KR101128913B1 - Vision inspection system and method for converting coordinates using the same - Google Patents
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Abstract
본 발명은 비전 검사시스템 및 이를 이용한 좌표변환방법에 관한 것으로서, 본 발명의 비전 검사시스템은 피검사체를 지지하는 테이블과, 상기 테이블을 Y방향으로 직선왕복이동시키는 스테이지와, 상기 피검사체 또는 상기 테이블의 이미지를 획득하기 위해 X방향을 따라 이격되게 배치되는 복수의 카메라들을 포함하는 비전 검사시스템에 있어서, 상기 Y방향과 교차하는 X방향을 따라 상기 테이블의 일단부에 이격되게 배치되는 복수의 제1마크들과, 상기 제1마크들 중 가장 좌측의 제1마크로부터 상기 테이블의 일측부에 상기 Y방향을 따라 이격되게 배치되며 상기 제1마크들 중 가장 우측의 제1마크로부터 상기 테이블의 타측부에 상기 Y방향을 따라 이격되게 배치되는 복수의 제2마크들;을 포함하며, 상기 제1마크들의 이미지를 획득하여 이미지 좌표값을 스테이지 좌표값으로 변환하고, 상기 제2마크들의 이미지를 획득하여 이미지 좌표값과 스테이지 좌표값을 피검사체를 기준으로 한 절대 좌표값으로 변환하며, 상기 피검사체를 기준으로 한 절대 좌표값은 상기 스테이지의 정확도가 보정된 좌표값인 것을 특징으로 한다.The present invention relates to a vision inspection system and a coordinate conversion method using the same. The vision inspection system of the present invention includes a table for supporting an inspected object, a stage for linearly reciprocating the table in the Y direction, and the inspected object or the table. A vision inspection system comprising a plurality of cameras spaced apart in the X direction to obtain an image of the plurality of cameras, the vision inspection system comprising: a plurality of first spaced apart at one end of the table along the X direction crossing the Y direction; Marks and one side of the table spaced apart from the first mark on the left side of the first marks along the Y direction and the other side of the table from the first mark on the right side of the first marks. And a plurality of second marks spaced apart from each other along the Y-direction, and including the image marks by acquiring an image of the first marks. Is converted into a stage coordinate value, the image of the second marks is obtained, and the image coordinate value and the stage coordinate value are converted into absolute coordinate values based on the inspected object, and the absolute coordinate value based on the inspected object is the The accuracy of the stage is characterized in that the corrected coordinate value.
Description
본 발명은 비전 검사시스템 및 이를 이용한 좌표변환방법에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 피검사체를 지지하는 테이블에 마련된 기준 마크들을 이용하여 피검사체에 대한 절대좌표값을 생성할 수 있는 비전 검사시스템 및 이를 이용한 좌표변환방법에 관한 것이다.The present invention relates to a vision inspection system and a coordinate conversion method using the same, and more particularly, a vision inspection system capable of generating absolute coordinate values for an object under test using reference marks provided in a table supporting the object. It relates to a coordinate conversion method used.
비전(카메라)을 통해 피검사체, 예컨대 TFT-LCD, PDP, OEL 등의 평면디스플레이 상의 결함을 검사하는 비전 검사시스템은, 테이블과, 스테이지(stage)와, 카메라 등을 포함하고 있다. 테이블은 피검사체를 지지하며, 스테이지는 피검사체의 로딩(loading), 언로딩(unloading), 포지셔닝(positioning)을 위하여 피검사체가 안착된 테이블을 X축 또는 Y축 방향 직선 왕복운동시킨다. 카메라는 피검사체 또는 테이블의 이미지를 획득하는 것으로서, 평면디스플레이 패널의 크기가 점점 대형화됨에 따라 피검사체의 검사를 위하여 복수의 카메라들이 이용된다.A vision inspection system for inspecting a defect on a flat object display such as a TFT-LCD, a PDP, an OEL, etc. through a vision (camera) includes a table, a stage, a camera, and the like. The table supports the object, and the stage linearly reciprocates the table on which the object is mounted in the X-axis or Y-axis direction for loading, unloading, and positioning of the object. The camera acquires an image of a subject or a table. As the size of the flat panel display panel becomes larger, a plurality of cameras are used to inspect the subject.
일반적인 비전 검사시스템은 피검사체의 결함(defect)을 마이크로미터 단위로 정밀하게 검사하고, 피검사체를 기준으로 한 절대좌표계를 생성하고 그 절대좌 표계 내에서 결함의 위치를 좌표값으로 표시한 후, 후속 공정의 장비 측에 결함에 대한 위치정보를 전달한다.A general vision inspection system precisely inspects a defect of a subject in micrometers, generates an absolute coordinate system based on the subject, displays the position of the defect as a coordinate value within the absolute coordinate system, The location of the fault is communicated to the equipment side of the subsequent process.
피검사체를 기준으로 한 정확한 절대좌표계를 생성하기 위하여, 카메라의 정렬 작업, 스테이지의 정확도(accuracy) 및 반복정밀도(repeatability) 측정 작업이 필요하다. 카메라의 정렬 작업을 통해 각각의 카메라로부터 획득된 이미지의 회전각, X축, Y축으로의 시프트(shift) 등을 보정할 수 있고, 스테이지의 정확도 및 반복정밀도 측정 작업을 통해 테이블을 이송시키고자 하는 목표 이송위치와 실제 테이블이 이송된 위치 간의 차이인 이송오차 또는 테이블이 X축 또는 Y축에 대하여 회전된 정도를 나타내는 회전오차를 보정할 수 있다.In order to generate an accurate absolute coordinate system based on the subject, alignment of the camera, accuracy of the stage and measurement of repeatability are required. Through the alignment of the cameras, it is possible to correct the rotation angle, the X-axis and the Y-axis shift of the image acquired from each camera, and to move the table through the measurement of the accuracy and repeatability of the stage. It is possible to correct a transport error that is the difference between the target transport position and the position where the actual table is transported or a rotation error that indicates the degree of rotation of the table about the X or Y axis.
그러나 카메라 정렬 작업에 있어서 복수의 카메라들의 정렬에 많은 시간과 노력이 소요될 뿐만 아니라, 카메라들의 정확한 정렬이 매우 곤란한 문제가 있다. 또한 카메라들의 위치는 진동, 충격, 기구적인 변형 등 많은 요인에 의하여 쉽게 변동되므로, 검사의 신뢰성과 재현성을 확보하기 위해서는 카메라들의 정렬을 정기적으로 실시해야 하는 문제점이 있다.However, in the camera alignment work, not only a lot of time and effort is required to align the plurality of cameras, but also accurate alignment of the cameras is very difficult. In addition, since the positions of the cameras are easily changed by many factors such as vibration, shock, and mechanical deformation, there is a problem in that the alignment of the cameras must be regularly performed to ensure the reliability and reproducibility of the inspection.
스테이지의 정확도 및 반복정밀도를 측정하기 위해서는 시스템과 인접한 위치에 레이저 인터페러미터(laser interferometer)를 설치하여 단위 구간마다 스테이지를 이송시키면서 데이터를 획득해야 하므로, 많은 시간과 노력이 소요되는 문제점이 있다. 스테이지의 정확도 및 반복정밀도 역시 진동, 충격, 기구적인 변형 등 많은 요인에 의하여 쉽게 변동되므로 정기적으로 실시해야 하는데, 피검사체의 제조 라인에서는 장시간 동안 검사 라인을 정지시킬 수 없는 문제점이 있다.In order to measure the accuracy and repeatability of the stage, a laser interferometer should be installed at a position adjacent to the system, and data must be acquired while transferring the stage for each unit section, which requires a lot of time and effort. Since the accuracy and repeatability of the stage are also easily changed by many factors such as vibration, shock, and mechanical deformation, they should be carried out regularly, but there is a problem in that the inspection line cannot be stopped for a long time in the production line of the inspected object.
따라서, 본 발명의 목적은 이와 같은 종래의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 외부의 별도 장비를 이용하는 스테이지의 정확도 등의 보정 작업을 하지 않고, 비전 검사시스템 자체의 복수의 기준 마크들을 이용하여 피검사체의 검사 작업을 수행함과 동시에 스테이지의 정확도 보정 작업을 수행하여, 스테이지의 오차를 보정한 피검사체의 절대좌표계를 생성할 수 있는 수 있는 비전 검사시스템 및 이를 이용한 좌표변환방법을 제공함에 있다.Accordingly, an object of the present invention is to solve such a conventional problem, without using a plurality of reference marks of the vision inspection system itself, without correcting such as the accuracy of the stage using an external separate equipment, The present invention provides a vision inspection system capable of generating an absolute coordinate system of an inspected object correcting an error of a stage by performing an accuracy correction operation of a stage while performing an inspection operation, and a coordinate transformation method using the same.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 비전 검사시스템은, 피검사체를 지지하는 테이블과, 상기 테이블을 Y방향으로 직선왕복이동시키는 스테이지와, 상기 피검사체 또는 상기 테이블의 이미지를 획득하기 위해 X방향을 따라 이격되게 배치되는 복수의 카메라들을 포함하는 비전 검사시스템에 있어서, 상기 Y방향과 교차하는 X방향을 따라 상기 테이블의 일단부에 이격되게 배치되는 복수의 제1마크들과, 상기 제1마크들 중 가장 좌측의 제1마크로부터 상기 테이블의 일측부에 상기 Y방향을 따라 이격되게 배치되며 상기 제1마크들 중 가장 우측의 제1마크로부터 상기 테이블의 타측부에 상기 Y방향을 따라 이격되게 배치되는 복수의 제2마크들;을 포함하며, 상기 제1마크들의 이미지를 획득하여 이미지 좌표값을 스테이지 좌표값으로 변환하고, 상기 제2마크들의 이미지를 획득하여 이미지 좌표값과 스테이지 좌표값을 피검사체를 기준으로 한 절대 좌표값으로 변환하며, 상기 피검사체를 기준으로 한 절대 좌표값은 상기 스테이지의 정확도가 보정된 좌표값인 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the vision inspection system of the present invention includes a table for supporting an object, a stage for linearly reciprocating the table in the Y direction, and X for obtaining an image of the object or the table. A vision inspection system comprising a plurality of cameras spaced apart along a direction, the vision inspection system comprising: a plurality of first marks spaced apart from one end of the table along an X direction crossing the Y direction; Spaced apart from the first mark on the left side of the marks along one side of the table along the Y direction, spaced apart from the first mark on the right side of the first portion along the y direction on the other side of the table And a plurality of second marks arranged to be obtained, and converting an image coordinate value into a stage coordinate value by acquiring an image of the first marks. Acquire an image of the second marks and convert the image coordinate value and the stage coordinate value into an absolute coordinate value based on the inspected object, and the absolute coordinate value based on the inspected object is a coordinate value whose accuracy of the stage is corrected. It is characterized by that.
한편, 상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 비전 검사시스템의 좌표변환방법은, 상기 비전 검사시스템을 이용하는 방법으로서, 상기 제1마크들의 이미지를 획득하는 제1마크 이미지 획득단계; 상기 제1마크의 이미지 좌표값과 상기 제1마크의 스테이지 절대 좌표값의 상관 관계를 이용하여 이미지 좌표값을 스테이지 좌표값으로 변환하는 제1변환식을 생성하는 제1변환식 생성단계; 상기 제2마크들의 이미지를 획득하는 제2마크 이미지 획득단계; 상기 제2마크의 이미지 좌표값과 상기 제2마크의 스테이지 좌표값의 상관 관계를 이용하여, 상기 테이블의 직선운동 중 상기 테이블이 X축에 대하여 기울어진 각도를 나타내는 회전오차를 계산하는 회전오차 계산단계; 상기 제2마크의 이미지 좌표값과 상기 제2마크의 스테이지 좌표값의 상관 관계를 이용하여, 상기 X축 또는 Y축을 따라 상기 테이블의 원하는 목표 이송위치와 실제 이송위치의 차이를 나타내는 이송오차를 계산하는 이송오차 계산단계; 상기 제1변환식에 상기 회전오차 및 상기 이송오차를 가감하여, 이미지 좌표값과 스테이지 좌표값을 피검사체를 기준으로 한 절대 좌표값으로 변환하는 제2변환식을 생성하는 제2변환식 생성단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.On the other hand, in order to achieve the above object, the coordinate conversion method of the vision inspection system of the present invention, a method of using the vision inspection system, the first mark image acquisition step of acquiring the image of the first marks; A first transform expression generating step of generating a first transform equation for converting the image coordinate value to the stage coordinate value by using a correlation between the image coordinate value of the first mark and the stage absolute coordinate value of the first mark; A second mark image obtaining step of acquiring an image of the second marks; Rotational error calculation that calculates a rotational error representing an angle at which the table is inclined with respect to the X-axis during the linear movement of the table by using the correlation between the image coordinate value of the second mark and the stage coordinate value of the second mark. step; Using a correlation between the image coordinate value of the second mark and the stage coordinate value of the second mark, a transport error is calculated that indicates the difference between the desired target feed position and the actual feed position of the table along the X or Y axis. A transfer error calculation step; And a second conversion equation generation step of generating a second conversion equation for converting the image coordinate value and the stage coordinate value into an absolute coordinate value based on the inspected object by adding or subtracting the rotation error and the transport error to the first conversion equation. Characterized in that.
본 발명에 따르면, 별도의 외부 측정장치를 이용하지 않고 테이블에 마련된 제2마크를 이용하여 피검사체의 검사 작업을 수행함과 동시에 스테이지의 정확도 보정 작업을 수행함으로써 스테이지의 정확도 및 반복정밀도 측정에 소요되는 시간 및 노력을 절감할 수 있다.According to the present invention, it is necessary to measure the accuracy and repeatability of the stage by performing the inspection work of the subject using the second mark provided on the table without using a separate external measuring device and at the same time correcting the accuracy of the stage. Save time and effort.
또한, 본 발명에 따르면, 진동, 충격, 기구적인 변형 등의 요인에 의하여 검사시스템이 변동되더라도 언제든지 피검사체의 검사 작업을 수행하면서 스테이지의 정확도 또는 반복정밀도 보정 작업을 수행할 수 있으므로, 장비의 유지 보수에 소요되는 경비를 절감할 수 있다.In addition, according to the present invention, even if the inspection system is changed by factors such as vibration, shock, mechanical deformation, etc., it is possible to carry out the inspection work of the inspected object at any time, and to perform the stage accuracy or repeat accuracy correction work, thereby maintaining the equipment. The cost of repair can be reduced.
또한, 본 발명에 따르면, 비전 검사시스템을 중지시키지 않고 스테이지의 정확도 또는 반복정밀도 보정 작업을 수행할 수 있으므로, 비전 검사시스템 및 피검사체의 검사 라인을 안정적으로 관리할 수 있다.Further, according to the present invention, since the stage accuracy or repeatability correction operation can be performed without stopping the vision inspection system, it is possible to stably manage the vision inspection system and the inspection line of the inspected object.
이하, 본 발명에 따른 비전 검사시스템 및 이를 이용한 좌표변환방법의 실시예들을 첨부된 도면을 참조하여 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of a vision inspection system and a coordinate transformation method using the same will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사시스템의 개략도이다.1 is a schematic diagram of a vision inspection system according to an embodiment of the present invention.
도 1을 참조하면, 본 실시예의 비전 검사시스템(100)은 피검사체(2), 예컨대 평판디스플레이의 패널의 다양한 결함(4)을 검사 및 측정할 수 있는 것으로서, 테이블(120)과, 스테이지(130)와, 복수의 카메라(150)들과, 컴퓨터를 구비한다.Referring to FIG. 1, the
상기 테이블(120)은 피검사체(2)를 지지하는 것으로서, 프레임(110)의 상측에 배치되며, Y축 방향을 따라 운동 가능하도록 설치된다. 피검사체(2)는 테이블(120)의 상면에 설치된 클램프 등에 의하여 고정된다. 테이블(120)의 상면에 피검사체(2)가 놓여진 상태에서 테이블(120)이 Y축 방향을 따라 이동되면서 피검사 체(2)에 대한 검사가 이루어진다.The table 120 supports the inspected
상기 스테이지(130)는 테이블(120)을 Y축 방향으로 직선 왕복이동시키는 것으로서, 본 실시예에서는 직선운동 구동력을 제공하는 리니어 모터와, 프레임(110)의 상면에 고정되고 테이블(120)의 직선운동을 가이드하는 한 쌍의 직선운동 가이드를 포함한다. 테이블(120)의 직선운동을 구현하기 위한 리니어 모터와 직선운동 가이드를 조합한 구성은 통상의 기술자에게 공지된 사항이므로 더이상의 상세한 설명은 생략한다. 한편, 스테이지(130)는 회전 구동력을 제공하는 회전모터와, 볼 스크루, 한 쌍의 직선운동 가이드로 구성될 수도 있다.The
상기 카메라(150)들은 피검사체(2) 또는 테이블(120)의 이미지를 획득하기 위해 X방향을 따라 이격되게 배치된다. 본 실시예에서는 피검사체의 결함(4)을 마이크로미터 단위로 정밀하게 검사하고 그 이미지를 획득하기 위하여 해상도가 높은 라인스캔 카메라(Line Scan Camera)가 이용된다. 라인스캔 카메라는 1개의 수평 라인을 따라 피검사체(2)를 스캐닝하여 이미지를 획득한다. 복수의 라인스캔 카메라는 각각의 시야영역(Field Of View)(FOV1,FOV2,…,FOV8)에 따라 피검사체(2)의 이미지를 분할하여 스캐닝한다.The
상기 컴퓨터(미도시)는 스테이지(130)와 카메라(150)들의 작동을 제어한다. 컴퓨터는 카메라(150)로부터 입력되는 이미지를 이미지 프로세싱 프로그램에 의하여 프로세싱하고, 그 결과로 획득되는 피검사체(2)의 이미지, 결함(4)의 검사 결과 등 일련의 데이터를 모니터 등의 출력장치를 통하여 출력한다.The computer (not shown) controls the operation of the
테이블(120)의 상면에는 X방향을 따라 제1마크(M1,M2,…,M9)들이, Y방향을 따라 제2마크(Ma,Mb,Mc,Md,…)들이 마련되어 있다. 복수의 제1마크(M1,…,M9)들은 Y방향과 교차하는, 예컨대 Y방향과 직교하는 X방향을 따라 테이블(120)의 일단부에 일정 간격으로 이격되게 배치된다. 또한, 복수의 제2마크들 중 일부(Ma,Mc,Me…)는 제1마크들 중 가장 좌측의 제1마크(M1)로부터 테이블(120)의 일측부에 Y방향을 따라 일정 간격 이격되게 배치되며, 복수의 제2마크들 중 다른 일부(Mb,Md,Mf…)는 제1마크들 중 가장 우측의 제1마크(M9)로부터 테이블의 타측부에 Y방향을 따라 일정 간격 이격되게 배치된다.On the upper surface of the table 120, first marks M1, M2, ..., M9 are provided along the X direction, and second marks Ma, Mb, Mc, Md, ... are provided along the Y direction. The plurality of first marks M1,..., M9 are arranged at one end of the table 120 at regular intervals along an X direction crossing the Y direction, for example, orthogonal to the Y direction. In addition, some of the plurality of second marks Ma, Mc, and Me ... may be spaced apart from the leftmost first mark M1 of the first marks M1 at one side of the table 120 by a predetermined interval along the Y direction. The other portions Mb, Md, and Mf of the plurality of second marks are disposed to be spaced apart from each other on the table in the Y direction from the first mark M9 on the right side of the first marks. do.
제1마크(M1,…,M9)들 중 서로 인접하는 두 개의 마크들은 라인스캔 카메라 각각의 시야영역(FOV1,…,FOV8) 안에 들어오도록 배치되며, 시야영역(FOV1,…,FOV8)들 중 서로 인접하는 두 개의 시야영역들은 일정 거리 오버랩된다.Two marks adjacent to each other among the first marks M1,..., And M9 are arranged to enter the field of view fields FOV1,..., FOV8 of each of the line scan cameras, and among the field of view fields FOV1,..., FOV8. Two viewing areas adjacent to each other overlap a certain distance.
컴퓨터에는 제1마크(M1,…,M9)들과 제2마크(Ma,Mb,…)들의 스테이지 좌표값이 미리 저장되고, 카메라(150)로부터 입력되는 제1마크(M1,…,M9)들, 제2마크(Ma,Mb,…)들의 이미지로부터 이미지 좌표값이 산출되는데, 이미지의 기준픽셀을 영점으로 설정하고 영점픽셀로부터 몇번째 픽셀인지를 계산하여 X축 및 Y축 이미지 좌표값을 생성한다.The stage coordinates of the first marks M1, ..., M9 and the second marks Ma, Mb, ... are stored in advance in the computer, and the first marks M1, ..., M9 input from the
이하, 상술한 바와 같이 구성된 비전 검사시스템(100)를 이용하여 본 발명에 따른 비전 검사시스템의 좌표변환방법의 실시예에 대하여, 도 1 내지 도 3을 참조하면서 상세히 설명하기로 한다.Hereinafter, an embodiment of the coordinate transformation method of the vision inspection system according to the present invention using the
도 2는 도 1의 비전 검사시스템의 테이블, 제1마크들, 제2마크들 및 카메라들의 배치를 나타내는 도면이고, 도 3은 도 1의 비전 검사시스템의 테이블이 이송 오차 또는 회전오차에 의해 틀어진 모습을 개략적으로 나타내는 도면이고, 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사시스템의 좌표변환방법의 순서도이다.FIG. 2 is a diagram illustrating an arrangement of a table, first marks, second marks and cameras of the vision inspection system of FIG. 1, and FIG. 3 is a table of the vision inspection system of FIG. Figure 4 is a schematic view showing a state, Figure 4 is a flow chart of the coordinate transformation method of the vision inspection system according to an embodiment of the present invention.
본 실시예의 비전 검사시스템의 좌표변환방법을 설명하기 앞서, 회전오차와 이송오차를 다음과 같이 정의한다.Before explaining the coordinate conversion method of the vision inspection system of the present embodiment, the rotational error and the transporting error are defined as follows.
이상적인 경우라면 테이블(120)은 Y축에 따라 직선 왕복운동하므로 X축 또는 Y축에 대하여 기울어지는 경사각이 없을 것이다. 그러나 실제 경우에 있어서 제작 공차 또는 조립 공차로 인하여 테이블(120)의 직선 왕복운동시 X축 또는 Y축에 대하여 기울어짐 현상이 발생하는데, 본 명세서에서는 테이블(120)이 X축에 대하여 기울어진 각도를 회전오차로 정의한다.In an ideal case, the table 120 may be linearly reciprocated along the Y axis, and thus there will be no inclination angle inclined with respect to the X axis or the Y axis. However, in actual cases, due to manufacturing tolerances or assembly tolerances, an inclination phenomenon occurs with respect to the X axis or the Y axis during the linear reciprocation of the table 120. In this specification, the table 120 is inclined with respect to the X axis. Is defined as the rotational error.
또한, 스테이지(130)의 직선 왕복운동 시 스테이지(130)의 정확도(accuracy) 또는 반복정밀도로 인하여, 원하는 목표 이송위치와 실제 이송위치에서 차이가 나타나게 된다. 본 명세서에서 X축 또는 Y축을 따라 스테이지(130)를 이용하여 테이블(120)을 이송시킬 때 테이블(120)의 원하는 목표 이송위치와 실제 이송위치의 차이를 이송오차로 정의한다.In addition, due to the accuracy (accuracy) or repeatability of the
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 실시예의 비전시스템의 좌표변환방법은 테이블에 형성된 기준 마크들을 이용하여 피검사체의 절대좌표계를 생성하는 방법으로서, 제1마크 이미지 획득단계(S110)와, 제1변환식 생성단계(S120)와, 제2마크 이미지 획득단계(S130)와, 회전오차 계산단계(S140)와, 이송오차 계산단계(S150)와, 제2변환식 생성단계(S160)를 포함한다.1 to 4, the coordinate transformation method of the vision system of the present embodiment is a method of generating an absolute coordinate system of an object by using reference marks formed on a table, the first mark image obtaining step (S110), and A first transform generation step S120, a second mark image acquisition step S130, a rotation error calculation step S140, a transport error calculation step S150, and a second conversion generation step S160 are included.
우선, 제1마크(M1,…,M9)들의 스테이지 절대 좌표값과 제2마크(Ma,Mb,…)들 의 스테이지 절대 좌표값을 컴퓨터에 입력하여 각각 저장한다. 테이블(120)상의 임의의 지점을 원점으로 설정하고 그 원점과 각 마크의 X축, Y축 변위차가 스테이지 절대 좌표값이 된다.First, the stage absolute coordinate values of the first marks M1, ..., M9 and the stage absolute coordinate values of the second marks Ma, Mb, ... are input to the computer and stored. Any point on the table 120 is set as the origin, and the difference between the origin and the X-axis and Y-axis displacement of each mark is the stage absolute coordinate value.
본 명세서에서 스테이지 절대 좌표값이란 스테이지(130)의 회전오차 또는 이송오차를 포함하지 않는 정확한 목표 좌표값으로서, 작업자가 미리 정보를 가지고 있어서 컴퓨터에 저장하는 스테이지 좌표값으로 정의한다.In this specification, the stage absolute coordinate value is an exact target coordinate value that does not include a rotational error or a transport error of the
이후, 상기 제1마크 이미지 획득단계에서는 각각의 카메라(150)를 이용하여 제1마크(M1,…,M9)의 이미지를 각각 획득한다(S110). 도 2에 도시된 바와 같이, 서로 인접하는 두 개의 제1마크(M1,M2)(M2,M3)가 하나의 카메라(151)(152)의 시야영역 안에 들어오도록 제1마크(M1,M2)(M2,M3)의 이미지를 획득하고, 제1마크(M1,M2)(M2,M3)의 이미지로부터 제1마크의 이미지 좌표값을 산출한다.Subsequently, in the first mark image acquisition step, images of the first marks M1, ..., M9 are obtained using the respective cameras 150 (S110). As shown in FIG. 2, two first marks M1 and M2 adjacent to each other (M2 and M3) are provided within the field of view of one
상기 제1변환식 생성단계에서는 제1마크(M1,…,M9)의 이미지 좌표값과 제1마크(M1,…,M9)의 스테이지 절대 좌표값의 상관 관계를 이용하여 이미지 좌표값을 스테이지 좌표값으로 변환하는 제1변환식을 생성한다(S120).In the first transformed expression generating step, the image coordinate value is converted to the stage coordinate value by using the correlation between the image coordinate values of the first marks M1, ..., M9 and the stage absolute coordinate values of the first marks M1, ..., M9. In operation S120, a first transform equation for converting to S is generated.
제1변환식을 생성하기 위해서는 우선, 제1마크(M1,…,M9)의 스테이지 절대 좌표값과 제1마크의 이미지 좌표값을 이용하여 이미지의 픽셀당 스테이지 이송량을 의미하는 해상도를 계산한다(S121). X축 해상도(ReX)와 Y축 해상도(ReY)는 각각 하기식에 의해 표현된다.In order to generate the first conversion equation, first, a resolution representing a stage transfer amount per pixel of an image is calculated using the stage absolute coordinate values of the first marks M1, ..., M9 and the image coordinate values of the first mark (S121). ). The X-axis resolution ReX and the Y-axis resolution ReY are represented by the following equations, respectively.
여기서, ReX는 X축 해상도, ReY는 Y축 해상도, M1X는 카메라(150)에 의해 획득된 이미지 내의 한 쌍의 제1마크 중 어느 하나(M1)의 X축 스테이지 절대 좌표값, M1Y는 이미지 내의 한 쌍의 제1마크 중 어느 하나(M1)의 Y축 스테이지 절대 좌표값, M2X는 이미지 내의 한 쌍의 제1마크 중 다른 하나(M2)의 X축 스테이지 절대 좌표값, M2Y는 이미지 내의 한 쌍의 제1마크 중 다른 하나(M2)의 Y축 스테이지 절대 좌표값, m1x는 이미지 내의 한 쌍의 제1마크 중 어느 하나(M1)의 X축 이미지 좌표값, m1y는 이미지 내의 한 쌍의 제1마크 중 어느 하나(M1)의 Y축 이미지 좌표값, m2x는 이미지 내의 한 쌍의 제1마크 중 다른 하나(M2)의 X축 이미지 좌표값, m2y는 이미지 내의 한 쌍의 제1마크 중 다른 하나(M2)의 Y축 이미지 좌표값이다.Here, ReX is the X-axis resolution, ReY is the Y-axis resolution, M 1 X is the X-axis stage absolute coordinate value of any one M1 of the pair of first marks in the image acquired by the
상기 단락에서는 가장 좌측의 카메라(151)의 시야영역(FOV1) 내의 제1마크(M1,M2)에 대하여 예로 들며 부재번호를 표시하였으나, 좌측으로부터 두번째 카메라(152)의 시야영역(FOV2) 내의 제1마크(M2,M3) 및 가장 우측의 카메라(158)의 시야영역(FOV8) 내의 제1마크(M8,M9)의 경우에도 동일하게 적용된다.In the above paragraph, the first and second marks M1 and M2 in the field of view FOV1 of the
이후, 제1마크(M1,…,M9)의 스테이지 절대 좌표값, 제1마크(M1,…,M9)의 이미지 좌표값 및 해상도를 이용하여 카메라(150)의 X축에 대한 경사도를 계산한다. 각각의 카메라(150)의 X축에 대한 경사도인 θ는 하기식처럼 표현된다(S122).Subsequently, the inclination of the
이후, 제1마크(M1,…,M9)의 스테이지 절대 좌표값, 제1마크의 이미지 좌표값, 해상도 및 경사도를 이용하여 이미지의 원점의 스테이지 좌표값을 계산한다(S123). 각각의 카메라(150)에 의해 획득된 각각의 이미지의 원점의 X축 스테이지 좌표값인 OX와, 이미지의 원점의 Y축 스테이지 좌표값인 OY는 하기식처럼 표현된다.Thereafter, the stage coordinate values of the origin of the image are calculated using the stage absolute coordinate values of the first marks M1,..., M9, an image coordinate value of the first mark, a resolution, and an inclination (S123). OX, which is the X-axis stage coordinate value of the origin of each image acquired by each
이후, 제1마크(M1,…,M9)의 이미지 좌표값, 해상도, 경사도 및 이미지의 원점의 스테이지 좌표값을 이용하여 이미지 좌표값을 스테이지 좌표값으로 변환하는 제1변환식을 생성한다(S124). 제1변환식은 하기식처럼 표현된다.Subsequently, a first conversion equation is generated for converting the image coordinate value to the stage coordinate value using the image coordinate values, resolution, gradient, and origin coordinate values of the first marks M1,..., M9 (S124). . The first conversion equation is expressed as follows.
여기서, WX는 X축 스테이지 좌표값, WY는 Y축 스테이지 좌표값, OX는 이미지의 원점의 X축 스테이지 좌표값, OY는 이미지의 원점의 Y축 스테이지 좌표값, wx는 X축 이미지 좌표값, wy는 Y축 이미지 좌표값이다.Where WX is the X-axis stage coordinate value, WY is the Y-axis stage coordinate value, OX is the X-axis stage coordinate value of the origin of the image, OY is the Y-axis stage coordinate value of the origin of the image, wx is the X-axis image coordinate value, wy is the Y-axis image coordinate value.
상기 제2마크 이미지 획득단계에서는 복수의 카메라(150)들 중 가장 좌측의 카메라(151) 및 가장 우측의 카메라(158)를 이용하여 제2마크(Ma,Mb,…)의 이미지 를 각각 획득한다(S130). 도 3에 도시된 바와 같이, 가장 좌측의 카메라를 이용하여 제2마크들 중 테이블(120)의 일단부에서 인접하게 배치된 2개의 제2마크(Ma,Mc)의 이미지를 획득하고, 가장 우측의 카메라(158)를 이용하여 테이블(120)의 타단부에서 인접하게 배치된 2개의 제2마크(Mb,Md)의 이미지를 획득하며, 제2마크의 이미지로부터 제2마크의 이미지 실제 좌표값을 산출한다.In the second mark image acquisition step, images of the second marks Ma, Mb, ... are obtained using the
본 명세서에서 이미지 실제 좌표값이란 회전오차 또는 이송오차를 포함하는 카메라(150)에 의해 실제 검출된 이미지 좌표값으로 정의한다.In this specification, an image actual coordinate value is defined as an image coordinate value actually detected by the
상기 회전오차 계산단계에서는 제2마크(Ma,Mb,…)의 이미지 실제 좌표값과 제2마크(Ma,Mb,…)의 스테이지 실제 좌표값의 상관 관계를 이용하여 테이블(120)의 회전오차를 계산한다(S140).In the rotation error calculation step, the rotation error of the table 120 using the correlation between the actual image coordinate values of the second marks Ma, Mb, ... and the stage actual coordinate values of the second marks Ma, Mb, ... To calculate (S140).
회전오차를 계산하기 위하여 우선, 제2마크(Ma,Mb,…)들 중 가장 좌측의 제1마크(M1)와 이웃하는 하나를 마크a(Ma)로, 제2마크들 중 마크a로부터 X축을 따라 이격되게 배치된 하나를 마크b(Mb)로, 제2마크들 중 마크a(Ma)로부터 Y축을 따라 이격되게 배치되고 마크a와 인접하는 하나를 마크c(Mc)로, 제2마크들 중 마크c로부터 X축을 따라 이격되게 배치된 하나를 마크d(Md)로 설정한다(S141). 본 실시예에서 마크a(Ma)와 마크b(Mb)의 Y축 스테이지 절대 좌표값은 실질적으로 동일하고, 마크c(Mc)와 마크d(Md)의 Y축 스테이지 절대 좌표값 역시 실질적으로 동일하다.In order to calculate the rotation error, first, the neighboring one of the leftmost first marks M1 of the second marks Ma, Mb, ... is mark a (Ma), and from mark a of the second marks X One mark spaced apart along the axis is mark b (Mb), and one mark spaced apart along mark Y from the mark a (Ma) among the second marks and adjacent to mark a is mark c (Mc), and the second mark. Among them, one arranged to be spaced apart from the mark c along the X axis is set to the mark d (Md) (S141). In this embodiment, the Y-axis stage absolute coordinate values of the marks a (Ma) and the mark b (Mb) are substantially the same, and the Y-axis stage absolute coordinate values of the marks c (Mc) and the mark d (Md) are also substantially the same. Do.
이후, 마크a(Ma)와 마크b(Mb)를 잇는 직선의 X축에 대한 경사각ab(△θab)를 구한다(S142). 경사각ab(△θab)를 구하는 식은 하기식과 같이 표현된다.Subsequently, the inclination angle ab (Δθ ab ) of the straight line connecting the mark a (Ma) and the mark b (Mb) is obtained (S142). The equation for obtaining the inclination angle ab (Δθ ab ) is expressed as follows.
여기서, Ya'은 마크a(Ma)의 Y축 스테이지 실제 좌표값, Yb'는 마크b(Mb)의 Y축 스테이지 실제 좌표값, Xa는 마크a(Ma)의 X축 스테이지 절대 좌표값, Ya는 마크a(Ma)의 Y축 스테이지 절대 좌표값, Xb는 마크b(Mb)의 X축 스테이지 절대 좌표값, Yb는 마크b(Mb)의 Y축 스테이지 절대 좌표값이다.Where Ya 'is the Y-axis stage actual coordinate value of mark a (Ma), Yb' is the Y-axis stage actual coordinate value of mark b (Mb), Xa is the X-axis stage absolute coordinate value of mark a (Ma), Ya Is the Y-axis stage absolute coordinate value of mark a (Ma), Xb is the X-axis stage absolute coordinate value of mark b (Mb), and Yb is the Y-axis stage absolute coordinate value of mark b (Mb).
본 명세서에서 스테이지 실제 좌표값이란 회전오차 또는 이송오차를 포함하는 스테이지 좌표값으로서 실제 검출된 이미지 실제 좌표값을 제1변환식에 대입하여 얻은 스테이지 좌표값으로 정의한다.In the present specification, the stage actual coordinate value is defined as a stage coordinate value obtained by substituting an actual detected image actual coordinate value into a first transformation equation as a stage coordinate value including a rotation error or a transport error.
따라서, Ya'은 마크a(Ma)의 X축, Y축 이미지 실제 좌표값을 제1변환식에 대입하여 얻을 수 있고, Yb'은 마크b(Mb)의 X축, Y축 이미지 실제 좌표값을 제1변환식에 대입하여 얻을 수 있다.Therefore, Ya 'can be obtained by substituting the actual coordinate values of the X-axis and Y-axis image of mark a (Ma) into the first conversion equation, and Yb' is the actual coordinate value of the X-axis, Y-axis image of mark b (Mb). Can be obtained by substituting the first conversion equation.
이후, 마크c(Mc)와 마크d(Md)를 잇는 직선의 X축에 대한 경사각cd(△θcd)를 구한다(S143). 경사각cd(△θcd)를 구하는 식은 하기식과 같이 표현된다.Thereafter, the inclination angle cd (Δθ cd ) with respect to the X-axis of the straight line connecting the mark c (Mc) and the mark d (Md) is obtained (S143). The equation for obtaining the inclination angle cd (Δθ cd ) is expressed as follows.
여기서, Yc'은 마크c(Mc)의 Y축 스테이지 실제 좌표값, Yd'는 마크d(Md)의 Y축 스테이지 실제 좌표값, Xc는 마크c(Mc)의 X축 스테이지 절대 좌표값, Yc는 마크c(Mc)의 Y축 스테이지 절대 좌표값, Xd는 마크d(Md)의 X축 스테이지 절대 좌표값, Yd는 마크d(Md)의 Y축 스테이지 절대 좌표값이다.Where Yc 'is the Y-axis stage actual coordinate value of the mark c (Mc), Yd' is the Y-axis stage actual coordinate value of the mark d (Md), Xc is the X-axis stage absolute coordinate value of the mark c (Mc), Yc Is the Y-axis stage absolute coordinate value of mark c (Mc), Xd is the X-axis stage absolute coordinate value of mark d (Md), and Yd is the Y-axis stage absolute coordinate value of mark d (Md).
따라서, Yc'은 마크c(Mc)의 X축, Y축 이미지 실제 좌표값을 제1변환식에 대 입하여 얻을 수 있고, Yd'은 마크d(Md)의 X축, Y축 이미지 실제 좌표값을 제1변환식에 대입하여 얻을 수 있다.Therefore, Yc 'can be obtained by substituting the X and Y axis image actual coordinate values of the mark c (Mc) into the first conversion equation, and Yd' is the actual coordinate value of the X and Y axis images of the mark d (Md). Can be obtained by substituting for the first conversion equation.
이후, Y축을 따라 마크a(Ma)와 마크c(Mc) 사이에서 경사각ab(△θab)로부터 경사각cd(△θcd)까지 선형적으로 변하도록 하여 테이블(120)의 회전오차를 계산하는 회전오차식을 생성한다(S144). 회전오차(△θ(X))를 구하는 식은 하기식과 같이 표현된다.Then, along the Y-axis to calculate the rotational error of the mark a (Ma) and the mark c (Mc) table 120 so as to change linearly to the angle of inclination cd (△ θ cd) from the angle of inclination ab (△ θ ab) between Generate a rotation error equation (S144). The equation for obtaining the rotational error Δθ (X) is expressed as follows.
여기서, α는 비례변수로서 식에 의해 구해지며, Ytop은 식에 의해 구해지고, Ybtm은 식에 의해 구해진다.Where α is a proportional variable Is obtained by the equation, Y top is Obtained by the equation, Y btm is Obtained by the formula
상기 이송오차 계산단계에서는 제2마크(Ma,Mb,…)의 이미지 절대 좌표값과 제2마크(Ma,Mb,…)의 스테이지 실제 좌표값의 상관 관계를 이용하여, 테이블의 이송오차를 계산한다(S150).In the step of calculating the transport error, the transport error of the table is calculated by using the correlation between the image absolute coordinate value of the second mark Ma, Mb, ... and the stage actual coordinate value of the second mark Ma, Mb, ... (S150).
본 명세서에서 이미지 절대 좌표값이란 스테이지 절대 좌표값을 제1변환식에 대입하여 얻은 좌표값으로서 회전오차 또는 이송오차를 포함하지 않는 이미지 좌표값으로 정의한다.In this specification, the image absolute coordinate value is a coordinate value obtained by substituting the stage absolute coordinate value into the first conversion equation, and is defined as an image coordinate value that does not include a rotational error or a transport error.
이송오차를 계산하기 위하여 우선, 마크a(Ma) 또는 마크b(Mb)의 이미지 절대 좌표값, 마크a(Ma) 또는 마크b(Mb)의 스테이지 실제 좌표값, 경사각ab(△θab)를 이 용하여 X축의 변화에 따른 마크a(Ma)와 마크b(Mb) 사이의 이송오차인 이송오차ab를 구한다(S151). 본 실시예에서는 마크a(Ma)의 이미지 절대 좌표값, 마크a(Ma)의 스테이지 실제 좌표값을 이용하였고, X축 이송오차ab(△Xab)와 Y축 이송오차ab(△Yab)를 구하는 식은 하기식과 같이 표현된다.A first mark a (Ma) or the mark b (Mb) image of the absolute coordinate values, mark a (Ma) or the stage the actual coordinates of the mark b (Mb), the inclination angle ab (△ θ ab) in order to calculate a transfer error Using this, a transfer error ab, which is a transfer error between the mark a (Ma) and the mark b (Mb) according to the change of the X axis, is obtained (S151). In this embodiment, the image absolute coordinate value of mark a (Ma) and the stage actual coordinate value of mark a (Ma) are used, and the X-axis feed error ab (ΔX ab ) and the Y-axis feed error ab (ΔY ab ) are used. The equation for obtaining is expressed by the following equation.
여기서, Xa'은 마크a(Ma)의 X축 스테이지 실제 좌표값, xa는 마크a(Ma)의 X축 이미지 절대 좌표값, ya는 마크a(Ma)의 Y축 이미지 절대 좌표값이며, 상기 xa는 마크a(Ma)의 X축, Y축 스테이지 절대 좌표값을 제1변환식에 대입하여 얻을 수 있고, 상기 ya는 마크a(Ma)의 X축, Y축 스테이지 절대 좌표값을 제1변환식에 대입하여 얻을 수 있다.Here, Xa 'is the actual X-axis stage coordinate value of mark a (Ma), xa is the X-axis image absolute coordinate value of mark a (Ma), ya is the Y-axis image absolute coordinate value of mark a (Ma), xa can be obtained by substituting the X-axis and Y-axis stage absolute coordinate values of mark a (Ma) into the first transform equation, and ya is the first transform equation of the X-axis, Y-axis stage absolute coordinate values of mark a (Ma). Can be obtained by substituting for.
이후, 마크c(Mc) 또는 마크d(Md)의 이미지 절대 좌표값, 마크c(Mc) 또는 마크d(Md)의 스테이지 실제 좌표값, 경사각cd(△θcd)를 이용하여 X축의 변화에 따른 마크c(Mc)와 마크d(Md) 사이의 이송오차인 이송오차cd를 구한다(S152). 본 실시예에서는 마크c(Mc)의 이미지 절대 좌표값, 마크c(Mc)의 스테이지 실제 좌표값을 이용하였고, X축 이송오차cd(△Xcd)와 Y축 이송오차cd(△Ycd)를 구하는 식은 하기식과 같이 표현된다.Then, the image absolute coordinate value of mark c (Mc) or mark d (Md), the stage actual coordinate value of mark c (Mc) or mark d (Md), and the tilt angle cd (Δθ cd ) are used to change the X axis. The transfer error cd, which is the transfer error between the mark c (Mc) and the mark d (Md), is obtained (S152). In this embodiment, the image absolute coordinate value of mark c (Mc) and the stage actual coordinate value of mark c (Mc) are used, and the X-axis feed error cd (ΔX cd ) and the Y-axis feed error cd (ΔY cd ) are used. The equation for obtaining is expressed by the following equation.
여기서, Xc'은 마크c(Mc)의 X축 스테이지 실제 좌표값, xc는 마크c(Mc)의 X축 이미지 절대 좌표값, yc는 마크c(Mc)의 Y축 이미지 절대 좌표값이며, 상기 xc는 마크c(Mc)의 X축, Y축 스테이지 절대 좌표값을 제1변환식에 대입하여 얻을 수 있고, 상기 yc는 마크c(Mc)의 X축, Y축 스테이지 절대 좌표값을 제1변환식에 대입하여 얻을 수 있다.Here, Xc 'is the actual coordinate value of the X-axis stage of the mark c (Mc), xc is the X-axis image absolute coordinate value of the mark c (Mc), yc is the Y-axis image absolute coordinate value of the mark c (Mc), xc can be obtained by substituting the X and Y axis stage absolute coordinate values of the mark c (Mc) into the first transform equation, and yc is the first transform equation of the X and Y axis stage absolute coordinate values of the mark c (Mc). Can be obtained by substituting for.
이후, Y축을 따라 마크a(Ma)와 마크c(Mc) 사이에서 이송오차ab로부터 이송오차cd까지 선형적으로 변하는 선형 이송오차항을 생성한다(S153). X축 선형 이송오차항과 Y축 선형 이송오차항은 하기식과 같이 표현된다.Subsequently, a linear transport error term is linearly changed from the transport error ab to the transport error cd between the marks a (Ma) and the marks c (Mc) along the Y axis (S153). The X axis linear feed error term and the Y axis linear feed error term are expressed as follows.
(X축 선형 이송오차항) (X-axis linear feed error term)
(Y축 선형 이송오차항) (Y-axis linear feed error term)
이후, 이웃하는 카메라의 경사각의 차이를 보정하는 카메라 각도보정항을 생성한다(S154). X축 카메라 각도보정항과 Y축 카메라 각도보정항은 하기식과 같이 표현된다.Subsequently, a camera angle correction term for correcting the difference between the inclination angles of neighboring cameras is generated (S154). The X-axis camera angle correction term and the Y-axis camera angle correction term are expressed as follows.
(X축 카메라 각도보정항) (X-axis camera angle correction term)
(Y축 카메라 각도보정항) (Y-axis camera angle correction term)
여기서, OX1은 복수의 카메라들 중 가장 좌측의 카메라(151)에 의해 획득된 이미지의 원점의 X축 스테이지 좌표값이고, OXn은 복수의 카메라들 중 좌측으로부 터 n번째 카메라에 의해 획득된 이미지의 원점의 X축 스테이지 좌표값이다.Here, OX1 is the X-axis stage coordinate value of the origin of the image obtained by the
이후, 선형 이송오차항과 카메라 각도보정항을 가감하여 이송오차를 계산하는 이송오차식을 생성한다(S155). X축 이송오차(△Xn)와 Y축 이송오차(△Yn)를 구하는 식은 하기식과 같이 표현된다.Subsequently, a feed error equation for calculating a feed error by subtracting the linear feed error term and the camera angle correction term is generated (S155). The equation for obtaining the X-axis feed error (ΔXn) and the Y-axis feed error (ΔYn) is expressed as follows.
상기 제2변환식 생성단계에서는 제1변환식에 회전오차 및 이송오차를 가감하여, 이미지 좌표값과 스테이지 좌표값을 피검사체(2)를 기준으로 한 절대 좌표값으로 변환하는 제2변환식을 생성한다(S160). 본 명세서에서 피검사체(2)를 기준으로 한 절대 좌표값이란 스테이지(130)의 이송오차 또는 회전오차를 보정하여 피검사체(2)를 기준으로 생성한 절대 좌표계 내의 좌표값으로 정의한다. 피검사체(2)를 기준으로 한 절대 좌표값은 스테이지 좌표값으로 표시된다. X축, Y축에 대한 제2변환식은 하기식과 같이 표현된다.In the generating of the second transform equation, a second transform equation for converting the image coordinate value and the stage coordinate value into the absolute coordinate value based on the
여기서, NWX는 피검사체(2)의 X축 스테이지 절대 좌표값이고, NWY는 피검사체(2)의 Y축 스테이지 절대 좌표값이다.Here, NWX is the X axis stage absolute coordinate value of the inspected
이후, 마크c(Mc), 마크d(Md), 마크e(Me), 마크f(Mf)에 의해 구획되는 영역을 카메라(150)가 스캐닝하는 동안에도 상기의 단계들을 반복하여 피검사체(2)를 기준 으로 한 절대 좌표값을 생성할 수 있고, 결국 Y축 방향을 따라 테이블(120)이 이송하면서 피검사체(2) 전 영역에 대하여 절대 좌표값을 생성할 수 있다.Thereafter, the above steps are repeated while the
상술한 바와 같이 구성된 본 실시예에 따른 비전 검사시스템 및 이를 이용한 좌표변환방법은, 별도의 외부 측정장치를 이용하지 않고 테이블에 마련된 제2마크를 이용하여 피검사체의 검사 작업을 수행함과 동시에 스테이지의 정확도 보정 작업을 수행함으로써, 스테이지의 정확도 및 반복정밀도 측정에 소요되는 시간 및 노력을 절감할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.The vision inspection system and the coordinate conversion method using the same according to the present embodiment configured as described above, by using the second mark provided on the table without using a separate external measuring device to perform the inspection work of the inspected object at the same time By performing the accuracy calibration operation, it is possible to reduce the time and effort required to measure the accuracy and repeatability of the stage.
또한, 진동, 충격, 기구적인 변형 등의 요인에 의하여 검사시스템이 변동되더라도 언제든지 피검사체의 검사 작업을 수행하면서 스테이지의 정확도 또는 반복정밀도 보정 작업을 수행할 수 있으므로, 장비의 유지 보수에 소요되는 경비를 절감할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, even if the inspection system is changed due to vibration, shock, mechanical deformation, etc., it is possible to carry out the inspection work of the inspected object at any time and to perform the stage accuracy or repeat accuracy correction work. The effect can be reduced.
또한, 비전 검사시스템을 중지시키지 않고 스테이지의 정확도 또는 반복정밀도 보정 작업을 수행할 수 있으므로, 비전 검사시스템 및 피검사체의 검사 라인을 안정적으로 관리할 수 있는 효과를 얻을 수 있다.In addition, since the stage accuracy or iterative accuracy correction can be performed without stopping the vision inspection system, it is possible to obtain the effect of stably managing the vision inspection system and the inspection line of the inspected object.
본 발명의 권리범위는 상술한 실시예 및 변형례에 한정되는 것이 아니라 첨부된 특허청구범위 내에서 다양한 형태의 실시예로 구현될 수 있다. 특허청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 변형 가능한 다양한 범위까지 본 발명의 청구범위 기재의 범위 내에 있는 것으로 본다.The scope of the present invention is not limited to the above-described embodiments and modifications, but may be embodied in various forms of embodiments within the scope of the appended claims. Without departing from the gist of the invention claimed in the claims, it is intended that any person skilled in the art to which the present invention pertains falls within the scope of the claims described in the present invention to various extents which can be modified.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사시스템의 개략도이고,1 is a schematic diagram of a vision inspection system according to an embodiment of the present invention,
도 2는 도 1의 비전 검사시스템의 테이블, 제1마크들, 제2마크들 및 카메라들의 배치를 나타내는 도면이고,FIG. 2 is a diagram illustrating an arrangement of a table, first marks, second marks, and cameras of the vision inspection system of FIG. 1;
도 3은 도 1의 비전 검사시스템의 테이블이 이송오차 또는 회전오차에 의해 틀어진 모습을 개략적으로 나타내는 도면이고,FIG. 3 is a view schematically showing how a table of the vision inspection system of FIG. 1 is twisted due to a transport error or a rotation error.
도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 비전 검사시스템의 좌표변환방법의 순서도이다.Figure 4 is a flow chart of the coordinate transformation method of the vision inspection system according to an embodiment of the present invention.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명><Explanation of symbols for the main parts of the drawings>
2 : 피검사체 4 : 결함2: test object 4: defect
100 : 비전 검사시스템 120 : 테이블100: vision inspection system 120: table
130 : 스테이지 150 : 카메라130: stage 150: camera
M1, M2, …, M9 : 제1마크M1, M2,... , M9: first mark
Ma, Mb, Mc, Md, … : 제2마크Ma, Mb, Mc, Md,... 2nd mark
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