KR101273242B1 - Stage apparatus and cooling unit - Google Patents

Stage apparatus and cooling unit Download PDF

Info

Publication number
KR101273242B1
KR101273242B1 KR1020120010583A KR20120010583A KR101273242B1 KR 101273242 B1 KR101273242 B1 KR 101273242B1 KR 1020120010583 A KR1020120010583 A KR 1020120010583A KR 20120010583 A KR20120010583 A KR 20120010583A KR 101273242 B1 KR101273242 B1 KR 101273242B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
axis
fluid
cooling
movable body
mover
Prior art date
Application number
KR1020120010583A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20120090811A (en
Inventor
다츠야 요시다
류타 나카지마
Original Assignee
스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 filed Critical 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤
Publication of KR20120090811A publication Critical patent/KR20120090811A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101273242B1 publication Critical patent/KR101273242B1/en

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K41/00—Propulsion systems in which a rigid body is moved along a path due to dynamo-electric interaction between the body and a magnetic field travelling along the path
    • H02K41/02—Linear motors; Sectional motors
    • H02K41/03—Synchronous motors; Motors moving step by step; Reluctance motors
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
    • B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
    • B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
    • B23Q1/56—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/60—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism
    • B23Q1/62—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism two sliding pairs only, the sliding pairs being the first two elements of the mechanism with perpendicular axes, e.g. cross-slides
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
    • B23Q3/00—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine
    • B23Q3/02—Devices holding, supporting, or positioning work or tools, of a kind normally removable from the machine for mounting on a work-table, tool-slide, or analogous part
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K9/00—Arrangements for cooling or ventilating
    • H02K9/19—Arrangements for cooling or ventilating for machines with closed casing and closed-circuit cooling using a liquid cooling medium, e.g. oil
    • H—ELECTRICITY
    • H02—GENERATION; CONVERSION OR DISTRIBUTION OF ELECTRIC POWER
    • H02K—DYNAMO-ELECTRIC MACHINES
    • H02K9/00—Arrangements for cooling or ventilating
    • H02K9/22—Arrangements for cooling or ventilating by solid heat conducting material embedded in, or arranged in contact with, the stator or rotor, e.g. heat bridges

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Combustion & Propulsion (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Motor Or Generator Cooling System (AREA)
  • Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
  • Machine Tool Units (AREA)
  • Linear Motors (AREA)
  • Details Of Measuring And Other Instruments (AREA)

Abstract

[과제] 커스터마이즈성을 높이고, 또한 안정되게 샤프트모터를 냉각할 수 있는 스테이지장치를 제공한다.
[해결수단] 스테이지장치(1A)는, X축이동체(6)와, Y축이동체(4)와, X축고정자(51) 및 X축가동자(52)를 가지고 X축이동체(6)를 구동하기 위한 X축샤프트모터(5)와, Y축고정자(31) 및 Y축가동자(32)를 가지고 Y축이동체(4)를 구동하기 위한 Y축샤프트모터(3)와, X축가동자(52) 및 Y축가동자(32)에 있어서의 외주면의 하나 또는 복수의 영역에 대하여 선택적으로 착탈 가능한 냉각재킷(8A, 9A)과, 튜브(t)를 구비하고 있다. 이로써, 주위에 배치된 부품이 간섭하지 않는 영역에 선택적으로 냉각재킷(8A, 9A)을 착탈할 수 있다. 또한, X축샤프트모터(5) 및 Y축샤프트모터(3)의 발열량에 맞추어 냉각재킷(8A, 9A)을 장착하는 영역을 적절히 선택하여, 냉각량을 조정할 수 있다.DISCLOSURE OF THE INVENTION Provided is a stage device capable of improving customization and cooling the shaft motor stably.
SOLUTION The stage device 1A drives the X-axis movable body 6 with the X-axis movable body 6, the Y-axis movable body 4, the X-axis stator 51, and the X-axis movable body 52. Y-axis shaft motor (3) and X-axis actuator (52) for driving the Y-axis movable body (4) with the X-axis shaft motor (5), Y-axis stator (31) and Y-axis mover (32) ) And cooling jackets 8A and 9A that can be selectively detached with respect to one or a plurality of regions of the outer circumferential surface of the Y-axis actuator 32 and the tube t. Thereby, the cooling jackets 8A and 9A can be selectively detached to the area | region which does not interfere with the components arrange | positioned around. In addition, the cooling amount can be adjusted by appropriately selecting a region in which the cooling jackets 8A and 9A are mounted in accordance with the heat generation amounts of the X-axis shaft motor 5 and the Y-axis shaft motor 3.

Figure R1020120010583
Figure R1020120010583

Description

스테이지장치 및 냉각유닛{Stage apparatus and cooling unit}Stage apparatus and cooling unit

본 출원은, 2011년 2월 8일에 출원된 일본 특허출원 제2011-025184호에 근거하여 우선권을 주장한다. 그 출원의 모든 내용은 이 명세서 안에 참조로서 원용한다.This application claims priority based on Japanese Patent Application No. 2011-025184 for which it applied on February 8, 2011. All content of that application is incorporated herein by reference.

본 발명은, 샤프트모터를 냉각하기 위한 냉각수단을 구비한 스테이지장치, 및 냉각유닛에 관한 것이다.The present invention relates to a stage device having cooling means for cooling a shaft motor, and a cooling unit.

종래, 샤프트모터를 냉각하기 위한 냉각수단을 구비한 스테이지장치가 알려져 있고, 예컨대 이하의 특허문헌 1에는, 냉각수단으로서 축형(軸型) 리니어모터용 방열(放熱)슬리브가 개시되어 있다. 이 방열슬리브는 단면 ㄷ자형으로 뻗어 있는 부재로 이루어지고, 그 내주면은 리니어모터(샤프트모터)가 가지는 가동자의 외형과 동일한 윤곽으로 된 끼움공간으로 되어 있다. 그리고, 방열슬리브는, 끼움공간 내에 가동자를 끼워넣도록 하여 당해 가동자의 둘레면(周面)에 장착되어 있다.Background Art Conventionally, a stage apparatus having cooling means for cooling a shaft motor is known. For example, Patent Document 1 below discloses a heat radiation sleeve for an axial linear motor as a cooling means. This heat dissipation sleeve is made of a member extending in a cross-section C shape, and its inner circumferential surface is a fitting space having the same contour as that of the mover of the linear motor (shaft motor). The heat dissipation sleeve is mounted on the circumferential surface of the mover so as to sandwich the mover in the fitting space.

일본 특허공개 2008－148399호 공보Japanese Patent Publication No. 2008-148399

여기서, 스테이지장치에서는, 통상, 이동체의 이동을 가이드하는 가이드부재 등의 부품이 가동자의 주위에 배치되어 있다. 따라서, 이러한 스테이지장치에 있어서 상술한 방열슬리브를 가동자에 착탈할 때에는, 가동자의 주위에 배치된 부품이 방열슬리브와 간섭되어, 방열슬리브를 장착하거나 또는 분리하는 것이 곤란하게 될 우려가 있다.Here, in the stage apparatus, components, such as a guide member which guides the movement of a moving body, are normally arrange | positioned around a mover. Therefore, in attaching or detaching the above-mentioned heat dissipation sleeve to the mover in such a stage device, the components arranged around the mover interfere with the heat dissipation sleeve, which may make it difficult to attach or detach the heat dissipation sleeve.

또한, 상술한 방열슬리브에서는, 샤프트모터의 발열량에 대하여 방열슬리브에 의한 방열량이 현저하게 크거나 또는 작은 경우, 방열량을 조정하는 것이 용이하지 않아서, 안정되게 샤프트모터를 냉각하는 것이 곤란하게 될 우려가 있다.In addition, in the above-described heat dissipation sleeve, when the heat dissipation amount by the heat dissipation sleeve is remarkably large or small with respect to the heat generation amount of the shaft motor, it is not easy to adjust the heat dissipation amount, and there is a concern that it is difficult to cool the shaft motor stably. have.

본 발명은, 이러한 과제를 해결하기 위하여 이루어진 것으로서, 커스터마이즈성을 높이고, 또한 안정되게 샤프트모터를 냉각할 수 있는 스테이지장치 및 냉각유닛을 제공하는 것을 목적으로 한다.The present invention has been made to solve such a problem, and an object thereof is to provide a stage device and a cooling unit capable of improving customization and cooling the shaft motor stably.

본 발명에 관한 스테이지장치는, 정반(定盤) 위를 소정의 방향으로 이동하는 이동체와, 소정의 방향을 따른 축(軸) 형상의 고정자, 및 이동체에 설치된 가동자를 가지고, 이동체를 소정의 방향으로 구동하기 위한 샤프트모터와, 유체를 유입시키는 유체입구, 유체를 유통시키는 유체유로, 및 유체를 배출시키는 유체출구를 가지고, 가동자의 외주면에 있어서의 하나 또는 복수의 영역에 대하여 선택적으로 착탈 가능한 냉각부재와, 유체입구에 접속되고, 냉각부재에 유체를 유입시키는 경질 또는 연질의 유입튜브와, 유체출구에 접속되고, 냉각부재로부터 유체를 유출시키는 경질 또는 연질의 유출튜브를 구비한 것을 특징으로 한다.A stage apparatus according to the present invention has a movable body moving on a surface plate in a predetermined direction, an axial stator along a predetermined direction, and a movable element provided in the movable body, and the movable body is moved in a predetermined direction. A shaft motor for driving the engine, a fluid inlet for introducing the fluid, a fluid flow path for distributing the fluid, and a fluid outlet for discharging the fluid, the cooling being selectively removable for one or a plurality of areas on the outer circumferential surface of the mover And a hard or soft inlet tube connected to the fluid inlet, the fluid inlet to the cooling member, and a hard or soft outlet tube connected to the fluid outlet, for outflowing the fluid from the cooling member. .

또한, 본 발명에 관한 냉각유닛은, 정반 위를 소정의 방향으로 이동하는 이동체와, 소정의 방향을 따른 축 형상의 고정자, 및 이동체에 설치된 가동자를 가지고, 이동체를 소정의 방향으로 구동하기 위한 샤프트모터를 구비하는 스테이지장치에 장착되는 냉각유닛으로서, 유체를 유입시키는 유체입구, 유체를 유통시키는 유체유로, 및 유체를 배출시키는 유체출구를 가지고, 가동자의 외주면에 있어서의 하나 또는 복수의 영역에 대하여 선택적으로 착탈 가능한 냉각부재와, 유체입구에 접속되고, 냉각부재에 유체를 유입시키는 경질 또는 연질의 유입튜브와, 유체출구에 접속되고, 냉각부재로부터 유체를 유출시키는 경질 또는 연질의 유출튜브를 구비한 것을 특징으로 한다.In addition, the cooling unit according to the present invention includes a movable body moving on a surface plate in a predetermined direction, an axial stator along a predetermined direction, and a movable element provided in the moving body, and a shaft for driving the moving body in a predetermined direction. A cooling unit mounted to a stage device having a motor, the cooling unit having a fluid inlet for introducing a fluid, a fluid passage for distributing the fluid, and a fluid outlet for discharging the fluid, for one or a plurality of areas on the outer peripheral surface of the mover. Optionally detachable cooling member, a hard or soft inlet tube connected to the fluid inlet, for introducing fluid into the cooling member, and a hard or soft outlet tube connected to the fluid outlet, for outflowing the fluid from the cooling member. It is characterized by one.

본 발명에 관한 스테이지장치 및 냉각유닛에서는, 유체유로를 가지는 냉각부재를, 가동자에 있어서의 외주면의 하나 또는 복수의 영역에 대하여 선택적으로 착탈하는 것이 가능하게 되어 있다. 따라서, 가동자의 주위에 부품이 배치되어 있는 경우이더라도, 당해 부품이 간섭하지 않는 영역에 선택적으로 냉각부재를 장착하거나 또는 분리할 수 있어서, 냉각부재를 가동자에 용이하게 착탈하는 것이 가능하여진다. 또한, 이와 같이 냉각부재를 하나 또는 복수의 영역에 대하여 선택적으로 착탈하는 것이 가능하기 때문에, 샤프트모터의 발열량에 맞춰서 냉각부재를 장착하는 영역을 적절히 선택하여, 냉각량을 조정할 수 있다. 따라서, 본 발명에 의하면, 커스터마이즈성을 높이고, 또한 안정되게 샤프트모터를 냉각할 수 있다.In the stage device and the cooling unit according to the present invention, it is possible to selectively attach and detach a cooling member having a fluid passage with respect to one or a plurality of regions of the outer circumferential surface of the mover. Therefore, even when a part is arranged around the mover, the cooling member can be selectively attached or detached in an area where the part does not interfere, so that the cooling member can be easily detached from the mover. In addition, since the cooling member can be selectively attached or detached to one or a plurality of regions in this manner, the cooling amount can be adjusted by appropriately selecting the region in which the cooling member is mounted in accordance with the heat generation amount of the shaft motor. Therefore, according to the present invention, the shaft motor can be cooled with high customization and stability.

또한, 냉각부재는, 이동체와 가동자 사이에 배치되어 가동자를 이동체에 고정하는 브래킷을 포함하는 것이 바람직하다. 이 경우, 이동체와 가동자 사이에, 브래킷을 겸하는 냉각부재가 개재되는 것이 되어, 가동자로부터 이동체에의 열의 이동을 억제할 수 있다.In addition, the cooling member preferably includes a bracket disposed between the movable body and the movable body to fix the movable body to the movable body. In this case, the cooling member which serves as a bracket is interposed between the movable body and the movable body, and the movement of heat from the movable body to the movable body can be suppressed.

본 발명에 의하면, 커스터마이즈성을 높이고, 또한 안정되게 샤프트모터를 냉각할 수 있는 스테이지장치 및 냉각유닛을 제공하는 것이 가능하게 된다.According to the present invention, it becomes possible to provide a stage device and a cooling unit capable of improving the customization and cooling the shaft motor stably.

도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 관한 스테이지장치를 나타내는 사시도이다.
도 2는, 도 1에 나타내는 스테이지장치의 X축가동자에 장착된 냉각유닛에 있어서의 액체의 유통경로의 일례를 나타내는 개략사시도이다.
도 3은, 도 1에 나타내는 스테이지장치의 Y축가동자에 장착된 냉각유닛에 있어서의 액체의 유통경로의 일례를 나타내는 개략사시도이다.
도 4는, 본 발명의 제2 실시형태에 관한 스테이지장치의 X축가동자에 장착된 냉각유닛에 있어서의 액체의 유통경로의 일례를 나타내는 개략사시도이다.
도 5는, 본 발명의 제2 실시형태에 관한 스테이지장치의 Y축가동자에 장착된 냉각유닛에 있어서의 액체의 유통경로의 일례를 나타내는 개략사시도이다.
도 6은, 본 발명의 제3 실시형태에 관한 스테이지장치의 X축가동자에 장착된 냉각유닛에 있어서의 액체의 유통경로의 일례를 나타내는 개략사시도이다.1 is a perspective view showing a stage device according to a first embodiment of the present invention.
FIG. 2 is a schematic perspective view showing an example of a liquid circulation path in a cooling unit attached to an X-axis actuator of the stage apparatus shown in FIG. 1.
FIG. 3 is a schematic perspective view showing an example of a flow path of liquid in a cooling unit attached to the Y-axis mover of the stage apparatus shown in FIG. 1.
4 is a schematic perspective view showing an example of a liquid circulation path in the cooling unit attached to the X-axis actuator of the stage apparatus according to the second embodiment of the present invention.
Fig. 5 is a schematic perspective view showing an example of a liquid circulation path in a cooling unit attached to the Y-axis mover of the stage apparatus according to the second embodiment of the present invention.
Fig. 6 is a schematic perspective view showing an example of a liquid circulation path in the cooling unit attached to the X-axis actuator of the stage apparatus according to the third embodiment of the present invention.

이하, 도면을 참조하면서 본 발명과 관련되는 스테이지장치 및 냉각유닛의 적합한 실시형태에 대하여 상세히 설명한다. 다만, 이하의 설명에 있어서, 동일한 요소에는 동일한 부호를 붙이고, 중복되는 설명은 생략한다. 또한, "상", "하"라는 말은, 도면의 상하방향에 대응하는 것으로서 편의적인 것이다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, preferred embodiment of the stage apparatus and cooling unit which concern on this invention is described in detail, referring drawings. In addition, in the following description, the same code | symbol is attached | subjected to the same element and the overlapping description is abbreviate | omitted. In addition, the words "up" and "down" correspond to the up-down direction of the drawing and are convenient.

도 1은, 본 발명의 제1 실시형태에 관한 스테이지장치를 나타내는 사시도이다. 도 1에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관한 스테이지장치(1A)는, 예컨대, 반도체를 검사하기 위한 반도체 검사장치나, 반도체를 노광하기 위한 반도체 노광장치 등에 사용되는 것이다. 이 스테이지장치(1A)는, 정반(2), Y축샤프트모터(3, 3), Y축이동체(4), X축샤프트모터(5, 5), X축이동체(6), 테이블부(7), 냉각재킷(냉각부재)(8A, 9A) 및 펌프(500)를 구비하고 있다. 다만, "X축방향"이란 정반(2)의 상면(2a)에 평행한 임의의 일방향(소정의 방향)이고, "Y축방향"이란 상면(2a)에 평행하고 또한 X축방향과 수직인 타방향(소정의 방향)이다.1 is a perspective view showing a stage device according to a first embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the stage apparatus 1A according to the present embodiment is used, for example, for a semiconductor inspection apparatus for inspecting a semiconductor, a semiconductor exposure apparatus for exposing a semiconductor, and the like. The stage apparatus 1A includes a surface plate 2, Y-axis shaft motors 3 and 3, Y-axis movable body 4, X-axis shaft motors 5 and 5, X-axis movable body 6 and a table portion ( 7), cooling jacket (cooling member) 8A, 9A and pump 500 are provided. However, "X-axis direction" is any one direction (predetermined direction) parallel to the upper surface 2a of the surface plate 2, and "Y-axis direction" is parallel to the upper surface 2a and perpendicular to the X-axis direction. The other direction (predetermined direction).

정반(2)은 직육면체 형상의 석재(石材)로 이루어지고, 그 상면(2a)은 평면가공이 시행됨으로써 평면도가 높여져 있다. 또한, 정반(2)에 있어서의 Y축방향으로 뻗어 있는 측면 중, 후술하는 Y축 요 에어베어링(43)으로부터 공기가 분사되는 측면(2b)에 대해서도, 평면가공이 시행되어 평면도가 높여져 있다.The surface plate 2 is made of a rectangular parallelepiped stone, and the top surface 2a is raised in plan view by performing planar processing. Moreover, among the side surfaces extended in the Y-axis direction in the surface plate 2, the planar processing is performed also about the side surface 2b in which air is injected from the Y-axis yaw air bearing 43 mentioned later, and the top view is raised. .

Y축샤프트모터(3, 3)는, Y축이동체(4)를 구동시키기 위한 것으로서, 각각 Y축고정자(31) 및 Y축가동자(32)를 가지고 있다.The Y-axis shaft motors 3 and 3 are for driving the Y-axis movable body 4, and have Y-axis stators 31 and Y-axis movers 32, respectively.

Y축고정자(31)는, 그 내부에 복수의 자석을 가지고 있고, 이들 복수의 자석의 같은극끼리가 접합되어 축 형상을 이루고 있다. 한 쌍의 Y축고정자(31, 31)는, 정반(2)의 상면(2a)에 있어서의 X축방향 양단부에 병설되어 있고, 각각 Y축방향을 따라서 뻗어 있다. 도 1에 있어서 지면(紙面) 오른쪽 위의 Y축고정자(31)는, 정반(2)의 상면(2a)으로부터 상방을 향하여 돌출된 기둥(33, 33)에 의하여 양단부가 고정되어 있다. 도 1에 있어서 지면 왼쪽 아래의 Y축고정자(31)는, 정반(2)의 측면(2b)으로부터 상방을 향하여 돌출된 기둥(34, 34)에 의하여 양단부가 고정되어 있다.The Y-axis stator 31 has a plurality of magnets therein, and the same poles of the plurality of magnets are joined to form a shaft shape. The pair of Y-axis stators 31 and 31 are provided along the X-axis direction both ends in the upper surface 2a of the surface plate 2, respectively, and extend along the Y-axis direction. In FIG. 1, both ends of the Y-axis stator 31 on the right side of the ground are fixed by pillars 33 and 33 protruding upward from the upper surface 2a of the surface plate 2. In FIG. 1, the Y-axis stator 31 at the lower left of the page is fixed at both ends by pillars 34 and 34 protruding upward from the side surface 2b of the surface plate 2.

Y축가동자(32)는, Y축고정자(31)를 따라서 가동(可動)하는 것으로서, Y축고정자(31)에 외삽되어 있다. 이 Y축가동자(32)는, 내부에 Y축고정자(31)를 둘러싸는 코일을 가지고 있고, 이 코일에 전류를 흘림으로써 구동된다.The Y-axis mover 32 moves along the Y-axis stator 31 and is extrapolated to the Y-axis stator 31. The Y-axis mover 32 has a coil surrounding the Y-axis stator 31 therein, and is driven by passing a current through the coil.

이 Y축가동자(32)는, 브래킷(10A)에 의하여 Y축이동체(4)에 고정되어 있다. 브래킷(10A)은, Y축가동자(32)와 제1 Y축이동체(4a)(후술) 사이, 및 Y축가동자(32)와 제2 Y축이동체(4b)(후술) 사이에 배치되고, L자 형상을 이루고 있다. 브래킷(10A)은, Y축가동자(32)의 측면(32d) 및 하면(32c)을 따르도록 하여 Y축가동자(32)의 Y축방향 양단부에 볼트(도시생략)로 착탈 가능하게 장착되어 있고, 측면(32d) 및 하면(32c)과 접촉되어 있다. 여기서, 브래킷(10A)은, 반드시 측면(32d) 및 하면(32c)을 따르도록 하여 장착할 필요는 없고, 측면(32d) 및 상면(32a)을 따르도록 하여 장착하여도 된다. 또한, 브래킷(10A)은, 반드시 2개 이용할 필요는 없고, 하나 또는 3개 이상 이용하여도 된다. 이와 같이, 브래킷(10A)은, Y축가동자(32)에 있어서의 외주면의 하나 또는 복수의 영역(이하, "장착영역"이라고도 함)에 대하여 선택적으로 착탈 가능하게 되어 있고, 본 실시형태에서는, 측면(32d) 및 하면(32c)에 있어서의 양단부가 장착영역으로서 선택되어 있다.The Y-axis mover 32 is fixed to the Y-axis mover 4 by the bracket 10A. The bracket 10A is disposed between the Y-axis mover 32 and the first Y-axis mover 4a (described later), and between the Y-axis mover 32 and the second Y-axis mover 4b (described later), L-shaped. The bracket 10A is detachably attached to both ends of the Y-axis mover 32 in the Y-axis direction along the side surfaces 32d and the lower surface 32c of the Y-axis mover 32 by bolts (not shown). It is in contact with the side surface 32d and the lower surface 32c. Here, the bracket 10A does not necessarily need to be mounted along the side surfaces 32d and the lower surface 32c, but may be mounted along the side surfaces 32d and the upper surface 32a. In addition, it is not necessary to necessarily use two bracket 10A, You may use one or three or more. As described above, the bracket 10A is selectively detachable with respect to one or a plurality of regions (hereinafter also referred to as "mounting regions") of the outer circumferential surface of the Y-axis mover 32. In this embodiment, Both ends on the side surface 32d and the lower surface 32c are selected as the mounting area.

브래킷(10A)에는, 유체유로(10L)가 형성되어 있다(도 2 참조). 이로써, 당해 브래킷(10A)은, 이 유체유로(10L)에 물(유체)을 유통시킴으로써, Y축가동자(32)의 가동에 의하여 발생된 열을 흡수하여 당해 Y축가동자(32)를 냉각하는 것이 가능하게 되어 있다. 이와 같이, 브래킷(10A)은 냉각부재에 포함된다.A fluid flow path 10L is formed in the bracket 10A (see FIG. 2). As a result, the bracket 10A distributes water (fluid) to the fluid flow path 10L, thereby absorbing heat generated by the operation of the Y-axis mover 32 to cool the Y-axis mover 32. It is possible. As such, the bracket 10A is included in the cooling member.

Y축이동체(4)는, 제1 Y축이동체(4a) 및 제2 Y축이동체(4b)를 가지고 있다. 제1 Y축이동체(4a) 및 제2 Y축이동체(4b)는, 각각 블록형상을 이루고 있고, 후술하는 X축고정자(51, 51)에 의하여 서로 연결되어 있다. 그리고, Y축이동체(4)는, 각 Y축가동자(32)를 구동함으로써 정반(2)의 상면(2a) 위를 Y축방향으로 이동한다.The Y-axis mover 4 has a first Y-axis mover 4a and a second Y-axis mover 4b. The first Y-axis mover 4a and the second Y-axis mover 4b each have a block shape, and are connected to each other by the X-axis stators 51 and 51 described later. And the Y-axis movable body 4 drives each Y-axis mover 32, and moves on the upper surface 2a of the surface plate 2 in a Y-axis direction.

제2 Y축이동체(4b)에는, Y축이동체(4)의 Y축방향의 이동을 가이드하는 Y축가이드(41)가 장착되어 있다. 이 Y축가이드(41)는, 측판(42)과, Y축 요 에어베어링(43, 43)을 가지고 있다.The Y-axis guide 41 which guides the movement of the Y-axis movable body 4 in the Y-axis direction is attached to the 2nd Y-axis movable body 4b. The Y-axis guide 41 has a side plate 42 and Y-axis yaw air bearings 43 and 43.

측판(42)은, Y축 요 에어베어링(43, 43)을 지지하기 위한 부재로서, 직육면체 형상을 이루고 있다. 이 측판(42)은, 그 상부가 제2 Y축이동체(4b)의 하부에 장착되어 있고, 정반(2)의 측면(2b)과 대향하는 면(42a)을 가지고 있다.The side plate 42 is a member for supporting the Y-axis yaw air bearings 43 and 43 and forms a rectangular parallelepiped shape. The upper side of this side plate 42 is attached to the lower part of the 2nd Y-axis movable body 4b, and has the surface 42a which opposes the side surface 2b of the surface plate 2.

Y축 요 에어베어링(43, 43)은, 공기를 분사하는 기체 정압(靜壓)베어링으로서 기능하는 것으로서, 측판(42)의 면(42a)에 Y축방향으로 서로 이격하여 장착되어 있다. 이와 같이 구성된 Y축가이드(41)에서는, Y축 요 에어베어링(43, 43)이 정반(2)의 측면(2b)을 향하여 공기를 분사함으로써, Y축이동체(4)의 이동을 가이드한다.The Y-axis yaw air bearings 43 and 43 function as gas static pressure bearings for injecting air, and are mounted on the surface 42a of the side plate 42 spaced apart from each other in the Y-axis direction. In the Y-axis guide 41 configured as described above, the Y-axis yaw air bearings 43 and 43 inject air toward the side surface 2b of the surface plate 2 to guide the movement of the Y-axis movable body 4.

제1 Y축이동체(4a) 및 제2 Y축이동체(4b) 사이에는, X축이동체(6)의 X축방향의 이동을 가이드하는 가이드레일(44)이 연결되어 있다. 이 가이드레일(44)은, X축방향으로 뻗어 있고, 상방이 개구된 ㄷ자 형상의 단면을 이루고 있다.The guide rail 44 which guides the movement of the X-axis movable body 6 in the X-axis direction is connected between the 1st Y-axis movable body 4a and the 2nd Y-axis movable body 4b. The guide rail 44 extends in the X-axis direction and forms a c-shaped cross section with an upper opening.

X축샤프트모터(5, 5)는, X축이동체(6)를 구동시키기 위한 것으로서, 각각 X축고정자(51) 및 X축가동자(52)를 가지고 있다. X축고정자(51) 및 X축가동자(52)는, 각각 Y축고정자(31) 및 Y축가동자(32)와 마찬가지의 구성으로 되어 있다. 한 쌍의 X축고정자(51, 51)는, 제1 Y축이동체(4a) 및 제2 Y축이동체(4b) 사이에 Y축방향으로 서로 이격되어 연결되어 있고, 각각 X축방향을 따라서 뻗어 있다. X축가동자(52)는, X축고정자(51)에 외삽되어 있고, X축고정자(51)를 따라 가동한다.The X-axis shaft motors 5 and 5 are for driving the X-axis movable body 6, and have an X-axis stator 51 and an X-axis mover 52, respectively. The X-axis stator 51 and the X-axis mover 52 have the same configuration as the Y-axis stator 31 and the Y-axis mover 32, respectively. The pair of X-axis stators 51 and 51 are spaced apart from each other in the Y-axis direction between the first Y-axis mover 4a and the second Y-axis mover 4b, respectively, and extend along the X-axis direction. have. The X-axis mover 52 is extrapolated to the X-axis stator 51 and moves along the X-axis stator 51.

X축가동자(52)는, 상술한 Y축가동자(32)와 마찬가지로, 브래킷(10A)에 의하여 X축이동체(6)에 고정되어 있다. 즉, 당해 브래킷(10A)은, 유체유로(10L)에 물을 유통시킴으로써, X축가동자(52)의 가동에 의하여 발생된 열을 흡수하여 당해 X축가동자(52)를 냉각하는 것이 가능하게 되어 있다.The X-axis movable body 52 is fixed to the X-axis moving body 6 by the bracket 10A similarly to the Y-axis movable body 32 mentioned above. That is, the said bracket 10A can distribute the water to the fluid flow path 10L, and can absorb the heat generate | occur | produced by the operation of the X-axis actuator 52, and can cool the said X-axis actuator 52. have.

X축이동체(6)는, 정반(2)의 상면(2a) 위를 X축방향으로 이동하는 것으로서, 제1 X축이동체(6a) 및 제2 X축이동체(6b)를 가지고 있다. 제1 X축이동체(6a) 및 제2 X축이동체(6b)는, 각각 직육면체 형상을 이루고 있다. 제1 X축이동체(6a) 및 제2 X축이동체(6b)는, 테이블부(7)에 의하여 서로 연결되어 있다. 그리고, X축이동체(6)는, 각 X축가동자(52)를 구동함으로써 정반(2)의 상면(2a) 위를 X축방향으로 이동한다. 테이블부(7)는, 반도체 등을 설치하기 위한 것으로서, 반도체 등이 설치되는 원반형상의 부재를 가지고 있다.The X-axis movable body 6 moves on the upper surface 2a of the surface plate 2 in the X-axis direction, and has a first X-axis movable body 6a and a second X-axis movable body 6b. The first X-axis movable body 6a and the second X-axis movable body 6b each have a rectangular parallelepiped shape. The 1st X-axis movable body 6a and the 2nd X-axis movable body 6b are mutually connected by the table part 7. As shown in FIG. And the X-axis movable body 6 moves each X-axis mover 52 on the upper surface 2a of the surface plate 2 in an X-axis direction. The table portion 7 is for providing a semiconductor or the like, and has a disk-shaped member on which the semiconductor or the like is provided.

냉각재킷(8A)은, Y축가동자(32)의 가동에 의하여 발생된 열을 흡수하여 Y축가동자(32)를 냉각하는 것이다. 냉각재킷(9A)은, X축가동자(52)의 가동에 의하여 발생된 열을 흡수하여 X축가동자(52)를 냉각하는 것이다. 냉각재킷(8A, 9A)은, 각각 직육면체 형상을 이루고 있고, 각각 Y축가동자(32) 및 X축가동자(52)에 있어서의 외주면의 하나 또는 복수의 장착영역에 대하여 볼트(B, B)에 의하여 선택적으로 착탈 가능하게 되어 있다.The cooling jacket 8A absorbs heat generated by the operation of the Y-axis mover 32 and cools the Y-axis mover 32. The cooling jacket 9A absorbs heat generated by the operation of the X-axis mover 52 and cools the X-axis mover 52. The cooling jackets 8A and 9A each have a rectangular parallelepiped shape, and the bolts B and B are provided with respect to one or a plurality of mounting regions of the outer circumferential surface of the Y-axis actuator 32 and the X-axis actuator 52, respectively. It is selectively detachable by it.

여기서의 장착영역은, Y축가동자(32) 및 X축가동자(52)의 주위에 설치되어 있는 부품의 배치나 장착에 근거하여 선택된다. 즉, 냉각재킷(8A)은, Y축가동자(32)의 상면(32a) 및 측면(32d)을 장착영역으로 하여 이들에 접촉되도록 장착되어 있다. 또한, 냉각재킷(9A)은, X축가동자(52)의 상면(52a) 및 하면(52c)을 장착영역으로 하여 이들에 접촉되도록 장착되어 있다. 특히, 본 실시형태에서는, 제2 Y축이동체(4b)에 장착되어 있는 Y축가동자(32)의 하방에 Y축가이드(41)가 배치되어 있고, 당해 Y축가동자(32)의 외주면 중 하면(32c)에 냉각재킷(8A)을 장착하는 것이 곤란하게 되어 있기 때문에, 상술한 바와 같이, 냉각재킷(8A)에 대하여 상면(32a) 및 측면(32b)이 장착영역으로서 선택되어 있다.The mounting area here is selected based on the arrangement and mounting of the parts provided around the Y-axis mover 32 and the X-axis mover 52. That is, the cooling jacket 8A is mounted so as to contact the upper surface 32a and the side surface 32d of the Y-axis mover 32 as a mounting area. The cooling jacket 9A is mounted so as to be in contact with the upper surface 52a and the lower surface 52c of the X-axis mover 52 as mounting regions. In particular, in this embodiment, the Y-axis guide 41 is arrange | positioned under the Y-axis movable body 32 attached to the 2nd Y-axis movable body 4b, and the lower surface of the outer peripheral surface of the said Y-axis movable body 32 is lowered. Since it is difficult to attach the cooling jacket 8A to the 32c, as described above, the upper surface 32a and the side surface 32b are selected as the mounting area with respect to the cooling jacket 8A.

냉각재킷(8A)에는, 유체유로(8L)가 형성되어 있고(도 3 참조), 이 유체유로(8L)에 물을 유통시킴으로써, Y축가동자(32)의 가동에 의하여 발생된 열을 흡수하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 냉각재킷(9A)에는, 유체유로(9L)가 형성되어 있고(도 2 참조), 이 유체유로(9L)에 물을 유통시킴으로써, X축가동자(52)의 가동에 의하여 발생된 열을 흡수하는 것이 가능하게 되어 있다.The cooling jacket 8A is provided with a fluid flow path 8L (see FIG. 3), and absorbs heat generated by the operation of the Y-axis mover 32 by circulating water in the fluid flow path 8L. It is possible. In addition, a fluid flow path 9L is formed in the cooling jacket 9A (see FIG. 2), and water is flowed through the fluid flow path 9L to thereby generate heat generated by the operation of the X-axis actuator 52. It is possible to absorb.

펌프(500)는, 냉각재킷(8A, 9A) 및 브래킷(10A)에 물을 압송하기 위한 압송수단이다. 이 펌프(500)는, 예컨대, 정반(2)으로부터 떨어진 위치에 별개로 설치되어 있다.The pump 500 is a feeding means for feeding water to the cooling jackets 8A, 9A and the bracket 10A. This pump 500 is separately provided, for example in the position away from the surface plate 2.

다만, 스테이지장치(1A)에서는, X축이동체(6)를 연직방향으로 지지하기 위한 리프트 에어베어링(100)이, 제1 X축이동체(6a)의 하부에 하나, 제2 X축이동체(6b)의 하부에 2개 장착되어 있다. 또한, Y축이동체(4)를 연직방향으로 지지하기 위한 리프트 에어베어링(200)이, 제1 Y축이동체(4a)의 하부에 하나, 제2 Y축이동체(4b)의 하부에 2개 장착되어 있다.However, in the stage device 1A, one lift air bearing 100 for supporting the X-axis movable body 6 in the vertical direction is provided under the first X-axis movable body 6a and the second X-axis movable body 6b. It is installed in the lower part of 2). In addition, two lift air bearings 200 for supporting the Y-axis movable body 4 in the vertical direction are mounted at the bottom of the first Y-axis movable body 4a and two at the bottom of the second Y-axis movable body 4b. It is.

다음으로, 본 실시형태의 냉각유닛에 있어서의 물의 유통경로에 대하여 상세히 설명한다.Next, the water circulation path in the cooling unit of this embodiment is demonstrated in detail.

도 2는 도 1에 나타내는 스테이지장치의 X축가동자에 장착된 냉각유닛에 있어서의 물의 유통경로의 일례를 나타내는 개략사시도, 도 3은 도 1에 나타내는 스테이지장치의 Y축가동자에 장착된 냉각유닛에 있어서의 물의 유통경로의 일례를 나타내는 개략사시도이다.FIG. 2 is a schematic perspective view showing an example of a water circulation path in a cooling unit mounted to the X-axis mover of the stage apparatus shown in FIG. 1; FIG. 3 is a cooling unit attached to the Y-axis mover of the stage apparatus shown in FIG. It is a schematic perspective view which shows an example of the water circulation path in water.

도 2에 나타내는 바와 같이, X축가동자(52)를 냉각하는 냉각유닛(U1)은, 냉각재킷(9A, 9A), 브래킷(10A, 10A), 및 튜브(t)에 의하여 구성되어 있다. 또한, 도 3에 나타내는 바와 같이, Y축가동자(32)를 냉각하는 냉각유닛(U2)은, 냉각재킷(8A, 8A), 브래킷(10A, 10A), 및 튜브(t)에 의하여 구성되어 있다.As shown in FIG. 2, the cooling unit U1 which cools the X-axis mover 52 is comprised by cooling jacket 9A, 9A, bracket 10A, 10A, and the tube t. In addition, as shown in FIG. 3, the cooling unit U2 which cools the Y-axis mover 32 is comprised by the cooling jacket 8A, 8A, the bracket 10A, 10A, and the tube t. .

도 2 및 도 3에 나타내는 바와 같이, 브래킷(10A)의 유체유로(10L)는, 물을 유통시키는 것으로서, 브래킷(10A)의 외형 형상, 즉 L자 형상을 따르도록 형성되어 있다. 이 브래킷(10A)에는, 유체유로(10L)에 물을 유입시키는 유체입구(11), 및 유체유로(10L)로부터 물을 배출시키는 유체출구(12)가 형성되어 있다. 유체입구(11)는 일방의 단면에 위치하고, 유체출구(12)는 타방의 단면에 위치하고 있다.As shown to FIG. 2 and FIG. 3, the fluid flow path 10L of 10 A of brackets distributes water, and is formed so that it may follow the external shape of the bracket 10A, ie, L-shape. The bracket 10A is provided with a fluid inlet 11 for introducing water into the fluid passage 10L and a fluid outlet 12 for discharging water from the fluid passage 10L. The fluid inlet 11 is located in one cross section, and the fluid outlet 12 is located in the other cross section.

유체입구(11) 및 유체출구(12)에는, 각각 이음매(c)가 장착되어 있다. 이음매(c)에는, 수지 등으로 형성되어 연질이고 가요성을 가지는 튜브(t)가 접속되어 있다. 이음매(c)는, 여기에서는, 튜브(t)의 착탈을 용이하게 행할 수 있는 이른바 원터치 이음매로 되어 있다. 유체입구(11)에 접속된 튜브(t)는 브래킷(10A)에 물을 유입시키는 유입튜브로서 기능하고, 유체출구(12)에 접속된 튜브(t)는 브래킷(10A)으로부터 물을 유출시키는 유출튜브로서 기능한다. 다만, 튜브(t)는, 금속 등으로 형성되어 경질이며 고강성의 것이어도 된다.The joint c is attached to the fluid inlet 11 and the fluid outlet 12, respectively. The joint t is connected to a tube t formed of a resin or the like, which is soft and flexible. The joint c is a so-called one-touch joint that can easily attach and detach the tube t here. The tube t connected to the fluid inlet 11 functions as an inlet tube for introducing water into the bracket 10A, and the tube t connected to the fluid outlet 12 allows water to flow out of the bracket 10A. It functions as an outflow tube. However, the tube t may be formed of metal or the like, and may be rigid and high rigidity.

도 2에 나타내는 바와 같이, 냉각재킷(9A)의 유체유로(9L)는, 물을 유통시키는 것이다. 이 유체유로(9L)는, 상방에서 보아 U자 형상, Y축방향으로부터의 측면에서 보아 직선 형상을 이루고 있고, 냉각재킷(9A)에 광범위하게 형성되어 있다. 냉각재킷(9A)의 X축방향으로 대향하는 측면(9o) 및 측면(9p) 중 측면(9o)에는, 유체유로(9L)에 물을 유입시키는 유체입구(91), 및 유체유로(9L)로부터 물을 배출시키는 유체출구(92)가, 서로 이격되어 형성되어 있다. 유체입구(91) 및 유체출구(92)에는, 튜브(t)가 접속된 이음매(c)가 장착되어 있다. 유체입구(91)에 접속된 튜브(t)는 냉각재킷(9A)에 물을 유입시키는 유입튜브로서 기능하고, 유체출구(92)에 접속된 튜브(t)는 냉각재킷(9A)으로부터 물을 유출시키는 유출튜브로서 기능한다.As shown in FIG. 2, 9 L of fluid flow paths of 9 A of cooling jackets distribute | circulate water. This fluid flow path 9L has a linear shape when viewed from above in a U-shape and a side view from the Y-axis direction, and is extensively formed in the cooling jacket 9A. A fluid inlet 91 for introducing water into the fluid flow path 9L and a fluid flow path 9L in the side surface 9o and the side surface 9p of the cooling jacket 9A facing the X axis direction. A fluid outlet 92 for discharging water from the air is formed spaced apart from each other. The fluid inlet 91 and the fluid outlet 92 are equipped with a joint c to which the tube t is connected. The tube t connected to the fluid inlet 91 functions as an inlet tube for introducing water into the cooling jacket 9A, and the tube t connected to the fluid outlet 92 receives water from the cooling jacket 9A. It functions as an outflow tube for outflow.

그리고, 냉각유닛(U1)에서는, 일방의 브래킷(10A), 하면(52c)에 장착된 냉각재킷(9A), 상면(52a)에 장착된 냉각재킷(9A), 타방의 브래킷(10A)이, 튜브(t)를 통하여 이 순서로 물을 유통시킨다.In the cooling unit U1, one bracket 10A, the cooling jacket 9A attached to the lower surface 52c, the cooling jacket 9A attached to the upper surface 52a, and the other bracket 10A, The water is passed through this tube t in this order.

도 3에 나타내는 바와 같이, 냉각재킷(8A)의 유체유로(8L)는, 물을 유통시키는 것으로서, 냉각재킷(9A)의 유체유로(9L)(도 2 참조)와 마찬가지의 구성으로 되어 있다. 냉각재킷(8A)의 측면(8o)에는, 유체입구(81) 및 유체출구(82)가, 서로 이격되어 형성되어 있다. 유체입구(81) 및 유체출구(82)에는, 튜브(t)가 접속된 이음매(c)가 장착되어 있다. 유체입구(81)에 접속된 튜브(t)는 냉각재킷(8A)에 물을 유입시키는 유입튜브로서 기능하고, 유체출구(82)에 접속된 튜브(t)는 냉각재킷(8A)으로부터 물을 유출시키는 유출튜브로서 기능한다.As shown in FIG. 3, 8L of fluid flow paths of 8 A of cooling jackets distribute | circulate water, and have the structure similar to the fluid flow path 9L (refer FIG. 2) of 9 A of cooling jackets. At the side surface 8o of the cooling jacket 8A, the fluid inlet 81 and the fluid outlet 82 are formed spaced apart from each other. At the fluid inlet 81 and the fluid outlet 82, a joint c to which the tube t is connected is mounted. The tube t connected to the fluid inlet 81 functions as an inlet tube for introducing water into the cooling jacket 8A, and the tube t connected to the fluid outlet 82 receives water from the cooling jacket 8A. It functions as an outflow tube for outflow.

그리고, 냉각유닛(U2)에서는, 일방의 브래킷(10A), 타방의 브래킷(10A), 측면(32b)에 장착된 냉각재킷(8A), 상면(32a)에 장착된 냉각재킷(8A)이, 튜브(t)를 통하여 이 순서로 물을 유통시킨다.In the cooling unit U2, one bracket 10A, the other bracket 10A, the cooling jacket 8A mounted on the side surface 32b, and the cooling jacket 8A mounted on the upper surface 32a, The water is passed through this tube t in this order.

또한, X축가동자(52) 및 Y축가동자(32)에는, 각각 케이블(도시생략)이 접속되어 있다. 이들 케이블은, 케이블을 지지하고 보호하기 위한 케이블 보호부재(예컨대 케이블 베어(등록상표) 등)를 따르게 되어 있다. 또한, 튜브(t)도 이 케이블 보호부재를 따르게 되어 있다. 이로써, X축가동자(52) 및 Y축가동자(32)가 가동하더라도, 튜브(t)가 다른 부품과 접촉하여 파손되는 것이 억제되고 있다.In addition, a cable (not shown) is connected to the X-axis actuator 52 and the Y-axis actuator 32, respectively. These cables are provided with a cable protection member (for example, a cable bear (trademark), etc.) for supporting and protecting the cable. In addition, the tube t also follows this cable protection member. Thereby, even if the X-axis actuator 52 and the Y-axis actuator 32 move | move, it is suppressed that the tube t comes in contact with another component and is damaged.

이러한 냉각유닛(U1, U2)을 구비한 스테이지장치(1A)에서는, 전원을 투입하면, 먼저 일방의 X축가동자(52)에 장착된 냉각재킷(9A) 및 브래킷(10A)에 펌프(500)로부터 소정량의 물이 압송된다. 그리고, 이 물이 타방의 X축가동자(52)에 장착된 냉각재킷(9A) 및 브래킷(10A)에 공급된 후, 펌프(500)로 되돌려짐으로써, 물이 순환하게 되어 있다. 또한, 전원을 투입하면, 일방의 Y축가동자(32)에 장착된 냉각재킷(8A) 및 브래킷(10A)에 펌프(500)로부터 소정량의 물이 압송된다. 그리고, 이 물이 타방의 Y축가동자(32)에 장착된 냉각재킷(8A) 및 브래킷(10A)에 공급된 후, 펌프(500)로 되돌려짐으로써, 물이 순환하게 되어 있다.In the stage apparatus 1A equipped with such cooling units U1 and U2, when the power is turned on, the pump 500 is first supplied to the cooling jacket 9A and the bracket 10A mounted on one of the X-axis actuators 52. A predetermined amount of water is pushed in from. The water is supplied to the cooling jacket 9A and the bracket 10A attached to the other X-axis mover 52, and then returned to the pump 500 to circulate the water. Further, when the power is turned on, a predetermined amount of water is pumped from the pump 500 to the cooling jacket 8A and the bracket 10A attached to one Y-axis mover 32. The water is supplied to the cooling jacket 8A and the bracket 10A attached to the other Y-axis mover 32, and then returned to the pump 500, whereby the water is circulated.

또한, 냉각유닛(U1, U2)을 구비한 스테이지장치(1A)에서는, X축샤프트모터(5)의 발열량이 냉각재킷(9A) 및 브래킷(10A)에 의한 냉각량보다 큰 경우, 새로운 냉각부재를 예컨대 X축가동자(52)의 측면(52b) 등에 추가로 장착함과 함께, 튜브(t)의 접속을 적절히 바꾸어 유통경로를 변경하는 것(커스터마이즈하는 것)에 의하여, 냉각량을 발열량에 따라서 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.In addition, in the stage device 1A equipped with the cooling units U1 and U2, when the heat generation amount of the X-axis shaft motor 5 is larger than the cooling amount by the cooling jacket 9A and the bracket 10A, a new cooling member For example, the coolant is additionally mounted on the side surface 52b of the X-axis mover 52 and the like, and the flow path is changed (customized) by appropriately changing the connection of the tube t. It is possible to adjust.

또한, 냉각유닛(U1, U2)을 구비한 스테이지장치(1A)에서는, 예컨대 X축샤프트모터(5)의 발열량이나 Y축샤프트모터(3)의 발열량이 냉각재킷(8A, 9A) 및 브래킷(10A)에 의한 냉각량보다 작은 경우, 이들 중 적어도 하나를 떼어냄과 함께, 튜브(t)의 접속을 적절히 바꾸어 유통경로를 변경하는 것(커스터마이즈하는 것)에 의하여, 냉각량을 발열량에 따라서 조정하는 것이 가능하게 되어 있다.In addition, in the stage apparatus 1A provided with the cooling units U1 and U2, for example, the heat generation amount of the X-axis shaft motor 5 and the heat generation amount of the Y-axis shaft motor 3 are the cooling jackets 8A, 9A and the bracket ( When smaller than the cooling amount by 10A), the cooling amount is adjusted according to the calorific value by removing at least one of these and changing the flow path by appropriately changing the connection of the tube t. It is possible to do.

이상, 본 실시형태에 있어서는, 유체유로(8L)를 가지는 냉각재킷(8A)이, Y축가동자(32)에 있어서의 외주면의 하나 또는 복수의 장착영역에 대하여 선택적으로 착탈하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 유체유로(9L)를 가지는 냉각재킷(9A)이, X축가동자(52)에 있어서의 외주면의 하나 또는 복수의 장착영역에 대하여 선택적으로 착탈하는 것이 가능하게 되어 있다. 또한, 유체유로(10L)를 가지는 브래킷(10A)이, X축가동자(52) 및 Y축가동자(32)에 있어서의 외주면의 하나 또는 복수의 장착영역에 대하여 선택적으로 착탈하는 것이 가능하게 되어 있다. 따라서, X축가동자(52) 및 Y축가동자(32)의 주위에 부품이 배치되어 있는 경우이더라도, 당해 부품이 간섭하지 않는 장착영역에 선택적으로 냉각재킷(8A, 9A) 및 브래킷(10A)을 장착할 수 있다. 따라서, 본 실시형태에 관한 스테이지장치(1A)는, 커스터마이즈성을 높일 수 있다.As described above, in the present embodiment, the cooling jacket 8A having the fluid flow path 8L can be selectively detached with respect to one or a plurality of mounting regions of the outer circumferential surface of the Y-axis mover 32. . In addition, the cooling jacket 9A having the fluid flow path 9L can be selectively detached to one or a plurality of mounting regions of the outer circumferential surface of the X-axis mover 52. In addition, the bracket 10A having the fluid flow path 10L can be detachably attached to one or a plurality of mounting regions of the outer circumferential surface of the X-axis mover 52 and the Y-axis mover 32. . Therefore, even when parts are arranged around the X-axis actuator 52 and the Y-axis actuator 32, the cooling jackets 8A, 9A and the bracket 10A are selectively mounted in the mounting area where the components do not interfere. I can attach it. Therefore, the stage apparatus 1A which concerns on this embodiment can improve customization.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 냉각재킷(8A, 9A) 및 브래킷(10A)이, 하나 또는 복수의 장착영역에 대하여 선택적으로 착탈하는 것이 가능하다. 그로 인하여, X축샤프트모터(5) 및 Y축샤프트모터(3)의 발열량에 맞추어 냉각재킷(8A, 9A) 및 브래킷(10A)의 장착영역을 적절히 선택하여, 냉각량을 조정할 수 있다. 따라서, 본 실시형태에 관한 스테이지장치(1A)는, 안정되게 X축샤프트모터(5) 및 Y축샤프트모터(3)를 냉각할 수 있다.In the present embodiment, the cooling jackets 8A and 9A and the bracket 10A can be selectively detached with respect to one or a plurality of mounting regions. Therefore, according to the heat generation amount of the X-axis shaft motor 5 and the Y-axis shaft motor 3, the mounting area of cooling jacket 8A, 9A and bracket 10A can be selected suitably, and cooling amount can be adjusted. Therefore, the stage apparatus 1A which concerns on this embodiment can cool the X-axis shaft motor 5 and the Y-axis shaft motor 3 stably.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 상술한 바와 같이, X축가동자(52)를 X축이동체(6)에 고정하는 브래킷(10A)이 냉각부재로서 겸용되고 있다. 이로 인하여, 이 브래킷(10A)에 의하여 X축이동체(6)와 X축가동자(52)가 열적으로 직접 접촉하는 것이 방지된다. 따라서, X축가동자(52)로부터 X축이동체(6)로의 열의 이동을 억제할 수 있어서, X축이동체(6)가 열팽창되어 당해 X축이동체(6)의 이동의 정밀도가 저하되는 것을 억제할 수 있다. 마찬가지로, Y축이동체(4)와 Y축가동자(32) 사이에 있어서의 열의 이동에 대해서도, 브래킷(10A)에 의하여 억제할 수 있다.In addition, in this embodiment, as mentioned above, the bracket 10A which fixes the X-axis movable body 52 to the X-axis movable body 6 is used as a cooling member. For this reason, the X-axis movable body 6 and the X-axis movable body 52 are prevented from directly contacting thermally by this bracket 10A. Therefore, the movement of heat from the X-axis mover 52 to the X-axis mover 6 can be suppressed, so that the X-axis mover 6 is thermally expanded and the precision of movement of the X-axis mover 6 is reduced. Can be. Similarly, the movement of heat between the Y-axis mover 4 and the Y-axis mover 32 can also be suppressed by the bracket 10A.

다만, 본 실시형태에 있어서는, 브래킷(10A)이 L자 형상을 이루고 있어서 X축가동자(52) 및 Y축가동자(32)의 측면보다 외측으로 돌출되어 있기 때문에, 하부에 위치하는 유체입구(11) 또는 유체출구(12)가 X축가동자(52), Y축가동자(32) 및 주변부재에 가려지는 일이 적어서, 튜브(t)를 이음매(c)에 접속하기 쉽게 되어 있다. 또한, 스테이지장치(1A)에서는, 이른바 원터치 이음매인 이음매(c)에 의하여 튜브(t)의 착탈을 용이하게 행할 수 있게 되어 있다. 그로 인하여, 유통경로의 변경이나 메인터넌스 등을 용이하게 행할 수 있다.However, in the present embodiment, since the bracket 10A has an L shape and protrudes outward from the side surfaces of the X-axis mover 52 and the Y-axis mover 32, the fluid inlet 11 positioned at the lower portion 11 is located. ) Or the fluid outlet 12 is rarely covered by the X-axis mover 52, the Y-axis mover 32, and the peripheral member, so that the tube t is easily connected to the joint c. In the stage apparatus 1A, the tube t can be easily attached and detached by a joint c, which is a one-touch joint. Therefore, the change of the distribution route, maintenance, etc. can be performed easily.

또한, 본 실시형태에 있어서는, X축가동자(52, 52)를 냉각하는 계통과, Y축가동자(32, 32)를 냉각하는 계통의 2계통이 설치되어 있기 때문에, 모든 냉각재킷(8A, 9A) 및 브래킷(10A)에 1계통만으로 물을 유통시키는 경우에 비하여, 냉각의 효율을 향상시킬 수 있다.In addition, in this embodiment, since two systems of the system which cools the X-axis movers 52 and 52 and the system which cools the Y-axis movers 32 and 32 are provided, all cooling jackets 8A and 9A are provided. ) And the efficiency of cooling can be improved compared to the case where water is passed through only one system to the bracket 10A.

다음으로, 본 발명의 제2 실시형태에 관한 스테이지장치에 대하여 설명한다. 다만, 본 실시형태의 설명에서는, 상기 제 1 실시형태와 상이한 점에 대하여 주로 설명한다.Next, the stage apparatus concerning 2nd Embodiment of this invention is demonstrated. In the description of the present embodiment, however, differences from the first embodiment will mainly be described.

도 4는 본 발명의 제2 실시형태에 관한 스테이지장치의 X축가동자에 장착된 냉각유닛에 있어서의 물의 유통경로의 일례를 나타내는 개략사시도, 도 5는 본 발명의 제2 실시형태에 관한 스테이지장치의 Y축가동자에 장착된 냉각유닛에 있어서의 물의 유통경로의 일례를 나타내는 개략사시도이다.Fig. 4 is a schematic perspective view showing an example of a water circulation path in a cooling unit mounted to an X-axis mover of a stage device according to a second embodiment of the present invention. Fig. 5 is a stage device according to a second embodiment of the present invention. It is a schematic perspective view which shows an example of the water circulation path in the cooling unit attached to the Y-axis mover.

도 4에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관한 스테이지장치(1B)에 장착된 냉각유닛(U3)이 제1 실시형태에 관한 냉각유닛(U1)(도 2 참조)과 상이한 점은, X축가동자(52)의 상면(52a)에 냉각재킷(9B)을 2개 구비하고 있는 점이다. 또한, 도 5에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관한 스테이지장치(1B)에 장착된 냉각유닛(U4)이 제1 실시형태에 관한 냉각유닛(U2)(도 3 참조)과 상이한 점은, Y축가동자(32)의 상면(32a)에 냉각재킷(8B)을 2개 구비하고 있는 점이다.As shown in FIG. 4, the X-axis mover is different from the cooling unit U1 (see FIG. 2) in the cooling unit U3 attached to the stage device 1B according to the present embodiment. This is the point that two cooling jackets 9B are provided on the upper surface 52a of 52. In addition, as shown in FIG. 5, the cooling unit U4 attached to the stage apparatus 1B which concerns on this embodiment differs from the cooling unit U2 which concerns on 1st Embodiment (refer FIG. 3) of Y. FIG. This is the point that two cooling jackets 8B are provided on the upper surface 32a of the shaft mover 32.

도 4에 나타내는 바와 같이, 냉각재킷(9B)의 Y축방향에 있어서의 길이는, 냉각재킷(9A)의 Y축방향에 있어서의 길이의 약 절반으로 되어 있다. 이로써, 냉각재킷(9B)의 X축가동자(52)에 대한 접촉면적은 냉각재킷(9A)의 약 절반으로 되어 있어서, 상면(52a)에 냉각재킷(9B)을 2개 장착하는 것이 가능하다. 마찬가지로, 도 5에 나타내는 바와 같이, 냉각재킷(8B)의 X축방향에 있어서의 길이는, 냉각재킷(8A)의 Y축방향에 있어서의 길이의 약 절반으로 되어 있어서, 상면(32a)에 냉각재킷(8B)을 2개 장착하는 것이 가능하게 되어 있다.As shown in FIG. 4, the length in the Y-axis direction of the cooling jacket 9B is about half of the length in the Y-axis direction of the cooling jacket 9A. Thereby, the contact area of the cooling jacket 9B with respect to the X-axis actuator 52 is about half of the cooling jacket 9A, and it is possible to mount two cooling jackets 9B on the upper surface 52a. Similarly, as shown in FIG. 5, the length in the X-axis direction of the cooling jacket 8B becomes about half of the length in the Y-axis direction of the cooling jacket 8A, and is cooled by the upper surface 32a. It is possible to mount two jackets 8B.

그리고, 도 4에 나타내는 바와 같이, 냉각유닛(U3)에서는, 일방의 브래킷(10A), 하면(52c)에 장착된 냉각재킷(9A), 상면(52a)에 장착된 일방의 냉각재킷(9B), 상면(52a)에 장착된 타방의 냉각재킷(9B), 타방의 브래킷(10A)이, 튜브(t)를 통하여 이 순서로 물을 유통시킨다.4, in the cooling unit U3, the cooling jacket 9A attached to one bracket 10A, the lower surface 52c, and the one cooling jacket 9B attached to the upper surface 52a. The other cooling jacket 9B attached to the upper surface 52a and the other bracket 10A allow water to flow in this order through the tube t.

또한, 도 5에 나타내는 바와 같이, 냉각유닛(U4)에서는, 일방의 브래킷(10A), 타방의 브래킷(10A), 측면(32b)에 장착된 냉각재킷(8A), 상면(32a)에 장착된 일방의 냉각재킷(8B), 상면(32a)에 장착된 타방의 냉각재킷(8B)이, 튜브(t)를 통하여 이 순서로 물을 유통시킨다.In addition, as shown in FIG. 5, in the cooling unit U4, it is attached to the cooling jacket 8A attached to one bracket 10A, the other bracket 10A, the side surface 32b, and the upper surface 32a. One cooling jacket 8B and the other cooling jacket 8B attached to the upper surface 32a distribute water in this order through the tube t.

이러한 냉각유닛(U3, U4)을 구비한 스테이지장치(1B)가, 제1 실시형태에 관한 상기 스테이지장치(1A)와 동일한 효과를 나타내는 것은 말할 필요도 없다.It goes without saying that the stage device 1B including the cooling units U3 and U4 has the same effect as the stage device 1A according to the first embodiment.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 냉각재킷(8B)의 Y축가동자(32)에 대한 접촉면적이, 냉각재킷(8A)의 약 절반으로 되어 있기 때문에, 스테이지장치(1A)에 비하여, 세세하게 냉각량을 조정할 수 있다. 마찬가지로, 냉각재킷(9B)의 X축가동자(52)에 대한 접촉면적이, 냉각재킷(9A)의 약 절반으로 되어 있기 때문에, 스테이지장치(1A)에 비하여, 세세하게 냉각량을 조정할 수 있다.In addition, in this embodiment, since the contact area of the cooling jacket 8B with respect to the Y-axis actuator 32 is about half of the cooling jacket 8A, it cools finely compared with the stage apparatus 1A. Can be adjusted. Similarly, since the contact area of the cooling jacket 9B with respect to the X-axis actuator 52 is about half of the cooling jacket 9A, the amount of cooling can be finely adjusted compared with the stage apparatus 1A.

다음으로, 본 발명의 제3 실시형태에 관한 스테이지장치에 대하여 설명한다. 다만, 본 실시형태의 설명에서는, 상기 제1 실시형태와 상이한 점에 대하여 주로 설명한다.Next, the stage apparatus which concerns on 3rd Embodiment of this invention is demonstrated. In the description of the present embodiment, however, differences from the first embodiment will mainly be described.

도 6은, 본 발명의 제3 실시형태에 관한 스테이지장치의 X축가동자에 장착된 냉각부재에 있어서의 물의 유통경로의 일례를 나타내는 개략사시도이다. 도 6에 나타내는 바와 같이, 본 실시형태에 관한 스테이지장치(1C)에 장착된 냉각유닛(U5)이 제1 실시형태에 관한 냉각유닛(U1)(도 2 참조)과 상이한 점은, X축가동자(52)의 상면(52a)에 냉각재킷(9B)을 구비하고 있는 점, 하면(52c)에 냉각재킷(9A)을 구비하고 있지 않은 점, 브래킷(10A) 대신 브래킷(10B)를 구비하고 있는 점이다.Fig. 6 is a schematic perspective view showing an example of the water circulation path in the cooling member attached to the X-axis mover of the stage apparatus according to the third embodiment of the present invention. As shown in FIG. 6, the X-axis mover differs from the cooling unit U5 (see FIG. 2) in the cooling unit U5 attached to the stage device 1C according to the present embodiment. Cooling jacket 9B is provided on upper surface 52a of 52, cooling jacket 9A is not provided on lower surface 52c, and bracket 10B is provided instead of bracket 10A. Is the point.

브래킷(10B)은, I자 형상을 이루고 있고, 측면(52d)에만 접촉되어 있다. 이로써, 브래킷(10B)의 X축가동자(52)에 대한 접촉면적은 브래킷(10A)의 약 절반으로 되어 있다. 그리고, 냉각유닛(U5)에서는, 일방의 브래킷(10B), 냉각재킷(9B), 타방의 브래킷(10B)이, 튜브(t)를 통하여 이 순서로 물을 유통시킨다.The bracket 10B has an I shape and is in contact with only the side surface 52d. Thereby, the contact area of the bracket 10B with respect to the X-axis mover 52 becomes about half of the bracket 10A. And in the cooling unit U5, one bracket 10B, the cooling jacket 9B, and the other bracket 10B let water flow in this order through the tube t.

이러한 냉각유닛(U5)을 구비한 스테이지장치(1C)가, 제1 실시형태에 관한 스테이지장치(1A)와 마찬가지의 효과를 나타내는 것은 말할 필요도 없다.It goes without saying that the stage device 1C including the cooling unit U5 exhibits the same effect as the stage device 1A according to the first embodiment.

또한, 본 실시형태에 있어서는, 냉각재킷(9B)의 X축가동자(52)에 대한 접촉면적이 냉각재킷(9A)의 약 절반으로 되고, 또한 브래킷(10B)의 X축가동자(52)에 대한 접촉면적이 브래킷(10A)의 약 절반으로 되어 있기 때문에, 스테이지장치(1A)에 비하여, 세세하게 냉각량을 조정할 수 있다.In addition, in this embodiment, the contact area of the cooling jacket 9B with respect to the X-axis actuator 52 becomes about half of the cooling jacket 9A, and also with respect to the X-axis actuator 52 of the bracket 10B. Since the contact area is about half of the bracket 10A, the amount of cooling can be finely adjusted compared to the stage apparatus 1A.

이상, 본 발명의 적합한 실시형태에 대하여 상세히 설명하였지만, 본 발명은 상기 실시형태로 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 물의 유통경로는, 도 2~6에 나타내는 유통경로로 한정되지 않고, 튜브(t)의 접속을 변경함으로써 다양한 유통경로로 하는 것이 가능하다. 또한, 상기 실시형태에서는, 유체로서 물이 이용되고 있지만, 물 이외의 액체가 유체로서 이용되어도 되고, 공기 등의 기체가 유체로서 이용되어도 된다. 요컨대, 샤프트모터에서 발생한 열을 흡수할 수 있는 유체이면 된다.As mentioned above, although preferred embodiment of this invention was described in detail, this invention is not limited to the said embodiment. For example, the flow path of water is not limited to the flow path shown in FIGS. 2-6, It is possible to make various flow paths by changing the connection of the tube t. In addition, in the said embodiment, although water is used as a fluid, liquids other than water may be used as a fluid, and gas, such as air, may be used as a fluid. In short, any fluid may be used to absorb heat generated from the shaft motor.

또한, 상기 실시형태에서는, X축가동자(52, 52)를 냉각하는 계통과, Y축가동자(32, 32)를 냉각하는 계통의 2계통의 냉각계통이 설치되어 있지만, 각 계통을 가동자마다 2개로 나누어, 4계통의 냉각수단이 설치되어 있어도 된다. 이렇게 하면, 더욱 냉각의 효율이 향상된다.In the above embodiment, two systems of cooling systems for cooling the X-axis movers 52 and 52 and a system for cooling the Y-axis movers 32 and 32 are provided. The system may be divided into pieces and four cooling means may be provided. This further improves the efficiency of cooling.

또한, 상기 실시형태에서는, X축샤프트모터(5, 5) 및 Y축샤프트모터(3, 3)가 이용되고 있지만, 샤프트모터는 하나뿐이어도 된다. 또한, 상기 실시형태에서는, 이음매(c)는, 이른바 원터치 이음매로 되어 있지만, 원터치 이음매가 아니어도 된다.In addition, in the said embodiment, although the X-axis shaft motors 5 and 5 and the Y-axis shaft motors 3 and 3 are used, only one shaft motor may be sufficient. In addition, in the said embodiment, although the seam c is what is called a one-touch seam, it is not necessary to be a one-touch seam.

또한, 상기 실시형태에서는, 냉각재킷(8A, 8B, 9A, 9B) 및 브래킷(10A, 10B)은, 볼트에 의하여 X축가동자(52) 또는 Y축가동자(32)에 착탈 가능하게 장착되어 있지만, 이것으로 한정되는 것은 아니다. 예컨대, 냉각부재 및 가동자의 어느 일방에 돌기를 형성하고, 타방에 당해 돌기와 계합(係合)하는 계합구멍을 형성하여, 이들 돌기와 계합구멍을 계합시킴으로써 냉각부재를 가동자에 착탈 가능하게 장착하여도 된다. 또한, 접착재나 양면테이프에 의하여 냉각부재를 가동자에 착탈 가능하게 장착하여도 된다. 또한, 냉각부재의 일부에, 가동자와 감합하는 감합기구를 설치하고, 이 감합기구를 가동자에 감합시킴으로써 냉각부재를 가동자에 착탈 가능하게 장착하여도 된다. 요컨대, 냉각부재와 가동자 사이에서 열의 이동이 가능하도록, 냉각부재가 가동자에 착탈 가능하면 된다.In the above embodiment, the cooling jackets 8A, 8B, 9A, 9B and the brackets 10A, 10B are detachably attached to the X-axis mover 52 or the Y-axis mover 32 by bolts. It is not limited to this. For example, even if a projection is formed in one of a cooling member and a movable body, the engagement hole which engages with the said projection is formed in the other, and these projections and an engagement hole are engaged, even if a cooling member is detachably attached to a movable member, do. The cooling member may be detachably mounted to the movable member by an adhesive or a double-sided tape. In addition, a part of the cooling member may be provided with a fitting mechanism for fitting with the mover, and the fitting is detachably attached to the mover by fitting the fitting mechanism to the mover. In other words, the cooling member may be detachable from the movable member so that heat can be moved between the cooling member and the movable member.

또한, 상기 실시형태의 유체유로(8L)는, 유체입구(81)가 측면(8o)에 형성되고, 유체출구(82)가 측면(8p)에 형성되며, 이들 유체입구(81)와 유체출구(82) 사이를 사행(蛇行)하도록 유체유로(8L)가 형성되어 있어도 된다. 요컨대, 유체입구(81)와 유체출구(82)로 연통된 유체유로(8L)이면 된다. 유체유로(9L)에 대해서도 마찬가지이다.In the fluid flow path 8L of the above embodiment, the fluid inlet 81 is formed at the side surface 8o, the fluid outlet 82 is formed at the side surface 8p, and the fluid inlet 81 and the fluid outlet are formed. The fluid flow path 8L may be formed so as to meander between the 82. That is, the fluid flow path 8L communicated with the fluid inlet 81 and the fluid outlet 82 may be sufficient. The same applies to the fluid passage 9L.

또한, 상기 실시형태에서는, 가동자가 가동 중이거나 정지 중이거나 상관없이 일정량의 물이 유통되고 있지만, 가동자가 가동 중에만 물이 유통되어도 된다. 또한, 일정량의 물이 유통되는 것이 아니라, 가동자의 발열량에 따라서 물의 유통량이 조정되어도 된다.In addition, in the said embodiment, although a certain amount of water is circulated regardless of whether a mover is operating or stopping, water may be circulated only while a mover is operating. In addition, a certain amount of water may not be circulated, but the amount of water circulated may be adjusted according to the amount of heat generated by the mover.

또한, 상기 실시형태에서는, X축가동자(52)가 브래킷(10A, 10B)을 통하여 X축이동체(6)에 장착되어 있지만, 브래킷(10A, 10B)을 통하지 않고 직접 X축이동체(6)에 장착되어도 된다. Y축가동자(32)의 Y축이동체(4)에의 장착에 대해서도 마찬가지이다.In addition, in the said embodiment, although the X-axis mover 52 is attached to the X-axis movable body 6 via the brackets 10A and 10B, it does not go through the brackets 10A and 10B directly, but to the X-axis movable body 6 directly. It may be attached. The same applies to the mounting of the Y-axis mover 32 on the Y-axis movable body 4.

1A, 1B, 1C…스테이지장치, 2…정반, 3…Y축샤프트모터, 4…Y축이동체, 5…X축샤프트모터, 6…X축이동체, 8A, 8B, 9A, 9B…냉각재킷(냉각부재), 8L, 9L…유체유로, 10A, 10B…브래킷, 10L…유체유로, 11…제1 접속구(유체입구, 유체출구), 12…제2 접속구(유체입구, 유체출구), 31…Y축고정자, 32…Y축가동자, 51…X축고정자, 52…X축가동자, 81, 91…제1 접속구(유체입구, 유체출구), 82, 92…제2 접속구(유체입구, 유체출구), t…튜브(유입튜브, 유출튜브), U1, U2, U3, U4, U5…냉각유닛.1A, 1B, 1C... Stage device; Table, 3... Y axis shaft motor, 4.. Y-axis moving body, 5... X axis shaft motor, 6.. X-axis moving body, 8A, 8B, 9A, 9B... Cooling jacket (cooling member), 8L, 9L… Fluid flow path, 10A, 10B... Bracket, 10L... . Fluid flow path, 11.. First connection port (fluid inlet, fluid outlet), 12.. Second connection port (fluid inlet, fluid outlet), 31.. Y-axis stator, 32... Y-axis mover, 51... X-axis stator, 52... X-axis actuators, 81, 91... First connection port (fluid inlet, fluid outlet), 82, 92... Second connection port (fluid inlet, fluid outlet), t.. Tube (inlet tube, outlet tube), U1, U2, U3, U4, U5... Cooling unit.

Claims (4)

정반 위를 소정의 방향으로 이동하는 이동체와,
상기 소정의 방향을 따른 축 형상의 고정자, 및 상기 이동체에 설치된 가동자를 가지고, 상기 이동체를 상기 소정의 방향으로 구동하기 위한 샤프트모터와,
유체를 유입시키는 유체입구, 상기 유체를 유통시키는 유체유로, 및 상기 유체를 배출시키는 유체출구를 가지고, 상기 가동자의 외주면에 있어서의 복수의 영역에 대하여 선택적으로 착탈 가능한 복수의 냉각부재와,
상기 유체입구에 접속되고, 상기 냉각부재에 상기 유체를 유입시키는 경질 또는 연질의 유입튜브와,
상기 유체출구에 접속되고, 상기 냉각부재로부터 상기 유체를 유출시키는 경질 또는 연질의 유출튜브
를 구비하고,
상기 복수의 냉각부재의 상기 유체입구 및 상기 유체출구에는 이음매가 설치되고, 상기 이음매에 상기 유입튜브 및 유출튜브가 장착되어 있음으로써 상기 복수의 냉각부재 사이에서 유체가 순환하도록 된 것
을 특징으로 하는 스테이지장치.A movable body moving on the surface plate in a predetermined direction,
A shaft motor for driving the movable body in the predetermined direction, having a shaft-shaped stator along the predetermined direction, and a movable element provided in the movable body;
A plurality of cooling members having a fluid inlet for introducing a fluid, a fluid passage for distributing the fluid, and a fluid outlet for discharging the fluid, the plurality of cooling members selectively detachable with respect to a plurality of areas on the outer circumferential surface of the mover;
A hard or soft inlet tube connected to the fluid inlet and introducing the fluid into the cooling member;
A hard or soft outlet tube connected to the fluid outlet and for discharging the fluid from the cooling member;
And,
The fluid inlet and the fluid outlet of the plurality of cooling members are provided with a joint, the inlet tube and the outlet tube is mounted on the joint to allow the fluid to circulate between the plurality of cooling members.
Stage device characterized in that. 청구항 1에 있어서,
상기 냉각부재는, 상기 이동체와 상기 가동자 사이에 배치되어 상기 가동자를 상기 이동체에 고정하는 브래킷을 포함하는 것
을 특징으로 하는 스테이지장치.The method according to claim 1,
The cooling member includes a bracket disposed between the movable body and the movable body to fix the movable body to the movable body.
Stage device characterized in that. 정반 위를 소정의 방향으로 이동하는 이동체와, 상기 소정의 방향을 따른 축 형상의 고정자, 및 상기 이동체에 설치된 가동자를 가지고, 상기 이동체를 상기 소정의 방향으로 구동하기 위한 샤프트모터를 구비하는 스테이지장치에 장착되는 냉각유닛으로서,
유체를 유입시키는 유체입구, 상기 유체를 유통시키는 유체유로, 및 상기 유체를 배출시키는 유체출구를 가지고, 상기 가동자의 외주면에 있어서의 복수의 영역에 대하여 선택적으로 착탈 가능한 복수의 냉각부재와,
상기 유체입구에 접속되고, 상기 냉각부재에 상기 유체를 유입시키는 경질 또는 연질의 유입튜브와,
상기 유체출구에 접속되고, 상기 냉각부재로부터 상기 유체를 유출시키는 경질 또는 연질의 유출튜브
를 구비하고,
상기 복수의 냉각부재의 상기 유체입구 및 상기 유체출구에는 이음매가 설치되고, 상기 이음매에 상기 유입튜브 및 유출튜브가 장착되어 있음으로써 상기 복수의 냉각부재 사이에서 유체가 순환하도록 된 것
을 특징으로 하는 냉각유닛.A stage apparatus having a movable body moving on a surface plate in a predetermined direction, a shaft-shaped stator along the predetermined direction, and a movable element provided in the movable body, and having a shaft motor for driving the movable body in the predetermined direction. As a cooling unit mounted to
A plurality of cooling members having a fluid inlet for introducing a fluid, a fluid passage for distributing the fluid, and a fluid outlet for discharging the fluid, the plurality of cooling members selectively detachable with respect to a plurality of areas on the outer circumferential surface of the mover;
A hard or soft inlet tube connected to the fluid inlet and introducing the fluid into the cooling member;
A hard or soft outlet tube connected to the fluid outlet and for discharging the fluid from the cooling member;
And,
The fluid inlet and the fluid outlet of the plurality of cooling members are provided with a joint, the inlet tube and the outlet tube is mounted on the joint to allow the fluid to circulate between the plurality of cooling members.
Cooling unit characterized in that. 청구항 3에 있어서,
상기 냉각부재는, 상기 이동체와 상기 가동자 사이에 배치되어 상기 가동자를 상기 이동체에 고정하는 브래킷을 포함하는 것
을 특징으로 하는 냉각유닛.The method according to claim 3,
The cooling member includes a bracket disposed between the movable body and the movable body to fix the movable body to the movable body.
Cooling unit characterized in that.
KR1020120010583A 2011-02-08 2012-02-02 Stage apparatus and cooling unit KR101273242B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011025184A JP5575678B2 (en) 2011-02-08 2011-02-08 Stage device and cooling unit
JPJP-P-2011-025184 2011-02-08

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120090811A KR20120090811A (en) 2012-08-17
KR101273242B1 true KR101273242B1 (en) 2013-06-11

Family

ID=46844403

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020120010583A KR101273242B1 (en) 2011-02-08 2012-02-02 Stage apparatus and cooling unit

Country Status (2)

Country Link
JP (1) JP5575678B2 (en)
KR (1) KR101273242B1 (en)

Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5723426B2 (en) * 2013-09-02 2015-05-27 株式会社カイジョー Drive mechanism and manufacturing apparatus
CN104052233B (en) * 2014-05-05 2016-08-24 肖俊东 Linear electric motors and motor platform
TWI593505B (en) * 2015-10-14 2017-08-01 財團法人工業技術研究院 Feeding module
WO2017122288A1 (en) * 2016-01-13 2017-07-20 富士機械製造株式会社 Coolant apparatus for machine tool
JP2017175765A (en) * 2016-03-23 2017-09-28 住友重機械工業株式会社 Linear motor and stage device

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004357426A (en) * 2003-05-29 2004-12-16 Nikon Corp Linear motor and exposure equipment
KR20070022722A (en) * 2004-07-12 2007-02-27 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 Linear motor and stage device using the same

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3219652B2 (en) * 1994-10-11 2001-10-15 キヤノン株式会社 Moving magnet type multi-phase linear motor, stage and exposure apparatus
US5703420A (en) * 1994-10-11 1997-12-30 Canon Kabushiki Kaisha Moving magnet type multi-phase linear motor with vibration suppression and coil cooling means
JP3694821B2 (en) * 1997-07-04 2005-09-14 株式会社安川電機 Linear motor
JP2007325412A (en) * 2006-05-31 2007-12-13 Canon Electronics Inc Stage system
JP2008148399A (en) * 2006-12-07 2008-06-26 Hiwin Mikrosystem Corp Heat dissipation sleeve for shaft type linear motor

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004357426A (en) * 2003-05-29 2004-12-16 Nikon Corp Linear motor and exposure equipment
KR20070022722A (en) * 2004-07-12 2007-02-27 스미도모쥬기가이고교 가부시키가이샤 Linear motor and stage device using the same

Also Published As

Publication number Publication date
JP2012165604A (en) 2012-08-30
KR20120090811A (en) 2012-08-17
JP5575678B2 (en) 2014-08-20

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101273242B1 (en) Stage apparatus and cooling unit
US7732951B2 (en) Moving-magnet type linear motor
KR20110083554A (en) Motor and vehicle
JP4068848B2 (en) Linear motor
JP4827959B2 (en) Machine tool feed shaft cooling system
JP5208432B2 (en) Linear motor
US20140318408A1 (en) Drive Apparatus for a Magnetic Levitation Transport System
KR101904446B1 (en) Linear motor unit
CN102873410B (en) Gear machining equipment
US20170012487A1 (en) Electrical machine having a frame and sleeve
CN1433127A (en) Linear motor
KR20110010702A (en) Vacuum processing apparatus
JP2003309963A (en) Cooling apparatus for linear slider
KR101486624B1 (en) Linear motor and stage device
JP4656306B2 (en) Canned linear motor armature and canned linear motor
KR20080044574A (en) A cooling device for linear motor
JP5347596B2 (en) Canned linear motor armature and canned linear motor
KR101040988B1 (en) The separated two cooling systems of electric moter for submarine
JP2009136118A (en) Synchronous linear motor
JP2003324888A (en) Linear motor
JP4702825B2 (en) Stage device and machine tool
JP2017196670A (en) Main spindle device of machine tool
KR101828541B1 (en) Apparatus for mounting a device
JP4618673B2 (en) Machine Tools
JPH0557558A (en) Mobile guide

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160517

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170522

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180518

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190516

Year of fee payment: 7