KR101183027B1 - Sealed storage case - Google Patents

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KR101183027B1
KR101183027B1 KR1020120064871A KR20120064871A KR101183027B1 KR 101183027 B1 KR101183027 B1 KR 101183027B1 KR 1020120064871 A KR1020120064871 A KR 1020120064871A KR 20120064871 A KR20120064871 A KR 20120064871A KR 101183027 B1 KR101183027 B1 KR 101183027B1
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KR
South Korea
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container
door
fitting
sealing
sealed storage
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KR1020120064871A
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임이택
이강성
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(주)상아프론테크
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Abstract

PURPOSE: A sealing carrying box is provided to improve reliability of product by forming a wing part to be bent in the inner direction and offering uniform sealing force. CONSTITUTION: A container(110) has an opening(111) on the front. A door(120) hermetically seals the opening of the container. A sealing member hermetically seals an interval between the opening of the container and the edge of the door. The sealing member comprises a fitting part(131), an extension part(132), and a wing part(133). The fitting part is pressed in a fitting groove formed on the inner side of the door. The extension part is extended from the outer circumferential face of the fitting part to the outer circumferential face of the door.

Description

밀봉 수납용기{Sealed storage case}Sealed Storage Case

본 발명은 반도체 웨이퍼와 같은 기판을 밀봉 수납하기 위한 밀봉 수납용기에 관한 것이다.The present invention relates to a sealed storage container for sealingly housing a substrate such as a semiconductor wafer.

특히, 날개부가 내측 방향으로 일관되게 굴곡되도록 구성함으로써 균일한 밀봉력을 얻을 수 있어서 제품의 신뢰도를 높일 수 있는 밀봉 수납용기에 관한 것이다.
In particular, the present invention relates to a sealed storage container capable of obtaining a uniform sealing force by constructing the wings to be consistently bent in the inward direction, thereby increasing the reliability of the product.

반도체 웨이퍼는 처리 중에 다수의 단계를 거친다. 웨이퍼 처리는 일반적으로 특화된 장비에 의한 처리를 위해서 하나의 워크 스테이션으로부터 다른 워크 스테이션으로 복수개의 웨이퍼를 이송하는 것을 수반한다. 처리절차의 일부로서, 웨이퍼는 컨테이너에서 일시적으로 저장되거나 적재되어 다른 플랜트나 사용자에게 이송된다. 다양한 환경에 걸친 웨이퍼의 이동은 웨이퍼를 잠재적인 웨이퍼 손상 오염에 노출시킨다. Semiconductor wafers go through a number of steps during processing. Wafer processing generally involves transferring a plurality of wafers from one workstation to another for processing by specialized equipment. As part of the processing procedure, the wafer is temporarily stored or loaded in a container and transferred to another plant or user. Movement of the wafer across various environments exposes the wafer to potential wafer damage contamination.

웨이퍼가 유해한 오염에 노출되는 것을 차단하기 위해서, 웨이퍼를 외부 오염으로부터 격리시킬 뿐 아니라 오염물의 생성도 최소화하는 특화된 컨테이너에 웨이퍼가 수납된다. 이러한 컨테이너의 일반적인 구성은, 폐쇄될 때 테이프 등에 의해서 밀봉하거나 밀봉되는 제거 가능한 도어 또는 밀폐부를 포함한다. 특히, 반도체 제조 설비 내에서 사용되는 대부분의 밀봉 수납용기는 하우징과 도어 사이에 삽입되는 밀봉부재를 갖는다.To prevent the wafer from being exposed to harmful contamination, the wafer is housed in specialized containers that not only isolate the wafer from external contamination but also minimize the generation of contaminants. The general construction of such a container includes a removable door or seal that is sealed or sealed by tape or the like when closed. In particular, most sealed containment vessels used in semiconductor manufacturing facilities have a sealing member inserted between the housing and the door.

이를 구체적으로 보면, 도 1 및 2에서와 같이 종래 밀봉부재를 갖는 밀봉 수납용기는, 전방이 개방되어 있는 용기 본체(1)와, 상기 용기 본체(1)의 개구면(1a)을 개폐하도록 탈착 가능하게 끼워지는 도어(2)와, 상기 용기 본체(1)와 도어(2) 사이에 개재되어 내부를 청결하게 유지하는 밀봉부재(3)로 구성되어 있다. Specifically, as shown in Figs. 1 and 2, the sealed storage container having the conventional sealing member is detachable so as to open and close the container main body 1 with the front open and the opening face 1a of the container main body 1 open. It consists of the door 2 which can be fitted, and the sealing member 3 interposed between the container main body 1 and the door 2, and keeps the inside clean.

상기한 밀봉부재(3)는 각종 유형의 고무 또는 엘라스토머로부터 선택되는 재료의 무한 성형품으로 형성되어 있다. 도면에 도시된 바와 같은 밀봉부재(3)는 도어(2)의 외주측에 형성된 끼워맞춤 유지홈(2a) 내로 끼워지는 변형 가능한 무한부(3a)와, 이 무한부(3a)의 외주에 가까운 아래쪽에 형성되어 도어(2)에 대한 간극을 형성하는 대략 장방형 단면의 요부(3b)와, 무한부(3a)의 외주측의 표면에서 수직으로 돌출되어 용기 본체(1)의 개구면의 내주와 접촉하는 변형 가능한 리브(3c)로 구성되어 있다.The sealing member 3 is formed of an endless molded article of a material selected from various types of rubber or elastomer. The sealing member 3 as shown in the figure has a deformable endless portion 3a fitted into the fitting retaining groove 2a formed on the outer circumferential side of the door 2, and close to the outer circumference of the endless portion 3a. The inner circumference of the opening 3 of the container body 1 is projected vertically from the surface of the outer circumferential side of the substantially rectangular cross section formed at the lower side and forming a gap with respect to the door 2, It consists of the deformable rib 3c which contacts.

복수의 정밀 기판이 내부에 정렬되고 보관된 상태로 도어(2)가 용기 본체(1)의 개구면(1a)에 끼워질 때, 이 밀봉부재(3), 특히 핀 형상의 단면을 갖는 리브(3c) 및 무한부(3a)의 일부가 변형됨과 아울러, 요부(3b)는 압축력을 조절하여 용기 본체(1)의 개구면을 완전히 밀봉한다.When the door 2 is fitted to the opening face 1a of the container body 1 with a plurality of precision substrates aligned and stored therein, this sealing member 3, in particular a rib having a fin-shaped cross section ( In addition to the deformation of 3c and part of the endless portion 3a, the recessed portion 3b adjusts the compressive force to completely seal the opening surface of the container body 1.

상기한 종래의 밀봉부재(3)는 리브(3c)를 통해 그의 밀봉 기능을 발휘하지만, 이 리브(3c)는 내부 또는 외부로 절곡될 수 있고 변형 방향이 대부분 불분명하므로, 리브(3c)가 예상방향과 반대 방향으로 절곡되면, 그 부분의 밀봉성은 고르지 않게 될 수 있다.
The conventional sealing member 3 described above exerts its sealing function through the rib 3c, but since the rib 3c can be bent inward or outward and the deformation direction is mostly unclear, the rib 3c is expected. When bent in the opposite direction, the sealability of that part may be uneven.

본 발명은 상기와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위해 안출한 것으로서, 본 발명의 주요 목적은 날개부가 내측 방향으로 일관되게 굴곡되도록 구성하여 균일한 밀봉력을 얻을 수 있도록 함에 따라 제품의 신뢰도를 높일 수 있는 밀봉 수납용기를 제공함에 있다.The present invention has been made to solve the conventional problems as described above, the main object of the present invention is to be configured to be consistently bent in the inward direction to obtain a uniform sealing force to increase the reliability of the product In a sealed container.

본 발명의 다른 목적은 컨테이너의 내압이 외압보다 큰 경우, 내압을 원활하게 배출할 수 있는 밀봉 수납용기를 제공함에 있다.
Another object of the present invention is to provide a sealed storage container that can smoothly discharge the internal pressure when the internal pressure of the container is greater than the external pressure.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명은,
전방에 개구부를 갖는 컨테이너와, 상기 컨테이너의 개구부를 밀봉하는 도어를 갖추되, 상기 도어의 외곽 테두리에는 컨테이너의 개구부와 도어 테두리 사이의 밀봉을 이루기 위한 밀봉부재가 갖추어진 밀봉 수납용기에 있어서,
상기 밀봉부재는,
상기 도어의 내측면에 형성된 끼움홈에 압입되는 끼움부; 상기 끼움부의 두께에 비해 얇은 두께를 가진 채, 끼움부의 외주면으로부터 도어의 외주면 방향으로 수평 연장되는 슬림한 연장부; 및 상기 연장부의 말단으로부터 컨테이너의 내부를 향해 돌출되게 형성되되, 컨테이너와 도어가 결합되었을 때 컨테이너의 내면에 의해 압박되면서 단방향 굴곡수단에 의해 상기 연장부의 내면 방향으로만 일관되게 굴곡되는 날개부;를 포함하고,
상기 연장부에, 상기 끼움부의 내면에 비해 함몰되게 단차진 내단차부와, 상기 끼움부의 외면에 비해 함몰되게 단차진 외단차부가 형성됨을 더 포함하며,
상기 외단차부 상에는 상기 도어의 전면을 향해 돌출된 채, 상기 끼움부 또는 날개부를 향해 굴곡 가능한 상태이고, 상기 끼움홈에 끼움부를 압입할 때 상기 날개부를 향해 굴곡되는 실링돌기를 더 포함하는 밀봉 수납용기를 제공한다.According to an aspect of the present invention,
In the sealed storage container provided with a container having an opening in the front and a door for sealing the opening of the container, the outer edge of the door is provided with a sealing member for sealing between the opening of the container and the door edge,
The sealing member
A fitting part press-fitted into a fitting groove formed on an inner side surface of the door; A slim extension horizontally extending from the outer circumferential surface of the fitting portion in the direction of the outer circumferential surface of the door with a thickness thinner than that of the fitting portion; And a wing portion formed to protrude toward the inside of the container from the end of the extension portion and being bent by the inner surface of the container when the container and the door are coupled, and bent consistently only in the direction of the inner surface of the extension portion by the unidirectional bending means. Including,
The extension portion further includes an inner stepped portion stepped to be recessed relative to an inner surface of the fitting portion, and a stepped outer stepped portion to be recessed relative to an outer surface of the fitting portion.
The housing includes a sealing protrusion protruding toward the front surface of the door and bent toward the fitting portion or the wing portion, the sealing protrusion bent toward the wing portion when the fitting portion is pressed into the fitting groove on the outer stepped portion. Provide the container.

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또한, 본 발명의 상기 외단차부 상에는 외향으로 편향되게 경사진 톱니형태를 가지며, 상기 끼움홈에 끼움부를 압입할 때는 외향으로 더 편향되게 굴곡되는 실링돌기를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.In addition, the outer stepped portion of the present invention has a sawtooth shape that is inclined outwardly deflected, characterized in that it further comprises a sealing projection that is bent more deflected outward when the fitting portion is pressed into the fitting groove.

또한, 본 발명의 상기 외단차부의 단차 높이는 상기 실링돌기가 굴곡되었을 때의 굴곡높이와 같은 것을 특징으로 한다.In addition, the step height of the outer step portion of the present invention is characterized in that the same as the bending height when the sealing projection is bent.

또한, 본 발명의 상기 단방향 굴곡수단은, 상기 연장부의 두께를, 상기 끼움부로부터 날개부로 갈수록 점차적으로 얇아지게 하여서 된 것을 특징으로 한다.The unidirectional bending means of the present invention is characterized in that the thickness of the extension portion is gradually thinned from the fitting portion to the wing portion.

또한, 본 발명의 상기 단방향 굴곡수단은, 상기 연장부와 날개부의 내측 경계부위 또는 외측 경계부위에 형성되는 오목부인 것을 특징한다.In addition, the unidirectional bending means of the present invention is characterized in that the concave portion formed on the inner boundary portion or the outer boundary portion of the extension portion and the wing portion.

또한, 본 발명의 상기 날개부는 그 내면과 연장부의 내면 사잇각이 직각이고, 그 외면과 연장부의 내면 사잇각이 예각인 것을 특징으로 한다.In addition, the wing portion of the present invention is characterized in that the inner surface angle of the inner surface and the extension portion of the right angle, the outer surface and the inner surface angle of the extension portion is acute angle.

또한, 본 발명의 상기 컨테이너는 반도체 웨이퍼, 마스킹 유리기판, 액정 셀, 기록 매체 중 어느 하나가 수용되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the container of the present invention is characterized in that any one of a semiconductor wafer, a masking glass substrate, a liquid crystal cell, and a recording medium is accommodated.

이상의 본 발명은 날개부가 내측 방향으로 일관되게 굴곡되도록 구성하여 균일한 밀봉력을 얻을 수 있도록 함에 따라 제품의 신뢰도를 향상시키는데 일조 된다.The present invention is configured to be consistently bent in the inward direction to achieve a uniform sealing force to help improve the reliability of the product.

또한, 본 발명은 밀봉부재의 내압이 외압보다 클 경우 내압을 원활하게 배출할 수 있어서 셀프 압력조절이 가능하다.
In addition, the present invention can smoothly discharge the internal pressure when the internal pressure of the sealing member is greater than the external pressure, it is possible to adjust the self pressure.

도 1은 종래 밀봉부재의 예시도로서, 밀봉부재가 압축되기 전 상태의 도면이다.
도 2는 종래 밀봉부재의 예시도로서, 밀봉부재가 압축된 상태의 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 밀봉부재가 적용되는 밀봉 수납용기의 구성도이다.
도 4는 본 발명에 따른 밀봉부재의 결합 전 상태도로서, 도 3의 A-A선 단면도이다.
도 5는 본 발명에 따른 밀봉부재의 단면도로서, 결합 후 상태도이다.
도 6은 본 발명에 따른 밀봉부재의 다른 실시예이다.
도 7은 본 발명에 따른 밀봉부재의 또 다른 실시예이다.1 is a diagram illustrating a conventional sealing member, which is a state before the sealing member is compressed.
2 is a view illustrating a conventional sealing member, in which the sealing member is compressed.
3 is a block diagram of a sealed storage container to which the sealing member according to the present invention is applied.
4 is a state diagram before coupling of the sealing member according to the present invention, a cross-sectional view taken along line AA of FIG.
Figure 5 is a cross-sectional view of the sealing member according to the present invention, a state diagram after bonding.
6 is another embodiment of a sealing member according to the present invention.
7 is another embodiment of a sealing member according to the present invention.

이하에서는 본 발명의 실시예가 개시된다.Hereinafter, embodiments of the present invention are disclosed.

개시되는 실시예들은 본 발명의 사상을 당업자가 용이하게 이해할 수 있도록 제공되는 것으로, 이에 의해 본 발명이 한정되지 않는다. 본 발명의 실시예들은 본 발명의 기술적 사상 및 범위 내에서 다른 형태로 변형될 수 있다. 본 명세서에서 '및/또는'은 전후에 나열한 구성요소들 중 적어도 하나를 포함하는 의미로 사용되었다. 본 명세서에서 다른 구성요소 '상에' 위치한다는 것은 일 구성요소 상에 다른 구성요소가 직접 위치한다는 의미는 물론, 상기 일 구성요소 상에 제 3의 구성요소가 더 위치할 수 있다는 의미도 포함한다. 본 명세서 각 구성요소 또는 부분 등을 제1, 제2 등의 표현을 사용하여 지칭하였으나, 이는 명확한 설명을 위해 사용된 표현으로 이에 의해 한정되지 않는다. 도면에 표현된 구성요소들의 두께 및 상대적인 두께는 본 발명의 실시예들을 명확하게 표현하기 위해 과장된 것일 수 있다. 또한, 첨부된 도면에 표현된 사항들은 본 발명의 실시예들을 쉽게 설명하기 위해 도식화된 도면으로 실제로 구현되는 형태와 상이할 수 있다.
The disclosed embodiments are provided so that those skilled in the art can easily understand the spirit of the present invention, and the present invention is not limited thereto. Embodiments of the invention may be modified in other forms within the spirit and scope of the invention. As used herein, the term " and / or " is used to include at least one of the preceding and following elements. "On" other elements herein means that other elements are directly located on one element and that the third element is further located on the one element . Although each element or portion of the specification is referred to by using the expressions of the first and second expressions, it is not limited thereto. The thicknesses and relative thicknesses of the components shown in the figures may be exaggerated to clearly illustrate the embodiments of the present invention. In addition, the matters described in the attached drawings may be different from those actually implemented by the schematic drawings to easily describe the embodiments of the present invention.

첨부된 도 3은 본 발명에 따른 밀봉부재가 적용되는 밀봉 수납용기의 구성도이고, 도 4는 본 발명에 따른 밀봉부재의 결합 전 상태도로서, 도 3의 A-A선 단면도이다. 도 5는 본 발명에 따른 밀봉부재의 단면도로서 결합 후 상태도이고, 도 6은 본 발명에 따른 밀봉부재의 다른 실시예이며, 도 7은 본 발명에 따른 밀봉부재의 또 다른 실시예이다.
Attached FIG. 3 is a configuration diagram of a sealed storage container to which a sealing member according to the present invention is applied, and FIG. 4 is a cross-sectional view taken along line AA of FIG. 3 as a state diagram before coupling of the sealing member according to the present invention. Figure 5 is a cross-sectional view of the sealing member according to the present invention after coupling, Figure 6 is another embodiment of the sealing member according to the present invention, Figure 7 is another embodiment of the sealing member according to the present invention.

위의 도면들 중, 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 밀봉 수납용기(100)는 전방 개구형의 컨테이너(110); 상기 컨테이너(110)의 전방 개구부(111)를 개폐하기 위한 평판형의 도어(120) 및 상기 도어(120)의 테두리에 압입되어 도어(120)와 컨테이너(110)를 결합하였을 때 그 경계부위의 기밀을 보장하기 위한 무한궤도형의 가요성 밀봉부재(130)를 포함한다. 여기서, 상기 컨테이너(110)는 반도체 웨이퍼, 마스킹 유리기판, 액정 셀, 기록 매체 등이 저장된다.
Among the above drawings, referring to FIG. 3, the sealing receiving container 100 according to the present invention includes a front opening type container 110; When the door 120 and the container 110 are combined by being pressed into the flat door 120 and the edge of the door 120 to open and close the front opening 111 of the container 110 It includes a flexible sealing member 130 of the endless track type to ensure the airtight. In this case, the container 110 stores a semiconductor wafer, a masking glass substrate, a liquid crystal cell, a recording medium, and the like.

상기 밀봉부재(130)는 도 4에서와 같이, 상기 도어(120)의 테두리면을 따라 형성된 끼움홈(121)에 압입되는 끼움부(131)를 갖는다. 상기 끼움부(131)는 상기 끼움홈(121)의 내용적과 적어도 같거나 큰 볼륨을 갖되, 바람직하게는 끼움홈(121)의 내용적에 비해 약간 큰 볼륨을 갖도록 하여 압입되는 것이 좋다. 이는 밀봉부재(130)가 끼움홈(121)으로부터 이탈되는 것을 예방하기 위한 조건이다. As shown in FIG. 4, the sealing member 130 has a fitting portion 131 which is press-fitted into the fitting groove 121 formed along the edge surface of the door 120. The fitting portion 131 has a volume that is at least equal to or larger than the contents of the fitting groove 121, and preferably has a volume slightly larger than that of the fitting groove 121. This is a condition for preventing the sealing member 130 is separated from the fitting groove 121.

그리고, 상기 끼움부(131)는 그 횡길이(ℓ)가 상기 끼움홈(121)의 깊이(d)와 같거나, 그보다 짧게 구성된다. 이렇게 끼움부(131)의 길이를 한정하는 이유는 끼움홈(121)에 대하여 끼움부(131)가 완전하게 끼워졌는지를 쉽게 가늠하기 위한 것이다. 즉, 끼움부(131)의 길이가 길면 끼움홈(121)에 어느 만큼 끼워졌는지를 가늠하기 어렵기 때문에 불량 끼움이 될 수 있으나, 끼움부(131)의 길이를 끼움홈(121)과 같게 하면 끼움부(131)를 끼움홈(121)에 완전하게 삽입하기만 하면 되므로 끼움상태의 가시적 확인이 용이하므로 끼움의 정확도를 높일 수 있게 된다.
In addition, the fitting portion 131 has a lateral length ℓ equal to or shorter than the depth d of the fitting groove 121. The reason for limiting the length of the fitting portion 131 is to easily determine whether the fitting portion 131 is completely fitted with respect to the fitting groove 121. That is, if the length of the fitting portion 131 is long, it may be a bad fitting because it is difficult to determine how much fit into the fitting groove 121, but if the length of the fitting portion 131 equal to the fitting groove 121 Since the fitting portion 131 needs only to be completely inserted into the fitting groove 121, it is easy to visually check the fitting state, thereby increasing the accuracy of the fitting.

도 4에서와 같이, 상기 밀봉부재(130)는 상기 끼움부(131)의 외주면으로부터 도어(120)의 테두리 방향으로 수평 연장되는 연장부(132)를 갖는다.As shown in FIG. 4, the sealing member 130 has an extension 132 horizontally extending from the outer circumferential surface of the fitting portion 131 in the rim direction of the door 120.

상기 연장부(132)는 상기 끼움부(131)의 외주면 중앙부에 위치하며, 끼움부보다 얇은 두께의 슬림한 구조를 갖는다. 특히, 상기 연장부(132)의 내면에는 상기 끼움부(131)의 내면에 비해 함몰되게 단차진 내단차부(132a)를 가지며, 연장부(132)의 외면에는 상기 끼움부(131)의 외면에 비해 함몰되게 단차진 외단차부(132b)를 갖는다.The extension part 132 is positioned at the center of the outer circumferential surface of the fitting part 131 and has a slim structure having a thickness thinner than that of the fitting part. In particular, the inner surface of the extension portion 132 has a stepped inner step portion 132a recessed relative to the inner surface of the fitting portion 131, the outer surface of the extension portion 132 the outer surface of the fitting portion 131 Compared with the recessed stepped portion 132b.

여기서, 상기 외단차부(132b) 상에는 상기 도어(120)의 전면(前面)을 향해 돌출된 채, 상기 끼움부(131) 또는 날개부(후술함)를 향해 굴곡 가능한 상태이고, 상기 끼움홈(121)에 끼움부(131)를 압입할 때 압입방향의 반대방향(날개부 방향)을 향해 자연스럽게 굴곡되며 단면이 스틱형인 실링돌기(140)를 더 포함할 수 있다. 상기 스틱형 실링돌기(140)의 외단부는 상기 끼움부(131)의 외면보다 더 길게 연장되어 있어서 끼움부(131)를 끼움홈(131)에 끼워 넣는 과정에서 자연스럽게 접히는 상태가 된다.Here, on the outer stepped portion 132b, it is bent toward the fitting portion 131 or the wing portion (described later) while protruding toward the front surface of the door 120, and the fitting groove ( When the fitting portion 131 is press-fitted into 121, the sealing protrusion 140 may be further naturally curved in a direction opposite to the pressing direction (wing direction) and has a stick shape in cross section. The outer end portion of the stick-type sealing protrusion 140 extends longer than the outer surface of the fitting portion 131, thereby naturally folding in the process of fitting the fitting portion 131 into the fitting groove 131.

이와는 다르게, 상기 실링돌기(140)는 도 7에서와 같이, 상기 외단차부(132b) 상에 상기 컨테이너(110)의 내면을 향해 편향되게 경사진 톱니형태를 취할 수 있다. 상기 톱니형태의 실링돌기(140)는 하나 이상 형성될 수 있고, 상기 끼움홈(121)에 끼움부(131)를 압입할 때는 도어(120)의 밀봉부재(130) 설치면(122)에 의해 압박되면서 더 편향되게 굴곡된다. Alternatively, the sealing protrusion 140 may have a sawtooth shape that is inclined toward the inner surface of the container 110 on the outer stepped portion 132b as shown in FIG. 7. One or more serrated sealing protrusions 140 may be formed, and when the fitting portion 131 is press-fit into the fitting groove 121 by the sealing member 130 mounting surface 122 of the door 120 As it is pressed, it is more deflected.

이때, 상기 스틱형 또는 톱니형 실링돌기(140)가 굴곡되었을 때의 굴곡높이(h)는 상기 외단차부(132b)의 높이와 같을 수 있다.At this time, the bending height (h) when the stick-type or serrated sealing protrusion 140 is bent may be equal to the height of the outer stepped portion 132b.

상기한 실링돌기(140)는 기본적으로 상기 연장부(132)와 설치면(122) 사이의 기밀을 강화하는 기능을 한다.
The sealing protrusion 140 basically functions to reinforce airtightness between the extension part 132 and the installation surface 122.

상기 밀봉부재(130)는 상기 연장부(132)의 말단으로부터 컨테이너(110)의 내부를 향해 돌출되게 형성되는 날개부(133)를 갖는다. 상기 날개부(133)는 컨테이너(110)와 도어(120)가 결합되었을 때 컨테이너(110)의 상기 날개부(133)와 직교하는 내면(112)에 의해 압박되면서 상기 연장부(132)의 내면 방향으로 굴곡 변형된다.The sealing member 130 has a wing 133 is formed to protrude toward the inside of the container 110 from the end of the extension portion 132. The wing 133 is pressed by an inner surface 112 orthogonal to the wing 133 of the container 110 when the container 110 and the door 120 are coupled to the inner surface of the extension 132. Bending in the direction.

이때, 상기 밀봉부재(130)는 날개부(133)가 연장부(132)의 내면 방향으로만 일관되게 굴곡되도록 하기 위해 단방향 굴곡수단을 가질 수 있다. 상기 단방향 굴곡수단은 상기 연장부(132)의 두께를 상기 끼움부(131)로부터 날개부로 갈수록 점차적으로 얇아지게 구성하여 이루어질 수 있고, 다른 한편으로는 도 5, 6에서와 같이 상기 연장부(132)와 날개부(133)의 내측 경계부위 또는 외측 경계부위에 오목부(150)를 형성하여 이루어질 수 있다.At this time, the sealing member 130 may have a one-way bending means to be consistently bent only in the inner surface direction of the extension portion 132 of the wing 133. The unidirectional bending means may be formed by gradually increasing the thickness of the extension portion 132 from the fitting portion 131 toward the wing portion, and on the other hand, the extension portion 132 as shown in FIGS. ) And the concave portion 150 may be formed at an inner boundary portion or an outer boundary portion of the wing portion 133.

이러한 단방향 굴곡수단은 전자의 경우와 같이 연장부(132)의 두께를 끼움부(131)로 갈수록 점차로 얇아지게 하면 연장부(132)의 최선단부의 두께가 가장 얇게 될 것이므로 변형이 가장 먼저 일어나게 된다. 따라서, 날개부(133)가 내면 방향으로 쉽게 굴곡되는 원인이 된다. 후자의 경우와 같이 연장부(132)와 날개부(133)의 경계부위에 오목부(150)를 형성하는 경우도 전자의 경우와 마찬가지로 오목부(150)로 인해 연장부(132)와 날개부(133) 경계부위의 두께가 가장 얇게 되므로 변형이 가장 먼저 일어나게 된다. 따라서 이 역시 날개부(133)가 내면 방향으로 쉽게 굴곡되는 원인을 제공하게 된다.As the unidirectional bending means is made thinner gradually as the thickness of the extension portion 132 toward the fitting portion 131 as in the case of the former, since the thickness of the uppermost end of the extension portion 132 will be the thinnest, deformation occurs first. . Therefore, the wing portion 133 is a cause of easy bending in the inner surface direction. As in the latter case, when the recess 150 is formed at the boundary between the extension part 132 and the wing part 133, the extension part 132 and the wing part due to the recess part 150 are similar to the former case. (133) Since the thickness of the boundary is the thinnest, deformation occurs first. Therefore, this also provides a cause for the wing portion 133 is easily bent in the inner surface direction.

이에 더하여, 상기 날개부(133)는 상술된 실링돌기(140)에 의해서도 내면 방향으로의 굴곡됨이 원활하게 된다. 즉, 상기 날개부(133)는 끼움부(131)를 끼움홈(121)에 압입하였을 때 굴곡된 상태가 되나 그 자체의 탄성력에 의해 원상으로 복귀하려는 힘을 발휘하게 되는데, 이 힘에 의해 상기 날개부(133)가 내면방향으로 굴곡되는데 일조하게 된다.In addition, the wing 133 is smoothly bent in the inner surface direction by the sealing protrusion 140 described above. That is, the wing 133 is in a curved state when the fitting portion 131 is pressed into the fitting groove 121, but exhibits a force to return to its original shape by its elastic force. The wing 133 helps to bend in the inner surface direction.

한편, 상기 날개부(133)는 다른 요소들의 도움 없이 자위적으로도 내측으로 굴곡되는 상태로 되는 것이 바람직하므로, 그 내면과 연장부의 내부 사잇각(θ1)은 직각을 이루되, 그 외면과 연장부의 내부 사잇각(θ2)은 예각으로 함으로써 경사면을 형성하게 되어 날개부(133)의 선단이 컨테이너(110)의 내면에 의해 압박되었을 때 내측으로 굴곡될 수 있게 된다.
On the other hand, since the wing portion 133 is preferably bent inwardly self-supporting without the help of other elements, the inner surface angle (θ 1 ) of the inner surface and the extension is a right angle, but the outer surface and the extension The inner internal angle θ 2 of the negative portion forms an inclined surface by being acute, so that the tip of the wing 133 may be bent inward when the tip of the wing 133 is pressed by the inner surface of the container 110.

이와 같이 날개부(133)가 내측으로 굴곡되면, 컨테이너(110)의 내부에 외압(P2)보다 큰 내압(P1)이 발생할 경우에 가장 먼저 도어(120)에 내압이 작용되면서 도어(120)가 미세하게 컨테이너(110)의 개구부로부터 이격되고, 날개부(133)는 이러한 이격작용에 의해 컨테이너(110)와 미세접촉 또는 미접촉 상태가 되면서 내압(P1)이 배출되는 환경이 조성된다. 내압(P1)이 외압(P2)과 동일해지면 도어(120)가 컨테이너(110)에 다시 밀착되면서 초기 상태가 되므로 날개부(133)는 다시 본연의 위치로 되돌아 가게 되므로 외부 파티클이 컨테이너(110)의 내부로 유입되는 것을 방지하는 실링의 역할을 계속할 수 있게 된다.
As described above, when the wing 133 is bent inwardly, when the internal pressure P 1 greater than the external pressure P 2 occurs inside the container 110, the internal pressure is first applied to the door 120 while the door 120 is actuated. ) Is finely spaced apart from the opening of the container 110, the wing 133 is in a microcontact or non-contact state with the container 110 by such a spaced action is created an environment in which the internal pressure (P 1 ) is discharged. When the internal pressure P 1 is equal to the external pressure P 2 , the door 120 is brought into close contact with the container 110 again to be in an initial state, and thus the wing part 133 is returned to its original position. It is possible to continue the role of the sealing to prevent flowing into the interior of (110).

100 : 밀봉 수납용기 110 : 컨테이너
111 : 전방 개구부 112 : 내면
120 : 도어 121 : 끼움홈
122 : 설치면 130 : 밀봉부재
131 : 끼움부 132 : 연장부
132a : 내단차부 132b : 외단차부
133 : 날개부 140 : 실링돌기
150 : 오목부100: sealed storage container 110: container
111: front opening 112: inner surface
120: door 121: fitting groove
122: mounting surface 130: sealing member
131: fitting 132: extension
132a: inner stepped portion 132b: outer stepped portion
133: wing portion 140: sealing protrusion
150: concave

Claims (9)

전방에 개구부(111)를 갖는 컨테이너(110)와, 상기 컨테이너(110)의 개구부(111)를 밀봉하는 도어(120)를 갖추되, 상기 도어(120)의 외곽 테두리에는 컨테이너(110)의 개구부(111)와 도어(120) 테두리 사이의 밀봉을 이루기 위한 밀봉부재(130)가 갖추어진 밀봉 수납용기에 있어서,
상기 밀봉부재(130)는,
상기 도어(120)의 내측면에 형성된 끼움홈(121)에 압입되는 끼움부(131);
상기 끼움부(131)의 두께에 비해 얇은 두께를 가진 채, 끼움부(131)의 외주면으로부터 도어(120)의 외주면 방향으로 수평 연장되는 슬림한 연장부(132); 및
상기 연장부(132)의 말단으로부터 컨테이너(110)의 내부를 향해 돌출되게 형성되되, 컨테이너(110)와 도어(120)가 결합되었을 때 컨테이너(110)의 내면(112)에 의해 압박되면서 단방향 굴곡수단에 의해 상기 연장부(132)의 내면 방향으로만 일관되게 굴곡되는 날개부(133);를 포함하고,
상기 연장부(132)에, 상기 끼움부(131)의 내면에 비해 함몰되게 단차진 내단차부(132a)와, 상기 끼움부(131)의 외면에 비해 함몰되게 단차진 외단차부(132b)가 형성됨을 더 포함하며,
상기 외단차부(132b) 상에는 상기 도어(120)의 전면을 향해 돌출된 채, 상기 끼움부(131) 또는 날개부(133)를 향해 굴곡 가능한 상태이고, 상기 끼움홈(121)에 끼움부(131)를 압입할 때 상기 날개부(133)를 향해 굴곡되는 실링돌기(140)를 더 포함하는 밀봉 수납용기.
A container 110 having an opening 111 in front and a door 120 for sealing the opening 111 of the container 110 are provided, and an opening of the container 110 is formed at an outer edge of the door 120. In the sealed storage container equipped with a sealing member 130 for forming a seal between the (111) and the edge of the door 120,
The sealing member 130,
A fitting portion 131 press-fitted into the fitting groove 121 formed on the inner side of the door 120;
A slim extension portion 132 horizontally extending in the direction of the outer circumferential surface of the door 120 from the outer circumferential surface of the fitting portion 131 while having a thickness thinner than that of the fitting portion 131; And
Is formed to protrude toward the inside of the container 110 from the end of the extension 132, when the container 110 and the door 120 is coupled by being pressed by the inner surface 112 of the container 110, one-way bending And a wing portion 133 which is bent consistently only in the direction of the inner surface of the extension portion 132 by means;
The extension portion 132, the stepped inner stepped portion 132a recessed in comparison with the inner surface of the fitting portion 131, and the stepped outer stepped portion 132b recessed in comparison with the outer surface of the fitting portion 131. Further comprises;
On the outer stepped portion 132b, the state is bent toward the fitting portion 131 or the wing portion 133 while protruding toward the front of the door 120, and is fitted into the fitting groove 121 ( Sealing container further comprises a sealing projection (140) that is bent toward the wing portion (133) when pressing the 131.
삭제delete 삭제delete 제1항에 있어서,
상기 외단차부(132b) 상에는 컨테이너(110)의 내면쪽으로 편향되게 경사진 톱니형태를 가지며, 상기 끼움홈(121)에 끼움부(131)를 압입할 때는 컨테이너(110)의 내면 쪽으로 더 편향되게 굴곡되는 실링돌기(140)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 밀봉 수납용기.
The method of claim 1,
The outer stepped portion 132b has a sawtooth shape that is inclined to be deflected toward the inner surface of the container 110, and is further deflected toward the inner surface of the container 110 when the fitting portion 131 is press-fitted into the fitting groove 121. Sealed storage container, characterized in that it further comprises a sealing protrusion (140).
제1항 또는 제4항에 있어서,
상기 외단차부(132b)의 단차 높이는 상기 실링돌기(140)가 굴곡되었을 때의 굴곡높이와 같은 것을 특징으로 하는 밀봉 수납용기.
The method according to claim 1 or 4,
The step height of the outer step portion (132b) is a sealed storage container, characterized in that the same as the bending height when the sealing protrusion 140 is bent.
제1항에 있어서,
상기 단방향 굴곡수단은, 상기 연장부(132)의 두께를, 상기 끼움부(131)로부터 날개부(133)로 갈수록 점차적으로 얇아지게 하여서 된 것을 특징으로 하는 밀봉 수납용기.
The method of claim 1,
The unidirectional bending means is a sealed storage container characterized in that the thickness of the extension portion 132 is gradually thinned from the fitting portion (131) toward the wing portion (133).
제1항에 있어서,
상기 단방향 굴곡수단은, 상기 연장부(132)와 날개부(133)의 내측 경계부위 또는 외측 경계부위에 형성되는 오목부(150)인 것을 특징으로 하는 밀봉 수납용기.
The method of claim 1,
The one-way bending means is a sealed storage container, characterized in that the concave portion (150) formed on the inner boundary portion or the outer boundary portion of the extension portion (132) and the wing portion (133).
제1항에 있어서,
상기 날개부(133)는 그 내면과 연장부(132)의 내면 사잇각(θ1)이 직각이고, 그 외면과 연장부(132)의 내면 사잇각(θ2)이 예각인 것을 특징으로 하는 밀봉 수납용기.
The method of claim 1,
The wing portion 133 has a sealed storage, characterized in that the inner surface and the inner surface angle (θ 1 ) of the extension portion 132 is a right angle, the outer surface and the inner surface angle (θ 2 ) of the extension portion 132 is an acute angle. Vessel.
제1항에 있어서,
상기 컨테이너(110)는 반도체 웨이퍼, 마스킹 유리기판, 액정 셀, 기록 매체 중 어느 하나가 수용되는 것을 특징으로 하는 밀봉 수납용기.The method of claim 1,
The container 110 is a sealed storage container characterized in that any one of a semiconductor wafer, a masking glass substrate, a liquid crystal cell, a recording medium is accommodated.
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