KR101199099B1 - 코팅장치의 진공챔버 시스템 및 이를 이용한 코팅방법 - Google Patents

코팅장치의 진공챔버 시스템 및 이를 이용한 코팅방법 Download PDF

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Abstract

본 발명은 간헐코팅 시 코팅액 끌림 현상을 방지함으로써, 코팅의 불량 발생률이 저감되어 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 코팅장치의 진공챔버 시스템 및 이를 이용한 코팅방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템은 코팅 장치의 코팅액 분출구와 연결된 진공 챔버; 상기 진공 챔버의 일 영역에 연결되며, 음압을 발생시키는 음압 발생부; 및 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부 사이에 설치되는 버퍼 탱크;를 포함하되, 상기 진공 챔버와 상기 버퍼 탱크 사이에는 제어부가 더 설치되며, 상기 제어부는 상기 진공 챔버 및 상기 버퍼 탱크 각각에 선택적으로 외기를 흡입 또는 차단하도록 작동한다.

Description

코팅장치의 진공챔버 시스템 및 이를 이용한 코팅방법{Vacuum chamber system of coating apparatus and coating method using the same}
본 발명은 코팅장치의 진공챔버 시스템 및 이를 이용한 코팅방법에 관한 것으로, 보다 구체적으로는 제품의 품질을 향상시킬 수 있는 코팅장치의 진공챔버 시스템 및 이를 이용한 코팅방법에 관한 것이다.
일반적으로 코팅장치는 코팅액 주입구 및 코팅액 분출구를 포함하여 형성된다. 이러한 코팅장치의 코팅액 주입구 측에 코팅액이 공급되면, 코팅액 이동통로를 따라 코팅액이 코팅액 분출구 측으로 분출된다. 이때, 코팅액 분출구 측에는 기재가 일 방향으로 이송되며 코팅이 이루어진다.
이와 같이 기재에 코팅 시, 박막으로 코팅을 하거나 고속 코팅을 하게 되면 코팅이 진행되는 상류 방향의 코팅 비드(coating bead)가 하류 방향으로 밀려오게 된다. 이에 의해 코팅 비드의 형태가 변형되어, 코팅이 불가능한 경우가 발생되는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 코팅장치에 장착된 진공챔버 및 버퍼탱크에 선택적으로 외기의 흡입이 가능하도록 조절하는 제어부를 구비한다. 이에 의해 간헐코팅 시 코팅액 끌림 현상을 방지할 수 있는 코팅장치의 진공챔버 시스템 및 이를 이용한 코팅방법을 제공하는 데 목적이 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템은 코팅 장치의 코팅액 분출구와 연결된 진공 챔버; 상기 진공 챔버의 일 영역에 연결되며, 음압을 발생시키는 음압 발생부; 및 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부 사이에 설치되는 버퍼 탱크;를 포함하되, 상기 진공 챔버와 상기 버퍼 탱크 사이에는 제어부가 더 설치되며, 상기 제어부는 상기 진공 챔버 및 상기 음압 발생부 각각에 선택적으로 외기를 흡입 또는 차단하도록 작동한다.
여기서, 상기 제어부는 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부 각각에 외기를 흡입 또는 차단하도록 작동하는 제1 제어부 및 제2 제어부로 형성될 수 있다.
그리고, 상기 제어부는 3-웨이(3-way) 스위칭 밸브로 형성될 수 있다.
이때, 상기 3-웨이(3-way) 스위칭 밸브는 자동 또는 수동 방식으로 작동될 수 있다.
또한, 상기 버퍼 탱크는 상기 제어부의 작동 시에 상기 음압 발생부로부터 발생된 음압을 일시적으로 흡수할 수 있다.
게다가, 상기 음압 발생부는 팬(fan)으로 형성될 수 있다.
그리고, 상기 코팅액 분출구에는 상기 코팅액 분출구를 개폐시키는 간헐수단이 더 형성될 수 있다.
또한, 상기 코팅장치는 이차 전지의 금속기재 상에 활물질 슬러리를 코팅 시 사용될 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템을 이용하여 간헐적으로 코팅하는 방법에 있어서, 상기 진공 챔버에 음압이 작용하도록 상기 진공 챔버 및 상기 음압 발생부에 외기를 차단한 상태로 상기 제1 제어부 및 제2 제어부를 제어하여 코팅부를 형성하는 단계; 및 상기 진공 챔버 및 상기 음압 발생부 각각이 외기를 흡입하는 상태로 상기 제1 제어부 및 제2 제어부를 제어하여 무지부를 형성하는 단계;를 포함한다.
이때, 상기 코팅부를 형성하는 단계에서, 상기 제1 제어부는 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부가 연결되도록 제어할 수 있다.
그리고, 상기 코팅부를 형성하는 단계에서, 상기 제2 제어부는 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부가 연결되도록 제어할 수 있다.
또한, 상기 무지부를 형성하는 단계에서, 상기 제1 제어부는 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부를 차단하는 동시에 상기 진공 챔버로 외기가 흡입되도록 제어할 수 있다.
더욱이, 상기 무지부를 형성하는 단계에서, 상기 제2 제어부는 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부를 차단하는 동시에 상기 음압 발생부로 외기가 흡입되도록 제어할 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 간헐코팅 시 코팅액 끌림 현상을 방지함으로써, 코팅의 불량 발생률이 저감되어 제품의 품질을 향상시킬 수 있다. 또한, 간헐코팅 구현을 보다 원활하게 진행하여 생산성을 향상시킬 수 있다.
도 1은 본 발명에 따른 진공챔버 시스템이 부착된 코팅장치를 이용하여 코팅기재를 제조하는 공정을 도시한 개략적인 공정도.
도 2a는 박막 또는 고속 코팅 시 코팅 비드의 형태가 변경된 상태를 나타내는 단면도.
도 2b는 진공챔버를 이용하여 코팅 비드에 음압이 발생된 상태를 나타내는 단면도.
도 3은 무지부가 시작되는 코팅부의 단부에 끌림 현상이 발생된 상태를 나타내는 평면도.
도 4는 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템을 나타내는 단면도.
도 5는 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템에 외기가 흡입되지 않은 상태를 나타내는 블럭도.
도 6은 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템에 외기가 흡입된 상태를 나타내는 블럭도.
도 7은 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템을 이용하여 기재를 코팅하는 상태를 나타내는 평면도.
이하에서는 본 발명의 실시예를 도시한 도면들을 참조하여 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템 및 이를 이용한 코팅방법을 구체적으로 설명한다.
도 1은 본 발명에 따른 진공챔버 시스템이 부착된 코팅장치를 이용하여 코팅기재를 제조하는 공정을 도시한 개략적인 공정도이다.
도 1을 참조하면, 양측의 롤(20)에 감겨진 기재가 연속적으로 이송되도록 설치되고, 기재의 상부 측에는 코팅 장치(30), 건조 장치(40) 및 슬리팅 장치(50)가 순차적으로 설치된다. 본 발명에 따른 코팅 장치(30)는 다양한 분야에 이용될 수 있으나, 이하 실시예에서는 이차 전지의 금속기재 상에 활물질 슬러리를 코팅하는 코팅 장치에 대하여 설명한다.
먼저, 바인더와 용매를 섞어 바인더솔루션을 만든 후, 이 바인더솔루션에 활물질과, 도전제 또는 첨가제를 섞어 활물질 슬러리를 제조한다. 그 다음, 활물질 슬러리를 코팅 장치(30)를 이용하여 기재에 코팅하고, 건조 장치(40)에 의하여 건조한다. 그리고, 활물질의 용량밀도를 높이기 위해 압연을 한 후, 슬리팅 장치(50)로 슬리팅(slitting)을 실시함에 의해 일정한 폭의 코팅기재를 얻는다.
여기서, 활물질 슬러리는 용매를 함유한 상태이고, 활물질은 활물질 슬러리가 건조되어 용매가 제거된 상태를 말한다.
도 2a는 박막 또는 고속 코팅 시 코팅 비드의 형태가 변경된 상태를 나타내는 단면도이고, 도 2b는 진공챔버를 이용하여 코팅 비드에 음압이 발생된 상태를 나타내는 단면도이다.
도 2a 및 도 2b를 참조하면, 슬롯 다이(Slot Die)와 같은 코팅 장치(30a, 30b)를 이용하여 박막 또는 고속 코팅을 할 수 있다. 이때, 코팅 장치(30a, 30b) 사이에 형성된 코팅액 분출구(32)로 분출되는 코팅액(100)의 코팅 비드는 기재(10)가 진행하는 방향의 상류 측에서 하류 측으로 밀려오게 된다. 이처럼 코팅 장치(30a, 30b)를 이용한 코팅 시에는 코팅 비드의 형태가 변형(102)될 수 있다.
이를 방지하기 위하여, 코팅 비드를 상류 측으로 당겨줄 수 있는 진공 챔버(60)가 구비될 수 있다. 진공 챔버(60)의 내부에는 음압이 작용하며, 코팅 비드가 정상적으로 형성되도록 할 수 있다. 진공 챔버(60)에 음압이 작용되도록 진공 챔버 시스템에는 버퍼 탱크(70, 도 4 참조) 및 제어부(80, 도 4 참조)가 더 포함되며, 이들에 대한 상세한 설명은 도 4 내지 도 6에서 후술한다.
도 3은 무지부가 시작되는 코팅부의 단부에 끌림 현상이 발생된 상태를 나타내는 평면도이다.
도 3을 참조하면, 도 2b의 진공 챔버 시스템이 장착된 코팅 장치로 연속코팅을 할 경우에는 음압의 작용에 의해 코팅이 원활하게 이루어진다. 그러나, 진공 챔버 시스템이 장착된 코팅 장치로 간헐코팅을 할 경우에는 도 3에서 보는 바와 같이 코팅액의 끌림 현상(101)이 발생한다.
간헐코팅을 위해 간헐밸브를 이용하여 코팅액 분출구(32)의 개폐를 제어하는 경우, 기재(10)에는 코팅부(100a)와 코팅이 이루어지지 않은 구간인 무지부(100b)가 번갈아가며 형성된다. 즉, 코팅부(100a)가 간헐적으로 형성된다. 이때, 코팅부(100a)가 끝나고, 무지부(100b)가 시작되는 영역에는 끌림 현상(101)이 발생한다.
이러한 끌림 현상(101)이 발생하는 이유는 간헐밸브가 폐쇄되면서 코팅액 분출구 안쪽으로 코팅액을 끌어당기게 된다. 이때, 진공 챔버 또한 음압이 적용되어 간헐밸브가 코팅액을 끌어당기는 것을 방해한다. 그 결과, 간헐코팅된 코팅부(101a)가 끝나는 부분마다 끌림 현상(101)이 발생하게 되는 것이다.
도 4는 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템을 나타내는 단면도이다.
도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템은 진공 챔버(60), 버퍼 탱크(70), 음압 발생부(80) 및 제어부(90a, 90b)를 포함한다.
진공 챔버(60)는 코팅 장치(30)의 코팅액 분출구(32)와 연결된다. 그리고, 버퍼 탱크(70)는 진공 챔버의 일 영역에 배관 등으로 연결되며, 음압 발생부(80)도 버퍼 탱크(70)에 배관 등으로 연결된다.
코팅 장치(30)를 간략하게 설명하면, 제1 몸체부(30a)와, 제2 몸체부(30b)와, 코팅액 주입구(31) 및 코팅액 분출구(32)를 포함한다. 제1 몸체부(30a)와 제2 몸체부(30b)는 일정한 갭을 두고 조립되며, 이러한 갭의 일측은 코팅액 분출구(32)일 수 있다.
그리고, 코팅액 주입구(31)에는 코팅액 공급부(미도시)가 구비될 수 있으며, 코팅액 주입구(31)는 갭까지 관통되는 코팅액 이동통로로 연장될 수 있다. 또한, 코팅액 분출구(32) 측에는 롤(20)에 의해 기재(10)가 일정 방향으로 이송되며, 코팅액 분출구(32)로부터 분출되는 코팅액(100)에 의해 코팅이 이루어질 수 있다.
음압 발생부(80)는 팬(fan) 등으로 형성되며, 음압을 발생시켜 버퍼 탱크(70)를 거쳐 진공 챔버(60)로 음압을 공급한다. 여기서, 음압이란 대기압보다 낮은 압력을 의미하며, 이러한 음압에 의해 진공 챔버(60)와 연결된 코팅액 분출구(32)로 분출되는 코팅액(100)은 영향을 받게 된다.
그리고, 버퍼 탱크(70)는 이하에서 설명하는 제어부(90a, 90b)의 작동 시에 음압 발생부(80)로부터 발생된 음압을 일시적으로 흡수할 수 있다. 즉, 제어부(90a, 90b)의 기동 시에 발생하는 압력을 일시적으로 흡수하는 압력 탱크 또는 완충 탱크일 수 있다. 이에 의해 불안정한 음압을 버퍼 탱크(70)에서 안정화하여 진공 챔버(60)로 공급할 수 있다.
또한, 진공 챔버(60)와 버퍼 탱크(70) 사이에는 제어부(90a, 90b)가 더 설치될 수 있다. 제어부(90a, 90b)는 진공 챔버(60) 및 음압 발생부(80) 각각에 선택적으로 외기를 흡입 또는 차단하도록 작동할 수 있다.
바람직하게, 제어부는 진공 챔버(60)와 음압 발생부(80) 각각에 외기를 흡입 또는 차단하도록 작동하는 제1 제어부(90a) 및 제2 제어부(90b)로 형성될 수 있다. 그리고, 제어부(90a, 90b)는 3-웨이 스위칭 밸브(3-way switching valve)로 형성될 수 있다. 이때, 3-웨이 스위칭 밸브는 자동 또는 수동 방식으로 작동될 수 있다.
도 5는 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템에 외기가 흡입되지 않은 상태를 나타내는 블럭도이다.
도 5를 참조하면, 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템을 이용하여 간헐적으로 코팅하는 경우, 제1 제어부(90a) 및 제2 제어부(90b)를 제어함에 의해 진공 챔버(60)에 음압을 공급 또는 차단시킬 수 있다.
코팅부(100a, 도 7 참조)를 형성하는 경우, 진공 챔버(60)에 음압이 작용하도록 진공 챔버(60) 및 음압 발생부(80)에 외기를 차단한 상태로 제1 제어부(90a) 및 제2 제어부(90b)를 제어한다.
이때, 제1 제어부(90a)는 진공 챔버(60)와 음압 발생부(80)가 연결되도록 제어할 수 있다. 제1 제어부(90a)는 진공 챔버(60), 음압 발생부(80) 및 제1 외기 공급부(91a)의 세 방향(A, B, C)으로의 개폐를 제어할 수 있다. 즉, 코팅부(100a)를 형성하는 동안 제1 제어부(90a)는 A와 B를 개방하고, C를 폐쇄할 수 있다.
그리고, 제2 제어부(90b) 역시 진공 챔버(60)와 음압 발생부(80)가 연결되도록 제어할 수 있다. 제2 제어부(90b)는 진공 챔버(60), 음압 발생부(80) 및 제2 외기 공급부(91b)의 세 방향(D, E, F)으로의 개폐를 제어할 수 있다. 즉, 코팅부(100a)를 형성하는 동안 제2 제어부(90b)는 D와 E를 개방하고, F를 폐쇄할 수 있다.
이에 의해 코팅부(100a)의 형성 시 진공 챔버(60)에 음압을 형성할 수 있다.
도 6은 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템에 외기가 흡입된 상태를 나타내는 블럭도이다.
도 6을 참조하면, 무지부(100b, 도 7 참조)를 형성하는 경우, 진공 챔버(60) 및 음압 발생부(80) 각각이 외기를 흡입하는 상태로 제1 제어부(90a) 및 제2 제어부(90b)를 제어한다.
이때, 제1 제어부(90a)는 진공 챔버(60)와 음압 발생부(80)를 차단하는 동시에 진공 챔버(60)로 외기가 흡입되도록 제어할 수 있다. 제1 제어부(90a)는 진공 챔버(60), 음압 발생부(80) 및 제1 외기 공급부(91a)의 세 방향(A, B, C)으로의 개폐를 제어할 수 있다. 즉, 무지부(100b)를 형성하는 동안 제1 제어부(90a)는 A와 C를 개방하고, B를 폐쇄하여, 외기를 흡입할 수 있다.
그리고, 제2 제어부(90b) 역시 진공 챔버(60)와 음압 발생부(70)를 차단하는 동시에 버퍼 탱크(70) 및 음압 발생부(80)로 외기가 흡입되도록 제어할 수 있다. 제2 제어부(90b)는 진공 챔버(60), 음압 발생부(80) 및 제2 외기 공급부(91b)의 세 방향(D, E, F)으로의 개폐를 제어할 수 있다. 즉, 무지부(100b)를 형성하는 동안 제2 제어부(90b)는 E와 F를 개방하고, D를 폐쇄하여, 외기를 흡입할 수 있다.
도 7은 본 발명에 따른 코팅장치의 진공챔버 시스템을 이용하여 기재를 코팅하는 상태를 나타내는 평면도이다.
도 7을 참조하면, 기재(10) 상에 코팅액이 간헐 코팅되는 상태를 나타낸다. 이때, 기재(10)는 왼쪽에서 오른쪽으로 이송되며, 코팅부(100a)와 무지부(100b)가 번갈아가며 형성된다. 본 발명에 따른 코팅장치의 진공 챔버 시스템을 이용하여 코팅을 하면 도 7에서 보는 바와 같이 코팅부(100a) 끝부분(H)에 끌림 현상이 발생하지 않는다.
도 5 내지 도 6에서 설명한 바와 같이, 코팅부(100a)를 형성하는 동안(G~H) 제1 제어부(90a)와 제2 제어부(90b)는 진공 챔버(60)와 음압 발생부(80)에 외기를 차단하도록 제어한다. 그리고, 무지부(100b)를 형성하는 동안(H~I) 제1 제어부(90a)와 제2 제어부(90b)는 진공 챔버(60)와 음압 발생부(80) 각각에 외기가 흡입되도록 제어한다. 이에 의해 코팅부(100a) 끝부분(H)에 끌림 현상을 방지할 수 있다.
[실시예]
본 발명에 따른 코팅장치의 진공 챔버 시스템을 이용하여 간헐코팅 시 코팅속도 5.3m/min, 코팅두께 100㎛로, 점도 1500cPs의 슬러리를 사용하여 간헐코팅을 실시하였다. 이때, 간헐코팅 시 코팅부(100a)는 5m, 무지부(100b)는 1m로 하였다.
진공 챔버(60)를 사용하지 않았을 경우, 코팅부(100a) 끝부분의 끌림 현상이 발생되는 길이가 0.5㎜ 이내로 매우 작다. 그러나, 진공 챔버(60)를 사용하여 간헐코팅을 하면 코팅부(100a) 끝부분의 끌림 현상이 2㎜ 정도 발생되었다. 이때, 진공 챔버(60)의 음압량은 0.3kPa이다.
이러한 코팅부(100a) 끝부분의 끌림 현상을 개선하기 위하여, 본 발명에 따른 진공 챔버 시스템을 사용하여 코팅한 뒤, 코팅부(100a) 끝부분의 끌림 길이를 측정하였다. 측정된 코팅부(100a) 끝부분의 끌림 길이는 0.5㎜로 진공 챔버(60)를 사용하지 않을 때의 끌림 길이로 회복됨을 알 수 있다.
이하에서는 본 발명에 따른 코팅장치의 진공 챔버 시스템의 작동을 설명한다.
코팅장치의 진공 챔버 시스템은 진공 챔버(60)와 버퍼 탱크(70) 사이에 제1 제어부(90a) 및 제2 제어부(90b)를 설치한다. 그리고, 제1 제어부(90a) 및 제2 제어부(90b)를 제어함에 의해 진공 챔버(60)와 음압 발생부(80)에 외기가 흡입될 수 있도록 형성한다.
제1 제어부(90a) 및 제2 제어부(90b)는 간헐코팅 프로세스와 연계하여 동작하도록 자동으로 구성할 수 있다. 코팅 시에 진공 챔버(60) 및 음압 발생부(80)는 외기와 연결되지 않고 진공 챔버(60)에 음압이 형성되도록 한다. 즉, 진공 챔버(60)의 공기를 음압 발생부(80) 측으로 끌어당긴다.
그리고, 간헐 코팅을 위해 코팅액을 끊을 시에는 제1 제어부(90a) 및 제2 제어부(90b)가 각각 외기가 흡입되도록 제어된다. 즉, 진공 챔버(60)와 음압 발생부(80) 각각에 외기가 흡입되도록 하여, 음압 발생부(80)는 진공 챔버(60)의 공기를 흡입하지 못하게 된다. 이때, 진공 챔버(60)에는 음압이 빨리 파기되도록 제1 제어부(90a)와 연결된 외기가 흡입된다. 그리고, 음압 발생부(80)에는 제2 제어부(90b)와 연결된 외기가 흡입된다.
여기서, 제1 제어부(90a) 및 제2 제어부(90b)가 각각 온/오프되는 시간에 오프셋(offset)을 주어야 할 가능성이 있다. 이에 의해 제1 제어부(90a) 및 제2 제어부(90b) 각각의 온/오프되는 시간을 미세 조정 가능하도록 하는 수단이 추가로 구비될 수 있다.
상기와 같은 과정에 의해 코팅부(100a)와 무지부(100b)를 형성하고, 그 이후 다시 코팅부(100a)를 형성하는 경우에는 제1 제어부(90a) 및 제2 제어부(90b)의 위치가 원위치로 돌아온 상태에서 코팅을 행하면 된다.
본 발명의 기술 사상은 상기 바람직한 실시예에 따라 구체적으로 기술되었으나, 상기한 실시예는 그 설명을 위한 것이며, 그 제한을 위한 것이 아님을 주지해야 한다. 또한, 본 발명의 기술분야에서 당업자는 본 발명의 기술 사상의 범위 내에서 다양한 실시예가 가능함을 이해할 수 있을 것이다.
10 : 기재 20 : 롤
30 : 코팅장치 30a : 제1 몸체
30b : 제2 몸체 31 : 코팅액 주입구
32 : 코팅액 분출구 40 ; 건조 장치
50 : 슬리팅 장치 60 : 진공 챔버
70 : 버퍼 탱크 80 : 음압 발생부
90a : 제1 제어부 90b : 제2 제어부

Claims (13)

  1. 코팅장치의 코팅액 분출구와 연결된 진공 챔버;
    상기 진공 챔버의 일 영역에 연결되며, 음압을 발생시키는 음압 발생부; 및
    상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부 사이에 설치되는 버퍼 탱크;를 포함하되,
    상기 진공 챔버와 상기 버퍼 탱크 사이에는 제어부가 더 설치되며, 상기 제어부는 상기 진공 챔버 및 상기 음압 발생부 각각에 선택적으로 외기를 흡입 또는 차단하도록 작동하는 코팅장치의 진공챔버 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부 각각에 외기를 흡입 또는 차단하도록 작동하는 제1 제어부 및 제2 제어부로 형성되는 코팅장치의 진공챔버 시스템.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 제어부는 3-웨이 스위칭 밸브(3-way switching valve)로 형성되는 코팅장치의 진공챔버 시스템.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 3-웨이 스위칭 밸브는 자동 또는 수동 방식으로 작동되는 코팅장치의 진공챔버 시스템.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 버퍼 탱크는 상기 제어부의 작동 시에 상기 음압 발생부로부터 발생된 음압을 일시적으로 흡수하는 코팅장치의 진공챔버 시스템.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 음압 발생부는 팬(fan)으로 형성되는 코팅장치의 진공챔버 시스템.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 코팅액 분출구에는 상기 코팅액 분출구를 개폐시키는 간헐수단이 더 형성되는 코팅장치의 진공챔버 시스템.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 코팅장치는 이차 전지의 금속기재 상에 활물질 슬러리를 코팅 시 사용되는 코팅장치의 진공챔버 시스템.
  9. 제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 코팅장치의 진공챔버 시스템을 이용하여 간헐적으로 코팅하는 방법에 있어서,
    상기 진공 챔버에 음압이 작용하도록 상기 진공 챔버 및 상기 음압 발생부에 외기를 차단한 상태로 상기 제1 제어부 및 제2 제어부를 제어하여 코팅부를 형성하는 단계; 및
    상기 진공 챔버 및 상기 음압 발생부 각각이 외기를 흡입하는 상태로 상기 제1 제어부 및 제2 제어부를 제어하여 무지부를 형성하는 단계;를 포함하는 코팅장치의 진공챔버 시스템을 이용한 코팅방법.
  10. 제9항에 있어서,
    상기 코팅부를 형성하는 단계에서,
    상기 제1 제어부는 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부가 연결되도록 제어하는 코팅장치의 진공챔버 시스템을 이용한 코팅방법.
  11. 제9항에 있어서,
    상기 코팅부를 형성하는 단계에서,
    상기 제2 제어부는 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부가 연결되도록 제어하는 코팅장치의 진공챔버 시스템을 이용한 코팅방법.
  12. 제9항에 있어서,
    상기 무지부를 형성하는 단계에서,
    상기 제1 제어부는 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부를 차단하는 동시에 상기 진공 챔버로 외기가 흡입되도록 제어하는 코팅장치의 진공챔버 시스템을 이용한 코팅방법.
  13. 제9항에 있어서,
    상기 무지부를 형성하는 단계에서,
    상기 제2 제어부는 상기 진공 챔버와 상기 음압 발생부를 차단하는 동시에 상기 음압 발생부로 외기가 흡입되도록 제어하는 코팅장치의 진공챔버 시스템을 이용한 코팅방법.
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