KR101095907B1

KR101095907B1 - Test socket

Info

Publication number: KR101095907B1
Application number: KR1020100079187A
Authority: KR
Inventors: 이채윤
Original assignee: 리노공업주식회사
Priority date: 2010-08-17
Filing date: 2010-08-17
Publication date: 2011-12-21

Abstract

PURPOSE: A test socket is provided to constantly maintain impedance by coaxially positioning a probe in the inside of a coupling hole of the socket. CONSTITUTION: An insulation member(140) is arranged between a top conductive body(110) and a bottom conductive body(130). A plurality of probes(210,220,230) include a top plunger, a bottom plunger, and a barrel. A top separation preventing unit(300) prevents the top plunger from upwardly being separated. A bottom separation preventing unit(400) prevents the bottom plunger from downwardly being separated.

Description

검사용 소켓{TEST SOCKET}Inspection socket {TEST SOCKET}

본 발명은 검사용 소켓에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 복수의 프로브의 위치를 용이하게 정렬할 수 있는 검사용 소켓에 관한 것이다.The present invention relates to an inspection socket, and more particularly, to an inspection socket capable of easily aligning the positions of a plurality of probes.

반도체 웨이퍼, IC 또는 모듈 같은 RF 디바이스의 전기적 성능을 검사하는 경우 단자 사이의 접촉이 불충분하면 임피던스 또는 그 밖의 측정값의 변동이 야기될 수 있다.In examining the electrical performance of RF devices such as semiconductor wafers, ICs or modules, insufficient contact between terminals can cause impedance or other measured values to fluctuate.

이러한 이유 때문에 상기 검사는 특수한 기능을 갖춘 특수 검사 유닛에 의해 수행되었으며 다양한 종래기술이 존재하였다. For this reason, the inspection was performed by special inspection units with special functions and various prior arts existed.

도 1은 종래의 검사 소켓의 개념도이다.1 is a conceptual diagram of a conventional test socket.

도 1에 도시된 바와 같이 피검사 디바이스인 RF 회로는 증폭기 회로 및 믹서 회로를 포함하는 모듈(50)형태로 구성되며, 외부와의 간섭을 회피하기 위해서 금속 케이싱 내에 수용된다. 모듈(50)은 RF 신호용 입력 단자(51) 및 출력 단자(54)와, 전원의 전극 단자(52), 그리고 접지 단자(53)를 포함하는데, 이들 단자는 금속 케이싱의 하부면에 마련된다. 이후 이들 단자를 소정의 배선이 배치되어 있는 회로 기판(66)의 각 단자에 전기적으로 연결하여 검사가 수행된다.As shown in FIG. 1, the RF circuit as the device under test is configured in the form of a module 50 including an amplifier circuit and a mixer circuit, and is housed in a metal casing to avoid interference with the outside. The module 50 includes an input terminal 51 and an output terminal 54 for the RF signal, an electrode terminal 52 of the power supply, and a ground terminal 53, which are provided on the lower surface of the metal casing. Thereafter, inspection is performed by electrically connecting these terminals to respective terminals of the circuit board 66 on which the predetermined wiring is arranged.

또한, 원통형 배럴 배부에 내장되어 있는 탄성 스프링과 상하부가 각각 결합된 상하부 플런저를 구비하는 다수 개의 접촉 프로브가 설치되며, 각 프로브의 플런저는 탄성 스프링에 의해 외부로 돌출하게 되며, 외력이 가해지면 원통형 배럴 내부로 들어가게 된다.In addition, a plurality of contact probes are provided having an elastic spring embedded in the cylindrical barrel back and the upper and lower plungers respectively coupled to the upper and lower portions, the plunger of each probe is projected to the outside by the elastic spring, when the external force is applied It will go inside the barrel.

각 전극 단자는 RF 신호용 접촉 프로브(63)와, 전력 공급용 접촉 프로브(64)와, 접지용 접촉 프로브(65)에 의해 연결되어 있는데, 각 프로브들은 노이즈에 의해 영향을 받지 않도록 금속 재질의 몸체(61)에 내장되어 있다.Each electrode terminal is connected by a contact probe 63 for an RF signal, a contact probe 64 for a power supply, and a contact probe 65 for grounding, and each of the probes is made of a metallic body so as not to be affected by noise. It is built in (61).

특히, RF 신호용 접촉 프로브(63)는 동축 구조로 형성되어 있어서, 접촉 프로브를 코아 전도체로 사용하고, 몸체(61)에 형성된 체결공의 내벽을 노이즈의 침투를 방지하기 위한 외부 전도체로 사용한다.In particular, since the RF probe contact probe 63 is formed in a coaxial structure, the contact probe is used as a core conductor, and the inner wall of the fastening hole formed in the body 61 is used as an external conductor to prevent noise from penetrating.

그리고 도 1의 도면 부호 67은 동축 케이블이고, 68은 접촉 프로브를 구속하는 상부 커버에 해당된다.And reference numeral 67 in FIG. 1 corresponds to a coaxial cable, and 68 corresponds to an upper cover that restrains the contact probe.

도 1에는 2개의 RF 신호용(입력 및 출력용) 접촉 프로브와, 각각 하나의 전력 공급용 접촉 프로브(64) 및 접지용 접촉 프로브(65)만 도시되어 있지만, 실제적으로는 몸체(61)에는 다수 개의 접촉 프로브가 설치되며, 약 0.4mm의 좁은 피치로 설치된다.Although only two contact probes for RF signals (input and output) and one power supply contact probe 64 and a ground contact probe 65 are shown in FIG. 1, in practice, the body 61 has a plurality of contact probes. Contact probes are installed, with a narrow pitch of about 0.4 mm.

이러한 좁은 간격을 가지는 디바이스에 있어서, 유전층을 포함하는 RF 신호용 접촉 프로브의 외경은 크기가 감소되어야 한다. 한편, 체결공의 내벽과 접촉 프로브에 의해 형성되는 동축 구조체의 임피던스를 아래의 식(1)을 만족시키는 소정 특성의 임피던스(예를 들어 50Ω)로 조정해야 한다.In such narrowly spaced devices, the outer diameter of the contact probe for the RF signal including the dielectric layer should be reduced in size. On the other hand, the impedance of the coaxial structure formed by the inner wall of the fastening hole and the contact probe should be adjusted to an impedance of a predetermined characteristic (for example, 50?) That satisfies Equation (1) below.

수학식 (1)Equation (1)

여기서, d는 코아 전도체의 외경이고, D는 외부 전도체의 내경이며, ε_r은 그것들 사이의 유전 물질의 유전 상수이다.Where d is the outer diameter of the core conductor, D is the inner diameter of the outer conductor, and ε _r is the dielectric constant of the dielectric material therebetween.

식(1)을 만족하기 위해, 각 접촉 프로브와 체결공 사이에 작은 유전상수를 가진 유전 물질로 이루어진 관을 설치하여 외부 전도체의 내경(D)을 감소시킬 수 있다.In order to satisfy Equation (1), a tube made of a dielectric material having a small dielectric constant may be provided between each contact probe and the fastening hole to reduce the inner diameter D of the outer conductor.

그러나, 현재 가장 작은 유전 상수를 가진 유전 물질(특히, 폴리테트라폴루오로에틸렌:polytetrafuluoroethylene)관을 채택하고, 가장 작은 직경을 갖는 접촉 프로브를 채택하더라도, 외부 전도체의 외경(배럴)은 동축 구조체의 임피던스 특성을 50Ω을 얻기 위해서는 약 0.5mm가 되어야 한다.However, even if the dielectric material with the smallest dielectric constant (especially polytetrafuluoroethylene) tube is adopted and the contact probe with the smallest diameter is adopted, the outer diameter (barrel) of the outer conductor is determined by the coaxial structure. The impedance characteristic must be about 0.5mm to obtain 50Ω.

이러한 문제점을 해결하기 위해서 일본 특허 공개 공보 제2004-170182A에는 유전링(69)이 도 2에 도시된 바와 같이 각 접촉 프로브(63) 외주부에 고정되어 갭이 있는 상태로 접촉 프로브를 몸체의 체결공에 동심으로 유지시키고, 접촉 프로브와 체결공 사이에는 유전 상수1인 공기층을 형성시키는 방법을 제안한 바 있다.In order to solve this problem, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2004-170182A has a dielectric ring 69 fixed to an outer periphery of each contact probe 63 as shown in FIG. A method of forming the air layer having a dielectric constant of 1 between the contact probe and the fastening hole has been proposed.

이러한 방법은 유전링을 접촉 프로브에 결합하기 힘들고, 결합과정에서 접촉 프로브가 외력에 의해 기울어진다는 사용상의 문제점이 있었다.This method is difficult to bind the dielectric ring to the contact probe, there is a problem in use that the contact probe is inclined by an external force during the coupling process.

또한, 도 3의 (a)에 도시된 바와 같이 일본 특허 공개 공보 제2004-325306A는 작은 접촉 프로브를 몸체의 체결공에 유지시키는 구조체(32)를 이용하여, 체결공과 동심으로 유지되도록 하는 방법을 제안한 바 있다.In addition, Japanese Patent Laid-Open Publication No. 2004-325306A uses a structure 32 to hold a small contact probe in a fastening hole of a body, as shown in FIG. I have suggested.

그러나, 이러한 방법은 도 3의 (b)에 도시된 바와 같이 미세한 직경의 프로브(1)가 다수 개 장착된 몸체(2)에 상부 커버(31)을 정확한 위치에 결합하기 힘들고, 상기 결합 과정에서 프로브가 파손되는 등 사용상의 문제점이 있었다.However, this method is difficult to couple the upper cover 31 to the correct position on the body 2, which is equipped with a plurality of micro-diameter probe 1 as shown in (b) of FIG. There was a problem in use such as damage to the probe.

따라서, 본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로, 프로브를 소켓의 중심축(동축)에 위치시키는 결합이 용이함과 동시에, RF 신호용 디바이스에 대한 검사를 수행하는 과정에서 노이즈에 의한 영향을 받지 않아 검사 신뢰성을 확보할 수 있는 검사용 소켓을 제공하는 것을 목적으로 한다.Accordingly, the present invention has been made to solve the above problems, and the coupling of positioning the probe in the central axis (coaxial) of the socket is easy, and at the same time, the effect of noise in the process of inspecting the device for the RF signal It is an object of the present invention to provide an inspection socket capable of securing inspection reliability without receiving.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 두께 방향을 따라 복수의 제1관통공이 형성된 상부 전도성 몸체와; 상기 상부 전도성 몸체의 하부에 배치되고, 상기 복수의 제1관통공에 각각 연통되도록 두께방향을 따라 관통 형성된 복수의 제2관통공이 형성된 하부 전도성 몸체와; 상기 상부 전도성 몸체와 상기 하부 전도성 몸체 사이에 배치되며 상기 제1 및 제2관통공과 연통되며 상기 제1 및 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 위치정렬공이 형성된 절연성 재질의 절연부재와; 피검사물의 접속단자에 접속 가능한 상부 플런저와, 상기 피검사물을 검사하기 위한 검사용 회로기판의 접속단자에 접속 가능한 하부 플런저와, 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저가 각각 상하 돌출되도록 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저를 수용하며 상기 제1관통공 및 상기 제2관통공 보다 작은 직경의배럴을 포함하는 복수의 프로브와; 상기 상부 전도성 몸체의 상측에 배치되어 상기 상부 플런저가 상방향으로 이탈되는 것을 방지하는 상부 이탈방지부; 상기 하부 전도성 몸체의 하측에 배치되어 상기 하부 플런저가 하방향으로 이탈되는 것을 방지하는 하부 이탈방지부;를 포함하며, 상기 복수의 프로브는 상기 절연부재의 상기 복수의 위치정렬공에 의해 상기 상부 전도성 몸체 및 하부 전도성 몸체의 상기 제1 및 제2관통공 내에서 동축으로 정렬된 것을 특징으로 하는 검사용 소켓에 의해서 달성될 수 있다.The object is, according to the invention, the upper conductive body formed with a plurality of first through-holes along the thickness direction; A lower conductive body disposed under the upper conductive body and having a plurality of second through holes formed in a thickness direction so as to communicate with the plurality of first through holes, respectively; An insulating member made of an insulating material disposed between the upper conductive body and the lower conductive body and communicating with the first and second through holes and having a plurality of position alignment holes having a diameter smaller than that of the first and second through holes; An upper plunger connectable to a connection terminal of an object to be inspected, a lower plunger connectable to a connection terminal of an inspection circuit board for inspecting the inspected object, the upper plunger and the lower plunger such that the upper plunger and the lower plunger protrude upward and downward, respectively A plurality of probes accommodating a lower plunger and including a barrel having a diameter smaller than the first through holes and the second through holes; An upper detachment prevention part disposed on an upper side of the upper conductive body to prevent the upper plunger from escaping upward; A lower release preventing portion disposed below the lower conductive body to prevent the lower plunger from being separated downward, wherein the plurality of probes are connected to the upper conductive portion by the plurality of positioning holes of the insulating member. It can be achieved by an inspection socket, characterized in that it is coaxially aligned in the first and second through holes of the body and the lower conductive body.

또한, 상기 상부 이탈방지부는, 각각, 상기 상부 전도성 몸체의 상기 복수의 제1관통공에 연통되며 상기 복수의 제1관통공보다 작은 직경의 복수의 제3관통공이 형성된 상부 커버를 포함할 수 있다.The upper release preventing part may include an upper cover communicating with the plurality of first through holes of the upper conductive body and having a plurality of third through holes having a diameter smaller than the plurality of first through holes. .

여기서, 상기 하부 이탈방지부는, 각각, 상기 하부 전도성 몸체의 상기 복수의 제2관통공에 연통되며 상기 복수의 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 제4관통공이 형성된 하부 커버를 포함할 수 있다.Here, the lower detachment prevention part may include a lower cover communicating with the plurality of second through holes of the lower conductive body and having a plurality of fourth through holes having a diameter smaller than the plurality of second through holes, respectively. .

여기서, 상기 절연부재는 필름으로 마련될 수 있다.Here, the insulating member may be provided as a film.

또한, 상기 목적은, 본 발명에 따라, 검사용 소켓의 제조방법에 있어서, 두께 방향을 따라 복수의 제1관통공이 형성된 상부 전도성 몸체와 두께방향을 따라 관통 형성된 복수의 제2관통공이 형성된 하부 전도성 몸체 사이에 상기 제1 및 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 위치정렬공이 형성된 절연성 재질의 절연부재를 삽입하는 단계; 상기 복수의 제1관통공, 상기 복수의 위치정렬공 및 상기 복수의 제2관통공이 서로 동축으로 연통되도록 상기 상부 전도성 몸체, 상기 하부 전도성 몸체 및 상기 절연부재를 정렬시키는 단계; 피검사물의 접속단자에 접속 가능한 상부 플런저와, 상기 피검사물을 검사하기 위한 검사용 회로기판의 접속단자에 접속 가능한 하부 플런저와, 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저가 각각 상하방향으로 돌출되도록 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저를 수용하는 배럴을 포함하는 복수의 프로브를 연통되는 상기 복수의 제1관통공, 상기 복수의 위치정렬공 및 상기 복수의 제2관통공에 각각 삽입하는 단계; 상기 상부 플런저가 상방향으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 상부 이탈방지부를 상기 상부 전도성 몸체의 상측에 설치하는 단계; 및 상기 하부 플런저가 하방향으로 이탈되는 것을 방지하기 위한 하부 이탈방지부를 상기 하부 전도성 몸체의 하측에 설치하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의 제조방법에 의해서도 달성될 수 있다.In addition, the above object, according to the present invention, in the manufacturing method of the test socket, the upper conductive body formed with a plurality of first through holes in the thickness direction and the lower conductive formed with a plurality of second through holes formed in the thickness direction Inserting an insulating member of an insulating material having a plurality of alignment holes having a diameter smaller than the first and second through holes between the bodies; Aligning the upper conductive body, the lower conductive body and the insulating member such that the plurality of first through holes, the plurality of position alignment holes and the plurality of second through holes communicate coaxially with each other; An upper plunger connectable to a connection terminal of an object to be inspected, a lower plunger connectable to a connection terminal of an inspection circuit board for inspecting the inspected object, and the upper plunger such that the upper plunger and the lower plunger protrude upward and downward, respectively And inserting a plurality of probes including a barrel for receiving the lower plunger into the plurality of first through holes, the plurality of alignment holes, and the plurality of second through holes, respectively. Installing an upper release preventing part on an upper side of the upper conductive body to prevent the upper plunger from escaping upward; And it can also be achieved by the manufacturing method of the test socket, characterized in that it comprises the step of installing the lower release preventing portion to the lower side of the lower conductive body to prevent the lower plunger is separated in the downward direction.

상기의 구성에 의한 본 발명은, 임피던스를 일정하게 유지하기 위해 프로브를 상기 소켓의 체결공 내부에 동축으로 용이하게 위치시킬 수 있으며, 검사 과정에서 노이즈에 의한 영향을 받지 않아 검사 신뢰성을 확보할 수 있다는 효과가 있다. According to the present invention, the probe can be easily coaxially positioned inside the fastening hole of the socket in order to maintain a constant impedance, and is not affected by noise during the inspection process, thereby ensuring inspection reliability. There is an effect.

도 1은 종래의 검사 소켓의 개념도,
도 2는 도 1에 도시된 접촉 프로브의 평면도,
도 3은 또 다른 종래의 검사 소켓의 단면도,
도 4는 본 발명에 따른 검사용 소켓의 단면도,
도 5는 프로브가 설치된 검사용 소켓의 요부 종단면도,
도 6은 프로브가 없는 검사용 소켓의 요부 종단면도,
도 7은 본 발명에 따른 프로브의 단면도이다.1 is a conceptual diagram of a conventional inspection socket,
2 is a plan view of the contact probe shown in FIG.
3 is a cross-sectional view of another conventional inspection socket,
4 is a cross-sectional view of the test socket according to the present invention;
5 is a longitudinal sectional view of a main portion of a test socket in which a probe is installed;
6 is a longitudinal sectional view of the main portion of the inspection socket without a probe;
7 is a cross-sectional view of a probe according to the present invention.

이하 첨부된 도면을 참조로 본 발명의 바람직한 실시예를 상세히 설명하기로 한다. 여기서 본 발명의 권리는 실시예에 국한되지 아니하며 본 발명의 기술적 사상의 변형 가능한 부분까지 확장됨은 자명하다 할 것이다. Hereinafter, preferred embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Here, the rights of the present invention are not limited to the embodiments, and it will be obvious that the scope of the present invention is extended to the deformable part of the technical spirit of the present invention.

도 4는 본 발명에 따른 검사용 소켓의 단면도이고, 도 5는 프로브가 설치된 검사용 소켓의 요부 종단면도이며, 도 6은 프로브가 없는 검사용 소켓의 요부 종단면도이며, 도 7은 본 발명에 따른 프로브의 단면도이다.Figure 4 is a cross-sectional view of the test socket according to the invention, Figure 5 is a longitudinal sectional view of the main portion of the test socket with the probe installed, Figure 6 is a longitudinal sectional view of the main part of the test socket without the probe, Figure 7 A cross-sectional view of the probe according.

도시된 바와 같이 본 발명에 따른 검사용 소켓은 크게 전도성 몸체(100)와, 프로브(200)와, 상부 이탈방지부(300)와, 하부 이탈방지부(400)로 구성된다. 먼저 전도성 몸체(100)에 대해 설명한다. As shown, the inspection socket according to the present invention includes a conductive body 100, a probe 200, an upper departure preventing part 300, and a lower departure preventing part 400. First, the conductive body 100 will be described.

상기 전도성 몸체(100)는 상기 프로브(200)를 수용하며, 상부 전도성 몸체(110)와, 하부 전도성 몸체(130) 로 구성된다. The conductive body 100 accommodates the probe 200 and includes an upper conductive body 110 and a lower conductive body 130.

상기 상부 전도성 몸체(110)는 소정 두께를 가지는 판상으로 마련될 수 있다. 상기 상부 전도성 몸체(110)는 상기 두께방향을 따라 관통된 복수의 제1관통공(111, 112, 113)을 포함한다. 상기 상부 전도성 몸체(110)는 금속재질로 마련될 수 있다. 금속재질의 상기 상부 전도성 몸체(110)의 상기 제1관통공(111, 112, 113) 내부에 상기 프로브(200) 가 수용되는바, 상기 프로브(200)들은 노이즈에 의해 영향을 받지 않게 된다. The upper conductive body 110 may be provided in a plate shape having a predetermined thickness. The upper conductive body 110 includes a plurality of first through holes 111, 112, and 113 penetrating along the thickness direction. The upper conductive body 110 may be provided with a metal material. The probes 200 are accommodated in the first through holes 111, 112, and 113 of the upper conductive body 110 of metal material, and the probes 200 are not affected by noise.

상기 하부 전도성 몸체(130)는 소정 두께를 가지는 판상으로 마련될 수 있다. 상기 하부 전도성 몸체(130)는 두께방향을 따라 관통된 복수의 제2관통공(131, 132, 133)이 형성된다. 여기서 상기 하부 전도성 몸체(130)에 형성된 제2관통공(131, 132, 133)은 상부 전도성 몸체(110)에 형성된 제1관통공(111, 112, 113)과 상호간에 연통되게 형성된다. 상기 상호 연통되는 상기 제1관통공(111, 112, 113) 및 상기 제2관통공(131, 132, 133) 내부에는 복수의 프로브(200)가 수용된다. The lower conductive body 130 may be provided in a plate shape having a predetermined thickness. The lower conductive body 130 has a plurality of second through holes 131, 132, and 133 penetrated along the thickness direction. Here, the second through holes 131, 132 and 133 formed in the lower conductive body 130 are formed to communicate with the first through holes 111, 112 and 113 formed in the upper conductive body 110. A plurality of probes 200 are accommodated in the first through holes 111, 112, and 113 and the second through holes 131, 132, and 133 which communicate with each other.

상기 하부 전도성 몸체(130)는 후술할 절연부재(140)를 사이에 두고 상기 상부 전도성 몸체(110)의 하부에 배치된다. The lower conductive body 130 is disposed below the upper conductive body 110 with an insulating member 140 to be described later.

상기 절연부재(140)는 절연성의 합성수지 재질로 마련될 수 있다. 물론, 이외에도 전기가 통하지 않는 절연성(비전도성) 재질이면 합성수지 외에도 다양한 재질로 변경될 수도 있다. 상기 절연부재(140)는 판상으로 마련될 수 있다. 상기 절연부재(140)는 일례로서 필름으로 마련될 수 있다.The insulating member 140 may be made of an insulating synthetic resin material. Of course, in addition to the non-conductive insulating (non-conductive) material may be changed to various materials in addition to the synthetic resin. The insulating member 140 may be provided in a plate shape. The insulating member 140 may be provided as a film as an example.

또한, 상기 절연부재(140)는 상기 상부 전도성 몸체(110)와 하부 전도성 몸체(130) 사이의 공간 내에 삽입될 수 있다. In addition, the insulating member 140 may be inserted into a space between the upper conductive body 110 and the lower conductive body 130.

상기 절연부재(140) 는 상하부로 관통 형성된 위치정렬공(141)을 포함할 수 있다. 상기 위치정렬공(141)은 각각 상기 상부 전도성 몸체(110) 및 상기 하부 전도성 몸체(130)에 형성된 제1관통공(111, 112, 113) 및 제2관통공(131, 132, 133)에 연통되도록 마련된다. The insulating member 140 may include a position alignment hole 141 formed to penetrate up and down. The alignment holes 141 are formed in the first through holes 111, 112, and 113 and the second through holes 131, 132, and 133 formed in the upper conductive body 110 and the lower conductive body 130, respectively. It is arranged to communicate.

또한, 상기 절연부재(140)는 후술할 그라운드용 프로브(230)이 관통 삽입될 수 있도록 관통형성된 관통공(142)을 더 포함한다. 여기서, 상기 관통공(142)의 직경은 그에 대응하는 제1관통공(113) 및 제2관통공(133)의 직경과 같거나 그보다 더 클 수 있다. 이는 상기 그라운드용 프로브(230)는 상기 제1관통공(113) 및 상기 제2관통공(133)이 연통함으로써 형성되는 후술할 제3연통공(123) 내에서 그 중심선과 동축으로 유지될 필요가 없다. 상기 그라운드용 프로브(230)는 상기 전도성 몸체(100)와 적어도 일부분이 서로 접촉되어 접지될 수 있다.In addition, the insulating member 140 further includes a through hole 142 formed to penetrate the ground probe 230 to be described later. Here, the diameter of the through hole 142 may be equal to or larger than the diameter of the first through hole 113 and the second through hole 133 corresponding thereto. This is because the ground probe 230 needs to be maintained coaxially with its center line in the third communication hole 123 which will be described later formed by the first through hole 113 and the second through hole 133 communicate with each other. There is no. The ground probe 230 may be grounded by contacting the conductive body 100 and at least a portion thereof.

서로 연통되는 제1관통공(111, 112), 제2관통공(131, 132) 및 상기 위치정렬공(141) 내에 상기 프로브(200)가 삽입되면, 상기 절연부재(140)의 위치정렬공(141)이 상기 프로브(200)의 배럴(201) 외주면을 감싸는 형태로 되어 상기 프로브(200)가 상기 전도성 몸체(110) 내부에서 정위치로 정렬될 수 있다. 즉, 상기 복수의 프로브(200)가 서로 연통되는 상기 제1관통공(111, 112) 및 제2관통공(131, 132) 내에 동축으로 배치될 수 있다.When the probe 200 is inserted into the first through holes 111 and 112, the second through holes 131 and 132, and the position alignment holes 141, which are in communication with each other, the position alignment holes of the insulating member 140. 141 may be formed to surround the outer circumferential surface of the barrel 201 of the probe 200 so that the probe 200 may be aligned in the conductive body 110. That is, the plurality of probes 200 may be coaxially disposed in the first through holes 111 and 112 and the second through holes 131 and 132 communicating with each other.

여기서, 상기 복수의 프로브(200)가 동축으로 위치될 수 있도록, 상기 위치정렬공(141)의 직경은 상기 북수의 제1관통공(111, 112) 및 제2관통공(131, 132)의 직경보다 상대적으로 작게 형성될 수 있다.Here, the diameter of the alignment hole 141 is the diameter of the first through hole (111, 112) and the second through hole (131, 132) of the north water so that the plurality of probes 200 can be coaxially positioned. It may be formed relatively smaller than the diameter.

여기서, 상기 프로브(200)의 위치를 상기 전도성 몸체(100)의 내부에서 정렬시키게 됨으로써 프로브(200)의 양단부에서 직접 위치를 정렬하는 것에 비해 양단에서 발생하는 위치편차를 상대적으로 줄일 수 있다.Here, by aligning the position of the probe 200 in the conductive body 100, it is possible to relatively reduce the positional deviation occurring at both ends as compared to aligning the position directly at both ends of the probe 200.

상기와 같이 절연부재(140)의 위치정렬공(141)을 중심으로 각각의 프로브(200)가 정렬됨에 따라, 전도성 몸체(100)의 서로 연통되는 제1 및 제2관통공(111, 112, 131, 132) 내부 중심축에 금속재질의 프로브(200)가 동축으로 수용되는 동축 구조체가 형성될 수 있다. 이에 의해, 프로브(200) 외주면과 제1 및 제2관통공(111, 112, 131, 132)의 내부에는 일정한 공간부가 형성되고 공간부 내부에는 유전율이 1인 공기가 수용되어 동축 구조체에 일정한 임피던스가 형성될 수 있다.As the respective probes 200 are aligned around the alignment holes 141 of the insulating member 140 as described above, the first and second through holes 111 and 112 communicating with each other of the conductive body 100 are formed. A coaxial structure may be formed in which the metal probe 200 is coaxially accommodated in the inner central axis of the 131 and 132. As a result, a constant space portion is formed in the outer circumferential surface of the probe 200 and the first and second through holes 111, 112, 131, and 132, and air having a dielectric constant of 1 is accommodated in the space portion, thereby providing a constant impedance to the coaxial structure. Can be formed.

상기 전도성 몸체(100)에 형성된 제1관통공(111, 112, 113) 및 제2관통공(131, 132, 133)은 내경이 서로 다른 세가지 종류로 구성될 수 있다. 여기서, 서로 연통되는 제1관통공(111) 및 제2관통공(131)을 제1연통공(121)이라고 정의하고, 나머지 서로 연통하는 제1관통공(112, 113) 및 제2관통공(132, 133)을 제2연통공(122) 및 제3연통공(123)으로 정의하기로 한다.The first through holes 111, 112, and 113 and the second through holes 131, 132, and 133 formed in the conductive body 100 may be configured in three types having different inner diameters. Here, the first through-hole 111 and the second through-hole 131 communicated with each other is defined as the first through-hole 121, the first through-hole (112, 113) and the second through-hole communicating with each other Reference numerals 132 and 133 to be defined as the second communication hole 122 and the third communication hole 123.

여기서, 제2연통공(122)의 직경은 제1연통공(121)의 직경과 같거나 상대적으로 작고, 상기 제3연통공(123)의 직경은 상기 제2체결공(122)의 직경보다 상대적으로 작도록 마련될 수 있다.Here, the diameter of the second communication hole 122 is equal to or smaller than the diameter of the first communication hole 121, the diameter of the third communication hole 123 is larger than the diameter of the second fastening hole 122 It may be arranged to be relatively small.

상기 제1관통공(111, 112, 113) 및 제2관통공(131, 132, 133) 각각은, 상기 종래기술에서도 설명한 바와 같이 통상 프로브의 간격은 0.4mm 피치 간격으로 배치되는바, 그 내경이 0.35mm 이내로 설계되는 것이 바람직하다.Each of the first through holes 111, 112, and 113 and the second through holes 131, 132, and 133, as described in the prior art, is normally disposed at 0.4 mm pitch intervals. It is desirable to design within 0.35 mm.

그리고 상기 제1 내지 제3관통공(121, 122, 123)을 세가지 종류로 형성한 이유는 상기 제1 내지 제3관통공(121, 122, 123) 각각에 서로 다른 기능을 담당하는 프로브(200)를 수용하기 위함이다. 보다 상세하게 설명하면, RF 신호를 전달하기 위한 제1프로브(210)는 상기 제1연통공(121)에 수용되며, 전원을 인가시키기 위한 파워전달용 제2프로브(220)는 제2연통공(122)에 수용되며, 그라운드용 제3프로브(230)는 제3연통공(123)에 수용될 수 있다.The reason why the first through third through holes 121, 122, and 123 are formed into three types is that the probes 200 which are in charge of different functions in the first through third through holes 121, 122, and 123 are different. To accommodate). In more detail, the first probe 210 for transmitting the RF signal is accommodated in the first communication hole 121, and the second probe 220 for power transmission for applying power is the second communication hole. The third probe 230 for ground may be accommodated in the third communication hole 123.

상기 제1연통공(121) 내부에 RF 신호를 전달시키는 제1프로브(210)가, 상기 제1연통공(121)과 제1프로브(210) 배럴 사이에 유전율1인 공기가 충전되도록 수용된다. 일례로서 설명하면, 제1연통공(121)의 내경을 0.35mm 로 하는 경우, 상기 제1프로브(210)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)은 0.15mm로 하여 유전율이 1인 공기가 그 내부에 충전되어 상술한 수학식 (1)을 만족하는 일정한 임피던스가 유지될 수 있다.A first probe 210 that transmits an RF signal inside the first communication hole 121 is accommodated so that air having a dielectric constant 1 is filled between the first communication hole 121 and the barrel of the first probe 210. . As an example, when the inner diameter of the first communication hole 121 is 0.35 mm, the outer diameter (specifically, the outer diameter of the barrel) of the first probe 210 is 0.15 mm, and the air having a dielectric constant of 1 is A constant impedance that is charged inside and satisfies Equation (1) described above may be maintained.

상술한 바와 같이, 상기 제2연통공(122)에는 파워전달용 제2프로브(220)가 수용된다. 일례로서, 상기 제2연통공(122)의 내경은 0.35mm이하로 설계될 수 있으며, 상기 제2연통공(122)의 내경이 0.35mm인 경우, 상기 제2연통공(122)에 수용되는 제2프로브(220)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)은 0.2㎜로 마련될 수 있다. As described above, the second communication hole 122 is accommodated in the second communication hole 122. For example, an inner diameter of the second communication hole 122 may be designed to be 0.35 mm or less, and when the inner diameter of the second communication hole 122 is 0.35 mm, the second communication hole 122 is accommodated in the second communication hole 122. The outer diameter of the second probe 220 (specifically, the outer diameter of the barrel) may be provided as 0.2 mm.

상술한 바와 같이 상기 제3연통공(123)에는 그라운드용 제3프로브(230)가 수용될 수 있다. 일례로서, 상기 제3연통공(123)의 내경은 0.28mm정도로 설계될 수 있으며, 상기 제3연통공(123)에 수용되는 제3프로브(230)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)은 0.26㎜로 마련될 수 있다.As described above, the third probe 230 for ground may be accommodated in the third communication hole 123. As an example, the inner diameter of the third communication hole 123 may be designed to about 0.28mm, the outer diameter (specifically the outer diameter of the barrel) of the third probe 230 accommodated in the third communication hole 123 is 0.26 mm may be provided.

상기와 같이, 본원발명의 검사용 소켓에서는 상기 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123) 의 직경(내경)을 달리 구성하여 서로 다른 기능을 담당하는 복수의 프로브(210, 220, 230)각각이 그 내부에 삽입 설치된다. As described above, in the inspection socket of the present invention, a plurality of probes 210, 220, and 230 configured to have different diameters (inner diameters) of the first to third communication holes 121, 122, and 123 to perform different functions. Each is inserted into and installed inside.

다음은 프로브(200)에 관한 것으로, 프로브(200)는 원통형 배럴(201)과, 원통형 배럴(201) 내부에 내장되어 있는 탄성 스프링(202)과, 상기 원통형 배럴(201) 상부에 결합되어 외력에 의해 탄성유동되는 상부플런저(203)와, 상기 원통형 배럴(201) 하부에 결합되어 외력에 의해 탄성유동되는 하부플런저(204)를 포함한다. 여기서, 경우에 따라서는 상부 플런저(203) 및 하부 플런저(204) 중 어느 하나는 탄성 유동되지 않고 고정되도록 마련될 수도 있다. 상술한 바와 같이, 상기 프로브(200)는 용도에 따라 크게 3가지 종류로 구성되는 바, RF 신호를 전달시키는 RF 신호전달용 제1프로브(210)와, 전원을 인가시키는 파워전달용 제2프로브(220)와, 그라운드용 제3프로브(230)로 구성된다. The following relates to the probe 200, the probe 200 is coupled to the cylindrical barrel 201, the elastic spring 202 embedded in the cylindrical barrel 201, the cylindrical barrel 201 and the external force An upper plunger 203 elastically flows by the lower portion, and a lower plunger 204 coupled to the lower portion of the cylindrical barrel 201 and elastically flowable by an external force. Here, in some cases, any one of the upper plunger 203 and the lower plunger 204 may be provided to be fixed without elastic flow. As described above, the probe 200 is largely composed of three types according to the purpose, the first probe 210 for transmitting the RF signal and the second probe for power transmission applying the power. And a third probe 230 for ground.

그리고 상기 제1프로브(210)는 제1연통공(121)에, 제2프로브(220)는 제2연통공(122)에, 제3프로브(230)는 제3연통공(123)에 수용되어, 상기 프로브 배럴(201)의 상하단 일부 및 상하부 플런저(203)(204)가 전도성 몸체(200)의 상하부로 돌출될 수 있다. 상부 플런저(203)는 후술하는 상부 이탈방지부(300)의 제3관통공(310)으로 일부 돌출되고, 하부 플런저(204)는 후술하는 하부이탈방지부(400)의 제4관통공(402)으로 일부 돌출되게 마련될 수 있다. The first probe 210 is accommodated in the first communication hole 121, the second probe 220 is received in the second communication hole 122, and the third probe 230 is received in the third communication hole 123. Thus, a portion of the upper and lower ends of the probe barrel 201 and the upper and lower plungers 203 and 204 may protrude to the upper and lower portions of the conductive body 200. The upper plunger 203 partially protrudes into the third through hole 310 of the upper release preventing part 300 to be described later, and the lower plunger 204 is the fourth through hole 402 of the lower release preventing part 400 to be described later. It may be provided to protrude in part.

여기서, 상기 제2프로브(220)의 배럴(201)의 외경은 제3프로브(230)의 배럴(201) 외경보다 상대적으로 작고, 상기 제1프로브(210)의 배럴(201) 외경은 상기 제2프로브(220)의 배럴 외경보다 상대적으로 작도록 마련될 수 있다.보다 구체적으로 설명하면, 본 발명에 따른 상기 프로브(200)는, 일례로서 제1프로브(210)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)이 0.15㎜, 제2프로브(220)의 외경이 0.2㎜, 제3프로브(230)의 외경이 0.26㎜로 마련될 수 있다.Here, the outer diameter of the barrel 201 of the second probe 220 is relatively smaller than the outer diameter of the barrel 201 of the third probe 230, and the outer diameter of the barrel 201 of the first probe 210 is the first diameter. It may be provided to be relatively smaller than the barrel outer diameter of the two probes 220. More specifically, the probe 200 according to the present invention, as an example, the outer diameter of the first probe 210 (specifically, barrels). The outer diameter of) may be provided as 0.15mm, the outer diameter of the second probe 220 is 0.2mm, the outer diameter of the third probe 230 is 0.26mm.

여기서 상기 제1프로브(210)는 상기 전도성 몸체(100)의 제1연통공(121)에 수용 된다. 상기 제1연통공(121)의 직경(내경)이 0.35㎜이고, 상기 제1프로브(210)의 외경(구체적으로는 배럴의 외경)이 0.15㎜인바, 상기 제1프로브(210)는 코아 전도체의 역할을 하고, 전도성 몸체(100)에 형성된 제1연통공(121)의 내벽은 노이즈의 침투를 방지하기 위한 외부 전도체역할을 한다.In this case, the first probe 210 is accommodated in the first communication hole 121 of the conductive body 100. The diameter (inner diameter) of the first communication hole 121 is 0.35 mm, and the outer diameter (specifically, the outer diameter of the barrel) of the first probe 210 is 0.15 mm, and the first probe 210 is a core conductor. The inner wall of the first communication hole 121 formed in the conductive body 100 serves as an outer conductor to prevent the penetration of noise.

또한 상기 제1프로브(210)의 외경 외측과 상기 제1연통공(121)의 내경 내측에는 유전체인 공기(유전율 1)가 충전됨과 동시에 상기 절연부재(140)의 위치정렬공(141)이 제1프로브(210)의 배럴(201) 외주면을 감쌈으로써, 제1프로브(210)가 제1연통공(121)의 중심선에 동축으로 정렬될 수 있다. 이에 따라, 일정한 임피던스가 유지될 수 있다.In addition, the outside of the outer diameter of the first probe 210 and the inner diameter of the first communication hole 121 is filled with air (dielectric constant 1) as a dielectric and at the same time the position alignment hole 141 of the insulating member 140 By wrapping the outer circumferential surface of the barrel 201 of the first probe 210, the first probe 210 may be coaxially aligned with the center line of the first communication hole 121. Accordingly, constant impedance can be maintained.

일례로서, 외경(구체적으로는 배럴의 외경)이 0.2㎜인 상기 제2프로브(220)는 직경(내경)이 0.35㎜인 상기 전도성 몸체(100)의 제2연통공(122)에 수용 되고, 상기 절연부재(140)의 위치정렬공(141)이 제2프로브 배럴(201)의 외주면을 감쌈으로써, 제2프로브(220)가 제2연통공(122)의 중심선에 동축으로 정렬된다. 이에 의해, 상기 제2프로브(220)의 외경이 상기 제2연통공(122)의 내경 내측과 일정한 간격으로 이격됨으로써 상기 제2프로브(220)와 상기 전도성 몸체(100)는 상호간에 전기적으로 절연되게 된다. As an example, the second probe 220 having an outer diameter (specifically, the outer diameter of the barrel) of 0.2 mm is accommodated in the second communication hole 122 of the conductive body 100 having a diameter (inner diameter) of 0.35 mm, As the alignment hole 141 of the insulating member 140 wraps around the outer circumferential surface of the second probe barrel 201, the second probe 220 is coaxially aligned with the center line of the second communication hole 122. As a result, the outer diameter of the second probe 220 is spaced apart from the inner diameter of the second communication hole 122 at regular intervals so that the second probe 220 and the conductive body 100 are electrically insulated from each other. Will be.

일례로서, 외경이 0.26㎜인 상기 제3프로브(230)는 직경(내경)이 0.28㎜인 상기 전도성 몸체(100)의 제3체결공(123)에 수용되어 상기 제3프로브(230)가 제3연통공(123)의 에 위치될 수 있다. 여기서, 상기 제3프로브(230)는 금속재질의 전도성몸체(100)와 접촉됨에 의해 그라운드 목적을 달성할 수 있다. 여기서 상기 제3프로브(230)는 상기 제3연통공(123)에 꽉 끼이게 결합 수용됨으로써 상기 제3프로브(230)의 배럴(203)이 상기 전도성 몸체(100)와 적어도 일부분에서 접촉하게 된다. 이를 위해, 상기 절연필름(140)의 상기 관통공(142)은 제3프로브 배럴(201)의 외경보다 더 크게 마련될 수 있다.As an example, the third probe 230 having an outer diameter of 0.26 mm is accommodated in the third fastening hole 123 of the conductive body 100 having a diameter (inner diameter) of 0.28 mm so that the third probe 230 may be formed. It may be located in the three communicating holes (123). Here, the third probe 230 may achieve the ground purpose by contacting the conductive body 100 of a metal material. Here, the third probe 230 is tightly accommodated in the third communication hole 123 so that the barrel 203 of the third probe 230 comes into contact with the conductive body 100 at least in part. . To this end, the through hole 142 of the insulating film 140 may be provided larger than the outer diameter of the third probe barrel 201.

한편, 상기 상부 이탈방지부(300)는 상기 상부 전도성 몸체(110)의 상측에 배치되어 상기 프로브(200)가 상방향으로 이탈되는 것을 방지한다. 경우에 따라서, 상기 상부 이탈방지부(300)는 상기 상부 전도성 몸체(110)에 형성될 수도 있다. On the other hand, the upper departure prevention part 300 is disposed on the upper side of the upper conductive body 110 to prevent the probe 200 is separated in the upward direction. In some cases, the upper departure preventing part 300 may be formed on the upper conductive body 110.

상기 상부 이탈방지부(300)는 절연성(비전도성) 재질로 마련될 수 있으며,그 일례로서 합성수지 재질로 마련될 수 있다. 상기 상부 이탈방지부(300)는 판형상으로 마련될 수 있으며, 두께방향을 따라 관통된 복수의 제3관통공(310)이 형성될 수 있다. The upper departure prevention part 300 may be provided with an insulating (non-conductive) material, for example, may be provided with a synthetic resin material. The upper departure preventing part 300 may be provided in a plate shape, and a plurality of third through holes 310 penetrated along the thickness direction may be formed.

상기 복수의 제3관통공(310)은 각각 상기 전도성 몸체(100)에 형성된 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)의 위치에 대응되게 형성될 수 있다. 상기 프로브(200)의 상부 플런저(203) 상부가 상기 제3관통공(310)의 상부로 일부 돌출된다.The plurality of third through holes 310 may be formed to correspond to the positions of the first to third communication holes 121, 122, and 123 formed in the conductive body 100, respectively. The upper portion of the upper plunger 203 of the probe 200 protrudes partially to the upper portion of the third through hole 310.

또한, 상기 상부 이탈방지부(300)는 상기 제3관통공(310)에 연통되게 마련되어 상기 제3관통공(310)보다는 직경이 상대적으로 큰 함몰공(320)을 더 포함한다. 서로 다른 직경의 상기 함몰공(320)과 상기 관통공(310)이 만나는 불연속 부분에는 걸림턱(330)이 형성된다. 상기 프로브(200)의 배럴(201) 상단부측이 상기 함몰공(320)에 일부 수용되며 상기 상부플런저(203)는 상기 함몰공(320)과 연통된 상기 제3관통공(310)을 통해 상부 이탈방지부(300) 외부로 돌출되게 된다.In addition, the upper departure preventing part 300 is provided to communicate with the third through hole 310 further includes a recessed hole 320 having a relatively larger diameter than the third through hole 310. A locking step 330 is formed at a discontinuous portion where the recessed hole 320 and the through hole 310 having different diameters meet. The upper end side of the barrel 201 of the probe 200 is partially accommodated in the recessed hole 320 and the upper plunger 203 is upper through the third through hole 310 communicating with the recessed hole 320. The departure prevention part 300 is protruded to the outside.

상기 걸림턱(330)에 의해 상기 프로브 배럴(201)의 상단부가 걸림 결합됨으로써 상기 프로브(200)가 상기 전도성 몸체(100)의 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)에서 상방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.As the upper end of the probe barrel 201 is engaged by the locking step 330, the probe 200 moves upward from the first to third communication holes 121, 122, and 123 of the conductive body 100. It is possible to prevent the departure.

한편, 하부 이탈방지부(400)는 상기 하부 전도성 몸체(130)의 하측에 배치되어 상기 프로브(200)가 하방향으로 이탈되는 것을 방지한다. 경우에 따라서, 상기 하부 이탈방지부(300)는 상기 하부 전도성 몸체(110)에 형성될 수도 있다. On the other hand, the lower departure prevention part 400 is disposed below the lower conductive body 130 to prevent the probe 200 is separated in the downward direction. In some cases, the lower detachment preventing part 300 may be formed on the lower conductive body 110.

상기 하부 이탈방지부(400)는 절연성(비전도성) 재질로 마련될 수 있으며,일례로서 합성수지 재질로 마련될 수 있다. 상기 하부 이탈방지부(400)는 판형상으로 마련될 수 있으며 두께 방향으로 관통된 복수의 제4관통공(402)을 포함할 수 있다. The lower departure prevention part 400 may be provided with an insulating (non-conductive) material, for example, may be provided with a synthetic resin material. The lower departure preventing part 400 may be provided in a plate shape and may include a plurality of fourth through holes 402 penetrated in the thickness direction.

상기 복수의 제4관통공(402)은 상기 하부 전도성 몸체(130)의 상기 복수의 제2관통공(131, 132, 133)에 대응하는 위치에 마련된다.The plurality of fourth through holes 402 are provided at positions corresponding to the plurality of second through holes 131, 132, and 133 of the lower conductive body 130.

또한, 상기 하부 이탈방지부(400)는, 상기 제4관통공(402)에 연통되게 마련되어 상기 제4관통공(402)보다는 직경이 상대적으로 더 큰 함몰공(320)을 더 포함할 수 있다. 상기 함몰공(320)은 상기 하부 전도성 몸체(120) 방향으로 형성된다.In addition, the lower departure prevention part 400 may be provided to communicate with the fourth through hole 402 and may further include a depression hole 320 having a larger diameter than the fourth through hole 402. . The recessed hole 320 is formed in the direction of the lower conductive body 120.

서로 다른 직경의 상기 함몰공(320)과 상기 관통공(310)이 만나는 불연속 부분에는 걸림턱(330)이 형성된다. 상기 프로브(200)의 배럴(201) 하단부측이 상기 함몰공(320)에 일부 수용되며 상기 하부플런저(203)는 상기 함몰공(320)과 연통된 상기 제4관통공(402)을 통해 하부 이탈방지부(400) 외부로 돌출되게 된다. 이에 의해, 상기 하부 플런저(203) 검사 회로기판(미도시)의 접속단자(미도시)에 접속가능한 상ㅌ채가 된다.A locking step 330 is formed at a discontinuous portion where the recessed hole 320 and the through hole 310 having different diameters meet. The lower end of the barrel 201 of the probe 200 is partially accommodated in the recessed hole 320 and the lower plunger 203 is lowered through the fourth through hole 402 communicating with the recessed hole 320. The departure prevention part 400 is protruded to the outside. As a result, the upper plunger 203 can be connected to a connection terminal (not shown) of the inspection circuit board (not shown).

상기 프로브(200)의 배럴(201)의 하측단부가 상기 걸림턱(330)에 의해 걸림결합됨으로써 상기 프로브(200)가 상기 하부 전도성 몸체(120)로부터 하방향으로 이탈되는 것을 방지할 수 있다.The lower end of the barrel 201 of the probe 200 is engaged by the locking step 330 to prevent the probe 200 from being separated downward from the lower conductive body 120.

상기 하부 이탈방지부(400)는 검사용 소켓의 외형 전체를 유지하는 하우징 역할을 하는 측면부(410)와, 상기 측면부(410)와 연결되고 상기 상부 전도성 몸체(100)의 하부에 결합되는 하부 베이스(420)로 구성될 수 있다.The lower detachment prevention part 400 has a side part 410 which serves as a housing for maintaining the overall appearance of the inspection socket, and a lower base connected to the side part 410 and coupled to the lower part of the upper conductive body 100. 420.

물론, 상기 하부 이탈방지부(400)는 도면에 도시된 형상 외에도 다양한 형상으로 변경될 수 있다.Of course, the lower departure prevention part 400 may be changed to various shapes in addition to the shape shown in the figure.

상기와 같이 구성된 검사용 소켓의 제조방법에 대해서 설명하면 다음과 같다. 먼저 상기 상부 전도성몸체(110)와, 절연부재(140)과, 하부전도성몸체(130)를 상호간에 결합하여 다음과 같은 방식으로 전도성 몸체(100)를 완성한다. Referring to the manufacturing method of the test socket configured as described above are as follows. First, the upper conductive body 110, the insulating member 140, and the lower conductive body 130 are coupled to each other to complete the conductive body 100 in the following manner.

여기서, 두께 방향을 따라 복수의 제1관통공(111, 112, 113)이 형성된 상부 전도성 몸체(110)와 두께방향을 따라 관통 형성된 복수의 제2관통공(131, 132, 133)이 형성된 하부 전도성 몸체(130) 사이에 상기 제1관통공(111, 112) 및 제2관통공(131, 132)보다 작은 직경의 복수의 위치정렬공(141)이 형성된 절연성 재질의 절연부재(140)를 삽입한다.Here, the upper conductive body 110 formed with a plurality of first through holes 111, 112, and 113 along the thickness direction and the lower portion formed with a plurality of second through holes 131, 132, and 133 formed through the thickness direction. An insulating member 140 made of an insulating material having a plurality of position alignment holes 141 having a smaller diameter than the first through holes 111 and 112 and the second through holes 131 and 132 is formed between the conductive bodies 130. Insert it.

그 다음으로, 상기 복수의 제1관통공(111, 112), 상기 복수의 위치정렬공(141) 및 상기 복수의 제2관통공(131, 132)이 서로 동축으로 연통되도록 상기 상부 전도성 몸체(110), 상기 하부 전도성 몸체(130) 및 상기 절연부재(140)를 서로 정렬하여 결합한다.Next, the upper conductive body (ie, the plurality of first through holes 111 and 112, the plurality of position alignment holes 141 and the plurality of second through holes 131 and 132 communicate coaxially with each other). 110, the lower conductive body 130 and the insulating member 140 are aligned with each other and combined.

이와 같은 방식으로 전도성 몸체(100)를 완성한 이후, 상기 전도성몸체(100)의 상기 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)과 상기 하부 이탈방지부(400)의 제4관통공(402)가 서로 연통되도록, 상기 완성된 전도성몸체(100)를 상기 하부 이탈방지부(400)에 위치시킨다. After completing the conductive body 100 in such a manner, the first through third communication holes 121, 122, 123 of the conductive body 100 and the fourth through hole of the lower departure preventing part 400 ( The completed conductive body 100 is positioned on the lower departure prevention part 400 so that the 402 communicates with each other.

그 다음에, 상기 전도성 몸체(100)에 형성된 각각의 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)에 각각의 프로브(200)를 삽입한다.Then, each probe 200 is inserted into each of the first through third communication holes 121, 122, and 123 formed in the conductive body 100.

보다 상세하게 설명하면, 제1연통공(121)에는 RF신호를 전달하기 위한 제1프로브(210)를 삽입하고, 제2연통공(122)에는 전원을 인가하기 위한 파워전달용 제2프로브(220)를 삽입하며, 제3연통공(123)에는 접지용 제3프로브(230)를 삽입한다. In more detail, a first probe 210 for inserting an RF signal is inserted into the first communication hole 121, and a second probe for power transmission for applying power to the second communication hole 122 ( 220 is inserted, and the third probe 230 for grounding is inserted into the third communication hole 123.

이때, 상기 프로브(200)는 프로브 배럴(201)의 하단부가 상기 하부 이탈방지부(400)의 함몰공(320)에 수용되며 상기 하부 플런저(204)가 하부이탈방지부(400)의 관통공(310)을 통하여 하측으로 돌출된다. 여기서, 상기 각각의 프로브(200)는 상기 절연부재(140)의 위치정렬공(141) 및 관통공(142)을 관통하며, 상기 위치정렬공(141)이 상기 제1프로브(210) 및 상기 제2프로브(220)의 배럴(201) 외주면을 감쌈으로써 각각의 프로브(210, 210)를 제1 및 제2연통공(121, 122)의 중심축에 동축으로 정렬시킬 수 있다. 여기서, 상기 제3프로브(230)는 그 외경과 상기 제3연통공(123) 간의 차이가 별로 없어 상기 제3프로브(230)가 상기 제3연통공(123)의 중심선에 동축으로 유지될 수 있다.At this time, the probe 200 is the lower end of the probe barrel 201 is accommodated in the depression hole 320 of the lower departure prevention unit 400 and the lower plunger 204 is a through hole of the lower departure prevention unit 400 It protrudes downward through 310. Here, each of the probes 200 passes through the alignment hole 141 and the through hole 142 of the insulating member 140, the alignment hole 141 is the first probe 210 and the By wrapping the outer circumferential surface of the barrel 201 of the second probe 220, the respective probes 210 and 210 may be coaxially aligned with the central axes of the first and second communication holes 121 and 122. In this case, the third probe 230 may have a difference between the outer diameter and the third communication hole 123 so that the third probe 230 may be coaxially maintained at the center line of the third communication hole 123. have.

상술한 바와 같이 복수의 프로브(200)를 상기 전도성 몸체(100)및 상기 하부 이탈방지부(400)에 삽입한 다음, 상기 전도성 몸체(100)의 상부에 상부 이탈방지부(300)를 결합한다. 이때, 상기 각각의 프로브(200)가 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)의 중심축에 동축으로 직립된 형태로 결합되어 있으므로, 상기 프로브(200)의 상부플런저(203)가 상기 상부 (300)의 제3관통공(310)에 용이하게 삽입될 수 있다. 이에 따라, 상기 상부 이탈방지부(300) 가 상기 전도성 몸체(100)에 용이하게 결합될 수 있다. As described above, the plurality of probes 200 are inserted into the conductive body 100 and the lower separation preventing part 400, and then the upper separation preventing part 300 is coupled to the upper portion of the conductive body 100. . At this time, since each of the probes 200 are coupled in a form coaxially upright to the central axis of the first to third communication holes (121, 122, 123), the upper plunger 203 of the probe 200 It may be easily inserted into the third through hole 310 of the upper part 300. Accordingly, the upper departure preventing part 300 may be easily coupled to the conductive body 100.

만약, 상기 프로브(200)가 중심축상에 직립되지 않은 상태에서 상부 이탈방지부(300)를 결합한다고 가정하면, 상기 프로브(200)의 상부플런저(203)와 상기 상부 플런저(300)의 제3관통공(310)이 서로 어긋난 위치에 위치되하여, 상부플런저(203)를 상기 제3관통공(310)에 삽입하기가 곤란해진다. 이는 상기 프로브(200) 개수가 많아지면 그 곤란성은 더욱 더 커질 수 밖에 없다.If it is assumed that the probe 200 is coupled to the upper release preventing part 300 in a state not upright on the central axis, the third plunger of the upper plunger 203 and the upper plunger 300 of the probe 200 Since the through holes 310 are located at positions shifted from each other, it is difficult to insert the upper plunger 203 into the third through holes 310. This is difficult as the number of the probe 200 increases the difficulty even more.

따라서, 상부 이탈방지부(300)를 상기 복수의 프로브(200)가 삽입된 상태의 상기 전도성 몸체(100)의 상측에 용이하게 결합시키기 위해서는 프로브(200)를 제1 내지 제3연통공(121, 122, 123)의 중심에 동축으로 유지시키는 것이 중요하다. 본 발명에서는 절연부재(140)을 이용하여 동축으로 유지하기가 곤란한 제1 및 제2프로브(210, 220)를 제1 내지 제2연통공(121, 122)의 중심에 동축으로 위치시킬 수 있다.Accordingly, in order to easily couple the upper departure preventing part 300 to the upper side of the conductive body 100 in the state where the plurality of probes 200 are inserted, the probes 200 may be first to third communication holes 121. It is important to keep it coaxial in the center of the center. In the present invention, the first and second probes 210 and 220, which are difficult to maintain coaxially using the insulating member 140, may be coaxially positioned at the centers of the first to second communication holes 121 and 122. .

상기와 같이, 상부 이탈방지부(300)가 결합되면, 상기 프로브(200)는 상부 및 하부플런저(203, 204)가 각각 상기 상부 이탈방지부(300) 및 상기 하부 이탈방지부(400)를 관통하여 외부로 돌출된 상태로, 상기 걸림턱(330)에 의해 상하방향으로 이탈하지 못하게 된다.As described above, when the upper departure prevention portion 300 is coupled, the probe 200 is the upper and lower plungers 203, 204 respectively the upper departure prevention portion 300 and the lower departure prevention portion 400 In a state of penetrating through the outside, it can not be separated in the vertical direction by the locking jaw 330.

이상에서는, 상기 상부 이탈방지부(300)보다 상기 하부 이탈방지부(400)를 상기 전도성 몸체(100)에 먼저 결합한 상태에서 상기 프로브(200)를 삽입하는 것으로 설명하였으나, 상부 이탈방지부(300)를 먼저 결합한 상태에서 상기 프로브(200)를 삽입하고 그 다음에 하부 이탈 방지부(400)를 나중에 결합하는 방식으로도 상기 검사용 소켓을 제조할 수 있음은 물론이다.In the above, it was described as inserting the probe 200 in a state in which the lower departure prevention part 400 is coupled to the conductive body 100 first than the upper departure prevention part 300, but the upper departure prevention part 300 ), The test socket can be manufactured by inserting the probe 200 in a state where the first coupling is performed first, and then combining the lower departure preventing unit 400 later.

상기의 검사용 소켓을 이용하여 모듈에 대한 전기적 검사가 이루어지는 바, 상기 소켓에 수용된 프로브를 통하여 모듈에 대한 전기적 신호 등이 하측으로 전달되어 모듈의 이상 유무를 검사하게 되는 것이다. When the electrical test is performed on the module by using the test socket, the electrical signal for the module is transmitted to the lower side through the probe accommodated in the socket to check whether the module is abnormal.

100 : 전도성몸체 110 : 상부 전도성몸체
111, 112, 113: 제1관통공 121 : 제1연통공
122 : 제2연통공 123 : 제3연통공
130 : 하부 전도성몸체 131, 132, 133: 제2관통공
140 : 절연부재
141 : 위치정렬공 200 : 프로브
201 : 배럴 202 : 탄성스프링
203 : 상부플런저 204 : 하부플런저
210 : 제1프로브 220 : 제2프로브
230 : 제3프로브 300 : 상부 이탈방지부
310 : 제3관통공 320 : 함몰공
330 : 걸림턱 400 : 하부이탈방지부
410 : 측면부 420 : 하부 베이스100: conductive body 110: upper conductive body
111, 112, 113: first through hole 121: first through hole
122: second communication hole 123: third communication hole
130: lower conductive body 131, 132, 133: second through hole
140: insulation member
141: alignment hole 200: probe
201: barrel 202: elastic spring
203: upper plunger 204: lower plunger
210: first probe 220: second probe
230: third probe 300: upper separation prevention portion
310: third through hole 320: recessed hole
330: locking jaw 400: lower departure prevention part
410: side portion 420: lower base

Claims

두께 방향을 따라 복수의 제1관통공이 형성된 상부 전도성 몸체와;
상기 상부 전도성 몸체의 하부에 배치되고, 상기 복수의 제1관통공에 각각 연통되도록 두께방향을 따라 관통 형성된 복수의 제2관통공이 형성된 하부 전도성 몸체와;
상기 상부 전도성 몸체와 상기 하부 전도성 몸체 사이에 배치되며 상기 제1 및 제2관통공과 연통되며 상기 제1 및 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 위치정렬공이 형성된 절연성 재질의 절연부재와;
피검사물의 접속단자에 접속 가능한 상부 플런저와, 상기 피검사물을 검사하기 위한 검사용 회로기판의 접속단자에 접속 가능한 하부 플런저와, 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저가 각각 상하 돌출되도록 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저를 수용하며 상기 제1관통공 및 상기 제2관통공 보다 작은 직경의배럴을 포함하는 복수의 프로브와;
상기 상부 전도성 몸체의 상측에 배치되어 상기 상부 플런저가 상방향으로 이탈되는 것을 방지하는 상부 이탈방지부와;
상기 하부 전도성 몸체의 하측에 배치되어 상기 하부 플런저가 하방향으로 이탈되는 것을 방지하는 하부 이탈방지부;를 포함하며,
상기 복수의 프로브는 상기 절연부재의 상기 복수의 위치정렬공에 의해 상기 상부 전도성 몸체 및 하부 전도성 몸체의 상기 제1 및 제2관통공 내에서 동축으로 정렬된 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.An upper conductive body having a plurality of first through holes formed along a thickness direction thereof;
A lower conductive body disposed under the upper conductive body and having a plurality of second through holes formed in a thickness direction so as to communicate with the plurality of first through holes, respectively;
An insulating member made of an insulating material disposed between the upper conductive body and the lower conductive body and communicating with the first and second through holes and having a plurality of position alignment holes having a diameter smaller than that of the first and second through holes;
An upper plunger connectable to a connection terminal of an object to be inspected, a lower plunger connectable to a connection terminal of an inspection circuit board for inspecting the inspected object, the upper plunger and the lower plunger such that the upper plunger and the lower plunger protrude upward and downward, respectively; A plurality of probes accommodating a lower plunger and including a barrel having a diameter smaller than the first through holes and the second through holes;
An upper detachment prevention part disposed on an upper side of the upper conductive body to prevent the upper plunger from escaping upward;
It is disposed on the lower side of the lower conductive body to prevent the lower plunger to prevent the lower plunger is separated downward; includes;
And the plurality of probes are coaxially aligned within the first and second through holes of the upper conductive body and the lower conductive body by the plurality of alignment holes of the insulating member.

제1항에 있어서,
상기 상부 이탈방지부는,
각각, 상기 상부 전도성 몸체의 상기 복수의 제1관통공에 연통되며 상기 복수의 제1관통공보다 작은 직경의 복수의 제3관통공이 형성된 상부 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method of claim 1,
The upper departure prevention part,
And an upper cover communicating with the plurality of first through holes of the upper conductive body and having a plurality of third through holes of a diameter smaller than the plurality of first through holes, respectively.

제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 하부 이탈방지부는,
각각, 상기 하부 전도성 몸체의 상기 복수의 제2관통공에 연통되며 상기 복수의 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 제4관통공이 형성된 하부 커버를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓.The method according to claim 1 or 2,
The lower departure prevention part,
And a lower cover communicating with the plurality of second through holes of the lower conductive body and having a plurality of fourth through holes having a diameter smaller than the plurality of second through holes, respectively.

제1항 또는 제2항에 있어서,
상기 절연부재는 필름인 것을 특징으로 하는 검사용 소켓. The method according to claim 1 or 2,
Inspection socket, characterized in that the insulating member is a film.

검사용 소켓의 제조방법에 있어서,
두께 방향을 따라 복수의 제1관통공이 형성된 상부 전도성 몸체와 두께방향을 따라 관통 형성된 복수의 제2관통공이 형성된 하부 전도성 몸체 사이에 상기 제1 및 제2관통공보다 작은 직경의 복수의 위치정렬공이 형성된 절연성 재질의 절연부재를 삽입하는 단계;
상기 복수의 제1관통공, 상기 복수의 위치정렬공 및 상기 복수의 제2관통공이 서로 동축으로 연통되도록 상기 상부 전도성 몸체, 상기 하부 전도성 몸체 및 상기 절연부재를 정렬시키는 단계;
상기 복수의 제2관통공에 연통되는 복수의 제4관통공 및 상기 복수의 제4관통공에 각각 연통되는 복수의 걸림턱을 구비한 상기 하부 이탈방지부를 상기 하부 전도성 몸체의 하측에 설치하는 단계;
피검사물의 접속단자에 접속 가능한 상부 플런저와, 상기 피검사물을 검사하기 위한 검사용 회로기판의 접속단자에 접속 가능한 하부 플런저와, 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저가 각각 상하방향으로 돌출되도록 상기 상부 플런저 및 상기 하부 플런저를 수용하는 배럴을 포함하는 복수의 프로브를, 서로 연통되는 상기 복수의 제1관통공, 상기 복수의 위치정렬공, 상기 복수의 제2관통공 및 상기 복수의 제4관통공에 각각 삽입하는 단계; 및
상기 복수의 제1관통공에 연통되는 복수의 제3관통공 및 상기 복수의 제3관통공에 각각 연통되는 복수의 걸림턱을 구비한 상기 상부 이탈방지부를, 상기 상부 플런저가 상기 제3관통공 외부로 돌출되도록 상기 상부 이탈방지부를 상기 상부 전도성 몸체의 상측에 설치하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 검사용 소켓의제조방법.In the manufacturing method of the inspection socket,
A plurality of position alignment holes having a diameter smaller than the first and second through holes is disposed between the upper conductive body having a plurality of first through holes formed in the thickness direction and the lower conductive body having a plurality of second through holes formed through the thickness direction. Inserting an insulating member formed of an insulating material;
Aligning the upper conductive body, the lower conductive body and the insulating member such that the plurality of first through holes, the plurality of position alignment holes and the plurality of second through holes communicate coaxially with each other;
Installing the lower departure preventing part having a plurality of fourth through holes communicated to the plurality of second through holes and a plurality of engaging jaws communicating with the plurality of fourth through holes, respectively, below the lower conductive body; ;
An upper plunger connectable to a connection terminal of an object to be inspected, a lower plunger connectable to a connection terminal of an inspection circuit board for inspecting the inspected object, and the upper plunger such that the upper plunger and the lower plunger protrude upward and downward, respectively And a plurality of probes including a barrel for accommodating the lower plunger into the plurality of first through holes, the plurality of position alignment holes, the plurality of second through holes, and the plurality of fourth through holes communicated with each other. Inserting each; And
The upper plunger having the plurality of third through holes communicated to the plurality of first through holes and a plurality of engaging jaws communicating with the plurality of third through holes, respectively, wherein the upper plunger is connected to the third through holes And installing the upper departure preventing part on an upper side of the upper conductive body so as to protrude to the outside.