KR101186420B1 - Control method of measurement device - Google Patents

Control method of measurement device Download PDF

Info

Publication number
KR101186420B1
KR101186420B1 KR1020040094529A KR20040094529A KR101186420B1 KR 101186420 B1 KR101186420 B1 KR 101186420B1 KR 1020040094529 A KR1020040094529 A KR 1020040094529A KR 20040094529 A KR20040094529 A KR 20040094529A KR 101186420 B1 KR101186420 B1 KR 101186420B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
measuring point
heads
measurement
measuring
head
Prior art date
Application number
KR1020040094529A
Other languages
Korean (ko)
Other versions
KR20060023505A (en
Inventor
가즈히로 데구치
Original Assignee
신토 에스 프레시젼 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 신토 에스 프레시젼 가부시키가이샤 filed Critical 신토 에스 프레시젼 가부시키가이샤
Publication of KR20060023505A publication Critical patent/KR20060023505A/en
Application granted granted Critical
Publication of KR101186420B1 publication Critical patent/KR101186420B1/en

Links

Images

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/02—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring length, width or thickness
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01B—MEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B9/00—Measuring instruments characterised by the use of optical techniques
    • G01B9/02—Interferometers
    • G01B9/02049—Interferometers characterised by particular mechanical design details
    • G01B9/0205—Interferometers characterised by particular mechanical design details of probe head
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M11/00—Testing of optical apparatus; Testing structures by optical methods not otherwise provided for
    • G01M11/02—Testing optical properties
    • G01M11/0242—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations
    • G01M11/025—Testing optical properties by measuring geometrical properties or aberrations by determining the shape of the object to be tested
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/0002—Inspection of images, e.g. flaw detection
    • G06T7/0004—Industrial image inspection
    • G—PHYSICS
    • G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
    • G06T—IMAGE DATA PROCESSING OR GENERATION, IN GENERAL
    • G06T7/00—Image analysis
    • G06T7/60—Analysis of geometric attributes
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/01—Arrangements or apparatus for facilitating the optical investigation
    • G01N2021/0181—Memory or computer-assisted visual determination

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Geometry (AREA)
  • Computer Vision & Pattern Recognition (AREA)
  • Theoretical Computer Science (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)
  • Quality & Reliability (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)

Abstract

다수의 측정대상을 동시에 측정하는데 요하는 측정시간을 단축하기 위하여, 헤드(20)(22)의 이동목적지를 나타내는 측정포인트를 설정하고, 설정된 측정포인트의 좌표를 토대로 Y축 구동부(26)를 구동시켜 헤드(20)(22) 전체를 측정포인트 근방까지 이동시키고, 그 후 헤드(20)(22)에 탑재된 카메라의 촬상에 따른 화상을 처리하고, 그 처리결과를 기초로, 헤드(20)(22)를 각각 비동기로 X축용 프레임(12)을 따라 이동시킴과 아울러, Y1S축 또는 Y2S축을 따라 미동시켜서, 각 헤드(20)(22)를 측정포인트에 위치결정하고, 헤드(20)(22)에 탑재된 카메라(54)의 촬상에 따른 화상을 PC(30)로 처리하여, 측정테이블(18) 위의 플랫트 판넬(42)의 패턴의 미소칫수를 측정한다.

Figure R1020040094529

In order to shorten the measurement time required for simultaneously measuring a plurality of measurement objects, a measurement point indicating a moving destination of the heads 20 and 22 is set, and the Y-axis driving unit 26 is driven based on the coordinates of the set measurement points. The whole head 20, 22 is moved to the vicinity of a measuring point, and the image which concerns on the imaging of the camera mounted in the head 20, 22 is processed, and the head 20 is based on the process result. Each of the heads 20 and 22 is positioned at the measurement point by asynchronously moving the 22 along the X-axis frame 12 asynchronously along the Y1S-axis or the Y2S-axis, respectively. The image according to the imaging of the camera 54 mounted in 22 is processed by the PC 30, and the micro-dimension of the pattern of the flat panel 42 on the measurement table 18 is measured.

Figure R1020040094529

Description

측정장치의 제어방법{Control method of measurement device} Control method of measurement device             

도 1은 본 발명상의 측정장치의 일실시예로서의 사시도.1 is a perspective view as one embodiment of the measuring device of the present invention.

도 2는 본 발명상의 측정장치의 일실시예로서의 사시도로서, 헤드를 생략한 상태를 나타내는 사시도.2 is a perspective view of one embodiment of the measuring device according to the present invention, showing a state in which the head is omitted.

도 3은 본 발명상의 측정장치의 일실시예를 나타낸 블럭구성도.Figure 3 is a block diagram showing an embodiment of the measuring device according to the present invention.

도 4는 플랫판넬의 평면도.4 is a plan view of a flat panel.

도 5는 측정패턴의 확대평면도.5 is an enlarged plan view of a measurement pattern.

도 6은 풀크로즈드 루프(full closed loof) 제어계의 구성도.6 is a block diagram of a full closed loop control system.

도 7은 본 발명상의 측정장치 작용설명을 위한 플로우챠트.7 is a flow chart for explaining the operation of the measuring device according to the present invention.

도 8은 측정패턴중심이 화상의 중심으로부터 벗어나 있는 때의 확대평면도.8 is an enlarged plan view when the measurement pattern center is out of the center of the image.

도 9는 측정패턴의 중심을 화상의 중심에 합친 때의 확대평면도.9 is an enlarged plan view when the center of the measurement pattern is combined with the center of the image.

도 10은 측정포인트를 측정순으로 나란히 바꾸었을 때의 작용설명을 위한 플로우챠트.10 is a flowchart for explaining the operation when the measuring point is changed side by side in the order of measurement.

도 11은 다수의 측정포인트 배열의 일례를 나타낸 평면도.
11 is a plan view showing an example of the arrangement of a plurality of measuring points.

<도면의 주요부분에 대한 부호설명> <Code Description of Main Parts of Drawing>                 

10. 멀티헤드 측장기 12. X축용 프레임10. Multihead measuring machine 12. Frame for X axis

14. Y축용 프레임 16. 기대14. Y-axis frame 16. Expectation

18. 측정테이블 20, 22. 헤드(head)18. Measuring table 20, 22. Head

24. X축 구동부 26. Y축 구동부24. X-axis driver 26. Y-axis driver

28. Z축 구동부 30, 32. PC28.Z axis drive part 30, 32.PC

42. 플랫트 판넬 44. 액정모니터42. Flat Panel 44. LCD Monitor

54. 카메라 60, 62. Z축 서보모터54. Camera 60, 62. Z-axis servomotor

74, 76. Y축 서보모터
74, 76.Y-axis servo motor

본 발명은 피측정물을 피사체로 촬상하고, 이 촬상(撮像)으로 얻어진 화상을 처리하여 피측정물의 미소칫수를 측정하는 측정장치의 제어방법에 관한 것이다.This invention relates to the control method of the measuring apparatus which image | photographs a to-be-measured object with a subject, processes the image obtained by this imaging, and measures the micro dimension of a to-be-measured object.

피측정물의 미소칫수를 측정하는 것으로서, 예컨데 평행하게 연설된 가이드레일상에 슬라이드 이동이 자유롭게 배치된 X-축 프레임(frame)과, 이 X축 프레임을 가이드레일을 따라 Y축 방향으로 이동시키는 Y축 구동부(驅動部)와, X축 프레임의 길이방향을 따라 슬라이드 이동이 자유롭게 배치된 검출부와, 이 검출부를 X축 프레임을 따라 X축 방향으로 이동시키는 X축 구동부(驅動部)와, 검출부의 하방으로부터 피측정물을 조사(照射)하는 광원부(光源部)를 구비하고, 검출부를 2차원 방향으로 이동시켜서, 피측정물 위의 패턴의 선폭(線幅) 등을 측정하도록 한 2차원 측정기가 일본 특개평7-12512호(2~4페이지, 도 1) 공보로 알려져 있다.An X-axis frame in which slide movement is freely arranged on a guide rail that is parallelly spoken, for example, to measure the micro-dimension of the object to be measured, and Y which moves the X-axis frame along the guide rail in the Y-axis direction. An axis drive unit, a detector in which slide movement is freely arranged along the longitudinal direction of the X axis frame, an X axis drive unit for moving the detection unit along the X axis frame in the X axis direction, and a detection unit A two-dimensional measuring device including a light source unit for irradiating an object to be measured from below and moving the detection unit in a two-dimensional direction to measure the line width of the pattern on the object to be measured, etc. Japanese Patent Laid-Open No. 7-12512 (pages 2 to 4, Fig. 1) is known.

종래의 2차원 측정기에는, 1대의 검출부로, 피측정물을 측정하도록 하고 있으므로, 피측정물에 다수의 측정부위가 설정되어 있어도, 다수의 측정부위를 동시에 측정할 수가 없어 측정시간을 단축하는 데는 충분하지 않았다.In the conventional two-dimensional measuring device, since one object is measured by one detection unit, even if a plurality of measurement sites are set in the object to be measured, many measurement sites cannot be measured at the same time. It wasn't enough.

측정시간을 단축하는 데는, 검출부를 다수 준비하고, 각 검출부를 각 측정부위까지 동시에 이동시키는 구성을 채용해야 할 것으로 생각된다. 그러나, 검출부를 다수 준비하고, 각 검출부를 각 측정부위까지 동시에 이동시킴에 있어, 예컨데 각 검출부를 독립적으로 구동하는 구동계를 구성한 것으로는 구동계의 구성이 복잡하게 되어 구동계 구성으로는 각 검출부가 서로 간섭하고, 각 검출부를 각 측정부위까지 동시에 이동시킬 수가 없게 되는 문제가 있다. 또한, 다수의 측정부위(측정포인트) 중에서 처리에 적합한 측정부위를 추출하고, 추출한 측정부위를 각 검출부의 이동선(移動先), 즉 이동목적지로서 점차 나누어지게 충분히 배려할 필요가 있다.In order to shorten a measurement time, it is thought that the structure which prepares many detection parts and moves each detection part to each measurement part simultaneously is considered. However, when a large number of detection units are prepared and each detection unit is simultaneously moved to each measurement unit, the configuration of the drive system for driving each detection unit independently complicates the configuration of the drive system. In addition, there is a problem that it is impossible to simultaneously move each detection unit to each measurement unit. In addition, it is necessary to consider enough to extract a measurement site suitable for processing from a plurality of measurement sites (measurement points), and to gradually divide the extracted measurement site into moving lines, i.e., moving destinations, of each detection unit.

본 발명은, 상기 종래 기술상의 과제에 비추어 된 것으로, 그 목적은 다수의 측정대상을 동시에 측정하는데 요하는 측정시간을 단축하는 것에 있다. 또한, 다른 목적은 다수의 측정대상을 동시에 측정할 때, 다수의 헤드의 이동목적지를 나타내는 다수의 측정포인트 중에서 이동에 적합한 측정포인트를 추출하여, 각 헤드로 점차 나누도록 하는 데 있다.
The present invention has been made in view of the above problems in the prior art, and its object is to shorten the measurement time required for simultaneously measuring a large number of measurement objects. Another object of the present invention is to extract a measuring point suitable for movement from among a plurality of measuring points representing a moving destination of a plurality of heads when simultaneously measuring a plurality of measurement targets, and to divide the measurement points gradually into respective heads.

(과제를 해결하기 위한 수단)(MEANS FOR SOLVING THE PROBLEMS)

상기 목적을 달성하기 위해, 청구항 1항에 관한 측정장치의 제어방법으로서는, 피측정물상의 패턴을 촬상대상으로 하는 다수의 헤드(head)와, 상기 피측정물에 임(臨)하는, 즉 상기 피측정물을 향하는 공간을 상기 다수의 헤드의 이동영역으로서, 상기 다수의 헤드를 상기 이동영역에 걸쳐서 이동시키는 구동부(驅動部)와, 이 구동부의 구동을 제어하는 제어부(制御部)와, 상기 다수의 헤드의 촬상에 의한 화상을 처리하여 상기 패턴에 관한 미소칫수를 산출하는 화상처리부(畵像處理部)를 구비한 측정장치를 제어할 때에, 상기 다수의 헤드의 이동 목적지를 나타내는 측정포인트를 각각 상기 공간의 좌표에 대응시켜 설정하고, 이 설정된 측정포인트의 좌표를 기초로 상기 다수의 베드 전체를 상기 공간중 1차원 방향을 따라 이동시키고, 그 후 상기 다수의 헤드를 상기 공간중 1차원 또는 2차원 방향을 따라 각각 비동기로 이동시켜 위치결정한다. 이 위치 결정된 다수의 헤드에 의해 상기 패턴을 각각 촬상하고, 이 다수의 헤드의 촬상에 따른 패턴의 화상을 각각 처리하여, 상기 패턴의 미소칫수를 측정하는 구성으로 하였다.In order to achieve the above object, as a control method of the measuring apparatus according to claim 1, a plurality of heads having a pattern on an object to be measured as an object to be imaged and the object to be measured, i.e., A space that faces the object to be measured as a moving area of the plurality of heads, a drive unit for moving the plurality of heads over the moving area, a control unit controlling the driving of the drive unit, and When controlling a measuring device having an image processing unit for processing images by imaging of a plurality of heads and calculating a small dimension for the pattern, a measuring point indicating a moving destination of the plurality of heads is determined. Each of the plurality of beds is set along the one-dimensional direction of the space based on the coordinates of the set measurement point, and then set in correspondence with the coordinates of the space. The heads are positioned asynchronously in the one-dimensional or two-dimensional direction of the space, respectively. The said plurality of heads which were positioned were imaged respectively, the image of the pattern according to the imaging of these many heads was respectively processed, and the micro dimension of the said pattern was measured.

다수의 헤드를 각각 지정하는 지정포인트까지 이동시킬 때, 측정포인트의 좌표를 기초로 다수의 헤드를 1차원 방향을 따라 이동시킨 후, 다수의 헤드를 1차원 또는 2차원 방향을 따라 각각 비동기로 이동시켜서 위치결정하도록 하였으므로, 각 헤드를 지정된 측정포인트까지 이동시키는데 요하는 시간을 단축시킬 수가 있고, 다수의 헤드로 각각 패턴(측정대상)에 관한 미소칫수를 측정하는데 요하는 측정시간(턱트타임:takt time)을 단축시킬 수가 있다. 즉, 다수의 헤드 전체를 측정포인트의 근방까지 이동시킨 후 다수의 헤드를 각각 비동기로 이동시켜서 측정포인트 위치에 위치결정하므로써, 다수헤드를 각각 신속히 그리고 정확한 측정포인트로 위치결정할 수가 있어 측정시간의 단축이 가능해 진다.When moving a plurality of heads to a designated point, each of which moves a plurality of heads along the one-dimensional direction based on the coordinates of the measuring point, and then move the heads asynchronously along the one-dimensional or two-dimensional direction, respectively The positioning time can be shortened, so that the time required to move each head to a designated measuring point can be shortened, and the measurement time required to measure the micro-dimensions related to the pattern (measurement object) with a plurality of heads (tact time: takt time can be shortened. That is, by moving the entire head to the vicinity of the measuring point and moving the heads asynchronously to each other to position the measuring point position, the multiple heads can be quickly and precisely positioned at each measuring point, reducing measurement time. This becomes possible.

청구항 2에 관한 측정장치의 제어방법에 있어서는, 청구항 1에 기재된 측정장치의 제어방법에서, 상기 설정된 측정포인트의 좌표를 기초로 상기 다수의 헤드 전체를 상기 공간중 1차원 방향을 따라 이동시킬 때, 상기 다수의 헤드로 피측정물을 촬상함과 아울러 촬상에 의한 화상을 처리하고, 이 처리결과를 토대로 상기 다수의 헤드를 상기 공간중 1차원 방향 또는 2차원 방향을 따라 각각 비동기로 이동시켜서, 상기 다수의 헤드를 상기 설정된 측정포인트에 대응한 위치로 위치결정하는 구성으로 하였다.In the control method of the measuring device according to claim 2, in the control method of the measuring device according to claim 1, when the whole of the plurality of heads are moved along the one-dimensional direction in the space based on the coordinates of the set measuring point, The object to be photographed is photographed by the plurality of heads, and the image by imaging is processed, and the plurality of heads are moved asynchronously along the one-dimensional or two-dimensional direction of the space based on the processing result. A plurality of heads were configured to position at a position corresponding to the set measurement point.

다수의 헤드전체를 측정포인트 근방까지 이동시킨 때에, 각 헤드로 피측정물을 촬상하여 그 화상을 처리하고, 이 처리결과를 토대로 다수의 헤드를 각각 비동기로 1차원 방향 또는 2차원 방향을 따라 이동시킴으로써, 다수의 헤드를 각각 측정포인트 위치로 정확히 위치결정할 수가 있다. 즉, 다수의 헤드를 측정포인트 근방에 각각 이동시킨 때, 다수의 헤드에 의해, 촬상된 화상을 처리하고, 이 처리된 결과를 피드백 시켜서 각 헤드를 위치결정함으로써 각 헤드를 각각 지정된 측정포인트에 정확히 위치결정할 수 있는 것이다.When the entire head is moved to the vicinity of the measuring point, the head is imaged by each head and the image is processed. Based on the result of the processing, the head is moved asynchronously in the one-dimensional or two-dimensional direction, respectively. In this way, a plurality of heads can be accurately positioned at the respective measuring point positions. That is, when a plurality of heads are respectively moved near the measuring point, the plurality of heads process the picked-up image, feed back the processed result, and position each head to precisely position each head to the designated measuring point. It can be positioned.

상기 다른 목적을 달성하기 위해서, 청구항 3에 관한 측정포인트 배분 프로 그램은, 다수의 헤드의 이동영역에 배치된 피측정물에 대한 다수의 측정포인트의 위치정보를 기계좌표로 변환하는 좌표변환수단(座標變換手段)과, 이 좌표변환수단으로 좌표변환된 각 측정포인트의 좌표를 토대로 기계좌표의 원점과의 거리가 적선을 따라 변화하는 측정포인트를 상기 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하고, 이 추출된 측정포인트를 다수의 헤드중 한쪽 헤드에 관한 측정포인트로서 측정순서에 대응시켜 설정하는 제 1측정포인트 설정수단(第 1測定point 設定手段)과, 이 좌표변환수단에 의해 좌표변환된 각 측정포인트의 좌표를 토대로, 제 1측정포인트 설정수단으로 순차적으로 설정된 각 측정포인트로부터 일정한 거리이상 떨어진 위치에 존재하는 측정포인트를 상기 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하고, 추출된 측정포인트를 상기 다른쪽 헤드에 관한 측정포인트로서 측정순서에 대응시켜 설정하는 제 2측정포인트 설정수단(第 2測定point 設定手段)을 콤퓨터로 실행시키는 구성으로 하였다.In order to achieve the above another object, the measuring point distribution program according to claim 3 is characterized in that the coordinate conversion means for converting the position information of the plurality of measuring points with respect to the measured object arranged in the moving area of the plurality of heads into machine coordinates ( 측정 手段) and based on the coordinates of each measuring point transformed by this coordinate converting means, the measuring point whose distance from the origin of the machine coordinate changes along with the red line is sequentially extracted from the plurality of measuring points, and extracted First measurement point setting means (第 1 測定 手 設) for setting the measured measurement point in correspondence with the measurement procedure as a measurement point for one of the plurality of heads, and each measurement point coordinate-converted by this coordinate conversion means. Based on the coordinates of the A second measuring point setting means (2nd predetermined point setting means) for sequentially extracting a measuring point from among the plurality of measuring points and setting the extracted measuring point in correspondence with the measurement order as the measuring point for the other head; It was set as the structure run by a computer.

피측정물에 대한 다수의 측정포인트의 위치정보를 기계좌표로 변환하고, 좌표변환 된 각 측정포인트의 좌표를 토대로 기계좌표의 원점과의 거리가 직선을 따라 변화하는 측정포인트를 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하고, 추출된 측정포인트를 다수의 헤드 중 한쪽 헤드에 관한 측정포인트로서 측정순서에 대응시켜 설정한다. 다음, 설정된 각 측정포인트로부터 일정한 거리이상 떨어진 위치에 존재하는 측정포인트를 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하고, 추출된 측정포인트를 다른 쪽 헤드에 관한 측정포인트로서 측정순서에 대응시켜 설정하도록 하였으므로, 다수의 측정대상을 동시에 측정할 때, 다수의 헤드의 이동목적지를 나 타내는 다수의 측정포인트 중에서 이동거리가 최단으로 되는 측정포인트를 추출하여, 각 헤드에 순차적으로 배분할 수가 있고, 측정시간의 단축에 기여할 수가 있다.Converts the position information of multiple measuring points of the measured object to machine coordinates, and among the measuring points, the measuring points whose distance from the origin of the machine coordinates change along a straight line based on the coordinates of each converted coordinate point Extraction is performed sequentially, and the extracted measurement points are set in correspondence with the measurement procedure as measurement points for one head of the plurality of heads. Next, since the measurement points existing at positions away from each set measurement point by a predetermined distance or more are sequentially extracted from the plurality of measurement points, and the extracted measurement points are set in correspondence with the measurement order as the measurement points for the other head. When measuring multiple objects at the same time, the measuring points with the shortest moving distance can be extracted from the measuring points representing the moving destinations of the plurality of heads and distributed to each head sequentially. Can contribute.

청구항 4항에 관한 측정포인트 배분프로그램에 있어서는 청구항 3항에 기재된 측정포인트 배분프로그램에 있어서, 상기 제 1측정포인트 설정수단은 상기 좌표변환수단으로 좌표변환된 각 측정포인트의 좌표를 토대로 상기 기계좌표의 원점에 가까운 측정포인트 또는 전회에 추출된 측정포인트에 가까운 측정포인트를 상기 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하고, 상기 제 2측정포인트 설정수단은, 상기 제 1측정 포인트 설정수단으로 순차적으로 설정된 각 측정포인트의 좌표를 기준으로 하여, 상기 다른 쪽 헤드의 최대구동범위 내에 존재하고, 또한 상기 각 헤드끼리의 근접을 허용하는 최소거리보다도 큰 위치에 존재하는 측정포인트를 상기 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하여서 되는 구성으로 하였다.In the measurement point distribution program according to claim 4, in the measurement point distribution program according to claim 3, the first measurement point setting means is configured to determine the coordinates of the machine coordinates based on the coordinates of the respective measurement points coordinated by the coordinate conversion means. A measurement point close to the origin or a measurement point close to the measurement point extracted last time is sequentially extracted from the plurality of measurement points, and the second measurement point setting unit is configured to measure each measurement sequentially set by the first measurement point setting unit. Based on the coordinates of the points, the measurement points present in the maximum driving range of the other head and located at a position larger than the minimum distance allowing the proximity of the heads are sequentially extracted from the plurality of measurement points. It was set as the structure made.

한쪽의 헤드에 관한 측정포인트를 설정할 때, 좌표변환된 각 측정포인트의 좌표를 토대로 기계좌표의 원점에 가까운 측정포인트 또는 전회에 추출된 측정포인트에 가까운 측정포인트를 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하고, 다른 쪽 헤드에 관한 측정포인트를 설정할 때에는, 한쪽 헤드에 대해 설정된 측정포인트의 기준으로서, 다른 쪽 헤드의 최대구동범위내에 존재하고, 또한 각 헤드끼리의 근접을 허용하는 최소거리보다도 큰 위치에 존재하는 측정포인트를 다수의 측정포인트중에서 순차적으로 추출하도록 하였기 때문에, 각 헤드가 서로 간섭하는 일 없이, 각 헤드를 지정된 측정포인트에 신속히 이동시킬 수가 있다.
When setting the measuring point for one head, based on the coordinates of each measuring point converted into coordinates, the measuring point close to the origin of the machine coordinate or the measuring point close to the previous one is extracted sequentially. When setting the measuring point for the other head, the measuring point set for one head is present within the maximum driving range of the other head and at a position larger than the minimum distance allowing the proximity of each head. Since the measuring points to be extracted are sequentially extracted from a plurality of measuring points, each head can be quickly moved to a designated measuring point without interfering with each head.

(발명을 실시하기 위한 최량의 형태)Best Mode for Carrying Out the Invention [

다음, 본 발명 실시형태를 실시예에 따라 설명한다.Next, embodiment of this invention is described according to an Example.

도 1은 본 발명에 관한 측정장치의 일실시예로서의 사시도.1 is a perspective view as an embodiment of a measuring apparatus according to the present invention.

도 2는 본 발명 측정장치의 일실시예로서의 사시도로서 헤드를 생략한 상태의 사시도이다.Figure 2 is a perspective view of one embodiment of the measuring device of the present invention with the head omitted.

도 3은 본 발명 측정장치의 일실시예를 나타내는 블럭구성도이고, Figure 3 is a block diagram showing an embodiment of the measuring device of the present invention,

도 4는 플랫트 판넬의 평면도.4 is a plan view of a flat panel.

도 5는 측정패턴의 확대평면도. 5 is an enlarged plan view of a measurement pattern.

도 6은 풀클로즈드 루-프(full-closed loof) 제어계의 구성도.6 is a block diagram of a full-closed loof control system.

도 7은 본 발명 측정장치의 작용을 설명하기 위한 플로우챠트.7 is a flowchart for explaining the operation of the measuring device of the present invention.

도 8은 측정패턴의 중심이 화상의 중심으로부터 벗어나 있을 때의 확대평면도. 8 is an enlarged plan view when the center of the measurement pattern is out of the center of the image.

도 9는 측정패턴의 중심을 화상의 중심에 합친 때의 확대평면도. 9 is an enlarged plan view when the center of the measurement pattern is combined with the center of the image.

도 10은 측정포인트를 측정순으로 나란히 바꿀 때의 작용을 설명하기 위한 플로우챠트. 10 is a flowchart for explaining the action of changing measurement points side by side in the order of measurement.

도 11은 다수의 측정포인트의 배열의 일례를 나타내는 평면도이다.11 is a plan view illustrating an example of an arrangement of a plurality of measurement points.

이들 그림에서, 멀티헤드 측장기(測長機)(10)는 3차원 측정장치로서, X-Y좌표(기계좌표)의 X축과 평행히 배치된 X축용 프레임(12)과, X-Y좌표(기계좌표)의 Y축과 평행히 배치된 1쌍의 Y축용 프레임(14)과, 기대(16)와, 기대(16) 위에 고정된 측정테이블(18)과, X축용 프레임(12)에 서로 비동기(독립)로 이동가능하게 배치된 다수의 헤드(검출부)(20)(22)와, 각 헤드(20)(22)를 서로 비동기(독립)로 X축 방향을 따라 이동시키기 위한 X축 구동부(24)와, 헤드(20)(22) 전체를 Y축 방향을 따라 이동시키기 위한 Y축 구동부(26)와, 각 헤드(20)(22)를 서로 비동기(독립)으로 Z축 방향을 따라 이동시키기 위한 Z축 구동부(28)와, 각 구동부의 구동을 제어하기 위한 연산등을 행하는 2대의 퍼스널 콤퓨터(이하 "PC"라 함)(30)(32)와, 각 PC(30)(32)의 처리결과를 나타내는 표시장치(34)와, 각 PC(30)(32)에 각종 정보를 입력하기 위한 키보드(36)와, 각 구동부의 구동방향 등을 나타내기 위한 콘트롤박스(38) 등을 구비한 구성으로 되어 있다.In these figures, the multi-head measuring machine 10 is a three-dimensional measuring device, which is a frame 12 for an X axis arranged in parallel with the X axis of an XY coordinate (machine coordinate), and an XY coordinate (machine coordinate). A pair of Y-axis frames 14 arranged in parallel with the Y-axis, the base 16, the measurement table 18 fixed on the base 16, and the X-axis frame 12 are asynchronous to each other. A plurality of heads (detectors) 20, 22 arranged to be movable independently, and an X-axis driver 24 for moving each head 20, 22 asynchronously (independently) along the X-axis direction. ), The Y-axis driver 26 for moving the entire head 20, 22 along the Y-axis direction, and the heads 20, 22 asynchronously (independently) with each other in the Z-axis direction. Z-axis drive unit 28, two personal computers (hereinafter referred to as " PC ") 30, 32 which perform calculations for controlling the driving of each drive unit, and the like. To the display device 34 showing the processing result and to each PC 30 or 32. And a keyboard 36 for inputting information, species, has a structure provided with a control box 38, etc. for indicating the driving direction, etc. of the respective driving unit.

X축용 프레임(12)의 축방향 양단부에는 접동부(도시 안됨)가 형성되어 있고, 각 접동부는, 각 Y축용 프레임(14)을 따라 접동가능하게 구성되어 있다. X축용 프레임(12)은, Y축 구동부(26)의 구동에 따라 Y축 방향을 따라 이동할 수 있도록 되어 있고, Y축 구동부(26)는 다수의 Y축 리니어모터용 마그네트(26a)와 Y축용 리니어모터용 코일(26b)을 구비한 리니어모터로 구성되어 있다. 리니어모터의 코일(26b)이 통전되고, 코일(26b)에 대한 통전량 및 통전방향이 PC(30)에 의해 제어되면, X축 프레임(12)이 Y축 방향(Y축용 프레임 14)을 따라 이동하도록 되어 있다. 즉, Y축 구동부(26)의 구동에 따라 헤드(20)(22) 전체가 X축용 프레임(12)의 이동에 수반하여 Y축 방향을 따라 이동될 수 있도록 되어 있다. 이 경우, Y축 구동부(26)는, 헤드(20)(22)를 Y축 방향을 따라 이동시키는 주구동부를 구성하게 된다.Sliding portions (not shown) are formed at both ends of the X-axis frame 12 in the axial direction, and each sliding portion is configured to be slidable along each of the Y-axis frames 14. The X-axis frame 12 can move along the Y-axis direction according to the drive of the Y-axis driver 26, and the Y-axis driver 26 is a plurality of Y-axis linear motor magnets 26a and Y-axis. It consists of a linear motor provided with the coil 26b for linear motors. When the coil 26b of the linear motor is energized and the energization amount and energization direction with respect to the coil 26b are controlled by the PC 30, the X-axis frame 12 moves along the Y-axis direction (Y-axis frame 14). It is supposed to move. That is, according to the drive of the Y-axis drive part 26, the whole head 20, 22 can be moved along the Y-axis direction with the movement of the X-axis frame 12. As shown in FIG. In this case, the Y-axis drive unit 26 constitutes a main drive unit for moving the heads 20 and 22 along the Y-axis direction.

또한, X축용 프레임(12)에는, 각 헤드(20)(22)를 X축 방향(X축용 프레임 12) 를 따라 비동기(독립)로 이동시키기 위한 X축 구동부(24)가 배치된다. X축 구동부(24)는, X축용 프레임(12)을 따라 배치된 다수개의 X축용 리니어 모터용 마그네트(24a)와, 각 헤드(20)(22)에 탑재된 X축 리니어 모터용 코일(24b)을 구비하여 구성된다. 각 코일(24b)에 대한 통전량 및 통전방향을 PC(30)으로 제어하는 것으로, 각 헤드(20)(22)를 X축 방향을 따라 비동기(독립)로 이동시킬 수가 있다. 이 경우, 리니어모터로 구성된 X축 구동부(24)는 각 헤드(20)(22)를 X축 방향을 따라 비동기로 이동시키는 X방향용 보조구동부를 구성하게 된다.Moreover, the X-axis drive part 24 is arrange | positioned in the X-axis frame 12 for moving each head 20 and 22 asynchronously (independently) along the X-axis direction (X-axis frame 12). The X-axis drive unit 24 includes a plurality of X-axis linear motor magnets 24a disposed along the X-axis frame 12 and the X-axis linear motor coils 24b mounted on the heads 20 and 22. It is configured with. By controlling the energization amount and energization direction for each coil 24b with the PC 30, each head 20 and 22 can be moved asynchronously (independently) along the X-axis direction. In this case, the X-axis drive unit 24 formed of the linear motor constitutes an auxiliary drive unit for the X-direction which moves each head 20, 22 asynchronously along the X-axis direction.

X축용 프레임(12)과 Y축용 프레임(14)이 고정된 기대(16)는, 베이스 위에 고정된 다수의 틀체(40)로 지지되고, 기대(16) 위에는, 멀티베드 측장기(10)의 기계좌표(X-Y좌표)를 구성하는 측정테이블(18)이 배치되어 있다. 측정테이블(18)은, 양단측이 테이블 틀(18a)로 지지되고, 측정테이블(18) 위에는, 예컨데 도 4에서 보는 바와 같이, 피측정물로서의 플랫판넬(42)이 탑재되도록 되어 있다. 플랫트 판넬(42)은 대략 장방형으로 형성되고, 이 플랫트 판넬(42)에는 액정모니터(44)가 다수개 형성되어 있다. 플랫트 판넬(42)의 좌단측의 상부와 하부에는, 얼라이먼트 마크 M1, M2가 형성되어 있다. 또한, 각 액정모니터(44)에는, 측정포인트(관리포인트) P1~P4가 설정됨과 아울러 도 5에서와 같이, 측정대상으로서, 구동회로등을 구성하는 패턴 PT1, PT2...가 형성된다.The base 16 to which the X-axis frame 12 and the Y-axis frame 14 are fixed is supported by a plurality of frames 40 fixed on the base, and on the base 16, the multi-bed measuring machine 10 The measurement table 18 which comprises a machine coordinate (XY coordinate) is arrange | positioned. Both ends of the measurement table 18 are supported by the table frame 18a, and the flat panel 42 as a measurement object is mounted on the measurement table 18, for example, as shown in FIG. The flat panel 42 is formed in a substantially rectangular shape, and a plurality of liquid crystal monitors 44 are formed in the flat panel 42. Flat bit has a left end side of the upper and lower portions of the panel 42, are formed alignment marks M 1, M 2. In addition, measurement points (management points) P 1 to P 4 are set in each of the liquid crystal monitors 44, and as shown in Fig. 5, the pattern PT 1 , PT 2 ... Is formed.

헤드(20)(22)는, 플랫트 판넬(42)의 피측정영역에 배치된 액정모니터(44)에 대면하는 공간을 헤드(20)(22)의 이동영역으로 하여, 이 이동영역에서 3차원 방향 을 따라 이동가능하게 배치된다. 각 헤드(20)(22)는 헤드본체로서의 기준카메라유닛(46), 종속카메라유닛(48)을 구비한다. 기준카메라유닛(46)과 종속카메라유닛(48)은 각각 경통(鏡筒)(50)을 구비하고, 각 경통(50)내에는 플랫트 판넬(42) 위의 액정모니터(44)를 피사체로 하여, 액정모니터(44) 위의 패턴을 촬상하기 위한 촬상수단으로, 대물렌즈(52)와 카메라(54)가 수납되어 있다. 대물렌즈(52), 카메라(54)는, 전자현미경으로서의 기능을 구비하고, 액정모니터(44) 위의 패턴을 확대하여 촬상하며, 촬상된 화상에 관한 신호를 케이블(도시 안됨)에 의하여 PC(30)에 전송하도록 되어 있다. 또한, 카메라(54)로서는, 예컨데 100만 화소(畵素) 디지탈카메라가 2대, 고배율용 카메라와 중배율용 카메라로서 설치됨과 아울러, 칼라 카메라가 2대, 저배율용 카메라와 고시야용 카메라로서 설치된다. 4대의 카메라(54)는 각각 경통(50)내에 수납되고, 기준카메라유닛(46)내의 카메라(54)는 각각 PC(30)의 화상보드(56)에 접속되며, 종속카메라유닛(48)내의 카메라(54)는 각각 PC(32)의 화상보드(58)에 접속된다. The heads 20 and 22 use a space facing the liquid crystal monitor 44 arranged in the area under measurement of the flat panel 42 as the moving area of the heads 20 and 22. It is arranged to be movable along the dimensional direction. Each head 20, 22 is provided with the reference camera unit 46 and the subordinate camera unit 48 as a head body. The reference camera unit 46 and the subordinate camera unit 48 each have a barrel 50, and within each barrel 50, the liquid crystal monitor 44 on the flat panel 42 is used as a subject. The objective lens 52 and the camera 54 are housed as imaging means for imaging the pattern on the liquid crystal monitor 44. The objective lens 52 and the camera 54 have a function as an electron microscope, magnify and image a pattern on the liquid crystal monitor 44, and transmit a signal relating to the captured image to a PC (not shown) by a cable (not shown). 30). As the camera 54, for example, two 1 million pixel digital cameras are installed as a high magnification camera and a medium magnification camera, and two color cameras are installed as a low magnification camera and a high vision camera. do. The four cameras 54 are each housed in the barrel 50, and the cameras 54 in the reference camera unit 46 are each connected to the image board 56 of the PC 30, and in the subordinate camera unit 48. The cameras 54 are respectively connected to the image board 58 of the PC 32.

또한, 각 경통(50)은, 촬상수단의 포커싱을 위해 촬상수단을 각 PC(30)(32)로부터의 제어신호에 의해 Z축 방향을 따라 이동시키기 위한 Z방향용 보조구동부로서의 Z축 서보모터(60)(62)에 각각 연결된다. 이 경우, 한쪽 Z축 서보모터(60)는 Z1축 서보모터로서 기능하고, 다른 쪽 Z축 서보모터(62)는 Z2축 서보모터로 기능하며, 한쪽 경통(50)내의 대물렌즈(52)와 다수의 카메라(54)가 Z1축을 따라 왕복동할 수 있고, 다른쪽 경통(50)내의 대물렌즈(52)와 다수의 카메라(54)가 Z2축을 따라 왕복 동할 수 있도록 되어 있다. 그리고 각 헤드(20)(22)의 Z축 방향에서의 높이, 즉 측정테이블(18)로부터의 높이는 각각 스케일(64)에 의해 검출되고, 검출치는 각각 PC(30)의 카운터보드(66)를 통하여 PC(30)에 출력되도록 되어 있다.Each barrel 50 further includes a Z-axis servomotor serving as an auxiliary driver for Z-direction for moving the imaging means along the Z-axis direction by the control signals from the respective PCs 30 and 32 for focusing the imaging means. 60 and 62, respectively. In this case, one Z-axis servomotor 60 functions as a Z 1- axis servomotor, the other Z-axis servomotor 62 functions as a Z 2- axis servomotor, and the objective lens 52 in one barrel 50. ) And a plurality of cameras 54 can reciprocate along the Z 1 axis, and the objective lens 52 and the plurality of cameras 54 in the other barrel 50 can reciprocate along the Z 2 axis. The heights in the Z-axis direction of the heads 20 and 22, that is, the heights from the measurement table 18, are respectively detected by the scale 64, and the detected values respectively correspond to the counter board 66 of the PC 30. It is outputted to the PC 30 via.

또한, 각 카메라(54)의 촬상에 의한 화상을 처리하여 포커싱을 행하기 위해, 오토포커스장치(68)(70)가 다수대 설치되고, 각 오토포커스장치(68)(70)는 접속터미널(72)에 의해 PC(30)에 접속된다.In addition, in order to perform focusing by processing the image by the imaging of each camera 54, many autofocus apparatuses 68 and 70 are provided, and each autofocus apparatus 68 and 70 is connected with a connection terminal ( 72 is connected to the PC 30.

더우기, 각 헤드(20)(22)에는 PC(30)로부터의 제어신호에 응답하여, 각 헤드(20)(22)를 Y축방향을 따라 비동기로 이동시키는 Y방향용 보조구동부로서의 Y축 서보모터(74)(76)가 설치되어 있다. Y축 서보모터(74)는, Y1S서보모터로서 헤드(20)를 Y축용 프레임(14)과 평행한 Y1S축을 따라 미소범위만큼 왕복동시킬 수 있도록 되어 있다. 또한 다른 쪽 Y축 서보모터(76)는, Y2S서보모터로서, 헤드(22)를 Y축용 프레임과 평행한 Y2S축을 따라 미소범위만큼 왕복동시킬 수 있도록 되어 있다.In addition, each head 20, 22 is Y-axis servo as an auxiliary drive unit for Y-direction which moves each head 20, 22 asynchronously along the Y-axis direction in response to a control signal from the PC 30. FIG. Motors 74 and 76 are provided. The Y-axis servomotor 74 is a Y1S servomotor capable of reciprocating the head 20 by a small range along the Y1S axis parallel to the Y-axis frame 14. The other Y-axis servomotor 76 is a Y2S servomotor, which is capable of reciprocating the head 22 by a small range along the Y2S axis parallel to the Y-axis frame.

여기에서, 각 헤드(20)(22)의 X축 방향에서의 위치결정을 고정밀도로 행하기 위해, X축 구동부(24)에는, 도 6에서와 같이, 훌크로즈드 루-프(full closed loof) 제어계가 구성된다.Here, in order to accurately perform positioning in the X-axis direction of each of the heads 20 and 22, the X-axis driving unit 24 has a full closed loof as shown in FIG. 6. ) The control system is configured.

구체적으로는 X축(X축 프레임 12)과, 평행하게 마그네트(24a)가 다수개 배치됨과 동시에, X축과 평행히, 각 헤드(20)(22)의 이동을 안내하기 위한 리니어가이드(78)와 글래스스케일(80)이 배치된다. 그리고, 각 헤드(20)(22)에는 위치센서(리니어센서)(82)가 탑재되어 있고, 각 위치센서(82)는, 글래스스케일(80)의 눈금을 검출하며, 검출신호를 스케일카운터(84)에 출력하도록 되어 있다. 스케일카운터 (84)는 위치센서(82)의 검출신호에 응답하고, 글래스스케일(80)위의 눈금수를 카운트하며, 카운트된 값을 모니터드라이버(86)에 출력하도록 되어 있다. 모니터드라이버(86)는, 리니어모터(24a)와 PC(30)에 각 헤드(20)(22)의 위치정보를 토대로 각 헤드(20)(22) 위의 코일(24b)에 대한 통전량 및 통전방향을 제어할 수 있음과 아울러, 각 헤드(20)(22)의 X축 방향에서의 위치결정을 고정밀도로 제어할 수가 있도록 되어 있다.Specifically, a plurality of magnets 24a are arranged in parallel with the X-axis (X-axis frame 12), and a linear guide 78 for guiding the movement of each head 20, 22 in parallel with the X-axis. ) And the glass scale 80 are disposed. And each head 20, 22 is equipped with a position sensor (linear sensor) 82, each position sensor 82 detects the scale of the glass scale 80, and detects the detection signal to the scale counter ( 84). The scale counter 84 responds to the detection signal of the position sensor 82, counts the number of scales on the glass scale 80, and outputs the counted value to the monitor driver 86. The monitor driver 86 provides the linear motor 24a and the PC 30 with the amount of current supplied to the coils 24b on the heads 20 and 22 based on the positional information of the heads 20 and 22. In addition to controlling the energization direction, positioning of the heads 20 and 22 in the X-axis direction can be controlled with high accuracy.

또한, Y축 구동부(26)에서도, X축 구동부(24)와 같이, 위치센서 등을 이용하여 풀클로즈드 루프 제어계를 구성함으로써 각 헤드(20)(22)의 Y축 방향에서의 위치결정을 고정밀도로 행할 수가 있다.Also in the Y-axis drive unit 26, as in the X-axis drive unit 24, by using a position sensor or the like to form a full-closed loop control system, the positioning of the heads 20 and 22 in the Y-axis direction is highly precise. You can do it on the road.

한편, PC(30)와 PC(32)는 LAN(로칼 에리어 네트워크)을 통하여 서로 접속된다. PC(30)는 X축 구동부(24), Y축 구동부(26), Z축 구동부(28)의 구동을 제어하는 제어부로서의 기능을 가짐과 아울러, 헤드(20)(22)에 탑재된 카메라(54)의 촬상에 의한 화상을 처리하고, 처리결과를 기초로 액정모니터(44) 위의 패턴에 관한 미소칫수를 산출하는 화상처리부로서의 기능을 구비한 구성으로 되어 있다. PC(32)는 헤드(22)에 탑재된 카메라(54)의 촬상에 의한 화상을 처리하고, 처리결과를 PC(30)에 전송하는 구성으로 되어 있다.On the other hand, the PC 30 and the PC 32 are connected to each other via a LAN (local area network). The PC 30 has a function as a control unit for controlling the driving of the X-axis driver 24, the Y-axis driver 26, and the Z-axis driver 28, and the camera mounted on the heads 20, 22 ( The image is processed as an image processing unit which processes the image by the imaging of 54) and calculates the small dimension of the pattern on the liquid crystal monitor 44 based on the processing result. The PC 32 is configured to process an image by imaging of the camera 54 mounted on the head 22 and transmit the processing result to the PC 30.

또한 PC(30)는, 헤드(20)(22)의 이동을 제어할 때, 헤드(20)(22)의 이동목적지를 나타내는 측정포인트를 각각 X-Y좌표에 대응하여 설정하고, 설정된 측정포인트의 좌표를 기초로 헤드(20)(22) 전체를 1차원 방향, 즉 Y축 방향을 따라 이동시키고, 헤드(20)(22)가 각 측정포인트 근방에 도달한 때, 헤드(20)(22)를 1차원 방 향, 예컨데, X축 방향 또는 Y축 방향을 따라 비동기로 이동시키기도 하고, 또는 2차원 방향, 예컨데, X축 방향과 Y축 방향을 따라 각각 비동기로, 이동시키기도 하여, 각 헤드(20)(22)를 각각 측정포인트에 위치결정하고, 위치결정된 헤드(20)(22)에 대하여, 촬상을 지령하며, 각 헤드(20)(22)에 탑재된 카메라(54)의 촬상에 따라 얻어진 화상을 처리하고, 처리결과를 기초로 액정모니터(44) 위의 패턴의 미소칫수를 측정하도록 되어 있다.In addition, when controlling the movement of the heads 20 and 22, the PC 30 sets measurement points indicating the destinations of movement of the heads 20 and 22 in correspondence with the XY coordinates, respectively, and sets the coordinates of the set measurement points. The entire head 20, 22 is moved along the one-dimensional direction, that is, the Y-axis direction, and the heads 20, 22 are moved when the heads 20, 22 reach near each measurement point. Each head 20 may be moved asynchronously in one-dimensional direction, for example, in the X-axis direction or in the Y-axis direction, or asynchronously in two-dimensional directions, for example, in the X-axis direction and in the Y-axis direction. (22) are respectively positioned at the measurement points, and the imaging is commanded with respect to the positioned heads (20) and (22), which is obtained by imaging of the camera (54) mounted on each head (20) (22). The image is processed and the minute dimensions of the pattern on the liquid crystal monitor 44 are measured based on the processing result.

구체적으로는, PC(30)는, 도 3에서와 같이, 화상처리 및 측정에 필요한 기능으로서 CIM아플리케이션(콤퓨터 통합생산 아플리케이션)(88), 콘트롤 소프트웨어(90), 제어소프트웨어(92), 시스템 인터페이스(SCAM)(94) 등을 구비한다. PC(32)는 화상처리 및 측정에 필요한 기능으로서 시스템 인터페이스(SCAM)(96)를 구비한 구성으로 되어 있다. CIM아플리케이션(88)은, 콘트롤 소프트웨어(90)에 대한 클라이언트로서, 상위 서버와 정보를 주고 받는다. 제조라인의 시스템에 관한 각종 정보를 취입하고, 리시피의 지정 및 기판번호에 관한 정보 등을 콘트롤러 소프트웨어(90)에 전송하고, 콘트롤 소프트웨어(90)에 대하여 리모트 콘트롤하도록 되어 있다. 콘트롤 소프트웨어(90)는, 각 시스템 인터페이스(SCAM)(94)(96)에 대한 클라이언트로서, 측정포인트에 티칭 마크로를 나누어 붙여 측정을 행하기 위한 측정지시를 각 시스템 인터페이스(SCAM)(94)(96)에 출력함과 아울러, 측정포인트에 4대의 카메라중 어느 카메라를 배분할 것인가의 지시등을 각 시스템 인터페이스(SCAM)(94)(96)에 출력하도록 되어 있다.그리고 콘트롤 소프트웨어(90)는, 제어소프트웨어(92)에 대한 클라이언트로서, X축 구동부(24), Y축 구동부(26)에 대한 동 작을 지시하기 위한 동작지시를 제어소프트웨어(92)에 출력하도록 되어 있다.Specifically, the PC 30, as shown in Fig. 3, is a function required for image processing and measurement, CIM application (integrated computer production application) 88, control software 90, control software 92, A system interface (SCAM) 94 or the like. The PC 32 is configured to include a system interface (SCAM) 96 as a function necessary for image processing and measurement. The CIM application 88, as a client to the control software 90, exchanges information with the host server. Various information about a system of a manufacturing line is taken in, and the information about a recipe designation, board | substrate number, etc. is transmitted to the controller software 90, and the control software 90 is remote-controlled. The control software 90 is a client for each system interface (SCAM) 94, 96. The control software 90 divides the teaching marks into measurement points to give measurement instructions for each system interface (SCAM) 94 ( In addition to the control unit 90, the control unit 90 outputs to the system interface (SCAM) 94 and 96 an indicator of which of four cameras to distribute to the measurement point. As a client to the software 92, an operation instruction for instructing the operations of the X-axis driver 24 and the Y-axis driver 26 is output to the control software 92.

시스템 인터페이스(SCAM))(94)는, 헤드(20)에 탑재된 카메라(54)중 어느 것인가의 카메라(54)를 선택하기 위한 지령을 기준카메라유닛(46)에 출력함과 아울러, 선택된 카메라(54)로부터의 화상을 화상보드(56)에 의해 취입하고, 취입한 화상을 처리하며, 처리결과를 기초로 패턴에 관한 미소칫수를 산출하기도 하고, 처리결과를 기초로 헤드(20)를 피드백 제어하기 위해, X축 구동부(24), Y축 서보모터(62)에 대한 동작지시를 제어소프트웨어(92)에 출력하도록 되어 있다. 또한 시스템 인터페이스(SCAM)(96)는 헤드(22)에 탑재된 카메라(54)중 어느 것인가의 카메라(54)를 선택하기 위한 지령을 종속카메라유닛트(48)에 출력함과 아울러, 선택된 카메라(54)로부터의 화상을 취입하여 처리하고, 처리결과를 제어소프트웨어(92)에 출력함과 아울러, 처리결과를 기초로 헤드(22)를 피드백 제어하기 위해, X축 구동부(24)와 Y축 서보모터(64)에 대한 동작지시를 제어소프트웨어(92)에 출력하도록 되어 있다.The system interface (SCAM) 94 outputs a command to select the camera 54 of any of the cameras 54 mounted on the head 20 to the reference camera unit 46, and the selected camera. The image from 54 is taken in by the image board 56, the taken image is processed, a small dimension of the pattern is calculated based on the processing result, and the head 20 is fed back based on the processing result. In order to control, operation instructions for the X-axis drive unit 24 and the Y-axis servomotor 62 are output to the control software 92. In addition, the system interface (SCAM) 96 outputs a command for selecting the camera 54 of any of the cameras 54 mounted on the head 22 to the subordinate camera unit 48, and the selected camera ( The X-axis drive unit 24 and the Y-axis servo for taking in and processing an image from the image 54, outputting the processing result to the control software 92, and controlling the feedback of the head 22 based on the processing result. The operation instruction for the motor 64 is output to the control software 92.

제어소프트웨어(92)는, 콘트롤 소프트웨어(90), 시스템 인터페이스(SCAM)(94)(96)로부터의 동작지시를 기초로 X축 구동부(24), Y축 구동부(26), Z축 구동부(28)를 구동하기 위한 제어신호를 생성하고, 생성된 제어신호를 콘트롤러(98)에 의해 X축 구동부(24), Y축 구동부(26), Z축 구동부(28) 등에 출력하도록 되어 있다. 또한 스케일(64)로부터 헤드(20)(22)내의 카메라 높이에 관한 정보를 취입하고, 오-토 포커스장치(68) 또는 오토 포커스장치(70)에 대하여 오토포커스 제어신호를 출력하고, 오토포커스를 행하기 위한 제어신호를 콘트롤러(98)에 의해 Z 축 서보모터(60)(62)에 출력하도록 되어 있다. 또한, 제어소프트웨어(92)는 각 헤드(20)(22)에 설치된 조명장치(100)에 대한 조명제어신호를 생성하고, 이 조명제어신호를 콘트롤러(98)를 통하여 조명장치(100)에 출력하도록 되어 있다. 각 헤드(20)(22)에 탑재된 조명장치(100)는, 헤드(20)(22)로부터 헤드(20)(22)의 아랫쪽을 조명하도록 되어 있다. 그리고 시스템 인터페이스(SCAM)(94)(96)와 제어소프트웨어(92)와의 사이에는, 오토포커스를 행하기 위한 정보, 조명장치(100)를 제어하기 위한 정보, 각 구동부를 제어하기 위한 정보 등이 소켓트 통신으로 행해지도록 되어 있다.The control software 92 is based on the operation instructions from the control software 90, the system interface (SCAM) 94, 96, and the X-axis driver 24, the Y-axis driver 26, and the Z-axis driver 28. Is generated, and the generated control signal is outputted by the controller 98 to the X-axis driver 24, the Y-axis driver 26, the Z-axis driver 28, and the like. Further, information about the height of the camera in the heads 20 and 22 is taken from the scale 64, and an autofocus control signal is output to the auto-focus device 68 or the autofocus device 70, and autofocus is performed. The control signal 98 is used to output Z-axis servomotors 60 and 62 by the controller 98. In addition, the control software 92 generates an illumination control signal for the illumination device 100 installed in each head 20, 22, and outputs the illumination control signal to the illumination device 100 through the controller 98. It is supposed to. The lighting device 100 mounted on each head 20, 22 is configured to illuminate the lower side of the head 20, 22 from the head 20, 22. Between the system interface (SCAM) 94, 96 and the control software 92, information for autofocusing, information for controlling the lighting apparatus 100, information for controlling each drive unit, and the like are provided. It is intended to be done via socket communication.

다음, 멀티헤드 측장기(10)의 제어방법은 도 7의 플로우챠트로 설명한다. 먼저, 오퍼레이터가 리시피 파일을 열기 위한 조작을 행하면(스텝 S1), PC(30)의 하드디스크에 격납된 리시피 파일이 열리고(스텝 S2), 리시피 파일의 내용이 콘트롤 소프트웨어(90)로 읽혀 들어간다. 즉, 헤드(20)(22)의 이동 목적지를 나타내는 다수의 측정포인트와 측정방법 등에 관한 정보가 읽혀진다.Next, the control method of the multihead measuring instrument 10 will be described with the flowchart of FIG. First, when an operator performs an operation for opening a recipe file (step S 1 ), the recipe file stored in the hard disk of the PC 30 is opened (step S 2 ), and the contents of the recipe file are stored in the control software 90 Read) In other words, information regarding a plurality of measurement points, a measuring method, and the like indicating the moving destination of the heads 20 and 22 is read.

다음, 오퍼레이터가 실행버튼을 누르면(스텝 S3), 콘트롤 소프트웨어(90)에서, 얼라이먼트처리로서, 헤드(20)(22)를 1번째 측정포인트에 이동시키기에 앞서, 얼라이먼트 측정이 행해진다.(스텝 S4) 이 얼라이먼트 측정은, 도 4에서와 같이, 플랫트 판넬(42) 위에 형성된 얼라이먼트 마크 M1, M2의 위치를 검출하기 위해, 예컨데 헤드(20)를 얼라이먼트 M1, M1에 대응하는 위치에 배치하고, Y축 구동부(26)를 구동시켜서, X축 프레임(12)을 Y축 방향을 따라 구동시키고, 헤드(20)에 탑재된 카메라(54)에 의해 얼라이먼트 마크 M1, M2를 순차적으로 촬상하고, 이 촬상에 의한 화상을 PC(30)로 처리하고, 이 처리결과를 기초로 하여 플랫트 판넬(42)의 위치가 결정된다.Next, when the operator presses the execute button (step S 3 ), alignment control is performed in the control software 90 before moving the heads 20 and 22 to the first measurement point as alignment processing. Step S 4 ) This alignment measurement is, for example, in order to detect the position of alignment marks M 1 , M 2 formed on the flat panel 42, for example, by placing the head 20 on the alignment M 1 , M 1 . by driving the arrangement to a corresponding position, and the Y-axis driving unit 26, the X-axis frame 12 and driven in the Y-axis direction, with the camera 54 mounted on the head 20 alignment marks M 1, M 2 is sequentially picked up, the image by the pick-up is processed by the PC 30, and the position of the flat panel 42 is determined based on this processing result.

그리고, 다수의 측정포인트를 측정순으로, 나란히 바꾸기 위한 스케쥴 처리가 실행된다.(스텝 S5) 각 헤드(20)(22)에 관한 측정포인트가 측정순으로 순차적으로 선택된 때에는, 먼저 1번(1番目) 측정포인트 위치와 티칭 마크로가 추출되고(스텝 S6), 1번 측정포인트의 위치와 티칭 마크로 이름이 콘트롤 소프트웨어(90)로부터 시스템 인터페이스(SCAM)(94)에 전송된다.(스텝 S7) 시스템 인터페이스(SCAM)(94)에 있어서는, 1번 측정포인트 위치와 티칭 마크로 이름을 기초로 티칭 마크로를 작성한다.(스텝 S8) 즉, 1번 측정포인트의 위치를 X-Y좌표에 좌표변환하기 위한 처리를 행한다. 티칭 마크로를 작성하는 처리가 종료된 때에는, 시스템 인터페이스(SCAM)(94)로부터 콘트롤 소프트웨어(90)에 대하여 작성완료를 송신한다.(스텝 S9) 또한, X-Y좌표의 원점은, 도 1의 좌하측에 편의상 설치되나, XY의 이동중심이라도 좋다.Then, a schedule process for changing a plurality of measuring points side by side in the order of measurement is executed. (Step S 5 ) When the measuring points for the respective heads 20 and 22 are sequentially selected in the order of measurement, first, the first ( 1 point) The measuring point position and the teaching macro are extracted (step S 6 ), and the position and the teaching macro name of the measuring point 1 are transmitted from the control software 90 to the system interface (SCAM) 94. (step S 6) 7 ) In the system interface (SCAM) 94, a teaching macro is created based on the position of the first measuring point and the name of the teaching macro. (Step S 8 ) That is, the position of the measuring point 1 is converted into XY coordinates. The processing to carry out is performed. When the process of creating the teaching macro is completed, the creation completion is transmitted from the system interface (SCAM) 94 to the control software 90. (Step S 9 ) In addition, the origin of the XY coordinates is lower left in FIG. 1. It is provided on the side for convenience, but the center of movement of XY may be sufficient.

다음, 콘트롤 소프트웨어(90)는, 헤드(20)(22)를 1번 측정포인트 근방에 이동하기 위한 처리로서, 헤드(20)(22)에 탑재된 카메라(54)의 현재 위치와 1번 측정포인트와의 차이를 기초로 이동량과 이동방향을 산출하기 위한 처리를 실행하고(스 텝 S10), 처리결과를 제어소프트웨어(92)에 출력한다. 이 처리결과에 따라, 제어소프트웨어(92)가 처리를 실행하면, 헤드(20)(22)의 조동(粗動)으로서, Y축 구동부(26)가 구동되고, 헤드(20)(22) 전체가 X축 프레임(12)을 따라 이동하고, 각 헤드(20)(22)가 1번 측정포인트 근방까지 이동한다.(스텝 S11)Next, the control software 90 is a process for moving the heads 20 and 22 in the vicinity of the first measurement point, and the current position and the first measurement of the camera 54 mounted in the heads 20 and 22 are measured. Based on the difference with the point, a process for calculating the movement amount and the movement direction is executed (step S 10 ), and the processing result is output to the control software 92. According to the result of this processing, when the control software 92 executes the processing, the Y-axis driving unit 26 is driven as the coarse motion of the heads 20 and 22, and the entire heads 20 and 22 are driven. Moves along the X-axis frame 12, and each head 20, 22 moves to near the first measurement point. (Step S 11 )

헤드(20)(22)가 1번 측정포인트 근방에 위치결정된 때에는 제어소프트웨어(92)로부터 콘트롤 소프트웨어(90)에 대하여 이동완료가 지령된다.(스텝 S12) 콘트롤 소프트웨어(90)는, 헤드(20)(22)의 위치를 피드백 제어하기 위한 처리를 시스템 인터페이스(SCAM)(94)에 지령한다.(스텝 S13) 시스템 인터페이스(SCAM)(94)는, 헤드(20)를 조금이라도 미동시키기 위해, 헤드(20)에 탑재된 카메라(54)로부터의 화상을 처리하고, X축과 Y축에서의 현 시점에서의 카메라(54)의 위치와 1번 측정포인트와의 차를 각각 0으로 하기 위한 동작지시(동작지령)을 제어소프트웨어(92)에 출력한다.(스텝 S14) 이때 시스템 인터페이스(SCAM)(96)에서도, 헤드(22)를 미동시키기 위해, 헤드(22)에 탑재된 카메라(54)로부터의 화상을 처리하고, X축과 Y축에서의 현시점의 카메라(54)의 위치와 측정포인트와의 차를 각각 0으로 하기 위한 동작지시(동작지령)을 제어소프트웨어(92)에 출력한다. When the heads 20 and 22 are positioned near the first measuring point, movement completion is commanded from the control software 92 to the control software 90. (Step S 12 ) The control software 90 receives the head ( 20. The system interface (SCAM) 94 instructs a process for feedback control of the position of the 22. (Step S 13 ) The system interface (SCAM) 94 causes the head 20 to be slightly moved. To do this, the image from the camera 54 mounted on the head 20 is processed, and the difference between the position of the camera 54 and the first measuring point at the present time on the X axis and the Y axis is zero, respectively. The operation instruction (operation instruction) is output to the control software 92. (Step S 14 ) At this time, the system mounted on the head 22 is also mounted on the head 22 in order to finely move the head 22 in the system interface SCAM 96. Process the image from (54), and measure the position and measurement point of the camera (54) An operation instruction (operation instruction) to the difference to zero, respectively, and outputs the control software (92).

제어소프트웨어(92)는, 시스템 인터페이스(SCAM)(94)(96)로부터의 동작지시를 기초로, 헤드(20)(22)에 탑재된 카메라(54)를 1번 측정포인트에 위치결정하기 위한 제어신호를 생성하고, 제어신호를 X축 구동부(24)와 Y축 서보모터(74)(76)에 출력하며, 헤드(20)(22)의 미동에 의해, 헤드(20)(22)에 탑재된 카메라(54)를 1번 측정포인트로 위치결정한다.(스텝 S15)The control software 92 is adapted to position the camera 54 mounted on the heads 20 and 22 at the first measuring point based on the operation instructions from the system interface (SCAM) 94 and 96. The control signal is generated, and the control signal is output to the X-axis driver 24 and the Y-axis servomotors 74 and 76, and the heads 20 and 22 are moved to the heads 20 and 22 by fine movement. The mounted camera 54 is positioned at the first measuring point. (Step S 15 )

각 헤드(20)(22)에 탑재된 카메라(54)가 1번 측정포인트에 위치 결정되면, 각 헤드(20)(22)를 Z축 서보모터(60)(62)의 구동으로, Z축 방향으로 이동시켜서 포커싱을 행한다. 이 포커싱이 행해지면, 1번 측정포인트에서의 패턴을 각 헤드(20)(22)의 카메라(54)로 촬상하고, 이 촬상에 의한 화상을 PC(30)로 처리한다. 이 경우 도 8에서와 같이, 촬상에 의해 얻어진 패턴과 미리 등록된 등록패턴과의 패턴맷치를 행한다. 촬상에 의해 얻어진 패턴의 중심(둥근패턴)이 화상의 중심에 없을 때에는, Y축 서보모터(74)(76)를 구동하고, 도 9에서와 같이, 0표시한 패턴이 화상에 있도록 위치결정한다. 그 후 다시 카메라(54)로 1번(1番目) 측정포인트의 패턴을 촬상하고 촬상에 의해 얻어진 화상을 처리하여, 예컨데 도 5에서와 같이, 측정포인트 P1, P2에서의 미소칫수의 패턴 PT1, PT2의 선폭(수㎛오더의 선폭) 등을 측정한다.When the cameras 54 mounted on the heads 20 and 22 are positioned at the first measuring point, the heads 20 and 22 are driven by the Z-axis servomotors 60 and 62 to drive the Z-axis. Move in the direction to focus. When this focusing is performed, the pattern at No. 1 measurement point is imaged by the camera 54 of each head 20, 22, and the image by this imaging is processed by the PC 30. In this case, as shown in Fig. 8, pattern formatting between a pattern obtained by imaging and a registration pattern registered in advance is performed. When the center (round pattern) of the pattern obtained by imaging is not in the center of the image, the Y-axis servomotors 74 and 76 are driven, and positioning is performed so that the zero displayed pattern is in the image as shown in FIG. . Thereafter, the camera 54 captures the pattern of the first measurement point and processes the image obtained by the imaging. For example, as shown in FIG. 5, the pattern of the minute dimensions at the measurement points P 1 and P 2 is obtained. Measure the line widths of the PT 1 and PT 2 (line widths of several μm orders).

1번째 측정포인트 P1, P2에 관한 측정이 완료된 때에는, 시스템 인터페이스(SCAM)(94)로부터 콘트롤 소프트웨어(90)에 대하여 측정완료를 송신한다.(스텝 S16) 측정완료의 통지를 받은 콘트롤 소프트웨어(90)는, 모든 측정포인트에 관한 측정이 완료됐는지 아닌지를 판정하고(스텝 S17) 모든 측정포인트에 관한 측정이 완료되어 있지 않으면, 예컨데, 1번째 측정포인트에 관한 측정이 완료한 후에는, 2번째 측정 포인트를 측정하기 위한 처리로서, 스텝 S5의 처리로 돌아가고, 스텝 S6로부터 스텝 S17까지의 처리를 되풀이 한다. 그리고 모든 측정포인트에 관한 측정이 완료한 때에는, 콘트롤 소프트웨어(90)로부터 표시장치(34)에 대하여 측정완료를 표시하기 위한 신호를 송신하고(스텝 S18), 이 단계에서의 처리를 종료한다.(스텝 S19)When the measurement with respect to the first measuring points P 1 and P 2 is completed, the measurement completion is transmitted from the system interface (SCAM) 94 to the control software 90. (Step S 16 ) The control that has received notification of the measurement completion The software 90 determines whether or not the measurement for all measuring points has been completed (step S 17 ). If the measurement for all measuring points is not completed, for example, after the measurement for the first measuring point is completed, As a process for measuring the second measurement point, the process returns to step S 5, and the processes from step S 6 to step S 17 are repeated. When the measurement with respect to all the measuring points is completed, the control software 90 transmits a signal for indicating completion of measurement to the display device 34 (step S 18 ), and the processing in this step ends. (Step S 19 )

다음, 측정포인트를 측정순으로 나란히 바꾸는 스케쥴처리를 도 10의 플로우챠트에 따라서 설명한다. 먼저, 얼라이먼트처리(스텝 S4와 같은 처리)를 실행한다.(스텝 S20) 그런 후, 리시피 파일에 등록된 측정포인트 P1~Pn을 기계좌표로 변환한다.(스텝 S21) 그런 후, 기계좌표의 원점에 가장 가까운 측정포인트를 헤드(20)의 1번 측정포인트로서 나란히 바꿈 리스트에 등록하고(스텝 S22) n=1로 한다.(스텝 S23) 이후 나란히 바꿈 리스트에 등록되어 있지 않은 측정포인트가 존재하는가 아닌가를 판정한다.(스텝 S24) 이 경우, 도 11에서와 같이, 측정포인트 P1~Pn 중 측정포인트 P1만이 헤드(20)의 1번 측정포인트에 등록되고, 그 이외의 측정포인트는 나란히 바꿈리스트에 등록되어 있지 않으므로, 스텝 S25처리로 옮기고, 헤드(20)의 n점째(1번째)의 측정포인트 P1을 기준으로 하여, Y축 방향에서 Y축 서보모터(74)가 미동가능한 최대구동범위에 속하는 측정포인트를 추출한다. 이후 스텝 S25에서의 조건을 만족하는 측정포인트가 추출되었는지 아닌지의 판정, 즉 헤드(22)의 1번 측정포인트가 되는 측정포인트가 존재하는지 아닌지의 판정을 행한다.(스텝 S26) 측정포인트가 존재할 때에는, 헤드(20)의 1번째의 측정포인트 P1의 좌표를 기준으로 하여, X축 방향에서, 헤드(20)와 헤드(22)가 서로 가까워지는 최소거리(헤드(20), (22)끼리의 근접이 허용되는 최소거리)보다도 큰 범위에 존재하는 측정포인트를 추출한다.(스텝 S27) 이 이후 스텝 S27에서의 조건을 만족하는 측정포인트가 추출되었는지 아니지의 판정, 즉, 헤드(22)의 1번째 측정포인트로 되는 측정포인트가 존재하는지 아닌지의 판정을 행한다.(스텝 S28)Next, a schedule process for changing measurement points side by side in the order of measurement will be described according to the flowchart of FIG. First, an alignment process is executed (step process, such as S 4) (step S 20) After that, Li see, converts the measurement points P 1 ~ Pn registered with the file to the machine coordinates (Step S 21) then Then, the measuring point closest to the origin of the machine coordinate is registered as the 1st measuring point of the head 20 side by side in the turn list (step S 22 ) and n = 1. (Step S 23 ) After that, it is registered in the side by side list. (Step S 24 ) In this case, as in FIG. 11, only the measuring point P 1 of the measuring points P 1 to Pn is registered at the measuring point 1 of the head 20. , does not side-by-side is the measuring point of the non-registered in the feed list, based on the measurement point P1 of the moves to step S 25 process, n jeomjjae (first) of the head (20), Y axis servo in the Y-axis direction Measuring point that the motor 74 is in the maximum drive range that can be moved Extract Thereafter, a determination is made as to whether or not a measuring point that satisfies the condition in step S 25 has been extracted, that is, whether or not there is a measuring point which becomes the first measuring point of the head 22. (Step S 26 ) When present, the minimum distance between the head 20 and the head 22 close to each other in the X-axis direction based on the coordinates of the first measuring point P 1 of the head 20 (head 20, 22 ) The measurement point existing in a range larger than the minimum distance allowed to be close to each other) is extracted. (Step S 27 ) Then, it is determined whether or not the measurement point that satisfies the conditions in Step S 27 is extracted, that is, the head. It is judged whether or not the measuring point which is the first measuring point of (22) exists (step S 28 ).

다음 헤드(22)의 1번째 측정포인트로 되는 측정포인트가 존재한다고 판정될 때에는, 존재하는 측정포인트가 홀수개인가 아닌가의 판정을 행한다.(스텝 S29) 예컨데 존재하는 측정포인트로서, 3개의 측정포인트 P2, P3, P4가 추출된 때에는, 3개의 측정포인트 중 중앙의 측정포인트 P3를 헤드(22)의 n점째(1번째)의 측정포인트로 나란히 바꿈리스트에 등록한다.(스텝 S30)When it is determined that there is a measuring point serving as the first measuring point of the next head 22, a determination is made as to whether or not the existing measuring point is an odd number. (Step S 29 ) For example, three measuring points are present as measuring points that exist. When P 2 , P 3 , and P 4 are extracted, the center measuring point P 3 of the three measuring points is registered side by side with the n-point (first) measuring point of the head 22. (Step S 30 )

한편, 존재하는 측정포인트가 다수개 존재할 경우, 예컨데, 4개의 측정포인트 P2, P3, P4, P5가 존재할 경우, 중앙의 2개의 측정포인트 P3, P4 중 헤드(22)에 가까운 쪽의 측정포인트를 헤드(22)의 n점째(제 1번째)의 측정포인트로서 나란히 바꿈리스트에 등록한다.(스텝 S31)On the other hand, when there are a plurality of measuring points present, for example, if there are four measuring points P 2 , P 3 , P 4 , P 5 , the head 22 of the two measuring points P 3 , P 4 in the center The nearest measuring point is registered side by side as a measuring point of the nth (first) point of the head 22 (step S 31 ).

한편, 스텝 S26에서 헤드(22)의 1번째 측정포인트가 되는 측정포인트가 존재 하지 않는 것으로 판정되면, 즉, 스텝 S25에서의 조건을 만족하는 측정포인트가 추출되지 않았거나 또는 스텝 S28에서, 헤드(22)의 1번째 측정포인트가 되는 측정포인트가 존재하지 않는다고 판정된 때, 즉, 스텝 S27에서의 조건을 만족하는 측정포인트가 추출되지 않은 때에는 헤드(22)에 관한 측정포인트가 추출되지 않고, 헤드(20)(22)를 이용하여 동시에 측정하는 것이 불가능한 것으로 헤드(22)의 n점째(제 1번째)의 측정포인트의 난을 빈칸 공(空)으로 한다.(스텝 S32)On the other hand, if it is determined in step S 26 that no measuring point as the first measuring point of the head 22 exists, that is, no measuring point that satisfies the condition in step S 25 is extracted or in step S 28 . When it is determined that there is no measuring point which becomes the first measuring point of the head 22, that is, when no measuring point that satisfies the condition in step S 27 is extracted, the measuring point about the head 22 is extracted. Since it is impossible to measure simultaneously using the heads 20 and 22, the space at the n-th (first) measuring point of the head 22 is left blank. (Step S 32 )

다음, 모든 측정포인트가 나란히 바꿈리스트에 등록되었는지 아닌지의 판정을 행한다.(스텝 S33) (헤드(20)에서 n번째까지, 최초에는 n=1이므로)1번 측정포인트가 등록되었을 때에는, 스텝 S34로 옮기고(n=n+1, 즉 n을 1개 끌어올려서) n=2로 한다. 다음, 헤드(20)의 (n-1)점째로부터 가장 거리가 가까운 측정포인트를 헤드(20)의 n점째 측정포인트로 한다.(스텝 S35) 즉, 기계좌표의 원점과의 거리가 직선을 따라 변화하는 측정포인트로서 헤드(20)의 1번 측정포인트(P1)에서 가장 거리가 가까운 측정포인트를 헤드(20)의 2번째 측정포인트로 한다. 예컨데, 측정포인트 P2 또는 측정포인트 P6를 헤드(20)의 2번째 측정포인트로 나란히 바꿈리스트에 등록하고, 스텝 S24의 처리로 돌아온다.Next, a determination is made as to whether or not all measurement points are registered side by side in the switching list. (Step S 33 ) (Step n 33 , since n is first, since n is first), the first step is registered. Move to S 34 (n = n + 1, i.e. by pulling 1 n) and let n = 2. Next, let the measuring point closest to the (n-1) point of the head 20 be the n-th measuring point of the head 20. (Step S 35 ) That is, the distance from the origin of the machine coordinate is a straight line. As the measuring point that changes according to the measurement point closest to the first measuring point (P 1 ) of the head 20 as the second measuring point of the head 20. For example, the measuring point P 2 or the measuring point P 6 is registered in the switching list side by side with the second measuring point of the head 20, and the process returns to the processing of step S 24 .

스텝 S24에서는(헤드(20) 및 헤드(22)의 n-1번째(즉 1번)까지의 측정포인트 로서 나란히 바꿈리스트에 등록되어 있지 않은 측정포인트가 있는지 없는지를 조사함) 이 경우 측정포인트 P1~Pn 중 헤드(20)(22)의 1번 측정포인트만이 등록되고, 그 이외의 측정포인트는 나란히 바꿈리스트에 등록되지 않기 때문에, 스텝 S25의 처리로 옮기고, 헤드(20)의 n점째(2번째) 측정포인트를 기준으로 하여, Y축 방향에서 Y축 서보모터(74)가 미동가능한 최대구동범위에 속하는 측정포인트를 추출한다. 이 이후는 스텝 S24로부터 스텝 S35까지 같은 처리를 되풀이하고, 모든 측정포인트가 나란히 바꿈리스트에 등록된 때에는 이 단계에서의 처리는 종료된다.In step S 24 (check whether there is a measuring point not registered in the list side by side as the measuring point up to the n-1th (that is, the first) of the head 20 and the head 22). Since only the first measuring point of the heads 20 and 22 is registered among the P 1 to Pn, and the other measuring points are not registered in the side-by-side list, the process moves to the processing of step S 25 , and the On the basis of the nth (second) measurement point, a measurement point belonging to the maximum drive range in which the Y-axis servomotor 74 can move in the Y-axis direction is extracted. Since this is repeated when the processing as from step S 24 to step S 35, and all the measurement points are registered in the feed list alongside the processing in this step it is ended.

본 실시예에서는, 다수의 측정포인트 P1~Pn의 위치정보를 기계좌표로 변환하고, 좌표변환된 각 측정포인트 P1~Pn의 좌표를 기초로 기계좌표의 원점과의 거리가 직선을 따라 변화하는 측정포인트를 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하고, 추출된 측정포인트를 헤드(20)에 관한 측정포인트로서 측정순서에 대응시켜 설정한다. 다음, 헤드(20)에 관하여 설정된 각 측정포인트로부터 일정한 거리 이상 떨어진 위치에 존재하는 측정포인트를 다수의 측정포인트 P1~Pn 중에서 순차적으로 추출하고, 추출된 측정포인트를 헤드(22)에 관한 측정포인트로서 측정순서에 대응하여 설정하도록 하였으므로, 헤드(20)(22)의 이동목적지를 나타내는 다수의 측정포인트 P1~Pn 중에서 이동거리가 최단으로 되는 측정포인트를 추출하여, 각 헤드(20)(22)에 순차적으로 배분할 수가 있고, 측정시간의 단축에 기여할 수가 있다.In this embodiment, the positional information of the plurality of measuring points P 1 to Pn is converted into machine coordinates, and the distance from the origin of the machine coordinates is changed along a straight line based on the coordinates of each of the measured coordinate points P 1 to Pn. The measurement points to be extracted are sequentially extracted from a plurality of measurement points, and the extracted measurement points are set in correspondence with the measurement procedure as the measurement points for the head 20. Next, the measuring points existing at positions away from the predetermined measuring points set with respect to the head 20 are extracted sequentially from the plurality of measuring points P 1 to Pn, and the extracted measuring points are measured with respect to the head 22. Since it is set in correspondence with the measurement order as a point, a measurement point having the shortest moving distance is extracted from a plurality of measurement points P 1 to Pn indicating a moving destination of the heads 20 and 22, and each head 20 ( 22) can be sequentially distributed, and can contribute to shortening of the measurement time.

본 실시예에서의 PC(30)에서는, 다수의 측정포인트 P1~Pn의 나란히 바꿈처리 를 실행함에 있어, 다수의 측정포인트 P1~Pn의 위치정보를 기계좌표로 변환하는 좌표변환수단과, 좌표변환수단으로 좌표변환된 각 측정포인트의 좌표를 기초로 기계좌표의 원점과의 거리가 직선을 따라 변화하는 측정포인트를 다수의 측정포인트 P1~Pn 중에서 순차적으로 추출하고, 추출된 측정포인트를 한쪽 헤드(20)에 관한 측정포인트로 하여 측정순서에 대응하여 설정하는 제 1측정포인트 설정수단과, 좌표변환수단으로 좌표변환된 각 측정포인트의 좌표를 기초로, 제 1측정포인트 설정수단으로 순차적으로 설정된 각 측정포인트로부터 일정거리 이상 떨어진 위치에 존재하는 측정포인트를 다수의 측정포인트 P1~Pn 중에서 순차적으로 추출하고, 추출된 측정포인트를 다른 쪽 헤드(22)에 관한 측정포인트로서 측정순서에 대응하여 설정하는 제 2측정포인트 설정수단을 PC(콤퓨터)(30)에 실행시키기 위한 측정포인트 배분프로그램이 실행된다.In the PC (30) in accordance with this embodiment, a plurality of coordinate conversion means for converting a plurality of position information of the measured point P 1 ~ Pn, here the practice of the side-by-side feed process of the measurement points P 1 ~ Pn in machine coordinates and, Based on the coordinates of each measuring point converted by the coordinate converting means, the measuring points whose distances from the origin of the machine coordinates change along a straight line are sequentially extracted from a plurality of measuring points P 1 to Pn, and the extracted measuring points are extracted. First measuring point setting means for setting the measurement point corresponding to one head 20 corresponding to the measurement procedure, and first measuring point setting means based on the coordinates of each measuring point coordinate-converted by the coordinate converting means. The measurement point existing at a position away from each measurement point set to a predetermined distance is sequentially extracted from a plurality of measurement points P 1 to Pn, and the extracted measurement points are different. A measuring point distribution program for causing the PC (computer) 30 to execute the second measuring point setting means which is set in correspondence with the measuring procedure as the measuring point for the head 22 is executed.

이 경우, 제 1측정포인트 설정수단으로서는, 좌표변환수단에 의해 좌표변환된 각 측정포인트의 좌표를 기초로 기계좌표의 원점에 가까운 측정포인트 또는 전회에 추출된 측정포인트에 가까운 측정포인트를 다수의 측정포인트 P1~Pn 중에서 순차적으로 추출하는 구성으로 하고, 제 2측정포인트 설정수단으로서는, 제 1측정포인트 설정수단으로 순차적으로 설정된 각 측정포인트의 좌표를 기준으로 하여, 다른 쪽 헤드(22)의 최대구동범위내에 존재하며, 또한 각 헤드(20)(22)끼리의 근접을 허용하는 최소거리보다 큰 위치에 존재하는 측정포인트를 다수의 측정포인트 P1~Pn 중에서 순차적으로 추출하는 구성으로 할 수가 있다. 그 결과, 각 헤드(20)(22)가 서로 간섭하는 일 없이, 각 헤드(20)(22)를 지정하는 측정포인트로 신속히 이동시킬 수가 있다.In this case, the first measuring point setting means measures a plurality of measuring points close to the origin of the machine coordinates or measuring points close to the measuring point extracted last time based on the coordinates of each measuring point coordinated by the coordinate converting means. as the point p 1 ~ Pn in configuration to the second measuring point setting means for extracting in sequence, on the basis of the coordinates of the respective measuring points sequentially set to the first measurement point setting means, up to the other heads (22) The measuring point which exists in the drive range and exists in the position larger than the minimum distance which allows each head 20 and 22 comrades can be made into the structure which extracts sequentially from many measuring points P1-Pn. As a result, each head 20, 22 can be moved to the measurement point which designates each head 20, 22, without interfering with each other.

본 실시예에서는 헤드(20)(22)를 각 측정포인트에 이동시킬 때, 각 측정포인트 근방까지 헤드(20)(22)를 Y축 방향을 따라 이동시키고, 그 후 헤드(20)(22)에 탑재된 카메라(54)의 촬상에 의한 화상을 기초로 헤드(20)(22)를 X축 방향을 따라 각각 비동기로 이동시킴과 아울러, Y1S축 또는 Y2S축을 따라 각각 비동기로 헤드(20)(22)를 이동시켜 위치결정하도록 하기 때문에, 각 헤드(20)(22)를 지정하는 측정포인트까지 신속히 이동시킬 수가 있다. 그리고, 측정포인트에 도달할 때에는 각 측정포인트에서의 패턴의 미소칫수를 각각 헤드(20)(22)를 이용하여 동시에 측정함으로써 턱트타임을 단축할 수가 있다.In this embodiment, when the heads 20 and 22 are moved to each measuring point, the heads 20 and 22 are moved along the Y-axis direction to the vicinity of each measuring point, and then the heads 20 and 22 are moved. The heads 20 and 22 are moved asynchronously along the X-axis direction on the basis of the image of the camera 54 mounted on the head, and the heads 20 (asynchronously along the Y1S axis or the Y2S axis, respectively) Since 22) is moved and positioned, it is possible to quickly move each head 20, 22 to a designated measurement point. When the measurement point is reached, the chin time can be shortened by simultaneously measuring the minute dimensions of the pattern at each measurement point using the heads 20 and 22, respectively.

또한, 헤드(20)(22)에 탑재된 카메라(54)를 이용하여 각각 패턴을 촬상하고, 촬상된 화상을 처리하여 얻어진 패턴과 등록패턴과의 패턴맷칭에 있어서, 양자 사이에 매우 작고 미소한 어긋남 또는 차이가 있을 때에는 그 어긋남을 검출한 헤드(20) 또는 헤드(22)를 Y축 서보모터(74) 또는 서보모터(76)의 구동으로 미소범위만큼 Y1S축 또는 Y2S축을 따라 이동시키므로써 그 어긋남을 수정할 수가 있다.
In addition, in the pattern matching between the pattern obtained by imaging the pattern using the cameras 54 mounted on the heads 20 and 22 and processing the picked-up image and the registration pattern, both are very small and minute. When there is a misalignment or difference, the head 20 or the head 22 which detected the misalignment is moved along the Y1S axis or the Y2S axis by a small range by the drive of the Y-axis servomotor 74 or the servomotor 76. The deviation can be corrected.

이상 설명으로 알 수 있는 바와 같이, 청구항 1에 관한 측정장치의 제어방법에 의하면, 다수의 패턴을 동시에 측정하는데 요하는 측정시간을 단축할 수 있다.As can be seen from the above description, according to the control method of the measuring apparatus according to claim 1, the measurement time required for simultaneously measuring a plurality of patterns can be shortened.

청구항 2항에 의하면, 각 헤드를 각각 지정된 측정포인트로 정확히 위치결정 할 수가 있다.According to claim 2, it is possible to accurately position each head to each designated measuring point.

청구항 3항에 관한 측정포인트 배분프로그램에 의하면, 다수의 측정포인트 중에서 이동거리가 최단인 측정포인트를 추출하여, 각 헤드에 순차 배분될 수 있고, 측정시간 단축에 기여하는 일이 가능해 진다.According to the measuring point distribution program according to claim 3, the measuring point having the shortest moving distance is extracted from the plurality of measuring points, and can be sequentially distributed to each head, contributing to shortening the measurement time.

청구항 4에 의하면, 각 헤드가 서로 간섭하는 일 없이, 각 헤드를 지정된 측정포인트로 신속히 이동시킬 수가 있다.According to claim 4, each head can be quickly moved to a designated measuring point without interfering with each other.

Claims (4)

피측정물 위의 패턴을 촬상대상으로 하는 다수의 헤드(head)(20, 22)와, 이 피측정대상물을 향하는 공간을 상기 다수의 헤드(20, 22)의 이동영역으로 하여, 상기 다수의 헤드(20, 22)를 상기 이동영역에 걸쳐 이동시키는 구동부(驅動部)(24, 26, 28)와, 이 구동부(24, 26, 28)의 구동을 제어하는 제어부(制御部)(30)와, 이 다수의 헤드(20, 22)의 촬상에 따른 화상을 처리하여 상기 패턴에 관한 미소칫수(微小寸法)를 산출하는 화상처리부(畵像處理部)(30, 32)를 구비한 측정장치를 제어할 때, 이 다수의 헤드(20, 22)의 이동목적지를 나타내는 측정포인트를 각각 상기 공간의 좌표에 대응시켜 설정하고, 이 설정된 측정포인트의 좌표를 기초로 상기 다수의 헤드(20, 22) 전체를 상기 공간중 1차원 방향을 따라 이동시키고, 그 후 상기 다수의 헤드(20, 22)를 상기 공간중 1차원 또는 2차원 방향을 따라 각각 비동기로 이동시켜서 위치결정하며, 상기 위치결정된 다수의 헤드(20, 22)에 의해 상기 패턴을 각각 촬상하고, 상기 다수의 헤드(20, 22)의 촬상에 의한 패턴의 화상을 각각 처리하여, 상기 각 패턴의 미소칫수를 측정하는 것을 특징으로 하는 측정장치의 제어방법(測定裝置 制御方法).The plurality of heads 20 and 22 which make a pattern on an object to be imaged an imaging object, and a space facing the object to be measured serve as a moving area of the plurality of heads 20 and 22, Drive parts 24, 26, 28 for moving the heads 20, 22 over the moving region, and a control part 30 for controlling the drive of the drive parts 24, 26, 28. And an image processing unit (30, 32) for processing the images according to the imaging of the plurality of heads (20, 22) to calculate the micro dimensions of the pattern. In the control, the measuring points representing the moving destinations of the plurality of heads 20 and 22 are respectively set in correspondence with the coordinates of the space, and the plurality of heads 20 and 22 are based on the coordinates of the set measuring points. ) The whole is moved in the one-dimensional direction of the space, and then the plurality of heads 20, 22 are moved one-dimensional or secondary in the space. Each of them is moved asynchronously along the direction to position the images, and the images are patterned by the plurality of positioned heads 20 and 22, respectively, and the images of the patterns by imaging of the plurality of heads 20 and 22 are respectively. And processing to measure the minute dimensions of the respective patterns. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 설정된 측정포인트의 좌표를 기초로 상기 다수의 헤드(20, 22) 전체를 상기 공간중 1차원 방향을 따라 이동시킬 때, 상기 다수의 헤드(20, 22)에 의해 상기 피측정물을 촬상함과 아울러 촬상에 의한 화상을 처리하고, 이 처리결과를 토대로 상기 다수의 헤드(20, 22)를 상기 공간중 1차원 방향 또는 2차원 방향을 따라 각각 비동기로 이동시켜서, 상기 다수의 헤드(20, 22)를 상기 설정된 측정포인트에 대응한 위치로 위치결정하는 것을 특징으로 하는 측정장치의 제어방법.The plurality of heads 20 and 22 captures the object to be measured when the whole of the plurality of heads 20 and 22 is moved along the one-dimensional direction of the space based on the coordinates of the set measurement point. And processing the image by imaging, and moving the plurality of heads 20 and 22 asynchronously along the one-dimensional or two-dimensional direction of the space, respectively, based on the processing result. 22) a control method of the measuring device, characterized in that for positioning the position corresponding to the set measuring point. 다수의 헤드(20, 22)의 이동영역에 배치된 피측정물에 대한 다수의 측정포인트의 위치정보를 기계좌표로 변환하는 좌표변환수단과, 이 좌표변환수단으로 좌표변환된 각 측정포인트의 좌표를 토대로 상기 기계좌표의 원점과의 거리가 직선을 따라 변화하는 측정포인트를 상기 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하고, 추출된 측정포인트를 상기 다수의 헤드(20, 22)중 한쪽 헤드(20)에 관한 측정포인트로서 측정순서에 대응시켜 설정하는 제 1측정포인트 설정수단과, 상기 좌표변환수단으로 좌표변환된 각 측정포인트의 좌표를 토대로, 상기 제 1측정포인트 설정수단으로 순차적으로 설정된 각 측정포인트로부터 헤드(20)와 헤드(22)가 서로 근접할 수 있는 최소거리 이상 떨어진 위치에 존재하는 측정포인트를 상기 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하고, 추출된 측정포인트를 상기 다른 쪽 헤드(22)에 관한 측정포인트로서 측정순서에 대응시켜 설정하는 제 2측정포인트 설정수단을 콤퓨터로 실행시키기 위한 측정포인트 배분프로그램을 기록한 기록매체.Coordinate conversion means for converting position information of a plurality of measurement points with respect to an object to be arranged in the moving area of the plurality of heads 20 and 22 into machine coordinates, and coordinates of each measurement point coordinated by the coordinate conversion means. Based on the extracted from the plurality of measuring points in order to sequentially extract the measuring point that the distance to the origin of the machine coordinate changes along a straight line, one of the plurality of head (20, 22) head 20 First measuring point setting means for setting in correspondence to the measurement sequence as a measuring point for the measurement point, and each measuring point sequentially set by the first measuring point setting means based on the coordinates of each measuring point coordinate-converted by the coordinate converting means. A measurement point existing at a position away from the minimum distance from which the head 20 and the head 22 can be adjacent to each other is sequentially selected from among the plurality of measurement points. Extraction, as a measurement point of the extracted measuring point on the other side of the head 22 records a measuring point allocation program for executing the second measuring point setting means for setting so as to correspond to the measurement order to the computerized recording medium. 제 3항에 있어서, The method of claim 3, 상기 제 1측정포인트 설정수단은, 상기 좌표변환수단으로 좌표변환된 각 측정포인트의 좌표를 기초로 상기 기계좌표의 원점에 가까운 측정포인트 또는 전회에 추출된 측정포인트에 가까운 측정포인트를 상기 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하고, 상기 제 2측정포인트 설정수단은, 상기 제 1측정포인트 설정수단으로 순차적으로 설정된 각 측정포인트 좌표를 기준으로 상기 다른 쪽 헤드(22)의 최대구동범위내에 존재하고, 또한 상기 각 헤드(20, 22)끼리의 근접을 허용하는 최소거리보다도 큰 위치에 존재하는 측정포인트를 상기 다수의 측정포인트 중에서 순차적으로 추출하여서 되는 것을 특징으로 하는 측정포인트 배분프로그램을 기록한 기록매체.The first measuring point setting means measures the plurality of measuring points close to the measuring point close to the origin of the machine coordinate or the measuring point extracted last time based on the coordinates of each measuring point coordinated by the coordinate converting means. The second measuring point setting means is sequentially extracted from the points, and the second measuring point setting means exists within the maximum driving range of the other head 22 on the basis of the respective measuring point coordinates sequentially set by the first measuring point setting means. And a measuring point distribution program, wherein the measuring point distribution program is sequentially extracted from the plurality of measuring points, the measuring point being present at a position larger than the minimum distance allowing the heads 20 and 22 to be close to each other.
KR1020040094529A 2004-09-09 2004-11-18 Control method of measurement device KR101186420B1 (en)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2004-00261844 2004-09-09
JP2004261844A JP4551164B2 (en) 2004-09-09 2004-09-09 measuring device

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20060023505A KR20060023505A (en) 2006-03-14
KR101186420B1 true KR101186420B1 (en) 2012-09-27

Family

ID=36157893

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020040094529A KR101186420B1 (en) 2004-09-09 2004-11-18 Control method of measurement device

Country Status (4)

Country Link
JP (1) JP4551164B2 (en)
KR (1) KR101186420B1 (en)
CN (1) CN100498214C (en)
TW (1) TWI335416B (en)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4875900B2 (en) * 2006-02-06 2012-02-15 オリンパス株式会社 Multi-head microscope apparatus and control method of multi-head microscope apparatus
JP5319063B2 (en) * 2006-11-30 2013-10-16 株式会社日立国際電気 Line width measuring device
JP2008209295A (en) * 2007-02-27 2008-09-11 Hitachi Kokusai Electric Inc Device for measuring size
KR101007861B1 (en) * 2008-09-26 2011-01-18 조영신 An apparatus and method for filming a heat image
JP5349122B2 (en) * 2009-04-14 2013-11-20 株式会社ミツトヨ Synchronous moving device and image measuring device
JP2011099812A (en) * 2009-11-09 2011-05-19 Sokkia Fine System:Kk Two-dimensional coordinate measuring machine
KR101225805B1 (en) * 2012-02-28 2013-01-23 주식회사 커미조아 Method for tilt-compensating of gantry apparatus using toque feedback and gantry apparatus using the same
US9600089B2 (en) * 2014-10-03 2017-03-21 Adobe Systems Incorporated Optical digital ruler

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1047940A (en) 1996-08-05 1998-02-20 Saginomiya Seisakusho Inc Measuring plate, and device and method for measuring wheel alignment
JPH10213423A (en) 1997-01-27 1998-08-11 Suzuki Motor Corp Device and method for measuring three-dimensional shape

Family Cites Families (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS62165106A (en) * 1986-01-17 1987-07-21 Kobe Steel Ltd Shape measuring instrument
JP2533101B2 (en) * 1987-01-20 1996-09-11 株式会社 ヒューテック Dimension measuring device
JP2889083B2 (en) * 1993-06-25 1999-05-10 株式会社ソキア 2D coordinate measuring machine
JPH07174519A (en) * 1993-12-21 1995-07-14 Toyota Motor Corp Image-pickup camera controller in apparatus for inspecting mounted state of electronic part of substrate
JP3442163B2 (en) * 1994-10-11 2003-09-02 富士通株式会社 Positioning method and apparatus
JPH09101115A (en) * 1995-10-04 1997-04-15 Nikon Corp Image measuring device
JPH10170223A (en) * 1996-12-14 1998-06-26 Ricoh Co Ltd Positioning system and its method
US20040086166A1 (en) * 2002-11-01 2004-05-06 Photon Dynamics, Inc. Method and apparatus for flat patterned media inspection

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH1047940A (en) 1996-08-05 1998-02-20 Saginomiya Seisakusho Inc Measuring plate, and device and method for measuring wheel alignment
JPH10213423A (en) 1997-01-27 1998-08-11 Suzuki Motor Corp Device and method for measuring three-dimensional shape

Also Published As

Publication number Publication date
TW200609494A (en) 2006-03-16
KR20060023505A (en) 2006-03-14
JP4551164B2 (en) 2010-09-22
TWI335416B (en) 2011-01-01
CN100498214C (en) 2009-06-10
JP2006078303A (en) 2006-03-23
CN1746612A (en) 2006-03-15

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US7456377B2 (en) System and method for creating magnified images of a microscope slide
US20050089208A1 (en) System and method for generating digital images of a microscope slide
JP5525953B2 (en) Dimension measuring apparatus, dimension measuring method and program for dimension measuring apparatus
CN108225190B (en) Measuring system
US11189012B2 (en) Arrangement having a coordinate measuring machine or microscope
US20120194672A1 (en) Dimension Measuring Apparatus, Dimension Measuring Method, And Program For Dimension Measuring Apparatus
CN110300255B (en) Information processing device, information processing method, program, and vision measuring device
JP6274794B2 (en) Information processing apparatus, information processing method, program, and image measurement apparatus
KR102259825B1 (en) Focus adjustment method and device therefor
TWI335416B (en) Control method of measuring apparatus and recording medium for recording measurement point distribution program
JP2015230393A (en) Control method of imaging apparatus, and imaging system
JP2006118867A (en) Scanning probe microscope and measuring method using it
JP2007218846A (en) Dimensional measurement method, imaging device, controller, and dimensional measuring device
JP4791568B2 (en) 3D measuring device
KR101119873B1 (en) Measurer for minute dimension
KR101677001B1 (en) Measuring apparatus
KR100875456B1 (en) Sheet measurement method and system and measurement information management system
JP2005172610A (en) Three-dimensional measurement apparatus
US10055849B2 (en) Image measurement device and controlling method of the same
JPH11295045A (en) Inspecting apparatus
JP4340138B2 (en) Non-contact 3D shape measuring device
CN108897279B (en) Digital extension method and system for field and depth of field of microscopic vision system of micro-assembly system
JP2014215153A (en) Image measuring apparatus and program for controlling the same
JPH09203740A (en) Scanning type probe microscope
JP2012154862A (en) Three-dimensional dimension measuring device

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
N231 Notification of change of applicant
E902 Notification of reason for refusal
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20150918

Year of fee payment: 4

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20160819

Year of fee payment: 5

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20170823

Year of fee payment: 6

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20190916

Year of fee payment: 8