KR101138773B1 - Apparatus for Inspecting Printed Circuit Board - Google Patents

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Abstract

본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치는, 인쇄회로기판에 형성된 패턴에 접촉 가능한 둘 이상의 검사핀과, 상기 검사핀을 지지하는 프레임과, 초전도체로 제작되는 신호선을 통해 상기 각각의 검사핀과 연결되는 테스터와, 상기 신호선을 냉각시키는 냉각수단을 포함한다. 본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치는, 검사핀과 테스터를 연결하는 신호선이 초전도체로 제작되고 상기 신호선을 냉각시키는 냉각수단이 구비되므로, 신호선의 저항이 현저히 저감되며 이에 따라 인쇄회로기판을 2단자 방식으로 검사하더라도 인쇄회로기판에 형성된 패턴의 저항값을 보다 정확하게 측정할 수 있다는 장점이 있다.Printed circuit board inspection apparatus according to the present invention is connected to each of the test pins through at least two test pins that can contact the pattern formed on the printed circuit board, a frame for supporting the test pins, and a signal line made of a superconductor And a tester and cooling means for cooling the signal line. In the printed circuit board inspection apparatus according to the present invention, since the signal line connecting the test pin and the tester is made of a superconductor and provided with cooling means for cooling the signal line, the resistance of the signal line is remarkably reduced, and thus the printed circuit board has two terminals. Even in the inspection method, the resistance value of the pattern formed on the printed circuit board can be measured more accurately.

Description

인쇄회로기판 검사장치{Apparatus for Inspecting Printed Circuit Board}Apparatus for Inspecting Printed Circuit Board}

본 발명은 검사핀을 접촉시킴으로써 인쇄회로기판의 통전상태를 검사하기 위한 인쇄회로기판 검사장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 검사핀과 테스터를 연결하는 신호선의 저항을 줄임으로써 검사정밀도가 향상되도록 구성되는 인쇄회로기판 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a printed circuit board inspection apparatus for inspecting the energized state of the printed circuit board by contacting the test pin, and more particularly, to improve the inspection accuracy by reducing the resistance of the signal line connecting the test pin and the tester It relates to a printed circuit board inspection device.

인쇄회로기판(PCB : Printed Circuit Board)은 페이퍼-페놀(Paper Phenol) 수지 또는 글래스-에폭시(Glass Epoxy) 수지 등과 같은 재질의 기판 상에 동박을 입힌 다음 필요한 회로를 인쇄한 다음 그 외의 부분을 식각(Etching) 등의 기술에 의해 제거하여 만든 회로기판으로서 그 회로 상에는 IC 등과 같은 부품이 납땜으로 부착된다.Printed Circuit Board (PCB) is made by coating copper foil on a substrate made of a material such as Paper-Phenol resin or Glass-Epoxy resin, printing the necessary circuits, and then etching the remaining parts. A circuit board removed by a technique such as etching, and the like, such as an IC, is attached to the circuit by soldering.

인쇄회로기판은 전자기술의 발달로 고집적도 부품을 실장시키기 위하여 경박단소화되고 있는 바, 전자제품의 집적도를 높이는 기본 요소가 되어 그 중요성이 높아지고 있다. 이에, 최근에 제작되는 인쇄회로기판들은 집적도가 높아짐에 따라 그 패턴이 미세화되어 정교한 패턴 인쇄 공정이 요구되고 있으며, 그에 따라 불량의 발생가능성이 높아져 인쇄회로기판에 대한 검사의 중요성도 높아지고 있다.Printed circuit boards are becoming smaller and thinner in order to mount high-integrated components due to the development of electronic technology, and thus the importance of printed circuit boards is becoming a basic element to increase the density of electronic products. Accordingly, recently manufactured printed circuit boards are required to have a finer pattern printing process as the pattern becomes finer as the degree of integration increases. As a result, the possibility of defects is increased, and the importance of inspection of the printed circuit board is also increased.

통상 인쇄회로기판의 이상유무에 대한 검사는 이송 가능한 검사유닛의 검사핀으로 인쇄회로기판의 임의의 접점에 전기신호를 보내 통전 여부를 확인하는 방식으로 이루어지고 있다. 즉, 인쇄회로기판에 대한 검사는 인쇄회로기판 검사장치로써 행하게 되는데, 인쇄회로기판 검사장치는 인쇄회로기판 상의 패턴단자에 전기신호를 흘려보낼 수 있는 검사핀을 가진 검사핀 유닛과, 상기 검사핀 유닛을 인쇄회로기판 측으로 이송할 수 있는 이송장치를 포함하도록 구성된다. 검사자는 상기 이송장치로써 검사핀 유닛을 인쇄회로기판의 검사가 필요한 패턴단자 측으로 이송한 후 상기 패턴단자에 검사핀을 접촉하여 전기신호를 보냄으로써 통전 여부를 가려 인쇄회로기판의 불량 유무를 검사할 수 있다.In general, the inspection of the abnormality of the printed circuit board is performed by sending an electrical signal to an arbitrary contact point of the printed circuit board to the inspection pin of the transferable inspection unit to check whether or not it is energized. That is, the inspection of the printed circuit board is performed by the printed circuit board inspection apparatus, which includes an inspection pin unit having an inspection pin capable of flowing an electrical signal to a pattern terminal on the printed circuit board, and the inspection pin. And a conveying device capable of conveying the unit to the printed circuit board side. The inspector transfers the test pin unit to the pattern terminal that needs inspection of the printed circuit board using the transfer device, and then checks whether the printed circuit board is defective or not by applying an electric signal by contacting the test pin with the pattern terminal. Can be.

이하 첨부된 도면을 참조하여 종래의 인쇄회로기판 검사장치에 대하여 상세히 설명한다.Hereinafter, a conventional printed circuit board inspection apparatus will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 1은 종래의 인쇄회로기판 검사장치를 개략적으로 도시한 측면도이고, 도 2는 인쇄회로기판 검사 방식 중 2단자 방식과 4단자 방식을 각각 도시하며, 도 3은 검사핀과 패턴단자 간의 접촉불량이 발생된 4단자 방식을 도시한다.Figure 1 is a side view schematically showing a conventional printed circuit board inspection apparatus, Figure 2 shows a two-terminal method and a four-terminal method of the printed circuit board inspection method, respectively, Figure 3 is a poor contact between the test pin and the pattern terminal. This generated four-terminal scheme is shown.

도 1에 도시된 바와 같이 종래의 인쇄회로기판 검사장치는, 끝단이 인쇄회로기판(10)에 접촉되어 상기 인쇄회로기판(10)으로 전기신호를 전달하는 검사핀(20)과, 상기 검사핀(20)과 인쇄회로기판(10)이 장착되는 프레임(30)과, 신호선(42)을 통해 상기 검사핀(20)과 전기적으로 연결되는 테스터(40)를 포함하여 구성된다. 상기 프레임(30)은 수평방향으로 연장되는 복수 개의 핀지지부(32)와 수직방향으로 연장되는 기판지지부(34)를 구비하며, 상기 검사핀(20)은 복수 개의 핀지지부(32)를 관통하도록 장착되고, 상기 인쇄회로기판(10)은 기판지지부(34)의 상측에 고정결합된다. 따라서 도 1에 도시된 상태에서 기판지지부(34)를 아래로 내리거나, 검사핀(20)을 상향으로 올리게 되면, 검사핀(20)의 끝단이 인쇄회로기판(10)의 패턴단자에 접촉되어 인쇄회로기판(10)의 신뢰선 개방 불량 등 여러 종류의 불량을 검사할 수 있게 된다. As shown in FIG. 1, the conventional PCB inspection apparatus includes an inspection pin 20 having an end contacting the PCB 10 to transmit an electrical signal to the PCB 10, and the inspection pin 20. And a tester 40 electrically connected to the test pin 20 through the signal line 42 and the frame 30 on which the printed circuit board 10 is mounted. The frame 30 includes a plurality of pin support portions 32 extending in a horizontal direction and a substrate support portion 34 extending in a vertical direction, and the test pin 20 passes through the plurality of pin support portions 32. The printed circuit board 10 is fixedly coupled to an upper side of the substrate support part 34. Therefore, when the substrate support part 34 is lowered or the test pin 20 is raised upward in the state shown in FIG. 1, the end of the test pin 20 contacts the pattern terminal of the printed circuit board 10. Various types of defects, such as a failure in opening the confidence line of the printed circuit board 10, can be inspected.

한편, 인쇄회로기판(10)의 불량을 검사하는 방법으로는, 도 2의 (a)에 도시된 바와 같이 하나의 인쇄회로기판(10)에 형성된 두 개의 패턴(12)에 검사핀(20)을 하나씩 접촉시킨 후 각각의 검사핀(20)에 연결된 신호선(42) 사이에 전류공급원(44)과 전압계(46)를 병렬구조로 연결하는 2단자 방식과, 도 2의 (b)에 도시된 바와 같이 두 개의 패턴(12)에 검사핀(20)을 두 개씩 접촉시킨 후 각각의 검사핀(20)에 연결된 신호선(42)에 전류공급원(44)과 전압계(46)를 독립적으로 연결하는 4단자 방식이 있다. On the other hand, as a method for inspecting the defect of the printed circuit board 10, as shown in (a) of Figure 2, the test pin 20 on the two patterns 12 formed on one printed circuit board 10. After contacting one by one and the two-terminal method for connecting the current supply source 44 and the voltmeter 46 in parallel between the signal line 42 connected to each test pin 20 and shown in Figure 2 (b) As shown in FIG. 4, two test pins 20 are contacted to two patterns 12, respectively, and 4 independently connects a current supply source 44 and a voltmeter 46 to signal lines 42 connected to each test pin 20. There is a terminal method.

상기 2단자 방식과 같이 전류공급원(44)과 전압계(46)가 병렬구조로 연결되면, 전류공급원(44)의 단자와 신호선(42)이 연결되는 부위에서 접촉저항이 크게 발생되고, 전압계(46)와 연결된 신호선(42)의 전체 길이가 길어져 신호선(42)의 자체 저항이 크게 발생되는바, 검사의 신뢰성이 떨어지게 된다는 단점이 있다. 따라서 인쇄회로기판(10)의 불량을 보다 정확하게 검출하기 위해서는 도 2의 (b) 및 도 3에 도시된 바와 같이 전압계(46)가 전류공급원(44)과 분리되도록 구성되는 4단자 방식으로 인쇄회로기판(10)을 검사함이 바람직하다. 이와 같은 4단자 방식은 전류공급원(44)과 신호선 간의 접촉저항이 전압계(46)에 영향을 미치지 아니하고 전압계(46)와 연결된 신호선의 길이가 짧아져 신호선(42)의 자체 저항이 감소되므로, 상기 전압계(46)를 통한 전압 측정 및 이에 따른 패턴저항 산출이 보다 정확하게 이루어질 수 있다는 장점이 있다. 이때, 패턴의 집적화로 인하여 패턴(12) 간의 간격은 줄어드는 추세에 있는 반면에 상기 검사핀(20)간의 간격(S)을 줄이는 데에는 한계가 있는 바, 4단자 방식으로 인쇄회로기판(10)을 검사하는 경우 도 3에 도시된 바와 같이 일부 검사핀(20)은 패턴(12)에 접촉되고 일부 검사핀(20)은 패턴(12)에 접촉되지 아니하게 되어 정확한 검사가 이루어지지 아니하는 경우가 빈번히 발생된다는 문제점이 있다.When the current supply source 44 and the voltmeter 46 are connected in parallel as in the two-terminal method, a contact resistance is greatly generated at a portion where the terminal of the current supply source 44 and the signal line 42 are connected, and the voltmeter 46 The total length of the signal line 42 connected to the () is long, so that the self-resistance of the signal line 42 is large, there is a disadvantage that the reliability of the inspection is reduced. Therefore, in order to more accurately detect the failure of the printed circuit board 10, the printed circuit in a four-terminal manner in which the voltmeter 46 is separated from the current supply source 44 as shown in FIGS. 2 (b) and 3. It is preferable to inspect the substrate 10. In this four-terminal method, since the contact resistance between the current supply source 44 and the signal line does not affect the voltmeter 46 and the length of the signal line connected to the voltmeter 46 is shortened, the self-resistance of the signal line 42 is reduced. There is an advantage that the voltage measurement through the voltmeter 46 and thus the pattern resistance calculation can be made more accurately. At this time, the spacing between the patterns 12 tends to decrease due to the integration of the patterns, but there is a limit in reducing the spacing S between the test pins 20. The printed circuit board 10 is connected in a four-terminal manner. In the case of inspection, as shown in FIG. 3, some inspection pins 20 are in contact with the pattern 12, and some inspection pins 20 are not in contact with the pattern 12. There is a problem that occurs frequently.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위하여 제안된 것으로, 검사핀과 테스터를 연결하는 신호선의 저항을 줄임으로써 2단자 방식으로 인쇄회로기판을 검사하더라도 정확한 검사를 할 수 있도록 구성되는 인쇄회로기판 검사장치를 제공하는데 목적이 있다.The present invention has been proposed to solve the above problems, by reducing the resistance of the signal line connecting the test pin and the tester printed circuit board inspection configured to enable accurate inspection even if the test of the printed circuit board in a two-terminal method The purpose is to provide a device.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치는, 인쇄회로기판에 형성된 패턴에 접촉 가능한 둘 이상의 검사핀과, 초전도체로 제작되는 신호선을 통해 상기 각각의 검사핀과 연결되는 테스터와, 상기 신호선을 냉각시키는 냉각수단을 포함한다.Printed circuit board inspection apparatus according to the present invention for achieving the above object, the tester is connected to each of the test pins through at least two test pins that can contact the pattern formed on the printed circuit board, and a signal line made of a superconductor And cooling means for cooling the signal line.

상기 신호선이 지나는 구간을 둘러싸도록 장착되어 상기 신호선을 외부와 격리시키는 챔버를 더 포함하고, 상기 냉각수단은 상기 챔버의 내부를 냉각시키도록 구성된다.And a chamber mounted to surround a section through which the signal line passes, to isolate the signal line from the outside, and the cooling means is configured to cool the inside of the chamber.

상기 냉각수단은, 액화질소를 저장하는 액화질소탱크와, 상기 액화질소탱크 내의 액화질소를 상기 챔버 내측으로 전달하는 연결호스를 포함하여 구성된다.The cooling means includes a liquefied nitrogen tank for storing liquefied nitrogen, and a connecting hose for delivering liquefied nitrogen in the liquefied nitrogen tank to the inside of the chamber.

상기 검사핀을 지지하는 프레임을 더 포함하고, 상기 챔버는 상기 신호선이 지나는 구간 중 상기 프레임 내측의 공간을 둘러싸는 제1 챔버와 상기 신호선이 지나는 구간 중 상기 프레임과 상기 테스터 사이의 공간을 둘러싸는 제2 챔버를 포함하여 구성된다.The apparatus further includes a frame supporting the test pin, wherein the chamber surrounds a space between the frame and the tester in a section in which the first chamber surrounds a space inside the frame and a section in which the signal line passes. And a second chamber.

상기 챔버는, 단열층을 구비하는 단열챔버로 적용된다.The chamber is applied to a heat insulating chamber having a heat insulating layer.

상기 검사핀과 신호선은 별도의 체결소켓에 의해 착탈 가능한 구조로 결합된다.The test pin and the signal line is coupled in a removable structure by a separate fastening socket.

상기 둘 이상의 검사핀은 서로 다른 두 개의 패턴단자에 접촉되며, 상기 테스터는 서로 다른 두 개의 검사핀과 각각 연결된 두 개의 신호선에 병렬로 연결되는 전류공급원 및 전압계를 구비한다.The two or more test pins contact two different pattern terminals, and the tester includes a current supply source and a voltmeter connected in parallel to two signal lines respectively connected to two different test pins.

본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치는, 검사핀과 테스터를 연결하는 신호선이 초전도체로 제작되고 상기 신호선을 냉각시키는 냉각수단이 구비되므로, 신호선의 저항이 현저히 저감되며 이에 따라 인쇄회로기판을 2단자 방식으로 검사하더라도 인쇄회로기판에 형성된 패턴의 저항값을 보다 정확하게 측정할 수 있다는 장점이 있다.In the printed circuit board inspection apparatus according to the present invention, since the signal line connecting the test pin and the tester is made of a superconductor and provided with cooling means for cooling the signal line, the resistance of the signal line is remarkably reduced, and thus the printed circuit board has two terminals. Even in the inspection method, the resistance value of the pattern formed on the printed circuit board can be measured more accurately.

도 1은 종래의 인쇄회로기판 검사장치를 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 2는 인쇄회로기판 검사 방식 중 2단자 방식과 4단자 방식을 각각 도시한다.
도 3은 검사핀과 패턴단자 간의 접촉불량이 발생된 4단자 방식을 도시한다.
도 4는 본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치의 내부구성을 도시한다.
도 5는 본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치 제2 실시예의 내부구성을 도시한다.
1 is a side view schematically showing a conventional printed circuit board inspection apparatus.
Figure 2 shows a two-terminal method and a four-terminal method of the printed circuit board inspection method, respectively.
3 illustrates a four-terminal method in which contact failure between the test pin and the pattern terminal is generated.
Figure 4 shows the internal structure of a printed circuit board inspection apparatus according to the present invention.
Fig. 5 shows the internal structure of the second embodiment of the printed circuit board inspection apparatus according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치의 실시예를 상세히 설명한다.Hereinafter, an embodiment of a printed circuit board inspection apparatus according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 4는 본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치의 내부구성을 도시한다.Figure 4 shows the internal structure of a printed circuit board inspection apparatus according to the present invention.

본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치는, 인쇄회로기판(100)에 형성된 패턴에 접촉 가능한 둘 이상의 검사핀(200)과, 상기 검사핀(200)을 지지하기 위한 핀지지부(310) 및 인쇄회로기판(100)을 지지하기 위한 기판지지부(320)를 구비하는 프레임(300)과, 초전도체로 제작되는 신호선(410)을 통해 상기 각각의 검사핀(200)과 연결되는 테스터(400)와, 상기 신호선(410)을 냉각시키는 냉각수단(600)을 포함한다. The printed circuit board inspection apparatus according to the present invention includes at least two test pins 200 which are in contact with a pattern formed on the printed circuit board 100, a pin support part 310 and a printed circuit for supporting the test pins 200. A frame 300 having a substrate support part 320 for supporting the substrate 100, a tester 400 connected to each of the test pins 200 through a signal line 410 made of a superconductor, and Cooling means 600 for cooling the signal line 410.

이때, 상기 테스터(400)는 신호선(410)을 통해 검사핀(200)으로 전류를 공급할 수 있도록 전류공급원이 구비되며, 두 개의 신호선(410) 간의 전압을 측정할 수 있도록 전압계가 구비된다. 따라서 도 4에 도시된 상태에서 인쇄회로기판(100)이 하강하거나 검사핀(200)이 상승하여 검사핀(200)이 인쇄회로기판(100)의 패턴에 접촉되면, 상기 테스터(400)는 신호선(410)을 통해 전류를 공급하고 두 개의 신호선(410) 간의 전압을 측정하여 상기 패턴의 저항값을 산출함으로써 인쇄회로기판(100)에 형성된 패턴들이 설계도에 따라 정상적으로 연결되어 있는지를 검사할 수 있게 된다. 상기와 같은 방식으로 패턴의 저항값을 측정하는 테스터(400)는 도 1에 도시된 종래의 인쇄회로기판 검사장치에 포함되는 테스터(40)와 실질적으로 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.In this case, the tester 400 is provided with a current supply source to supply a current to the test pin 200 through the signal line 410, a voltmeter is provided to measure the voltage between the two signal lines (410). Therefore, when the printed circuit board 100 is lowered or the test pin 200 is raised in the state shown in FIG. 4 and the test pin 200 contacts the pattern of the printed circuit board 100, the tester 400 is connected to a signal line. By supplying a current through the 410 and measuring the voltage between the two signal lines 410 to calculate the resistance value of the pattern to check whether the patterns formed on the printed circuit board 100 is normally connected according to the design drawing do. Tester 400 for measuring the resistance value of the pattern in the above manner is substantially the same as the tester 40 included in the conventional printed circuit board inspection apparatus shown in Figure 1, a detailed description thereof will be omitted.

또한, 상기 핀지지부(310)는 검사핀(200)의 위치를 고정시키기 위한 구성요소로서, 본 실시예에서는 수평방향으로 연장되는 플레이트 형상으로 형성되어 검사핀(200)이 관통되도록 장착되는 구조만에 예시되고 있으나, 상기 핀지지부(310)는 검사핀(200)의 위치를 고정시킬 수만 있다면 다양한 개수 및 형상으로 변경될 수 있다. 또한 상기 기판지지부(320)는 인쇄회로기판(100)을 수평방향으로 고정시키기 위한 구성요소로서, 핀지지부(310)에 장착될 수도 있고, 핀지지부(310)와 별도로 장착될 수도 있다. 본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치에 포함되는 핀지지부(310) 및 기판지지부(320)는 도 1에 도시된 종래의 인쇄회로기판 검사장치에 포함되는 핀지지부(32) 및 기판지지부(34)와 실질적으로 동일하므로, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.In addition, the pin support 310 is a component for fixing the position of the test pin 200, in this embodiment is formed in a plate shape extending in the horizontal direction only the structure that is mounted so that the test pin 200 is penetrated Although illustrated in the example, the pin support 310 may be changed into various numbers and shapes as long as it can fix the position of the test pin 200. In addition, the substrate support part 320 is a component for fixing the printed circuit board 100 in the horizontal direction, and may be mounted on the pin support part 310 or separately from the pin support part 310. The pin support part 310 and the substrate support part 320 included in the PCB test apparatus according to the present invention are the pin support part 32 and the substrate support part 34 included in the conventional PCB test apparatus shown in FIG. 1. Since it is substantially the same as, detailed description thereof will be omitted.

한편, 두 개의 신호선(410) 간의 전압은 패턴의 저항과 신호선(410)의 저항과 검사핀(200)의 저항과 검사핀(200)과 패턴 간의 접촉저항 등을 합한 총 저항에 의해 발생하게 되므로, 신호선(410)의 저항과 검사핀(200)의 저항과 검사핀(200)과 패턴 간의 접촉저항이 항상 일정해야만 패턴의 저항을 정확하게 산출할 수 있다. 이때, 검사핀(200)은 일정한 규격으로 제작되므로 상기 검사핀(200)의 저항값 변동은 거의 없다고 볼 수 있고, 검사핀(200)과 패턴 간의 접촉저항은 2~3 mΩ에 불과하므로 검사핀(200)과 패턴 간의 접촉저항이 상황에 따라 약간씩 변동되더라도 패턴의 저항 산출에 큰 영향을 미치지 아니한다. 이에 비해 모든 신호선(410)의 단면적 및 길이를 설계치대로 정확하게 제작하는데에는 어려움이 있으므로 상기 각 신호선(410)의 저항값은 약간씩이나마 차이가 발생될 수밖에 없고, 신호선(410)의 자체 저항이 수십 mΩ에 이르므로 신호선(410)의 저항값 변동이 발생되는 경우 패턴의 저항 산출에 큰 영향을 미치게 된다. On the other hand, the voltage between the two signal lines 410 is generated by the total resistance of the resistance of the pattern and the signal line 410, the resistance of the test pin 200 and the contact resistance between the test pin 200 and the pattern, etc. The resistance of the signal line 410 and the resistance of the test pin 200 and the contact resistance between the test pin 200 and the pattern are always constant to accurately calculate the resistance of the pattern. At this time, since the test pin 200 is manufactured to a certain standard, there is almost no change in the resistance value of the test pin 200, and the contact pin between the test pin 200 and the pattern is only 2 to 3 mΩ, so the test pin is Even if the contact resistance between the 200 and the pattern varies slightly depending on the situation, it does not significantly affect the calculation of the resistance of the pattern. On the other hand, since it is difficult to accurately manufacture the cross-sectional area and length of all the signal lines 410 according to the design values, the resistance values of the signal lines 410 may be slightly different, and the resistance of the signal lines 410 may be several dozen. Since it reaches mΩ, when a change in the resistance value of the signal line 410 occurs, it greatly affects the resistance calculation of the pattern.

상기 언급한 바와 같이 패턴의 저항값을 산출하는 데에는 신호선(410)의 저항값이 가장 큰 변수가 되는바, 패턴의 저항값을 보다 정확하게 산출할 수 있도록 상기 신호선(410)의 저항값을 최대한 감소시킴이 바람직하다. 따라서 본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치는 신호선(410)의 저항값이 최소화될 수 있도록, 상기 신호선(410)이 초전도체로 제작되며, 상기 신호선(410)을 냉각시키는 냉각수단(600)이 구비된다는 점에 가장 큰 특징이 있다. 초전도체는 특정 임계 온도 이하로 냉각시 (고온초전도체의 경우 수십 Kelvin) 저항값이 0에 근접하게 되는 특성을 가지고 있는바, 상기 신호선(410)은 상기 냉각수단(600)에 의해 냉각되었을 때 저항이 매우 작아지게 되고, 이에 따라 패턴의 저항값이 보다 정확하게 산출될 수 있게 된다.As mentioned above, the resistance value of the signal line 410 becomes the largest variable in calculating the resistance value of the pattern, so that the resistance value of the signal line 410 is reduced as much as possible to more accurately calculate the resistance value of the pattern. Preference is given. Therefore, in the printed circuit board inspection apparatus according to the present invention, the signal line 410 is made of a superconductor so that the resistance value of the signal line 410 is minimized, and cooling means 600 is provided to cool the signal line 410. The biggest feature is that it becomes. When the superconductor is cooled below a certain threshold temperature (several Kelvin in the case of high temperature superconductor), the resistance value is close to 0. The signal line 410 has a resistance when cooled by the cooling means 600. It becomes very small, so that the resistance value of the pattern can be calculated more accurately.

한편, 냉각체를 신호선(410)에 직접 접촉시켜 상기 신호선(410)을 직접 냉각시키는 방식을 이용하는 경우, 신호선(410) 중 냉각체가 접촉된 일부위만이 냉각되고 나머지 부위는 충분히 냉각되지 아니할 우려가 있다. 따라서 본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치는, 상기 신호선(410)이 지나는 구간을 둘러싸도록 장착되어 상기 신호선(410)을 외부와 격리시키는 챔버(500)를 더 포함하고, 상기 냉각수단(600)은 상기 챔버(500)의 내부 전체를 냉각시킴으로써 상기 챔버(500) 내부에 위치하는 신호선(410)들을 간접적으로 냉각시키는 구조로 구성됨이 바람직하다. 이와 같이 냉각수단(600)이 챔버(500)의 내부 전체를 냉각시키도록 구성되면, 상기 챔버(500) 내부에 위치한 모든 신호선(410)들이 고르게 냉각되는바, 상기 신호선(410)의 저항을 전체적으로 고르게 낮출 수 있게 되고, 이에 따라 인쇄회로기판(100)에 형성된 패턴 저항을 보다 정확하게 검사할 수 있다는 장점이 있다.On the other hand, when the cooling body is directly in contact with the signal line 410 to directly cool the signal line 410, only a portion of the signal line 410 in contact with the cooling body is cooled and the remaining portion may not be sufficiently cooled. have. Therefore, the apparatus for inspecting a printed circuit board according to the present invention further includes a chamber 500 mounted to surround a section through which the signal line 410 passes, to isolate the signal line 410 from the outside, and the cooling means 600. The coolant may be configured to indirectly cool the signal lines 410 located in the chamber 500 by cooling the entire interior of the chamber 500. As such, when the cooling means 600 is configured to cool the entire interior of the chamber 500, all the signal lines 410 located inside the chamber 500 are uniformly cooled, and thus the resistance of the signal line 410 is entirely reduced. Since it can be evenly lowered, the pattern resistance formed on the printed circuit board 100 can be more accurately inspected.

상기 냉각수단(600)은 챔버(500) 내부를 냉각시킬 수만 있다면 어떠한 구성으로도 이루어질 수 있으나, 챔버(500) 내부를 보다 낮은 온도로 빠르게 냉각시킬 수 있도록 액화질소를 이용하도록 구성됨이 바람직하다. 즉, 상기 냉각수단(600)은, 액화질소를 저장하는 액화질소탱크(610)와, 상기 액화질소탱크(610) 내의 액화질소를 상기 챔버(500) 내측으로 전달하는 연결호스(620)를 포함하여, 상기 챔버(500) 내부로 액화질소를 분사함으로써 신호선(410)을 냉각시키도록 구성될 수 있다. 액화질소는 -196℃의 매우 낮은 비등점을 가지므로 액화질소를 챔버(500) 내측으로 분사시켰을 때 상기 신호선(410)이 극저온으로 빠르게 냉각되며, 상기 액화질소는 환경오염이나 폭발의 우려가 없으므로 챔버(500) 외측으로 액화질소가 유출되더라도 큰 문제가 발생되지 아니한다는 장점이 있다. 이때, 상기 챔버(500)는, 내부의 냉기가 외부로 쉽게 빠져나가지 못하도록 단열층을 구비하는 단열챔버로 적용됨이 바람직하다.The cooling means 600 may be formed in any configuration as long as it can cool the inside of the chamber 500, but is preferably configured to use liquid nitrogen to rapidly cool the inside of the chamber 500 to a lower temperature. That is, the cooling means 600 includes a liquefied nitrogen tank 610 for storing liquefied nitrogen, and a connection hose 620 for transferring the liquefied nitrogen in the liquefied nitrogen tank 610 into the chamber 500. Thus, the liquid crystal nitrogen may be injected into the chamber 500 to cool the signal line 410. Since liquid nitrogen has a very low boiling point of -196 ° C, when the liquid nitrogen is injected into the chamber 500, the signal line 410 is rapidly cooled to cryogenic temperature, and the liquid nitrogen does not have a risk of environmental pollution or explosion. (500) There is an advantage that the big problem does not occur even if the liquid nitrogen outflow. In this case, the chamber 500 is preferably applied to the heat insulating chamber having a heat insulating layer so that the cold air does not easily escape to the outside.

한편 상기 챔버(500)는, 도 4에 도시된 바와 같이 상기 신호선(410)이 지나는 구간 중 상기 프레임(300) 내측의 공간을 둘러싸는 제1 챔버(510)와, 상기 신호선(410)이 지나는 구간 중 상기 프레임(300)과 상기 테스터(400) 사이의 공간을 둘러싸는 제2 챔버(520)로 구분될 수 있다. 이와 같이 상기 챔버(500)가 제1 챔버(510)와 제2 챔버(520)로 구분되면, 챔버(500)의 어느 일부위가 손상 또는 파손되었을 때 챔버(500) 전체를 교체하지 아니하고 제1 챔버(510)와 제2 챔버(520) 중 어느 하나만을 교체함으로써 문제를 해결할 수 있으므로, 유지 및 보수 비용이 절감된다는 장점이 있다. 또한, 인쇄회로기판(100) 검사를 수차례 진행하여 검사핀(200)이 손상 또는 마모되는 경우 상기 검사핀(200)을 교체해야 하는데, 검사핀(200) 교체과정에서 챔버(500) 내부가 외부로 개방되므로 챔버(500) 내부의 냉기가 외부로 모두 유출될 수밖에 없다. 이때 상기 챔버(500)가 도 4에 도시된 바와 같이 제1 챔버(510)와 제2 챔버(520)로 구분되어 구성되면, 검사핀(200) 교체 시 제1 챔버(510)의 내부만이 외부로 개방되는바, 검사핀(200) 교체 이후 신호선(410)을 다시 냉각시킬 때에는 상기 제1 챔버(510)로만 액화질소를 분사하면 되므로, 액화질소 사용량을 현저히 절감시킬 수 있다는 장점이 있다.Meanwhile, as illustrated in FIG. 4, the chamber 500 includes a first chamber 510 surrounding a space inside the frame 300 and a signal line 410 through which the signal line 410 passes. The section may be divided into a second chamber 520 surrounding a space between the frame 300 and the tester 400. As such, when the chamber 500 is divided into the first chamber 510 and the second chamber 520, when any part of the chamber 500 is damaged or broken, the first chamber 500 does not replace the entire chamber 500. Since the problem can be solved by replacing only one of the chamber 510 and the second chamber 520, maintenance and repair costs are reduced. In addition, if the test pin 200 is damaged or worn by inspecting the printed circuit board 100 several times, the test pin 200 needs to be replaced. In the process of replacing the test pin 200, the inside of the chamber 500 is changed. Since it is opened to the outside, the cold air inside the chamber 500 is bound to flow out to the outside. At this time, if the chamber 500 is divided into a first chamber 510 and a second chamber 520 as shown in Figure 4, only the inside of the first chamber 510 when replacing the test pin 200 When the liquid crystal nitrogen is injected only to the first chamber 510 when the signal line 410 is cooled again after replacing the test pin 200, the liquid nitrogen may be significantly reduced.

또한, 검사핀(200) 교체 작업이 보다 간편해질 수 있도록, 상기 검사핀(200)과 신호선(410)은 별도의 체결소켓(210)에 의해 착탈 가능한 구조로 결합될 수 있다. 신호선(410)이 용접 등의 방식에 의해 검사핀(200)에 결합되면, 검사핀(200) 교체 시 신호선(410)을 검사핀(200)으로부터 분리시키는 작업과 신호선(410)을 새로운 검사핀(200)에 결합시키는 작업이 필수적으로 요구되어 검사핀(200) 교체 작업이 복잡해질 뿐만 아니라, 검사핀(200)을부터 신호선(410)을 분리시키는 과정에서 상기 신호선(410)이 손상될 수 있다는 문제점이 있다. 그러나 상기 언급한 바와 같이 신호선(410)과 검사핀(200)이 별도의 체결소켓(210)에 의해 착탈 가능한 구조로 결합되면, 검사핀(200) 교체작업이 간편해질 뿐만 아니라 검사핀(200) 교체과정에서 신호선(410)이 손상될 우려가 없어진다는 이점이 있다. 이때, 상기 체결소켓(210)은 끼워맞춤 방식으로 검사핀(200)이 결합되도록 구성될 수도 있고, 후크 등과 같은 별도의 고정수단이 추가로 구비되어 삽입된 검사핀(200)이 분리되지 아니하도록 구성될 수도 있다. 이와 같이 두 개의 부재를 착탈 가능한 구조로 결합시키는 체결소켓(210)은 이미 여러 분야에서 널리 활용되고 있는바, 이에 대한 상세한 설명은 생략한다.In addition, the test pin 200 and the signal line 410 may be coupled in a detachable structure by a separate fastening socket 210 so that the inspection pin 200 can be replaced more easily. When the signal line 410 is coupled to the test pin 200 by welding or the like, the operation of separating the signal line 410 from the test pin 200 and replacing the signal line 410 with the new test pin when the test pin 200 is replaced. The operation of coupling to the 200 is required, which not only makes the replacement of the test pin 200 complicated, but also damages the signal line 410 in the process of separating the signal line 410 from the test pin 200. There is a problem. However, as mentioned above, when the signal line 410 and the test pin 200 are combined in a detachable structure by a separate fastening socket 210, the test pin 200 may be replaced easily, as well as the test pin 200. There is an advantage that the signal line 410 may be damaged during the replacement process. At this time, the fastening socket 210 may be configured to be coupled to the test pin 200 in a fitting manner, a separate fixing means such as a hook is additionally provided so that the inserted test pin 200 is not separated. It may be configured. As described above, the fastening socket 210 that couples the two members in a detachable structure is already widely used in various fields, and a detailed description thereof will be omitted.

신호선(410)의 저항이 감소하게 되면 전류공급원과 신호선(410) 간의 접촉저항이 감소되고 신호선(410)의 길이가 길어지더라도 신호선(410)의 자체 저항값이 작아지게 되므로, 상기 테스터(400)를 4단자 방식이 아닌 2단자 방식으로 구성하더라도(도 2 참조) 인쇄회로기판(100)의 저항을 보다 정확하게 산출할 수 있다. 또한, 상기 테스터(400)를 2단자 방식으로 구성하면, 검사핀(200)과 패턴 간의 접촉불량(도 3 참조)을 방지할 수 있다는 효과도 얻을 수 있다. 따라서 상기 언급한 바와 같이 신호선(410)이 초전도체로 제작되고 신호선(410) 냉각을 위한 냉각수단(600)이 구비되는 경우, 상기 테스터(400)는 전류공급원과 전압계가 서로 다른 두 개의 검사핀(200)과 각각 연결된 두 개의 신호선(410)에 병렬로 연결되는 구조 즉, 2단자 방식으로 구성될 수 있다.
When the resistance of the signal line 410 is reduced, the contact resistance between the current supply source and the signal line 410 is reduced, and even though the length of the signal line 410 is increased, the resistance value of the signal line 410 becomes smaller, so that the tester 400 ) May be more accurately calculated in the printed circuit board 100 even if the terminal is configured in a two-terminal manner rather than a four-terminal manner (see FIG. 2). In addition, when the tester 400 is configured in a two-terminal manner, an effect of preventing contact failure (see FIG. 3) between the test pin 200 and the pattern can be obtained. Therefore, as mentioned above, when the signal line 410 is made of a superconductor and the cooling means 600 for cooling the signal line 410 is provided, the tester 400 includes two test pins having different current sources and voltmeters ( It may be configured in a two-terminal structure that is connected in parallel to the two signal lines 410 respectively connected to the 200.

도 5는 본 발명에 의한 인쇄회로기판 검사장치 제2 실시예의 내부구성을 도시한다.Fig. 5 shows the internal structure of the second embodiment of the printed circuit board inspection apparatus according to the present invention.

본 발명에 포함되는 챔버(500)는, 도 4에 도시된 바와 같이 제1 챔버(510)와 제2 챔버(520)로 각각 구분되도록 구성될 수도 있고, 도 5에 도시된 바와 같이 신호선(410)이 지나는 공간 전체를 감싸도록 일체형으로 제작될 수도 있다. 이와 같이 상기 챔버(500)가 일체형으로 제작되면, 챔버(500) 제작이 보다 간편해지고 챔버(500) 제조원가가 절감될 뿐만 아니라, 하나의 연결호스(620)로 챔버(500)의 내부 전체에 액화질소를 공급할 수 있으므로 구성이 간단해진다는 장점이 있다.The chamber 500 included in the present invention may be configured to be divided into a first chamber 510 and a second chamber 520, as shown in FIG. 4, and a signal line 410 as shown in FIG. 5. It may be manufactured in one piece to cover the entire space passing by). As such, when the chamber 500 is integrally manufactured, the chamber 500 may be manufactured more easily, and the manufacturing cost of the chamber 500 may be reduced, and the entire chamber 500 may be liquefied by one connection hose 620. Since nitrogen can be supplied, there is an advantage that the configuration is simplified.

본 실시예에서는 상기 챔버(500)가 도 5에 도시된 바와 같이 하나로 제작되는 경우와, 도 4에 도시된 바와 같이 두 부분으로 구분되는 경우만을 설명하고 있으나, 상기 챔버(500)는 프레임(300)의 구조 및 기타 여러 조건에 따라 셋 이상으로 구분되도록 구성될 수 있다.In the present exemplary embodiment, only the case in which the chamber 500 is manufactured as shown in FIG. 5 and the case in which the chamber 500 is divided into two parts as illustrated in FIG. 4 is described. ) Can be divided into three or more according to the structure and various other conditions.

이상, 본 발명을 바람직한 실시 예를 사용하여 상세히 설명하였으나, 본 발명의 범위는 특정 실시 예에 한정되는 것은 아니며, 첨부된 특허청구범위에 의하여 해석되어야 할 것이다. 또한, 이 기술분야에서 통상의 지식을 습득한 자라면, 본 발명의 범위에서 벗어나지 않으면서도 많은 수정과 변형이 가능함을 이해하여야 할 것이다.As mentioned above, although this invention was demonstrated in detail using the preferable embodiment, the scope of the present invention is not limited to a specific embodiment, Comprising: It should be interpreted by the attached Claim. In addition, those skilled in the art should understand that many modifications and variations are possible without departing from the scope of the present invention.

100 : 인쇄회로기판 200 : 검사핀
210 : 체결소켓 300 : 프레임
310 : 핀지지부 320 : 기판지지부
400 : 테스터 410 : 신호선
500 : 챔버 510 : 제1 챔버
520 : 제2 챔버 600 : 냉각수단
610 : 액화질소탱크 620 : 연결호스
100: printed circuit board 200: test pin
210: tightening socket 300: frame
310: pin support portion 320: substrate support portion
400: tester 410: signal line
500: chamber 510: first chamber
520: second chamber 600: cooling means
610: liquid nitrogen tank 620: connection hose

Claims (7)

삭제delete 인쇄회로기판에 형성된 패턴에 접촉 가능한 둘 이상의 검사핀;
초전도체로 제작되는 신호선을 통해 상기 각각의 검사핀과 연결되는 테스터;
상기 신호선을 냉각시키는 냉각수단;
상기 신호선이 지나는 구간을 둘러싸도록 장착되어 상기 신호선을 외부와 격리시키는 챔버;
를 포함하고,
상기 냉각수단은 상기 챔버의 내부를 냉각시키도록 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치.
Two or more test pins capable of contacting a pattern formed on the printed circuit board;
A tester connected to each test pin through a signal line made of a superconductor;
Cooling means for cooling the signal line;
A chamber mounted to surround a section through which the signal line passes, to isolate the signal line from the outside;
Including,
The cooling means is a printed circuit board inspection device, characterized in that configured to cool the inside of the chamber.
제2항에 있어서,
상기 냉각수단은, 액화질소를 저장하는 액화질소탱크와, 상기 액화질소탱크 내의 액화질소를 상기 챔버 내측으로 전달하는 연결호스를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치.
The method of claim 2,
The cooling means includes a liquefied nitrogen tank for storing liquefied nitrogen, and a connecting hose for transferring the liquefied nitrogen in the liquefied nitrogen tank into the chamber.
제2항에 있어서,
상기 검사핀을 지지하는 프레임을 더 포함하고,
상기 챔버는, 상기 신호선이 지나는 구간 중 상기 프레임 내측의 공간을 둘러싸는 제1 챔버와, 상기 신호선이 지나는 구간 중 상기 프레임과 상기 테스터 사이의 공간을 둘러싸는 제2 챔버를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치.
The method of claim 2,
Further comprising a frame for supporting the test pin,
The chamber may include a first chamber that surrounds a space inside the frame in a section where the signal line passes, and a second chamber that surrounds a space between the frame and the tester in a section where the signal line passes. Printed circuit board inspection apparatus.
제2항에 있어서,
상기 챔버는, 단열층을 구비하는 단열챔버인 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치.
The method of claim 2,
The chamber is a printed circuit board inspection device, characterized in that the insulating chamber having a heat insulating layer.
인쇄회로기판에 형성된 패턴에 접촉 가능한 둘 이상의 검사핀;
초전도체로 제작되는 신호선을 통해 상기 각각의 검사핀과 연결되는 테스터;
상기 신호선을 냉각시키는 냉각수단;
을 포함하며,
상기 검사핀과 신호선은 별도의 체결소켓에 의해 착탈 가능한 구조로 결합되는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치.
Two or more test pins capable of contacting a pattern formed on the printed circuit board;
A tester connected to each test pin through a signal line made of a superconductor;
Cooling means for cooling the signal line;
Including;
The test pin and the signal line is a printed circuit board inspection device, characterized in that coupled to the removable structure by a separate fastening socket.
인쇄회로기판에 형성된 패턴에 접촉 가능한 둘 이상의 검사핀;
초전도체로 제작되는 신호선을 통해 상기 각각의 검사핀과 연결되는 테스터;
상기 신호선을 냉각시키는 냉각수단;
을 포함하며,
상기 둘 이상의 검사핀은 서로 다른 두 개의 패턴단자에 접촉되고,
상기 테스터는 서로 다른 두 개의 검사핀과 각각 연결된 두 개의 신호선에 병렬로 연결되는 전류공급원 및 전압계를 구비하는 것을 특징으로 하는 인쇄회로기판 검사장치.
Two or more test pins capable of contacting a pattern formed on the printed circuit board;
A tester connected to each test pin through a signal line made of a superconductor;
Cooling means for cooling the signal line;
Including;
The two or more test pins are in contact with two different pattern terminals,
And the tester includes a current supply source and a voltmeter connected in parallel to two signal lines respectively connected to two different test pins.
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