KR101264215B1 - 이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법 - Google Patents

이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법 Download PDF

Info

Publication number
KR101264215B1
KR101264215B1 KR1020110059228A KR20110059228A KR101264215B1 KR 101264215 B1 KR101264215 B1 KR 101264215B1 KR 1020110059228 A KR1020110059228 A KR 1020110059228A KR 20110059228 A KR20110059228 A KR 20110059228A KR 101264215 B1 KR101264215 B1 KR 101264215B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
nozzle
nozzle unit
along
electrode
Prior art date
Application number
KR1020110059228A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20120139431A (ko
Inventor
변도영
Original Assignee
엔젯 주식회사
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 엔젯 주식회사 filed Critical 엔젯 주식회사
Priority to KR1020110059228A priority Critical patent/KR101264215B1/ko
Publication of KR20120139431A publication Critical patent/KR20120139431A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101264215B1 publication Critical patent/KR101264215B1/ko

Links

Images

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
    • H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
    • B05C5/00—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work
    • B05C5/02—Apparatus in which liquid or other fluent material is projected, poured or allowed to flow on to the surface of the work the liquid or other fluent material being discharged through an outlet orifice by pressure, e.g. from an outlet device in contact or almost in contact, with the work
    • B05C5/0295—Floating coating heads or nozzles
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01B—CABLES; CONDUCTORS; INSULATORS; SELECTION OF MATERIALS FOR THEIR CONDUCTIVE, INSULATING OR DIELECTRIC PROPERTIES
    • H01B13/00—Apparatus or processes specially adapted for manufacturing conductors or cables
    • H01B13/0026—Apparatus for manufacturing conducting or semi-conducting layers, e.g. deposition of metal
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02—Details
    • H01L31/0224—Electrodes
    • H01L31/022466—Electrodes made of transparent conductive layers, e.g. TCO, ITO layers

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Computer Hardware Design (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Coating Apparatus (AREA)

Abstract

본 발명은 이송형 멀티노즐 시스템에 관한 것으로서, 본 발명에 따른 이송형 멀티노즐 시스템은 기판이송방향을 따라서 이송되는 기판에 전극액을 분사하는 시스템에 있어서, 상기 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 장착되되, 상기 기판이송방향과 다른 방향을 따라서 왕복 이송되는 멀티노즐부;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
이에 의하여, 전극액을 분사하여 미세 선폭의 그리드형 라인을 기판에 용이하게 인쇄할 수 있는 이송형 멀티노즐 시스템이 제공된다.

Description

이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법{MOVING TYPE MULTI-NOZZLE SYSTEM AND METHOD FOR MAKING TRANSPARENT ELECTRODE USING THE SAME}
본 발명은 이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 간단한 공정을 이용하여 기판 상에 그리드형 라인을 형성하는 시스템과 이러한 시스템으로 고효율의 투명전극을 저렴하게 제조할 수 있는 이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법에 관한 것이다.
최근, 친환경적인 장점에다가, 에너지원의 고갈의 염려가 없다는 점에서 태양광에 대한 관심이 집중되고 있는 추세이다.
태양전지의 광이 입사되는 면에는 광이 투과되기 위하여 광투과율이 우수한 광투과층이 적층되고, 전기적 전도성의 전극이 광투과층 상에 형성되어 전자 이송경로로서의 역할을 한다. 그러나, 이러한 구조의 태양전지는 광이 전극이 형성되는 영역상에서 투과되지 못함으로써, 집광효율이 현저히 떨어진다는 문제가 있었다.
상기 문제의 대안으로 태양전지에 투명전극을 배치하고 있다. 특히, 이러한 투명전극으로는 ITO(Indium Tin Oxide) 전극이 주로 이용되고 있다. 이는, ITO가 박막을 형성하기 용이하고, 광투과 특성이 우수하며, 전기적 저항이 비교적 낮기 때문이다.
그러나, 기존의 ITO 전극의 사용시에 태양전지의 집광율은 향상시킬 수 있으나, 상대적으로 큰 저항값으로 인하여 전체적인 태양전지의 광변환율은 떨어지는 문제가 있었다.
한편, 이러한 종래의 투명전극이 가지는 문제를 해결하기 위하여 전기 전도성의 전극액을 그리드형으로 인쇄함으로서 이를 투명전극으로 이용하는 기술이 있다.
도 1은 종래의 투명전극을 제작하는 시스템의 일례를 개략적으로 도시한 것이다.
도 1에서와 같이, 종래의 시스템(10)에 의하면, 위치 고정된 노즐부(11)로부터 전극액을 토출하는 동시에 기판(S)을 일방향으로 이송시킴으로써 라인을 인쇄하고, 이송이 완료된 기판(S)을 180도 회전시킨 후에 이전 이송된 방향과 반대방향으로 기판을 재이송함으로써 그리드형의 라인을 인쇄하고 있다.
그러나, 이러한 종래의 시스템(10)에서는 기판(S)을 회전시키는 공정의 연속성을 방해하는 공정이 포함됨으로써, 시간적, 비용적으로 비경제적이라는 문제가 있었다.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 경제적인 공정을 통하여 기판 상에 전극액을 그리드 형으로 패터닝 할 수 있는 이송형 멀티노즐 시스템을 제공함에 있다.
또한, 본 발명의 목적은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 전극액을 그리드형으로 패터닝하고, 광투과층을 도포함으로써 광투과율 및 전기적 전도성을 동시에 향상시킬 수 있는 투명전극 제조방법을 제공함에 있다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 기판이송방향을 따라서 이송되는 기판에 전극액을 분사하는 시스템에 있어서, 상기 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 장착되되, 상기 기판이송방향과 다른 방향을 따라서 왕복 이송되는 멀티노즐부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템에 의해 달성된다.
또한, 상기 멀티노즐부는 상기 기판이송방향에 수직인 방향을 따라서 왕복이송될 수 있다.
또한, 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라서 배열되되, 고정된 위치에서 전극액을 분사하는 고정노즐부를 더 포함하고, 상기 멀티노즐부에 구비되는 복수개의 노즐은 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라서 배열될 수 있다.
또한, 상기 멀티노즐부는 복수개가 서로 다른 이송경로를 따라서 왕복 이송되되, 상기 복수개의 멀티노즐부 각각의 이송경로는 중복되지 않도록 설정될 수 있다.
또한, 상기 복수개의 멀티노즐부는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향을 따라서 나란히 배열되되, 상기 기판이송방향에 수직한 방향을 따라서 왕복 이송되는 제1멀티노즐부; 상기 제1멀티노즐부의 이송방향과 반대방향을 따라서 왕복 이송되는 제2멀티노즐부;를 포함할 수 있다.
또한, 상기 멀티노즐부의 이송경로 또는 이송속도 중 어느 하나를 제어하는 제어부를 더 포함할 수 있다.
또한, 상기 멀티노즐부는 정전기력에 의하여 전극액을 분사할 수 있다.
또한, 상기 목적은 본 발명에 따라, 이송형 멀티노즐 시스템을 이용하여 전기적 전도성 재질의 전극액을 상기 기판 상에 분사함으로써 그리드형 전극을 인쇄하는 단계; 상기 그리드형 전극이 형성되는 상기 기판의 면에 광투과층을 도포하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제조방법에 의해 달성된다.
또한, 상기 인쇄되는 그리드형 전극의 선폭은 20μm 이하일 수 있다.
본 발명에 따르면, 단순한 구조를 통하여 그리드형의 전극액을 용이하게 인쇄할 수 있는 이송형 멀티노즐 시스템이 제공된다.
또한, 연속적으로 이송되는 상태의 기판에 그리드형 라인을 인쇄함으로써, 인라인(In-line) 시스템이 구축될 수 있다.
또한, 제어부를 이용하여 멀티노즐부의 이송속도, 이송주기, 이송구간 등을 제어함으로써, 기판 상에 인쇄되는 그리드형 라인의 밀도, 형상 등을 조절할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 이송형 멀티노즐 시스템을 이용하여 전기전도성이 우수한 투명전극을 제작할 수 있는 투명전극 제조방법이 제공된다.
또한, 20μm 이하 미세 선폭으로 그리드형 라인을 패터닝함으로써, 광투과율이 우수한 투명전극을 제작할 수 있다.
도 1은 종래의 투명전극을 제작하는 방법의 일례를 개략적으로 도시한 것이고,
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템을 개략적으로 도시한 것이고,
도 3은 도 2의 이송형 멀티노즐 시스템의 개략적인 작동도이고,
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템을 개략적으로 도시한 것이고,
도 5은 도 4의 이송형 멀티노즐 시스템의 개략적인 작동도이다.
설명에 앞서, 여러 실시예에 있어서, 동일한 구성을 가지는 구성요소에 대해서는 동일한 부호를 사용하여 대표적으로 제1실시예에서 설명하고, 그 외의 실시예에서는 제1실시예와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.
이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 제1실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템(100)에 대하여 상세하게 설명한다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템을 개략적으로 도시한 것이고, 도 3은 도 2의 이송형 멀티노즐 시스템의 개략적인 작동도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템(100)은 기판이송부(110)와 고정노즐부(120)와 멀티노즐부(130)와 제어부(140)와 건조부(150)를 포함한다.
상기 기판이송부(110)는 본 실시예의 이송형 멀티노즐 시스템(100)을 인라인(in-line) 시스템으로 구성하기 위하여 소정의 기판이송방향(D)을 따라서 기판(S)을 연속 이송하는 부재이다.
본 실시예에서 기판이송부(110)는 이송롤러가 기판(S)을 이송하는 구조의 롤투롤(roll-to-roll) 형태로 구성되나, 연속적인 기판(S) 이송을 통하여 인라인 시스템이 구현될 수 있는 구조라면 이러한 구성에 제한되지 않는다.
상기 고정노즐부(120)는 기판(S)의 상측의 고정된 위치에 마련되는 것으로서, 챔버부(121)와 복수개의 노즐(122)을 포함한다.
상기 챔버부(121)는 후술하는 복수개의 노즐(122)에 연통하여 후술하는 복수개의 각 노즐에 전극액을 공급하기 위한 부재로서, 기판(S)의 폭방향, 즉, 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라서 길게 배치된다.
상기 노즐(122)은 챔버부(121)로부터 공급되는 전극액을 하방의 기판(S)으로 분사하기 위한 경로로서, 챔버부(121)의 하면에 복수개가 나란히 배치된다. 한편, 챔버부(121)가 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라서 길게 형성되므로, 이러한 챔버부(121)의 길이방향을 따라서 하면에 배열되는 복수개의 노즐(122) 역시 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라 나란히 배열된다.
한편, 고정노즐부(120)는 소정위치에 고정된 상태로서 연속으로 이송되는 기판(S)과의 사이에서 상대적 속도차이가 발생하게 되므로, 고정노즐부(120)로부터 하방으로 연속 분사되는 전극액에 의하여 기판(S)에는 상호 이격되는 복수개의 라인이 기판이송방향(D)을 따라서 형성된다.
한편, 본 실시예에서 노즐(122)로부터 토출되는 전극액은 전기적 전도성을 가지는 전극액이며, 상술한 노즐(122)의 내부에는 전압이 인가되기 위한 토출전극(미도시)이 배치되고, 전극액이 토출되는 노즐(122)의 단부에 대향하는 위치에 대향전극(미도시)이 마련됨으로써, 고정노즐부(120)는 토출전극과 대향전극의 전위차로부터 발생하는 정전기력에 의하여 전도성 전극액이 토출되는 형태의 EHD(ElectroHydroDnamics) 잉크젯의 구조를 가지나, 이에 제한되는 것은 아니다.
상기 멀티노즐부(130)는 기판(S)의 상측에서 기판이송방향(D)과 수직인 방향을 따라서 왕복이송되는 부재로서, 챔버부(131)와 복수개의 노즐(132)을 포함한다.
상기 챔버부(131)는 기판이송방향(D)과 수직인 방향을 따라서 길게 형성되며, 상기 복수개의 노즐(132)은 챔버부(131)의 하면에 나란히 배열된다.
한편, 본 실시예에서 멀티노즐부(130) 역시, 정전기력에 의하여 전도성 전극액이 토출되는 형태의 EHD 잉크젯의 구조를 가질 수도 있다.
상기 제어부(140)는 멀티노즐부(130)가 소정의 구간을 왕복이송 하도록 제어한다. 본 실시예에서 멀티노즐부(130)는 고정노즐부(120)로부터 기판이송방향(D)을 따라 소정간격 이격된 위치에서 기판이송방향(D)에 수직인 방향을 따라서 소정의 직선구간을 왕복하며 이송된다.
한편, 제어부(140)는 멀티노즐부(130)의 이송경로, 이송속도, 이송주기 등의 제어가 가능하도록 설정됨으로써, 기판(S)상에 최종 인쇄되는 그리드형의 라인의 밀도, 형상 등을 조절할 수도 있다.
상기 건조부(150)는 상술한 고정노즐부(120)와 멀티노즐부(130)로부터 기판상에 분사된 전극액을 건조시키기 위한 부재로서, 기판의 상측에 기판이송방향(D)을 따라 멀티노즐부(130)로부터 이격되게 배치된다.
지금부터는 상술한 이송형 멀티노즐 시스템(100)의 제1실시예의 작동에 대하여 설명한다.
먼저, 기판이송부(110)에 의하여 기판(S)이 이송됨으로써 고정노즐부(120)의 하측을 지나치게 된다. 이때, 고정노즐부(120)의 복수개의 노즐(122)로부터 전극액이 연속적으로 토출되고, 이로 인하여 이송중인 기판(S)의 상측에는 노즐과 동일한 갯수의 라인이 패터닝된다.
이때, 고정노즐부(120)에서 분사되는 전극액으로 인하여 생성되는 기판(S) 상의 라인을 제1라인(L1)이라 정의한다.
한편, 상술한 과정에서 기판(S)이 지속적으로 이송되어 멀티노즐부(130)의 하측을 지나치게 되면, 기판이송방향(D)과 수직인 방향을 따라서 왕복 이송되는 멀티노즐부(130)의 다수개의 노즐(132)로부터 토출되는 전극액은 하방에서 연속적으로 지나가는 기판(S)에 사선형태의 라인을 형성한다. 즉, 멀티노즐부(130)를 사선으로 이송시키지 않고, 단순 직선왕복 이송만으로도 직선이송되는 기판(S)과의 사이에서 상대속도가 발생하므로 기판(S)에 사선형태의 라인이 생성된다.
이때, 멀티노즐부(130)에서 분사되는 전극액으로 인하여 생성되는 기판(S) 상의 라인을 제2라인(L2)이라 한다.
따라서, 제2라인(L2)은 복수개의 제1라인(L1)을 가로지르는 형태의 사선으로 인쇄되며, 제1라인(L1)과 제2라인(L2)은 상호 엇갈리는 그리드 형상을 형성하게 된다.
한편, 제어부(140)를 통하여 멀티노즐부(130)의 이송속도, 이송경로, 이송주기를 제어함으로써, 기판에 인쇄되는 라인의 밀도, 형상을 제어할 수 있다. 즉, 예를들면, 제어부(140)가 멀티노즐부(130)의 이송속도를 빠르게 함으로써 제2라인(L2)간의 간격은 줄어들고 더욱 밀집된 형태의 그리드형 라인이 기판(S)상에 인쇄될 수도 있다.
다음으로 본 발명의 제2실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템(200)에 대하여 설명한다.
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템을 개략적으로 도시한 것이고, 도 5은 도 4의 이송형 멀티노즐 시스템의 개략적인 작동도이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 이송형 멀티노즐 시스템(200)은 기판이송부(110)와 멀티노즐부(220)와 제어부(140)와 건조부(150)를 포함한다.
상기 기판이송부(110)와 제어부(140)와 건조부(150)는 상술한 제1실시예의 이송형 멀티노즐 시스템(100)과 동일한 구성이므로 중복설명은 생략한다.
본 실시예에서는 위치가 고정된 고정노즐부 대신, 왕복이송하는 한 쌍의 멀티노즐부(220)가 마련된다.
즉, 본 실시예에서의 멀티노즐부(220)는 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)를 포함한다.
상기 제1멀티노즐부(221)는 챔버부(222)와 복수개의 노즐(223)을 포함하며, 상기 챔버부(222)는 기판이송방향(D)을 따라서 길게 마련되되, 복수개의 노즐(223)이 챔버부(222)의 하면에 나란히 배열된다.
상기 제2멀티노즐부(224)는 챔버부(225)와 복수개의 노즐(226)을 포함하며, 상기 챔버부(225)는 기판이송방향(D)을 따라서 길게 마련되되, 복수개의 노즐(226)이 챔버부(225)의 하면에 나란히 배열된다. 한편, 제2멀티노즐부(224)는 제1멀티노즐부(221)로부터 기판이송방향(D)을 따라서 소정간격 이격된 위치에 마련된다.
한편, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)는 기판(S) 중심을 기준으로 양쪽에 상호 대응되는 위치에 배치된다. 즉, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)는 기판(S)의 길이방향으로는 상호 이격된 위치에 배치되고, 기판(S)의 중심을 기준으로 폭방향으로는 상호 마주보는 위치에 대향되게 배치된다.
상기 제어부(140)는 멀티노즐부(220)를 제어하여 기판이송방향(D)과 수직인 방향을 따라서 소정구간 내를 왕복이송되도록 하는 부재이다. 상술한 바와 같이, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)는 기판(S)의 길이방향으로 이격되게 배치되므로, 각각의 왕복이송경로는 서로 중복되지 않는다.
또한, 제어부(140)는 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)의 이송을 제어하여, 기판(S)의 중심을 기준으로 각각의 폭방향 위치가 상호 대칭이 되도록 한다.
본 발명의 제2실시에에 따른 이송형 멀티노즐 시스템(200)의 작동에 대하여 설명하면, 기판(S)이 이송됨으로써 제1멀티노즐부(221)의 하측을 지나가면서, 소정의 제1이송경로(P1)를 따라서 왕복이송되는 제1멀티노즐부(221)로부터 분사되는 전극액에 의하여 기판(S) 상에는 복수개의 사선형의 라인이 형성된다.
제1멀티노즐부(221)로부터 분사되는 전극액에 의하여 기판(S)에 형성되는 라인을 제1라인(L1)이라 정의한다. 반복되는 왕복이송으로 인하여 후행(後行)하는 이송으로 인한 제1라인(L1)이 선행(先行)한 이송시에 형성되는 제1라인(L1) 일부와 엇갈리는 형태로 구성되며, 제1멀티노즐부(221)만으로부터 분사되는 전극액만을 이용하여 기판(S)의 일부영역에는 그리드 형상의 라인이 형성된다.
한편, 기판(S)이 제1멀티노즐부(221)를 지나쳐, 제2멀티노즐부(224)의 하측을 지나면서, 소정의 제2이송경로(P2)를 따라서 왕복이송되는 제2멀티노즐부(224)로부터 분사되는 전극액에 의하여 기판(S)에는 사선형의 제2라인(L2)이 형성된다.
이때, 제1멀티노즐부(221)가 좌측에서 우측의 방향을 따르는 이송경로로 이송되는 경우에, 제2멀티노즐부(224)는 우측에서 좌측의 방향을 따르는 이송경로로 이송되는 것이 바람직하다. 즉, 이에 의하면, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224) 각각의 이송경로의 기판(S)의 폭방향 성분은 서로 반대방향이 된다.
또한, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)는 기판(S)의 길이방향을 따라서 소정간격 이격된 위치에서 왕복 이송되므로, 제1이송경로(P1)와 제2이송경로(P2)는 서로 중첩되지 않는다.
상술한 제2멀티노즐부(224)의 이송에 의하여 기판(S)상에 제2라인(L2)이 인쇄됨으로써, 제1멀티노즐부(221)에 의하여 그리드 형태가 아닌 단일의 라인이 인쇄된 영역 및 라인 자체가 인쇄되지 않은 영역 상에는 그리드형 라인이 형성된다. 최종적으로, 멀티노즐부(220)에 의하여 인쇄가 완료된 기판(S)은 건조부(150)에 의하여 건조된다.
따라서, 본 실시예에 의하면, 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)의 왕복이송을 통하여 소외되는 영역 없이 기판(S)의 전면(全面)에 그리드 형상의 라인을 인쇄할 수 있다.
한편, 본 실시예에서 제어부(140)를 이용하여 제1멀티노즐부(221)와 제2멀티노즐부(224)의 이송속도, 이송주기, 이송경로 등을 제어함으로써, 기판(S) 상에 형성되는 그리드 형상의 밀도를 제어할 수 있다.
다음으로 본 발명의 이송형 멀티노즐 시스템을 이용한 투명전극 제조방법에 대하여 설명한다.
상기 투명전극 제조방법은 상술한 제1실시예 및 제2실시예의 이송형 멀티노즐 시스템(100, 200)을 이용하여 기판 상에 전극액을 분사함으로써 그리드형 라인을 미세한 선폭으로 인쇄한다.
그리고 나서, 인쇄된 그리드형 전극액을 포함하여 기판에는 광투과율이 우수한 광투과층이 도포됨으로써 투명전극이 형성된다.
즉, 상술한 방법, 특히, EHD 방식을 채용한 이송형 멀티노즐 시스템에 의하여 제작되는 투명전극은 전극액을 20μm 이하 미세한 선폭의 그리드형으로 인쇄되며, 미세한 선폭으로 인쇄되는 그리드형 전극액으로 인하여 우수한 광투과율(transparency) 및 전기적 전도성을 가지는 투명전극을 제작할 수 있다.
또한, 미세한 선폭으로 인쇄되는 그리드형 전극액의 투명전극이 태양전지를 구성하는 경우에 있어서, 광투과의 억제를 최소화하여 집광율의 향상시키는 동시에 태양전지의 광효율을 향상시킬 수 있다.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.
110 : 기판이송부 140 : 제어부
120 : 고정노즐부 150 : 건조부
130 : 멀티노즐부

Claims (9)

  1. 기판이송방향을 따라서 연속적으로 이송되는 기판에 전극액을 분사하는 시스템에 있어서,
    상기 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라 장착되되, 상기 기판이송방향에 수직인 방향을 따라서 왕복 이송되는 멀티노즐부;
    상기 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라서 배열되고, 고정된 위치에서 전극액을 분사하는 고정노즐부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템.
  2. 기판이송방향을 따라서 연속적으로 이송되는 기판에 전극액을 분사하는 시스템에 있어서,
    상기 전극액을 분사하는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향의 수직방향을 따라 장착되되, 상기 기판이송방향과 다른 방향을 따라서 왕복 이송되는 멀티노즐부;를 포함하되,
    상기 멀티노즐부는 복수개가 서로 다른 이송경로를 따라서 왕복 이송되되, 상기 복수개의 멀티노즐부 각각의 이송경로는 중복되지 않도록 설정되는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 멀티노즐부는 상기 기판이송방향에 수직인 방향을 따라서 왕복이송되는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 복수개의 멀티노즐부는 복수개의 노즐이 상기 기판이송방향을 따라서 나란히 배열되되,
    상기 기판이송방향에 수직한 방향을 따라서 왕복 이송되는 제1멀티노즐부; 상기 제1멀티노즐부의 이송방향과 반대방향을 따라서 왕복 이송되는 제2멀티노즐부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템.
  5. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 멀티노즐부는 정전기력에 의하여 전극액을 분사하는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티 노즐 시스템.
  6. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 멀티노즐부의 이송경로 또는 이송속도 중 어느 하나를 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송형 멀티노즐 시스템.
  7. 제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 이송형 멀티노즐 시스템을 이용하여 전기적 전도성 재질의 전극액을 상기 기판 상에 분사함으로써 그리드형 전극을 인쇄하는 단계;
    상기 그리드형 전극이 형성되는 상기 기판의 면에 광투과층을 도포하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 투명전극 제조방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 인쇄되는 그리드형 전극의 선폭은 20μm 이하인 것을 특징으로 하는 투명전극 제조방법.
  9. 삭제
KR1020110059228A 2011-06-17 2011-06-17 이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법 KR101264215B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110059228A KR101264215B1 (ko) 2011-06-17 2011-06-17 이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020110059228A KR101264215B1 (ko) 2011-06-17 2011-06-17 이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20120139431A KR20120139431A (ko) 2012-12-27
KR101264215B1 true KR101264215B1 (ko) 2013-05-14

Family

ID=47905913

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020110059228A KR101264215B1 (ko) 2011-06-17 2011-06-17 이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR101264215B1 (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110665665A (zh) * 2019-10-11 2020-01-10 郭一帆 一种洗车剂混合液喷洒设备

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
GB201600095D0 (en) 2016-01-04 2016-02-17 Mas Innovation Private Ltd Device

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110665665A (zh) * 2019-10-11 2020-01-10 郭一帆 一种洗车剂混合液喷洒设备

Also Published As

Publication number Publication date
KR20120139431A (ko) 2012-12-27

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US8906722B2 (en) Printing method for use in fabrication of an electronic unit
WO2011018594A4 (en) Capacitive touch panels
US20150207018A1 (en) Apparatus and Method for Manufacturing of Thin Film Type Solar Cell
JP2008517453A (ja) 導電層のエッチング装置およびエッチング方法
KR101264215B1 (ko) 이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법
JPWO2015115503A1 (ja) 導電性パターン、導電性パターン付き基材、導電性パターン付き基材の製造方法、表面に導電性パターンを有する構造体及び該構造体の製造方法
JP2012066176A (ja) 基板処理装置
CN103448366A (zh) 一种喷墨打印***及其应用
US7608304B2 (en) Substrate carrying method and substrate carrying apparatus
JP2014099570A (ja) 配線基板およびその製造方法、タッチパネルセンサシートならびにスクリーン印刷版
KR20160147874A (ko) 패턴 형성 방법, 투명 도전막을 구비한 기재, 디바이스 및 전자 기기
KR102170611B1 (ko) 배선 기판의 제조 방법 및 그것에 사용되는 잉크젯 도포 장치
JP5701551B2 (ja) 基板処理装置
KR20140036414A (ko) 개선된 스프레이 방식의 패턴 형성 장치 및 방법
KR101683738B1 (ko) 은페이스트 충진장치
CN109195801B (zh) 用于丝网印刷基板的设备和方法、和太阳能电池生产设备
CN104786630A (zh) 一种凹印版、其制作方法及应用
JP6779729B2 (ja) 薄膜製造方法及び有機ｅｌデバイスの製造方法
KR101442672B1 (ko) 마스크를 이용한 스프레이 노즐 시스템 및 이를 이용한 터치스크린의 제조방법
WO2014081051A1 (ko) 이송형 멀티노즐 시스템 및 이를 이용하는 투명전극 제조방법
KR101309959B1 (ko) 투명전극 제작 시스템 및 투명전극 제작방법
US20230026863A1 (en) A touch panel, and a method and apparatus for manufacturing such a touch panel
KR101298087B1 (ko) 에어로졸 젯 프린터의 마스킹 장치
KR101298127B1 (ko) 에어로졸 젯 프린터의 인쇄 헤드
CN220535262U (zh) 一种喷绘机uv固化灯及喷绘机

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160425

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20180504

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190425

Year of fee payment: 7