KR101145753B1 - 평면의 반극성 갈륨 질화물의 성장을 위한 기술 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 38
- JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N Gallium nitride Chemical compound [Ga]#N JMASRVWKEDWRBT-UHFFFAOYSA-N 0.000 title abstract description 80
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 title description 75
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 claims abstract description 57
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 49
- 229910052596 spinel Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000011029 spinel Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims description 29
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 5
- 229910052594 sapphire Inorganic materials 0.000 abstract description 7
- 239000010980 sapphire Substances 0.000 abstract description 7
- 239000010408 film Substances 0.000 description 40
- 238000002248 hydride vapour-phase epitaxy Methods 0.000 description 17
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 16
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 15
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 11
- 229910052738 indium Inorganic materials 0.000 description 10
- 229910052733 gallium Inorganic materials 0.000 description 9
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 8
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 7
- 230000005693 optoelectronics Effects 0.000 description 7
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 6
- 229910052796 boron Inorganic materials 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 6
- 229910002704 AlGaN Inorganic materials 0.000 description 5
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 5
- 238000005229 chemical vapour deposition Methods 0.000 description 4
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 4
- 238000001451 molecular beam epitaxy Methods 0.000 description 4
- 229910052566 spinel group Inorganic materials 0.000 description 4
- 229910052984 zinc sulfide Inorganic materials 0.000 description 4
- 229920000742 Cotton Polymers 0.000 description 3
- 238000002441 X-ray diffraction Methods 0.000 description 3
- 239000000956 alloy Substances 0.000 description 3
- 229910045601 alloy Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005121 nitriding Methods 0.000 description 3
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000000879 optical micrograph Methods 0.000 description 3
- UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N Hydrogen Chemical compound [H][H] UFHFLCQGNIYNRP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 2
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 2
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000001257 hydrogen Substances 0.000 description 2
- 229910052739 hydrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 2
- 125000004433 nitrogen atom Chemical group N* 0.000 description 2
- 230000006911 nucleation Effects 0.000 description 2
- 238000010899 nucleation Methods 0.000 description 2
- 230000005701 quantum confined stark effect Effects 0.000 description 2
- 238000000926 separation method Methods 0.000 description 2
- VLCQZHSMCYCDJL-UHFFFAOYSA-N tribenuron methyl Chemical compound COC(=O)C1=CC=CC=C1S(=O)(=O)NC(=O)N(C)C1=NC(C)=NC(OC)=N1 VLCQZHSMCYCDJL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910018072 Al 2 O 3 Inorganic materials 0.000 description 1
- GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N Gallium Chemical compound [Ga] GYHNNYVSQQEPJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910020068 MgAl Inorganic materials 0.000 description 1
- 208000012868 Overgrowth Diseases 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N atomic oxygen Chemical compound [O] QVGXLLKOCUKJST-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 1
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 1
- 230000001627 detrimental effect Effects 0.000 description 1
- UPWPDUACHOATKO-UHFFFAOYSA-K gallium trichloride Chemical compound Cl[Ga](Cl)Cl UPWPDUACHOATKO-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 1
- 238000001534 heteroepitaxy Methods 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 239000001301 oxygen Substances 0.000 description 1
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000059 patterning Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 230000001737 promoting effect Effects 0.000 description 1
- 230000006798 recombination Effects 0.000 description 1
- 238000005215 recombination Methods 0.000 description 1
- JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N urethane group Chemical group NC(=O)OCC JOYRKODLDBILNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
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- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
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- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
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- C30B29/406—Gallium nitride
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- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
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- H01L21/02367—Substrates
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- H01L21/02538—Group 13/15 materials
- H01L21/0254—Nitrides
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Abstract
Description
본 출원은 평면의 반극성 갈륨 질화물(planar semi-polar gallium nitride)의 성장 기술에 관련된다.
관련 출원에 대한 상호 참조
본 출원은 35 U.S.C. 119(e) 규정 아래에서 다음의 공동-계류 중이고 공동-양수된 미국 특허 출원의 이익을 주장한다:
Troy J. Baker, Benjamin A. Haskell, Paul T. Fini, Steven P. DenBaars, James S. Speck, and Shuji Nakamura에 의해 2005년 3월 10일 출원된, "TECHNIQUE FOR THE GROWTH OF PLANAR SEMI-POLAR GALLIUM NITRIDE,"라는 제목의 미국 예비 특허 출원 번호 60/660,283 (대리인 정리 번호 30794.128-US-P1);
상기 출원은 여기에 참조에 의하여 통합된다.
본 출원은 다음의 공동 계류 중이고 공동-양수된 출원에 관련된다:
Robert M. Farrell Troy J. Baker, Arpan Chakraborty, Benjamin A. Haskell, P. Morgan Pattison, Rajat Sharma, Umesh K. Mishra, Steven P. DenBaars, James S. Speck, and Shuji Nakamura에 의해 2005년 6월 1일 출원된, "TECHNIQUE FOR THE GROWTH AND FABRICATION OF SEMIPOLAR (Ga,Al,In,B)N THIN FILMS, HETEROSTRUCTURES, AND DEVICES,"라는 제목으로 미국 예비 특허 출원 번호 60/686,244 (대리인 정리 번호 30794.140-US-P1 (2005-668));
Troy J. Baker, Benjamin A. Haskell, James S. Speck, and Shuji Nakamura에 의해 2005년 7월 13일 출원된, "LATERAL GROWTH METHOD FOR DEFECT REDUCTION OF SEMIPOLAR NITRIDE FILMS,"라는 제목의 미국 예비 특허 출원 번호 60/698,749 (대리인 정리 번호 30794.141-US-P1 (2005- 672));
Michael Iza, Troy J. Baker, Benjamin A. Haskell, Steven P. DenBaars, and Shuji Nakamura에 의해 2005년 9월 9일 출원된, "METHOD FOR ENHANCING GROWTH OF SEMIPOLAR (Ga,Al,In,B)N VIA METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION,"라는 제목의 미국 예비 특허 출원 번호 60/715,491 (대리인 정리 번호 30794.144-US-P1 (2005-722));
John F. Kaeding, Michael Iza, Troy J. Baker, Hitoshi Sato, Benjamin A. Haskell, James S. Speck, Steven P. DenBaars, and Shuji Nakamura에 의해 2006년 1월 20일 출원된, "METHOD FOR IMPROVED GROWTH OF SEMIPOLAR (Ga,Al,In,B)N,"라는 제목의 미국 예비 특허 출원 번호 60/760,739 (대리인 정리 번호 30794.150-US-P1 (2006-126));
Hitoshi Sato, John F. Keading, Michael Iza, Troy J. Baker, Benjamin A. Haskell, Steven P. DenBaars, and Shuji Nakamura에 의해 2006년 1월 20일 출원된, "METHOD FOR ENHANCING GROWTH OF SEMIPOLAR (Ga,Al,In,B)N VIA METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION,"라는 제목의 미국 예비 특허 출원 번호 60/760,628 (대리인 정리 번호 30794.159-US-P1 (2006-178));
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Michael D. Craven and James S. Speck에 의해 2003년 4월 15일 출원된, "NON-POLAR A-PLANE GALLIUM NITRIDE THIN FILMS GROWN BY METALORGANIC CHEMICAL VAPOR DEPOSITION,"라는 제목의 미국 실용 특허 출원 번호 10/413,691 (대리인 정리번호 30794.100-US-U1 (2002-294-2)), 이 출원은 35 U.S. C. Section 119(e)의 규정 아래 Michael D. Craven, Stacia Keller, Steven P. DenBaars, TaI Margalith, James S. Speck, Shuji Nakamura, and Umesh K. Mishra에 의해 2002년 4월 15일 출원된 "NON-POLAR GALLIUM NITRIDE BASED THIN FILMS AND HETEROSTRUCTURE MATERIALS,"라는 제목으로 미국 예비 특허 출원 번호 60/372,909 (대리인 정리번호 30794.95-US-P1 (2002-294/301/303))의 이익을 주장한다;
Michael D. Craven, Stacia Keller, Steven P. DenBaars, TaI Margalith, James S. Speck, Shuji Nakamura, and Umesh K. Mishra에 의해 2003년 4월 15일 출원된, "NON-POLAR (Al,B,In,Ga)N QUANTUM WELL AND HETEROSTRUCTURE MATERIALS AND DEVICES,"라는 제목의 미국 실용 특허 출원 번호 10/413,690 (대리인 정리번호 30794.101-US-U1 (2002-301-2)), 이 출원은 35 U.S. C. Section 119(e)의 규정 아래 Michael D. Craven, Stacia Keller, Steven P. DenBaars, TaI Margalith, James S. Speck, Shuji Nakamura, and Umesh K. Mishra에 의해 2002년 4월 15일 출원된 "NON-POLAR GALLIUM NITRIDE BASED THIN FILMS AND HETEROSTRUCTURE MATERIALS,"라는 제목의 미국 예비 특허 출원 번호 60/372,909 (대리인 정리번호 30794.95-US-P1 (2002-294/301/303))의 이익을 주장한다;
Michael D. Craven, Stacia Keller, Steven P. DenBaars, TaI Margalith, James S. Speck, Shuji Nakamura, and Umesh K. Mishra에 의해 2003년 4월 15일 출원된 "DISLOCATION REDUCTION TN NON-POLAR GALLIUM NITRIDE THIN FILMS,"라는 제목으로 미국 실용 특허 출원 번호 10/413,913 (대리인 정리번호 30794.102-US-U1 (2002-303-2)), 이 출원은 35 U.S. C. Section 119(e)의 규정 아래 Michael D. Craven, Stacia Keller, Steven P. DenBaars, TaI Margalith, James S. Speck, Shuji Nakamura, and Umesh K. Mishra에 의해 2002년 4월 15일 출원된, "NON-POLAR GALLIUM NITRIDE BASED THIN FILMS AND HETEROSTRUCTURE MATERIALS,"라는 제목의 미국 예비 특허 출원 번호 60/372,909 (대리인 정리번호 30794.95-US-P1)의 이익을 주장한다;
Michael D. Craven and Steven P. DenBaars에 의해 2003년 12월 11일 출원된, "NONPOLAR (Al, B, In, Ga)N QUANTUM WELLS,"라는 제목의 국제 특허 출원 번호 PCT/US03/39355 (대리인 정리번호 30794.104-WO-01 (2003- 529-1)), 이 출원은 위에서 확인된 특허 출원 번호 PCT/US03/21918 (30794.93-WO-U1), PCT/US03/21916 (30794.94-WO-U1), 10/413,691 (30794.100-US-U1), 10/413,690 (30794.101-US-U1), 10/413,913 (30794.102-US-U1)의 일부 계속 출원(CIP: continuation-in-part)이며, 이들 모든 출원은 참조에 의하여 여기에 통합된다.
관련 기술
갈륨 질화물(GaN) 및 알루미늄과 인듐을 포함하는 갈륨 질화물의 3원, 4원 화합물(AlGaN, InGaN, AlInGaN)의 유용성은 가시영역 및 자외선 영역의 광전자 소자 및 고-전압 전자 소자의 제조에 대하여 잘 확립되어 있다. 이 소자들은 통상 분자빔 에피택시(molecular beam epitaxy: MBE), 유기금속 화학기상증착(metalorganic chemical vapor deposition: MOCVD), 수소화물 기상 에피택시(hydride vapor phase epitaxy: HVPE)를 포함하는 증착 기술을 사용하여 에피택셜하게 성장된다.
GaN과 그 합금들은 육방정 우르차이트(hexagonal wurtzite) 결정 구조에서 가장 안정적이다. 상기 결정 구조는 서로에 대하여 120° 회전된 두 개의 (또는 세 개의) 등가의 기준면 축들(basal plane axes, a-축들)에 의하여 기술되는데, 이 축들은 모두 유일한 c-축에 대하여 수직이다. Ⅲ 족과 질소 원자들이 결정의 c-축을 따라 번갈아서 c-면을 차지한다. 우르차이트 구조에 포함된 대칭 구성요소들은 Ⅲ-질화물들이 c-축을 따라 벌크 자발 분극(bulk spontaneous polarization)을 가지는 것을 나타내며, 우르차이트 구조는 압전 분극(piezoelectric polarization)을 보여준다.
전자 및 광전자 소자들을 위한 현재의 질화물 기술은 극성의 c-방향을 따라 성장된 질화물 필름을 채용한다. 그러나 Ⅲ-질화물 계의 광전자 및 전자 소자들에서 일반적인 c-면의 양자 우물 구조는 강한 압전 분극 및 자발 분극의 존재에 기인하는 바람직하지 않은 양자-가둠 슈타르크 효과(quantum-confined Stark effect: QCSE)를 겪는다. c-방향을 따른 강한 내부 전기장(built-in electric fields)은 전자와 홀의 공간적인 분리를 야기시켜서, 결과적으로 제한된 케리어 재결합 효율, 감소된 진동자 강도(oscillator strength) 및 적색-편이(red-shifted) 발광을 일으킨다.
GaN 광전자 소자에서 자발 및 압전 분극 효과를 제거하기 위한 한 가지 접근은 소자를 결정의 비극성(non-polar) 면들 위에 성장시키는 것이다. 그러한 면들은 같은 수의 Ga 및 N 원자들을 포함하고 전하-중성(charge-neutral)이다. 더욱이, 연속하는 비극성 층들은 서로 동등하며 따라서 벌크 결정은 성장 방향을 따라 분극되지 않는다. GaN에서 대칭-등가(symmetry-equivalent)의 비극성 면들의 두 개의 그러한 족들(families)은 집합적으로 a-면으로 알려진 족과 집합적으로 m-면으로 알려진 족이다. 불행하게도, 예를 들면, 위의 상호-참조된 출원에 기술된 바와 같은 캘리포니아 대학(University of California)의 연구원들에 의하여 이루어진 진보에도 불구하고, 비극성의 GaN의 성장은 해결해야 할 어려움이 남아있으며 Ⅲ-질화물 산업에서 아직 널리 채용되고 있지 않다.
GaN 광전자 소자에서 분극 효과를 감소시키거나 가능한 제거하기 위한 다른 접근은 소자를 결정의 반극성 면들(semi-polar planes) 위에 성장시키는 것이다. "반극성"이라는 용어는 두 개의 0이 아닌 h, i 또는 k 밀러 지수 및 0이 아닌 l 밀러 지수 모두를 갖는 넓은 범위의 면들을 지칭하는데 사용될 수 있다. c-면의 GaN 헤테로에피택시(heteroepitaxy)에서 일반적으로 관찰되는 반극성 면들의 예의 일부는 , 및 면을 포함하며, 이들은 피트(pit)의 패싯(facet)에서 발견된다. 이들 면들은 또한 평면의 필름의 형태로 발명자들이 성장시킨 것과 동일한 면들일 수 있다. 우르차이트 결정 구조에서 반극성 면들의 다른 예들은, 다음에 제한되는 것은 아니지만, , 및 를 포함한다. 질화물 결정의 분극 벡터(polarization vector)는 이러한 면들 내에 있지도 않고 또는 이러한 면들에 수직하지도 않으며, 오히려 면들의 표면 수직(surface normal)에 대하여 기울어진 각도에 존재한다. 예를 들면, 및 면들은 c-면에 대하여 각각 62.98° 및 32.06°이다.
분극의 다른 원인은 압전 분극(piezoelectric polarization)이다. 이것은 물질이 압축 또는 신장 스트레인을 경험할 때 발생하며, 마찬가지로 유사하지 않은 조성의 (그러므로 다른 격장 상수의) (Al, In, Ga, B)N 층들이 질화물 헤테로구조에서 성장될 때 발생할 수 있다. 예를 들면, GaN 템플릿(template) 위의 얇은 AlGaN 층은 내면(in-plane) 인장 스트레인(tensile strain)을 가지고, GaN 템플릿 위의 얇은 InGaN 층은 내면 압축 스트레인(compressive strain)을 가질 것이며, 둘다 GaN에 대한 격자 정합(lattice matching)에 기인한다. 그러므로, GaN 위의 InGaN 양자 우물에 대하여, 압전 분극은 InGaN과 GaN의 자발 분극의 경우와는 반대 방향을 향할 것이다. GaN에 격자 정합된 AlGaN 층에 대하여, 압전 분극은 AlGaN과 GaN의 자발 분극의 경우와 동일한 방향을 향할 것이다.
c-면의 질화물에 대한 반극성 면들을 사용하는 것의 이점은 전체 분극이 감소될 것이라는 것이다. 특정 면 위의 특정 합금 조성에 대하여 제로 분극이 있을 수도 있다. 그러한 시나리오는 장래의 과학 논문에서 상세하게 논의될 것이다. 중요한 점은 c-면의 질화물 구조와 비교하여 분극이 감소될 것이라는 점이다.
GaN의 벌크 결정은 사용 가능하지 않으며, 그러므로 후속 소자의 재성장을 위한 표면을 제공하도록 결정을 단순히 자르는 것은 불가능하다. 일반적으로, GaN 필름은 처음에는 헤테로에피택셜하게, 즉, GaN에 적당한 격자 정합을 제공하는 이종의 기판 위에 성장된다.
반극성의 GaN 면이 패터닝된 c-면 방향의 스트라이프의 측벽에서 증명되었다. Nishizuka 등이 이 기술에 의하여 InGaN 양자 우물을 성장시켰다. (Nishizuka, K., Applied Physics Letters, Vol. 85, No. 15, 11 October 2004을 보라.) 이들은 또한 반극성의 면의 내적(internal) 양자 효율이 c-면의 것보다 더 높은 것을 증명하였으며 이것은 감소된 분극에서 기인한다.
그러나 반극성의 면을 생성하는 이 방법은 본 발명의 것과 매우 다르다; 상기 방법은 에피택셜 측방향 과성장(epitaxial lateral overgrowth: ELO)에서 생성된 결과물이다. ELO는 GaN 및 다른 반도체들에서 결함을 감소시키는데 사용된다. 그것은 마스크 물질, GaN에 대하여는 종종 SiO2의 스트라이프를 패터닝하는 것을 포함한다. GaN은 마스크 사이의 열린 윈도우로부터 성장하며 그 후 마스크 위로 성장한다. 연속적인 필름을 형성하기 위하여, GaN은 그 후 측면 성장에 의하여 합체된다. 이들 스트라이프들의 패싯은 성장 변수들에 의하여 조절될 수 있다. 성장이 스트라이프 합체 전에 멈추면, 적은 영역의 반극성의 면이 노출될 수 있다. 표면적은 기껏해야 10㎛의 넓이일 수 있다. 더욱이, 반극성 면은 기판 표면에 평행하지 않을 것이다. 이에 더하여, 표면적은 반극성의 LED로 공정을 진행하기에 너무 적다. 더욱이, 경사진 패싯 위에 소자 구조를 형성하는 것은 정상적인 면 위에 그런 소자들을 형성하는 것보다 상당히 더 어렵다.
본 발명은 반극성의 질화물의 평면 필름의 성장에 대한 기술을 기술하며, 여기에서 넓은 면적의 (Al, In, Ga)N이 기판 표면에 평행하다. 예를 들면, 샘플들은 반극성의 질화물의 성장을 위하여 예전에 실험된 수 마이크로미터 넓이의 면적에 비교하여 종종 10mm*10mm 또는 2 인치 직경의 기판 위에 성장된다.
자발 분극 또는 압전 분극을 감소시킬 수 있는 평면의 반극성 질화물 필름 및 그 제조방법을 제공하는 것이다.
발명의 요약
본원 발명은 평면의 반극성 질화물 필름은 자발 분극 또는 압전 분극이 감소되거나 제거되며, 향상된 성능을 갖는 광전자 소자 또는 전자 소자의 제조를 위하여 사용될 수 있다.
다음의 바람직한 실시예의 기술에서, 발명이 실시될 수 있는 특정 실시예를 도시하고 실시예의 일부를 구성하는 첨부된 도면을 참조하였다. 또한, 본 발명의 범위를 벗어나지 않으면서 다른 실시예들이 사용될 수 있고 구조적인 변화가 만들어질 수 있음이 이해되어야 할 것이다.
개관
예를 들면, GaN의 , 및 면과 같은 반극성의 질화물 반도체의 성장은 우르차이트-구조의 Ⅲ-질화물 소자 구조들에서 분극 효과를 감소시키는 수단을 제공한다. 반도체 용어 질화물은 (Ga,Al,ln,B)N 및 이들 반도체들의 임의의 합금 조성을 지칭한다. 현재의 질화물 소자들은 극성의 [0001] c-방향으로 성장되며, 이것은 수직 소자들에서 주요 도전(conduction) 방향을 따라 전하 분리를 가져온다. 결과적인 분극장들(polarization fields)은 현재의 최신 기술의 광전자 소자들의 성능을 열화시킨다. 반극성의 방향을 따른 이들 소자들의 성장은 도전 방향을 따른 내부 전기장을 감소시킴에 의하여 소자 성능을 현저하게 향상시킬 수 있다.
지금까지, 소자층, 템플릿 또는 소자 성장의 기판으로서 사용되기에 적절하도록 반극성의 질화물을 큰 면적, 고품질의 필름로 성장시키기 위한 방법이 존재하지 않았다. 본 발명의 새로운 특징은 반극성의 질화물이 평면의 필름으로서 성장될 수 있는 것을 확립한 것이다. 증거로서, 발명자들은 GaN의 , 및 면 필름을 성장시켰다. 그러나 이 아이디어의 범위는 이들 예들에만 한정되지 않는다. 이 개념은 모든 질화물의 반극성의 필름에 관련된다.
기술적인 기술
본 발명은 넓은 면적의 반극성의 질화물이 기판 표면에 평행한, 평면의 질화물 필름을 성장시키기 위한 방법을 포함한다. 이것의 예들은 및 GaN 필름들이다. 이 특정한 실시예에서, MgAl2O4 스피넬(spinel) 기판이 성장 공정에 사용된다. 스피넬이 GaN 성장을 위한 적절한 방향으로 미스컷되는 것이 매우 중요하다. 축 위에 있고(on-axis) <001> 방향을 향하여 미스컷된 {100} 스피넬 위에 성장되는 GaN은 서로에게 90도인 두 도메인을 가질 것이다. 이것은 도 1a(미스컷 아님)과 도 1b(<010>에서 미스컷)에 보이는 (100) 스피넬 위의 GaN의 광학 현미경 사진에서 명백하다.
그러나 도 1c(<011>에서 미스컷)의 (100) 스피넬 위의 GaN의 광학 현미경 사진에서 보이는 바와 같이, 단결정 GaN이 <011>에서 미스컷된 {100} 스피넬 위에서 성장한다. <011> 방향을 향한 미스컷을 가진 (100) 스피넬 위에 성장된 필름이 단결정이고, <010> 방향을 향한 미스컷을 가진 경우 두 개의 도메인을 가지는 것을 증명하기 위하여 X-선 회절(XRD)이 사용되었다.
또한, GaN과 GaN의 평면 필름이 m-면의 사파이어, Al2O3 위에 성장되었다. 반도체 성장에서 하나의 기판이 동일한 에피택셜 물질의 두 개의 구별되는 면의 성장을 위하여 사용되는 것은 일반적이지 않다. 그러나 GaN 성장 전에 다른 온도에서 암모니아를 흘림으로써 면이 재연가능하게 선택될 수 있다. 다시, XRD가 필름의 단결정 특성을 확인하는데 사용되었다.
그러므로 평면의 반극성 질화물 필름의 4가지 예들이 실험적으로 증명되었다:
이들 필름들은 산타 바바라의 캘리포니아 대학(University of California)의 Shuji Nakamura의 실험실에 있는 HVPE 시스템을 사용하여 성장되었다. 과 모두를 위한 성장 변수의 일반적인 개요는 10 Torr와 1000 Torr 사이의 압력과 900℃와 1200℃ 사이의 온도이다. 이 넓은 범위의 압력은 이들 면들이 특정된 기판 위에 성장될 때 매우 안정함을 보여준다. 에피택셜 관계들은 반응기의 종류에 관계없이 유효하여야 한다. 그러나 이들 면들을 성장시키기 위한 반응기의 조건들은 개별적인 반응기와 성장 방법 (예를 들면, HVPE, MOCVE 및 MBE)에 따라 변화될 것이다.
공정 단계들
도 2는 본 발명의 바람직한 실시예의 공정 단계들을 도시한 흐름도이다. 특정적으로, 이들 공정 단계들은 넓은 면적의 평면의 반극성 질화물 필름이 기판의 표면에 평행한, 평면의 반극성 질화물 필름을 성장시키기 위한 방법을 포함한다.
블록 10은 기판을 준비하기 위한 선택적인 단계를 나타낸다. 예를 들면, 준비단계는 기판의 미스컷을 수행하는 것을 포함할 수 있다. GaN의 성장을 위하여, <100> 방향으로 (<010> 과 <011>을 포함하는) 미스컷을 가진 (100) 스피넬 기판이 사용될 수 있다. GaN의 성장을 위하여, 온-축의 (110) 스피넬 기판이 사용된다. (110) 스피넬은 임의의 방향으로 미스컷을 가질 수도 있고 가지지 않을 수도 있지만, (100) 스피넬 위에 GaN을 성장시키기 위하여 미스컷은 필요하지 않다.
블록 12는 HVPE 반응기로 기판을 로딩하는 단계를 나타낸다. 반응기는 산소를 제거하기 위하여 적어도 9E-2 Torr로 진공되며, 그 후 질소로 다시 채워진다.
블록 14는 퍼니스를 켜고 기판의 표면의 질화를 촉진시키기 위한 조건 아래 반응기의 온도를 높이는(ramping) 단계를 나타낸다.
블록 16은 가스를 흘리는 단계를 나타낸다. 공정은 일반적으로 질소, 수소 및/또는 암모니아를 대기압에서 기판 위로 흘린다.
블록 18은 반응기의 압력을 감소시키는 단계를 나타낸다. 퍼니스의 설정온도는 1000℃이고, 반응기가 이 온도에 도달하면, 반응기의 압력이 62.5 Torr로 감소된다.
블록 20은 GaN 성장을 수행하는 단계를 나타낸다. 압력이 감소된 후에, 암모니아 흐름은 1.0 slpm (standard liters per minute)으로 설정되고, GaN의 성장을 시작하기 위하여 75 sccm(standard cubic centimeters per minute)의, Ga (갈륨) 위의 HCl(염화 수소) 흐름이 개시된다.
블록 22는 반응기를 냉각시키는 단계를 나타낸다. 20분에서 60분의 GaN 성장 시간 후에 HCl 흐름이 멈추어지고, 반응기는 GaN 필름을 보호하기 위하여 암모니아를 흘리면서 냉각된다.
이들 단계들의 최종 결과는 넓은 표면적(적어도 10mm*10mm 또는 2 인치 직경의)의 평면의 반극성 질화물 필름이 기판의 표면에 평행한, 평면의 반극성 질화물 필름을 포함한다. 비록 공정 단계들이 스피넬 기판과 결합되어 기술되었지만 m-면의 사파이어가 또는 GaN을 성장시키기 위하여 사용될 수 있다. 이 공정은 하나만 제외하고 위에서 기술된 바와 동일하다. GaN의 성장을 위하여 퍼니스 온도를 성장 온도까지 올리는 동안 암모니아가 흘려지며, 따라서 질화가 저온에서 일어난다. GaN을 선택하기 위하여 단지 수소와 질소가 램핑 온도 단계 동안 흘려진다. 기판은 그 후 성장 온도에서 암모니아 흐름으로 고온 질화되어야 한다.
HVPE 시스템을 사용하여 반극성의 필름이 성장된 후에, 블록 22는 MOCVD 또는 MBE를 사용하여 기판 위에 소자 층들을 성장시키는 단계를 나타낸다. 이 단계는 일반적으로 질화물 층을 n 형 또는 p 형으로 도핑하는 단계 및 재성장된 층에 하나 또는 몇 개의 양자 우물을 성장하는 단계를 포함한다. 이 단계에서 LED가 청정실에서 표준 LED 공정을 방법을 사용하여 만들어질 수 있다.
도 3은 HVPE에 의해 성장된 GaN 템플릿 위에 MOCVD에 의해 성장된 녹색 LED의 사진이다. 특정적으로, 템플릿은 앞에서 기술된 HVPE 성장 공정에 의하여 성장되며 LED 구조는 MOCVD에 의하여 성장된다. 이것이 제1의 GaN LED이다.
가능한 변경과 변용들
본 발명의 범위는 인용된 특정 예들보다 더 많은 것을 포함한다. 이 개념은 임의의 반극성의 평면 위의 모든 질화물에 관계된다. 예를 들면, 미스컷 (100) 스피넬 기판 위에 AlN, InN, AlGaN, InGaN 또는 AlInN을 성장시킬 수 있다. 다른 예들은 적절한 기판이 발견되면 질화물을 성장시킬 수 있는 것이다. 이들 예들과 다른 가능성들은 평면의 반극성 필름의 모든 이익들을 여전히 갖는다.
산타 바라라, 킬래포니아 대학의 Shuji Nakamura의 실험실에서 수행된 연구는 HVPE를 사용하여 이루어졌다; 그러나 또한, MOCVD 또는 MBE를 사용하여 질화물의 반극성의 평면들을 직접 성장키는 것이 가능하다. 비록 m-면 사파이어 위의 GaN의 예에서 보여진 바와 같이 변화할 수는 있더라도 에피택셜 관계들은 대부분의 성장 방법에 대하여 동일해야 한다. 예를 들면, MOCVD로 성장한 GaN LED는 HVPE 템플릿 없이 미스컷 (100) 스피넬 위에 직접 성장될 수 있다. 이 개념은 평면의 반극성 질화물 필름을 생성하는 임의의 성장 기술을 커버한다.
반응기 조건들은 반응기 유형과 디자인에 의해 변화할 것이다. 여기에 기술된 성장은 단지 반극성의 GaN의 성장을 위한 유용한 것으로 밝혀진 조건들 중에서 하나의 세트를 기술한 것일 뿐이다. 이들 필름들은 압력, 온도, 가스 흐름 등의 넓은 변수 공간 아래 성장할 수 있고, 이들 모두는 평면의 반극성 질화물 필름을 생성시킬 것이다.
성장 공정에서 변화시킬 수 있는 다른 단계들이 있다. 본 실시예의 반응기 조건에서 핵화층(nucleation layer)은 불필요한 것으로 발견되었다; 그러나 다른 반응기들에 대하여 핵화층을 사용하는 것은 필요하거나 필요하지 않을 수 있으며, 이것은 GaN 필름의 성장에서 일반적인 실시이다. 기판의 질화가 일부 필름들을 위하여 표면 모폴로지를 향상시키고, 다른 필름들을 위하여 실질적인 성장 면을 결정하는 것으로 또한 알려져 왔다. 그러나 이것은 임의의 특정한 성장 기술을 위하여 필요할 수도 있고, 필요하지 않을 수도 있다.
이점과 향상
종래의 실시는 표면에 수직인 c-면으로 GaN을 성장시키는 것이다. 이 면은 소자 성능에 유해한 자발 분극과 압전 분극을 갖는다. c-면 질화물 필름에 대한 반극성의 장점은 극성의 감소와 이에 연관된 일부 소자들을 위한 내적인 양자 효율의 증가이다. 소자에서 분극 효과를 완전히 제거하기 위하여 비극성 면들이 사용될 수 있다. 그러나 이들 면들은 성장시키기 매우 어려우며, 그러므로 비극성 질화물 소자들은 현재 생산되고 있지 않다. 비극성 질화물 필름에 대한 반극성의 장점은 성장의 용이성이다. 반극성의 면들은 그들이 성장할 수 있는 넓은 변수 공간을 갖는다. 예를 들면, 비극성의 평면들은 대기압에서 성장하지 않지만 반극성의 평면들은 실험적으로 62.5 Torr로부터 760 Torr까지 성장하는 것이 증명되었으며, 이것보다 더 넓은 범위를 가지는 것이 가능할 수 있다. GaN은 낮은 압력에서 성장되지만, 압력이 760 Torr까지 증가하는 경우, 모든 다른 것들이 동일하다면, c-면의 GaN이 생성될 것이다. 이것은 두 면들에 대한 단위 셀의 윤곽에 관계될 수 있다. GaN의 다른 어려움은 InGaN 소자들을 위한 In의 통합에 있다. GaN에 대하여 In의 통합이 매우 순조로운 것으로 발견되었다.
ELO 측벽에 대한 평면의 반극성 필름의 장점은 LED 또는 다른 소자들로 공정이 진행될 수 있는 넓은 표면 면적이다. 다른 장점은 ELO 측벽 반극성의 평면의 경우와 달리 성장 표면이 기판 표면에 평행한 것이다
요약하면, 본 발명에서는 평면의 반극성 질화물 필름을 성장시키는 것을 확립하였다. 이것은 네 가지 분리된 경우에 대하여 실험적으로 확인되었다. 앞에서 논의된 장점들은 모든 평면의 반극성 필름에 대하여 관계될 것이다.
참조
다음의 문헌들이 참조에 의하여 여기에 통합될 것이다.
[1] Takeuchi, Tetsuya, Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 39, (2000), pp. 413-416. 이 논문은 반극성 GaN 필름의 극성에 관한 이론적인 연구이다.
[2] Nishizuka, K., Applied Physics Letters, Vol. 85 No. 15, 11 October 2004. 이 논문은 ELO 물질의 GaN 측벽의 연구이다.
[3] T. J. Baker, B. A. Haskell, F. Wu, J. S. Speck, and S. Nakamura, "Characterization of Planar Semipolar Gallium Nitride Films on Spinel Substrates," Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 44, No. 29, (2005), L920.
[4] A. Chakraborty, T. J. Baker, B. A. Haskell, F. Wu, J. S. Speck, S. P. Denbaars, S. Nakamura, and U. K. Mishra, "Milliwatt Power Blue InGaN/GaN Light- Emitting Diodes on Semipolar GaN Templates," Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 44, No. 30 (2005), L945.
[5] R. Sharma, P. M. Pattison, H. Masui, R. M. Farrell, T. J. Baker, B. A.Haskell, F. Wu, S. P. Denbaars, J. S. Speck, and S. Nakamura, "Demonstration of a Semipolar (10-1-3) InGaN/GaN Green Light Emitting Diode," Appl. Phys. Lett. 87, 231110 (2005).
[6] T. J. Baker, B. A. Haskell, F. Wu, J. S. Speck, and S. Nakamura, "Characterization of Planar Semipolar Gallium Nitride Films on Sapphire Substrates," Japanese Journal of Applied Physics, Vol. 45, No. 6, (2006), L154.
결론
이것으로 본 발명의 바람직한 실시예의 기술을 마친다. 본 발명의 하나 또는 그 이상의 실시예들의 앞의 기술은 도해와 기술의 목적으로 제공되었다. 이것은 한정적이거나 본 발명을 기술된 정확한 형태로 제한하는 것으로 의도되지 않는다. 많은 변용들과 변화들이 위의 교시에 비추어 가능하다. 발명의 범위가 이 상세한 기술에 의해서가 아니라 오히려 부가된 청구항들에 의하여 제한되는 것으로 의도된다.
Claims (16)
- 반극성(semi-polar) 질화물 필름의 표면이 평탄하고 기판의 반극성 평면의 표면에 평행하도록, 상기 기판의 상기 반극성 평면 위에서 성장된 상기 반극성 질화물 필름을 포함하는 질화물 필름.
- 제1 항에 있어서, 상기 반극성 필름은 c-평면 극성 질화물 필름 위에서 성장된 소자층들과 비교하여 상기 반극성 필름 위에서 성장된 소자층들에서 분극(polarization)을 감소시키고, 상기 분극은 상기 소자층들로부터 기인하고, 상기 필름들은 비유사한 조성을 갖고 따라서 다른 격자 상수들을 갖는 질화물 필름.
- 제1 항에 있어서, 상기 반극성 질화물 필름은 {10-11} 질화물, {10-13} 질화물, {10-14} 질화물, {11-22} 질화물 또는 {20-21} 질화물인 질화물 필름.
- 제1 항에 있어서, 상기 기판은 반극성 기판인 질화물 필름.
- 제1 항에 있어서, 상기 기판의 상기 반극성 평면의 상기 표면을 생성하기 위하여 상기 기판은 특정한 방향들로 미스컷(miscut)된 {100} 기판인 질화물 필름.
- 제5 항에 있어서, 상기 특정 방향들은 <001>, <010> 또는 <011> 방향을 포함하는 질화물 필름.
- 제1 항에 있어서, 상기 반극성 질화물 필름은 특정 방향들로 미스컷된 (100) 스피넬 기판 위에서 성장된 {10-11} 질화물인 질화물 필름.
- 제7 항에 있어서, 상기 특정 방향들은 <001>, <010> 또는 <011> 방향을 포함하는 질화물 필름.
- 반극성 질화물 필름의 표면이 평탄하고 기판의 반극성 평면의 표면에 평행하도록, 상기 기판의 상기 반극성 평면 위에서 상기 반극성 질화물 필름을 성장시키는 단계를 포함하는 질화물 필름의 성장 방법.
- 제9 항에 있어서, 상기 반극성 필름은 c-평면 극성 질화물 필름 위에서 성장된 소자층들과 비교하여 상기 반극성 필름 위에서 성장된 소자층들에서 분극을 감소시키고, 상기 분극은 상기 소자층들로부터 기인하고, 상기 필름들은 비유사한 조성을 갖고 따라서 다른 격자 상수들을 갖는 질화물 필름의 성장 방법.
- 제9 항에 있어서, 상기 반극성 질화물 필름은 {10-11} 질화물, {10-13} 질화물, {10-14} 질화물, {11-22} 질화물 또는 {20-21} 질화물인 질화물 필름의 성장 방법.
- 제9 항에 있어서, 상기 기판은 반극성 기판인 질화물 필름의 성장 방법.
- 제9 항에 있어서, 상기 기판의 상기 반극성 평면의 상기 표면을 생성하기 위하여 상기 기판은 특정한 방향들로 미스컷된 {100} 기판인 질화물 필름의 성장 방법.
- 제13 항에 있어서, 상기 특정 방향들은 <001>, <010> 또는 <011> 방향을 포함하는 질화물 필름의 성장방법.
- 제9 항에 있어서, 상기 반극성 질화물 필름은 특정 방향으로 미스컷된 (100) 스피넬 기판 위에서 성장된 {10-11} 질화물인 질화물 필름의 성장 방법.
- 제15 항에 있어서, 상기 특정 방향들은 <001>, <010> 또는 <011> 방향을 포함하는 질화물 필름의 성장 방법.
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US66028305P | 2005-03-10 | 2005-03-10 | |
US60/660,283 | 2005-03-10 | ||
PCT/US2006/008595 WO2006099138A2 (en) | 2005-03-10 | 2006-03-10 | Technique for the growth of planar semi-polar gallium nitride |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020077023104A Division KR101145755B1 (ko) | 2005-03-10 | 2006-03-10 | 평면의 반극성 갈륨 질화물의 성장을 위한 기술 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR20110044332A KR20110044332A (ko) | 2011-04-28 |
KR101145753B1 true KR101145753B1 (ko) | 2012-05-16 |
Family
ID=36992267
Family Applications (2)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020077023104A KR101145755B1 (ko) | 2005-03-10 | 2006-03-10 | 평면의 반극성 갈륨 질화물의 성장을 위한 기술 |
KR1020117007416A KR101145753B1 (ko) | 2005-03-10 | 2006-03-10 | 평면의 반극성 갈륨 질화물의 성장을 위한 기술 |
Family Applications Before (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020077023104A KR101145755B1 (ko) | 2005-03-10 | 2006-03-10 | 평면의 반극성 갈륨 질화물의 성장을 위한 기술 |
Country Status (8)
Country | Link |
---|---|
US (4) | US7220324B2 (ko) |
EP (2) | EP2315253A1 (ko) |
JP (2) | JP5706601B2 (ko) |
KR (2) | KR101145755B1 (ko) |
CN (2) | CN101845670A (ko) |
HK (1) | HK1112109A1 (ko) |
TW (2) | TWI453813B (ko) |
WO (1) | WO2006099138A2 (ko) |
Families Citing this family (161)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US7504274B2 (en) | 2004-05-10 | 2009-03-17 | The Regents Of The University Of California | Fabrication of nonpolar indium gallium nitride thin films, heterostructures and devices by metalorganic chemical vapor deposition |
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JP5706601B2 (ja) * | 2005-03-10 | 2015-04-22 | ザ リージェンツ オブ ザ ユニバーシティ オブ カリフォルニア | 平坦な半極性窒化ガリウムの成長技術 |
TWI455181B (zh) | 2005-06-01 | 2014-10-01 | Univ California | 半極性(Ga,Al,In,B)N薄膜、異質結構及裝置之生長及製造技術 |
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US8634442B1 (en) | 2009-04-13 | 2014-01-21 | Soraa Laser Diode, Inc. | Optical device structure using GaN substrates for laser applications |
US8254425B1 (en) | 2009-04-17 | 2012-08-28 | Soraa, Inc. | Optical device structure using GaN substrates and growth structures for laser applications |
US8294179B1 (en) | 2009-04-17 | 2012-10-23 | Soraa, Inc. | Optical device structure using GaN substrates and growth structures for laser applications |
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- 2006-03-10 TW TW095108150A patent/TWI453813B/zh active
- 2006-03-10 WO PCT/US2006/008595 patent/WO2006099138A2/en active Application Filing
- 2006-03-10 CN CN201010111379A patent/CN101845670A/zh active Pending
- 2006-03-10 KR KR1020117007416A patent/KR101145753B1/ko active IP Right Grant
- 2006-03-10 CN CN2006800076945A patent/CN101138091B/zh active Active
- 2006-03-10 TW TW103127367A patent/TW201443990A/zh unknown
-
2007
- 2007-01-09 US US11/621,482 patent/US7704331B2/en active Active
-
2008
- 2008-06-11 HK HK08106432.5A patent/HK1112109A1/xx not_active IP Right Cessation
-
2010
- 2010-02-01 US US12/697,961 patent/US8128756B2/en active Active
-
2012
- 2012-01-24 US US13/357,432 patent/US8524012B2/en active Active
-
2014
- 2014-08-11 JP JP2014163558A patent/JP2014222780A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US20040251471A1 (en) | 2001-10-26 | 2004-12-16 | Robert Dwilinski | Light emitting element structure using nitride bulk single crystal layer |
US20050214992A1 (en) | 2002-12-16 | 2005-09-29 | The Regents Of The University Of California | Fabrication of nonpolar indium gallium nitride thin films, heterostructures and devices by metalorganic chemical vapor deposition |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP1869707B1 (en) | 2012-06-13 |
US8524012B2 (en) | 2013-09-03 |
KR101145755B1 (ko) | 2012-05-16 |
KR20070120982A (ko) | 2007-12-26 |
KR20110044332A (ko) | 2011-04-28 |
WO2006099138A2 (en) | 2006-09-21 |
US7704331B2 (en) | 2010-04-27 |
JP2014222780A (ja) | 2014-11-27 |
CN101138091A (zh) | 2008-03-05 |
US7220324B2 (en) | 2007-05-22 |
TW200735203A (en) | 2007-09-16 |
TWI453813B (zh) | 2014-09-21 |
US20070111531A1 (en) | 2007-05-17 |
TW201443990A (zh) | 2014-11-16 |
US20100133663A1 (en) | 2010-06-03 |
EP2315253A1 (en) | 2011-04-27 |
JP2008533723A (ja) | 2008-08-21 |
JP5706601B2 (ja) | 2015-04-22 |
CN101138091B (zh) | 2010-05-19 |
WO2006099138A3 (en) | 2006-11-23 |
HK1112109A1 (en) | 2008-08-22 |
CN101845670A (zh) | 2010-09-29 |
US20060205199A1 (en) | 2006-09-14 |
EP1869707A4 (en) | 2009-02-25 |
EP1869707A2 (en) | 2007-12-26 |
US8128756B2 (en) | 2012-03-06 |
US20120119222A1 (en) | 2012-05-17 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A107 | Divisional application of patent | ||
A201 | Request for examination | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20150427 Year of fee payment: 4 |
|
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|
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|
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Payment date: 20190429 Year of fee payment: 8 |