KR101095512B1

KR101095512B1 - Chucking tray for oled manufacturing

Info

Publication number: KR101095512B1
Application number: KR1020090105144A
Authority: KR
Inventors: 최유찬; 김용규; 강병두; 박민호; 정태원; 김영민
Original assignee: 주식회사 에스에프에이
Priority date: 2009-11-02
Filing date: 2009-11-02
Publication date: 2011-12-19
Also published as: KR20110048372A

Abstract

유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이가 개시된다. 본 발명의 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이는, 트레이 본체; 전사층이 형성된 도너 필름(donor film)을 처킹하는 클램핑 유닛; 및 트레이 본체와 클램핑 유닛에 각각 결합되어 도너 필름을 텐션시키기 위하여 클램핑 유닛과 트레이 본체 간의 간격을 조절하는 텐션 유닛을 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 유기전계발광표시장치의 제작에 있어서 유기물의 정확한 전사를 수행할 수 있도록 도너 기판과 대상 기판 각각의 얼라인이 용이하게 될 뿐만 아니라 도너 필름의 구겨짐 등 변형도 저지할 수 있어 전사가 원활하게 수행될 수 있다.A chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device is disclosed. The chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device of the present invention includes a tray main body; A clamping unit for chucking a donor film on which a transfer layer is formed; And a tension unit coupled to the tray main body and the clamping unit, respectively, to adjust a distance between the clamping unit and the tray main body to tension the donor film. According to the present invention, in the fabrication of the organic light emitting display device, not only the alignment of the donor substrate and the target substrate can be easily aligned, but also the deformation of the donor film can be prevented so as to perform the accurate transfer of the organic material. Can be performed smoothly.

유기전계발광표시장치, 도너 필름, 도너 글라스, 얼라인, 처킹 Organic light emitting display, donor film, donor glass, alignment, chucking

Description

유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이{CHUCKING TRAY FOR OLED MANUFACTURING}CHUCKING TRAY FOR OLED MANUFACTURING}

본 발명은, 유기전계발광표시장치의 제작에 있어서 유기물의 정확한 전사를 수행할 수 있도록 도너 기판과 대상 기판 각각의 얼라인이 용이하게 될 뿐만 아니라 도너 필름의 구겨짐 등 변형도 저지할 수 있어 전사가 원활하게 수행될 수 있는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이에 관한 것이다.According to the present invention, the donor substrate and the target substrate can be easily aligned in order to precisely transfer the organic material in the fabrication of the organic light emitting display device, and the deformation of the donor film can be prevented as well. The present invention relates to a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device which can be smoothly performed.

유기전계발광표시장치(OLED, Organic Light Emitting Display)는 응답속도가 1ms 이하로서 고속의 응답속도를 가지며, 소비전력이 낮고, 자체 발광이므로 넓은 시야각을 제공하여 영상 표시 매체로서 장점이 있다. 또한, 저온 제작이 가능하고 기존의 반도체 공정 기술과 유사한 방식으로 제조되며 제조 공정이 간단하므로 향후 차세대 평판표시장치로 주목받고 있다.An organic light emitting display (OLED) has a high response time with a response speed of 1 ms or less, low power consumption, and self-luminous, thereby providing a wide viewing angle, which is an advantage as an image display medium. In addition, low-temperature fabrication is possible, manufactured in a manner similar to the existing semiconductor process technology, and the manufacturing process is simple, attracting attention as a next-generation flat panel display device in the future.

유기전계발광표시장치(또는 유기전계발광표시소자)는 제조 공정에 따라 습식공정을 사용하는 고분자형 소자와 증착공정을 사용하는 저분자형 소자로 크게 나눌 수 있다. 고분자형 유기전계발광소자는 화소 전극을 포함한 기판 상에 잉크젯 프린팅 방법이나 스핀 코팅 방법을 사용하여 발광층을 포함한 유기층을 적층하여 제작 하는 반면, 저분자형 유기전계발광소자는 화소전극을 포함한 기판 상에 증착 공정에 의해 발광층을 포함한 유기층을 적층하여 제작된다.An organic light emitting display device (or an organic light emitting display device) may be classified into a high molecular type device using a wet process and a low molecular type device using a deposition process according to a manufacturing process. Polymer type organic light emitting diodes are fabricated by laminating organic layers including light emitting layers by inkjet printing or spin coating on substrates including pixel electrodes, while low molecular weight organic electroluminescent devices are deposited on substrates including pixel electrodes. It manufactures by laminating | stacking the organic layer containing a light emitting layer by a process.

이러한 발광층을 포함한 유기층을 형성하는 방법은 여러 가지가 있으나 그 중 열전사를 이용한 방법인 레이저 열전사(LITI:Laser Induced Thermal Image)법이 있다.There are various methods of forming the organic layer including the light emitting layer, but there is a laser induced thermal image (LITI) method, which is a method using thermal transfer.

레이저 열전사법은, 레이저인 광원이 도너 기판의 광-열 변환층에 흡수되어 열에너지로 변환되고, 열에너지에 의해 도너 기판의 전사층이 소자 기판 즉, 대상 기판 상으로 전사되면서 패턴을 형성하는 방법을 말한다.The laser thermal transfer method is a method in which a light source, which is a laser, is absorbed by a light-to-heat conversion layer of a donor substrate and converted into thermal energy, and a transfer layer of the donor substrate is transferred onto an element substrate, that is, a target substrate, by thermal energy to form a pattern. Say.

이 방법에 의하면, 전사층이 형성된 도너 기판과 대상 기판의 전사층이 도포될 영역을 정확한 위치에 정렬시키고 나서 대상 기판 상에 도너 기판 예를 들어, 도너 필름(donor film)을 라미네이팅(laminating)시킨 후, 도너 필름에 광원을 조사함으로써 전사가 이루어진다. 그 후 전사된 물질을 고형화, 고착화시키기 위한 열처리 공정, 반전 및 이송 공정이 진행된다.According to this method, the donor substrate on which the transfer layer is formed and the region to which the transfer layer of the target substrate is to be applied are aligned at the correct position, and then a donor substrate, for example, a donor film is laminated on the target substrate. Then, transfer is performed by irradiating a light source to a donor film. Then a heat treatment process for solidifying and fixing the transferred material, The reversal and transfer process is in progress.

그런데, 이와 같은 공정이 진행되는 동안에 도너 기판과 대상 기판 간의 위치 정렬이 원활히 될 수 있도록 각 기판을 정확한 위치에 배치시키는 것이 중요하다. 왜냐하면 유기물 등이 도포될 위치와 도너 기판의 전사층이 서로 마주 보도록 배치되지 않으면 정확한 정렬이 어려워지고 이에 의해 정확한 유기물의 전사 등이 이루어지지 않기 때문이다.By the way, it is important to arrange each board | substrate in the correct position so that the alignment of a donor board | substrate and a target board | substrate may become smooth during such a process. This is because if the position where the organic material and the like are to be applied and the transfer layer of the donor substrate are not disposed to face each other, accurate alignment becomes difficult and thereby the accurate organic material is not transferred.

한편, 유기막이 도포된 전사층이 형성된 도너 필름은 글라스 재질 등의 재질에 비해 구겨짐 또는 접히는 문제가 있다. 만약 도너 필름이 구겨지거나 접히게 되 면 도너 필름이 대상 기판 상의 정확한 위치에 배치된다 하더라도 도너 필름이 대상 기판에 정확히 밀착되지 않게 되고, 이에 의하여 유기전계발광표시장치의 제작에 있어 전사의 질이 저하되게 되고 결과적으로 유기전계발광표시장치의 제작 수율이 떨어지는 문제가 있다.On the other hand, a donor film having a transfer layer coated with an organic film has a problem of being wrinkled or folded compared to a material such as glass. If the donor film is wrinkled or folded, even if the donor film is placed at the correct position on the target substrate, the donor film may not be closely adhered to the target substrate, thereby degrading the quality of the transfer in fabricating the organic light emitting display device. As a result, the manufacturing yield of the organic light emitting display device is lowered.

본 발명의 목적은, 유기전계발광표시장치의 제작에 있어서 유기물의 정확한 전사를 수행할 수 있도록 도너 기판과 대상 기판 각각의 얼라인이 용이하게 될 뿐만 아니라 도너 필름의 구겨짐 등 변형도 저지할 수 있어 전사가 원활하게 수행될 수 있는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이를 제공하는 것이다.An object of the present invention is to facilitate the alignment of the donor substrate and the target substrate in order to perform the accurate transfer of the organic material in the fabrication of the organic light emitting display device, as well as to prevent deformation such as wrinkles of the donor film. The present invention provides a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device capable of smoothly transferring.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 트레이 본체; 전사층이 형성된 도너 필름(donor film)을 처킹하는 클램핑 유닛; 및 상기 트레이 본체와 상기 클램핑 유닛에 각각 결합되어 상기 도너 필름을 텐션시키기 위하여 상기 클램핑 유닛과 상기 트레이 본체 간의 간격을 조절하는 텐션 유닛을 포함하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이에 의해 달성된다.The above object, according to the present invention, the tray body; A clamping unit for chucking a donor film on which a transfer layer is formed; And a tension unit coupled to the tray main body and the clamping unit, respectively, to adjust the distance between the clamping unit and the tray main body to tension the donor film.

상기 클램핑 유닛은, 상기 트레이 본체에 마련되는 클램프 가이드에 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 클램프 브라켓; 및 상기 클램프 브라켓에 결합되되, 상기 클램프 브라켓과 사이에 개재되는 상기 도너 필름을 파지하는 필름 클램프를 포함할 수 있다.The clamping unit may include a clamp bracket slidably coupled to a clamp guide provided on the tray body; And coupled to the clamp bracket, it may include a film clamp for holding the donor film interposed between the clamp bracket.

상기 클램핑 유닛은, 상기 트레이 본체에 마련되는 클램프 가이드에 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 클램프 브라켓; 및 상기 클램프 브라켓에 상대회동 가능하게 결합되어, 상기 클램프 브라켓과 사이에 상기 도너 필름이 개재되어 상기 도너 필름을 파지하는 필름 클램프를 포함할 수 있다.The clamping unit may include a clamp bracket slidably coupled to a clamp guide provided on the tray body; And a film clamp coupled to the clamp bracket so as to be relatively rotatable, the donor film being held between the clamp bracket and the donor film.

상기 텐션 유닛은, 상기 트레이 본체와 상기 클램핑 유닛을 결합하는 텐션볼트; 및 상기 트레이 본체와 상기 텐션볼트 사이에 개재되는 텐션스프링을 포함할 수 있다.The tension unit may include a tension bolt for coupling the tray main body and the clamping unit; And a tension spring interposed between the tray body and the tension bolt.

상기 필름 클램프와 상기 클램프 브라켓이 조립될수록 상기 도너 필름이 펴지도록 상기 필름 클램프의 일측 단부에는 나이프 형상의 텐션 나이프부가 마련될 수 있다.As the film clamp and the clamp bracket are assembled, a knife-shaped tension knife part may be provided at one end of the film clamp to expand the donor film.

트레이 몸체; 전사층이 형성된 도너 글라스(donor glass)를 클램핑하는 클램핑 유닛; 및 상기 트레이 본체와 상기 클램핑 유닛에 각각 결합되어 상기 클램핑 유닛과 상기 트레이 본체 간의 간격을 조절하는 텐션 유닛을 포함할 수 있다.Tray body; A clamping unit for clamping donor glass on which a transfer layer is formed; And a tension unit coupled to the tray main body and the clamping unit, respectively, to adjust a gap between the clamping unit and the tray main body.

상기 클램핑 유닛은, 상기 트레이 본체에 마련되는 클램프 가이드에 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 클램프 브라켓; 및 상기 클램프 브라켓에 결합되어, 상기 도너 글라스를 지지하는 글라스 클램프를 포함할 수 있다.The clamping unit may include a clamp bracket slidably coupled to a clamp guide provided on the tray body; And a glass clamp coupled to the clamp bracket to support the donor glass.

상기 도너 글라스의 측부에 인접한 상기 글라스 클램프의 일측에는 상기 도 너 글라스의 상하방향의 이동을 저지하도록 상기 도너 글라스를 지지하는 글라스 서포터가 마련될 수 있다.One side of the glass clamp adjacent to the side of the donor glass to support the donor glass to prevent the vertical movement of the donor glass A glass supporter may be provided.

트레이 본체; 및 상기 트레이 본체에 각각 결합되어 글라스(glass)를 일방향으로 가압하는 가압 유닛을 포함할 수 있다.Tray body; And a pressurizing unit coupled to the tray main body to press the glass in one direction.

상기 가압 유닛은, 상기 트레이 본체에 마련되는 가이드에 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 푸셔; 및 상기 푸셔에 결합되어 상기 푸셔를 가압하는 볼 플런져를 포함할 수 있다.The pressing unit may include a pusher slidably coupled to a guide provided in the tray main body; And a ball plunger coupled to the pusher to pressurize the pusher.

상기 가압 유닛에 상호 대응되는 상기 트레이 본체의 반대편에는 각각 돌출턱이 마련되며, 상기 가압 유닛은 2축 방향으로 각각 1개씩 마련될 수 있다.Protruding jaws may be provided on opposite sides of the tray main body corresponding to the pressing unit, and each of the pressing units may be provided in a two-axis direction.

상기 트레이 본체에는, 상기 트레이 본체가 적층될 때 상호간 밀착되도록 표면으로부터 함몰형성되는 도피홈이 더 마련될 수 있다.The tray body may be further provided with an escape groove recessed from the surface so that the tray body is in close contact with each other when the tray body is stacked.

상기 트레이 본체의 중앙 영역에는, 상기 글라스가 안착될 때 상기 트레이 본체의 두께보다 상기 글라스가 상대적으로 돌출될 수 있도록 함몰 형성되는 글라스 안착부가 형성될 수 있다.In the central region of the tray body, a glass seating portion may be formed to be recessed so that the glass may protrude relatively than the thickness of the tray body when the glass is seated.

트레이 본체; 및 상기 트레이 본체에 마련되는 클램프 가이드에 슬라이딩 이동가능하게 결합되며, 필름 프레스용 글라스가 지지되는 글라스 홀더부; 상기 트레이 본체와 상기 글라스 홀더부에 각각 결합되어 상기 글라스 홀더를 가압하는 가압 유닛; 전사층이 형성된 도너 필름(donor film)을 처킹하는 필름 홀더부; 및 상기 트레이 본체와 상기 필름 홀더부에 각각 결합되어 상기 도너 필름에 텐션을 가하는 텐션 유닛을 포함할 수 있다.Tray body; And a glass holder unit slidably coupled to the clamp guide provided on the tray body and supporting the glass for film press. A pressurizing unit coupled to the tray main body and the glass holder part to pressurize the glass holder; A film holder portion for chucking a donor film having a transfer layer formed thereon; And a tension unit coupled to the tray body and the film holder, respectively, to apply tension to the donor film.

상기 글라스 홀더부는, 글라스 홀더몸체; 및 상기 글라스 홀더의 측부에 형성되되, 상기 필름 프레스용 글라스의 상하방향의 이동을 제한하도록 상기 필름 프레스용 글라스의 소정 영역을 지지하는 글라스 서포터를 포함할 수 있다.The glass holder portion, the glass holder body; And a side portion of the glass holder configured to support a predetermined region of the glass for film pressing so as to limit the vertical movement of the glass for film pressing. It may include a glass supporter.

상기 가압 유닛은, 상기 트레이 본체와 상기 글라스 홀더부를 결합하는 가압볼트; 및 상기 트레이 본체와 상기 가압볼트 사이에 개재되는 글라스 홀더용 스프링을 포함할 수 있다.The pressing unit, the pressing bolt for coupling the tray body and the glass holder; And a spring for a glass holder interposed between the tray body and the pressure bolt.

상기 필름 홀더부는, 상기 트레이 본체에 마련되는 홀더 가이드에 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 필름 홀더몸체; 및 상기 필름 홀더몸체에 형성된 관통 개구에 배치되는 판스프링을 포함할 수 있다.The film holder unit, the film holder body which is slidably coupled to the holder guide provided in the tray body; And it may include a leaf spring disposed in the through opening formed in the film holder body.

상기 텐션 유닛은, 상기 트레이 본체와 상기 필름 홀더몸체 사이에 개재되는 필름 홀더용 스프링일 수 있다.The tension unit may be a film holder spring interposed between the tray body and the film holder body.

본 발명에 따르면, 유기전계발광표시장치의 제작에 있어서 유기물의 정확한 전사를 수행할 수 있도록 도너 기판과 대상 기판 각각의 얼라인이 용이하게 될 뿐만 아니라 도너 필름의 구겨짐 등 변형도 저지할 수 있어 전사가 원활하게 수행될 수 있다.According to the present invention, in the fabrication of the organic light emitting display device, not only the alignment of the donor substrate and the target substrate can be easily aligned, but also the deformation of the donor film can be prevented so as to perform accurate transfer of the organic material. Can be performed smoothly.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이의 사시도이고, 도 2는 도 1의 A부분의 확대 사시도이며, 도 3은 도 1의 III-III라인의 단면도이다.1 is a perspective view of a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention, FIG. 2 is an enlarged perspective view of a portion A of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the III-III line of FIG. 1. .

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(100)는, 트레이 본체(101)와, 도너 필름(10, donor film)을 처킹하는 클램핑 유닛(110)과, 트레이 본체(101)와 클램핑 유닛(110)에 각각 결합되어 도너 필름(10)을 텐션시키기 위하여 클램핑 유닛(110)과 트레이 본체(101) 간의 간격을 조절하는 텐션 유닛(120)을 포함한다.As shown in these drawings, the chucking tray 100 for manufacturing an organic light emitting display device according to the present embodiment includes a tray main body 101 and a clamping unit 110 chucking a donor film 10. The tension unit 120 is coupled to the tray main body 101 and the clamping unit 110 to adjust the distance between the clamping unit 110 and the tray main body 101 to tension the donor film 10.

먼저, 유기전계발광표시장치의 제작 방식에 대해 부연하여 설명하면 다음과 같다.First, the manufacturing method of the organic light emitting display device will be described in detail as follows.

유기전계발광표시장치는 차세대 발광표시소자로서, 발광층을 포함한 유기층을 형성하는 방법은 여러 가지가 있으나 대표적인 방법인 레이저 열전사법(LITI:Laser Induced Thermal Image)을 개략적으로 설명한다.The organic light emitting display device is a next generation light emitting display device, and there are various methods of forming an organic layer including a light emitting layer. However, the laser induced thermal image (LITI) which is a representative method will be described.

레이저 열전사법은 레이저인 광원을 도너 기판의 광-열 변환층에 투과시켜 도너 기판의 전사층이 대상 기판 상으로 전사되면서 패턴이 형성되는 방법을 말한다.The laser thermal transfer method refers to a method in which a pattern is formed by transmitting a light source, which is a laser, through a light-to-heat conversion layer of a donor substrate, while the transfer layer of the donor substrate is transferred onto a target substrate.

도너 기판은 일반적으로 베이스 기판 상에 다수 개의 층이 형성된 구조로써, 베이스 기판과, 베이스 기판 상에 위치한 광-열 변환층, 베이스 기판과 광-열 변환층 사이에 위치한 전사층으로 이루어진다. 이러한 도너 기판은 도너 필름(donor film) 또는 도너 글라스(donor glass)가 될 수 있다. 본 실시예에서는 도너 기판을 도너 필름(10)으로, 대상 기판을 글라스(30)로 한정하여 설명하기로 한다.The donor substrate generally has a structure in which a plurality of layers are formed on the base substrate, and includes a base substrate, a light-to-heat conversion layer positioned on the base substrate, and a transfer layer located between the base substrate and the light-to-heat conversion layer. Such donor substrates may be donor films or donor glass. In the present exemplary embodiment, the donor substrate is limited to the donor film 10 and the target substrate is limited to the glass 30.

광-열 변환층은 레이저 조사장치에서 조사된 레이저를 열에너지로 변환시키는 역할을 수행하고, 열에너지는 전사층과 광-열 변환층 사이의 접착력을 변화시킴으로써 전사층을 하부 대상 기판 상으로 전사하는 역할을 한다.The light-to-heat conversion layer serves to convert the laser irradiated from the laser irradiation device into thermal energy, and the heat energy transfers the transfer layer onto the lower target substrate by changing the adhesion between the transfer layer and the light-to-heat conversion layer. Do it.

전사 공정은 일반적으로 진공 챔버 내에서 이루어진다. 진공 챔버 내에는 스테이지가 마련되고, 스테이지 상에는 대상 기판과, 대상 기판의 상부에 도너 필름(10)이 위치한다. 도너 필름(10) 상부에는 가압을 하기 위한 라미네이팅(laminating) 장치가 위치한다.The transfer process generally takes place in a vacuum chamber. A stage is provided in the vacuum chamber, and a donor film 10 is positioned on the target substrate and on the target substrate. A laminating device for pressurization is positioned on the donor film 10.

대상 기판 상에 도너 필름(10)을 얼라인한 후 고정시킨다. 도너 필름(10)은 대상 기판보다 큰 면적이 바람직하다.The donor film 10 is aligned on the target substrate and then fixed. The donor film 10 preferably has a larger area than the target substrate.

진공 챔버 내에서 도너 필름(10) 상에 가압을 하는 라미네이팅 공정이 전사 공정보다 먼저 수행되는데, 라미네이팅 장비는 일반적으로 롤러 또는 기체 가압 등을 사용하여 가압하게 된다.The laminating process of pressurizing the donor film 10 in the vacuum chamber is performed before the transfer process, and the laminating equipment is generally pressurized using a roller or gas pressurization.

이와 같이 진공 분위기 하에 가압하는 라미네이팅 작업을 수행함으로써, 대상 기판 상에 외부의 파티클 유입이 억제될 수 있고 유기전계발광표시장치의 발광 영역의 스팟이나 화소 불량과 같은 결함이 방지될 수 있게 된다.By performing the laminating operation to pressurize in a vacuum atmosphere as described above, the inflow of particles from the outside on the target substrate can be suppressed and defects such as spots or pixel defects in the light emitting regions of the organic light emitting display device can be prevented.

라미네이팅 공정이 수행된 후, 패터닝 하고자하는 영역에 레이저를 조사하는 전사 공정이 수행된다. 레이저가 조사된 영역은, 도너 필름(10) 상의 전사층 자체의 접착력이 저하되게 되고, 레이저가 조사된 영역의 전사층은 박리되어 대상 기판 상에 전사층이 패터닝된다.After the laminating process is performed, a transfer process of irradiating a laser to a region to be patterned is performed. In the region irradiated with the laser, the adhesive force of the transfer layer itself on the donor film 10 is lowered, the transfer layer in the region irradiated with the laser is peeled off, and the transfer layer is patterned on the target substrate.

패터닝 과정을 거친 후, 하부에 배치된 대상 기판을 도너 필름(10)으로부터 제거하고, 도너 필름(10)을 제거한 대상 기판을 다른 스테이지로 이동시킨다. 그리고, 패터닝된 유기막 상에 대향 전극을 형성하는 등의 후처리 공정을 수행하면 유기전계발광소자가 완성되게 된다.After the patterning process, the target substrate disposed below is removed from the donor film 10, and the target substrate from which the donor film 10 is removed is moved to another stage. The organic electroluminescent device is completed by performing a post-treatment process such as forming a counter electrode on the patterned organic film.

그런데, 이와 같이 라미네이팅 공정, 전사 공정 및 후처리 공정 중에 중요한 기술적 문제는 도너 필름(10)과 대상 기판의 정렬 문제이다. 다시 말해서 도너 기판 및 대상 기판 즉, 도너 필름(10) 및 글라스(30)를 정확한 위치에 정렬시키고 도너 필름(10)이 구겨지거나 접히는 현상을 방지하는 것이 중요한 기술적 해결 과제이다. 이를 위해 도너 필름(10) 및 대상 기판을 바른 위치에 배치시킬 수 있으며, 도너 필름(10)에 텐션을 가하여 변형이 방지될 수 있는 처킹 트레이(100)의 개발이 필요하다.However, an important technical problem during the laminating process, the transfer process, and the post-treatment process is an alignment problem between the donor film 10 and the target substrate. In other words, it is an important technical problem to align the donor substrate and the target substrate, that is, the donor film 10 and the glass 30 in the correct position, and to prevent the donor film 10 from being wrinkled or folded. To this end, the donor film 10 and the target substrate may be disposed in the correct position, and development of the chucking tray 100 may be developed by applying tension to the donor film 10 to prevent deformation.

본 실시예에서는, 도너 필름(10)을 텐션시키는 처킹 트레이(100)가 제공된다.In this embodiment, a chucking tray 100 is provided to tension the donor film 10.

트레이 본체(101)는, 도 1에 도시된 바와 같이, 대략 사각형의 판면 형상을 가지고 트레이 본체(101)의 중앙 영역 상에 도너 필름(10)을 수용하는 중앙 수용부(107)가 마련되는 외곽 프레임을 말한다. 클램핑 유닛(110)은 트레이 본체(101)의 내측에 결합되고, 텐션 유닛(120)은 클램핑 유닛(110)과 트레이 본체(101) 간의 간격을 조절한다.As shown in FIG. 1, the tray main body 101 has an approximately rectangular plate shape and is provided with a central accommodating part 107 for receiving the donor film 10 on the central area of the tray main body 101. Say the frame. The clamping unit 110 is coupled to the inside of the tray body 101, and the tension unit 120 adjusts the gap between the clamping unit 110 and the tray body 101.

트레이 본체(101)의 4개의 면 각각에는 판면 방향에 수직되고 내부의 중앙 수용부(107)를 향하는 복수 개의 중공(102)이 형성된다. 중공(102)의 직경은 텐션볼트(121)의 몸체 직경보다는 크게 형성되나 텐션볼트(121)의 몸체가 중공(102) 내부에 삽입되어 유격이 미세하게 확보되는 수준으로서 텐션볼트(121)의 몸체가 중공(102) 내부에서 회전 가능하게 마련된다. 그리고 이들 중공(102)이 형성되는 위치 상에는 볼트 등의 결합 수단이 용이하게 결합할 수 있도록 중공 진입부(103)가 함몰 형성되어 있다.Each of the four surfaces of the tray body 101 is formed with a plurality of hollows 102 perpendicular to the plate surface direction and directed toward the central receiving portion 107 therein. The diameter of the hollow 102 is larger than the body diameter of the tension bolt 121, but the body of the tension bolt 121 is inserted into the hollow 102 to finely secure the clearance, the body of the tension bolt 121 Is rotatably provided inside the hollow (102). And the hollow entrance part 103 is recessed so that the coupling means, such as a bolt, can be easily engaged in the position in which these hollows 102 are formed.

트레이 본체(101)의 중앙 수용부(107)에 대응되는 트레이 본체(101)의 4개의 내부 모서리 각각에는 클램프 브라켓(111)의 측부에 직접적으로 접촉되어 클램프 브라켓(111)이 슬라이딩하는 클램프 가이드(106)가 마련된다. 클램프 가이드(106)는 도너 필름(10)이 처킹되는 클램핑 유닛(110)과 트레이 본체(101) 간의 간격 조절을 원활히 수행하는 역할을 한다. 즉, 클램핑 유닛(110)의 트레이 본체(101)에 대한 슬라이딩 이동을 수행하게 된다.Each of the four inner edges of the tray main body 101 corresponding to the center receiving portion 107 of the tray main body 101 is in direct contact with the side of the clamp bracket 111 to clamp the clamp bracket 111 ( 106 is provided. The clamp guide 106 serves to smoothly adjust the gap between the clamping unit 110 on which the donor film 10 is chucked and the tray body 101. That is, the sliding movement of the clamping unit 110 with respect to the tray main body 101 is performed.

트레이 본체(101)의 두께는 클램핑 유닛(110) 및 텐션 유닛(120)의 두께를 수용할 수 있도록 소정의 두께로 형성된다. 이는 라미네이팅 공정 등에서 도너 필름(10)을 클램핑하는 도너 필름(10) 처킹 트레이와, 그리고 라미네이팅 공정에서 대상 기판을 클램핑하는 기판 처킹 트레이를 보다 용이하게 정렬할 수 있게 한다.The thickness of the tray main body 101 is formed to a predetermined thickness to accommodate the thicknesses of the clamping unit 110 and the tension unit 120. This makes it easier to align the donor film 10 chucking tray for clamping the donor film 10 in the laminating process and the substrate chucking tray for clamping the target substrate in the laminating process.

클램핑 유닛(110)은, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 트레이 본체(101)에 마련되는 클램프 가이드(106)에 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 클램프 브라 켓(111)과, 클램프 브라켓(111)에 결합되되, 클램프 브라켓(111)과 사이에 개재되는 도너 필름(10)을 파지하는 필름 클램프(116)를 포함한다.As shown in FIGS. 1 to 3, the clamping unit 110 includes a clamp bracket 111 coupled to the clamp guide 106 provided in the tray body 101 so as to be slidably movable, and the clamp bracket 111. It is coupled to the), the clamp bracket 111 and includes a film clamp 116 for holding the donor film 10 interposed therebetween.

클램프 브라켓(111)의 양 단부에는 클램프 가이드(106)가 결합하도록 길이방향을 따라 함몰 형성되는 가이드 홈부(112)가 형성된다. 가이드 홈부(112)의 단면 형상은 ㄷ자 형상으로 형성되어 가이드 홈부(112)에 클램프 가이드(106)가 결합된다. 이를 통해 클램핑 유닛(110)이 트레이 본체(101)에 슬라이딩 이동가능하게 마련된다.At both ends of the clamp bracket 111, guide grooves 112 are formed to be recessed along the longitudinal direction so that the clamp guide 106 is coupled. The cross-sectional shape of the guide groove 112 is formed in a U-shape, the clamp guide 106 is coupled to the guide groove 112. Through this, the clamping unit 110 is provided to be slidably movable in the tray body 101.

이러한 클램프 브라켓(111)의 일측에는 클램프 브라켓(111)과 착탈 가능하게 결합되는 필름 클램프(116)가 구비된다.One side of the clamp bracket 111 is provided with a film clamp 116 detachably coupled to the clamp bracket 111.

필름 클램프(116)의 길이는 도너 필름(10)을 충분히 클램핑할 수 있을 정도의 길이를 확보하는 한편, 클램프 브라켓(111)의 길이보다는 상대적으로 작게 형성되어 필름 클램프(116)가 클램프 브라켓(111) 내에 맞춤 결합이 가능하도록 한다.The length of the film clamp 116 is secured enough to sufficiently clamp the donor film 10, while the film clamp 116 is formed to be relatively smaller than the length of the clamp bracket 111 so that the film clamp 116 is clamped to the clamp bracket 111. To allow a custom coupling.

그리고, 필름 클램프(116)는, 도 3에 자세히 도시된 바와 같이, 필름 클램프(116)와 클램프 브라켓(111) 사이에 도너 필름(10)이 개재된 상태에서 필름 클램프(116)와 클램프 브라켓(111)이 상호간 결합됨으로써 도너 필름(10)이 클램핑되는 구조를 갖는다. 이를 위해, 필름 클램프(116)의 단면 형상은 클램프 브라켓(111)의 단면 형상에 대응되게 마련된다.And, as shown in detail in FIG. 3, the film clamp 116, the film clamp 116 and the clamp bracket (with the donor film 10 interposed between the film clamp 116 and the clamp bracket 111 ( 111 is bonded to each other to have a structure in which the donor film 10 is clamped. To this end, the cross-sectional shape of the film clamp 116 is provided to correspond to the cross-sectional shape of the clamp bracket 111.

그리고 필름 클램프(116)의 상부면에는 필름 클램프(116)와 클램프 브라켓(111)이 상호 나사 결합되도록 나사삽입홈(118)이 마련된다. 필름 클램프(116)와 클램프 브라켓(111) 사이에 도너 필름(10)이 개재된 후 볼트(미도시)로 나사삽입 홈(118)을 통해 볼트 결합시킴으로써 필름 클램프(116)와 클램프 브라켓(111)을 결합시키게 된다.In addition, a screw insertion groove 118 is provided on the upper surface of the film clamp 116 so that the film clamp 116 and the clamp bracket 111 are screwed together. After the donor film 10 is interposed between the film clamp 116 and the clamp bracket 111, the film clamp 116 and the clamp bracket 111 are bolted by a bolt (not shown) through the screw insertion groove 118. Will be combined.

본 실시예에서는, 1개의 필름 클램프(116)에 3개의 나사삽입홈(118)이 형성되어 있으나, 필름 클램프(116)와 클램프 브라켓(111)의 결합력을 증가시키기 위하여 4개 또는 그 이상의 나사삽입홈(118)이 형성될 수도 있을 것이다.In this embodiment, three screw insertion grooves 118 are formed in one film clamp 116, but four or more screw insertions are formed to increase the coupling force of the film clamp 116 and the clamp bracket 111. Grooves 118 may be formed.

또한, 본 실시예에서는 필름 클램프(116)와 클램프 브라켓(111)의 결합을 나사 결합으로 예시하였으나, 도너 필름(10)을 클램핑하는 필름 클램프(116)와 클램프 브라켓(111)의 결합력이 유지되는 다른 결합 수단이 활용되어도 무방할 것이다.In addition, in the present embodiment, the coupling of the film clamp 116 and the clamp bracket 111 is illustrated by screw coupling, but the coupling force of the film clamp 116 and the clamp bracket 111 clamping the donor film 10 is maintained. Other coupling means may be used.

트레이 본체(101)의 중앙 수용부(107)에 도너 필름(10)이 배치되고 도너 필름(10)의 4개의 모서리 각각에 전술한 클램핑 유닛(110)이 마련된다. 따라서 유리 재질에 비해 상대적으로 변형이 용이한 도너 필름(10)을 원활하게 클램핑할 수 있다.The donor film 10 is disposed in the center receiving portion 107 of the tray body 101, and the clamping unit 110 described above is provided at each of four corners of the donor film 10. Therefore, it is possible to smoothly clamp the donor film 10 which is relatively easy to deform in comparison with the glass material.

필름 클램프(116)의 단부에는 나이프 형상의 텐션 나이프부(117)가 마련되어 텐션 유닛(120)과 함께 도너 필름(10)의 구겨짐이나 접힘 등을 방지하도록 도너 필름(10)을 펴지게 하는 역할을 수행한다. 텐션 유닛(120)과 함께 텐션 나이프부(117)를 통해서 필름 클램프(116)와 클램프 브라켓(111)이 결합될 때 도너 필름(10)이 펴지게 된다.A knife-shaped tension knife part 117 is provided at the end of the film clamp 116 to spread the donor film 10 together with the tension unit 120 to prevent the donor film 10 from being wrinkled or folded. To perform. When the film clamp 116 and the clamp bracket 111 are coupled to each other through the tension knife unit 117 together with the tension unit 120, the donor film 10 is unfolded.

텐션 유닛(120)은 클램핑 유닛(110)과 트레이 본체(101)의 상대적인 간격을 조절함으로써 도너 필름(10)의 구겨짐이나 접힘 등을 방지한다.The tension unit 120 prevents wrinkles or folds of the donor film 10 by adjusting the relative distance between the clamping unit 110 and the tray body 101.

텐션 유닛(120)은, 도 1 내지 도 3에 도시된 바와 같이, 도너 필름(10)의 각 모서리를 클램핑하는 클램핑 유닛(110)을 트레이 본체(101)의 중심부에서 반대 방향으로 각각 이동시킴으로써 도너 필름(10)에 텐션을 가하는 역할을 수행한다. 이를 위해, 텐션 유닛(120)은, 트레이 본체(101)와 클램핑 유닛(110)을 결합하는 텐션볼트(121)와, 트레이 본체(101)와 텐션볼트(121) 사이에 개재되는 텐션스프링(122)을 포함한다.As shown in FIGS. 1 to 3, the tension unit 120 moves the clamping unit 110 that clamps each corner of the donor film 10 in the opposite direction from the center of the tray body 101, respectively. It serves to apply tension to the film 10. To this end, the tension unit 120, the tension bolt 121 for coupling the tray body 101 and the clamping unit 110, and the tension spring 122 interposed between the tray body 101 and the tension bolt 121. ).

텐션볼트(121)는 볼트헤드와 이에 연결되는 몸체를 포함하는데, 몸체는 트레이 본체(101)의 측부에 형성된 중공(102)에 삽입되고 클램프 브라켓(111)의 일측의 삽입공(미도시)과 결합한다. 몸체가 클램프 브라켓(111)의 삽입공(미도시)에 삽입되는 깊이를 조절함으로써, 클램핑 유닛(110)과 트레이 본체(101) 간의 간격이 조절될 수 있다.The tension bolt 121 includes a bolt head and a body connected thereto. The body is inserted into the hollow 102 formed at the side of the tray body 101 and inserted into an insertion hole (not shown) on one side of the clamp bracket 111. To combine. By adjusting the depth that the body is inserted into the insertion hole (not shown) of the clamp bracket 111, the gap between the clamping unit 110 and the tray body 101 can be adjusted.

그리고 트레이 본체(101)의 중공진입부(103)와 볼트헤드 사이에는 텐션스프링(122)이 개재되어 탄성력이 가해지게 한다. 텐션스프링(122)에 의해 도너 필름(10)의 텐션을 조절할 수 있게 된다.In addition, a tension spring 122 is interposed between the hollow inlet portion 103 and the bolt head of the tray body 101 to apply an elastic force. The tension of the donor film 10 can be adjusted by the tension spring 122.

이러한 텐션 유닛(120)은, 클램핑 유닛(110)과 마찬가지로 중앙 수용부(107)의 4개의 모서리 각각에 1개씩 마련된다.Like the clamping unit 110, one of the tension units 120 is provided at each of four corners of the central accommodation portion 107.

그리고 x축 상에서의 한 쌍의 클램핑 유닛(110) 즉, 1개의 클램핑 유닛(110)과 반대편의 클램핑 유닛(110)이 서로 반대 방향으로 이동하도록 한 쌍의 텐션 유닛(120)을 조절함에 따라, 도너 필름(10)의 x축 방향으로의 텐션이 확보되게 된다. 이와 마찬가지로 y축의 한쌍의 텐션 유닛(120)을 조절함으로써, y축 방향으로의 텐션도 확보될 수 있게 된다.And as the pair of clamping units 110 on the x-axis, that is, one pair of clamping unit 110 and the opposite clamping unit 110 to adjust the pair of tension units 120 to move in the opposite direction, The tension in the x-axis direction of the donor film 10 is secured. Similarly, by adjusting a pair of tension units 120 on the y-axis, tension in the y-axis direction can also be secured.

이와 같은 구성의 텐션 유닛(120)에 의해 도너 필름(10)의 구겨짐 등의 왜곡 현상이 방지될 수 있고 도너 필름(10)의 정렬 작업이 보다 용이해질 수 있다.By the tension unit 120 having such a configuration, a distortion phenomenon such as wrinkle of the donor film 10 may be prevented, and alignment of the donor film 10 may be easier.

이로써 유기전계발광표시장치 또는 소자를 제작하는 전후 공정 특히, 라미네이팅 공정 및 유기막을 대상 기판에 전사시키는 증착 공정 중에 발생할 수 있는 장치 소자의 불량이 방지될 수 있고 유기막의 증착이 원활하게 수행될 수 있다.As a result, defects of device elements that may occur during the pre- and post-processes of manufacturing the organic light emitting display device or the device, in particular, the laminating process and the deposition process of transferring the organic film to the target substrate may be prevented, and the organic film may be smoothly deposited. .

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이의 사시도이고, 도 5는 도 4의 A부분의 확대 사시도이며, 도 6은 도 4의 VI-VI라인의 단면도이다.4 is a perspective view of a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device according to a second embodiment of the present invention, FIG. 5 is an enlarged perspective view of a portion A of FIG. 4, and FIG. 6 is a cross-sectional view of the VI-VI line of FIG. 4. .

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(200)는, 제1 실시예에서 설명한 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(100, 도 1 내지 도 3 참조)와 중복되는 부분은 설명을 생략하기로 하며, 제1 실시예와 다른 부분만을 설명하기로 한다.As shown in these drawings, the chucking tray 200 for manufacturing the organic light emitting display device according to the present embodiment is the chucking tray 100 for manufacturing the organic light emitting display device described in the first embodiment (see FIGS. 1 to 3). Parts overlapping with the description will be omitted, and only parts different from the first embodiment will be described.

본 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(200)의 경우, 트레이 본체(201)의 형상은 제1 실시예의 트레이 본체(101)와 동일하고 또한, 텐션 유닛(220) 또한 그 구성 및 기능이 동일하다.In the case of the chucking tray 200 for manufacturing the organic light emitting display device according to the present embodiment, the shape of the tray main body 201 is the same as that of the tray main body 101 of the first embodiment, and the tension unit 220 also has a structure and The function is the same.

그러나, 도 4 내지 도 6를 참조하면, 클램핑 유닛(210)의 클램프 브라켓(211)과 필름 클램프(216) 간의 결합은, 제1 실시예의 나사 결합과는 달리, 필름 클램프(216)가 클램프 브라켓(211)에 대해 소정 각도 회동 가능하게 결합된다. 즉, 도 6에 자세히 도시된 바와 같이, 필름 클램프(216)가 클램프 브라켓(211)에 대해 상대회동 가능하게 결합된다.However, referring to FIGS. 4 to 6, the coupling between the clamp bracket 211 and the film clamp 216 of the clamping unit 210 is different from that of the screw coupling of the first embodiment. It is coupled so that a predetermined angle with respect to 211. That is, as shown in detail in FIG. 6, the film clamp 216 is relatively rotatable with respect to the clamp bracket 211.

이에, 필름 클램프(216)에는 제1 실시예의 나사삽입홈(118, 도 2참조)이 생략되는 한편, 클램프 브라켓(211)에는 횡축 방향의 축홈(미도시)이 형성되고 이 축홈에 필름 클램프(216)의 축이 결합되게 한다. 이를 통해, 필름 클램프(216)를 회동시켜 필름 클램프(216)와 클램프 브라켓(211) 사이에 도너 필름(10)을 개재시키고 다시 필름 클램프(216)를 반대 방향으로 회동시켜 도너 필름(10)을 클램핑할 수 있다. 도 6에 도시된 바와 같이, 필름 클램프(216)의 회동축을 배치시켜 필름 클램프(216)는 필름 클램프(216)의 자중에 의해 시계방향으로 회동된다. 도너 필름(10)을 개재할 때에는 필름 클램프(216)를 반시계방향으로 회동시켜 도너 필름(10)을 개재시키게 되고, 개재된 다음에는 필름 클램프(216)의 무게중심에 의해 시계방향으로 회동된다. 이로써 도너 필름(10)이 클램핑될 수 있게 된다.Accordingly, the screw insertion groove 118 (see FIG. 2) of the first embodiment is omitted in the film clamp 216, while a shaft groove (not shown) in the horizontal axis direction is formed in the clamp bracket 211, and the film clamp ( Allow the shaft of 216 to be engaged. Through this, the donor film 10 is rotated by rotating the film clamp 216 to intervene the donor film 10 between the film clamp 216 and the clamp bracket 211 and again rotating the film clamp 216 in the opposite direction. Can be clamped As shown in FIG. 6, the rotating shaft of the film clamp 216 is disposed so that the film clamp 216 is rotated clockwise by the weight of the film clamp 216. When the donor film 10 is interposed, the film clamp 216 is rotated counterclockwise to intervene the donor film 10, and after the donor film 10 is rotated clockwise by the center of gravity of the film clamp 216. . This allows the donor film 10 to be clamped.

그리고, 필름 클램프(216)의 단부에는, 도 6에 도시된 바와 같이, 도너 필름(10)의 구겨짐을 방지하는 역할을 수행하도록 나이프 형상의 텐션 나이프부(217)가 마련되어 있다.At the end of the film clamp 216, as shown in FIG. 6, a knife-shaped tension knife part 217 is provided to serve to prevent the donor film 10 from being wrinkled.

본 실시예와 같이, 필름 클램프(216)를 클램프 브라켓(211)에 대해 회동가능하게 결합시키는 경우, 도너 필름(10)을 한번 클램핑한 다음, 재차 클램핑 작업을 반복적으로 수행할 때 필름 클램프(216)를 클램핑하는 반대 방향으로 회동시켰다가 다시 클램핑할 수 있기 때문에 클램핑 작업이 그만큼 수월해지는 이점이 있다. 또한, 클램핑 작업 효율이 향상됨에 따라, 그만큼 공정 택트 타임도 줄어들게 된다.As in the present embodiment, when the film clamp 216 is rotatably coupled to the clamp bracket 211, the clamp film 216 is clamped once, and then the film clamp 216 is repeatedly used when the clamping operation is repeatedly performed. The clamping operation is much easier because it can be rotated in the opposite direction of clamping and clamping again. In addition, as the clamping operation efficiency is improved, the process tact time is also reduced accordingly.

도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이의 사시도이고, 도 8은 도 7의 A부분의 확대 사시도이며, 도 9는 도 7의 B부분 의 확대 사시도이다.7 is a perspective view of a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device according to a third embodiment of the present invention, FIG. 8 is an enlarged perspective view of part A of FIG. 7, and FIG. 9 is an enlarged perspective view of part B of FIG. 7.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(300)는, 제1 실시예 및 제2 실시예와 달리, 클램핑의 대상이 도너 필름(10)이 아닌, 도너 글라스(20)를 클램핑한다. 따라서 전술한 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(100, 200 도 1 내지 도 6 참조)와 중복되는 부분은 설명을 생략하기로 한다.As shown in these drawings, the chucking tray 300 for manufacturing an organic light emitting display device according to the present embodiment, unlike the first and second embodiments, is not the donor film 10 to be clamped. The donor glass 20 is clamped. Therefore, the description of parts overlapping with the above-described chucking trays 100 and 200 for manufacturing the organic light emitting display device will be omitted.

본 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(300)의 경우에는, 트레이 본체(301)의 중앙 수용부(307)에 수용되는 대상이 도너 필름(10, 도 1 및 도 4 참조)이 아닌, 도너 글라스(20)를 수용하게 된다.In the case of the chucking tray 300 for manufacturing an organic light emitting display device according to the present exemplary embodiment, the donor film 10 (see FIGS. 1 and 4) may be accommodated in the center receiving portion 307 of the tray body 301. Instead, the donor glass 20 is accommodated.

이에 따라, 제1 및 제2 실시예에서 도너 필름(10)을 클램핑 유닛(110, 210 도 1 내지 도 6 참조) 내에 개재시켜 클램핑함에 반해, 본 실시예에서의 클램핑 유닛(310)은, 도너 글라스(20)를 파지함이 없이 도너 글라스(20)를 중앙 수용부(307)의 중심 방향으로 가압함으로써, 도너 글라스(20)를 클램핑하게 된다.Accordingly, in the first and second embodiments, the donor film 10 is clamped by being interposed in the clamping units 110 and 210 (see FIGS. 1 to 6). The donor glass 20 is clamped by pressing the donor glass 20 toward the center of the center receiving portion 307 without gripping the glass 20.

다시 말해, 클램프 브라켓(311)과 글라스 클램프(316)는 단순히 결합된 채, 글라스 클램프(316)의 일면이 도너 글라스(20)의 측부를 가압함으로써 도너 글라스(20)를 클램핑하는 것이다.In other words, while the clamp bracket 311 and the glass clamp 316 are simply coupled, one surface of the glass clamp 316 clamps the donor glass 20 by pressing the side of the donor glass 20.

이러한 글라스 클램프(316)에는, 도 7 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 도너 글라스(20)가 하방으로 추락되는 것을 방지하고자 도너 글라스(20)의 판면의 일부 영역을 지지하는 글라스 서포터(317)가 마련된다.7 to 9, a glass supporter 317 supporting a partial region of the plate surface of the donor glass 20 to prevent the donor glass 20 from falling downward. Is prepared.

그리고 x축 및 y축 상의 각각 한 쌍의 클램핑 유닛(310) 중 1개의 클램핑 유 닛(310)에는 클램핑 유닛(310)과 트레이 본체(301) 간의 간격을 일정하게 유지시키는 기준 스페이서(323)가 마련되어 있다.In each of the clamping units 310 of the pair of clamping units 310 on the x-axis and the y-axis, a reference spacer 323 for maintaining a constant distance between the clamping unit 310 and the tray body 301 is provided. It is prepared.

기준 스페이서(323)는 도너 글라스(20)가 트레이 본체(301)의 중앙 수용부(307)의 중심부에 정확히 배치되도록 하는 역할을 한다. 본 실시예에서는 각 축의 한 쌍의 텐션 유닛(320) 중 어느 1개의 텐션 유닛(320)에는 클램핑 유닛(310)과 트레이 본체(301) 사이에 기준 스페이서(323)가 마련됨으로써, 클램핑 유닛(310)과 트레이 본체(301) 간의 최소 간격을 미리 설정하게 된다.The reference spacer 323 serves to ensure that the donor glass 20 is accurately disposed at the center of the center receiving portion 307 of the tray body 301. In the present embodiment, any one of the pair of tension units 320 of each axis 320 is provided with a reference spacer 323 between the clamping unit 310 and the tray body 301, thereby clamping unit 310 ) And the minimum gap between the tray body 301 is set in advance.

기준 스페이서(323)가 클램핑 유닛(310)과 트레이 본체(301) 사이의 간격을 고정시킨 채, 나머지 1개의 클램핑 유닛(310)만이 도너 글라스(20)를 가압함으로써, 도너 글라스(20)는 센터링될 수 있다.With only one clamping unit 310 pressing the donor glass 20 with the reference spacer 323 fixing the gap between the clamping unit 310 and the tray body 301, the donor glass 20 is centered. Can be.

이러한 센터링 및 클램핑 작업을 통해, 도너 글라스(20)가 바르게 정렬될 수 있는 장점이 있다.Through such a centering and clamping operation, there is an advantage that the donor glass 20 can be properly aligned.

이와 함께, 이송 과정에서 또는 전사 및 증착 과정에서 작업자는 도너 글라스(20)에 대한 직접적인 접촉없이 도너 글라스(20)가 수용된 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(300)를 다루게 됨으로써, 도너 글라스(20)의 파손을 방지할 수 있고 유기전계발광표시장치의 제작 수율을 향상시킬 수 있다.In addition, in the transfer process or in the transfer and deposition process, the operator handles the chucking tray 300 for manufacturing the organic light emitting display device in which the donor glass 20 is accommodated without direct contact with the donor glass 20, thereby allowing the donor glass 20 to be processed. ) Can be prevented and the manufacturing yield of the organic light emitting display device can be improved.

도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이의 사시도이고, 도 11은 도 10의 A부분의 확대 사시도이다.FIG. 10 is a perspective view of a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 11 is an enlarged perspective view of part A of FIG. 10.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(400)는, 앞선 실시예들과는 달리, 클램핑의 대상이 글라스(30)를 클램핑한다.As shown in these drawings, the chucking tray 400 for manufacturing the organic light emitting display device according to the present embodiment, unlike the previous embodiments, the object of clamping clamps the glass 30.

도너 필름(10) 또는 도너 글라스(20)의 전사층이 대상 기판에 전사되어야 하므로, 본 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(400) 상에는 전술한 실시예의 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(100, 200, 300, 도 1, 도 4 , 도 7 참조)가 적층될 필요가 있다. 따라서 본 실시예의 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(400)는, 도너 필름(10) 또는 도너 글라스(20)를 수용하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(100, 200, 300)의 저면 형상에 대응되게 형성된다.Since the transfer layer of the donor film 10 or the donor glass 20 has to be transferred to the target substrate, the chucking tray 400 for manufacturing the organic light emitting display device according to the present embodiment may be chucked for manufacturing the organic light emitting display device of the above-described embodiment. The trays 100, 200, 300, see FIGS. 1, 4, 7) need to be stacked. Accordingly, the chucking tray 400 for manufacturing the organic light emitting display device according to the present embodiment may be formed on the bottom shape of the chucking trays 100, 200, and 300 for manufacturing the organic light emitting display device containing the donor film 10 or the donor glass 20. Correspondingly formed.

이를 위해, 트레이 본체(401)에는 다른 트레이 본체(101, 201, 301, 도 1 내지 도 9 참조)와 착탈 가능하게 하는 도피홈(402)이 마련된다. 이들 도피홈(402)은 다른 트레이 본체(101, 201, 301)와 맞물리도록 함으로써, 트레이 본체(401)의 정렬에 기여하게 된다.To this end, the tray main body 401 is provided with an escape groove 402 detachable from the other tray main body (101, 201, 301, see Figs. 1 to 9). These escape grooves 402 are engaged with the other tray bodies 101, 201, and 301, thereby contributing to the alignment of the tray bodies 401.

그리고 트레이 본체(401)의 x축 및 y축 방향으로 각각 일측에는 복수 개의 센터링 돌출턱(403)이 마련된다. 글라스 안착부(407)에 글라스(30)가 안착되는 경우, 글라스(30)의 두께 수준으로 돌출되도록 마련되어 글라스(30)의 센터링을 보조하는 한편, 글라스(30)의 이동을 구속시키는 역할을 한다. In addition, a plurality of centering protrusions 403 are provided at one side of the tray main body 401 in the x-axis and y-axis directions, respectively. When the glass 30 is seated on the glass seating portion 407, the glass 30 is protruded to a thickness level of the glass 30 to assist centering of the glass 30 and to restrain the movement of the glass 30. .

이들 센터링 돌출턱(403)의 반대측에는 x축 및 y축 방향의 가압 유닛(410)이 1개씩 마련된다. 가압 유닛(410)은, 글라스(30)에 직접 접촉하여 글라스(30)를 가압하는 푸셔(411)와, 푸셔(411)에 연결되어 푸셔(411)에 가압력을 제공하는 볼 플런져(412)를 포함한다.On the opposite side of these centering protrusions 403, the pressing unit 410 of the x-axis and y-axis direction is provided one by one. The pressurizing unit 410 is a pusher 411 for directly contacting the glass 30 to pressurize the glass 30, and a ball plunger 412 connected to the pusher 411 to provide a pressing force to the pusher 411. It includes.

볼 플런저(412)는 글라스(30)의 측부 일부 영역에 접촉하여 글라스(30)를 가압하게 된다.The ball plunger 412 contacts the partial region of the side of the glass 30 to press the glass 30.

이와 같은 구성으로 본 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(400)는 전사 과정 중 상부에 마련되는 다른 트레이(101, 201, 301)와의 배치를 보다 용이하게 할 수 있으며, 글라스 안착부(407)에 안착되는 글라스(30)의 센터링을 용이하게 설정할 수 있다.With this configuration, the chucking tray 400 for manufacturing the organic light emitting display device according to the present exemplary embodiment may more easily arrange with the other trays 101, 201, and 301 provided at the upper part during the transfer process, and the glass seating portion Centering of the glass 30 seated on 407 can be easily set.

한편, 트레이 본체(401)의 글라스 안착부(407)는 전술한 실시예의 중앙 수용부(107, 207, 307)와 달리 관통형성되어 있지 않다. 이는 글라스(30)가 유기전계발광표시장치를 제조하기 위한 대상 기판이 되기 때문이다.On the other hand, the glass seating portion 407 of the tray body 401 is not formed through, unlike the center receiving portion 107, 207, 307 of the above-described embodiment. This is because the glass 30 becomes a target substrate for manufacturing the organic light emitting display device.

도 12는 본 발명의 제5 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이의 사시도이고, 도 13은 도 12의 A부분 확대 사시도이며, 도 14는 도 12의 B부분 확대사시도이다.12 is a perspective view of a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device according to a fifth embodiment of the present invention, FIG. 13 is an enlarged perspective view of portion A of FIG. 12, and FIG. 14 is an enlarged perspective view of portion B of FIG. 12.

본 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(500)는 앞서 설명한 다른 실시예의 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(100, 200, 300, 400)와 달리, 도너 필름(10)과 필름 프레스용 글라스(40)를 함께 처킹하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(500)로서, 전사 과정에서 필름 프레스용 글라스(40)가 도너 필름(10)을 하방으로 가압하여 도너 필름(10)의 전면적의 왜곡을 없애 도너 필름(10)과 글라스(미도시) 간이 서로 밀착될 수 있게 한다.The chucking tray 500 for manufacturing the organic light emitting display device according to the present embodiment is different from the chucking trays 100, 200, 300, and 400 for manufacturing the organic light emitting display device according to another embodiment described above, and the donor film 10 and the film press. A chucking tray 500 for manufacturing an organic light emitting display device for chucking the glass 40 together, wherein the glass 40 for pressing a film presses the donor film 10 downward in the transfer process so as to cover the entire area of the donor film 10. By removing the distortion of the donor film 10 and the glass (not shown) can be in close contact with each other.

본 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(500)는 도너 필름(10)을 처킹하는 필름 홀더부(531)와, 필름 홀더부(531)와 트레이 본체(501) 사 이의 간격을 조절하는 텐션유닛(541)과, 도너 필름(10)의 상면에 배치되어 도너 필름(10)을 하방으로 가압하는 필름 프레스용 글라스(40)를 처킹하는 글라스 홀더부(511)와, 글라스 홀더부(511)와 트레이 본체(501)사이의 간격을 조절하는 가압 유닛(521)을 포함한다.In the chucking tray 500 for manufacturing an organic light emitting display device according to the present exemplary embodiment, the gap between the film holder part 531, the film holder part 531, and the tray main body 501 may be adjusted. A glass holder portion 511 for chucking a tension unit 541 to be disposed, an upper surface of the donor film 10, and chucking the glass 40 for film press which presses the donor film 10 downward, and a glass holder portion ( 511 and a pressurizing unit 521 for adjusting the gap between the tray body 501.

글라스 홀더부(511)는 글라스 홀더몸체(512)로 구성되며, 글라스 홀더몸체(512)는, 대략 사각 형상으로서 필름 프레스용 글라스(40)의 측부 대부분을 접촉할 수 있는 길이로 마련된다. 그리고, 글라스 홀더몸체(512)의 양 단부는 트레이 본체(501)의 홀더 가이드(506)와 상대 이동가능하게 결합되어 글라스 홀더몸체(512)가 이동될 수 있도록 형성된다.The glass holder part 511 is comprised by the glass holder body 512, and the glass holder body 512 is provided in the substantially square shape in the length which can contact most of the side parts of the glass 40 for film presses. And, both ends of the glass holder body 512 is coupled to the holder guide 506 of the tray body 501 so as to be movable relative to the glass holder body 512 is formed.

글라스 홀더몸체(512)에는 필름 프레스용 글라스(40)가 하방으로 추락을 방지하고자 필름 프레스용 글라스(40)를 지지하는 글라스 서포터(517)가 마련된다.The glass holder body 512 is provided with a glass supporter 517 for supporting the film 40 for the film press to prevent the glass 40 for the film press to fall downward.

이를 통해, 글라스 홀더몸체(512)는, 필름 프레스용 글라스(40)가 하방으로 추락되지 않도록 지지하여 가압 유닛(521)이 필름 프레스용 글라스(40)를 중앙 수용부(507)의 중심 방향으로 가압할 수 있게 된다.As a result, the glass holder body 512 supports the film press glass 40 so as not to fall downward, so that the pressing unit 521 moves the film press glass 40 toward the center of the center receiving portion 507. It can be pressurized.

가압 유닛(521)은, 가압볼트(522)와, 글라스 홀더용 스프링(523)을 포함한다.The pressurizing unit 521 includes a pressurizing bolt 522 and a glass holder spring 523.

가압볼트(522)와 글라스 홀더용 스프링(523)은 글라스 홀더몸체(512)를 중앙 수용부(507)의 중심으로 가압하는 가압력을 제공하는 역할을 수행한다. 글라스 홀더용 스프링(523)은 트레이 본체(501) 및 글라스 홀더몸체(512) 사이에 개재된다.The pressing bolt 522 and the spring for the glass holder 523 serves to provide a pressing force for pressing the glass holder body 512 to the center of the central receiving portion 507. The glass holder spring 523 is interposed between the tray body 501 and the glass holder body 512.

이를 통해, 글라스 홀더몸체(512)와 트레이 본체(501) 간의 대략적인 유격을 가압볼트(522)로 조절하게 되면, 글라스 홀더용 스프링(523)의 탄성력에 의해 글라스홀더몸체(512)와 필름 프레스용 글라스(40)가 상호 밀착될 수 있게 된다.Through this, when the rough play between the glass holder body 512 and the tray body 501 is adjusted by the pressure bolt 522, the glass holder body 512 and the film press by the elastic force of the glass holder spring 523 Dragon glass 40 can be in close contact with each other.

필름 프레스용 글라스(40)의 모서리 영역에는 필름 홀더부(531)가 마련된다. 필름 홀더부(531)는, 도너 필름(10)을 클램핑하는 필름 홀더몸체(532)를 포함한다.The film holder part 531 is provided in the corner region of the glass 40 for film press. The film holder portion 531 includes a film holder body 532 that clamps the donor film 10.

필름 홀더부(531)는, 트레이 본체(501)에 마련되는 홀더 가이드(506)에 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 필름 홀더몸체(532)와, 필름 홀더몸체(532)에 형성된 관통개구(533)에 배치되는 판스프링(542)을 포함한다.The film holder part 531 has a film holder body 532 which is slidably coupled to a holder guide 506 provided in the tray body 501, and a through opening 533 formed in the film holder body 532. The leaf spring 542 is disposed.

필름 홀더몸체(532)의 양 단부에는, 도 12 내지 14에 도시된 바와 같이, 중앙 수용부(507)의 중심을 향한 방향으로 가압될 때 홀더 가이드(506)에 슬라이딩 이동되는 필름 홀더 가이드홈부(534)가 마련된다. 그리고 필름 홀더몸체(532)에는 중앙에 길이 방향으로 관통개구(533)가 형성된다.12 to 14, film holder guide grooves slidably moved to the holder guide 506 when pressed in the direction toward the center of the central receiving portion 507, as shown in FIGS. 12 to 14. 534 is provided. The film holder body 532 has a through opening 533 formed in the longitudinal direction in the center thereof.

필름 홀더몸체(532)에 형성된 관통개구(533)에는 판스프링(542)이 배치된다. 판스프링(542)은 홀더 가이드(506))와 필름 홀더 가이드홈부(534)와 밀착을 유지시켜 주는 역할을 한다.The leaf spring 542 is disposed in the through opening 533 formed in the film holder body 532. The leaf spring 542 serves to maintain close contact with the holder guide 506 and the film holder guide groove 534.

본 실시예에서 텐션 유닛(541)은 필름 홀더몸체(532)와 트레이 본체(501) 사이에 개재되는 필름 홀더용 스프링(543)으로 구현된다.In the present embodiment, the tension unit 541 is implemented by a film holder spring 543 interposed between the film holder body 532 and the tray body 501.

필름 홀더용 스프링(543)은, 필름 홀더몸체(532)와 트레이 본체(501) 사이에 개재되어 도너 필름(10)이 클램핑된 필름 홀더몸체(532)를 중앙 수용부(507)의 반대방향으로 텐션시키는 역할을 수행한다.The spring 543 for the film holder is interposed between the film holder body 532 and the tray body 501 so that the film holder body 532 in which the donor film 10 is clamped in a direction opposite to the center receiving portion 507. It serves to tension.

이와 같은 구성의 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이(500)에 도너 필 름(10)과 필름 프레스용 글라스(40)를 함께 클램핑하여, 도너 필름(10)이 보다 용이하게 글라스(30) 상에 밀착될 수 있게 되고, 이로 인해, 전사 공정의 수율이 향상되게 된다.The donor film 10 and the film press glass 40 are clamped together in the chucking tray 500 for manufacturing the organic light emitting display device having such a configuration, so that the donor film 10 is more easily formed on the glass 30. It is possible to be in close contact, thereby improving the yield of the transfer process.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.

도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이의 사시도이다.1 is a perspective view of a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device according to a first embodiment of the present invention.

도 2는 도 1의 A부분의 확대 사시도이다.FIG. 2 is an enlarged perspective view of portion A of FIG. 1.

도 3은 도 1의 III-III라인의 단면도이다.3 is a cross-sectional view taken along the line III-III of FIG. 1.

도 4는 본 발명의 제2 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이의 사시도이다.4 is a perspective view of a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device according to a second embodiment of the present invention.

도 5는 도 4의 A부분의 확대 사시도이다.5 is an enlarged perspective view of a portion A of FIG. 4.

도 6은 도 4의 VI-VI라인의 단면도이다.6 is a cross-sectional view of the VI-VI line of FIG.

도 7은 본 발명의 제3 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이의 사시도이다.7 is a perspective view of a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device according to a third embodiment of the present invention.

도 8은 도 7의 A부분의 확대 사시도이다.8 is an enlarged perspective view of a portion A of FIG. 7.

도 9는 도 7의 B부분의 확대 사시도이다.FIG. 9 is an enlarged perspective view of part B of FIG. 7.

도 10은 본 발명의 제4 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이의 사시도이다.10 is a perspective view of a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device according to a fourth embodiment of the present invention.

도 11은 도 10의 A부분의 확대 사시도이다.FIG. 11 is an enlarged perspective view of portion A of FIG. 10.

도 12는 본 발명의 제5 실시예에 따른 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이의 사시도이다.12 is a perspective view of a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device according to a fifth embodiment of the present invention.

도 13은 도 12의 A부분 확대 사시도이다.FIG. 13 is an enlarged perspective view of portion A of FIG. 12.

도 14는 도 12의 B부분 확대사시도이다.FIG. 14 is an enlarged perspective view of portion B of FIG. 12.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

10 : 도너 필름 20 : 도너 글라스10: donor film 20: donor glass

30 : 글라스 40: 필름 프레스용 글라스30: glass 40: glass for film press

100 : 처킹 트레이 101 : 트레이 본체100: chucking tray 101: tray body

110 : 클램핑 유닛 111 : 클램프 브라켓110: clamping unit 111: clamp bracket

116 : 필름 클램프 117 : 텐션 나이프부116: film clamp 117: tension knife portion

120 : 텐션 유닛 317 : 글라스 서포터120: tension unit 317: glass supporter

323 : 기준 스페이서 402 : 도피홈323: reference spacer 402: escape groove

410 : 가압 유닛 411 : 푸셔410: pressure unit 411: pusher

412 : 볼 플런져 511 : 글라스 홀더부412: ball plunger 511: glass holder

521 : 가압 유닛 531 : 필름 홀더부521: pressure unit 531: film holder portion

541 : 텐션 유닛 541: tension unit

Claims

트레이 본체;Tray body;

전사층이 형성된 도너 필름(donor film)을 처킹하는 클램핑 유닛; 및A clamping unit for chucking a donor film on which a transfer layer is formed; And

상기 트레이 본체와 상기 클램핑 유닛에 각각 결합되어 상기 도너 필름을 텐션시키기 위하여 상기 클램핑 유닛과 상기 트레이 본체 간의 간격을 조절하는 텐션 유닛을 포함하며,And a tension unit coupled to the tray body and the clamping unit, respectively, to adjust a distance between the clamping unit and the tray body to tension the donor film.

상기 텐션 유닛은,The tension unit,

상기 트레이 본체와 상기 클램핑 유닛을 결합하는 텐션볼트; 및A tension bolt for coupling the tray body and the clamping unit; And

상기 트레이 본체와 상기 텐션볼트 사이에 개재되는 텐션스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.A chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device, comprising a tension spring interposed between the tray body and the tension bolt.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 클램핑 유닛은,The clamping unit,

상기 트레이 본체에 마련되는 클램프 가이드에 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 클램프 브라켓; 및A clamp bracket slidably coupled to a clamp guide provided on the tray body; And

상기 클램프 브라켓에 결합되되, 상기 클램프 브라켓과 사이에 개재되는 상기 도너 필름을 파지하는 필름 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.And a film clamp coupled to the clamp bracket, the film clamp holding the donor film interposed between the clamp bracket and the clamp bracket.

제1항에 있어서,The method of claim 1,

상기 클램핑 유닛은,The clamping unit,

상기 클램프 브라켓에 상대회동 가능하게 결합되어, 상기 클램프 브라켓과 사이에 상기 도너 필름이 개재되어 상기 도너 필름을 파지하는 필름 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.And a film clamp coupled to the clamp bracket so as to be relatively rotatable, wherein the donor film is interposed between the clamp bracket to hold the donor film.

삭제delete

제2항 또는 제3항에 있어서,The method according to claim 2 or 3,

상기 필름 클램프와 상기 클램프 브라켓이 조립될수록 상기 도너 필름이 펴지도록 상기 필름 클램프의 일측 단부에는 나이프 형상의 텐션 나이프부가 마련되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.Chuck tray for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that a knife-shaped tension knife portion is provided at one end of the film clamp so that the donor film is expanded as the film clamp and the clamp bracket are assembled.

트레이 몸체;Tray body;

전사층이 형성된 도너 글라스(donor glass)를 클램핑하는 클램핑 유닛; 및A clamping unit for clamping donor glass on which a transfer layer is formed; And

상기 트레이 본체와 상기 클램핑 유닛에 각각 결합되어 상기 클램핑 유닛과 상기 트레이 본체 간의 간격을 조절하는 텐션 유닛을 포함하며,A tension unit coupled to the tray main body and the clamping unit, respectively, to adjust a gap between the clamping unit and the tray main body,

상기 텐션 유닛은,The tension unit,

제6항에 있어서,The method of claim 6,

상기 클램핑 유닛은,The clamping unit,

상기 클램프 브라켓에 결합되어, 상기 도너 글라스를 지지하는 글라스 클램프를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.And a glass clamp coupled to the clamp bracket to support the donor glass.

삭제delete

제7항에 있어서,The method of claim 7, wherein

상기 도너 글라스의 측부에 인접한 상기 글라스 클램프의 일측에는 상기 도너 글라스의 상하방향의 이동을 저지하도록 상기 도너 글라스를 지지하는 글라스 서포터가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.One side of the glass clamp adjacent to the side of the donor glass to support the donor glass to block the movement of the donor glass in the vertical direction A chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that a glass supporter is provided.

트레이 본체; 및Tray body; And

상기 트레이 본체에 각각 결합되어 글라스(glass)를 일방향으로 가압하는 가압 유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.And a pressurizing unit coupled to the tray main body to press the glass in one direction.

제10항에 있어서,The method of claim 10,

상기 가압 유닛은,The pressurizing unit,

상기 트레이 본체에 마련되는 가이드에 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 푸셔; 및A pusher slidably coupled to a guide provided in the tray body; And

상기 푸셔에 결합되어 상기 푸셔를 가압하는 볼 플런져를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.And a ball plunger coupled to the pusher to pressurize the pusher.

제11항에 있어서,The method of claim 11,

상기 가압 유닛에 상호 대응되는 상기 트레이 본체의 반대편에는 각각 돌출턱이 마련되며,Protruding jaws are provided on opposite sides of the tray body corresponding to the pressing unit,

상기 가압 유닛은 2축 방향으로 각각 1개씩 마련되는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.And one pressurizing unit each provided in two axial directions.

제10항에 있어서,The method of claim 10,

상기 트레이 본체에는, 상기 트레이 본체가 적층될 때 상호간 밀착되도록 표 면으로부터 함몰형성되는 도피홈이 더 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.The tray main body further comprises an evacuation groove recessed from a surface of the tray main body so as to be in close contact with each other when the tray main bodies are stacked.

제10항에 있어서,The method of claim 10,

상기 트레이 본체의 중앙 영역에는, 상기 글라스가 안착될 때 상기 트레이 본체의 두께보다 상기 글라스가 상대적으로 돌출될 수 있도록 함몰 형성되는 글라스 안착부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.In the central area of the tray body, a glass seating portion is formed which is recessed so that the glass is relatively protruded from the thickness of the tray body when the glass is seated. .

트레이 본체; 및Tray body; And

상기 트레이 본체에 마련되는 클램프 가이드에 슬라이딩 이동가능하게 결합되며, 필름 프레스용 글라스가 지지되는 글라스 홀더부;A glass holder unit slidably coupled to the clamp guide provided on the tray main body and supporting the glass for film press;

상기 트레이 본체와 상기 글라스 홀더부에 각각 결합되어 상기 글라스 홀더를 가압하는 가압 유닛;A pressurizing unit coupled to the tray main body and the glass holder part to pressurize the glass holder;

전사층이 형성된 도너 필름(donor film)을 처킹하는 필름 홀더부; 및A film holder portion for chucking a donor film having a transfer layer formed thereon; And

상기 트레이 본체와 상기 필름 홀더부에 각각 결합되어 상기 도너 필름에 텐션을 가하는 텐션 유닛을 포함하며,A tension unit coupled to each of the tray body and the film holder to apply tension to the donor film,

상기 글라스 홀더부는,The glass holder portion,

글라스 홀더몸체; 및Glass holder body; And

상기 글라스 홀더의 측부에 형성되되, 상기 필름 프레스용 글라스의 상하방향의 이동을 제한하도록 상기 필름 프레스용 글라스의 소정 영역을 지지하는 글라스 서포터를 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.Is formed on the side of the glass holder, for supporting a predetermined region of the glass for the film press to limit the movement of the film pressing glass in the vertical direction A chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device, comprising a glass supporter.

삭제delete

제15항에 있어서,The method of claim 15,

상기 가압 유닛은,The pressurizing unit,

상기 트레이 본체와 상기 글라스 홀더부를 결합하는 가압볼트; 및A pressure bolt coupling the tray main body and the glass holder part; And

상기 트레이 본체와 상기 가압볼트 사이에 개재되는 글라스 홀더용 스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.A chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device, comprising a spring for a glass holder interposed between the tray body and the pressure bolt.

제15항에 있어서,The method of claim 15,

상기 필름 홀더부는,The film holder portion,

상기 트레이 본체에 마련되는 홀더 가이드에 슬라이딩 이동가능하게 결합되는 필름 홀더몸체; 및A film holder body slidably coupled to a holder guide provided in the tray body; And

상기 필름 홀더몸체에 형성된 관통 개구에 배치되는 판스프링을 포함하는 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.And a leaf spring disposed in the through opening formed in the film holder body.

제18항에 있어서,The method of claim 18,

상기 텐션 유닛은, 상기 트레이 본체와 상기 필름 홀더몸체 사이에 개재되는 필름 홀더용 스프링인 것을 특징으로 하는 유기전계발광표시장치 제조용 처킹 트레이.The tensioning unit is a chucking tray for manufacturing an organic light emitting display device, characterized in that the spring for the film holder interposed between the tray body and the film holder body.