elliptic vibrations at frequencies between the two orthogonal modes of resonant displacement, the two-mode resonant frequencies of the vibrator move away from or move when the piezoelectric ceramic and metal are bonded without being aligned in the correct position. This problem occurs when the vibration characteristics are lowered.

본 발명은 상기한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 변형된 사각과 람다(Lambda) 모양의 치구들을 제작하여 압전세라믹과 메탈을 정확하게 정렬하여 접합하기 위한 방법을 제시함으로써, 모터의 구동에 사용될 두 가지 공진 모드의 주파수를 일치시켜 최대 효율의 모터를 제작하는 데 그 목적이 있다.The present invention has been proposed in order to solve the above problems, by producing a jagged jagged and lambda shaped jigsaw and presenting a method for precisely aligning and joining the piezoceramic and metal, to drive the motor The goal is to produce a motor with maximum efficiency by matching the frequencies of the two resonant modes to be used.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 람다(Lambda)형 메탈 세라믹 진동자의 접합에 있어서, 내측에 정사각형의 돌출부가 있는 제1치구(11)와 한쪽 모서리가 정사각형으로 잘려나가고 압전체(3)의 두께만큼 낮은 높이의 제2치구(12)를 밀착하여 정렬하는 제1단계와; 상기 제1치구(11)와 상기 제2치구(12)가 정렬된 턱 부분에 접착제가 도포된 직사각형의 상기 압전체(3)를 도포부가 위로 향하도록 정렬하는 제2단계와; 상기 압전체(3)의 밀착되지 않은 나머지 변을 완전히 밀착할 수 있는 구조로 제작된 제3치구(14)로 상기 압전체(3)와 제1, 제2치구 모두를 밀착, 정합하는 제3단계와; 람다(Lambda) 모양의 메탈(5)을 접착제가 도포된 상기 압전체(3)의 면과 상기 제3치구(14)의 2 단 내면에 밀착되도록 밀어 정렬하는 제4단계와;According to the present invention for achieving the above object, in the joining of a lambda-type metal ceramic vibrator, the first jig 11 and the corner of the first jig 11 having a square protrusion inside thereof are cut out in a square shape and the thickness of the piezoelectric body 3 is obtained. A first step of closely contacting and arranging the second jig 12 having a height as low as; A second step of aligning the piezoelectric member (3) of a rectangular shape coated with an adhesive on a jaw portion in which the first jig (11) and the second jig (12) are aligned so that an application part faces upward; A third step of contacting and matching both the piezoelectric member 3 and the first and second fixtures with a third jig 14 having a structure capable of completely contacting the remaining non-adherent side of the piezoelectric part 3; ; A fourth step of aligning a lambda-shaped metal (5) to be in close contact with the surface of the piezoelectric body (3) to which the adhesive is applied and the second stage inner surface of the third jig (14);

접착제가 도포된 동일 크기의 다른 압전체(3)를 접착제 도포면이 아래 방향으로 향하도록 하여 상기 메탈(5)의 윗면과 제3치구(14)의 내면에 밀착되도록 정렬하는 제5단계와; 제4치구(16)를 상기 압전체(3)의 윗면과 상기 제3치구(14)의 내면에 밀착 되도록 정열하는 제6단계와; 프레스(press)를 이용하여 상기 제4치구(16)의 윗부분과 상기 제2치구(12)의 아랫부분을 눌러 접합하고, 상기 제1치구(11)와 상기 제3치구(14)를 제거하는 제7단계로 구성된 것을 특징으로 한다.A fifth step of aligning another piezoelectric member 3 having the same size to which the adhesive is applied so as to be in close contact with the upper surface of the metal 5 and the inner surface of the third jig 14 with the adhesive application surface facing downward; A sixth step of arranging the fourth jig (16) to be in close contact with the upper surface of the piezoelectric body (3) and the inner surface of the third jig (14); Pressing the upper part of the fourth jig 16 and the lower part of the second jig 12 by using a press to remove the first jig 11 and the third jig 14. It is characterized by consisting of a seventh step.

부연하면, 초음파 모터용 메탈 세라믹 진동자에서 메탈과 세라믹을 정밀하게 접합하기 위하여 내부에 정사각형의 돌출부가 있는 람다(Lambda)모양의 치구와; 이보다 높이가 낮고 한쪽 모서리부가 정사각형으로 잘려나가 앞의 치구에 정확하게 결합되는 치구; Lambda 모양의 돌출된 정사각형의 양 변에 낮은 치구 위에서 정확히 정렬될 직사각형의 압전체; 정렬된 직사각형의 압전체 뒷부분을 밀어주어 정확히 정렬되도록 한 2 단 돌출된 Lambda 모양의 치구; 정렬된 압전세라믹 위에 정확히 놓이게 되는 Lambda형 모양의 메탈; 그 메탈 위에 정확히 정렬된 직사각형의 압전체; 2단 돌출 구조의 Lambda 형 치구의 돌출된 2 단에 정확히 정렬되는 구조의 치구를 포함하는 고효율 초음파 진동자 접합을 위한 정렬방법을 제공한다.In other words, a lambda-shaped jig having a square protrusion therein for precisely joining metal and ceramic in a metal ceramic vibrator for an ultrasonic motor; Jig lower than this and one edge is cut into a square to be precisely coupled to the front jig; Rectangular piezoelectric elements to be exactly aligned on the lower jig on both sides of the Lambda-shaped protruding square; A two-stage protruding Lambda-shaped jig for pushing back the aligned rectangular piezoelectric body for precise alignment; Lambda shaped metal placed exactly on the aligned piezoceramic; Rectangular piezoelectric elements exactly aligned on the metal; The present invention provides an alignment method for joining a high efficiency ultrasonic vibrator including a jig of a structure that is exactly aligned with a projected two-stage of a Lambda type jig of a two-stage projecting structure.

상술한 목적, 특징들 및 장점은 첨부된 도면과 관련한 다음의 상세한 설명을 통하여 더욱 분명해 질 것이다. 이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 바람직한 일 실시예를 상세히 설명한다.The above objects, features and advantages will become more apparent from the following detailed description in conjunction with the accompanying drawings. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 조립도를 나타낸 것이다.Figure 2 shows an assembly view according to the present invention.

도면에 나타낸 바와 같이, 본 발명에 따른 Lambda 형 초음파 진동자의 접합방법은, 먼저 도 2의 제1치구(11)와 제2치구(12)를 그림과 같이 서로 맛 닿도록 정렬한다. 제2치구(12)는 제1치구(11)에 비하여 직사각형 압전체(3)의 두께 만큼 높이가 낮게 제작되어야 한다. 제1치구는 내측이 직각으로 돌출된 부분이 있고, 반대로 제2치구는 한쪽 모서리가 직각으로 잘려나간 형태를 가지므로서 이 부분들이 정확히 정렬되어야 한다. 제1치구(11)와 제2치구(12)가 정렬된 턱 부분에 접착제가 도포된 직사각형의 압전체(3)를 도포부가 위로 향하도록 정렬한다. 이때 제1치구(11)와 제2치구(12)의 높이 차이로 두 치구의 접합면에 형성된 턱에 의하여 압전체(3)가 정확한 위치에 정렬되게 된다. As shown in the figure, in the bonding method of the Lambda type ultrasonic vibrator according to the present invention, the first jig 11 and the second jig 12 of FIG. The second jig 12 should be made as low as the thickness of the rectangular piezoelectric body 3 compared to the first jig 11. The first jig has a portion protruding at right angles to the inside, while the second jig has a shape in which one edge is cut at right angles, so that these parts must be aligned correctly. A rectangular piezoelectric member 3 coated with an adhesive is aligned on the jaw portion where the first jig 11 and the second jig 12 are aligned so that the application part faces upward. At this time, the piezoelectric body 3 is aligned at the correct position by the jaw formed at the joining surface of the two jig due to the height difference between the first jig 11 and the second jig 12.

제3치구(14)는 도 2의 Step 3-2와 같이 정렬된 제1 및 제2치구 위에 위치하 게 되는 데, 이때 제3치구(14)의 아랫면 중에서 제1치구와 면접하게 되는 부분과, 제2치구(11)와 면접하게 되는 부분, 그리고 압전체(3)와 면접하는 부분 모두는 서로 높이 차이가 상쇄되어 완전히 밀착될 수 있는 구조로 제작된다. 즉, 제2치구(12) 위에 위치하게 될 제3치구(14) 부분과 제1치구(11) 위에 위치하게 될 제3치구(14) 부분은 세라믹 두께 만큼의 높이 차를 갖고 있고, 또 직사각형 압전체(3)의 밀착되지 않은 나머지 변을 완전히 밀착할 수 있는 구조로 제작된 제3치구(14)를 이용하여 압전체(3)를 밀어준다. The third jig 14 is positioned above the first jig and the second jig aligned as shown in Step 3-2 of FIG. 2, wherein a portion of the third jig 14 that is to be interviewed with the first jig is provided. The parts that are to be interviewed with the second jig 11 and the parts that are to be interviewed with the piezoelectric body 3 are all manufactured to have a structure in which height differences are offset from each other to be completely in contact with each other. That is, the third jig 14 to be positioned on the second jig 12 and the third jig 14 to be located on the first jig 11 have a height difference equal to the thickness of the ceramic and is rectangular. The piezoelectric body 3 is pushed using the third jig 14 manufactured to have a structure in which the remaining non-adherent side of the piezoelectric body 3 can be completely in close contact.

다음은 도 2의 Step 4-2와 같이 람다(Lambda) 모양의 메탈(5)을 접착제가 도포된 직사각형 압전체(3)의 면과 제3치구(14)의 2 단 내면에 밀착되도록 밀어 정렬한다. 다시 도 2의 Step 5-2와 같이 접착제가 도포된 동일 크기의 압전체(3)를 접착제 도포면이 아래 방향으로 향하도록 메탈(5)의 윗면에 제3치구(14)의 내면에 밀착되도록 정렬한다. Next, as shown in Step 4-2 of FIG. 2, the lambda-shaped metal 5 is aligned by being in close contact with the surface of the rectangular piezoelectric body 3 on which the adhesive is applied and the second stage inner surface of the third jig 14. . Again, as shown in Step 5-2 of FIG. 2, the piezoelectric body 3 of the same size to which the adhesive is applied is aligned so as to be in close contact with the inner surface of the third jig 14 on the upper surface of the metal 5 so that the adhesive coating surface faces downward. .

그리고 제4치구(16)를 직사각형 압전체(3)의 위면과 제3치구(14)의 내면에 밀착 되도록 정열 한 다음 접합을 위한 프레스(press)를 이용하여 제4치구(16)의 윗부분과 제2치구(12)의 아랫부분을 누른 다음 제1치구(11)와 제3치구(14)를 제거한다. 이렇게하여 완벽한 구조로 정렬된 람다(lambda) 형 메탈 세라믹 진동자를 상온에서 접합을 하는 방법이다.Then, the fourth jig 16 is aligned so as to be in close contact with the upper surface of the rectangular piezoelectric body 3 and the inner surface of the third jig 14, and then the upper part of the fourth jig 16 and the second jig are formed by using a press for joining. After pressing the lower part of the second jig 12, the first jig 11 and the third jig 14 are removed. In this way, a lambda-type metal ceramic vibrator arranged in perfect structure is bonded at room temperature.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것이 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

상기한 바와 같은 본 발명은, 메탈과 세라믹을 정확한 위치에 정열할 수 있도록 함으로써 모터에 구동력을 주는 두 직각 방향의 진동모드를 일정하게 하여 줌으로써 초음파 모터의 효율을 극대화할 수 있는 효과가 있다.The present invention as described above, by aligning the metal and ceramic in the correct position has the effect of maximizing the efficiency of the ultrasonic motor by making the vibration mode of the two right-angle direction giving a driving force to the motor constant.

Claims (1)

람다(Lambda)형 메탈 세라믹 진동자의 접합에 있어서,In the joining of a lambda type metal ceramic oscillator, 내측에 정사각형의 돌출부가 있는 제1치구(11)와 한쪽 모서리가 정사각형으로 잘려나가고 압전체(3)의 두께만큼 낮은 높이의 제2치구(12)를 밀착하여 정렬하는 제1단계와;A first step of aligning the first jig 11 having a square protrusion on the inner side and a second jig 12 having a height as low as the thickness of the piezoelectric body 3 and one corner thereof being cut off in a square; 상기 제1치구(11)와 상기 제2치구(12)가 정렬된 턱 부분에 접착제가 도포된 직사각형의 상기 압전체(3)를 도포부가 위로 향하도록 정렬하는 제2단계와;A second step of aligning the piezoelectric member (3) of a rectangular shape coated with an adhesive on a jaw portion in which the first jig (11) and the second jig (12) are aligned so that an application part faces upward; 상기 압전체(3)의 밀착되지 않은 나머지 변을 완전히 밀착할 수 있는 구조로 제작된 제3치구(14)로 상기 압전체(3)와 제1, 제2치구 모두를 밀착, 정합하는 제3단계와; A third step of contacting and matching both the piezoelectric member 3 and the first and second fixtures with a third jig 14 having a structure capable of completely contacting the remaining non-adherent side of the piezoelectric part 3; ; 람다(Lambda) 모양의 메탈(5)을 접착제가 도포된 상기 압전체(3)의 면과 상기 제3치구(14)의 2 단 내면에 밀착되도록 밀어 정렬하는 제4단계와;A fourth step of aligning a lambda-shaped metal (5) to be in close contact with the surface of the piezoelectric body (3) to which the adhesive is applied and the second stage inner surface of the third jig (14); 접착제가 도포된 동일 크기의 다른 압전체(3)를 접착제 도포면이 아래 방향으로 향하도록 하여 상기 메탈(5)의 윗면과 제3치구(14)의 내면에 밀착되도록 정렬하는 제5단계와; A fifth step of aligning another piezoelectric member 3 having the same size to which the adhesive is applied so as to be in close contact with the upper surface of the metal 5 and the inner surface of the third jig 14 with the adhesive application surface facing downward; 제4치구(16)를 상기 압전체(3)의 윗면과 상기 제3치구(14)의 내면에 밀착 되도록 정열하는 제6단계와;A sixth step of arranging the fourth jig (16) to be in close contact with the upper surface of the piezoelectric body (3) and the inner surface of the third jig (14); 프레스(press)를 이용하여 상기 제4치구(16)의 윗부분과 상기 제2치구(12)의 아랫부분을 눌러 접합하고, 상기 제1치구(11)와 상기 제3치구(14)를 제거하는 제7 단계로 구성된 것을 특징으로 하는 람다형 메탈세라믹 초음파 진동자 접합방법Pressing the upper part of the fourth jig 16 and the lower part of the second jig 12 by using a press to remove the first jig 11 and the third jig 14. Lambda-type metal ceramic ultrasonic vibrator bonding method characterized in that the seventh step
KR1020060130720A 2006-12-20 2006-12-20 The bonding method of Lambda shape metal-ceramic ultrasonic vibrator KR101282923B1 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060130720A KR101282923B1 (en) 2006-12-20 2006-12-20 The bonding method of Lambda shape metal-ceramic ultrasonic vibrator

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020060130720A KR101282923B1 (en) 2006-12-20 2006-12-20 The bonding method of Lambda shape metal-ceramic ultrasonic vibrator

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20080057436A KR20080057436A (en) 2008-06-25
KR101282923B1 true KR101282923B1 (en) 2013-07-05

Family

ID=39803216

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020060130720A KR101282923B1 (en) 2006-12-20 2006-12-20 The bonding method of Lambda shape metal-ceramic ultrasonic vibrator

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101282923B1 (en)

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH0870588A (en) * 1994-08-30 1996-03-12 Fujitsu Ltd Positioning mechanism and driving method for ultrasonic motor
KR100276632B1 (en) 1994-08-19 2001-01-15 나까니시 히로유끼 Piezoelectric vibrator for ultrasonic motor, mounting method and manufacturing method thereof, and standing wave ultrasonic motor
KR100308834B1 (en) 1999-08-20 2001-11-01 신현준 Fabrication of pressure type accelerometer
KR20040020349A (en) * 2002-08-30 2004-03-09 재단법인 포항산업과학연구원 The calibration apparatus for position of PZT micro actuator using SMA thin film

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100276632B1 (en) 1994-08-19 2001-01-15 나까니시 히로유끼 Piezoelectric vibrator for ultrasonic motor, mounting method and manufacturing method thereof, and standing wave ultrasonic motor
JPH0870588A (en) * 1994-08-30 1996-03-12 Fujitsu Ltd Positioning mechanism and driving method for ultrasonic motor
KR100308834B1 (en) 1999-08-20 2001-11-01 신현준 Fabrication of pressure type accelerometer
KR20040020349A (en) * 2002-08-30 2004-03-09 재단법인 포항산업과학연구원 The calibration apparatus for position of PZT micro actuator using SMA thin film

Also Published As

Publication number Publication date
KR20080057436A (en) 2008-06-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US11063205B2 (en) Vibration actuator and method for manufacturing the same
CN101674029B (en) Vibration wave driving device
US6879085B1 (en) Resonance shifting
CN100566115C (en) Vibration-wave drive device and vibrator
US20110241488A1 (en) Vibration type actuator, vibrator, and vibrator manufacturing method
CN111464070A (en) Linear ultrasonic motor stator and electric excitation method thereof
CN102868315A (en) Paster-type bending vibration composite dual-feet ultrasound motor oscillator
JP2006333695A (en) Piezoelectric vibrator and ultrasonic motor provided with same
US8987972B2 (en) Vibrator in vibration type driving apparatus and manufacturing method thereof
JP2006081239A (en) Oscillatory wave motor
KR101282923B1 (en) The bonding method of Lambda shape metal-ceramic ultrasonic vibrator
JP5669444B2 (en) Vibration type driving device
JP2574577B2 (en) Linear actuator
JPH0732613B2 (en) Ultrasonic oscillator and drive device having this oscillator
JPH01264582A (en) Ultrasonic linear motor
KR101264259B1 (en) An Apparatus and Method of precise alignment for bonding jig
KR20130016004A (en) Transducer module
JP2008067539A (en) Ultrasonic actuator and method of manufacturing its vibrator
JPWO2007058343A1 (en) Vibrator and manufacturing method thereof
JP2012115038A (en) Vibrating body of vibration type driving device, and method of manufacturing the same
JP2010213537A (en) Actuator and positioning device using it
JP2004187334A (en) Ultrasonic motor and electronic apparatus fitted therewith
JP5847906B2 (en) Vibrator
JPH05316756A (en) Ultrasonic oscillator and driver employing thereof
JPH01136577A (en) Supersonic motor

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160701

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170703

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180702

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190430

Year of fee payment: 7