KR101139854B1 - Particle counter - Google Patents
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Abstract
본 발명은 광원, 유동관, 감지부 및 렌즈를 전반사가 가능한 도광부재에 배치하여 전체적으로 슬림화 및 콤팩트한 구조를 구현할 수 있는 입자계수기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 입자계수기는 광원과, 광원과 일정 간격을 두고 배치되고 광원으로부터 조사된 빛이 투과되며 측정 대상인 미세입자가 함유된 유체의 유동로가 형성된 유동관과, 광원에 대해 유동관을 사이에 두고 배치되어 유동관을 투과한 광량을 감지하는 감지부와, 광원과 감지부 사이에 배치되어 광원으로부터 조사된 빛을 유동관 및 감지부로 안내하는 적어도 하나의 렌즈와, 광원, 유동관, 감지부 및 렌즈가 지지되며 광원으로부터 조사된 빛이 유동관을 경유하여 감지부로 안내되도록 내부에서 빛을 전반사 시키는 도광부재(light guide member)를 포함하는 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a particle counter capable of realizing a slim and compact structure as a whole by arranging a light source, a flow tube, a sensing unit, and a lens in a light guide member capable of total reflection. The particle counter according to the present invention has a light source, a flow tube disposed at a predetermined distance from the light source, and having a flow path of a fluid in which light irradiated from the light source is transmitted and containing microparticles to be measured, and a flow tube with respect to the light source. A sensing unit arranged to sense the amount of light passing through the flow tube, and at least one lens disposed between the light source and the sensing unit to guide light emitted from the light source to the flow tube and the sensing unit, and a light source, the flow tube, the sensing unit, and the lens And a light guide member for totally reflecting the light from the inside so that the light irradiated from the light source is guided to the sensing unit through the flow tube.
Description
본 발명은, 입자계수기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 유체에 함유되어 있는 미세입자의 개수를 ppm 또는 ppb 수준으로 측정하는 입자계수기에 관한 것이다.The present invention relates to a particle counter, and more particularly, to a particle counter for measuring the number of fine particles contained in the fluid at the ppm or ppb level.
일반적으로 입자계수기는 측정 대상 유체에 함유된 미세입자를 ppm(parts per million) 또는 ppb(parts per billion)로 산출하기 위해 측정 대상 유체에 함유되어 있는 미세입자의 개수를 계수하는 장치이다.In general, the particle counter is a device for counting the number of microparticles contained in the fluid to be measured in order to calculate the parts per million (ppm) or parts per billion (ppb) contained in the fluid to be measured.
이러한 입자계수기는 대기 중의 미세입자를 계수하여 대기 오염도를 측정하는 장치 및 물에 포함된 미세입자를 계수하여 수질 오염도를 측정하는 장치로 구분된다. 또한, 입자계수기는 그 방식에 따라 광학적 성능을 이용한 입자계수기 및 화학적 성능을 이용한 입자계수기 등으로 분류될 수 있다.Such a particle counter is divided into a device for measuring the air pollution by counting the fine particles in the air and a device for measuring the water pollution by counting the fine particles contained in the water. In addition, the particle counter may be classified into a particle counter using optical performance, a particle counter using chemical performance, and the like according to the method.
한편, 입자계수기 중 광학적 성능을 이용한 광학적 입자계수기인 OPC(Optical Particle Counter)는 측정 대상인 유체가 저장된 저장고를 미세한 투명관으로 연결하여 유체를 유동시킨 후, 광원으로부터의 빛을 이용하여 유체에 함유된 미세입자를 계수한다. 상세히 설명하면, 광학적 입자계수기는 광원으로부터 조사된 광량과 투명관을 투과한 빛을 수광하는 감지부의 수광량을 대비함으로써, 유체 내에 함유된 미세입자의 개수를 계수한다.On the other hand, OPC (Optical Particle Counter), an optical particle counter using optical performance of the particle counter, connects the reservoir where the fluid to be measured is stored in a fine transparent tube to flow the fluid, and then uses the light from the light source. Count the fine particles. In detail, the optical particle counter counts the number of fine particles contained in the fluid by comparing the amount of light irradiated from the light source with the amount of light received by the detector that receives the light transmitted through the transparent tube.
그런데, 종래의 광학적 입자계수기는 광원으로부터 조사된 빛이 투명관을 투과하여 감지부로 집광되도록 렌즈를 포함해야 되며, 이러한 렌즈의 배치에 따른 초점 거리 등이 고려되어 전체적인 크기 및 부피가 증대되는 문제점이 있다.By the way, the conventional optical particle counter must include a lens so that the light emitted from the light source passes through the transparent tube to be collected by the detection unit, the overall size and volume is increased in consideration of the focal length according to the arrangement of the lens. have.
또한, 종래의 광학적 입자계수기는 제작 과정에서 렌즈의 배치 또는 사용 중 렌즈 교체에 따른 소요시간이 증대됨으로써, 대량 생산의 곤란성 및 유지보수의 곤란성이 증대될 수 있는 문제점도 있다.In addition, the conventional optical particle counter has a problem that the time required to replace the lens during the placement or use of the lens in the manufacturing process increases, the difficulty of mass production and the difficulty of maintenance can be increased.
따라서, 본 발명의 목적은, 렌즈 배치에 따른 초점 거리 축소와 함께 외부의 진동으로부터 렌즈 배치 견고성을 확보할 수 있도록 구조가 개선된 입자계수기를 제공하는 것이다.Accordingly, it is an object of the present invention to provide a particle counter with an improved structure so as to secure lens placement robustness from external vibrations along with a reduction in focal length according to lens placement.
또한, 본 발명의 다른 목적은, 렌즈 배치 또는 재배치 과정을 간소화하여 유지보수에 따른 비용 및 시간을 절감시킬 수 있는 입자계수기를 제공하는 것이다.In addition, another object of the present invention is to provide a particle counter that can reduce the cost and time according to the maintenance by simplifying the lens arrangement or repositioning process.
본 발명의 목적들은 이상에서 언급한 목적들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 목적들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해되어 질 수 있을 것이다.The objects of the present invention are not limited to the above-mentioned objects, and other objects which are not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.
상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라, 광원과, 상기 광원과 일정 간격을 두고 배치되고 상기 광원으로부터 조사된 빛이 투과되며 측정 대상인 미세입자가 함유된 유체의 유동로가 형성된 유동관과, 상기 광원에 대해 상기 유동관을 사이에 두고 배치되어 상기 유동관을 투과한 광량을 감지하는 감지부와, 상기 광원과 상기 감지부 사이에 배치되어 상기 광원으로부터 조사된 빛을 상기 유동관 및 상기 감지부로 안내하는 적어도 하나의 렌즈와, 상기 광원, 상기 유동관, 상기 감지부 및 상기 렌즈가 지지되며 상기 광원으로부터 조사된 빛이 상기 유동관을 경유하여 상기 감지부로 안내되도록 내부에서 빛을 전반사 시키는 도광부재(light guide member)를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자계수기에 의해 이루어진다.According to the present invention, there is provided a means for solving the problem, a light source, a flow tube formed with a predetermined distance from the light source and the flow path of the fluid containing the fine particles to be transmitted through the light irradiated from the light source is measured, and the A sensing unit arranged to interpose the flow tube with respect to a light source to sense an amount of light passing through the flow tube, and disposed between the light source and the sensing unit to guide light emitted from the light source to the flow tube and the sensing unit; A light guide member for supporting one lens, the light source, the flow tube, the sensing unit, and the lens, and totally reflecting the light therein such that light emitted from the light source is guided to the sensing unit via the flow tube. Made by a particle counter, characterized in that it comprises a.
여기서, 상기 감지부는 감지된 빛을 전압의 변화량으로 출력하는 광전변환소자인 것이 바람직하다.Here, the sensing unit is preferably a photoelectric conversion element for outputting the detected light in the amount of change in voltage.
바람직하게 상기 유동관은 상기 광원과 상기 감지부 사이에 배치되고, 상기 렌즈는 상기 광원과 상기 감지부 사이에 복수개로 배치되어 상기 도광부재 내부에서 전반사된 빛을 상기 유동관 및 상기 감지부로 안내할 수 있다.Preferably, the flow tube may be disposed between the light source and the sensing unit, and the lens may be disposed between the light source and the sensing unit to guide the light totally reflected inside the light guide member to the flow tube and the sensing unit. .
상기 렌즈는, 상기 광원과 상기 유동관 사이에 배치되어 상기 도광부재에 입사된 빛을 상기 유동관으로 전반사 안내하는 제1렌즈와, 상기 유동관과 상기 감지부 사이에 배치되어 상기 유동관을 투과한 빛을 상기 감지부로 전반사 안내하는 제2렌즈를 포함할 수 있다.The lens may include a first lens disposed between the light source and the flow tube to guide the total reflection of light incident to the light guide member to the flow tube, and light disposed between the flow tube and the sensing unit and transmitted through the flow tube. It may include a second lens for guiding the total reflection to the sensor.
바람직하게 상기 유동관은 상기 감지부와 상기 도광부재의 판면 사이에 적층 배치되고, 상기 렌즈는 상기 광원과 상기 유동관 사이에 배치될 수 있다.Preferably, the flow tube may be stacked between the sensing unit and the plate surface of the light guide member, and the lens may be disposed between the light source and the flow tube.
또한, 바람직하게 상기 렌즈와 상기 도광부재는 일체로 마련될 수 있다.In addition, preferably, the lens and the light guide member may be integrally provided.
그리고, 상기 도광부재의 적어도 일측면에는 상기 도광부재 내부의 전반사를 보강하는 전반사 보강부재가 마련될 수 있다.The total reflection reinforcing member may be provided on at least one side of the light guide member to reinforce the total reflection inside the light guide member.
여기서, 상기 광원 및 상기 감지부의 하부에 배치되어, 상기 광원으로부터 상기 도광부재로 입사되는 빛 및 상기 감지부로 수광되는 빛을 상기 도광부재의 판면에 대해 가로 방향으로 안내하는 가이드 렌즈를 더 포함할 수 있다.The light source may further include a guide lens disposed under the light source and the sensing unit to guide the light incident to the light guide member from the light source and the light received by the sensing unit in a horizontal direction with respect to the plate surface of the light guide member. have.
한편, 상기 과제의 해결 수단은, 본 발명에 따라, 광원과, 상기 광원과 일정 간격을 두고 배치되고 상기 광원으로부터 조사된 빛이 투과되며 측정 대상인 미세입자가 함유된 유체의 유동로가 형성된 유동관과, 상기 광원 및 상기 유동관이 지지되며 상기 광원으로부터 내부로 입사된 빛을 전반사 시키는 도광부재(light guide member)와, 상기 광원에 대해 상기 유동관을 사이에 두고 상기 도광부재에 지지되며 상기 유동관을 투과한 광량을 감지하여 전압의 변화량으로 출력하는 광전변환소자와, 상기 광원과 상기 감지부 사이에 배치되어 상기 도광부재 내부에서 전반사되는 빛을 상기 유동관 및 상기 광전변환소자로 안내하는 적어도 하나의 렌즈와, 상기 도광부재의 적어도 일측면에 배치되어 상기 도광부재 내부에 입사된 빛의 전반사를 보강하는 전반사 보강부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자계수기에 의해서도 이루어진다.On the other hand, according to the present invention, there is provided, according to the present invention, a flow tube formed with a light source, a flow path formed with a predetermined distance from the light source and the flow path of the fluid containing the fine particles to be transmitted and the light irradiated from the light source and And a light guide member that is supported by the light source and the flow tube and totally reflects the light incident from the light source, and is supported by the light guide member with the flow tube interposed with respect to the light source, and passes through the flow tube. A photoelectric conversion element that senses the amount of light and outputs it as a change amount of voltage, at least one lens disposed between the light source and the sensing unit to guide the light totally reflected inside the light guide member to the flow tube and the photoelectric conversion element; A total reflection disposed on at least one side of the light guide member to reinforce the total reflection of light incident into the light guide member; In that it comprises a steel member made by the particle counter according to claim.
기타 실시 예들의 구체적인 사항들은 상세한 설명 및 도면들에 포함되어 있다.Specific details of other embodiments are included in the detailed description and drawings.
따라서, 상기 과제의 해결 수단에 따르면, 광원, 유동관, 감지부 및 렌즈를 전반사가 가능한 도광부재에 배치하여 전체적으로 슬림화 및 콤팩트한 구조를 구현할 수 있는 입자계수기가 제공된다.Therefore, according to the above solution, there is provided a particle counter that can implement a slimmer and compact structure as a whole by arranging the light source, the flow tube, the sensing unit and the lens in the light guide member capable of total reflection.
또한, 도광부재에 렌즈를 배치하여 외부의 충격으로부터 렌즈를 보호함과 더불어 렌즈 파손 시 교체 소요시간을 감소시킬 수 있으므로, 유지보수 비용을 절감할 수 있다.In addition, since the lens is disposed on the light guiding member to protect the lens from external impact and reduce the replacement time when the lens is damaged, it is possible to reduce maintenance costs.
더불어, 렌즈와 도광부재를 일체로 제작하여 초점거리에 따른 렌즈 재배치 시간을 감소시킬 수 있으므로, 입자계수기의 제작 공정 소요시간을 감소시킬 수 있다.In addition, since the lens repositioning time according to the focal length can be reduced by integrally manufacturing the lens and the light guide member, the manufacturing time of the particle counter can be reduced.
본 발명의 효과들은 이상에서 언급한 효과들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 효과들은 청구범위의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.The effects of the present invention are not limited to the effects mentioned above, and other effects not mentioned can be clearly understood by those skilled in the art from the description of the claims.
도 1은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 입자계수기의 측면 개략 구성도,
도 2는 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 입자계수기에 전반사 보강부재가 포함된 측면 개략 구성도,
도 3은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 입자계수기에 가이드 렌즈가 포함된 측면 개략 구성도,
도 4는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 입자계수기의 측면 개략 구성도,
도 5는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 입자계수기에 전반사 보강부재가 포함된 측면 개략 구성도,
도 6은 본 발명에 따른 입자계수기의 작동에 따른 시간에 대한 전압변화량을 도시한 그래프이다.1 is a side schematic configuration diagram of a particle counter according to a first embodiment of the present invention;
Figure 2 is a schematic side view of a total counter reinforcement member is included in the particle counter according to a first embodiment of the present invention,
3 is a schematic side view of a particle counter including a guide lens in accordance with a first preferred embodiment of the present invention;
4 is a side schematic configuration diagram of a particle counter according to a second embodiment of the present invention;
Figure 5 is a schematic side view of a total counter reinforcement member including a particle counter according to a second embodiment of the present invention,
6 is a graph showing the voltage change with respect to the time according to the operation of the particle counter according to the present invention.
본 발명의 이점 및 특징, 그리고 그것들을 달성하는 구성 및 방법은 첨부되는 도면과 함께 상세하게 후술되어 있는 실시 예들을 참조하면 명확해질 것이다. 그러나, 본 발명은 이하에서 개시되는 실시 예들에 한정되는 것이 아니라 서로 다른 다양한 형태로 구현될 수 있으며, 단지 본 실시 예들은 본 발명의 개시가 완전하도록 하고, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 발명의 범주를 완전하게 알려주기 위해 제공되는 것이며, 본 발명은 청구항의 범주에 의해 정의될 뿐이다. 참고로, 본 발명을 설명함에 있어서 관련된 공지 기능 혹은 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우 그 상세한 설명을 생략한다.Advantages and features of the present invention, and a configuration and method for achieving them will be apparent with reference to the embodiments described below in detail with the accompanying drawings. However, the present invention is not limited to the embodiments disclosed below, but may be implemented in various different forms, only the embodiments are to make the disclosure of the present invention complete, and common knowledge in the art to which the present invention pertains. It is provided to fully inform the person having the scope of the invention, which is defined only by the scope of the claims. For reference, in describing the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the gist of the present invention, the detailed description thereof will be omitted.
설명하기에 앞서, 본 발명의 바람직한 실시 예는 제1 및 제2실시 예로 구분되며, 제1 및 제2실시 예의 명확한 구분을 위해 동일한 구성이라도 상이한 도면 부호로 기재되었음을 미리 밝혀둔다.Prior to the description, the preferred embodiments of the present invention are divided into the first and second embodiments, and for the sake of clarity of distinction between the first and second embodiments, the same configurations will be clarified in advance that different reference numerals are used.
그리고, 본 발명의 바람직한 제1 및 제2실시 예는 각각의 실시 예에 추가적인 구성이 포함된 실시 예를 구분하여 도면 구성되었으나, 각각의 실시 예의 추가적인 구성이 포함된 실시 예는 동일한 구성에 대해 동일한 도면 부호로 기재되었음도 미리 밝혀둔다.In addition, although the first and second exemplary embodiments of the present invention are configured to separate the embodiments in which the additional configuration is included in each embodiment, the embodiments in which the additional configuration of each embodiment is the same for the same configuration. It is also known in advance that it is described by reference numerals.
도 1은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 입자계수기의 측면 개략 구성도이고, 도 2는 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 입자계수기에 전반사 보강부재가 포함된 측면 개략 구성도이다.1 is a side schematic configuration diagram of a particle counter according to a first embodiment of the present invention, Figure 2 is a side schematic configuration diagram including a total reflection reinforcing member in the particle counter according to a first embodiment of the present invention.
도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 입자계수기(1)는 광원(10), 유동관(30), 감지부(40), 렌즈(60) 및 도광부재(light guide member)(70)를 포함한다.As shown in Figure 1 and 2, the
광원(10)은 도광부재(70)의 일측 판면에 배치되어, 도광부재(70) 내부로 빛을 입사시킨다. 광원(10)은 직진성을 갖는 레이저 다이오드와 적외선램프 등과 같은 공지된 장치가 사용될 수 있다.The
유동관(30)은 광원(10)과 일정 간격을 두고 도광부재(70)의 판면에 배치된다. 유동관(30)은 빛이 투과될 수 있도록 투명 재질로 제작된다. 유동관(30) 내부의 유동로 단면 형상은 원통, 사각형 또는 육각형과 같이 다양한 형상을 가질 수 있다. 그러나, 유동관(30) 내부의 유동로 단면 현상은 유동되는 유체의 흐름 저항을 감소시키기 위해 원형 단면 형상을 갖는 것이 바람직하다. 본 발명의 유동관(30)은 광원(10)과 감지부(40) 사이, 즉 일 실시 예로서 광원(10)과 감지부(40) 사이의 이격 거리의 1/2 지점에 위치된다.The
감지부(40)는 유동관(30)을 사이에 두고 광원(10)과 이격되어 도광부재(70)의 판면에 배치된다. 물론, 광원(10), 유동관(30) 및 감지부(40)는 도광부재(70)의 동일한 판면 상에 배치된다. 감지부(40)는 유동관(30)을 투과한 빛을 수광한다. 본 발명의 감지부(40)는 감지된 광량을 전압의 변화량으로 출력하는 광전변환소자를 포함한다.The
렌즈(60)는 광원(10)으로부터 조사된 빛이 유동관(30) 및 감지부(40)로 안내되도록 도광부재(70)의 판면에 배치된다. 본 발명의 일 실시 예로서, 렌즈(60)는 광원(10), 유동관(30) 및 감지부(40)와 동일한 도광부재(70)의 판면에 배치되나, 타측 판면에도 배치될 수 있다. 또한, 복수의 렌즈(60)가 각각 상이한 도광부재의 판면에 개별적으로 배치될 수도 있다. 렌즈(60)는 후술할 도광부재(70)의 제작 시, 일체형으로 제작된다. 물론, 렌즈(60)는 도광부재(70)에 대해 착탈식으로 마련될 수도 있으나, 제조 공정 등을 고려하여 일체형으로 마련되는 것이 바람직하다. The
본 발명의 제1실시 예의 렌즈(60)는 제1렌즈(62) 및 제2렌즈(64)를 포함한다. 제1렌즈(62)는 광원(10)과 유동관(30) 사이에 배치된다. 여기서, 제1렌즈(62)는 2개가 배치되나, 구면, 비구면 렌즈 및 프레넬 렌즈 등의 조합에 의해서 배치 개수는 설계 변경될 수 있다. 그리고, 제2렌즈(64)는 유동관(30)과 감지부(40) 사이에 배치된다. 물론, 제2렌즈(64)도 제1렌즈(62)와 같이 2개가 배치되나, 구면, 비구면 렌즈 및 프레넬 렌즈 등의 조합에 의해서 배치 개수의 설계 변경이 이루어질 수 있다.The
상세하게 설명하면, 제1렌즈(62)는 광원(10)과 유동관(30) 사이의 도광부재(70) 내부에서 빛의 전반사가 유도될 수 있도록 광원(10)으로부터 도광부재(70) 내부로 입사된 빛을 시준(collimating) 및 집중(focusing)시킨다. 제2렌즈(64)는 유동관(30)과 감지부(40) 사이의 도광부재(70) 내부에서 빛의 전반사가 유도될 수 잇도록 유동관(30)을 투과한 빛을 시준 및 집중시키는 역할을 한다.In detail, the
도광부재(70)는 광원(10), 유동관(30), 감지부(40) 및 렌즈(60)가 지지되며, 광원(10)으로부터 조사된 빛이 유동관(30)을 경유하여 감지부(40)로 안내되도록 내부에서 입사된 빛을 전반사 시킨다. 도광부재(70)는 본 발명의 일 실시 예로서, 기계적 성질, 광학적 성질 및 물리적 성질 등이 타 수지에 비하여 우수한 폴리메틸 메타크릴레이트(PMMA: polymethyl methacrylate)로 제작된다. 본 발명의 도광부재(70)는 플레이트이 형상인 도광판으로 제작되나, 필름 형상인 도광 필름으로 제작될 수도 있다. 이러한 도광부재(70)는 사출 또는 압출 등과 같은 성형법으로 제작된다. 물론, 도광부재(70)는 기계 가공 또는 기타 절삭 가공과 같은 가공법으로 제작될 수도 있다.The
본 발명의 제1실시 예에 따른 입자계수기(1)는 전반사 보강부재(80)를 더 포함할 수 있다. 전반사 보강부재(80)는 도광부재(70)의 적어도 일측면에 배치되어 도광부재(70) 내부의 전반사를 보강한다. 본 발명의 전반사 보강부재(80)는 도광부재(70)의 양측면 즉, 광원(10), 유동관(30), 감지부(40) 및 렌즈(60)가 배치된 도광부재(70)의 판면과 이에 대향된 타측 판면에 배치된다. 그러나, 전반사 보강부재(80)는 광원(10), 유동관(30), 감지부(40) 및 렌즈(60)가 배치된 도광부재(70)의 판면과 이에 대향된 타측 판면에 각각 선택적으로 배치될 수도 있다. 전반사 보강부재(80)는 본 발명의 일 실시 예로서, 도광부재(70)의 상부 및 하부의 외곽층에 전반사되는 물질을 굴절률 보다 낮은 굴절률을 갖는 물질이 사용되는 것이 바람직하다.The
도 3은 본 발명의 바람직한 제1실시 예에 따른 입자계수기에 가이드 렌즈가 포함된 측면 개략 구성도이다.3 is a schematic side view illustrating a guide lens included in a particle counter according to a first exemplary embodiment of the present invention.
더불어, 본 발명의 제1실시 예에 따른 입자계수기(10)는 가이드 렌즈(90)를 더 포함할 수 있다. 가이드 렌즈(90)는 광원(10) 및 감지부(40)의 하부에 배치되어, 광원(10)으로부터 도광부재(70)로 입사되는 빛 및 감지부(40)로 수광되는 빛을 도광부재(70)의 판면에 대해 가로 방향으로 안내한다. 가이드 렌즈(90)는 본 발명의 일 실시 예로서, 도광부재(70) 내부에 배치되나, 광원(10)과 도광부재(70) 판면 사이 및 감지부(40)와 도광부재(70) 사이에도 배치될 수 있다. 그리고, 본 발명의 가이드 렌즈(90)는 일정한 경사면을 가지고 배치되나, 그 형상은 설계 변경에 따라 변동될 수 있다.In addition, the
여기서, 본 발명의 제1실시 예에 따른 입자계수기(1)는 전반사 보강부재(80) 및 가이드 렌즈(90)를 함께 포함하거나 , 각각 선택적으로 포함할 수 있다.Here, the
한편, 도 4는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 입자계수기의 측면 개략 구성도이고, 도 5는 본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 입자계수기에 전반사 보강부재가 포함된 측면 개략 구성도이다.On the other hand, Figure 4 is a side schematic configuration diagram of a particle counter according to a second preferred embodiment of the present invention, Figure 5 is a side schematic configuration diagram including a total reflection reinforcing member in the particle counter according to a second preferred embodiment of the present invention to be.
본 발명의 바람직한 제2실시 예에 따른 입자계수기(100)는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 광원(110), 유동관(120), 감지부(140), 렌즈(150) 및 도광부재(170)를 포함한다. 본 발명의 제2실시 예의 구성은 렌즈(150)의 구성 이외에는 본 발명의 제1실시 예와 동일한 구성으로 마련된다.As shown in FIGS. 3 and 4, the
본 발명의 제2실시 예의 광원(110), 유동관(120), 감지부(140), 렌즈(150) 및 도광부재(170)의 특징은 상술한 본 발명의 제1실시 예에서 상세히 설명하였으므로, 이하에서 생략하기로 한다.Since the characteristics of the
다만, 본 발명의 제1실시 예와 제2실시 예의 상이점은 도광부재(170)에 대해 광원(110), 유동관(120), 감지부(140) 및 렌즈(150)의 배치 관계이므로, 본 발명의 제2실시 예의 입자계수기(100)는 광원(110), 유동관(120), 감지부(140) 및 렌즈(150)의 배치에 특징을 두고 설명하기로 한다.However, the difference between the first embodiment and the second embodiment of the present invention is that the
본 발명의 제2실시 예의 유동관(120)은 본 발명의 제1실시 예와 달리, 감지부(140)와 도광부재(170) 사이에 배치된다. 즉, 유동관(120)은 도광부재(170)의 판면에 적층 배치되고, 감지부(140)는 유동관(120)의 상부에 적층 배치된다. 이렇게 유동관(120)과 감지부(140)를 적층 배치함으로써, 광원(110)과 유동관(120) 사이의 렌즈(150) 배치 개수를 감소시킬 수 있는 장점이 있다.Unlike the first embodiment of the present invention, the
여기서, 본 발명의 제2실시 예에 따른 입자계수기(100)는 본 발명의 제1실시 예와 같이, 도광부재(170) 내부의 전반사를 보강하는 전반사 보강부재(180)를 더 포함할 수 있다. 전반사 보강부재(180)는 도광부재(170)의 적어도 일측면에 배치된다.Here, the
물론, 본 발명의 제2실시 예에 따른 입자계수기(100)는 도면에 도시되지 않은 제1실시 예의 가이드 렌즈(90)도 포함할 수 있다.Of course, the
도 6은 본 발명에 따른 입자계수기의 작동에 따른 시간에 대한 전압변화량을 도시한 그래프이다.6 is a graph showing the voltage change with respect to the time according to the operation of the particle counter according to the present invention.
이러한 구성에 의해 본 발명의 제1 및 제2실시 예에 따른 입자계수기(1, 100)의 작동 과정을 이하에서 살펴보면 다음과 같다.With this configuration, the operation of the particle counters 1 and 100 according to the first and second embodiments of the present invention will be described below.
설명하기에 앞서, 본 발명의 제1 및 제2실시 예의 작동 과정은 유사하므로, 대표적은 본 발명의 제1실시 예에 따른 입자계수기(1)의 작동 과정을 설명함을 미리 밝혀둔다.Prior to the description, since the operation process of the first and second embodiments of the present invention is similar, it will be noted that the representative describes the operation process of the
우선, 외부에 연결된 저장고(미도시)로부터 유체를 유동관(30)으로 유동시킨다. 광원(10)을 작동하여 도광부재(70) 내부로 빛을 입사시킨다. 도광부재(70) 내부에 입사된 빛은 제1렌즈(62)에 의해 시준 및 집중되어 유동관(30)으로 안내된다.First, a fluid is flowed into the
유동관(30)으로 안내된 빛은 유동관(30)을 투과한다. 이때, 유체 내부에 함유된 미세입자의 개수에 준하여 유동관(30)을 투과하는 빛의 광량이 감소하게 된다.The light guided to the
유동관(30)을 투과한 빛은 제2렌즈(64)에 의해 시준 및 집중되어 도광부재(70) 내부에서 전반사 안내된다. 도광부재(70) 내부에 전반사 안내된 빛은 감지부(40)에 의해 수광된다. 감지부(40)는 광전변환소자로 마련되어 도 5에 도시된 바와 같이, 수광된 광량을 전압의 변화량으로 출력한다. 즉, 감지부(40)는 수광되는 광량에 따라 시간에 대해 전압의 변화량을 출력하는 것이다.The light passing through the
이에, 광원, 유동관, 감지부 및 렌즈를 전반사가 가능한 도광부재에 배치하여 전체적으로 슬림화 및 콤팩트한 구조를 구현할 수 있다.Thus, the light source, the flow tube, the sensing unit, and the lens may be disposed in the light guide member capable of total reflection, thereby realizing a slimmer and compact structure as a whole.
또한, 도광부재에 렌즈를 배치하여 외부의 충격으로부터 렌즈를 보호함과 더불어 렌즈 파손 시 교체 소요시간을 감소시킬 수 있으므로, 유지보수 비용을 절감할 수 있다.In addition, since the lens is disposed on the light guiding member to protect the lens from external impact and reduce the replacement time when the lens is damaged, it is possible to reduce maintenance costs.
더불어, 렌즈와 도광부재를 일체로 제작하여 초점거리에 따른 렌즈 재배치 시간을 감소시킬 수 있으므로, 입자계수기의 제작 공정 소요시간을 감소시킬 수 있다.In addition, since the lens repositioning time according to the focal length can be reduced by integrally manufacturing the lens and the light guide member, the manufacturing time of the particle counter can be reduced.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 그 기술적 사상이나 필수적인 특징들이 변경되지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것으로 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시 예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 균등개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.While the present invention has been described in connection with what is presently considered to be practical exemplary embodiments, it is to be understood that the invention is not limited to the disclosed embodiments, but, on the contrary, . Therefore, it should be understood that the above-described embodiments are illustrative in all aspects and not restrictive. The scope of the present invention is defined by the appended claims rather than the detailed description and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalents are to be construed as being included within the scope of the present invention do.
1: 입자계수기 10: 광원
30: 유동관 40: 감지부
60: 렌즈 62: 제1렌즈
64: 제2렌즈 70: 도광부재
90: 가이드 렌즈 80: 전반사 보강부재
100: 입자계수기 110: 광원
120: 유동관 140: 감지부
150: 렌즈 170: 도광부재
180: 전반사 보강부재1: particle counter 10: light source
30: flow tube 40: detector
60: lens 62: first lens
64: second lens 70: light guide member
90: guide lens 80: total reflection reinforcing member
100: particle counter 110: light source
120: flow tube 140: detector
150: lens 170: light guide member
180: total reflection reinforcing member
Claims (9)
상기 광원과 일정 간격을 두고 배치되고 상기 광원으로부터 조사된 빛이 투과되며, 측정 대상인 미세입자가 함유된 유체의 유동로가 형성된 유동관과;
상기 광원에 대해 상기 유동관을 사이에 두고 배치되어, 상기 유동관을 투과한 광량을 감지하는 감지부와;
상기 광원과 상기 감지부 사이에 배치되어, 상기 광원으로부터 조사된 빛을 상기 유동관 및 상기 감지부로 안내하는 적어도 하나의 렌즈와;
상기 광원, 상기 유동관, 상기 감지부 및 상기 렌즈가 지지되며, 상기 광원으로부터 조사된 빛이 상기 유동관을 경유하여 상기 감지부로 안내되도록 내부에서 빛을 전반사 시키는 도광부재(light guide member)를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자계수기.A light source;
A flow tube disposed at a predetermined distance from the light source, through which light emitted from the light source is transmitted, and a flow path of a fluid containing fine particles as a measurement target is formed;
A sensing unit disposed with respect to the light source with the flow tube interposed therebetween to sense an amount of light passing through the flow tube;
At least one lens disposed between the light source and the sensing unit to guide light emitted from the light source to the flow tube and the sensing unit;
The light source, the flow tube, the sensing unit and the lens is supported, and includes a light guide member for totally reflecting the light inside so that the light irradiated from the light source is guided to the sensing unit via the flow tube Particle counter.
상기 감지부는 감지된 빛을 전압의 변화량으로 출력하는 광전변환소자인 것을 특징으로 하는 입자계수기.The method of claim 1,
Wherein the detector is a particle counter, characterized in that for outputting the detected light in the amount of change of the voltage conversion element.
상기 유동관은 상기 광원과 상기 감지부 사이에 배치되고,
상기 렌즈는 상기 광원과 상기 감지부 사이에 복수개로 배치되어, 상기 도광부재 내부에서 전반사된 빛을 상기 유동관 및 상기 감지부로 안내하는 것을 특징으로 하는 입자계수기.The method of claim 1,
The flow tube is disposed between the light source and the sensing unit,
The lens is disposed between the plurality of the light source and the sensing unit, the particle counter, characterized in that for guiding the light totally reflected in the light guide member to the flow tube and the sensing unit.
상기 렌즈는,
상기 광원과 상기 유동관 사이에 배치되어, 상기 도광부재에 입사된 빛을 상기 유동관으로 전반사 안내하는 제1렌즈와;
상기 유동관과 상기 감지부 사이에 배치되어, 상기 유동관을 투과한 빛을 상기 감지부로 전반사 안내하는 제2렌즈를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자계수기.The method of claim 3,
The lens,
A first lens disposed between the light source and the flow tube and configured to totally guide light incident on the light guide member to the flow tube;
And a second lens disposed between the flow tube and the sensing unit and configured to totally guide the light transmitted through the flow tube to the sensing unit.
상기 유동관은 상기 감지부와 상기 도광부재의 판면 사이에 적층 배치되고,
상기 렌즈는 상기 광원과 상기 유동관 사이에 배치되는 것을 특징으로 하는 입자계수기.The method of claim 1,
The flow tube is stacked between the sensing unit and the plate surface of the light guide member,
And the lens is disposed between the light source and the flow tube.
상기 렌즈와 상기 도광부재는 일체로 마련되는 것을 특징으로 하는 입자계수기.The method of claim 1,
Particle counter, characterized in that the lens and the light guide member are provided integrally.
상기 도광부재의 적어도 일측면에는 상기 도광부재 내부의 전반사를 보강하는 전반사 보강부재가 마련되는 것을 특징으로 하는 입자계수기.The method of claim 1,
Particle counter, characterized in that the at least one side of the light guide member is provided with a total reflection reinforcing member for reinforcing the total reflection inside the light guide member.
상기 광원 및 상기 감지부의 하부에 배치되어, 상기 광원으로부터 상기 도광부재로 입사되는 빛 및 상기 감지부로 수광되는 빛을 상기 도광부재의 판면에 대해 가로 방향으로 안내하는 가이드 렌즈를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자계수기.8. The method of claim 1 or 7,
And a guide lens disposed under the light source and the sensing unit to guide the light incident from the light source to the light guide member and the light received by the detection unit in a horizontal direction with respect to the plate surface of the light guide member. Particle counter.
상기 광원과 일정 간격을 두고 배치되고 상기 광원으로부터 조사된 빛이 투과되며, 측정 대상인 미세입자가 함유된 유체의 유동로가 형성된 유동관과;
상기 광원 및 상기 유동관이 지지되며, 상기 광원으로부터 내부로 입사된 빛을 전반사 시키는 도광부재(light guide member)와;
상기 광원에 대해 상기 유동관을 사이에 두고 상기 도광부재에 지지되며, 상기 유동관을 투과한 광량을 감지하여 전압의 변화량으로 출력하는 감지부와;
상기 광원과 상기 감지부 사이에 배치되어, 상기 도광부재 내부에서 전반사되는 빛을 상기 유동관 및 상기 감지부로 안내하는 적어도 하나의 렌즈와;
상기 도광부재의 적어도 일측면에 배치되어, 상기 도광부재 내부에 입사된 빛의 전반사를 보강하는 전반사 보강부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 입자계수기.A light source;
A flow tube disposed at a predetermined distance from the light source, through which light emitted from the light source is transmitted, and a flow path of a fluid containing fine particles as a measurement target is formed;
A light guide member on which the light source and the flow tube are supported and which totally reflects light incident from the light source;
A sensing unit which is supported by the light guide member with the flow tube interposed with respect to the light source, and detects an amount of light that has passed through the flow tube and outputs the change amount of voltage;
At least one lens disposed between the light source and the sensing unit to guide light totally reflected inside the light guide member to the flow tube and the sensing unit;
And a total reflection reinforcement member disposed on at least one side of the light guide member to reinforce total reflection of light incident inside the light guide member.
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Patent Citations (4)
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Legal Events
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| E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
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