KR101095907B1 - Test socket - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 검사용 소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 복수의 프로브의 위치를 용이하게 정렬할 수 있는 검사용 소켓에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection socket, and more particularly, to an inspection socket capable of easily aligning the positions of a plurality of probes.
반도체 웨이퍼, IC 또는 모듈 같은 RF 디바이스의 전기적 성능을 검사하는 경우 단자 사이의 접촉이 불충분하면 임피던스 또는 그 밖의 측정값의 변동이 야기될 수 있다.In examining the electrical performance of RF devices such as semiconductor wafers, ICs or modules, insufficient contact between terminals can cause impedance or other measured values to fluctuate.
이러한 이유 때문에 상기 검사는 특수한 기능을 갖춘 특수 검사 유닛에 의해 수행되었으며 다양한 종래기술이 존재하였다. For this reason, the inspection was performed by special inspection units with special functions and various prior arts existed.
도 1은 종래의 검사 소켓의 개념도이다.1 is a conceptual diagram of a conventional test socket.
도 1에 도시된 바와 같이 피검사 디바이스인 RF 회로는 증폭기 회로 및 믹서 회로를 포함하는 모듈(50)형태로 구성되며, 외부와의 간섭을 회피하기 위해서 금속 케이싱 내에 수용된다. 모듈(50)은 RF 신호용 입력 단자(51) 및 출력 단자(54)와, 전원의 전극 단자(52), 그리고 접지 단자(53)를 포함하는데, 이들 단자는 금속 케이싱의 하부면에 마련된다. 이후 이들 단자를 소정의 배선이 배치되어 있는 회로 기판(66)의 각 단자에 전기적으로 연결하여 검사가 수행된다.As shown in FIG. 1, the RF circuit as the device under test is configured in the form of a
또한, 원통형 배럴 배부에 내장되어 있는 탄성 스프링과 상하부가 각각 결합된 상하부 플런저를 구비하는 다수 개의 접촉 프로브가 설치되며, 각 프로브의 플런저는 탄성 스프링에 의해 외부로 돌출하게 되며, 외력이 가해지면 원통형 배럴 내부로 들어가게 된다.In addition, a plurality of contact probes are provided having an elastic spring embedded in the cylindrical barrel back and the upper and lower plungers respectively coupled to the upper and lower portions, the plunger of each probe is projected to the outside by the elastic spring, when the external force is applied It will go inside the barrel.
각 전극 단자는 RF 신호용 접촉 프로브(63)와, 전력 공급용 접촉 프로브(64)와, 접지용 접촉 프로브(65)에 의해 연결되어 있는데, 각 프로브들은 노이즈에 의해 영향을 받지 않도록 금속 재질의 몸체(61)에 내장되어 있다.Each electrode terminal is connected by a
특히, RF 신호용 접촉 프로브(63)는 동축 구조로 형성되어 있어서, 접촉 프로브를 코아 전도체로 사용하고, 몸체(61)에 형성된 체결공의 내벽을 노이즈의 침투를 방지하기 위한 외부 전도체로 사용한다.In particular, since the RF
그리고 도 1의 도면 부호 67은 동축 케이블이고, 68은 접촉 프로브를 구속하는 상부 커버에 해당된다.And
도 1에는 2개의 RF 신호용(입력 및 출력용) 접촉 프로브와, 각각 하나의 전력 공급용 접촉 프로브(64) 및 접지용 접촉 프로브(65)만 도시되어 있지만, 실제적으로는 몸체(61)에는 다수 개의 접촉 프로브가 설치되며, 약 0.4mm의 좁은 피치로 설치된다.Although only two contact probes for RF signals (input and output) and one power
이러한 좁은 간격을 가지는 디바이스에 있어서, 유전층을 포함하는 RF 신호용 접촉 프로브의 외경은 크기가 감소되어야 한다. 한편, 체결공의 내벽과 접촉 프로브에 의해 형성되는 동축 구조체의 임피던스를 아래의 식(1)을 만족시키는 소정 특성의 임피던스(예를 들어 50Ω)로 조정해야 한다.In such narrowly spaced devices, the outer diameter of the contact probe for the RF signal including the dielectric layer should be reduced in size. On the other hand, the impedance of the coaxial structure formed by the inner wall of the fastening hole and the contact probe should be adjusted to an impedance of a predetermined characteristic (for example, 50?) That satisfies Equation (1) below.
수학식 (1)Equation (1)
여기서, d는 코아 전도체의 외경이고, D는 외부 전도체의 내경이며, εr은 그것들 사이의 유전 물질의 유전 상수이다.Where d is the outer diameter of the core conductor, D is the inner diameter of the outer conductor, and ε r is the dielectric constant of the dielectric material therebetween.
식(1)을 만족하기 위해, 각 접촉 프로브와 체결공 사이에 작은 유전상수를 가진 유전 물질로 이루어진 관을 설치하여 외부 전도체의 내경(D)을 감소시킬 수 있다.In order to satisfy Equation (1), a tube made of a dielectric material having a small dielectric constant may be provided between each contact probe and the fastening hole to reduce the inner diameter D of the outer conductor.
그러나, 현재 가장 작은 유전 상수를 가진 유전 물질(특히, 폴리테트라폴루오로에틸렌:polytetrafuluoroethylene)관을 채택하고, 가장 작은 직경을 갖는 접촉 프로브를 채택하더라도, 외부 전도체의 외경(배럴)은 동축 구조체의 임피던스 특성을 50Ω을 얻기 위해서는 약 0.5mm가 되어야 한다.However, even if the dielectric material with the smallest dielectric constant (especially polytetrafuluoroethylene) tube is adopted and the contact probe with the smallest diameter is adopted, the outer diameter (barrel) of the outer conductor is determined by the coaxial structure. The impedance characteristic must be about 0.5mm to obtain 50Ω.
이러한 문제점을 해결하기 위해서 일본 특허 공개 공보 제2004-170182A에는 유전링(69)이 도 2에 도시된 바와 같이 각 접촉 프로브(63) 외주부에 고정되어 갭이 있는 상태로 접촉 프로브를 몸체의 체결공에 동심으로 유지시키고, 접촉 프로브와 체결공 사이에는 유전 상수1인 공기층을 형성시키는 방법을 제안한 바 있다.In order to solve this problem, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2004-170182A has a
이러한 방법은 유전링을 접촉 프로브에 결합하기 힘들고, 결합과정에서 접촉 프로브가 외력에 의해 기울어진다는 사용상의 문제점이 있었다.This method is difficult to bind the dielectric ring to the contact probe, there is a problem in use that the contact probe is inclined by an external force during the coupling process.
또한, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 일본 특허 공개 공보 제2004-325306A는 작은 접촉 프로브를 몸체의 체결공에 유지시키는 구조체(32)를 이용하여, 체결공과 동심으로 유지되도록 하는 방법을 제안한 바 있다.In addition, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2004-325306A uses a
그러나, 이러한 방법은 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 미세한 직경의 프로브(1)가 다수 개 장착된 몸체(2)에 상부 커버(31)을 정확한 위치에 결합하기 힘들고, 상기 결합 과정에서 프로브가 파손되는 등 사용상의 문제점이 있었다.However, this method is difficult to couple the
따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 프로브를 소켓의 중심축(동축)에 위치시키는 결합이 용이함과 동시에, RF 신호용 디바이스에 대한 검사를 수행하는 과정에서 노이즈에 의한 영향을 받지 않아 검사 신뢰성을 확보할 수 있는 검사용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and the coupling of positioning the probe in the central axis (coaxial) of the socket is easy, and at the same time, the effect of noise in the process of inspecting the device for the RF signal It is an object of the present invention to provide an inspection socket capable of securing inspection reliability without receiving.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 두께 방향을 따라 복수의 제1관통공이 형성된 상부 전도성 몸체와; 상기 상부 전도성 몸체의 하부에 배치되고, 상기 복수의 제1관통공에 각각 연통되도록 두께방향을 따라 관통 형성된 복수의 제2관통공이 형성된 하부 전도성 몸체와; 상기 상부 전도성 몸체와 상기 하부 전도성 몸체 사이에 배치되며 상기 제1 및 제2관통공과 연통되며 상기 제1 및 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 위치정렬공이 형성된 절연성 재질의 절연부재와; 피검사물의 접속단자에 접속 가능한 상부 플런저와, 상기 피검사물을 검사하기 위한 검사용 회로기판의 접속단자에 접속 가능한 하부 플런저와, 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저가 각각 상하 돌출되도록 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저를 수용하며 상기 제1관통공 및 상기 제2관통공 보다 작은 직경의배럴을 포함하는 복수의 프로브와; 상기 상부 전도성 몸체의 상측에 배치되어 상기 상부 플런저가 상방향으로 이탈되는 것을 방지하는 상부 이탈방지부; 상기 하부 전도성 몸체의 하측에 배치되어 상기 하부 플런저가 하방향으로 이탈되는 것을 방지하는 하부 이탈방지부;를 포함하며, 상기 복수의 프로브는 상기 절연부재의 상기 복수의 위치정렬공에 의해 상기 상부 전도성 몸체 및 하부 전도성 몸체의 상기 제1 및 제2관통공 내에서 동축으로 정렬된 것을 특징으로 하는 검사용 소켓에 의해서 달성될 수 있다.The object is, according to the invention, the upper conductive body formed with a plurality of first through-holes along the thickness direction; A lower conductive body disposed under the upper conductive body and having a plurality of second through holes formed in a thickness direction so as to communicate with the plurality of first through holes, respectively; An insulating member made of an insulating material disposed between the upper conductive body and the lower conductive body and communicating with the first and second through holes and having a plurality of position alignment holes having a diameter smaller than that of the first and second through holes; An upper plunger connectable to a connection terminal of an object to be inspected, a lower plunger connectable to a connection terminal of an inspection circuit board for inspecting the inspected object, the upper plunger and the lower plunger such that the upper plunger and the lower plunger protrude upward and downward, respectively A plurality of probes accommodating a lower plunger and including a barrel having a diameter smaller than the first through holes and the second through holes; An upper detachment prevention part disposed on an upper side of the upper conductive body to prevent the upper plunger from escaping upward; A lower release preventing portion disposed below the lower conductive body to prevent the lower plunger from being separated downward, wherein the plurality of probes are connected to the upper conductive portion by the plurality of positioning holes of the insulating member. It can be achieved by an inspection socket, characterized in that it is coaxially aligned in the first and second through holes of the body and the lower conductive body.
또한, 상기 상부 이탈방지부는, 각각, 상기 상부 전도성 몸체의 상기 복수의 제1관통공에 연통되며 상기 복수의 제1관통공보다 작은 직경의 복수의 제3관통공이 형성된 상부 커버를 포함할 수 있다.The upper release preventing part may include an upper cover communicating with the plurality of first through holes of the upper conductive body and having a plurality of third through holes having a diameter smaller than the plurality of first through holes. .
여기서, 상기 하부 이탈방지부는, 각각, 상기 하부 전도성 몸체의 상기 복수의 제2관통공에 연통되며 상기 복수의 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 제4관통공이 형성된 하부 커버를 포함할 수 있다.Here, the lower detachment prevention part may include a lower cover communicating with the plurality of second through holes of the lower conductive body and having a plurality of fourth through holes having a diameter smaller than the plurality of second through holes, respectively. .
여기서, 상기 절연부재는 필름으로 마련될 수 있다.Here, the insulating member may be provided as a film.
또한, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 검사용 소켓의 제조방법에 있어서, 두께 방향을 따라 복수의 제1관통공이 형성된 상부 전도성 몸체와 두께방향을 따라 관통 형성된 복수의 제2관통공이 형성된 하부 전도성 몸체 사이에 상기 제1 및 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 위치정렬공이 형성된 절연성 재질의 절연부재를 삽입하는 단계; 상기 복수의 제1관통공, 상기 복수의 위치정렬공 및 상기 복수의 제2관통공이 서로 동축으로 연통되도록 상기 상부 전도성 몸체, 상기 하부 전도성 몸체 및 상기 절연부재를 정렬시키는 단계; 피검사물의 접속단자에 접속 가능한 상부 플런저와, 상기 피검사물을 검사하기 위한 검사용 회로기판의 접속단자에 접속 가능한 하부 플런저와, 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저가 각각 상하방향으로 돌출되도록 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저를 수용하는 배럴을 포함하는 복수의 프로브를 연통되는 상기 복수의 제1관통공, 상기 복수의 위치정렬공 및 상기 복수의 제2관통공에 각각 삽입하는 단계; 상기 상부 플런저가 상방향으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 상부 이탈방지부를 상기 상부 전도성 몸체의 상측에 설치하는 단계; 및 상기 하부 플런저가 하방향으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 하부 이탈방지부를 상기 하부 전도성 몸체의 하측에 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 제조방법에 의해서도 달성될 수 있다.In addition, the above object, according to the present invention, in the manufacturing method of the test socket, the upper conductive body formed with a plurality of first through holes in the thickness direction and the lower conductive formed with a plurality of second through holes formed in the thickness direction Inserting an insulating member of an insulating material having a plurality of alignment holes having a diameter smaller than the first and second through holes between the bodies; Aligning the upper conductive body, the lower conductive body and the insulating member such that the plurality of first through holes, the plurality of position alignment holes and the plurality of second through holes communicate coaxially with each other; An upper plunger connectable to a connection terminal of an object to be inspected, a lower plunger connectable to a connection terminal of an inspection circuit board for inspecting the inspected object, and the upper plunger such that the upper plunger and the lower plunger protrude upward and downward, respectively And inserting a plurality of probes including a barrel for receiving the lower plunger into the plurality of first through holes, the plurality of alignment holes, and the plurality of second through holes, respectively. Installing an upper release preventing part on an upper side of the upper conductive body to prevent the upper plunger from escaping upward; And it can also be achieved by the manufacturing method of the test socket, characterized in that it comprises the step of installing the lower release preventing portion to the lower side of the lower conductive body to prevent the lower plunger is separated in the downward direction.
상기의 구성에 의한 본 발명은, 임피던스를 일정하게 유지하기 위해 프로브를 상기 소켓의 체결공 내부에 동축으로 용이하게 위치시킬 수 있으며, 검사 과정에서 노이즈에 의한 영향을 받지 않아 검사 신뢰성을 확보할 수 있다는 효과가 있다. According to the present invention, the probe can be easily coaxially positioned inside the fastening hole of the socket in order to maintain a constant impedance, and is not affected by noise during the inspection process, thereby ensuring inspection reliability. There is an effect.
도 1은 종래의 검사 소켓의 개념도,
도 2는 도 1에 도시된 접촉 프로브의 평면도,
도 3은 또 다른 종래의 검사 소켓의 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 검사용 소켓의 단면도,
도 5는 프로브가 설치된 검사용 소켓의 요부 종단면도,
도 6은 프로브가 없는 검사용 소켓의 요부 종단면도,
도 7은 본 발명에 따른 프로브의 단면도이다.1 is a conceptual diagram of a conventional inspection socket,
2 is a plan view of the contact probe shown in FIG.
3 is a cross-sectional view of another conventional inspection socket,
4 is a cross-sectional view of the test socket according to the present invention;
5 is a longitudinal sectional view of a main portion of a test socket in which a probe is installed;
6 is a longitudinal sectional view of the main portion of the inspection socket without a probe;
7 is a cross-sectional view of a probe according to the present invention.
이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 여기서 본 발명의 권리는 실시예에 국한되지 아니하며 본 발명의 기술적 사상의 변형 가능한 부분까지 확장됨은 자명하다 할 것이다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Here, the rights of the present invention are not limited to the embodiments, and it will be obvious that the scope of the present invention is extended to the deformable part of the technical spirit of the present invention.
도 4는 본 발명에 따른 검사용 소켓의 단면도이고, 도 5는 프로브가 설치된 검사용 소켓의 요부 종단면도이며, 도 6은 프로브가 없는 검사용 소켓의 요부 종단면도이며, 도 7은 본 발명에 따른 프로브의 단면도이다.Figure 4 is a cross-sectional view of the test socket according to the invention, Figure 5 is a longitudinal sectional view of the main portion of the test socket with the probe installed, Figure 6 is a longitudinal sectional view of the main part of the test socket without the probe, Figure 7 A cross-sectional view of the probe according.
도시된 바와 같이 본 발명에 따른 검사용 소켓은 크게 전도성 몸체(100)와, 프로브(200)와, 상부 이탈방지부(300)와, 하부 이탈방지부(400)로 구성된다. 먼저 전도성 몸체(100)에 대해 설명한다. As shown, the inspection socket according to the present invention includes a
상기 전도성 몸체(100)는 상기 프로브(200)를 수용하며, 상부 전도성 몸체(110)와, 하부 전도성 몸체(130) 로 구성된다. The
상기 상부 전도성 몸체(110)는 소정 두께를 가지는 판상으로 마련될 수 있다. 상기 상부 전도성 몸체(110)는 상기 두께방향을 따라 관통된 복수의 제1관통공(111, 112, 113)을 포함한다. 상기 상부 전도성 몸체(110)는 금속재질로 마련될 수 있다. 금속재질의 상기 상부 전도성 몸체(110)의 상기 제1관통공(111, 112, 113) 내부에 상기 프로브(200) 가 수용되는바, 상기 프로브(200)들은 노이즈에 의해 영향을 받지 않게 된다. The upper
상기 하부 전도성 몸체(130)는 소정 두께를 가지는 판상으로 마련될 수 있다. 상기 하부 전도성 몸체(130)는 두께방향을 따라 관통된 복수의 제2관통공(131, 132, 133)이 형성된다. 여기서 상기 하부 전도성 몸체(130)에 형성된 제2관통공(131, 132, 133)은 상부 전도성 몸체(110)에 형성된 제1관통공(111, 112, 113)과 상호간에 연통되게 형성된다. 상기 상호 연통되는 상기 제1관통공(111, 112, 113) 및 상기 제2관통공(131, 132, 133) 내부에는 복수의 프로브(200)가 수용된다. The lower
상기 하부 전도성 몸체(130)는 후술할 절연부재(140)를 사이에 두고 상기 상부 전도성 몸체(110)의 하부에 배치된다. The lower
상기 절연부재(140)는 절연성의 합성수지 재질로 마련될 수 있다. 물론, 이외에도 전기가 통하지 않는 절연성(비전도성) 재질이면 합성수지 외에도 다양한 재질로 변경될 수도 있다. 상기 절연부재(140)는 판상으로 마련될 수 있다. 상기 절연부재(140)는 일례로서 필름으로 마련될 수 있다.The
또한, 상기 절연부재(140)는 상기 상부 전도성 몸체(110)와 하부 전도성 몸체(130) 사이의 공간 내에 삽입될 수 있다. In addition, the insulating
상기 절연부재(140) 는 상하부로 관통 형성된 위치정렬공(141)을 포함할 수 있다. 상기 위치정렬공(141)은 각각 상기 상부 전도성 몸체(110) 및 상기 하부 전도성 몸체(130)에 형성된 제1관통공(111, 112, 113) 및 제2관통공(131, 132, 133)에 연통되도록 마련된다. The insulating
또한, 상기 절연부재(140)는 후술할 그라운드용 프로브(230)이 관통 삽입될 수 있도록 관통형성된 관통공(142)을 더 포함한다. 여기서, 상기 관통공(142)의 직경은 그에 대응하는 제1관통공(113) 및 제2관통공(133)의 직경과 같거나 그보다 더 클 수 있다. 이는 상기 그라운드용 프로브(230)는 상기 제1관통공(113) 및 상기 제2관통공(133)이 연통함으로써 형성되는 후술할 제3연통공(123) 내에서 그 중심선과 동축으로 유지될 필요가 없다. 상기 그라운드용 프로브(230)는 상기 전도성 몸체(100)와 적어도 일부분이 서로 접촉되어 접지될 수 있다.In addition, the insulating
서로 연통되는 제1관통공(111, 112), 제2관통공(131, 132) 및 상기 위치정렬공(141) 내에 상기 프로브(200)가 삽입되면, 상기 절연부재(140)의 위치정렬공(141)이 상기 프로브(200)의 배럴(201) 외주면을 감싸는 형태로 되어 상기 프로브(200)가 상기 전도성 몸체(110) 내부에서 정위치로 정렬될 수 있다. 즉, 상기 복수의 프로브(200)가 서로 연통되는 상기 제1관통공(111, 112) 및 제2관통공(131, 132) 내에 동축으로 배치될 수 있다.When the
여기서, 상기 복수의 프로브(200)가 동축으로 위치될 수 있도록, 상기 위치정렬공(141)의 직경은 상기 북수의 제1관통공(111, 112) 및 제2관통공(131, 132)의 직경보다 상대적으로 작게 형성될 수 있다.Here, the diameter of the
여기서, 상기 프로브(200)의 위치를 상기 전도성 몸체(100)의 내부에서 정렬시키게 됨으로써 프로브(200)의 양단부에서 직접 위치를 정렬하는 것에 비해 양단에서 발생하는 위치편차를 상대적으로 줄일 수 있다.Here, by aligning the position of the
상기와 같이 절연부재(140)의 위치정렬공(141)을 중심으로 각각의 프로브(200)가 정렬됨에 따라, 전도성 몸체(100)의 서로 연통되는 제1 및 제2관통공(111, 112, 131, 132) 내부 중심축에 금속재질의 프로브(200)가 동축으로 수용되는 동축 구조체가 형성될 수 있다. 이에 의해, 프로브(200) 외주면과 제1 및 제2관통공(111, 112, 131, 132)의 내부에는 일정한 공간부가 형성되고 공간부 내부에는 유전율이 1인 공기가 수용되어 동축 구조체에 일정한 임피던스가 형성될 수 있다.As the
상기 전도성 몸체(100)에 형성된 제1관통공(111, 112, 113) 및 제2관통공(131, 132, 133)은 내경이 서로 다른 세가지 종류로 구성될 수 있다. 여기서, 서로 연통되는 제1관통공(111) 및 제2관통공(131)을 제1연통공(121)이라고 정의하고, 나머지 서로 연통하는 제1관통공(112, 113) 및 제2관통공(132, 133)을 제2연통공(122) 및 제3연통공(123)으로 정의하기로 한다.The first through
여기서, 제2연통공(122)의 직경은 제1연통공(121)의 직경과 같거나 상대적으로 작고, 상기 제3연통공(123)의 직경은 상기 제2체결공(122)의 직경보다 상대적으로 작도록 마련될 수 있다.Here, the diameter of the
상기 제1관통공(111, 112, 113) 및 제2관통공(131, 132, 133) 각각은, 상기 종래기술에서도 설명한 바와 같이 통상 프로브의 간격은 0.4mm 피치 간격으로 배치되는바, 그 내경이 0.35mm 이내로 설계되는 것이 바람직하다.Each of the first through
그리고 상기 제1 내지 제3관통공(121, 122, 123)을 세가지 종류로 형성한 이유는 상기 제1 내지 제3관통공(121, 122, 123) 각각에 서로 다른 기능을 담당하는 프로브(200)를 수용하기 위함이다. 보다 상세하게 설명하면, RF 신호를 전달하기 위한 제1프로브(210)는 상기 제1연통공(121)에 수용되며, 전원을 인가시키기 위한 파워전달용 제2프로브(220)는 제2연통공(122)에 수용되며, 그라운드용 제3프로브(230)는 제3연통공(123)에 수용될 수 있다.The reason why the first through third through
상기 제1연통공(121) 내부에 RF 신호를 전달시키는 제1프로브(210)가, 상기 제1연통공(121)과 제1프로브(210) 배럴 사이에 유전율1인 공기가 충전되도록 수용된다. 일례로서 설명하면, 제1연통공(121)의 내경을 0.35mm 로 하는 경우, 상기 제1프로브(210)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)은 0.15mm로 하여 유전율이 1인 공기가 그 내부에 충전되어 상술한 수학식 (1)을 만족하는 일정한 임피던스가 유지될 수 있다.A
상술한 바와 같이, 상기 제2연통공(122)에는 파워전달용 제2프로브(220)가 수용된다. 일례로서, 상기 제2연통공(122)의 내경은 0.35mm이하로 설계될 수 있으며, 상기 제2연통공(122)의 내경이 0.35mm인 경우, 상기 제2연통공(122)에 수용되는 제2프로브(220)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)은 0.2㎜로 마련될 수 있다. As described above, the
상술한 바와 같이 상기 제3연통공(123)에는 그라운드용 제3프로브(230)가 수용될 수 있다. 일례로서, 상기 제3연통공(123)의 내경은 0.28mm정도로 설계될 수 있으며, 상기 제3연통공(123)에 수용되는 제3프로브(230)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)은 0.26㎜로 마련될 수 있다.As described above, the
상기와 같이, 본원발명의 검사용 소켓에서는 상기 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123) 의 직경(내경)을 달리 구성하여 서로 다른 기능을 담당하는 복수의 프로브(210, 220, 230)각각이 그 내부에 삽입 설치된다. As described above, in the inspection socket of the present invention, a plurality of
다음은 프로브(200)에 관한 것으로, 프로브(200)는 원통형 배럴(201)과, 원통형 배럴(201) 내부에 내장되어 있는 탄성 스프링(202)과, 상기 원통형 배럴(201) 상부에 결합되어 외력에 의해 탄성유동되는 상부플런저(203)와, 상기 원통형 배럴(201) 하부에 결합되어 외력에 의해 탄성유동되는 하부플런저(204)를 포함한다. 여기서, 경우에 따라서는 상부 플런저(203) 및 하부 플런저(204) 중 어느 하나는 탄성 유동되지 않고 고정되도록 마련될 수도 있다. 상술한 바와 같이, 상기 프로브(200)는 용도에 따라 크게 3가지 종류로 구성되는 바, RF 신호를 전달시키는 RF 신호전달용 제1프로브(210)와, 전원을 인가시키는 파워전달용 제2프로브(220)와, 그라운드용 제3프로브(230)로 구성된다. The following relates to the
그리고 상기 제1프로브(210)는 제1연통공(121)에, 제2프로브(220)는 제2연통공(122)에, 제3프로브(230)는 제3연통공(123)에 수용되어, 상기 프로브 배럴(201)의 상하단 일부 및 상하부 플런저(203)(204)가 전도성 몸체(200)의 상하부로 돌출될 수 있다. 상부 플런저(203)는 후술하는 상부 이탈방지부(300)의 제3관통공(310)으로 일부 돌출되고, 하부 플런저(204)는 후술하는 하부이탈방지부(400)의 제4관통공(402)으로 일부 돌출되게 마련될 수 있다. The
여기서, 상기 제2프로브(220)의 배럴(201)의 외경은 제3프로브(230)의 배럴(201) 외경보다 상대적으로 작고, 상기 제1프로브(210)의 배럴(201) 외경은 상기 제2프로브(220)의 배럴 외경보다 상대적으로 작도록 마련될 수 있다.보다 구체적으로 설명하면, 본 발명에 따른 상기 프로브(200)는, 일례로서 제1프로브(210)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)이 0.15㎜, 제2프로브(220)의 외경이 0.2㎜, 제3프로브(230)의 외경이 0.26㎜로 마련될 수 있다.Here, the outer diameter of the
여기서 상기 제1프로브(210)는 상기 전도성 몸체(100)의 제1연통공(121)에 수용 된다. 상기 제1연통공(121)의 직경(내경)이 0.35㎜이고, 상기 제1프로브(210)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)이 0.15㎜인바, 상기 제1프로브(210)는 코아 전도체의 역할을 하고, 전도성 몸체(100)에 형성된 제1연통공(121)의 내벽은 노이즈의 침투를 방지하기 위한 외부 전도체역할을 한다.In this case, the
또한 상기 제1프로브(210)의 외경 외측과 상기 제1연통공(121)의 내경 내측에는 유전체인 공기(유전율 1)가 충전됨과 동시에 상기 절연부재(140)의 위치정렬공(141)이 제1프로브(210)의 배럴(201) 외주면을 감쌈으로써, 제1프로브(210)가 제1연통공(121)의 중심선에 동축으로 정렬될 수 있다. 이에 따라, 일정한 임피던스가 유지될 수 있다.In addition, the outside of the outer diameter of the
일례로서, 외경(구체적으로는 배럴의 외경)이 0.2㎜인 상기 제2프로브(220)는 직경(내경)이 0.35㎜인 상기 전도성 몸체(100)의 제2연통공(122)에 수용 되고, 상기 절연부재(140)의 위치정렬공(141)이 제2프로브 배럴(201)의 외주면을 감쌈으로써, 제2프로브(220)가 제2연통공(122)의 중심선에 동축으로 정렬된다. 이에 의해, 상기 제2프로브(220)의 외경이 상기 제2연통공(122)의 내경 내측과 일정한 간격으로 이격됨으로써 상기 제2프로브(220)와 상기 전도성 몸체(100)는 상호간에 전기적으로 절연되게 된다. As an example, the
일례로서, 외경이 0.26㎜인 상기 제3프로브(230)는 직경(내경)이 0.28㎜인 상기 전도성 몸체(100)의 제3체결공(123)에 수용되어 상기 제3프로브(230)가 제3연통공(123)의 에 위치될 수 있다. 여기서, 상기 제3프로브(230)는 금속재질의 전도성몸체(100)와 접촉됨에 의해 그라운드 목적을 달성할 수 있다. 여기서 상기 제3프로브(230)는 상기 제3연통공(123)에 꽉 끼이게 결합 수용됨으로써 상기 제3프로브(230)의 배럴(203)이 상기 전도성 몸체(100)와 적어도 일부분에서 접촉하게 된다. 이를 위해, 상기 절연필름(140)의 상기 관통공(142)은 제3프로브 배럴(201)의 외경보다 더 크게 마련될 수 있다.As an example, the
한편, 상기 상부 이탈방지부(300)는 상기 상부 전도성 몸체(110)의 상측에 배치되어 상기 프로브(200)가 상방향으로 이탈되는 것을 방지한다. 경우에 따라서, 상기 상부 이탈방지부(300)는 상기 상부 전도성 몸체(110)에 형성될 수도 있다. On the other hand, the upper
상기 상부 이탈방지부(300)는 절연성(비전도성) 재질로 마련될 수 있으며,그 일례로서 합성수지 재질로 마련될 수 있다. 상기 상부 이탈방지부(300)는 판형상으로 마련될 수 있으며, 두께방향을 따라 관통된 복수의 제3관통공(310)이 형성될 수 있다. The upper
상기 복수의 제3관통공(310)은 각각 상기 전도성 몸체(100)에 형성된 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)의 위치에 대응되게 형성될 수 있다. 상기 프로브(200)의 상부 플런저(203) 상부가 상기 제3관통공(310)의 상부로 일부 돌출된다.The plurality of third through holes 310 may be formed to correspond to the positions of the first to third communication holes 121, 122, and 123 formed in the
또한, 상기 상부 이탈방지부(300)는 상기 제3관통공(310)에 연통되게 마련되어 상기 제3관통공(310)보다는 직경이 상대적으로 큰 함몰공(320)을 더 포함한다. 서로 다른 직경의 상기 함몰공(320)과 상기 관통공(310)이 만나는 불연속 부분에는 걸림턱(330)이 형성된다. 상기 프로브(200)의 배럴(201) 상단부측이 상기 함몰공(320)에 일부 수용되며 상기 상부플런저(203)는 상기 함몰공(320)과 연통된 상기 제3관통공(310)을 통해 상부 이탈방지부(300) 외부로 돌출되게 된다.In addition, the upper
상기 걸림턱(330)에 의해 상기 프로브 배럴(201)의 상단부가 걸림 결합됨으로써 상기 프로브(200)가 상기 전도성 몸체(100)의 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)에서 상방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.As the upper end of the
한편, 하부 이탈방지부(400)는 상기 하부 전도성 몸체(130)의 하측에 배치되어 상기 프로브(200)가 하방향으로 이탈되는 것을 방지한다. 경우에 따라서, 상기 하부 이탈방지부(300)는 상기 하부 전도성 몸체(110)에 형성될 수도 있다. On the other hand, the lower
상기 하부 이탈방지부(400)는 절연성(비전도성) 재질로 마련될 수 있으며,일례로서 합성수지 재질로 마련될 수 있다. 상기 하부 이탈방지부(400)는 판형상으로 마련될 수 있으며 두께 방향으로 관통된 복수의 제4관통공(402)을 포함할 수 있다. The lower
상기 복수의 제4관통공(402)은 상기 하부 전도성 몸체(130)의 상기 복수의 제2관통공(131, 132, 133)에 대응하는 위치에 마련된다.The plurality of fourth through
또한, 상기 하부 이탈방지부(400)는, 상기 제4관통공(402)에 연통되게 마련되어 상기 제4관통공(402)보다는 직경이 상대적으로 더 큰 함몰공(320)을 더 포함할 수 있다. 상기 함몰공(320)은 상기 하부 전도성 몸체(120) 방향으로 형성된다.In addition, the lower
서로 다른 직경의 상기 함몰공(320)과 상기 관통공(310)이 만나는 불연속 부분에는 걸림턱(330)이 형성된다. 상기 프로브(200)의 배럴(201) 하단부측이 상기 함몰공(320)에 일부 수용되며 상기 하부플런저(203)는 상기 함몰공(320)과 연통된 상기 제4관통공(402)을 통해 하부 이탈방지부(400) 외부로 돌출되게 된다. 이에 의해, 상기 하부 플런저(203) 검사 회로기판(미도시)의 접속단자(미도시)에 접속가능한 상ㅌ채가 된다.A locking
상기 프로브(200)의 배럴(201)의 하측단부가 상기 걸림턱(330)에 의해 걸림결합됨으로써 상기 프로브(200)가 상기 하부 전도성 몸체(120)로부터 하방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The lower end of the
상기 하부 이탈방지부(400)는 검사용 소켓의 외형 전체를 유지하는 하우징 역할을 하는 측면부(410)와, 상기 측면부(410)와 연결되고 상기 상부 전도성 몸체(100)의 하부에 결합되는 하부 베이스(420)로 구성될 수 있다.The lower
물론, 상기 하부 이탈방지부(400)는 도면에 도시된 형상 외에도 다양한 형상으로 변경될 수 있다.Of course, the lower
상기와 같이 구성된 검사용 소켓의 제조방법에 대해서 설명하면 다음과 같다. 먼저 상기 상부 전도성몸체(110)와, 절연부재(140)과, 하부전도성몸체(130)를 상호간에 결합하여 다음과 같은 방식으로 전도성 몸체(100)를 완성한다. Referring to the manufacturing method of the test socket configured as described above are as follows. First, the upper
여기서, 두께 방향을 따라 복수의 제1관통공(111, 112, 113)이 형성된 상부 전도성 몸체(110)와 두께방향을 따라 관통 형성된 복수의 제2관통공(131, 132, 133)이 형성된 하부 전도성 몸체(130) 사이에 상기 제1관통공(111, 112) 및 제2관통공(131, 132)보다 작은 직경의 복수의 위치정렬공(141)이 형성된 절연성 재질의 절연부재(140)를 삽입한다.Here, the upper
그 다음으로, 상기 복수의 제1관통공(111, 112), 상기 복수의 위치정렬공(141) 및 상기 복수의 제2관통공(131, 132)이 서로 동축으로 연통되도록 상기 상부 전도성 몸체(110), 상기 하부 전도성 몸체(130) 및 상기 절연부재(140)를 서로 정렬하여 결합한다.Next, the upper conductive body (ie, the plurality of first through
이와 같은 방식으로 전도성 몸체(100)를 완성한 이후, 상기 전도성몸체(100)의 상기 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)과 상기 하부 이탈방지부(400)의 제4관통공(402)가 서로 연통되도록, 상기 완성된 전도성몸체(100)를 상기 하부 이탈방지부(400)에 위치시킨다. After completing the
그 다음에, 상기 전도성 몸체(100)에 형성된 각각의 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)에 각각의 프로브(200)를 삽입한다.Then, each
보다 상세하게 설명하면, 제1연통공(121)에는 RF신호를 전달하기 위한 제1프로브(210)를 삽입하고, 제2연통공(122)에는 전원을 인가하기 위한 파워전달용 제2프로브(220)를 삽입하며, 제3연통공(123)에는 접지용 제3프로브(230)를 삽입한다. In more detail, a
이때, 상기 프로브(200)는 프로브 배럴(201)의 하단부가 상기 하부 이탈방지부(400)의 함몰공(320)에 수용되며 상기 하부 플런저(204)가 하부이탈방지부(400)의 관통공(310)을 통하여 하측으로 돌출된다. 여기서, 상기 각각의 프로브(200)는 상기 절연부재(140)의 위치정렬공(141) 및 관통공(142)을 관통하며, 상기 위치정렬공(141)이 상기 제1프로브(210) 및 상기 제2프로브(220)의 배럴(201) 외주면을 감쌈으로써 각각의 프로브(210, 210)를 제1 및 제2연통공(121, 122)의 중심축에 동축으로 정렬시킬 수 있다. 여기서, 상기 제3프로브(230)는 그 외경과 상기 제3연통공(123) 간의 차이가 별로 없어 상기 제3프로브(230)가 상기 제3연통공(123)의 중심선에 동축으로 유지될 수 있다.At this time, the
상술한 바와 같이 복수의 프로브(200)를 상기 전도성 몸체(100)및 상기 하부 이탈방지부(400)에 삽입한 다음, 상기 전도성 몸체(100)의 상부에 상부 이탈방지부(300)를 결합한다. 이때, 상기 각각의 프로브(200)가 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)의 중심축에 동축으로 직립된 형태로 결합되어 있으므로, 상기 프로브(200)의 상부플런저(203)가 상기 상부 (300)의 제3관통공(310)에 용이하게 삽입될 수 있다. 이에 따라, 상기 상부 이탈방지부(300) 가 상기 전도성 몸체(100)에 용이하게 결합될 수 있다. As described above, the plurality of
만약, 상기 프로브(200)가 중심축상에 직립되지 않은 상태에서 상부 이탈방지부(300)를 결합한다고 가정하면, 상기 프로브(200)의 상부플런저(203)와 상기 상부 플런저(300)의 제3관통공(310)이 서로 어긋난 위치에 위치되하여, 상부플런저(203)를 상기 제3관통공(310)에 삽입하기가 곤란해진다. 이는 상기 프로브(200) 개수가 많아지면 그 곤란성은 더욱 더 커질 수 밖에 없다.If it is assumed that the
따라서, 상부 이탈방지부(300)를 상기 복수의 프로브(200)가 삽입된 상태의 상기 전도성 몸체(100)의 상측에 용이하게 결합시키기 위해서는 프로브(200)를 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)의 중심에 동축으로 유지시키는 것이 중요하다. 본 발명에서는 절연부재(140)을 이용하여 동축으로 유지하기가 곤란한 제1 및 제2프로브(210, 220)를 제1 내지 제2연통공(121, 122)의 중심에 동축으로 위치시킬 수 있다.Accordingly, in order to easily couple the upper
상기와 같이, 상부 이탈방지부(300)가 결합되면, 상기 프로브(200)는 상부 및 하부플런저(203, 204)가 각각 상기 상부 이탈방지부(300) 및 상기 하부 이탈방지부(400)를 관통하여 외부로 돌출된 상태로, 상기 걸림턱(330)에 의해 상하방향으로 이탈하지 못하게 된다.As described above, when the upper
이상에서는, 상기 상부 이탈방지부(300)보다 상기 하부 이탈방지부(400)를 상기 전도성 몸체(100)에 먼저 결합한 상태에서 상기 프로브(200)를 삽입하는 것으로 설명하였으나, 상부 이탈방지부(300)를 먼저 결합한 상태에서 상기 프로브(200)를 삽입하고 그 다음에 하부 이탈 방지부(400)를 나중에 결합하는 방식으로도 상기 검사용 소켓을 제조할 수 있음은 물론이다.In the above, it was described as inserting the
상기의 검사용 소켓을 이용하여 모듈에 대한 전기적 검사가 이루어지는 바, 상기 소켓에 수용된 프로브를 통하여 모듈에 대한 전기적 신호 등이 하측으로 전달되어 모듈의 이상 유무를 검사하게 되는 것이다. When the electrical test is performed on the module by using the test socket, the electrical signal for the module is transmitted to the lower side through the probe accommodated in the socket to check whether the module is abnormal.
100 : 전도성몸체 110 : 상부 전도성몸체
111, 112, 113: 제1관통공 121 : 제1연통공
122 : 제2연통공 123 : 제3연통공
130 : 하부 전도성몸체 131, 132, 133: 제2관통공
140 : 절연부재
141 : 위치정렬공 200 : 프로브
201 : 배럴 202 : 탄성스프링
203 : 상부플런저 204 : 하부플런저
210 : 제1프로브 220 : 제2프로브
230 : 제3프로브 300 : 상부 이탈방지부
310 : 제3관통공 320 : 함몰공
330 : 걸림턱 400 : 하부이탈방지부
410 : 측면부 420 : 하부 베이스100: conductive body 110: upper conductive body
111, 112, 113: first through hole 121: first through hole
122: second communication hole 123: third communication hole
130: lower
140: insulation member
141: alignment hole 200: probe
201: barrel 202: elastic spring
203: upper plunger 204: lower plunger
210: first probe 220: second probe
230: third probe 300: upper separation prevention portion
310: third through hole 320: recessed hole
330: locking jaw 400: lower departure prevention part
410: side portion 420: lower base
Claims (5)
상기 상부 전도성 몸체의 하부에 배치되고, 상기 복수의 제1관통공에 각각 연통되도록 두께방향을 따라 관통 형성된 복수의 제2관통공이 형성된 하부 전도성 몸체와;
상기 상부 전도성 몸체와 상기 하부 전도성 몸체 사이에 배치되며 상기 제1 및 제2관통공과 연통되며 상기 제1 및 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 위치정렬공이 형성된 절연성 재질의 절연부재와;
피검사물의 접속단자에 접속 가능한 상부 플런저와, 상기 피검사물을 검사하기 위한 검사용 회로기판의 접속단자에 접속 가능한 하부 플런저와, 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저가 각각 상하 돌출되도록 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저를 수용하며 상기 제1관통공 및 상기 제2관통공 보다 작은 직경의배럴을 포함하는 복수의 프로브와;
상기 상부 전도성 몸체의 상측에 배치되어 상기 상부 플런저가 상방향으로 이탈되는 것을 방지하는 상부 이탈방지부와;
상기 하부 전도성 몸체의 하측에 배치되어 상기 하부 플런저가 하방향으로 이탈되는 것을 방지하는 하부 이탈방지부;를 포함하며,
상기 복수의 프로브는 상기 절연부재의 상기 복수의 위치정렬공에 의해 상기 상부 전도성 몸체 및 하부 전도성 몸체의 상기 제1 및 제2관통공 내에서 동축으로 정렬된 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.An upper conductive body having a plurality of first through holes formed along a thickness direction thereof;
A lower conductive body disposed under the upper conductive body and having a plurality of second through holes formed in a thickness direction so as to communicate with the plurality of first through holes, respectively;
An insulating member made of an insulating material disposed between the upper conductive body and the lower conductive body and communicating with the first and second through holes and having a plurality of position alignment holes having a diameter smaller than that of the first and second through holes;
An upper plunger connectable to a connection terminal of an object to be inspected, a lower plunger connectable to a connection terminal of an inspection circuit board for inspecting the inspected object, the upper plunger and the lower plunger such that the upper plunger and the lower plunger protrude upward and downward, respectively; A plurality of probes accommodating a lower plunger and including a barrel having a diameter smaller than the first through holes and the second through holes;
An upper detachment prevention part disposed on an upper side of the upper conductive body to prevent the upper plunger from escaping upward;
It is disposed on the lower side of the lower conductive body to prevent the lower plunger to prevent the lower plunger is separated downward; includes;
And the plurality of probes are coaxially aligned within the first and second through holes of the upper conductive body and the lower conductive body by the plurality of alignment holes of the insulating member.
상기 상부 이탈방지부는,
각각, 상기 상부 전도성 몸체의 상기 복수의 제1관통공에 연통되며 상기 복수의 제1관통공보다 작은 직경의 복수의 제3관통공이 형성된 상부 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method of claim 1,
The upper departure prevention part,
And an upper cover communicating with the plurality of first through holes of the upper conductive body and having a plurality of third through holes of a diameter smaller than the plurality of first through holes, respectively.
상기 하부 이탈방지부는,
각각, 상기 하부 전도성 몸체의 상기 복수의 제2관통공에 연통되며 상기 복수의 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 제4관통공이 형성된 하부 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1 or 2,
The lower departure prevention part,
And a lower cover communicating with the plurality of second through holes of the lower conductive body and having a plurality of fourth through holes having a diameter smaller than the plurality of second through holes, respectively.
상기 절연부재는 필름인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓. The method according to claim 1 or 2,
Inspection socket, characterized in that the insulating member is a film.
두께 방향을 따라 복수의 제1관통공이 형성된 상부 전도성 몸체와 두께방향을 따라 관통 형성된 복수의 제2관통공이 형성된 하부 전도성 몸체 사이에 상기 제1 및 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 위치정렬공이 형성된 절연성 재질의 절연부재를 삽입하는 단계;
상기 복수의 제1관통공, 상기 복수의 위치정렬공 및 상기 복수의 제2관통공이 서로 동축으로 연통되도록 상기 상부 전도성 몸체, 상기 하부 전도성 몸체 및 상기 절연부재를 정렬시키는 단계;
상기 복수의 제2관통공에 연통되는 복수의 제4관통공 및 상기 복수의 제4관통공에 각각 연통되는 복수의 걸림턱을 구비한 상기 하부 이탈방지부를 상기 하부 전도성 몸체의 하측에 설치하는 단계;
피검사물의 접속단자에 접속 가능한 상부 플런저와, 상기 피검사물을 검사하기 위한 검사용 회로기판의 접속단자에 접속 가능한 하부 플런저와, 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저가 각각 상하방향으로 돌출되도록 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저를 수용하는 배럴을 포함하는 복수의 프로브를, 서로 연통되는 상기 복수의 제1관통공, 상기 복수의 위치정렬공, 상기 복수의 제2관통공 및 상기 복수의 제4관통공에 각각 삽입하는 단계; 및
상기 복수의 제1관통공에 연통되는 복수의 제3관통공 및 상기 복수의 제3관통공에 각각 연통되는 복수의 걸림턱을 구비한 상기 상부 이탈방지부를, 상기 상부 플런저가 상기 제3관통공 외부로 돌출되도록 상기 상부 이탈방지부를 상기 상부 전도성 몸체의 상측에 설치하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의제조방법.In the manufacturing method of the inspection socket,
A plurality of position alignment holes having a diameter smaller than the first and second through holes is disposed between the upper conductive body having a plurality of first through holes formed in the thickness direction and the lower conductive body having a plurality of second through holes formed through the thickness direction. Inserting an insulating member formed of an insulating material;
Aligning the upper conductive body, the lower conductive body and the insulating member such that the plurality of first through holes, the plurality of position alignment holes and the plurality of second through holes communicate coaxially with each other;
Installing the lower departure preventing part having a plurality of fourth through holes communicated to the plurality of second through holes and a plurality of engaging jaws communicating with the plurality of fourth through holes, respectively, below the lower conductive body; ;
An upper plunger connectable to a connection terminal of an object to be inspected, a lower plunger connectable to a connection terminal of an inspection circuit board for inspecting the inspected object, and the upper plunger such that the upper plunger and the lower plunger protrude upward and downward, respectively And a plurality of probes including a barrel for accommodating the lower plunger into the plurality of first through holes, the plurality of position alignment holes, the plurality of second through holes, and the plurality of fourth through holes communicated with each other. Inserting each; And
The upper plunger having the plurality of third through holes communicated to the plurality of first through holes and a plurality of engaging jaws communicating with the plurality of third through holes, respectively, wherein the upper plunger is connected to the third through holes And installing the upper departure preventing part on an upper side of the upper conductive body so as to protrude to the outside.
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