KR101217304B1 - Apparatus for cold spraying grid line on a solar cell substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 태양전지 기판 상에 도선 전극을 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 금속 파우더를 포함하는 금속 파우더 에어로졸를 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 금속 파우더 에어로졸를 공급하는 금속 파우더 공급부를 구비하는 금속 파우더 공급 유니트; 상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 배치되고 상기 도선 전극의 형성을 위하여 상기 노즐로부터 분사된 상기 금속 파우더 에어로졸의 관통을 선택적으로 허용하는 슬릿부; 상기 태양전지 기판 상에 형성되는 상기 도선 전극에 국부적 열에너지를 공급하는 도선 열에너지 제공부;를 구비하는 태양전지 도선 전극 제조 장치를 제공한다.The present invention, the substrate stage is mounted in the chamber is disposed a solar cell substrate; A metal powder supply unit including a nozzle for discharging a metal powder aerosol containing metal powder to the substrate stage to form a lead electrode on the solar cell substrate, and a metal powder supply unit supplying the metal powder aerosol to the nozzle; A slit portion disposed between the nozzle and the substrate stage and selectively allowing penetration of the metal powder aerosol injected from the nozzle to form the lead electrode; It provides a solar cell lead electrode manufacturing apparatus having a; wire heat energy providing unit for supplying local heat energy to the lead electrode formed on the solar cell substrate.

Description

태양전지 도선 전극 제조 장치{APPARATUS FOR COLD SPRAYING GRID LINE ON A SOLAR CELL SUBSTRATE}Solar cell lead electrode manufacturing apparatus {APPARATUS FOR COLD SPRAYING GRID LINE ON A SOLAR CELL SUBSTRATE}

본 발명은 태양전지 제조 장치에 관한 것으로, 미세하고 치밀한 구조의 도선 전극을 구비하는 태양전지를 제조하는 태양전지의 제조 장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a solar cell manufacturing apparatus, and more particularly, to a solar cell manufacturing apparatus for manufacturing a solar cell having a fine and dense lead electrode.

기존 태양전지 도선 전극 형성을 위한 방법으로는 진공 공정으로 스퍼터링, Thermal evaporation, CVD, PVD 등 비용과 시간이 많이 필요한 공정이 대부분이었다.  As a method for forming a conventional solar cell lead electrode, a vacuum process is a costly and time-consuming process such as sputtering, thermal evaporation, CVD, and PVD.

이를 대체하기 위한 방식으로 스크린 프린팅, 잉크젯 프린팅 방식 등이 제시되었으나, 종래 기술에 따른 스크린 프린팅의 접촉 방식 과 잉크젯 프린팅의 토출 한계는 도선 전극 형성의 제한적인 측면으로 단점을 지녔다. Screen printing, inkjet printing, and the like have been proposed as a method for replacing the above, but the contact method of the screen printing and the discharge limit of the inkjet printing according to the prior art have disadvantages due to the limitation of the formation of the lead electrode.

즉, 도 1의 (a) 및 (b)에는 종래 기술에 따른 스크린 프린팅 방식의 전극 형성 과정이 도시되는데, 스크린 프레임(2)에 형성된 스크린(3)을 기판(1)의 대응되는 위치에 배치시킨다. 그런 후, 스크린 관통구(4)가 형성된 스크린(3)의 일면 상에 페이스트(6)를 배치한 수 스퀴즈(5)를 사용하여 도면상 좌측으로부터 우측으로 수직 가압력을 인가한 상태에서 이동시킴에 따라 페이스트(6)는 기판(1)의 일면 상에 도선(6b)을 형성한다. 이와 같은 스크린 프린팅 방식은 종래의 다른 기술인 포토리소그래피 방식에 비해 상온 상압에서의 제조를 가능하게 하여 제조 시간 및 제조 원가 측면에서 현저한 우수성을 지닌다는 장점이 있었다. That is, FIGS. 1A and 1B illustrate an electrode forming process of the screen printing method according to the prior art, in which a screen 3 formed on the screen frame 2 is disposed at a corresponding position of the substrate 1. Let's do it. Then, using the male squeeze 5 having the paste 6 disposed on one surface of the screen 3 on which the screen through-hole 4 is formed, it moves in a state where vertical pressing force is applied from the left side to the right side in the drawing. Therefore, the paste 6 forms the conductive wire 6b on one surface of the substrate 1. Such a screen printing method has an advantage that it is possible to manufacture at room temperature and atmospheric pressure compared to other conventional photolithography method has a significant superiority in terms of manufacturing time and manufacturing cost.

하지만, 도 2에 도시된 바와 같이, 종래의 스크린 프린팅 방식의 경우 기판(1)의 일면 상에 형성된 도선(6b)은 최고 높이(h1)를 구비하는 중앙부 대비 좌우 양측의 스프레딩 영역(As)에 대하여 최고 높이(h1) 대비하여 낮은 높이(h2)를 구비함으로써 종횡비가 상당히 낮아 도선을 통한 전도성을 현저하게 감소시키거나 또는 스프레딩 영역의 증대로 인하여 태양전지의 수광 면적을 감소시켜 쉐이딩 손실을 증대시키고 이로 인하여 태양전지의 효율을 저하시키는 문제점이 수반된다.However, as shown in FIG. 2, in the conventional screen printing method, the conductive line 6b formed on one surface of the substrate 1 has spreading regions As on both the left and right sides of the center portion having the highest height h1. By having a low height (h2) relative to the maximum height (h1) with respect to the aspect ratio is significantly low significantly reducing the conductivity through the conductor or by reducing the light receiving area of the solar cell due to the increase in the spreading area to reduce the shading loss This entails a problem of increasing and thereby lowering the efficiency of the solar cell.

본 발명은 마이크로 단위의 금속 파우더를 사용 가능하고, 이를 통한 미세 도선 전극을 형성할 수 있는 태양전지 도선 전극 제조 장치을 제공하는 것을 목적으로 한다. SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to provide a solar cell lead electrode manufacturing apparatus capable of using a metal powder in micro units and forming a fine lead electrode through the same.

전술한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, 챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 태양전지 기판 상에 도선 전극을 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 금속 파우더를 포함하는 금속 파우더 에어로졸를 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 금속 파우더 에어로졸를 공급하는 금속 파우더 공급부를 구비하는 금속 파우더 공급 유니트; 상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 배치되고 상기 도선 전극의 형성을 위하여 상기 노즐로부터 분사된 상기 금속 파우더 에어로졸의 관통을 선택적으로 허용하는 슬릿부; 상기 태양전지 기판 상에 형성되는 상기 도선 전극에 국부적 열에너지를 공급하는 도선 열에너지 제공부;를 구비하는 태양전지 도선 전극 제조 장치를 제공한다.The present invention for achieving the above object, the substrate stage is mounted in the chamber is disposed a solar cell substrate; A metal powder supply unit including a nozzle for discharging a metal powder aerosol containing metal powder to the substrate stage to form a lead electrode on the solar cell substrate, and a metal powder supply unit supplying the metal powder aerosol to the nozzle; A slit portion disposed between the nozzle and the substrate stage and selectively allowing penetration of the metal powder aerosol injected from the nozzle to form the lead electrode; It provides a solar cell lead electrode manufacturing apparatus having a; wire heat energy providing unit for supplying local heat energy to the lead electrode formed on the solar cell substrate.

상기 태양전지 도선 전극 제조 장치에 있어서, 상기 도선 열에너지 제공부는 레이저 조사 유니트일 수도 있다. In the solar cell lead electrode manufacturing apparatus, the lead heat energy providing unit may be a laser irradiation unit.

상기 태양전지 도선 전극 제조 장치에 있어서, 상기 레이저 조사 유니트의 레이저 조사각은 상기 태양전지 기판 상에 형성되는 도선 전극의 형성 방향에 대하여 예각을 구비할 수도 있다. In the solar cell lead electrode manufacturing apparatus, the laser irradiation angle of the laser irradiation unit may have an acute angle with respect to the formation direction of the lead electrode formed on the solar cell substrate.

상기 태양전지 도선 전극 제조 장치에 있어서, 상기 슬릿부는: 상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 가동 가능하게 배치되는 슬릿부 베이스와, 상기 슬릿부 베이스 상에 가동 가능하게 배치되어 상기 금속 파우더 에어로졸의 관통을 선택적으로 허용하는 슬릿을 형성하는 슬릿부 플레이트와, 상기 슬릿부 플레이트의 배치 위치를 조정하기 위한 슬릿부 구동 유니트를 포함할 수도 있다. In the apparatus for manufacturing a solar cell lead electrode, the slit portion includes: a slit portion base movably disposed between the nozzle and the substrate stage, and a slit portion base movably disposed on the slit portion base to prevent penetration of the metal powder aerosol. A slit part plate which forms a slit to allow selectively, and a slit part drive unit for adjusting the arrangement position of the said slit part plate may be included.

상기 태양전지 도선 전극 제조 장치에 있어서, 상기 슬릿부 플레이트는 상기 슬릿부 베이스에 가동 가능하게 배치되는 슬릿부 플레이트 지지부를 구비하고, 서로 이격 배치되는 한 쌍의 플레이트로 형성될 수도 있다. In the solar cell lead electrode manufacturing apparatus, the slit part plate may be formed of a pair of plates provided with a slit part support part which is movably disposed on the slit part base and spaced apart from each other.

상기 태양전지 도선 전극 제조 장치에 있어서, 상기 슬릿부 구동 유니트는, 상기 슬릿부 플레이트를 가동시키는 플레이트 구동부를 구비하고, 상기 플레이트 구동부는: 상기 슬릿부 플레이트 사이에 배치되어 초기 탄성력을 제공하는 플레이트 탄성 지지부와, 상기 슬릿부 베이스 상에 배치되고 상기 슬릿부 플레이트의 가동력을 제공하는 플레이트 구동기와, 상기 플레이트 구동기로부터 생성된 가동력을 상기 슬릿부 플레이트 지지부에 전달하여 상기 슬릿부 플레이트의 슬릿을 조정하는 플레이트 구동 와이어를 구비할 수도 있다. In the solar cell lead electrode manufacturing apparatus, the slit portion driving unit includes a plate driving portion for moving the slit portion plate, and the plate driving portion: a plate elasticity disposed between the slit portion plates to provide an initial elastic force A plate disposed on the slit base and supporting the slit plate support and a plate driver disposed on the slit base to provide the movable force of the slit plate, and transmitting the movable force generated from the plate driver to the slit plate support to adjust the slit of the slit plate. It may be provided with a drive wire.

상기 태양전지 도선 전극 제조 장치에 있어서, 상기 슬릿부 구동 유니트는, 상기 슬릿부 베이스의 외주와 치합되는 베이스 구동기를 구비할 수도 있다. In the solar cell lead electrode manufacturing apparatus, the slit portion driving unit may include a base driver engaged with an outer circumference of the slit portion base.

상기 태양전지 도선 전극 제조 장치에 있어서, 상기 챔버와 연결되어 상기 도선 전극을 형성한 금속 파우더 이외의 금속 파우더를 재취합시키는 리사이클부를 더 구비할 수도 있다. The solar cell lead electrode manufacturing apparatus may further include a recycling unit connected to the chamber to re-collect metal powder other than the metal powder forming the lead electrode.

상기한 바와 같은 구성을 갖는 본 발명에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치는 다음과 같은 효과를 갖는다. The solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to the present invention having the configuration as described above has the following effects.

첫째, 본 발명에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치는, 저온 스프레이 방식을 통하여 고가의 노즐의 미세화를 수반하지 않더라도 작은 크기의 금속 파우더 에어로졸의 토출을 가능하게 하고 슬릿부를 통한 정확하고 안정적인 미세 도선 전극 형성을 가능하게 하여 태양전지의 효율 증대 및 제조 원가 절감을 이룰 수 있다. First, the solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to the present invention enables the ejection of a small size metal powder aerosol through the low-temperature spraying method and does not involve miniaturization of expensive nozzles and forms accurate and stable fine lead electrodes through the slit part. By making it possible to increase the efficiency of the solar cell and to reduce the manufacturing cost.

둘째, 본 발명에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치는, 저온 스프레이 방식을 통하여 고가의 미세 노즐을 불필요하게 함으로써 마이크로 사이즈의 금속 파우더를 포함하는 에어로졸의 토출을 가능하게 하여 재료 원가를 현저하게 저감시켜 생산 원가를 절감시킬 수도 있다. Secondly, the solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to the present invention enables the ejection of aerosols containing micro-sized metal powder by eliminating expensive fine nozzles through a low temperature spray method, thereby significantly reducing material costs. Cost savings can also be achieved.

셋째, 본 발명에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치는, 간단한 비접촉식 도선 전극 형성을 가능하게 하여 보다 정밀한 미세 도선 전극 형성이 가능하고 공정의 단순화로 인한 생산 수율을 현저하게 증대시킬 수도 있다. Third, the solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to the present invention enables the formation of a simple non-contact lead electrode to enable more precise fine lead electrode formation and significantly increase the production yield due to the simplification of the process.

넷째, 본 발명에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치는, 레이저를 통한 국부적 열에너지 공급을 통하여 손상 가능성이 적고 내구성이 우수한 도선 전극을 형성할 수 있다.Fourth, the solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to the present invention can form a lead electrode having a low probability of damage and excellent durability through a local thermal energy supply through a laser.

본 발명은 도면에 도시된 일실시예들을 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 다른 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 특허 청구 범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to exemplary embodiments thereof, it will be understood by those of ordinary skill in the art that various changes in form and details may be made therein without departing from the scope of the present invention. Accordingly, the true scope of the present invention should be determined by the technical idea of the appended claims.

도 1는 종래 기술에 따른 전극 형성 과정을 나타내는 개략적인 상태도이다.
도 2는 종래 기술에 따른 전극의 개략적인 상태도이다.
도 3은 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 개략적인 상태도이다.
도 4는 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 레이저 조사 유니트의 상태도이다.
도 5는 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 슬릿부의 개략적인 부분 상태도이다.
도 6은 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 슬릿부의 슬릿부 구동 유니트의 베이스 구동기의 작동 상태를 나타내는 개략적인 상태도이다.
도 7 및 도 8은 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 슬릿부의 슬릿부 구동 유니트의 플레이트 구동부의 작동 상태는 나타내는 개략적인 상태도이다.
도 9 및 도 10은 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 레이저 조사 유니트의 레이저 조사 상태를 나타내는 개략적인 상태도이다.1 is a schematic state diagram showing an electrode forming process according to the prior art.
2 is a schematic state diagram of an electrode according to the prior art.
3 is a schematic state diagram of a solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
4 is a state diagram of a laser irradiation unit of the solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
5 is a schematic partial state diagram of a slit portion of a solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
6 is a schematic state diagram illustrating an operating state of a base driver of a slit unit driving unit of a slit unit of a solar cell wire electrode manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
7 and 8 are schematic state diagrams showing an operating state of the plate driving unit of the slit unit driving unit of the slit unit of the solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
9 and 10 are schematic state diagrams showing a laser irradiation state of the laser irradiation unit of the solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.

이하에서는 태양전지 도선 전극 제조 장치 및 이의 제조 방법에 대하여 도면을 참조하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a solar cell lead electrode manufacturing apparatus and a method of manufacturing the same will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3에는 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 개략적인 상태도가 도시되고, 도 4에는 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 레이저 조사 유니트의 상태도가 도시되고, 도 5에는 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 슬릿부의 개략적인 부분 상태도가 도시되고, 도 6에는 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 슬릿부의 슬릿부 구동 유니트의 베이스 구동기의 작동 상태를 나타내는 개략적인 상태도가 도시되고, 도 7 및 도 8에는 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 슬릿부의 슬릿부 구동 유니트의 플레이트 구동부의 작동 상태는 나타내는 개략적인 상태도가 도시되고, 도 9 및 도 10에는 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치의 레이저 조사 유니트의 레이저 조사 상태를 나타내는 개략적인 상태도가 도시된다.Figure 3 is a schematic state diagram of a solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 4 is a state diagram of a laser irradiation unit of the solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention 5 is a schematic partial state diagram of the slit portion of the solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention, Figure 6 is a slit portion of the solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention A schematic state diagram showing an operating state of the base driver of the slit unit driving unit is shown, and FIGS. 7 and 8 show a plate driving unit of the slit unit driving unit of the slit unit of the solar cell lead electrode manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention. A schematic state diagram showing an operating state is shown, and FIGS. 9 and 10 fabricate a solar cell lead electrode according to an embodiment of the present invention. A schematic state diagram showing the laser irradiation state of the laser irradiation unit of the device is shown.

본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 제조 장치(10)는 기판 스테이지(12)와, 금속 파우더 공급 유니트(20,27)와, 슬릿부(100)와, 도선 열에너지 제공부(90)를 포함하고, 이들에 제어 신호를 인가하기 위한 제어부(50)와, 제어부(50)와 연결되어 사전 설정 데이터를 저장하는 저장부(60)와, 제어부(50)의 연산 제어 신호에 따라 연산 기능을 실행하는 연산부(70)를 포함한다. Solar cell lead electrode manufacturing apparatus 10 according to an embodiment of the present invention is a substrate stage 12, the metal powder supply unit (20, 27), the slit portion 100, the lead wire energy providing unit 90 And a control unit 50 for applying control signals thereto, a storage unit 60 connected to the control unit 50 to store preset data, and a calculation function according to the operation control signal of the control unit 50. It includes an operation unit 70 for executing.

기판 스테이지(12)는 비진공 상온 상에 배치된다. 기판 스테이지(12)는 챔버(11)의 내부에 배치되는데, 챔버(11)는 비진공 상온 상태를 형성한다. 기판 스테이지(12)의 일면 상에는 태양전지 기판(13)이 배치된다. 기판 스테이지(12)는 본 실시예에서 X-Y-Z축으로 가동을 이루는 스테이지로 구성될 수 있는데, 기판 스테이지(12)는 도 1의 노즐(27)과 기판 스테이지(12)를 잇는 선분에 수직한 평면 상의 X-Y 평면 상에서 이동을 이룰 수 있고, 경우에 따라 하기되는 노즐(27)과 이루는 선분을 향한 수직 방향인 Z축으로의 이동을 이룰 수도 있다. 기판 스테이지(12)도 제어부(50)와 연결되어 제어부(50)의 스테이지 제어 신호에 따라 가동될 수 있다. The substrate stage 12 is disposed on a non-vacuum room temperature. The substrate stage 12 is disposed inside the chamber 11, and the chamber 11 forms a non-vacuum room temperature state. The solar cell substrate 13 is disposed on one surface of the substrate stage 12. The substrate stage 12 may be configured as a stage moving in the XYZ axis in this embodiment, the substrate stage 12 is in a plane perpendicular to the line connecting the nozzle 27 and the substrate stage 12 in FIG. The movement may be made on the XY plane, and in some cases, the movement may be made in the Z-axis, which is a vertical direction toward the line segment forming the nozzle 27 described below. The substrate stage 12 may also be connected to the control unit 50 to operate according to the stage control signal of the control unit 50.

금속 파우더 공급 유니트(20,27)는 금속 파우더 공급부(20)와 노즐(27)을 포함한다. 노즐(27)은 기판 스테이지(12)로 금속 파우더를 포함하는 금속 파우더 에어로졸의 금속 파우더 액적(droplet)을 태양전지 기판(13)으로 토출하여 태양전지 기판(13) 상에 도선 전극을 형성하고, 금속 파우더 공급부(20)는 노즐(27)에 금속 파우더 에어로졸을 공급한다. The metal powder supply units 20 and 27 include a metal powder supply unit 20 and a nozzle 27. The nozzle 27 discharges the metal powder droplets of the metal powder aerosol including the metal powder to the substrate stage 12 to the solar cell substrate 13 to form a lead electrode on the solar cell substrate 13, The metal powder supply unit 20 supplies a metal powder aerosol to the nozzle 27.

금속 파우더 공급부(20)를 통하여 전달되는 노즐(27)에 전달되는 금속 파우더 에어로졸은 노즐(27)을 통하여 태양전지 기판(13)을 향하여 토출 분사되는데, 금속 파우더 공급부(20)는 금속 파우더가 제공되는 금속 파우더 피더(미도시)와 금속 파우더를 노즐(27)을 통하여 태양전지 기판(13)으로 토출 분사시키는 금속 파우더 에어로졸을 형성하기 위한 캐리어 가스(carrier gas)로서의 운송 가스를 제공하는 운송 가스부(20a)가 포함될 수 있다. The metal powder aerosol delivered to the nozzle 27 delivered through the metal powder supply unit 20 is ejected and ejected toward the solar cell substrate 13 through the nozzle 27, and the metal powder supply unit 20 is provided with metal powder. A transport gas part for providing a transport gas as a carrier gas for forming a metal powder feeder (not shown) and a metal powder aerosol for ejecting and ejecting the metal powder to the solar cell substrate 13 through the nozzle 27. 20a may be included.

즉, 운송 가스부(20a)에서 공급되는 고압의 운송 가스와 금속 파우더 공급부의 금속 파우더 피더를 통하여 공급되는 금속 파우더는 노즐(27)로 공급되는데, 운송 가스가 노즐에서 분출되는 과정에서 공급된 금속 파우더도 함께 토출되어 금속 파우더 에어로졸의 형태로 분출된다. That is, the high-pressure transport gas supplied from the transport gas unit 20a and the metal powder supplied through the metal powder feeder of the metal powder supply unit are supplied to the nozzle 27, and the metal supplied in the process of ejecting the transport gas from the nozzle The powder is also ejected and ejected in the form of a metal powder aerosol.

운송 가스로는 N2와 같은 불활성 가스로 선택되는 것이 바람직하다. 노즐(27)로 공급되는 운송 가스는 가스 히터(미도시)를 통하여 사전 가열된 고압 가스의 형태로 노즐(27)로 전달되고, 노즐(27)로 공급된 금속 파우더는 고압 가스의 운송 가스(27)가 분출되는 과정에서 혼합되어 수렴/확산 노즐 형상을 구현되는 노즐(27)에서 토출 분사되는 과정에서 금속 파우더 에어로졸을 형성한 후 초음속 유동을 이루어 기판 스테이지(12)에 배치되는 태양전지 기판(13)의 일면 상에 분사된다. The transport gas is preferably selected from an inert gas such as N2. The transport gas supplied to the nozzle 27 is delivered to the nozzle 27 in the form of a preheated high pressure gas through a gas heater (not shown), and the metal powder supplied to the nozzle 27 is a transport gas of the high pressure gas ( A solar cell substrate disposed on the substrate stage 12 by forming a metal powder aerosol in the process of ejecting and ejecting from the nozzle 27 which is mixed in the process of ejection and is ejected and ejected from the nozzle 27 to realize the shape of the convergence / diffusion nozzle. 13) is sprayed on one surface.

금속 파우더 공급부(20)의 전단에는 금속 파우더 제공부(300)가 더 구비될 수도 있는데, 금속 파우더 제공부(300)는 분쇄된 금속 파우더를 제공하는 금속 파우더 제공부(300)를 더 구비할 수 있다. 금속 파우더 제공부(300)는 금속 파우더 분쇄기(310)와 금속 파우더 건조부(330)를 구비한다. 금속 파우더 분쇄기(310)는 볼밀(ball mill) 형태로 구성되면 입력 제공되는 금속 재료를 분쇄하여 사전 설정된 크기, 본 실시예에서는 마이크로 사이즈 이하의 금속 파우더로 분쇄한다. The front end of the metal powder supply unit 20 may be further provided with a metal powder providing unit 300, the metal powder providing unit 300 may further include a metal powder providing unit 300 for providing a pulverized metal powder. have. The metal powder providing unit 300 includes a metal powder grinder 310 and a metal powder drying unit 330. When the metal powder grinder 310 is configured in the form of a ball mill, the input metal material is pulverized and pulverized into a metal powder of a predetermined size, in this embodiment, micro size or less.

금속 파우더 건조부(330)는 금속 파우더 분쇄기(310)에서 분쇄된 금속 파우더를 입력받아 이를 사전 설정된 조건 하에서 건조 과정을 실시한다. 금속 파우더 건조부(33)에서 수분이 제거된 금속 파우더는 금속 파우더 공급부(20)를 거쳐 노즐(27)로 전달되어 노즐(27)에서 초음속 유동의 형태로 토출 분사될 수 있다.The metal powder drying unit 330 receives the metal powder pulverized in the metal powder grinder 310 and performs a drying process under the preset conditions. The metal powder from which the water is removed from the metal powder drying unit 33 may be delivered to the nozzle 27 via the metal powder supply unit 20 and may be ejected and ejected in the form of supersonic flow from the nozzle 27.

또한, 본 발명에 따른 태양전지 도선 전극 형성 장치(10)는 리사이클부(200)를 더 구비할 수도 있다. 리사이클부(200)는 챔버(11)와 연결되어 챔버(11) 내부의 운송 가스를 재순환시켜 챔버(11) 내부에서 부유하는 금속 파우더를 포집하여 재취합시킨다. 포집된 금속 파우더를 작업자가 일정 주기마다 취합하여 금속 파우더 공급부(20) 또는 금속 파우더 제공부(300)로 입력시킬 수도 있으나, 본 실시예에 따른 리사이클부(200)는 리사이클 펌프(210)와 리사이클 필터(220)와 리사이클 피더(230)를 포함한다. In addition, the solar cell lead electrode forming apparatus 10 according to the present invention may further include a recycling unit 200. The recycling unit 200 is connected to the chamber 11 to recycle the transport gas in the chamber 11 to collect and recollect the metal powder floating in the chamber 11. A worker may collect the collected metal powder at regular intervals and input the collected metal powder to the metal powder supply unit 20 or the metal powder supply unit 300, but the recycling unit 200 according to the present embodiment may recycle the recycling pump 210. And a filter 220 and a recycle feeder 230.

제어부(50)는 리사이클부(200)의 리사이클 펌프(210)에 리사이클 펌프 제어 신호를 인가하여 리사이클 펌프(210)를 가동시켜 리사이클 필터(220)를 통하여 재순환 과정에서 금속 파우더가 포집된 경우 리사이클 피더(230)에 리사이클 피딩 제어 신호를 인가형 포지된 금속 파우더를 다시 금속 파우더 제공부(300)로 공급하는 일련의 리사이클링 과정을 실행할 수 있다. The control unit 50 applies a recycle pump control signal to the recycle pump 210 of the recycle unit 200 to operate the recycle pump 210 to collect the metal powder in the recycling process through the recycle filter 220. In operation 230, a series of recycling processes for supplying the applied forged metal powder to the metal powder provider 300 may be performed.

본 발명에 따른 태양전지 도선 전극 형성 장치(10)는 슬릿부(100)를 구비한다. 슬릿부(100)는 노즐(27)과 기판 스테이지(12) 사이에 배치되고 도선 전극의 형성을 위하여 노즐(27)로부터 분사되는 금속 파우더 에어로졸의 관통을 선택적으로 허용한다. The solar cell lead electrode forming apparatus 10 according to the present invention includes a slit part 100. The slit portion 100 is selectively disposed between the nozzle 27 and the substrate stage 12 and selectively allows the penetration of the metal powder aerosol sprayed from the nozzle 27 to form the lead electrode.

슬릿부(100)는 슬릿부 베이스(120)와 슬릿부 플레이트(110)와 슬릿부 구동 유니트(130)를 포함한다. 슬릿부 베이스(120)는 노즐(27)과 기판 스테이지(12) 사이에 가동 가능하게 배치된다. 슬릿부 베이스(120)의 중앙에는 슬릿부 베이스 관통구(121)가 형성되는데, 슬릿부 베이스 관통구(121)를 통하여 노즐(27)로부터 토출 분사된 금속 파우더 에어로졸이 태양전지 기판(13)으로 분사되어 도선 전극을 형성할 수 있다. 슬릿부 베이스 관통구(121)의 외측에는 슬릿부 베이스 가이드(122)가 형성되는데, 슬릿부 베이스 가이드(122)는 복수 개가 구비되고 하기되는 슬릿부 플레이트(110)의 슬릿부 플레이트 지지부(123)의 안정적인 상대 가동을 허용한다. The slit part 100 includes a slit part base 120, a slit part plate 110, and a slit part driving unit 130. The slit base 120 is movably disposed between the nozzle 27 and the substrate stage 12. A slit base through hole 121 is formed in the center of the slit part base 120. The metal powder aerosol discharged from the nozzle 27 through the slit base through hole 121 is transferred to the solar cell substrate 13. May be injected to form a lead electrode. A slit base guide 122 is formed outside the slit base through hole 121, and a plurality of slit base guides 122 is provided, and the slit plate support 123 of the slit plate 110 is provided. Allow stable relative operation.

슬릿부 플레이트(110)는 슬릿부 베이스(120) 상에 가동 가능하게 배치되어 금속 파우더 에어로졸의 관통을 선택적으로 허용하는 슬릿(111)을 형성한다. 본 실시예에서 슬릿부 플레이트(110)는 한 쌍이 이격 배치되는 구조를 취하는데, 슬릿부 플레이트(110)의 하면에는 슬릿부 플레이트 지지부(123)가 배치된다. 슬릿부 플레이트 지지부(123)는 슬릿부 플레이트(110)와 일체로 형성될 수도 있는데, 슬릿부 플레이트 지지부(123)는 슬릿부 베이스(120)의 슬릿부 베이스 가이드(122)를 따라 안정적으로 상대 가동을 이룰 수 있다. 한 쌍의 슬릿부 플레이트(110)가 슬릿부 베이스(120)에 대하여 상대 가동을 이룸으로써 사이의 간극인 슬릿(111)의 크기를 안정적으로 조정할 수 있다. The slit plate 110 is movably disposed on the slit base 120 to form a slit 111 that selectively allows penetration of the metal powder aerosol. In the present embodiment, the slit plate 110 has a structure in which a pair is spaced apart from each other, and a slit plate support 123 is disposed on the bottom surface of the slit plate 110. The slit plate support 123 may be integrally formed with the slit plate 110, and the slit plate support 123 is relatively movable along the slit base guide 122 of the slit base 120. Can be achieved. As the pair of slit plate 110 makes relative movement with respect to the slit base 120, the size of the slit 111, which is a gap between them, can be stably adjusted.

슬릿부 구동 유니트(130)는 슬릿부 플레이트(110)의 배치 위치를 조정하는데, 슬릿부 구동 유니트(130)는 플레이트 구동부(133,141,143)와 베이스 구동기(131)를 포함한다. 플레이트 구동부(133,141,143)는 플레이트 탄성 지지부(143)와 플레이트 구동기(133)와 플레이트 구동 와이어(141)를 포함한다. 플레이트 탄성 지지부(143)는 슬릿부 플레이트(110) 사이에 배치되어 각각의 슬릿부 플레이트(110)에 대하여 초기 탄성력을 제공한다. 플레이트 구동기(133)는 슬릿부 베이스(120) 상에 배치되어 슬릿부 플레이트(110)의 가동력을 제공한다. 플레이트 구동 와이어(141)는 플레이트 구동기(133)로부터 생성된 가동력을 슬릿부 플레이트 지지부(123)에 전달하여 슬릿부 플레이트(110)의 슬릿(11)을 조정한다. 도 7 및 도 8에는 플레이트 구동 와이어의 풀림 상태와 감기 상태에서 각각 s1, s2로 지시되는 간극의 슬릿(111)이 형성된 위치를 나타내는 상태도가 도시된다. The slit part driving unit 130 adjusts the arrangement position of the slit part plate 110, and the slit part driving unit 130 includes plate drivers 133, 141, and 143 and a base driver 131. The plate drivers 133, 141, and 143 include a plate elastic support 143, a plate driver 133, and a plate driving wire 141. The plate elastic support 143 is disposed between the slit plate 110 to provide an initial elastic force for each slit plate 110. The plate driver 133 is disposed on the slit base 120 to provide the movable force of the slit plate 110. The plate driving wire 141 transmits the movable force generated from the plate driver 133 to the slit plate support 123 to adjust the slit 11 of the slit plate 110. 7 and 8 show state diagrams showing positions where the slits 111 of the gaps indicated by s1 and s2 are formed in the loose state and the winding state of the plate driving wire, respectively.

제어부(50)는 작업자에 의하여 입력부(미도시)를 통하여 입력되는 플레이트 구동 제어 신호를 또는 사전 설정된 작동 모드에 따른 플레이트 구동 제어 신호를 플레이트 구동기(133)로 인가한다. 플레이트 구동기(133)가 가동하는 경우 플레이트 구동 샤프트(134)가 회동을 이루고, 플레이트 구동 샤프트(134)의 회동에 의하여 플레이트 구동 샤프트(134)와 연결되는 플레이트 구동 와이어(141)가 풀림 또는 감김 운동을 이룬다. 플레이트 구동 와이어(141)는 슬릿부 플레이트 지지부(123)의 외주를 거쳐 폐루프를 이루는데, 플레이트 구동 와이어(141)의 풀림 또는 감김 상태는 한 쌍의 슬릿부 플레이트(110)의 사이에 배치되는 플레이트 탄성 지지부(143)에 의한 초기 탄성력보다 큰 힘이 인가되는지 또는 작은 힘이 인가되는지 여부에 따라 슬릿부 플레이트(110) 사이의 슬릿(111)의 크기가 조정된다. 도 5에는 노즐(27)을 통하여 분사 토출되는 금속 파우더 에어로졸의 분사 영역(Ad)이 표시되는데, 이는 슬릿(111) 및 슬릿부 베이스 관통구(121)를 관통하여 태양전지 기판의 일면 상에 분사 형성된다. The controller 50 applies a plate driving control signal input by an operator through an input unit (not shown) or a plate driving control signal according to a preset operation mode to the plate driver 133. When the plate driver 133 moves, the plate drive shaft 134 rotates, and the plate drive wire 141 connected to the plate drive shaft 134 by the rotation of the plate drive shaft 134 unwinds or winds up. To achieve. The plate driving wire 141 forms a closed loop through the outer circumference of the slit plate support 123, and the unwinding or winding state of the plate driving wire 141 is disposed between the pair of slit plate 110. The size of the slit 111 between the slit part plate 110 is adjusted according to whether a force greater or smaller than the initial elastic force by the plate elastic support 143 is applied. In FIG. 5, the injection area Ad of the metal powder aerosol jetted and discharged through the nozzle 27 is shown, which is penetrated through the slit 111 and the slit base through-hole 121 and sprayed on one surface of the solar cell substrate. Is formed.

또한, 제어부(50)는 베이스 구동기(131)에도 구동 제어 신호를 인가하여 슬릿부 플레이트에 의하여 형성되는 슬릿(111)의 배치 위치를 변동시킬 수 있다. 즉, 슬릿부 베이스(120)의 외측에 베이스 구동기(131)가 배치되는데, 슬릿부 베이스(120)의 외주는 치차 형성되어 베이스 구동기(131)와 맞물린다. 도 5 내지 도 7에서 베이스 구동기(131)는 슬릿부 베이스(120)와 치합되는 치차만이 도시되나 이는 베이스 구동기(131)의 일부 구성요소로서 베이스 구동기(131)는 제어부(50)의 구동 제어 신호에 따라 가동되는 전기 모터로서 샤프트에 슬릿부 베이스(120)와 외접하는 치차가 배치되는 구조를 취한다. In addition, the controller 50 may apply a driving control signal to the base driver 131 to change the arrangement position of the slit 111 formed by the slit plate. That is, the base driver 131 is disposed outside the slit part base 120, and the outer circumference of the slit part base 120 is geared to be engaged with the base driver 131. In FIGS. 5 to 7, only the gear in which the base driver 131 is engaged with the slit base 120 is illustrated, which is a component of the base driver 131, and the base driver 131 controls driving of the controller 50. An electric motor that operates according to a signal has a structure in which a gear that is external to the slit portion base 120 is disposed on the shaft.

따라서, 제어부(50)의 구동 제어 신호에 따라 가동되고 이와 치합되는 슬릿부 베이스(120)는 시계 방향 또는 반시계 방향 회동을 이룬다. 이때, 도 6에 도시된 바와 같이 슬릿부 베이스(120)의 일면 상에 배치되는 슬릿부 플레이트(110)도 함께 회동하여 한 쌍의 슬릿부 플레이트(110)의 사이에 형성되는 슬릿(111)의 배치 위치도 시계 방향 또는 반시계 방향으로 회동 위치 조정될 수 있다. Accordingly, the slit base 120 which is operated according to the driving control signal of the controller 50 and is engaged with the slit part 120 forms a clockwise or counterclockwise rotation. In this case, as shown in FIG. 6, the slit plate 110 disposed on one surface of the slit portion base 120 also rotates to form the slit 111 formed between the pair of slit plate 110. The arrangement position can also be adjusted to the rotational position clockwise or counterclockwise.

또 한편, 본 발명의 일실시예에 따른 태양전지 도선 전극 형성 장치(10)는 도선 열에너지 제공부(90)를 구비할 수 있다. 도선 열에너지 제공부(90)는 태양전지 기판(13) 상에 형성되는 도선 전극에 국부적 열에어지를 공급하는데, 본 실시예에 따른 도선 열에너지 제공부는 레이저 조사 유니트(90)를 구비한다. 레이저 조사 유니트(90)는 짧은 시간 내 특정 영역에 고온의 열에너지를 제공할 수 있어 정확하고 신속한 제조 과정을 이루도록 할 수 있다. On the other hand, the solar cell lead electrode forming apparatus 10 according to an embodiment of the present invention may be provided with a lead heat energy providing unit 90. The conductive wire thermal energy supply unit 90 supplies a local thermal air to the conductive wire electrode formed on the solar cell substrate 13. The conductive thermal energy supply unit according to the present embodiment includes a laser irradiation unit 90. The laser irradiation unit 90 may provide high temperature thermal energy to a specific region within a short time, thereby achieving an accurate and rapid manufacturing process.

도 4에는 본 발명의 레이저 조사 유니트(90)의 개략적인 상태도가 도시되는데, 레이저 조사 유니트(90)는 태양전지 기판(13)에 대하여 사전 설정된 각도 범위 내의 경사각을 이루도록 배치되어 태양전지 기판(13) 상의 형성된 도선 전극(14, 도 4 참조)으로 국부적 열에너지를 조사한다. 즉, 도 7에 도시된 바와 같이, 노즐(27)로부터 분사되는 금속 파우더 에어로졸의 토출 분사 경로 및 슬릿부와의 간섭을 방지하기 위하여 레이저 조사 유니트(90)는 노즐(27)과 기판 스테이지(12)가 이루는 수직 선분에 대하여 일정한 경사(α)를 이루며 배치되는데, 레이저 조사 유니트(90)로부터 조사되는 레이저 광선이 태양전지 기판(13)에 대하여 이루는 조사각(β)은 태양전지 기판(13) 상에 형성되는 도선 전극(14)의 형성 방향(C 방향)에 대하여 예각을 구비한다. 이와 같은 조사각(β) 관계를 통하여 태양전지 기판(13)의 일면 상에 형성되는 도선 전극(14)의 구조를 보다 치밀하게 형성하여 안정적인 도선 전극(14) 형성을 완료할 수 있다. 즉, 도 9 및 도 10에 도시된 바와 같이, 레이저가 조사되는 영역(As)에 있어 지점 P1과 지점 P2에서의 온도를 각각 Tp1,Tp2라 할 때 Tp1>Tp2의 관계가 형성된다. 즉, 레이저는 지점 P1으로부터 조사되어 태양전지 기판(13)이 방향 C로 이송되는 과정에서 중첩된 조사를 이루게 되고 지점 P2에서 레이저 조사가 종료되는데, 감소되는 온도 관계를 형성하여 국부적 열에너지가 공급되는 영역의 온도를 점차적으로 낮추도록 함으로써 열에너지로 인한 국부적 손상을 방지할 수 있다.
4 shows a schematic state diagram of the laser irradiation unit 90 of the present invention, wherein the laser irradiation unit 90 is arranged to achieve an inclination angle within a preset angle range with respect to the solar cell substrate 13. The local thermal energy is irradiated with the formed conductive wire electrode 14 (see FIG. 4) on That is, as shown in FIG. 7, the laser irradiation unit 90 includes the nozzle 27 and the substrate stage 12 to prevent interference with the discharge injection path and the slit portion of the metal powder aerosol sprayed from the nozzle 27. Is arranged to form a constant inclination (α) with respect to the vertical line formed by (), the irradiation angle (β) formed by the laser beam irradiated from the laser irradiation unit 90 with respect to the solar cell substrate 13 is the solar cell substrate 13 An acute angle is provided with respect to the formation direction (C direction) of the conducting-wire electrode 14 formed on. Through the irradiation angle β relationship, the structure of the lead electrode 14 formed on one surface of the solar cell substrate 13 may be more closely formed to complete the formation of the stable lead electrode 14. That is, as shown in Figs. 9 and 10, in the region As to which the laser is irradiated, a relationship of Tp1 > Tp2 is formed when the temperatures at points P1 and P2 are Tp1 and Tp2, respectively. That is, the laser is irradiated from the point P1, and the overlapped irradiation is made in the process of transferring the solar cell substrate 13 in the direction C, and the laser irradiation is terminated at the point P2, which forms a decreasing temperature relationship so that local thermal energy is supplied. By gradually lowering the temperature of the zone, local damage due to thermal energy can be prevented.

상기 실시예들은 본 발명을 설명하기 위한 일예들로, 본 발명이 이에 국한되는 것은 아니다. 태양전지의 저온 스프레이 공정 방식으로 도선 전극을 형성하는 태양전지 도선 전극 제조 장치를 제공하는 범위에서 다양한 변형이 가능하다.The above embodiments are examples for describing the present invention, but the present invention is not limited thereto. Various modifications are possible in the range of providing a solar cell lead electrode manufacturing apparatus for forming a lead electrode by a low temperature spray process method of a solar cell.

10...태양전지 도선 전극 제조 장치 11...챔버
12...기판 스테이지 13...태양전지 기판
20...금속 파우더 공급 유니트 50...제어부
60...저장부 70...연산부 10 Solar cell lead electrode manufacturing apparatus 11 Chamber
12 ... substrate stage 13 ... solar substrate
20 ... metal powder supply unit 50 ... control unit
60. Storage 70 ...

Claims (8)

챔버 내 장착되어 태양전지 기판이 배치되는 기판 스테이지; 상기 태양전지 기판 상에 도선 전극을 형성하기 위하여 상기 기판 스테이지로 금속 파우더를 포함하는 금속 파우더 에어로졸를 토출하는 노즐과, 상기 노즐에 상기 금속 파우더 에어로졸를 공급하는 금속 파우더 공급부를 구비하는 금속 파우더 공급 유니트; 상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 배치되고 상기 도선 전극의 형성을 위하여 상기 노즐로부터 분사된 상기 금속 파우더 에어로졸의 관통을 선택적으로 허용하는 슬릿부; 상기 태양전지 기판 상에 형성되는 상기 도선 전극에 국부적 열에너지를 공급하는 도선 열에너지 제공부;를 구비하고,
상기 슬릿부는:
상기 노즐과 상기 기판 스테이지 사이에 가동 가능하게 배치되는 슬릿부 베이스와,
상기 슬릿부 베이스 상에 가동 가능하게 배치되어 상기 금속 파우더 에어로졸의 관통을 선택적으로 허용하는 슬릿을 형성하는 슬릿부 플레이트와,
상기 슬릿부 플레이트의 배치 위치를 조정하기 위한 슬릿부 구동 유니트를 포함하는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치.A substrate stage mounted in the chamber and having a solar cell substrate disposed thereon; A metal powder supply unit including a nozzle for discharging a metal powder aerosol containing metal powder to the substrate stage to form a lead electrode on the solar cell substrate, and a metal powder supply unit supplying the metal powder aerosol to the nozzle; A slit portion disposed between the nozzle and the substrate stage and selectively allowing penetration of the metal powder aerosol injected from the nozzle to form the lead electrode; And a lead heat energy providing part supplying local heat energy to the lead electrode formed on the solar cell substrate.
The slit portion:
A slit portion base movably disposed between the nozzle and the substrate stage;
A slit portion plate movably disposed on the slit portion base to form a slit to selectively allow penetration of the metal powder aerosol;
And a slit part driving unit for adjusting the arrangement position of the slit part plate. 제 1항에 있어서,
상기 도선 열에너지 제공부는 레이저 조사 유니트인 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치.The method of claim 1,
The lead wire energy providing unit is a solar cell lead electrode manufacturing apparatus, characterized in that the laser irradiation unit. 제 2항에 있어서,
상기 레이저 조사 유니트의 레이저 조사각은 상기 태양전지 기판 상에 형성되는 도선 전극의 형성 방향에 대하여 예각을 구비하는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치.The method of claim 2,
The laser irradiation angle of the laser irradiation unit is a solar cell lead electrode manufacturing apparatus characterized by having an acute angle with respect to the direction of formation of the lead electrode formed on the solar cell substrate. 삭제delete 제 1항에 있어서,
상기 슬릿부 플레이트는 상기 슬릿부 베이스에 가동 가능하게 배치되는 슬릿부 플레이트 지지부를 구비하고, 서로 이격 배치되는 한 쌍의 플레이트로 형성되는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치.The method of claim 1,
The slit plate has a slit plate support that is movably disposed in the slit portion base, the solar cell lead electrode manufacturing apparatus, characterized in that formed as a pair of plates spaced apart from each other. 제 5항에 있어서,
상기 슬릿부 구동 유니트는, 상기 슬릿부 플레이트를 가동시키는 플레이트 구동부를 구비하고,
상기 플레이트 구동부는:
상기 슬릿부 플레이트 사이에 배치되어 초기 탄성력을 제공하는 플레이트 탄성 지지부와,
상기 슬릿부 베이스 상에 배치되고 상기 슬릿부 플레이트의 가동력을 제공하는 플레이트 구동기와,
상기 플레이트 구동기로부터 생성된 가동력을 상기 슬릿부 플레이트 지지부에 전달하여 상기 슬릿부 플레이트의 슬릿을 조정하는 플레이트 구동 와이어를 구비하는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치.6. The method of claim 5,
The slit portion driving unit includes a plate driving portion for moving the slit portion plate,
The plate driving unit:
A plate elastic support disposed between the slit plate and providing an initial elastic force;
A plate driver disposed on the slit base and providing a movable force of the slit plate;
And a plate driving wire for transmitting the movable force generated from the plate driver to the slit plate support to adjust the slit of the slit plate. 제 1항에 있어서,
상기 슬릿부 구동 유니트는, 상기 슬릿부 베이스의 외주와 치합되는 베이스 구동기를 구비하는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치.The method of claim 1,
The slit part driving unit includes a base driver engaged with an outer circumference of the slit part base. 제 1항에 있어서,
상기 챔버와 연결되어 상기 도선 전극을 형성한 금속 파우더 이외의 금속 파우더를 재취합시키는 리사이클부를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 태양전지 도선 전극 제조 장치.



The method of claim 1,
And a recycling unit connected to the chamber to reassemble metal powders other than the metal powders forming the lead electrodes.



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