KR101261600B1 - 반도체 패키지 리드 프레임 매거진의 자동 공급 및 회수 장치 - Google Patents

반도체 패키지 리드 프레임 매거진의 자동 공급 및 회수 장치 Download PDF

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Abstract

반도체 패키지 리드 프레임 매거진의 자동 공급 및 회수 장치가 개시된다.
본 발명은 매거진에 적재된 반도체 패키지 리드 프레임을 인출시킬 수 있도록 인출 위치로 이송시키는 제1 매거진 공급용 컨베이어와; 상기 매거진 공급용 컨베이어에 의하여 이송된 매거진으로부터 반도체 패키지 리드 프레임을 순차적으로 인출시켜서 공급하는 제1 직선 이송 수단과; 상기 제1 직선 이송 수단에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임이 인출된 매거진을 회수하는 제1 매거진 회수용 컨베이어와; 상기 제1 직선 이송 수단에 의하여 이송된 반도체 패키지 리드 프레임을 정렬하는 제1 정렬 수단과; 상기 제1 정렬 수단에 의하여 정렬된 반도체 패키지 리드 프레임을 도금용 체인 벨트에 부착시키는 제1 회전 이송 수단과; 상기 제1 회전 이송 수단에 의하여 도금용 체인 벨트에 부착되어 도금 공정을 마친 반도체 패키지 리드 프레임을 회수하기 위하여 도금용 체인 벨트로부터 반도체 패키지 리드 프레임을 인출시키는 제2 회전 이송 수단과; 상기 제2 회전 이송 수단에 의하여 벨트로부터 인출된 반도체 패키지 리드 프레임을 정렬하는 제2 정렬 수단과; 상기 정렬 수단에 의하여 정렬된 반도체 패키지 리드 프레임을 매거진에 적재시키기 위한 제2 직선 이송 수단과; 상기 제2 직선 이송 수단에 의하여 공급되는 반도체 패키지 리드 프레임을 회수하기 위하여 반도체 패키지 리드 프레임이 적재되지 아니한 매거진을 수납 위치로 투입시키는 제2 매거진 공급용 컨베이어와; 상기 제2 매거진 공급용 컨베이어에 의하여 투입되어 상기 제2 직선 이송 수단에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임이 수납된 매거진을 회수하는 제2 매거진 회수용 컨베이어; 를 포함하는 것으로, 도금용 체인 벨트가 고속으로 연속 구동하면서도 이송 기구 사이에 작동거리를 최소화시켜서 설치 공간이 작고 소음을 방지하며, 기존에 시설된 도금 라인을 변경하지 않고 최적화된 자동화 설비를 구현할 수 있는 것이다.

Description

반도체 패키지 리드 프레임 매거진의 자동 공급 및 회수 장치{Loading and unloading apparatus for semiconductor package lead frame magazine.}
본 발명은 반도체 패키지 리드 프레임 도금 공정 라인에서 매거진에 적재된 반도체 패키지 리드 프레임을 도금하기 위하여 매거진으로부터 반도체 패키지 리드 프레임을 추출하여 자동적으로 공급하고 회수할 수 있는 반도체 패키지 리드 프레임 매거진의 자동 공급 및 회수 장치에 관한 것이다.
반도체 패키지(package)는 반도체 칩(chip)과 반도체 패키지 리드 프레임으로 이루어지는데, 상기 반도체 패키지 리드 프레임은 반도체 패키지의 내부와 외부를 연결해주는 역할을 하는 도선(lead)과 반도체 칩을 지지해주는 지지체(frame)의 역할을 하는 것이다. 이러한 반도체 패키지 리드 프레임은 통상적으로 소재인 박판부재에 대하여 신뢰성을 향상시키기 위해서 후속적으로 알칼리전해탈지, 마이크로 에칭 등의 표면처리를 실시한 다음 스탬핑 공정 또는 에칭공정에 의해서 박판부재를 소정 형상으로 성형하게 된다.
그리고, 반도체 패키지 리드 프레임은 도금층을 형성하는 공정과, 반도체칩이 배치되는 부위를 마련하는 다운셋(downset)공정, 테이핑(taping)공정 및 포밍(forming)공정을 통하여 완성된 후, 반도체칩이 배치되며 성형수지에 의해 몰딩되어 반도체 패키지로 제작된다
바도체 패키지 리드 프레임을 사용하여 반도체 패키지를 제조함에 있어서, 몰딩 공정을 마친 후에는 성형 완료된 반도체 패키지의 외부로 노출되는 아웃리드가 화학적 변화(산화에 의한 부식)를 일으키는 것을 방지하기 위하여 외부로 노출된 아웃리드의 표면을 도금 처리하게 된다.
일반적으로 반도체 패키지 리드 프레임의 도금라인은 세척, 전처리, 도금, 후처리, 건조과정으로 진행되고 있다. 이러한 도금라인은 생산성을 향상시키기 위한 필요성과 수작업에 의존할 수 없어서 자동화 설비를 필요로 하지만 유해성 화공약품의 습도가 높은 환경적인 요인으로 인하여 완전한 자동화가 어려울 뿐만 아니라, 현재 해당공정에서 근무하는 작업자 들은 귀마개, 마스크를 반드시 착용하여야 하는 열악한 환경조건에 노출되어 있다.
지금까지 반도체 패키지 리드 프레임을 도금하기 위한 반도체 패키지 리드 프레임 자동 공급 및 회수 장치는 도금용 체인 벨트가 고속으로 연속 구동하여야 하고, 반도체 패키지 리드 프레임을 도금용 체인 벨트에 공급하여 고정시키는 위치 사이에 높이 편차가 크기 때문에 장치가 구동을 하기 위하여 많은 작업공간을 필요로 하고, 소음이 발생하게 되며, 무엇보다도 도금 라인이 다양한 규격과 유형으로 설치되어 있기 때문에, 예를 들면 반도체 패키지 리드 프레임의 규격이 2종 이상이 됨에 따라서 반도체 패키지 리드 프레임을 수납하여 이송하는 매거진의 크기가 다르게 되는데, 이러한 매거진의 크기에 따라 기존에 시설된 도금 라인에 최적화될 수 있는 자동화 시스템을 구현하기 어려운 문제점이 있다.
본 발명은 반도체 패키지 리드 프레임의 도금 공정에서 반도체 패키지 리드 프레임을 고속으로 자동 공급 및 회수할 수 있는 고속 직선 운동 및 회전 운동 수단을 개발하여 도금용 체인 벨트가 고속으로 연속 구동하면서도 이송 기구 사이에 작동거리를 최소화시켜서 설치 공간이 작고 소음을 방지하며, 반도체 패키지 리드 프레임의 규격에 따르는 다양한 크기의 매거진에 대응하여 기존에 시설된 도금 라인을 변경하지 않고 최적화된 자동화 설비를 구현할 수 있는 반도체 패키지 리드 프레임 자동 공급 및 회수 장치를 제공하고자 하는 것이다.
본 발명이 의도하는 목적을 달성하기 위한 기술적인 특징은 다수개의 반도체 패키지 리드 프레임이 층상으로 적재되는 매거진으로부터 공급되는 반도체 리드프레임을 무한궤도상의 도금용 체인 벨트에 부착시켜서 도금 라인으로 이동시키는 반도체 패키지 리드 프레임 도금 장치에 있어서, 매거진에 적재된 반도체 패키지 리드 프레임을 인출시킬 수 있도록 인출 위치로 이송시키는 제1 매거진 공급용 컨베이어; 상기 제1 매거진 공급용 컨베이어에 의하여 이송된 매거진으로부터 반도체 패키지 리드 프레임을 순차적으로 인출시켜서 공급하는 제1 직선 이송 수단; 상기 제1 직선 이송 수단에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임이 인출된 매거진을 회수하는 제1 매거진 회수용 컨베이어; 상기 제1 직선 이송 수단에 의하여 이송된 반도체 패키지 리드 프레임을 정렬하는 제1 정렬 수단; 상기 제1 정렬 수단에 의하여 정렬된 반도체 패키지 리드 프레임을 도금용 체인 벨트에 부착시키는 제1 회전 이송 수단;상기 제1 회전 이송 수단에 의하여 도금용 체인 벨트에 부착되어 도금 공정을 마친 반도체 패키지 리드 프레임을 회수하기 위하여 도금용 체인 벨트로부터 반도체 패키지 리드 프레임을 인출시키는 제2 회전 이송 수단; 상기 제2 회전 이송 수단에 의하여 벨트로부터 인출된 반도체 패키지 리드 프레임을 정렬하는 제2 정렬 수단; 상기 정렬 수단에 의하여 정렬된 반도체 패키지 리드 프레임을 매거진에 적재시키기 위한 제2 직선 이송 수단; 상기 제2 직선 이송 수단에 의하여 공급되는 반도체 패키지 리드 프레임을 회수하기 위하여 반도체 패키지 리드 프레임이 적재되지 아니한 매거진을 수납 위치로 투입시키는 제2 매거진 공급용 컨베이어; 상기 제2 매거진 공급용 컨베이어에 의하여 투입되어 상기 제2 직선 이송 수단에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임이 수납된 매거진을 회수하는 제2 매거진 회수용 컨베이어 를 포함하는 것을 특징으로 한다.
매거진은 양쪽 수직면의 내측면에 대향하여 형성되는 다수개의 슬롯에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임이 개별적으로 수용되는 공간이 층상으로 형성되고, 전면과 배면에는 반도체 패키지 리드 프레임이 삽입/배출될 수 있도록 개방된 공간이 형성되어 다수개의 반도체 패키지 리드 프레임이 층상으로 적재된다.
제1 매거진 공급용 컨베이어는 폭 조절 수단을 구비하여 상기 매거진에 적재된 반도체 패키지 리드 프레임을 인출시키기 위한 위치로 이송시킨다.
폭 조절 수단은 어느 한편의 벨트 프레임이 컨베이어의 진행방향에 대하여 직각 방향으로 설치되는 가이드 레일에 안내되어 이동 가능하게 설치되면서, 상기 가이드 레일과 나란한 방향, 즉 컨베이어의 진행방향에 대하여 직각 방향으로 설치되고 스텝모터에 의하여 회전하는 리드 스크루가 나사 결합되어 리드 스크루가 회전함에 따라 가이드 레일에 안내되어 이동할 수 있게 됨으로써 다양한 규격의 매거진을 공급할 수 있게 된다.
제1 직선 이송 수단은 상기 제1 매거진 공급용 컨베이어의 한편에서 스텝 모터로 구동하는 리드 스크루에 나사 결합되어, 반도체 패키지 리드 프레임이 장전되어 공급되는 매거진을 받아서 층상으로 설치된 반도체 프레임의 간격만큼 수직 방향으로 올려주는 리프트와; 수평으로 설치되어 매거진에 장전된 반도체 패키지 리드 프레임을 인출시키는 푸시로드와; 상부의 로울러가 하부의 로울러에 근접하고 이격될 수 있도록 승강이동 가능하게 되어 상기 푸시로드에 의하여 인출되는 반도체 패키지 리드 프레임을 압착하여 수평 진행 방향으로 이송시키는 한 쌍의 이송 로울러와; 상기 이송 로울러에 의하여 이송된 반도체 패키지 리드 프레임의 후단부를 제1 회전 이송 수단까지 이송시킬 수 있도록 공압실린더에 의하여 상하 및 수평 이동하는 푸셔로 구성되어 상기 매거진 공급용 컨베이어에 의하여 이송된 매거진으로부터 반도체 패키지 리드 프레임을 순차적으로 인출시킨다.
상기 리프트는 폭 조절 수단을 구비하며, 제1 매거진 공급용 컨베이어의 안쪽에 설치되어 이송된 매거진이 수납된 다음 반도체 패키지 리드 프레임이 순차적으로 이젝트될 수 있도록 반도체 패키지 리드 프레임이 적층된 간격만큼 주기적으로 상승하게 되는데, 제1 매거진 공급용 컨베이어와 제1 매거진 배출용 컨베이어 사이에서 수직으로 왕복이동하며 이젝트 단계별로 매거진을 주기적으로 상승시키고, 이젝트가 완료된 매거진을 제1 매거진 배출용 컨베이어에 운반하는 하나의 리프트로 구성될 수 있고, 제1 매거진 공급용 컨베이어의 안쪽에서 매거진을 수납하여 이젝트 단계별로 상승하는 하부 리프트와, 반도체 패키지 리드 프레임이 완전히 이젝트된 매거진을 클램핑하여 제1 매거진 회수용 컨베이어에 이송시키는 상부 리프트로 구성될 수 있다.
제1 매거진 회수용 컨베이어는 상기 매거진 공급용 컨베이어와 같은 폭 조절 수단이 구비되어 매거진 공급용 컨베이어와 함께 컨베이어의 폭을 조절할 수 있게 되면서, 매거진 공급용 컨베이어의 상부에 설치되는 이젝터에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임이 추출된 매거진을 배출시킨다.
상기 이젝터는 위치 조절 수단을 구비하고, 액추에이터에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임이 배출된 매거진을 클램핑하여 승강 및 수평 이동시켜서 제1 매거진 회수용 컨베이어에 안착시키는 한 쌍의 핑거로 구성된다.
제1 정렬 수단은 상기 제1직선이송 수단에 의하여 인출된 반도체 패키지 리드 프레임을 수납하는 수납대와, 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 놓여져서 스크류 샤프트에 의하여 이동하는 이동대에 설치되는 공압실린더에 의하여 진퇴 작동하는 푸셔로 구성되어 반도체 패키지 리드 프레임이 제1 회전 이송 수단에 의하여 벨트에 정확하게 부착될 수 있도록 정렬시킨다.
제1 회전 이송 수단은 상기 정렬 수단의 수납대 상부에 회전 가능하게 설치되고 서보모터로 회전 가능하게 설치되는 공압실린더와, 상기 공압실린더의 피스톤 로드에 설치되어 직선 왕복 이동하는 또 하나의 공압실린더에 의하여 상기 정렬 수단에 의하여 정렬된 반도체 패키지 리드 프레임을 클램핑하여 상기 추출수단에 의하여 이송된 반도체 패키지 리드 프레임을 도금용 체인 벨트에 부착시키는 캐리어 핑거로 구성된다.
제2 회전 이송 수단은 상기 제1 회전 이송 수단과 동일한 구조로 되어, 제1 회전 이송 수단과 대칭상으로 설치된다. 즉, 서보모터로 회전가능하게 설치되는 공압실린더와, 상기 공압실린더의 피스톤로드에 설치되어 직선 왕복 이동하는 또 하나의 공압실린더에 의하여 도금 공정을 마친 반도체 패키지 리드 프레임을 클램핑하여 이탈시키는 캐리어 핑거로 구성되어 도금공정을 마친 반도체 패키지 리드 프레임을 도금용 체인 벨트로부터 이탈시켜서 회수할 수 있게 한다.
제2 정렬 수단은 상기 제1 정렬 수단과 동일한 구조로 되어, 제2 정렬 수단과 대칭상으로 설치된다. 즉, 상기 제2 회전 이송 수단에 의하여 분리된 반도체 패키지 리드 프레임을 수납하는 수납대와, 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 놓여져서 스크류 샤프트에 의하여 이동하는 이동대에 설치되는 공압실린더에 의하여 진퇴 작동하는 푸셔로 구성되어 반도체 패키지 리드 프레임을 회수용 매거진으로 정확하게 이송될 수 있도록 정렬시킨다.
제2 직선 이송 수단은 상기 제1 직선 이송 수단과 동일한 구조로 되어, 제1 직선 이송 수단과 대칭상으로 설치된다. 즉, 상기 제2정렬 수단에 의하여 정렬된 반도체 패키지 리드 프레임을 매거진에 적재시키기 위하여 수납대에 놓여진 반도체 패키지 리드 프레임을 밀어낼 수 있도록 공압실린더의 피스톤 로드에 설치되는 푸셔와; 상기 푸셔에 의하여 이송된 반도체 패키지 리드 프레임을 매거진에 근접시키기 위하여 상부의 로울러가 하부의 로울러에 근접하고 이격될 수 있도록 승강이동 가능하게 되어 푸셔에 의하여 인출되는 반도체 패키지 리드 프레임을 압착하여 수평 진행 방향으로 이송시키는 한 쌍의 이송 로울러와, 상기 이송 로울러로 이송된 반도체 패키지 리드 프레임이 매거진에 도달할 수 있도록 수평방향과 수직방향으로 설치되는 공압실린더에 의하여 수평이동 및 승강작동하여 반도체 패키지 리드 프레임의 후단부를 밀어서 이송시키는 푸셔와; 상기 푸셔에 의하여 공급되는 반도체 패키지 리드 프레임을 수납하기 위하여 상기 제2 매거진 공급용 컨베이어의 한편에서 스텝 모터로 구동하는 리드 스크루에 나사 결합되어 반도체 패키지 리드 프레임이 장전되지 아니한 상태로 공급되는 매거진을 받아서 층상으로 설치된 반도체 프레임의 간격만큼 수직 방향으로 올려주는 리프트로 구성되어 반도체 패키지 리드 프레임을 매거진에 적재시키게 된다.
제2 매거진 공급용 컨베이어는 상기 제1 매거진 공급용 컨베이어와 동일한 구성으로 되어, 제2 매거진 공급용 컨베이어와 대칭상으로 설치된다 즉, 폭 조절 수단을 구비하여 반도체 패키지 리드 프레임이 적재되지 아니한 상태의 매거진을 반도체 패키지 리드 프레임을 수납하기 위한 위치로 이송시킨다.
상기 폭 조절 수단은 상기 제1 매거진 공급용 컨베이어와 같이 어느 한편의 벨트 프레임이 컨베이어의 진행방향에 대하여 직각 방향으로 설치되는 가이드 레일에 안내되어 이동 가능하게 설치되면서, 상기 가이드 레일과 나란한 방향, 즉 컨베이어의 진행방향에 대하여 직각 방향으로 설치되고 서보모터에 의하여 회전하는 리드 스크루가 나사 결합되어 리드 스크루가 회전함에 따라 가이드 레일에 안내되어 이동할 수 있게 됨으로써 다양한 규격의 매거진을 공급할 수 있게 된다.
제2 매거진 회수용 컨베이어는 상기 제1 매거진 회수용 컨베이어와 동일한 구성으로 되어, 제1 매거진 회수용 컨베이어와 대칭상으로 설치된다. 즉, 상기 제2 매거진 공급용 컨베이어와 같은 폭 조절 수단이 구비되어 제2 매거진 공급용 컨베이어와 함께 컨베이어의 폭을 조절할 수 있게 되면서, 제2 매거진 공급용 컨베이어의 상부에 설치되는 제2 배출 수단에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임이 적재된 매거진을 배출시킨다.
제2 배출 수단은 폭 조절 수단을 구비하고, 액추에이터에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임이 배출된 매거진을 클램핑하여 승강 및 수평 이동시켜서 제2 매거진 회수용 컨베이어에 안착시키는 한 쌍의 핑거로 구성된다.
본 발명은 도금용 체인 벨트가 고속으로 연속 구동하면서 이송 기구 사이에 작동거리를 최소화시켜서 설치 공간이 작고 소음을 방지하며, 다양한 규격과 유형으로 기존에 시설된 도금 라인에 최적화된 자동화 설비를 추가로 설치하는 것이 가능하게 된다.
도 1은 본 발명 시스템의 평면도
도 2는 본 발명 시스템의 정면도
도 3은 본 발명의 제1/제2 자동 공급 및 자동 회수 장치의 정면도
도 4는 본 발명의 제1/제2 자동 공급 및 자동 회수 장치의 측면도
도 5는 본 발명의 제1/제2 매거진 공급용 컨베이어의 평면도
도 6은 본 발명의 제1/제2 매거진 공급용 컨베이어의 측면도
도 7은 본 발명의 하부 리프터의 평면도
도 8은 본 발명의 하부 리프터의 정면도
도 9는 본 발명의 하부 리프터의 측면도
도 10은 본 발명의 상부 리프터의 평면도
도 11은 본 발명의 상부 리프터의 정면도
도 12는 본 발명의 상부 리프터의 측면도
도 13은 본 발명의 이젝터의 평면도
도 14는 본 발명의 이젝터의 정면도
도 15는 본 발명의 이젝터의 측면도
도 16은 본 발명의 이송 로울러 기구의 평면도
도 17은 본 발명의 이송 로울러 기구의 정면도
도 18은 본 발명의 이송 로울러 기구의 측면도
도 19는 본 발명의 제1/제2 매거진 회수용 컨베이어의 평면도
도 20은 본 발명의 제1/제2 매거진 회수용 컨베이어의 측면도
도 21은 본 발명의 정렬수단의 일부 확대 정면도
도 22는 본 발명의 정렬 수단의 정면도
도 23은 본 발명의 정렬 수단의 전체 평면도
도 24는 본 발명의 정렬 수단의 전체 정면도
도 25는 본 발명의 정렬 수단의 전체 우측면도
도 26은 본 발명의 정렬 수단이 설치된 상태의 정면도
도 27은 본 발명의 제1/제2 회전 이송 수단의 전체 평면도
도 28은 본 발명의 제1/제2 회전 이송 수단의 정면도
도 29는 본 발명의 제1/제2 회전 이송 수단의 측면도
도 30은 본 발명의 푸셔의 평면도
도 31은 본 발명의 푸셔의 정면도
도 32는 본 발명의 푸셔의 측면도
본 발명의 특징과 장점은 첨부된 도면에 의하여 설명되는 실시예에 의하여 더욱 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
다음에서 본 발명의 실시예를 설명한다.
다음의 설명에서 각 구간에 설치되는 센서의 위치와 부호는 생략한다.
본 발명의 장치는 도 1 및 도 2에서 보는 바와 같이 세척, 전처리, 도금, 후처리, 건조 공정을 실시하는 통상적인 도금 라인에 설치되는 체인 벨트 시스템(CVS)과, 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 도금 라인에 공급하기 위하여 상기 체인 벨트 시스템(CVS)의 우측 전면에 설치되는 자동 공급 장치(A) 및 도금 라인을 통과한 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 회수하기 위하여 체인 벨트 시스템(CVS)의 좌측 전면에 설치되는 자동 회수 장치(B)로 구성된다.
자동 공급 장치(A)는 매거진(M)에 적재된 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 인출시키는 위치로 이송시키 제1 매거진 공급용 컨베이어(1)와, 상기 매거진 공급용 컨베이어(1)에 의하여 이송된 매거진(M)으로부터 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 순차적으로 인출시켜서 공급하는 제1 직선 이송 수단(2)과, 상기 제1 직선 이송 수단(2)에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 인출된 매거진을 회수하는 제1 매거진 회수용 컨베이어(3)와, 상기 제1 직선 이송 수단(2)에 의하여 이송된 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 정렬하는 제1 정렬 수단(4)과, 상기 제1 정렬 수단(4)에 의하여 정렬된 반도체 패키지 리드 프레임을 도금용 체인벨트에 부착시키는 제1 회전 이송 수단(5)으로 구성된다.
자동 회수 장치(B)는 상기 자동 공급 장치(A)와 동일한 구성을 가지고 대칭상으로 설치되는 제2 회전 이송 수단(5a), 제2 정렬 수단(4a), 제2 직선 이송 수단(2a), 제2 매거진 공급용 컨베이어(1a), 제2 매거진 회수용 컨베이어(3a)로 구성된다.
먼저 자동 공급 장치(A)를 살펴본다.
도 5 및 도 6에서 보는 바와 같이 제1 매거진 공급용 컨베이어(1)는 체인 벨트 시스템(CVS)의 우측 전방에서 양쪽에 설치되는 벨트 프레임(10,10a,10b)의 전후에 고정되는 휘일 샤프트(11,11a)에 휘일(12,12a,12b,12c)이 고정되어 상기 휘일(12,12a)과 휘일(12b,12c)에 설치되는 각각의 벨트(13,13a)가 구동모터(17)의 동력으로 구동하게 되는데, 한쪽편의 휘일(12b,12c) 및 벨트(13a)가 설치되는 벨트 프레임(10a)은 컨베이어의 진행방향에 대하여 직각 방향으로 설치되는 가이드 레일(15,15a)에 안내되어 휘일 샤프트(11,11a)의 축 방향으로 슬라이딩 이동 가능하게 설치되어 반도체 리프 프레임(LF)을 인출시키는 위치로 매거진(M)을 이송시킬 수 있게 된다.
가이드 레일(15,15a)을 따라 이동 가능하게 설치되는 벨트 프레임(10a)은 양쪽의 벨트 프레임(10,10b)사이에서 벨트 프레임(10,10b)에 베어링 설치되는 리드 스크루(16,16a)에 체결되어 리드 스크루(16,16a)가 회전함에 따라 양쪽 방향으로 이동할 수 있게 되어 매거진(M)의 규격에 따라 벨트 13, 13a 사이의 폭을 조절할 수 있게 된다.
한 쌍의 리드 스크루(16,16a)는 벨트 프레임(10)의 바깥쪽으로 노출되는 한쪽 단부에 고정되는 휘일(12d,12e)에 벨트(13b)가 설치됨으로써 연동하여 동일한 방향으로 회전하게 된다.
한편에 고정되는 벨트 프레임(10b)에는 휘일 샤프트(11,11a)와 리드 스크루(16,16a)의 한쪽 단부가 베어링 설치되면서 전방에는 구동모터(17)가 설치되고 후방에는 스텝모터(18)가 설치되어 있다.
구동모터(17)의 구동축은 휘일 샤프트(11)와 연결되어 벨트(13,13a)를 구동시킴으로서 벨트(13,13a)위에 올려 놓여지는 매거진(M)을 제1 직선 이송 수단(2)으로 이송시킨다.
스텝모터(18)의 구동축은 리드 스크루(16)와 연결되어 벨트(13b)를 구동시킴으로써 리드 스크루(16)와 함께 또 하나의 리드 스크루(16a)를 연동시켜서 벨트 13, 13a 사이의 폭을 조절하는 동력을 제공한다.
매거진(M)은 양쪽 수직면의 내측면에 대향하여 형성되는 다수개의 슬롯에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 개별적으로 수용되는 공간이 층상으로 형성되고, 전면과 배면에는 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 삽입/배출될 수 있도록 개방된 공간이 형성되어 다수개의 반도체 패키지 리드 프레임이 층상으로 적재되는 공지된 구성으로 형성된다.
제1 직선 이송 수단(2)은 수직 이송 수단(20)과 수평 이송 수단(25)으로 구성되어 상기 매거진 공급용 컨베이어(1)에 의하여 이송된 매거진(M)으로부터 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 순차적으로 인출시켜서 공급할 수 있게 한다.
수직 이송 수단(20)은 도 7 내지 도 12에서 보는 바와 같이 하부 리프트(200)와 상부 리프트(220)로 구성된다.
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하부 리프트(200)는 도 7 내지 도 9에서 보는 바와 같이 수직 프레임(201)의 전면 양쪽에 수직 방향으로 고정되는 수직 가이드 레일(202,202a) 사이의 중앙에 리드 스크루(203)가 수직으로 설치되고, 배면에는 리프트용 스텝모터(204)가 고정되어 리드 스크루(203)와 벨트 풀리(205)로 연결되어 있다.
상기 수직 가이드 레일(202,202a)의 전면에는 매거진 받침대(206)의 바디(207)가 슬라이딩 이동 가능하게 고정되면서, 바디(207)의 중앙에 리드 스크루(203)가 체결되어 리프트용 스텝 모터(204)의 동력으로 정위치에서 회전하는 리드 스크루(203)에 의하여 매거진 받침대(206)가 가이드 레일(202,202a)을 따라 승강이동할 수 있게 된다.
매거진 받침대(206)가 고정되는 바디(207)의 전면에는 한 쌍의 핑거(208,208a)가 나란하게 설치되어 공급된 매거진(M)을 클램핑할 수 있게 된다.
바디(207)는 매거진(M)의 규격에 따라 핑거(208,208a) 사이의 폭을 조절할 수 있도록 바디(207)의 전면에 수평 방향으로 가이드 레일(209,209a)과 리드 스크루(210)가 설치되어 한편의 핑거(208)는 바디(207)에 고정되고, 다른 한편의 핑거(208a)는 가이드 레일(209,209a)에 슬라이딩 이동 가능하게 설치되면서 리드 스크루(210)에 체결되어 있다.
리드 스크루(210)는 한쪽편의 단부가 바디(207)에 베어링으로 지지되고, 다른 한쪽의 단부는 핑거(208a)와 체결되어 바디(207)의 한편에 설치되는 폭 조절용 스텝 모터(213)의 동력으로 구동한다.
핑거(208a)의 바깥쪽에는 공압실린더(211)가 수평방향으로 고정되고, 핑거(208a)의 안쪽으로 관통되는 공압실린더(211)의 피스톤 로드 선단에는 푸셔(212)가 설치되어 매거진(M)을 협지할 수 있게 된다.
상부 리프트(220)는 도 10 내지 도 12에서 보는 바와 같이 수직 프레임(221)의 전면 양쪽에 수직 방향으로 고정되는 가이드 레일(222,222a) 사이의 중앙에 리드 스크루(223)가 수직으로 설치되고, 배면에는 리프트용 스텝 모터(224)가 고정되어 리드 스크루(223)와 벨트 풀리(225)로 연결되어 있다.
상기 수직 가이드 레일(222,222a)의 앞쪽에는 수직 이동대(226)의 수직부(227)가 가이드 레일(222,222a)에 슬라이딩 이동 가능하게 고정되면서, 수직부(227)의 배면으로 돌출된 중앙에 리드 스크루(223)가 체결되어 리프트용 스텝 모터(224)의 동력으로 정위치에서 회전하는 리드 스크루(223)에 의하여 수직 이동대(226)가 가이드 레일(222,222a)을 따라 승강이동할 수 있게 된다.
리드 스크루(223)는 상단부가 수직 프레임(221)에 베어링으로 지지되고, 하단부는 수직 이동대(226)의 수직부(227)에 체결되어, 수직 프레임(221) 배면에 설치되는 리프트용 스텝 모터(224)의 동력으로 구동한다.
수직 이동대(226)의 상부에는 하나의 공압실린더(228)가 컨베이어의 진행 방향으로 고정되고, 저면에는 또한 컨베이어의 진행 방향으로 나란한 한 쌍의 가이드 레일(229,229a)이 고정되어 있다.
가이드 레일(229,229a)의 양쪽에는 대향하는 상부 수평 이동대(230,230a)와 핑거(232,232a)가 설치되어 공급된 매거진(M)을 클램핑할 수 있게 되고, 상부 수평 이동대(230,230a)의 선단부는 공압실린더(228)의 피스톤 로드와 연결 고정되어 공압실린더(228)가 구동하면 가이드 레일(229,229a)을 따라 왕복이동하여 클램핑된 매거진(M)을 이송할 수 있게 되어 있다.
핑거(232a)의 바깥쪽에는 공압실린더(234)가 수평방향으로 고정되고, 핑거(232a)의 안쪽으로 관통되는 공압실린더(234)의 피스톤 로드 선단에는 푸셔(235)가 설치되어 매거진(M)을 협지할 수 있게 된다.
이러한 핑거(232,232a)는 폭 조절 수단에 의하여 매거진(M)의 규격에 따라 대향 설치되는 폭을 조절할 수 있게 된다.
폭 조절 수단은 상부 수평 이동대(230,230a)의 하부에 상기 가이드 레일(229,229a)과 교차하는 방향으로 설치되는 한 쌍의 가이드 레일(231,231a)과, 한쪽 단부는 하부 수평 이동대(233)에 베어링으로 지지되고 다른 한쪽의 단부는 핑거에 체결되는 리드 스크루(236)와, 하부 수평 이동대(233a)에 고정되어 리드 스크루(236)를 구동시키는 폭 조절용 스텝모터(237)로 구성되어 핑거(232a)가 고정된 하부 수평 이동대(233a)가 가이드 레일(231,231a)을 따라 슬라이딩 이동하여 폭을 조절할 수 있게 된다.
수평 이송 수단(25)은 도 13 내지 도 18에서 보는 바와 같이 이젝터(250)와 이송 로울러 기구(255)로 구성된다.
이젝터(250)는 도 13 내지 도 15에서 보는 바와 같이 지지대(251) 상부면에 추출용 공압 실린더(252)의 고정편(253)이 고정구(254)로 체결된다.
추출용 공압 실린더(252)는 하부 리프트(200) 또는 상부 리프트(220)에 의하여 단계적으로 상승하는 매거진(M)의 개방된 공간을 향하여 설치되어 푸시로드(252a)가 매거진(M)에 적재된 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 매거진(M)으로부터 추출하여 이송 로울러 기구(255)가 협지할 수 있는 위치까지 수평 방향으로 이송시킨다.
고정구(254)가 결합되는 고정편(253)은 장공으로 형성되어 매거진(M)의 규격에 따라 고정되는 위치를 변경시킬 수 있게 되어 매거진(M)으로부터 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 정확하게 추출시킬 수 있다.
이송 로울러 기구(255)는 도 16 내지 도 18에서 보는 바와 같이 이젝터(250)에 의하여 추출되는 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 안내하는 가이드(256)와, 상기 가이드(256)를 통하여 유입되는 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 압착하여 이송시키는 한 쌍의 이송 로울러(257,257a)와, 상기 이송 로울러(257,257a)를 구동시키는 구동모터(258)로 구성되며, 이송 로울러(257)의 구동축(270)은 구동모터(258)와 벨트전동기구(271)와 연결된다.
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한쪽편의 이송 로울러(257,257a)는 로울러 블록(262)에 고정되고, 상기 로울러 블록(262)은 가이드 레일(261)에 안내되어 슬라이딩 이동할 수 있게 되면서, 조정구(259)로 회전하는 리드 스크루(260)에 체결되어서 조정구(259)를 회전시키면 로울러 로울러 블록(262)과 함께 가이드 레일(261)에 안내되어 이동할 수 있게 됨으로써 반도체 패키지 리드 프레임(LF)의 크기에 따라 폭을 조절할 수 있게 되어 있다.
제1 매거진 회수용 컨베이어(3)는 도 19 및 도 20에서 보는 바와 같이 상기 매거진 공급용 컨베이어(1)와 동일한 구성으로 되면서, 또한 동일 구성의 폭 조절 수단이 구비되어 매거진 공급용 컨베이어와 함께 컨베이어의 폭을 조절할 수 있게 되며, 매거진 공급용 컨베이어(1)의 상부에 설치되는 이젝터(250)에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 추출된 매거진(M)을 이송시키는 상부 리프트(220)에 의하여 수납된 매거진(M)을 배출시킨다.
제1 정렬 수단(4)은 도 21 내지 도 26에서 보는 바와 같이 수납대(40)와, 상기 수납대(40)에 이송된 반도체 패키지 리드 프레임을 정렬시키기 위하여 공압실린더(42)에 의하여 진퇴 작동하는 푸셔(41) 및 위치 조정 수단으로 구성되어 이송 로울러(257,257a)에 의하여 이송된 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 상기 푸셔(41)가 밀어서 정렬한 다음 제1 회전 이송 수단(5)에 의하여 도금라인으로 이송될 수 있게 한다.
수납대(40)는 이송 로울러(257,257a)에 의하여 이송되는 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 수납하여 정지된 상태에서 머무르게 한다.
푸셔(41)는 수평상으로 고정되는 공압 실린더(42)의 피스톤 로드에 설치되어 수납대(40)를 향하여 수평상으로 설치된다.
위치 조정 수단은 하부고정대(43)상부에 고정되는 가이드 레일(44,44a)에 공압실린더(42)가 고정된 상부고정대(43a)가 이동 가능하게 설치되고, 한쪽의 단부는 하부고정대(43)에 베어링으로 지지되면서 다른 한쪽의 단부는 상기 공압실린더(42)가 고정된 상부고정대(43a)에 개방홈(45)이 형성된 지지단부(46)에 회전 가능하게 지지되어 조정 노브(47)로 회전하는 리드 스크루(48), 그리고 상기 리드 스크루(48)를 고정시키기 위하여 상기 지지단부(46)에 체결되어 상기 개방홈(45)을 조여주는 고정구(49)로 구성되어, 수납대(40)에 이송된 반도체 패키지 리드 프레임(LF)과 푸셔(41) 사이의 거리를 조정할 수 있게 된다.
제1 회전 이송 수단(5)은 도 27 내지 도 29에서 보는 바와 같이 공압실린더(50), 캐리어 핑거(51,51a), 상기 캐리어 핑거(51,51a)의 위치 조정 수단으로 구성된다.
공압실린더(50)는 상기 제1 정렬 수단(4)의 수납대(40) 상부에 회전 가능하게 설치되어 서보모터(52)로 회전할 수 있게 된다.
캐리어 핑거(51,51a)는 상기 공압실린더(50)의 피스톤 로드에 설치되어 직선 왕복 이동하는 또 하나의 공압실린더(59,59a)가 구동하여 상기 정렬 수단에 의하여 정렬된 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 클램핑하여 도금용 체인 벨트(CV)에 부착시킨다.
캐리어 핑거(51,51a)의 위치 조정 수단은 공압실린더(50)의 피스톤 로드에 고정된 고정대(53) 상부에 고정되는 가이드 레일(54,54a)에 슬라이딩 이동 가능하게 설치되는 이동대(55)에 캐리어 핑거(51,51a)가 설치되고, 한쪽 단부는 고정대(53)에 베어링으로 지지되며, 다른 한쪽의 단부는 이동대(55)에 체결되는 리드 스크루(56)로 구성된다.
자동 회수 장치(B)는 제2 회전 이송 수단(5a), 제2 정렬 수단(4a), 제2 직선 이송 수단(2a), 제2 매거진 공급용 컨베이어(1a), 제2 매거진 회수용 컨베이어(3a)로 구성된다.
제2 회전 이송 수단(5a)은 상기 제1 회전 이송 수단(5)과 동일한 구성으로 이루어져서 도금공정을 마친 반도체 패키지 리드 프레임을 도금용 체인 벨트로부터 이탈시켜서 회수할 수 있게 한다.
제2 정렬 수단(4a)은 상기 제1 정렬 수단(4)과 동일한 구성으로 이루어지면서, 수납대(40)의 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 이송 로울러(257,257A)로 공급하기 위한 푸셔(70)가 더 구비되어 도금 공정을 마친 반도체 패키지 리드 프레임을 회수용 매거진으로 정확하게 이송될 수 있도록 정렬시킨다.
상기 푸셔(70)는 공압실린더(71)와, 상기 공압실린더(71)에 고정되는 브라켓(72)에 수직으로 고정되는 공압실린더(73)와, 상기 공압실린더(73)의 피스톤 로드 선단에 고정되어 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 밀어내는 푸시 로드(74)로 구성되어 수납대(40)에 근접한 위치에 설치된다.
제2 직선 이송 수단(2a)은 상기 제1 직선 이송 수단(2)과 동일한 구성으로 이루어져서, 반도체 패키지 리드 프레임이 장전되지 아니한 상태로 공급되는 매거진에 반도체 패키지 리드 프레임을 적재시키게 된다.
제2 매거진 공급용 컨베이어(1a)는 상기 제1 매거진 공급용 컨베이어(1)와 동일한 구성으로 이루어져서 반도체 패키지 리드 프레임이 적재되지 아니한 상태의 매거진을 반도체 패키지 리드 프레임을 수납하기 위한 위치로 이송시킨다.
제2 매거진 회수용 컨베이어(3a)는 상기 제1 매거진 회수용 컨베이어(3)와 동일한 구성으로 이루어져서 반도체 패키지 리드 프레임이 적재된 매거진을 배출시킨다.
본 발명에 적용되는 체인 벨트 시스템(CVS)은 도금용 체인 벨트(CV)가 한 쌍의 벨트 풀리(300,300a)에 설치되고, 도금용 체인 벨트(CV)에 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 분리 가능하게 고정시키는 공지된 구조의 클리퍼(도시되지 아니함)로 구성된다.
이와 같이 구성되는 본 발명에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 도금 라인에 자동적으로 공급되고 회수되는 과정을 살펴보면 다음과 같다.
다음의 설명에서 각 구간에서 동작되는 센서의 위치와 부호는 생략한다.
본 발명의 장치는 다수개의 매거진(M)과 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 순차적이고, 동시 다발적으로 공급 및 회수되는데, 다음의 설명에서는 하나의 매거진(M)과 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 이송되는 상태를 설명하게 될 것이며, 또한 각 구간에서 동작되는 센서의 위치와 부호가 생략되었다.
자동 공급 장치(A)와 자동 회수 장치(B)는 매거진(M)과 반도체 패키지 리드 프레임(LF)의 크기에 따라 폭 조절 수단 및 위치 조절 수단을 이용하여 최적의 위치가 선정되어 있다.
자동 공급 장치(A)는 다수개의 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 층상으로 적재된 매거진(M)으로부터 공급되는 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 무한궤도상의 도금용 체인 벨트(CV)에 부착시켜서 도금 라인으로 이송시킨다.
먼저, 제1 매거진 공급용 컨베이어(1)의 최적 위치 선정은 스텝 모터(18)가 정역방향으로 구동하여 리드 스크루(16,16a)가 연동함에 따라 한편의 벨트(13a)가 대향 설치된 벨트(13)사이의 거리가 조절된다. 이후 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 적재된 다수개의 매거진(M)이 제1 매거진 공급용 컨베이어(1)에 투입되고 구동모터(17)가 구동하여 매거진(M)이 벨트(13,13a)의 후단부에 도달하게 될 때에 센서에 감지되어 구동모터(17)가 정지하게 된다.
구동모터(17)가 정지하면 수직 이송 수단(20)의 하부 리프트(200)에 설치되어 있는 리프트용 스텝 모터(204)가 구동하여 벨트 풀리(205)로 전달되는 동력으로 리드 스크루(203)가 회전하여 매거진 받침대(206)가 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 적재된 간격만큼 단계적으로 상승하게 된다.
매거진 받침대(206)가 1단계 상승을 완료하면 이젝터(250)를 구성하는 추출용 공압실린더(252)가 진퇴 작동을 하여 푸시로드(252a)가 하나의 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 이송 로울러(257,257a)쪽으로 밀어내고, 매거진 받침대(206)는 2단계 상승 작동을 하게 된다.
매거진(M)으로부터 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 인출된 것이 감지되면 이송 로울러(257,257a)가 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 압착하고 구동모터(258)의 동력이 이송 로울러(257a)에 도달하게 됨에 따라 반도체 패키지 리드 프레임(LF) 정렬수단(4) 및 회전 이송수단(5)을 향하여 수평 이동을 하게 된다.
이때, 이송 로울러(257,257a)을 빠져나온 반도체 패키지 리드 프레임(LF)의 선단부가 정렬수단(4)의 수납대(40)까지 충분히 도달하지 못하게 되는데, 공압실린더에 의하여 하강, 직선이동 상승 및 직선이동하여 복귀하는 푸셔가 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 수납대(40)까지 완전히 밀어서 안착시켜주게 된다.
이송 로울러(257,257a)의 최적 위치 설정은 조정구(259)를 정역방향으로 회전시킴에 따라 연동하는 리드 스크루(260)에 체결된 한쪽편의 이송 로울러(257,257a)가 가이드 레일에 안내되어 이동하게 됨에 따라 결정된다.
한편, 하부 리프트(200)가 단계적 상승을 완료하여 매거진(M)에 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 모두 추출되면, 빈 매거진(M)은 상부 리프트(220)에 의하여 제1 매거진 회수용 컨베이어(3)로 이송되어 배출된다. 즉, 리프트용 스텝 모터(224)가 구동하면 벨트 풀리(225)로 전달되는 동력이 리드 스크루(223)를 회전시켜서 수직부(227)가 가이드 레일(222,222a)에 안내되어 매거진(M)을 클램핑할 수 있는 위치까지 핑거(232,232a)가 하강하게 되고, 공압 실린더(234)가 구동하여 전진하는 푸셔(235)에 의하여 양쪽의 핑거(232,232a)가 매거진(M)을 협지하게 된다.
이렇게 핑거(232,232a)가 매거진(M)을 협지하면 리프트용 스텝 모터(224)가 역방향으로 구동하여 매거진(M)의 하단부가 제1 매거진 회수용 컨베이어(3)의 벨트 보다 높은 위치에 도달할 때까지 핑거(232,232a)가 상승한 다음, 공압 실린더(228)가 구동하여 핑거(232,232a)가 설치된 상부 수평 이동대(230,230a)가 가이드 레일(229,229a)에 안내되어 수평 이동하여 제1 매거진 회수용 컨베이어(3) 상에 도달한다.
그러면 이번에는 리프트용 스텝 모터(224)가 다시 역방향으로 구동하여 핑거(232,23a)가 하강하여 매거진(M)을 제1 매거진 회수용 컨베이어(3)에 내려놓은 다음 원위치로 복귀한다.
상부 리프트(220)의 최적 위치 설정은 폭 조절용 스텝 모터(237)가 구동하여 한편의 핑거(232a)가 고정된 하부 수평 이동대(233a)가 가이드 레일(231,231a)을 따라 이동함에 따라 결정된다.
상기에서 이송 로울러(257, 257a)를 통하여 제1 정렬 수단(4)의 수납대(40)에 도달한 반도체 패키지 리드 프레임(LF)은 공압 실린더(42)에 의하여 수평 방향으로 전진 이동하는 푸셔(41)에 의하여 직선으로 진행하는 방향으로 정렬된다.
푸셔(41)의 최적 위치 설정은 고정구(49)의 조임력을 풀고, 조정 노브(47)를 정역방향으로 회전시킬 때 회전하는 리드 스크루(48)에 의하여 푸셔(41)를 포함한 공압실린더(42)의 위치를 조절함으로써 수행된다.
반도체 리프 프레임(LF)의 정렬을 마치면 공압 실리더(50)가 하강하여 캐리어 핑거(59,59a)가 반도체 패키지 리드 프레임(LF)의 측단부에 도달하면 공압실린더(51,51a)가 작동하여 캐리어 핑거(51,51a)가 반도체 패키지 리드 프레임(LF)의 측단부를 클림핑하게 된다.
이렇게 캐리어 핑거(51,51a)가 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 클램핑한 것이 감지되면 서보모터(520)가 구동하여 캐리어 핑거(51,51a)와 함께 공압 실린더(50)가 도금용 체인 벨트(CV)를 향하여 약90° 각도로 회전하여, 반도체 패키지 리드 프레임(LF)의 도금용 체인 벨트(CV)에 전달한 다음 클램핑을 풀고, 원위치로 복귀하게 된다.
캐리어 핑거(51,51a)의 최적 위치 설정은 리드 스크루(56)를 회전시킴에 따라 이동대(55)가 가이드 레일(54,54a)에 안내되어 이동되면서 캐리어 핑거(51,51a)가 반도체 패키지 리드 프레임(LF)의 측단면과 이루는 거리를 조절함으로써 수행된다.
도금용 체인 벨트(CV)는 공지된 방법과 같이 클리퍼(도시되지 아니함)에 의하여 일시적으로 정지된 상태에서 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 전달받아서 정하여진 순서에 따라 도금을 수행할 수 있게 한다.
이상의 설명에서는 반도체 패키지 리드 프레임(LF)의 추출을 위한 리프트 작동이 하부 리프트(200)의 단계적 상승 작동과 매거진(M)을 배출하는 상부 리프트(220)에 의하여 진행되는 것으로 설명하였으나, 하부 리프트(200)가 없이 상부 리프트(220)가 매거진(M)의 단계적 상승 및 배출 작동을 동시에 수행하게 할 수도 있다.
자동 회수 장치(B)는 제2 회전 이송 수단(5a), 제2 정렬 수단(4a), 제2 직선 이송 수단(2a), 제2 매거진 공급용 컨베이어(1a), 제2 매거진 회수용 컨베이어(3a)로 구성되어 도금용 체인 벨트(CV)에 매달려서 도금 라인을 통과한 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 도금용 체인 벨트(CV)로부터 이탈시켜서 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 적재되지 아니한 매거진(M)에 적재하여 회수한다.
이러한 자동 회수 장치(B)를 구성하는 상기 제2 회전 이송 수단(5a), 제2 정렬 수단(4a), 제2 직선 이송 수단(2a), 제2 매거진 공급용 컨베이어(1a), 제2 매거진 회수용 컨베이어(3a)는 앞서 설명한 자동 공급 장치(A)의 구성과 같으며, 다만 수납대(40)로부터 이송 로울러(257, 257a)로 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 공급하는 푸셔(70)가 더 설치되고, 이송 로울러(257, 257a)에서 수납대(40)로 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 이송시키는 푸셔는 생략되는 구성으로 된다.
제1 매거진 공급용 컨베이어(1)
제1 직선 이송 수단(2)
제1 매거진 회수용 컨베이어(3)
제1 정렬 수단(4)
제1 회전 이송 수단(5)
제2 회전 이송 수단(5a)
제2 정렬 수단(4a)
제2 직선 이송 수단(2a)
제2 매거진 공급용 컨베이어(1a)
제2 매거진 회수용 컨베이어(3a)

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 삭제
  3. 매거진(M)에 적재된 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 인출시키는 위치로 이송시키는 제1 매거진 공급용 컨베이어(1)와, 상기 매거진 공급용 컨베이어(1)에 의하여 이송된 매거진(M)으로부터 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 순차적으로 인출시켜서 공급하는 제1 직선 이송 수단(2)과, 상기 제1 직선 이송 수단(2)에 의하여 반도체 패키지 리드 프레임(LF)이 인출된 매거진을 회수하는 제1 매거진 회수용 컨베이어(3)와, 상기 제1 직선 이송 수단(2)에 의하여 이송된 반도체 패키지 리드 프레임(LF)을 정렬하는 제1 정렬 수단(4)과, 상기 제1 정렬 수단(4)에 의하여 정렬된 반도체 패키지 리드 프레임을 도금용 체인벨트에 부착시키는 제1 회전 이송 수단(5)으로 되는 자동 공급 장치(A)와;
    상기 자동 공급 장치(A)와 동일한 구성을 가지고 대칭상으로 설치되는 제2 회전 이송 수단(5a), 제2 정렬 수단(4a), 제2 직선 이송 수단(2a), 제2 매거진 공급용 컨베이어(1a), 제2 매거진 회수용 컨베이어(3a)로 되는 자동 회수 장치(B);로 구성되어, 매거진으로부터 공급되는 반도체 리드프레임을 무한궤도상의 도금용 체인 벨트에 부착시켜서 도금 라인으로 이동시키고 회수하는 공지된 반도체 패키지 리드 프레임 도금 장치에 있어서,
    상기 제1 직선 이송 수단(2)은 스텝 모터로 구동하는 리드 스크루에 나사 결합되어, 반도체 패키지 리드 프레임이 장전되어 공급되는 매거진(M)을 받아서 층상으로 설치된 반도체 패키지 리드 프레임의 간격만큼 수직 방향으로 올려주는 리프트와; 상기 리프트로 공급된 매거진(M)에 장전된 반도체 패키지 리드 프레임을 인출시킬 수 있도록 수평으로 설치되어 공압실린더로 작동하는 푸시로드와; 상기 푸시로드에 의하여 인출되는 반도체 패키지 리드 프레임을 수평 진행 방향으로 이송시키는 한 쌍의 이송 로울러와; 상기 이송 로울러에 의하여 이송된 반도체 패키지 리드 프레임의 후단부를 제1 회전 이송 수단까지 이송시킬 수 있도록 공압실린더에 의하여 상하 및 수평 이동하는 푸셔로 구성되어 상기 매거진 공급용 컨베이어에 의하여 이송된 매거진(M)으로부터 반도체 패키지 리드 프레임을 순차적으로 인출시키는 것을 포함하는 반도체 패키지 리드 프레임 매거진의 자동 공급 및 회수 장치.
  4. 청구항 3에 있어서, 제1,제2 매거진 회수용 컨베이어는 매거진 공급용 컨베이어의 상부에 설치되는 이젝터가 한 쌍의 핑거로 구성되어, 상기 핑거가 반도체 패키지 리드 프레임이 배출된 매거진(M)을 클램핑하여 제1 매거진 회수용 컨베이어에 안착시켜서 반도체 패키지 리드 프레임이 추출된 매거진(M)을 배출시키게 되는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 리드 프레임 매거진의 자동 공급 및 회수 장치.
  5. 청구항 3에 있어서, 제1 정렬 수단은 이송 로울러에 의하여 이송된 반도체 패키지 리드 프레임을 수납하는 수납대와,상기 수납대에 이송된 반도체 패키지 리드 프레임을 정렬시키기 위하여 공압실린더에 의하여 진퇴 작동하는 푸셔로 구성되어, 상기 푸셔가 수납대의 반도체 패키지 리드 프레임을 밀어서 정렬시키는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 리드 프레임 매거진의 자동 공급 및 회수 장치.
  6. 삭제
  7. 삭제
  8. 청구항 3에 있어서, 리프트가 폭 조절 수단을 구비하며, 이송된 매거진(M)을 수납하여 반도체 패키지 리드 프레임이 순차적으로 이젝트될 수 있도록 반도체 패키지 리드 프레임이 적층된 간격만큼 주기적으로 상승하게 되는데, 제1 매거진 공급용 컨베이어와 제1 매거진 배출용 컨베이어 사이에서 수직으로 왕복이동하며 이젝트 단계별로 매거진(M)을 주기적으로 상승시키고, 이젝트가 완료된 매거진(M)을 제1 매거진 회수용 컨베이어에 운반하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 리드 프레임 매거진의 자동 공급 및 회수 장치.
  9. 청구항 3에 있어서, 리프트가 폭 조절 수단을 구비하며, 매거진(M)을 수납하여 이젝트 단계별로 상승하는 하부 리프트와 반도체 패키지 리드 프레임이 완전히 이젝트된 매거진(M)을 클램핑하여 제1 매거진 회수용 컨베이어에 이송시키는 상부 리프트를 포함하는 것을 특징으로 하는 반도체 패키지 리드 프레임 매거진의 자동 공급 및 회수 장치.
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