KR101198022B1 - Holder joint - Google Patents
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Abstract
(과제) 홀더 조인트에 있어서 베어링에 컬릿이 혼입하지 않도록 하여 동작 불량을 방지하는 것이다.
(해결 수단) 킹핀(11)을 회동이 자유롭게 보지(保持)하는 한 쌍의 베어링(12, 13)을 설치한다. 하방의 베어링(13)의 하방에는, 베어링(13)의 내륜(內輪)에 맞닿는 베어링 커버(16)와, 베어링(13)의 외륜부(外輪部)를 보지하는 킹핀 고정부(5)를 설치한다. 베어링 커버(16)의 하단(下端)을 플랜지부(16b)로 하고, 그 상부 외주에는 환상 돌기(16c)를 형성한다. 또한 킹핀 고정부(15)의 하단에는 환상 홈(15c)을 형성하여 래버린스 구조로 한다. 이 구조에 의해 스크라이브시에 컬릿 등의 이물이 베어링(13)에 혼입되는 것을 방지할 수 있다.(Problem) In the holder joint, the collet is prevented from entering the bearing to prevent malfunction.
(Solution means) A pair of bearings 12 and 13 are provided to hold the king pin 11 freely in rotation. Below the bearing 13 below, the bearing cover 16 which abuts on the inner ring of the bearing 13, and the king pin fixing part 5 which hold | maintains the outer ring part of the bearing 13 are provided. Install. The lower end of the bearing cover 16 is made into the flange part 16b, and the annular protrusion 16c is formed in the upper outer periphery. In addition, an annular groove 15c is formed at the lower end of the king pin fixing portion 15 to have a labyrinth structure. This structure can prevent foreign matter such as a cullet from entering the bearing 13 during scribing.
Description
본 발명은 스크라이브 장치의 스크라이브 헤드(scribing head)에 부착되는 홀더 조인트에 관한 것으로, 특히 스크라이브시의 컬릿(cullet) 등의 혼입을 방지할 수 있는 홀더 조인트에 관한 것이다.BACKGROUND OF THE
종래, 액정 표시 패널이나 액정 프로젝터 기판 등의 플랫 패널 디스플레이(FPD) 등에서는, 제조 과정에 있어서 머더 유리 기판이 접합된 후에 소정의 크기의 단일의 패널이 되도록 분단(dividing)된다. 머더 유리 기판 등의 취성 재료 기판의 분단에는, 스크라이브 공정과 브레이크 공정이 있고, 스크라이브 공정에서는 스크라이브 장치가 이용된다. FPD의 제조에서는, 1매의 머더 기판을 스크라이브하여, 브레이크 공정에 의해 복수개의 패널 기판을 취출한다.Conventionally, in a flat panel display (FPD) such as a liquid crystal display panel, a liquid crystal projector substrate, or the like, the mother glass substrate is bonded in a manufacturing process and then divided into a single panel having a predetermined size. The breaking of the brittle material substrate such as the mother glass substrate includes a scribing step and a breaking step, and a scribing device is used in the scribing step. In manufacture of FPD, one mother substrate is scribed and several panel substrate is taken out by a brake process.
스크라이브 장치에는, 예를 들면 특허문헌 1에 나타나는 바와 같이, 취성 재료 기판을 올려놓고 보지(holding)하는 테이블과, 취성 재료 기판(brittle material substrate)에 대하여 상대적으로 수평 방향으로 이동할 수 있고, 상하 방향으로도 이동이 자유로운 스크라이브 헤드가 설치되어 있다. 스크라이브 헤드의 하단부(下端部)에는, 스크라이빙 휠을 보지하는 홀더 조인트가 부착되어 있다. 홀더 조인트는 그 하단에 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 보지하는 것이다.In the scribe device, for example, as shown in
그런데 이러한 종래의 스크라이브 장치에 있어서, 스크라이브 헤드의 홀더 조인트에는 스크라이빙 휠의 회전축을 따르는 동작에 의해 회동시키도록 하기 위해, 스크라이빙 휠이 연결된 샤프트를 베어링에 의해 회전이 자유롭게 보지하고 있다. 그 때문에 유리 등의 취성 재료 기판을 스크라이브하거나 분단할 때에, 미소한 컬릿 등의 이물이 베어링에 혼입되기 쉬워, 동작 불량의 원인이 되는 경우가 있다는 문제가 있었다.By the way, in such a conventional scribing apparatus, the holder joint of the scribing head holds the shaft connected to the scribing wheel freely by a bearing in order to rotate by the operation along the rotation axis of the scribing wheel. Therefore, when scribing or dividing a brittle material substrate such as glass, foreign matters such as minute cullets tend to be mixed in the bearing, which may cause a malfunction.
본 발명은 이러한 종래의 문제점에 착안하여 이루어진 것으로서, 베어링으로의 컬릿 등의 혼입을 방지할 수 있도록 한 홀더 조인트를 제공하는 것을 목적으로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of such a conventional problem, and an object thereof is to provide a holder joint capable of preventing mixing of a cullet or the like into a bearing.
이 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 홀더 조인트는, 스크라이빙 휠이 하단에 부착되는 킹핀과, 상기 킹핀의 상하에 각각 부착되어, 상기 킹핀을 회동이 자유롭게 보지하는 제1, 제2 베어링과, 상기 제2 베어링의 하방에 설치된 원통형의 킹핀 고정부와, 상기 킹핀 고정부의 하면을 덮는 플랜지부를 갖는 원통형의 베어링 커버를 구비하고, 상기 킹핀 고정부의 하면 및 베어링 커버의 플랜지부는, 래버린스(labyrinth) 구조를 갖는 것이다.In order to solve this problem, the holder joint of the present invention includes a king pin to which a scribing wheel is attached to the lower end, and first and second bearings respectively attached to the upper and lower portions of the king pin to freely hold the king pin. And a cylindrical bearing cover having a cylindrical king pin fixing portion provided below the second bearing and a flange portion covering a lower surface of the king pin fixing portion, and a lower surface of the king pin fixing portion and a flange portion of the bearing cover include a lever. It has a rinse (labyrinth) structure.
여기에서 상기 베어링 커버의 플랜지부는, 상향의 환상 돌기를 갖는 것이며, 상기 킹핀 고정부는, 하면에 상기 베어링 커버의 플랜지부의 환상 돌기와 걸어 맞추는 환상 홈을 갖도록 해도 좋다.The flange portion of the bearing cover may have an upward annular projection, and the king pin fixing portion may have an annular groove that engages with an annular projection of the flange portion of the bearing cover on a lower surface thereof.
여기에서 상기 베어링 커버의 플랜지부는, 환상 홈을 갖는 것이며, 상기 킹핀 고정부는, 하면에 상기 베어링 커버의 플랜지부의 환상 홈에 걸어 맞추는 하향의 환상 돌기를 갖도록 해도 좋다.The flange portion of the bearing cover may have an annular groove, and the king pin fixing portion may have a downward annular projection that engages with an annular groove of the flange portion of the bearing cover on the lower surface.
이러한 특징을 갖는 본 발명에 의하면, 스크라이브 헤드를 이용하여 스크라이브할 때에 취성 재료 기판으로부터 발생하는 컬릿 등의 미소한 이물이 베어링에 혼입되는 것을 막을 수 있다. 그 때문에 이물의 혼입에 수반되는 동작 불량을 미연에 방지할 수 있어, 스크라이브 동작을 안정시킬 수 있다는 효과가 얻어진다.According to the present invention having such a feature, it is possible to prevent the incorporation of fine foreign matter such as curls generated from a brittle material substrate into the bearing when scribing using a scribe head. Therefore, an operation defect accompanying mixing of foreign matter can be prevented beforehand, and the effect that a scribe operation can be stabilized is acquired.
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 홀더 조인트의 정면도이다.
도 2는 본 실시 형태에 따른 홀더 조인트의 측면 및 단면도이다.
도 3은 본 실시 형태에 따른 홀더 조인트의 일부 절결 사시도이다.
도 4는 본 실시 형태에 따른 킹핀을 나타내는 도면이다.
도 5는 본 실시 형태의 킹핀 고정부를 나타내는 도면이다.
도 6은 본 실시 형태의 베어링 커버를 나타내는 도면이다.
도 7은 본 실시 형태의 홀더 조인트가 부착되는 홀더 플랜지를 나타내는 도면이다.1 is a front view of a holder joint according to an embodiment of the present invention.
2 is a side view and a cross-sectional view of the holder joint according to the present embodiment.
3 is a partially cutaway perspective view of the holder joint according to the present embodiment.
4 is a view showing a king pin according to the present embodiment.
5 is a view showing a king pin fixing part of the present embodiment.
6 is a view showing a bearing cover of the present embodiment.
It is a figure which shows the holder flange with which the holder joint of this embodiment is attached.
(발명을 실시하기 위한 형태)(Mode for carrying out the invention)
도 1은 본 발명의 실시 형태에 따른 홀더 조인트의 정면도, 도 2의 우측은 그 측면도, 좌측은 단면도이며, 도 3은 일부를 절결(cut-away)한 상태를 나타내는 사시도이다. 이들 도면에 나타내는 바와 같이 홀더 조인트(10)는 중앙에 원주 형상의 킹핀(11)을 갖고 있다. 이 킹핀(11)의 원주 형상부에는, 상부와 중앙부에 킹핀(11)을 회동이 자유롭게 보지하기 위한 제1, 제2 베어링(12, 13)이 원통형의 스페이서(14)를 끼워 설치되어 있다. 또한 킹핀(11)의 하방에는 킹핀 고정부(15)와 베어링 커버(16)가 설치된다.BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS The front view of the holder joint which concerns on embodiment of this invention, the right side of FIG. 2 is the side view, the left side is sectional drawing, and FIG. 3 is a perspective view which shows the state which cut-away partly. As shown in these figures, the
다음으로 각 부재에 대해서 보다 상세하게 설명한다. 킹핀(11)은 도 4(a)에 평면도, (b)에 정면도, (c)에 측면도 및, (d)에 사시도를 나타내는 바와 같이, 원주부(11a)와 스크라이빙 휠 보지부(11b)에 의해 구성되어 있다. 원주부(11a)의 상면에는 나사홈(11c)과 나사홈(11c)의 측방에 돌기(11d)를 갖고 있다. 스크라이빙 휠 보지부(11b)는 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 보지하는 것으로, 정면과 배면이 평행한 대략 삼각 형상의 평면을 갖고, 측면이 원호 형상으로 형성되어 있고, 그 평면에 평행하게 하방으로부터 슬릿(11e)이 형성된다. 슬릿(11e)에 연통(communicating)하도록 하단부에 관통구멍(11f)이 형성되고, 이 관통구멍(11f)에 도시하지 않은 핀을 관통시킴으로써, 스크라이빙 휠을 회전이 자유롭게 부착할 수 있다.Next, each member is demonstrated in detail. The
킹핀 고정부(15)는 도 5(a)에 단면도, (b)에 그 저면도, (c)에 사시도를 나타내는 바와 같이, 원통형의 부재로서, 원통부(15a)의 중앙 외주부에는 V자형의 홈(15b)이 형성되어 있다. 또한 하방에는 측벽의 전(全)둘레에 걸쳐 단면(斷面)이 오목자형의 환상 홈(15c)이 형성되어 있다.The king
킹핀 고정부(15)의 내경(內徑) 내에는 베어링 커버(16)가 설치된다. 베어링 커버(16)는 도 6(a)에 평면도, (b)에 단면도, (c)에 사시도를 나타내는 바와 같이, 원통형의 부재로서, 원통부(16a)의 하방에는 플랜지부(16b)를 갖고, 내주경이 크게 형성되어 있다. 그리고 그 플랜지부(16b)의 상면에는 전 둘레에 걸쳐 환상 돌기(16c)가 형성되고, 그 내측은 환상 홈(16d)으로 되어 있다.The
다음으로 이 실시 형태에 따른 홀더 조인트(10)의 조립에 대해서 설명한다. 우선 킹핀(11)의 원주부(11a)에 베어링 커버(16), 킹핀 고정부(15), 베어링(13), 스페이서(14) 및 베어링(12)을 이 순서로 삽입한다. 이에 따라 베어링 커버(16)의 하단은 킹핀(11)의 스크라이빙 휠 보지부(11b)의 상면에 맞닿아 탈락하지 않도록 보지된다. 스크라이빙 휠 보지부(11b)에는, 슬릿(11e)에 스크라이빙 휠(17)을 통하여 핀(18)을 관통시키고, 외측으로부터 핀 고정부(19)를 나사(20)에 의해 나사 고정함으로써, 스크라이빙 휠(17)을 회전이 자유롭게 보지할 수 있다. 또한 킹핀(11)의 상부에는 킹핀(11)을 회전시키기 위한 연결 보스(21)를 볼트(22)에 의해 고정한다.Next, the assembly of the
이에 따라 도 2에 나타내는 바와 같이 베어링 커버(16)의 원통부(16a)의 상면은 베어링(13)의 내륜(內輪)에 맞닿는다. 또한 원통부(16a)는 근소한 간격(gap)을 통하여 킹핀 고정부(15)의 원통부(15a) 내에 삽입되고, 그 원통부(15a)의 상면은 베어링(13)의 외륜(外輪)에 맞닿는다. 베어링 커버(16)의 플랜지부(16b)의 상향의 환상 돌기(16c)는 킹핀 고정부(15)의 환상 홈(15c)과 걸어 맞추는 래버린스 구조로 되어 있다.As a result, as shown in FIG. 2, the upper surface of the cylindrical portion 16a of the
그리고 이와 같이 하여 구성된 홀더 조인트(10)는, 하방의 베어링(13)보다 상부는 도 7에 나타내는 홀더 플랜지(30)에 압입된다. 홀더 플랜지(30)는 상부가 개구를 갖고 있고, 하방의 원통 부분에 금속 칼라(metal collar;31)가 부착되어, 베어링(12, 13)을 변형하지 않도록 보지하고 있다. 이 홀더 플랜지(30)의 하방에는 도시하지 않은 아래 헤드 커버가 설치된다. 아래 헤드 커버는 킹핀 고정부의 V자홈(15b)에 고정 나사를 돌출시켜 고정된다.And the
이 상태에서 스크라이브 헤드가 취성 재료 기판 상을 스크라이브 할 때에는, 미소한 컬릿이 상부에 비산하는 경우가 있다. 그러나 이 실시 형태에서는 베어링 커버(16)에 의해 킹핀 고정부(15)의 개구부가 밀봉되어 있고, 또한 그 외주부의 환상 돌기(16c)와 킹핀 고정부(15)의 환상 홈(15c)에 의해 래버린스 구조가 형성되어 있다. 따라서 킹핀 고정부(15)과 베어링 커버(16)의 틈(clearance)에는 거의 컬릿은 파고들지 않아, 컬릿이 베어링(13)을 손상시킬 가능성이 거의 없어진다.In this state, when the scribe head scribes on the brittle material substrate, the fine cullets may scatter on the upper part. However, in this embodiment, the opening of the king
또한 본 실시 형태에서는 베어링 커버(16)의 플랜지부에 상향의 환상 돌기를 설치하고, 킹핀 고정부의 하면에 환상 홈을 형성하여 이들을 걸어 맞추도록 래버린스 구조를 형성하고 있다. 이를 대신하여 베어링 커버의 플랜지부에 환상 홈을 형성하고, 킹핀 고정부의 하면에 하향의 환상 돌기를 형성하도록 해도 좋다. 또한 어느 한쪽의 환상 돌기를 2중 형상으로 하고, 다른 한쪽의 환상 홈을 2중으로 형성하면, 컬릿의 혼입이 보다 적은 래버린스 구조를 형성할 수 있다.Moreover, in this embodiment, an upward annular protrusion is provided in the flange part of the bearing
본 발명은 스크라이브 헤드의 승강 기구에 컬릿 등의 혼입을 방지할 수 있어, 스크라이브 장치에 적합하게 이용할 수 있다.The present invention can prevent mixing of cullets and the like into the lifting mechanism of the scribe head, and can be suitably used for a scribe device.
10 : 홀더 조인트
11 : 킹핀
11a : 원주부
11b : 스크라이빙 휠 보지부
11c : 나사홈
11d : 돌기
11e : 슬릿
11f : 관통구멍
12, 13 : 베어링
14 : 스페이서
15 : 킹핀 고정부
15a : 원통부
15b : V자홈
15c : 환상 홈
16 : 베어링 커버
16a : 원통부
16b : 플랜지부
16c : 환상 돌기
16d : 환상 홈
17 : 스크라이빙 휠
18 : 핀
19 : 핀 고정부
20 : 나사
21 : 연결 보스
22 : 볼트
30 : 홀더 플랜지
31 : 금속 칼라10: holder joint
11: king pin
11a: circumference
11b: scribing wheel pussy
11c: screw groove
11d: protrusion
11e: slit
11f: through hole
12, 13: bearing
14: spacer
15: king pin fixing part
15a: cylindrical part
15b: V-shaped groove
15c: fantasy home
16: bearing cover
16a: cylindrical part
16b: flange
16c: annular protrusion
16d: illusion home
17: scribing wheel
18: pin
19: pin fixing part
20: screw
21: Connect Boss
22: bolt
30: holder flange
31: metal collar
Claims (3)
상기 킹핀의 상하에 각각 부착되어, 상기 킹핀을 회동이 자유롭게 보지(holding)하는 제1, 제2 베어링과,
상기 제2 베어링의 하방에 설치된 원통형의 킹핀 고정부와,
상기 킹핀 고정부의 하면을 덮는 플랜지부를 갖는 원통형의 베어링 커버를 구비하고,
상기 킹핀 고정부의 하면 및 베어링 커버의 플랜지부는, 래버린스 구조를 갖는 홀더 조인트.A king pin with a scribing wheel attached to the bottom,
First and second bearings attached to the upper and lower sides of the king pin, respectively, to hold the king pin freely in rotation;
Cylindrical king pin fixing portion provided below the second bearing,
A cylindrical bearing cover having a flange portion covering a lower surface of the king pin fixing portion,
A holder joint having a lower surface of the king pin fixing portion and a flange portion of the bearing cover has a labyrinth structure.
상기 베어링 커버의 플랜지부는, 상향의 환상 돌기를 갖는 것이며,
상기 킹핀 고정부는, 하면에 상기 베어링 커버의 플랜지부의 환상 돌기와 걸어맞추는 환상 홈을 갖는 홀더 조인트.The method of claim 1,
The flange portion of the bearing cover has an upward annular protrusion,
The king pin fixing portion has a holder joint having an annular groove on the lower surface to engage with the annular projection of the flange portion of the bearing cover.
상기 베어링 커버의 플랜지부는, 환상 홈을 갖는 것이며,
상기 킹핀 고정부는, 하면에 상기 베어링 커버의 플랜지부의 환상 홈에 걸어맞추는 하향의 환상 돌기를 갖는 홀더 조인트.The method of claim 1,
The flange portion of the bearing cover has an annular groove,
And the king pin fixing portion has a downward annular projection which is engaged with an annular groove of a flange portion of the bearing cover on a lower surface thereof.
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Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2014188729A (en) * | 2013-03-26 | 2014-10-06 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | Scribing wheel, scribing device, and method of manufacturing scribing wheel |
JP2015048260A (en) * | 2013-08-30 | 2015-03-16 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Scribing wheel, holder unit, and scribing device |
CN103936273B (en) * | 2014-04-01 | 2016-05-11 | 深圳市华星光电技术有限公司 | A kind of cutter sweep |
JP7109041B2 (en) * | 2017-09-29 | 2022-07-29 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Cutter holder mounting structure, cutter holder and holder joint |
JP7398093B2 (en) * | 2019-12-13 | 2023-12-14 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | Cutter holder mounting structure and cutter holder |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10100140A (en) | 1996-09-30 | 1998-04-21 | Tokyo Seiko Co Ltd | Wire type cutting apparatus |
JP2005213116A (en) | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Sony Corp | Scribing device |
JP2010000744A (en) | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | Holder joint, holder unit, scribing head, and scribing device |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3573216B2 (en) * | 1994-03-22 | 2004-10-06 | 旭硝子株式会社 | Method and apparatus for cutting sheet glass |
JP3451210B2 (en) * | 1998-11-24 | 2003-09-29 | 旭ダイヤモンド工業株式会社 | Seal structure of pneumatic rotating device |
-
2010
- 2010-09-06 JP JP2010198855A patent/JP2012056779A/en active Pending
-
2011
- 2011-06-01 TW TW100119282A patent/TWI447082B/en not_active IP Right Cessation
- 2011-06-02 CN CN2011101544339A patent/CN102381837A/en active Pending
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Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH10100140A (en) | 1996-09-30 | 1998-04-21 | Tokyo Seiko Co Ltd | Wire type cutting apparatus |
JP2005213116A (en) | 2004-01-30 | 2005-08-11 | Sony Corp | Scribing device |
JP2010000744A (en) | 2008-06-23 | 2010-01-07 | Mitsuboshi Diamond Industrial Co Ltd | Holder joint, holder unit, scribing head, and scribing device |
Also Published As
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CN102381837A (en) | 2012-03-21 |
TWI447082B (en) | 2014-08-01 |
KR20120025373A (en) | 2012-03-15 |
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GRNT | Written decision to grant | ||
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