KR101179039B1 - Apparatus for seperating particles and method for separating fibrous particles by using the same - Google Patents

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Abstract

PURPOSE: A particle separation device and a separation method of fiber shape particles using the same are provided to extend time for dispersed particles to get influenced by the electric field by reducing moving rate of airsol. CONSTITUTION: A particle separation device comprises an internal electrode(10) and an external electrode(20). The internal electrode has an axially symmetrical disc shape. The external electrode is formed to surround the internal electrode having a predetermined distance from the internal electrode. Upper oil outlets(30) and lower oil outlets(40) are formed at upper and lower parts of the external electrode. Through the upper and the lower oil outlets, aerosol or aerosol and sheath air are inflowed or exhausted between a space between the external electrode and the internal electrode. A distance from the axis of symmetry to the side of the internal electrode is longer than a distance from the axis of symmetry to the end of the upper and the lower outlets.

Description

입자 분리 장치 및 이를 이용한 섬유형상 입자의 분리방법{APPARATUS FOR SEPERATING PARTICLES AND METHOD FOR SEPARATING FIBROUS PARTICLES BY USING THE SAME}Particle Separation Apparatus and Separation Method of Fibrous Particles Using The Same {APPARATUS FOR SEPERATING PARTICLES AND METHOD FOR SEPARATING FIBROUS PARTICLES BY USING THE SAME}

본 발명은 입자 분리 장치에 관한 것으로, 더욱 자세하게는 전기장에 따른 입자의 이동도 차이를 이용하여 입자를 분류할 수 있는 입자 분리 장치에 관한 것이다.The present invention relates to a particle separation device, and more particularly, to a particle separation device that can classify particles using the difference in the mobility of the particles according to the electric field.

일반적으로 반도체 생산공정의 클린룸과 같은 청정 공간 내에 존재하는 입자들의 측정은 반도체 생산 공정에서 매우 중요한 요소이며, 반도체 기술의 발달로 반도체의 선폭이 감소함에 따라서 나노 단위의 입자까지 측정할 수 있는 기술이 요청되고 있다.In general, the measurement of particles in a clean space, such as a clean room of a semiconductor production process, is a very important factor in the semiconductor production process, and the technology that can measure particles in nano units as the line width of semiconductors decreases due to the development of semiconductor technology. Is being requested.

또한, 최근에는 나노미터 내지 마이크로미터 크기의 구조를 가지는 입자를 사용하는 기술이 발전하면서, 초미세 입자를 측정하는 것에서 나아가 크기 별로 분류하는 기술이 연구의 기본조건이 되고 있다. In addition, in recent years, as the technology of using particles having a structure of nanometer to micrometer size is developed, the technology for classifying by size, in addition to measuring ultrafine particles, has become a basic condition of research.

이렇듯 미세입자를 측정, 평가 및 분류하는 기술에 대한 요구가 여러 방면에서 증가하고 있다. As such, the demand for techniques for measuring, evaluating and classifying microparticles is increasing in many ways.

입자 분리 장치의 일종인 전기적 입자 분급장치(DMA, different mobility analyzer)는 정전기력에 의한 입자의 이동도 차이를 이용하여 입자를 분류하는 장치로, 미분형 전기이동도 분석기 또는 미분형 정전분급기라고도 불린다.An electrical particle classifier (DMA), which is a type of particle separation device, classifies particles by using the difference in particle mobility due to electrostatic force. It is also called differential electric mobility analyzer or differential type electric classifier. .

구체적으로 DMA는 하전된 입자의 이동속도가 입자 직경의 함수인 것을 이용하여 다분산(poly-disperse) 입자에서 원하는 직경을 가진 단분산(mono-disperse)입자를 선별하는 장비이다.Specifically, DMA is a device for selecting mono-disperse particles having a desired diameter from poly-disperse particles by using the moving speed of the charged particles as a function of the particle diameter.

도 6은 종래의 일반적인 DMA의 구조를 나타내는 도면이다.6 is a diagram showing the structure of a conventional general DMA.

종래의 DMA는 내부에 위치하는 원통형의 내부 전극(1)과 내부 전극(1)을 둘러싸고 있는 외부 전극(2)으로 구성되며, 일반적으로 내부 전극(1)에 높은 전압을 인가하고 외부 전극(2)은 접지된다.Conventional DMA is composed of a cylindrical inner electrode (1) located inside and an outer electrode (2) surrounding the inner electrode (1), generally applying a high voltage to the inner electrode (1) and the outer electrode (2) ) Is grounded.

측정 또는 분류 대상이 되는 다분산 에어로졸(Qpo)과 청정한 공기인 보호공기(sheath air)(Qsh)를 함께 DMA 내로 유입시키면, 내부 전극(1)과 외부 전극(2) 사이에 형성된 전기장의 영향으로 다분산 에어로졸 내에 분산된 입자들이 전기력을 받으면서 하류로 흘러간다.When the polydispersed aerosol (Q po ) to be measured or classified and the sheath air (Q sh ), which is clean air, are introduced into the DMA, the electric field formed between the inner electrode 1 and the outer electrode 2 Under the influence, the particles dispersed in the polydisperse aerosol flow downstream as they receive electric force.

이때, 입자의 하전량이 동일하다면, 큰 입자는 내부 전극(1)으로 접근이 늦어질 것이고, 작은 입자는 내부 전극(1)으로 빠르게 접근하여 포집될 것이다. 그리고 내부 전극(10)의 하부의 적당한 위치에 가이드(6)를 설치하면 내부 전극(1)과 가이드(6) 사이의 슬릿을 통해서 원하는 크기의 입자만 포함된 단분산 에어로졸(Qmo)을 분리하고, 나머지 잔여 에어로졸(Qex)은 별도로 배출시킨다. 이로써 원하는 크기의 입자만을 분류할 수 있으며, 분류된 에어로졸을 입자 계수기로 보내서 측정할 수도 있다.At this time, if the charged amount of the particles is the same, the large particles will be delayed access to the inner electrode 1, and the small particles will be quickly approached and collected at the inner electrode 1. Then, when the guide 6 is installed at an appropriate position under the inner electrode 10, the monodispersed aerosol Q mo containing only particles of a desired size is separated through the slit between the inner electrode 1 and the guide 6. And the remaining residual aerosol (Q ex ) is discharged separately. This allows only particles of the desired size to be classified and can also be measured by sending the sorted aerosol to a particle counter.

이러한 종래의 DMA를 개량한 발명으로 대한민국 등록특허 10-567788이 있지만, 길이방향으로 긴 파이프 형상의 구조를 유지하고 있다.Although the Republic of Korea Patent No. 10-567788 is an invention in which the conventional DMA is improved, the pipe structure is maintained in the longitudinal direction.

이러한 구조의 DMA는 내부의 혼합 기체가 일정한 속도로 이동하기 때문에, 길이방향으로 상당한 길이를 가져야만 입자를 효과적으로 분류할 수 있으며, 그 결과 장비가 너무 커지는 문제가 있다.Since the DMA of this structure moves inside the mixed gas at a constant speed, it must have a considerable length in the longitudinal direction to effectively classify the particles, resulting in a problem that the equipment is too large.

또한 파이프 형상의 외부 전극을 제작하는 과정에서 건드릴(gun drill)가공을 이용해야 하는 점에서, 장비의 길이가 길어지는 경우 제조비용이 높아지는 문제점도 발생한다.In addition, in the process of manufacturing the external electrode of the pipe shape, it is necessary to use a gun drill (gun drill) processing, when the length of the equipment is also a problem that the manufacturing cost increases.

한편, 섬유형상의 입자는 쌍극자 모멘트(dipole moment)를 형성하여야 DMA에서 분류가 쉽지만, 종래의 DMA는 내부에 형성되는 전기장이 균일하기 때문에 입자에 쌍극자 모멘트를 형성하지 못하여 섬유형상의 입자를 분류하기 어렵다.On the other hand, the fibrous particles are easy to classify in the DMA to form a dipole moment, but the conventional DMA can not form a dipole moment in the particles to classify the fibrous particles due to the uniform electric field formed therein it's difficult.

대한민국 등록특허 10-0567788Republic of Korea Patent Registration 10-0567788

본 발명은 전술한 종래 기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서 크기가 작고 섬유형상의 입자를 분류할 수 있는 입자 분리 장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned problems of the prior art, and an object thereof is to provide a particle separation device having a small size and capable of classifying fibrous particles.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 입자 분리 장치는, 축 대칭의 형상 내부 전극; 및 상기 내부 전극에서 일정 거리 이격되어 상기 내부 전극을 둘러싸도록 형성된 외부 전극을 포함하며, 상기 외부 전극의 상부와 하부에는 상기 내부 전극과 상기 외부 전극 사이의 공간에 에어로졸을 유입 또는 유출시키기 위한 상부 유출입구와 하부 유출입구가 형성되고, 상기 대칭축에서 상기 상부 유출입구와 상기 하부 유출입구의 끝까지의 거리보다, 상기 대칭축에서 상기 내부 전극의 측면까지의 거리가 긴 것을 특징으로 한다.Particle separation apparatus according to the present invention for achieving the above object, the axial symmetrical shape internal electrode; And an external electrode spaced apart from the internal electrode by a predetermined distance to surround the internal electrode, and an upper outflow for introducing or discharging an aerosol into a space between the internal electrode and the external electrode at upper and lower portions of the external electrode. An inlet and a lower outlet inlet are formed, and the distance from the symmetry axis to the side of the inner electrode is longer than the distance from the symmetry axis to the ends of the upper outlet and the lower outlet inlet.

본 발명의 발명자들은 입자 분리 장치 내의 내부 전극과 외부 전극의 사이 공간에서 입자가 머무는 시간을 늘리기 위하여, 입자가 포함된 에어로졸의 이동속도를 감소시키는 방법을 생각하였다.The inventors of the present invention have contemplated a method of reducing the moving speed of the aerosol containing particles in order to increase the residence time of the particles in the space between the inner electrode and the outer electrode in the particle separation device.

그러나 입자가 포함된 에어로졸이 입자 분리 장치 내에서 직선적으로 이동하는 경우 에어로졸의 속도를 조절할 수 없기 때문에, 본 발명의 발명자들은 축 대칭 형태의 내부 전극이 에어로졸의 유출입구에 비하여 옆으로 연장되어 나온 형태의 입자 분리 장치를 개발하게 되었다.However, since the aerosol containing particles can not control the speed of the aerosol when it moves linearly in the particle separation device, the inventors of the present invention is that the axially symmetric internal electrode is extended laterally than the outlet of the aerosol Has developed a particle separation device.

본 발명은 내부 전극의 폭이 에어로졸의 유출입구보다 넓기 때문에, 유출입구를 통해 유입된 에어로졸이 내부 전극의 표면 위에서 방사형으로 퍼지면서 이동속도가 감소한다. 이렇게 반경 방향으로 퍼지면서 속도가 감속된 에어로졸은 내부 전극의 측면을 지나 하부로 내려오고, 이어 방향을 180˚를 거치면서 다시 중심방향으로 이동하여 배출된다.In the present invention, since the width of the inner electrode is wider than the outlet of the aerosol, the moving speed decreases while the aerosol introduced through the outlet is radially spread over the surface of the inner electrode. The aerosol, which has been reduced in speed in the radial direction, is lowered through the side of the inner electrode, and then discharged by moving back to the center direction through the 180 ° direction.

본 장치에서는 내부 전극에서 일정 거리 이격되어 배치된 외부 전극의 내면 면적이 내부 전극의 표면적에 비하여 넓다. 이러한 면적의 차이에 의하여 내부 전극과 외부 전극 사이에 형성된 전기장이 불균일한 부분이 존재하며, 이는 섬유상 입자에 쌍극자 모멘트를 유발하여 섬유상 입자를 분류할 수 있게 해준다.In the present apparatus, the inner surface area of the outer electrode disposed at a predetermined distance from the inner electrode is larger than the surface area of the inner electrode. Due to this difference in area, there is a non-uniform portion of the electric field formed between the inner electrode and the outer electrode, which induces a dipole moment in the fibrous particles, thereby making it possible to classify the fibrous particles.

이때 상부 유출입구는 상부 내측 유출입구 및 상부 외측 유출입구로써 구성되고, 상부 내측 유출입구가 상부 외측 유출입구에 비해 더 대칭축에 가깝게 위치하는 것이 좋다. At this time, the upper outlet is composed of the upper inner outlet and the upper outer outlet, it is preferable that the upper inner outlet is located closer to the axis of symmetry than the upper outer outlet.

상부 유출입구로 에어로졸을 유입하는 경우에는 분류 대상인 다분산 에어로졸과 보호공기를 별도로 주입한다. 분류된 에어로졸을 상부 유출입구로 유출하는 경우에는 단분산 에어로졸과 잔여 에어로졸이 분리되도록 상부 유출입구를 2개로 구성한다. 또 하부 유출입구는 하부 내측 유출입구 및 하부 외측 유출입구로써 구성되고, 하부 내측 유출입구가 하부 외측 유출입구에 비해 더 대칭축에 가깝게 위치하는 것이 좋으며, 내부 전극과 이격되고 하부 외측 유출입구에 연결된 가이드를 설치하여 에어로졸의 흐름을 분리하는 것이 바람직하다. When injecting aerosols into the upper outlet, separate polydisperse aerosols and protected air are injected separately. When the classified aerosol is discharged to the upper outlet, two upper outlets are configured to separate the monodisperse aerosol and the remaining aerosol. In addition, the lower outlet may be configured as a lower inner outlet and a lower outer outlet, and the lower inner outlet may be located closer to the axis of symmetry than the lower outer outlet, and may be spaced apart from the inner electrode and connected to the lower outer outlet. It is desirable to separate the flow of aerosol by installing a.

하부 유출입구로 에어로졸을 유입하는 경우에는 분류 대상인 다분산 에어로졸과 보호공기를 별도로 주입하고, 하부 유출입구로 분류된 에어로졸을 유출하는 경우에는 단분산 에어로졸과 잔여 에어로졸이 분리되도록 상부 유출입구를 2개로 구성한다. 이때, 내부 전극의 하부에는 안쪽으로 오목한 공간이 형성되고, 이 오목한 공간에 가이드가 위치하여, 오목한 공간과 가이드 사이에 슬릿이 형성되는 것이 바람직하다. 또한 하부 외측 유출입구와 슬릿의 사이에 차압을 형성하여 축방향의 유체 흐름을 균일하게 유지하는 흐름 균일화 장치가 설치되는 것이 좋다.When injecting aerosols into the lower outlet, separate polydisperse aerosols and protective air are injected separately.In case of outflowing aerosols classified as lower outlets, two upper outlets can be used to separate monodisperse aerosols and residual aerosols. Configure. At this time, it is preferable that a concave space is formed in the lower portion of the inner electrode, and a guide is positioned in the concave space, and a slit is formed between the concave space and the guide. In addition, it is preferable that a flow homogenizing device is provided for forming a differential pressure between the lower outer inlet and the slit to maintain the axial fluid flow uniformly.

본 발명의 입자 분리 장치의 내부 전극은 원판 형상이고 옆면이 곡면인 것이 좋다.It is preferable that the internal electrode of the particle separation device of the present invention has a disk shape and the side surface is curved.

본 발명의 입자 분리 장치는, 상부와 하부에 에어로졸을 유입 또는 유출시키기 위한 상부 유출입구와 하부 유출입구가 형성되고, 내부에 공간이 형성된 외부 전극; 및 상기 외부 전극 내부의 공간에 배치되고, 상기 외부 전극의 내면과 일정 거리 이격된 내부 전극을 포함하며, 상기 상부 유출입구를 통해 상기 외부 전극과 상기 내부 전극이 이격된 공간으로 유입된 에어로졸이 이동하는 유로가 점차 넓어지는 부분을 포함으로써, 유입된 에어로졸의 유속이 감속되는 것을 특징으로 한다.Particle separation apparatus of the present invention, the upper and lower inlet and outlet for inlet or outflow of the aerosol is formed, the external electrode having a space therein; And an inner electrode disposed in a space inside the outer electrode and spaced apart from the inner surface of the outer electrode by a predetermined distance, and the aerosol introduced into the space spaced apart from the outer electrode and the inner electrode through the upper outlet. By including a portion in which the flow passage is gradually widened, characterized in that the flow rate of the introduced aerosol is reduced.

이때, 하부 유출입구를 통해 외부 전극과 외부 전극이 이격된 공간으로 유입된 에어로졸이 이동하는 유로가 점차 넓어지는 부분을 포함함으로써, 유입된 에어로졸의 유속이 감속되는 것이 바람직하다.At this time, it is preferable that the flow rate of the introduced aerosol is reduced by including a portion in which the flow path through which the aerosol introduced into the space spaced apart from the external electrode and the external electrode moves gradually through the lower outlet opening.

그리고 서로 대향된 상기 내부 전극의 표면보다 상기 외부 전극의 내면이 넓어서, 상기 내부 전극과 상기 외부 전극 사이에 불균일한 전기장이 발생하는 부분을 포함하는 것이 바람직하다.In addition, the inner surface of the outer electrode is wider than the surface of the inner electrode facing each other, it is preferable to include a portion generating a non-uniform electric field between the inner electrode and the outer electrode.

그리고 본 발명의 섬유형상 입자의 분리방법은, 서로 대향된 내부 전극의 표면적과 외부 전극의 내면적의 넓이 차이에 의하여, 상기 내부 전극과 상기 외부 전극 사이에 불균일한 전기장이 발생하는 입자 분리 장치를 이용하여, 에어로졸에 포함된 섬유형상의 입자를 분리하는 방법으로서, 에어로졸에 포함된 구형 입자를 음 또는 양 전하로 대전시키는 단계; 내부 전극을 상기 구형 입자의 대전 전하와 반대 전하로 대전시키는 단계; 및 상기 내부 전극과 상기 외부 전극 사이로 에어로졸을 이동시키는 단계를 포함하며, 상기 내부 전극과 상기 외부 전극 사이에 발생된 불균일한 전기장에 의해 쌍극자 모멘트가 발생한 섬유형상의 입자가 상기 내부 전극에 부착되어 제거되는 것을 특징으로 한다.
In addition, the separation method of the fibrous particles of the present invention uses a particle separation device in which a non-uniform electric field is generated between the inner electrode and the outer electrode by a difference in the area of the inner electrode and the inner area of the outer electrode which are opposed to each other. Thus, a method for separating the fibrous particles contained in the aerosol, comprising the steps of: charging the spherical particles contained in the aerosol with a negative or positive charge; Charging an internal electrode with a charge opposite to that of the spherical particles; And moving an aerosol between the inner electrode and the outer electrode, wherein the fibrous particles having a dipole moment are attached to the inner electrode and removed by a non-uniform electric field generated between the inner electrode and the outer electrode. It is characterized by.

상술한 바와 같이 구성된 본 발명은, 에어로졸의 유출입구보다 넓은 내부 전극을 구비함으로써, 에어로졸의 이동속도를 늦춰서 분산된 입자가 전기장의 영향을 받는 시간을 늘릴 수 있는 효과가 있다.The present invention configured as described above has the effect of increasing the time that the dispersed particles are affected by the electric field by slowing down the moving speed of the aerosol by providing an internal electrode wider than the outlet of the aerosol.

결국 본 발명의 입자 분리 장치는 종래에 비하여 작은 크기로도 충분한 효과를 발휘할 뿐만 아니라 제조비용도 크게 줄일 수 있는 효과가 있다.  As a result, the particle separation device of the present invention not only exerts a sufficient effect even with a small size, but also significantly reduces the manufacturing cost.

또한, 전기장이 불균일한 공간이 존재하여 입자에 쌍극자 모멘트를 유발함으로써, 섬유상 입자를 분류 또는 제거할 수 있는 효과가 있다.In addition, the presence of a non-uniform electric field induces a dipole moment in the particles, thereby having the effect of classifying or removing the fibrous particles.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 입자 분리 장치의 구조 및 작동방법을 나타내는 정단면도이다.
도 2는 본 실시예에 따른 입자 분리 장치에 유입된 에어로졸의 흐름을 나타내는 평단면도이다.
도 3은 본 실시예에 따른 입자 분리 장치의 내부에 형성되는 전기장의 모습을 나타내는 정단면도이다.
도 4는 본 실시예에 따른 입자 분리 장치를 이용하여 입자를 분류한 결과를 나타내는 그래프이다.
도 5는 본 실시예에 따른 입자 분리 장치의 다른 작동방법을 나타내는 정단면도이다.
도 6은 종래의 일반적인 DMA의 구조를 나타내는 도면이다.1 is a front sectional view showing a structure and a method of operating the particle separation device according to an embodiment of the present invention.
2 is a plan sectional view showing the flow of aerosol introduced into the particle separation device according to the present embodiment.
3 is a front sectional view showing a state of an electric field formed in the particle separation device according to the present embodiment.
4 is a graph showing the results of classifying particles using the particle separation device according to the present embodiment.
5 is a front sectional view showing another method of operating the particle separation device according to the present embodiment.
6 is a diagram showing the structure of a conventional general DMA.

첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 실시예를 상세히 설명한다. DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Referring to the accompanying drawings, embodiments of the present invention will be described in detail.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 입자 분리 장치의 구조 및 작동방법을 나타내는 정단면도이다.1 is a front sectional view showing a structure and a method of operating the particle separation device according to an embodiment of the present invention.

본 실시예의 입자 분리 장치는 내부 전극(10)과 그 외부를 둘러싸고 있는 외부 전극(20)을 포함하여 구성된다.The particle separation device of this embodiment includes an inner electrode 10 and an outer electrode 20 surrounding the outside thereof.

내부 전극(10)은 축 대칭인 원판 형상이고, 외부 전극(20)은 내부 전극(10)과 일정한 거리 이격되어 내부 전극(10) 둘레에 위치한다. 내부 전극(10)은 전원(100)과 연결되고 외부 전극(20)은 접지되고, 내부 전극(10)에 고전압을 인가하면 내부 전극(10)과 외부 전극(20) 사이의 공간인 분급영역에 전기장이 형성된다.The inner electrode 10 is axially symmetrical disc-shaped, the outer electrode 20 is positioned around the inner electrode 10 spaced apart from the inner electrode 10 by a predetermined distance. The internal electrode 10 is connected to the power supply 100, the external electrode 20 is grounded, and when a high voltage is applied to the internal electrode 10, the internal electrode 10 is located in a classification area that is a space between the internal electrode 10 and the external electrode 20. An electric field is formed.

이때, 내부 전극(10)에 인가되는 전압에 의해 분급영역에 발생하는 전기장의 세기와 방향이 결정된다. 전기장의 세기는 분류 또는 측정의 대상이 입자의 크기에 따라서 조절한다. At this time, the strength and direction of the electric field generated in the classification region are determined by the voltage applied to the internal electrode 10. The intensity of the electric field is controlled by the size of the particle that is subject to classification or measurement.

외부 전극(20)에는 분급영역으로 에어로졸이 유입 또는 유출되는 유출입구가 상부와 하부에 각각 형성된다.The external electrode 20 has an outlet opening through which an aerosol flows into or out of the classification region, respectively, at the top and bottom thereof.

상부 유출입구(30)는 내부 전극(10)의 대칭축에 가깝게 형성된 상부 내측 유출입구(32)와 상부 내측 유출입구(34)보다 대칭축에서 떨어져서 형성된 상부 외측 유출입구(34)로 구성한다. The upper outlet 30 is composed of an upper inner outlet 32 formed closer to the axis of symmetry of the inner electrode 10 and an upper outer outlet 34 formed at a symmetrical axis than the upper inner outlet 34.

도 1은 상부 유출입구(30)를 통해서 분류 대상 에어로졸을 유입시키는 형태의 장치를 나타내는데, 이 경우 상부 내측 유출입구(32)로는 보호공기(sheath air)(Qsh)를 유입시키고, 상부 외측 유출입구(34)로는 분류 대상인 다분산 에어로졸(Qpo)을 유입시킨다.1 illustrates a device in which the aerosol to be classified is introduced through the upper outlet 30, in which case sheath air (Q sh ) is introduced into the upper inner outlet 32, and the upper outer outlet is introduced. The inlet 34 introduces a polydispersion aerosol (Q po ) to be classified.

그리고 상부 외측 유출입구(34)와 상부 내측 유출입구(32)의 사이에는 차압을 형성하여 축방향의 유체 흐름을 균일하게 유지하는 흐름 균일화 장치(flow straightener)(50)를 설치하여, 보호공기(Qsh)가 분급영역 내에서 균일한 층류 유동(laminar flow)을 하도록 한다. A flow straightener 50 is formed between the upper outer outlet opening 34 and the upper inner outlet opening 32 to form a differential pressure to uniformly maintain the fluid flow in the axial direction. Q sh ) ensures a uniform laminar flow in the classification zone.

상부 외측 유출입구(34)로 유입된 다분산 에어로졸(Qpo)은 흐름 균일화 장치(50)를 지나서 균일한 층류 유동을 하는 보호공기(Qsh)와 혼합되고, 혼합된 기체는 균일한 층류 유동으로 분급영역을 이동하게 된다.The polydispersed aerosol (Q po ) introduced into the upper outer inlet (34) is mixed with the protective air (Q sh ) which makes uniform laminar flow past the flow homogenizer 50, and the mixed gas is uniform laminar flow To move the classification area.

하부 유출입구(40)는 내부 전극(10)의 대칭축 쪽에 가깝게 형성된 하부 내측 유출입구(42)와, 이 보다 대칭축에서 먼 위치에 형성된 하부 외측 유출입구(44)로서 구성된다.The lower outlet inlet 40 is configured as a lower inner outlet inlet 42 formed closer to the axis of symmetry of the inner electrode 10 and a lower outer outlet inlet 44 formed at a position farther from the axis of symmetry.

본 실시예의 작동방법에서는, 하부 내측 유출입구(42)로는 대상 입자(P)가 분산된 단분산 에어로졸(Qmo)이 유출되고, 하부 외측 유출입구(44)로 분류 대상 이외의 잔여 에어로졸(Qex)이 유출된다.In the operating method of this embodiment, the monodisperse aerosol Q mo in which the target particles P are dispersed flows out into the lower inner outlet inlet 42, and the remaining aerosol Q other than the object to be classified into the lower outer outlet inlet 44. ex ) is leaked.

이때, 대상 입자(P)는 내부 전극(10)에 근접하여 이동하고, 이외의 입자들은 외부 전극(20) 쪽에 근접하여 이동하므로, 분급 영역 내에 가이드(60)를 형성하여 유체의 흐름을 분리한다. 가이드(60)는 대상 입자가 분산된 기체를 분리할 수 있도록 내부 전극(10)과의 간격이 설정된다.At this time, the target particle (P) moves closer to the inner electrode 10, and other particles move closer to the outer electrode 20 side, thereby forming a guide 60 in the classification region to separate the flow of the fluid. . The guide 60 is set to a distance from the internal electrode 10 so as to separate the gas in which the target particles are dispersed.

특히, 내부 전극(10) 아래 면의 중심 부분에 안쪽으로 오목한 공간(12)을 형성하고, 가이드(60)가 이 공간에 위치하도록 하면, 오목한 공간(12)과 가이드(60) 사이의 슬릿을 통해 대상 입자(P)가 분산된 단분산 에어로졸(Qmo)이 유입되고, 잔여 에어로졸(Qex)은 흐름에 방해를 받지 않는다.
Particularly, when the concave space 12 is formed inward in the center portion of the lower surface of the internal electrode 10 and the guide 60 is positioned in this space, the slit between the concave space 12 and the guide 60 is formed. A monodisperse aerosol (Q mo ) in which the target particles (P) are dispersed is introduced, and the residual aerosol (Q ex ) is not disturbed by the flow.

도 1에 따른 본 실시예의 작동방법을 구체적으로 설명하면 다음과 같다.Referring to the operation method of the present embodiment according to Figure 1 in detail as follows.

도 1은 상부 유출입구(30)를 통하여 다분산 에어로졸(Qpo)과 보호공기(Qsh)를 유입시키는 경우의 작동방법에 대한 것이다. 1 illustrates a method of operating the case of introducing the polydispersed aerosol Q po and the protective air Q sh through the upper outlet inlet 30.

위쪽에서 살펴볼 때, 원의 중심에서 유입된 보호공기(Qsh)는 다분산 에어로졸(Qpo)과 혼합되며, 이러한 혼합 기체는 방사형으로 퍼지면서 이동한다.Looking from the top, the protective air (Q sh ) introduced from the center of the circle is mixed with the polydispersed aerosol (Q po ), and this mixed gas moves in a radial spread.

도 2는 본 실시예에 따른 입자 분리 장치에 유입된 에어로졸의 흐름을 나타내는 평단면도이다. 2 is a plan sectional view showing the flow of aerosol introduced into the particle separation device according to the present embodiment.

중심에서 유입된 보호공기는 에어로졸과 혼합되어 반경 방향으로 진행하면서 방사형으로 퍼지기 때문에 진행속도가 점점 감소한다. 분급영역 내에서의 속도 감소는 분산된 입자들이 전기장의 영향을 받는 시간을 늘려, 전기장에 의한 입자 이동의 효과를 향상시키기 때문에 종래의 DMA에 비하여 작은 크기로도 동일한 분류 효과를 얻을 수 있다.The protective air flowing from the center is radially diffused while mixing with the aerosol and proceeding in a radial direction, and the traveling speed decreases gradually. The speed reduction in the classification zone increases the time that the dispersed particles are affected by the electric field, thereby improving the effect of particle movement by the electric field, so that the same classification effect can be obtained with a smaller size than the conventional DMA.

이렇게 감속된 에어로졸은 분급영역의 옆면을 따라서 이동하면서, 불균일한 전기장의 영향을 받는다.  This slowed aerosol travels along the sides of the classification zone and is affected by an uneven electric field.

도 3은 본 실시예에 따른 입자 분리 장치의 내부에 형성되는 전기장의 모습을 나타내는 정단면도이다.3 is a front sectional view showing a state of an electric field formed in the particle separation device according to the present embodiment.

내부 전극(10)은 외부 전극(20)과 이격된 거리가 동일하여, 양 전극이 대향된 면의 넓이가 같은 분급영역의 상부와 하부는 일정한 전기장을 나타낸다. 그러나 분급영역의 옆 부분은 내부 전극(10)의 면적보다 외부 전극(20)은 면적이 더 넓기 때문에 내부 전극(10) 쪽의 전기장이 더 강하다.The inner electrode 10 has the same distance from the outer electrode 20, so that the upper and lower portions of the classification area having the same width of the surface where both electrodes face each other exhibit a constant electric field. However, since the outer electrode 20 has a larger area than the area of the inner electrode 10 at the side of the classification region, the electric field toward the inner electrode 10 is stronger.

다분산 에어로졸 속에 포함된 섬유상의 입자는 전기장이 불균일한 구간에서 쌍극자 모멘트를 형성하여 전기장의 영향을 받는다. 따라서 본 실시예의 입자 분리 장치는 종래의 DMA와 달리 하전되지 않은 섬유상 입자를 분류 내지 측정할 수 있다.The fibrous particles contained in the polydisperse aerosol are affected by the electric field by forming a dipole moment in the non-uniform electric field. Therefore, the particle separation device of the present embodiment can classify or measure the uncharged fibrous particles unlike the conventional DMA.

분급영역의 측면을 지난 에어로졸은 내부 전극(10)의 아래 면에서 중심 쪽으로 진행한다. 이때, 에어로졸 내에 분산된 대상 입자(P)는 전기장에 의해 내부 전극(10)에 근접하여 이동하고, 이외의 입자들은 내부 전극(10)에 부착되거나 대상 입자(P)에 비하여 외부 전극(20) 쪽에서 이동한다. The aerosol past the side of the classification zone runs from the bottom of the inner electrode 10 toward the center. At this time, the target particles (P) dispersed in the aerosol is moved close to the internal electrode 10 by the electric field, other particles are attached to the internal electrode 10 or the external electrode 20 compared to the target particle (P). Move from side.

이때, 내부 전극(10)과 외부 전극(20)의 사이에 설치되고 하부 외측 유출입구(44)에 연결된 가이드(60)가 에어로졸의 흐름을 분리함으로써 대상 입자(P)가 분산된 단분산 에어로졸(Qmo)은 하부 내측 유출입구(42)를 통해 배출되고, 대상 입자(P)가 분산되지 않은 잔여 에어로졸(Qex)은 하부 외측 유출입구(44)를 통해 배출된다.At this time, the mono-disperse aerosol in which the target particles P are dispersed by separating the flow of the aerosol by the guide 60 installed between the inner electrode 10 and the outer electrode 20 and connected to the lower outer outlet opening 44 ( Q mo ) is discharged through the lower inner outlet inlet 42, and the remaining aerosol Q ex in which the target particles P are not dispersed is discharged through the lower outer outlet inlet 44.

도 4는 본 실시예에 따른 입자 분리 장치를 이용하여 입자를 분류한 결과를 나타내는 그래프이다.4 is a graph showing the results of classifying particles using the particle separation device according to the present embodiment.

본 실시예의 입자 분리 장치를 이용하여 직경 112.35nm의 입자를 분류한 결과, 단분산성이 매우 뛰어난 것을 확인할 수 있다.As a result of classifying particles having a diameter of 112.35 nm using the particle separation device of the present embodiment, it can be confirmed that the monodispersity is very excellent.

이러한 실험결과, 50cm의 길이를 갖는 종래의 파이프 형 DMA와 유사한 성능을 발휘하는 본 실시예의 입자 분리 장치의 크기는 직경이 약 10cm 정도인 것으로 나타났으며, 본 실시예의 입자 분리 장치가 작은 크기로 뛰어난 분류 효과가 있는 것을 확인할 수 있다.
As a result of this experiment, the particle separation device of this embodiment exhibits a performance similar to that of a conventional pipe-type DMA having a length of 50 cm. The particle separation device of this embodiment has a diameter of about 10 cm. It can be seen that there is an excellent classification effect.

도 5는 본 실시예에 따른 입자 분리 장치의 다른 작동방법을 나타내는 정단면도이다.5 is a front sectional view showing another method of operating the particle separation device according to the present embodiment.

도 5는 하부 유출입구(40)를 통하여 다분산 에어로졸(Qpo)과 보호공기(Qsh)를 유입시키는 경우의 작동방법에 대한 것이다. 그리고 대상 입자(P)가 대전된 전하와 같은 전하를 내부 전극(10)에 인가하여, 대상 입자(P)가 점점 내부 전극(10)에서 멀어지도록 하여 대상 입자(P)를 분류한다.5 illustrates a method of operating the case of introducing the polydispersed aerosol (Q po ) and the protective air (Q sh ) through the lower outlet inlet (40). Then, a charge, such as a charge charged by the target particle P, is applied to the internal electrode 10 so that the target particle P gradually moves away from the internal electrode 10 to classify the target particle P.

하부 유출입구(40)를 통해서 분류 대상 에어로졸을 유입시키는 경우에, 하부 외측 유출입구(44)로는 보호공기(Qsh)를 유입시키고, 하부 내측 유출입구(42)로 분류 대상인 다분산 에어로졸(Qpo)을 유입시킨다.When the aerosol to be classified is introduced through the lower outlet 40, the protective air Q sh is introduced into the lower outer outlet 44, and the polydispersed aerosol Q is classified as the lower inner outlet 42. po ) is introduced.

하부 외측 유출입구(44)로 유입된 보호공기(Qsh)는 하부 외측 유출입구(44)와 슬릿의 사이에 설치된 흐름 균일화 장치(50)를 통과하여, 분급영역 내에서 균일한 층류 유동을 한다.The protective air Q sh introduced into the lower outer inlet 44 passes through the flow homogenizing device 50 provided between the lower outer outlet 44 and the slit, thereby providing a uniform laminar flow in the classification zone. .

하부 내측 유출입구(42)로 유입된 다분산 에어로졸(Qpo)은 내부 전극(10)의 오목한 공간(12)을 지나서, 슬릿을 통해 분급영역에서 층류 유동하는 보호공기(Qsh)와 혼합된다.The polydispersed aerosol Q po introduced into the lower inner outlet inlet 42 is mixed with the protective air Q sh flowing through the slit through the slit in the classification zone through the concave space 12 of the inner electrode 10. .

분급영역에서 혼합된 기체는 방사형으로 퍼지기 때문에 진행속도가 점점 감소하는 점은 상기한 도 2의 경우와 같다. Since the gas mixed in the classification zone is radially spread, the traveling speed is gradually reduced as in the case of FIG. 2.

또한 분급영역에 형성된 전기장도 도 3과 같이 대향된 내부 전극(10)의 면적보다 외부 전극(20)의 면적이 넓은 부분에서 불균일하게 나타나기 때문에, 섬유상의 입자에 쌍극자 모멘트를 형성할 수 있다.In addition, since the electric field formed in the classification region also appears non-uniformly in the area where the area of the external electrode 20 is larger than the area of the opposed internal electrode 10 as shown in FIG. 3, the dipole moment can be formed in the fibrous particles.

다만, 내부 전극(10)과 같은 전하로 대전된 대상 입자(P)가 내부 전극에 밀려서 점점 외부 전극(20)쪽으로 이동하게 된다.However, the target particles P charged with the same charge as the inner electrode 10 are pushed by the inner electrode and gradually move toward the outer electrode 20.

최종적으로 상부 외측 유출입구(34)로부터 대상 입자(P)가 분산된 단분산 에어로졸(Qmo)이 유출되고, 잔여 에어로졸(Qex)은 상부 내측 유출입구(32)를 통하여 유출된다.Finally, the monodisperse aerosol Q mo in which the target particles P are dispersed is discharged from the upper outer outlet 34, and the remaining aerosol Q ex is discharged through the upper inner outlet 32.

본 실시예의 입자 분리 장치는 대상 입자의 특성과 분류 또는 측정의 목적에 따라서, 도 1의 작동방법과 도 5의 작동방법을 선택적으로 적용할 수 있다. According to the particle separation device of the present embodiment, the operation method of FIG. 1 and the operation method of FIG. 5 may be selectively applied according to the characteristics of particles and the purpose of classification or measurement.

특히, 도 5의 작동방법은 다분산 에어로졸에서 섬유 형상의 입자를 분류 또는 제거하기 위한 용도에 적합하다. In particular, the operating method of FIG. 5 is suitable for use for sorting or removing fibrous particles in polydisperse aerosols.

음 전하 또는 양 전하로 대전된 구형상의 입자는 반대 전하로 대전된 내부 전극과 척력이 작용하지만, 섬유형상의 입자는 쌍극자 모멘트가 형성되어 내부 전극의 극성과 무관하게 인력이 작용하여 내부 전극에 포집된다. 따라서 본 실시예의 입자 분리 장치를 이용하여 섬유형상의 입자가 모두 제거된 에어로졸을 수집할 수 있으며, 다른 한편으로는 내부 전극에 부착된 섬유형상의 입자만을 수집할 수 있다. 이러한 방법으로 탄소 나노 튜브나 석면 입자와 같이 섬유형상의 입자를 분류하거나 제거할 수 있게 된다.
The spherical particles charged with negative or positive charges repulse with the internal electrode charged with the opposite charge, but the fibrous particles form a dipole moment, which attracts the internal electrodes regardless of the polarity of the internal electrodes. do. Therefore, the aerosol from which all the fibrous particles have been removed can be collected using the particle separation device of this embodiment, and on the other hand, only the fibrous particles attached to the internal electrode can be collected. In this way, it is possible to classify or remove fibrous particles such as carbon nanotubes or asbestos particles.

도면에서 설명하지 않은 부분은 펌프(200), 필터(300), 열교환기(400) 및 유량계(500)이다. 이들은 보호공기를 순환하여 사용하기 위한 구성이며, 일반적으로 사용되는 것이므로 자세한 설명은 생략한다.
Parts not described in the drawings are the pump 200, the filter 300, the heat exchanger 400 and the flow meter 500. These are configurations for circulating and using the protective air, and since they are generally used, detailed descriptions thereof will be omitted.

한편 본 발명의 다른 실시예에서는 오목한 부분(12)이 없고, 하부 외측 유출입구(42)와 상기 내부 전극(10)이 서로 접하며, 하부 외측 유출입구(42)가 상기 내부 전극(10)에 접하는 부분에 다수의 미세 관통공 또는 미세 슬릿이 형성되어, 이를 통해 유체가 유동할 수도 있다.
Meanwhile, in another embodiment of the present invention, there is no concave portion 12, the lower outer outlet 42 and the inner electrode 10 contact each other, and the lower outer outlet 42 is in contact with the inner electrode 10. A plurality of fine through holes or fine slits are formed in the portion, through which fluid may flow.

이상 본 발명을 바람직한 실시예를 통하여 설명하였는데, 상술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 예시적으로 설명한 것에 불과하며, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화가 가능함은 이 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이해할 수 있을 것이다. 따라서 본 발명의 보호범위는 특정 실시예가 아니라 특허청구범위에 기재된 사항에 의해 해석되어야 하며, 그와 동등한 범위 내에 있는 모든 기술적 사상도 본 발명의 권리범위에 포함되는 것으로 해석되어야 할 것이다.While the present invention has been particularly shown and described with reference to preferred embodiments thereof, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, is intended to cover various modifications and equivalent arrangements included within the spirit and scope of the appended claims. Those skilled in the art will understand. Therefore, the scope of protection of the present invention should be construed not only in the specific embodiments but also in the scope of claims, and all technical ideas within the scope of the same shall be construed as being included in the scope of the present invention.

1, 10: 내부 전극 2, 20: 외부 전극
6, 60: 가이드 30: 상부 유출입구
40: 하부 유출입구 50: 흐름 균일화 장치
100: 전원 P: 대상 입자
Qpo: 다분산 에어로졸 Qsh: 보호공기
Qex: 잔여 에어로졸 Qmo: 단분산 에어로졸1, 10: internal electrode 2, 20: external electrode
6, 60: guide 30: upper outlet
40: lower outlet inlet 50: flow homogenizing device
100: power P: target particles
Q po : Polydisperse aerosol Q sh : Protective air
Q ex : Residual aerosol Q mo : Monodisperse aerosol

Claims (14)

축 대칭의 원판 형상인 내부 전극; 및
상기 내부 전극에서 일정 거리 이격되어 상기 내부 전극을 둘러싸도록 형성된 외부 전극을 포함하며,
상기 외부 전극의 상부와 하부에는 상기 내부 전극과 상기 외부 전극 사이의 공간으로 에어로졸 또는 에어로졸과 보호공기(sheath air)를 유입 또는 유출시키기 위한 상부 유출입구와 하부 유출입구가 형성되고,
상기 대칭축에서 상기 상부 유출입구와 상기 하부 유출입구의 끝까지의 거리보다, 상기 대칭축에서 상기 내부 전극의 측면까지의 거리가 긴 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
An internal electrode having a disc shape of axial symmetry; And
An outer electrode formed to surround the inner electrode at a predetermined distance from the inner electrode,
Upper and lower outlets are formed at upper and lower portions of the outer electrode to introduce or discharge an aerosol or aerosol and sheath air into a space between the inner electrode and the outer electrode.
And a distance from the axis of symmetry to the side of the inner electrode is longer than the distance from the axis of symmetry to the ends of the upper outlet and the lower outlet.
청구항 1에 있어서,
상기 상부 유출입구가 상부 내측 유출입구와 상부 외측 유출입구로 구성되며, 상기 상부 내측 유출입구가 상기 상부 외측 유출입구보다 상기 대칭축에 가까운 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
The method according to claim 1,
And wherein the upper outlet inlet is composed of an upper inner outlet and an upper outer outlet, and the upper inner outlet is closer to the axis of symmetry than the upper outer outlet.
청구항 2에 있어서,
상기 상부 내측 유출입구와 상기 상부 외측 유출입구의 사이에 유체 흐름을 균일하게 유지하는 흐름 균일화 장치가 설치된 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
The method according to claim 2,
And a flow homogenizing device for uniformly maintaining the fluid flow between the upper inner outlet and the upper outer outlet.
청구항 1에 있어서,
상기 하부 유출입구가 하부 내측 유출입구와 하부 외측 유출입구로 구성되며, 상기 하부 내측 유출입구가 상기 하부 외측 유출입구보다 상기 대칭축에 가까운 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
The method according to claim 1,
The lower outlet inlet is composed of a lower inner outlet and a lower outer outlet, the lower inner outlet is particle separation device, characterized in that closer to the axis of symmetry than the lower outer outlet.
청구항 4에 있어서,
상기 내부 전극과 이격되고 상기 하부 외측 유출입구에 연결된 가이드가 형성된 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
The method of claim 4,
Particle separation apparatus, characterized in that formed with a guide spaced apart from the inner electrode and connected to the lower outer outlet.
청구항 5에 있어서,
상기 내부 전극의 하부에는 안쪽으로 오목한 공간이 형성되고, 상기 가이드가 상기 오목한 공간에 위치하여, 상기 오목한 공간과 상기 가이드 사이에 슬릿이 형성되는 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
The method according to claim 5,
A concave space is formed in the lower portion of the inner electrode, the guide is located in the concave space, the particle separation device, characterized in that the slit is formed between the concave space and the guide.
청구항 4에 있어서,
상기 하부 외측 유출입구와 상기 내부 전극이 접하며, 상기 하부 외측 유출입구가 상기 내부 전극에 접하는 부분에 다수의 미세 관통공 또는 미세 슬릿이 형성된 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
The method of claim 4,
And a plurality of fine through holes or fine slits formed at a portion where the lower outer outlet inlet contacts the inner electrode and the lower outer outlet in contact with the inner electrode.
청구항 6에 있어서,
상기 하부 외측 유출입구와 상기 슬릿의 사이에 유체 흐름을 균일하게 유지하는 흐름 균일화 장치가 설치된 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
The method of claim 6,
And a flow homogenizing device for uniformly maintaining the fluid flow between the lower outer inlet and the slit.
삭제delete 청구항 1에 있어서,
상기 내부 전극의 옆면이 곡면인 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
The method according to claim 1,
Particle separation apparatus, characterized in that the side surface of the inner electrode is curved.
상부와 하부에 에어로졸을 유입 또는 유출시키기 위한 상부 유출입구와 하부 유출입구가 형성되고, 내부에 공간이 형성된 외부 전극; 및
상기 외부 전극 내부의 공간에 배치되고, 상기 외부 전극의 내면과 일정 거리 이격된 내부 전극을 포함하며,
상기 상부 유출입구를 통해 상기 외부 전극과 상기 내부 전극이 이격된 공간으로 유입된 에어로졸이 이동하는 유로가 점차 넓어지는 부분을 포함함으로써, 유입된 에어로졸의 유속이 감속되는 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
An external electrode having upper and lower inlets and lower outlets for introducing or discharging aerosols at upper and lower portions thereof, and having a space therein; And
An inner electrode disposed in a space inside the outer electrode and spaced apart from an inner surface of the outer electrode by a predetermined distance;
Particle separation apparatus, characterized in that the flow rate of the introduced aerosol is reduced by including a portion in which the flow path for moving the aerosol introduced into the space spaced apart from the outer electrode and the inner electrode through the upper outlet inlet gradually widens.
청구항 11에 있어서,
상기 하부 유출입구를 통해 상기 외부 전극과 상기 내부 전극이 이격된 공간으로 유입된 에어로졸이 이동하는 유로가 점차 넓어지는 부분을 포함함으로써, 유입된 에어로졸의 유속이 감속되는 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
The method of claim 11,
Particle separation apparatus characterized in that the flow rate of the introduced aerosol is reduced by including a portion in which the flow path through which the aerosol flows into the space spaced apart from the outer electrode and the inner electrode through the lower outlet inlet gradually widens.
청구항 11에 있어서,
서로 대향된 상기 내부 전극의 표면보다 상기 외부 전극의 내면이 넓어서, 상기 내부 전극과 상기 외부 전극 사이에 불균일한 전기장이 발생하는 부분을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자 분리 장치.
The method of claim 11,
And an inner surface of the outer electrode is wider than a surface of the inner electrode facing each other, so that a non-uniform electric field is generated between the inner electrode and the outer electrode.
청구항 13의 서로 대향된 내부 전극의 표면적과 외부 전극의 내면적의 넓이 차이에 의하여, 상기 내부 전극과 상기 외부 전극 사이에 불균일한 전기장이 발생하는 입자 분리 장치를 이용하여, 에어로졸에 포함된 섬유형상의 입자를 분리하는 방법으로서,
에어로졸에 포함된 구형 입자를 음 또는 양 전하로 대전시키는 단계;
내부 전극을 상기 구형 입자의 대전 전하와 반대 전하로 대전시키는 단계; 및
상기 내부 전극과 상기 외부 전극 사이로 에어로졸을 이동시키는 단계를 포함하며,
상기 내부 전극과 상기 외부 전극 사이에 발생된 불균일한 전기장에 의해 쌍극자 모멘트가 발생한 섬유형상의 입자가 상기 내부 전극에 부착되어 제거되는 것을 특징으로 하는 에어로졸에 포함된 섬유형상의 입자를 분리하는 방법.By using a particle separation device in which a non-uniform electric field is generated between the inner electrode and the outer electrode by the difference in the surface area of the inner electrode and the outer surface of the opposite electrode of claim 13, the fibrous shape contained in the aerosol As a method of separating particles,
Charging the spherical particles contained in the aerosol with a negative or positive charge;
Charging an internal electrode with a charge opposite to that of the spherical particles; And
Moving an aerosol between the inner electrode and the outer electrode,
A method of separating fibrous particles contained in an aerosol, wherein the fibrous particles having a dipole moment are attached to the inner electrodes and removed by an uneven electric field generated between the inner electrode and the outer electrode.
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