KR101079332B1 - 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명에 따른 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치는, 챔버개폐기구 작동시에 발생할 수 있는 금속성 이물질이 챔버 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있도록 챔버개폐기구를 챔버의 외부면에 구성하거나, 챔버에 이물질 유입 방지 구조를 형성함으로써, 기판 합착 공정시에 이물질이 챔버 내부로 유입되는 것을 방지하여, 보다 우수한 공정 실현이 가능하고, 이에 따라 기판 합착 장치의 신뢰성을 높일 수 있는 효과를 갖는다.
챔버, 합착, 기판, 승강잭, 흡착, 커버, 블록, 이물질

Description

금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치{Apparatus for attaching substrates having structure of metallic debris blocking}
본 발명은 두 개의 기판을 상호 합착하여 부착하는 기판 합착 장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이 패널(FDP; Flat Display Panel)은 크게 액정표시장치(LCD; Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP; Plasma Display Panel), 전계 방출 표시장치(FED; Field Emission Display) 및 유기발광다이오드(OLED; Organic Light Emitting Diodes) 등이 개발되어 사용되고 있다.
이와 같은 디스플레이 패널들은 통상 두 개의 기판(예를 들면 유리 기판 등) 사이에 영상을 구현할 수 있는 화상 표시소자가 설치되는데, 이와 같은 구조를 갖기 위해서는 두 개의 기판을 상호 합착하여 부착하는 공정이 필요하게 된다.
LCD를 예를 들어 설명하면, TFT(Thin Film Transistor) 기판과 형광체가 도포된 칼라 필터(Color Filter) 기판을 각각 제작한 다음, 그 사이에 액정(Liquid Crystal)을 주입하고, 상기 두 기판을 합착하여 LCD 패널을 제작하게 된다.
여기서 LCD를 제작하기 위한 기판 합착 공정은 진공 상태로 두 기판을 합착 할 수 있는 기판 합착 장치가 사용된다.
도 1 및 도 2는 기판 합착 장치를 개략적으로 보여주는 도면으로서, 이를 참조하여 기판 합착 장치에 대하여 설명한다.
기판 합착 장치는, 베이스 프레임(1)과, 상부 챔버 유닛(10)과 하부 챔버 유닛(20)으로 이루어져 상기 베이스 프레임(1)에 지지되는 합착 챔버(5)와, 이 합착 챔버(5) 내에 구비되어 합착될 기판(P1)(P2)이 로딩되어 고정 상태가 유지되도록 하는 상하부 흡착 스테이지(30, 40)와, 상기 상부 챔버 유닛(10) 또는 하부 챔버 유닛(20)을 이동시켜 상기 상부 챔버 유닛(10)과 하부 챔버 유닛(20) 사이의 대향 간격을 이격/근접시키는 챔버개폐기구(50)가 구성된다.
상기 챔버개폐기구(50)는 합착 챔버(5)의 네 모서리 부분에 각각 하나씩 설치되는데, 각각은 베이스 프레임(1)에 지지된 상태에서 하부 챔버 유닛(20)을 관통하여 상부 챔버유닛(10)을 들어 올릴 수 있도록 잭 유닛(51) 등으로 구성된다.
잭 유닛(51)은 상기 하부 챔버 유닛(20)을 관통한 상태에서 상하 이동하는 승강로드(52)가 구비되고, 이 승강로드(52)는 상부 챔버 유닛(10)의 상부 챔버 플레이트(13)의 하부에 접촉되면서 상부 챔버 유닛(10)을 밀어 올릴 수 있도록 이루어진다.
상기와 같이 구성되는 기판 합착 장치는, 합착 챔버(5) 내에 두 개의 기판이 투입되어 합착이 완료된 후에, 상기 챔버개폐기구(50)를 작동시켜 상부 챔버 유닛(10)을 들어 올리고, 합착된 기판을 배출하게 된다.
그러나, 상기한 바와 같은 종래 기술의 기판 합착 장치는, 챔버개폐기구의 승강로드(52)가 상부 챔버 플레이트(13)의 밑면에 직접 접촉된 상태에서 상부 챔버 유닛(10)을 밀어 올리도록 구성되기 때문에 챔버 개폐 작동시에 챔버개폐기구(50)와 상부 챔버 플레이트(13)의 잦은 접촉으로, 도 1에서와 같이 접촉부에서 금속 이물질이 발생하게 되고, 이렇게 발생된 금속 이물질은 챔버 개방시에 도 2에서와 같이 챔버 내부로 유입됨으로써 기판 합착 공정에 나쁜 영향을 미치게 되어, 합착 품질 저하는 물론 기판 합착 장치의 신뢰성을 떨어뜨리는 문제점이 있다.
이상 설명한 배경기술의 내용은 이 건 출원의 발명자가 본 발명의 도출을 위해 보유하고 있었거나, 본 발명의 도출 과정에서 습득한 기술 정보로서, 반드시 본 발명의 출원 전에 일반 공중에게 공개된 공지기술이라 할 수는 없다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 챔버개폐기구 작동시에 발생할 수 있는 금속 이물질이 챔버 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있도록 구성함으로써, 보다 우수한 공정 실현이 가능하도록 하여 기판 합착 장치의 신뢰성을 높일 수 있는 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치를 제공하는 데 목적이 있다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치는, 하부 챔버 유닛과 이 하부 챔버 유닛의 상부에 결합되는 상부 챔버 유닛으로 이루어진 합착 챔버와, 상기 합착 챔버의 외부에서 복수 위치에 구비되어 상기 상부 챔버 유닛을 상하 이동시킴으로써 합착 챔버를 개폐시키는 챔버개폐기구를 포함하여 구성되되, 상기 챔버개폐기구는, 상기 상부 챔버 유닛의 외부면에 고정되어 설치된 상부 개폐블록과, 상기 하부 챔버 유닛 또는 이 하부 챔버 유닛이 설치된 구조물에 지지된 상태에서 상기 상부개폐블록을 밀어서 상승시키는 승강기구를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기 하부 챔버 유닛은 베이스 프레임의 상부에 지지되게 설치되고, 상기 승강기구는 상기 베이스 프레임에 지지된 승강잭과, 상기 승강잭에서 상하 이동하면서 상기 상부개폐블록을 밀어 올리는 승강 로드를 포함하여 구성되는 것이 바람직 하다.
상기 하부 챔버 유닛의 외측에는 상기 상부개폐블록에 대응되는 위치에 상기 승강 로드가 관통하는 하부개폐블록이 고정되어 설치되되, 상기 하부개폐블록의 상면은 상기 하부 챔버 유닛에서 상기 상부 챔버 유닛과 밀착되는 면 보다 낮게 형성되어, 상기 승강 로드와 하부개폐블록이 접촉되면서 발생되는 금속 이물이 합착 챔버의 안쪽으로 넘어가지 않도록 구성되는 것이 바람직하다.
이때, 상기 상부개폐블록은 밑면에 상기 승강 로드가 상단부가 결합되는 홈부가 형성될 수 있다.
상기 상부개폐블록과 하부개폐블록 사이에는 상기 승강 로드의 외부를 막아주는 통형 구조의 커버체가 구비될 수 있다.
이때, 상기 커버체는 상부개폐블록과 하부개폐블록 중 어느 한쪽에 삽입된 상태에서 슬라이딩 가능하게 구성되는 것이 바람직하다.
또한, 상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치는, 하부 챔버 유닛과 이 하부 챔버 유닛의 상부에 결합되는 상부 챔버 유닛으로 이루어진 합착 챔버와, 상기 하부 챔버 유닛을 관통하게 설치되어 상기 상부 챔버 유닛을 밀어서 상승시킴으로써 합착 챔버를 개폐시키는 챔버개폐기구를 포함하여 구성되되, 상기 챔버개폐기구는, 하부 챔버 유닛의 하부에 설치된 승강잭과, 상기 승강잭으로부터 하부 챔버 유닛을 관통하게 설치되어 승강잭에 의해 상하 이동하면서 상기 상부 챔버 유닛을 밀어 올리는 승강 로드를 포함하고, 상기 하부 챔버 유닛은, 상기 승강 로드가 관통되는 부분에서, 금속 이물들이 합착 챔버 안으로 넘어 들어가는 것을 최소화할 수 있도록 하부 챔버 유닛 상부의 바깥쪽 면이 안쪽 면보다 일정 높이만큼 더 낮게 구성된 것을 특징으로 한다.
상기한 과제를 실현하기 위한 본 발명에 따른 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치는, 하부 챔버 유닛과 이 하부 챔버 유닛의 상부에 결합되는 상부 챔버 유닛으로 이루어진 합착 챔버와, 상기 하부 챔버 유닛을 관통하게 설치되어 상기 상부 챔버 유닛을 밀어서 상승시킴으로써 합착 챔버를 개폐시키는 챔버개폐기구를 포함하여 구성되되, 상기 챔버개폐기구는, 하부 챔버 유닛의 하부에 설치된 승강잭과, 상기 승강잭으로부터 하부 챔버 유닛을 관통하게 설치되어 승강잭에 의해 상하 이동하면서 상기 상부 챔버 유닛을 밀어 올리는 승강 로드와, 상기 승강 로드의 둘레에서 상기 하부 챔버 유닛과 상부 챔버 유닛 중 적어도 어느 한쪽에 구비되어 다른 쪽에 슬라이딩 가능하게 결합되는 커버체를 포함한 것을 특징으로 한다.
상기한 바와 같은 본 발명의 주요한 과제 해결 수단들은, 아래에서 설명될 '발명의 실시를 위한 구체적인 내용', 또는 첨부된 '도면' 등의 예시를 통해 보다 구체적이고 명확하게 설명될 것이며, 이때 상기한 바와 같은 주요한 과제 해결 수단 외에도, 본 발명에 따른 다양한 과제 해결 수단들이 추가로 제시되어 설명될 것이다.
본 발명에 따른 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치는, 챔버개폐기구 작동시에 발생할 수 있는 금속성 이물질이 챔버 내부로 유입되는 것을 방지할 수 있도록 챔버개폐기구를 챔버의 외부면에 구성하거나, 챔버에 이물질 유입 방지 구조를 형성함으로써, 기판 합착 공정시에 이물질이 챔버 내부로 유입되는 것을 방지하여, 보다 우수한 공정 실현이 가능하고, 이에 다라 기판 합착 장치의 신뢰성을 높일 수 있는 효과를 제공한다.
첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 여러 실시예들을 설명함에 있어서 동일 유사한 구성 부분에 대해서는 동일한 참조 번호를 부여하고 반복 설명은 생략한다.
도 4는 본 발명의 제1실시예예 따른 기판 합착 장치를 보인 구성도이고, 도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 합착 장치의 개략적인 평면도이다.
이들 도면에 예시된 바와 같이, 본 발명에 따른 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치는, 베이스 프레임(100)과, 상부 챔버 유닛(210)과 하부 챔버 유닛(220)으로 이루어져 상기 베이스 프레임(100)에 지지되는 합착 챔버(200)와, 이 합착 챔버(200) 내에 구비되어 합착될 기판(P1, P2)이 로딩되어 고정 상태가 유지되도록 하는 상하부 흡착 스테이지(230, 240)와, 상기 하부 챔버 유닛(220)에 대하여 상부 챔버 유닛(210)을 상하 이동시켜 합착 챔버(200)를 개폐하는 챔버개폐기 구(300)가 구성된다.
특히, 챔버개폐기구(300)는 합착 챔버(200)의 외측면에 부착되어 별도로 설치된 구조로 이루어진다.
이와 같이 구성되는 기판 합착 장치의 주요 구성 부분을 보다 상세히 설명한다.
먼저, 상기 베이스 프레임(100)은 본 발명에 따른 기판 합착 장치를 지지하는 구조물로서, 하부 챔버 유닛(220)을 비롯하여, 내부에 주요 구성부분이 설치될 수 있는 구성으로 이루어진다.
다음, 상기 합착 챔버(200)는 상부 챔버 유닛(210)과 하부 챔버 유닛(220)으로 나누어져 구성되고, 두 개의 기판(P1, P2)을 진공 상태에서 합착할 수 있도록 내부 공간을 배기하여 진공 상태의 유지가 가능하도록 구성된다.
상기 상부 챔버 유닛(210)은 상부 베이스(211)와, 상기 상부 베이스(211)의 저면에 고정되고 그 내부에 합착 공간을 형성토록 사각테 구조로 이루어진 상부 챔버 플레이트(215)를 포함하여 구성된다.
여기서 상기 상부 챔버 플레이트(215)의 안쪽 공간에는 상부 흡착 스테이지(230)가 장착되고, 이 상부 흡착 스테이지(230)는 상기 상부 챔버 유닛(210)과 함께 움직일 수 있도록 구성되는 것이 바람직하다.
상기 하부 챔버 유닛(220)은 베이스 프레임(100)에 고정된 하부 베이스(221)와, 상기 하부 베이스(221)의 상면에 구비되어 합착 공간을 형성토록 사각테 구조로 배치되는 하부 챔버 플레이트(225)를 포함하여 구성된다.
여기서 상기 하부 챔버 플레이트(225)에 형성되는 공간 내부에는 하부 흡착 스테이지(240)가 장착되고, 이 하부 흡착 스테이지(240)는 상기 하부 베이스(221)의 상부에 장착된다.
상부 챔버 유닛(210)과 하부 챔버 유닛(220) 사이에는 하부 챔버 플레이트(225)의 상면에 합착 챔버(200)의 내부 공간을 밀봉할 수 있도록 실 부재(250)가 설치된다.
이와 같은 합착 챔버(200)에 구비되는 상,하부 흡착 스테이지(230, 240)는, 상기 상,하부 챔버 유닛(210, 220)에 고정되는 고정 플레이트(231,241)와, 각 기판이 고정되는 흡착 플레이트(232,242)를 포함하여 구성된다.
다음, 상기 합착 챔버(200)를 개폐하는 상기 챔버개폐기구(300)는, 종래와 달리 합착 챔버(200)의 외부에서, 복수 위치에 구비된다.
챔버개폐기구(300)가 설치되는 복수의 위치는 도 5 및 도 6에 도시된 바와 같이, 전체 기판 합착 장치가 대략 사각 평면 구조를 가질 때, 네 모서리 부분에 설치된다. 도 5에서는 합착 챔버(200)의 각 모서리 부분을 중심으로 하여 바깥쪽(모서리 양쪽)에 설치된 구조를 예시하고 있고, 도 6에서는 합착 챔버(200)의 각 모서리에서 한쪽면의 바깥쪽에 설치된 구조를 예시하고 있다.
즉, 아래에서 설명할 챔버개폐기구(300)를 구성하는 상부개폐블록(330) 및 하부개폐블록(340)이 합착 챔버의 바깥쪽에 구비된 구성을 보여준다. 도 5와 도 6에 예시된 구조 외에도 상부 챔버 유닛(210)을 승강시키는 구조이면 평면으로 보았을 때, 상부 및 하부개폐블록(330, 340)을 다른 배치 구조로 변경하여 구성하는 것 도 가능하다.
이러한 챔버개폐기구(300)는, 상기 상부 챔버 유닛(210)의 외부면에 고정되어 설치된 상부개폐블록(330)과, 상기 하부 챔버 유닛(220)의 외측에 상기 상부개폐블록(330)에 대응되는 위치에 고정되어 설치된 하부개폐블록(340)과, 상기 하부 챔버 유닛(220) 또는 이 하부 챔버 유닛(220)이 설치된 구조물인 베이스 프레임(100)에 지지된 상태에서 상기 상부개폐블록(330)을 밀어서 상승시키는 승강기구(310)를 포함하여 구성된다.
여기서 승강기구(310)는, 상기 베이스 프레임(100)에 지지되어 수직으로 세워진 승강잭(311)과, 상기 승강잭(311)에서 하부개폐블록(340)을 관통하여 상하 이동하면서 상기 상부개폐블록(330)에 접촉되어 밀어 올리는 승강 로드(315)를 포함하여 구성되는 것이 바람직하다.
이러한 승강기구(310)는, 합착 챔버(200) 개방시에는 4개소에 설치된 승강잭(311)이 동시에 작동되어 상부 챔버 유닛(210)을 밀어올리고, 합착 챔버(200)를 닫을 때에는 무부하 상태에서 상부 챔버 유닛(210)의 하중에 의해 닫히도록 구성되는 것이 바람직하다.
승강잭(311)은, 유압 실린더 구조, 또는 볼 스크류 구조 등 실시 조건에 따라 공지의 직선 운동기구를 이용하여 다양하게 구성 가능하다.
상기 상부개폐블록(330)은 밑면에 상기 승강 로드(315)가 상단부가 결합되는 그루브(331)가 형성되는 것이 바람직하다.
또한 상기 하부개폐블록(340)의 상면은 상기 하부 챔버 유닛(220)에서 상기 상부 챔버 유닛(210)과 밀착되는 면보다 일정 높이(h) 만큼 낮게 형성되어, 상기 승강 로드(315)와 하부개폐블록(340)이 접촉되면서 발생되는 금속 이물이 합착 챔버(200)의 안쪽으로 넘어가지 않도록 구성되는 것이 바람직하다.
한편, 본 발명에 따른 기판 합착 장치에는, 상기한 구성들 외에도 합착 챔버(200) 내의 압력을 조정하는 압력조절기구(미도시), 상하부 스테이지(230, 240)에 로딩된 두 기판의 위치를 정렬하는 기판위치 정렬기구, 기판을 로딩/언로딩시키기 위한 리프트핀 작동기구, 두 기판 사이의 실(seal) 재를 경화시키는 합착 경화 기구 등이 추가로 구비될 수 있다.
상기와 같이 구성되는 본 발명에 따른 기판 합착 장치는, 합착 챔버(200)를 개폐될 때, 챔버개폐기구(300)가 합착 챔버(200)의 외부에 별도의 구조물로 연결되어 설치되기 때문에 승강 로드(315)가 상부개폐블록(330)에 접촉되면서 발생하는 금속 이물 등이 합착 챔버(200) 내부로 유입되는 것을 최소화할 수 있게 된다.
또한, 챔버개폐기구(300)를 구성하는 하부개폐블록(340)의 상면 높이가 하부 챔버 유닛(220)의 상면의 높이보다 낮게 형성되므로, 챔버 개폐시 발생하는 금속 이물이 합착 챔버(200) 내부로 넘어 들어가는 것을 방지할 수 있게 된다.
상기한 바와 같은 본 발명의 제1실시예, 제2실시예(도 6)에서 변형된 구조를 갖는 다른 여러 실시예들을 설명한다. 다른 여러 실시예들을 설명함에 있어서 전술한 제1실시예, 제2실시예의 구성과 동일 유사한 구성 부분에 대하여는 동일한 참조 번호를 부여하고 반복 설명은 생략한다.
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 합착 장치를 보인 구성도이다.
본 발명의 제3실시예에 따른 기판 합착 장치는, 전술한 제1실시예와 전체적으로 동일 유사한 구성으로 이루어지나, 상부개폐블록(330)과 하부개폐블록(340) 사이에 상기 승강 로드(315)의 외부를 막아주는 통형 구조의 커버체(350)가 구비된 구성을 달리한다.
이러한 커버체(350)는 상부개폐블록(330)과 하부개폐블록(340)에 각각 고정되어 어느 한쪽이 다른 쪽에 삽입된 상태에서 슬라이딩 가능하게 구성된다.
본 실시예의 도면에서는, 하부개폐블록(340)을 하부 커버체(355)로 구성하고, 상부 커버체(351)가 하부 커버체(355) 내에 삽입된 상태에서 합착 챔버(200)의 개폐 상태에 따라 상부 커버체(351)가 하부 커버체(355)를 중심으로 슬라이딩 되면서 확장 및 축소 작동이 이루어진다.
물론, 상부 커버체(351)는 상부 챔버 유닛(210)이 최대 높이로 상승한 상태에서도 하부 커버체(355)에 일정 부분 삽입된 상태가 유지될 수 있는 길이를 갖도록 구성된다.
이와 같은 본 발명의 제3실시예의 기판 합착 장치는, 승강 로드(315)와 상부개폐블록(330) 사이의 접촉에 의해 금속 이물이 발생하더라도 커버체(350)가 금속 이물이 밖으로 나오지 못하도록 막아줌으로써 합착 챔버(200) 내부로의 금속 이물이 유입되는 것을 보다 확실하게 방지할 수 있게 된다.
도 8a 및 도 8b는 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 합착 장치를 보인 구성도 및 평면도로서, 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 합착 장치는, 도 1에 예시된 챔버 구조에서, 하부 챔버 유닛(220)의 상면에 턱 구조의 단차를 형성하여, 챔버개폐기구(300')가 작동하면서 발생하는 금속 이물이 합착 챔버(200) 안으로 넘어가는 것을 최소화할 수 있도록 구성된 것이다.
즉, 전술한 본 발명의 제1실시예 내지 제3실시예와 같이 합착 챔버(200) 외부면에 챔버개폐기구를 설치하지 않고, 도 1에 개시된 구조와 같이 상부 챔버 유닛(210)과 하부 챔버 유닛(220) 내벽에 챔버개폐기구(300')를 설치한 상태에서, 금속 이물들이 합착 챔버(200) 안으로 넘어 들어가는 것을 최소화할 수 있도록 하부 챔버 유닛(220)의 바깥쪽 면(227)이 안쪽 면(226)보다 일정 높이(h) 만큼 더 낮아지게 단차를 형성하여 구성한 것이다.
이때, 하부 챔버 유닛(220)에서 단차의 구성은 도 8b에서와 같이 승강 로드(315)가 관통되는 부분인 합착 챔버(200)의 모서리 부분에만 구성될 수 있다.
도 9는 본 발명의 제5실시예에 따른 기판 합착 장치를 보인 구성도로서, 마찬가지로 도 1에 예시된 챔버 구조에서, 커버체(350')를 채용한 구성을 보여준다.
즉, 상부 챔버 유닛(210)에 커버체(350')를 구성하고, 하부 챔버 유닛(220)에 상기 커버체(350')가 삽입될 수 있도록 홈부(355')를 구성하여, 커버체(350')가 홈부(355')를 중심으로 상하 슬라이딩함으로써 내부에서 발생된 금속 이물이 외부로 새어나오는 것을 차단하여 금속 이물이 합착 챔버(200) 내로 유입되는 것을 방 지할 수 있게 된다.
상기한 바와 같은, 본 발명의 실시예들에서 설명한 기술적 사상들은 각각 독립적으로 실시될 수 있으며, 서로 조합되어 실시될 수 있다. 또한, 본 발명은 도면 및 발명의 상세한 설명에 기재된 실시예를 통하여 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다. 따라서, 본 발명의 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위에 의해 정해져야 할 것이다.
도 1은 종래 기판 합착 장치를 보인 구성도,
도 2는 종래 기판 합착 장치에서 상부 챔버 유닛이 상승한 상태를 보인 구성도,
도 3은 종래 기판 합착 장치의 개략적인 평면도,
도 4는 본 발명의 제1실시예예 따른 기판 합착 장치를 보인 구성도,
도 5는 본 발명의 제1실시예에 따른 기판 합착 장치의 개략적인 평면도,
도 6은 본 발명의 제2실시예에 따른 기판 합착 장치의 개략적인 평면도,
도 7은 본 발명의 제3실시예에 따른 기판 합착 장치를 보인 구성도,
도 8a와 도 8b는 본 발명의 제4실시예에 따른 기판 합착 장치를 보인 구성도 및 개략적인 평면도,
도 9는 본 발명의 제5실시예에 따른 기판 합착 장치를 보인 구성도이다.

Claims (8)

  1. 베이스 프레임의 상부에 지지되게 설치된 하부 챔버 유닛과 이 하부 챔버 유닛의 상부에 결합되는 상부 챔버 유닛으로 이루어진 합착 챔버와, 상기 합착 챔버의 외부에서 복수 위치에 구비되어 상기 상부 챔버 유닛을 상하 이동시킴으로써 합착 챔버를 개폐시키는 챔버개폐기구를 포함하여 구성되고,
    상기 챔버개폐기구는, 상기 상부 챔버 유닛의 외부면에 고정되어 설치된 상부 개폐블록과; 상기 하부 챔버 유닛 또는 이 하부 챔버 유닛이 설치된 구조물에 지지된 상태에서 상기 상부개폐블록을 밀어서 상승시키는 것으로, 상기 베이스 프레임에 지지된 승강잭과, 상기 승강잭에서 상하 이동하면서 상기 상부개폐블록을 밀어 올리는 승강 로드를 포함한 승강기구를 포함하며,
    상기 하부 챔버 유닛의 외측에는 상기 상부개폐블록에 대응되는 위치에 상기 승강 로드가 관통하는 하부개폐블록이 고정되어 설치되되, 상기 하부개폐블록의 상면은 상기 하부 챔버 유닛에서 상기 상부 챔버 유닛과 밀착되는 면 보다 낮게 형성되어, 상기 승강 로드와 하부개폐블록이 접촉되면서 발생되는 금속 이물이 합착 챔버의 안쪽으로 넘어가지 않도록 구성된 것을 특징으로 하는 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 청구항 1에 있어서,
    상기 상부개폐블록은 밑면에 상기 승강 로드의 상단부가 결합되는 홈부가 형성된 것을 특징으로 하는 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치.
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 상부개폐블록과 하부개폐블록 사이에는 상기 승강 로드의 외부를 막아주는 통형 구조의 커버체가 구비된 것을 특징으로 하는 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치.
  6. 청구항 5에 있어서,
    상기 커버체는 상부개폐블록과 하부개폐블록 중 어느 한쪽에 삽입된 상태에서 슬라이딩 가능하게 구성된 것을 특징으로 하는 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치.
  7. 하부 챔버 유닛과 이 하부 챔버 유닛의 상부에 결합되는 상부 챔버 유닛으로 이루어진 합착 챔버와, 상기 하부 챔버 유닛을 관통하게 설치되어 상부 챔버 유닛을 밀어서 상승시킴으로써 합착 챔버를 개폐시키는 챔버개폐기구를 포함하여 구성되되,
    상기 챔버개폐기구는, 하부 챔버 유닛의 하부에 설치된 승강잭과, 상기 승강잭으로부터 하부 챔버 유닛을 관통하게 설치되어 승강잭에 의해 상하 이동하면서 상기 상부 챔버 유닛을 밀어 올리는 승강 로드를 포함하고,
    상기 하부 챔버 유닛은, 상기 승강 로드가 관통되는 부분에서, 금속 이물들이 합착 챔버의 안쪽으로 넘어가지 않도록 하부 챔버 유닛 상부의 바깥쪽 면이 안쪽 면보다 일정 높이만큼 더 낮게 구성된 것을 특징으로 하는 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치.
  8. 하부 챔버 유닛과 이 하부 챔버 유닛의 상부에 결합되는 상부 챔버 유닛으로 이루어진 합착 챔버와, 상기 하부 챔버 유닛을 관통하게 설치되어 상부 챔버 유닛 을 밀어서 상승시킴으로써 합착 챔버를 개폐시키는 챔버개폐기구를 포함하여 구성되되,
    상기 챔버개폐기구는, 하부 챔버 유닛의 하부에 설치된 승강잭과, 상기 승강잭으로부터 하부 챔버 유닛을 관통하게 설치되어 승강잭에 의해 상하 이동하면서 상기 상부 챔버 유닛을 밀어 올리는 승강 로드와, 상기 승강 로드의 둘레에서 상기 하부 챔버 유닛과 상부 챔버 유닛 중 적어도 어느 한쪽에 구비되어 다른 쪽에 슬라이딩 가능하게 결합되는 커버체를 포함한 것을 특징으로 하는 금속 이물 차단 구조를 갖는 기판 합착 장치.
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