KR101212508B1 - 기판 웨팅성 테스트 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 웨팅성 테스트 장치에 관한 것으로, 특히 가장 좋은 웨팅(wetting, 습윤) 방법을 찾기 위하여, 상기 기판을 침지하거나, 상기 기판에 대하여 액을 분사 또는 흘러주는 방법을 모두 테스트할 수 있고, 테스트 조건을 다변화하기 위하여 상기 기판을 다양한 각도로 경사지게 배치할 수 있도록 함으로써, 기판에 대한 최적의 웨팅 방법 및 기판의 위치를 결정할 수 있는 것을 가능하게 하는 기판 웨팅성 테스트 장치에 관한 것이다.
본 발명인 기판 웨팅성 테스트 장치를 이루는 구성수단은, 기판을 지지하되, 상기 유리 기판을 상하 수직 이동 또는 수평 이동시키는 기판 수평 및 수직 이동수단, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단을 상하 수직 이동 또는 회전 이동시키는 기판 회전 이동수단, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 하측에 배치되는 수조, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 상측에 배치되는 액 분사 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.

Description

기판 웨팅성 테스트 장치{apparatus for testing wetting characteristic of the glass}
본 발명은 기판 웨팅성 테스트 장치에 관한 것으로, 특히 가장 좋은 웨팅(wetting, 습윤) 방법을 찾기 위하여, 상기 기판을 침지하거나, 상기 기판에 대하여 액을 분사 또는 흘러주는 방법을 모두 테스트할 수 있고, 테스트 조건을 다변화하기 위하여 상기 기판을 다양한 각도로 경사지게 배치할 수 있도록 함으로써, 기판에 대한 최적의 웨팅 방법 및 기판의 위치를 결정할 수 있는 것을 가능하게 하는 기판 웨팅성 테스트 장치에 관한 것이다.
최근 과학뉴스에서 중요하게 다루어지는 주제는 휴대폰을 포함한 모바일 디스플레이 분야이다. 평소 사이언스올의 오늘의 과학뉴스나 미국 과학잡지인 American Scientist에서 매일 제공하는 E-Newletter에서도 꿈의 디스플레이란 표현으로 삼성 갤럭시나 애플의 아이폰과 같은 새로운 모바일 기기에서 사용되는 디스플레이를 특집으로 다루기도 하였다.
디스플레이 분야는 최근에 매우 비약적인 발전을 이루고 있으며 특히 기존의 LCD(Liquid Crystal Display, 액정디스플레이) 방식이 독점하고 있던 디스플레이 분야에 1~2년 전부터 AM-OLED(Active Matrix Organic Light Emitted Diode, 능동형 유기발광다이오드) 방식의 제품이 쏟아져 나오기 시작하였다. AM-OLED는 LCD에 비해 뛰어난 색재현성, 넓은 광시야각, 저소비전력, 높은 화질, 빠른 응답속도 등의 특성으로 휴대폰, 내비게이션, 게임기 등의 중소형 모바일 제품에서부터 노트북, TV 등의 대형 디스플레이 제품에 많이 적용되고 있다.
AM-OLED의 Panel은 공장에서 제조할 때 그 크기에 따라 구분을 하는데 현재는 4세대 (730*920mm) 사이즈가 주로 생산되고 있으나 한 장의 Panel에서 집적화할 수 있는 셀의 개수가 많으면 많을수록 생산원가가 떨어지므로 점점 Panel의 사이즈가 커져가고 있는 추세에 있으며, 2011년 5월부터 5.5세대(1,300*1,500mm) 사이즈의 Panel이 생산될 계획이다.
Panel은 0.5mm 두께의 유리 두 장으로 이루어져 있으며 두 장의 유리사이에 TFT(Thin Film Transistor)와 그 위에 전자와 정공(전자가 빠져나간 상태)을 이용하여 디스플레이할 수 있는 유기막층이 형성되어 있다. TFT와 유기막층은 아주 많은 공정을 통해 만들어지는데 그 중 생산공정에서 생기는 자연적으로 발생하는 SiO2를 제거하지 않으면 수많은 공정을 통해 만들어지는 Panel의 휘도가 떨어지는 치명적인 단점을 안고 있다.
이러한 SiO2를 제거하기 위해서는 아주 낮은 농도의 산성 용액인 불산(HF)을 이용하는데 실제로는 SiO2 자체가 소수성의 성질을 갖고 있어 넓은 면적의 SiO2층 위에 불산이 닿으면 SiO2층 위에 골고루 불산이 반응하지 않고 부분적으로만 반응하므로 SiO2가 부분적으로만 제거되어 휘도가 현저히 떨어질 수밖에 없다. 따라서 상기 소수성인 SiO2를 친수성으로 변화시켜 Wetting(습윤)을 개선할 수 있는 방법을 찾을 필요성이 있다.
그러나, 상기와 같이 소수성인 SiO2를 친수성으로 변화시켜 Wetting(습윤)을 개선할 수 있는 방법을 찾기 위한 테스트 장치가 아직 소개되지 못하고 있는 단점을 안고 있다.
본 발명은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 창안된 것으로, 가장 좋은 웨팅(wetting, 습윤) 방법을 찾기 위하여, 상기 기판을 침지하거나, 상기 기판에 대하여 액을 분사 또는 흘러주는 방법을 모두 테스트할 수 있고, 테스트 조건을 다변화하기 위하여 상기 기판을 다양한 각도로 경사지게 배치할 수 있도록 함으로써, 기판에 대한 최적의 웨팅 방법 및 기판의 위치를 결정할 수 있는 것을 가능하게 하는 기판 웨팅성 테스트 장치를 제공하는 것을 그 목적으로 한다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여 제안된 본 발명인 기판 웨팅성 테스트 장치를 이루는 구성수단은, 기판을 지지하되, 상기 유리 기판을 상하 수직 이동 또는 수평 이동시키는 기판 수평 및 수직 이동수단, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단을 상하 수직 이동 또는 회전 이동시키는 기판 회전 이동수단, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 하측에 배치되는 수조, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 상측에 배치되는 액 분사 수단을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단은, 수평으로 배치되는 수평 레일, 상기 수평 레일을 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 수평 이동체, 상기 수평 이동체 각각에 대하여 수직 이동 가능하게 결합되는 한 쌍의 수직바, 상기 수직바 각각에 양단이 회전 가능하게 결합되고, 상기 기판을 지지하는 지지 프레임을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 회전 이동수단은, 상기 수평 레일의 양 끝단에 각각 결합되어, 상기 수평 레일을 수직 이동 또는 회전 이동시키는 한 쌍의 수직 이동체 및 상기 한 쌍의 수직 이동체가 상하 슬라이딩되도록 수직 방향으로 배치되는 수직 레일을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 액 분사수단은 상기 수평 레일의 길이 방향으로 이동되도록 배치되고, 액을 분사시키는 노즐 모듈과 액을 흘러내리도록 하는 블레이드 모듈로 구성되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 노즐 모듈은 상기 기판 수직 및 수평 이동수단의 정면측 또는 후면측에 더 배치되어, 상기 기판에 대하여 측방향으로 액을 분사시키는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 기판은 상기 수직 이동체의 하강을 통하여 또는 상기 수직 이동체 하강 및 상기 수직바 하강을 통하여 또는 상기 수직바의 하강을 통하여 상기 수조에 수평 또는 경사진 상태로 침지되는 것을 특징으로 한다.
여기서, 상기 기판이 상기 수평 레일의 회전에 따라 상기 액 분사수단에 대향된 후, 상기 노즐 모듈에 의하여 상기 기판에 대하여 액이 분사되거나 또는 블레이드 모듈에 의하여 상기 기판에 액이 흘러내리도록 하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같은 과제 및 해결 수단을 가지는 본 발명인 기판 웨팅성 테스트 장치에 의하면, 본 발명은 기판 웨팅성 테스트 장치에 관한 것으로, 특히 가장 좋은 웨팅(wetting, 습윤) 방법을 찾기 위하여, 상기 기판을 침지하거나, 상기 기판에 대하여 액을 분사 또는 흘러주는 방법을 모두 테스트할 수 있고, 테스트 조건을 다변화하기 위하여 상기 기판을 다양한 각도로 경사지게 배치할 수 있기 때문에, 기판에 대한 최적의 웨팅 방법 및 기판의 위치를 결정할 수 있는 장점이 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 웨팅성 테스트 장치의 정면도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 웨팅성 테스트 장치의 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 지지 프레임의 상세도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판의 침지 상태를 보여주는 사시도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 블레이드 모듈에 의한 액 흘러줌 상태를 보여주는 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시에에 따른 노즐 모듈에 의한 액 분사 상태를 보여주는 사시도이다.
도 7은 본 발명의 실시예에 따른 측면 노즐 모듈에 의한 액 분사 상태를 보여주는 사시도이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 상기와 같은 과제, 해결 수단 및 효과를 가지는 본 발명인 기판 웨팅성 테스트 장치에 관한 바람직한 실시예를 상세하게 설명한다.
이하에서 사용된 용어나 단어는 통상적이거나 사전적인 의미로 한정해서 해석되어서는 아니되며, 발명자는 그 자신의 발명을 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합하는 의미와 개념으로 해석되어야할 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 웨팅성 테스트 장치의 정면도이고, 도 2는 본 발명의 실시예에 따른 기판 웨팅성 테스트 장치의 사시도이다.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 실시예에 따른 기판 웨팅성 테스트 장치는 기판을 지지함과 동시에 기판의 위치를 수직 방향 및 수평 방향으로 이동시키는 수평 및 수직 이동수단(10)과 상기 수평 및 수직 이동수단(10)을 회전 또는 수직 방향으로 이동시키는 회전 이동수단(20)과 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)의 하측에 배치되는 수조(30)와 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)의 상측에 배치되는 액 분사 수단(40, 50)을 포함하여 구성된다.
상기 기판 수평 및 수직 이동 수단(10)은 기판을 지지하면서, 상기 기판을 필요에 따라 수직 방향으로 이동시키거나 또는 수평 방향으로 이동시키는 동작을 수행한다.
즉, 상기 기판 수평 및 수직 이동 수단(10)은 상기 기판을 상기 수조(30) 안으로 침지시키기 위하여 상기 기판을 하강시키거나, 침지된 후 기판을 수조(30)에서 꺼내기 위하여 상기 기판을 상승시키는 동작을 수행한다. 또한, 상술한 액 분사 수단(40, 50)이 고정된 상태로 액을 분사 또는 흘러내릴 경우, 기판의 전면에 대하여 상기 액이 묻을 수 있도록, 상기 기판을 수평 방향으로 이동시키는 동작을 수행할 수 있다.
상기 기판 수평 및 수직 이동 수단(10)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 수평으로 배치되는 수평 레일(11), 상기 수평 레일(11)을 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 수평 이동체(15), 상기 수평 이동체(15) 각각에 대하여 수직 이동 가능하게 결합되는 한 쌍의 수직바(13), 상기 수직바(13)의 양단에 회전 가능하게 결합되고, 상기 기판을 지지하는 지지 프레임(17)을 포함하여 구성된다.
상기 수평 레일(11)은 후술할 회전 이동수단(20)의 수직 이동체(23)에 양 끝단이 결합되어 있다. 그리고, 상기 수평 레일(11)은 상기 기판을 수평 방향으로 이동될 수 있도록 상기 수평 이동체(15)가 슬라이딩되는 구조로 형성되어 있다. 즉, 상기 수평 이동체(15)가 상기 수평 레일(11)을 따라 슬라이딩됨에 따라 상기 기판은 수평 방향으로 이동될 수 있다.
상기 수평 이동체(15)는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 서로 이격된 상태로 상기 수평 레일(11)에 결합되는 한 쌍의 수평 이동체(15)로 구성된다. 상기 수평 이동체(15)는 상기 수평 레일(11)에 슬라이딩될 수 있는 구조를 가짐과 동시에 수평 이동을 위한 구동수단(미도시)을 포함하고 있다. 즉, 상기 수평 이동체(15)는 모터, 기어 및 가이드 등의 기구적 구성요소들을 포함하여 상기 수평 레일(11)에 결합된 상태로 슬라이딩될 수 있도록 구성된다.
한편, 상기 수평 이동체(15)는 상기 수평 이동을 위한 기구적 구성요소들 이외에, 상기 수직바(13)를 수직 이동시키기 위한 기구적 구성요소들을 포함하고 있다. 즉, 상기 수평 이동체(15)는 상기 수직바(13)와 결합됨과 동시에, 상기 수직바(13)를 상하 방향으로 이동시킬 수 있도록, 모터, 기어 및 가이드 등의 구성요소들을 더 포함하고 있다.
상기 수평 이동체(15)는 상술한 바와 같이, 한 쌍으로 구성되고, 상기 수직바(13)는 상기 한 쌍의 수평 이동체(15)에 각각 결합되어 한 쌍으로 구성된다. 즉, 상기 수직바(13)는 상기 수평 이동체(15) 각각에 대하여 수직 이동 가능하게 결합된다.
아울러, 상기 한 쌍의 수직바(13)는 서로 개별적으로 해당 수평 이동체(15)에 의하여 상하 이동된다. 따라서, 후술하겠지만, 상기 수직바(13)에 양단이 결합되어 있는 상기 지지 프레임(17)은 경사진 상태를 유지할 수 있다. 결국, 상기 지지 프레임(17)에 의하여 지지되는 상기 기판은 경사진 상태로 유지될 수 있다.
상기 지지 프레임(17)은 상기 수직바 각각에 양단이 회전 가능하게 결합되고, 상기 기판을 지지한다. 상기 지지 프레임(17)은 상기 기판을 경사진 상태로 유지할 수 있는 동작을 수행하기 때문에, 상기 수직바(13)와 회동 가능하게 결합된다. 즉, 상기 수직바(13)는 상기 지지 프레임(17)에 회동 가능하게 결합된다. 상기 회동 가능하게 결합되는 구조는 다양한 방법으로 달성될 수 있다. 예를 들어, 피봇과 힌지 결합 등을 통하여 상기 수직바(13)와 상기 지지 프레임(17)은 회동 가능하게 결합될 수 있다.
상기 지지 프레임(17)은 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 기판을 수용할 수 있는 구조임과 동시에 상기 기판이 외부에 노출될 수 있도록 중앙 부분이 모두 개방되어 있고, 테두리 부분과 프레임으로 형성된 구조를 가진다. 상기 지지 프레임(17)에 상기 기판을 수용시키기 위하여, 상기 지지 프레임(17)의 한쪽 측면은 개방되어 있어야 한다.
한편, 상기 지지 프레임(17)의 구조는 상기 기판을 지지할 수 있고 상기 수직바(13)에 회동 가능하게 결합될 수 있다면 다양하게 변경될 수 있다. 즉, 복수개의 클램프를 가지는 구조로 형성하여, 상기 기판을 복수개의 클램프로 고정시킬 수 있다.
상술한 기판 수평 및 수직 이동수단(10)은 상기 기판을 수직 방향 또는 수평 방향으로 이동시킨다. 이와 별개로, 상기 기판은 회전이 가능해야 하고, 상기 수조(30) 안으로 충분히 침지될 수 있어야 한다. 따라서, 회전 이동 수단(20)을 본 발명의 구성요소로 채택하였다.
상기 기판 회전 이동 수단(20)은 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)을 상하 수직 이동 또는 회전 운동시키는 동작을 수행한다. 상기 기판 회전 이동 수단(20)이 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)을 하강시키면, 상기 기판을 상기 수조(30)에 충분히 침지시킬 수 있고, 상기 기판 회전 이동 수단(20)이 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)을 회전시키면, 상기 기판에 대하여 상측에서 웨팅 액을 분사 또는 흘러줄 수 있으며, 경사진 상태의 기판에 대하여 액을 분사시킬 수 있다.
상기 기판 회전 이동수단(20)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 수직 레일(21)과 수직 이동체(23)로 구성된다. 상기 수직 이동체(23)는 상기 수평 레일(11)의 양 끝단에 각각 결합되어, 상기 수평 레일(11)을 수직 이동 또는 회전 이동시킨다.
따라서, 상기 수직 이동체(23)는 상기 수평 레일(11)을 회전시키기 위한 기구적 구성을 포함하고 있다. 또한, 상기 수평 레일(11)을 수직 이동시키기 위한 기구적 구성도 동시에 포함하고 있다. 상기 수직 이동체(23)가 상기 수평 레일(11)을 회전시키면, 상기 수직바(13)가 회전되고, 결과적으로 지지 프레임(17)에 지지되고 있는 기판이 회전된다.
이와 같이, 상기 수직 이동체(23)가 상기 수평 레일(11)을 회전시킴에 따라, 상기 기판은 다양한 각도로 경사진 상태를 유지할 수 있고, 상기 액 분사수단(40, 50)에 분사 또는 흘러내리는 액을 받을 수 있다.
상기 수직 이동체(23)는 상기 수직 레일(21)을 통해 수직 방향으로 이동된다. 결과적으로, 상기 수직 이동체(23)에 결합되어 있는 상기 수평 레일(11)이 수직 방향으로 이동될 수 있다. 따라서, 상기 기판은 상기 수조(30)에 침지될 수 있다.
상기 수조(30)는 상기 기판의 웨팅성을 테스트하기 위한 방법 중, 디핑(dipping)법을 테스트하기 위하여 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)의 하측에 배치된다. 상기 수조(30) 내부에는 웨팅성을 테스트하기 위한 액이 채워져 있다.
한편, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 상측에는 상기 액 분사수단(40, 50)이 배치된다. 상기 액 분사수단(40)은 수평 방향으로 이동 가능하게 배치된다. 구체적으로, 상기 액 분사수단(40)은 상기 수평 레일(11)의 길이 방향으로 이동되도록 배치된다.
상기와 같이, 상기 액 분사수단(40)이 상기 수평 레일(11)의 길이 방향으로 이동가능하게 배치되는 이유는, 상기 액 분사수단(40) 하측에 대향되도록 위치하는 기판이 고정되어 있는 상태에서 상기 기판의 전면에 대하여 액을 분사 또는 흘러내릴 수 하기 위함이다.
상기 액 분사수단(40)은 다양한 방법으로 액을 분사시킬 수 있는 모듈을 포함한다. 본 발명에서는 액을 하방향으로 분사시키는 노즐 모듈(50)과 액을 하방향으로 흘러내리도록 하는 블레이드 모듈(40)을 포함하여 구성한다.
상기 블레이드 모듈(40)은 도 2에 도시된 바와 같이, 액을 수용할 수 있는 긴 통 형상을 가지고, 하측에 액을 미세하게 흐르게 하는 유출구가 블레이드 모듈의 길이 방향으로 길게 형성되어 있다. 따라서, 상기 블레이드 모듈(40)은 액을 소정 각도로 분사시키는 것이 아니라, 기판 상에 액을 흘러 내리도록 하는 구성요소이다.
또한 상기 노즐 모듈(50)은 도 2에 도시된 바와 같이, 액을 수용할 수 있는 통 형상을 가지고, 하측에 액을 소정 압력 및 각도로 분사시킬 수 있는 노즐구가 형성되어 있다. 따라서, 상기 노즐 모듈(50)은 기판을 향하여 소정 압력으로 액을 분사시키는 기능을 한다.
상기와 같은 블레이드 모듈(40)과 노즐 모듈(50)은 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 서로 결합되어 있는 구조를 가질 수 있다. 즉, 서로 결합된 상태에서 함께 수평 방향으로 이동되도록 구성할 수 있다. 이 경우, 블레이드 노즐(40)을 통하여 기판에 액을 흘러내리도록 할 때는, 상기 블레이드 모듈(40)에만 액을 공급하고, 노즐 모듈(50)을 통하여 기판에 액을 분사시킬 때는, 상기 노즐 모듈(50)에만 액을 공급한다.
상기와 같이, 블레이드 모듈(40)과 노즐 모듈(50)이 결합된 상태에서 함께 이동되도록 구성할 수도 있지만, 경우에 따라서는 상기 블레이드 모듈(40)과 노즐 모듈(50)을 서로 분리되도록 구성하여, 개별적으로 수평 이동되도록 구성할 수도 있다.
한편, 상기 블레이드 모듈(40) 및 노즐 모듈(50)은 각각 일측에 액을 공급하기 위한 유입구가 형성되어 있고, 이 유입구와 액 공급관이 연결되어 있고, 상기 액 공급관은 액 공급탱크와 연결되도록 구성한다.
상술한 바와 같이, 상기 블레이드 모듈(40) 및 노즐 모듈(50)은 함께 이동될 수 있도록 서로 결합되어 구성될 수도 있고, 서로 분리되어 구성될 수도 있는데, 이와 별개로, 상기 노즐 모듈(50) 및 블레이드 모듈(40)은 측면에 배치될 수도 있다. 도 7은 노즐 모듈(50)만 측면에 배치된 것을 예시한다. 즉, 상기 노즐 모듈(50)은 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 기판 수직 및 수평 이동수단의 정면측 또는 후면측에 더 배치되어 구성될 수도 있다. 이 경우, 상기 노즐 모듈(50)은 상기 기판에 대하여 측방향으로 액을 분사시킨다. 이에 대해서는 후술하겠다.
이상에서 설명한 기판 웨팅성 테스트 장치는 기판의 습윤성을 테스트하기 위하여 다양한 방법을 적용시킬 수 있다. 즉, 디핑법(dipping), 블레이드를 이용한 웨팅법, 노즐을 이용한 웨팅법 등을 이용하여 기판의 웨팅성을 테스트할 수 있다.
도 4는 상기 다양한 방법 중, 디핑법을 이용하여 기판의 웨팅성을 테스트하기 위한 상태를 보여준다. 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 기판은 수조(30) 내부로 침지된 후, 꺼내서 액마름 현상 등을 체크하여 웨팅성을 테스트할 수 있다.
상기 수조(30) 내부로 침지되는 기판은 수평한 상태로 침지될 수도 있고, 일정 각도로 경사진 상태로 침지될 수도 있다. 즉, 웨팅성 테스트의 다양화를 위하여 상기 수조(30)에 침지되는 기판의 경사를 달리하여 침지할 수 있다.
상기 기판을 상기 수조(30) 내부로 침지하기 위해서는 상술한 기판 웨팅성 테스트 장치가 소정 절차로 동작되어야 한다.
구체적으로, 상기 기판은 상기 수직 이동체(23)의 하강을 통하여 상기 수조에 수평 또는 경사진 상태로 침지될 수 있다. 즉, 도 1에 도시된 상태에서, 상기 수직 이동체(23)가 상기 기판이 상기 수조(30) 안에 침지될 때까지 하강함으로써, 상기 기판을 수조(30)로 침지할 수 있다. 그리고, 상기 기판이 수조 안으로 침지된 후, 또는 침지되기 전에, 상기 한 쌍의 수평 이동체(15)가 각각의 수직바(13)의 승하강 위치를 달리하도록 구동함으로써, 상기 기판이 경사진 상태에서 상기 수조(30)에 침지시킬 수 있다.
한편, 상기 기판은 상기 수직 이동체(23)의 하강 동작 및 상기 수직바(13)의 하강 동작을 통하여 상기 수조(30)에 침지될 수 있다. 즉, 상기 수직 이동체(23)를 하강시켜, 상기 기판이 수조(30)의 바로 상부에 위치하도록 한 후, 상기 수평 이동체(15)가 상기 수직바(13)를 구동 하강시켜 상기 기판이 상기 수조 내부로 침지되도록 할 수 있다. 이 경우에도 상기 한 쌍의 수평 이동체(15)가 각각의 수직바(13)의 승하강 위치를 달리하도록 구동함으로써, 상기 기판이 경사진 상태에서 상기 수조(30)에 침지시킬 수 있다.
또한, 상기 수직바(13)의 하강만을 통하여 상기 기판을 수조 내부로 침지시킬 수 있다. 이 경우에는 상기 기판이 수조 상부에 가까이 있거나, 상기 수직바(13)의 하강 길이가 길게 형성될 때 가능하다. 한편 이 경에도, 한 쌍의 수평 이동체(15)가 각각의 수직바(13)의 승하강 위치를 달리하도록 구동함으로써, 상기 기판이 경사진 상태에서 상기 수조(30)에 침지시킬 수 있다.
이상에서는 상기 기판이 수조(30)에 침지시키는 동작을 설명하였고, 다음은 상기 기판에 액을 분사 또는 흐르도록 하여 웨팅성을 테스트하는 방법에 대하여 설명한다.
도 5는 블레이드 모듈(40)이 상기 기판에 액을 흘리도록 하는 과정을 보여주고, 도 6은 노즐 모듈(50)이 상기 기판에 액을 분사시키는 과정을 보여준다.
상기 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 블레이드 모듈(40) 및 노즐 모듈(50)이 상기 기판에 액을 분사 또는 흘리도록 하기 위해서는, 상기 기판은 상기 블레이드 모듈(40) 및 노즐 모듈(50)과 대향되도록 배치되어야 한다.
즉, 상기 기판은 일단 상기 수평 레일(11)의 회전에 따라 상기 액 분사수단(40, 50)에 대향되도록 배치되어야 한다. 상기 기판이 상기 액 분사수단(40, 50)과 대향되도록 배치되기 위해서는, 먼저 상기 수직 이동체(23)가 상기 수평 레일(11)을 회전시키는 동작을 수행하여, 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 기판이 상기 액 분사수단(40, 50)을 향하도록 배치한다.
그런 다음, 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 블레이드 모듈(40)에 의하여 상기 기판에 액이 흘러내리도록 하거나, 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 노즐 모듈(50)에 의하여 상기 기판에 대하여 액이 분사되도록 한다. 그런 다음, 상기 기판에 존재하는 액의 마름 현상 등을 체크하여 기판 웨팅성을 테스트할 수 있다.
한편, 도 5 및 도 6은 상기 기판이 상기 액 분사 모듈(40, 50)에 대향하도록 배치한 후, 상기 액 분사모듈(40, 50)이 수평 방향으로 이동하여 상기 기판 전면에 액을 분사 또는 흘러내리도록 하는 구성이다. 그런데, 이와 달리, 상기 기판은 상기 수평 이동체(15)의 구동에 의하여, 상기 수평 레일(11)의 길이 방향으로 이동될 수 있기 때문에, 상기 액 분사수단(40, 50)이 고정된 상태에서 액을 분사 또는 흘러내리고, 상기 기판이 수평 방향으로 이동되도록 하여 상기 기판의 전면에 액을 분사 또는 흘러내리도록 할 수도 있다.
도 5 및 도 6은 상기 기판이 상부 방향을 향하고, 상기 액 분사수단(40, 50)이 상기 기판을 향하여 액을 분사 또는 흘러내리도록 하는 구성이다. 이와 달리, 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 기판을 수직하게 세워 놓은 상태에서 상기 기판의 측면에서 액을 분사시켜, 상기 기판에 대한 웨팅성을 테스트할 수도 있다. 이 경우, 상기 액 분사수단(40, 50)은 상기 기판의 상측 측면에 배치되어, 액을 분사 또는 흘러 내려준다. 그러면, 상기 기판의 상측에 묻은 액은 아래로 흘러내리면서 상기 기판 전면에 묻게 된다.
따라서, 상술한 기판 웨팅성 테스트 장치는 상기 기판이 수직 방향으로 세워진 상태를 유지할 수 있도록 동작되어야 한다. 구체적으로, 상기 수직 이동체(23)가 상기 수평 레일(11)을 회전시킴으로써, 상기 기판이 수직하게 세워진 상태가 되도록 한다. 그런 다음, 상기 기판 수평 및 수직 이동수단(10)의 전면측 또는 후면측에 배치되는 노즐 모듈(50)이 액을 분사시켜 상기 기판에 액이 묻을 수 있도록 한다.
이와 같이, 상기 기판은 수평 상태가 아닌 수직 상태에서도 액이 묻혀질 수 있고, 경우에 따라서는 수평 및 수직 이외의 소정 각도로 경사진 상태에서 상기 액이 묻혀지게 할 수 있다.
이상에서와 같이 본 발명은 특정의 바람직한 실시예를 들어 도시하고 설명하였으나, 상기한 실시예에 한정하는 것은 아니며, 본 발명의 기술적 요지를 변경하지 않는 범위 내에서 단순한 설계변경이나 관용수단의 치환 등의 경우에도 본 발명의 보호범위에 속함을 분명히 한다.
10 : 기판 수평 및 수직 이동수단 11 : 수평 레일
13 : 수직바 15 : 수평 이동체
17 : 지지 프레임 20 : 회전 이동수단
21 : 수직 레일 23 : 수직 이동체
30 : 수조 40 : 블레이드 모듈
50 : 노즐 모듈

Claims (7)

  1. 기판을 지지하되, 상기 기판을 상하 수직 이동 또는 수평 이동시키는 기판 수평 및 수직 이동수단;
    상기 기판 수평 및 수직 이동수단을 상하 수직 이동 또는 회전 이동시키는 기판 회전 이동수단;
    상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 하측에 배치되는 수조;
    상기 기판 수평 및 수직 이동수단의 상측에 배치되는 액 분사 수단을 포함하여 구성되되,
    상기 기판 수평 및 수직 이동수단은,
    수평으로 배치되는 수평 레일, 상기 수평 레일을 따라 슬라이딩되는 한 쌍의 수평 이동체, 상기 수평 이동체 각각에 대하여 수직 이동 가능하게 결합되는 한 쌍의 수직바, 상기 수직바 각각에 양단이 회전 가능하게 결합되고, 상기 기판을 지지하는 지지 프레임을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치.
  2. 삭제
  3. 청구항 1에 있어서, 상기 회전 이동수단은,
    상기 수평 레일의 양 끝단에 각각 결합되어, 상기 수평 레일을 수직 이동 또는 회전 이동시키는 한 쌍의 수직 이동체 및 상기 한 쌍의 수직 이동체가 상하 슬라이딩되도록 수직 방향으로 배치되는 수직 레일을 포함하여 이루어진 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치.
  4. 청구항 3에 있어서,
    상기 액 분사수단은 상기 수평 레일의 길이 방향으로 이동되도록 배치되고, 액을 분사시키는 노즐 모듈과 액을 흘러내리도록 하는 블레이드 모듈로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치.
  5. 청구항 4에 있어서,
    상기 노즐 모듈은 상기 기판 수직 및 수평 이동수단의 정면측 또는 후면측에 더 배치되어, 상기 기판에 대하여 측방향으로 액을 분사시키는 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 기판은 상기 수직 이동체의 하강을 통하여 또는 상기 수직 이동체 하강 및 상기 수직바 하강을 통하여 또는 상기 수직바의 하강을 통하여 상기 수조에 수평 또는 경사진 상태로 침지되는 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치.
  7. 청구항 5에 있어서,
    상기 기판이 상기 수평 레일의 회전에 따라 상기 액 분사수단에 대향된 후, 상기 노즐 모듈에 의하여 상기 기판에 대하여 액이 분사되거나 또는 블레이드 모듈에 의하여 상기 기판에 액이 흘러내리도록 하는 것을 특징으로 하는 기판 웨팅성 테스트 장치.
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