KR101224142B1 - Apparatus for winding wire - Google Patents
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Abstract
본 발명은 와이어 권취 장치에 관한 것이다. 특히, 와이어를 균일한 장력을 유지시킨 상태에서 일정한 피치로 보빈에 감을 수 있는 와이어 권취 장치에 관한 것이다.
본 발명의 일실시예에 따른 와이어 권취 장치는 와이어가 감긴 권출보빈을 지지하고, 상기 와이어가 풀리도록 상기 권출보빈을 회전시키는 권출보빈 지지유닛과, 상기 와이어가 감기는 권취보빈을 지지하고, 상기 와이어가 감기도록 상기 권취보빈을 회전시키는 권취보빈 지지유닛과, 상기 권출보빈 지지유닛과 상기 권취보빈 지지유닛 사이에서 설정 피치에 따라 수평하게 이동되고, 상기 와이어를 경유시켜 상기 와이어에 가해지는 장력을 설정 장력에 따라 균일하게 유지시키는 와이어 조절유닛과, 상기 권출보빈 지지유닛, 상기 권취보빈 지지유닛 및 상기 와이어 조절유닛의 구동을 제어하는 제어유닛을 포함한다.The present invention relates to a wire winding device. In particular, it is related with the wire winding apparatus which can wind a bobbin by a constant pitch in the state which kept the wire uniform tension.
Wire winding device according to an embodiment of the present invention supports the unwinding bobbin wound the wire, the unwinding bobbin support unit for rotating the unwinding bobbin so that the wire is unwinded, and the winding bobbin winding the wire, Between the winding bobbin support unit for rotating the winding bobbin so that the wire is wound, the winding bobbin support unit and the winding bobbin support unit are moved horizontally according to a set pitch, and the tension applied to the wire is passed through the wire. And a wire control unit for maintaining uniformly according to the set tension, and a control unit for controlling the drive of the unwind bobbin support unit, the unwind bobbin support unit, and the wire control unit.
Description
본 발명은 와이어 권취 장치에 관한 것이다. 특히, 와이어를 균일한 장력을 유지시킨 상태에서 일정한 피치로 보빈에 감을 수 있는 와이어 권취 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a wire winding device. In particular, it is related with the wire winding apparatus which can wind a bobbin by a constant pitch in the state which kept the wire uniform tension.
일반적으로, 실리콘 융액(融液)을 단결정으로 성장시킨 잉곳(ingot)은 웨이퍼 제조를 위한 모재(母材)로 사용된다.In general, an ingot in which a silicon melt is grown into a single crystal is used as a base material for wafer manufacture.
블록 형상으로 성장된 잉곳을 박판 형태의 웨이퍼로 절단(slicing)하기 위해서는 잉곳 절단 장치가 사용되며, 그 대표적인 예로 와이어 쏘(wire saw) 장치를 들 수 있다.An ingot cutting device is used to slicing an ingot grown in a block shape into a thin wafer, and a representative example thereof is a wire saw device.
통상, 와이어를 이용하는 잉곳 절단 장치에는 와이어를 공급하기 위한 보빈(bobbin)이 구비되며, 보빈으로부터 풀리는 와이어가 고속으로 회전되고, 잉곳이 와이어에 대해 상대적으로 이동되어 잉곳이 절단된다. 이러한 잉곳 절단 장치에서는 고속으로 회전되는 와이어가 끊어지지 않도록 장력이 균일하게 유지된 상태로 와이어가 보빈에 감기고, 보빈으로부터 풀리는 와이어를 위치조정 없이 신속하게 이용하기 위해서 와이어가 보빈에 일정한 피치로 감긴다.Usually, an ingot cutting device using a wire is provided with a bobbin for supplying a wire, the wire released from the bobbin is rotated at high speed, and the ingot is moved relative to the wire to cut the ingot. In such an ingot cutting device, the wire is wound on the bobbin with the tension maintained uniformly so that the wire rotated at high speed, and the wire is wound around the bobbin at a constant pitch in order to quickly use the wire released from the bobbin without positioning. .
잉곳 절단 장치에서 와이어는 마모 등으로 인해 소모되어 교체를 위해 외부로부터 구입되는데, 도 1에 도시된 바와 같이 종래에는 와이어(wire; 1) 구입시, 와이어(1)가 잉곳 절단 장치에 적용할 수 없는 보빈(20)에 감겨지고, 특히 장력(tension; T)이 균일하게 유지된 상태에서 일정한 피치(pitch; P1≠P2)로 감겨지지 않는다. 따라서, 와이어(1)를 잉곳 절단 장치에 적용 가능한 보빈(10)에 장력(T)을 일정하게 유지시킨 상태에서 일정한 피치(P)로 옮겨 감는 작업이 요구되었다.In the ingot cutting device, the wire is consumed due to abrasion or the like and is purchased from the outside for replacement. As shown in FIG. 1, when the
이러한 작업을 위해 종래에는 잉곳 절단 장치에 와이어 권취 장치를 구비시켰지만, 종래의 와이어 권취 장치는 보빈들(10, 20) 간에 와이어(1)를 옮겨 감는 과정에서 장력(T)과 피치(P)가 변동되는 경우, 이를 적절하게 대응하지 못함으로써 와이어(1)가 비정상 상태로 보빈(10)에 감기는 문제점이 있었다. 따라서, 잉곳 절단 장치에 와이어(1)를 원활하게 공급하지 못하여 고가(高價)의 잉곳을 절단하여 제조되는 웨이퍼의 품질이 저하되는 문제점이 있었다.Conventionally, a wire winding device is provided in the ingot cutting device for this operation. However, in the conventional wire winding device, tension (T) and pitch (P) are increased in the process of moving the wire (1) between the bobbins (10, 20). In the case of fluctuation, there is a problem in that the
또한, 종래에는 잉곳 절단 장치에 와이어 권취 장치가 내장되어 잉곳 절단 장치의 크기가 지나치게 커져 공장 규모가 커지는 문제점이 있으며, 진동 발생 등의 이유로 와이어(1)를 옮겨 감는 작업 중에는 잉곳의 절단 작업을 실시할 수 없고, 잉곳의 절단 작업시에는 와이어(1)를 옮겨 감는 작업을 실시할 수 없어 와이어 권취 장치의 운용에 어려움이 있었다. 따라서, 잉곳의 절단 공정을 포함하는 웨이퍼 제조 공정의 생산성이 저하되는 문제점이 있었다.In addition, there is a problem in that the ingot cutting device has a built-in wire winding device, and the ingot cutting device is too large, resulting in a large factory size, and the cutting operation of the ingot is performed during the operation of moving the
본 발명은 와이어 권취 장치를 제공한다.The present invention provides a wire winding device.
본 발명은 보빈에 감긴 와이어를 균일한 장력을 유지시킨 상태에서 일정한 피치로 다른 보빈에 옮겨 감을 수 있는 와이어 권취 장치를 제공한다.The present invention provides a wire winding device capable of moving a wire wound on a bobbin to another bobbin at a constant pitch while maintaining a uniform tension.
본 발명의 일실시예에 따른 와이어 권취 장치는 와이어가 감긴 권출보빈을 지지하고, 상기 와이어가 풀리도록 상기 권출보빈을 회전시키는 권출보빈 지지유닛과, 상기 와이어가 감기는 권취보빈을 지지하고, 상기 와이어가 감기도록 상기 권취보빈을 회전시키는 권취보빈 지지유닛과, 상기 권출보빈 지지유닛과 상기 권취보빈 지지유닛 사이에서 설정 피치에 따라 수평하게 이동되고, 상기 와이어를 경유시켜 상기 와이어에 가해지는 장력을 설정 장력에 따라 균일하게 유지시키는 와이어 조절유닛과, 상기 권출보빈 지지유닛, 상기 권취보빈 지지유닛 및 상기 와이어 조절유닛의 구동을 제어하는 제어유닛을 포함한다.Wire winding device according to an embodiment of the present invention supports the unwinding bobbin wound the wire, the unwinding bobbin support unit for rotating the unwinding bobbin so that the wire is unwinded, and the winding bobbin winding the wire, Between the winding bobbin support unit for rotating the winding bobbin so that the wire is wound, the winding bobbin support unit and the winding bobbin support unit are moved horizontally according to a set pitch, and the tension applied to the wire is passed through the wire. And a wire control unit for maintaining uniformly according to the set tension, and a control unit for controlling the drive of the unwind bobbin support unit, the unwind bobbin support unit and the wire control unit.
또한, 상기 와이어 조절유닛은 상기 권출보빈의 측면 영역에서 왕복 구동되고, 상기 와이어의 풀림 속도를 조절하는 와이어 풀림 조절유닛과, 상기 권취보빈의 측면 영역에서 왕복 구동되고, 상기 와이어의 감김 속도를 조절하는 와이어 감김 조절유닛을 포함할 수 있다.In addition, the wire adjusting unit is reciprocally driven in the side region of the unwind bobbin, the wire unwinding control unit for adjusting the unwinding speed of the wire, reciprocally driven in the side region of the winding bobbin, and adjusts the winding speed of the wire It may include a wire winding adjusting unit.
또한, 와이어 권취 장치는 마주보는 권출보빈 및 권취보빈을 각각 지지하고, 상기 권출보빈에 감긴 와이어가 풀려 상기 권취보빈에 옮겨 감기도록 상기 권출보빈 및 상기 권취보빈을 각각 회전시키는 권출보빈 지지유닛 및 권취보빈 지지유닛과, 상기 권출보빈의 측면 영역에서 왕복 구동되어 상기 권출보빈에서 풀리는 상기 와이어의 풀림 속도를 조절하고, 상기 와이어에 가해지는 장력을 설정 장력에 따라 균일하게 유지시키는 와이어 풀림 조절유닛과, 상기 권취보빈의 측면 영역에서 왕복 구동되고, 상기 와이어 풀림 조절유닛에서 인출된 상기 와이어의 장력을 상기 설정 장력에 따라 균일하게 유지시키고, 상기 와이어의 감김 속도를 조절하여 상기 권취보빈에 인출시키는 와이어 감김 조절유닛과, 상기 보빈 지지유닛, 상기 와이어 풀림 조절유닛 및 상기 와이어 감김 조절유닛의 구동을 제어하는 제어유닛을 포함한다.Further, the wire winding device supports the unwinding bobbin and the winding bobbin facing each other, and the unwinding bobbin support unit and the winding unit for rotating the unwinding bobbin and the unwinding bobbin respectively so that the wire wound around the unwinding bobbin is unwound and transferred to the unwinding bobbin. A bobbin support unit, a wire unwinding control unit which reciprocates in the side region of the unwind bobbin to adjust the unwinding speed of the wire unwinded from the unwind bobbin, and maintains the tension applied to the wire uniformly according to a set tension; Reciprocatingly driven in the side region of the winding bobbin, the wire is drawn to the winding bobbin by adjusting the winding speed of the wire by maintaining the tension of the wire drawn out from the wire loosening adjusting unit uniformly according to the set tension. Control unit, the bobbin support unit, the wire loosening control unit And a control unit for controlling the drive of the wire winding control unit.
또한, 상기 와이어 감김 조절유닛은 상기 권취보빈의 측면 영역에서 상기 권취보빈이 1회전될 때마다 상기 설정 피치 길이만큼 수평 이동될 수 있다.In addition, the wire winding adjusting unit may be horizontally moved by the set pitch length each time the winding bobbin is rotated in the side region of the winding bobbin.
또한, 상기 와이어 풀림 조절유닛은 상기 권출보빈의 측면 영역에서 상기 권출보빈이 1회전될 때마다 상기 설정 피치 길이만큼 수평 이동될 수 있다.In addition, the wire loosening adjusting unit may be horizontally moved by the set pitch length each time the unwinding bobbin is rotated once in the side region of the unwinding bobbin.
또한, 상기 권출보빈 지지유닛 또는 상기 권취보빈 지지유닛은 상기 권출보빈 또는 상기 권취보빈의 일단 중심에 제1지지축을 삽입시켜 회전 가능하도록 지지하는 고정대와, 상기 고정대와 대향된 상태에서 상기 고정대와의 이격거리가 변동되도록 수평 구동되고, 상기 권출보빈 또는 상기 권취보빈의 양단을 잇는 중심선이 수평선을 이루도록 타단 중심에 제2지지축을 삽입시켜 회전 가능하도록 지지하는 이동대 및 상기 고정대의 일측에 장착되어 회전력을 제공하는 서보 모터를 포함할 수 있다.In addition, the take-up bobbin support unit or the take-up bobbin support unit is a support for supporting the rotatable by inserting the first support shaft in the center of one end of the take-up bobbin or the take-up bobbin, and the fixing stand in a state opposite to the stand A horizontal drive is driven so that the separation distance is varied, and a movable support for supporting the rotatable by inserting a second support shaft at a center of the other end such that a center line connecting both ends of the unwinding bobbin or the winding bobbin forms a horizontal line is rotated and It may include a servo motor to provide.
또한, 상기 고정대의 상기 제1지지축 상에는 상기 권출보빈 또는 상기 권취보빈의 일단 면에 형성되는 오목홈과 맞물리도록 볼록돌기가 돌출 형성되는 흔들림 방지 플레이트가 결합될 수 있다.In addition, on the first support shaft of the fixing stand may be coupled to the anti-shake plate which is formed with a protruding protrusion protruding to engage with the concave groove formed on one end surface of the unwinding bobbin or the take-up bobbin.
또한, 상기 와이어 풀림 조절유닛 또는 상기 와이어 감김 조절유닛은 상기 권출보빈 또는 상기 권취보빈의 일측에서 왕복 구동되는 주행 블록과, 상기 주행 블록의 바닥면에 결합되는 직선 주행부와, 상기 주행 블록의 일측면에 결합되어 상기 와이어가 지나가는 경유 경로를 형성하는 복수의 가이드 롤러와, 상기 주행 블록의 하부에 구비되고, 상기 와이어가 지나가는 스핀들 롤러의 회전을 증감시켜 상기 와이어의 풀림 속도 또는 감김 속도를 조절하는 와이어 속도 조절부와, 상기 주행 블록의 상부에서 상기 경유 경로의 길이가 확장 또는 축소되도록 상기 와이어가 지나가는 텐션 롤러를 경동시켜 상기 와이어의 장력을 조절하는 장력 조절부를 포함할 수 있다.The wire unwinding adjusting unit or the wire winding adjusting unit may include a traveling block reciprocatingly driven at one side of the unwinding bobbin or the winding bobbin, a linear travel unit coupled to a bottom surface of the traveling block, and one of the traveling blocks. A plurality of guide rollers coupled to the side to form a transit path through which the wire passes, and provided in the lower portion of the traveling block, to adjust the unwinding speed or the winding speed of the wire by increasing or decreasing the rotation of the spindle roller passing the wire It may include a wire speed control unit, and a tension control unit for adjusting the tension of the wire by tilting the tension roller through which the wire passes so that the length of the transit path in the upper portion of the traveling block is expanded or reduced.
또한, 상기 제어유닛은 상기 권출보빈의 단면 직경과 상기 권출보빈에서 풀리는 상기 와이어의 권출량에 따라 상기 와이어의 풀림 속도를 조절하고, 상기 권취보빈의 단면 직경과 상기 권취보빈에 감기는 상기 와이어의 권취량에 따라 상기 와이어의 감김 속도를 조절하도록 상기 와이어 속도 조절부를 제어할 수 있다.In addition, the control unit adjusts the unwinding speed of the wire according to the cross-sectional diameter of the unwinding bobbin and the amount of unwinding of the wire unwinding from the unwinding bobbin, the cross-sectional diameter of the winding bobbin and the winding of the winding bobbin The wire speed control unit may be controlled to adjust the winding speed of the wire according to the winding amount.
본 발명의 실시예들에 따른 와이어 권취 장치에 의하면, 와이어 권취 장치가 잉곳 절단 장치와 구분되는 독립적인 장치로 구성되어 보빈들 사이에서 와이어를 옮겨 감는 작업을 용이하게 실시할 수 있다. 즉, 와이어 권취 장치의 운용 시간을 용이하게 확보하여 잉곳 절단 작업의 효율을 향상시킬 수 있다.According to the wire winding device according to the embodiments of the present invention, the wire winding device is composed of an independent device that is separated from the ingot cutting device can be easily carried out to move the wire between the bobbin. That is, the operation time of a wire winding apparatus can be easily ensured, and the efficiency of an ingot cutting operation can be improved.
또한, 잉곳 절단 장치용 보빈에 장력을 균일하게 유지시킨 상태에서 일정한 피치로 옮겨 감을 수 있어 잉곳 절단 장치에 신속한 적용이 가능하며, 와이어가 단선(斷線) 등과 같이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 잉곳 절단 장치에 와이어를 설정된 기준(장력, 피치)에 맞게 원활하게 공급할 수 있어 잉곳 절단 장치의 가동 효율을 높일 수 있으며, 이로부터 제조되는 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있다.In addition, the bobbin for the ingot cutting device can be moved to a constant pitch while maintaining the tension uniformly, so that it can be quickly applied to the ingot cutting device, and the wires can be easily prevented from being damaged such as disconnection. . In addition, it is possible to smoothly supply the wire to the ingot cutting device according to the set criteria (tension, pitch) can increase the operating efficiency of the ingot cutting device, it is possible to improve the quality of the wafer manufactured therefrom.
따라서, 잉곳의 절단 공정을 포함하는 웨이퍼 제조 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.Therefore, the productivity of the wafer manufacturing process including the cutting process of an ingot can be improved.
도 1은 종래의 일실시예에 따른 와이어 권취용 보빈을 도시한 도면.
도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 와이어 권취 장치의 정면도.
도 3은 본 발명에 따른 와이어 권취 장치의 일측면도.
도 4는 본 발명에 따른 와이어 권취 장치의 평면도.1 is a view showing a wire winding bobbin according to a conventional embodiment.
2 is a front view of the wire winding apparatus according to an embodiment of the present invention.
3 is a side view of a wire winding apparatus according to the present invention.
4 is a plan view of the wire winding apparatus according to the present invention.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 상세히 설명하기로 한다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 것이며, 단지 본 발명의 실시예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하며, 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이다. 도면 상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. It should be understood, however, that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but may be embodied in many different forms and should not be construed as being limited to the embodiments set forth herein. Rather, these embodiments are provided so that this disclosure will be thorough and complete, To provide a complete description of the category. Wherein like reference numerals refer to like elements throughout.
도 1은 종래의 일실시예에 따른 와이어 권취용 보빈을 도시한 도면이고, 도 2는 본 발명의 일실시예에 따른 와이어 권취 장치의 정면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 와이어 권취 장치의 일측면도이며, 도 4는 본 발명에 따른 와이어 권취 장치의 평면도이다. (이하, 와이어가 풀리는 보빈을 권출(捲出)보빈이라 하고, 와이어가 감기는 보빈을 권취(捲取)보빈이라 한다.)1 is a view showing a wire winding bobbin according to a conventional embodiment, Figure 2 is a front view of the wire winding device according to an embodiment of the present invention, Figure 3 is a wire winding device according to the present invention It is a side view and FIG. 4 is a top view of the wire winding apparatus which concerns on this invention. (Hereinafter, the bobbin in which the wire is unwound is called a unwind bobbin, and the bobbin in which the wire is wound is called a wound bobbin.)
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 일실시예에 따른 와이어 권취 장치(1000)는 와이어(1)가 감긴 권출보빈(unwinding bobbin; 20)을 지지하고, 와이어(1)가 풀리도록 권출보빈(20)을 회전(R1)시키는 권출보빈 지지유닛(200)과, 와이어(1)가 감기는 권취보빈(winding bobbin; 10)을 지지하고, 와이어(1)가 감기도록 권취보빈(10)을 회전(R2)시키는 권취보빈 지지유닛(300)과, 권출보빈 지지유닛(200)과 권취보빈 지지유닛(300) 사이에서 설정 피치(P)에 따라 수평 방향(y방향)으로 이동(M1, M2)되고, 와이어(1)를 경유시켜 와이어(1)에 가해지는 장력을 설정 장력(T)에 따라 균일하게 유지시키는 와이어 조절유닛과, 권출보빈 지지유닛(200), 권취보빈 지지유닛(300) 및 와이어 조절유닛의 구동을 제어하는 제어유닛(600)을 포함한다. 여기서, 와이어 조절유닛은 권출보빈(20)의 측면 영역(Z1)에서 왕복 구동(M1)되고, 와이어(1)의 풀림 속도(V1)를 조절하는 와이어 풀림 조절유닛(400)과, 권취보빈(10)의 측면 영역(Z2)에서 왕복 구동(M2)되고, 와이어(1)의 감김 속도(V2)를 조절하는 와이어 감김 조절유닛(500)으로 구분된다.1 to 4, the
한편, 와이어 권취 장치(1000)는 전술한 구성요소들(200 내지 500)의 안정적인 설치 공간을 제공하기 위하여 안착선반(100)을 포함할 수 있다. 안착선반(100)의 하부면에는 높이조절(h)이 가능한 복수의 지지대(110)가 결합되어 안착선반(100)의 상부면이 지면에 대해 수평면을 이루도록 조절할 수 있다. 또한, 미도시되었지만, 안착선반(100)의 하부면에는 복수의 이동바퀴가 구비되어 와이어 권취 장치(1000)를 공장 내에서 자유롭게 이동시킬 수 있다.Meanwhile, the
위와 같은 와이어 권취 장치(1000)를 이용하여 양 보빈(10, 20) 간에 와이어(1)를 옮겨 감는 과정을 간단하게 설명하면, 우선 권출보빈(20)과 권취보빈(10)은 권출보빈 지지유닛(200)과 권취보빈 지지유닛(300)에 각각 설치된다. 이후, 작업자에 의해 권출보빈(20)에서 풀리는 와이어(1)를 와이어 풀림 조절유닛(400)과 와이어 감김 조절유닛(500)에 경유되도록 한 후 권취보빈(10)에 고정된다. 이때, 와이어 풀림 조절유닛(400)과 와이어 감김 조절유닛(500)에 형성되는 와이어(1)의 경유 경로는 자유롭게 변경될 수 있다.The process of moving the
이와 같이 양 보빈(10, 20) 간에 와이어(1)의 연결이 완료되면, 작업자에 의해 설정 장력(T)과 설정 피치(P)에 대한 정보가 제어유닛(600)에 입력되고, 제어유닛(600)은 입력된 설정 장력(T)과 설정 피치(P)에 맞게 와이어(1)가 권취보빈(10)에 감기도록 권출보빈 지지유닛(200), 와이어 풀림 조절유닛(400), 와이어 감김 조절유닛(500), 권취보빈 지지유닛(300)을 연동 제어한다.When the connection of the
와이어(1)는 잉곳을 웨이퍼 형태로 절단할 수 있는 선재(線材)로서, 권출 또는 권취 과정에서 끊어짐이 발생되지 않도록 연성, 인성 등의 기계적인 특성을 가진다. 이러한 와이어(1)로는 고탄소강, 텅스텐, 구리 등을 포함하는 금속 재질을 사용하거나, 탄소 나노튜브, 폴리머 등의 복합 재료를 사용할 수 있다. 특히, 본 실시예에서는 와이어(1)의 표면에 다이아몬드 입자를 연마 입자로 코팅시킨 와이어를 사용하였다.The
와이어(1)의 구입시 획득된 권출보빈(20)과 잉곳 절단 장치에 적용되는 권취보빈(10)은 기본적으로 와이어(1)가 감기는 보빈 몸통(11, 21)과, 보빈 몸통(11, 21)의 양단에 결합되어 와이어(1)의 이탈을 방지하는 한 쌍의 원판(13, 23)으로 형성된다. 그러나, 권출보빈(20)과 권취보빈(10)은 보빈 몸통(11, 21)에 대한 길이(L1, L2)가 다르게 형성될 뿐만 아니라 보빈 몸통(11, 21)의 단면 직경(r1, r2)이 다르게 형성된다. 이와 같이, 크기가 각기 다른 권출보빈(20)과 권취보빈(10)을 각각 용이하게 지지할 수 있도록 권출보빈 지지유닛(200)과 권취보빈 지지유닛(300)은 보빈의 길이 방향(y방향)을 따라 가변될 수 있는 구조로 이루어진다. 따라서, 권출보빈(20)의 크기가 변경되더라도 와이어 권취 장치(1000)에 용이하게 적용할 수 있다. 권출보빈 지지유닛(200)과 권취보빈 지지유닛(300)은 동일한 구조로 형성되며, 도 3을 참조하여 권취보빈 지지유닛(300)에 대하여 살펴보기로 한다. 권취보빈 지지유닛(300)은 권취보빈(10)의 일단 중심에 제1지지축(330)을 삽입시켜 회전 가능하도록 지지하는 고정대(310)와, 고정대(310)와 대향된 상태에서 고정대(310)의 이격거리(S)가 변동되도록 수평 구동(N2)되고, 권취보빈(10)의 양단을 잇는 중심선(C2)이 수평선을 이루도록 타단 중심에 제2지지축(360)을 삽입시켜 회전 가능하도록 지지하는 이동대(350) 및 고정대(310)의 일측에 장착되어 회전력을 제공하는 서보 모터(230)를 포함한다. 또한, 권취보빈 지지유닛(300)는 고정대(310)의 제1지지축(330) 상에 결합되어 권취보빈(10)의 일단 면에 형성되는 오목홈(15; 도 1 참조)과 맞물리도록 볼록돌기(미도시)가 돌출 형성되는 흔들림 방지 플레이트(340)를 더 포함할 수 있다. 전술한 바와 같이 권출보빈 지지유닛(200)은 권취보빈 지지유닛(300)과 동일한 구조로 형성되고, 권출보빈(20)의 척킹(chucking) 시 동일한 구동(N2)을 하여 세부 구성에 대한 설명은 생략하기로 한다. (여기서, 권출보빈 지지유닛(200)의 구성요소는 앞자리의 도면 부호만 다른 권취보빈 지지유닛(300)의 구성요소와 대응된다.)The take-up
위와 같이 안착선반(100)의 상부면에서 마주보는 권출보빈 지지유닛(200)과 권취보빈 지지유닛(300) 사이에는 와이어 풀림 조절유닛(400)과 와이어 감김 조절유닛(500)이 설치된다. 본 실시예에서 와이어 풀림 조절유닛(400)과 와이어 감김 조절유닛(500)은 동일한 구조로 형성된다. 이들 구조를 알아보기 위해 와이어 감김 조절유닛(500)에 대하여 살펴보면, 와이어 감김 조절유닛(500)은 권취보빈(10)의 일측에서 왕복 구동(M2)되는 주행 블록(510)과, 주행 블록(510)의 바닥면에 결합되는 직선 주행부(520)와, 주행 블록(510)의 일측면에 결합되어 와이어(1)가 지나가는 경유 경로를 형성하는 복수의 가이드 롤러(571 내지 577)와, 주행 블록(510)의 하부에 구비되고, 와이어(1)가 지나가는 스핀들 롤러(532)의 회전(R4)을 증감시켜 와이어(1)의 감김 속도(V2)를 조절하는 와이어 속도 조절부(530)와, 주행 블록(510)의 상부에서 경유 경로의 길이가 확장 또는 축소되도록 와이어(1)가 지나가는 텐션 롤러(546)를 경동(tilting)시켜 와이어(1)의 장력(T)을 조절하는 장력 조절부(540)를 포함한다. 와이어 풀림 조절유닛(400)은 와이어 감김 조절유닛(500)과 와이어(1)가 인입 및 인출되는 방향만 다를 뿐 동일한 구조로 형성되고, 동일한 구동을 수행하여 세부 내용은 생략하기로 한다. (여기서, 와이어 풀림 조절유닛(400)의 구성요소는 앞자리의 도면 부호만 다른 와이어 감김 조절유닛(500)의 구성요소와 대응된다.)A wire
본 실시예에서는 복수의 가이드 롤러(571 내지 577) 등을 주행 블록(510)의 일측면에 부착시켰지만, 복수의 가이드 롤러(571 내지 577)가 부착되는 일측면에 커버(미도시)를 씌워 외부의 이물질에 의한 와이어(1)의 오염이나, 와이어(1)의 권취 과정에서 발생되는 분진이 작업장에 퍼지는 것을 방지할 수 있다.In this embodiment, a plurality of
주행 블록(510)의 바닥면에 결합되는 직선 주행부(520)는 LM(Linear Motion) 가이드 방식을 사용하며, 이러한 직선 주행부(520)는 안착선반(100)의 상부면에 설치되는 한 쌍의 LM가이드 레일(522)과, 한 쌍의 LM가이드 레일(522)에 탑재되는 한 쌍의 LM가이드 블록(524) 및 LM가이드 블록(524)에 구동력을 제공하는 서보 모터(526)를 포함한다. 이와 같이 직선 주행부(520)를 서보 모터(526)를 이용한 LM가이드 방식을 사용함으로써 주행 블록(510)을 미세하게 위치 조절할 수 있다.The
와이어(1)가 지나가는 복수의 가이드 롤러(571 내지 577)은 중앙부가 U자형 또는 V자형으로 오목하게 형성되는 롤러이며, 와이어(1)에 코팅된 다이아몬드 입자가 복수의 롤러(571 내지 577)를 지나가면서 탈락되는 것을 방지하기 위해 복수의 롤러(571 내지 577) 표면에 신축성이 있는 패드를 부착시키거나 코팅시킬 수 있다.The plurality of
와이어 속도 조절부(530)는 와이어(1)의 경유 경로 상에 위치되는 스핀들 롤러(532)를 서보 모터(미도시)로 회전시켜 스핀들 롤러(532)를 지나가는 와이어(1)의 속도를 증감시킬 수 있다. 또한, 본 실시예에서는 주행 블록(510)의 일측면에서 스핀들 롤러(532)의 위치가 상하 방향(z방향)을 따라 변경될 수 있도록 스핀들 롤러(532) 주행 레일(534)을 설치할 수 있으며, 이때, 스핀들 롤러(532)에 연결되는 서보 모터도 따라 승강된다.The
장력 조절부(540)는 와이어(1)를 팽팽하게 유지시키는 힘이 달라지도록 와이어(1)의 경유 경로의 길이를 변경시킨다. 이를 위해 장력 조절부(540)는 주행 블록(510)을 관통하는 서보 모터 방식의 장력 구동기(544)와, 장력 구동기(544)의 회전축에 연결되어 주행 블록(510)의 일측면 상에서 경동되는 장력 조절바(542)와, 장력 조절바(542)의 끝단에 결합되는 텐션 롤러(546)를 포함한다. 미도시되었지만, 장력 조절부(540)에는 와이어(1)에 의해 장력 조절바(542)가 회전되는 방향과 반대되는 방향으로 장력 조절바(542)를 원위치시키기 위한 탄성 스프링이 장력 조절바(542)의 타단에 연결될 수 있다. 또한, 장력 조절바(542)의 타단 위치에 장력 조절바(542)의 누름 정도에 따라, 즉 압력 정도에 따라 와이어(1)에 가해지는 장력을 감지할 수 있는 압력 감지 센서를 장착시킬 수 있다. 본 실시예에서 장력 구동기(544)는 제어유닛(600)에 의해 구동 제어되며, 제어유닛(600)은 장력 조절바(542)의 회전 각도가 일정 범위 내에서 미세하게 움직이도록 회전 각도의 범위를 설정하며, 장력 구동기(544)는 설정된 회전 각도 범위 내에 장력 조절바(542)가 위치되도록 장력 조절바(542)를 경동시킨다.The
한편, 본 실시예에서 제어유닛(600)는 보빈의 크기와 와이어(1)의 풀림 정도 또는 감김 정도에 따라 와이어(1)의 풀림 속도(V1) 및 감김 속도(V2)를 각각 제어한다. 즉, 제어유닛(600) 권출보빈(20)의 단면 직경(r1)과 권출보빈(20)에서 풀리는 와이어(1)의 권출량에 따라 와이어(1)의 풀림 속도(V1)를 조절하고, 권취보빈(10)의 단면 직경(r2)과 권취보빈(10)에 감기는 와이어(1)의 권취량에 따라 와이어(1)의 감김 속도(V2)를 조절하도록 와이어 속도 조절부(430, 530)를 제어한다. (여기서, 와이어(1)의 권출량과 권취량은 권출보빈(20)과 권취보빈(10)에서 각각 풀리거나 감기는 와이어(1)의 총 길이를 의미한다.)On the other hand, in the present embodiment, the
제어유닛(600)은 터치스크린(touch screen) 방식의 입출력이 가능한 장치로서, 설정 장력(T)과 설정 피치(P)에 대한 정보를 입력할 수 있으며, 권출보빈(20)과 권취보빈(10)에 대한 정보, 예를 들어 권출량, 권취량에 관한 정보를 외부에 출력할 수 있다.The
위와 같은 와이어 감김 조절유닛(500)은 권취보빈(10)의 측면 영역(Z2)에서 권취보빈(10)이 1회전될 때마다 설정 피치(P) 길이만큼 수평 이동(M2)되고, 대향되는 와이어 풀림 조절유닛(400)은 권출보빈(20)의 측면 영역(Z1)에서 권출보빈(20)이 1회전될 때마다 설정 피치(P) 길이만큼 수평 이동(M1)된다. 이와 같이 보빈의 크기에 따라, 즉 권취보빈(10)과 권출보빈(20)의 단면 직경(r2, r1)에 따라 와이어 감김 조절유닛(500)과 와이어 풀림 조절유닛(400)의 이동 거리를 조절함으로써 권출보빈(20)으로부터 와이어(1)를 용이하게 풀어 권취보빈(10)에 설정 피치(P)에 맞게 권취시킬 수 있다.The wire winding
전술한 바와 같이 본 발명의 실시예들에 따른 와이어 권취 장치에 의하면, 와이어 권취 장치가 잉곳 절단 장치와 구분되는 독립적인 장치로 구성되어 보빈들 사이에서 와이어를 옮겨 감는 작업을 용이하게 실시할 수 있다. 즉, 와이어 권취 장치의 운용 시간을 용이하게 확보하여 잉곳 절단 작업의 효율을 향상시킬 수 있다.As described above, according to the wire winding device according to the embodiments of the present invention, the wire winding device may be configured as an independent device that is separated from the ingot cutting device, so that the wire may be easily wound between the bobbins. . That is, the operation time of a wire winding apparatus can be easily ensured, and the efficiency of an ingot cutting operation can be improved.
또한, 잉곳 절단 장치용 보빈에 장력을 균일하게 유지시킨 상태에서 일정한 피치로 옮겨 감을 수 있어 잉곳 절단 장치에 신속한 적용이 가능하며, 와이어가 단선(斷線) 등과 같이 쉽게 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 잉곳 절단 장치에 와이어를 설정된 기준(장력, 피치)에 맞게 원활하게 공급할 수 있어 잉곳 절단 장치의 가동 효율을 높일 수 있으며, 이로부터 제조되는 웨이퍼의 품질을 향상시킬 수 있다. 따라서, 잉곳의 절단 공정을 포함하는 웨이퍼 제조 공정의 생산성을 향상시킬 수 있다.
In addition, the bobbin for the ingot cutting device can be moved to a constant pitch while maintaining the tension uniformly, so that it can be quickly applied to the ingot cutting device, and the wires can be easily prevented from being damaged such as disconnection. . In addition, it is possible to smoothly supply the wire to the ingot cutting device according to the set criteria (tension, pitch) can increase the operating efficiency of the ingot cutting device, it is possible to improve the quality of the wafer manufactured therefrom. Therefore, the productivity of the wafer manufacturing process including the cutting process of an ingot can be improved.
이상, 본 발명에 대하여 전술한 실시예들 및 첨부된 도면을 참조하여 설명하였으나, 본 발명은 이에 한정되지 않으며 후술되는 특허청구범위에 의해 한정된다. 따라서 본 기술분야의 통상의 지식을 가진 자라면 후술되는 특허청구범위의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명이 다양하게 변형 및 수정될 수 있음을 알 수 있을 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed exemplary embodiments. Therefore, it will be apparent to those skilled in the art that the present invention may be variously modified and modified without departing from the spirit of the appended claims.
1: 와이어 10: 권취보빈
20: 권출보빈 100: 안착선반
200: 권출보빈 지지유닛 300: 권취보빈 지지유닛
400: 와이어 풀림 조절유닛 500: 와이어 감김 조절유닛
600: 제어유닛 1000: 와이어 권취 장치1: wire 10: winding bobbin
20: unwind bobbin 100: seating shelf
200: unwind bobbin support unit 300: unwind bobbin support unit
400: wire unwinding adjusting unit 500: wire winding adjusting unit
600: control unit 1000: wire winding device
Claims (9)
상기 와이어가 감기는 권취보빈을 지지하고, 상기 와이어가 감기도록 상기 권취보빈을 회전시키는 권취보빈 지지유닛과;
상기 권출보빈 지지유닛과 상기 권취보빈 지지유닛 사이에서 설정 피치에 따라 수평하게 이동되고, 상기 와이어를 경유시켜 상기 와이어에 가해지는 장력을 설정 장력에 따라 균일하게 유지시키는 와이어 조절유닛과;
상기 권출보빈 지지유닛, 상기 권취보빈 지지유닛 및 상기 와이어 조절유닛의 구동을 제어하는 제어유닛;
을 포함하는 와이어 권취 장치.A unwinding bobbin support unit which supports a unwinding bobbin wound with a wire and rotates the unwinding bobbin so that the wire is unwinded;
A winding bobbin support unit which supports the winding bobbin to which the wire is wound and rotates the winding bobbin so that the wire is wound;
A wire adjusting unit which is horizontally moved between the unwind bobbin support unit and the unwind bobbin support unit according to a set pitch and maintains a tension applied to the wire via the wire uniformly according to a set tension;
A control unit for controlling driving of the unwind bobbin support unit, the unwind bobbin support unit, and the wire adjustment unit;
Wire winding device comprising a.
상기 와이어 조절유닛은,
상기 권출보빈의 측면 영역에서 왕복 구동되고, 상기 와이어의 풀림 속도를 조절하는 와이어 풀림 조절유닛과;
상기 권취보빈의 측면 영역에서 왕복 구동되고, 상기 와이어의 감김 속도를 조절하는 와이어 감김 조절유닛;
을 포함하는 와이어 권취 장치.The method according to claim 1,
The wire control unit,
A wire loosening control unit which is reciprocated in the side region of the unwind bobbin and adjusts the loosening speed of the wire;
A wire winding adjusting unit which is reciprocated in a side region of the winding bobbin and adjusts a winding speed of the wire;
Wire winding device comprising a.
상기 권출보빈의 측면 영역에서 왕복 구동되어 상기 권출보빈에서 풀리는 상기 와이어의 풀림 속도를 조절하고, 상기 와이어에 가해지는 장력을 설정 장력에 따라 균일하게 유지시키는 와이어 풀림 조절유닛과;
상기 권취보빈의 측면 영역에서 왕복 구동되고, 상기 와이어 풀림 조절유닛에서 인출된 상기 와이어의 장력을 상기 설정 장력에 따라 균일하게 유지시키고, 상기 와이어의 감김 속도를 조절하여 상기 권취보빈에 인출시키는 와이어 감김 조절유닛과;
상기 보빈 지지유닛, 상기 와이어 풀림 조절유닛 및 상기 와이어 감김 조절유닛의 구동을 제어하는 제어유닛;
을 포함하는 와이어 권취 장치.A winding bobbin support unit and a winding bobbin supporting unit which respectively support the unwinding bobbin and the winding bobbin, and rotate the unwinding bobbin and the winding bobbin so that the wire wound around the unwinding bobbin is unwound and wound around the unwinding bobbin;
A wire unwinding control unit which reciprocates in the side region of the unwind bobbin to regulate the unwinding speed of the wire unwinded from the unwind bobbin and maintains the tension applied to the wire uniformly according to a set tension;
Reciprocatingly driven in the side region of the winding bobbin, the wire is drawn to the winding bobbin by adjusting the winding speed of the wire by maintaining the tension of the wire drawn out from the wire loosening adjusting unit uniformly according to the set tension. A control unit;
A control unit for controlling the driving of the bobbin support unit, the wire unwinding adjusting unit and the wire winding adjusting unit;
Wire winding device comprising a.
상기 와이어 감김 조절유닛은,
상기 권취보빈의 측면 영역에서 상기 권취보빈이 1회전될 때마다 상기 설정 피치 길이만큼 수평 이동되는 와이어 권취 장치.The method according to claim 2 or 3,
The wire wound adjusting unit,
And a wire winding device which is horizontally moved by the set pitch length each time the winding bobbin is rotated once in the side region of the winding bobbin.
상기 와이어 풀림 조절유닛은,
상기 권출보빈의 측면 영역에서 상기 권출보빈이 1회전될 때마다 상기 설정 피치 길이만큼 수평 이동되는 와이어 권취 장치.The method according to claim 2,
The wire loosening control unit,
The wire winding device which is horizontally moved by the set pitch length every time the unwinding bobbin is rotated once in the side region of the unwinding bobbin.
상기 권출보빈 지지유닛 또는 상기 권취보빈 지지유닛은,
상기 권출보빈 또는 상기 권취보빈의 일단 중심에 제1지지축을 삽입시켜 회전 가능하도록 지지하는 고정대와;
상기 고정대와 대향된 상태에서 상기 고정대와의 이격거리가 변동되도록 수평 구동되고, 상기 권출보빈 또는 상기 권취보빈의 양단을 잇는 중심선이 수평선을 이루도록 타단 중심에 제2지지축을 삽입시켜 회전 가능하도록 지지하는 이동대; 및
상기 고정대의 일측에 장착되어 회전력을 제공하는 서보 모터;
를 포함하는 와이어 권취 장치.The method according to claim 1 or 3,
The unwind bobbin support unit or the unwind bobbin support unit,
A support for supporting the rotatable rotatable body by inserting a first support shaft into one center of the unwinding bobbin or the winding bobbin;
It is horizontally driven so that the separation distance with the stator in the state opposed to the stator, the center line connecting both ends of the unwinding bobbin or the take-up bobbin is inserted into the center of the other end to support the rotatable by inserting a second support shaft Moving table; And
A servo motor mounted on one side of the stator to provide a rotational force;
Wire winding device comprising a.
상기 고정대의 상기 제1지지축 상에는 상기 권출보빈 또는 상기 권취보빈의 일단 면에 형성되는 오목홈과 맞물리도록 볼록돌기가 돌출 형성되는 흔들림 방지 플레이트가 결합되는 와이어 권취 장치.The method of claim 6,
The anti-wobble plate is coupled to the anti-shake plate protruding projections on the first support shaft of the fixing bar to form a concave groove formed on one end surface of the take-up bobbin or the take-up bobbin.
상기 와이어 풀림 조절유닛 또는 상기 와이어 감김 조절유닛은,
상기 권출보빈 또는 상기 권취보빈의 일측에서 왕복 구동되는 주행 블록과;
상기 주행 블록의 바닥면에 결합되는 직선 주행부와;
상기 주행 블록의 일측면에 결합되어 상기 와이어가 지나가는 경유 경로를 형성하는 복수의 가이드 롤러와;
상기 주행 블록의 하부에 구비되고, 상기 와이어가 지나가는 스핀들 롤러의 회전을 증감시켜 상기 와이어의 풀림 속도 또는 감김 속도를 조절하는 와이어 속도 조절부와;
상기 주행 블록의 상부에서 상기 경유 경로의 길이가 확장 또는 축소되도록 상기 와이어가 지나가는 텐션 롤러를 경동시켜 상기 와이어의 장력을 조절하는 장력 조절부;
를 포함하는 와이어 권취 장치.The method according to claim 2 or 3,
The wire unwinding control unit or the wire winding control unit,
A traveling block reciprocatingly driven at one side of the unwind bobbin or the unwind bobbin;
A linear driving unit coupled to the bottom surface of the driving block;
A plurality of guide rollers coupled to one side of the traveling block to form a passageway through which the wire passes;
A wire speed adjusting unit provided at a lower portion of the traveling block and configured to increase or decrease the rotation of the spindle roller through which the wire passes, thereby adjusting the unwinding speed or the winding speed of the wire;
A tension adjusting unit configured to adjust the tension of the wire by tilting the tension roller through which the wire passes so that the length of the transit path is extended or reduced at the upper portion of the traveling block;
Wire winding device comprising a.
상기 제어유닛은,
상기 권출보빈의 단면 직경과 상기 권출보빈에서 풀리는 상기 와이어의 권출량에 따라 상기 와이어의 풀림 속도를 조절하고, 상기 권취보빈의 단면 직경과 상기 권취보빈에 감기는 상기 와이어의 권취량에 따라 상기 와이어의 감김 속도를 조절하도록 상기 와이어 속도 조절부를 제어하는 와이어 권취 장치.The method according to claim 8,
The control unit includes:
The wire unwinding speed is adjusted according to the cross-sectional diameter of the unwind bobbin and the unwinding amount of the wire unwinding from the unwind bobbin, and the wire according to the cross-sectional diameter of the unwind bobbin and the unwinding amount of the wire wound around the unwind bobbin. Wire winding device for controlling the wire speed control unit to adjust the winding speed of the.
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E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
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