KR101162348B1 - Transport system - Google Patents

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KR101162348B1 KR1020090069958A KR20090069958A KR101162348B1 KR 101162348 B1 KR101162348 B1 KR 101162348B1 KR 1020090069958 A KR1020090069958 A KR 1020090069958A KR 20090069958 A KR20090069958 A KR 20090069958A KR 101162348 B1 KR101162348 B1 KR 101162348B1
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가츠요시 다치바나
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히라따기꼬오 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은, 크기가 다른 반송 대상물의 위치를 결정하고, 또한 복수의 반송 대상물을 연속적으로 반송할 수 있는 반송 시스템을 제공하기 위한 것이다.

본 발명에 따른 반송시스템은, 수평의 반송 궤도상에서 미리 정해진 반송방향으로 반송 대상물을 반송하는 반송수단과; 상기 반송방향과 직교하는 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제1 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 한쪽 측부에 접촉하는 제1 접촉위치와 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제1 대기위치 사이에서 이동 가능하게 설치된 제1 접촉부재와; 상기 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제2 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 다른 쪽 측부에 접촉하는 제2 접촉위치와 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제2 대기위치와의 사이에서 이동 가능하게 설치된 제2 접촉부재와; 상기 반송수단이 반송하는 상기 반송 대상물의 크기에 따라 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 상기 제1 위치 결정부, 및 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 상기 제2 위치 결정부를 선택하는 선택수단과; 상기 선택수단이 선택한 상기 제1 위치 결정부에 설치한 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 제1 이동수단과; 상기 선택수단이 선택한 상기 제2 위치 결정부에 설치한 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 제2 이동수단과; 상기 복수의 제1 접촉부재를 상기 수평방향으로 이동시키는 제3 이동수단;을 구비한 것을 특징으로 한다.

Figure R1020090069958

An object of the present invention is to provide a conveying system capable of determining positions of conveyed objects having different sizes and conveying a plurality of conveyed objects continuously.

A conveying system according to the present invention includes: conveying means for conveying a conveying object in a predetermined conveying direction on a horizontal conveying track; A plurality of first positioning portions spaced apart from each other in a horizontal direction orthogonal to the conveying direction, respectively, positioned on the conveying track and contacting on one side of the conveying object and on the conveying track A first contact member movably installed between a first standby position not located; A second contact position provided on each of the plurality of second positioning portions spaced apart from each other in the horizontal direction and positioned on the conveying track and not in contact with the other side of the conveying object, and not on the conveying track. A second contact member movably disposed between the second standby position; The first positioning unit for moving the first contact member to the first contact position and the second contact member for moving the second contact member in accordance with the size of the object to be conveyed by the conveying means; Selecting means for selecting a second positioning unit; First moving means for moving the first contact member provided in the first positioning unit selected by the selection means to the first contact position; Second moving means for moving the second contact member provided in the second positioning unit selected by the selection means to the second contact position; And third moving means for moving the plurality of first contact members in the horizontal direction.

Figure R1020090069958

Description

반송 시스템{Transport system}Transport system

본 발명은 기판 등의 반송 대상물을 반송하는 시스템에 관한 것이다.TECHNICAL FIELD This invention relates to the system which conveys conveyance objects, such as a board | substrate.

박형 디스플레이의 제조에 사용되는 유리 기판으로 대표되는 기판은 일반적으로 수납 카세트의 각 슬롯에 1장씩 기판이 수납되고, 1개의 수납 카세트에는 여러 장의 기판이 수납된다. 그리고 그 기판의 처리시에는 1장씩 수납 카세트로부터 기판이 취출되어 기판 처리 장치에 반송되고, 처리 후에는 기판 처리 장치로부터 다시 수납 카세트로 반입된다. 이 종류의 설비의 경우, 수납 카세트와 처리 장치간에 기판을 반송하는 반송 시스템이 필요하다.Generally, the board | substrate represented by the glass substrate used for manufacture of a thin display is accommodated by one sheet in each slot of a storage cassette, and several board | substrates are accommodated in one storage cassette. At the time of processing of the substrate, the substrates are taken out from the storage cassettes one by one and conveyed to the substrate processing apparatus. In the case of this kind of equipment, a conveying system for conveying a substrate between the storage cassette and the processing apparatus is required.

여기에서 롤러 컨베이어나 벨트 컨베이어 등에 의해 기판을 반송하는 설비로는, 기판에 대한 각 롤러 또는 벨트의 접촉 상태가 반드시 균일하지는 않기 때문에 반송 도중에 서서히 기판이 기울어지는 경우가 있다. 특히 반송방향과 직교되는 방향으로 긴 폭의 기판을 반송할 경우에는 반송 자세의 변화(반송방향에 대한 기판의 경사)가 커진다. 이와 같이 반송 자세가 변화된 상태에서 반송을 하면, 수납 카세트나 처리 장치에 기판을 반입 또는 반출할 경우에 기판의 반송이 원활하게 이루어지지 않는 경우가 있다. 따라서 기판의 반송 자세를 수정하기 위해 기판의 위치 결 정이 필요하다. 또 최근에는 여러 종류의 크기의 기판을 같은 반송 시스템상에서 반송하는 것이 요구되고 있다. 따라서 기판의 위치 결정은 다른 크기의 기판에 대응한 것이어야 할 필요가 있다.Here, as a facility which conveys a board | substrate by a roller conveyor, a belt conveyor, etc., since the contact state of each roller or belt with respect to a board | substrate is not necessarily uniform, a board | substrate may incline gradually during conveyance. Especially when conveying a long board | substrate in the direction orthogonal to a conveyance direction, the change of a conveyance attitude | position (inclination of a board | substrate with respect to a conveyance direction) becomes large. When conveyance is carried out in the state which conveyed attitude changed in this way, conveyance of a board | substrate may not be performed smoothly when carrying in or carrying out a board | substrate to a storage cassette or a processing apparatus. Therefore, it is necessary to determine the position of the substrate to correct the transport attitude of the substrate. In recent years, it has been required to transport substrates of various types on the same transport system. Therefore, the positioning of the substrate needs to correspond to substrates of different sizes.

아래의 특허문헌 1 및 2는, 위치 결정용 돌기를 마련한 벨트 컨베이어를 한쌍 병설하여 한쪽 벨트 컨베이어의 돌기가 기판의 앞변에, 다른 쪽 벨트 컨베이어의 돌기가 기판의 뒷변에 각각 맞닿도록 하여, 각 돌기로 기판을 끼움지지하면서 반송하는 시스템이 개시되어 있다.Patent Documents 1 and 2 below provide a pair of belt conveyors provided with positioning projections so that the projections of one belt conveyor contact the front side of the substrate and the projections of the other belt conveyor contact the rear sides of the substrate, respectively. A system for conveying while sandwiching a furnace is disclosed.

[특허문헌 1] 일본공개특허 평8-26437호 공보[Patent Document 1] Japanese Patent Application Laid-Open No. 8-26437

[특허문헌 2] 일본공개특허 평11-59847호 공보[Patent Document 2] Japanese Patent Application Laid-Open No. 11-59847

그러나 특허문헌 1 및 2의 시스템에서는 벨트 컨베이어가 기판의 반송과 돌기 이동을 겸하고 있다. 따라서 한쌍의 벨트 컨베이어가 하나의 기판을 반송하는 동안 한쌍의 벨트 컨베이어가 그 기판의 반송에 전유되어 후속의 다른 기판을 연속적으로 반송할 수 없다.However, in the systems of Patent Literatures 1 and 2, the belt conveyor serves as a substrate transfer and protrusion movement. Thus, while the pair of belt conveyors carry one substrate, the pair of belt conveyors are dedicated to the transfer of the substrates and cannot subsequently carry another substrate.

따라서 본 발명의 목적은, 크기가 다른 반송 대상물의 위치를 결정하고 또한 복수의 반송 대상물을 연속적으로 반송할 수 있는 반송 시스템을 제공함에 있다.It is therefore an object of the present invention to provide a conveying system capable of determining the position of conveyed objects of different sizes and conveying a plurality of conveyed objects continuously.

본 발명에 의하면, 수평의 반송 궤도상에서 미리 정해진 반송방향으로 반송 대상물을 반송하는 반송수단과; 상기 반송방향과 직교하는 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제1 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 상기 수평방향의 한쪽 측부에 접촉하는 제1 접촉위치와 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제1 대기위치 사이에서 이동 가능하게 설치된 제1 접촉부재와; 상기 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제2 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 상기 수평방향의 다른 쪽 측부에 접촉하는 제2 접촉위치와 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제2 대기위치와의 사이에서 이동 가능하게 설치된 제2 접촉부재와; 상기 반송수단이 반송하는 상기 반송 대상물의 크기에 따라 상기 복수의 제1 위치 결정부 중 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 상기 제1 위치 결정부, 및 상기 복수의 제2 위치 결정부 중 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 상기 제2 위치 결정부를 선택하는 선택수단과; 상기 선택수단이 선택한 상기 제1 위치 결정부에 설치한 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 제1 이동수단과; 상기 선택수단이 선택한 상기 제2 위치 결정부에 설치한 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 제2 이동수단과; 상기 복수의 제1 접촉부재를 상기 수평방향으로 이동시키는 제3 이동수단;을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 시스템이 제공된다.According to the present invention, there is provided transport means for transporting a transport object in a predetermined transport direction on a horizontal transport track; A first contact position provided respectively in a plurality of first positioning portions spaced apart from each other in a horizontal direction orthogonal to the conveying direction, and positioned on the conveying track to contact one side of the horizontal direction of the conveying object; A first contact member movably installed between first standby positions not located on the transport track; A plurality of second positioning portions spaced apart from each other in the horizontal direction, respectively, positioned on the conveying track and contacting the second contact position on the other side of the horizontal direction of the conveying object and on the conveying track. A second contact member movably installed between a second standby position not located; The first positioning portion for moving the first contact member to the first contacting position among the plurality of first positioning portions according to the size of the conveyed object conveyed by the conveying means, and the plurality of second positions Selecting means for selecting the second positioning portion for moving the second contact member to the second contacting position among the determining portions; First moving means for moving the first contact member provided in the first positioning unit selected by the selection means to the first contact position; Second moving means for moving the second contact member provided in the second positioning unit selected by the selection means to the second contact position; And a third moving means for moving the plurality of first contact members in the horizontal direction.

본 발명의 반송 시스템에서는, 반송 대상물의 크기에 따라 상기 복수의 제1 위치 결정부 중 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 상기 제1 위치 결정부 및, 상기 복수의 제2 위치 결정부 중 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 상기 제2 위치 결정부를 선택하고, 각각 상기 제1 접촉위치, 상기 제2 접촉위치로 이동시킨다. 그 후, 상기 제1 접촉부재를 상기 수평방향으로 이동시킴으로써 상기 반송 대상물의 위치가 결정된다.In the conveying system of this invention, the said 1st positioning part which moves the said 1st contact member to the said 1st contact position among the said 1st positioning parts according to the magnitude | size of a conveyance object, and the said 2nd position The second positioning unit for moving the second contact member to the second contacting position is selected from among the determining units, and moves to the first contacting position and the second contacting position, respectively. Thereafter, the position of the conveyed object is determined by moving the first contact member in the horizontal direction.

반송 대상물의 크기에 따라 상기 복수의 제1 위치 결정부 중 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 상기 제1 위치 결정부 및, 상기 복수의 제2 위치 결정부 중 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 상기 제2 위치 결정부를 선택함으로써, 크기가 다른 반송 대상물의 위치를 결정할 수 있다. 또 상기 반송수단에 의해 반송 대상물을 반송하고, 상기 접촉위치와 상기 대기위치 사이의 상기 제1 및 제2 접촉부재의 이동 및 상기 제1 접촉부재의 상기 수평방향의 이동은, 상기 제1 내지 제3 이동수단으로 수행함으로써 상기 반송수단에 의해 복수의 반송 대상물을 연속적으로 반송할 수 있다.The first positioning portion for moving the first contact member among the plurality of first positioning portions to the first contact position according to the size of the object to be conveyed, and the second contact among the plurality of second positioning portions By selecting the second positioning portion for moving the member to the second contact position, the position of the conveyed object having a different size can be determined. Moreover, the conveying object is conveyed by the said conveying means, and the movement of the said 1st and 2nd contact member between the said contact position and the said standby position, and the said horizontal movement of the said 1st contact member are the said, 1st-2nd By carrying out by 3 moving means, a some conveyance object can be conveyed continuously by the said conveying means.

본 발명에서는, 상기 수평방향으로 연장 설치되고, 모든 상기 제1 접촉부재를 지지하는 지지부재를 구비하고, 상기 제3 이동수단은 상기 지지부재를 상기 수평방향으로 이동시켜도 좋다.In this invention, it is provided in the said horizontal direction, and is provided with the support member which supports all the said 1st contact members, The said 3rd moving means may move the said support member to the said horizontal direction.

또 본 발명에서는, 상기 제3 이동수단은, 상기 지지부재와 연결된 연결부와, 상기 연결부를 상기 수평방향으로 슬라이딩시키는 구동수단을 구비해도 좋다.Moreover, in this invention, the said 3rd moving means may be provided with the connection part connected with the said support member, and the drive means which slides the said connection part to the said horizontal direction.

또 본 발명에서는, 상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래쪽 위치이며, 상기 반송수단은, 상기 반송방향으로 서로 이간된 복수의 반송 장치 를 구비하고, 서로 인접한 상기 반송 장치 사이의 간극 중 제1 간극에 상기 제1 접촉부재가, 상기 제1 간극과는 다른 제2 간극에 상기 제2 접촉부재가 각각 배치되어도 좋다.Moreover, in this invention, the said 1st and 2nd waiting position is a position lower than the said conveyance track | orbit, The said conveying means is equipped with the some conveying apparatus spaced apart from each other in the said conveyance direction, and the clearance gap between the conveying apparatuses adjacent to each other. The first contact member may be disposed in the first gap, and the second contact member may be disposed in a second gap different from the first gap.

또 본 발명에서는 상기 반송 장치는 상기 수평방향으로 배열된 복수의 반송 유닛을 구비해도 좋다.Moreover, in this invention, the said conveying apparatus may be equipped with the some conveyance unit arranged in the said horizontal direction.

또 본 발명에서는 상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래쪽 위치이며, 상기 제1 이동수단은, 상기 수평방향으로 연장 설치되고 각각의 상기 제1 위치 결정부마다 하나 또는 복수의 상기 제1 접촉부재가 직경 방향으로 돌출되게 설치된 제1 지지축과; 상기 제1 지지축을 그 축심 둘레로 회전시키고, 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치와 상기 제1 대기위치 사이에서 이동시키는 제1 구동수단;을 구비하고, 상기 제2 이동수단은, 상기 수평방향으로 연장 설치되고, 각각의 상기 제2 위치 결정부마다 하나 또는 복수의 상기 제2 접촉부재가 직경 방향으로 돌출되게 설치된 제2 지지축과; 상기 제2 지지축을 그 축심 둘레로 회전시키고, 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치와 상기 제2 대기위치 사이에서 이동시키는 제2구동수단;을 구비하고, 상기 제1 접촉부재는, 상기 제1 지지축의 회전 각도에 의해, 상기 제1 접촉부재가 상기 제1 접촉위치가 되는 상기 제1 위치 결정부가 다르도록 상기 제1 지지축에 마련되고, 상기 제2 접촉부재는, 상기 제2 지지축의 회전 각도에 의해, 상기 제2 접촉부재가 상기 제2 접촉위치가 되는 상기 제2 위치 결정부가 다르도록 상기 제2 지지축에 마련되어도 좋다.In the present invention, the first and second waiting positions are lower than the conveying trajectory, and the first moving unit extends in the horizontal direction and includes one or a plurality of the first positioning units for each of the first positioning units. A first support shaft provided such that the first contact member protrudes in the radial direction; First driving means for rotating the first support shaft about its axis, and for moving the first contact member between the first contact position and the first standby position, wherein the second movement means includes: A second support shaft extending in a horizontal direction and provided with one or a plurality of second contact members protruding in the radial direction for each of the second positioning portions; Second driving means for rotating the second support shaft about its axis, and moving the second contact member between the second contact position and the second standby position, wherein the first contact member comprises: By the rotation angle of a 1st support shaft, the said 1st contact member is provided in the said 1st support shaft so that the said 1st positioning part which becomes the said 1st contact position may differ, and the said 2nd contact member is the said 2nd support Depending on the rotation angle of the shaft, the second support member may be provided on the second support shaft so that the second positioning portion where the second contact member becomes the second contact position is different.

또 본 발명에서는, 상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래 쪽 위치이며, 상기 제1 이동수단은, 각각의 상기 제1 위치 결정부마다 마련되고, 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치와 상기 제1 대기위치 사이에서 승강시키는 제1승강 수단이고, 상기 제2 이동수단은, 각각의 상기 제2 위치 결정부마다 마련되고, 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치와 상기 제2 대기위치 사이에서 승강시키는 제2승강 수단이어도 좋다.Moreover, in this invention, the said 1st and 2nd standby position is a position below the said conveyance track | orbit, the said 1st moving means is provided for each said 1st positioning part, and the said 1st contact member is made into the said 1st A first elevating means for elevating between a first contact position and the first standby position, wherein the second moving means is provided for each of the second positioning portions, and the second contact member is connected with the second contact position. Second lifting means for lifting up and down between the second standby positions may be used.

또 본 발명에서는, 상기 제2 위치 결정부가 상기 반송방향으로 이간되어 2열 설정되고, 상기 제1 위치 결정부가 상기 2열의 상기 제2 위치 결정부 사이에 설정되어도 좋다.In the present invention, the second positioning section may be spaced apart in the conveyance direction and set in two rows, and the first positioning section may be set between the second positioning sections in the second row.

또 본 발명에서는, 상기 반송 대상물이 기판이며, 상기 제1 위치 결정부와 상기 제2 위치 결정부의 배치 조합이, 상기 반송수단이 반송할 수 있는 최대 폭을 가진 제1 기판을 위치 결정하는 경우에 대응한 배치 조합과,Moreover, in this invention, when the said conveying object is a board | substrate and the arrangement combination of the said 1st positioning part and the said 2nd positioning part positions a 1st board | substrate which has the largest width which the said conveyance means can convey, Correspondence placement combination,

상기 제1 기판보다도 폭이 좁은 제2 기판을 상기 수평방향으로 복수 나열하여 위치를 결정하는 경우에 대응한 배치 조합을 포함해도 좋다.The arrangement combination corresponding to the case where a plurality of second substrates having a width smaller than that of the first substrates are arranged in the horizontal direction may be determined.

또 본 발명에서는, 상기 제1 위치 결정부와 상기 제2 위치 결정부의 배치 조합이, 상기 제2 기판보다도 폭이 좁은 제3 기판을 상기 수평방향으로 복수 나열하여 위치를 결정하는 경우에 대응한 배치 조합과, 상기 제2 기판과 상기 제3 기판을 상기 수평방향으로 나열하여 각각 위치를 결정하는 경우에 대응한 배치 조합을 더 포함해도 좋다.Moreover, in this invention, the arrangement | positioning corresponding to the case where the arrangement combination of the said 1st positioning part and the said 2nd positioning part determines the position by arranging a plurality of 3rd board | substrates narrower than the said 2nd board | substrate in the said horizontal direction. The combination and the arrangement combination corresponding to the case where the second substrate and the third substrate are arranged in the horizontal direction to determine their respective positions may be further included.

또 본 발명에서는 상기 반송 대상물이 기판이며, 상기 반송수단의 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 처리하는 처리 장치와, 상기 반송수단 의 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 수납하는 수납 카세트와, 상기 반송수단과 연속(連續)하고 또한 상기 수납 카세트의 하부에 배치되어 상기 수납 카세트와 상기 반송수단 사이에서 상기 기판을 반송하는 컨베이어를 구비해도 좋다.Moreover, in this invention, the said conveyance object is a board | substrate, it is arrange | positioned at the one end side of the said conveyance direction of the said conveyance means, and is arrange | positioned at the other end side of the said conveyance direction of the said conveyance means, An accommodating cassette for accommodating a substrate may be provided, and a conveyor that is continuously disposed below the accommodating cassette and disposed below the accommodating cassette to convey the substrate between the accommodating cassette and the conveying means.

또 본 발명에서는, 상기 반송 대상물이 기판이며, 상기 반송수단의 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 처리하는 처리 장치와; 상기 반송수단의 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 수납하는 제1 수납 카세트와; 상기 제1 수납 카세트에 대해, 상기 반송방향과 직교하는 수평방향으로 이간되어 배치되고, 상기 기판을 수납하는 제2 수납 카세트와; 상기 반송수단과 연속되고 또한 상기 제1 수납 카세트의 하부에 배치되어 상기 제1 수납 카세트와 상기 반송수단 사이에서 상기 기판을 반송하는 제1 컨베이어와; 상기 제2 수납 카세트의 하부에 배치된 제2 컨베이어와; 상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단과 함께 상기 반송수단의 일부를 상기 제2 컨베이어와 연속하는 위치로 이동시키는 제4 이동수단;을 구비해도 좋다.Moreover, in this invention, the said conveyance object is a board | substrate, The processing apparatus arrange | positioned at the one end side of the said conveyance direction of the said conveying means, and processes the said board | substrate; A first accommodating cassette disposed on the other end side in the conveying direction of the conveying means and accommodating the substrate; A second accommodating cassette spaced apart from the first accommodating cassette in a horizontal direction perpendicular to the conveying direction and accommodating the substrate; A first conveyor that is continuous with the conveying means and is disposed below the first receiving cassette to convey the substrate between the first receiving cassette and the conveying means; A second conveyor disposed below the second storage cassette; Fourth moving means which moves a part of the said conveying means with the said 1st and 2nd contact member and the said 1st-3rd moving means to the position continuous with a said 2nd conveyor; may be provided.

또 본 발명에서는, 상기 제2 수납 카세트가 상기 제1 수납 카세트에 대해 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 배치되고, 상기 제4 이동수단은, 상기 반송수단의 상기 일부를 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 이동시켜도 좋다.Moreover, in this invention, the said 2nd accommodating cassette is arrange | positioned in the direction orthogonal to the said conveyance direction with respect to the said 1st accommodating cassette, The said 4th moving means is the direction orthogonal to the said conveyance direction a part of the said conveying means. You may move it to.

또 본 발명에서는, 상기 반송 대상물이 기판이며, 상기 반송수단의 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 처리하는 처리 장치와; 상기 반송수단의 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 수납하는 제1 수납 카세트와; 상기 제1 수납 카세트에 대해 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 배치되어 상기 기판을 수납하는 제2 수납 카세트와; 상기 반송수단과 연속하고 또한 상기 제1 수납 카세트의 하부에 배치되어 상기 제1 수납 카세트와 상기 반송수단 사이에서 상기 기판을 반송하는 제1 컨베이어와; 상기 제2 수납 카세트의 하부에 배치된 제2 컨베이어;를 구비하며, 상기 반송수단은, 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되는 제1 부분과, 상기 제1 부분과 상기 반송방향으로 연속하며 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되는 제2 부분을 가지며, 상기 제1 부분을 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 상기 제2 컨베이어와 연속하는 위치로 이동시키는 제4 이동수단과; 상기 제2 부분을 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 이동시키는 제5 이동수단;을 구비하고, 상기 제1 부분 및 상기 제2부분에 각각 상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단이 설치되고, 상기 제4 및 제5 이동수단은 각각 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분과 함께 상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단을 이동시키도록 해도 좋다.Moreover, in this invention, the said conveyance object is a board | substrate, The processing apparatus arrange | positioned at the one end side of the said conveyance direction of the said conveying means, and processes the said board | substrate; A first accommodating cassette disposed on the other end side in the conveying direction of the conveying means and accommodating the substrate; A second accommodating cassette arranged in a direction orthogonal to the conveying direction with respect to the first accommodating cassette to accommodate the substrate; A first conveyor that is continuous with the conveying means and is disposed below the first accommodating cassette to convey the substrate between the first accommodating cassette and the conveying means; And a second conveyor disposed below the second storage cassette, wherein the conveying means is configured to be continuous with the first portion disposed on one end side of the conveying direction, the first portion, and the conveying direction. Fourth moving means having a second portion disposed on the other end side in the conveying direction and moving the first portion to a position continuous with the second conveyor in a direction orthogonal to the conveying direction; And fifth moving means for moving the second portion in a direction orthogonal to the conveying direction, wherein the first and second contact members and the first to third portions are respectively attached to the first portion and the second portion. Moving means may be provided, and the fourth and fifth moving means may move the first and second contact members and the first to third moving means together with the first part and the second part, respectively. .

이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 의하면 크기가 다른 반송 대상물의 위치를 결정하고 또한 복수의 반송 대상물을 연속적으로 반송할 수 있는 반송 시스템을 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, it is possible to provide a conveying system capable of determining the position of conveyed objects having different sizes and continuously conveying a plurality of conveyed objects.

이하, 본 발명의 실시형태에 대해서 도면을 참조하여 설명하기로 한다.EMBODIMENT OF THE INVENTION Hereinafter, embodiment of this invention is described with reference to drawings.

<제1 실시형태>First Embodiment

<전체 구성><Overall configuration>

도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 반송 시스템(A)의 레이아웃을 도시한 평면도, 도 2는 반송 시스템(A)의 측면도이다. 한편, 각 도면에서 화살표 X,Y는 서로 직교하는 수평방향, 화살표 Z는 상하 방향(연직 방향)을 나타낸다. 본 실시형태의 경우, 반송 시스템(A)은 후술하는 3종류의 유리 기판(W1) 내지 (W3)(총칭할 경우에는 유리 기판(W)이라고 한다.)을, 수납 카세트(10)와 미도시된 처리 장치 사이에서 반송한다. 처리 장치는, 예를 들면 유리 기판(W)의 세정, 건조, 기타 처리를 한다. 한편, 본 실시형태에서는 유리 기판을 반송 대상물로 하지만, 액정 기판, PDP기판 등 다른 기판, 골판지 등 각종 판형물 또는 다른 물건의 반송에도 본 발명을 적용할 수 있다.1 is a plan view showing a layout of a conveying system A according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a side view of the conveying system A. FIG. In addition, in each figure, the arrow X, Y represents the horizontal direction orthogonal to each other, and the arrow Z represents the up-down direction (vertical direction). In the case of this embodiment, the conveyance system A has three types of glass substrates W1 to W3 (to be collectively referred to as glass substrates W), which will be described later. It conveys between the processed processing apparatuses. The processing apparatus performs washing, drying, and other processing of the glass substrate W, for example. On the other hand, in this embodiment, although a glass substrate is a conveyance object, this invention can be applied also to conveyance of various board | substrates, such as a liquid crystal substrate, a PDP board | substrate, and corrugated boards, or other objects.

반송 시스템(A)은, 주반송 장치(100)와, 주반송 장치(100)에 연속하여 배치된 이동적재 컨베이어(200)와, 이동적재 컨베이어(200) 위에서 수납 카세트(10)를 승강시키는 한쌍의 승강 장치(20)와, 주반송 장치(100)에 마련된 위치 결정 장치(140)와, 주반송 장치(100)에 연속하여 배치된 컨베이어(30)를 구비한다.The conveying system A is a pair which raises and lowers the storage cassette 10 on the main conveying apparatus 100, the mobile loading conveyor 200 arrange | positioned continuously to the main conveying apparatus 100, and the mobile loading conveyor 200. Elevating device 20, a positioning device 140 provided in main transport device 100, and a conveyor 30 continuously arranged on main transport device 100.

본 실시형태의 경우, 유리 기판(W)의 반송방향은 X방향이고, 반송방향으로 직교하는 방향은 Y방향이다. 미도시된 처리 장치는 주반송 장치(100)의 +X쪽에 배치되고, 컨베이어(30)는 주반송 장치(100)와 미도시된 처리 장치와의 사이에 개재되어 이들 사이에서 유리 기판(W)의 반송을 행한다. 수납 카세트(10)는 주반송 장치(100)의 ―X쪽에 배치되고, 이동적재 컨베이어(200) 및 1쌍의 승강 장치(20)는 수납 카세트(10)로부터 주반송 장치(100)로의 유리 기판(W)의 반출 및 주반송 장치(100)로부터 수납 카세트(10)로의 유리 기판(W)의 반입을 행한다.In the case of this embodiment, the conveyance direction of the glass substrate W is an X direction, and the direction orthogonal to a conveyance direction is a Y direction. The processing apparatus not shown is disposed on the + X side of the main transport apparatus 100, and the conveyor 30 is interposed between the main transport apparatus 100 and the processing apparatus not shown, and the glass substrate W therebetween. Conveys. The storage cassette 10 is disposed on the -X side of the main transport apparatus 100, and the mobile loading conveyor 200 and the pair of lifting devices 20 are the glass substrates from the storage cassette 10 to the main transport apparatus 100. Carrying out of (W) and the glass substrate W to the storage cassette 10 from the main transport apparatus 100 are carried in.

<주반송 장치(100)><Main transport apparatus 100>

주반송 장치(100)는 X방향으로 서로 이간된 복수의 반송 장치(110)를 구비한다. 본 실시형태의 경우, 반송 장치(110)는 X방향으로 8개 배치되어 있다. 도 3은 반송 장치(110)의 사시도이다. 반송 장치(110)는 Y방향으로 배열된 합계 4개의 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)을 구비한다. 본 실시형태의 경우, 롤러 컨베이어 유닛(120)이 Y방향 양단부에 각각 하나, 롤러 컨베이어 유닛(130)이 2개의 롤러 컨베이어 유닛(120) 사이에 2개 배치되어 있다.The main transport apparatus 100 includes a plurality of transport apparatuses 110 spaced apart from each other in the X direction. In the case of this embodiment, eight conveying apparatuses 110 are arrange | positioned at the X direction. 3 is a perspective view of the conveying apparatus 110. The conveying apparatus 110 is equipped with four roller conveyor units 120 and 130 arranged in the Y direction. In the present embodiment, one roller conveyor unit 120 is disposed at both ends in the Y direction, and two roller conveyor units 130 are disposed between the two roller conveyor units 120.

이와 같이, 주반송 장치(100)는 복수의 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)을 매트릭스 형태로 배치하여 구성되어 있다. 본 실시형태에서는 주반송 장치(100)를 롤러 컨베이어로 하였으나, 벨트 컨베이어 등 다른 형식의 컨베이어를 사용해도 좋다.In this way, the main transport apparatus 100 is configured by arranging a plurality of roller conveyor units 120 and 130 in a matrix form. In this embodiment, although the main conveying apparatus 100 was made into a roller conveyor, you may use other types of conveyors, such as a belt conveyor.

롤러 컨베이어 유닛(120)은 유리 기판(W)이 놓여지는 복수의 롤러(121)와, 롤러(121)의 구동 장치를 내장한 구동 박스(122)와, 롤러(121) 위의 유리 기판(W)을 검출하는 센서(123)를 구비한다. 센서(123)는 롤러 컨베이어 유닛(120)의 X방향의 양단부에 하나씩 배치되어 있다. 롤러(121)는 Y방향으로 연장된 축을 회전축으로 하고, 그 회전축을 중심으로 회전하여 유리 기판(W)을 X방향으로 반송한다.The roller conveyor unit 120 includes a plurality of rollers 121 on which the glass substrates W are placed, a drive box 122 incorporating a driving device of the rollers 121, and a glass substrate W on the rollers 121. Sensor 123 is detected. The sensors 123 are arranged one by one at both ends of the roller conveyor unit 120 in the X direction. The roller 121 makes the axis extended in the Y direction into a rotating shaft, rotates about the rotating shaft, and conveys the glass substrate W to an X direction.

롤러 컨베이어 유닛(130)은 유리 기판(W)이 놓여지는 복수의 롤러(131)와, 롤러(131)의 구동 장치를 내장한 구동 박스(132)와, 롤러(131) 위의 유리 기판(W)을 검출하는 센서(133)를 구비한다. 센서(133)는 롤러 컨베이어 유닛(120)의 X방향의 양단부에 하나씩 배치되어 있다. 롤러(131)는 Y방향으로 연장된 축을 회전축으로 하고, 그 회전축을 중심으로 회전하여 유리 기판(W)을 X방향으로 반송한다.The roller conveyor unit 130 includes a plurality of rollers 131 on which the glass substrate W is placed, a drive box 132 incorporating a drive device for the rollers 131, and a glass substrate W on the rollers 131. Sensor 133 is detected. The sensors 133 are disposed one by one at both ends of the roller conveyor unit 120 in the X direction. The roller 131 makes the axis extended in the Y direction into a rotating shaft, rotates about the rotating shaft, and conveys the glass substrate W to an X direction.

롤러 컨베이어 유닛(130)의 Y방향 폭은, 롤러 컨베이어 유닛(120)의 Y방향 폭의 약 절반 정도이다. 각 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 각 롤러 컨베이어 유닛(130)은 각각 독립적으로 구동 가능하다.The width in the Y direction of the roller conveyor unit 130 is about half of the width in the Y direction of the roller conveyor unit 120. Each roller conveyor unit 120 and each roller conveyor unit 130 can be driven independently of each other.

롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)은 롤러(121),(131)의 수가 다른 2종류의 유닛이 사용되었다. 도 1에 도시한 바와 같이 위치 결정 장치(140) 근방에는 5열의 롤러(121),(131)를 가진 것과 3열의 롤러(121),(131)를 가진 것이 있고, 그 밖의 것은 4열의 롤러(121),(131)를 가지고 있다. 그러나 롤러의 열수는 전부 동일하게 해도 좋다.As roller conveyor units 120 and 130, two types of units different in the number of rollers 121 and 131 were used. As shown in FIG. 1, there are five rows of rollers 121 and 131 in the vicinity of the positioning device 140 and three rows of rollers 121 and 131. Others include four rows of rollers ( 121), 131. However, the thermal water of the rollers may all be the same.

또 컨베이어(30) 근방의 반송 장치(110)에는 도 1 및 도 3에 도시한 바와 같이 유리 기판(W)을 검출하는 센서(111)가 설치되어 있다. 이들은 처리 장치(미도시)로부터 주반송 장치(100)로 반출되는 유리 기판(W)의 종류를 판별하기 위해 사용된다.Moreover, the sensor 111 which detects the glass substrate W is provided in the conveying apparatus 110 near the conveyor 30 as shown to FIG. 1 and FIG. These are used for discriminating the kind of glass substrate W carried out from the processing apparatus (not shown) to the main transport apparatus 100. FIG.

도 4의 (A) 내지 (D)는 주반송 장치(100)에 의한 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 반송 형태의 예를 도시한 도면이다. 주반송 장치(100)는 크기가 다른 유리 기판(W1) 내지 (W3)을 반송하는 것을 상정하였다.4: (A)-(D) is a figure which shows the example of the conveyance form of the glass substrate W1-W3 by the main conveyance apparatus 100. FIG. The main transport apparatus 100 assumed conveying glass substrates W1 to W3 having different sizes.

유리 기판(W1)은 가장 크기가 큰 유리 기판이며, 주반송 장치(100)에 의해 반송할 수 있는 최대의 폭(Y방향 폭)을 가지고 있고, 도 4의 (A)에 도시한 바와 같이 1장씩 반송된다. 유리 기판(W2)은 유리 기판(W1)보다도 Y방향 폭이 좁고, 유리 기판(W1)의 Y방향 폭의 절반 정도보다도 약간 좁은 폭을 가지고 있다. 유리 기판(W2)은 도 4의 (B)에 도시한 바와 같이 Y방향으로 2장 나열하여 동시에 반송 가 능하다.Glass substrate W1 is the largest glass substrate, has the largest width (Y-direction width) which can be conveyed by main conveying apparatus 100, and as shown to FIG. Each piece is returned. The glass substrate W2 is narrower in the Y-direction width than the glass substrate W1, and has a width slightly narrower than about half of the width in the Y-direction of the glass substrate W1. As illustrated in FIG. 4B, two glass substrates W2 are arranged in the Y direction and can be simultaneously transported.

유리 기판(W3)은 유리 기판(W2)보다도 X방향 및 Y방향의 쌍방의 폭이 좁고, 유리 기판(W2)의 X방향 및 Y방향의 각 폭의 절반 정도보다도 약간 좁은 각 폭을 가지고 있다. 유리 기판(W3)은 도 4의 (C)에 도시한 바와 같이 Y방향으로 4장 나열하여 동시에 반송 가능하다.The glass substrate W3 has a smaller width in both the X direction and the Y direction than the glass substrate W2, and has a width slightly smaller than about half of each width in the X direction and the Y direction of the glass substrate W2. As illustrated in FIG. 4C, four glass substrates W3 are arranged in the Y direction and can be transported simultaneously.

또 주반송 장치(100)는 크기가 다른 유리 기판(W)을 Y방향으로 나열하여 동시에 반송할 수도 있고, 도 4의 (D)의 예에서는 유리 기판(W2)을 1장, 유리 기판(W3)을 Y방향으로 2장, X방향으로 2장 나열하여 동시에 반송하는 형태를 보이고 있다.In addition, the main transport apparatus 100 may arrange the glass substrates W having different sizes in the Y direction and transport them simultaneously. In the example of FIG. 4D, one glass substrate W2 is provided and the glass substrate W3. ) And two sheets in the Y direction and two sheets in the X direction are conveyed at the same time.

<이동적재 컨베이어(200) 및 컨베이어(30)><Mobile Loading Conveyor 200 and Conveyor 30>

이동적재 컨베이어(200)는, 본 실시형태의 경우 주반송 장치(100)와 마찬가지의 구성으로서, 매트릭스 형태로 배치된 합계 40개의 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)을 구비한다. 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)의 롤러의 열수는 3열로 되어 있다. 또 컨베이어(30)는 단일의 롤러 컨베이어 유닛이다. 한편, 이동적재 컨베이어(200) 및 컨베이어(30)는 벨트 컨베이어 등 다른 형식의 컨베이어를 사용해도 좋다.The mobile loading conveyor 200 has the structure similar to the main conveying apparatus 100 in the case of this embodiment, and has 40 roller conveyor units 120 and 130 arranged in matrix form in total. The number of rollers of the roller conveyor units 120 and 130 is three rows. In addition, the conveyor 30 is a single roller conveyor unit. In addition, the mobile loading conveyor 200 and the conveyor 30 may use a conveyor of another type, such as a belt conveyor.

본 실시형태의 경우, 주반송 장치(100), 이동적재 컨베이어(200) 및 컨베이어(30)의 각 롤러 상단이, 도 2에 도시한 바와 같이 동일 수평면상에 위치되어 있으며 유리 기판(W)을 수평으로 반송하는 반송 궤도를 규정한다.In the case of this embodiment, the upper end of each roller of the main conveying apparatus 100, the mobile loading conveyor 200, and the conveyor 30 is located on the same horizontal surface as shown in FIG. The conveyance track | orbit which conveys horizontally is prescribed | regulated.

또 주반송 장치(100), 이동적재 컨베이어(200) 및 컨베이어(30)의 반송 부분 의 Y방향 폭은, 본 실시형태에서 가장 크기가 큰 유리 기판(W1)의 Y방향 폭보다 약간 넓게 형성된다.In addition, the Y direction width of the conveyance part of the main conveying apparatus 100, the mobile loading conveyor 200, and the conveyor 30 is formed slightly wider than the Y direction width of the glass substrate W1 which is largest in this embodiment. .

<수납 카세트(10)><Storing cassette 10>

도 5는 수납 카세트(10)의 사시도이다. 수납 카세트(10)는 유리 기판(W)을 Z방향으로 다단으로 수납 가능한 카세트이다. 한편, 도 5는 유리 기판(W)이 미수납된 상태를 도시하고 있다. 본 실시형태의 경우, 수납 카세트(10)는 복수의 기둥 부재(11)와 대들보 부재(12)에 의해 대략 직육면체형의 프레임체를 이루고 있고, 한쌍의 승강 장치(20)에 지지되어 이동적재 컨베이어(200)의 윗쪽에 위치하고 있다. 기둥 부재(11)의 설치 간격 및 대들보 부재(12)의 설치 간격은, 이동적재 컨베이어(200)를 구성하는 각 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)이 수납 카세트(10)의 아래쪽으로부터 수납 카세트(10) 안으로 진입할 수 있도록 설정된다.5 is a perspective view of the storage cassette 10. The storage cassette 10 is a cassette capable of storing the glass substrate W in multiple stages in the Z direction. On the other hand, FIG. 5 shows the state in which the glass substrate W is not stored. In the case of this embodiment, the storage cassette 10 comprises the substantially rectangular parallelepiped frame body by the several pillar member 11 and the girder member 12, is supported by a pair of lifting device 20, and is a mobile loading conveyor. It is located above (200). The installation interval of the pillar member 11 and the installation interval of the girder member 12 are such that each roller conveyor unit 120 and 130 constituting the mobile loading conveyor 200 has a storage cassette from the lower side of the storage cassette 10. (10) It is set to be able to enter.

기둥 부재(11)는 X방향으로 복수 설치됨과 동시에 Y방향으로 이간되어 같은 수만큼 나란히 설치되어 있다. Y방향으로 이간된 한쌍의 기둥 부재(11) 사이에는 Z방향으로 나열하고 또한 소정의 피치로 와이어(13)가 장설(張設)되어 있다. 각 와이어(13) 상하간의 공간에는 유리 기판(W)을 수납하는 슬롯을 형성하고, 유리 기판(W)는 대략 수평 자세로 와이어(13) 위에 놓여진다. 그리고 Z방향으로 늘어선 와이어(13)의 수만큼 슬롯이 형성된다. 본 실시형태에서는 슬롯을 와이어로 형성하였으나, 다른 방식도 물론 채용 가능하다.The pillar members 11 are provided in plural in the X direction and at the same time, are spaced apart in the Y direction and are installed side by side in the same number. Between the pair of pillar members 11 spaced apart in the Y direction, the wires 13 are arranged in the Z direction and at a predetermined pitch. A slot for accommodating the glass substrate W is formed in the space between the upper and lower portions of the wires 13, and the glass substrate W is placed on the wire 13 in a substantially horizontal posture. And slots are formed by the number of wires 13 arranged in the Z direction. In the present embodiment, the slot is formed of a wire, but other methods can of course be employed.

본 실시형태의 경우, 수납 카세트(10)는 하나의 슬롯에 복수의 유리 기판(W)을 수납할 수 있는 크기를 가지고 있다. 도 6의 (A) 내지 (D)는 수납 카세트(10)로 의 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 수납 형태의 예를 도시한 도면이다. 도 6의 (A)는, 유리 기판(W1)을 X방향으로 2장 나열하여 수납한 형태를 도시한다. 도 6의 (B)는, 유리 기판(W2)을 X방향으로 2장, Y방향으로 2장, 합계 4장 나열하여 수납한 형태를 도시한다. 도 6의 (C)는, 유리 기판(W3)을 X방향으로 4장, Y방향으로 4장, 합계 16장 나열하여 수납한 형태를 도시한다. 도 6의 (D)는, 유리 기판(W1) 내지 (W3)을 혼재시켜 나열하여 수납한 형태를 도시하고, ―X쪽에 1장의 유리 기판(W1), +X쪽에서 +Y쪽에 1장의 유리 기판(W2), +X쪽에서 ―Y쪽에 4장의 유리 기판(W3)을 수납한 형태를 도시한다.In the case of this embodiment, the storage cassette 10 has the size which can accommodate several glass substrates W in one slot. FIG. 6: (A)-(D) is a figure which shows the example of the storage form of the glass substrate W1-W3 to the storage cassette 10. As shown in FIG. FIG. 6A shows a form in which two glass substrates W1 are arranged side by side in the X direction. FIG. 6B shows a form in which the glass substrate W2 is arranged in two sheets in the X direction, two sheets in the Y direction, and four pieces in total. FIG. 6C illustrates a form in which the glass substrate W3 is arranged in four sheets in the X direction, four sheets in the Y direction, and 16 sheets in total. FIG. 6D shows a form in which glass substrates W1 to W3 are mixed and stored, and one glass substrate W1 on the -X side and one glass substrate on the + Y side on the + X side. (W2) and the form which accommodated four glass substrates W3 on the -Y side from + X side is shown.

<승강 장치(20)><Lift device 20>

도 7은 한쌍의 승강 장치(20)의 사시도, 도 8은 승강 장치(20)의 분해 사시도이다. 본 실시형태에서는 승강 장치(20)에 의해 수납 카세트(10)를 Z방향으로 승강시킴으로써 수납 카세트(10)와 이동적재 컨베이어(200)를 Z방향으로 상대적으로 이동시킨다. 그러나 이동적재 컨베이어(200)를 Z방향으로 승강시키는 구성으로 해도 좋고 이 경우 주반송 장치(100)도 승강시키는 구성으로 하게 된다.7 is a perspective view of the pair of lifting devices 20, and FIG. 8 is an exploded perspective view of the lifting device 20. In the present embodiment, the storage cassette 10 is moved in the Z direction by the elevating device 20 to move the storage cassette 10 and the movable loading conveyor 200 relatively in the Z direction. However, the configuration may be configured to elevate the mobile loading conveyor 200 in the Z direction, and in this case, the main transport apparatus 100 may also be elevated.

본 실시형태의 경우, 승강 장치(20)는 수납 카세트(10)를 사이에 두도록 수납 카세트(10)의 서로 대향하는 Y방향 양측부에 각각 설치되어 수납 카세트(10)를 외팔보 형태로 지지한다.In the case of this embodiment, the lifting device 20 is provided on both sides of the storage cassette 10 opposite to each other in the Y direction so as to sandwich the storage cassette 10 to support the storage cassette 10 in a cantilevered form.

승강 장치(20)는 수납 카세트(10) 바닥부의 대들보 부재(12)가 놓여지는 빔 부재(21)를 구비하고, 각 승강 장치(20)의 각 빔 부재(21)가 동기적으로 Z방향으로 이동함으로써 수납 카세트(10)가 승강된다. 승강 장치(20)는 Z방향으로 연장되는 지주(22)를 구비하고, 지주(22)의 안쪽 표면에는 Z방향으로 연장되는 한쌍의 레일 부재(23) 및 랙(24)이 고정되어 있다. 각 승강 장치(20) 사이에는 지주(22)의 상단에 대들보 부재(20a)가 가설(架設)되어 있다.The lifting device 20 includes a beam member 21 on which the girder member 12 at the bottom of the storage cassette 10 is placed, and each beam member 21 of each lifting device 20 is synchronized in the Z direction. By moving, the storage cassette 10 is elevated. The lifting device 20 includes a support 22 extending in the Z direction, and a pair of rail members 23 and a rack 24 extending in the Z direction are fixed to the inner surface of the support 22. A girder member 20a is hypothesized at the upper end of the support 22 between each lifting device 20.

빔 부재(21)는 지지판(25)의 일측면에 브라켓(25a)을 통해 고정되어 지지된다. 지지판(25)의 다른 측면에는 레일 부재(23)를 따라서 이동 가능한 4개의 슬라이드 부재(26)가 고정되고, 빔 부재(21) 및 지지판(25)은 레일 부재(23)의 안내에 의해 상하로 이동한다. 구동유닛(27)은 모터(27a)와 감속기(27b)로 구성되어 있으며 지지판(28)의 일측면에 고정되어 지지되어 있다. 감속기(27b)의 출력축은 지지판(28)을 관통하여 지지판(28)의 다른 측면에 설치된 피니언(29a)에 접속되어 있다.The beam member 21 is fixedly supported on one side of the support plate 25 through the bracket 25a. Four slide members 26 movable along the rail member 23 are fixed to the other side of the support plate 25, and the beam member 21 and the support plate 25 are moved up and down by the guide of the rail member 23. Move. The drive unit 27 is composed of a motor 27a and a speed reducer 27b and is fixedly supported on one side of the support plate 28. The output shaft of the reducer 27b penetrates through the support plate 28 and is connected to the pinion 29a provided on the other side of the support plate 28.

지지판(25)와 지지판(28)은 소정의 간격을 두고 서로 고정되고 지지판(25)과 지지판(28) 사이의 간극에는 피니언(29b) 내지 (29d)가 설치되어 있다. 피니언(29b) 내지 (29d)은 지지판(25)와 지지판(28) 사이에서 회전 가능하게 축지지되고, 피니언(29b) 및 피니언(29c)은 피니언(29a)의 회전에 종동하여 회전한다. 피니언(29d)은 피니언(29c)의 회전에 종동하여 회전한다. 피니언(29b) 내지 (29d)는 서로 마찬가지 규격의 피니언이며, 2개의 피니언(29b) 및 (29d)는 각 랙(24)과 맞물려 있다.The support plate 25 and the support plate 28 are fixed to each other at predetermined intervals, and pinions 29b to 29d are provided in the gap between the support plate 25 and the support plate 28. The pinions 29b to 29d are rotatably axially supported between the support plate 25 and the support plate 28, and the pinion 29b and the pinion 29c rotate in accordance with the rotation of the pinion 29a. The pinion 29d rotates following the rotation of the pinion 29c. The pinions 29b to 29d are pinions of the same standard, and the two pinions 29b and 29d are engaged with the respective racks 24.

그런데 구동유닛(27)을 구동하면 피니언(29a)이 회전하고, 그 구동력에 의해 구동유닛(27), 지지판(25) 및 (28), 슬라이드 부재(26) 및 빔 부재(21)가 일체가 되어 윗쪽 또는 아래쪽으로 이동하게 되어 빔 부재(21) 위에 놓여진 수납 카세 트(10)를 승강시킬 수 있다. 각 승강 장치(20)에는 서로간의 빔 부재(21) 승강 높이의 엇갈림을 검출하는 센서(21a)가 빔 부재(21)의 단부에 설치되어 있다.However, when the driving unit 27 is driven, the pinion 29a rotates, and the driving unit 27, the support plates 25 and 28, the slide member 26 and the beam member 21 are integrally formed by the driving force. And move upward or downward to elevate the storage cassette 10 placed on the beam member 21. Each lifting device 20 is provided at the end of the beam member 21 with a sensor 21a that detects a gap between the lifting heights of the beam members 21 between each other.

센서(21a)는 예를 들면 발광부와 수광부를 구비한 광센서로서, 도 7에 도시한 바와 같이 서로 광을 Y방향으로 조사하여 이것을 수광했는지 여부를 판정한다. 수광한 경우에는 서로간의 빔 부재(21) 승강 높이의 엇갈림이 없게 되고, 수광하지 않는 경우는 승강 높이에 엇갈림이 있게 된다. 승강 높이의 엇갈림이 센서(21a)에서 검출되면 모터(27a)의 제어에 의해 엇갈림이 해소되도록 제어된다.The sensor 21a is, for example, an optical sensor provided with a light emitting portion and a light receiving portion. As shown in Fig. 7, the light is irradiated with each other in the Y direction to determine whether the light is received. In the case of receiving light, there is no cross between the lifting heights of the beam members 21, and in the case of not receiving light, there is a cross in the lifting height. When the difference of the lifting heights is detected by the sensor 21a, it controls by the control of the motor 27a so that a clearance may be eliminated.

도 9의 (A) 내지 (E)는 기판(W)을 수납 카세트(10)에서 반출하는 경우의 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)의 동작 설명도이다. 유리 기판(W)의 반출은, 유리 기판(W)이 수납된 슬롯 중 최하측 슬롯에 수납된 유리 기판(W)부터 순서대로 실시한다.9A to 9E are diagrams illustrating the operation of the lifting device 20 and the moving loading conveyor 200 when the substrate W is taken out from the storage cassette 10. Carrying out of the glass substrate W is performed in order from the glass substrate W accommodated in the lowest slot among the slot in which the glass substrate W was accommodated.

우선 도 9의 (A)에 도시한 바와 같이, 이동적재 컨베이어(200)의 윗쪽에 수납 카세트(10)가 위치한 상태에서 승강 장치(20)에 의해 수납 카세트(10)를 강하시키고, 도 9의 (B)에 도시한 바와 같이 이동적재 컨베이어(200) 위에 반송 대상의 유리 기판(W)을 놓아둔다. 이 때, 이동적재 컨베이어(200)는 수납 카세트(10) 안으로 아래쪽으로부터 진입하고, 반송 대상의 유리 기판(W)은 수납 카세트(10)의 와이어(13)로부터 들뜬 상태가 되어 이동적재 컨베이어(200)로만 지지된 상태가 된다. 계속해서 이동적재 컨베이어(200)를 구동하여 도 9의 (C)에 도시한 바와 같이 반송 대상의 유리 기판(W)을 수납 카세트(10)로부터 반출한다.First, as shown in FIG. 9A, the storage cassette 10 is lowered by the elevating device 20 in a state where the storage cassette 10 is positioned above the mobile loading conveyor 200. As shown in (B), the glass substrate W to be conveyed is placed on the mobile loading conveyor 200. At this time, the mobile loading conveyor 200 enters into the storage cassette 10 from below, and the glass substrate W to be transported is excited from the wire 13 of the storage cassette 10 to move the mobile loading conveyor 200. Only the state is supported. Subsequently, the movable loading conveyor 200 is driven to carry out the glass substrate W to be transported from the storage cassette 10 as shown in FIG. 9C.

반출이 완료되면, 도 9의 (D)에 도시한 바와 같이 승강 장치(20)에 의해 수 납 카세트(10)을 강하시키고 이동적재 컨베이어(200) 위에 다음 슬롯의 유리 기판(W)을 놓아둔다. 계속해서 이동적재 컨베이어(200)를 구동하여 도 9의 (E)에 도시한 바와 같이 반송 대상의 유리 기판(W)을 수납 카세트(10)로부터 반출한다. 이하, 마찬가지로 수납 카세트(10)의 강하와 이동적재 컨베이어(200)의 구동을 반복하여(도 9의 아래 도면), 아래쪽으로부터 순서대로 유리 기판(W)을 반출하게 된다.When the carrying out is completed, as shown in FIG. 9D, the storage cassette 10 is lowered by the elevating device 20, and the glass substrate W of the next slot is placed on the mobile loading conveyor 200. . Subsequently, the moving loading conveyor 200 is driven to carry out the glass substrate W to be transported from the storage cassette 10 as shown in FIG. 9E. In the same manner, the lowering of the storage cassette 10 and the driving of the moving stacking conveyor 200 are repeated (the lower figure in FIG. 9) to carry out the glass substrate W in order from the lower side.

유리 기판(W)을 수납 카세트(10)에 반입할 경우에는 상술한 반출시의 동작과 반대의 동작이 된다. 유리 기판(W)의 반입은 유리 기판(W)이 수납되어 있지 않은 슬롯 중 최상측 슬롯부터 순서대로 행한다. 유리 기판(W)의 반출, 반입시에 이동적재 컨베이어(200)의 각 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)은 유리 기판(W)의 크기 및 위치에 따라 선택적으로 구동된다.When carrying in the glass substrate W to the storage cassette 10, it becomes operation | movement opposite to the operation | movement at the time of carrying out mentioned above. Carrying in the glass substrate W is performed in order from the uppermost slot among the slots in which the glass substrate W is not accommodated. At the time of carrying out and carrying out the glass substrate W, each roller conveyor unit 120 and 130 of the mobile loading conveyor 200 is selectively driven according to the size and position of the glass substrate W. As shown in FIG.

<위치 결정 장치(140)><Positioning device 140>

도 10은 위치 결정 장치(140)의 사시도이다. 위치 결정 장치(140)는 2개의 위치 결정 유닛(150)과 1개의 위치 결정 유닛(160)을 구비한다.10 is a perspective view of the positioning device 140. The positioning device 140 includes two positioning units 150 and one positioning unit 160.

위치 결정 유닛(150)은, Y방향으로 연장되는 지지축(151)과, 지지축(151)의 한쪽 단부를 지지하는 베어링 부재(153)와, 지지축(151)의 타측 단부를 지지하는 베어링 부재(154)를 구비한다. 지지축(151)은 그 축심 둘레에 회전 가능하게 베어링 부재(153),(154)에 지지되어 있다.The positioning unit 150 includes a support shaft 151 extending in the Y direction, a bearing member 153 for supporting one end of the support shaft 151, and a bearing for supporting the other end of the support shaft 151. The member 154 is provided. The support shaft 151 is supported by the bearing members 153 and 154 so as to be rotatable about the shaft center.

베어링 부재(154)는 모터(155)를 지지하는 베이스부를 구비하고 있으며, 모터(155)의 출력축은 지지축(151)에 연결되어 있다. 모터(155)는, 예를 들면 스테핑 모터나 서보 모터이다. 서보 모터를 채용한 경우, 출력축의 회전 각도를 검출하는 인코더가 병용된다. 모터(155)를 회전 구동시킴으로써 지지축(151)은 그 축심 둘레로 회전한다. 한편, 본 실시형태에서는 각 위치 결정 유닛(150)에 각각 모터(155)를 설치하였으나, 모터(155)를 하나로 하고 그 구동력을 각 지지축(151)에 전달하는 전달 기구를 설치한 구성이어도 좋다. 이 경우 구동원으로서의 모터(155)의 수를 줄일 수 있다.The bearing member 154 has a base portion for supporting the motor 155, and the output shaft of the motor 155 is connected to the support shaft 151. The motor 155 is a stepping motor or a servo motor, for example. When employing a servo motor, an encoder for detecting the rotation angle of the output shaft is used in combination. By rotating the motor 155, the support shaft 151 rotates around the shaft center. In addition, in this embodiment, although the motor 155 was provided in each positioning unit 150, the structure which provided the motor 155 as one and the transmission mechanism which transmits the driving force to each support shaft 151 may be provided. . In this case, the number of motors 155 as the drive source can be reduced.

지지축(151)에는 복수의 접촉부재(152)가 고정되어 있다. 접촉부재(152)는, Y방향으로 이간된 복수의 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)마다 각각 1개 이상 설치되어 있다. 본 실시형태의 경우, 위치 결정부(Pb1)에는 2개의 접촉부재(152)가, 위치 결정부(Pb2)에는 3개의 접촉부재(152)가, 위치 결정부(Pb3)에는 하나의 접촉부재(152)가, 위치 결정부(Pb4)에는 4개의 접촉부재(152)가 각각 마련되어 있다. 각 접촉부재(152)는 지지축(151)의 직경 방향으로 돌출되게 설치되어 있다.A plurality of contact members 152 are fixed to the support shaft 151. One or more contact members 152 are provided for each of the plurality of positioning portions Pb1 to Pb4 spaced apart in the Y direction. In the present embodiment, two contact members 152 are positioned at the positioning portion Pb1, three contact members 152 are positioned at the positioning portion Pb2, and one contact member is disposed at the positioning portion Pb3. The four contact members 152 are each provided in the positioning part Pb4. Each contact member 152 is provided to protrude in the radial direction of the support shaft 151.

위치 결정 유닛(160)은, Y방향으로 연장되는 지지축(161)과, 지지축(161)의 한쪽 단부를 지지하는 베어링 부재(163)와, 지지축(161)의 타측 단부를 지지하는 베어링 부재(164)를 구비한다. 지지축(161)은 그 축심 둘레로 회전 가능하게 베어링 부재(163),(164)에 지지되어 있다.The positioning unit 160 includes a support shaft 161 extending in the Y direction, a bearing member 163 for supporting one end of the support shaft 161, and a bearing for supporting the other end of the support shaft 161. The member 164 is provided. The support shaft 161 is supported by the bearing members 163 and 164 so as to be rotatable about the shaft center.

베어링 부재(164)는 모터(165)를 지지하는 베이스부를 구비하고 있고, 모터(165)의 출력축은 지지축(161)에 연결되어 있다. 모터(165)는, 예를 들면 스테핑 모터나 서보 모터이다. 서보 모터를 채용한 경우, 출력축의 회전 각도를 검출하는 인코더가 병용된다. 모터(165)를 회전 구동시킴으로써 지지축(161)은 그 축심 둘레로 회전한다.The bearing member 164 has a base portion for supporting the motor 165, and the output shaft of the motor 165 is connected to the support shaft 161. The motor 165 is a stepping motor or a servo motor, for example. When employing a servo motor, an encoder for detecting the rotation angle of the output shaft is used in combination. By driving the motor 165 to rotate, the support shaft 161 rotates around the shaft center.

지지축(161)에는 복수의 접촉부재(162)가 고정되어 있다. 접촉부재(162)는 Y방향으로 이간된 복수의 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)마다 각각 1개 이상 설치되어 있다. 본 실시형태의 경우, 위치 결정부(Pa1)에는 4개의 접촉부재(162)가, 위치 결정부(Pa2)에는 2개의 접촉부재(162)가, 위치 결정부(Pa3)에는 3개의 접촉부재(162)가, 위치 결정부(Pa4)에는 하나의 접촉부재(162)가 각각 마련되어 있다. 각 접촉부재(162)는 지지축(161)의 직경 방향으로 돌출되게 설치되어 있다.A plurality of contact members 162 are fixed to the support shaft 161. At least one contact member 162 is provided for each of the plurality of positioning portions Pa1 to Pa4 spaced apart in the Y direction. In the present embodiment, four contact members 162 are positioned in the positioning portion Pa1, two contact members 162 are positioned in the positioning portion Pa2, and three contact members are positioned in the positioning portion Pa3. 162 is provided with one contact member 162 in the positioning unit Pa4, respectively. Each contact member 162 is provided to protrude in the radial direction of the support shaft 161.

베어링 부재(163)는 지지대(166) 위에서 Y방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 또 베어링 부재(164)도 지지대(166) 위에서 Y방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 베어링 부재(164)의 옆쪽에는 구동유닛(167)이 병설되어 있다. 구동유닛(167)은, 본 실시형태의 경우 에어 실린더이며, 연결부재(168)가 고정된, Y방향으로 이동하는 가동부를 가지고 있다. 연결부재(168)는, 베어링 부재(164)에 고정되어 있고, 베어링 부재(164)를 통해 지지축(161)에 연결되어 있다.The bearing member 163 is slidably supported in the Y direction on the support base 166. The bearing member 164 is also supported on the support 166 so as to be slidable in the Y direction. The drive unit 167 is provided in the side of the bearing member 164. In the case of this embodiment, the drive unit 167 is an air cylinder, and has the movable part which moves to the Y direction to which the connection member 168 was fixed. The connecting member 168 is fixed to the bearing member 164 and is connected to the support shaft 161 via the bearing member 164.

따라서 구동유닛(167)의 구동에 의해 지지축(161), 모든 접촉부재(162), 베어링 부재(163) 및 (164)가 일체적으로 Y방향으로 이동한다.Therefore, the support shaft 161, all the contact members 162, the bearing members 163, and 164 are integrally moved in the Y direction by the driving unit 167.

<위치 결정 장치(140)에 의한 위치 결정 동작><Positioning Operation by the Positioning Device 140>

<접촉위치와 대기위치간의 이동><Move between contact position and standby position>

위치 결정 유닛(150) 및 위치 결정 유닛(160)의 각 접촉부재(152),(162)는 지지축(151),(161)의 회전에 의해 유리 기판(W)의 반송 궤도상에 위치하여 유리 기판(W)의 한쪽 측부에 접촉하는 접촉위치와, 유리 기판(W)의 반송 궤도상에 위치하지 않는 대기위치 사이에서 이동한다.Each of the contact members 152 and 162 of the positioning unit 150 and the positioning unit 160 is positioned on the conveyance track of the glass substrate W by the rotation of the support shafts 151 and 161. It moves between the contact position which contacts one side part of glass substrate W, and the standby position which is not located on the conveyance track | orbit of glass substrate W. As shown in FIG.

도 11(A) 및 (B)는 접촉부재(162)의 이동 형태의 설명도이다. 이 도면들 및 도 1에 도시한 바와 같이, 본 실시형태의 경우, 지지축(161) 및 접촉부재(162)는 반송 장치(110) 사이의 간극에 설치되어 있다. 지지축(161) 및 접촉부재(162)를 반송 장치(110) 사이의 간극에 설치함으로써 비어있는 공간을 이용하여 위치 결정 장치(140)의 콤팩트화를 꾀할 수 있다. 도 11의 (A) 및 (B)는, 3개의 접촉부재(162)가 설치된 위치 결정부(Pa3)에서의 동작을 도시고 있다.11A and 11B are explanatory diagrams of the movement form of the contact member 162. As shown in these figures and FIG. 1, in the present embodiment, the support shaft 161 and the contact member 162 are provided in the gap between the conveying apparatus 110. By providing the support shaft 161 and the contact member 162 in the gap between the conveying apparatus 110, the positioning apparatus 140 can be made compact using the empty space. 11A and 11B show the operation in the positioning unit Pa3 in which the three contact members 162 are provided.

도 11의 (A)는 어떠한 접촉부재(162)도 롤러 컨베이어 유닛(120)(및 (130))의 상단에 의해 규정되는 반송 궤도(TR)상에 위치되어 있지 않고 반송 궤도(TR)보다도 아래쪽의 대기위치에 위치되어 있는 상태를 도시하고 있다. 이 경우, 유리 기판(W)에 접촉부재(162)가 접촉하지는 않는다. 도 11의 (B)는 지지축(161)을 회전시킴으로써 3개의 접촉부재(162) 중 하나가 반송 궤도(TR)상에 위치한 접촉위치에 위치되어 있는 경우를 도시하고 있다. 이 경우, 유리 기판(W)에 접촉부재(162)가 접촉 가능한 상태로 되어 있다. 한편, 본 실시형태의 경우 대기위치는 유리 기판(W)의 반송 궤도(TR)의 아래쪽이지만, 윗쪽으로 해도 좋다.11A shows that no contact member 162 is located on the conveying track TR defined by the upper end of the roller conveyor unit 120 (and 130) and is lower than the conveying track TR. The state which is located in the waiting position of is shown. In this case, the contact member 162 does not contact the glass substrate W. FIG. FIG. 11B shows a case in which one of the three contact members 162 is positioned at the contact position located on the conveyance track TR by rotating the support shaft 161. In this case, the contact member 162 is in the state which can contact the glass substrate W. As shown in FIG. In addition, in the case of this embodiment, although a standby position is lower than the conveyance track | track TR of the glass substrate W, you may make it upward.

위치 결정 유닛(150)에 대해서도 마찬가지이며, 도 1에 도시한 바와 같이 지지축(151) 및 접촉부재(152)는 지지축(161) 및 접촉부재(162)가 설치된 반송 장치(110) 사이의 간극과는 다른 간극에 설치되어 있다. 그리고 지지축(151)의 회전에 의해 접촉부재(152)가 접촉위치와 대기위치 사이에서 이동한다. 지지축(151) 및 접촉부재(152)를 반송 장치(110) 사이의 간극에 설치함으로써 비어있는 공간을 이용하여 위치 결정 장치(140)의 콤팩트화를 꾀할 수 있다.The same applies to the positioning unit 150, and as shown in FIG. 1, the support shaft 151 and the contact member 152 are formed between the support shaft 161 and the conveying device 110 provided with the contact member 162. It is installed in a gap different from the gap. The contact member 152 moves between the contact position and the standby position by the rotation of the support shaft 151. By providing the support shaft 151 and the contact member 152 in the gap between the conveying apparatus 110, the positioning device 140 can be made compact using the empty space.

<위치 결정 동작><Positioning Action>

유리 기판(W)의 위치 결정은, 접촉위치에 위치되어 있는 접촉부재(152) 및 접촉부재(162)를 유리 기판(W)의 Y방향의 각 측부에 접촉시켜 수행한다. 도 12의 (A) 및 (B)는 위치 결정 장치(140)에 의한 위치 결정 동작의 설명도이다.Positioning of the glass substrate W is performed by making the contact member 152 and the contact member 162 located in the contact position contact each side of the glass substrate W in the Y direction. 12A and 12B are explanatory diagrams of the positioning operation by the positioning device 140.

도 12의 (A)는, 접촉부재(152) 및 접촉부재(162)가 유리 기판(W)에 접촉되기 전의 상태를 도시한다. 접촉부재(162)는 접촉부재(152)로부터 거리(D1)만큼 떨어진 초기 위치에 위치되어 있다. 거리(D1)은 유리 기판(W)의 폭(Y방향 폭)(DW)보다도 크다.FIG. 12A shows a state before the contact member 152 and the contact member 162 are in contact with the glass substrate W. As shown in FIG. The contact member 162 is located at an initial position away from the contact member 152 by a distance D1. The distance D1 is larger than the width (width in the Y direction) DW of the glass substrate W. FIG.

도 12의 (A)의 상태에서 구동유닛(167)을 구동시키고, 접촉부재(162)를 접촉부재(152)에 가까운 방향(도면 중에서는 오른쪽 방향)으로 이동시켜, 도 12의 (B)에 도시한 바와 같이 위치 결정 위치에 위치시킨다. 접촉부재(152)와 접촉부재(162) 사이의 거리(D2)(<D1)는 유리 기판(W)의 폭(DW)과 대략 일치한다. 이로써 유리 기판(W)의 Y방향의 양측부가 접촉부재(152),(162)에 의해 가이드되어 위치 결정된다. 위치 결정 후에는 다시 구동유닛(167)을 구동하여 도 12의 (A)와 같이 접촉부재(162)가 접촉부재(152)로부터 거리(D1)만큼 떨어진 초기 위치로 되돌리게 된다. 구동유닛(167)은 거리(D1)과 거리(D2)의 차분만큼 접촉부재(162)를 이동시키게 된다.In the state of FIG. 12A, the driving unit 167 is driven, and the contact member 162 is moved in a direction close to the contact member 152 (the right direction in the drawing), and thus, in FIG. 12B. As shown in the drawing, the positioning position is located. The distance D2 (<D1) between the contact member 152 and the contact member 162 approximately coincides with the width DW of the glass substrate W. FIG. As a result, both side portions in the Y direction of the glass substrate W are guided and positioned by the contact members 152 and 162. After positioning, the driving unit 167 is driven again to return the contact member 162 to the initial position away from the contact member 152 by a distance D1 as shown in FIG. The driving unit 167 moves the contact member 162 by the difference between the distance D1 and the distance D2.

한편, 거리(D2)는 유리 기판(W)의 폭(DW)보다도 약간 크게 하는 것이 바람직하다. 거리(D2)를 유리 기판(W)의 폭(DW)에 딱 맞게 일치시키면 접촉부재(152)와 접촉부재(162)에 의해 유리 기판(W)이 끼워잡히게되고, 그 끼워잡는 힘에 의해 유 리 기판(W)이 파손될 염려가 있기 때문이다. 유리 기판(W)의 파손을 방지하기 위해서는 접촉부재(152),(162)의 표면에 고무 등의 완충부재를 설치하거나, 또는 접촉부재(152),(162)와 지지축(151),(162) 사이에 스프링 등의 완충 수단을 개재시켜 일정한 하중이 작용한 경우에 접촉부재(152),(162)가 약간 변위하도록 해도 좋고, 이러한 구성일 경우 거리(D2)를 유리 기판(W)의 폭(DW)에 대략 일치시킬 수 있다.On the other hand, it is preferable to make distance D2 slightly larger than width DW of the glass substrate W. FIG. When the distance D2 is matched to the width DW of the glass substrate W, the glass substrate W is caught by the contact member 152 and the contact member 162. This is because there is a risk that the substrate W will be damaged. To prevent breakage of the glass substrate W, a cushioning member such as rubber is provided on the surfaces of the contact members 152 and 162, or the contact members 152, 162 and the support shaft 151, ( The contact members 152, 162 may be slightly displaced when a constant load is applied through a buffer means such as a spring between the 162, and in such a configuration, the distance D2 is determined by the distance of the glass substrate W. Approximately equal to the width DW.

또 본 실시형태에서는, 위치 결정 유닛(160)에만 구동유닛(167)을 설치하여 접촉부재(162)만을 Y방향으로 이동 가능하게 하였으나, 위치 결정 유닛(150)에도 구동유닛을 설치하여 접촉부재(152)도 Y방향으로 이동 가능하게 구성해도 좋다. 또는 구동유닛(167)과 위치 결정 유닛(150) 사이에 링크 기구를 개재시켜서 접촉부재(152)도 Y방향으로 이동 가능하게 구성해도 좋다.In the present embodiment, the drive unit 167 is provided only in the positioning unit 160 so that only the contact member 162 can move in the Y direction. However, the drive unit is also provided in the positioning unit 150 to provide the contact member ( 152 may also be configured to be movable in the Y direction. Alternatively, the contact member 152 may also be configured to be movable in the Y direction via a link mechanism between the drive unit 167 and the positioning unit 150.

<위치 결정부의 선택><Selection of positioning unit>

본 실시형태에서는 주반송 장치(100)가 반송하는 유리 기판(W)의 크기에 따라 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 선택함으로써 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 위치를 결정할 수 있다. 도 13은 각 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4) 및 (Pb1) 내지 (Pb4)의 설명도이다. 도 13에서 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)는 접촉부재(162)가 초기 위치로부터 위치 결정 위치로 이동한 후의 경우를 도시하고 있다.In the present embodiment, the positioning portions Pb1 to Pb4 and Pa1 for moving the contact members 152 and 162 to the contact position according to the size of the glass substrate W conveyed by the main transport apparatus 100. The position of each glass substrate W1-W3 can be determined by selecting ()-(Pa4). 13 is an explanatory diagram of each of the positioning units Pa1 to Pa4 and Pb1 to Pb4. In Fig. 13, the positioning parts Pa1 to Pa4 show the case after the contact member 162 moves from the initial position to the positioning position.

우선 도 13에 도시한 바와 같이 각 위치 결정 유닛(150),(160),(150)은 반송방향(X방향)으로 이간되어 배치되어 있고, 위치 결정 유닛(160)은 2개의 위치 결정 유닛(150) 사이에 배치되어 있다. 즉, 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)는 반송방향(X 방향)으로 이간되어 2열 설정되고, 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)는 이 2열의 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 사이에 설정되어 있다. 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)는 주반송 장치(100)의 +Y방향쪽 근처에 배치되고, 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)는 주반송 장치(100)의 ―Y방향쪽 근처에 배치되어 있다.First, as shown in FIG. 13, each positioning unit 150, 160, 150 is arrange | positioned apart in a conveyance direction (X direction), and the positioning unit 160 consists of two positioning units ( 150). That is, the positioning parts Pb1 to Pb4 are spaced apart in the conveying direction (X direction) and set in two rows, and the positioning parts Pa1 to Pa4 are the two rows of positioning parts Pb1 to Pb4. It is set between). Positioning parts Pa1 to Pa4 are disposed near the + Y direction side of the main transport apparatus 100, and positioning parts Pb1 to Pb4 are located near the −Y direction of the main transport apparatus 100. Is placed on.

이로써 유리 기판(W)의 Y방향의 한쪽 측부에 하나의 접촉부재(162)를, 다른쪽 측부에는 2개의 접촉부재(152)를 각각 접촉시킴으로써, 총 3군데에서 유리 기판(W)의 위치결정을 행한다. 그리고 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)와 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)의 배치 조합은, 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)을 각각 위치 결정하는 경우에 대응하여 설정되어 있다.Thereby, by contacting one contact member 162 on one side in the Y direction of the glass substrate W and two contact members 152 on the other side, positioning of the glass substrate W in three places in total. Is done. And the arrangement | positioning combination of positioning part Pa1-Pa4 and positioning part Pb1-Pb4 is set corresponding to the case where each glass substrate W1-W3 is positioned, respectively.

구체적으로는, 우선 위치 결정부(Pa1)의 위치는 주반송 컨베이어(100)의 +Y방향의 단부 근방에 설정되어 있고, 위치 결정부(Pa1)의 위치를 기준으로 하여 다른 위치 결정부(Pa2) 내지 (Pa4)의 위치가, 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 폭에 따라, 그 각 한쪽단이 위치해야 할 위치에 설정되어 있다. 또 위치 결정부(Pb4)의 위치는, 주반송 컨베이어(100)의 ―Y방향의 단부 근방에 설정되어 있고, 위치 결정부(Pb4)의 위치를 기준으로 하여 다른 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb3)의 위치가, 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 폭에 따라, 그 각 타측단이 위치해야 할 위치에 설정되어 있다. 따라서 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)는 전체적으로 +Y쪽에 위치되어 있고 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)는 전체적으로 ―Y쪽에 위치되어 있다.Specifically, the position of the positioning part Pa1 is set in the vicinity of the edge part of the + Y direction of the main conveyance conveyor 100 first, and the other positioning part Pa2 is based on the position of the positioning part Pa1. ) And (Pa4) are set at positions at which one end of each of the glass substrates (W1) to (W3) is to be positioned. Moreover, the position of the positioning part Pb4 is set in the vicinity of the edge part of the main conveyance conveyor 100 in the -Y direction, and it is based on the position of the positioning part Pb4, and other positioning parts Pb1 to ( The position of Pb3) is set to the position where each other end should be located according to the width | variety of each glass substrate W1-W3. Therefore, the positioning parts Pa1 to Pa4 are generally located on the + Y side, and the positioning parts Pb1 to Pb4 are located on the -Y side as a whole.

그리고 도 13에 도시한 바와 같이 유리 기판(W1)을 위치 결정하는 경우에 대응하여 위치 결정부(Pa1),(Pb4)의 위치가 설정되어 있다. 또 유리 기판(W2)을 위치 결정하는 경우에 대응하여 위치 결정부(Pa1),(Pb2) 및 위치 결정부(Pa3),(Pb4)의 위치가 각각 설정되어 있다. 나아가 유리 기판(W3)을 위치 결정하는 경우에 대응하여 위치 결정부(Pa1),(Pb1),(Pa2)와 위치 결정부(Pb2),(Pa3),(Pb3) 및 위치 결정부(Pa4),(Pb4)의 위치가 각각 설정되어 있다.And as shown in FIG. 13, the position of positioning part Pa1, Pb4 is set corresponding to the case where the glass substrate W1 is positioned. Moreover, the position of positioning part Pa1, Pb2, and positioning part Pa3, Pb4 is set respectively corresponding to the case of positioning glass substrate W2. Furthermore, the positioning parts Pa1, Pb1, Pa2 and the positioning parts Pb2, Pa3, Pb3 and the positioning part Pa4 corresponding to the case of positioning the glass substrate W3. The positions of and (Pb4) are set respectively.

이와 같이 하여, 주반송 장치(100)가 반송하는 유리 기판(W)의 크기에 따라, 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 선택함으로써 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 위치를 결정할 수 있다.Thus, according to the magnitude | size of the glass substrate W which the main conveying apparatus 100 conveys, the positioning parts Pb1 to Pb4 which move the contact members 152 and 162 to a contact position, and ( By selecting Pa1) to Pa4, the positions of the respective glass substrates W1 to W3 can be determined.

본 실시형태의 경우, 각 접촉부재(152)는 지지축(151)의 축심 둘레에서 0도, 90도, 180도, 270도 중 어느 한 위치에 설치되어 있다. 마찬가지로 각 접촉부재(162)는 지지축(161)의 축심 둘레에서 0도, 90도, 180도, 270도 중 어느 한 위치에 설치되어 있다. 그리고 지지축(151),(161)의 회전 각도에 의해, 접촉부재(152),(162)가 접촉위치에 위치되어 있는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)가 다르도록 각 접촉부재(152),(162)가 지지축(151),(161)에 마련되어 있다. 즉, 지지축(151),(161)의 회전 각도에 의해 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 임의로 선택할 수 있도록 되어 있다.In the case of this embodiment, each contact member 152 is provided in any one position of 0 degree | time, 90 degree | times, 180 degree | times, and 270 degree | times around the axial center of the support shaft 151. As shown in FIG. Similarly, each contact member 162 is provided at any position among 0 degree, 90 degree, 180 degree, and 270 degree about the axial center of the support shaft 161. As shown in FIG. The positioning portions Pb1 to Pb4 and Pa1 to Pa4 in which the contact members 152 and 162 are positioned at the contact positions by the rotation angles of the support shafts 151 and 161. Each contact member 152, 162 is provided in the support shaft 151, 161 so that it may differ. That is, the positioning parts Pb1 to Pb4 and Pa1 to Pa4 for moving the contact members 152 and 162 to the contact position by the rotation angles of the support shafts 151 and 161 are moved. It can be chosen arbitrarily.

도 14는 위치 결정 장치(140)의 동작 패턴의 예를 도시한 도면으로서, 지지축(151),(161)의 회전 각도와 각 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)에서의 접촉부재(152),(162)의 위치(접촉위치인지 대기위치인지) 및 위치 결 정 대상으로 하는 유리 기판(W)의 크기 등을 도시한 도면이다.FIG. 14 is a view showing an example of an operation pattern of the positioning device 140. The rotation angles of the support shafts 151 and 161 and the positioning parts Pb1 to Pb4 and Pa1 to Pa1 are shown. The position (contact position or standby position) of the contact members 152 and 162 in Pa4), and the magnitude | size of the glass substrate W used as a position determination object are shown.

도 14에서 회전 각도는 지지축(151),(161)의 회전 각도(시계방향)이며, 접촉부재의 위치란, 지지축(151),(161)의 회전 각도가 0도, 90도, 180도, 270도인 경우에 접촉부재(152),(162)가 접촉위치에 있는지 대기위치에 있는지를 나타내고 있다. 위치 결정부(Pa1) 및 (Pb4)에서는 접촉부재(162),(152)가 90도마다 4개 마련되어 있기 때문에 항시 어느 한 접촉부재(162),(152)가 접촉위치에 위치하게 된다.In Fig. 14, the rotation angles are the rotation angles (clockwise) of the support shafts 151 and 161. The position of the contact member means that the rotation angles of the support shafts 151 and 161 are 0 degrees, 90 degrees, and 180 degrees. In the case of 270 degrees, it shows whether the contact members 152 and 162 are in a contact position or a standby position. In the positioning parts Pa1 and Pb4, since four contact members 162 and 152 are provided every 90 degrees, any one of the contact members 162 and 152 is always positioned at the contact position.

패턴 1(회전 각도: 0도)의 경우, 모든 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4) 및 (Pb1) 내지 (Pb4)에서 접촉부재(162) 및 (152)가 접촉위치에 위치되어 있어, 동시 반송되는 4장의 유리 기판(W3)을 위치 결정할 수 있다. 접촉부재(162)는 공통의 지지축(161)에 지지되어 있고, 동시에 초기 위치와 위치 결정 위치 사이를 이동하기 때문에 4장의 유리 기판(W3)을 동시에 위치 결정할 수 있다. 한편, 유리 기판(W3)을 4장 동시가 아닌 낱장 반송하는 경우나 2장 동시 반송하는 경우에도 이 패턴 1을 선택함으로써 그 위치 결정을 할 수 있다.In the case of pattern 1 (rotation angle: 0 degree), the contact members 162 and 152 are positioned at the contact positions at all the positioning parts Pa1 to Pa4 and Pb1 to Pb4, and simultaneously The four glass substrates W3 conveyed can be positioned. Since the contact member 162 is supported by the common support shaft 161 and moves simultaneously between an initial position and a positioning position, four glass substrates W3 can be positioned simultaneously. On the other hand, the position can be determined by selecting this pattern 1 also when carrying out the single sheet conveyance of two pieces of glass substrate W3 rather than simultaneous simultaneous conveyance of two sheets.

패턴 2(회전 각도: 90도)의 경우, 위치 결정부(Pa4) 및 (Pb3)에서는 접촉부재(162) 및 (152)가 대기위치에 위치되어 있고, 다른 위치 결정부에서는 접촉위치에 위치되어 있다. 패턴 2는 동시 반송되는 1장의 유리 기판(W2)과 2장의 유리 기판(W3)을 동시에 위치 결정할 수 있다(단, 본 실시형태에서는 유리 기판(W2)이 ―Y쪽에 위치되어 있는 경우.).In the case of pattern 2 (rotation angle: 90 degrees), in the positioning parts Pa4 and Pb3, the contact members 162 and 152 are positioned in the standby position, and in the other positioning portions, they are located in the contact position. have. Pattern 2 can simultaneously position the one glass substrate W2 and the two glass substrates W3 conveyed simultaneously (however, in this embodiment, when the glass substrate W2 is located in the -Y side.).

패턴 3(회전 각도: 180도)의 경우, 위치 결정부(Pa1) 및 (Pb4)만 접촉부재(162) 및 (152)가 접촉위치에 위치되어 있고, 다른 위치 결정부에서는 대기위치 에 위치되어 있다. 패턴 3은 1장의 유리 기판(W1)을 위치 결정할 수 있다.In the case of the pattern 3 (rotation angle: 180 degrees), only the positioning parts Pa1 and Pb4 have the contact members 162 and 152 in the contact position, and in the other positioning parts in the standby position. have. Pattern 3 can position one glass substrate W1.

패턴 4(회전 각도: 270도)의 경우, 위치 결정부(Pa1),(Pa3) 및 (Pa2),(Pa4)에서는 접촉부재(162) 및 (152)가 접촉위치에 위치되어 있고, 다른 위치 결정부에서는 대기위치에 위치되어 있다. 패턴 4는, 동시 반송되는 2장의 유리 기판(W2)을 동시에 위치 결정할 수 있다. 한편, 유리 기판(W2)을 2장 동시가 아닌 낱장 반송하는 경우에도 이 패턴 4를 선택함으로써 그 위치 결정을 할 수 있다.In the case of pattern 4 (rotation angle: 270 degrees), in the positioning parts Pa1, Pa3, and Pa2, Pa4, the contact members 162 and 152 are positioned at the contact positions, and the other positions In the determination section, it is located in the standby position. Pattern 4 can simultaneously position two glass substrates W2 conveyed simultaneously. On the other hand, even when conveying glass sheet W2 instead of two sheets simultaneously, the positioning can be performed by selecting this pattern 4. As shown in FIG.

<반송예><Return Example>

도 15의 (A) 및 (B), 도 16의 (A) 및 (B)는 반송 시스템(A)의 동작 설명도로서, 처리장치(미도시)로부터 반출되는 유리 기판(W)을 도중에 위치 결정하여 수납 카세트(10)에 반입하는 예를 도시한다.15A and 15B, and 16A and 16B are explanatory views of the operation of the conveying system A, in which the glass substrate W carried out from the processing apparatus (not shown) is positioned on the way. The example which determines and carries in to the storage cassette 10 is shown.

도 15의 (A)는 미도시된 처리 장치로부터 2장의 유리 기판(W2)(제1군의 유리 기판이라고도 한다.)이 Y방향으로 배열되어 동시에 반출된 형태를 도시한다. 유리 기판(W2)은 반송방향(X방향)에 대해 기울어져 반출되고 있다. 반송 시스템(A)은 우선 컨베이어(30) 및 주반송 장치(100)를 구동하여 제1군의 유리 기판을 ―X방향으로 반송한다. 그 때 제1군의 유리 기판의 크기, 위치를 특정한다.FIG. 15A illustrates a form in which two glass substrates W2 (also referred to as a first group of glass substrates) are arranged in the Y direction and simultaneously taken out from the processing apparatus not shown. Glass substrate W2 is inclined with respect to a conveyance direction (X direction), and is carried out. The conveying system A first drives the conveyor 30 and the main conveying apparatus 100, and conveys a glass substrate of a 1st group to-X direction. At that time, the size and position of the first group of glass substrates are specified.

유리 기판(W)의 크기, 위치의 특정은, 본 실시형태의 경우 센서(111)의 검출 결과에 기초하여 행한다. 센서(111)는 Y방향으로 3개 배치되어 있고 모든 센서(111)가 유리 기판을 검출한 경우에는 유리 기판(W1)의 낱장 반송이라고 판단한다. 중앙의 센서(111)만이 유리 기판을 검출하지 않는 경우에는 유리 기판(W2)의 2장 동시 반송으로 특정한다. 어떠한 센서(111)도 유리 기판을 검출하지 않는 경우 에는 유리 기판(W3)의 4장 동시 반송으로 특정한다. 나아가 중앙의 센서(111)와, 나머지 2개의 센서(111) 중 한쪽 센서(111)가 유리 기판을 검출한 경우에는 유리 기판(W2)을 1장, 유리 기판(W3)을 2장, 동시 반송으로 특정한다. 센서(111)에 의한 유리 기판(W)의 검출은 롤러 컨베이어 유닛(120),(130)에 설치한 센서(123),(133)의 검출 결과에 기초한 타이밍으로 행할 수 있다.The specification of the magnitude | size and position of the glass substrate W is performed based on the detection result of the sensor 111 in the case of this embodiment. When three sensors 111 are arrange | positioned in the Y direction, and all the sensors 111 detect a glass substrate, it determines with sheet conveyance of the glass substrate W1. When only the center sensor 111 does not detect a glass substrate, it specifies by two simultaneous conveyance of the glass substrate W2. When neither sensor 111 detects a glass substrate, it specifies by four simultaneous conveyance of the glass substrate W3. Furthermore, when one sensor 111 of the center sensor 111 and the other two sensors 111 detects a glass substrate, one sheet of glass substrate W2 and two sheets of glass substrate W3 are simultaneously conveyed. To be specified. The detection of the glass substrate W by the sensor 111 can be performed at the timing based on the detection result of the sensors 123 and 133 provided in the roller conveyor units 120 and 130.

유리 기판(W)의 크기, 위치의 특정은 센서(111) 대신에, 예를 들면 처리 장치로부터 반출하는 유리 기판(W)의 크기 및 위치의 정보를 취득함으로써 특정해도 좋다.The specification of the size and position of the glass substrate W may be specified by obtaining information of the size and position of the glass substrate W carried out from the processing apparatus, for example, instead of the sensor 111.

유리 기판의 크기, 위치를 특정하면, 위치 결정 장치(140)의 동작 패턴을 선택한다. 도 15의 (A)의 예의 경우, 유리 기판(W2)의 2장 동시 반송이므로 도 14의 패턴 4를 선택하게 된다. 위치 결정 장치(140)는 선택한 패턴 4의 회전 각도로 지지축(151),(161),(151)을 회전시킨다.When the size and position of the glass substrate are specified, the operation pattern of the positioning device 140 is selected. In the case of the example of FIG. 15A, since two sheets of glass substrate W2 are simultaneously conveyed, the pattern 4 of FIG. 14 is selected. The positioning device 140 rotates the support shafts 151, 161, and 151 at the rotation angle of the selected pattern 4.

도 15의 (B)는 제1군의 유리 기판이 위치 결정 장치(140) 근방의 위치 결정 위치까지 반송되어 반송을 일시정지하고, 위치 결정 장치(140)에 의해 위치 결정이 이루어진 상태를 도시한다. 위치 결정 장치(140)는 구동유닛(167)의 구동에 의해 접촉부재(162)를 초기 위치로부터 위치 결정 위치로 이동시킴으로써 2장의 유리 기판(W2)의 위치 결정을 동시에 행한다. 위치 결정이 종료되면 구동유닛(167)의 구동에 의해 접촉부재(162)를 초기 위치로 되돌리고 주반송 장치(100) 및 이동적재 컨베이어(200)를 구동하여 제1군의 유리 기판을 수납 카세트(10)에 반입한다.FIG. 15B shows a state where the glass substrates of the first group are conveyed to the positioning position near the positioning apparatus 140 to stop the conveyance, and the positioning is performed by the positioning apparatus 140. . The positioning device 140 simultaneously positions the two glass substrates W2 by moving the contact member 162 from the initial position to the positioning position by the drive of the drive unit 167. When the positioning is finished, the contact member 162 is returned to the initial position by driving the drive unit 167, and the main transport apparatus 100 and the mobile loading conveyor 200 are driven to store the first group of glass substrates in the storage cassette ( Bring in 10).

또 도 15의 (B)의 상태에서는 미도시된 처리장치로부터 다음 유리 기판(W2) 및 2장의 유리 기판(W3)(제2군의 유리 기판이라고도 한다.)이 반출되고 있다. 반송 시스템(A)은 컨베이어(30) 및 주반송 장치(100)를 구동하여 이들을 ―X방향으로 반송한다. 그 때 제2군의 유리 기판의 크기, 위치를 특정하여 위치 결정 장치(140)의 동작 패턴을 선택한다. 제1군의 유리 기판이 위치 결정 장치(140)를 통과하면 다음으로 선택한 동작 패턴의 회전 각도로 지지축(151),(161),(151)을 회전시킨다. 제2군의 유리 기판의 경우, 1장의 유리 기판(W2) 및 2장의 유리 기판(W3)의 동시 반송이므로 도 14의 패턴 2를 선택하게 된다.In the state of FIG. 15B, the next glass substrate W2 and two glass substrates W3 (also referred to as a second group of glass substrates) are carried out from the processing apparatus not shown. The conveying system A drives the conveyor 30 and the main conveying apparatus 100, and conveys them in the -X direction. At that time, the operation pattern of the positioning device 140 is selected by specifying the size and position of the second group of glass substrates. When the first group of glass substrates pass through the positioning device 140, the support shafts 151, 161, and 151 are rotated at the rotation angle of the next selected operation pattern. In the case of the glass substrate of the 2nd group, since the conveyance of one glass substrate W2 and two glass substrates W3 is carried simultaneously, the pattern 2 of FIG. 14 is selected.

도 16으 ㅣ(A)는, 제1군의 유리 기판은 수납 카세트(10)에 반입되는 도중에 제2군의 유리 기판이 위치 결정 장치(140) 근방의 위치 결정 위치까지 반송되어 반송을 일시 정지하고, 위치 결정 장치(140)에 의해 위치 결정이 이루어진 상태 및 미도시된 처리 장치로부터 제3군의 유리 기판으로서 2장의 유리 기판(W3)이 반출된 상태를 도시한다.16 (A), the glass substrate of the first group is conveyed to the positioning position near the positioning device 140 while the glass substrate of the first group is carried into the storage cassette 10, and the conveyance is paused. The state in which positioning was performed by the positioning device 140 and the state in which two glass substrates W3 were taken out as the third group of glass substrates from the processing apparatus not shown are illustrated.

또, 도 16의 (B)는, 제1군의 유리 기판은 수납 카세트(10)에 반입 완료되고 제2군의 유리 기판이 수납 카세트(10)에 반입되는 도중에 제3군의 유리 기판이 위치 결정 장치(140) 근방의 위치 결정 위치까지 반송되어 반송을 일시정지하고, 위치 결정 장치(140)에 의해 위치 결정이 이루어진 상태 및 미도시된 처리 장치로부터 제4군의 유리 기판으로서 1장의 유리 기판(W1)이 반출된 상태를 도시한다.In addition, in FIG. 16B, the glass substrate of the first group is carried in the storage cassette 10, and the glass substrate of the third group is positioned while the second glass substrate is carried in the storage cassette 10. In FIG. It conveys to the positioning position of the determination apparatus 140 vicinity, and conveyance is paused, and it is a glass substrate of one sheet as a glass substrate of a 4th group from the state in which positioning was performed by the positioning apparatus 140, and the processing apparatus not shown. The state in which W1 is taken out is shown.

이와 같이 본 실시형태에서는, 유리 기판(W)의 크기에 따라 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 선택함으로써, 크기가 다른 유리 기판(W)의 위치를 결정할 수 있다. 게 다가, 복수의 접촉부재(162)를 동시에 이동시킴으로써, Y방향으로 나열하여 동시 반송되는 복수의 유리 기판(W)을 동시에 위치 결정할 수 있고, 나아가 Y방향으로 나열하여 동시 반송되는 복수의 유리 기판(W)이 다른 크기라고 해도 동시에 위치 결정 가능하다.As described above, in the present embodiment, the positioning parts Pb1 to Pb4 and Pa1 to Pa4 for moving the contact members 152 and 162 to the contact position according to the size of the glass substrate W are provided. By selecting, the position of the glass substrate W from which a size differs can be determined. In addition, by simultaneously moving the plurality of contact members 162, the plurality of glass substrates W arranged in the Y direction and simultaneously conveyed can be simultaneously positioned, and the plurality of glass substrates simultaneously arranged and aligned in the Y direction. Even if (W) is another size, positioning can be performed at the same time.

또 주반송 장치(100)에 의해 유리 기판(W)을 반송하고, 접촉부재(152),(162)의 대기위치-접촉위치 사이의 이동 및 접촉부재(162)의 초기 위치-위치 결정 위치 사이의 이동은 지지축(151),(161)의 회전, 구동유닛(167)에 의해 수행함으로써, 주반송 장치(100)에 의해 복수의 유리 기판(W)을 연속적으로 반송할 수 있고, 유리 기판(W)의 위치 결정 도중에 주반송 장치(100)가 위치 결정 대상의 유리 기판(W)에 전유되지 않아 유리 기판(W)의 반송 효율을 향상시킬 수 있다.Moreover, the glass substrate W is conveyed by the main conveying apparatus 100, and is moved between the standby positions of the contact members 152 and 162, the contact position, and the initial position-positioning position of the contact member 162. FIG. Movement of the support shafts 151 and 161 by the rotation of the drive unit 167, the main transport apparatus 100 can continuously convey the plurality of glass substrates (W), the glass substrate During the positioning of (W), the main transport apparatus 100 is not transferred to the glass substrate W to be positioned, and the conveyance efficiency of the glass substrate W can be improved.

한편, 본 실시형태에서는 유리 기판(W)의 Y방향의 한쪽 측부에 하나의 접촉부재(162)를, 다른 쪽 측부에는 2개의 접촉부재(152)를 각각 접촉시킴으로써 총 3군데에서 유리 기판(W)의 위치 결정을 행하는 것으로 하였으나, 접촉부재(152),(162)의 X방향 폭이 충분히 긴 경우, 각각 하나씩 합계 2군데에서 유리 기판(W)의 위치 결정을 하는 것도 가능하다. 또 본 실시형태에서는 사각형의 유리 기판(W)을 대상으로 하였으나, 원형 등 다른 유리 기판(W)의 위치 결정도 가능하다. 나아가, 위치 결정 장치(140)를 X방향으로 복수 병설함으로써 X방향 및 Y방향의 쌍방에 나열된 복수의 유리 기판의 위치 결정을 대략 동시에 수행하는 것도 가능하다.On the other hand, in this embodiment, one contact member 162 is in contact with one side in the Y direction of the glass substrate W, and two contact members 152 are in contact with the other side, respectively. ), But in the case where the widths in the X-directions of the contact members 152 and 162 are sufficiently long, it is also possible to position the glass substrates W in two locations, one for each. In addition, in this embodiment, although the rectangular glass substrate W was made into object, positioning of other glass substrate W, such as circular shape, is also possible. Furthermore, by arranging a plurality of positioning devices 140 in the X direction, it is also possible to perform positioning of a plurality of glass substrates arranged in both the X and Y directions at substantially the same time.

<제어장치><Control device>

도 17은 반송 시스템(A)의 제어장치(40)의 구성을 도시한 블럭도이다. 제어장치(40)는 반송 시스템(A) 전체의 제어를 담당하는 CPU(41)와, CPU(41)의 워크 영역을 제공함과 동시에 가변 데이터 등이 기억되는 RAM(42)과, 제어 프로그램이나 도 14에 도시한 동작 패턴의 데이터 등 고정적인 데이터가 기억되는 ROM(43)을 구비한다. RAM(42), ROM(43)은 다른 기억 수단을 채용할 수 있다.FIG. 17 is a block diagram showing the configuration of the control device 40 of the transport system A. As shown in FIG. The control apparatus 40 provides the CPU 41 which is in charge of the control of the whole conveyance system A, the RAM 42 which provides the workpiece | work area of the CPU 41, and stores variable data etc., and a control program or a figure. A ROM 43 in which fixed data such as data of an operation pattern shown in Fig. 14 is stored is provided. The RAM 42 and the ROM 43 can adopt other storage means.

입력 인터페이스(I/F)(44)는 CPU(41)와 각종 센서(예를 들면, 센서(111),(123),(133),(21a) 등)와의 인터페이스로서, 입력 I/F(44)를 통해 CPU(201)는 각종 센서의 검출 결과를 취득한다. 출력 인터페이스(I/F)(45)는 CPU(201)와 각종 모터(예를 들면, 모터(27a),(155),(165), 구동 박스(122),(132) 안의 모터 등)나 제어 밸브(예를 들면, 구동유닛(167)으로의 에어 공급 전환을 행하는 제어 밸브)와의 인터페이스이며, 출력 I/F(45)를 통해 CPU(41)는 이들을 제어한다.The input interface (I / F) 44 is an interface between the CPU 41 and various sensors (e.g., sensors 111, 123, 133, 21a, etc.), and input I / F ( Through 44, the CPU 201 acquires detection results of various sensors. The output interface (I / F) 45 may include the CPU 201 and various motors (for example, the motors 27a, 155, 165, motors in the drive boxes 122, 132, etc.) It is an interface with a control valve (for example, a control valve for switching air supply to the drive unit 167), and the CPU 41 controls them via the output I / F 45.

통신 인터페이스(I/F)(46)는 반송 시스템(A)을 포함한 기판 처리 설비 전체를 제어하는 호스트 컴퓨터(50)와 CPU(41)와의 인터페이스이며, CPU(41)는 호스트 컴퓨터(50)로부터의 지령에 따라 반송 시스템(A)을 제어하게 된다.The communication interface (I / F) 46 is an interface between the host computer 50 and the CPU 41 that controls the entire substrate processing facility including the transfer system A, and the CPU 41 is connected from the host computer 50. The conveying system A is controlled according to the instruction of.

도 18은, CPU(41)가 실행하는 반송 시스템(A)의 제어예를 도시한 흐름도이다. 동도면의 처리는, 미도시된 처리 장치로부터 수납 카세트(10)로 유리 기판(W)을 반송할 때의 처리를 나타내고, 미도시된 처리 장치로부터 호스트 컴퓨터(50)를 통해 유리 기판(W)의 반출 지시를 수신한 것을 계기로 실행된다.18 is a flowchart illustrating a control example of the transport system A executed by the CPU 41. The process of the same figure shows the process at the time of conveying the glass substrate W from the processing apparatus not shown to the storage cassette 10, and shows the glass substrate W from the processing apparatus not shown through the host computer 50. FIG. It is executed by receiving the export instruction of.

S1에서는, 미도시된 처리 장치로부터 반출되는 유리 기판(W)을 규정 위치까 지 반송하도록 컨베이어(30)와 주반송 장치(100)를 구동한다. 규정 위치란, 유리 기판(W)이 센서(111)를 통과한, 미리 정해진 위치이다. 또 규정 위치에 도달했는지 여부는 센서(123),(133)의 검출 결과에 기초하여 판단한다.In S1, the conveyor 30 and the main conveying apparatus 100 are driven to convey the glass substrate W carried out from the processing apparatus not shown to a prescribed position. The prescribed position is a predetermined position where the glass substrate W has passed through the sensor 111. In addition, it is judged based on the detection result of the sensors 123 and 133 whether the prescribed position has been reached.

S2에서는, 반출된 유리 기판(W)의 크기 및 위치를 특정한다. 이 특정은, 센서(111)의 검출 결과에 기초하지만, 상기와 같이 미도시된 처리 장치로부터, 반출하는 유리 기판(W)의 크기 및 위치 정보를 호스트 컴퓨터(50)를 통해 취득함으로써 특정해도 좋다.In S2, the size and position of the glass substrate W carried out are specified. Although this specification is based on the detection result of the sensor 111, you may specify by acquiring the magnitude | size and position information of the glass substrate W carried out through the host computer 50 from the processing apparatus not shown as mentioned above. .

S3에서는, S2에서 특정한 유리 기판(W)의 크기 및 위치에 기초하여 위치 결정 장치(140)의 동작 패턴을 선택한다. 즉, 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 선택한다.In S3, the operation pattern of the positioning device 140 is selected based on the size and position of the glass substrate W specified in S2. That is, the positioning parts Pb1 to Pb4 and Pa1 to Pa4 for moving the contact members 152 and 162 to the contact position are selected.

S4에서는, 반출된 각 유리 기판(W)에 고유의 식별 번호를 붙이고, 그 크기 및 지금부터 수납할 수납 카세트(10) 안의 슬롯 및 슬롯상의 위치를 설정하고, 설정한 데이터를 기판 데이터로서 RAM(42)에 보존한다. 이 기판 데이터는 수납 카세트(10)로의 유리 기판(W)의 수납 후에 수납 카세트(10) 자체의 식별 정보와 함께 호스트 컴퓨터(50)에 제공되어 호스트 컴퓨터(50)상에서 관리된다.In S4, a unique identification number is attached to each glass substrate W carried out, the size and the slot in the storage cassette 10 to be stored from now on and the position on the slot are set, and the set data is set as RAM (substrate data). Preserved in 42). This substrate data is provided to the host computer 50 together with the identification information of the storage cassette 10 itself after storage of the glass substrate W in the storage cassette 10 and managed on the host computer 50.

S5에서는, 주반송 장치(100)를 구동하여 S1에서 규정 위치까지 반송한 유리 기판(W)을 위치 결정 장치(140) 근방의 위치 결정 위치까지 반송하고, 반송을 일시정지한다. 또 S3에서 선택한 동작 패턴의 회전 각도로 지지축(151),(161),(161)을 회전시킨다.In S5, the glass substrate W which driven the main conveying apparatus 100 and conveyed from S1 to the prescribed position is conveyed to the positioning position of the positioning apparatus 140 vicinity, and conveyance is paused. The support shafts 151, 161, and 161 are rotated at the rotation angle of the operation pattern selected in S3.

S6에서는, 구동유닛(167)을 구동하여 접촉부재(162)를 초기 위치로부터 위치 결정 위치로 이동시켜 유리 기판(W)의 위치를 결정한다. 위치를 결정한 후 접촉부재(162)를 초기 위치로 되돌린다.In S6, the drive unit 167 is driven to move the contact member 162 from the initial position to the positioning position to determine the position of the glass substrate W. FIG. After determining the position, the contact member 162 is returned to the initial position.

S7에서는, 주반송 장치(100) 및 이동적재 컨베이어(200)를 구동하여 S4에서 설정한 슬롯 내의 위치까지 유리 기판(W)을 수납 카세트(10)에 반입한다. 이상에 의해 1단위의 처리가 종료된다. S1 내지 S7의 처리는 호스트 컴퓨터(50)로부터 유리 기판(W)의 반출 지시를 수신할 때마다 병렬적으로 실행함으로써 복수의 유리 기판(W)을 연속적으로 반송하면서 그 위치 결정 동작을 할 수 있다.In S7, the main transport apparatus 100 and the movable loading conveyor 200 are driven to carry the glass substrate W into the storage cassette 10 to the position in the slot set in S4. The processing of one unit is completed by the above. The processing of S1 to S7 can be executed in parallel every time the instruction to carry out the glass substrate W from the host computer 50 can be performed while continuously conveying the plurality of glass substrates W. .

한편, 수납 카세트(10)로부터 유리 기판(W)을 반출하여, 미도시된 처리 장치로 반송하는 경우에도 반송방향이 반대가 될 뿐 마찬가지 순서에 의해 유리 기판(W)을 반송할 수 있다. 그 때 유리 기판(W)의 크기, 위치 정보는 호스트 컴퓨터(50)로부터 취득하도록 할 수 있다.On the other hand, even when carrying out the glass substrate W from the storage cassette 10 and conveying it to the processing apparatus not shown, a conveyance direction may be reversed and glass substrate W can be conveyed by the same procedure. In that case, the size and positional information of the glass substrate W can be acquired from the host computer 50.

<제2실시형태>Second Embodiment

상기 제1실시형태에서는 지지축(151),(161),(151)의 회전에 의해 접촉부재(152),(162)를 대기위치-접촉위치 사이에서 이동시켰으나 접촉부재(152),(162)를 승강시킴으로써 대기위치-접촉위치 사이에서 이동시키는 구성으로 해도 좋다.In the first embodiment, the contact members 152, 162 are moved between the standby position and the contact position by the rotation of the support shafts 151, 161, 151, but the contact members 152, 162 May be configured to move between the standby position and the contact position by raising and lowering?).

도 19는, 위치 결정 장치(140)를 대신하는 본 실시형태의 위치 결정 장치(140')의 사시도이다. 이하, 위치 결정 장치(140)와 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다. 위치 결정 장치(140')는 위치 결정 유닛(150)을 대신하는 위치 결정 유닛(150')과, 위치 결정 유닛(160)을 대신하는 위치 결정 유닛(160')을 구비한다. 각 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4) 및 각 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)의 위치 설정 은 상기 제1 실시형태와 마찬가지이다.19 is a perspective view of the positioning device 140 'of the present embodiment that replaces the positioning device 140. As shown in FIG. Hereinafter, a configuration different from the positioning device 140 will be described. The positioning device 140 'includes a positioning unit 150' in place of the positioning unit 150, and a positioning unit 160 'in place of the positioning unit 160. As shown in FIG. Positioning of each of the positioning parts Pa1 to Pa4 and each of the positioning parts Pb1 to Pb4 is the same as in the first embodiment.

위치 결정 유닛(150')은 Y방향으로 연장되는 지지재(301)와, 지지재(301)의 각 단부를 지지하는 한쌍의 지지대(303)를 구비한다. 지지재(301)에는 복수의 승강 유닛(305)과 지지부재(306)가 고정되어 있다. 승강 유닛(305)은, 본 실시형태의 경우 에어 실린더이며, 접촉부재(152)를 윗쪽의 접촉위치와 아래쪽의 대기위치 사이에서 승강시킨다. 위치 결정부(Pb4)의 접촉부재(152)에 대해서는, 승강 유닛(305)을 개재시키지 않고, 지지부재(306)에 의해 지지재(301)에 지지되어 있으며 항시 접촉위치에 위치되어 있다. 각 접촉부재(152)는 Y방향으로 이간된 복수의 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4)마다 각각 하나 배치되어 있다.The positioning unit 150 'includes a support member 301 extending in the Y direction, and a pair of support members 303 for supporting each end of the support member 301. A plurality of lifting units 305 and support members 306 are fixed to the support member 301. The lifting unit 305 is an air cylinder in this embodiment, and raises and lowers the contact member 152 between the upper contact position and the lower standby position. About the contact member 152 of the positioning part Pb4, it is supported by the support material 301 by the support member 306, without interposing the lifting unit 305, and is always located in a contact position. Each contact member 152 is disposed for each of the plurality of positioning portions Pb1 to Pb4 spaced apart in the Y direction.

위치 결정 유닛(160')은, Y방향으로 연장되는 지지재(302)와, 지지재(302)의 각 단부를 지지하는 한쌍의 지지대(304)를 구비한다. 지지재(302)에는, 위치 결정 유닛(150')과 마찬가지의 복수의 승강 유닛(305)과 지지부재(306)가 고정되어 있고, 위치 결정부(Pa1)의 접촉부재(162)에 대해서는, 승강 유닛(305)을 개재시키지 않고, 지지부재(306)에 의해 지지재(302)에 지지되어 있으며 항시 접촉위치에 위치되어 있다. 각 접촉부재(162)는 Y방향으로 이간된 복수의 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4)마다 각각 하나 설치되어 있다.The positioning unit 160 'includes a support member 302 extending in the Y direction, and a pair of support members 304 supporting each end of the support member 302. A plurality of lifting units 305 and support members 306 similar to the positioning unit 150 'are fixed to the support member 302, and, with respect to the contact member 162 of the positioning unit Pa1, The support member 306 is supported by the support member 302 without interposing the lifting unit 305, and is always in the contact position. Each contact member 162 is provided for each of the plurality of positioning portions Pa1 to Pa4 spaced apart in the Y direction.

각 지지대(304)는 각 지지대(166) 위에서 Y방향으로 슬라이드 가능하게 지지되어 있다. 한쪽 지지대(304)의 옆쪽에는 구동유닛(167)이 병설되어 있고, 연결부재(168)는 지지대(304)에 고정되어 있다. 이와 같이 하여, 구동유닛(167)의 구동에 의해 지지재(302), 지지대(304), 모든 승강 유닛(305) 및 지지부재(306)가 일체적 으로 Y방향으로 이동하고, 접촉부재(162)가 초기 위치와 위치 결정 위치 사이에서 이동한다.Each support 304 is slidably supported in the Y direction on each support 166. The drive unit 167 is provided in the side of one support 304, and the connection member 168 is being fixed to the support 304. As shown in FIG. In this way, by the drive of the drive unit 167, the support material 302, the support base 304, all the lifting unit 305, and the support member 306 integrally move in the Y direction, and the contact member 162 ) Moves between the initial position and the positioning position.

본 실시형태에서도 주반송 장치(100)가 반송되는 유리 기판(W)의 크기에 따라 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)를 선택하여, 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 위치를 결정할 수 있다. 단, 접촉부재(152),(162)의 대기위치와 접촉위치간의 이동은, 승강 유닛(305)의 구동에 의한 승강으로 수행하는 것이 제1 실시형태와 다르다. 한편, 위치 결정부(Pa1) 및 (Pb4)에 대해서는, 그 접촉부재(162),(152)가 항시 접촉위치에 위치되어 있기 때문에 항상 선택된 상태로 되어 있다.Also in this embodiment, the positioning parts Pb1 to Pb4 and Pa1 for moving the contact members 152 and 162 to the contact position according to the size of the glass substrate W to which the main transport apparatus 100 is conveyed. ) To (Pa4), the position of each glass substrate (W1) to (W3) can be determined. However, the movement between the standby positions of the contact members 152, 162 and the contact position is performed by lifting by driving of the lifting unit 305, which is different from the first embodiment. On the other hand, for the positioning portions Pa1 and Pb4, the contact members 162 and 152 are always in the selected state because they are always located in the contact position.

본 실시형태의 위치 결정 장치(140')도, 상기 제1 실시형태의 위치 결정 장치(140)와 마찬가지 효과를 나타내지만, 위치 결정 장치(140')쪽이 접촉부재(152),(162)를 접촉위치로 이동시키는 위치 결정부(Pb1) 내지 (Pb4) 및 (Pa1) 내지 (Pa4)의 조합의 변화(variation)가 위치 결정 장치(140)보다도 풍부하고 동시에 위치 결정이 가능한, 각 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 반송 형태가 풍부해진다.Although the positioning device 140 'of this embodiment has the same effect as the positioning device 140 of the said 1st embodiment, the positioning device 140' has the contact member 152,162. The variation of the combination of the positioning parts Pb1 to Pb4 and Pa1 to Pa4 for moving the light to the contact position is richer than that of the positioning device 140, and each glass substrate capable of positioning at the same time. The conveyance form of (W1)-(W3) becomes abundant.

한편, 상기 제1 실시형태 및 본 실시형태에서는 접촉부재(162)의 초기 위치와 위치 결정 위치간의 이동을 공통의 구동유닛(167)에 의해 행하였는데, 각 접촉부재(162)마다 구동유닛(167)을 마련하여 동기적으로 구동함으로써 복수의 유리 기판(W)을 동시에 위치 결정하도록 해도 좋다.On the other hand, in the first embodiment and the present embodiment, the movement between the initial position and the positioning position of the contact member 162 is performed by the common drive unit 167, and the drive unit 167 for each contact member 162. ) And synchronously drive the plurality of glass substrates W to be positioned at the same time.

<제3 실시형태>&Lt; Third Embodiment >

상기 제1 실시형태에서는 미도시된 1개의 처리 장치와 1개의 수납 카세 트(10) 사이에서 유리 기판(W)을 반송하는 구성으로 하였으나, 1개의 처리 장치와 복수의 수납 카세트(10) 사이에서 유리 기판(W)을 반송하도록 해도 좋다.In the first embodiment, the glass substrate W is conveyed between one processing apparatus and one storage cassette 10, which are not shown, but between one processing apparatus and the plurality of storage cassettes 10. You may make it convey the glass substrate W. FIG.

도 20은, 본 발명의 다른 실시형태에 관한 반송 시스템(B)의 레이아웃을 도시한 평면도이다. 이하, 반송 시스템(A)와 같은 구성에 대해서는 같은 부호를 붙여 설명을 생략하고 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.20 is a plan view illustrating a layout of a conveying system B according to another embodiment of the present invention. Hereinafter, the same structure as the conveyance system A is attached | subjected with the same code | symbol, and description is abbreviate | omitted and another structure is demonstrated.

<수납 카세트(10)의 배치><Arrangement of the storage cassette 10>

반송 시스템(B)는 2개의 수납 카세트(10)와 1개의 처리 장치(미도시) 사이에서 유리 기판(W)을 반송한다. 한편, 3개 이상의 수납 카세트(10)와 1개의 처리 장치 사이에서 유리 기판(W)을 반송하도록 구성할 수도 있다.The conveying system B conveys the glass substrate W between two storage cassettes 10 and one processing apparatus (not shown). In addition, you may comprise so that the glass substrate W may be conveyed between three or more storage cassettes 10 and one processing apparatus.

2개의 수납 카세트(10)는 Y방향으로 이간되어 배치되어 있고 이들 수납 카세트(10)의 배치 방향은 Y방향이다. 2개의 수납 카세트(10)는 그들의 유리 기판(W)의 반입출부가 +X방향을 향하도록 배치되어 있다. 각 수납 카세트(10)에는 한쌍의 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)가 각각 배치되어 있다.The two storage cassettes 10 are spaced apart from each other in the Y direction, and the arrangement direction of these storage cassettes 10 is the Y direction. The two storage cassettes 10 are arranged so that the carry-in and out portions of their glass substrates W face the + X direction. Each storage cassette 10 is provided with a pair of lifting devices 20 and a moving loading conveyor 200, respectively.

<컨베이어 이동 유닛><Conveyor Mobile Unit>

본 실시형태의 주반송 장치(100)는 일부가 Y방향으로 이동 가능하도록 되어 있다. 이동 가능한 부분은, 위치 결정 장치(140) 근방의 합계 16개의 롤러 컨베이어 유닛(120) 및 (130)이다. 이들은 컨베이어 이동 유닛(400)에 의해 이동한다. 이하, 컨베이어 이동 유닛(400)에 의해 이동하는 주반송 장치(100)의 일부를 가동 반송 장치라고 하고, 이동하지 않는 부분을 고정 반송 장치라고 한다.A part of main transport apparatus 100 of the present embodiment is configured to be movable in the Y direction. The movable parts are 16 roller conveyor units 120 and 130 in total near the positioning device 140. These are moved by the conveyor moving unit 400. Hereinafter, a part of main conveying apparatus 100 which moves by conveyor moving unit 400 is called movable conveying apparatus, and the part which does not move is called fixed conveying apparatus.

도 21은, 컨베이어 이동 유닛(400)의 분해 사시도이다. 컨베이어 이동 유 닛(400)은 가동 반송 장치 및 위치 결정 장치(140)가 탑재되는 지지판(402)을 구비한다. 지지판(402)의 하면에는 한쌍의 레일 부재(405) 위를 슬라이딩하는 복수의 슬라이드 부재(402b)가 마련되어 있다. 한쌍의 레일 부재(405)는, X방향으로 이간시켜 평행하게 마련되고 각각 Y방향으로 연장되어 있다. 지지판(402)은 슬라이드 부재(402b)가 레일 부재(405)로 안내됨으로써 Y방향으로 이동 가능하다.21 is an exploded perspective view of the conveyor moving unit 400. The conveyor moving unit 400 includes a support plate 402 on which the movable conveying device and the positioning device 140 are mounted. The lower surface of the support plate 402 is provided with a plurality of slide members 402b that slide over the pair of rail members 405. The pair of rail members 405 are provided in parallel and spaced apart in the X direction, and extend in the Y direction, respectively. The support plate 402 is movable in the Y direction by the slide member 402b being guided to the rail member 405.

한쌍의 레일 부재(405) 사이에는 Y방향으로 이간되어 복수의 대들보 부재(406)가 가설되어 있으며, 이들 대들보 부재(406)에 의해, 한쪽 레일 부재(405)에 고정되어 있는 랙(407)이 아래쪽으로부터 지지됨과 동시에 한쪽 레일 부재(405)에 고정되어 있다. 랙(407)은 Y방향으로 연장되어 있고 그 측면에 톱니부(407b)를 가지고 있고, 그 상면에는 지지판(402)의 Y방향의 위치를 검출하기 위한 마크띠(407a)를 가지고 있다.Between the pair of rail members 405, a plurality of girder members 406 are arranged to be spaced apart in the Y direction, and the racks 407 fixed to one rail member 405 by these girder members 406 are provided. It is supported from the bottom and is fixed to one rail member 405. The rack 407 extends in the Y direction, has a toothed portion 407b on its side, and has a mark strip 407a for detecting the position of the support plate 402 in the Y direction on its upper surface.

지지판(402)에는 개구부(402a)가 마련되어 있다. 개구부(402a)에는 모터(403)가 삽입된다. 모터(403)에는 부착판(403a)이 마련되어 있으며 부착판(403a)을 통해 모터(403)가 지지판(402)에 고정된다. 모터(403)의 출력축에는 랙(407)의 톱니부(407b)와 맞물리는 피니언(403b)이 설치되어 있다. 또 부착판(403a)의 하면에는 마크띠(407a)상의 각각의 마크를 검출하는 센서(404)가 마련되어 있다. 센서(404)는 예를 들면 광센서이다.The opening plate 402a is provided in the support plate 402. The motor 403 is inserted into the opening 402a. The motor 403 is provided with an attachment plate 403a, and the motor 403 is fixed to the support plate 402 through the attachment plate 403a. The output shaft of the motor 403 is provided with a pinion 403b which meshes with the teeth 407b of the rack 407. Moreover, the sensor 404 which detects each mark on the mark strip 407a is provided in the lower surface of the attachment plate 403a. The sensor 404 is, for example, an optical sensor.

이와 같은 랙―피니언 기구를 가진 컨베이어 이동 유닛(400)은, 모터(403)를 구동함으로써 지지판(402)이 레일 부재(405) 위를 이동하여 주반송 장치(100)의 일부 및 위치 결정 장치(140)를 Y방향으로 이동시킬 수 있다. 또 센서(404)가 마크 띠(407a)상의 마크를 검출함으로써 가동 반송 장치 및 위치 결정 장치(140)의 Y방향의 위치를 특정할 수 있다.In the conveyor moving unit 400 having such a rack-pinion mechanism, the support plate 402 moves on the rail member 405 by driving the motor 403 so that a part of the main transport apparatus 100 and the positioning device ( 140) can be moved in the Y direction. Moreover, the sensor 404 detects the mark on the mark strip 407a, and can specify the position of the movable conveying apparatus and the positioning device 140 in the Y direction.

한편, 본 실시형태에서는 랙―피니언 기구를 사용하였으나, 벨트 전동 기구, 리니어 모터, 볼 너트―볼 나사 기구 등 다른 기구도 채용 가능하다. 또 센서(404)와 마크띠(407a)의 조합 이외에, 다른 위치 검출 수단(예를 들면 모터(403)의 회전량을 검출하는 인코더)을 사용함으로써 가동 반송 장치 및 위치 결정 장치(140)의 Y방향의 위치를 특정할 수도 있다.In addition, although the rack pinion mechanism was used in this embodiment, other mechanisms, such as a belt transmission mechanism, a linear motor, and a ball nut-ball screw mechanism, are also employable. Moreover, in addition to the combination of the sensor 404 and the mark strip 407a, Y of the movable conveying apparatus and the positioning apparatus 140 is used by using another position detection means (for example, the encoder which detects the rotation amount of the motor 403). The position of the direction may be specified.

<동작예><Example of operation>

도 22 내지 도 24는 반송 시스템(B)의 동작 설명도이다. 도 22는, 주반송 장치(100)의 가동 반송 장치가 고정 반송 장치와 연속되고 +Y쪽 이동적재 컨베이어(200)와 연속되어 있는 상태를 도시한다. 이 경우의 반송 시스템(B)의 동작은, 상기 제1 실시형태의 반송 시스템(A)와 마찬가지이다.22-24 is operation explanatory drawing of the conveyance system B. FIG. FIG. 22 shows a state in which the movable conveying device of the main conveying device 100 is continuous with the fixed conveying device and continuously with the + Y side moving loading conveyor 200. The operation of the conveying system B in this case is the same as the conveying system A of the first embodiment.

도 23 및 도 24는, 처리 장치(미도시)와 ―Y쪽 수납 카세트(10) 사이에서 유리 기판(W)(여기에서는 유리 기판(W1))을 반송하는 경우, 특히 처리 장치로부터 수납 카세트(10)로 유리 기판(W)을 반송하는 경우를 도시한다. 우선, 도 23에 도시한 바와 같이, 주반송 장치(100)의 가동 반송 장치가 고정 반송 장치와 연속된 상태에서 가동 반송 장치상으로 유리 기판(W1)을 반송한다. 계속해서 도 24에 도시한 바와 같이, 컨베이어 이동 유닛(400)에 의해 가동 반송 장치를 ―Y방향으로 이동시켜서 ―Y쪽 이동적재 컨베이어(200)과 연속하는 위치까지 이동시킨다. 이 때 위치 결정 유닛(140)은 가동 반송 장치에 마련되어 있기 때문에 가동 반송 장치의 이동중 에 유리 기판(W1)의 위치 결정을 행할 수 있다.23 and 24 show, in particular, the case of conveying the glass substrate W (here, the glass substrate W1) between the processing apparatus (not shown) and the -Y storage cassette 10, particularly from the processing apparatus. The case where the glass substrate W is conveyed by 10) is shown. First, as shown in FIG. 23, the movable conveying apparatus of the main conveying apparatus 100 conveys the glass substrate W1 on the movable conveying apparatus in the state continuous with the fixed conveying apparatus. Subsequently, as shown in FIG. 24, the movable conveying apparatus is moved by the conveyor movement unit 400 to -Y direction, and it moves to the position continuous with the -Y side moving loading conveyor 200. As shown in FIG. At this time, since the positioning unit 140 is provided in the movable conveying apparatus, the positioning of the glass substrate W1 can be performed during the movement of the movable conveying apparatus.

그 후, 가동 반송 장치와 이동적재 컨베이어(200)를 구동함으로써 ―Y쪽 수납 카세트(10)에 유리 기판(W1)을 반입한다. 수납 카세트(10)로부터 처리 장치로 유리 기판(W)을 반송하는 경우에는 이와 반대의 순서가 된다.Then, the glass substrate W1 is carried in to the -Y side storage cassette 10 by driving the movable conveying apparatus and the movable loading conveyor 200. When conveying the glass substrate W from the storage cassette 10 to a processing apparatus, it will become the reverse order.

이와 같이 반송 시스템(B)에서는, 2개의 수납 카세트(10)와 처리 장치 사이에서 유리 기판(W)을 반송할 수 있다. 따라서 예를 들면 한쪽 수납 카세트(10)를 다른 수납 카세트와 교환하는 경우라 해도 반송 시스템(B) 전체의 가동은 정지시킬 필요가 없으며 다른 쪽 수납 카세트(10)와 처리 장치 사이에서 유리 기판(W)을 반송할 수 있어 시스템 전체의 가동율을 향상시킬 수 있다.Thus, in the conveyance system B, the glass substrate W can be conveyed between two storage cassettes 10 and a processing apparatus. Thus, for example, even when one storage cassette 10 is replaced with another storage cassette, the entire transport system B does not need to be stopped and the glass substrate W between the other storage cassette 10 and the processing apparatus. ), It is possible to improve the operating rate of the entire system.

또, 처리 장치를 개재시키지 않고, 2개의 수납 카세트(10) 사이에서 유리 기판(W)을 반송하는 것도 가능하다. 이것은 수납 카세트(10) 사이에서 유리 기판(W)을 교체할 경우에 편리하다.Moreover, it is also possible to convey the glass substrate W between two storage cassettes 10 without interposing a processing apparatus. This is convenient when the glass substrate W is replaced between the storage cassettes 10.

한편, 본 실시형태에서는 2조의 수납 카세트(10), 한쌍의 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)를 Y방향으로 병설하였는데, 이들 조(組)가 X방향으로 어긋나 있어도 좋다. 예를 들면 ―Y쪽 수납 카세트(10), 한쌍의 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)의 조가, 도 22에 도시한 위치보다도 ―X쪽으로 어긋나 있어도 좋다. 이 경우, 이동적재 컨베이어(200)를 X방향으로 연장시켜 가동 반송 장치가 도 24의 위치로 이동했을 때 가동 반송 장치와 연속하도록 하면 된다.In the present embodiment, two sets of storage cassettes 10, a pair of lifting devices 20, and a moving stacking conveyor 200 are provided in the Y direction, but these tanks may be shifted in the X direction. For example, the group of the -Y side storage cassette 10, the pair of lifting devices 20, and the moving stacking conveyor 200 may be shifted to the -X side than the position shown in FIG. In this case, what is necessary is just to extend the movable loading conveyor 200 to a X direction, and to be continuous with a movable conveying apparatus when the movable conveying apparatus moves to the position of FIG.

또 본 실시형태에서는 2개의 수납 카세트(10)는 그들 유리 기판(W)의 반입출부가 +X방향을 향하도록 배치되어 있는데 각각 다른 방향을 향하고 있어도 좋다. 이 경우, 수납 카세트(10)의 방향에 따라 한쌍의 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)를 배치하게 된다. 또 컨베이어 이동 유닛(400)은 가동 반송 장치를 Y방향으로 이동시키는 것에 한정되지 않으며, 가동 반송 장치를 이동적재 컨베이어(200)와 연속하도록 예를 들면 원호 궤도상을 이동시키는 것이어도 좋다.In addition, in this embodiment, although the carrying-out part of these glass substrates W is arrange | positioned so that it may face + X direction, the two storage cassettes 10 may face each other direction. In this case, the pair of lifting apparatuses 20 and the moving stacking conveyor 200 are arranged along the direction of the storage cassette 10. In addition, the conveyor movement unit 400 is not limited to moving the movable conveying apparatus in the Y direction, but may move the circular conveyer on the circular track, for example, so that the movable conveying apparatus may be continuous with the movable loading conveyor 200.

<제4실시형태>Fourth Embodiment

상기 제3 실시형태에서는 가동 반송 장치를 1개로 하였으나, 2개로 하고 컨베이어 이동 유닛(400)을 각 가동 반송 장치에 설치할 수도 있다. 도 25는, 본 발명의 다른 실시형태에 관한 반송 시스템(C)의 레이아웃을 도시한 평면도이다. 이하, 반송 시스템(B)와 같은 구성에 대해서는 같은 부호를 붙이고 설명을 생략하고 다른 구성에 대해서 설명하기로 한다.In the said 3rd Embodiment, although the movable conveying apparatus was made into one, it can also be set as two and the conveyor moving unit 400 can be provided in each movable conveying apparatus. 25 is a plan view showing the layout of a conveyance system C according to another embodiment of the present invention. Hereinafter, about the structure similar to the conveyance system B, the same code | symbol is attached | subjected, description is abbreviate | omitted, and another structure is demonstrated.

반송 시스템(C)의 주반송 장치(100)는 X방향으로 연속하여 병설된 2개의 가동 반송 장치를 구비하고 있고, 또 각 가동 반송 장치용으로 컨베이어 이동 유닛(400)을 X방향으로 병설하여 2개 설치하였다. 위치 결정 장치(140)는, 각 가동 반송 장치에 각각 마련되어 있고, 각 컨베이어 이동 유닛(400)은 가동 반송 장치와 위치 결정 장치(140)를 이동시킨다.The main conveying apparatus 100 of the conveying system C is equipped with the two movable conveying apparatuses arranged in a row continuously in the X direction, and also arrange | positions the conveyor movement unit 400 in the X direction for each movable conveying apparatus, and Dogs were installed. The positioning device 140 is provided in each movable conveying apparatus, respectively, and each conveyor movement unit 400 moves the movable conveying apparatus and the positioning apparatus 140. As shown in FIG.

<동작예><Example of operation>

도 26 내지 도 29는 반송 시스템(C)의 동작 설명도이다. 도 26은, 주반송 장치(100)의 2개의 가동 반송 장치가 서로 연속됨과 동시에 고정 반송 장치와 연속되고, 나아가 +Y쪽 이동적재 컨베이어(200)와 연속되어 있는 상태를 도시한다. 이 경우의 반송 시스템(C)의 동작은, 상기 제1 실시형태의 반송 시스템(A)와 마찬가지이 다. 단, 위치 결정 장치(140)를 2개 가지고 있기 때문에 동시에 위치 결정 가능한 유리 기판(W)의 개수를 늘릴 수 있다.26-29 is operation explanatory drawing of the conveyance system C. FIG. FIG. 26 shows a state in which two movable conveying apparatuses of the main conveying apparatus 100 are continuous with each other and at the same time with the fixed conveying apparatus, and further with the + Y moving stacking conveyor 200. The operation of the conveying system C in this case is the same as the conveying system A of the first embodiment. However, since it has two positioning devices 140, the number of glass substrates W which can be positioned simultaneously can be increased.

도 27은, 도 26의 상태로부터 유리 기판(W1)을 탑재한 ―X쪽 가동 반송 장치를 ―Y쪽 이동적재 컨베이어(200)와 연속되는 위치까지 이동시킨 상태를 도시한다. 또 도 27은 처리 장치(미도시)로부터 새로운 유리 기판(W1)이 +X쪽 가동 반송 장치 위로 반송된 상태를 도시한다.FIG. 27 shows a state in which the -X side movable conveying device on which the glass substrate W1 is mounted is moved from the state of FIG. 26 to a position continuous with the -Y side moving stacking conveyor 200. Moreover, FIG. 27 shows the state where the new glass substrate W1 was conveyed on the + X side movable conveyance apparatus from a processing apparatus (not shown).

도 28은, 도 27의 상태로부터 ―X쪽 가동 반송 장치 및 이것과 연속되는 이동적재 컨베이어(200)가 유리 기판(W1)을 수납 카세트(10)에 반입하고, 유리 기판(W1)을 탑재한 +X쪽 가동 반송 장치를 ―X쪽 가동 반송 장치와 연속되는 위치까지 이동시킨 상태를 도시한다. 이 상태로부터 +X쪽 가동 반송 장치상의 유리 기판(W1)을, 2개의 가동 반송 장치 및 이동적재 컨베이어(200)에 의해, 수납 카세트(10)에 반입할 수 있다. 또 +X쪽 가동 반송 장치로부터 ―X쪽 가동 반송 장치로 유리 기판(W1)의 반송이 완료되면 +X쪽 가동 반송 장치는 +Y쪽으로 이동을 개시하여 고정 반송 장치에서 반송되는 유리 기판(W1)을 받아들일 준비를 할 수 있다.FIG. 28 shows the -X side movable conveying apparatus and the movable loading conveyor 200 which are continuous from the state of FIG. 27 carry the glass substrate W1 into the storage cassette 10 and mount the glass substrate W1. The state which moved the + X side movable conveyance apparatus to the position continuous with -X side movable conveying apparatus is shown. From this state, the glass substrate W1 on the + X side movable conveying apparatus can be carried in to the storage cassette 10 by the two movable conveying apparatuses and the moving loading conveyor 200. Moreover, when conveyance of glass substrate W1 is completed from + X side movable conveyance apparatus to -X side movable conveyance apparatus, + X side movable conveyance apparatus starts moving to + Y side, and glass substrate W1 conveyed by fixed conveyance apparatus is carried out. You can prepare to accept it.

이와 같이 본 실시형태에서는, 유리 기판(W)을 연속적으로 수납 카세트(10)에 효율적으로 반입할 수 있다는 이점이 있다. 예를 들어 상기 반송 시스템(B)에서는 ―Y쪽 수납 카세트(10)에 2장의 유리 기판(W1)을 반송할 경우, 가동 반송 장치를 Y방향으로 2왕복시킬 필요가 있다. 한편, 본 실시형태의 반송 시스템(C)에서는 각 가동 반송 장치를 Y방향으로 1왕복시킴으로써 ―Y쪽 수납 카세트(10)로 2장의 유리 기판(W1)을 반송할 수 있어 반송 시간을 단축할 수 있다.Thus, in this embodiment, there exists an advantage that the glass substrate W can be carried in to the storage cassette 10 continuously efficiently. For example, in the said conveyance system B, when conveying two glass substrates W1 to the -Y side storage cassette 10, it is necessary to make a movable reciprocating apparatus two round trips in the Y direction. On the other hand, in the conveyance system C of this embodiment, two glass substrates W1 can be conveyed by the -Y side storage cassette 10 by returning each movable conveyance apparatus 1 to the Y direction, and a conveyance time can be shortened. have.

또 본 실시형태의 반송 시스템(C)에서는, 유리 기판(W1)보다도 큰 크기의 유리 기판(W)을 반송할 수도 있다. 도 29는, 유리 기판(W1)과 Y방향 폭이 같고 X방향의 길이가 약 2배인 유리 기판(W0)을 반송하는 경우를 도시하였다.Moreover, in the conveyance system C of this embodiment, the glass substrate W of the magnitude | size larger than the glass substrate W1 can also be conveyed. FIG. 29 has shown the case where the width | variety of the Y direction is the same as glass substrate W1, and the glass substrate W0 which is about twice the length of the X direction is conveyed.

유리 기판(W0)은, 연속한 2개의 가동 반송 장치상에 걸쳐 놓여져 있다. 유리 기판(W0)의 위치 결정은 2개의 위치 결정 장치(140)에 의해 동시에 수행할 수 있다. 또 유리 기판(W0)의 Y방향의 이동은, 2개의 가동 반송 장치가 연속된 상태에서, 각 컨베이어 이동 유닛(400)을 동기적으로 구동함으로써 수행할 수 있다.The glass substrate W0 is put on two continuous conveyance apparatuses. Positioning of the glass substrate W0 can be performed simultaneously by the two positioning devices 140. In addition, the movement of the glass substrate W0 in the Y direction can be performed by driving each conveyor movement unit 400 synchronously in the state which two movable conveyance apparatuses continued.

도 1은 본 발명의 일실시형태에 관한 반송 시스템(A)의 레이아웃을 도시한 평면도이다.1 is a plan view showing the layout of a transport system A according to one embodiment of the present invention.

도 2는 반송 시스템(A)의 측면도이다.2 is a side view of the transport system A. FIG.

도 3은 반송 장치(110)의 사시도이다.3 is a perspective view of the conveying apparatus 110.

도 4의 (A) 내지 (D)는 주반송 장치(100)에 의한 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 반송 형태의 예를 도시한 도면이다.4: (A)-(D) is a figure which shows the example of the conveyance form of the glass substrate W1-W3 by the main conveyance apparatus 100. FIG.

도 5는 수납 카세트(10)의 사시도이다.5 is a perspective view of the storage cassette 10.

도 6의 (A) 내지 (D)는, 수납 카세트(10)로의 유리 기판(W1) 내지 (W3)의 수납 형태의 예를 도시한 도면이다.FIG. 6: (A)-(D) is a figure which shows the example of the storage form of the glass substrate W1-W3 to the storage cassette 10. As shown in FIG.

도 7은 한쌍의 승강 장치(20)의 사시도이다.7 is a perspective view of the pair of lifting devices 20.

도 8은 승강 장치(20)의 분해 사시도이다.8 is an exploded perspective view of the elevating device 20.

도 9의 (A) 내지 (E)는, 기판(W)를 수납 카세트(10)로부터 반출하는 경우의, 승강 장치(20) 및 이동적재 컨베이어(200)의 동작 설명도이다.FIG. 9: (A)-(E) is explanatory drawing of the operation of the lifting device 20 and the moving loading conveyor 200 at the time of carrying out the board | substrate W from the storage cassette 10. As shown in FIG.

도 10은 위치 결정 장치(140)의 사시도이다.10 is a perspective view of the positioning device 140.

도 11의 (A) 및 (B)는 접촉부재(162)의 이동 형태의 설명도이다.11A and 11B are explanatory views of the movement form of the contact member 162.

도 12의 (A) 및 (B)는 위치 결정 장치(140)에 의한 위치 결정 동작 설명도이다.12A and 12B are explanatory views of the positioning operation by the positioning device 140.

도 13은 각 위치 결정부(Pa1) 내지 (Pa4), (Pb1) 내지 (Pb4)의 설명도이다.FIG. 13: is explanatory drawing of each positioning part Pa1 to Pa4, Pb1 to Pb4.

도 14는 위치 결정 장치(140)의 동작 패턴의 예를 도시한 도면이다.14 is a diagram illustrating an example of an operation pattern of the positioning device 140.

도 15의 (A) 및 (B)는 반송 시스템(A)의 동작 설명도이다.15A and 15B are explanatory diagrams of the operation of the transport system A. FIG.

도 16의 (A) 및 (B)는 반송 시스템(A)의 동작 설명도이다.16A and 16B are explanatory diagrams of the operation of the transport system A. FIG.

도 17은 반송 시스템(A)의 제어장치(40)의 구성을 도시한 블럭도이다.FIG. 17 is a block diagram showing the configuration of the control device 40 of the transport system A. As shown in FIG.

도 18은 CPU(41)가 실행하는 반송 시스템(A)의 제어예를 도시한 흐름도이다.18 is a flowchart illustrating a control example of the transport system A executed by the CPU 41.

도 19는 위치 결정 장치(140')의 사시도이다.19 is a perspective view of the positioning device 140 '.

도 20은 본 발명의 다른 실시형태에 관한 반송 시스템(B)의 레이아웃을 도시한 평면도이다.It is a top view which shows the layout of the conveyance system B which concerns on other embodiment of this invention.

도 21은 컨베이어 이동 유닛(400)의 분해 사시도이다.21 is an exploded perspective view of the conveyor moving unit 400.

도 22는 반송 시스템(B)의 동작 설명도이다.22 is an explanatory diagram of the operation of the transport system B. FIG.

도 23은 반송 시스템(B)의 동작 설명도이다.23 is an explanatory view of the operation of the transport system B. FIG.

도 24는 반송 시스템(B)의 동작 설명도이다.24 is an explanatory diagram of the operation of the transport system B. FIG.

도 25는 본 발명의 다른 실시형태에 관한 반송 시스템(C)의 레이아웃을 도시한 평면도이다.It is a top view which shows the layout of the conveyance system C which concerns on other embodiment of this invention.

도 26은 반송 시스템(C)의 동작 설명도이다.26 is an explanatory diagram of the operation of the transport system C. FIG.

도 27은 반송 시스템(C)의 동작 설명도이다.27 is an explanatory diagram of the operation of the transport system C. FIG.

도 28은 반송 시스템(C)의 동작 설명도이다.28 is an explanatory view of the operation of the transport system C. FIG.

도 29는 반송 시스템(C)의 동작 설명도이다.29 is an explanatory diagram of the operation of the transport system C. FIG.

<부호의 설명><Code description>

A,B,C 반송 시스템A, B, C return system

140,140' 위치 결정 장치140,140 'positioning device

Claims (9)

수평의 반송 궤도상에서 미리 정해진 반송방향으로 반송 대상물을 반송하는 반송수단과,Conveying means for conveying a conveying object in a predetermined conveying direction on a horizontal conveying track; 상기 반송방향과 직교하는 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제1 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 상기 수평방향의 한쪽 측부에 접촉하는 제1 접촉위치와, 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제1 대기위치 사이에서 이동 가능하게 설치된 제1 접촉부재와,First contact positions respectively provided in a plurality of first positioning portions spaced apart from each other in a horizontal direction orthogonal to the conveying direction, and positioned on the conveying track to contact one side portion in the horizontal direction of the conveying object; A first contact member movably installed between first standby positions not located on the transport track, 상기 수평방향으로 서로 이간된 복수의 제2 위치 결정부에 각각 설치되고, 상기 반송 궤도상에 위치하여 상기 반송 대상물의 상기 수평방향의 다른 쪽 측부에 접촉하는 제2 접촉위치와, 상기 반송 궤도상에 위치하지 않는 제2 대기위치와의 사이에서 이동 가능하게 설치된 제2 접촉부재와,Second contact positions respectively provided on the plurality of second positioning portions spaced apart from each other in the horizontal direction and positioned on the conveying track to contact the other side portion of the conveying object in the horizontal direction; A second contact member movably installed between a second standby position not located at 상기 반송수단이 반송하는 상기 반송 대상물의 크기에 따라, 상기 복수의 제1 위치 결정부 중 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 상기 제1 위치 결정부, 및 상기 복수의 제2 위치 결정부 중 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 상기 제2 위치 결정부를 선택하는 선택수단과,The first positioning unit for moving the first contact member to the first contacting position among the plurality of first positioning units according to the size of the conveyed object conveyed by the conveying means, and the plurality of second Selecting means for selecting the second positioning unit for moving the second contact member to the second contacting position among the positioning units; 상기 선택수단이 선택한 상기 제1 위치 결정부에 설치한 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치로 이동시키는 제1 이동수단과,First moving means for moving the first contact member provided in the first positioning unit selected by the selection means to the first contact position; 상기 선택수단이 선택한 상기 제2 위치 결정부에 설치한 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치로 이동시키는 제2 이동수단과,Second moving means for moving the second contact member provided in the second positioning unit selected by the selection means to the second contact position; 상기 복수의 제1 접촉부재를 상기 수평방향으로 이동시키는 제3 이동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 시스템.And a third moving means for moving the plurality of first contact members in the horizontal direction. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 수평방향으로 연장 설치되며 모든 상기 제1 접촉부재를 지지하는 지지부재를 구비하고,It is provided extending in the horizontal direction and having a support member for supporting all the first contact member, 상기 제3 이동수단은, 상기 지지부재를 상기 수평방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.And the third moving means moves the supporting member in the horizontal direction. 제2항에 있어서, 3. The method of claim 2, 상기 제3 이동수단은, 상기 지지부재와 연결된 연결부와, 상기 연결부를 상기 수평방향으로 슬라이딩시키는 구동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 시스템.And said third moving means comprises a connecting portion connected to said support member and driving means for sliding said connecting portion in said horizontal direction. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래쪽 위치이며,The first and second waiting positions are lower than the transport trajectory, 상기 반송수단은 상기 반송방향으로 서로 이간된 복수의 반송 장치를 구비하고,The conveying means includes a plurality of conveying apparatus spaced apart from each other in the conveying direction, 서로 인접한 상기 반송 장치 사이의 간극 중 제1 간극에 상기 제1 접촉부재가, 상기 제1 간극과는 다른 제2 간극에 상기 제2 접촉부재가 각각 배치된 것을 특 징으로 하는 반송 시스템.A conveying system, characterized in that the first contact member is disposed in a first gap among the gaps between the conveying devices adjacent to each other, and the second contact member is disposed in a second gap different from the first gap. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래쪽 위치이며,The first and second waiting positions are lower than the transport trajectory, 상기 제1 이동수단은,The first moving means, 상기 수평방향으로 연장 설치되며, 각각의 상기 제1 위치 결정부마다 하나 또는 복수의 상기 제1 접촉부재가 직경 방향으로 돌출되게 설치된 제1 지지축과,A first support shaft extending in the horizontal direction and provided with one or a plurality of first contact members protruding in the radial direction for each of the first positioning portions; 상기 제1 지지축을 그 축심 둘레로 회전시켜서, 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치와 상기 제1 대기위치 사이에서 이동시키는 제1 구동수단을 구비하고,A first driving means for rotating the first support shaft about its axis to move the first contact member between the first contact position and the first standby position, 상기 제2 이동수단은,The second moving means, 상기 수평방향으로 연장 설치되며, 각각의 상기 제2 위치 결정부마다 하나 또는 복수의 상기 제2 접촉부재가 직경 방향으로 돌출되게 설치된 제2 지지축과,A second support shaft extending in the horizontal direction and provided with one or a plurality of second contact members protruding in the radial direction for each of the second positioning portions; 상기 제2 지지축을 그 축심 둘레로 회전시켜서, 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치와 상기 제2 대기위치 사이에서 이동시키는 제2구동수단을 구비하고,A second driving means for rotating the second support shaft about its axis to move the second contact member between the second contact position and the second standby position, 상기 제1 접촉부재는,The first contact member, 상기 제1 지지축의 회전 각도에 의해, 상기 제1 접촉부재가 상기 제1 접촉위치가 되는 상기 제1 위치 결정부가 다르도록 상기 제1 지지축에 마련되고,By the rotation angle of the said 1st support shaft, it is provided in the said 1st support shaft so that the said 1st positioning part by which a said 1st contact member becomes a said 1st contact position differs, 상기 제2 접촉부재는,The second contact member, 상기 제2 지지축의 회전 각도에 의해, 상기 제2 접촉부재가 상기 제2 접촉위치가 되는 상기 제2 위치 결정부가 다르도록 상기 제2 지지축에 마련된 것을 특징 으로 하는 반송 시스템.The conveyance system of Claim 2 provided with the said 2nd support shaft so that the said 2nd positioning part by which the said 2nd contact member may become the said 2nd contact position by the rotation angle of a said 2nd support shaft is provided. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제1 및 제2 대기위치가 상기 반송 궤도보다도 아래쪽 위치이며,The first and second waiting positions are lower than the transport trajectory, 상기 제1 이동수단은, 각각의 상기 제1 위치 결정부마다 마련되고, 상기 제1 접촉부재를 상기 제1 접촉위치와 상기 제1 대기위치 사이에서 승강시키는 제1승강 수단이고,The first moving means is provided for each of the first positioning portions, and is first lifting means for elevating the first contact member between the first contact position and the first standby position, 상기 제2 이동수단은, 각각의 상기 제2 위치 결정부마다 마련되고, 상기 제2 접촉부재를 상기 제2 접촉위치와 상기 제2 대기위치 사이에서 승강시키는 제2승강 수단인 것을 특징으로 하는 반송 시스템.The second moving means is provided for each of the second positioning units, and is a second lifting means for elevating the second contact member between the second contact position and the second standby position. system. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 제2 위치 결정부가 상기 반송방향으로 이간되어 2열 설정되고,The second positioning portions are spaced in the conveying direction and set in two rows; 상기 제1 위치 결정부가 상기 2열의 상기 제2 위치 결정부 사이에 설정된 것을 특징으로 하는 반송 시스템.And the first positioning portion is set between the second positioning portions in the two rows. 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 반송 대상물이 기판이며,The conveying object is a substrate, 상기 반송수단의 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 처리하는 처리 장치와,A processing apparatus arranged at one end side of the conveying direction of the conveying means to process the substrate; 상기 반송수단의 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 수납하는 제1 수납 카세트와,A first accommodating cassette disposed on the other end side of the conveying direction in the conveying direction and accommodating the substrate; 상기 제1 수납 카세트에 대해, 상기 반송방향과 직교하는 수평방향으로 이간되어 배치되고, 상기 기판을 수납하는 제2 수납 카세트와,A second storage cassette spaced apart from the first storage cassette in a horizontal direction orthogonal to the conveying direction, and accommodates the substrate; 상기 반송수단과 연속되고 또한 상기 제1 수납 카세트의 하부에 배치되어, 상기 제1 수납 카세트와 상기 반송수단 사이에서 상기 기판을 반송하는 제1 컨베이어와,A first conveyor that is continuous with the conveying means and is disposed below the first accommodating cassette and conveys the substrate between the first accommodating cassette and the conveying means; 상기 제2 수납 카세트의 하부에 배치된 제2 컨베이어와,A second conveyor disposed under the second storage cassette; 상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단과 함께 상기 반송수단의 일부를, 상기 제2 컨베이어와 연속하는 위치로 이동시키는 제4 이동수단을 구비한 것을 특징으로 하는 반송 시스템.And a fourth moving means for moving a part of the conveying means together with the first and second contact members and the first to third moving means to a position continuous with the second conveyor. . 제1항에 있어서, The method of claim 1, 상기 반송 대상물이 기판이며,The conveying object is a substrate, 상기 반송수단의 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 처리하는 처리 장치와,A processing apparatus arranged at one end side of the conveying direction of the conveying means to process the substrate; 상기 반송수단의 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되어 상기 기판을 수납하는 제1 수납 카세트와,A first accommodating cassette disposed on the other end side of the conveying direction in the conveying direction and accommodating the substrate; 상기 제1 수납 카세트에 대해 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 배치되어 상기 기판을 수납하는 제2 수납 카세트와,A second storage cassette arranged in a direction orthogonal to the conveying direction with respect to the first storage cassette to accommodate the substrate; 상기 반송수단과 연속하고 또한 상기 제1 수납 카세트의 하부에 배치되어, 상기 제1 수납 카세트와 상기 반송수단 사이에서 상기 기판을 반송하는 제1 컨베이어와,A first conveyor that is continuous with the conveying means and is disposed below the first accommodating cassette and conveys the substrate between the first accommodating cassette and the conveying means; 상기 제2 수납 카세트의 하부에 배치된 제2 컨베이어를 구비하며,A second conveyor disposed below the second storage cassette; 상기 반송수단은, 상기 반송방향의 한쪽 단부측에 배치되는 제1 부분과, 상기 제1 부분과 상기 반송방향으로 연속하며 상기 반송방향의 다른 쪽 단부측에 배치되는 제2 부분을 가지며,The said conveying means has a 1st part arrange | positioned at the one end side of the said conveyance direction, and a 2nd part arrange | positioned at the other end side of the said conveyance direction continuously in the said 1st part and the said conveyance direction, 상기 제1 부분을, 상기 반송방향과 직교하는 방향으로, 상기 제2 컨베이어와 연속하는 위치로 이동시키는 제4 이동수단과,Fourth moving means for moving the first portion to a position continuous with the second conveyor in a direction orthogonal to the conveying direction; 상기 제2 부분을 상기 반송방향과 직교하는 방향으로 이동시키는 제5 이동수단을 구비하고,A fifth moving means for moving the second portion in a direction orthogonal to the conveying direction, 상기 제1 부분 및 상기 제2부분에 각각 상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단이 설치되고,The first and second contact members and the first to third moving means are installed in the first portion and the second portion, respectively. 상기 제4 및 제5 이동수단은 각각, 상기 제1 부분 및 상기 제2 부분과 함께, 상기 제1 및 제2 접촉부재 및 상기 제1 내지 제3 이동수단을 이동시키는 것을 특징으로 하는 반송 시스템.And the fourth and fifth moving means move the first and second contact members and the first to third moving means together with the first part and the second part, respectively.
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