KR101144299B1 - Linear motor and apparatus for transferring substrate using the same - Google Patents

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김효원
김용선
배광명
정현응
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Abstract

PURPOSE: A linear motor and a substrate transporting apparatus using thereof are provided to prevent the lifetime decrease of the motor by preventing the deformation of a guiding device. CONSTITUTION: A substrate transporting apparatus comprises the following: a main body including an arm device with plural arms for transporting substrates; a first installation device(11) movably combined to the main body to cross the movement direction of the arm device; a moving unit for moving the main body; a driving unit moving one of the arms; and an interlocking device connecting the rest of the arms for moving.

Description

선형전동기 및 이를 이용한 기판 이송장치{Linear Motor and Apparatus for Transferring Substrate using the same}Linear Motor and Apparatus Transfer Device Using the Same {Linear Motor and Apparatus for Transferring Substrate using the same}

본 발명은 코일과 자성체 사이에서 작용하는 전자력에 의해 추력을 발생시키는 선형전동기 및 이를 이용한 기판 이송장치에 관한 것이다.The present invention relates to a linear motor for generating a thrust by the electromagnetic force acting between the coil and the magnetic material and a substrate transfer device using the same.

선형전동기(Linear Motor)는 코일과 자성체 사이에 작용하는 전자력에 의해 추력(推力)을 발생시키는 장치이다. 상기 선형전동기는 고정자(固定子)와 이동자(移動子)를 포함한다. 상기 고정자에 상기 코일이 설치되면, 상기 이동자에는 상기 자성체가 설치된다. 상기 고정자에 상기 자성체가 설치되면, 상기 이동자에는 상기 코일이 설치된다. 상기 이동자는 상기 코일과 상기 자성체 사이에 작용하는 전자력에 의해 이동될 수 있다.A linear motor is a device that generates thrust by an electromagnetic force acting between a coil and a magnetic body. The linear motor includes a stator and a mover. When the coil is installed in the stator, the magnetic body is installed in the mover. When the magnetic material is installed in the stator, the coil is installed in the mover. The mover may be moved by an electromagnetic force acting between the coil and the magnetic material.

도 1은 종래 기술에 따른 선형전동기를 개략적으로 나타낸 개념도이다.1 is a conceptual diagram schematically showing a linear motor according to the prior art.

도 1을 참고하면, 종래 기술에 따른 선형전동기(100)는 제1설치부재(101), 제2설치부재(102), 및 가이드기구(103)를 포함한다.Referring to FIG. 1, the linear motor 100 according to the related art includes a first mounting member 101, a second mounting member 102, and a guide mechanism 103.

상기 제1설치부재(101)에는 상기 제2설치부재(102)를 향하는 일면에 자성체(1011)가 설치된다. 상기 제1설치부재(101)는 고정자로 기능한다.The first mounting member 101 is provided with a magnetic body 1011 on one surface facing the second mounting member 102. The first installation member 101 functions as a stator.

상기 제2설치부재(102)에는 상기 제1설치부재(101)를 향하는 일면에 코일(1021)이 설치된다. 상기 제2설치부재(102)는 이동자로 기능한다. 상기 제2설치부재(102)는 상기 제1설치부재(101)에 이동 가능하게 결합된다.The second installation member 102 is provided with a coil 1021 on one surface facing the first installation member 101. The second installation member 102 functions as a mover. The second installation member 102 is movably coupled to the first installation member 101.

상기 가이드기구(103)는 상기 제2설치부재(102)가 직선 이동되도록 가이드한다. 상기 가이드기구(103)는 상기 제1설치부재(101)에 설치된 가이드레일(1031) 및 상기 이동기구(101)에 설치된 가이드블럭(1032)을 포함한다. 상기 가이드블럭(1032)은 상기 가이드레일(1031)에 이동 가능하게 설치된다.The guide mechanism 103 guides the second installation member 102 to move linearly. The guide mechanism 103 includes a guide rail 1031 installed on the first installation member 101 and a guide block 1032 installed on the moving mechanism 101. The guide block 1032 is installed to be movable on the guide rail 1031.

여기서, 종래 기술에 따른 선형전동기(100)는 상기 코일(1021)과 상기 자성체(1011) 사이에 상기 제1설치부재(101)와 상기 제2설치부재(102)를 서로 가까워지게 이동시키는 방향으로 인력(引力)이 발생한다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 선형전동기(100)는 다음과 같은 문제가 있다.Here, the linear motor 100 according to the prior art moves the first mounting member 101 and the second mounting member 102 closer to each other between the coil 1021 and the magnetic body 1011. Attraction occurs. Accordingly, the linear motor 100 according to the prior art has the following problems.

첫째, 종래 기술에 따른 선형전동기(100)는 상기 코일(1021)과 상기 자성체(1011) 사이에 발생된 인력이 상기 제2설치부재(102)가 이동되는데 있어서 부하(負荷)로 작용하게 된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 선형전동기(100)는 상기 인력으로 인해 상기 제2설치부재(102)를 이동시키기 위한 추력이 저하되는 문제가 있다. First, in the linear motor 100 according to the related art, the attraction force generated between the coil 1021 and the magnetic body 1011 acts as a load in the movement of the second installation member 102. Accordingly, the linear motor 100 according to the prior art has a problem that the thrust for moving the second installation member 102 is lowered due to the attraction.

둘째, 종래 기술에 따른 선형전동기(100)는 상기 코일(1021)과 상기 자성체(1011) 사이에 발생된 인력이 상기 가이드기구(103)에 부하로 작용하게 된다. 이에 따라, 종래 기술에 따른 선형전동기(100)는 상기 가이드기구(103)가 상기 제2설치부재(102)의 직선 이동을 가이드하는 성능이 저하되는 문제가 있다. 또한, 종래 기술에 따른 선형전동기(100)는 상기 코일(1021)과 상기 자성체(1011) 사이에 발생된 인력으로 인해 상기 가이드기구(103)가 뒤틀림 등과 같은 변형이 발생될 수 있고, 이로 인해 상기 가이드기구(103)가 갖는 사용 수명을 단축시키는 문제가 있다. 이를 해결하기 위해 고사양을 갖는 가이드기구(103)를 사용하게 되면 재료비가 상승되고, 이로 인해 종래 기술에 따른 선형전동기(100)를 제조하기 위한 제조단가가 상승되는 문제가 있다.Second, in the linear motor 100 according to the related art, the attraction force generated between the coil 1021 and the magnetic body 1011 acts as a load on the guide mechanism 103. Accordingly, the linear motor 100 according to the prior art has a problem in that the performance of the guide mechanism 103 to guide the linear movement of the second installation member 102 is degraded. In addition, the linear motor 100 according to the prior art may cause deformation such as distortion of the guide mechanism 103 due to the attraction force generated between the coil 1021 and the magnetic body 1011, thereby There is a problem of shortening the service life of the guide mechanism 103. In order to solve this problem, when the guide mechanism 103 having a high specification is used, the material cost is increased, and thus, a manufacturing cost for manufacturing the linear motor 100 according to the prior art is increased.

셋째, 상기 제2설치부재(102)에 중량물(重量物)이 설치되는 경우, 상기 코일(1021)과 상기 자성체(1011) 사이에 발생되는 인력 또한 증가하게 되므로 상술한 바와 같은 문제들이 더욱 심화되는 문제가 있다.Third, when a heavy object is installed on the second installation member 102, the attraction force generated between the coil 1021 and the magnetic body 1011 is also increased, thereby further increasing the problems as described above. there is a problem.

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하고자 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 코일과 자성체 사이에 발생된 인력으로 인해 추력이 저하되는 것을 방지할 수 있는 선형전동기 및 이를 이용한 기판 이송장치를 제공하는 것이다.The present invention has been made to solve the problems described above, an object of the present invention to provide a linear motor and a substrate transfer apparatus using the same that can prevent the thrust is lowered due to the attraction force generated between the coil and the magnetic material will be.

본 발명의 다른 목적은 코일과 자성체 사이에 발생된 인력으로 인해 가이드기구가 갖는 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 가이드기구에 변형이 발생되는 것을 방지할 수 있는 선형전동기 및 이를 이용한 기판 이송장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to prevent the deterioration of the performance of the guide mechanism due to the attraction force generated between the coil and the magnetic material, and a linear motor and a substrate transfer apparatus using the same that can prevent the deformation of the guide mechanism To provide.

본 발명의 또 다른 목적은 상당한 무게를 갖는 중량물을 이동시키는 경우에도 코일과 자성체 사이에 발생된 인력으로 인해 중량물을 이동시키기 위한 추력이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 가이드기구가 갖는 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있으며, 가이드기구에 변형이 발생되는 것을 방지할 수 있는 선형전동기 및 이를 이용한 기판 이송장치를 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to prevent the thrust for moving the heavy weight due to the attraction force generated between the coil and the magnetic body even when moving the heavy material having a considerable weight, and the performance of the guide mechanism is deteriorated It is possible to prevent, and to provide a linear motor and a substrate transfer device using the same that can prevent the deformation occurs in the guide mechanism.

상술한 바와 같은 목적을 달성하기 위해서, 본 발명은 하기와 같은 구성을 포함할 수 있다.In order to achieve the above-mentioned object, the present invention can include the following configuration.

본 발명에 따른 선형전동기는 제1자성체 및 상기 제1자성체로부터 이격되게 설치된 제2자성체를 포함하는 제1설치부재; 및 상기 제1자성체와 마주보게 설치된 제1코일, 및 상기 제1코일로부터 이격되게 설치되고 상기 제2자성체와 마주보게 설치된 제2코일을 포함하는 제2설치부재를 포함할 수 있다.The linear motor according to the present invention includes a first mounting member including a first magnetic body and a second magnetic body spaced apart from the first magnetic body; And a second installation member including a first coil installed to face the first magnetic body and a second coil installed to be spaced apart from the first coil and facing the second magnetic body.

본 발명에 따른 선형전동기에 있어서, 상기 제1자성체와 상기 제1코일 간의 제1인력과 상기 제2자성체와 상기 제2코일 간의 제2인력이 서로 마주보는 방향을 향하게 발생하도록, 상기 제1자성체와 상기 제2자성체는 상기 제1코일과 상기 제2코일 사이에 위치되게 설치될 수 있다.In the linear electric motor according to the present invention, the first magnetic material is generated such that a first force between the first magnetic body and the first coil and a second force between the second magnetic body and the second coil face each other. And the second magnetic body may be installed to be positioned between the first coil and the second coil.

본 발명에 따른 선형전동기에 있어서, 상기 제1자성체와 상기 제1코일 간의 제1인력과 상기 제2자성체와 상기 제2코일 간의 제2인력이 서로 반대되는 방향을 향하게 발생하도록, 상기 제1코일과 상기 제2코일은 상기 제1자성체와 상기 제2자성체 사이에 위치되게 설치될 수 있다.In the linear motor according to the present invention, the first coil is generated so that the first force between the first magnetic body and the first coil and the second force between the second magnetic body and the second coil face in opposite directions to each other. And the second coil may be installed to be positioned between the first magnetic material and the second magnetic material.

본 발명에 따른 기판 이송장치는 기판을 이동시키기 위한 암기구가 결합된 본체; 상기 암기구가 이동되는 방향에 대해 수직한 방향으로 상기 본체가 이동 가능하게 결합되는 제1설치기구; 및 상기 본체를 이동시키기 위한 이동유닛을 포함할 수 있다. 상기 이동유닛은 상기 제1설치기구에서 상기 본체를 향하는 일면에 서로 이격되게 설치된 제1자성체와 제2자성체, 및 상기 본체에서 상기 제1설치기구를 향하는 일면에 서로 이격되게 설치된 제1코일과 제2코일을 포함할 수 있다.The substrate transfer apparatus according to the present invention comprises a main body coupled to the arm mechanism for moving the substrate; A first installation mechanism to which the main body is movably coupled in a direction perpendicular to the direction in which the arm mechanism is moved; And it may include a mobile unit for moving the main body. The mobile unit includes a first magnetic body and a second magnetic body spaced apart from each other on one surface facing the main body in the first installation mechanism, and a first coil and a first coil spaced apart from each other on one surface facing the first installation mechanism in the body. It may comprise two coils.

본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서, 상기 제1자성체와 상기 제1코일 간의 제1인력과 상기 제2자성체와 상기 제2코일 간의 제2인력이 서로 마주보는 방향을 향하게 발생하도록, 상기 제1자성체와 상기 제2자성체는 상기 제1코일과 상기 제2코일 사이에 위치되게 설치될 수 있다.In the substrate transfer apparatus according to the present invention, the first magnetic force between the first magnetic body and the first coil and the second human force between the second magnetic body and the second coil are generated to face in a direction facing each other. The magnetic body and the second magnetic body may be installed to be located between the first coil and the second coil.

본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서, 상기 제1자성체와 상기 제1코일 간의 제1인력과 상기 제2자성체와 상기 제2코일 간의 제2인력이 서로 반대되는 방향을 향하게 발생하도록, 상기 제1코일과 상기 제2코일은 상기 제1자성체와 상기 제2자성체 사이에 위치되게 설치될 수 있다.In the substrate transport apparatus according to the present invention, the first magnetic force between the first magnetic body and the first coil and the second human force between the second magnetic body and the second coil are generated to face in opposite directions to each other. The coil and the second coil may be installed to be positioned between the first magnetic body and the second magnetic body.

본 발명에 따르면, 다음과 같은 효과를 도모할 수 있다.According to the present invention, the following effects can be achieved.

본 발명은 코일과 자성체 사이에 발생된 인력으로 인해 추력이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 상당한 무게를 갖는 중량물을 이동시키는 경우에도 코일과 자성체 사이에 발생된 인력으로 인해 중량물을 이동시키기 위한 추력이 저하되는 것을 방지함으로써, 향상된 추력 성능을 구현할 수 있다.The present invention can prevent the thrust from being lowered due to the attractive force generated between the coil and the magnetic body, and even when moving the heavy object having a considerable weight, the thrust for moving the heavy object due to the attractive force generated between the coil and the magnetic body is By preventing the degradation, improved thrust performance can be realized.

본 발명은 코일과 자성체 사이에 발생된 인력으로 인해 가이드기구가 갖는 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 가이드기구에 변형이 발생되는 것을 방지함으로써, 가이드기구가 갖는 사용 수명이 단축되는 것을 방지할 수 있고, 고사양을 갖는 가이드기구를 사용해야 하는 부담을 줄임으로써 제조단가를 낮출 수 있다.The present invention can prevent the performance of the guide mechanism from being degraded due to the attraction force generated between the coil and the magnetic material, and prevent the deformation of the guide mechanism from occurring, thereby preventing the service life of the guide mechanism from being shortened. It is possible to reduce the manufacturing cost by reducing the burden of using a guide mechanism having a high specification.

도 1은 종래 기술에 따른 선형전동기를 개략적으로 나타낸 개념도이다.
도 2는 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기를 개략적으로 나타낸 사시도
도 3은 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기를 개략적으로 나타낸 정면도
도 4는 본 발명의 제2실시예에 따른 선형전동기를 개략적으로 나타낸 정면도
도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도
도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 측면도
도 7은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 이동유닛의 개략적인 측면도
도 8 및 도 9는 본 발명에 따른 베이스프레임, 암기구, 구동유닛의 개략적인 사시도
도 10은 본 발명에 따른 베이스프레임, 암기구, 연동기구, 구동유닛의 개략적인 측면도
도 11은 본 발명에 따른 베이스프레임, 암기구, 연동기구, 구동유닛의 개략적인 분해사시도
도 12 및 도 13은 본 발명에 따른 암기구와 연동기구의 작동관계를 설명하기 위한 개념도
도 14 및 도 15는 본 발명에 따른 서브피니언기어들의 작동관계를 설명하기 위한 개념도
도 16은 본 발명에 따른 제1연결피니언기어의 개략적인 사시도
도 17은 본 발명에 따른 가이드부재들의 결합관계를 나타낸 개략적인 정면도
도 18은 본 발명에 따른 제1백래쉬 보상기구와 제2백래쉬 보상기구의 개략적인 사시도
도 19 및 도 20은 본 발명에 따른 제1백래쉬 보상기구와 제2백래쉬 보상기구의 작동관계를 설명하기 위한 개념도1 is a conceptual diagram schematically showing a linear motor according to the prior art.
2 is a perspective view schematically showing a linear motor according to a first embodiment of the present invention;
3 is a front view schematically showing a linear motor according to a first embodiment of the present invention;
4 is a front view schematically showing a linear motor according to a second embodiment of the present invention.
5 is a schematic perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention;
6 is a schematic side view of a substrate transfer device according to the present invention;
7 is a schematic side view of a mobile unit according to a modified embodiment of the present invention;
8 and 9 is a schematic perspective view of the base frame, arm mechanism, drive unit according to the present invention
10 is a schematic side view of the base frame, arm mechanism, interlock mechanism, drive unit according to the present invention;
11 is a schematic exploded perspective view of the base frame, arm mechanism, interlock mechanism, drive unit according to the present invention;
12 and 13 are conceptual views for explaining the operation relationship between the arm mechanism and the interlock mechanism according to the present invention.
14 and 15 are conceptual diagrams for explaining the operation relationship of the sub-pinion gear in accordance with the present invention
16 is a schematic perspective view of a first connecting pinion gear according to the present invention;
17 is a schematic front view showing the coupling relationship between the guide members according to the present invention
18 is a schematic perspective view of a first backlash compensation mechanism and a second backlash compensation mechanism according to the present invention;
19 and 20 are conceptual views illustrating the operation relationship between the first backlash compensation mechanism and the second backlash compensation mechanism according to the present invention.

이하에서는 본 발명에 따른 선형전동기의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of a linear motor according to the present invention will be described in detail.

도 2는 본 발명에 따른 선형전동기를 개략적으로 나타낸 사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 선형전동기를 개략적으로 나타낸 정면도이다.2 is a perspective view schematically showing a linear motor according to the present invention, Figure 3 is a front view schematically showing a linear motor according to the present invention.

도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명에 따른 선형전동기(10)는 제1설치부재(11)와 제2설치부재(12)를 포함한다. 상기 제1설치부재(11)와 상기 제2설치부재(12)는 어느 하나를 기준으로 다른 하나가 이동된다. 즉, 상기 제1설치부재(11)와 상기 제2설치부재(12) 중에서 어느 하나가 고정자(固定子)로 기능하고, 나머지 하나가 이동자(移動子)로 기능한다. 예컨대, 상기 제1설치부재(11)가 고정자로 기능하면, 상기 제2설치부재(12)는 상기 제1설치부재(11)에 이동 가능하게 결합되어 이동자로 기능할 수 있다. 상기 제2설치부재(12)가 고정자로 기능하면, 상기 제1설치부재(11)는 상기 제2설치부재(12)에 이동 가능하게 결합되어 이동자로 기능할 수 있다. 2 and 3, the linear motor 10 according to the present invention includes a first mounting member 11 and a second mounting member 12. The first mounting member 11 and the second mounting member 12 is moved to the other one based on any one. That is, any one of the first mounting member 11 and the second mounting member 12 functions as a stator, and the other functions as a mover. For example, when the first installation member 11 functions as a stator, the second installation member 12 may be coupled to the first installation member 11 so as to be movable and function as a mover. When the second installation member 12 functions as a stator, the first installation member 11 may be coupled to the second installation member 12 so as to be movable and function as a mover.

상기 제1설치부재(11)와 상기 제2설치부재(12) 중에서 어느 하나는 코일과 자성체 사이에 작용하는 전자력에 의해 발생된 추력(推力)으로 이동된다. 이를 위해, 본 발명에 따른 선형전동기(10)에 있어서, 상기 제1설치부재(11)는 제1자성체(111)와 제2자성체(112)를 포함하고, 상기 제2설치부재(12)는 제1코일(121)과 제2코일(122)을 포함한다. 상기 제1코일(121)은 상기 제1자성체(111)와 마주보게 설치되고, 이에 따라 상기 제1코일(121)과 상기 제1자성체(111) 사이에 작용하는 전자력에 의해 추력이 발생된다. 상기 제2코일(122)은 상기 제2자성체(112)와 마주보게 설치되고, 이에 따라 상기 제2코일(122)과 상기 제2자성체(112) 사이에 작용하는 전자력에 의해 추력이 발생된다. 상기 제1자성체(111)와 상기 제1코일(121) 사이에 작용하는 전자력과 상기 제2자성체(112)와 상기 제2코일(122) 사이에 작용하는 전자력에 의해 추력이 발생되면, 상기 제1설치부재(11)와 상기 제2설치부재(12) 중에서 어느 하나가 이동될 수 있다.Any one of the first mounting member 11 and the second mounting member 12 is moved by a thrust generated by an electromagnetic force acting between the coil and the magnetic body. To this end, in the linear motor 10 according to the present invention, the first mounting member 11 includes a first magnetic body 111 and a second magnetic body 112, the second mounting member 12 The first coil 121 and the second coil 122 are included. The first coil 121 is installed to face the first magnetic body 111, and thus thrust is generated by an electromagnetic force acting between the first coil 121 and the first magnetic body 111. The second coil 122 is installed to face the second magnetic body 112, and thus thrust is generated by an electromagnetic force acting between the second coil 122 and the second magnetic body 112. When thrust is generated by an electromagnetic force acting between the first magnetic body 111 and the first coil 121 and an electromagnetic force acting between the second magnetic body 112 and the second coil 122, Any one of the first mounting member 11 and the second mounting member 12 may be moved.

여기서, 자성체와 코일 간에는 코일에서 자성체를 향하는 방향으로 인력(引力)이 발생한다. 즉, 상기 제1자성체(111)와 상기 제1코일(121) 간에는 상기 제1코일(121)에서 상기 제1자성체(111)를 향하는 방향으로 제1인력이 발생한다. 그리고, 상기 제2자성체(112)와 상기 제2코일(122) 간에는 상기 제2코일(122)에서 상기 제2자성체(112)를 향하는 방향으로 제2인력이 발생한다. 상기 제1인력과 상기 제2인력이 동일한 방향을 향하게 발생하면, 이러한 인력들은 상기 제1설치부재(11) 또는 상기 제2설치부재(12)가 이동되는데 있어서 부하(負荷)로 작용하게 된다. 이에 따라, 상기 제1설치부재(11) 또는 상기 제2설치부재(12)를 이동시키기 위한 추력이 저하되게 된다. 이를 방지하기 위해, 본 발명에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1인력과 상기 제2인력이 서로 마주보는 방향 또는 서로 반대되는 방향을 향하게 발생하도록 함으로써, 상기 제1인력과 상기 제2인력이 서로 상쇄(相殺)되도록 구현될 수 있다.Here, attractive force is generated between the magnetic body and the coil in the direction from the coil toward the magnetic body. That is, a first force is generated between the first magnetic body 111 and the first coil 121 in a direction from the first coil 121 toward the first magnetic body 111. In addition, a second force is generated between the second magnetic body 112 and the second coil 122 in a direction from the second coil 122 toward the second magnetic body 112. When the first manpower and the second manpower are directed in the same direction, the attraction force acts as a load when the first installation member 11 or the second installation member 12 is moved. Accordingly, the thrust for moving the first mounting member 11 or the second mounting member 12 is reduced. In order to prevent this, the linear electric motor 10 according to the present invention causes the first manpower and the second manpower to face in opposite directions or opposite directions to each other. It can be implemented to cancel each other.

따라서, 본 발명에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1자성체(111)와 상기 제1코일(121) 간에 발생된 제1인력과 상기 제2자성체(112)와 상기 제2코일(122) 간에 발생된 제2인력으로 인해 상기 제1설치부재(11) 또는 상기 제2설치부재(12)를 이동시키기 위한 추력이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 선형전동기(10)는 종래 기술에 따른 선형전동기와 비교할 때, 향상된 추력 성능을 갖출 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 선형전동기(10)는 상당한 무게를 갖는 중량물(重量物)을 이동시키기 위해 추력을 증가시키는 경우, 추력이 증가된 만큼 상기 인력들이 증가되더라도 상기 인력들이 서로 상쇄될 수 있으므로, 중량물을 이동시키기에 충분한 추력을 제공할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 선형전동기(10)는 중량물에 대해서도 적용범위를 확대시킬 수 있다.Accordingly, the linear electric motor 10 according to the present invention has a first force generated between the first magnetic body 111 and the first coil 121 and between the second magnetic body 112 and the second coil 122. Due to the generated second manpower, it is possible to prevent the thrust for moving the first installation member 11 or the second installation member 12 from being lowered. Accordingly, the linear motor 10 according to the present invention may have improved thrust performance when compared to the linear motor according to the prior art. In addition, when the linear motor 10 according to the present invention increases the thrust to move a heavy object having a significant weight, the attraction force may be offset each other even if the attraction force is increased as the thrust is increased, Sufficient thrust can be provided to move the weight. Therefore, the linear motor 10 according to the present invention can extend the scope of application even for heavy materials.

여기서, 본 발명에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1자성체(111), 상기 제2자성체(112), 상기 제1코일(121), 및 상기 제2코일(122)이 배치되는 형태에 따라 크게 제1실시예와 제2실시예를 포함할 수 있다. 이하에서는 본 발명에 따른 선형전동기(10)의 제1실시예와 제2실시예에 관해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Here, the linear motor 10 according to the present invention according to the form in which the first magnetic body 111, the second magnetic body 112, the first coil 121, and the second coil 122 is disposed. It can largely include the first embodiment and the second embodiment. Hereinafter, a first embodiment and a second embodiment of a linear motor 10 according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)에 있어서, 상기 제1자성체(111)와 상기 제2자성체(112)는 상기 제1코일(121)과 상기 제2코일(122) 사이에 위치되게 설치된다. 이에 따라, 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1자성체(111)와 상기 제1코일(121) 간의 제1인력과 상기 제2자성체(112)와 상기 제2코일(122) 간의 제2인력이 서로 마주보는 방향을 향하게 발생하도록 구현될 수 있다. 도 3에서 서로 마주보는 방향으로 표시된 점선 화살표가 상기 제1인력과 상기 제2인력이 발생한 방향을 표시한 것이다. 따라서, 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1인력과 상기 제2인력이 서로 상쇄될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1인력과 상기 제2인력으로 인해 상기 제1설치부재(11) 또는 상기 제2설치부재(12)를 이동시키기 위한 추력이 저하되는 것을 방지할 수 있다.2 and 3, in the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention, the first magnetic body 111 and the second magnetic body 112 may be connected to the first coil 121. It is installed to be located between the second coil (122). Accordingly, the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention has a first force between the first magnetic body 111 and the first coil 121 and the second magnetic body 112 and the second coil. The second human force between the 122 may be implemented to face in a direction facing each other. In FIG. 3, the dotted arrows indicated by the directions facing each other indicate the direction in which the first and second human forces are generated. Therefore, in the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention, the first manpower and the second manpower may cancel each other. Accordingly, the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention is for moving the first mounting member 11 or the second mounting member 12 due to the first and second human forces. Thrust can be prevented from falling.

도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 제1자성체(111)와 상기 제2자성체(112)는 서로 소정 거리로 이격되게 상기 제1설치부재(11)에 설치된다. 상기 제1자성체(111)와 상기 제2자성체(112)는 상기 제1설치부재(11)에서 상기 제2설치부재(12)를 향하는 일면에 설치될 수 있다. 도 3을 기준으로 할 때, 상기 제1자성체(111)와 상기 제2자성체(112)는 상기 제1설치부재(11)의 윗면에 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1자성체(111)와 상기 제2자성체(112)는 각각 복수개의 영구자석으로 형성될 수 있다. 상기 제1설치부재(11)에서 상기 제2설치부재(12)를 향하는 방향을 수직방향이라 정의할 때, 상기 제1자성체(111)와 상기 제2자성체(112)는 수직방향을 향하게 상기 제1설치부재(11)에 설치될 수 있다. 상기 제1설치부재(11)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)가 이용되는 장치에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다.2 and 3, the first magnetic body 111 and the second magnetic body 112 are installed in the first installation member 11 to be spaced apart from each other by a predetermined distance. The first magnetic body 111 and the second magnetic body 112 may be installed on one surface of the first mounting member 11 toward the second mounting member 12. Referring to FIG. 3, the first magnetic body 111 and the second magnetic body 112 may be spaced apart from each other by a predetermined distance on the upper surface of the first mounting member 11. The first magnetic body 111 and the second magnetic body 112 may be formed of a plurality of permanent magnets, respectively. When the direction from the first installation member 11 toward the second installation member 12 is defined as the vertical direction, the first magnetic material 111 and the second magnetic material 112 are directed toward the vertical direction. 1 may be installed in the installation member (11). The first installation member 11 may be formed in a rectangular plate shape as a whole, but is not limited thereto. The first installation member 11 may be formed in various forms depending on the apparatus in which the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention is used.

도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 제1코일(121)과 상기 제2코일(122)은 서로 소정 거리로 이격되게 상기 제2설치부재(12)에 설치된다. 상기 제1코일(121)과 상기 제2코일(122)은 상기 제2설치부재(12)에서 상기 제1설치부재(11)를 향하는 일면에 설치될 수 있다. 도 3을 기준으로 할 때, 상기 제1코일(121)과 상기 제2코일(122)은 상기 제2설치부재(12)의 밑면에 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1설치부재(11)에서 상기 제2설치부재(12)를 향하는 방향을 수직방향이라 정의할 때, 상기 제1코일(121)과 상기 제2코일(122)은 수직방향을 향하게 상기 제2설치부재(12)에 설치될 수 있다. 상기 제1코일(121)은 상기 제1자성체(111)와 마주보게 설치될 수 있고, 상기 제2코일(122)은 상기 제2자성체(112)와 마주보게 설치될 수 있다. 상기 제2설치부재(12)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있으나, 이에 한정되지 않으며 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)가 이용되는 장치에 따라 다양한 형태로 형성될 수 있다.2 and 3, the first coil 121 and the second coil 122 are installed in the second installation member 12 to be spaced apart from each other by a predetermined distance. The first coil 121 and the second coil 122 may be installed on one surface of the second mounting member 12 toward the first mounting member 11. Referring to FIG. 3, the first coil 121 and the second coil 122 may be spaced apart from each other by a predetermined distance from the bottom surface of the second installation member 12. When the direction from the first mounting member 11 toward the second mounting member 12 is defined as a vertical direction, the first coil 121 and the second coil 122 may face the vertical direction. 2 may be installed in the installation member (12). The first coil 121 may be installed to face the first magnetic body 111, and the second coil 122 may be installed to face the second magnetic body 112. The second installation member 12 may be formed in a rectangular plate shape as a whole, but is not limited thereto. The second installation member 12 may be formed in various shapes depending on the apparatus in which the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention is used.

도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 제2설치부재(12)는 상기 제1설치부재(11)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2설치부재(12)는 이동자로 기능할 수 있고, 상기 제1설치부재(11)는 고정자로 기능할 수 있다. 이 경우, 상기 제1자성체(111)와 상기 제2자성체(112)는 상기 제2설치부재(12)가 이동되는 길이에 상응하는 길이를 갖도록 형성될 수 있다. 상기 제1코일(121)과 상기 제2코일(122)은 상기 제2설치부재(12)를 이동시키기 위한 충분한 추력을 발생시킬 수 있는 길이로 형성될 수 있다. 상기 제1코일(121)과 상기 제2코일(122)은 상기 제1자성체(111)와 상기 제2자성체(112)가 갖는 길이 보다 짧은 길이로 형성될 수 있다. 상기 제2설치부재(12)에는 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)가 이용되는 장치에 따라 추력을 필요로 하는 다양한 구성물이 결합될 수 있다. 도 3을 기준으로 할 때, 상기 제2설치부재(12)는 상기 제1설치부재(11)의 상측에 위치되게 설치될 수 있다.2 and 3, the second installation member 12 may be movably coupled to the first installation member 11. Accordingly, the second installation member 12 may function as a mover, and the first installation member 11 may function as a stator. In this case, the first magnetic body 111 and the second magnetic body 112 may be formed to have a length corresponding to the length of the second mounting member 12 is moved. The first coil 121 and the second coil 122 may be formed to a length capable of generating a sufficient thrust for moving the second installation member 12. The first coil 121 and the second coil 122 may be formed to have a length shorter than the length of the first magnetic material 111 and the second magnetic material 112. Various components requiring thrust may be coupled to the second installation member 12 depending on the apparatus in which the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention is used. Referring to FIG. 3, the second mounting member 12 may be installed to be positioned above the first mounting member 11.

도 2 및 도 3을 참고하면, 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 제2설치부재(12)가 직선 이동되도록 가이드하는 가이드기구(13)를 포함할 수 있다. 상술한 바와 같이, 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1자성체(111)와 상기 제1코일(121) 간의 제1인력과 상기 제2자성체(112)와 상기 제2코일(122) 간의 제2인력이 서로 마주보는 방향을 향하게 발생하도록 구현될 수 있고, 이에 따라 상기 제1인력과 상기 제2인력이 서로 상쇄될 수 있다. 따라서, 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1인력과 상기 제2인력으로 인해 상기 가이드기구(13)가 갖는 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 상기 가이드기구(13)에 변형이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 가이드기구(13)가 갖는 사용 수명이 단축되는 것을 방지할 수 있고, 고사양을 갖는 가이드기구(13)를 사용해야 하는 부담을 줄임으로써 제조단가를 낮출 수 있다. 또한, 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)는 상당한 무게를 갖는 중량물을 이동시키기 위해 추력을 증가시키는 경우, 추력이 증가된 만큼 상기 인력들이 증가되더라도 상기 인력들이 서로 상쇄될 수 있으므로, 중량물에 대해서도 상기 가이드기구(13)에 의해 안정적으로 직선 이동될 수 있다. 따라서, 본 발명의 제1실시예에 따른 선형전동기(10)는 중량물에 대해서도 적용범위를 확대시킬 수 있다.2 and 3, the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention may include a guide mechanism 13 for guiding the second installation member 12 to move linearly. As described above, the linear electric motor 10 according to the first embodiment of the present invention has a first force between the first magnetic body 111 and the first coil 121 and the second magnetic body 112 and the first magnetic body. The second human force between the two coils 122 may be implemented to face in a direction facing each other, and thus the first human force and the second human force may be canceled with each other. Therefore, the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention can prevent the performance of the guide mechanism 13 from being degraded due to the first and second human forces, and the guide mechanism ( It is possible to prevent deformation in 13). Accordingly, the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention can prevent the service life of the guide mechanism 13 from being shortened, and the burden of using the guide mechanism 13 having a high specification can be avoided. By reducing the manufacturing cost can be lowered. In addition, in the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention, when the thrust is increased to move a heavy object having a considerable weight, the attraction force can be offset each other even if the attraction force is increased as the thrust is increased In addition, the guide mechanism 13 can be stably linearly moved even with respect to heavy objects. Therefore, the linear motor 10 according to the first embodiment of the present invention can extend the scope of application even for heavy materials.

도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 가이드기구(13)는 서로 이격되게 설치된 제1가이드기구(131) 및 제2가이드기구(132)를 포함할 수 있다.2 and 3, the guide mechanism 13 may include a first guide mechanism 131 and a second guide mechanism 132 installed to be spaced apart from each other.

상기 제1가이드기구(131)는 제1가이드레일(1311), 및 제1가이드블럭(1312)을 포함할 수 있다. 상기 제1가이드레일(1311)은 상기 제1설치부재(11)에 결합되고, 상기 제1가이드블럭(1312)은 상기 제2설치부재(12)에 결합된다. 상기 제1가이드블럭(1312)은 상기 제1가이드레일(1311)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제1가이드레일(1311)을 따라 직선 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1가이드블럭(1312)이 설치된 제2설치부재(12)는 상기 제1가이드레일(1311)을 따라 직선 이동될 수 있다. 상기 제1가이드레일(1311)은 리니어가이드레일(Linear Guide Rail, LM Rail)이고, 상기 제1가이드블럭(1312)은 리니어가이드블록(Linear Guide Block, LM Block)일 수 있다.The first guide mechanism 131 may include a first guide rail 1311 and a first guide block 1312. The first guide rail 1311 is coupled to the first installation member 11, and the first guide block 1312 is coupled to the second installation member 12. The first guide block 1312 is movably coupled to the first guide rail 1311 and may be linearly moved along the first guide rail 1311. Accordingly, the second installation member 12 in which the first guide block 1312 is installed may be linearly moved along the first guide rail 1311. The first guide rail 1311 may be a linear guide rail (LMR), and the first guide block 1312 may be a linear guide block (LM Block).

상기 제2가이드기구(132)는 제2가이드레일(1321), 및 제2가이드블럭(1322)을 포함할 수 있다. 상기 제2가이드레일(1321)은 상기 제1설치부재(11)에 결합되고, 상기 제2가이드블럭(1322)은 상기 제2설치부재(12)에 결합된다. 상기 제2가이드블럭(1322)은 상기 제2가이드레일(1321)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제2가이드레일(1321)을 따라 직선 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2가이드블럭(1322)이 설치된 제2설치부재(12)는 상기 제2가이드레일(1321)을 따라 직선 이동될 수 있다. 상기 제2가이드레일(1321)은 리니어가이드레일(LM Rail)이고, 상기 제2가이드블럭(1322)은 리니어가이드블록(LM Block)일 수 있다.The second guide mechanism 132 may include a second guide rail 1321 and a second guide block 1322. The second guide rail 1321 is coupled to the first installation member 11, and the second guide block 1322 is coupled to the second installation member 12. The second guide block 1322 is movably coupled to the second guide rail 1321 and may be linearly moved along the second guide rail 1321. Accordingly, the second installation member 12 on which the second guide block 1322 is installed may be linearly moved along the second guide rail 1321. The second guide rail 1321 may be a linear guide rail (LM Rail), and the second guide block 1322 may be a linear guide block (LM Block).

도 2 및 도 3을 참고하면, 상기 제1가이드기구(131)와 상기 제2가이드기구(132)는 서로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1자성체(111), 상기 제2자성체(112), 상기 제1코일(121), 및 상기 제2코일(122)은 상기 제1가이드기구(131)와 상기 제2가이드기구(132) 사이에 위치되게 설치될 수 있다. 2 and 3, the first guide mechanism 131 and the second guide mechanism 132 may be spaced apart from each other by a predetermined distance. The first magnetic body 111, the second magnetic body 112, the first coil 121, and the second coil 122 are the first guide mechanism 131 and the second guide mechanism 132. It can be installed to be located in between.

이하에서는 본 발명의 제2실시예에 따른 선형전동기(10)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다. 본 발명의 제2실시예에 따른 선형전동기(10)는 상술한 제1실시예와 대략 일치하게 구성될 수 있으므로, 이하에서는 차이점이 있는 부분만을 설명한다.Hereinafter, a linear motor 10 according to a second embodiment of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Since the linear motor 10 according to the second embodiment of the present invention may be configured to be substantially the same as the first embodiment described above, only the parts with differences will be described below.

도 4는 본 발명의 변형된 실시예에 따른 선형전동기를 개략적으로 나타낸 정면도이다.4 is a front view schematically showing a linear motor according to a modified embodiment of the present invention.

도 4를 참고하면, 본 발명의 제2실시예에 따른 선형전동기(10)에 있어서, 상기 제1코일(121)과 상기 제2코일(122)은 상기 제1자성체(111)와 상기 제2자성체(112) 사이에 위치되게 설치된다. 이에 따라, 본 발명의 제2실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1자성체(111)와 상기 제1코일(121) 간의 제1인력과 상기 제2자성체(112)와 상기 제2코일(122) 간의 제2인력이 서로 반대되는 방향을 향하게 발생하도록 구현될 수 있다. 도 4에서 서로 반대되는 방향으로 표시된 점선 화살표가 상기 제1인력과 상기 제2인력이 발생한 방향을 표시한 것이다. 따라서, 본 발명의 제2실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1인력과 상기 제2인력이 서로 상쇄될 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제2실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1인력과 상기 제2인력으로 인해 상기 제1설치부재(11) 또는 상기 제2설치부재(12)를 이동시키기 위한 추력이 저하되는 것을 방지할 수 있다. Referring to FIG. 4, in the linear motor 10 according to the second embodiment of the present invention, the first coil 121 and the second coil 122 are the first magnetic material 111 and the second coil. It is installed to be located between the magnetic body (112). Accordingly, the linear motor 10 according to the second embodiment of the present invention has a first force between the first magnetic body 111 and the first coil 121 and the second magnetic body 112 and the second coil. The second human force between the 122 may be implemented to face in a direction opposite to each other. In FIG. 4, the dashed arrows indicated in opposite directions indicate the directions in which the first and second forces are generated. Therefore, in the linear motor 10 according to the second embodiment of the present invention, the first manpower and the second manpower may cancel each other. Accordingly, the linear motor 10 according to the second embodiment of the present invention is for moving the first mounting member 11 or the second mounting member 12 due to the first and second human forces. Thrust can be prevented from falling.

본 발명의 제2실시예에 다른 선형전동기(10)가 상기 가이드기구(13)를 포함하는 경우, 본 발명의 제2실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 제1인력과 상기 제2인력으로 인해 상기 가이드기구(13)가 갖는 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 상기 가이드기구(13)에 변형이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명의 제2실시예에 따른 선형전동기(10)는 상기 가이드기구(13)가 갖는 사용 수명이 단축되는 것을 방지할 수 있고, 고사양을 갖는 가이드기구(13)를 사용해야 하는 부담을 줄임으로써 제조단가를 낮출 수 있다. 또한, 본 발명의 제2실시예에 따른 선형전동기(10)는 상당한 무게를 갖는 중량물을 이동시키기 위해 추력을 증가시키는 경우, 추력이 증가된 만큼 상기 인력들이 증가되더라도 상기 인력들이 서로 상쇄될 수 있으므로, 중량물에 대해서도 상기 가이드기구(13)에 의해 안정적으로 직선 이동될 수 있다. 따라서, 본 발명의 제2실시예에 따른 선형전동기(10)는 중량물에 대해서도 적용범위를 확대시킬 수 있다.In the case where the linear motor 10 according to the second embodiment of the present invention includes the guide mechanism 13, the linear motor 10 according to the second embodiment of the present invention is the first manpower and the second manpower. As a result, the performance of the guide mechanism 13 can be prevented from being lowered, and deformation of the guide mechanism 13 can be prevented. Accordingly, the linear motor 10 according to the second embodiment of the present invention can prevent the service life of the guide mechanism 13 from being shortened, and the burden of using the guide mechanism 13 having a high specification can be avoided. By reducing the manufacturing cost can be lowered. In addition, in the linear motor 10 according to the second embodiment of the present invention, when the thrust is increased to move a heavy object having a considerable weight, the attraction force may be offset each other even if the attraction force is increased as the thrust is increased. In addition, the guide mechanism 13 can be stably linearly moved even with respect to heavy objects. Therefore, the linear motor 10 according to the second embodiment of the present invention can extend the scope of application even for heavy materials.

이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings a preferred embodiment of the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail.

도 5는 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 사시도, 도 6은 본 발명에 따른 기판 이송장치의 개략적인 측면도, 도 7은 본 발명의 변형된 실시예에 따른 이동유닛의 개략적인 측면도이다.5 is a schematic perspective view of a substrate transfer apparatus according to the present invention, FIG. 6 is a schematic side view of a substrate transfer apparatus according to the present invention, and FIG. 7 is a schematic side view of a mobile unit according to a modified embodiment of the present invention.

도 5 및 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 태양전지(Solar Cell), 반도체 소자, 디스플레이 장치 등(이하, '전자부품'이라 함)을 제조하기 위한 기판 처리장치(미도시)에 사용된다. 상기 기판 처리장치는 상기 전자부품을 제조하기 위한 기판(Substrate)에 도전체, 반도체, 유전체 등의 박막을 증착하기 위한 증착공정, 증착된 박막을 소정 패턴으로 형성하기 위한 식각공정, 이물질 등을 제거하기 위한 세정공정 등을 수행한다. 상기 기판은 유리(Glass) 기판, 메탈(Metal) 기판 등일 수 있다. 상기 공정들은 각각 별도의 공정챔버(미도시) 내에서 이루어지는데, 상기 공정챔버들 간에 기판을 이송하는 시간 등을 최소화하여 생산성을 높이고 상기 공정챔버들의 유지관리를 용이하게 하기 위해 상기 공정챔버들을 일체화한 기판 처리장치가 이용되고 있다. 이와 같은 기판 처리장치에는 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)가 설치된다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판을 공정 순서에 해당하는 공정챔버에 로딩하고, 해당 공정챔버에서 작업이 완료되면 상기 기판을 언로딩한 후, 다음 공정 순서에 해당하는 공정챔버에 로딩하는 공정을 수행한다.5 and 6, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is a substrate processing apparatus for manufacturing a solar cell, a semiconductor device, a display device, and the like (hereinafter, referred to as an “electronic component”). Used for (not shown). The substrate processing apparatus removes a deposition process for depositing a thin film of a conductor, a semiconductor, a dielectric, etc. on a substrate for manufacturing the electronic component, an etching process for forming the deposited thin film in a predetermined pattern, foreign matters, and the like. A washing process for carrying out is performed. The substrate may be a glass substrate, a metal substrate, or the like. Each of the processes is performed in a separate process chamber (not shown). The process chambers are integrated to minimize productivity of transferring substrates between the process chambers and to increase productivity and to facilitate maintenance of the process chambers. One substrate processing apparatus is used. Such a substrate processing apparatus is provided with a substrate transfer apparatus 1 according to the present invention. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention loads the substrate into the process chamber corresponding to the process sequence, and when the operation is completed in the process chamber, unloads the substrate, and then loads the substrate into the process chamber corresponding to the next process sequence. Perform the loading process.

도 5 및 도 6을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 본체(20), 상기 본체(20)가 이동 가능하게 결합되는 제1설치기구(30), 및 상기 본체(20)를 이동시키기 위한 이동유닛(40)을 포함한다. 5 and 6, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention includes a main body 20, a first installation mechanism 30 to which the main body 20 is movably coupled, and the main body 20. It includes a mobile unit 40 for moving.

상기 본체(20)에는 상기 기판을 이동시키기 위한 암기구(2)가 결합된다. 상기 암기구(2)는 상기 본체(20)로부터 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제1방향에 반대되는 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 기판은 상기 암기구(2)에 의해 상기 공정챔버에 로딩되거나 상기 공정챔버로부터 언로딩될 수 있다. 상기 본체(20)는 상기 암기구(2)가 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 이동될 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)가 설치되는 기판 처리장치는 상기 공정챔버들이 상기 본체(20)가 이동되는 방향(C축 방향)으로 소정 간격으로 이격되게 배치되고, 상기 공정챔버들이 상기 본체(20)를 기준으로 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향) 쪽에 배치될 수 있다. 상기 본체(20)가 상기 공정챔버들 중에서 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행할 공정챔버 측에 상기 암기구(2)가 위치되도록 C축 방향으로 이동되면, 상기 암기구(2)가 상기 제1방향(A 화살표 방향) 또는 상기 제2방향(B 화살표 방향) 중에서 어느 한 방향으로 이동됨으로써 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행할 수 있다.The main body 20 is coupled to the female mechanism (2) for moving the substrate. The female mechanism 2 may be moved to protrude from the main body 20 in a first direction (A arrow direction) and a second direction (B arrow direction) opposite to the first direction. Accordingly, the substrate may be loaded into or unloaded from the process chamber by the female mechanism 2. The main body 20 may be moved in a direction perpendicular to the direction in which the arm mechanism 2 is moved (C-axis direction). In the substrate processing apparatus in which the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is installed, the process chambers are arranged to be spaced apart at predetermined intervals in the direction in which the main body 20 moves (C axis direction), and the process chambers are disposed in the main body. It may be disposed in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction) with respect to (20). When the main body 20 is moved in the C-axis direction so that the arm mechanism 2 is positioned on the side of the process chamber to perform the loading process and the unloading process among the process chambers, the female mechanism 2 is moved to the first direction. The substrate may be loaded in one direction (A arrow direction) or in the second direction (B arrow direction) to perform a loading process and an unloading process on the substrate.

상기 본체(20)는 전체적으로 직방체 형태로 형성될 수 있다. 상기 본체(20)는 상기 암기구(2)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방항)으로 이동될 수 있도록 상기 제1방향(A 화살표 방향)을 향하는 면과 상기 제2방향(B 화살표 방향)을 향하는 면이 개방되게 형성될 수 있다. 상기 본체(20)에는 상기 암기구(2)가 복수개 결합될 수도 있다. 이 경우, 상기 암기구(2)들은 상하로 적층(積層)되게 상기 본체(20)에 결합될 수 있다.The main body 20 may be formed in a rectangular parallelepiped shape as a whole. The main body 20 has a surface facing the first direction (A arrow direction) so that the arm mechanism 2 can be moved in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). The surface facing the second direction (B arrow direction) may be formed to be open. A plurality of arm mechanisms 2 may be coupled to the main body 20. In this case, the female mechanisms 2 may be coupled to the main body 20 to be stacked up and down.

도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 제1설치기구(30)에는 상기 본체(20)가 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1설치기구(30)는 상기 본체(20)가 이동되는 방향(C축 방향)으로 길게 형성될 수 있다. 상기 제1설치기구(30)는 상기 본체(20)가 이동되는 방향(C축 방향)으로 상기 공정챔버들이 이루는 전체 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다.5 and 6, the main body 20 is movably coupled to the first installation mechanism 30. The first installation mechanism 30 may be formed long in the direction in which the main body 20 moves (C-axis direction). The first installation mechanism 30 may be formed to have a length corresponding to the entire length of the process chambers in the direction in which the main body 20 moves (C-axis direction).

도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 이동유닛(40)은 상기 본체(20)를 이동시킨다. 상기 이동유닛(40)은 상기 암기구(2)가 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 상기 본체(20)를 이동시킬 수 있다. 상기 이동유닛(40)이 상기 본체(20)가 상기 공정챔버들 중에서 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행할 공정챔버 측에 위치되도록 상기 본체(20)를 이동시키면, 상기 암기구(2)가 상기 제1방향(A 화살표 방향) 또는 상기 제2방향(B 화살표 방향) 중에서 어느 한 방향으로 이동됨으로써 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행할 수 있다.5 and 6, the mobile unit 40 moves the main body 20. The moving unit 40 may move the main body 20 in a direction perpendicular to the direction in which the arm mechanism 2 moves (C-axis direction). When the mobile unit 40 moves the main body 20 such that the main body 20 is located in the process chamber side where the loading process and the unloading process are performed among the process chambers, the arm mechanism 2 is moved. By moving in one of the first direction (A arrow direction) or the second direction (B arrow direction), the loading process and the unloading process for the substrate may be performed.

도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 이동유닛(40)은 상술한 본 발명에 따른 선형전동기(1, 도 2에 도시됨)가 이용될 수 있다. 상기 이동유닛(40)은 제1자성체(401), 제2자성체(402), 제1코일(403), 및 제2코일(404)을 포함할 수 있다.5 and 6, the mobile unit 40 may be a linear motor (shown in FIG. 2) according to the present invention described above. The mobile unit 40 may include a first magnetic body 401, a second magnetic body 402, a first coil 403, and a second coil 404.

상기 제1자성체(401)와 상기 제2자성체(402)는 서로 소정 거리로 이격되게 상기 제1설치기구(30)에 설치된다. 상기 제1자성체(401)와 상기 제2자성체(402)는 상기 제1설치기구(30)에서 상기 본체(20)를 향하는 일면에 설치될 수 있다. 도 6을 기준으로 할 때, 상기 제1자성체(401)와 상기 제2자성체(402)는 상기 제1설치기구(30)의 윗면에 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1자성체(401)와 상기 제2자성체(402)는 각각 복수개의 영구자석으로 형성될 수 있다. 상기 제1설치기구(30)에서 상기 본체(20)를 향하는 방향을 수직방향이라 정의할 때, 상기 제1자성체(401)와 상기 제2자성체(402)는 수직방향을 향하게 상기 제1설치기구(30)에 설치될 수 있다. 상기 제1자성체(401)와 상기 제2자성체(402)는 상기 본체(20)가 이동되는 방향(C축 방향)으로 길게 형성될 수 있다. 상기 제1자성체(401)와 상기 제2자성체(402)는 상기 본체(20)가 이동되는 길이에 상응하는 길이를 갖도록 형성될 수 있다. 상기 제1코일(403)과 상기 제2코일(404)은 상기 본체(20)를 이동시키기 위한 충분한 추력을 발생시킬 수 있는 길이로 형성될 수 있다. 상기 제1코일(403)과 상기 제2코일(404)은 상기 제1자성체(111)와 상기 제2자성체(112)가 갖는 길이 보다 짧은 길이로 형성될 수 있다.The first magnetic body 401 and the second magnetic body 402 are installed in the first installation mechanism 30 to be spaced apart from each other by a predetermined distance. The first magnetic body 401 and the second magnetic body 402 may be installed on one surface of the first installation mechanism 30 toward the main body 20. Referring to FIG. 6, the first magnetic body 401 and the second magnetic body 402 may be spaced apart from each other by a predetermined distance on the upper surface of the first installation mechanism 30. The first magnetic body 401 and the second magnetic body 402 may be formed of a plurality of permanent magnets, respectively. When the direction toward the main body 20 in the first installation mechanism 30 is defined as the vertical direction, the first magnetic body 401 and the second magnetic body 402 are directed toward the vertical direction. 30 may be installed. The first magnetic body 401 and the second magnetic body 402 may be formed long in the direction in which the main body 20 is moved (C-axis direction). The first magnetic body 401 and the second magnetic body 402 may be formed to have a length corresponding to the length of the body 20 is moved. The first coil 403 and the second coil 404 may be formed to a length capable of generating a sufficient thrust for moving the main body 20. The first coil 403 and the second coil 404 may be formed to have a length shorter than the length of the first magnetic material 111 and the second magnetic material 112.

도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 제1코일(403)과 상기 제2코일(404)은 서로 소정 거리로 이격되게 상기 본체(20)에 설치된다. 상기 제1코일(403)과 상기 제2코일(404)은 상기 본체(20)에서 상기 제1설치기구(30)를 향하는 일면에 설치될 수 있다. 도 6을 기준으로 할 때, 상기 제1코일(403)과 상기 제2코일(404)은 상기 본체(20)의 밑면에 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1설치기구(30)에서 상기 본체(20)를 향하는 방향을 수직방향이라 정의할 때, 상기 제1코일(403)과 상기 제2코일(404)은 수직방향을 향하게 상기 본체(20)에 설치될 수 있다. 5 and 6, the first coil 403 and the second coil 404 are installed in the main body 20 to be spaced apart from each other by a predetermined distance. The first coil 403 and the second coil 404 may be installed on one surface of the main body 20 facing the first installation mechanism 30. Referring to FIG. 6, the first coil 403 and the second coil 404 may be spaced apart from each other by a predetermined distance from the bottom surface of the main body 20. When the direction toward the main body 20 is defined as the vertical direction in the first installation mechanism 30, the first coil 403 and the second coil 404 face the main direction 20. Can be installed on

상기 제1코일(403)은 상기 제1자성체(401)와 마주보게 설치되고, 이에 따라 상기 제1코일(403)과 상기 제1자성체(401) 사이에 작용하는 전자력에 의해 추력이 발생된다. 상기 제2코일(404)은 상기 제2자성체(402)와 마주보게 설치되고, 이에 따라 상기 제2코일(404)과 상기 제2자성체(402) 사이에 작용하는 전자력에 의해 추력이 발생된다. 상기 제1자성체(401)와 상기 제1코일(403) 사이에 작용하는 전자력과 상기 제2자성체(402)와 상기 제2코일(404) 사이에 작용하는 전자력에 의해 추력이 발생되면, 상기 본체(20)는 상기 암기구(2)가 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 이동될 수 있다.The first coil 403 is installed to face the first magnetic body 401, and thus thrust is generated by an electromagnetic force acting between the first coil 403 and the first magnetic body 401. The second coil 404 is installed to face the second magnetic body 402, and thus thrust is generated by an electromagnetic force acting between the second coil 404 and the second magnetic body 402. When thrust is generated by an electromagnetic force acting between the first magnetic body 401 and the first coil 403 and an electromagnetic force acting between the second magnetic body 402 and the second coil 404, the main body 20 may be moved in a direction (C-axis direction) perpendicular to the direction in which the arm mechanism 2 is moved.

도 5 및 도 6을 참고하면, 상기 제1자성체(401)와 상기 제2자성체(402)는 상기 제1코일(403)과 상기 제2코일(404) 사이에 위치되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1자성체(401)와 상기 제1코일(403) 간의 제1인력과 상기 제2자성체(402)와 상기 제2코일(404) 간의 제2인력이 서로 마주보는 방향을 향하게 발생하도록 구현될 수 있다. 도 6에서 서로 마주보는 방향으로 표시된 점선 화살표가 상기 제1인력과 상기 제2인력이 발생한 방향을 표시한 것이다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1인력과 상기 제2인력이 서로 상쇄될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1인력과 상기 제2인력으로 인해 상기 본체(20)를 이동시키기 위한 추력이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 본체(20)가 상당한 무게를 갖는 중량물로 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 본체(20)를 원활하게 이동시키기 위해 추력을 증가시키면, 추력이 증가된 만큼 상기 인력들이 증가되게 된다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 인력들이 증가되더라도 서로 상쇄될 수 있으므로, 상기 본체(20)가 상당한 무게를 갖는 중량물로 형성되더라도 상기 본체(20)를 이동시키기에 충분한 추력을 제공할 수 있다.5 and 6, the first magnetic body 401 and the second magnetic body 402 may be installed to be positioned between the first coil 403 and the second coil 404. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention includes a first force between the first magnetic body 401 and the first coil 403 and between the second magnetic body 402 and the second coil 404. The second manpower may be implemented to face in a direction facing each other. In FIG. 6, the dashed arrows indicated by the directions facing each other indicate the direction in which the first and second forces are generated. Therefore, in the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, the first human force and the second human force may cancel each other. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the thrust for moving the main body 20 due to the first and second human forces is reduced. In addition, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may be formed of a heavy material in which the main body 20 has a considerable weight. In this case, when the thrust is increased to smoothly move the main body 20, the attraction force is increased as the thrust is increased. Since the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may be offset by each other even when the attraction force is increased, even if the main body 20 is formed of a heavy material having a considerable weight, it may provide sufficient thrust to move the main body 20. Can be.

도 7을 참고하면, 본 발명의 변형된 실시예에 따른 이동유닛(40)은 상기 제1코일(403)과 상기 제2코일(404)이 상기 제1자성체(401)와 상기 제2자성체(402) 사이에 위치되게 설치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1자성체(401)와 상기 제1코일(403) 간의 제1인력과 상기 제2자성체(402)와 상기 제2코일(404) 간의 제2인력이 서로 반대되는 방향을 향하게 발생하도록 구현될 수 있다. 도 7에서 서로 반대되는 방향으로 표시된 점선 화살표가 상기 제1인력과 상기 제2인력이 발생한 방향을 표시한 것이다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1인력과 상기 제2인력이 서로 상쇄될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1인력과 상기 제2인력으로 인해 상기 본체(20)를 이동시키기 위한 추력이 저하되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 본체(20)가 상당한 무게를 갖는 중량물로 형성될 수 있다. 이 경우, 상기 본체(20)를 원활하게 이동시키기 위해 추력을 증가시키면, 추력이 증가된 만큼 상기 인력들이 증가되게 된다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 인력들이 증가되더라도 서로 상쇄될 수 있으므로, 상기 본체(20)가 상당한 무게를 갖는 중량물로 형성되더라도 상기 본체(20)를 이동시키기에 충분한 추력을 제공할 수 있다.Referring to FIG. 7, the mobile unit 40 according to the modified embodiment of the present invention includes the first coil 403 and the second coil 404 of the first magnetic body 401 and the second magnetic body ( It may be installed to be located between the 402. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a first force between the first magnetic body 401 and the first coil 403 and between the second magnetic body 402 and the second coil 404. The second manpower may be implemented to face in directions opposite to each other. In FIG. 7, dotted arrows indicated in opposite directions indicate directions in which the first human force and the second human force are generated. Therefore, in the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, the first human force and the second human force may cancel each other. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the thrust for moving the main body 20 due to the first and second human forces is reduced. In addition, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may be formed of a heavy material in which the main body 20 has a considerable weight. In this case, when the thrust is increased to smoothly move the main body 20, the attraction force is increased as the thrust is increased. Since the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may be offset by each other even when the attraction force is increased, even if the main body 20 is formed of a heavy material having a considerable weight, it may provide sufficient thrust to move the main body 20. Can be.

도 5 내지 도 7을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 본체(20)가 직선 이동되도록 가이드하는 가이드기구(50)를 포함할 수 있다. 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1자성체(401)와 상기 제1코일(403) 간의 제1인력과 상기 제2자성체(402)와 상기 제2코일(404) 간의 제2인력이 서로 마주보는 방향 또는 서로 반대되는 방향을 향하게 발생하도록 구현될 수 있고, 이에 따라 상기 제1인력과 상기 제2인력이 서로 상쇄될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1인력과 상기 제2인력으로 인해 상기 가이드기구(50)가 갖는 성능이 저하되는 것을 방지할 수 있고, 상기 가이드기구(50)에 변형이 발생되는 것을 방지할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 가이드기구(50)가 갖는 사용 수명이 단축되는 것을 방지할 수 있고, 고사양을 갖는 가이드기구(50)를 사용해야 하는 부담을 줄임으로써 제조단가를 낮출 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상당한 무게를 갖는 중량물로 형성된 본체(20)를 이동시키기 위해 추력을 증가시키는 경우, 추력이 증가된 만큼 상기 인력들이 증가되더라도 상기 인력들이 서로 상쇄될 수 있으므로, 중량물로 형성된 본체(20)에 대해서도 상기 가이드기구(50)에 의해 안정적으로 직선 이동되도록 구현될 수 있다.5 to 7, the substrate transport apparatus 1 according to the present invention may include a guide mechanism 50 for guiding the main body 20 to linearly move. As described above, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention includes a first force between the first magnetic body 401 and the first coil 403, the second magnetic body 402 and the second coil 404. The second human force between) may be implemented to face in a direction facing each other or in a direction opposite to each other, so that the first human force and the second human force may be canceled with each other. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the performance of the guide mechanism 50 from being degraded due to the first and second forces, and deformed to the guide mechanism 50. This can be prevented from occurring. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can prevent the service life of the guide mechanism 50 from being shortened and reduce the manufacturing cost by reducing the burden of using the guide mechanism 50 having a high specification. Can be lowered. In addition, in the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, when the thrust is increased to move the main body 20 formed of a heavy material having a considerable weight, the attraction force may be offset by each other even if the attraction force is increased as the thrust is increased. Therefore, even the main body 20 formed of a heavy material can be implemented to be stably linearly moved by the guide mechanism 50.

도 5 내지 도 7을 참고하면, 상기 가이드기구(50)는 서로 이격되게 설치된 제1가이드기구(501) 및 제2가이드기구(502)를 포함할 수 있다.5 to 7, the guide mechanism 50 may include a first guide mechanism 501 and a second guide mechanism 502 that are spaced apart from each other.

상기 제1가이드기구(501)는 제1가이드레일(5011), 및 제1가이드블럭(5012)을 포함할 수 있다. 상기 제1가이드레일(5011)은 상기 제1설치기구(30)에 결합되고, 상기 제1가이드블럭(5012)은 상기 본체(20)에 결합된다. 상기 제1가이드블럭(5012)은 상기 제1가이드레일(5011)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제1가이드레일(5011)을 따라 직선 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1가이드블럭(5012)이 설치된 본체(20)는 상기 제1가이드레일(5011)을 따라 직선 이동될 수 있다. 상기 제1가이드레일(5011)은 리니어가이드레일(LM Rail)이고, 상기 제1가이드블럭(5012)은 리니어가이드블록(LM Block)일 수 있다.The first guide mechanism 501 may include a first guide rail 5011 and a first guide block 5012. The first guide rail 5011 is coupled to the first installation mechanism 30, and the first guide block 5012 is coupled to the main body 20. The first guide block 5012 is movably coupled to the first guide rail 5011 and may be linearly moved along the first guide rail 5011. Accordingly, the main body 20 in which the first guide block 5012 is installed may be linearly moved along the first guide rail 5011. The first guide rail 5011 may be a linear guide rail (LM Rail), and the first guide block 5012 may be a linear guide block (LM Block).

상기 제2가이드기구(502)는 제2가이드레일(5021), 및 제2가이드블럭(5022)을 포함할 수 있다. 상기 제2가이드레일(5021)은 상기 제1설치기구(30)에 결합되고, 상기 제2가이드블럭(5022)은 상기 본체(20)에 결합된다. 상기 제2가이드블럭(5022)은 상기 제2가이드레일(5021)에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제2가이드레일(5021)을 따라 직선 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2가이드블럭(5022)이 설치된 본체(20)는 상기 제2가이드레일(5021)을 따라 직선 이동될 수 있다. 상기 제2가이드레일(5021)은 리니어가이드레일(LM Rail)이고, 상기 제2가이드블럭(5022)은 리니어가이드블록(LM Block)일 수 있다. 상기 제1가이드기구(501)와 상기 제2가이드기구(502)는 서로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1자성체(401), 상기 제2자성체(402), 상기 제1코일(403), 및 상기 제2코일(403)은 상기 제1가이드기구(501)와 상기 제2가이드기구(502) 사이에 위치되게 설치될 수 있다. The second guide mechanism 502 may include a second guide rail 5021 and a second guide block 5022. The second guide rail 5021 is coupled to the first installation mechanism 30, and the second guide block 5022 is coupled to the main body 20. The second guide block 5022 may be movably coupled to the second guide rail 5021 and may be linearly moved along the second guide rail 5021. Accordingly, the main body 20 in which the second guide block 5022 is installed may be linearly moved along the second guide rail 5021. The second guide rail 5021 may be a linear guide rail LM Rail, and the second guide block 5022 may be a linear guide block LM Block. The first guide mechanism 501 and the second guide mechanism 502 may be installed to be spaced apart from each other by a predetermined distance. The first magnetic body 401, the second magnetic body 402, the first coil 403, and the second coil 403 are the first guide mechanism 501 and the second guide mechanism 502. It can be installed to be located in between.

이하에서는 본 발명에 따른 기판 이송장치에 있어서 상기 암기구와 상기 암기구를 이동시키기 위한 구성들의 바람직한 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, with reference to the accompanying drawings, a preferred embodiment of the structure for moving the arm mechanism and the arm mechanism in the substrate transfer apparatus according to the present invention will be described in detail.

도 8 및 도 9는 본 발명에 따른 베이스프레임, 암기구, 구동유닛의 개략적인 사시도, 도 10은 본 발명에 따른 베이스프레임, 암기구, 연동기구, 구동유닛의 개략적인 측면도, 도 11은 본 발명에 따른 베이스프레임, 암기구, 연동기구, 구동유닛의 개략적인 분해사시도, 도 12 및 도 13은 본 발명에 따른 암기구와 연동기구의 작동관계를 설명하기 위한 개념도, 도 14 및 도 15는 본 발명에 따른 서브피니언기어들의 작동관계를 설명하기 위한 개념도, 도 16은 본 발명에 따른 제1연결피니언기어의 개략적인 사시도, 도 17은 본 발명에 따른 가이드부재들의 결합관계를 나타낸 개략적인 정면도, 도 18은 본 발명에 따른 제1백래쉬 보상기구와 제2백래쉬 보상기구의 개략적인 사시도, 도 19 및 도 20은 본 발명에 따른 제1백래쉬 보상기구와 제2백래쉬 보상기구의 작동관계를 설명하기 위한 개념도이다.8 and 9 are schematic perspective views of the base frame, arm mechanism, drive unit according to the present invention, Figure 10 is a schematic side view of the base frame, arm mechanism, interlock mechanism, drive unit according to the present invention, Figure 11 12 and 13 are schematic exploded perspective views of a base frame, an arm mechanism, an interlock mechanism, and a driving unit according to the present invention. FIG. 12 and FIG. 13 are conceptual views illustrating the operation relationship between the arm mechanism and the interlock mechanism according to the present invention. Conceptual view for explaining the operation relationship of the sub-pinion gear according to the invention, Figure 16 is a schematic perspective view of the first connecting pinion gear according to the present invention, Figure 17 is a schematic front view showing the coupling relationship of the guide member according to the present invention 18 is a schematic perspective view of a first backlash compensation mechanism and a second backlash compensation mechanism according to the present invention, and FIGS. 19 and 20 are operational relationships of the first backlash compensation mechanism and the second backlash compensation mechanism according to the present invention. Is a conceptual diagram for explaining.

도 8 내지 도 10를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암기구(2)가 갖는 복수개의 암(Arm, 21, 22, 23)들을 서로 연동(連動)하여 이동시키기 위한 연동기구(3, 도 10에 도시됨), 및 상기 암기구(2)를 이동시키기 위한 구동력을 제공하는 구동유닛(4)을 포함할 수 있다. 상기 암기구(2)는 상기 본체(20, 도 5에 도시됨)에 설치된 베이스프레임(1a)에 결합된다. 8 to 10, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is configured to move a plurality of arms Arm, 21, 22, 23 of the arm mechanism 2 by interlocking with each other. It may include an interlock mechanism (3, shown in Figure 10), and a drive unit (4) for providing a driving force for moving the arm mechanism (2). The female mechanism 2 is coupled to the base frame 1a installed in the main body 20 (shown in FIG. 5).

상기 암들(21, 22, 23)은 상기 구동유닛(4)과 상기 연동기구(3)에 의해 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23)은 각각 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위한 스트로크를 분담하여 구현할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 암들(21, 22, 23)을 긴 스트로크(Stroke)로 이동시킬 수 있다. 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 구동유닛(4)과 상기 연동기구(3)에 의해 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층(積層)되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)이 구현하는 스트로크에 비해 상대적으로 작은 크기로 형성될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 전체적인 크기를 줄일 수 있으면서도 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 암기구(2)를 긴 스트로크로 이동시킬 수 있다.The arms 21, 22, and 23 may be protruded from the base frame 1a by the driving unit 4 and the interlocking mechanism 3. Accordingly, the arms 21, 22, and 23 may be implemented by sharing strokes for performing the loading process and the unloading process, respectively. Accordingly, the substrate transport apparatus 1 according to the present invention may move the arms 21, 22, and 23 in a long stroke to perform the loading and unloading processes for the substrate. The arms 21, 22, and 23 may be moved in such a manner as to overlap each other in the base frame 1a by the driving unit 4 and the interlocking mechanism 3. Accordingly, the substrate transport apparatus 1 according to the present invention may be formed in a relatively small size compared to the stroke implemented by the arms 21, 22, and 23. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can move the arm mechanism 2 in a long stroke to perform the loading process and the unloading process for the substrate while reducing the overall size.

본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 연동기구(3)가 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킨다. 상기 연동기구(3)는 상기 암들(21, 22, 23)에 각각 결합되는 피니언기어(Pinion Gear)와 랙기어(Rack Gear)를 포함할 수 있다. 상기 피니언기어들은 상기 구동유닛(4)에 의한 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들은 상기 피니언기어에 의한 회전운동을 직선운동으로 변환한다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나가 상기 구동유닛(4)에 의해 직선 운동되면, 상기 피니언기어들이 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들이 상기 회전운동을 직선운동으로 변환함으로써, 상기 암들(21, 22, 23)은 서로 연동하여 직선 운동될 수 있다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되도록 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동될 수 있고, 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되도록 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동될 수 있다. 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 벨트(Belt) 방식, 와이어(Wire) 방식, 볼스크류(Ballscrew) 방식, 실린더(Cylinder) 방식이 이용될 수 있는데, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)로 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킴으로써, 다음과 같은 작용효과를 도모할 수 있다.In the substrate transfer device 1 according to the present invention, the linkage mechanism 3 moves in conjunction with the arms 21, 22, and 23. The interlock mechanism 3 may include a pinion gear and a rack gear coupled to the arms 21, 22, and 23, respectively. The pinion gears convert linear motion by the drive unit 4 into rotational motion, and the rack gears convert rotation motion by the pinion gear into linear motion. Accordingly, when any one of the arms 21, 22, 23 is linearly moved by the drive unit 4, the pinion gears convert linear motion into rotational motion, and the rack gears linearly rotate the rotational motion. By converting to motion, the arms 21, 22, 23 can be linearly moved in conjunction with each other. Accordingly, the arms 21, 22, and 23 may be moved together by the linkage mechanism 3 so as to protrude from the base frame 1a, and the arms 21, 22, and 23 may overlap each other in the base frame 1a so as to overlap each other. It can be moved in conjunction with the interlock mechanism (3). In order to move the arms 21, 22, and 23, a belt method, a wire method, a ball screw method, a cylinder method, and the like, may be used. (1) by interlocking the arms (21, 22, 23) to the linkage mechanism (3) using the pinion gears and rack gears, it is possible to achieve the following effects.

우선, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 벨트 방식을 이용하는 경우, 다음과 같은 문제가 있다. 상기 기판에 대한 증착공정, 식각공정 등은 대략 80℃ ~ 180℃에 달하는 고온 환경에서 이루어지게 된다. 즉, 상기 증착공정, 식각공정 등을 수행하기 위한 공정챔버들 내부는 상당한 고온 환경으로 설정되고, 공정의 종류에 따라 상기 공정챔버들마다 다른 온도로 설정될 수 있다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위한 벨트가 상기 공정챔버들 간에 이동되면, 온도 변화에 의해 상기 벨트가 신축(伸縮)되게 된다. 따라서, 상기 공정챔버들 내부의 온도, 상기 암들(21, 22, 23)이 상기 공정챔버들 간에 머무르는 시간 등에 따라 상기 벨트가 신축되는 정도가 달라지고, 상기 벨트가 신축된 정도에 따라 상기 암들(21, 22, 23)이 이동되는 거리가 변동되게 된다. 따라서, 벨트 방식을 이용한 암들(21, 22, 23)은 상기 기판을 정확한 거리로 이동시킬 수 없는 문제가 있다. 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 와이어 방식을 이용하는 경우에도, 상기 와이어가 온도 변화에 따라 수축, 팽창 등에 의해 변형되므로 상기 기판을 정확한 거리로 이동시킬 수 없는 문제가 있다. 따라서, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 벨트 방식 또는 와이어 방식을 이용하는 경우, 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성이 저하되는 문제가 있다.First, when using a belt method to move the arms (21, 22, 23), there are the following problems. Deposition process, etching process, etc. for the substrate is made in a high temperature environment of approximately 80 ℃ ~ 180 ℃. That is, the inside of the process chambers for performing the deposition process, the etching process, etc. may be set to a considerable high temperature environment, and may be set to different temperatures for each of the process chambers according to the type of process. Accordingly, when the belt for moving the arms 21, 22, 23 is moved between the process chambers, the belt is stretched due to temperature change. Therefore, the degree of stretch of the belt varies according to the temperature inside the process chambers, the time the arms 21, 22, 23 stay between the process chambers, and the like. The distance that the 21, 22, 23 is moved is changed. Therefore, the arms 21, 22, and 23 using the belt method have a problem in that the substrate cannot be moved at an accurate distance. Even when a wire method is used to move the arms 21, 22, and 23, there is a problem in that the wire is deformed due to shrinkage, expansion, etc. according to temperature change, and thus the substrate cannot be moved at an accurate distance. Therefore, when using the belt method or the wire method to move the arms (21, 22, 23), there is a problem that the accuracy of the loading process and the unloading process is deteriorated.

이와 달리, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)를 이용함으로써, 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 온도 변화가 발생하더라도 상기 기판을 정확한 거리로 이동시킬 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.In contrast, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention uses a linkage mechanism 3 using pinion gears and rack gears, whereby temperature changes occur in the process of loading and unloading the substrate. Even if the substrate can be moved to the correct distance. Therefore, the substrate transfer device 1 according to the present invention can improve the accuracy of the loading process and the unloading process.

다음, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 볼스크류 방식을 이용하는 경우, 상기 암들(21, 22, 23) 각각에 볼스크류가 결합되어야 하고, 상기 볼스크류들을 회전시키기 위한 모터가 구비되어야 한다. 즉, 상기 암들(21, 22, 23)의 개수만큼 모터가 복수개 구비되어야 한다. 이에 따라, 재료비가 상승하게 되고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 모터들을 제어하는데 어려움이 있는 문제가 있다. 또한, 상기 모터들이 상기 암들(21, 22, 23) 각각에 결합되는 경우, 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 증가시켜 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생될 수 있는 문제가 있다.Next, when using the ball screw method to move the arms (21, 22, 23), a ball screw must be coupled to each of the arms (21, 22, 23), and a motor for rotating the ball screws is provided Should be. That is, a plurality of motors should be provided as many as the arms 21, 22, 23. Accordingly, the material cost is increased, there is a problem in controlling the motors in the process of performing the loading process and the unloading process. In addition, when the motors are coupled to each of the arms 21, 22, and 23, the arms may be increased in the process of performing the loading process and the unloading process by increasing the weight of the arms 21, 22, 23. 21, 22, 23) there is a problem that can cause sag.

이에 반해, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)로 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킴으로써, 하나의 구동유닛(4)으로 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시킬 수 있으므로 재료비를 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)을 용이하게 제어할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 이에 따라 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생되는 것을 방지할 수 있다.On the contrary, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention moves the arms 21, 22, and 23 by interlocking to the interlocking mechanism 3 using pinion gears and rack gears, thereby driving one drive unit 4. Since the arms 21, 22, and 23 can be moved, the material cost can be reduced, and the arms 21, 22, and 23 can be easily controlled in the process of performing the loading process and the unloading process. In addition, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may reduce the weight of the arms 21, 22, and 23, and accordingly, the arms 21, 22, in the process of loading and unloading are performed. 23) can prevent the deflection from occurring.

다음, 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시키기 위해 실린더 방식을 이용하는 경우, 상기 암들(21, 22, 23)에 실린더들이 각각 결합되어야 한다. 이에 따라, 재료비가 상승하게 되고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 실린더들을 제어하는데 어려움이 있는 문제가 있다. 또한, 상기 실린더들이 상기 암들(21, 22, 23)에 각각 결합됨에 따라 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 증가시킴으로써, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생될 수 있는 문제가 있다.Next, when using the cylinder method to move the arms (21, 22, 23), the cylinders should be coupled to the arms (21, 22, 23), respectively. Accordingly, the material cost is increased, there is a problem in controlling the cylinders in the process of performing the loading process and the unloading process. In addition, by increasing the weight of the arms (21, 22, 23) as the cylinders are coupled to the arms (21, 22, 23), respectively, the arms (in the process of performing the loading and unloading process ( 21, 22, 23) there is a problem that can cause sag.

이와 달리, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 피니언기어들과 랙기어들을 이용한 연동기구(3)로 상기 암들(21, 22, 23)을 연동하여 이동시킴으로써, 하나의 구동유닛(4)으로 상기 암들(21, 22, 23)을 이동시킬 수 있으므로 재료비를 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)을 용이하게 제어할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 이에 따라 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암들(21, 22, 23)에 처짐이 발생되는 것을 방지할 수 있다.On the contrary, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention moves the arms 21, 22, and 23 by interlocking to the interlocking mechanism 3 using pinion gears and rack gears, thereby driving one drive unit 4. Since the arms 21, 22, and 23 can be moved, the material cost can be reduced, and the arms 21, 22, and 23 can be easily controlled in the process of performing the loading process and the unloading process. In addition, the substrate transport apparatus 1 according to the present invention may reduce the weight of the arms 21, 22, and 23, and accordingly, the arms 21, 22 in the process of performing the loading process and the unloading process. , 23) can prevent sagging.

이하에서는 상기 암기구(2), 상기 연동기구(3), 및 상기 구동유닛(4)에 관해 첨부된 도면을 참조하여 더 구체적으로 설명한다.Hereinafter, the arm mechanism 2, the linkage mechanism 3, and the driving unit 4 will be described in more detail with reference to the accompanying drawings.

도 8 내지 도 10를 참고하면, 상기 암기구(2)는 이동암(21), 연결기구(22), 및 지지암(23)을 포함할 수 있다.8 to 10, the arm mechanism 2 may include a moving arm 21, a connection mechanism 22, and a support arm 23.

상기 이동암(21)은 상기 베이스프레임(1a)에 이동 가능하게 결합된다. 도 10를 기준으로 할 때, 상기 이동암(21)은 상기 베이스프레임(1a)의 상측에 위치되고, 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)의 상측에 위치되며, 상기 지지암(23)은 상기 연결기구(22)의 상측에 위치될 수 있다. 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 방향으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동될 수 있고, 상기 지지암(23)은 상기 이동암(21)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 방향으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위한 스트로크를 분담하여 구현할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)을 긴 스트로크로 이동시킬 수 있다. 도 8 및 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되게 위치될 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 구현하는 스트로크에 비해 상대적으로 작은 크기로 형성될 수 있다. The movable arm 21 is movably coupled to the base frame 1a. Referring to FIG. 10, the movable arm 21 is positioned above the base frame 1a, the connecting mechanism 22 is positioned above the movable arm 21, and the support arm 23 is provided. May be located above the connecting mechanism 22. As shown in FIG. 9, the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 may be protruded from the base frame 1a. The connecting mechanism 22 may be moved such that the movable arm 21 protrudes from the movable arm 21 in a direction protruding from the base frame 1a, and the support arm 23 is a movable arm 21. It may be moved to protrude from the connecting mechanism 22 in a direction protruding from the base frame (1a). Accordingly, the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 may be implemented by sharing a stroke for performing the loading process and the unloading process. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention has a long stroke of the moving arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 to perform a loading process and an unloading process for the substrate. Can be moved to As shown in FIGS. 8 and 10, the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 may be positioned to overlap each other in the base frame 1a. Accordingly, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may be formed in a relatively small size compared to the stroke implemented by the moving arm 21, the connection mechanism 22, and the support arm 23.

따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 전체적인 크기를 줄일 수 있으면서도 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하기 위해 상기 암기구(2)를 긴 스트로크로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 기판 처리장치에 있어서 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)가 설치되는 이송챔버(미도시)의 크기를 줄일 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 이송챔버를 제조하기 위한 제조비용을 줄일 수 있을 뿐만 아니라, 상기 기판에 대한 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 기판이 이동하는 거리 또한 줄일 수 있으므로 작업 시간을 단축시킬 수 있다.Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention can move the arm mechanism 2 in a long stroke to perform the loading process and the unloading process for the substrate while reducing the overall size. Accordingly, the size of the transfer chamber (not shown) in which the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is installed in the substrate processing apparatus can be reduced. Therefore, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention not only reduces the manufacturing cost for manufacturing the transfer chamber, but also the distance that the substrate moves in the process of loading and unloading the substrate. This reduces the work time.

상기 이동암(21)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 연결기구(22)는 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동되고, 상기 지지암(23)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 연결기구(22)는 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동되고, 상기 지지암(23)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이와 같이, 상기 연결기구(22) 및 상기 지지암(23)은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 따라 상기 베이스프레임(1a)을 기준으로 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향) 중 어느 한 방향으로 돌출되게 이동될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 회전되지 않고도 상기 본체(20, 도 5에 도시됨)를 기준으로 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향) 쪽에 배치된 공정챔버들에 대해 로딩공정과 언로딩공정을 수행할 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)가 적용된 기판 처리장치는 상기 이송챔버에 상기 기판 이송장치(1)가 회전되기 위한 공간을 확보하지 않아도 되므로, 상기 이송챔버의 크기를 더 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 작업시간을 더 단축시킬 수 있다.The movable arm 21 may be moved in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). The movable arm 21 may be moved to protrude from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction). When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction), the connecting mechanism 22 moves the movable arm 21 in the first direction (A arrow direction). The support arm 23 is protruded from the support arm 23 may be protruded from the connecting mechanism 22 in the first direction (A arrow direction). The movable arm 21 may be moved to protrude from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction). When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction), the connecting mechanism 22 moves the movable arm 21 in the second direction (B arrow direction). The support arm 23 is protruded from the support arm 23 may be protruded from the connecting mechanism 22 in the second direction (B arrow direction). In this way, the connecting mechanism 22 and the support arm 23 are in the first direction (A arrow direction) and the second direction with respect to the base frame 1a according to the direction in which the movable arm 21 is moved. It can be moved to protrude in either direction (direction B arrow). Therefore, the substrate transfer device 1 according to the present invention is not rotated to the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction) with respect to the main body 20 (shown in FIG. 5). Loading and unloading processes may be performed on the disposed process chambers. Accordingly, the substrate processing apparatus to which the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention is applied does not have to secure a space for the substrate transfer apparatus 1 to rotate in the transfer chamber, thereby further reducing the size of the transfer chamber. In addition, it is possible to further shorten the work time required to perform the loading and unloading process.

상기 이동암(21)은 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 베이스프레임(1a)은 상기 이동암(21)과 대략 일치하는 크기 또는 상기 이동암(21)보다 큰 크기로 형성될 수 있다. 상기 베이스프레임(1a)은 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있다. 상기 베이스프레임(1a)은 상기 본체(20, 도 5에 도시됨)에 설치될 수 있다.The movable arm 21 may be formed in a rectangular plate shape as a whole. The base frame 1a may be formed to have a size substantially coincident with the movable arm 21 or larger than the movable arm 21. The base frame 1a may be formed in a rectangular plate shape as a whole. The base frame 1a may be installed in the main body 20 (shown in FIG. 5).

도 8 내지 도 10를 참고하면, 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)과 상기 지지암(23) 사이에 위치된다. 상기 연결기구(22)는 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 연결기구(22)에는 상기 지지암(23)이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 연결기구(22)는 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 연결기구(22)는 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 연결기구(22)는 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 연결기구(22)는 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 이동암(21)과 상기 지지암(23) 사이에 중첩되어 적층되게 위치될 수 있다.8 to 10, the connecting mechanism 22 is located between the movable arm 21 and the support arm 23. The connecting mechanism 22 may be movably coupled to the movable arm 21. The support arm 23 may be movably coupled to the connection mechanism 22. As shown in FIG. 9, the connecting mechanism 22 may be moved to protrude from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction), the connecting mechanism 22 moves the movable arm 21 in the first direction (A arrow direction). Can be protruded from. When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction), the connecting mechanism 22 moves the movable arm 21 in the second direction (B arrow direction). Can be protruded from. The connection mechanism 22 may be positioned to overlap and be stacked between the movable arm 21 and the support arm 23 in the base frame 1a.

상기 연결기구(22)는 복수개의 연결암(221, 222)을 포함할 수 있다. 상기 연결암들(221, 222)은 상기 연동기구(3)에 의해 서로 연동하여 이동될 수 있다. 상기 이동암(21), 상기 연결암들(221, 222), 및 상기 지지암(23)은 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동될 수 있다. 예컨대, 상기 연결기구(22)는 제1연결암(221) 및 제2연결암(222)을 포함할 수 있다. 상기 제1연결암(221)은 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합될 수 있고, 상기 연동기구(3)에 의해 상기 이동암(21)이 이동됨에 따라 연동하여 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제1연결암(221)은 상기 이동암(21)이 돌출된 방향으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)과 상기 지지암(23) 사이에 설치될 수 있다. 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)에 이동 가능하게 결합될 수 있고, 상기 연동기구(3)에 의해 상기 제1연결암(221)이 이동됨에 따라 연동하여 이동될 수 있다. 상기 제1연결암(221)이 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)이 돌출된 방향으로 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)에 이동 가능하게 결합될 수 있고, 상기 연동기구(3)에 의해 상기 제2연결암(222)이 이동됨에 따라 연동하여 이동될 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)이 돌출된 방향으로 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. The connection mechanism 22 may include a plurality of connection arms 221 and 222. The connecting arms 221 and 222 may be moved in cooperation with each other by the linkage mechanism 3. The movable arm 21, the connecting arms 221 and 222, and the support arm 23 may be moved in cooperation with the interlocking mechanism 3. For example, the connection mechanism 22 may include a first connection arm 221 and a second connection arm 222. The first connection arm 221 may be movably coupled to the movement arm 21, and may be moved in cooperation with the movement arm 21 by the linkage mechanism 3. When the movable arm 21 is moved to protrude from the base frame 1a, the first connection arm 221 may be moved to protrude from the movable arm 21 in the direction in which the movable arm 21 protrudes. The second connection arm 222 may be installed between the first connection arm 221 and the support arm 23. The second connection arm 222 may be movably coupled to the first connection arm 221, and may be moved in conjunction with the first connection arm 221 by the linkage mechanism 3. Can be. When the first connection arm 221 is moved to protrude from the movable arm 21, the second connection arm 222 is the first connection arm 221 in the direction in which the first connection arm 221 protrudes. Can be protruded from. The support arm 23 may be movably coupled to the second connection arm 222, and may move in conjunction with the second connection arm 222 by the interlocking mechanism 3. . When the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221, the support arm 23 is the second connection arm 222 in the direction in which the second connection arm 222 protrudes. Can protrude from).

도시되지는 않았지만, 상기 연결기구(22)는 하나의 연결암(221)을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 연결암(221)에서 상기 베이스프레임(1a)을 향하는 일면은 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 연결암(221)에서 상기 지지암(23)을 향하는 타면에는 상기 지지암(23)이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 연결기구(22)는 3개 이상의 연결암(221)을 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 연결암(221)들은 상기 연동기구(3)에 의해 서로 연동하여 이동될 수 있다. 상기 연결암(221)들 중 상기 베이스프레임(1a)에 가장 가깝게 위치된 것은 상기 이동암(21)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 연결암(221)들 중 상기 지지암(23)에 가장 가깝게 위치된 것에는 상기 지지암(23)이 이동 가능하게 결합될 수 있다.Although not shown, the connection mechanism 22 may include one connection arm 221. In this case, one surface of the connection arm 221 facing the base frame 1a may be movably coupled to the movement arm 21. The support arm 23 may be movably coupled to the other surface of the connection arm 221 toward the support arm 23. Although not shown, the connecting mechanism 22 may include three or more connecting arms 221. In this case, the connection arms 221 may be moved in cooperation with each other by the linkage mechanism (3). The one closest to the base frame 1a of the connection arms 221 may be movably coupled to the movement arm 21. The support arm 23 may be movably coupled to one of the connection arms 221 that is located closest to the support arm 23.

도 10 및 도 11을 참고하면, 상기 연결암들(221, 222)은 각각 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 긴 바(Bar) 형태로 형성된 2개의 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)을 포함할 수 있다. 상기 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)에는 각각 상기 연동기구(3)가 결합될 수 있고, 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동될 수 있다. 상기 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)은 각각 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 위치된다. 이에 따라, 상기 연결암들(221, 222) 각각이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 상기 연결암들(221, 222) 각각에 중량에 의한 처짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 상기 연결암들(221, 222)이 각각 2개의 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)을 포함하는 경우, 상기 연결암들(221, 222) 각각이 갖는 중량을 줄일 수 있으나 그만큼 상기 지지암(23)을 지지하기 위한 지지력이 저하될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지암(23)에 처짐이 발생할 수 있고, 상기 지지암(23)에 기판이 지지된 경우에는 상기 지지암(23)에 처짐이 발생될 가능성이 높아지게 된다. 이와 같이 상기 지지암(23)에 처짐이 발생하는 것을 방지하기 위해, 상기 연결암들(221, 222) 중 적어도 하나는 지지력을 보강하기 위한 보강부재(22a)를 포함할 수 있다. 상기 보강부재(22a)는 상기 연결암들(221, 222) 각각이 갖는 2개의 연결프레임들(221a, 221b, 222a, 222b)에 연결되게 형성됨으로써 상기 연결암들(221, 222)이 갖는 지지력을 보강할 수 있다. 예컨대, 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 보강부재(22a)는 상기 제1연결암(221)이 갖는 2개의 연결프레임들(221a, 221b)에 연결되게 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 보강부재(22a)는 상기 제2연결암(222)을 지지하기 위한 상기 제1연결암(221)의 지지력을 보강할 수 있고, 이로 인해 상기 지지암(23)을 지지하기 위한 상기 제2연결암(222)의 지지력을 보강할 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 보강부재(22a)는 상기 제2연결암(222)에만 형성될 수도 있고, 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222) 모두에 형성될 수도 있다. 상기 보강부재(22a)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 연결암들(221, 222)이 갖는 길이보다 짧은 길이로 형성될 수 있다. 상기 보강부재(22a)는 전체적으로 사각판형으로 형성될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 보강부재(22a)는 상기 지지암(23)에도 형성될 수 있다.Referring to FIGS. 10 and 11, the connecting arms 221 and 222 may have two connecting frames 221a, 221b, 222a, respectively, which are formed in a bar shape in a direction in which the moving arm 21 moves. 222b). The linkage mechanism 3 may be coupled to the connection frames 221a, 221b, 222a, and 222b, respectively, and may be moved in association with the linkage mechanism 3. The connecting frames 221a, 221b, 222a, and 222b are positioned at a distance apart from each other in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction). Accordingly, the weight of each of the connection arms 221 and 222 can be reduced, and sagging due to weight can be prevented from occurring in each of the connection arms 221 and 222. When the connecting arms 221 and 222 each include two connecting frames 221a, 221b, 222a and 222b, the weight of each of the connecting arms 221 and 222 can be reduced, but the support The supporting force for supporting the arm 23 may be lowered. Accordingly, deflection may occur in the support arm 23, and when the substrate is supported by the support arm 23, the possibility of deflection in the support arm 23 may increase. In order to prevent the deflection from occurring in the support arm 23 as described above, at least one of the connection arms 221 and 222 may include a reinforcing member 22a for reinforcing the bearing force. The reinforcing member 22a is formed to be connected to the two connecting frames 221a, 221b, 222a, and 222b of each of the connecting arms 221 and 222, so that the supporting force of the connecting arms 221 and 222 has. Can be reinforced. For example, when the connecting mechanism 22 includes the first connecting arm 221 and the second connecting arm 222, the reinforcing member 22a may be provided with two pieces of the first connecting arm 221. It may be formed to be connected to the connection frames (221a, 221b). Accordingly, the reinforcing member 22a may reinforce the supporting force of the first connection arm 221 for supporting the second connection arm 222, thereby supporting the support arm 23. The support force of the second connection arm 222 may be reinforced. Although not shown, the reinforcing member 22a may be formed only on the second connection arm 222, or may be formed on both the first connection arm 221 and the second connection arm 222. The reinforcing member 22a may be formed to have a length shorter than the length of the connecting arms 221 and 222 in the direction in which the moving arm 21 moves. The reinforcing member 22a may be formed in a rectangular plate shape as a whole. Although not shown, the reinforcing member 22a may be formed on the support arm 23.

도 8 내지 도 10를 참고하면, 상기 지지암(23)은 상기 연결기구(22)에 이동 가능하게 결합된다. 도 10를 기준으로 할 때, 상기 지지암(23)은 상기 연결기구(22)의 상측에 위치될 수 있다. 도 9에 도시된 바와 같이, 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 지지암(23)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 이동암(21)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 지지암(23)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 이동암(21) 및 상기 연결기구(22)와 서로 중첩되어 적층되게 위치될 수 있다. 상기 연결기구(22)가 복수개의 연결암들(221, 222)을 포함하는 경우, 상기 지지암(23)은 상기 연결암들(221, 222) 중 상기 지지암(23)에 가장 가깝게 위치한 것에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 예컨대, 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동된 방향으로 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 8 to 10, the support arm 23 is movably coupled to the connection mechanism 22. Referring to FIG. 10, the support arm 23 may be positioned above the connecting mechanism 22. As shown in FIG. 9, the support arm 23 may be protruded from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction), the support arm 23 is connected to the connecting mechanism 22 in the first direction (A arrow direction). Can be protruded from). When the movable arm 21 is protruded from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction), the support arm 23 is connected to the connecting mechanism 22 in the second direction (B arrow direction). Can be protruded from). The support arm 23 may be positioned to overlap with the moving arm 21 and the connecting mechanism 22 in the base frame 1a. When the connection mechanism 22 includes a plurality of connection arms 221 and 222, the support arm 23 is located closest to the support arm 23 among the connection arms 221 and 222. It can be movably coupled. For example, when the connection mechanism 22 includes the first connection arm 221 and the second connection arm 222, the support arm 23 is movable to the second connection arm 222. Can be combined. The support arm 23 may move to protrude from the second connection arm 222 in a direction in which the second connection arm 222 is protruded from the first connection arm 221.

도 10 및 도 11을 참고하면, 상기 지지암(23)은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 긴 바(Bar) 형태로 형성된 2개의 지지프레임들(23a, 23b)을 포함할 수 있다. 상기 지지프레임들(23a, 23b)에는 각각 상기 연동기구(3)가 결합될 수 있고, 상기 연동기구(3)에 의해 연동하여 이동될 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 2개의 연결프레임들(222a, 222b)을 포함하는 경우, 2개의 연결프레임들(222a, 222b)에는 각각 상기 지지프레임들(23a, 23b)이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 지지프레임들(23a, 23b)은 각각 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 위치된다. 이에 따라, 상기 지지암(23)이 갖는 중량을 줄일 수 있고, 상기 지지암(23)에 중량에 의한 처짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 10 and 11, the support arm 23 may include two support frames 23a and 23b formed in a long bar shape in a direction in which the movable arm 21 moves. The linkage mechanism 3 may be coupled to the support frames 23a and 23b, respectively, and may be moved in cooperation with the linkage mechanism 3. When the second connection arm 222 includes two connection frames 222a and 222b, the support frames 23a and 23b are movably coupled to the two connection frames 222a and 222b, respectively. Can be. The support frames 23a and 23b are positioned apart from each other by a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the movable arm 21 moves (C-axis direction). Accordingly, the weight of the support arm 23 can be reduced, and the sagging of the support arm 23 can be prevented from occurring.

상기 지지암(23)은 상기 기판을 지지할 수 있다. 도 10를 기준으로 할 때, 상기 기판은 상기 지지암(23)의 상측에 지지될 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 기판을 지지하기 위한 지지부재(231)를 포함할 수 있다. 도 9의 확대도에 도시된 바와 같이, 상기 지지부재(231)는 전체적으로 원반형태로 형성될 수 있다. 상기 지지부재(231)는 중앙 부분에 형성된 홈(2311)과 상기 홈(2311)에 의해 고리형태로 형성된 지지면(2312)을 포함할 수 있다. 상기 기판은 상기 지지면(2312)에 접촉되어 지지될 수 있다. 이에 따라, 상기 지지부재(231)는 상기 홈(2311)에 의해 상기 기판에 접촉되는 면적을 줄임으로써 상기 기판이 손상되는 것을 방지할 수 있고, 상기 지지면(2312)에 의해 상기 기판을 충분한 지지력으로 지지할 수 있다. 상기 홈(2311)은 원반형태로 형성될 수 있고, 상기 지지면(2312)은 원형 고리형태로 형성될 수 있다. 상기 지지암(23)은 상기 지지부재(231)를 복수개 포함할 수도 있다. 이 경우, 상기 지지부재(231)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 소정 간격으로 이격되어 복수개가 설치될 수 있다. 상기 지지암(23)이 2개의 지지프레임들(23a, 23b)을 포함하는 경우, 상기 지지부재(231)들은 상기 지지프레임들(23a, 23b)에 각각 복수개가 설치될 수 있다.The support arm 23 may support the substrate. Referring to FIG. 10, the substrate may be supported above the support arm 23. The support arm 23 may include a support member 231 for supporting the substrate. As shown in an enlarged view of FIG. 9, the support member 231 may be formed in a disk shape as a whole. The support member 231 may include a groove 2311 formed in the center portion and a support surface 2312 formed in a ring shape by the groove 2311. The substrate may be in contact with and supported by the support surface 2312. Accordingly, the support member 231 can prevent the substrate from being damaged by reducing the area in contact with the substrate by the groove 2311, and the support surface 2312 is sufficient to support the substrate. I can support it. The groove 2311 may be formed in a disk shape, and the support surface 2312 may be formed in a circular ring shape. The support arm 23 may include a plurality of the support members 231. In this case, the support member 231 may be spaced apart at predetermined intervals in the direction in which the movable arm 21 moves. When the support arm 23 includes two support frames 23a and 23b, a plurality of support members 231 may be installed on the support frames 23a and 23b, respectively.

도 10 내지 도 13을 참고하면, 상기 연동기구(3)는 상기 암기구(2)가 갖는 암들(21, 22, 23)을 서로 연동하여 이동시킬 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 암기구(2)에 결합될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 복수개의 피니언기어 및 복수개의 랙기어를 포함할 수 있다. 상기 피니언기어들은 상기 구동유닛(4)에 의한 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들은 상기 피니언기어에 의한 회전운동을 직선운동으로 변환한다. 이에 따라, 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나가 상기 구동유닛(4)에 의해 이동되면, 상기 피니언기어들이 직선운동을 회전운동으로 변환하고, 상기 랙기어들이 상기 피니언기어들의 회전운동을 직선운동으로 변환함으로써, 상기 암들(21, 22, 23)은 서로 연동하여 이동될 수 있다. 상기 피니언기어들은 각각 상기 암들(21, 22, 23) 각각이 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 갖는 길이를 기준으로, 가운데 부분에 위치되게 상기 암들(21, 22, 23)에 결합될 수 있다.10 to 13, the linkage mechanism 3 may move the arms 21, 22, and 23 of the arm mechanism 2 in cooperation with each other. The linkage mechanism 3 may be coupled to the arm mechanism 2. The interlock mechanism 3 may include a plurality of pinion gears and a plurality of rack gears. The pinion gears convert linear motion by the drive unit 4 into rotational motion, and the rack gears convert rotation motion by the pinion gear into linear motion. Accordingly, when any one of the arms (21, 22, 23) is moved by the drive unit (4), the pinion gears convert a linear motion into a rotational motion, the rack gears the rotational motion of the pinion gears By converting the linear motion, the arms (21, 22, 23) can be moved in conjunction with each other. The pinion gears may be coupled to the arms 21, 22, and 23 so that each of the arms 21, 22, and 23 may be positioned at a central portion of the arm 21, 22, and 23, respectively, based on a length of the arms 21, 22, and 23 in the direction in which the movable arms 21 move. have.

상기 연동기구(3)는 상기 베이스프레임(1a)에 결합된 베이스랙기어(31), 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32), 상기 연결기구(22)에 결합된 연결랙기어(33)와 연결피니언기어(34), 및 상기 지지암(33)에 결합된 지지랙기어(35)를 포함할 수 있다.The linkage mechanism 3 includes a base rack gear 31 coupled to the base frame 1a, a movable pinion gear 32 coupled to the movable arm 21, and a linkage rack gear coupled to the coupling mechanism 22. Reference numeral 33 may include a connecting pinion gear 34 and a support rack gear 35 coupled to the support arm 33.

상기 베이스랙기어(31)는 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 이동암(21)을 향하는 면에 설치된다. 도 10를 기준으로 할 때, 상기 베이스랙기어(31)는 상기 베이스프레임(1a)의 윗면에 설치될 수 있다. 상기 베이스랙기어(31)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 베이스프레임(1a)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 베이스랙기어(31)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 베이스랙기어(31)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 11에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다.The base rack gear 31 is installed on the surface facing the moving arm 21 in the base frame (1a). 10, the base rack gear 31 may be installed on an upper surface of the base frame 1a. The base rack gear 31 may be formed to have a length corresponding to the length of the base frame 1a in the direction in which the movable arm 21 moves. The interlock mechanism 3 may include a plurality of base rack gears 31. The base rack gears 31 may be installed to be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 11).

상기 이동피니언기어(32)는 상기 이동암(21)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 이동피니언기어(32)는 상기 베이스랙기어(31)에 맞물림되게 상기 이동암(21)에 결합될 수 있다. 상기 이동피니언기어(32)는 상기 이동암(21)이 이동됨에 따라 상기 베이스랙기어(31)에 맞물림되어 회전될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 이동피니언기어(32)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 2개의 이동피니언기어(32)를 포함할 수 있고, 상기 이동피니언기어(32)들은 상기 이동암(21)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 이동암(21)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 11에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 연동기구(3)는 상기 이동피니언기어(32)들에 상응하는 개수로 상기 베이스랙기어(31)를 포함할 수 있다. 상기 베이스랙기어(31)는 상기 이동피니언기어(32)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 베이스프레임(1a)에 설치될 수 있다. 상기 이동피니언기어(32)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 이동암(21)이 갖는 길이를 기준으로, 상기 이동암(21)의 가운데 부분에 위치되게 상기 이동암(21)에 결합될 수 있다.The movable pinion gear 32 is rotatably coupled to the movable arm 21. The movable pinion gear 32 may be coupled to the movable arm 21 to be engaged with the base rack gear 31. The movable pinion gear 32 may be rotated by being engaged with the base rack gear 31 as the movable arm 21 is moved. The linkage mechanism 3 may include a plurality of the movable pinion gear 32. The linkage mechanism 3 may include two movable pinion gears 32, and the movable pinion gears 32 may be rotatably coupled to both sides of the movable arm 21, respectively. Both sides of the movable arm 21 are two side surfaces facing the direction perpendicular to the direction in which the movable arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 11). The linkage mechanism 3 may include the base rack gear 31 in a number corresponding to the movable pinion gears 32. The base rack gear 31 may be installed in the base frame 1a at a position where the movable pinion gear 32 may be engaged. The movable pinion gear 32 may be coupled to the movable arm 21 so as to be positioned at the center of the movable arm 21 based on the length of the movable arm 21 in the direction in which the movable arm 21 moves. have.

상기 연결랙기어(33)는 상기 연결기구(22)에 결합된다. 상기 연결랙기어(33)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 연결기구(22)가 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 연결랙기어(33)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연결랙기어(33)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 11에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되어 상기 연결기구(22)에 결합될 수 있다.The connecting rack gear 33 is coupled to the connecting mechanism 22. The connecting rack gear 33 may be formed in a length corresponding to the length of the connecting mechanism 22 in the direction in which the movable arm 21 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of connecting rack gears 33. The connecting rack gears 33 may be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 11) and may be coupled to the connecting mechanism 22. .

상기 연결피니언기어(34)는 상기 연결기구(22)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 연동기구(3)는 상기 연결피니언기어(34)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연결피니언기어(34)들은 상기 연결기구(22)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 연결기구(22)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 11에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 연결피니언기어(34)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 연결기구(22)가 갖는 길이를 기준으로, 상기 연결기구(22)의 가운데 부분에 위치되게 상기 연결기구(22)에 결합될 수 있다.The connecting pinion gear 34 is rotatably coupled to the connecting mechanism 22. The interlock mechanism 3 may include a plurality of connection pinion gears 34. The connecting pinion gears 34 may be rotatably coupled to both sides of the connecting mechanism 22, respectively. Both side surfaces of the coupling mechanism 22 are two side surfaces facing the direction perpendicular to the direction in which the movable arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 11). The connecting pinion gear 34 may be positioned at the center portion of the connecting mechanism 22 based on the length of the connecting mechanism 22 in the direction in which the movable arm 21 moves. Can be combined.

상기 연결기구(22)가 복수개의 연결암들(221, 222)을 포함하는 경우, 상기 연동기구(3)는 상기 연결암(221, 222)들에 각각 결합되는 복수개의 연결랙기어(33)와 복수개의 연결피니언기어(34)를 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 연동기구(3)는 제1연결랙기어(331), 제1연결피니언기어(341), 제2연결랙기어(332), 및 제2연결피니언기어(342)를 포함할 수 있다.When the coupling mechanism 22 includes a plurality of coupling arms 221 and 222, the linkage mechanism 3 is coupled to the coupling arms 221 and 222, respectively. And a plurality of connecting pinion gears 34. For example, when the connecting mechanism 22 includes the first connecting arm 221 and the second connecting arm 222, the linkage mechanism 3 may include a first connecting rack gear 331 and a first connection. It may include a pinion gear 341, a second connecting rack gear 332, and a second connecting pinion gear 342.

상기 제1연결랙기어(331)는 상기 제1연결암(221)에 결합된다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 이동피니언기어(32)에 맞물림되어 상기 이동피니언기어(32)가 회전됨에 따라 이동될 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)가 상기 이동피니언기어(32)가 회전됨에 따라 이동되면, 상기 제1연결랙기어(331)가 결합된 상기 제1연결암(221)이 이동될 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 제1연결암(221)에서 상기 이동암(21)을 향하는 일면에 설치될 수 있다. 도 10를 기준으로 할 때, 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 제1연결암(221)의 밑면에 설치될 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 제1연결암(221)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 제1연결랙기어(331)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 11에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1연결암(221)이 2개의 연결프레임들(221a, 221b)을 포함하는 경우, 상기 제1연결랙기어(331)들은 상기 연결프레임들(221a, 221b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 이동피니언기어(32)들에 상응하는 개수로 상기 제1연결랙기어(331)를 포함할 수 있다. 상기 제1연결랙기어(331)는 상기 이동피니언기어(32)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 제1연결암(221)에 설치될 수 있다. The first connecting rack gear 331 is coupled to the first connecting arm 221. The first connecting rack gear 331 is engaged with the movable pinion gear 32 so that the movable pinion gear 32 is rotated. When the first connecting rack gear 331 moves as the movable pinion gear 32 is rotated, the first connecting arm 221 to which the first connecting rack gear 331 is coupled may move. The first connecting rack gear 331 may be installed on one surface of the first connecting arm 221 facing the moving arm 21. Referring to FIG. 10, the first connecting rack gear 331 may be installed on the bottom surface of the first connecting arm 221. The first connecting rack gear 331 may be formed in a length corresponding to the length of the first connecting arm 221 in the direction in which the moving arm 21 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of first connecting rack gears 331. The first connecting rack gears 331 may be installed to be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 11). When the first connection arm 221 includes two connection frames 221a and 221b, the first connection rack gears 331 may be installed in each of the connection frames 221a and 221b. The interlock mechanism 3 may include the first connecting rack gear 331 in a number corresponding to the movable pinion gears 32. The first connecting rack gear 331 may be installed on the first connecting arm 221 at a position where the movable pinion gear 32 may be engaged.

상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 제1연결암(221)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 제1연결암(221)이 이동됨에 따라 회전될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제1연결피니언기어(341)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 2개의 제1연결피니언기어(341)를 포함할 수 있고, 상기 제1연결피니언기어(341)들은 상기 제1연결암(221)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1연결암(221)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 11에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 제1연결암(221)이 2개의 연결프레임들(221a, 221b)을 포함하는 경우, 상기 제1연결피니언기어(341)들은 상기 연결프레임들(221a, 221b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 제1연결암(221)이 갖는 길이를 기준으로, 상기 제1연결암(221)의 가운데 부분에 위치되게 상기 제1연결암(221)에 결합될 수 있다.The first connecting pinion gear 341 is rotatably coupled to the first connecting arm 221. The first connection pinion gear 341 may be rotated as the first connection arm 221 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of first connecting pinion gears 341. The interlock mechanism 3 may include two first connecting pinion gears 341, and the first connecting pinion gears 341 may be rotatably coupled to both sides of the first connecting arm 221, respectively. Can be. Both side surfaces of the first connection arm 221 are two side surfaces facing the direction perpendicular to the direction in which the movable arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 11). When the first connection arm 221 includes two connection frames 221a and 221b, the first connection pinion gears 341 may be installed in each of the connection frames 221a and 221b. The first connection pinion gear 341 may be positioned at a central portion of the first connection arm 221 based on a length of the first connection arm 221 in the direction in which the movable arm 21 moves. It may be coupled to the first connection arm 221.

상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제2연결암(222)에 결합된다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제1연결피니언기어(341)에 맞물림되어 상기 제1연결피니언기어(341)가 회전됨에 따라 이동될 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1연결피니언기어(341)가 회전됨에 따라 이동되면, 상기 제2연결랙기어(332)가 결합된 상기 제2연결암(222)이 이동될 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제2연결암(222)에서 상기 제1연결암(221)을 향하는 일면에 설치될 수 있다. 도 10를 기준으로 할 때, 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제2연결암(222)의 밑면에 설치될 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 제2연결암(222)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 제2연결랙기어(332)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 11에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 2개의 연결프레임들(222a, 222b)을 포함하는 경우, 상기 제2연결랙기어(332)들은 상기 연결프레임들(222a, 222b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제1연결피니언기어(341)들에 상응하는 개수로 상기 제2연결랙기어(332)를 포함할 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)는 상기 제1연결피니언기어(341)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 제2연결암(222)에 설치될 수 있다. The second connecting rack gear 332 is coupled to the second connecting arm 222. The second connecting rack gear 332 may be engaged with the first connecting pinion gear 341 to move as the first connecting pinion gear 341 is rotated. When the second connection rack gear 332 is moved as the first connection pinion gear 341 is rotated, the second connection arm 222 coupled with the second connection rack gear 332 may be moved. have. The second connection rack gear 332 may be installed on one surface of the second connection arm 222 facing the first connection arm 221. Referring to FIG. 10, the second connecting rack gear 332 may be installed on the bottom surface of the second connecting arm 222. The second connecting rack gear 332 may be formed to have a length corresponding to the length of the second connecting arm 222 in the direction in which the moving arm 21 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of second connecting rack gears 332. The second connecting rack gears 332 may be installed to be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 11). When the second connection arm 222 includes two connection frames 222a and 222b, the second connection rack gears 332 may be installed in each of the connection frames 222a and 222b. The interlock mechanism 3 may include the second connecting rack gear 332 in a number corresponding to the first connecting pinion gears 341. The second connecting rack gear 332 may be installed on the second connecting arm 222 at a position where the first connecting pinion gear 341 may be engaged.

상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제2연결암(222)에 회전 가능하게 결합된다. 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제2연결암(222)이 이동됨에 따라 회전될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제2연결피니언기어(342)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 연동기구(3)는 2개의 제2연결피니언기어(342)를 포함할 수 있고, 상기 제2연결피니언기어(342)들은 상기 제2연결암(222)의 양측면에 각각 회전 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2연결암(222)의 양측면은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 11에 도시됨)을 향하는 2개의 측면이다. 상기 제2연결암(222)이 2개의 연결프레임들(222a, 222b)을 포함하는 경우, 상기 제2연결피니언기어(342)들은 상기 연결프레임들(222a, 222b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 제2연결피니언기어(341)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 제2연결암(222)이 갖는 길이를 기준으로, 상기 제2연결암(222)의 가운데 부분에 위치되게 상기 제2연결암(222)에 결합될 수 있다. 도 10에는 상기 이동암(21), 상기 제1연결암(221), 상기 제2연결암(222), 및 상기 지지암(23)이 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되게 적층되었을 때, 상기 이동피니언기어(32), 상기 제1연결피니언기어(341), 및 상기 제2연결피니언기어(342)가 동일한 수직선상에 위치되지 않은 것으로 도시되었으나, 상기 이동피니언기어(32), 상기 제1연결피니언기어(341), 및 상기 제2연결피니언기어(342)는 동일한 수직선상에 위치될 수 있다.The second connection pinion gear 342 is rotatably coupled to the second connection arm 222. The second connection pinion gear 342 may be rotated as the second connection arm 222 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of second connecting pinion gears 342. The linkage mechanism 3 may include two second connection pinion gears 342, and the second connection pinion gears 342 may be rotatably coupled to both sides of the second connection arm 222, respectively. Can be. Both side surfaces of the second connection arm 222 are two side surfaces facing the direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 11). When the second connection arm 222 includes two connection frames 222a and 222b, the second connection pinion gears 342 may be installed in each of the connection frames 222a and 222b. The second connection pinion gear 341 may be positioned at a central portion of the second connection arm 222 based on a length of the second connection arm 222 in a direction in which the movable arm 21 moves. It may be coupled to the second connection arm 222. In FIG. 10, when the movable arm 21, the first connecting arm 221, the second connecting arm 222, and the support arm 23 are stacked to overlap each other in the base frame 1a, the Although the movable pinion gear 32, the first connecting pinion gear 341, and the second connecting pinion gear 342 are not shown on the same vertical line, the movable pinion gear 32 and the first The connecting pinion gear 341 and the second connecting pinion gear 342 may be located on the same vertical line.

도 10 내지 도 13을 참고하면, 상기 지지랙기어(35)는 상기 지지암(23)에 결합된다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 제2연결피니언기어(342)에 맞물림되어 상기 제2연결피니언기어(342)가 회전됨에 따라 이동될 수 있다. 상기 지지랙기어(35)가 상기 제2연결피니언기어(342)가 회전됨에 따라 이동되면, 상기 지지랙기어(35)가 결합된 상기 지지암(23)이 이동될 수 있다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 지지암(23)에서 상기 제2연결암(222)을 향하는 일면에 설치될 수 있다. 도 10를 기준으로 할 때, 상기 지지랙기어(35)는 상기 지지암(23)의 밑면에 설치될 수 있다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 지지암(23)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 지지랙기어(35)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 지지랙기어(35)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 11에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제2지지암(23)이 2개의 지지프레임들(23a, 23b)을 포함하는 경우, 상기 지지랙기어(35)들은 상기 지지프레임들(23a, 23b) 각각에 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제2연결피니언기어(342)들에 상응하는 개수로 상기 지지랙기어(35)를 포함할 수 있다. 상기 지지랙기어(35)는 상기 제2연결피니언기어(342)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 지지암(23)에 설치될 수 있다.10 to 13, the support rack gear 35 is coupled to the support arm 23. The support rack gear 35 may be engaged with the second connecting pinion gear 342 to move as the second connecting pinion gear 342 is rotated. When the support rack gear 35 is moved as the second connecting pinion gear 342 is rotated, the support arm 23 to which the support rack gear 35 is coupled may move. The support rack gear 35 may be installed on one surface of the support arm 23 facing the second connection arm 222. Referring to FIG. 10, the support rack gear 35 may be installed on the bottom surface of the support arm 23. The support rack gear 35 may be formed to have a length corresponding to the length of the support arm 23 in the direction in which the movable arm 21 moves. The linkage mechanism 3 may include a plurality of support rack gears 35. The support rack gears 35 may be installed to be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 11). When the second support arm 23 includes two support frames 23a and 23b, the support rack gears 35 may be installed in each of the support frames 23a and 23b. The linkage mechanism 3 may include the support rack gear 35 in a number corresponding to the second connection pinion gears 342. The support rack gear 35 may be installed on the support arm 23 at a position where the second connection pinion gear 342 may be engaged.

도 10 내지 도 13을 참고하면, 상기 연동기구(3)는 이동랙기어(36)를 포함할 수 있다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)에 결합된다. 상기 이동랙기어(36)에는 상기 제1연결피니언기어(341)가 맞물림될 수 있다. 즉, 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동랙기어(36)와 상기 제2연결랙기어(332)에 각각 맞물림될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1연결암(221)이 이동되면, 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전되어 상기 제2연결랙기어(332)를 이동시킬 수 있다. 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1연결피니언기어(341)가 회전됨에 따라 이동되면, 상기 제2연결랙기어(332)가 결합된 상기 제2연결암(222)이 이동될 수 있다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)에서 상기 베이스프레임(1a)을 향하는 일면에 대해 반대되는 타면에 설치될 수 있다. 도 10를 기준으로 할 때, 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)의 윗면에 설치될 수 있다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 이동암(21)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 이동랙기어(36)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 이동랙기어(36)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 11에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제1연결피니언기어(341)들에 상응하는 개수로 상기 이동랙기어(36)를 포함할 수 있다. 상기 이동랙기어(36)는 상기 제1연결피니언기어(341)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 이동암(22)에 설치될 수 있다. 10 to 13, the linkage mechanism 3 may include a movable rack gear 36. The movable rack gear 36 is coupled to the movable arm 21. The first connecting pinion gear 341 may be engaged with the movable rack gear 36. That is, the first connecting pinion gear 341 may be engaged with the movable rack gear 36 and the second connecting rack gear 332, respectively. Accordingly, when the first connecting arm 221 is moved, the first connecting pinion gear 341 may be rotated along the movable rack gear 36 to move the second connecting rack gear 332. . When the second connection rack gear 332 is moved as the first connection pinion gear 341 is rotated, the second connection arm 222 coupled with the second connection rack gear 332 may be moved. have. The movable rack gear 36 may be installed on the other surface opposite to one surface facing the base frame 1a in the movable arm 21. Referring to FIG. 10, the movable rack gear 36 may be installed on the upper surface of the movable arm 21. The movable rack gear 36 may have a length corresponding to the length of the movable arm 21 in the direction in which the movable arm 21 moves. The interlock mechanism 3 may include a plurality of movable rack gears 36. The moving rack gears 36 may be installed to be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 11). The interlock mechanism 3 may include the movable rack gear 36 in a number corresponding to the first connecting pinion gears 341. The movable rack gear 36 may be installed on the movable arm 22 at a position where the first connecting pinion gear 341 may be engaged.

도 10 내지 도 13을 참고하면, 상기 연동기구(3)는 제3연결랙기어(333)를 포함할 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제1연결암(221)에 결합된다. 상기 제3연결랙기어(333)에는 상기 제2연결피니언기어(342)가 맞물림될 수 있다. 즉, 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제3연결랙기어(333)와 상기 지지랙기어(35)에 각각 맞물림될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2연결암(222)이 이동되면, 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제3연결랙기어(333)를 따라 회전되어 상기 지지랙기어(35)를 이동시킬 수 있다. 상기 지지랙기어(35)가 상기 제2연결피니언기어(342)가 회전됨에 따라 이동되면, 상기 지지랙기어(35)가 결합된 상기 지지암(23)이 이동될 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제1연결암(221)에서 상기 제1연결랙기어(331)가 설치된 일면에 대해 반대되는 타면에 설치될 수 있다. 도 10를 기준으로 할 때, 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제1연결암(221)의 윗면에 설치될 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 상기 제1연결암(221)이 갖는 길이에 상응하는 길이로 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제3연결랙기어(333)를 복수개 포함할 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향, 도 11에 도시됨)으로 소정 거리로 이격되게 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)는 상기 제2연결피니언기어(342)들에 상응하는 개수로 상기 제3연결랙기어(333)를 포함할 수 있다. 상기 제3연결랙기어(333)는 상기 제2연결피니언기어(342)가 맞물림될 수 있는 위치에서 상기 제1연결암(221)에 설치될 수 있다. 10 to 13, the interlock mechanism 3 may include a third connecting rack gear 333. The third connecting rack gear 333 is coupled to the first connecting arm 221. The second connecting pinion gear 342 may be engaged with the third connecting rack gear 333. That is, the second connecting pinion gear 342 may be engaged with the third connecting rack gear 333 and the support rack gear 35, respectively. Accordingly, when the second connection arm 222 is moved, the second connection pinion gear 342 may be rotated along the third connection rack gear 333 to move the support rack gear 35. . When the support rack gear 35 is moved as the second connecting pinion gear 342 is rotated, the support arm 23 to which the support rack gear 35 is coupled may move. The third connecting rack gear 333 may be installed on the other surface opposite to one surface on which the first connecting rack gear 331 is installed in the first connecting arm 221. Referring to FIG. 10, the third connecting rack gear 333 may be installed on an upper surface of the first connecting arm 221. The third connecting rack gear 333 may be formed in a length corresponding to the length of the first connecting arm 221 in the direction in which the moving arm 21 is moved. The interlock mechanism 3 may include a plurality of third connecting rack gears 333. The third connecting rack gears 333 may be installed to be spaced apart at a predetermined distance in a direction perpendicular to the direction in which the moving arm 21 moves (C-axis direction, shown in FIG. 11). The interlock mechanism 3 may include the third connecting rack gear 333 in a number corresponding to the second connecting pinion gears 342. The third connecting rack gear 333 may be installed on the first connecting arm 221 at a position where the second connecting pinion gear 342 may be engaged.

이하에서는 상기 암기구(2)와 상기 연동기구(3)의 작동관계에 관해 첨부된 도 10 내지 도 13을 참고하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the operation relationship between the arm mechanism 2 and the linkage mechanism 3 will be described in detail with reference to FIGS. 10 to 13.

우선, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 암기구(2)가 갖는 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되게 위치된 상태이다. 이 상태에서, 상기 구동유닛(4, 도 9에 도시됨)이 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나를 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동시킨다. 예컨대, 상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동시킬 수 있다. First, as shown in FIG. 10, the arms 21, 22, and 23 of the female mechanism 2 are positioned to overlap each other in the base frame 1a. In this state, the drive unit 4 (shown in FIG. 9) moves any of the arms 21, 22, 23 in the first direction (A arrow direction). For example, the driving unit 4 may move the moving arm 21 in the first direction (A arrow direction).

다음, 상기 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동되면, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되게 이동된다. 상기 이동암(21)이 이동됨에 따라, 상기 이동피니언기어(32)는 상기 베이스랙기어(31)에 맞물림되어 상기 베이스랙기어(31)를 따라 회전된다. 상기 이동피니언기어(32)가 상기 베이스랙기어(31)를 따라 회전되면, 상기 이동피니언기어(32)에 맞물림된 상기 제1연결랙기어(331)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동된다. Next, when the movable arm 21 is moved in the first direction (A arrow direction), as shown in FIG. 12, the movable arm 21 is moved in the first direction (A arrow direction) to the base frame 1a. It is moved to protrude from. As the movable arm 21 is moved, the movable pinion gear 32 is engaged with the base rack gear 31 and rotates along the base rack gear 31. When the movable pinion gear 32 is rotated along the base rack gear 31, the first connecting rack gear 331 meshed with the movable pinion gear 32 moves in the first direction (A arrow direction). Is moved.

다음, 상기 제1연결랙기어(311)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동되면, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 제1연결암(221)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동된다. 상기 제1연결암(221)이 이동됨에 따라, 상기 제1연결피니언기어(341)는 상기 이동랙기어(36)에 맞물림되어 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전된다. 상기 제1연결피니언기어(341)가 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전되면, 상기 제1연결피니언기어(341)에 맞물림된 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동된다.Next, when the first connection rack gear 311 is moved in the first direction (A arrow direction), as shown in FIG. 12, the first connection arm 221 is moved in the first direction (A arrow direction). It is moved to protrude from the movable arm (21). As the first connecting arm 221 is moved, the first connecting pinion gear 341 is engaged with the movable rack gear 36 and rotates along the movable rack gear 36. When the first connecting pinion gear 341 is rotated along the movable rack gear 36, the second connecting rack gear 332 meshed with the first connecting pinion gear 341 moves in the first direction (A). Arrow direction).

다음, 상기 제2연결랙기어(332)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동되면, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 제2연결암(222)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동된다. 상기 제2연결암(222)이 이동됨에 따라, 상기 제2연결피니언기어(342)는 상기 제3연결랙기어(333)에 맞물림되어 상기 제3연결랙기어(333)를 따라 회전된다. 상기 제2연결피니언기어(342)가 상기 제3연결랙기어(333)를 따라 회전되면, 상기 제2연결피니언기어(342)에 맞물림된 상기 지지랙기어(35)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동된다.Next, when the second connection rack gear 332 is moved in the first direction (A arrow direction), as shown in FIG. 12, the second connection arm 222 is moved in the first direction (A arrow direction). It is moved to protrude from the first connection arm (221). As the second connecting arm 222 is moved, the second connecting pinion gear 342 is engaged with the third connecting rack gear 333 and rotates along the third connecting rack gear 333. When the second connecting pinion gear 342 is rotated along the third connecting rack gear 333, the support rack gear 35 meshed with the second connecting pinion gear 342 is moved in the first direction (A). Arrow direction).

다음, 상기 지지랙기어(35)가 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동되면, 도 12에 도시된 바와 같이 상기 지지암(23)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동된다. 상술한 바와 같이 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 연동기구(3)에 의해 서로 연동하여 이동됨으로써, 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 위치될 수 있다. 상기 암들(21, 22, 23)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 이동된 상태에서, 상기 구동유닛(4, 도 9에 도시됨)이 상기 이동암(21)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시키면, 도 10에 도시된 바와 같이 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)에서 서로 중첩되어 적층되게 이동될 수 있다. 그리고, 상기 구동유닛(4, 도 9에 도시됨)이 상기 이동암(21)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 더 이동시키면, 도 13에 도시된 바와 같이 상기 암들(21, 22, 23)은 상기 베이스프레임(1a)으로부터 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동될 수 있다.Next, when the support rack gear 35 is moved in the first direction (A arrow direction), the support arm 23 moves to the second direction in the first direction (A arrow direction) as shown in FIG. 12. It is moved to protrude from the connecting arm 222. As described above, the arms 21, 22, and 23 may be positioned to protrude from the base frame 1a in the first direction (A arrow direction) by moving in cooperation with each other by the linkage mechanism 3. have. The driving unit 4 (shown in FIG. 9) moves the arm (with the arms 21, 22, 23 protruding from the base frame 1a in the first direction (the arrow direction A)). When the 21 is moved in the second direction (the direction of the arrow B), the arms 21, 22, and 23 may be moved to overlap each other in the base frame 1a as illustrated in FIG. 10. Further, when the driving unit 4 (shown in FIG. 9) further moves the moving arm 21 in the second direction (the direction of the arrow B), the arms 21, 22, 23 as shown in FIG. 13. ) May be protruded from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction).

도 10, 도 14 및 도 15을 참고하면, 상기 연동기구(3)가 갖는 피니언기어들(32, 34) 중에서 적어도 하나는 제1서브피니언기어(3a)와 제2서브피니언기어(3b)를 포함할 수 있다. 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)는 서로 연결되게 형성되고, 이에 따라 함께 회전될 수 있다. 상기 제1서브피니언기어(3a)는 상기 연동기구(3)가 갖는 랙기어들(31, 33, 35) 중에서 제1랙기어(3c)에 맞물림된다. 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 연동기구(3)가 갖는 랙기어들(31, 33, 35) 중에서 제2랙기어(3d)에 맞물림된다. 상기 제1랙기어(3c)와 상기 제2랙기어(3d)는 서로 다른 암들(21, 22, 23)에 결합된다. 상기 제1서브피니언기어(3a)는 상기 제1랙기어(3c)에 맞물림되어 상기 제1랙기어(3c)를 따라 회전될 수 있고, 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 제2랙기어(3d)에 맞물림되어 상기 제2랙기어(3d)를 이동시킬 수 있다. 도 15에 도시된 바와 같이, 상기 제1서브피니언기어(3a)가 갖는 제1직경(D1)은 상기 제2서브피니언기어(3b)가 갖는 제2직경(D2)보다 작은 크기로 형성될 수 있다. 이에 따라, 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)가 소정 각도(R)로 회전되면, 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 제1서브피니언기어(3a)가 회전된 거리(L1)보다 큰 거리(L2)로 회전될 수 있다. 따라서, 상기 제1서브피니언기어(3a)가 상기 제1랙기어(3c)를 따라 회전된 거리에 비해, 상기 제2서브피니언기어(3b)는 상기 제2랙기어(3d)를 더 큰 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암들(21, 22, 23)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시키는데 걸리는 시간을 줄임으로써, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는데 걸리는 작업시간을 단축시킬 수 있다.10, 14, and 15, at least one of the pinion gears 32 and 34 of the interlock mechanism 3 includes the first sub pinion gear 3a and the second sub pinion gear 3b. It may include. The first sub pinion gear 3a and the second sub pinion gear 3b may be connected to each other, and thus may be rotated together. The first sub-pinion gear 3a is engaged with the first rack gear 3c among the rack gears 31, 33, 35 of the interlock mechanism 3. The second sub-pinion gear 3b is engaged with the second rack gear 3d among the rack gears 31, 33, 35 of the interlock mechanism 3. The first rack gear 3c and the second rack gear 3d are coupled to different arms 21, 22, and 23. The first sub-pinion gear 3a may be engaged with the first rack gear 3c to rotate along the first rack gear 3c, and the second sub-pinion gear 3b may be rotated along the second rack. The second rack gear 3d may be moved by being engaged with the gear 3d. As shown in FIG. 15, the first diameter D1 of the first sub-pinion gear 3a may be smaller than the second diameter D2 of the second sub-pinion gear 3b. have. Accordingly, when the first sub-pinion gear 3a and the second sub-pinion gear 3b are rotated by a predetermined angle R, the second sub-pinion gear 3b is the first sub-pinion gear 3a. ) May be rotated by a distance L2 greater than the rotated distance L1. Accordingly, the second sub-pinion gear 3b is larger than the distance of the first sub-pinion gear 3a rotated along the first rack gear 3c. Can be moved to Accordingly, the substrate transfer device 1 according to the present invention reduces the time taken to move the arms 21, 22, and 23 in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). As a result, the work time required to perform the loading process and the unloading process can be shortened.

상기 연동기구(3)가 갖는 피니언기어들(32, 34) 중에서 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)를 포함하는 피니언기어들(32, 34)은, 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 암들(21, 22, 23)이 서로 중첩되어 적층된 방향을 수직방향이라 정의할 때, 수평방향으로 설치될 수 있다. 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)는 수직방향으로 소정 거리 이격되게 형성될 수 있다. 상기 연동기구(3)가 갖는 랙기어들(31, 33, 35) 중에서 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)에 맞물림된 상기 제1랙기어(3c)와 상기 제2랙기어(3d)도 수평방향으로 설치될 수 있다. 상기 연동기구(3)가 갖는 피니언기어들(32, 34) 중에서 상기 제1서브피니언기어(3a)와 상기 제2서브피니언기어(3b)를 포함하지 않는 피니언기어들(32, 34)은, 도 10에 도시된 바와 같이 수직방향으로 설치될 수 있고, 이에 맞물림된 랙기어들(31, 33, 35)도 수직방향으로 설치될 수 있다.Among the pinion gears 32 and 34 of the linkage mechanism 3, the pinion gears 32 and 34 including the first sub pinion gear 3a and the second sub pinion gear 3b are the When the arms 21, 22, and 23 are overlapped with each other in the base frame 1a and defined as a vertical direction, the arms 21, 22, and 23 may be installed in a horizontal direction. The first sub pinion gear 3a and the second sub pinion gear 3b may be formed to be spaced apart by a predetermined distance in the vertical direction. Among the rack gears 31, 33, 35 of the interlock mechanism 3, the first rack gear 3c meshed with the first sub-pinion gear 3a and the second sub-pinion gear 3b; The second rack gear 3d may also be installed in the horizontal direction. Among the pinion gears 32 and 34 of the linkage mechanism 3, the pinion gears 32 and 34 which do not include the first sub-pinion gear 3a and the second sub-pinion gear 3b are, As shown in FIG. 10, the rack gears 31, 33, and 35 engaged with each other may be installed in the vertical direction.

예컨대, 도 16에 도시된 바와 같이 상기 제1연결피니언기어(331)는 제1서브연결피니언기어(331a) 및 제2서브연결피니언기어(331b)를 포함할 수 있다. 상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 서로 연결되게 형성된다. 상기 제1서브연결피니언기어(331a)는 상기 이동랙기어(36)에 맞물림되고, 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제2연결랙기어(332)에 맞물림된다. 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제1서브연결피니언기어(331a)가 갖는 직경보다 큰 직경을 갖도록 형성된다. 이에 따라, 상기 제1연결피니언기어(331)가 결합된 제1연결암(221)이 이동되면, 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제1서브연결피니언기어(331a)가 회전된 거리보다 큰 거리로 회전될 수 있다. 따라서, 상기 제1서브연결피니언기어(331)가 상기 이동랙기어(36)를 따라 회전된 거리에 비해, 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 제2연결랙기어(332)를 더 큰 거리로 이동시킴으로써 상기 제2연결암(222)이 이동되는 속도를 증가시킬 수 있다.For example, as illustrated in FIG. 16, the first connecting pinion gear 331 may include a first sub connecting pinion gear 331a and a second sub connecting pinion gear 331b. The first sub connection pinion gear 331a and the second sub connection pinion gear 331b are formed to be connected to each other. The first sub connection pinion gear 331a is engaged with the movable rack gear 36, and the second sub connection pinion gear 331b is engaged with the second connection rack gear 332. The second sub connection pinion gear 331b is formed to have a diameter larger than the diameter of the first sub connection pinion gear 331a. Accordingly, when the first connecting arm 221 coupled with the first connecting pinion gear 331 is moved, the second sub connecting pinion gear 331b is rotated by the first sub connecting pinion gear 331a. It can be rotated to a distance greater than the distance. Accordingly, the second sub connecting pinion gear 331b further extends the second connecting rack gear 332 as compared with the distance at which the first sub connecting pinion gear 331 is rotated along the movable rack gear 36. By moving at a larger distance, the speed at which the second connection arm 222 is moved can be increased.

상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 암들(21, 22, 23)이 서로 중첩되어 적층된 방향을 수직방향이라 정의할 때, 수평방향으로 설치될 수 있다. 상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)는 수직방향으로 소정 거리 이격되게 형성될 수 있다. 상기 이동랙기어(36)와 상기 제2연결랙기어(332)는 소정 거리 이격되게 수평방향으로 설치될 수 있고, 상기 제1서브연결피니언기어(331a)와 상기 제2서브연결피니언기어(331b)에 각각 맞물림되는 부분이 서로 마주보게 설치될 수 있다.The first sub-connected pinion gear 331a and the second sub-connected pinion gear 331b are defined as vertical directions in which the arms 21, 22, and 23 are overlapped and stacked in the base frame 1a. When installed, it can be installed in the horizontal direction. The first sub connection pinion gear 331a and the second sub connection pinion gear 331b may be formed to be spaced apart a predetermined distance in the vertical direction. The movable rack gear 36 and the second connecting rack gear 332 may be installed in a horizontal direction to be spaced apart by a predetermined distance, and the first sub connecting pinion gear 331a and the second sub connecting pinion gear 331b. The parts engaged with each other may be installed to face each other.

도 9 내지 도 13을 참고하면, 상기 구동유닛(4)은 상기 암들(21, 22, 23) 중 어느 하나를 이동시킨다. 상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21)에 결합될 수 있고, 상기 이동암(21)을 이동시킬 수 있다. 상기 구동유닛(4)이 상기 이동암(21)을 이동시키면, 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32)가 회전되고, 이에 따라 상기 연결기구(22)와 상기 지지암(23)이 연동하여 이동될 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 구동유닛(4)은 상기 연결기구(22) 또는 상기 지지암(23)에 결합될 수도 있고, 상기 연결기구(22) 또는 상기 지지암(23)을 이동시킬 수도 있다.9 to 13, the driving unit 4 moves any one of the arms 21, 22, and 23. The driving unit 4 may be coupled to the movable arm 21 and move the movable arm 21. When the driving unit 4 moves the movable arm 21, the movable pinion gear 32 coupled to the movable arm 21 is rotated, whereby the connecting mechanism 22 and the support arm 23 are rotated. Can be moved in conjunction. Although not shown, the drive unit 4 may be coupled to the connection mechanism 22 or the support arm 23, or may move the connection mechanism 22 or the support arm 23.

상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시킬 수 있다. 상기 구동유닛(4)이 상기 이동암(21)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동시키면, 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32)가 시계방향으로 회전될 수 있다. 이에 따라, 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 이동될 수 있다. 상기 구동유닛(4)이 상기 이동암(21)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동시키면, 상기 이동암(21)에 결합된 이동피니언기어(32)가 반시계방향으로 회전될 수 있다. 이에 따라, 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)은 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동될 수 있다.The driving unit 4 may move the moving arm 21 in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). When the driving unit 4 moves the movable arm 21 in the first direction (A arrow direction), the movable pinion gear 32 coupled to the movable arm 21 may be rotated clockwise. Accordingly, the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 may be moved in the first direction (A arrow direction). When the driving unit 4 moves the movable arm 21 in the second direction (B arrow direction), the movable pinion gear 32 coupled to the movable arm 21 may be rotated counterclockwise. Accordingly, the connection mechanism 22 and the support arm 23 may be moved in the second direction (B arrow direction).

상기 구동유닛(4)은 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 제1위치와 제2위치 중 어느 하나에 위치되도록 상기 이동암(21)을 이동시킬 수 있다. 상기 제1위치는 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출되는 위치이다. 예컨대, 상기 제1위치는 도 12에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 위치, 및 도 13에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 상기 베이스프레임(1a)으로부터 돌출된 위치이다. 상기 제2위치는 도 10에 도시된 바와 같이 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 상기 베이스프레임(1a)에서 중첩되게 적층되는 위치이다.The driving unit 4 may move the movable arm 21 such that the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 are positioned at any one of a first position and a second position. have. The first position is a position at which the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 protrude from the base frame 1a. For example, as shown in FIG. 12, the movable arm 21, the coupling mechanism 22, and the support arm 23 are positioned in the first direction (the arrow direction A) in the base frame 1a. 13 and the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 are projected from the base frame 1a in the second direction (B arrow direction), as shown in FIG. ) Is the position protruding from. As shown in FIG. 10, the second position is a position at which the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 are stacked in the base frame 1a so as to overlap each other.

도 9 및 도 11을 참고하면, 상기 구동유닛(4)은 선형전동기(Linear Motor)일 수 있다. 이 경우, 상기 구동유닛(4)은 상기 베이스프레임(1a)에 설치된 코일기구(41) 및 상기 이동암(21)에 결합된 이동기구(42)를 포함할 수 있다. 상기 코일기구(41)는 상기 베이스프레임(1a)에 고정되게 설치되고, 상기 이동기구(42)는 상기 베이스프레임(1a)에 이동 가능하게 설치될 수 있다. 상기 이동기구(42)에는 복수개의 영구자석(421)이 설치된다. 상기 영구자석(421)들은 상기 이동기구(42)에서 상기 코일기구(41)을 향하는 일면에 설치된다. 상기 영구자석(421)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향으로 서로 인접하게 설치될 수 있다. 상기 이동기구(42)는 상기 코일기구(41)와 상기 영구자석(421)들 간에 작용하는 전자력에 의해 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동될 수 있다. 상기 이동기구(42)가 이동됨에 따라, 상기 이동기구(42)에 결합된 이동암(21)이 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 이동될 수 있다. 9 and 11, the driving unit 4 may be a linear motor. In this case, the driving unit 4 may include a coil mechanism 41 installed on the base frame 1a and a moving mechanism 42 coupled to the moving arm 21. The coil mechanism 41 may be installed to be fixed to the base frame 1a, and the moving mechanism 42 may be installed to be movable to the base frame 1a. The moving mechanism 42 is provided with a plurality of permanent magnets 421. The permanent magnets 421 are installed on one surface of the moving mechanism 42 toward the coil mechanism 41. The permanent magnets 421 may be installed adjacent to each other in the direction in which the moving arm 21 is moved. The moving mechanism 42 may be moved in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction) by an electromagnetic force acting between the coil mechanism 41 and the permanent magnets 421. have. As the moving mechanism 42 is moved, the moving arm 21 coupled to the moving mechanism 42 may move in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction).

도시되지는 않았지만, 상기 구동유닛(4)은 본 발명에 따른 선형전동기(1, 도 2에 도시됨)와 대략 일치하는 구조로 구현될 수도 있다. 이에 관하여는 본 발명에 따른 선형전동기(1, 도 2에 도시됨)에 대한 설명으로부터 당업자가 용이하게 도출할 수 있으므로 구체적인 설명은 생략한다. 도시되지는 않았지만, 상기 구동유닛(4)은 유압실린더 또는 공압실린더를 이용한 실린더방식, 모터와 랙기어와 피니언기어 등을 이용한 기어방식, 모터와 볼스크류 등을 이용한 볼스크류방식, 모터와 풀리와 벨트 등을 이용한 벨트방식 등을 이용하여 상기 이동암(21)을 이동시킬 수도 있다.Although not shown, the drive unit 4 may be embodied in a structure substantially coincident with the linear motor 1 (shown in FIG. 2) according to the present invention. In this regard, since a person skilled in the art can easily derive from the description of the linear motor (shown in FIG. 2) according to the present invention, a detailed description thereof will be omitted. Although not shown, the drive unit 4 is a cylinder method using a hydraulic cylinder or a pneumatic cylinder, a gear method using a motor, a rack gear and a pinion gear, etc., a ball screw method using a motor and a ball screw, a motor and a pulley and The moving arm 21 may be moved by using a belt method using a belt or the like.

도 9 및 도 11을 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암기구(2)를 복수개 포함할 수도 있다. 상기 암기구(2)들은 각각 상기 베이스프레임(1a)에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 암기구(2)들은 각각 상기 구동유닛(4)의 양측에 결합되고, 상기 구동유닛(4)에 의해 함께 이동될 수 있다. 상기 구동유닛(4)에는 상기 암기구(2)들의 이동암(21)들이 결합될 수 있다. 상기 이동암(21)들은 각각 상기 이동기구(42)의 양측에 결합될 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 대형화된 기판의 경우, 상기 암기구(2)들이 상기 기판을 분담하여 지지함으로써 상기 기판이 갖는 무게에 의해 상기 암기구(2)들에 처짐이 발생하는 것을 방지할 수 있다. 또한, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 암기구(2)들이 하나의 구동유닛(4)에 의해 이동되도록 함으로써, 재료비를 줄일 수 있고, 상기 로딩공정과 언로딩공정을 수행하는 과정에서 상기 암기구(2)들이 동일한 거리로 이동되도록 용이하게 제어할 수 있다.9 and 11, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of arm mechanisms 2. The female mechanisms 2 may be movably coupled to the base frame 1a, respectively. The arm mechanisms 2 are respectively coupled to both sides of the drive unit 4, and can be moved together by the drive unit 4. The moving arms 21 of the arm mechanisms 2 may be coupled to the driving unit 4. The moving arms 21 may be coupled to both sides of the moving mechanism 42, respectively. Therefore, in the case of a large-sized substrate, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention sags the female mechanisms 2 due to the weight of the substrate by the female mechanisms 2 sharing and supporting the substrates. It can be prevented from occurring. In addition, in the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, the arm mechanisms 2 are moved by one driving unit 4, thereby reducing the material cost, and performing the loading process and the unloading process. In the arm mechanism (2) can be easily controlled to move the same distance.

도 17를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 복수개의 가이드부재(5)를 포함할 수 있다.Referring to FIG. 17, the substrate transport apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of guide members 5.

상기 가이드부재(5)들은 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23) 각각이 직선 이동되도록 가이드할 수 있다. 상기 가이드부재(5)들은 상기 이동암(21), 상기 연결기구(22), 및 상기 지지암(23)이 이동되는 방향으로 길게 형성될 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 제1가이드부재(51), 제2가이드부재(52), 제3가이드부재(53), 및 제4가이드부재(54)를 포함할 수 있다.The guide members 5 may guide the moving arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 to be linearly moved. The guide members 5 may be elongated in a direction in which the movable arm 21, the connecting mechanism 22, and the support arm 23 move. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a first guide member 51, a second guide member 52, a third guide member 53, and a fourth guide member 54.

상기 제1가이드부재(51)는 상기 베이스프레임(1a)과 상기 이동암(21) 사이에 위치된다. 상기 제1가이드부재(51)는 상기 베이스프레임(1a)에 결합될 수 있다. 상기 제1가이드부재(51)에는 상기 이동암(21)이 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제1가이드부재(51)는 상기 이동암(21)이 직선 이동되도록 가이드할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제1가이드부재(51)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제1가이드부재(51)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제1가이드부재(51)는 리니어가이드레일(LM Rail)일 수 있다.The first guide member 51 is located between the base frame 1a and the movable arm 21. The first guide member 51 may be coupled to the base frame 1a. The movable arm 21 may be movably coupled to the first guide member 51. The first guide member 51 may guide the moving arm 21 to move linearly. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of first guide members 51, and the first guide members 51 may be perpendicular to a direction in which the movable arm 21 moves. C-axis direction) can be installed a predetermined distance apart. The first guide member 51 may be a linear guide rail (LM rail).

상기 제2가이드부재(52)는 상기 이동암(21)과 상기 제1연결암(221) 사이에 위치된다. 도 17를 기준으로 할 때, 상기 제2가이드부재(52)는 상기 제1연결암(221)의 밑면에 결합되고, 상기 이동암(21)의 윗면에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제2가이드부재(52)는 상기 제1연결암(221)이 직선 이동되도록 가이드할 수 있다. 상기 제1연결암(221)이 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제2가이드부재(52) 또한 상기 이동암(21)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제2가이드부재(52)는 상기 이동암(21)으로부터 돌출된 제1연결암(221)을 지지하기 위한 지지력을 강화할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제2가이드부재(52)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제2가이드부재(52)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제2가이드부재(52)는 리니어가이드레일(LM Rail)일 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 이동암(21)의 윗면에는 상기 제2가이드부재(52)가 이동 가능하게 결합되는 리니어가이드블록(LM Block)이 설치될 수도 있다.The second guide member 52 is positioned between the movable arm 21 and the first connection arm 221. Referring to FIG. 17, the second guide member 52 may be coupled to the bottom surface of the first connection arm 221 and may be coupled to the top surface of the movable arm 21 to be movable. The second guide member 52 may guide the first connection arm 221 to be linearly moved. When the first connecting arm 221 is moved to protrude from the moving arm 21, the second guide member 52 may also be moved to protrude from the moving arm 21. Accordingly, the second guide member 52 may reinforce a supporting force for supporting the first connection arm 221 protruding from the moving arm 21. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of second guide members 52, and the second guide members 52 may be perpendicular to a direction in which the movable arm 21 moves. C-axis direction) can be installed a predetermined distance apart. The second guide member 52 may be a linear guide rail (LM Rail). Although not shown, a linear guide block (LM Block) to which the second guide member 52 is movably coupled may be installed on the upper surface of the movable arm 21.

상기 제3가이드부재(53)는 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222) 사이에 위치된다. 도 17를 기준으로 할 때, 상기 제3가이드부재(53)는 상기 제2연결암(222)의 밑면에 결합되고, 상기 제1연결암(221)의 윗면에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제3가이드부재(53)는 상기 제2연결암(222)이 직선 이동되도록 가이드할 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제3가이드부재(53) 또한 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제3가이드부재(53)는 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 제2연결암(222)을 지지하기 위한 지지력을 강화할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제3가이드부재(53)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제3가이드부재(53)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제3가이드부재(53)는 리니어가이드레일(LM Rail)일 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제1연결암(221)의 윗면에는 상기 제3가이드부재(53)가 이동 가능하게 결합되는 리니어가이드블록(LM Block)이 설치될 수도 있다.The third guide member 53 is positioned between the first connection arm 221 and the second connection arm 222. Referring to FIG. 17, the third guide member 53 may be coupled to the bottom surface of the second connection arm 222 and movably coupled to the top surface of the first connection arm 221. The third guide member 53 may guide the second connection arm 222 to move linearly. When the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221, the third guide member 53 may also be moved to protrude from the first connection arm 221. Accordingly, the third guide member 53 may reinforce a supporting force for supporting the second connection arm 222 protruding from the first connection arm 221. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of third guide members 53, and the third guide members 53 may be perpendicular to the direction in which the movable arm 21 is moved. C-axis direction) can be installed a predetermined distance apart. The third guide member 53 may be a linear guide rail (LM Rail). Although not shown, a linear guide block (LM Block) to which the third guide member 53 is movably coupled may be installed on an upper surface of the first connection arm 221.

상기 제4가이드부재(54)는 상기 제2연결암(222)과 상기 지지암(23) 사이에 위치된다. 도 17를 기준으로 할 때, 상기 제4가이드부재(54)는 상기 지지암(23)의 밑면에 결합되고, 상기 제2연결암(222)의 윗면에 이동 가능하게 결합될 수 있다. 상기 제4가이드부재(54)는 상기 지지암(23)이 직선 이동되도록 가이드할 수 있다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제4가이드부재(54) 또한 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동될 수 있다. 이에 따라, 상기 제4가이드부재(54)는 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 지지암(23)을 지지하기 위한 지지력을 강화할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제4가이드부재(54)를 복수개 포함할 수 있고, 상기 제4가이드부재(54)들은 상기 이동암(21)이 이동되는 방향에 대해 수직한 방향(C축 방향)으로 소정 거리 떨어져 설치될 수 있다. 상기 제4가이드부재(54)는 리니어가이드레일(LM Rail)일 수 있다. 도시되지는 않았지만, 상기 제2연결암(222)의 윗면에는 상기 제4가이드부재(54)가 이동 가능하게 결합되는 리니어가이드블록(LM Block)이 설치될 수도 있다.The fourth guide member 54 is positioned between the second connection arm 222 and the support arm 23. Referring to FIG. 17, the fourth guide member 54 may be coupled to the bottom surface of the support arm 23 and movably coupled to the top surface of the second connection arm 222. The fourth guide member 54 may guide the support arm 23 to move linearly. When the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222, the fourth guide member 54 may also protrude from the second connection arm 222. Accordingly, the fourth guide member 54 may reinforce a supporting force for supporting the support arm 23 protruding from the second connection arm 222. The substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a plurality of fourth guide members 54, and the fourth guide members 54 may be perpendicular to a direction in which the movable arm 21 moves. C-axis direction) can be installed a predetermined distance apart. The fourth guide member 54 may be a linear guide rail (LM Rail). Although not shown, a linear guide block (LM Block) to which the fourth guide member 54 is movably coupled may be installed on an upper surface of the second connection arm 222.

도 10, 도 18 내지 도 20를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 제1백래쉬 보상기구(6)를 포함할 수 있다.10 and 18 to 20, the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention may include a first backlash compensation mechanism 6.

상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동된 경우, 상기 지지랙기어(35)와 상기 지지랙기어(35)에 맞물림된 연결피니언기어(34) 간에 백래쉬(Backlash)가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 백래쉬(Backlash)란 한 쌍의 기어를 맞물렸을 때 치면 사이에 생기는 틈새를 의미한다. 한 쌍의 기어가 원활하게 맞물려 회전되기 위해서는 소정의 백래쉬가 필요한데, 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동된 후에는 백래쉬에 의해 상기 지지암(23)이 진동 등으로 흔들릴 수 있다. 따라서, 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동된 후에는 백래쉬가 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 저하시키는 원인으로 작용할 수 있다. 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 연결기구(22)로부터 돌출되게 이동된 후에, 상기 지지랙기어(35)와 상기 지지랙기어(35)에 맞물림된 연결피니언기어(34) 간에 백래쉬(Backlash)가 발생하는 것을 방지함으로써, 상기 지지암(23)이 진동 등으로 흔들리는 것을 방지할 수 있고, 이에 따라 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다.The first backlash compensation mechanism 6 is connected to the support rack gear 35 and the support rack gear 35 when the support arm 23 is moved to protrude from the connection mechanism 22. Backlash can be prevented from occurring between the gears 34. Backlash is the gap between teeth when you engage a pair of gears. In order for the pair of gears to smoothly engage and rotate, a predetermined backlash is required. After the support arm 23 is moved to protrude from the connecting mechanism 22, the support arm 23 is vibrated by a backlash. You can shake. Therefore, after the support arm 23 is moved to protrude from the connecting mechanism 22, the backlash may act as a cause of reducing the accuracy of the loading process and the unloading process. The first backlash compensation mechanism 6 is connected to the support rack gear 35 and the support rack gear 35 after the support arm 23 is moved to protrude from the connection mechanism 22. By preventing backlash from occurring between the gears 34, the support arm 23 can be prevented from shaking due to vibration and the like, thereby improving accuracy of the loading process and the unloading process. .

상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향 측에서 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생할 수 있다. 따라서, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지암(23)을 이동시킴으로써 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. When the connection mechanism 22 includes the first connection arm 221 and the second connection arm 222, the first backlash compensation mechanism 6 may include the support rack gear 35 and the second connection arm. It is possible to prevent backlash from occurring between the connecting pinion gears 342. When the support arm 23 is moved to protrude from the second connection arm 222, the support rack 23 in the direction side opposite to the direction in which the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222 Backlash may occur between the gear 35 and the second connecting pinion gear 342. Accordingly, the first backlash compensation mechanism 6 moves the support arm 23 by moving the support arm 23 in a direction opposite to the direction in which the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222. It is possible to prevent backlash from occurring between the 35 and the second connection pinion gear 342.

도 10 및 도 19를 참고하면, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 제1하우징(61), 제1이동부재(62), 제1탄성부재(63), 및 제1스토퍼(64)를 포함할 수 있다.10 and 19, the first backlash compensation mechanism 6 may include a first housing 61, a first moving member 62, a first elastic member 63, and a first stopper 64. It may include.

상기 제1하우징(61)은 상기 연결기구(22)에 결합된다. 상기 연결기구(22)가 상기 제1연결암(221)과 상기 제2연결암(222)을 포함하는 경우, 상기 제1하우징(61)은 상기 제2연결암(222)에 결합될 수 있다. 상기 제1하우징(61)은 전체적으로 사각형태로 형성될 수 있다.The first housing 61 is coupled to the connecting mechanism 22. When the connection mechanism 22 includes the first connection arm 221 and the second connection arm 222, the first housing 61 may be coupled to the second connection arm 222. . The first housing 61 may be formed in a rectangular shape as a whole.

상기 제1이동부재(62)는 상기 제1하우징(61)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제1이동부재(62)는 일단과 타단이 상기 제1하우징(61)을 기준으로 상기 제1하우징(61) 외측에 위치되고, 상기 일단과 타단의 사이 부분이 상기 제1하우징(61)에 삽입될 수 있다. 상기 제1하우징(61)은 상기 제1이동부재(62)가 삽입되기 위한 관통공(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제1이동부재(62)의 일단과 타단은 상기 제1하우징(61)에 형성된 관통공 보다 큰 크기로 형성될 수 있다.The first moving member 62 is movably coupled to the first housing 61. One end and the other end of the first moving member 62 is positioned outside the first housing 61 based on the first housing 61, and a portion between the one end and the other end is located in the first housing 61. Can be inserted in The first housing 61 may include a through hole (not shown) for inserting the first moving member 62. One end and the other end of the first moving member 62 may be formed to have a larger size than the through hole formed in the first housing 61.

상기 제1탄성부재(63)는 일측이 상기 제1하우징(61)에 지지되고, 타측이 상기 제1이동부재(62)에 지지된다. 이에 따라, 상기 제1이동부재(62)는 상기 제1탄성부재(63)에 의해 탄성적으로 이동될 수 있다. 상기 제1탄성부재(63)는 스프링일 수 있다.One side of the first elastic member 63 is supported by the first housing 61, and the other side thereof is supported by the first moving member 62. Accordingly, the first moving member 62 may be elastically moved by the first elastic member 63. The first elastic member 63 may be a spring.

상기 제1스토퍼(64)는 상기 지지암(23)에 결합된다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제1스토퍼(64)는 상기 제1이동부재(62)에 가까워지게 이동되어 상기 제1이동부재(62)에 접촉될 수 있다. 이 과정에서 상기 제1스토퍼(64)는 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되는 방향으로 상기 제1이동부재(62)를 밀어서 상기 제1탄성부재(63)를 압축시킬 수 있다. 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동되는 것이 완료되면, 상기 제1탄성부재(63)가 복원력에 의해 인장되어 상기 제1이동부재(62)를 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되는 방향에 대해 반대되는 방향으로 밀게 된다. 이에 따라, 상기 제1스토퍼(64)는 상기 제1이동부재(62)에 밀려서 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 이동되게 된다. 따라서, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 지지암(23)을 이동시킴으로써, 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.The first stopper 64 is coupled to the support arm 23. When the support arm 23 is moved to protrude from the second connection arm 222, the first stopper 64 is moved closer to the first moving member 62, so that the first moving member 62 is moved. Can be contacted. In this process, the first stopper 64 pushes the first moving member 62 in the direction in which the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222 to move the first elastic member 63. Can be compressed. When the support arm 23 is completed to move protruding from the second connection arm 222, the first elastic member 63 is tensioned by a restoring force to move the first movable member 62 to the support arm. 23 is pushed in a direction opposite to the direction from which the second connecting arm 222 protrudes. Accordingly, the first stopper 64 is pushed by the first moving member 62 so that the support arm 23 moves in a direction opposite to the direction from which the second connection arm 222 protrudes. Therefore, when the support arm 23 is moved to protrude from the second connection arm 222, the first backlash compensation mechanism 6 protrudes from the second connection arm 222. By moving the support arm 23 in a direction opposite to the predetermined direction, backlash between the support rack gear 35 and the second connecting pinion gear 342 can be prevented from occurring.

도 10, 도 19 및 도 20를 참고하면, 상기 지지암(23)은 상기 제2연결암(222)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동될 수 있으므로, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 2개의 제1백래쉬 보상기구(6, 6')를 포함할 수 있다. 어느 하나의 제1백래쉬 보상기구(6)는, 도 19에 도시된 바와 같이 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 이동된 후에, 상기 지지암(23)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 다른 하나의 제1백래쉬 보상기구(6')는, 도 20에 도시된 바와 같이 상기 지지암(23)이 상기 제2연결암(222)으로부터 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동된 후에, 상기 지지암(23)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 지지랙기어(35)와 상기 제2연결피니언기어(342) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 10, 19, and 20, the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222 in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). Since it can be moved, the substrate transfer device 1 according to the invention can comprise two first backlash compensation mechanisms 6, 6 ′. As shown in FIG. 19, any one of the first backlash compensation mechanisms 6 moves so that the support arm 23 protrudes from the second connection arm 222 in the first direction (A arrow direction). Thereafter, the support arm 23 may be moved at a predetermined distance in the second direction (B arrow direction). Accordingly, backlash between the support rack gear 35 and the second connection pinion gear 342 may be prevented from occurring. As shown in FIG. 20, the first backlash compensation mechanism 6 ′ moves the support arm 23 to protrude from the second connection arm 222 in the second direction (B arrow direction). After that, the support arm 23 may be moved at a predetermined distance in the first direction (A arrow direction). Accordingly, backlash between the support rack gear 35 and the second connection pinion gear 342 may be prevented from occurring.

상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')은 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')은 각각 상기 제1하우징(61, 61'), 상기 제1이동부재(62, 62'), 상기 제1탄성부재(63, 63'), 및 제1스토퍼(64, 64')를 포함할 수 있다. 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')은 상기 제1이동부재(62, 62') 및 상기 제1스토퍼(64, 64')가 서로 대칭되는 방향에 위치되게 설치될 수 있다.The first backlash compensation mechanisms 6 and 6 'may be installed to be spaced apart from each other by a predetermined distance. The first backlash compensation mechanisms 6 and 6 'are respectively formed in the first housing 61 and 61', the first movable members 62 and 62 ', the first elastic members 63 and 63', And first stoppers 64 and 64 '. The first backlash compensation mechanisms 6 and 6 'may be installed so that the first moving members 62 and 62' and the first stoppers 64 and 64 'are symmetrical to each other.

도 10, 및 도 18 내지 도 20를 참고하면, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 제2백래쉬 보상기구(7)를 포함할 수 있다.10 and 18 to 20, the substrate transport apparatus 1 according to the present invention may include a second backlash compensation mechanism 7.

상기 제2백래쉬 보상기구(7)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동된 경우, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬(Backlash)가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동된 후에, 상기 제2연결암(222)이 진동 등으로 흔들리는 것을 방지함으로써, 상기 로딩공정과 언로딩공정에 대한 정확성을 향상시킬 수 있다. The second backlash compensation mechanism 7 has the second connection rack gear 332 and the first connection pinion gear when the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221. It is possible to prevent backlash from occurring between the 341. Therefore, in the substrate transfer apparatus 1 according to the present invention, after the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221, the second connection arm 222 is shaken by vibration or the like. By preventing it, the accuracy of the loading process and the unloading process can be improved.

상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향 측에서 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생할 수 있다. 따라서, 상기 제2백래쉬 보상기구(7)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 제2연결암(222)을 이동시킴으로써 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.When the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221, the direction side opposite to the direction in which the second connection arm 222 protrudes from the first connection arm 221. Backlash may occur between the second connection rack gear 332 and the first connection pinion gear 341. Accordingly, the second backlash compensation mechanism 7 moves the second connection arm 222 in a direction opposite to the direction in which the second connection arm 222 protrudes from the first connection arm 221. It is possible to prevent backlash from occurring between the second connecting rack gear 332 and the first connecting pinion gear 341.

도 10 및 도 19를 참고하면, 상기 제2백래쉬 보상기구(7)는 제2하우징(71), 제2이동부재(72), 제2탄성부재(73), 및 제2스토퍼(74)를 포함할 수 있다.10 and 19, the second backlash compensation mechanism 7 includes a second housing 71, a second moving member 72, a second elastic member 73, and a second stopper 74. It may include.

상기 제2하우징(71)은 상기 제2연결암(222)에 결합된다. 상기 제2하우징(71)은 전체적으로 사각형태로 형성될 수 있다.The second housing 71 is coupled to the second connection arm 222. The second housing 71 may be formed in a rectangular shape as a whole.

상기 제2이동부재(72)는 상기 제2하우징(71)에 이동 가능하게 결합된다. 상기 제2이동부재(72)는 일단과 타단이 상기 제2하우징(71)을 기준으로 상기 제2하우징(71) 외측에 위치되고, 상기 일단과 타단의 사이 부분이 상기 제2하우징(71)에 삽입될 수 있다. 상기 제2하우징(71)은 상기 제2이동부재(72)가 삽입되기 위한 관통공(미도시)을 포함할 수 있다. 상기 제2이동부재(72)의 일단과 타단은 상기 제2하우징(71)에 형성된 관통공 보다 큰 크기로 형성될 수 있다.The second moving member 72 is movably coupled to the second housing 71. One end and the other end of the second moving member 72 is positioned outside the second housing 71 with respect to the second housing 71, and a portion between the one end and the other end is located in the second housing 71. Can be inserted in The second housing 71 may include a through hole (not shown) for inserting the second moving member 72. One end and the other end of the second moving member 72 may have a size larger than the through hole formed in the second housing 71.

상기 제2탄성부재(73)는 일측이 상기 제2하우징(71)에 지지되고, 타측이 상기 제2이동부재(72)에 지지된다. 이에 따라, 상기 제2이동부재(72)는 상기 제2탄성부재(73)에 의해 탄성적으로 이동될 수 있다. 상기 제2탄성부재(73)는 스프링일 수 있다.One side of the second elastic member 73 is supported by the second housing 71, and the other side thereof is supported by the second moving member 72. Accordingly, the second moving member 72 may be elastically moved by the second elastic member 73. The second elastic member 73 may be a spring.

상기 제2스토퍼(74)는 상기 제1연결암(221)에 결합된다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제2이동부재(72)는 상기 제2스토퍼(74)에 가까워지게 이동되어 상기 제2스토퍼(74)에 접촉될 수 있다. 이 과정에서 상기 제2하우징(71)은 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되는 방향으로 상기 제2탄성부재(73)를 밀어서 상기 제2탄성부재(73)를 압축시킬 수 있다. 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되는 것이 완료되면, 상기 제2탄성부재(73)가 복원력에 의해 인장되어 상기 제2하우징(71)을 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되는 방향에 대해 반대되는 방향으로 밀게 된다. 이에 따라, 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 이동되게 된다. 따라서, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)는 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출되게 이동되면, 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 돌출된 방향에 대해 반대되는 방향으로 상기 제2연결암(222)을 이동시킴으로써, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.The second stopper 74 is coupled to the first connection arm 221. When the second connection arm 222 is moved to protrude from the first connection arm 221, the second moving member 72 is moved closer to the second stopper 74 to allow the second stopper 74 to move. ) May be contacted. In this process, the second housing 71 pushes the second elastic member 73 in the direction in which the second connection arm 222 protrudes from the first connection arm 221 so that the second elastic member 73 ) Can be compressed. When the second connection arm 222 is completed to move protruding from the first connection arm 221, the second elastic member 73 is tensioned by a restoring force to secure the second housing 71 to the first housing. The second connecting arm 222 is pushed in a direction opposite to the direction in which the first connecting arm 221 protrudes. Accordingly, the second connection arm 222 is moved in a direction opposite to the direction protruding from the first connection arm 221. Therefore, when the second connection arm 222 is protruded from the first connection arm 221, the first backlash compensation mechanism 6 moves the second connection arm 222 to the first connection arm ( By moving the second connection arm 222 in a direction opposite to the direction protruding from the 221, backlash between the second connection rack gear 332 and the first connection pinion gear 341 is prevented from occurring. can do.

도 10, 도 19 및 도 20를 참고하면, 상기 제2연결암(222)은 상기 제1연결암(221)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)과 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동될 수 있으므로, 본 발명에 따른 기판 이송장치(1)는 2개의 제2백래쉬 보상기구(7, 7')를 포함할 수 있다. 어느 하나의 제2백래쉬 보상기구(7)는, 도 19에 도시된 바와 같이 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 돌출되게 이동된 후에, 상기 제2연결암(222)을 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다. 다른 하나의 제1백래쉬 보상기구(7')는, 도 20에 도시된 바와 같이 상기 제2연결암(222)이 상기 제1연결암(221)으로부터 상기 제2방향(B 화살표 방향)으로 돌출되게 이동된 후에, 상기 제2연결암(222)을 상기 제1방향(A 화살표 방향)으로 소정 거리로 이동시킬 수 있다. 이에 따라, 상기 제2연결랙기어(332)와 상기 제1연결피니언기어(341) 간에 백래쉬가 발생하는 것을 방지할 수 있다.10, 19 and 20, the second connection arm 222 is moved from the first connection arm 221 in the first direction (A arrow direction) and the second direction (B arrow direction). Since it can be moved protrudingly, the substrate transfer device 1 according to the invention can comprise two second backlash compensation mechanisms 7, 7 ′. As shown in FIG. 19, one of the second backlash compensation mechanisms 7 may allow the second connection arm 222 to protrude from the first connection arm 221 in the first direction (A arrow direction). After the movement, the second connection arm 222 may be moved a predetermined distance in the second direction (B arrow direction). Accordingly, backlash between the second connecting rack gear 332 and the first connecting pinion gear 341 may be prevented from occurring. Another first backlash compensation mechanism 7 ′, as shown in FIG. 20, the second connection arm 222 protrudes from the first connection arm 221 in the second direction (B arrow direction). After the movement, the second connection arm 222 may be moved a predetermined distance in the first direction (A arrow direction). Accordingly, backlash between the second connecting rack gear 332 and the first connecting pinion gear 341 may be prevented from occurring.

상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 서로 소정 거리 이격되게 설치될 수 있다. 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 각각 상기 제2하우징(71, 71'), 상기 제2이동부재(72, 72'), 상기 제2탄성부재(73, 73'), 및 제2스토퍼(74, 74')를 포함할 수 있다. 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 상기 제2이동부재(72, 72') 및 상기 제2스토퍼(74, 74')가 서로 대칭되는 방향에 위치되게 설치될 수 있다. The second backlash compensation mechanisms 7 and 7 'may be installed to be spaced apart from each other by a predetermined distance. The second backlash compensation mechanisms 7 and 7 'are respectively formed in the second housing 71 and 71', the second movable members 72 and 72 ', the second elastic members 73 and 73', And second stoppers 74 and 74 '. The second backlash compensation mechanisms 7 and 7 'may be installed in a direction in which the second moving members 72 and 72' and the second stoppers 74 and 74 'are symmetrical to each other.

도 10, 및 도 18 내지 도 20를 참고하면, 상기 제1백래쉬 보상기구(6)가 갖는 제1하우징(6)과 상기 제2백래쉬 보상기구(7')가 갖는 제2하우징(7')은 일체로 형성될 수도 있고, 상기 제1백래쉬 보상기구(6')가 갖는 제1하우징(6')과 상기 제2백래쉬 보상기구(7)가 갖는 제2하우징(7)은 일체로 형성될 수도 있다. 상기 베이스프레임(1a)에서 상기 암들(21, 22, 23)이 서로 중첩되어 적층된 방향을 수직방향이라 정의할 때, 도 19 및 도 20에는 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')과 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')이 수직방향으로 나란하게 설치되는 것으로 도시되어 있으나, 도 18에 도시된 바와 같이 상기 제1백래쉬 보상기구들(6, 6')과 상기 제2백래쉬 보상기구들(7, 7')은 수평방향으로 나란하게 설치될 수도 있다.10 and 18 to 20, the first housing 6 of the first backlash compensation mechanism 6 and the second housing 7 'of the second backlash compensation mechanism 7' are provided. May be integrally formed, and the first housing 6 'of the first backlash compensation mechanism 6' and the second housing 7 of the second backlash compensation mechanism 7 may be integrally formed. It may be. When the arms 21, 22, and 23 are overlapped with each other in the base frame 1a and defined as a vertical direction, the first backlash compensation mechanisms 6 and 6 ′ are illustrated in FIGS. 19 and 20. And the second backlash compensation mechanisms 7 and 7 'are installed side by side in the vertical direction, but as shown in FIG. 18, the first backlash compensation mechanisms 6 and 6' and the first The backlash compensation mechanisms 7 and 7 'may be installed side by side in the horizontal direction.

이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시예 및 첨부된 도면에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경이 가능하다는 것이 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 있어 명백할 것이다.The present invention described above is not limited to the above-described embodiment and the accompanying drawings, and it is common in the art that various substitutions, modifications, and changes can be made without departing from the technical spirit of the present invention. It will be evident to those who have knowledge of.

10 : 선형전동기 11 : 제1설치부재 12 : 제2설치부재 13 : 가이드기구
1 : 기판 이송장치 2 : 암기구 3 : 연동기구 4 : 구동유닛
20 : 본체 30 : 제1설치기구 40 : 이동유닛Reference Signs List 10 linear motor 11 first installation member 12 second installation member 13 guide mechanism
Reference Signs List 1 substrate transfer apparatus 2 arm mechanism 3 interlock mechanism 4 drive unit
20: main body 30: first installation mechanism 40: mobile unit

Claims (10)

기판을 이동시키기 위한 암기구가 결합된 본체;
상기 암기구가 이동되는 방향에 대해 수직한 방향으로 상기 본체가 이동 가능하게 결합되는 제1설치기구;
상기 본체를 이동시키기 위한 이동유닛;
상기 암기구가 갖는 복수개의 암(Arm)들이 상기 본체에 설치된 베이스프레임으로부터 돌출되는 제1위치, 및 상기 베이스프레임에서 서로 중첩되게 적층되는 제2위치 간에 이동되도록 상기 암들 중 어느 하나를 이동시키는 구동유닛; 및
상기 암들에 결합되고, 상기 구동유닛이 상기 암들 중 어느 하나를 이동시킴에 따라 나머지 암들을 연동(連動)하여 이동시키기 위한 연동기구를 포함하고,
상기 이동유닛은 상기 제1설치기구에서 상기 본체를 향하는 일면에 서로 이격되게 설치된 제1자성체와 제2자성체, 및 상기 본체에서 상기 제1설치기구를 향하는 일면에 서로 이격되게 설치된 제1코일과 제2코일을 포함하고,
상기 제1자성체와 상기 제1코일 간의 제1인력과 상기 제2자성체와 상기 제2코일 간의 제2인력이 서로 마주보는 방향을 향하게 발생하도록, 상기 제1자성체와 상기 제2자성체는 상기 제1코일과 상기 제2코일 사이에 위치되게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.A main body having a female mechanism coupled to move the substrate;
A first installation mechanism to which the main body is movably coupled in a direction perpendicular to the direction in which the arm mechanism is moved;
A moving unit for moving the main body;
A drive for moving any one of the arms such that a plurality of arms of the arm mechanism is moved between a first position protruding from the base frame installed in the main body and a second position overlapping each other in the base frame; unit; And
It is coupled to the arms, and includes a linkage mechanism for moving the remaining arms in conjunction with the drive unit to move any one of the arms,
The mobile unit includes a first magnetic body and a second magnetic body spaced apart from each other on one surface facing the main body by the first installation mechanism, and a first coil and a first coil spaced apart from each other on one surface facing the first installation mechanism from the body. Including 2 coils,
The first magnetic body and the second magnetic body are formed such that a first force between the first magnetic body and the first coil and a second force between the second magnetic body and the second coil face each other. Substrate transfer apparatus, characterized in that installed between the coil and the second coil. 기판을 이동시키기 위한 암기구가 결합된 본체;
상기 암기구가 이동되는 방향에 대해 수직한 방향으로 상기 본체가 이동 가능하게 결합되는 제1설치기구;
상기 본체를 이동시키기 위한 이동유닛; 및
상기 암기구가 갖는 복수개의 암(Arm)들이 상기 본체에 설치된 베이스프레임으로부터 돌출되는 제1위치, 및 상기 베이스프레임에서 서로 중첩되게 적층되는 제2위치 간에 이동되도록 상기 암들 중 어느 하나를 이동시키는 구동유닛; 및
상기 암들에 결합되고, 상기 구동유닛이 상기 암들 중 어느 하나를 이동시킴에 따라 나머지 암들을 연동하여 이동시키기 위한 연동기구를 포함하고,
상기 이동유닛은 상기 제1설치기구에서 상기 본체를 향하는 일면에 서로 이격되게 설치된 제1자성체와 제2자성체, 및 상기 본체에서 상기 제1설치기구를 향하는 일면에 서로 이격되게 설치된 제1코일과 제2코일을 포함하고,
상기 제1자성체와 상기 제1코일 간의 제1인력과 상기 제2자성체와 상기 제2코일 간의 제2인력이 서로 반대되는 방향을 향하게 발생하도록, 상기 제1코일과 상기 제2코일은 상기 제1자성체와 상기 제2자성체 사이에 위치되게 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.A main body having a female mechanism coupled to move the substrate;
A first installation mechanism to which the main body is movably coupled in a direction perpendicular to the direction in which the arm mechanism is moved;
A moving unit for moving the main body; And
A drive for moving any one of the arms such that a plurality of arms of the arm mechanism is moved between a first position protruding from the base frame installed in the main body and a second position overlapping each other in the base frame; unit; And
It is coupled to the arms, and includes a linkage mechanism for moving the remaining arms in conjunction with the drive unit to move any one of the arms,
The mobile unit includes a first magnetic body and a second magnetic body spaced apart from each other on one surface facing the main body by the first installation mechanism, and a first coil and a first coil spaced apart from each other on one surface facing the first installation mechanism from the body. Including 2 coils,
The first coil and the second coil may be disposed such that a first force between the first magnetic body and the first coil and a second force between the second magnetic body and the second coil face in opposite directions. Substrate transfer apparatus, characterized in that installed to be located between the magnetic material and the second magnetic material. 제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 연동기구는 상기 구동유닛에 의한 직선운동을 회전운동으로 변환하기 위한 복수개의 피니언기어, 및 상기 피니언기어에 맞물림되어 상기 피니언기어에 의한 회전운동을 직선운동으로 변환하기 위한 복수개의 랙기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method according to claim 1 or 2,
The linkage mechanism includes a plurality of pinion gears for converting linear motion by the drive unit into rotational motion, and a plurality of rack gears engaged with the pinion gear to convert rotational motion by the pinion gears into linear motion. Substrate transfer apparatus, characterized in that. 제1항 또는 제2항에 있어서, 상기 암기구는
상기 베이스프레임에 이동 가능하게 결합되는 이동암;
상기 이동암에 이동 가능하게 결합되고, 상기 이동암이 상기 베이스프레임으로부터 돌출되게 이동되면 상기 이동암이 돌출된 방향으로 상기 이동암으로부터 돌출되게 이동되는 제1연결암;
상기 제1연결암에 이동 가능하게 결합되고, 제1연결암이 상기 이동암으로부터 돌출되게 이동되면 상기 제1연결암이 돌출된 방향으로 상기 제1연결암으로부터 돌출되게 이동되는 제2연결암; 및
상기 제2연결암에 이동 가능하게 결합되고, 상기 제2연결암이 상기 제1연결암으로부터 돌출되게 이동되면 상기 제2연결암이 돌출된 방향으로 상기 제2연결암으로부터 돌출되게 이동되는 지지암을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 1 or 2, wherein the cancer mechanism
A movable arm movably coupled to the base frame;
A first connection arm movably coupled to the movable arm, the movable arm being protruded from the movable arm in a protruding direction when the movable arm is protruded from the base frame;
A second connecting arm movably coupled to the first connecting arm, the first connecting arm being protruded from the first connecting arm in a protruding direction when the first connecting arm is moved protruding from the moving arm; And
A support arm movably coupled to the second connection arm, wherein the second connection arm protrudes from the second connection arm in a protruding direction when the second connection arm protrudes from the first connection arm. Substrate transfer apparatus comprising a. 제4항에 있어서, 상기 연동기구는
상기 이동암에 결합되고, 상기 이동암이 이동됨에 따라 회전되는 이동피니언기어;
상기 제1연결암에 결합되고, 상기 이동피니언기어에 맞물림되어 상기 이동피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 제1연결랙기어;
상기 제1연결암에 결합되고, 상기 제1연결암이 이동됨에 따라 회전되는 제1연결피니언기어;
상기 제2연결암에 결합되고, 상기 제1연결피니언기어에 맞물림되어 상기 제1연결피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 제2연결랙기어;
상기 제2연결암에 결합되고, 상기 제2연결암이 이동됨에 따라 회전되는 제2연결피니언기어; 및
상기 지지암에 결합되고, 상기 제2연결피니언기어에 맞물림되어 상기 제2연결피니언기어가 회전됨에 따라 이동되는 지지랙기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 4, wherein the linkage mechanism
A movable pinion gear coupled to the movable arm and rotated as the movable arm is moved;
A first connecting rack gear coupled to the first connecting arm and engaged with the moving pinion gear to move as the moving pinion gear is rotated;
A first connection pinion gear coupled to the first connection arm and rotated as the first connection arm is moved;
A second connecting rack gear coupled to the second connecting arm and engaged with the first connecting pinion gear to move as the first connecting pinion gear rotates;
A second connection pinion gear coupled to the second connection arm and rotated as the second connection arm is moved; And
And a support rack gear coupled to the support arm and engaged with the second connection pinion gear to move as the second connection pinion gear rotates. 제3항에 있어서,
상기 피니언기어들 중에서 적어도 하나는 제1직경을 갖는 제1서브피니언기어, 및 상기 제1서브피니언기어에 연결되게 형성되고 상기 제1직경보다 큰 제2직경을 갖는 제2서브피니언기어를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 이송장치.The method of claim 3,
At least one of the pinion gears includes a first sub pinion gear having a first diameter, and a second sub pinion gear formed to be connected to the first sub pinion gear and having a second diameter larger than the first diameter. Substrate transfer apparatus, characterized in that. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 삭제delete
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