KR101127563B1 - 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명에 따른 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치의 개략적인 구성도,
도 3은 본 발명에 따른 광학계와 이미지센서로 구성된 검출부의 구성도,
도 4는 도 3을 예를 나타낸 사시도,
도 5는 본 발명에 따른 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치의 광학계를 프리즘 블럭으로 적용한 예를 나타낸 사시도,
도 6은 본 발명에 따른 검출모듈의 확장예를 나타낸 정면도,
도 7은 본 발명에 따른 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치의 상세도.
120 : 이미지센서 200 : 트리거 펄스 발생부
210 : 스테이지 220 : 조명부
300 : 영상처리수단 310 : 영상분리부
320 : 단말기 330 : 마스터 단말기
Claims (7)
- 반도체 웨이퍼의 결함을 검사하기 위한 검사장비에 있어 웨이퍼 영상을 광학적으로 획득하여 결함 여부를 검출하기 위한 검사장치에 있어서,
선형의 조명광을 검사 대상인 상기 웨이퍼에 조사한 후 반사되는 웨이퍼 영상을 반사시키기 위해 입사되는 웨이퍼 영상에 마주하게 1열로 구비되는 다수의 광학계;
상기 광학계에서 반사된 영상이나 직접적으로 입사되는 영상을 획득하기 위해 구비되는 다수의 이미지센서로 구성되는 검출부를 1열로 구성하고,
상기 웨이퍼 영상 검출 위치를 알려주기 위하여 웨이퍼를 이동시키는 스테이지의 이송 속도를 제어하기 위한 트리거 펄스 발생부; 및
상기 웨이퍼 결함 검출을 위해 상기 이미지센서가 웨이퍼 영상을 획득할 수 있도록 이동시켜주는 스테이지와 상기 다수의 이미지센서를 통해 획득하는 영상을 처리하여 웨이퍼 결함 여부를 검출하는 영상처리수단;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치. - 제 1항에 있어서, 상기 광학계는,
일측면으로 반사면이 코팅된 삼각 프리즘을 2개 또는 4개 접하여 광학계를 구성하고, 상기 프리즘을 통해 반사 또는 투과 방향을 결정하여 상기 이미지센서로 영상을 제공하는 것을 특징으로 하는 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치. - 제 1항에 있어서, 상기 영상처리수단은,
상기 이미지센서를 통해 획득한 영상을 다수의 영상으로 분리하는 영상분리부;
상기 영상분리부를 통해 획득한 영상을 입력받아 처리하고, 입력된 영상을 통신규격에 의해 외부로 제공하는 프로토콜을 구비한 다수의 단말기; 및
상기 단말기는 통신망을 통해 연결되며, 각각의 단말기에서 제공되는 웨이퍼 영상을 입력받아 웨이퍼 결함을 최종 검출하는 마스터 단말기;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치. - 제 1항에 있어서, 상기 트리거 펄스 발생부는,
상기 이미지센서로 영상 취득을 위한 트리거(Trigger) 신호를 제공하는 것을 특징으로 하는 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치. - 제 1항에 있어서, 상기 트리거 펄스 발생부는,
조명광을 제공하는 조명부로 조명 온(on) 제어 시그널을 제공하는 것을 특징으로 하는 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치. - 제 1항 또는 제 5항에 있어서, 상기 조명광은,
레이저 펄스 조명광을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치. - 제 1항에 있어서, 상기 검출부는,
상기 광학계를 통해 반사되는 영상을 획득하는 이미지센서와, 입사되는 영상을 그대로 획득하는 이미지센서로 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치.
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KR1020100079938A KR101127563B1 (ko) | 2010-08-18 | 2010-08-18 | 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치 |
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KR1020100079938A KR101127563B1 (ko) | 2010-08-18 | 2010-08-18 | 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치 |
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KR101127563B1 true KR101127563B1 (ko) | 2012-06-12 |
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KR1020100079938A KR101127563B1 (ko) | 2010-08-18 | 2010-08-18 | 대면적 고속 검출모듈이 구비된 검사장치 |
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KR (1) | KR101127563B1 (ko) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101573055B1 (ko) | 2013-07-17 | 2015-11-30 | 어드밴스드 마이크로 패브리케이션 이큅먼트 인코퍼레이티드, 상하이 | 반응 챔버의 필름 온도 측정 방법 |
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2010
- 2010-08-18 KR KR1020100079938A patent/KR101127563B1/ko active IP Right Grant
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