KR101114569B1 - 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명의 연속공정이 가능한 엑스레이 검사장치는 케이스 내부에 피측정물을 인입부에서 배출부로 이송하는 컨베이어와, 상기 컨베이어의 하부에서 엑스레이를 조사하는 엑스레이튜브와, 상기 컨베이어의 상부에 구성되는 디텍터로 구성되어, 상기 피측정물이 상기 컨베이어를 따라 이송되고 상기 엑스레이튜브에서 엑스레이를 조사하여 상기 디텍터로 촬상하여 피측정물을 검사하는 엑스레이검사장치에 있어서, 상기 엑스레이튜브는 하단부에서 일측으로 치우쳐 상방으로 사선으로 향하도록 구성되고, 상기 디텍터는 각각의 상기 컨베이어의 상부에 각각 제1디텍터와 제2디텍터가 진행방향으로 연속적으로 구성되어, 제1디텍터와 제2디텍터가 분담을 하여 검사가 가능하기 때문에 검사시마다 일일이 멈추어서 검사하지 않고 연속공정으로 검사가 가능하기 때문에 작업시간이 매우 빨라지고, 타 공정과의 연계가 매우 편리한 연속공정이 가능한 매우 유용한 효과가 있다.

Description

연속공정이 가능한 엑스레이검사장치{X-ray inspection apparatus}
본 발명은 연속공정이 가능한 엑스레이 검사장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 엑스레이튜브를 사선으로 기울여 구성하여 일측으로 치우쳐 구성하고, 제1디텍터와 제2디텍터가 분담을 하여 검사가 가능하기 때문에 검사시마다 일일이 멈추어서 검사하지 않고 연속공정으로 검사가 가능하기 때문에 작업시간이 매우 빨라지고, 타 공정과의 연계가 매우 편리한 연속공정이 가능한 엑스레이 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로 전기 및 전자제품에는 다양한 종류의 PCB(printed circuit board)가 내장되어 있다. 상기의 제품의 제조공정에서는 PCB에 부품장착후에 납땜 작업후에 제품의 신뢰성을 확보하기 위하여 상태를 검사하는 공정을 수행하게 된다. 종래에는 이러한 검사방법으로 목시검사 또는 외관검사장치가 있었는데, 조명장치 및 카메라로 영상을 촬영하여 영상으로 입력받아 영상신호를 처리하여 그 형태에 따라 양/불량을 판정하였으나. 외관의 검사만으로는 한계가 있었고, 이에 엑스레이를 이용한 x-ray 검사장치가 개발되었다.
종래의 x-ray 검사장치는 엑스레이의 물질 투과성, 즉 피투과물질의 두께와 밀도에 반비례하는 특성을 가지는 투과 엑스레이 강도에 의한 영상형성을 이용한 것으로서, 결합상태의 양/불량을 쉽게 파악할 수 있다.
일반적으로 x-ray 검사장치는 케이스 내부에 스테이지와, 엑스레이튜브와, 디텍터로 구성되어, 피측정물을 상기 스테이지에 위치시키고 상기 엑스레이튜브에서 엑스레이를 조사하여 상기 디텍터로 촬상하여 피측정물을 검사하도록 구성된다.
그러나 이러한 종래의 x-ray 검사장치는 케이스를 열고 피측정물을 스테이지에 올려두고 엑스레이 조사하는 방식으로 피측정물을 하나하나 올려놓고 검사하여야 하기 때문에 검사시마다 정체가 되어 작업시간이 매우 느려지고, 특히 연속공정의 경우에는 엑스레이 검사 자체가 불가능한 문제점이 있었다.
상기와 같은 문제점을 해결하기 위해서, 본 발명은 엑스레이튜브의 하단부에서 일측으로 치우쳐 상방으로 사선으로 향하도록 구성되고, 상기 디텍터는 각각의 상기 컨베이어의 상부에 각각 제1디텍터와 제2디텍터가 진행방향으로 연속적으로 구성되어, 제1디텍터와 제2디텍터가 분담을 하여 검사가 가능하기 때문에 검사시마다 일일이 멈추어서 검사하지 않고 연속공정으로 검사가 가능하면서도 정확한 검사가 가능하기 때문에 작업시간이 매우 빨라지고, 타 공정과의 연계가 매우 편리한 연속공정이 가능한 매우 유용한 효과가 있는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
본 발명의 목적은 상기에서와 같은 종래의 문제점을 해소하기 위해 안출한 것으로, 케이스 내부에 피측정물을 인입부에서 배출부로 이송하는 컨베이어와, 상기 컨베이어의 하부에서 엑스레이를 조사하는 엑스레이튜브와, 상기 컨베이어의 상부에 구성되는 디텍터로 구성되어, 상기 피측정물이 상기 컨베이어를 따라 이송되고 상기 엑스레이튜브에서 엑스레이를 조사하여 상기 디텍터로 촬상하여 피측정물을 검사하는 엑스레이검사장치에 있어서, 상기 엑스레이튜브는 하단부에서 일측으로 치우쳐 상방으로 사선으로 향하도록 구성되고, 상기 디텍터는 각각의 상기 컨베이어의 상부에 각각 제1디텍터와 제2디텍터가 진행방향으로 연속적으로 구성되는 것을 특징으로 하는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치를 제공하고자 한다.
또한, 상기 엑스레이튜브는 수평이동이 가능하도록 x축이송부와 y축이송부가 구성되는 것을 특징으로 하는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치를 제공하고자 한다.
또한, 상기 제1디텍터는 수직이동이 가능하도록 z축이송부이 구성되고, 상기 제2디텍터는 수평이동이 가능한 x축이송부과 수직이동이 가능하도록 z축이송부와 회전이 가능하도록 일측단부에 모터가 구성된 회전부재가 구성된 것을 특징으로 하는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치를 제공하고자 한다.
또한, 상기 제1디텍터와 제2디텍터는 복수라인 디텍터인 것을 특징으로 하는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치를 제공하고자 한다.
또한, 상기 케이스의 인입부와 배출부에는 각각 차폐용셔터가 구성되는 것을 특징으로 하는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치를 제공하고자 한다.
또한, 상기 엑스레이튜브는 타이머가 구성되어, 상기 타이머의 작동에 의하여 일정시간 간격으로 상기 엑스레이튜브가 작동되도록 하여 웜업(warm-up) 시간을 최소화하도록 하는 것을 특징으로 하는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치를 제공하고자 한다.
본 발명의 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치는 엑스레이튜브는 하단부에서 일측으로 치우쳐 상방으로 사선으로 향하도록 구성되고, 상기 디텍터는 각각의 상기 컨베이어의 상부에 각각 제1디텍터와 제2디텍터가 진행방향으로 연속적으로 구성되어, 제1디텍터와 제2디텍터가 분담을 하여 검사가 가능하기 때문에 검사시마다 일일이 멈추어서 검사하지 않고 연속공정으로 검사가 가능하면서도 정확한 검사가 가능하기 때문에 작업시간이 매우 빨라지고, 타 공정과의 연계가 매우 편리한 연속공정이 가능한 매우 유용한 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치의 사시도.
도 2는 상기 도 1의 A-A선을 따른 단면도.
도 3는 상기 도 1의 내부의 정면도.
도 4는 상기 도 1의 내부의 우측면도.
도 5는 상기 도 1의 내부의 평면도.
도 6은 본 발명의 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치의 엑스레이튜브(200) 부분의 분해사시도.
도 7은 엑스레이튜브(200) 의 작동상태도.
도 8은 본 발명의 컨베이어 부분의 사시도.
도 9는 본 발명의 제2디텍터(320)의 저면측에서 바라본 사시도.
도 10은 본 발명의 제1디텍터(310)의 사시도.
이하 첨부된 도면에 따라서 본 발명의 기술적 구성을 상세히 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명의 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치의 사시도이고, 도 2는 상기 도 1의 A-A선을 따른 단면도이며, 도 3는 상기 도 1의 내부의 정면도이고, 도 4는 상기 도 1의 내부의 우측면도이며, 도 5는 상기 도 1의 내부의 평면도이고, 도 6은 본 발명의 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치의 엑스레이튜브(200) 부분의 분해사시도이며, 도 7은 엑스레이튜브(200) 의 작동상태도이고, 도 8은 본 발명의 컨베이어 부분의 사시도이며, 도 9는 본 발명의 제2디텍터(320)의 저면측에서 바라본 사시도이고, 도 10은 본 발명의 제1디텍터(310)의 사시도이다.
본 발명의 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치는 케이스(1) 내부에 피측정물(10)을 인입부에서 배출부으로 이송하는 컨베이어(100)와, 상기 컨베이어(100)의 하부에서 엑스레이를 조사하는 엑스레이튜브(200)와, 상기 컨베이어(100)의 상부에 구성되는 디텍터(300)로 구성되어, 상기 피측정물(10)이 상기 컨베이어(100)를 따라 이송되고 상기 엑스레이튜브(200)에서 엑스레이를 조사하여 상기 디텍터(300)로 촬상하여 피측정물을 검사하는 엑스레이검사장치에 있어서, 상기 엑스레이튜브(200)는 하단부에서 일측으로 치우쳐 상방으로 사선으로 향하도록 구성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 디텍터(300)는 각각의 상기 컨베이어(100)의 상부에 각각 제1디텍터(310)와 제2디텍터(320)가 진행방향으로 연속적으로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 케이스(1)는 컨베이어(100)와, 상기 컨베이어(100)의 하부에서 엑스레이를 조사하는 엑스레이튜브(200)와, 상기 컨베이어(100)의 상부에 구성되는 디텍터(300)로 구성되어, 피측정물(10)을 상기 컨베이어(100)로 이송시키면서, 상기 엑스레이튜브(200)에서 엑스레이를 조사하여 상기 디텍터(300)로 촬상하여 피측정물(10)의 이상유무를 검사하도록 구성된다.
상기 컨베이어(100)는 피측정물(10)을 일측에서 타측으로 이송하는 역할을 한다. 상기 컨베이어(100)는 본 발명의 실시예처럼 일반적으로 롤러(110)와 벨트(120)를 이용하여 이송하지만, 그리퍼(gripper)를 레일에 구성하여 상기 그리퍼롤 파지한 피측정물(10)을 레일을 따라 이송하여 피측정물이 흔들리지 않도록 할 수 있다.
상기 엑스레이튜브(200)는 상기 컨베이어(100)의 하부에서 엑스레이를 조사하도록 구성되며, 상기 엑스레이튜브(200)는 하단부에서 일측으로 치우쳐 상방으로 사선으로 향하도록 구성된다. 상기에서와 같이 상기 엑스레이튜브(200)가 직각 상방으로 향하지 않고 사선으로 기울여져 구성되는데, 이는 연속공정시에 상기 제1디텍터(310)와 제2디텍터(320)각 각각 분담하여 피측정물(10)을 측정하는데 연속공정이라는 특성상 상기 제1디텍터(310)와 제2디텍터(320)는 상기 컨베이어(100)의 진행방향에 맞추어 2개가 구성되며 상기 엑스레이튜브(200)를 일측으로 치우치게 구성하고 사선으로 기울여 구성하여 상기 배치된 상기 제1디텍터(310)와 제2디텍터(320)에 모두 상기 엑스레이튜브(200)에서 조사되는 엑스레이가 영향을 미치도록 사선으로 기울여 형성한다. 사선으로 기울이는 방법은 사선으로 기울어진 튜브브라켓(290)의 사선이 형성된 면에 상기 엑스레이튜브(200)를 고정시켜 구성한다.
엑스레이튜브(200)에서 조사되는 엑스레이는 직각상방으로만 향하는 것이 아니라 조사각의 범위에서 조사가 되기 때문에, 상기 조사각의 범위안에 상기 제1디텍터(310)와 제2디텍터(320)가 위치하게끔 하기 위하여 사선으로 구성한다.
또한, 상기 엑스레이튜브(200)는 수평이동이 가능하도록 x축이송부(210)와 y축이송부(220)와 수직이동이 가능하도록 z축이송부(230)가 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 x축으로 수평이동이 가능하도록 x축이송부(210)가 구성되고, y축으로 수평이동이 가능하도록 y축이송부(220)가 구성되며, 수직이동이 가능하도록 z축이송부(230)가 구성된다.
상기 x축이송부(210)는 튜브브라켓(290)의 하부에 구성되어 상기 튜브브라켓(290)을 x축으로 이동시킨다. 또한 x축이송부(210)는 베이스브라켓(211)에 의하여 고정구성되고, 상기 x축이송부(210)는 실린더, 가이드와 가이드레일 등의 다양한 실시예로 구성될 수 있으며, 본 발명의 실시예에서는 가이드(212)와 가이드레일(213)의 결합의 구성으로 상기 튜브브라켓(290)이 상기 가이드(212)에 결합되어 가이드레일(213)을 따라 x축 이동이 가능하다.
상기 y축이송부(220)는 상기 베이스브라켓(211)의 하부에 구성되어 상기 베이스브라켓(211)을 y축으로 이동시킨다. 상기 y축이송부(220)는 고정브라켓(221)에 의하여 바닥에 고정구성되고, 또한 상기 y축이송부(220)는 실린더, 가이드와 가이드레일 등의 다양한 실시예로 구성될 수 있으며, 본 발명의 실시예에서는 가이드(222)와 가이드레일(223)의 결합의 구성으로 상기 베이스브라켓(211)이 상기 가이드(222)에 결합되어 가이드레일(223)을 따라 y축 이동이 가능하다. 상기 가이드레일(223)은 베이스브라켓(224)에 고정구성된다.
상기 y축이송부(220)는 상기 베이스브라켓(211)의 하부에 구성되어 상기 베이스브라켓(211)을 y축으로 이동시킨다. 상기 y축이송부(220)는 고정브라켓(221)에 의하여 바닥에 고정구성되고, 또한 상기 y축이송부(220)는 실린더, 가이드와 가이드레일 등의 다양한 실시예로 구성될 수 있으며, 본 발명의 실시예에서는 가이드(222)와 가이드레일(223)의 결합의 구성으로 상기 베이스브라켓(211)이 상기 가이드(222)에 결합되어 가이드레일(223)을 따라 y축 이동이 가능하다.
상기 z축이송부(230)는 상기 베이스브라켓(224)에 고정된 가이드(231)이 수직으로 구성된 가이드레일(232)을 따라 z축 이동이 가능하도록 구성되어, 엑스레이튜브(200)의 z축이동이 가능하도록 한다. 또한 상기 z축이송부(230)는 실린더, 가이드와 가이드레일 등의 다양한 실시예로 구성될 수 있다.
x축이송부(210)는 상기 엑스레이튜브(200)를 x축으로 이동시켜 상기 제1디텍터(310)와 상기 제2디텍터(320)의 위치에 맞춰 정렬을 하는 역할을 하고, y축이송부(220)는 피측정물(10)의 측정 영역을 분담하기 위하여 y축으로 이동한다.
또한, 상기 제1디텍터(310)는 수직이동이 가능하도록 z축이송부(311)이 구성되고, 상기 제2디텍터(320)는 수평이동이 가능한 x축이송부(321)과 수직이동이 가능하도록 z축이송부(322)와 회전이 가능하도록 일측단부에 모터(323)가 구성된 회전부재(324)가 구성된 것을 특징으로 한다.
상기 제1디텍터(310)는 상기 엑스레이튜브(200)쪽에 치우쳐 구성되고 수직하방을 향하도록 고정프레임(314)에 고정 구성되는데, 상기 z축이송부(311)에 의하여 수직이동이 가능하도록 구성된다. 상기 z축이송부(311)는 실린더, 가이드와 가이드레일 등의 다양한 실시예로 구성될 수 있으며, 본 발명의 실시예에서는 가이드(312)와 가이드레일(313)의 결합의 구성으로 상기 제1디텍터(310)가 상기 가이드(312)에 결합되어 가이드레일(313)을 따라 수직이동이 가능하다.
상기 제1디텍터(310)는 수직이동을 하면서 피측정물(10)의 배율을 조절하게 된다. 상기 제1디텍터(310)는 상기 엑스레이튜브(200)의 상부에 위치하게 되므로, 상기 엑스레이튜브(200)에서 조사되는 범위안에 들도록 위치한다.
상기 제2디텍터(320)는 상기 엑스레이튜브(200)쪽의 반대쪽에 치우쳐 구성되고 수직하방을 향하도록 고정프레임(324)에 고정 구성되며, 상기 제2디텍터(320)는 수평이동이 가능한 x축이송부(321)과 수직이동이 가능하도록 z축이송부(322)와 회전이 가능하도록 일측단부에 모터(323)이 구성된 회전부재(324)가 구성된다.
상기 z축이송부(322)는 실린더, 가이드와 가이드레일 등의 다양한 실시예로 구성될 수 있으며, 본 발명의 실시예에서는 가이드(329a)와 가이드레일(329b)의 결합의 구성으로 상기 제2디텍터(320)가 상기 가이드(329a)에 결합되어 가이드레일(329b)을 따라 수직이동이 가능하다.
상기 x축이송부(321)는 실린더, 가이드와 가이드레일 등의 다양한 실시예로 구성될 수 있으며, 본 발명의 실시예에서는 가이드(328a)와 가이드레일(328b)의 결합의 구성으로 상기 y축이송부(220)가 상기 가이드(328a)에 결합되어 가이드레일(328b)을 따라 x축으로 수평이동이 가능하다.
상기 회전부재(323)는, 상기 제2디텍터(320)가 브라켓(327)에 의하여 상기 가이드(329a)에 고정구성되어 이동하기 때문에, 상기 브라켓(327)에 모터(323)를 구성하고 상기 제2디텍터(320)를 연결하여 상기 제2디텍터가 회전이 가능하도록 한다. 상기와 같이 제2디텍터(320)를 x축이송부(321)에 의하여 x축으로 이동하는 이유는 엑스레이튜브(200)의 조사각에 따라 위치의 변경을 하기 위해서이고, z축이송부(322)에 의하여 z축으로 이동하는 이유는 배율조정을 위해서이고, 상기 회전부재(323)에 의하여 회전을 시키는 이유는 상기 엑스레이튜브(200)가 사선으로 기울어져 있기 때문에, 조사각에 맞추어 각도를 조절할 필요가 있고, 또한 배율조정을 위해서도 필요하다.
또한, 상기 제1디텍터(310)와 제2디텍터(320)는 복수라인 디텍터인 것을 특징으로 한다.
복수라인디텍터는 종래의 기술로 복수라인의 영상을 취하는 디텍터로써, 복수라인영상의 평균값을 취하기 때문에 노이즈가 감소하고 낮은 전압과 전류로도 선명한 영상획득이 가능하다.
상기 제1디텍터(310)와 제2디텍터(320)를 복수라인 디텍터로 구성하여 빠른 컨베이어 속도에 대응하여, 영상의 밝기를 향상시켜 화질을 개선한 연속공정의 엑스레이검사장치에서 자칫 나타날 수 있는 화질의 선명도가 떨어지는 부분을 해소할 뿐만 아니라, 또 복수 라인의 디텍터 조합을 조정하여 영상의 밝기와 촬상속도를 조절할 수 있다.
또한, 상기 케이스(1)의 인입부와 배출부에는 각각 차폐용셔터(2a)(2b)가 구성되는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치는 연속공정이 가능하지만, 엑스레이를 다루기 때문에 케이스(1) 내부의 차폐가 확실하게 이루어져야 한다. 때문에, 인라인작업시에 인입부에서 피측정물(10)이 인입될 때 상기 차폐용셔터(2a)가 열리고, 상기 컨베이어(100)를 따라 상기 케이스(1)의 내부로 인입되면, 상기 차폐용셔터(2a)가 닫히게 되고 다시 연속과정으로 검사이후 이송되는 피측정물(10)이 배출될 때 배출부쪽의 차폐용셔터(2b)가 열리고 피측정물(10)이 완전히 배출된 이후 다시 차폐용셔터(2b)가 닫힌다.
또한, 상기 엑스레이튜브(200)는 타이머(800)가 구성되어, 상기 타이머(800)의 작동에 의하여 일정시간 간격으로 상기 엑스레이튜브(200)가 작동되도록 하여 웜업(warm-up) 시간을 최소화하도록 하는 것을 특징으로 한다.
상기 엑스레이튜브(200)는 가동시 웜업(warm up)하는 시간이 걸리는데 이 시간이 다소 길기 때문에 연속적인 검사작업이 있는 경우 작업시간이 길어지는 단점이 있었다. 예를 들어 8시간 이상 사용하지 않을 때, 엑스레이 튜브가 멈추게 되면, 다시 재가동 시키기 위해서 다시 웜업하는 시간을 거쳐서 가동이 된다. 그렇기 때문에 타이머(800)를 추가로 구성하여 일정시간 간격 예를 들어 7시간 59분 간격으로 엑스레이튜브(200)가 가동되게 하면 작업자가 작업을 시작할 때 웜업하는 시간을 줄일 수 있어, 작업시간이 단축되는 효과가 있다.
또한, 상기 엑스레이튜브(200)는 엑스레이가 조사되는 단부에 차폐장치(280)가 추가로 구성되는 것을 특징으로 한다.
상기 엑스레이튜브(200)에 차폐장치(280)를 구성하여 가변적으로 상기 엑스레이튜브(200)에서 엑스레이를 차폐 시켜 제품을 넣고 나갈 때 연속공정이 가능하도록 하여준다.
1 : 케이스 2a, 2b : 차폐용셔터
10 : 피측정물 100 : 컨베이어
110 : 롤러 120 : 벨트
200 : 엑스레이튜브 210 : x축이송부
211 : 베이스브라켓 212 : 가이드
213 : 가이드레일 220 : y축이송부
221 : 고정브라켓 222 : 가이드
223 : 가이드레일 290 : 튜브브라켓
300 : 디텍터 310 : 제1디텍터
311, 322 : z축이송부 312 : 가이드
313 : 가이드레일 314 : 고정프레임
320 : 제2디텍터 321 : x축이송부
324 : 회전부재 323 : 모터
327 : 브라켓 328a : 가이드
328b: 가이드레일 329a : 가이드
329b : 가이드레일 800 : 타이머(미도시)

Claims (8)

  1. 케이스(1) 내부에 피측정물(10)을 인입부에서 배출부으로 이송하는 컨베이어(100)와, 상기 컨베이어(100)의 하부에서 엑스레이를 조사하는 엑스레이튜브(200)와, 상기 컨베이어(100)의 상부에 구성되는 디텍터(300)로 구성되어, 상기 피측정물(10)이 상기 컨베이어(100)를 따라 이송되고 상기 엑스레이튜브(200)에서 엑스레이를 조사하여 상기 디텍터(300)로 촬상하여 피측정물을 검사하는 엑스레이검사장치에서,
    상기 엑스레이튜브(200)는 하단부에서 일측으로 치우쳐 상방으로 사선으로 향하도록 구성되고,
    상기 디텍터(300)는 각각의 상기 컨베이어(100)의 상부에 각각 제1디텍터(310)와 제2디텍터(320)가 상기 컨베이어(100)의 진행방향으로 연속적으로 구성되며,
    상기 엑스레이튜브(200)는 수평이동이 가능하도록 x축이송부(210)와 y축이송부(220)와 수직이동이 가능하도록 z축이송부(230)가 구성되는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치에 있어서,
    상기 제1디텍터(310)는 수직이동이 가능하도록 z축이송부(311)이 구성되고, 상기 제2디텍터(320)는 수평이동이 가능한 x축이송부(321)과 수직이동이 가능하도록 z축이송부(322)와 회전이 가능하도록 일측단부에 모터(323)가 구성된 회전부재(324)가 구성된 것을 특징으로 하는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 제1디텍터(310)와 제2디텍터(320)는 복수라인 디텍터인 것을 특징으로 하는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 케이스(1)의 인입부와 배출부에는 각각 차폐용셔터(2)가 구성되는 것을 특징으로 하는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치.
  7. 제 1항에 있어서,
    상기 엑스레이튜브(200)는 타이머(800)가 구성되어, 상기 타이머(800)의 작동에 의하여 일정시간 간격으로 상기 엑스레이튜브(200)가 작동되도록 하여 웜업(warm-up) 시간을 최소화하도록 하는 것을 특징으로 하는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 엑스레이튜브(200)는 엑스레이가 조사되는 단부에 차폐장치(280)가 가로 구성되는 것을 특징으로 하는 연속공정이 가능한 엑스레이검사장치.
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