KR101233389B1 - Wet scrubber combined with exhausting system for laboratory - Google Patents

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KR101233389B1 KR1020120072717A KR20120072717A KR101233389B1 KR 101233389 B1 KR101233389 B1 KR 101233389B1 KR 1020120072717 A KR1020120072717 A KR 1020120072717A KR 20120072717 A KR20120072717 A KR 20120072717A KR 101233389 B1 KR101233389 B1 KR 101233389B1
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Abstract

PURPOSE: A wet scrubber for a ventilation integrated laboratory is provided to improve the utilization of space by integrating a blower. CONSTITUTION: A scrubber body(110) has a space for processing toxic gas. A blower unit(130) is combined with the upper region of the scrubber body. A plurality of water spray nozzles(115) spray water to the toxic gas. A demister is arranged on the upper side of the water spray nozzle.

Description

배기 일체형 실험실용 웨트 스크러버{Wet scrubber combined with exhausting system for laboratory}Wet scrubber combined with exhausting system for laboratory}

본 발명은, 배기 일체형 실험실용 웨트 스크러버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 종래와 달리 블로워가 일체화됨으로써 종전보다 공간활용도를 높일 수 있음은 물론 자재비 및 인건비를 감소시킬 수 있고, 나아가 작업공정이 단축되면서 관리 포인트를 일괄적으로 처리하기에 용이한 배기 일체형 실험실용 웨트 스크러버에 관한 것이다.
The present invention relates to an exhaust-integrated laboratory wet scrubber, and more specifically, unlike the prior art, the blower can be integrated to increase the space utilization as well as to reduce the material cost and labor cost, and further shorten the work process. And an exhaust-integrated laboratory wet scrubber that is easy to batch process management points.

반도체 공정의 클린룸이나 실험실 등에서 발생되는 유해가스를 처리하는 기계 장치 중의 하나인 스크러버(Scrubber)는 그 처리 방식에 따라 번-웨트(Burn-Wet), 번-필터(Burn-Filter), 건식(Dry), 습식(Wet) 등으로 분류될 수 있다.Scrubber, a mechanical device that processes harmful gases generated in a clean room or a laboratory of a semiconductor process, has burn-wet, burn-filter, and dry type according to the treatment method. Dry), Wet (Wet) and the like can be classified.

이러한 종류들 중에서 웨트 스크러버 시스템은 흡입후드와 스크러버, 그리고 블로워(Blower)로 구성된다.Among these types, the wet scrubber system is composed of a suction hood, a scrubber, and a blower.

이러한 구성에 의해 실험실에서 발생되는 유해가스는 흡입후드로 흡입된 후, 스크러버로 전달되며, 스크러버에서 정화된 후에 블로워를 통해 배기되는 흐름을 형성한다.By this configuration, the harmful gas generated in the laboratory is sucked into the suction hood and then delivered to the scrubber, and after being purified by the scrubber, forms a flow that is exhausted through the blower.

그런데, 이와 같은 웨트 스크러버 시스템에서 특히, 블로워는 흡입 후 배기하는 기능만 있으면서도 불필요하게 덕트들에 연결되어 실험실 외부에 설치되는 것이 일반적이어서 공간활용도가 감소될 뿐만 아니라 자재비 및 인건비가 증가하며, 작업공정도 길어질 수밖에 없고 관리 포인트를 일괄적으로 처리하기 힘들어지는 등 다양한 문제점을 야기하고 있으므로 이에 대한 구조 개선이 요구된다.
However, in such a wet scrubber system, a blower is generally installed outside the laboratory by connecting to the ducts unnecessarily, but only having a function of intake and exhaust, thereby reducing space utilization and increasing material and labor costs. In addition, because it causes a variety of problems, such as difficult to process a batch of management points, it is required to improve the structure.

대한민국특허청 출원번호 제10-2010-0084455호Korea Patent Office Application No. 10-2010-0084455

본 발명의 목적은, 종래와 달리 블로워가 일체화됨으로써 종전보다 공간활용도를 높일 수 있음은 물론 자재비 및 인건비를 감소시킬 수 있고, 나아가 작업공정이 단축되면서 관리 포인트를 일괄적으로 처리하기에 용이한 배기 일체형 실험실용 웨트 스크러버를 제공하는 것이다.
The object of the present invention is that the blower is integrated, unlike in the prior art, it is possible to increase the space utilization than before, as well as to reduce the material cost and labor costs, and further shorten the work process and easy to process the management points collectively exhaust It is to provide an integrated laboratory wet scrubber.

상기 목적은, 흡입후드로부터 전달되는 유해가스를 처리하는 실험실용 웨트 스크러버에 있어서, 상기 유해가스가 유입되는 유해가스 유입부(gas inlet)가 일측에 마련되며, 내부에 상기 유해가스의 처리공간이 형성되는 스크러버 바디; 상기 스크러버 바디의 상부 영역에 결합되어 처리 완료된 처리가스를 배기시키는 블로워 유닛; 상기 스크러버 바디 내에 마련되며, 상기 유해가스를 향해 물을 분사하는 다수의 물 분사노즐; 상기 물 분사노즐의 상부에 배치되며, 상기 물 분사노즐에 의해 분사되는 물에 의해 상변화된 증기 속의 수분을 제거하는 데미스타(demister); 및 상기 물 분사노즐로부터 분사되는 물에 의해 흡착된 흡착물질을 수집하는 다수의 폴링(polling)을 구비하는 수집실을 포함하며, 상기 블로워 유닛은, 상기 처리가스가 배기되는 처리가스 배기부(gas outlet)가 형성되는 팬 케이스; 상기 팬 케이스 내에 회전 가능하게 마련되는 임펠러; 상기 임펠러에 연결되어 상기 임펠러를 회전구동시키는 모터; 상기 모터가 지지되는 장소를 형성하며, 상기 팬 케이스의 일측에 형성되는 제1 개구부에 착탈 가능하게 결합되어 상기 제1 개구부를 차폐하는 모터 지지용 차폐판; 및 상기 모터 지지용 차폐판과 상기 팬 케이스가 접하는 영역에 배치되어 상기 유해가스의 외부 누출을 방지시키는 가스켓을 포함하며, 상기 유해가스는 상기 유해가스 유입부를 거쳐 유입된 후 상기 수집실 및 상기 데미스터를 거쳐 상기 팬 케이스의 타측에 형성되는 제2 개구부로 유입되어 상기 임펠러에 의하여 상기 처리가스 배기부로 배출되는 것을 특징으로 하는 배기 일체형 실험실용 웨트 스크러버에 의하여 달성될 수 있다.

상기 블로워 유닛은, 상기 스크러버 바디와 상기 팬 케이스가 접하는 영역의 상기 팬 케이스에 형성된 개구부 영역에 배치되어 이물질이 상기 팬 케이스 내로 투입되는 것을 저지하는 여과망을 더 포함할 수 있다.The object is, in the laboratory wet scrubber for processing the harmful gas delivered from the suction hood, a gas inlet (gas inlet) through which the harmful gas flows is provided on one side, the processing space of the harmful gas therein A scrubber body formed; A blower unit coupled to an upper region of the scrubber body to exhaust treated gas; A plurality of water injection nozzles provided in the scrubber body and spraying water toward the harmful gas; A demister disposed on an upper portion of the water injection nozzle and removing moisture in the vapor phase changed by the water injected by the water injection nozzle; And a collection chamber having a plurality of pollings for collecting the adsorbed material adsorbed by the water injected from the water injection nozzle, wherein the blower unit comprises a process gas exhaust portion through which the process gas is exhausted. a fan case in which an outlet is formed; An impeller rotatably provided in the fan case; A motor connected to the impeller to rotate the impeller; A motor support shield plate forming a place where the motor is supported and detachably coupled to a first opening formed at one side of the fan case to shield the first opening; And a gasket disposed in an area where the motor support shielding plate and the fan case are in contact with each other to prevent external leakage of the noxious gas, wherein the noxious gas is introduced through the noxious gas inlet, and the collection chamber and the deg. It can be achieved by the exhaust-integrated laboratory wet scrubber, characterized in that through the Mr flows into the second opening formed on the other side of the fan case is discharged to the process gas exhaust by the impeller.

The blower unit may further include a filtering network disposed in an opening area formed in the fan case in a region where the scrubber body and the fan case contact each other to prevent foreign substances from being introduced into the fan case.

본 발명에 따르면, 종래와 달리 블로워가 일체화됨으로써 종전보다 공간활용도를 높일 수 있음은 물론 자재비 및 인건비를 감소시킬 수 있고, 나아가 작업공정이 단축되면서 관리 포인트를 일괄적으로 처리하기에 용이한 효과가 있다.
According to the present invention, as compared to the conventional blower is integrated, it is possible to increase the space utilization than before, as well as to reduce the material cost and labor costs, and further shorten the work process, the effect is easy to collectively manage the management point have.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배기 일체형 웨트 스크러버의 평면 구조도,
도 2 및 도 3은 각각 도 1의 정면도 및 측면도,
도 4는 도 3에 도시된 블로워 유닛의 확대도,
도 5는 도 4의 분해 사시도이다.1 is a plan view of the exhaust integrated wet scrubber according to an embodiment of the present invention,
2 and 3 are front and side views, respectively, of FIG.
4 is an enlarged view of the blower unit shown in FIG. 3;
5 is an exploded perspective view of Fig.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings will be described a preferred embodiment of the present invention.

도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 배기 일체형 웨트 스크러버의 평면 구조도, 도 2 및 도 3은 각각 도 1의 정면도 및 측면도, 도 4는 도 3에 도시된 블로워 유닛의 확대도, 그리고 도 5는 도 4의 분해 사시도이다.1 is a planar structural view of an exhaust-integrated wet scrubber according to an embodiment of the present invention, FIGS. 2 and 3 are front and side views of FIG. 1, FIG. 4 is an enlarged view of the blower unit shown in FIG. 3, and 5 is an exploded perspective view of FIG. 4.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 배기 일체형 웨트 스크러버는, 내부에 유해가스의 처리공간이 형성되는 스크러버 바디(110)와, 스크러버 바디(110)의 상부 영역에 결합되어 처리 완료된 처리가스를 배기시키는 블로워 유닛(130)을 포함한다.As shown in these figures, the exhaust-integrated wet scrubber of the present embodiment is coupled to the upper region of the scrubber body 110 and the scrubber body 110, the processing space of the harmful gas therein, the treated gas is processed. And a blower unit 130 for exhausting.

본 실시예의 경우, 이처럼 블로워 유닛(130)이 스크러버 바디(110)에 일체형으로 마련되고 있기 때문에 종전보다 공간활용도를 높일 수 있음은 물론 자재비 및 인건비를 감소시킬 수 있고, 나아가 작업공정이 단축되면서 관리 포인트를 일괄적으로 처리하기에 용이하다.In this embodiment, since the blower unit 130 is integrally provided in the scrubber body 110 as described above, the space utilization can be increased as well as the material cost and labor cost can be reduced, and the work process is shortened. It is easy to process the points collectively.

스크러버 바디(110)의 구조에 대해 먼저 살펴본다. 스크러버 바디(110)의 하부에는 풋 마스터(foot master)(111,112)가 마련된다. 풋 마스터(111,112)는 구름 이동용 휠(111)과 스토퍼(112)가 조합된 부재이다. 스토퍼(112)에는 높이 조절 기능이 부가될 수 있다.First, the structure of the scrubber body 110 will be described. Foot masters 111 and 112 are provided below the scrubber body 110. The foot masters 111 and 112 are members in which the rolling wheel 111 and the stopper 112 are combined. The height adjustment function may be added to the stopper 112.

스크러버 바디(110)의 일측에는 유해가스가 유입되는 유해가스 유입부(gas inlet, 113)가 마련된다. 그리고 스크러버 바디(110) 내의 하부 영역에는 유해가스 유입부(113)를 통해 유해가스를 유입시키는 펌핑 유닛(114)이 마련된다.One side of the scrubber body 110 is provided with a harmful gas inlet (gas inlet) (113) through which harmful gas flows. In addition, a pumping unit 114 for introducing harmful gas through the harmful gas inlet 113 is provided in the lower region of the scrubber body 110.

스크러버 바디(110) 내의 상부 영역에는 스크러버 바디(110) 내로 유입되어 상부로 진행되는 유해가스를 향해 물을 분사하는 다수의 물 분사노즐(115)이 마련되어 유해가스를 정화시켜 배출하게 된다.In the upper region of the scrubber body 110, a plurality of water injection nozzles 115 are introduced into the scrubber body 110 and spray water toward the harmful gas proceeding upwards to purify and discharge the harmful gas.

물 분사노즐(115)의 하부 영역에는 수집실(117)이 마련된다. 수집실(117) 내에는 물 분사노즐(115)로부터 분사되는 물에 의해 흡착된 흡착물질을 수집하는 다수의 폴링(polling, 118)이 갖춰진다.The collection chamber 117 is provided in the lower region of the water jet nozzle 115. The collection chamber 117 is equipped with a plurality of polling 118 to collect the adsorbed material adsorbed by the water injected from the water injection nozzle 115.

그리고 물 분사노즐(115)의 상부에는 물 분사노즐(115)에 의해 분사되는 물에 의해 상변화된 증기 속의 수분을 제거하는 데미스타(demister, 116)가 마련된다.In addition, a demister 116 is provided at an upper portion of the water injection nozzle 115 to remove moisture in the vapor phase changed by the water injected by the water injection nozzle 115.

데미스타(116)는 그물코(網目)를 여러 겹 포갠 것과 같은 구조를 갖는데, 이러한 구조의 데미스타(116)를 통과하는 증기 속의 수분이 제거될 수 있다.Demista 116 has a structure such as several layers of mesh (網 目), the moisture in the steam passing through the demista 116 of this structure can be removed.

스크러버 바디(110)를 정면에서 볼 때, 중앙 영역에는 점검창(119)이 형성되며, 그 하부 일측에는 제어반(120)이 마련된다. 점검창(119)을 통해 스크러버 바디(110)의 내부를 관찰하여 점검할 수 있는 이점이 있다.When the scrubber body 110 is viewed from the front, the inspection window 119 is formed in the central region, and the control panel 120 is provided at one lower side thereof. There is an advantage that can be inspected by observing the inside of the scrubber body 110 through the inspection window (119).

한편, 블로워 유닛(130)은 스크러버 바디(110)의 상부 영역에 결합되어 처리 완료된 처리가스를 배기시키는 역할을 한다.On the other hand, the blower unit 130 is coupled to the upper region of the scrubber body 110 serves to exhaust the processed processing gas.

이러한 블로워 유닛(130)은 스크러버 바디(110)의 내부를 지나면서 유해가스가 처리 완료되어 형성된 처리가스가 배기되는 처리가스 배기부(gas outlet, 131)가 형성되는 팬 케이스(132)와, 팬 케이스(132) 내에 회전 가능하게 마련되는 임펠러(133)와, 임펠러(133)에 연결되어 임펠러(133)를 회전구동시키는 모터(134)를 포함한다.The blower unit 130 includes a fan case 132 having a process gas outlet 131 through which the harmful gas is processed and exhausted while passing through the scrubber body 110. An impeller 133 rotatably provided in the case 132 and a motor 134 connected to the impeller 133 to rotate and drive the impeller 133.

모터(134)는 임펠러(133)에 직결되는데, 모터(134)와 임펠러(133) 사이에는 모터(134)를 지지하는 한편 팬 케이스(132)의 일측에 형성된 제1 개구부(132a)에 착탈 가능하게 결합되어 제1 개구부(132a)를 차폐하는 모터 지지용 차폐판(135)이 마련된다.The motor 134 is directly connected to the impeller 133. The motor 134 supports the motor 134 between the motor 134 and the impeller 133 and can be attached to or detached from the first opening 132a formed at one side of the fan case 132. A motor support shielding plate 135 that is coupled to shield the first opening 132a is provided.

모터 지지용 차폐판(135)에는 다수의 홀(H)이 형성되고 팬 케이스(132)의 제1 개구부(132a) 외측에는 볼트(B)가 마련된다. 따라서 모터 지지용 차폐판(135)의 홀(H)들이 팬 케이스(132)의 볼트(B)들에 끼워지도록 하면서 모터 지지용 차폐판(135)을 팬 케이스(132)의 제1 개구부(132a)에 결합시킬 수 있다.
팬 케이스(132)와 스크러버 바디(110)가 접하는 영역에는 유해가스의 외부 누출을 방지시키는 가스켓(136)이 마련되는데, 모터 지지용 차폐판(135)과 팬 케이스(132)가 접하는 영역에도 가스켓(137)이 마련될 수 있을 것이다.
또한 팬 케이스(132)와 스크러버 바디(110)가 접하는 영역에는 팬 케이스(132)의 제2 개구부(132b)를 통해 스크러버 바디(110)의 데미스타(116)에 의하여 수분이 제거된 가스가 유입되는데, 팬 케이스(132)의 제2 개구부(132b) 영역에 여과망(138)을 추가로 설치하여 제2 개구부(132b)로 가스 이외의 이물질이 투입되어 임펠러(133)의 손상이나 고장을 유발하지 않도록 함이 바람직할 것이다. 여과망(138)은 PE 재질로 형성할 수 있다.
이러한 구성을 갖는 배기 일체형 실험실용 웨트 스크러버의 작용에 대해 살펴본다.
펌핑 유닛(114)이 동작되면 유해가스 유입부(113)를 통해 실험실 내의 유해가스가 스크러버 바디(110) 내로 유입된다.
유입된 유해가스는 스크러버 바디(110) 내의 상부로 향하며, 물 분사노즐(115)이 유해가스를 향해 물을 분사한다. 물의 분사로 인해 흡착된 흡착물질은 수집실(117) 내의 폴링(118)에 수집되고, 증기는 데미스타(116)로 향하여 그 속의 수분이 제거된다.A plurality of holes H are formed in the shield plate 135 for the motor support, and a bolt B is provided outside the first opening 132a of the fan case 132. Accordingly, the hole H of the motor support shield 135 is fitted into the bolts B of the fan case 132, and the motor support shield 135 is disposed in the first opening 132a of the fan case 132. ) Can be combined.
In the area where the fan case 132 and the scrubber body 110 come into contact with each other, a gasket 136 is provided to prevent external leakage of harmful gas. The gasket also comes in contact with the motor support shield 135 and the fan case 132. (137) may be provided.
In addition, a gas from which moisture is removed by the demistar 116 of the scrubber body 110 flows into a region where the fan case 132 and the scrubber body 110 come into contact with each other through the second opening 132b of the fan case 132. In addition, the filter net 138 is further installed in the region of the second opening 132b of the fan case 132 so that foreign substances other than gas are introduced into the second opening 132b to not cause damage or failure of the impeller 133. It would be desirable to avoid. The filter net 138 may be formed of a PE material.
The operation of the exhaust-integrated laboratory wet scrubber having such a configuration will be described.
When the pumping unit 114 is operated, harmful gas in the laboratory is introduced into the scrubber body 110 through the harmful gas inlet 113.
The introduced harmful gas is directed upward in the scrubber body 110, and the water injection nozzle 115 injects water toward the harmful gas. The adsorbed material adsorbed due to the injection of water is collected in the polling 118 in the collection chamber 117, and the steam is directed to the demister 116 to remove moisture therein.

이와 같은 작용으로 유해가스의 정화 처리가 완료된 처리가스는 스크러버 바디(110)의 상부 영역에 일체로 형성된 블로워 유닛(130)의 모터(134)가 회전됨에 따라 처리가스 배기부(131)를 통해 배기될 수 있다.
이와 같이 블로워 유닛(130)이 스크러버 바디(110)에 일체로 결합된 구조의 배기 일체형 실험실용 웨트 스크러버에 따르면, 종래와 달리 블로워가 일체화됨으로써 종전보다 공간활용도를 높일 수 있음은 물론 자재비 및 인건비를 감소시킬 수 있고, 나아가 작업공정이 단축되면서 관리 포인트를 일괄적으로 처리하기에 용이한 이점이 있다.Process gas that has been purged of the noxious gas by this action is exhausted through the process gas exhaust unit 131 as the motor 134 of the blower unit 130 integrally formed in the upper region of the scrubber body 110 is rotated. Can be.
Thus, according to the exhaust-integrated laboratory wet scrubber structure of the blower unit 130 is integrally coupled to the scrubber body 110, as compared to the conventional blower is integrated, it is possible to increase the space utilization than before, as well as material and labor costs It is possible to reduce, and furthermore, there is an advantage that it is easy to process the management points collectively as the work process is shortened.

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이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
It will be apparent to those skilled in the art that various modifications and variations can be made in the present invention without departing from the spirit or scope of the invention. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.

110 : 스크러버 바디 111,112 : 풋 마스터
113 : 유해가스 유입부 114 : 펌핑 유닛
115 : 물 분사노즐 116 : 데미스터
117 : 수집실 118 : 폴링
119 : 관찰창 120 : 제어반
130 : 블로워 유닛 131 : 처리가스 배기부
132 : 팬 케이스 132a : 제1 개구부
132b : 제2 개구부 133 : 임펠러 134 : 모터 135 : 모터 지지용 차폐판
136 : 가스켓 138 : 여과망110: scrubber body 111112: foot master
113: harmful gas inlet 114: pumping unit
115: water jet nozzle 116: demister
117: collection room 118: polling
119: observation window 120: control panel
130: blower unit 131: process gas exhaust
132: fan case 132a: first opening
132b: second opening 133: impeller 134: motor 135: motor support shielding plate
136: gasket 138: filtering network

Claims (4)

흡입후드로부터 전달되는 유해가스를 처리하는 실험실용 웨트 스크러버에 있어서,
상기 유해가스가 유입되는 유해가스 유입부(gas inlet)가 일측에 마련되며, 내부에 상기 유해가스의 처리공간이 형성되는 스크러버 바디;
상기 스크러버 바디의 상부 영역에 결합되어 처리 완료된 처리가스를 배기시키는 블로워 유닛;
상기 스크러버 바디 내에 마련되며, 상기 유해가스를 향해 물을 분사하는 다수의 물 분사노즐;
상기 물 분사노즐의 상부에 배치되며, 상기 물 분사노즐에 의해 분사되는 물에 의해 상변화된 증기 속의 수분을 제거하는 데미스타(demister); 및
상기 물 분사노즐로부터 분사되는 물에 의해 흡착된 흡착물질을 수집하는 다수의 폴링(polling)을 구비하는 수집실을 포함하며,
상기 블로워 유닛은,
상기 처리가스가 배기되는 처리가스 배기부(gas outlet)가 형성되는 팬 케이스;
상기 팬 케이스 내에 회전 가능하게 마련되는 임펠러;
상기 임펠러에 연결되어 상기 임펠러를 회전구동시키는 모터;
상기 모터가 지지되는 장소를 형성하며, 상기 팬 케이스의 일측에 형성되는 제1 개구부에 착탈 가능하게 결합되어 상기 제1 개구부를 차폐하는 모터 지지용 차폐판; 및
상기 모터 지지용 차폐판과 상기 팬 케이스가 접하는 영역에 배치되어 상기 유해가스의 외부 누출을 방지시키는 가스켓을 포함하며,
상기 유해가스는 상기 유해가스 유입부를 거쳐 유입된 후 상기 수집실 및 상기 데미스터를 거쳐 상기 팬 케이스의 타측에 형성되는 제2 개구부로 유입되어 상기 임펠러에 의하여 상기 처리가스 배기부로 배출되는 것을 특징으로 하는 배기 일체형 실험실용 웨트 스크러버.
In the laboratory wet scrubber for processing the harmful gas delivered from the suction hood,
A scrubber body provided with a harmful gas inlet (gas inlet) through which the harmful gas flows and having a processing space for the harmful gas therein;
A blower unit coupled to an upper region of the scrubber body to exhaust treated gas;
A plurality of water injection nozzles provided in the scrubber body and spraying water toward the harmful gas;
A demister disposed on an upper portion of the water injection nozzle and removing moisture in the vapor phase changed by the water injected by the water injection nozzle; And
It includes a collection chamber having a plurality of polling (polling) for collecting the adsorbed material adsorbed by the water injected from the water injection nozzle,
The blower unit,
A fan case in which a process gas outlet through which the process gas is exhausted is formed;
An impeller rotatably provided in the fan case;
A motor connected to the impeller to rotate the impeller;
A motor support shield plate forming a place where the motor is supported and detachably coupled to a first opening formed at one side of the fan case to shield the first opening; And
A gasket disposed in an area where the motor support shielding plate and the fan case are in contact with each other to prevent external leakage of the noxious gas;
The noxious gas is introduced through the noxious gas inlet and then introduced into the second opening formed at the other side of the fan case through the collection chamber and the demister and discharged to the process gas exhaust unit by the impeller. Integrated laboratory wet scrubber.
삭제delete 제1항에 있어서,
상기 블로워 유닛은,
상기 팬 케이스의 상기 제2 개구부 영역에 배치되어 이물질이 상기 팬 케이스 내로 투입되는 것을 저지하는 여과망을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 배기 일체형 실험실용 웨트 스크러버.The method of claim 1,
The blower unit,
And a filter net disposed in the second opening region of the fan case to prevent foreign matter from being introduced into the fan case. 삭제delete
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