KR101108016B1 - 이동가능한 지지체, 위치 제어 시스템, 리소그래피 장치 및교환가능한 대상물의 위치를 제어하는 방법 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (25)
- 교환가능한 대상물을 유지하도록 구성된 이동가능한 지지체에 있어서:기준 대상물에 대해 이동가능하게 배치된 이동가능한 구조체;상기 이동가능한 구조체에 대해 이동가능하게 배치되고, 상기 교환가능한 대상물을 유지하도록 구성된 대상물 홀더;상기 기준 대상물에 대해 상기 이동가능한 구조체를 이동시키도록 구성된 액추에이터; 및상기 이동가능한 구조체에 대해 상기 대상물 홀더를 이동시키도록 구성된 초단행정 액추에이터(ultra short stroke actuator)를 포함하고, 상기 초단행정 액추에이터의 강성도(stiffness)는 상기 액추에이터의 강성도 보다 큰 이동가능한 지지체.
- 제 1 항에 있어서,상기 초단행정 액추에이터는 위치-타입 액추에이터인 이동가능한 지지체.
- 제 1 항에 있어서,상기 초단행정 액추에이터는 피에조 액추에이터(piezo actuator)를 포함하는 이동가능한 지지체.
- 제 1 항에 있어서,상기 이동가능한 구조체는 장행정 부분(long stroke part) 및 단행정 부분을 포함하고, 상기 장행정 부분 및 단행정 부분은 서로에 대해 이동가능하게 배치되며, 상기 단행정 부분은 상기 대상물 홀더를 유지하도록 구성되고, 상기 액추에이터는 상기 장행정 부분에 대해 상기 단행정 부분을 이동시키도록 구성된 단행정 액추에이터이며, 상기 이동가능한 지지체는 상기 기준 대상물에 대해 상기 장행정 부분을 이동시키도록 구성된 장행정 액추에이터를 더 포함하는 이동가능한 지지체.
- 제 4 항에 있어서,상기 단행정 액추에이터는 로렌츠 액추에이터(Lorentz actuator)를 포함하는 이동가능한 지지체.
- 청구항 6은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 4 항에 있어서,상기 장행정 부분은 스테이지이고, 상기 단행정 부분은 척(chuck)이며, 상기 대상물 홀더는 교환가능한 대상물 테이블인 이동가능한 지지체.
- 청구항 7은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 1 항에 있어서,상기 이동가능한 구조체는 상기 대상물 홀더를 유지하도록 구성된 클램핑 디바이스(clamping device)를 포함하는 이동가능한 지지체.
- 청구항 8은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.상기 클램핑 디바이스는 진공 클램프 또는 전자기 클램프, 또는 진공 클램프와 전자기 클램프 모두인 이동가능한 지지체.
- 청구항 9은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 7 항에 있어서,상기 클램핑 디바이스는 상기 대상물 홀더가 클램핑되는 복수의 버얼(burl)들을 포함하고, 상기 버얼들은 상기 이동가능한 구조체와 상기 대상물 홀더 간에 유연성(flexibility)을 제공하는 이동가능한 지지체.
- 이동가능한 지지체 상에 유지된 교환가능한 대상물의 위치를 제어하는 위치 제어 시스템에 있어서,상기 이동가능한 지지체는 기준 대상물에 대해 이동가능하게 배치된 이동가능한 구조체, 상기 이동가능한 구조체에 대해 이동가능하게 배치되고 상기 교환가능한 대상물을 유지하도록 구성된 대상물 홀더, 상기 기준 대상물에 대해 상기 이동가능한 구조체를 이동시키도록 구성된 액추에이터, 및 상기 이동가능한 구조체에 대해 상기 대상물 홀더를 이동시키도록 구성된 초단행정 액추에이터를 포함하고, 상기 초단행정 액추에이터의 강성도는 상기 액추에이터의 강성도 보다 크며, 상기 위치 제어 시스템은상기 이동가능한 구조체의 위치를 측정하도록 구성된 위치 측정 시스템;상기 이동가능한 구조체의 원하는 위치와 상기 측정된 위치를 비교함으로써 오차 신호를 제공하도록 구성된 비교기;상기 오차 신호에 기초하여 상기 액추에이터에 제어 신호를 제공하도록 구성된 제어기; 및상기 오차 신호에 기초하여 상기 초단행정 액추에이터에 제어 신호를 제공하도록 구성된 초단행정 제어기를 포함하는 위치 제어 시스템.
- 제 10 항에 있어서,상기 초단행정 제어기는 피드포워드 제어기(feed-forward controller)인 위치 제어 시스템.
- 제 11 항에 있어서,상기 초단행정 제어기는 캘리브레이션된 이득(calibrated gain)을 포함하는 위치 제어 시스템.
- 제 12 항에 있어서,상기 이득은 상기 이동가능한 구조체의 위치에 의존하는 위치 제어 시스템.
- 청구항 14은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 10 항에 있어서,상기 이동가능한 구조체에 대해 상기 대상물 홀더의 위치를 측정하도록 구성 된 제 2 위치 측정 시스템을 더 포함하고, 상기 대상물 홀더의 측정된 위치는 상기 제어기 또는 상기 초단행정 제어기, 또는 상기 제어기와 상기 초단행정 제어기 모두로 제공되는 위치 제어 시스템.
- 제 10 항에 있어서,상기 이동가능한 구조체는 장행정 부분 및 단행정 부분을 포함하고, 상기 장행정 부분 및 단행정 부분은 서로에 대해 이동가능하게 배치되며, 상기 단행정 부분은 상기 대상물 홀더를 유지하도록 구성되고, 상기 위치 측정 시스템은 상기 단행정 부분의 위치를 측정하도록 구성되며, 상기 액추에이터는 상기 장행정 부분에 대해 상기 단행정 부분을 이동시키도록 구성된 단행정 액추에이터이고, 상기 이동가능한 지지체는 상기 기준 대상물에 대해 상기 장행정 부분을 이동시키도록 구성된 장행정 액추에이터를 더 포함하는 위치 제어 시스템.
- 리소그래피 장치에 있어서:방사선 빔을 컨디셔닝(condition)하도록 구성된 조명 시스템;패터닝된 방사선 빔을 형성하기 위해, 상기 방사선 빔의 단면에 패턴을 부여할 수 있는 패터닝 디바이스를 지지하도록 구성된 패터닝 디바이스 지지체;기판을 유지하도록 구성된 기판 지지체; 및상기 기판의 타겟부 상에 상기 패터닝된 방사선 빔을 투영하도록 구성된 투영 시스템을 포함하고,상기 지지체들 중 1 이상은기준 대상물에 대해 이동가능하게 배치된 이동가능한 구조체;상기 이동가능한 구조체에 대해 이동가능하게 배치되고, 상기 기판 또는 패터닝 디바이스를 각각 유지하도록 구성된 대상물 홀더;상기 기준 대상물에 대해 상기 이동가능한 구조체를 이동시키도록 구성된 액추에이터; 및상기 이동가능한 구조체에 대해 상기 대상물 홀더를 이동시키도록 구성된 초단행정 액추에이터를 포함하며, 상기 초단행정 액추에이터의 강성도는 상기 액추에이터의 강성도 보다 큰 리소그래피 장치.
- 제 16 항에 있어서,상기 기준 대상물은 밸런스 매스(balance mass) 또는 프레임인 리소그래피 장치.
- 제 16 항에 있어서,상기 이동가능한 구조체의 위치를 측정하도록 구성된 위치 측정 시스템;상기 이동가능한 구조체의 원하는 위치와 상기 측정된 위치를 비교함으로써 오차 신호를 제공하도록 구성된 비교기;상기 오차 신호에 기초하여 상기 액추에이터에 제어 신호를 제공하도록 구성 된 제어기; 및상기 오차 신호에 기초하여 상기 초단행정 액추에이터에 제어 신호를 제공하도록 구성된 초단행정 제어기를 포함한 위치 제어 시스템을 포함하는 리소그래피 장치.
- 제 18 항에 있어서,상기 초단행정 액추에이터의 제어 신호는 상기 오차 신호 및 제 2 오차 신호에 기초하고, 상기 제 2 오차 신호는 상기 패터닝 디바이스 지지체 및 상기 기판 지지체 중 다른 하나의 원하는 위치와 실제 위치 간의 차인 리소그래피 장치.
- 이동가능한 지지체에 의해 유지된 교환가능한 대상물의 위치를 제어하는 방법에 있어서:상기 지지체는 기준 대상물에 대해 이동가능하게 배치된 이동가능한 구조체, 상기 이동가능한 구조체에 대해 이동가능하게 배치되고 상기 교환가능한 대상물을 유지하도록 구성된 대상물 홀더, 상기 기준 대상물에 대해 상기 이동가능한 구조체를 이동시키도록 구성된 액추에이터, 및 상기 이동가능한 구조체에 대해 상기 대상물 홀더를 이동시키도록 구성된 초단행정 액추에이터를 포함하고, 상기 초단행정 액추에이터의 강성도는 상기 1 이상의 액추에이터의 강성도 보다 크며, 상기 방법은상기 이동가능한 구조체의 위치를 측정하는 단계,원하는 위치와 상기 측정된 위치를 비교함으로써 오차 신호를 제공하는 단계,상기 오차 신호에 기초하여 상기 액추에이터에 제어 신호를 제공하는 단계, 및상기 오차 신호에 기초하여 상기 초단행정 액추에이터에 제어 신호를 제공하는 단계를 포함하는 위치 제어 방법.
- 청구항 21은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 20 항에 있어서,상기 초단행정 액추에이터에 제어 신호를 제공하는 단계는 이득이 곱해진 상기 오차 신호를 피드포워드하는 단계를 포함하는 위치 제어 방법.
- 청구항 22은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 21 항에 있어서,상기 이득은 캘리브레이션에 의해 얻어지는 위치 제어 방법.
- 청구항 23은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 20 항에 있어서,상기 초단행정 액추에이터에 제공된 상기 제어 신호는 상기 이동가능한 지지체의 위치에 의존하는 위치 제어 방법.
- 청구항 24은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 20 항에 있어서,
- 청구항 25은(는) 설정등록료 납부시 포기되었습니다.제 20 항에 있어서,상기 대상물 홀더의 위치를 측정하는 단계;원하는 위치와 상기 측정된 위치를 비교함으로써 대상물 홀더 오차 신호를 제공하는 단계; 및상기 대상물 홀더 오차 신호에 기초하여 상기 액추에이터에 제어 신호를 제공하거나, 상기 대상물 홀더 오차 신호에 기초하여 상기 초단행정 액추에이터에 제어 신호를 제공하며, 또는 상기 대상물 홀더 오차 신호에 기초하여 상기 액추에이터 및 상기 초단행정 액추에이터 모두에 제어 신호를 제공하는 단계를 포함하는 위치 제어 방법.
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