KR101062044B1 - Liquid Crystal Display and Manufacturing Method Thereof - Google Patents

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Abstract

본 발명은 양호한 배향 특성을 가지는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device having a good orientation characteristic and a method of manufacturing the same.

본 발명의 특징은, 제 1, 2 기판 사이에 형성된 액정층을 구비하여 형성된 액정 표시 장치에서, 상기 제 1, 2 기판 상에 그루브(groove)를 가지고 형성된 제 1 배향막과; 상기 제 1 배향막 상에서 상기 그루브를 형성하며 표면 극성(polarity)을 가진 제 2 배향막을 포함하여 이루어진다.The present invention provides a liquid crystal display device comprising a liquid crystal layer formed between first and second substrates, comprising: a first alignment layer formed with grooves on the first and second substrates; And forming a groove on the first alignment layer and including a second alignment layer having surface polarity.

여기서, 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 배향막은 2번에 걸쳐 배향막을 형성함으로써 그루브와 표면 극성을 극대화시켜 배향 효과를 크게 하고 화면 잔상 및 콘트라스트비를 개선하여 화상 품질을 향상시키는 효과가 있다.Here, the alignment layer of the liquid crystal display according to the present invention has an effect of maximizing groove and surface polarity to increase the alignment effect, improving the afterimage and contrast ratio, and improving image quality by forming the alignment layer twice.

배향막, 그루브, 표면 극성, 편광 UV, 이온 빔, 감광성 폴리머Alignment Film, Groove, Surface Polarity, Polarized UV, Ion Beam, Photosensitive Polymer

Description

액정 표시 장치 및 그 제조 방법{Liquid Crystal Display device and the fabrication method thereof}Liquid crystal display device and method for manufacturing same

도 1은 종래 넌러빙 배향 기술을 이용한 배향막 형성 방법을 보여주는 도면.1 is a view showing a method of forming an alignment film using a conventional non-rubbing alignment technique.

도 2는 본 발명에 따른 액정 표시 장치에 대한 개략적인 단면도.2 is a schematic cross-sectional view of a liquid crystal display device according to the present invention;

도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 배향막을 형성하는 공정을 보여주는 도면.3A to 3C illustrate a process of forming an alignment layer of a liquid crystal display according to the present invention.

<도면의 주요부분에 대한 부호 설명>Description of the Related Art [0002]

210 : 제 2 기판 211 : 제 1 기판210: second substrate 211: first substrate

220 : 블랙 매트릭스 221 : 게이트 전극220: black matrix 221: gate electrode

230 : 게이트 절연막 231 : 컬러 필터230: gate insulating film 231: color filter

240 : 공통 전극 241 : 액티브층 240 common electrode 241 active layer

250 : 제 2 배향막 251, 252 : 오믹 콘택층250: second alignment layer 251, 252: ohmic contact layer

261 : 소스 전극 262 : 드레인 전극261: source electrode 262: drain electrode

270 : 보호막 271 : 화소 전극270: protective film 271: pixel electrode

291 : 제 1 배향막 300 : 기판291: first alignment layer 300: substrate

317a : 제 1 배향제 317b : 제 2 배향제317a: first alignment agent 317b: second alignment agent

380 : 마스크 380a : 투과부 380: mask 380a: transmissive portion                 

380b : 차단부380b: blocking part

본 발명은 양호한 배향 특성을 가지는 액정 표시 장치 및 그 제조 방법에 관한 것이다.The present invention relates to a liquid crystal display device having a good orientation characteristic and a method of manufacturing the same.

일반적으로, 화상 정보를 화면에 나타내는 디스플레이 장치들 중에서 브라운관 표시 장치(혹은 CRT:Cathode Ray Tube)가 지금까지 가장 많이 사용되어 왔는데, 이것은 표시 면적에 비해 부피가 크고 무겁기 때문에 사용하는데 많은 불편함이 따랐다. In general, CRT (or CRT: Cathode Ray Tube) has been the most used display device for displaying image information on the screen, which is inconvenient to use because it is bulky and heavy compared to the display area. .

그리고, 오늘날에는 전자산업의 발달과 함께 TV 브라운관 등에 제한적으로 사용되었던 디스플레이 장치가 개인용 컴퓨터, 노트북, 무선 단말기, 자동차 계기판, 전광판 등에 까지 확대 사용되고, 정보통신 기술의 발달과 함께 대용량의 화상정보를 전송할 수 있게 됨에 따라 이를 처리하여 구현할 수 있는 차세대 디스플레이 장치의 중요성이 커지고 있다.In addition, with the development of the electronics industry, display devices, which have been limitedly used for TV CRTs, have been widely used in personal computers, notebooks, wireless terminals, automobile dashboards, electronic displays, and the like, and transmit large amounts of image information with the development of information and communication technology. As it becomes possible, the importance of next-generation display devices that can process and implement them is increasing.

이와 같은 차세대 디스플레이 장치는 경박단소, 고휘도, 대화면, 저소비 전력 및 저가격화를 실현할 수 있어야 하는데, 그 중 하나로 최근에 액정 표시 장치가 주목을 받고 있다.Such next-generation display devices should be able to realize light and small, high brightness, large screen, low power consumption, and low price, and one of them has recently attracted attention.

상기 액정 표시 장치(LCD:Liquid Crystal Display)는 표시 해상도가 다른 평판 표시 장치보다 뛰어나고, 동화상을 구현할 때 그 품질이 브라운관에 비할 만큼 응답 속도가 빠른 특성을 나타내고 있다.The liquid crystal display (LCD) has excellent display resolution than other flat panel display devices and exhibits a response speed that is higher than that of a CRT when implementing a moving image.

알려진 바와 같이, 액정 표시 장치의 구동 원리는 액정의 광학적 이방성과 분극 성질을 이용한 것이다. As is known, the driving principle of the liquid crystal display device utilizes the optical anisotropy and polarization properties of the liquid crystal.

액정 분자는 구조가 가늘고 길기 때문에 분자 배열에 방향성과 분극성을 가지고 있으며, 상기 액정 분자들에 인위적으로 전자기장을 인가하여 분자 배열 방향을 조절할 수 있다. Since the liquid crystal molecules are thin and long in structure, the liquid crystal molecules have directionality and polarization in the molecular arrangement, and the direction of the molecular arrangement can be controlled by artificially applying an electromagnetic field to the liquid crystal molecules.

따라서, 액정 분자의 배향 방향을 임의로 조절하면 액정의 광학적 이방성에 의하여 액정 분자의 배열 방향에 따라 빛을 투과 혹은 차단시킬 수 있게 되어, 이에 따라 달라지는 빛의 투과율에 의해 색상 및 영상을 표시할 수 있게 된다.Accordingly, if the alignment direction of the liquid crystal molecules is arbitrarily adjusted, light can be transmitted or blocked according to the alignment direction of the liquid crystal molecules by the optical anisotropy of the liquid crystal, so that the color and the image can be displayed by the light transmittance which is changed accordingly. do.

여기서, 액정 분자는 배향막의 배향 방향에 의해서 초기 배향 상태가 결정된다.Here, the initial alignment state of the liquid crystal molecules is determined by the alignment direction of the alignment film.

이하, 상기와 같은 구성을 가지는 액정 표시 장치에서 액정 분자의 초기 배열 방향을 결정하기 위한 배향막 형성 과정에 대해서 좀 더 상세히 설명한다.Hereinafter, a process of forming an alignment layer for determining an initial alignment direction of liquid crystal molecules in a liquid crystal display having the above configuration will be described in more detail.

먼저, 배향막의 형성은 고분자 박막을 도포하고 배향막을 일정한 방향으로 배열시키는 공정으로 이루어진다.First, the alignment film is formed by applying a polymer thin film and arranging the alignment film in a predetermined direction.

상기 배향막에는 일반적으로 폴리이미드(polyimide) 계열의 유기물질이 주로 사용되고, 상기 배향막을 배열시키는 방법으로는 주로 러빙(rubbing) 방법이 이용되고 있다.In general, a polyimide-based organic material is mainly used for the alignment layer, and a rubbing method is mainly used for arranging the alignment layer.

상기 러빙 방법은 먼저 기판 위에 폴리이미드 계열의 유기물질을 도포하고, 60 ~ 80℃ 정도의 온도에서 용제를 날리고 정렬시킨 후, 80 ~ 200℃ 정도의 온도에 서 경화시켜 폴리이미드 배향막을 형성한 후, 벨벳(velvet) 등을 감은 러빙포를 이용하여 상기 배향막을 일정한 방향으로 문질러 줌으로써 다양한 배향 방향을 형성시키는 방법이다.In the rubbing method, a polyimide-based organic material is first applied onto a substrate, the solvent is blown and aligned at a temperature of about 60 to 80 ° C., and then cured at a temperature of about 80 to 200 ° C. to form a polyimide alignment layer. It is a method of forming various orientation directions by rubbing the alignment layer in a predetermined direction using a rubbing cloth wound with a velvet or the like.

이와 같은 러빙에 의한 방법은 배향 처리가 용이하여 대량 생산에 적합하고, 안정된 배향을 가지는 장점이 있다.Such a method by rubbing has an advantage that the alignment treatment is easy, suitable for mass production, and has a stable orientation.

그러나, 상기 러빙 방법은 배향막과 러빙포의 직접적인 접촉을 통해 이루어지므로 먼지(particle) 발생에 의한 셀(cell)의 오염, 정전기 발생에 의하여 미리 기판에 설치된 TFT 소자의 파괴, 러빙 후의 추가적인 세정 공정의 필요, 대면적 적용시의 배향의 비균일성(non-uniformity) 등과 같은 여러 가지 문제점이 발생하게 되어 액정 표시 장치의 제조시의 수율을 떨어뜨리는 문제점이 되고 있다. 또한, 대면적 적용시 러빙포가 대면적의 크기에 대응가능성의 어려움과 러빙포의 부착 균일성이 문제가 되고 있다. However, since the rubbing method is performed through the direct contact between the alignment film and the rubbing cloth, contamination of the cell due to dust generation, destruction of the TFT element previously installed on the substrate due to static electricity generation, and further cleaning process after rubbing. Various problems, such as necessity and non-uniformity of orientation in large-area application, generate | occur | produce, and it has become a problem which reduces the yield in manufacture of a liquid crystal display device. In addition, when the large area is applied, the difficulty of coping with the size of the rubbing cloth and the uniformity of adhesion of the rubbing cloth become a problem.

상기 러빙 방법의 문제점을 개선하기 위하여 기계적인 러빙 방법을 이용하지 않는 여러 가지 넌러빙(non-rubbing) 배향 기술이 제안되고 있다.In order to improve the problem of the rubbing method, various non-rubbing orientation techniques without using a mechanical rubbing method have been proposed.

이러한 배향 기술로는 랑그뮈어-블로젯 필름(Langmuir-Blodgett film ; LB film)을 이용하는 방법, UV 조사를 이용한 광 배향법, 산화실리콘(SiO2)의 사방 증착을 이용한 방법, 포토리소그래피(photolithography)로 형성된 마이크로 그루브(micro-groove)를 이용하는 방법, 그리고 이온 빔(Ion beam) 조사를 이용하는 방법이 있다. Such alignment techniques include a method using a Langmuir-Blodgett film (LB film), a photo alignment method using UV irradiation, a method using a four-sided deposition of silicon oxide (SiO 2 ), and photolithography. There is a method using a micro-groove formed of, and a method using ion beam irradiation.

여기서, UV 조사를 이용한 광 배향법이 넌러빙 배향 기술로서 광범위하게 사용되고 있다.Here, the photo-alignment method using UV irradiation is widely used as a non-rubbing orientation technique.

상기 UV 조사를 이용한 광 배향법은 광 배향성 물질을 이용하여 UV에 의해 광 화학 반응을 일으켜 배향성을 얻는 방법이다.The photo-alignment method using the above-mentioned UV irradiation is a method of causing photochemical reaction by UV using a photo-alignment substance and obtaining orientation.

상기 광 배향성 물질 내에 광반응성기(photo-reactive group)를 포함시켜 형성한 후, UV 조사에 의해 배향 방향과 틸트각을 얻도록 하는 것이다.After forming by including a photo-reactive group in the photo-alignment material, the alignment direction and the tilt angle is obtained by UV irradiation.

도 1은 종래 넌러빙 배향 기술을 이용한 배향막 형성 방법을 보여주는 도면이다.1 illustrates a method of forming an alignment layer using a conventional non-rubbing alignment technique.

도 1에 도시된 바와 같이, 종래 넌러빙 배향 기술로서 UV를 이용한 배향법은 기판(100) 상에 폴리머 물질 또는 UV 배향제와 같은 배향막에 마스크(130)를 사용하여 강한 편광 UV를 조사함으로써, 상기 배향막(110)에 그루브(groove)를 형성시킨다.As shown in FIG. 1, a conventional non-rubbing alignment technique using UV is performed by irradiating strong polarized UV on the substrate 100 using a mask 130 on an alignment layer such as a polymer material or a UV alignment agent. Grooves are formed in the alignment layer 110.

이때, 마스크(130)의 투과부(130a)를 통과한 강한 UV는 배향막(110)을 식각하여 골 부분을 형성하는데 강한 UV에 의해서 표면 극성(polarity)이 현저히 감소하고, 상기 마스크(130)의 차단부(130b)에 의해 광이 차단되는 마루 부분의 배향막(110)에서는 완전한 반응이 이루어지지 않으므로 표면 극성(polarity)이 낮다.At this time, the strong UV passing through the transmission portion 130a of the mask 130 to etch the alignment layer 110 to form a bone portion, the surface polarity (polarity) is significantly reduced by the strong UV, blocking the mask 130 The surface polarity is low because a complete reaction does not occur in the alignment layer 110 of the floor portion where light is blocked by the portion 130b.

이와 같은 방법은 UV에 의해 그루브를 형성하지만 배향막(110)의 표면 극성에 의한 배향 효과가 작기 때문에 전체적인 앵커링 에너지(anchoring energy)가 낮아진다. In this method, grooves are formed by UV, but the overall anchoring energy is lowered because the alignment effect due to the surface polarity of the alignment layer 110 is small.                         

따라서, 배향 특성이 좋지 않아 화면 콘트라스트비(contrast ratio)가 저하되어 화질 품질이 저하되고 제품 완성시에 화면 잔상에 대해 취약한 문제가 있다.Accordingly, there is a problem in that the orientation characteristic is not good and the screen contrast ratio is lowered, thereby deteriorating the image quality quality and being vulnerable to screen afterimage at the time of product completion.

본 발명은 액정 표시 장치에서 기판 상에 배향막을 형성할 때 넌러빙 배향 방법을 이용하여 그루브를 형성시킨 배향막과 표면 극성을 가지는 감광성 배향막을 2중으로 형성함으로써 배향 특성이 개선된 액정 표시 장치 및 그 제조 방법을 제공하는 데 그 목적이 있다.The present invention provides a liquid crystal display device having improved alignment characteristics by forming a double layer of an alignment film having a groove formed thereon using a non-rubbing alignment method and a photosensitive alignment layer having a surface polarity when forming an alignment film on a substrate in a liquid crystal display device and a fabrication thereof. The purpose is to provide a method.

상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치는, 제 1, 2 기판과, 상기 제 1, 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하는 액정 표시 장치에서, 상기 제 1, 2 기판 상에 그루브(groove)를 가지고 형성된 제 1 배향막과; 상기 제 1 배향막 상에서 주쇄(main chain)가 상기 그루브 방향으로 배열되고 표면 극성(polarity)을 가진 제 2 배향막을 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In order to achieve the above object, the liquid crystal display device according to the present invention comprises a first and second substrates and a liquid crystal layer formed between the first and second substrates. A first alignment layer formed with a groove; A main chain on the first alignment layer is characterized in that it comprises a second alignment layer arranged in the groove direction and having a surface polarity.

상기 제 2 배향막은 제 1 배향막의 그루브를 따라 형성되는 것을 특징으로 한다.The second alignment layer is formed along the groove of the first alignment layer.

상기 제 1 배향막은 감광성 폴리머(polymer) 액정, 감광성 폴리머 RM(Reactive Mesogen), 포토폴리이미드(photopolyimide), UV 배향제, 또는 DLC(Diamond Like Carbon)에서 선택되어진 하나로 이루어진 것을 특징으로 한다.The first alignment layer may include one selected from a photosensitive polymer liquid crystal, a photosensitive polymer RM (Reactive Mesogen), a photopolyimide, a UV alignment agent, and DLC (Diamond Like Carbon).

상기 제 2 배향막은 감광성 폴리머(polymer) 액정, 감광성 폴리머 RM(Reactive Mesogen)으로 이루어진 것을 특징으로 한다. The second alignment layer is formed of a photosensitive polymer liquid crystal and a photosensitive polymer RM (Reactive Mesogen).                     

상기 제 2 배향막은 편광 UV 처리된 것을 특징으로 한다.The second alignment layer is characterized in that the polarized UV treatment.

상기 제 2 배향막은 바이페닐(biphenyl)을 포함하는 것을 특징으로 한다.The second alignment layer is characterized in that it comprises biphenyl (biphenyl).

또한, 상기한 목적을 달성하기 위하여 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 제조 방법은, 기판을 제공하는 단계와; 상기 기판 상에 제 1 배향막을 형성하는 단계와; 상기 제 1 배향막 상부에 마스크를 배치하여 UV 또는 이온 빔을 조사하여 상기 제 1 배향막에 그루브를 형성하는 단계와; 상기 제 1 배향막 상에 제 2 배향막을 형성하는 단계와; 상기 제 2 배향막 상에 편광 UV를 조사하고 어닐링(anealing)하는 단계를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.In addition, in order to achieve the above object, a method of manufacturing a liquid crystal display device according to the present invention comprises the steps of providing a substrate; Forming a first alignment layer on the substrate; Arranging a mask on the first alignment layer to irradiate UV or ion beams to form grooves in the first alignment layer; Forming a second alignment layer on the first alignment layer; And irradiating and annealing polarized UV on the second alignment layer.

상기 제 2 배향막 상에 편광 UV를 조사하고 어닐링(anealing)하는 단계에 있어서, 상기 편광 UV에 의해서 상기 제 2 배향막의 주쇄(main chain)가 상기 그루브 방향으로 배열하는 것을 특징으로 한다.In the irradiating and annealing of the polarization UV on the second alignment layer, the main chain of the second alignment layer is arranged in the groove direction by the polarization UV.

상기 제 1 배향막은 감광성 폴리머(polymer) 액정, 감광성 폴리머 RM(Reactive Mesogen), 포토폴리이미드(photopolyimide), UV 배향제, 또는 DLC(Diamond Like Carbon)에서 선택되어진 하나로 이루어진 것을 특징으로 한다.The first alignment layer may include one selected from a photosensitive polymer liquid crystal, a photosensitive polymer RM (Reactive Mesogen), a photopolyimide, a UV alignment agent, and DLC (Diamond Like Carbon).

상기 제 2 배향막은 감광성 폴리머(polymer) 액정, 감광성 폴리머 RM(Reactive Mesogen)으로 이루어진 것을 특징으로 한다.The second alignment layer is formed of a photosensitive polymer liquid crystal and a photosensitive polymer RM (Reactive Mesogen).

이하, 첨부한 도면을 참조로 하여 본 발명의 구체적인 실시예에 대해서 상세히 설명한다.Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명에 따른 액정 표시 장치에 대한 개략적인 단면도이다.2 is a schematic cross-sectional view of a liquid crystal display according to the present invention.

도 2를 참조하면, 투명한 제 1 기판(211) 위에 금속과 같은 도전 물질로 이 루어진 게이트 전극(221)이 형성되어 있고, 그 위에 실리콘 질화막(SiNx)이나 실리콘 산화막(SiOx)으로 이루어진 게이트 절연막(230)이 게이트 전극(221)을 덮고 있다.Referring to FIG. 2, a gate electrode 221 made of a conductive material such as a metal is formed on a transparent first substrate 211, and a gate insulating film made of silicon nitride (SiNx) or silicon oxide (SiOx) is formed thereon. 230 covers the gate electrode 221.

상기 게이트 전극(221) 상부의 게이트 절연막(230) 위에는 비정질 실리콘으로 이루어진 액티브층(241)이 형성되어 있으며, 그 위에 불순물이 도핑된 비정질 실리콘으로 이루어진 오믹 콘택층(251, 252)이 형성되어 있다.An active layer 241 made of amorphous silicon is formed on the gate insulating layer 230 on the gate electrode 221, and ohmic contact layers 251 and 252 made of amorphous silicon doped with impurities are formed thereon. .

또한, 상기 오믹 콘택층(251, 252) 상부에는 금속과 같은 도전 물질로 이루어진 소스 및 드레인 전극(261, 262)이 형성되어 있는데, 상기 소스 및 드레인 전극(261, 262)은 상기 게이트 전극(221)과 함께 박막 트랜지스터(TFT : T)를 이룬다.In addition, source and drain electrodes 261 and 262 made of a conductive material such as a metal are formed on the ohmic contact layers 251 and 252, and the source and drain electrodes 261 and 262 are the gate electrode 221. ) And a thin film transistor (TFT: T).

상기 소스 및 드레인 전극(261, 262) 위에는 실리콘 질화막(SiNx)이나 실리콘 산화막(SiOx)으로 이루어진 보호층(270)이 형성되어 있으며, 상기 보호층(270)은 드레인 전극(262)을 드러내는 콘택홀(271)을 가진다.A passivation layer 270 formed of a silicon nitride layer (SiNx) or a silicon oxide layer (SiOx) is formed on the source and drain electrodes 261 and 262, and the passivation layer 270 is a contact hole exposing the drain electrode 262. Has 271.

상기 보호층(270) 상부의 화소 영역에는 투명 도전 물질로 이루어진 화소 전극(281)이 형성되어 있고, 상기 화소 전극(281)은 콘택홀을 통해서 상기 드레인 전극(262)과 연결되어 있다.A pixel electrode 281 made of a transparent conductive material is formed in the pixel area above the passivation layer 270, and the pixel electrode 281 is connected to the drain electrode 262 through a contact hole.

상기 화소 전극(281) 상부에는 폴리이미드(polyimide)와 같은 물질로 이루어지고 표면이 일정 방향을 가지도록 형성된 제 1 배향막(291)이 형성되어 있다.A first alignment layer 291 formed of a material such as polyimide and having a surface in a predetermined direction is formed on the pixel electrode 281.

여기서, 상기 제 1 배향막(291a, 291b)은 2중으로 형성되어 있으며 그루브(groove)를 형성하고 있다. In this case, the first alignment layers 291a and 291b are formed in double and form grooves.                     

이 때, 상기 게이트 전극(221)은 게이트 배선과 연결되어 있고, 상기 소스 전극(261)은 데이터 배선과 연결되어 있으며, 상기 게이트 배선과 데이터 배선은 서로 직교하여 화소 영역을 정의한다.In this case, the gate electrode 221 is connected to a gate wiring, the source electrode 261 is connected to a data wiring, and the gate wiring and the data wiring are orthogonal to each other to define a pixel region.

한편, 상기와 같이 구성되어 있는 제 1 기판(211)을 포함하는 하부 기판 상부에는 상기 제 1 기판(211)과 일정 간격을 가지며 투명한 제 2 기판(210)을 포함하는 상부 기판이 배치되어 있다.Meanwhile, an upper substrate including a transparent second substrate 210 having a predetermined distance from the first substrate 211 is disposed on the lower substrate including the first substrate 211 configured as described above.

상기 제 2 기판(210) 하부의 박막 트랜지스터와 대응되는 부분에는 화소 영역 이외의 부분에서 빛샘이 발생하는 것을 방지하기 위한 블랙 매트릭스(220)가 형성되어 있다.A black matrix 220 is formed in a portion corresponding to the thin film transistor under the second substrate 210 to prevent light leakage from occurring in portions other than the pixel region.

상기 블랙 매트릭스(220) 하부에는 컬러 필터(231)가 형성되어 있으며, 상기 컬러 필터(231)는 적(R), 녹(G), 청(B)의 세 가지 색이 순차적으로 반복되어 형성되어 있으며, 하나의 색이 하나의 화소 영역에 대응된다.A color filter 231 is formed below the black matrix 220, and the color filter 231 is formed by sequentially repeating three colors of red (R), green (G), and blue (B). One color corresponds to one pixel area.

이 때, 상기 컬러 필터(231)는 염색법, 인쇄법, 안료 분산법, 전착법 등에 의해 형성되어질 수 있다.In this case, the color filter 231 may be formed by a dyeing method, a printing method, a pigment dispersion method, an electrodeposition method, or the like.

이어서, 상기 컬러 필터(231)의 하부에는 투명한 도전 물질로 이루어진 공통 전극(240)이 형성되어 있으며, 상기 공통 전극(240) 하부에는 폴리이미드와 같은 물질로 이루어지고 표면이 일정 방향을 가지도록 형성된 제 2 배향막(250)이 형성되어 있다.Subsequently, a common electrode 240 made of a transparent conductive material is formed below the color filter 231, and a lower surface of the common filter 240 is formed of a material such as polyimide and has a predetermined direction. The second alignment layer 250 is formed.

여기서, 상기 제 2 배향막(250a, 250b)은 2중으로 형성되어 있으며 그루브를 형성하고 있다. Here, the second alignment layers 250a and 250b are formed in double and form grooves.                     

여기서, 상기 제 1 배향막(291)과 제 2 배향막(250) 사이에는 액정층(290)이 주입되며, 상기 액정층(290)의 액정 분자는 상기 배향막(291, 250)의 배향 방향에 의해서 초기 배향 상태가 결정된다.Here, the liquid crystal layer 290 is injected between the first alignment layer 291 and the second alignment layer 250, and the liquid crystal molecules of the liquid crystal layer 290 are initially initialized by the alignment directions of the alignment layers 291 and 250. The orientation state is determined.

이때, 상기 제 1, 2 배향막(291, 250)은 2중으로 형성되며, 그루브와 표면 극성이 좋아서 계면 액정의 오더 파라메터(oder parameter)인 앵커링 에너지(anchoring energy)를 상승시키므로 액정 배향 특성이 좋아진다.In this case, the first and second alignment layers 291 and 250 are formed in double, and the grooves and the surface polarity are good, thereby increasing the anchoring energy, which is an order parameter of the interfacial liquid crystal, thereby improving the liquid crystal alignment characteristics. .

도 3a 내지 도 3c는 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 배향막을 형성하는 공정을 보여주는 도면이다.3A to 3C illustrate a process of forming an alignment layer of a liquid crystal display according to the present invention.

도 3a에 도시된 바와 같이, 기판(300) 상에 감광성 제 1 배향제(317a)를 도포한다.As shown in FIG. 3A, a photosensitive first alignment agent 317a is applied onto the substrate 300.

상기 배향제는 감광성 폴리머(polymer) 액정, 감광성 폴리머 RM(Reactive Mesogen), 포토폴리이미드(photopolyimide), UV 배향제, 또는 DLC(Diamond Like Carbon) 등의 물질에서 선택한다.The alignment agent is selected from a material such as a photosensitive polymer liquid crystal, a photosensitive polymer RM (Reactive Mesogen), a photopolyimide, a UV alignment agent, or DLC (Diamond Like Carbon).

상기 기판(300) 상에 도포된 제 1 배향제(317a)는 적정 온도와 시간 동안 열에 의해 큐어링(curing)되어 경화된다.The first alignment agent 317a applied on the substrate 300 is cured by heat for a proper temperature and time to be cured.

그리고, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 제 1 배향제(317a) 상부에 투과부(380a)와 차단부(380b)를 가지는 마스크(380)를 배치시키고 UV 또는 이온 빔(Ion Beam) 등을 조사하여 상기 제 1 배향제(317a)를 식각함으로써 상기 제 1 배향제(317a)의 표면에 그루브(groove)를 형성시킨다.3B, a mask 380 having a transmissive part 380a and a blocking part 380b is disposed on the first alignment agent 317a and irradiated with UV or ion beam. By etching the first alignment agent (317a) to form a groove (groove) on the surface of the first alignment agent (317a).

여기서, 상기 제 1 배향제가 DLC(Diamond Like Carbon)일 경우에는 이온 빔 을 이용하여 그루브를 형성시킨다.Here, when the first alignment agent is DLC (Diamond Like Carbon), grooves are formed using an ion beam.

이때, 상기 제 1 배향제(317a)가 파지티브(positive) 특성을 가지는 감광 물질인 경우에, 상기 UV가 조사되면 경화되었던 부분에서 결합력이 약해져 현상(develop)시 식각됨으로써 그루브를 형성하게 된다.In this case, when the first alignment agent 317a is a photosensitive material having a positive characteristic, when UV is irradiated, the bonding force is weakened at a portion that has been cured to form a groove by etching during development.

이어서, 도 3c에 도시된 바와 같이, 그루브가 형성된 제 1 배향제(317a) 상에 제 2 배향제(317b)를 도포한다.Next, as shown in FIG. 3C, a second alignment agent 317b is applied onto the first alignment agent 317a on which the groove is formed.

이때, 상기 제 1 배향제(317a)는 그루브가 형성되어 있으므로, 이에 따라 상기 제 2 배향제(317b)도 그루브가 형성된다.At this time, since the groove is formed in the first alignment agent 317a, the groove is also formed in the second alignment agent 317b.

그리고, 상기 제 2 배향제(317b)의 그루브 방향으로 배향제의 주쇄가 배열되도록 편광 UV를 조사하고 어닐링(anealing)하여 반응을 완료시킨다.The polarized UV is irradiated and annealed to align the main chain of the alignment agent in the groove direction of the second alignment agent 317b to complete the reaction.

상기 편광 UV의 편광 상태는 그루브 방향의 수직으로 제 2 배향제(317b) 전체에 조사한다.The polarization state of the polarization UV is irradiated to the entire second alignment agent 317b perpendicularly to the groove direction.

이때, 상기 편광 UV는 제 2 배향제(317b)에 형성된 그루브의 골과 마루 부분에 골고루 조사된다.At this time, the polarization UV is evenly irradiated to the valleys and the floor of the groove formed in the second alignment agent (317b).

여기서, 상기 제 2 배향제(317b)는 감광성 폴리머 액정, 감광성 폴리머 RM(Reactive Mesogen) 등의 물질로 하며, 상기 물질은 화학적 구조로서 주쇄(main chain)와 측쇄(side chain)로 나뉘어진다.Here, the second alignment agent 317b is made of a material such as a photosensitive polymer liquid crystal, a photosensitive polymer RM (Reactive Mesogen), and the material is divided into a main chain and a side chain as a chemical structure.

상기 주쇄는 액정 분자를 한 방향으로 배열시키는 역할을 하고, 상기 측쇄는 프리틸트각을 형성하는 역할을 한다.The main chain serves to align the liquid crystal molecules in one direction, and the side chain serves to form a pretilt angle.

이후, 상기 편광 UV에 의해 주쇄와 측쇄가 그루브 방향으로 배열된 제 2 배 향제(317b)를 안정화하기 위하여 약 200~300도에서 소성 시간 동안 열경화하는 어닐링(anealing)공정을 거친다. Subsequently, the annealing process is performed by heat curing at a temperature of about 200 to 300 degrees to stabilize the second alignment agent 317b in which the main chain and the side chain are arranged in the groove direction by the polarized UV.

이때, 제 1 배향제(317a)에 의해서 형성된 그루브와 제 2 배향제(317b)에서 극대화된 표면 극성 효과를 통해서 액정 배향 계면에서의 앵커링 에너지(anchoring energy)가 커지므로 배향 효과가 크다.At this time, the anchoring energy at the liquid crystal alignment interface is increased through the surface polarization effect maximized by the groove formed by the first alignment agent 317a and the second alignment agent 317b, thereby increasing the alignment effect.

여기서, 앵커링 에너지는 액정과 배향막 분자들의 상호 작용력(인력 또는 척력)에 의해 발생되는 에너지로서, 상기 앵커링 에너지가 크다는 것은 액정 분자의 배향막에 붙어있는 힘이 커진다는 것을 의미한다.Here, the anchoring energy is the energy generated by the interaction force (human or repulsive force) between the liquid crystal and the alignment layer molecules, and the greater the anchoring energy means that the force attached to the alignment layer of the liquid crystal molecules is increased.

또한, 배향막(317)의 표면 극성이 클 경우에 액정 분자들이 배향막 표면쪽으로 잘 확산하여 넓게 퍼지게 되는데, 이때 앵커링 에너지가 커지게 된다.In addition, when the polarity of the surface of the alignment layer 317 is large, the liquid crystal molecules diffuse well toward the surface of the alignment layer and spread widely. In this case, the anchoring energy becomes large.

또한, 상기 배향막(317)에 형성된 그루브는 앵커링 에너지를 크게 하는데, 액정 분자는 막대기 형태의 구조를 하고 있어 이방성을 가지므로 이와 같은 구조적인 이유때문에 방향성을 가진 굴곡 구조에서 액정 분자가 쉽게 배열하게 된다.In addition, the groove formed on the alignment layer 317 increases the anchoring energy, and since the liquid crystal molecules have an anisotropy because they have a rod-like structure, the liquid crystal molecules are easily arranged in the curved structure having the orientation for this structural reason. .

특히, 제 2 배향제(317b)에는 바이페닐(biphenyl)을 포함할 수도 있으며, 이는 액정과의 친화력을 상승시키므로 앵커링 에너지를 크게 하여 더 큰 배향 효과를 일으키는 장점이 있다.In particular, the second alignment agent 317b may include biphenyl, which increases the affinity with the liquid crystal, thereby increasing the anchoring energy and thus causing a larger alignment effect.

이상 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세히 설명하였으나, 이는 본 발명을 구체적으로 설명하기 위한 것으로, 본 발명에 따른 액정 표시 장치의 배향막 및 배향막 형성 방법은 이에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야의 통상의 지식을 가진 자에 의해 그 변형이나 개량이 가능함이 명백하다. Although the present invention has been described in detail with reference to specific examples, this is for describing the present invention in detail, and the alignment film and the method of forming the alignment film of the liquid crystal display according to the present invention are not limited thereto, and within the technical spirit of the present invention. It is apparent that modifications and improvements are possible by those skilled in the art.

본 발명에 따른 액정 표시 장치의 배향막은 2번에 걸쳐 배향막을 형성함으로써 그루브와 표면 극성을 극대화시켜 배향 효과를 크게 하고 화면 잔상 및 콘트라스트비를 개선하여 화상 품질을 향상시키는 효과가 있다.
The alignment layer of the liquid crystal display according to the present invention has an effect of maximizing groove and surface polarity to increase the alignment effect and improving the afterimage and contrast ratio by improving the image quality by forming the alignment layer twice.

Claims (10)

제 1, 2 기판과, 상기 제 1, 2 기판 사이에 형성된 액정층을 포함하는 액정 표시 장치에 있어서,A liquid crystal display device comprising a first and second substrates and a liquid crystal layer formed between the first and second substrates. 상기 제 1, 2 기판 상에 그루브(groove)를 가지고 형성된 제 1 배향막과;A first alignment layer formed with grooves on the first and second substrates; 상기 제 1 배향막 상에서 주쇄(main chain)가 상기 그루브 방향으로 배열되고 표면 극성(polarity)을 가진 제 2 배향막을 포함하여 이루어지고,A main chain on the first alignment layer includes a second alignment layer arranged in the groove direction and having a surface polarity, 상기 그루브의 마루와 골은 곡면으로 이루어지고,The grooves and valleys of the groove are made of curved surfaces, 상기 제 2 배향막은 상기 그루브의 마루와 골을 덮는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the second alignment layer covers the floor and the valley of the groove. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 배향막은 제 1 배향막의 그루브를 따라 형성되는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the second alignment layer is formed along a groove of the first alignment layer. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 1 배향막은 감광성 폴리머(polymer) 액정, 감광성 폴리머 RM(Reactive Mesogen), 포토폴리이미드(photopolyimide), UV 배향제, 또는 DLC(Diamond Like Carbon)에서 선택되어진 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.The first alignment layer is a liquid crystal display device comprising one selected from photosensitive polymer liquid crystal, photosensitive polymer RM (Reactive Mesogen), photopolyimide, UV alignment agent, or DLC (Diamond Like Carbon). . 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 배향막은 감광성 폴리머(polymer) 액정, 감광성 폴리머 RM(Reactive Mesogen)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the second alignment layer is formed of a photosensitive polymer liquid crystal and a photosensitive polymer RM (Reactive Mesogen). 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 배향막은 편광 UV 처리된 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the second alignment layer is polarized UV-treated. 제 1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 제 2 배향막은 바이페닐(biphenyl)을 포함하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치.And the second alignment layer comprises biphenyl. 기판을 제공하는 단계와;Providing a substrate; 상기 기판 상에 제 1 배향막을 형성하는 단계와;Forming a first alignment layer on the substrate; 상기 제 1 배향막 상부에 마스크를 배치하여 UV 또는 이온 빔을 조사하여 상기 제 1 배향막에 그루브를 형성하는 단계와;Arranging a mask on the first alignment layer to irradiate UV or ion beams to form grooves in the first alignment layer; 상기 제 1 배향막 상에 제 2 배향막을 형성하는 단계와;Forming a second alignment layer on the first alignment layer; 상기 제 2 배향막 상에 편광 UV를 조사하고 어닐링(anealing)하는 단계를 포함하여 이루어지고,Irradiating and annealing polarized UV on the second alignment layer, 상기 그루브의 마루와 골은 곡면으로 이루어지고,The grooves and valleys of the groove are made of curved surfaces, 상기 제 2 배향막은 상기 그루브의 마루와 골을 덮는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And the second alignment layer covers the floor and the valley of the groove. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제 2 배향막 상에 편광 UV를 조사하고 어닐링(anealing)하는 단계에 있 어서,Irradiating and annealing polarized UV on the second alignment layer, 상기 편광 UV에 의해서 상기 제 2 배향막의 주쇄(main chain)가 상기 그루브 방향으로 배열하는 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The main chain of the second alignment layer is arranged in the groove direction by the polarized UV light. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제 1 배향막은 감광성 폴리머(polymer) 액정, 감광성 폴리머 RM(Reactive Mesogen), 포토폴리이미드(photopolyimide), UV 배향제, 또는 DLC(Diamond Like Carbon)에서 선택되어진 하나로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.The first alignment layer is a liquid crystal display device comprising one selected from photosensitive polymer liquid crystal, photosensitive polymer RM (Reactive Mesogen), photopolyimide, UV alignment agent, or DLC (Diamond Like Carbon). Method of preparation. 제 7항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 제 2 배향막은 감광성 폴리머(polymer) 액정, 감광성 폴리머 RM(Reactive Mesogen)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 액정 표시 장치의 제조 방법.And the second alignment layer is formed of a photosensitive polymer liquid crystal and a photosensitive polymer RM (Reactive Mesogen).
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KR101321997B1 (en) * 2006-12-08 2013-11-04 엘지디스플레이 주식회사 Method for forming alignment layer, color filter substrate and thin film transistor manufactured using the same
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KR101987187B1 (en) * 2012-11-29 2019-06-10 엘지디스플레이 주식회사 Liquid Crystal Display Device Including Light Orientation Film And Method Of Fabricating The Same
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