KR101130545B1 - Method for deposition material of organicelectro luminescence in organicelectro luminescence display device - Google Patents

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Abstract

본 발명은 저 스트레스(low stress) 유기물과 고 스트레스(high stress) 유기물을 혼용하여 유기 발광물질을 증착함으로써 유기물의 변성에 의한 유기 EL(Electro Luminescence) 표시소자의 휘도 저하를 방지할 수 있는 유기 발광물질 증착방법에 관한 것이다. According to the present invention, organic light emission can be prevented from deteriorating luminance of an organic electroluminescence (EL) display device due to organic denaturation by depositing an organic light emitting material using a mixture of low stress organic materials and high stress organic materials. It relates to a material deposition method.

본 발명은 내부에 각각 유기 물질이 담겨진 N개의 용기가 수납되고, 순차적으로 상기 용기에 담겨진 상기 유기 물질을 승화시켜 기판에 유기 물질을 증착하도록 구성된 제1 및 제2 용기챔버를 구비한 유기 발광물질 증착장치를 이용한 유기 발광물질 증착방법에 있어서, 상기 제1 및 제2 용기챔버에 각각 수납된 용기를 서로 교번적으로 일정 시간동안 서로 중첩 가열하여 상기 제1 및 제2 용기챔버에서 각각 승화된 유기 물질을 서로 혼용시켜 상기 기판에 유기 물질을 증착시키는 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법을 제공한다.The present invention provides an organic light emitting material having first and second container chambers each having N containers each containing an organic material therein and configured to sequentially deposit the organic material on a substrate by subliming the organic material contained in the container. In the method of depositing an organic light emitting material using an evaporation apparatus, organically sublimed in each of the first and second container chambers by alternately heating each of the containers stored in the first and second container chambers alternately for a predetermined time. The present invention provides a method of depositing an organic light emitting material, wherein the materials are mixed with each other to deposit an organic material on the substrate.

Description

유기 전계발광 표시소자의 유기 발광물질 증착방법{METHOD FOR DEPOSITION MATERIAL OF ORGANICELECTRO LUMINESCENCE IN ORGANICELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE} Organic light emitting material deposition method of organic electroluminescent display device {METHOD FOR DEPOSITION MATERIAL OF ORGANICELECTRO LUMINESCENCE IN ORGANICELECTRO LUMINESCENCE DISPLAY DEVICE}

도 1은 일반적인 유기 전계발광 표시소자를 개략적으로 나타내는 도면. 1 is a view schematically showing a general organic electroluminescent display device.

도 2는 일반적인 유기 전계발광 표시소자의 발광원리를 설명하기 위한 도면.2 is a view for explaining the light emission principle of a general organic electroluminescent display device.

도 3 및 도 4는 일반적인 유기 전계발광 표시소자의 유기 발광물질 증착장치를 도시한 도면. 3 and 4 are diagrams illustrating an organic light emitting material deposition apparatus of a general organic electroluminescent display device.

도 5는 종래기술에 따른 유기 발광물질 증착방법을 설명하기 위한 도면. 5 is a view for explaining an organic light emitting material deposition method according to the prior art.

도 6은 본 발명의 실시 예에 따른 유기 발광물질 증착방법을 설명하기 위한 도면. 6 is a view for explaining a method of depositing an organic light emitting material according to an embodiment of the present invention.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명> <Explanation of symbols for the main parts of the drawings>

2 : 기판 30 : 진공챔버2: substrate 30: vacuum chamber

32 : 방착판 50a, 50b : 용기챔버32: adhesion plate 50a, 50b: container chamber

40, 40a 내지 40h: 용기 42 : 유기 물질40, 40a to 40h: container 42: organic material

44 : 분출구 46 : 히터44: outlet 46: heater

본 발명은 유기 전계발광 표시소자에 관한 것으로, 특히 저 스트레스(low stress) 유기물과 고 스트레스(high stress) 유기물을 혼용하여 증착할 수 있는 유기 전계발광 표시소자의 유기 발광물질 증착방법에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an organic electroluminescent display device, and more particularly, to a method of depositing an organic light emitting material of an organic electroluminescent display device which can be deposited by mixing a low stress organic material and a high stress organic material.

최근에는 음극 선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 감소시킬 수 있는 각종 평판 표시장치들이 개발되어 상용되고 있다. 이러한 평판 표시장치들로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display, LCD), 전계 방출 표시장치(Field Emission Display, FED), 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, PDP) 및 전계발광 표시소자(Electro Luminescence Display Device : 이하 "EL 표시소자"라 함) 등이 있다. 특히, EL 표시소자는 기본적으로 정공 수송층, 발광층, 전자 수송층으로 이루어진 유기 발광층의 양면에 전극을 붙인 형태로 이루어지며, 넓은 시야각, 고개구율, 고색도 등의 특징 때문에 차세대 평판 표시장치로서 주목받고 있다. Recently, various flat panel display devices that can reduce weight and volume, which are disadvantages of cathode ray tubes, have been developed and commercially available. Such flat panel displays include liquid crystal displays (LCDs), field emission displays (FEDs), plasma display panels (PDPs), and electroluminescent display devices (hereinafter referred to as electroluminescent display devices). "EL display element"). In particular, the EL display element is basically formed by attaching electrodes to both sides of an organic light emitting layer including a hole transporting layer, a light emitting layer, and an electron transporting layer. .

이러한 EL 표시소자는 사용하는 재료에 따라 크게 무기 EL 표시소자와 유기 EL 표시소자로 나뉘어진다. 이 중 유기 EL 표시소자는 정공 주입 전극과 전자 주입 전극 사이에 형성된 유기 EL 층에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내기 때문에 무기 EL 표시소자에 비해 낮은 전압으로 구동 가능하 다는 장점이 있다. 또한, 유기 EL 표시소자는 플라스틱같이 휠 수 있는(Flexible) 투명기판 위에도 소자를 형성할 수 있을 뿐 아니라, PDP나 무기 EL 표시소자에 비해 10V 이하의 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 전력 소모가 비교적 작으며, 색감이 뛰어나다. Such EL display elements are largely divided into inorganic EL display elements and organic EL display elements depending on the materials used. Among these, the organic EL display device can be driven at a lower voltage than the inorganic EL display device because when the charge is injected into the organic EL layer formed between the hole injection electrode and the electron injection electrode, electrons and holes are paired up and extinguished to emit light. There is an advantage. In addition, the organic EL display element can be formed on a flexible transparent substrate, such as plastic, and can be driven at a voltage lower than 10 V compared to a PDP or an inorganic EL display element, and consumes relatively little power. Small, excellent color

도 1은 일반적인 유기 EL 표시소자를 설명하기 위하여 도시한 개략도이다. 도 1에 도시된 바와 같이, 일반적인 유기 EL 표시소자는 기판(2)상에 유기 발광층(10)을 사이에 두고 서로 교차되게 형성된 애노드 전극(4)과 캐소드 전극(12) 등을 포함하는 유기 EL 어레이(15)와, 유기 EL 어레이(15)를 패키징하기 위한 캡(28)을 구비한다. 1 is a schematic diagram illustrating a general organic EL display element. As shown in FIG. 1, a general organic EL display device includes an organic EL including an anode electrode 4, a cathode electrode 12, and the like formed on the substrate 2 so as to cross each other with an organic light emitting layer 10 interposed therebetween. The array 15 and the cap 28 for packaging the organic EL array 15 are provided.

애노드 전극(4)은 기판(2)상에 소정 간격으로 이격되어 복수개로 형성된다. 이러한 애노드 전극(4)이 형성된 기판(2)상에는 EL셀(EL) 영역마다 개구부를 갖는 절연막(6)이 형성된다. 절연막(6)상에는 그 위에 형성되어질 유기 발광층(10) 및 캐소드 전극(12)의 분리를 위한 격벽(8)이 위치한다. 격벽(8)은 애노드 전극(4)을 가로지르는 방향으로 형성되며, 상단부가 하단부보다 넓은 폭을 가지게 되는 역 테이퍼(taper) 구조를 갖게 된다. 격벽(8)이 형성된 절연막(6)상에는 유기 화합물로 구성되는 유기 발광층(10)과 캐소드 전극(12)이 순차적으로 전면 증착된다. 유기 발광층(10)은 전자 주입층, 전자 수송층, 발광층, 정공 수송층, 정공 주입층을 포함한다. A plurality of anode electrodes 4 are spaced apart at predetermined intervals on the substrate 2. On the substrate 2 on which the anode electrode 4 is formed, an insulating film 6 having an opening for each EL cell EL region is formed. On the insulating film 6, a partition 8 for separating the organic light emitting layer 10 and the cathode electrode 12 to be formed thereon is positioned. The partition 8 is formed in a direction crossing the anode electrode 4, and has an inverse taper structure in which the upper end portion has a wider width than the lower end portion. On the insulating film 6 on which the partition 8 is formed, the organic light emitting layer 10 and the cathode electrode 12 made of an organic compound are sequentially deposited on the entire surface. The organic light emitting layer 10 includes an electron injection layer, an electron transport layer, a light emitting layer, a hole transport layer, and a hole injection layer.

이러한 유기 EL 어레이(15)는 수분 및 산소에 의해 쉽게 열화되는 특성을 가지고 있다. 이러한 문제를 해결하기 위하여 유기 EL 어레이(15)가 형성된 기판(2) 과 캡이(28)이 에폭시 수지와 같은 실런트(25)를 통해 합착되는 봉지(Encapsulation) 공정이 실시됨으로써 유기 EL 어레이(15)가 산소 및 수분 등으로 부터 보호된다. The organic EL array 15 has a property of being easily deteriorated by moisture and oxygen. To solve this problem, an encapsulation process is performed in which the substrate 2 and the cap 28 on which the organic EL array 15 is formed are bonded through a sealant 25 such as an epoxy resin. ) Is protected from oxygen and moisture.

캡(28)에는 유기 EL 어레이(15)와의 대향되는 면상에 위치하여 수분 및 산소를 흡수하는 게터(getter)(22)가 구비된다. 여기서, 게터(22)는 무기 산화물 즉, 수분과 반응하여 수산기(OH)를 형성하는 산화칼슘(Cao) 및 산화바륨(BaO)등이 이용된다. The cap 28 is provided with a getter 22 which is located on a surface facing the organic EL array 15 to absorb moisture and oxygen. Here, the getter 22 is formed of an inorganic oxide, that is, calcium oxide (Cao), barium oxide (BaO), and the like, which react with water to form a hydroxyl group (OH).

이러한 유기 EL 표시소자는 도 2에 도시된 바와 같이 애노드 전극(4)과 캐소드 전극(12) 사이에 전압이 인가되면, 캐소드 전극(12)으로부터 발생된 전자는 전자 주입층(10a) 및 전자 수송층(10b)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동된다. 또한, 애노드 전극(4)으로부터 발생된 정공은 정공 주입층(10e) 및 정공 수송층(10d)을 통해 발광층(10c) 쪽으로 이동한다. 이에 따라, 발광층(10c)에서는 전자 수송층(10b)과 정공 수송층(10b)으로부터 공급되어진 전자와 정공의 재결합으로 엑시톤(EXITON)이 형성되고, 이렇게 형성된 엑시톤은 다시 기저상태로 여기되면서 일정한 에너지의 빛을 애노드 전극(4)을 통하여 외부로 방출됨으로써 화상이 표시되게 된다. In the organic EL display device, as shown in FIG. 2, when a voltage is applied between the anode electrode 4 and the cathode electrode 12, electrons generated from the cathode electrode 12 are transferred to the electron injection layer 10a and the electron transport layer. It is moved toward the light emitting layer 10c through 10b. In addition, holes generated from the anode electrode 4 move toward the light emitting layer 10c through the hole injection layer 10e and the hole transport layer 10d. Accordingly, in the light emitting layer 10c, excitons are formed by recombination of electrons and holes supplied from the electron transporting layer 10b and the hole transporting layer 10b, and the excitons thus excited are excited to the ground state, and have a constant energy of light. Is emitted to the outside through the anode electrode 4 so that an image is displayed.

그리고, 유기 발광층(10) 내의 여러 층, 즉 전자 주입층(10a), 전자 수송층(10b), 발광층(10c), 정공 수송층(10d) 및 정공 주입층(10e)은 진공 증착법 등에 의해 형성된다. The various layers in the organic light emitting layer 10, that is, the electron injection layer 10a, the electron transport layer 10b, the light emitting layer 10c, the hole transport layer 10d, and the hole injection layer 10e are formed by vacuum deposition or the like.

도 3은 일반적인 유기 EL 표시소자의 유기 물질 증착장치를 나타내는 단면도 이다. 3 is a cross-sectional view illustrating an organic material deposition apparatus of a general organic EL display device.

도 3을 참조하면, 일반적인 유기 발광물질 증착장치는 진공챔버(30)와, 진공챔버(30) 내부의 저면에 위치함과 아울러 그 내부에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 중 적어도 어느 하나의 유기 물질(42)이 담긴 용기(40)와, 용기(40)를 가열시키기 위한 히터(46)와, 애노드 전극 등이 형성된 기판(2)과, 챔버(30) 내부의 벽면을 둘러싸도록 장착되는 방착판(32)을 구비한다. 그리고, 용기(40) 및 히터(46)는 보호캡 내에 수용되어 진공챔버(30) 내에 위치한다. 또한, 진공챔버(30)는 외부로부터 이물질이 유입되지 않도록 진공 상태로 유지되도록 내부의 압력이 일정한 크기로 조절된다. Referring to FIG. 3, a general organic light emitting material deposition apparatus is located at the bottom of the vacuum chamber 30, the inside of the vacuum chamber 30, and red (R), green (G), and blue (B) inside the chamber. A container 40 containing at least one of the organic materials 42, a heater 46 for heating the container 40, a substrate 2 on which an anode electrode and the like are formed, and a wall surface inside the chamber 30. It is provided with a shielding plate 32 mounted to surround the. In addition, the container 40 and the heater 46 are accommodated in the protective cap and positioned in the vacuum chamber 30. In addition, the vacuum chamber 30 is adjusted to a predetermined size so that the pressure inside thereof is maintained in a vacuum state so that foreign matters do not flow from the outside.

용기(40)는 진공챔버(30)의 저면에 각각의 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B) 유기 물질(42)이 수용된 복수 개가 소정 간격으로 이격되어 순차적으로 설치될 수 있다. 이러한 각각의 용기(40)는 상부쪽에 분출구(44)가 있으며, 이 분출구(44)를 통해 애노드 전극 등이 형성된 기판(2)상에 적색(R), 녹색(G) 및 청색(B)을 구현하는 유기 물질(42)이 증착된다. 즉, 용기(40)는 히터(46)에 의해 300℃~600℃의 온도로 가열되어 용기(40) 내에 수용된 유기 물질(42)이 분출구(44)를 통해 승화되어 기판(2)에 증착된다. 한편, 방착판(32)은 유기 물질(42)이 분출구(44)를 통해 승화되는 경우 진공챔버(30) 내부 벽면에 유기 물질(42)이 증착되는 것을 방지하는 역할을 한다. The container 40 may be sequentially installed with a plurality of red (R), green (G), and blue (B) organic materials 42 accommodated on the bottom of the vacuum chamber 30 at predetermined intervals. Each of these containers 40 has a spout 44 on the upper side, through the spout 44 to the red (R), green (G) and blue (B) on the substrate (2) on which the anode electrode or the like is formed. Implementing organic material 42 is deposited. That is, the container 40 is heated to a temperature of 300 ° C. to 600 ° C. by the heater 46, and the organic material 42 contained in the container 40 is sublimed through the jet port 44 and deposited on the substrate 2. . On the other hand, the adhesion plate 32 serves to prevent the organic material 42 is deposited on the inner wall surface of the vacuum chamber 30 when the organic material 42 is sublimated through the jet 44.

보통, 도 4에 도시된 바와 같이 한 개의 진공챔버(30) 내에는 2개의 용기챔버(50a, 50b)가 배치되고, 용기챔버(50a, 50b) 각각에는 4개의 용기(40a 내지 40d, 40e 내지 40h)가 수납된다. Usually, as shown in FIG. 4, two vessel chambers 50a and 50b are disposed in one vacuum chamber 30, and four vessels 40a to 40d and 40e to each of the chamber chambers 50a and 50b. 40h) is stored.

이러한 유기 발광물질 증착장치를 이용한 종래기술에 따른 유기 발광물질 증착방법은 다음과 같다. The organic light emitting material deposition method according to the prior art using the organic light emitting material deposition apparatus is as follows.

도 5에 도시된 바와 같이, 제1 용기챔버(50a)의 제1 용기(40a)부터 제4 용기(40d)까지 반시계방향으로 순차적으로 이동시켜 유기 발광물질을 증착한다. 예컨대, 제1 용기(40a) 내에 담겨진 유기 물질(42)을 히터(46)를 통해 승화시켜 기판(2)에 증착한다. 이때, 히터(46)를 이용한 가열시간은 제1 용기(40a)에 담겨진 유기 물질(42)이 모두 승화될 때까지의 시간이 된다. 보통 't'는 24시간으로서, 모든 용기(40a 내지 40d)에 적용된다. 't' 시간 후 자동으로 다음 용기로 이동하여 순차적으로 증착공정을 수행한다. 상기한 과정으로 제1 용기챔버(50a)의 제4 용기(40d)에 대한 증착공정이 완료되면, 즉 '4t'(즉 96시간) 후 자동으로 제2 용기챔버(50b)의 제1 용기(40e)를 이동시켜 증착공정을 수행한다. 물론, 제1 용기챔버(50a)에서와 마찬 가지로 한 개의 용기마다 24시간 동안 증착공정을 수행한 후 다음 용기로 순차적으로 이동하여 증착공정을 수행한다. 결국, 'T' 시간(8t=192 시간) 동안 증착공정이 이루어진다. As shown in FIG. 5, the organic light emitting material is deposited by sequentially moving counterclockwise from the first vessel 40a to the fourth vessel 40d of the first vessel chamber 50a. For example, the organic material 42 contained in the first container 40a is sublimed through the heater 46 and deposited on the substrate 2. At this time, the heating time using the heater 46 is a time until all of the organic material 42 contained in the first container 40a is sublimed. Usually 't' is 24 hours, which is applied to all the containers 40a to 40d. After the 't' time to automatically move to the next vessel to perform the deposition process sequentially. When the deposition process for the fourth container 40d of the first container chamber 50a is completed by the above-described process, that is, after the '4t' (that is, 96 hours), the first container of the second container chamber 50b is automatically 40e) is moved to perform the deposition process. Of course, as in the first container chamber (50a), the deposition process for each container for 24 hours and then sequentially moved to the next container to perform the deposition process. As a result, the deposition process is performed for a 'T' time (8t = 192 hours).

그러나, 종래기술에 따른 유기 발광물질 증착공정은 하나의 용기 내에 담겨진 모든 유기 물질이 모두 승화되어 기판에 증착될 때까지 증착공정이 진행됨에 따라 용기 내에 담겨진 유기 물질이 장시간(24시간 동안) 히터로부터 방사된 고열에 의해 스트레스(stress)를 받게 되어 그 특성이 크게 변성되는 문제가 발생된다. 이러한 유기 물질의 변성은 곧 유기 EL 표시소자의 휘도를 저하시키는 원인으로 작 용하게 된다. However, in the organic light emitting material deposition process according to the prior art, as the deposition process proceeds until all organic materials contained in one container are sublimed and deposited on the substrate, the organic material contained in the container is kept from the heater for a long time (for 24 hours). There is a problem that stress is caused by the radiated high heat and its characteristics are greatly denatured. Such degeneration of the organic material soon serves as a cause of lowering the luminance of the organic EL display element.

따라서, 본 발명의 목적은 저 스트레스(low stress) 유기물과 고 스트레스(high stress) 유기물을 혼용하여 유기 발광물질을 증착함으로써 유기물의 변성에 의한 유기 EL 표시소자의 휘도 저하를 방지할 수 있는 유기 발광물질 증착방법을 제공함에 있다. Accordingly, an object of the present invention is to organic light emitting which can prevent a decrease in luminance of an organic EL display device due to degeneration of organic materials by depositing an organic light emitting material by mixing a low stress organic material and a high stress organic material. It is to provide a material deposition method.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 유기 발광물질 증착방법은 내부에 각각 유기 물질이 담겨진 N개의 용기가 수납되고, 순차적으로 상기 용기에 담겨진 상기 유기 물질을 승화시켜 기판에 유기 물질을 증착하도록 구성된 제1 및 제2 용기챔버를 구비한 유기 발광물질 증착장치를 이용한 유기 발광물질 증착방법에 있어서, 상기 제1 및 제2 용기챔버에 각각 수납된 N개의 용기를 서로 교번적으로 일정 시간동안 중첩 가열하여 상기 제1 및 제2 용기챔버에서 각각 승화된 유기 물질을 서로 혼용시켜 상기 기판에 유기 물질을 증착시키는 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법을 제공한다.In order to achieve the above object, the organic light emitting material deposition method of the present invention is configured to deposit N organic materials on a substrate by sequentially subliming the organic material contained in the N container containing each of the organic material contained in the container. In the organic light emitting material deposition method using the organic light emitting material deposition apparatus having a first and a second container chamber, the N vessels respectively accommodated in the first and second container chamber alternately heating each other for a predetermined time The organic light emitting material deposition method is characterized in that the organic material is deposited on the substrate by mixing the sublimed organic materials in each of the first and second container chambers.

상기 일정 시간은 상기 N개의 용기에 담겨진 상기 유기 물질이 모두 승화되는 시간의 1/2인 것을 특징으로 한다. The predetermined time period is characterized in that half of the time that all the organic material contained in the N containers are sublimated.

상기 제1 및 제2 용기챔버에 각각 수납된 상기 N개의 용기 중 첫 번째 용기에 담겨진 유기 물질을 동시에 승화시켜 증착공정을 수행하는 것을 특징으로 한다. The vapor deposition process may be performed by simultaneously subliming an organic material contained in the first container among the N containers respectively accommodated in the first and second container chambers.

상기 첫 번째 용기 중 어느 하나의 용기에 담겨진 유기 물질이 모두 승화되는 시간의 1/2 시간 동안까지만 승화시켜 증착공정을 수행하는 것을 특징으로 한다. It is characterized in that the deposition process is performed by subliming only up to 1/2 hour of the time when all of the organic materials contained in any one of the first vessel is sublimed.

상기 제1 및 제2 용기챔버의 N번째 용기 중 어느 하나는 용기에 담겨진 유기 물질이 모두 승화되는 시간의 1/2 시간 동안까지만 승화시켜 증착공정을 수행하는 것을 특징으로 한다. Any one of the N-th containers of the first and second container chambers may be sublimed until only 1/2 hour of the time when all the organic materials contained in the container are sublimed to perform the deposition process.

상기 N번째 용기 중 어느 하나는 용기에 담겨진 유기 물질이 모두 승화되는 시간의 1/2 시간 동안까지만 승화시켜 증착공정이 수행되고, 상기 첫 번째 용기 중 어느 하나는 1/2 시간 동안까지만 승화시켜 증착공정이 수행된 후 다른 챔버 내부에 수납된 것을 특징으로 한다. Any one of the N-th vessels is sublimed until only half an hour of the time when all the organic materials contained in the vessels are sublimated, and the deposition process is performed. After the process is performed it is characterized in that it is stored in another chamber.

상기 제1 및 제2 용기챔버 내부에 수납된 상기 N개의 용기는 각각에 구비된 히터를 통해 가열되어 내부에 담겨진 유기 물질을 승화시키도록 구성된 것을 특징으로 한다. The N containers accommodated in the first and second container chambers are configured to sublimate organic materials contained therein by being heated by heaters provided therein.

상기 제1 및 제2 용기챔버 내부에 수납된 상기 N개의 용기는 모두 동일한 크기를 갖는 것을 특징으로 한다. The N containers accommodated in the first and second container chambers have the same size.

상기 제1 및 제2 용기챔버 내부에 수납된 상기 N개의 용기는 모두 동일한 양의 유기 물질이 담겨진 것을 특징으로 한다.The N containers accommodated in the first and second container chambers are all contained with the same amount of organic material.

상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예들에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다. Other objects and features of the present invention in addition to the above object will be apparent from the description of the embodiments with reference to the accompanying drawings.

이하, 도 6을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a preferred embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 6.

도 6을 참조하면, 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 유기 발광물질 증착방법은 저 스트레스 유기물과 고 스트레스 유기물을 혼용하여 유기 발광물질을 증착한다. Referring to FIG. 6, in the method of depositing an organic light emitting material according to a preferred embodiment of the present invention, the organic light emitting material is deposited by mixing a low stress organic material and a high stress organic material.

예컨대, 도 3 및 도 4에 도시된 유기 발광물질 증착장치에서와 같이 제1 및 제2 용기챔버(50a, 50b)를 구비하고, 그 내부에 각각 4개의 용기가 수납된 구조에서는 총 7단계(stage)(T1~T7)로 분할되어 유기 발광물질에 대한 증착공정이 이루어진다. 여기서, 각 단계별 증착 소요시간은 t/2(24h/2) 시간, 즉 12 시간이 되도록 한다. For example, in the structure in which the first and second container chambers 50a and 50b are provided as in the organic light emitting material deposition apparatus shown in FIGS. 3 and 4, and four containers are stored therein, a total of seven steps ( It is divided into stages (T1 ~ T7) and the deposition process for the organic light emitting material is performed. Here, the deposition time required for each step is t / 2 (24h / 2) time, that is, 12 hours.

먼저, 제1 단계(T1)에서는 제1 용기챔버(50a)의 제1 용기(40a)와 제2 용기챔버(50b)의 제1 용기(40e)를 동시에 가열시켜 제1 용기(40a, 40e)에 담겨진 유기 물질(42)을 동시에 승화시켜 증착공정을 수행한다. 제1 단계(T1)에서는 제1 및 제2 용기(40a, 40e) 내에 담겨진 유기 물질(42)은 모두 히터(46)로부터 방사된 열에 의해 비교적 저 스트레스(L)를 받는 상태이기 때문에 유기 물질(42)의 변성은 거의 일어나지 않는다. First, in the first step T1, the first container 40a of the first container chamber 50a and the first container 40e of the second container chamber 50b are simultaneously heated to form the first containers 40a and 40e. The organic material 42 contained therein is simultaneously sublimed to perform the deposition process. In the first step T1, since the organic material 42 contained in the first and second containers 40a and 40e are both in a state of being relatively low in stress L due to the heat radiated from the heater 46, the organic material ( Degeneration of 42 rarely occurs.

제2 단계(T2)에서는 제1 용기챔버(50a)의 제1 용기(40a)와 제2 용기챔버(50b)의 두 번째 용기인 제2 용기(40f)를 동시에 가열시켜 두 용기(40a, 40f)에 담겨진 유기 물질(42)을 혼용하여 증착공정을 수행한다. 제2 단계(T2)에서는 제1 용기(40a)가 장시간, 즉 t/2(12h) 시간 이상 고열에 노출되어 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나는 고 스트레스(H) 상태가 된다. 그러나, 제2 용기(40f)는 t/2(12h) 시간 이하 고열에 노출되기 때문에 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나지 않는 저 스트레스(L) 상태에 있기 때문에 고 스트레스(H) 유기 물질과 저 스트레스(L) 유기 물질을 혼용하여 사용함으로써 유기 물질의 질을 중간상태로 유지시킨다. In the second step T2, the first container 40a of the first container chamber 50a and the second container 40f, which is the second container of the second container chamber 50b, are simultaneously heated to both the containers 40a and 40f. The organic material 42 contained in) is mixed to perform the deposition process. In the second step T2, the first container 40a is exposed to high heat for a long time, i.e., t / 2 (12h) or more, and a high stress (H) state occurs in which denaturation of the organic material 42 contained therein occurs. . However, since the second container 40f is exposed to a high temperature of t / 2 (12h) time or less, since the second container 40f is in a low stress (L) state in which no degeneration of the organic material 42 contained therein occurs, high stress (H) By using a mixture of organic materials and low stress (L) organic materials, the quality of organic materials is maintained in an intermediate state.

제3 단계(T3)에서는 제2 단계(T2)와 반대로 제1 용기챔버(50a)의 두 번째 용기인 제2 용기(40b)와 제2 용기챔버(50b)의 제2 용기(40f)를 동시에 가열시켜 두 용기(40b, 40f)에 담겨진 유기 물질(42)을 혼용하여 증착공정을 수행한다. 제3 단계(T3)에서는 제2 용기챔버(50b)의 제2 용기(40f)가 t/2(12h) 시간 이상 고열에 노출되어 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나는 고 스트레스(H) 상태가 된다. 그러나, 제1 용기챔버(50a)의 제2 용기(40b)는 t/2(12h) 시간 이하 고열에 노출되기 때문에 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나지 않는 저 스트레스(L) 상태에 있기 때문에 고 스트레스(H) 유기 물질과 저 스트레스(L) 유기 물질을 혼용하여 사용함으로써 유기 물질의 질을 중간상태로 유지시킨다. In the third step T3, the second container 40b, which is the second container of the first container chamber 50a, and the second container 40f of the second container chamber 50b are simultaneously opposite to the second step T2. The deposition process is performed by mixing the organic materials 42 contained in the two containers 40b and 40f by heating. In the third step T3, the second container 40f of the second container chamber 50b is exposed to high heat for at least t / 2 (12h) hours, and thus high stress occurs when the organic material 42 contained therein is denatured. H) state. However, since the second container 40b of the first container chamber 50a is exposed to high heat for less than t / 2 (12h) time, a low stress (L) state in which the degeneration of the organic material 42 contained therein does not occur. Since the high stress (H) organic material and low stress (L) organic material is used in combination to maintain the quality of the organic material in an intermediate state.

제4 단계(T4)에서는 제3 단계(T3)와 반대로 제1 용기챔버(50a)의 제2 용기(40b)와 제2 용기챔버(50b)의 세 번째 용기인 제3 용기(40g)를 동시에 가열시켜 두 용기(40b, 40g)에 담겨진 유기 물질(42)을 혼용하여 증착공정을 수행한다. 제4 단계(T4)에서는 제1 용기챔버(50a)의 제2 용기(40b)가 t/2(12h) 시간 이상 고열에 노출되어 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나는 고 스트레스(H) 상태가 된다. 그러나, 제2 용기챔버(50b)의 제3 용기(40g)는 t/2(12h) 시간 이하 고열에 노출되기 때문에 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나지 않는 저 스트레스(L) 상태에 있기 때문에 고 스트레스(H) 유기 물질과 저 스트레스(L) 유기 물 질을 혼용하여 사용함으로써 유기 물질의 질을 중간상태로 유지시킨다. In the fourth step T4, the second container 40b of the first container chamber 50a and the third container 40g which is the third container of the second container chamber 50b are simultaneously opposite to the third step T3. The deposition process is performed by mixing the organic materials 42 contained in the two containers 40b and 40g by heating. In the fourth step T4, the second container 40b of the first container chamber 50a is exposed to high heat for at least t / 2 (12h) hours, and thus high stress occurs when the organic material 42 contained therein is denatured. H) state. However, since the third container 40g of the second container chamber 50b is exposed to high heat for less than t / 2 (12h) time, a low stress (L) state in which no degeneration of the organic material 42 contained therein occurs. Due to the use of a mixture of high stress (H) organic material and low stress (L) organic material to keep the quality of the organic material in an intermediate state.

제5 단계(T5)에서는 제4 단계(T4)와 반대로 제1 용기챔버(50a)의 세 번째 용기인 제3 용기(40c)와 제2 용기챔버(50b)의 제3 용기(40g)를 동시에 가열시켜 두 용기(40c, 40g)에 담겨진 유기 물질(42)을 혼용하여 증착공정을 수행한다. 제5 단계(T5)에서는 제2 용기챔버(50b)의 제3 용기(40g)가 t/2(12h) 시간 이상 고열에 노출되어 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나는 고 스트레스(H) 상태가 된다. 그러나, 제1 용기챔버(50a)의 제3 용기(40c)는 t/2(12h) 시간 이하 고열에 노출되기 때문에 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나지 않는 저 스트레스(L) 상태에 있기 때문에 고 스트레스(H) 유기 물질과 저 스트레스(L) 유기 물질을 혼용하여 사용함으로써 유기 물질의 질을 중간상태로 유지시킨다. In the fifth step T5, the third container 40c, which is the third container of the first container chamber 50a, and the third container 40g of the second container chamber 50b are simultaneously opposite to the fourth step T4. The deposition process is performed by mixing the organic materials 42 contained in the two containers 40c and 40g by heating. In the fifth step T5, the third container 40g of the second container chamber 50b is exposed to high heat for t / 2 (12h) or more time, and thus high stress occurs when the organic material 42 contained therein is denatured. H) state. However, since the third container 40c of the first container chamber 50a is exposed to high heat for less than t / 2 (12h) time, a low stress (L) state in which no degeneration of the organic material 42 contained therein occurs. Since the high stress (H) organic material and low stress (L) organic material is used in combination to maintain the quality of the organic material in an intermediate state.

제6 단계(T6)에서는 제5 단계(T5)와 반대로 제1 용기챔버(50a)의 제3 용기(40c)와 제2 용기챔버(50b)의 네 번째 용기인 제4 용기(40h)를 동시에 가열시켜 두 용기(40c, 40h)에 담겨진 유기 물질(42)을 혼용하여 증착공정을 수행한다. 제6 단계(T6)에서는 제1 용기챔버(50a)의 제3 용기(40c)가 t/2(12h) 시간 이상 고열에 노출되어 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나는 고 스트레스(H) 상태가 된다. 그러나, 제2 용기챔버(50b)의 제4 용기(40h)는 t/2(12h) 시간 이하 고열에 노출되기 때문에 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나지 않는 저 스트레스(L) 상태에 있기 때문에 고 스트레스(H) 유기 물질과 저 스트레스(L) 유기 물질을 혼용하여 사용함으로써 유기 물질의 질을 중간상태로 유지시킨다. In the sixth step T6, the third container 40c of the first container chamber 50a and the fourth container 40h which is the fourth container of the second container chamber 50b are simultaneously opposite to the fifth step T5. The deposition process is performed by mixing the organic materials 42 contained in the two containers 40c and 40h by heating. In the sixth step T6, the third container 40c of the first container chamber 50a is exposed to high heat for at least t / 2 (12h) hours, and thus high stress occurs when the organic material 42 contained therein is denatured. H) state. However, since the fourth container 40h of the second container chamber 50b is exposed to high heat for less than t / 2 (12h) time, the low stress (L) state in which the degeneration of the organic material 42 contained therein does not occur. Since the high stress (H) organic material and low stress (L) organic material is used in combination to maintain the quality of the organic material in an intermediate state.

마지막 단계인 제7 단계(T7)에서는 제6 단계(T6)와 반대로 제1 용기챔버 (50a)의 네 번째 용기인 제4 용기(40d)와 제2 용기챔버(50b)의 제4 용기(40h)를 동시에 가열시켜 두 용기(40d, 40h)에 담겨진 유기 물질(42)을 혼용하여 증착공정을 수행한다. 이때, 제1 용기챔버(50a)의 제4 용기(40d)는 t/2 (12h) 시간 동안에만 가열하여 증착공정을 수행한다. 제7 단계(T7)에서는 제2 용기챔버(50b)의 제4 용기(40h)가 t/2(12h) 시간 이상 고열에 노출되어 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나는 고 스트레스(H) 상태가 된다. 그러나, 제1 용기챔버(50a)의 제4 용기(40d)는 t/2(12h) 시간 이하 고열에 노출되기 때문에 그 내부에 담겨진 유기 물질(42)의 변성이 일어나지 않는 저 스트레스(L) 상태에 있기 때문에 고 스트레스(H) 유기 물질과 저 스트레스(L) 유기 물질을 혼용하여 사용함으로써 유기 물질의 질을 중간상태로 유지시킨다.In the seventh step T7, which is the last step, the fourth container 40d which is the fourth container of the first container chamber 50a and the fourth container 40h of the second container chamber 50b are opposite to the sixth step T6. ) Is simultaneously heated to mix the organic materials 42 contained in the two containers 40d and 40h to perform the deposition process. At this time, the fourth vessel 40d of the first vessel chamber 50a is heated only during t / 2 (12h) time to perform the deposition process. In the seventh step T7, the fourth container 40h of the second container chamber 50b is exposed to high heat for at least t / 2 (12h) hours, and thus high stress occurs when the organic material 42 contained therein is denatured. H) state. However, since the fourth container 40d of the first container chamber 50a is exposed to high heat for less than t / 2 (12h) time, a low stress (L) state in which no modification of the organic material 42 contained therein occurs. Since the high stress (H) organic material and low stress (L) organic material is used in combination to maintain the quality of the organic material in an intermediate state.

상기에서 설명한 바와 같이, 본 발명은 제1 및 제2 용기챔버(50a, 50b)에 각각 분리되어 수납된 4개(또는, N개)의 용기를 서로 교번적으로 일정 시간(t/2) 동안 서로 중첩(overlap)시켜 가열시키고, 이를 통해 제1 및 제2 용기챔버(50a, 50b)에서 각각 승화된 유기 물질을 서로 혼용시켜 증착공정을 수행함으로써 적어도 중간 정도의 질을 갖는 유기 물질을 이용하여 유기 발광물질을 증착할 수 있어 유기 EL 표시소자의 휘도 저하를 방지할 수 있다. As described above, according to the present invention, four (or N) containers separately stored in the first and second container chambers 50a and 50b are alternately stored for a predetermined time t / 2. By overlapping and heating each other, through which the sublimed organic materials in the first and second container chambers 50a and 50b are mixed with each other, a deposition process is performed to use organic materials having at least moderate quality. An organic light emitting material can be deposited to prevent a decrease in luminance of the organic EL display device.

상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 유기 EL 표시소자의 유기 발광물질 증착방법은 유기 발광물질 증착공정시 항상 적어도 중간 정도의 질을 갖는 유기 물질을 이용하여 유기 발광물질을 증착할 수 있어 유기 EL 표시소자의 휘도 저하를 방지할 수 있다. As described above, in the method of depositing an organic light emitting material of the organic EL display device according to the present invention, the organic light emitting material may be deposited using an organic material having a quality of at least intermediate at all times during the organic light emitting material deposition process. The deterioration of the luminance of the device can be prevented.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여져야만 할 것이다. Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the technical spirit of the present invention. Therefore, the technical scope of the present invention should not be limited to the contents described in the detailed description of the specification but should be defined by the claims.

Claims (10)

내부에 각각 유기 물질이 담겨진 N개의 용기가 수납되고, 순차적으로 상기 N개의 용기에 담겨진 상기 유기 물질을 승화시켜 기판에 유기 물질을 증착하도록 구성된 제1 및 제2 용기챔버를 구비한 유기 발광물질 증착장치를 이용한 유기 발광물질 증착방법에 있어서, N containers containing organic materials are contained therein, and organic light emitting materials having first and second container chambers configured to sequentially sublimate the organic materials contained in the N containers to deposit organic materials on a substrate. In the organic light emitting material deposition method using a device, 상기 제1 및 제2 용기챔버에 각각 수납된 상기 N개의 용기를 서로 교번적으로 일정 시간동안 중첩 가열하여 상기 제1 및 제2 용기챔버에서 각각 승화된 유기 물질을 서로 혼용시켜 상기 기판에 유기 물질을 증착시키는 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법.The N containers respectively accommodated in the first and second container chambers are alternately heated for a predetermined time alternately with each other so that the organic materials sublimed in the first and second container chambers are mixed with each other to form an organic material on the substrate. Organic light emitting material deposition method characterized in that for depositing. 제1 항에 있어서, The method according to claim 1, 상기 일정 시간은 상기 용기에 담겨진 상기 유기 물질이 모두 승화되는 시간의 1/2인 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법.The predetermined time is a method of depositing an organic light emitting material, characterized in that 1/2 of the time all the organic material contained in the container sublimation. 제1 항 또는 제2 항에 있어서, The method according to claim 1 or 2, 상기 제1 및 제2 용기챔버에 각각 수납된 상기 N개의 용기 중 첫 번째 용기에 담겨진 유기 물질을 동시에 승화시켜 증착공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법.And depositing the organic material contained in the first container among the N containers respectively accommodated in the first and second container chambers to perform a deposition process. 제3 항에 있어서, The method of claim 3, 상기 첫 번째 용기 중 어느 하나의 용기에 담겨진 유기 물질이 모두 승화되는 시간의 1/2 시간 동안까지만 승화시켜 증착공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법.And depositing the organic material contained in any one of the first containers only for 1/2 hour of the time when all of the organic materials are sublimed. 제4 항에 있어서, 5. The method of claim 4, 상기 제1 및 제2 용기챔버의 N번째 용기 중 어느 하나는 용기에 담겨진 유기 물질이 모두 승화되는 시간의 1/2 시간 동안까지만 승화시켜 증착공정을 수행하는 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법. The organic light emitting material deposition method of any one of the N-th container of the first and second container chamber is a sublimation process only by subliming until half of the time when all the organic material contained in the container is sublimed. 제5 항에 있어서, 6. The method of claim 5, 상기 N번째 용기 중 어느 하나는 용기에 담겨진 유기 물질이 모두 승화되는 시간의 1/2 시간 동안까지만 승화시켜 증착공정이 수행되고,Any one of the N-th vessels is sublimed until only 1/2 hour of the time when all the organic materials contained in the vessels are sublimed, the deposition process is performed, 상기 첫 번째 용기 중 어느 하나는 용기에 담겨진 유기 물질이 모두 승화되는 시간의 1/2 시간 동안까지만 승화시켜 증착공정이 수행된 후 다른 챔버 내부에 수납된 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법.Any one of the first container is a method of depositing an organic light emitting material, characterized in that the sublimation is performed only for 1/2 hour of the time all the organic material contained in the container is sublimated and then stored in another chamber after the deposition process is performed. 제1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 및 제2 용기챔버 내부에 수납된 상기 N개의 용기는 각각에 구비된 히터를 통해 가열되어 내부에 담겨진 유기 물질을 승화시키도록 구성된 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법.And the N containers stored in the first and second container chambers are configured to sublimate organic materials contained therein by being heated by heaters provided therein. 제1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 및 제2 용기챔버 내부에 수납된 상기 N개의 용기는 모두 동일한 크기를 갖는 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법.And the N containers stored in the first and second container chambers all have the same size. 제1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 및 제2 용기챔버 내부에 수납된 상기 N개의 용기는 모두 동일한 양의 유기 물질이 담겨진 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법.And the N containers contained in the first and second container chambers all contain the same amount of organic material. 제1 항에 있어서,The method according to claim 1, 상기 제1 용기챔버 내에 수납된 용기와 상기 제2 용기챔버 내에 수납된 용기는 이들 내에 담겨진 유기 물질이 고 스트레스 상태와 저 스트레스 상태를 교번함에 따라 서로 혼용되며 승화되도록 가열되는 것을 특징으로 하는 유기 발광물질 증착방법.The container housed in the first container chamber and the container housed in the second container chamber are heated to be mixed and sublimed with each other as the organic material contained therein alternates between a high stress state and a low stress state. Material deposition method.
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