KR101071260B1 - 반사투과형 액정 표시 장치 - Google Patents

반사투과형 액정 표시 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반사 모드와 투과 모드간의 색재현성 차이를 감소시키면서 제조 공정을 단순화할 수 있는 반사투과형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것으로, 제1 기판, 상기 제1 기판 위에 형성되어 있고, 상기 투과 영역에서 함몰부를 가지는 투광성막, 상기 투광성막 위에 형성되어 있으며 상기 투광성막의 함몰부에 의해 위치에 따라 다른 두께를 갖는 컬러 필터, 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되어 있는 투명 전극, 그리고 상기 반사 영역에 위치하며 상기 투광성막과 상기 컬러 필터 사이에 형성되어 있는 반사 전극, 제2 기판, 상기 제2 기판 위에 형성되어 있는 공통 전극, 그리고 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있는 액정층을 포함하는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법이 제공된다.
이와 같이 본 발명은 투과 영역의 투과창부의 투광성막에 함몰부를 형성하고 그 위에 컬러 필터를 적층하여 투과 영역의 컬러 필터층이 반사 영역의 컬러 필터층보다 두텁게 형성함으로써 양 모드간의 색재현성 차를 줄이고, 투과 영역의 상판 오버코트층에 함몰부를 형성함으로써 양 모드간의 셀 갭을 달리 형성하여 광특성 차를 줄인다.
반사투과형 액정 표시 장치, 셀갭, 색재현성

Description

반사투과형 액정 표시 장치{TRANSFLECTIVE LIQUID CRYSTAL DISPLAY}
도 1은 일반적인 반사투과형 액정 표시 장치의 단면도.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사투과형 액정 표시 장치의 단면도.
도 3은 본 발명의 다른 실시예에 따른 반사투과형 액정 표시 장치의 단면도.
도 4는 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 반사투과형 액정 표시 장치의 단면도.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사투과형 액정 표시 장치의 어레이 기판의 제작 공정도.
도 6a 내지 도 6d는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사투과형 액정 표시 장치의 공통 전극 기판의 제작 공정도.
<<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>>
110, 210, 510: 제1 절연 기판
120, 220, 520: 박막 트랜지스터
121, 221, 521: 게이트 전극
122, 222, 522: 게이트 절연막
123, 223, 523: 소스 전극
124, 224, 524: 드레인 전극
226, 526: 반도체층
527: 오믹 컨택층
130: 유기막
230, 530: 투광성막
231, 531, 531`: 컨택홀
232: 투과창
140, 240: 화소전극
141, 241, 341, 441, 541: 투명 전극
142, 242, 342, 442, 542: 반사 전극
160, 260, 560: 어레이 기판
150, 250, 450, 550: 컬러 필터층
171, 271, 671: 제2 절연 기판
272, 672: 오버코트층
274, 674: 오버코트층 함몰부
173, 273, 673: 공통 전극
170: 컬러 필터기판
270, 670: 공통 전극 기판
590: 제1 패턴 마스크
675: 제2 패턴 마스크
본 발명은 반사투과형 액정 표시 기판 및 그 제조 방법에 관한 것이다.
액정 표시 장치는 동작 모드에 따라 표시 패널 후면에 위치한 백라이트로부터 발생된 빛을 제공받아 영상을 표시하는 투과형 액정 표시 장치와 장치 외부로부터 빛을 제공받아 영상을 표시하는 반사형 액정 표시 장치로 구분된다.
최근에는 디스플레이 장치의 이동성이 커지면서 전력 소모가 적고 밝은 실외에서 시인성이 좋은 반사형 액정 표시 장치의 장점과 어두운 실내에서 시인성이 좋은 투과형 액정 표시 장치의 장점을 모두 살려 주변 광도의 영향을 크게 받지 않고 적절한 시인성을 확보할 수 있도록 반사투과형 액정 표시 장치의 활용이 늘고 있다.
도 1은 종래의 반사투과형 액정 표시 기판을 도시한 도면이다.
도 1을 참조하면, 종래의 반사투과형 액정 표시 기판은 박막 트랜지스터(120)가 형성된 어레이 기판(160)과, 컬러 필터(150)와 공통 전극(173)이 형성되고 어레이 기판(170)과 마주보는 공통 전극 기판(173)과, 그리고 어레이 기판(160)과 컬러 필터기판(170) 사이에 개재된 액정층(180)으로 이루어진다.
어레이 기판(160)은 제1 절연 기판(110) 위에 형성된 박막 트랜지스터(120)와, 화소전극부(140)를 이루며 박막 트랜지스터와 전기적으로 연결되어 있는 투명 전극(141) 및 반사 전극(142)과, 그리고 박막 트랜지스터(120)와 화소전극부(140) 사이에 개재된 유기막(130)으로 이루어지며, 반사 전극(142)이 형성된 반사 영역(B)과 반사 전극(142)이 개구되어 투명 전극(141)이 노출된 투과 영역(A)으로 구분된다.
컬러 필터기판(170)은 제2 절연 기판(171) 위에 형성된 컬러 필터층(150) 및 컬러 필터층(150)을 덮는 공통 전극(173)으로 이루어진다.
이와 같은 구조를 갖는 액정 표시 기판(100)은 컬러 필터기판(170)을 통해 입사되는 외부광(L1)을 반사 전극(142)에서 반사시켜 다시 컬러 필터기판(170)을 통해 출사시킴으로써 영상을 표시하는 반사 모드와, 어레이 기판(160)의 후면에서 입사하는 백라이트광(L2)을 컬러 필터기판(170)을 통해 출사시킴으로써 영상을 표시하는 투과 모드를 갖는다.
이러한 구조에서 반사 모드의 외부광(L1)은 컬러 필터층을 두 번 통과하는 반면 투과 모드의 백라이트광(L2)은 컬러 필터층을 한 번 통과하기 때문에 양 모드간의 색재현성 차이가 발생하는 문제점이 있다.
또한, 반사 모드의 외부광(L1)이 경험하는 광경로의 길이는 약 2d인 반면 투과 모드의 백라이트광(L2)이 경험하는 광경로의 길이는 d로 차이가 나기 때문에 반사 모드와 투과 모드간의 광특성 차이가 발생하는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명이 이루고자 하는 기술적 과제는 반사 모드와 투과 모드간의 색재현성 차이가 최소화된 반사투과형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
본 발명이 이루고자 하는 또 다른 기술적 과제는 반사 모드와 투과 모드의 광이 경험하는 광경로의 길이를 같게 해주어 양 모드간의 광특성 차이를 최소화한 반사투과형 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 것이다.
이와 같은 기술적 과제를 이루기 위한 본 발명의 반사투과형 액정 표시 장치는 제1 기판, 상기 제1 기판 위에 형성되어 있고, 상기 투과 영역에서 함몰부를 가지는 투광성막, 상기 투광성막 위에 형성되어 있으며 상기 투광성막의 함몰부에 의해 위치에 따라 다른 두께를 갖는 컬러 필터, 상기 드레인 전극과 전기적으로 연결되어 있는 투명 전극, 그리고 상기 반사 영역에 위치하며 상기 투광성막과 상기 컬러 필터 사이에 형성되어 있는 반사 전극, 제2 기판, 상기 제2 기판 위에 형성되어 있는 공통 전극, 그리고 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있는 액정층을 포함한다.
상기 액정 표시 장치는 상기 제1 기판 위에 형성되어 있는 게이트 전극, 상기 게이트 전극의 위 또는 아래에 위치하며 상기 게이트 전극과 절연되어 있는 반도체층 및 상기 반도체층과 연결되어 있는 소스/드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 더 포함할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 액정 표시 장치는 상기 제2 기판과 상기 공통 전극 사이에 형성되어 있는 절연층을 더 포함하며, 상기 절연층은 상기 투광성막의 함몰부와 마주보는 함몰부를 가지고 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 절연층의 함몰부는 상기 반사 영 역에서의 상기 컬러 필터의 두께와 실질적으로 동일한 깊이를 갖는다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 투광성막의 함몰부는 두께가 0이다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 투광성막은 표면에 요철 구조를 가지며, 상기 반사 전극은 상기 투광성막 표면의 요철 구조를 따라 요철 구조를 갖는다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 컬러 필터의 표면은 높이가 균일하다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 컬러 필터의 두께는 상기 투과 영역에서 상기 반사 영역에서의 두 배이다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 투명 전극은 상기 투광성막과 상기 반사 전극 사이, 상기 제1 절연 기판과 상기 투광성막 사이, 또는 상기 컬러 필터 위에 위치할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 상기 액정층은 전계가 없을 때 상기 제1 및 제2 기판과 평행하게 같은 방향을 향하여 배열되는 다수의 액정 분자를 포함하고, 상기 반사투과형 액정 표시 장치는 상기 컬러 필터와 상기 투명 전극 위에 형성된 배향층을 더 포함할 수 있다. 이와는 달리 상기 액정층은 전계가 없을 때 상기 제1 및 제2 기판에 대하여 수직 배열되는 다수의 액정 분자를 포함할 수 있다.
본 발명의 기술적 과제를 달성하기 위한 반사투과형 액정 표시 기판의 제조 방법은, 제1 기판에 박막 트랜지스터를 형성하는 단계, 상기 박막 트랜지스터 및 상기 제1 기판 위에 함몰부를 갖는 투광성막을 형성하는 단계, 상기 투광성막 위에 투명 전극을 형성하는 단계, 상기 투명 전극 위에 상기 투광성막의 함몰부 이외의 부분 위에 반사 전극을 형성하는 단계, 상기 반사 전극 및 상기 투광성막 위에 컬러 필터층을 형성하는 단계, 상기 컬러 필터층 위에 투명 전극을 형성하는 단계, 제2 기판에 절연층을 형성하는 단계, 상기 절연층 위에 공통 전극을 형성하는 단계, 상기 제1 기판과 상기 제2 기판을 정렬하는 단계, 그리고 상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 액정을 개재시키는 단계를 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 반사투과형 액정 표시 기판의 제조 방법은 상기 투광성막을 슬릿 노광하여 상기 투광성막의 표면에 엠보싱 구조를 형성하는 단계를 더 포함한다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 따르면 반사투과형 액정 표시 기판의 제조 방법은 상기 투광성막의 함몰부와 마주보는 위치의 상기 절연층 부분을 적어도 일부 제거하여 함몰부를 형성하는 단계를 더 포함한다.
그러면, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
도면에서 여러 층 및 영역을 명확하게 표현하기 위하여 두께를 확대하여 나타내었다. 명세서 전체를 통하여 유사한 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 붙 였다. 층, 막, 영역, 판 등의 부분이 다른 부분 "위에" 있다고 할 때, 이는 다른 부분 "바로 위에" 있는 경우뿐 아니라 그 중간에 또 다른 부분이 있는 경우도 포함한다. 반대로 어떤 부분이 다른 부분 "바로 위에" 있다고 할 때에는 중간에 다른 부분이 없는 것을 뜻한다.
도 2, 도 3 및 도 4는 본 발명의 일 실시예에 따른 반사투과형 액정 표시 기판의 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 액정 표시 기판은 서로 마주보는 어레이 기판(260)과 공통 전극 기판(270), 그리고 두 기판(260, 270) 사이에 위치하는 액정층(280)을 포함한다.
어레이 기판(260)은 유리, 석영 또는 사파이어와 같은 절연 물질로 이루어진 절연 기판(210) 상에 다수의 박막 트랜지스터(220), 투광성막(230)과 컬러 필터층(250)이 형성된 기판이다.
박막 트랜지스터(220)는 게이트 전극(221), 게이트 절연막(222), 반도체층(226), 소스 전극(223) 및 드레인 전극(224)을 포함한다. 박막 트랜지스터(220)는 도 2에 도시된 것처럼 게이트 전극(221) 위에 게이트 절연막(222), 반도체층(226)이 차례로 적층되어 있는 하부 게이트 방식일 수도 있고, 반대로 반도체층(226) 위에 게이트 절연막(222), 게이트 전극(221)이 차례로 적층된 상부 게이트 방식(도시하지 않음)일 수도 있다. 반도체층(226)은 비정질 규소 또는 다결정 규소일 수 있다.
절연성을 가진 투광성막(130)은 박막 트랜지스터(220) 위에 위치하며 스핀 코팅 방법 등으로 형성된다. 투광성막(130)은 BCB(bisbenzocyclobutene), PFCB(perfluorocyclobutene) 등을 포함하는 감광성 유기 물질이나, 산화규소(SiO2), 질화규소(SiNx) 등을 포함하는 감광성 무기 절연 물질로 이루어진다. 투광성막(230)에는 드레인 전극(224)을 부분적으로 노출하는 콘택홀(231)과 백라이트(도시하지 않음)로부터의 광(L2)을 투과시키는 투과창(132)이 형성되어 있다. 투과창(132)은 투광성막(230)이 완전히 제거되어 게이트 절연막(225)이 노출된 부분으로서 표면과 단차(D1)를 형성한다. 그러나 투과창(132)은 투광성막(230)이 일부 두께만 제거되어 만들어질 수도 있다. 또한, 투광성막(230)의 표면은 엠보싱 구조를 가지고 있으나 실질적으로 평탄하게 형성할 수도 있다.
투과창(232)을 제외한 투광성막(230) 상에는 반사 전극(242)이 형성되어 있다. 이와 같이, 투과창(232)이 형성된 영역은 백라이트광(L2)을 투과시키는 투과 영역(A)을 이루고, 반사 전극(242)이 형성된 영역은 외부 광(L1)을 반사시키는 반사 영역(B)을 이룬다. 반사 전극(242)은 알루미늄(Al), 은(Ag), 알루미늄-구리(Al-Cu) 합금, 또는 알루미늄-규소-구리(Al-Si-Cu) 합금 등과 같이 반사율이 뛰어난 금속으로 이루어진다. 반사 전극(242)은 균일한 두께로 적층되어 투광성막(230)과 동일한 표면 구조를 갖는다. 따라서, 투광성막(242)의 표면이 엠보싱 구조를 갖는 경우 반사 전극(242) 또한 엠보싱 표면을 가지며, 이러한 반사 전극(242)의 엠보싱 구조는 외부광의 반사 특성을 향상시킨다.
컬러 필터층(250)은 투과창(232) 및 반사 전극(242) 위에 위치한다. 이처럼 컬러 필터층(250)을 어레이 기판(260)에 형성함으로써 컬러 필터층(250)을 공통 전극 기판(270)에 형성할 경우에 발생되었던 오정렬(misalignment)을 방지할 수 있으며, 또한 반사 전극(242) 위에 표면이 비교적 매끄러운 컬러 필터층(250)이 위치하므로 반사 영역(B)에서의 셀 갭 계산이 단순해져서 반사 전극(242)의 엠보싱 구조로 인한 투과 영역(A)과 반사 영역(B) 간의 셀 갭 계산의 곤란성을 제거할 수 있다.
컬러 필터층(250)의 표면 높이는 실질적으로 균일하다. 따라서, 투광성막(230)에 형성된 단차(D1)로 인하여 컬러 필터층(250)에서 투과창(232)에 위치한 부분의 두께(D2)는 반사 전극(150) 상에 위치한 부분의 두께(D3)보다 두껍다. 이와 같이 함으로써, 기술한 바와 같은 투과 영역(A)과 반사 영역(B) 간의 색재현성 차이를 해결할 수 있다. 바람직하게는, 투과창(232) 상의 컬러 필터층(250)의 두께(D2)가 반사 전극(242) 상의 컬러 필터층(250)의 두께(D3)의 두 배가 되도록 하여 외부 광(L1)이 경험하는 컬러 필터층(250)의 길이와 백라이트광(L2)이 경험하는 컬러 필터층(250)의 길이를 실질적으로 같게 한다. 또한, 컬러 필터층(250)의 두께는 컬러 필터층(250)이 나타내는 색상에 따라 다를 수도 있다.
컬러 필터층(250) 위에 투명 전극(241)이 형성되어 있으며, 투명 전극(241)은 ITO(indium tin oxide) 또는 IZO(indium zinc oxide) 등의 투명 도전성 물질로 이루어진다. 투명 전극(241)은 투광성막(230) 및 컬러 필터층(250)에 형성된 컨택홀(231)을 통해 드레인 전극(224) 및 반사 전극(242)과 전기적으로 접촉한다. 이처럼, 투명 전극(241)을 컬러 필터층(250) 위에 형성하면 반사 전극(242)과 투명 전극(241)의 접촉 면적이 줄어 갈바닉(galvanic) 효과를 감소시킬 수 있다.
공통 전극 기판(270)은 유리, 석영 또는 사파이어와 같은 절연 물질로 이루어진 절연 기판(271) 상에 감광성 물질로 이루어진 오버코트층(272)과 투광성을 가진 공통 전극(273)이 형성된 기판이다.
오버코트층(272)에서 어레이 기판(260)의 투과창(232)과 마주보는 부분이 제거되어 오목부를 이룬다. 오버코트층(272)의 단차로 인하여 투과 영역(A)의 셀 갭(d1)은 반사 영역(B)의 셀 갭(d2)보다 크다. 이와 같이 하면, 반사 모드의 외부광(L1)이 경험하는 광경로와 투과 모드의 백라이트광(L2)이 경험하는 광경로가 동일한 길이를 가지므로 반사 모드와 투과 모드간의 광특성차를 없앨 수 있다. 바람직하게는, 투과 영역(A)의 셀 갭(d1)이 반사 영역(B)의 셀 갭(d2)의 두 배가 되도록 오버코트층(272)의 단차를 결정한다.
어레이 기판(260)과 공통 전극 기판(270) 사이에는 액정층(280)이 개재되어 있다. 액정층(280)은 전계가 없을 때 액정 분자들이 기판과 평행하고 90 비틀려 배열된 TN(twisted nematic) 방식이나, 전계가 없을 때 액정 분자들이 기판에 대하여 수직 배열되는 VA(vertically aligned) 방식으로 이루어질 수 있다. 이와는 달리, 액정층(280)은 전계가 없을 때 액정 분자들이 기판과 평행하고 동일 방향을 향하여 배열되어 있고, 어레이 기판(260)의 투명 전극(241)과 공통 전극 기판(270)의 공통 전극(273) 위에 각각 형성되어 있으며 서로 평행하게 러빙된 배향층(도시하지 않음)을 포함할 수 있다(ECB mode). 배향층(도시하지 않음)은 서로 반대 방향으로 러빙될 수 있다.
도 3을 참조하면, 투명 전극(341)이 투광성막(230)/게이트절연층(225)과 반사 전극(242) 사이에 형성된다. 투명 전극(341) 외의 다른 구성요소는 도 2에서 설명한 바와 같다. 투명 전극(341)은 투광성막(230) 위에 대략 균일한 두께로 형성되어 투광성막(230)의 표면에 엠보싱 구조가 형성될 경우 투명 전극(341) 또한 엠보싱 형상을 가지며, 콘택홀(231)을 통해 드레인 전극(224)과 전기적으로 접촉한다. 도 3에 도시된 바와 같이, 두 전극(241, 342)의 접촉 면적이 넓기 때문에 반응성이 적은 금속을 두 전극(241, 342)의 재료로 선택하여 갈바닉 현상을 줄인다.
도 4를 참조하면, 투명 전극(241)이 투과창(232)의 바닥에 게이트 전극(221)과 동일 층에 형성된다. 투명 전극(441) 위에서 게이트 절연막(225)은 개구되어 있으며, 투광성막(230)에는 반사 전극(442)과 드레인 전극(224)의 접촉을 위한 컨택홀이 따로 없다. 대신, 드레인 전극(224)이 투명 전극(441) 근처까지 연장되며, 반사 전극(442)은 투광성막(230)의 상부 및 투과창(232)의 격벽 상에 형성되어, 드레인 전극(224) 및 투명 전극(441)과 전기적으로 연결된다.
이하, 어레이 기판(210)을 제작하는 과정을 도 5a 내지 도 5f를 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 5a 내지 도 5f는 본 발명의 일 실시예에 따른 도 2에 도시된 어레이 기판을 제조하는 공정을 구체적으로 도시한 단면도이다.
도 5a를 참조하면, 제1 절연 기판(510) 상에 게이트 전극(521), 소스 전극(525) 및 드레인 전극(524)을 포함하는 박막 트랜지스터(520)를 형성한다. 구체적으로 설명하면 다음과 같다.
먼저, 절연 기판(510) 상에 알루미늄(Al), 크롬(Cr) 또는 몰리브덴 텅스텐(MoW) 등으로 이루어진 금속막(도시하지 않음)을 증착한 후 패터닝하여 게이트 전극(521)을 형성한다. 이후, 게이트 전극(521) 및 제1 절연 기판(510) 상에 질화규소 또는 산화규소 등으로 이루어진 게이트 절연막(525)을 형성한다.
그 후, 게이트 절연막(525) 상에 진성 비정질 규소막과 인시츄(in situ)로 도핑된 n+ 비정질 규소막을 플라스마 화학 기상 증착 등의 방법으로 차례로 적층한다. 그 다음, 적층된 진성 비정질 규소막과 n+ 비정질 규소막을 패터닝하여 게이트 전극과 대응하는 영역에 반도체층(526) 및 오믹컨택층(527)을 형성한다. 여기서, 비정질 규소막에 적절한 레이저를 조사하여 반도체층(526)을 다결정 규소층으로 전환시킬 수도 있다.
그 다음, 오믹 컨택층(527) 및 게이트 절연막(525) 상에 소스 및 드레인 전극(523, 524)을 형성한다. 이로써, 제1 절연 기판(510) 상에 박막 트랜지스터(520)가 형성된다.
도 5b 및 도 5c를 참조하면, 박막 트랜지스터(520)가 형성된 제1 절연 기판(510)의 상면에 걸쳐 스핀 코팅 방법 등으로 감광성 투광성막(530)을 도포한다. 그 다음, 적층된 투광성막(530) 상에 소정 패턴을 갖는 제1 패턴 마스크(590)를 배치한 후 투광성막(530)을 노광한다.
노광된 투광성막(530)을 현상하면 도 5c에 도시된 바와 같이, 소정의 형태로 패터닝된 투광성막(530)이 형성된다. 구체적으로, 투광성막(530)에는 박막 트랜지스터(520)의 드레인 전극(524)을 부분적으로 노출하는 컨택홀(531) 및 게이트 절연 막(522)을 부분적으로 노출하는 투과창(532)이 형성된다. 여기서 도시하지는 않았지만, 투광성막(530) 표면의 엠보싱 구조는 슬릿 노광을 통해 형성할 수 있다.
도 5d를 참조하면, 투과창(532) 영역에서 개구를 갖도록 투광성막(530) 위에 반사 전극(542)을 형성한다. 반사 전극(542)은 컨택홀(531)을 통해 드레인 전극(524)과 전기적으로 연결된다.
그 다음, 도 5e를 참조하면, 반사 전극(542) 및 투과창(532)을 덮도록 컬러 필터층(550)을 적층한다. 컬러 필터층(550)은 적색, 녹색 및 청색의 세 가지 색을 띌 수 있으며 색상 별로 두께가 다를 수 있다. 컬러 필터층(550)은 실질적으로 평탄하게 형성하며, 투광성막에 형성된 컨택홀(531)과 대응되는 위치에 컨택홀(531`)을 형성한다.
그 다음, 컬러 필터층(550) 전면에 걸쳐 투명 전극(541)을 형성한다. 투명 전극(541)은 실질적으로 균일한 두께로 형성되며, 컨택홀(531`)을 통해 드레인 전극(524) 및 반사 전극(542)과 전기적으로 접촉한다.
이하, 공통 전극 기판(670)을 제작하는 과정을 도 6a 내지 도 6d를 참조하여 구체적으로 설명한다.
도 6a 내지 도 6d는 도 2에 도시된 공통 전극 기판(270)을 제작하는 공정을 구체적으로 나타낸 단면도이다.
도 6a를 참조하면, 절연 기판(671) 위에 감광성 물질로 이루어진 오버코트층(672)을 스핀 코팅 방법 등을 이용하여 형성한다.
그 다음, 도 6b 및 도 6c를 참조하면, 어레이 기판(560)에 형성된 투과창 (532)에 대응되는 영역의 감광성 물질이 제거되도록 패터닝한 제2 패턴 마스크(675)를 배치하여 노광 후 현상하면, 도 6c에 도시된 바와 같이 오버코트층(672)에 함몰부(674)가 형성된다.
도 6d를 참조하면, 함몰부(674)가 형성된 오버코트층(673) 상에 투광성을 가진 공통 전극(673)을 형성한다. 이로써, 공통 전극 기판(670)이 완성된다.
따라서, 상기한 본 발명에 따른 액정표시 기판 및 그 제조 방법에 의하면 반사 영역과 투과 영역간의 컬러 필터층의 두께를 달리 형성함으로써 양 영역에서의 색재현성이 균일하게 되도록 할 수 있다.
또한, 공통 전극 기판 형성시 투과 모드의 셀 갭이 반사 모드의 셀 갭보다 크게 형성할 수 있어 양 모드간의 셀 갭 차로 인한 광학 특성차를 줄일 수 있다.
이상에서 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 상세하게 설명하였지만 본 발명의 권리범위는 이에 한정되는 것은 아니고 다음의 청구범위에서 정의하고 있는 본 발명의 기본 개념을 이용한 당업자의 여러 변형 및 개량 형태 또한 본 발명의 권리범위에 속하는 것이다.

Claims (16)

  1. 반사 영역과 투과 영역을 갖는 반사투과형 액정 표시 장치로서,
    제1 기판,
    상기 제1 기판 위에 형성되어 있고, 상기 투과 영역에서 함몰부를 가지는 투광성막,
    상기 투광성막 위에 형성되어 있으며 상기 투광성막의 함몰부에 의해 위치에 따라 다른 두께를 갖는 컬러 필터,
    상기 컬러 필터 위에 형성되어 있는 투명 전극, 그리고
    상기 투명 전극과 전기적으로 연결되고, 상기 투광성막과 상기 컬러 필터 사이에 형성되어 있는 반사 전극,
    제2 기판,
    상기 제2 기판 위에 형성되어 있는 공통 전극, 그리고
    상기 제1 기판과 상기 제2 기판 사이에 개재되어 있는 액정층
    을 포함하고,
    상기 투과 영역에서의 상기 컬러 필터의 두께는 상기 반사 영역에서의 상기 컬러 필터의 두께의 두 배인 반사투과형 액정 표시 장치.
  2. 제1항에서,
    상기 제1 기판 위에 형성되어 있는 게이트 전극, 상기 게이트 전극의 위 또는 아래에 위치하며 상기 게이트 전극과 절연되어 있는 반도체층 및 상기 반도체층과 연결되어 있는 소스/드레인 전극을 포함하는 박막 트랜지스터를 더 포함하며,
    상기 투명 전극 및 상기 반사 전극은 상기 드레인 전극과 연결되어 있는
    반사투과형 액정 표시 장치.
  3. 제2항에서,
    상기 제2 기판과 상기 공통 전극 사이에 형성되어 있는 절연층을 더 포함하며,
    상기 절연층은 상기 투광성막의 함몰부와 마주보는 함몰부를 가지고 있는
    반사투과형 액정 표시 장치.
  4. 제3항에서,
    상기 절연층의 함몰부는 상기 반사 영역에서의 상기 컬러 필터의 두께와 실질적으로 동일한 깊이를 갖는 반사투과형 액정 표시 장치.
  5. 제1항에서,
    상기 투광성막의 함몰부는 두께가 0인 반사투과형 액정 표시 장치.
  6. 제1항에서,
    상기 투광성막은 표면에 요철 구조를 가지며,
    상기 반사 전극은 상기 투광성막 표면의 요철 구조를 따라 요철 구조를 갖는
    반사투과형 액정 표시 장치.
  7. 제1항에서,
    상기 컬러 필터의 표면은 높이가 균일한 반사투과형 액정 표시 장치.
  8. 삭제
  9. 삭제
  10. 삭제
  11. 삭제
  12. 제1항에서,
    상기 액정층은 전계가 없을 때 상기 제1 및 제2 기판과 평행하게 같은 방향을 향하여 배열되는 다수의 액정 분자를 포함하는
    반사투과형 액정 표시 장치.
  13. 삭제
  14. 제1항에서,
    상기 액정층은 전계가 없을 때 상기 제1 및 제2 기판에 대하여 수직 배열되는 다수의 액정 분자를 포함하는
    반사투과형 액정 표시 장치.
  15. 삭제
  16. 삭제
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