KR101057658B1 - 실리콘 포토멀티플라이어 및 그 제조 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 평판형 구조를 가지면서, 각 마이크로픽셀 간을 효과적으로 격리시켜 동작의 정확성 및 안정성을 높인 실리콘 포토멀티플라이어 및 그 제조방법에 관한 것으로서, 상기 실리콘 포토멀티플라이어는, 기판과, 상기 기판의 상부에 형성되어 입력광에 의한 전류의 생성 및 증폭이 이루어지는 활성층과, 상기 활성층 보다 더 깊게 형성되고, 전기적 절연 및 광반사 기능을 갖는 물질로 내부가 매립되어, 인접한 마이크로픽셀의 활성층 간의 누화(Cross talk)를 방지하는 트렌치와, 상기 활성층의 상부면에 각각 형성된 애노드 전극 및 캐소드 전극과, 상기 활성층의 애노드 전극 및 캐소드 전극이 형성되지 않은 나머지 상부면에 형성된 절연층을 포함하여 이루어진다.
실리콘 포토멀티플라이어(SIPM), 평판형, 트렌치 공법, 애벌런치 효과

Description

실리콘 포토멀티플라이어 및 그 제조 방법{Silicon photomultiplier and manufacturing method thereof}
본 발명은 평판형 구조를 가지며, 마이크로픽셀 간을 효과적으로 격리시켜 누화(Cross talk)를 줄여 위치 정보에 대한 정확성을 높인 실리콘 포토멀티플라이어 및 그 제조방법에 관한 것이다.
SIPM(Silicon Photomultiplier)은 제한된 가이거 모드에서 동작하는 반도체 광센서로 광전증배관 정도의 신호증폭율로 단일광자의 검출에 이용될 수 있으면서도 크기가 작고 자기장의 영향을 받지 않는 등 장점이 많다. 이런 SIPM은 500개 이상의 마이크로픽셀로 이루어져 있으며, 한 마이크로픽셀은 약 20㎛ 정도의 크기를 갖는다. 각 마이크로픽셀은 독립적으로 광자를 검출하고 증폭한다. 각각의 마이크로픽셀에 광자가 들어가 전자와 홀 쌍이 생성되면, SIPM 내부의 전기장에 의하여 증폭이 일어나고 일정 크기의 신호를 생성하여 출력하는데, 이때의 SIPM의 출력 신호는 모든 마이크로픽셀의 신호가 합해진 신호이다.
도 1은 기존에 사용되던 SIPM의 구조를 보인 단면도이다.
도 1을 참조하면, 기존의 SIPM은, 기판(11)의 상부에 입력된 광에 의해 전류가 생성 및 증폭되는 활성층(12)이 형성되고, 상기 활성층(12)의 상부에, 전기적 접촉을 위한 애노드 전극(16)과, 상기 애노드 전극(16)과 접촉되지 않은 나머지 부분의 전기적 절연을 위한 절연층(15)이 형성되며, 기판(11)의 하부면에 캐소드 전극(17)이 형성되어 이루어진다.
상기에서, 기판(11)은 n형 실리콘 기판 혹은 p 형 실리콘 기판으로 이루어질 수 있는데, 보통 SIPM 소자에서 전자의 이동도가 홀의 이동도보다 크기 때문에 p 형 보다는 주로 n-형 실리콘 기판을 사용한다.
그리고, 상기 활성층(12)은, Avalanche multiplication을 얻기 위한 것으로, Avalanche multiplication이 일어나는 매몰층(13)을 얻기 위하여 고 에너지 이온주입 공정을 통해 형성된다.
상기 절연층(15)은, 실리콘 산화막으로 이루어진다.
그리고, 상기 활성층(12)에는, SIPM 소자의 반송자를 만들어 내는 접합부(14)가 고농도의 이온주입 공정에 의해 형성되고, 상기 접합부(14)가 형성된 활성층(12)의 상부면에 애노드 전극(16)이 형성된다.
그리고, 기존의 SIPM 소자는 전극이 전면과 후면에 각각 형성되는데, 후면에 전극을 형성하기 위해서는, 옴 접촉(ohmic contact)을 위하여 기판(11)과 같은 타입의 불순물을 주입하는 이온 주입 공정을 기판(11) 후면에서 수행하여야만 한다.
이상에서 설명한 바와 같이, 기존의 SIPM 소자는, 전극이 양면에 각각 형성 되기 때문에, 웨이퍼 기판을 뒤집어서 후면에 전극을 형성하는 과정을 다시 수행하여야 하는 번거로움이 있으며, 더하여, 고농도의 이온주입 공정을 사용하여 매몰층을 생성하기 때문에, 이온 주입 과정에서 실리콘 격자의 손상을 보정하기가 쉽지 않았다.
더하여, 기존의 SIPM은 수백개의 마이크로픽셀로 이루어지는 소자의 동작 특성 안정을 위해 인접한 마이크로픽셀간을 격리시켜야 하는데, 이에 대해 보다 효과적인 해결 방안을 제시하지 못하고 있다.
본 발명은 기존의 SIPM에서 나타나는 문제점을 해결하고자 제안된 것으로서, 평판형 구조로 구현되어 제조가 용이하면서, 각 마이크로픽셀 간을 효과적으로 격리시켜 동작의 정확성 및 안정성을 높인 실리콘 포토멀티플라이어 및 그 제조방법을 제공하고자 한다.
또한, 본 발명은, 매몰층의 불순물 농도를 좁고 가파르게 형성하여 애벌런치 효과를 극대화시킬 수 있으면서, 격자 손상을 최소화하고 전기적 특성을 개선함으로써, 소자의 누설전류 등 동작특성 개선 및 안정화를 이룰 수 있는 실리콘 포토멀티플라이어 및 그 제조방법을 제공하고자 한다.
상기 과제를 해결하기 위한 수단으로서, 본 발명에 의한 실리콘 포토멀리플라이어는, 기판; 상기 기판의 상부에 형성되어 입력광에 의한 전류의 생성 및 증폭이 이루어지는 활성층; 상기 활성층 보다 더 깊게 형성되고, 전기적 절연 및 광반사 기능을 갖는 물질로 내부가 매립되어, 인접한 마이크로픽셀 간의 누화를 방지하는 트렌치; 상기 활성층의 상부면에 각각 형성된 애노드 전극 및 캐소드 전극; 및 상기 활성층의 애노드 전극 및 캐소드 전극이 형성되지 않은 나머지 상부면에 형성된 절연층을 포함하여 이루어진다.
상기 실리콘 포토멀티플라이어에 있어서, 상기 활성층은, 상기 기판 위에 상 기 기판과 같은 타입의 불순물을 낮은 에너지로 이온 주입한 후, 그 위에 에피층을 형성함에 의해 이루어진 매몰층을 포함한다.
상기 실리콘 포토멀티플라이어에 있어서, 상기 트렌치의 내부는 표면으로부터 차례대로 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 및 폴리 실리콘막이 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 실리콘 포토멀티플라이어에 있어서, 상기 절연층은 실리콘 산화막인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 과제를 해결하기 위한 다른 수단으로서, 본 발명에 의한 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법은, 기판위에 활성층을 형성하는 단계; 인접한 마이크로픽셀의 경계부분에서 깊이 방향으로 상기 활성층에서 기판까지 식각하여 트렌치를 형성하는 단계; 전기적 절연 및 광학적 반사 기능을 갖는 하나 이상의 물질로 상기 트렌치의 내부를 매립하는 단계; 상기 트렌치에 의해 격리된 활성층의 상부에 애노드 전극 및 캐소드 전극을 형성하는 단계; 및 상기 애노드 전극 및 캐소드 전극이 형성되지 않은 활성층의 상부면에 절연층을 형성하는 단계를 포함한다.
상기 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법에 있어서, 활성층을 형성하는 단계는, 상기 기판 상부에서 상기 기판과 같은 타입의 불순물을 낮은 에너지로 이온주입한 후 에피층의 형성을 통해 매몰층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법에 있어서, 상기 트렌치의 내부를 매립하는 단계는, 상기 트렌치의 표면에 절연막과, 반사막을 형성하는 단계인 것을 특징으로 한다.
상기 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법에 있어서, 상기 절연막은 실리콘 산화막으로 이루어지고, 상기 반사막은 실리콘 질화막 및 폴리 실리콘막으로 이루어진다.
또한, 상기 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법에 있어서, 상기 트렌치의 내부를 매립하는 단계는, 상기 활성층의 상부면에 존재하는 상기 절연막과 반사막을 제거하는 단계를 포함한다.
또한, 상기 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법은, 캐소드 전극과 활성층의 옴 접촉을 위하여, 상기 활성층의 상부면중 상기 캐소드 전극이 형성될 부분에 상기 기판과 같은 타입의 불순물을 이온 주입하는 단계를 더 포함하여 이루어진다.
또한, 상기 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법은, 상기 애노드 전극을 형성하기 전에, 상기 활성층의 상부 일부 영역에 상기 기판과 다른 타입의 불순물을 이온주입하여 반송자를 만들어 내는 접합부를 형성하는 단계를 더 포함한다.
또한, 상기 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법에 있어서, 상기 활성층의 상부에 형성되는 절연층은, 실리콘 산화막인 것을 특징으로 한다.
본 발명에 의한 SIPM은, 애노드전극과 캐소드전극이 동일면 상에 형성되는 평판형 구조로 이루어져 제조가 용이하며, 기존과는 달리 트렌치 아이솔레이션(trench isolation)을 통해 각 마이크로픽셀간을 격리시킴으로써, 기존의 소자 제조방법으로 이룰 수 없는 인접한 마이크로픽셀간의 격리를 가능케하여 누화를 현격히 줄일 수 있으며, CMOS 공정을 통해 제조가 가능하여 다른 CMOS회로와의 접근성을 높일 수 있는 우수한 효과가 있다.
또한, 본 발명은 실리콘 에피층을 사용하여 매몰층의 불순물 농도를 좁고 가파르게 형성함으로써 소자의 전기적 특성을 개선하고, 실리콘 에피층의 두께 조절만으로 항복전압을 조절할 수 있게 된다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 본 발명을 용이하게 실시할 수 있는 바람직한 실시 예를 상세히 설명한다. 다만, 본 발명의 바람직한 실시 예에 대한 동작 원리를 상세하게 설명함에 있어 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명을 생략한다.
또한, 도면 전체에 걸쳐 유사한 기능 및 작용을 하는 부분에 대해서는 동일한 도면 부호를 사용한다.
덧붙여, 명세서 전체에서, 어떤 부분이 다른 부분과 '연결'되어 있다고 할 때, 이는 '직접적으로 연결'되어 있는 경우뿐만 아니라, 그 중간에 다른 소자를 사이에 두고 '간접적으로 연결'되어 있는 경우도 포함한다. 또한 어떤 구성 요소를 '포함'한다는 것은, 특별히 반대되는 기재가 없는 한 다른 구성요소를 제외하는 것이 아니라, 다른 구성요소를 더 포함할 수 있는 것을 의미한다.
도 2는 본 발명의 바람직한 실시 예에 따른 SIPM의 구조를 나타낸 단면도이다.
도 2를 참조하면, 본 발명에 의한 SIPM은, 기판(21)과, 상기 기판(21)의 상부에 형성되어 입력광에 의하여 전류가 생성 및 증폭되는 활성층(22)과, 상기 활성층(22) 보다 더 깊게 형성되고, 내부가 전기적 절연 및 광자의 차폐 기능을 갖는 물질로 매립되어, 인접한 마이크로픽셀 간의 누화를 방지하는 트렌치(24)과, 상기 활성층(22)의 상부에 형성되는 절연층(27)과, 상기 활성층(22)의 상측에 상기 활성층(22)과 접촉되도록 형성된 애노드 전극(28) 및 캐소드 전극(29)을 포함하여 이루어진다.
상기 기판(21)은, n형 실리콘 기판이나 p형 실리콘 기판 중 어느 것이라도 사용가능하며, 동일 CMOS 공정을 통해 다른 CMOS 소자와 함께 구현되는 경우, 해당 CMOS 소자의 규격에 맞는 기판을 사용할 수 있으므로, CMOS 회로와의 접목이 가능해진다.
상기 활성층(22)에는, 상기 기판(21) 위에 상기 기판(21)과 같은 타입의 불순물을 낮은 에너지로 이온 주입한 후, 그 위에 에피층을 형성함에 의해 매몰층(23)이 형성된다. 이때, 같은 타입의 불순물을 사용하기 때문에, 접합부가 존재하지 않으며, 도 2에 있어서의 점선은 단순히 기판(21)과 활성층(22)과 매몰층(23)간의 경계를 표시하기 위한 것이다.
상기 트렌치(24)는 인접한 마이크로픽셀의 경계부에 깊이 방향으로 상기 활 성층(22) 보다 깊게 형성되며, 바람직하게는 활성층(22)에서 기판(21)까지 연장 형성되는 것이 바람직하다. 또한, 상기 트렌치(24)의 내부는 전기적 및 광학적 차폐 기능을 갖는 물질로 매립된다. 상기에 의해 트렌치(24)는 인접한 마이크로픽셀 간을 전기적 및 광학적으로 차폐시켜, 인접한 마이크로픽셀간의 누화를 방지할 수 있다. 이를 위해, 상기 트렌치(24)의 매립은, 그 표면으로부터 실리콘 산화막(SiO2)(251)과, 실리콘 질화막(Si3N4)(252)과, 폴리 실리콘막(253)을 차례로 형성함에 의해 이루어진다. 상기에서, 실리콘 산화막(251)은 인접한 마이크로픽셀 간의 전기적 절연을 가능케하고, 상기 실리콘 질화막(252) 및 폴리실리콘막(253)은, 실리콘으로 이루어진 활성층(22)과의 밀도차이에 의해 빛을 활성층(22) 내부로 반사시킴으로써, 빛의 이동에 의한 인접 마이크로픽셀간의 누화 현상을 감소시킬 수 있다.
상술한 구조의 SIPM 소자는, 상기 트렌치(24)에 의하여 인접한 마이크로픽셀간의 전기적 및 광학적 격리가 가능해진다.
다음으로, 도 3a 내지 도 3g는 본 발명에 의한 SIPM의 제조 과정에 따른 각 공정 단면도이다.
이하에서, 상기 도 3a 내지 도 3g를 참조하여 본 발명에 의한 SIPM의 제조 방법을 설명한다.
본 발명은, 상기 도 2에 보인 구조의 SIPM을 제조하기 위하여, 먼저, 도 3a 에 도시된 바와 같이, 기판(31) 상에 SIPM의 활성층(32)을 형성한 후, 인접한 마이크로픽셀의 경계부분을 상기 활성층(32)에서 기판(31)까지 소정 폭으로 식각하여 트렌치(34)를 형성한다.
상기 활성층(32)의 형성시, 상기 기판(31)에 상기 기판(31)과 같은 타입의 불순물을 낮은 에너지로 이온주입한 후 필요 두께만큼 에피층을 형성함에 의하여, 애벌런치 효과를 일으키는 매몰층(33)을 형성한다. 상기 기판(31)과 활성층(32)은 같은 타입의 불순물을 가지므로 접합부가 존재하지 않으며, 상기 도 3a의 점선은 본 발명에 대한 이해를 돕기 위하여 기판(31)과 활성층(32)과 매몰층(33)의 경계를 표시한 것이다.
도 3b는 상기 도 3a에 표시된 구조에 있어서, 활성층(32)의 에피층 농도와 기판(31)의 농도를 같게 하였을 때, 깊이 방향으로의 불순물 농도 분포를 측정하여 나타낸 것이다. 도시된 바와 같이, 본 발명에 의하여 활성층(32)을 형성한 경우, 중간에 불순물 농도가 큰 층이 존재하게 되며, 농도 기울기가 급격한 것을 볼 수 있다.
이어서, 상기 트렌치(34)가 형성되면, 상기 트렌치(34)의 내부를 전기적 절연 및 광학적 반사가 가능한 물질로 매립한다.
이를 위하여, 본 발명은, 도 3c에 도시된 바와 같이, 트렌치(34)가 형성된 소자의 상부에서 실리콘 산화막(351)과 실리콘 질화막(352)과 폴리 실리콘 막(353)을 순차적으로 형성한다. 상기 실리콘 산화막(351)과 실리콘 질화막(352)과 폴리 실리콘 막(353)은, 그 형성 순서 및 각각의 두께와 함께 중요한 의미를 가지며, 각 각 물리적, 전기적 성질이 다르기 때문에 각각의 기능도 달라진다. 더 구체적으로, 상기 실리콘 산화막(351)은, 인접한 마이크로픽셀간의 누설전류를 차단하여 전기적 특성을 개선하고, 실리콘 질화막(352)과 폴리 실리콘 막(353)은 활성층(32)으로 유입된 광자가 인접한 마이크로픽셀로 이동하지 못하도록 반사막을 형성하게 된다. 또한, 상기 폴리 실리콘 막(353)은 불순물이 전혀 포함되어 있지 않으므로, 최종적인 아이솔레이션(isolation)의 역할을 담당한다.
다음으로, 도 3d에 도시된 바와 같이, CMP 공정을 이용하여 소자의 상부 표면을 평탄화시킴으로써, 불필요한 부분, 즉, 활성층(32)의 상부면에 형성된 상기 실리콘 산화막(351)과 실리콘 질화막(352)와 폴리 실리콘 막(353)을 제거한다.
이에 의하여, 상기 트렌치(34)의 내부에만 실리콘 산화막(351)과 실리콘 질화막(352)과 폴리 실리콘 막(353)의 적층 구조를 형성한다.
이어, 캐소드 전극을 형성시킨 부분의 옴 접촉을 위하여, 도 3e에 도시된 바와 같이, 포토 마스크 작업을 통해 상기 캐소드 전극이 형성될 부분이외의 활성층(32) 상부면에 포토레지스트층(37)을 형성한 후, 기판(31)과 같은 타입의 불순물을 이온 주입한다. 이온 주입후에 불필요해진 상기 포트레지스트층(37)은 제거한다.
또한, 도 3f에 도시된 바와 같이, 반송자를 만들어내는 접합부(39)을 형성하기 위하여, 포토 마스크 작업을 통하여, 활성층(32) 상부면에서 접합부(39)가 형성될 부분을 제외한 나머지 부분에 포트레지스트층(38)을 형성하고, 기판(31)과 다른 타입의 불순물을 이온주입하여 활성층(32) 내부에 접합부(39)을 형성한다. 상기 이 온주입후, 불필요해진 포토레지스트층(38)은 제거한다.
마지막으로, 도 3g에 도시된 바와 같이, 절연층(40)과 애노드 전극(41) 및 캐소드 전극(42)을 상기 활성층(32)의 상부면에 형성한다. 여기서, 애노드 전극(41)은 상기 접합부(39)의 상측에 위치하고, 상기 캐소드 전극(42)은 상기 도 3e에 의해 옴접촉이 형성된 부분에 위치하고, 활성층(32)의 나머지 상부면에 상기 절연층(40)을 형성한다. 상기 절연층(40)은 실리콘 산화막으로 구현된다.
이상에서 설명한 본 발명은 전술한 실시 예 및 첨부된 도면에 의해 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 여러 가지 치환, 변형 및 변경할 수 있다는 것은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 당업자에게 있어 명백할 것이다.
본 발명에 의한 SIPM은 인접한 마이크로픽셀간의 누화을 현저하게 줄일 수 있도록 구현되었기 때문에, 영상 장치의 센서로 사용될 경우 위치 정보의 오류를 개선할 수 있으며, 또한 CMOS 공정을 그대로 이용 가능하여 다른 CMOS 회로와 함께 사용되는 것이 가능해지고, 그 결과 SIPM 소자의 응용분야 및 활용도를 넓힐 수 있다.
또한, 본 발명은, SIPM의 제조 공정을 단순화함으로써, 소자의 전기적 특성을 개선할 수 있으며, 매몰층의 안정화로 인하여 낮은 전압에서도 애벌런치 효과를 극대화 할 수 있을 뿐만 아니라, 그 결과를 쉽게 예측할 수 있어 용이한 회로설계를 가능하게 한다.
도 1은 기존 SIPM의 구조를 보인 단면도이다.
도 2는 본 발명에 따른 SIPM의 구조를 나타낸 단면도이다.
도 3a 내지 도 3g는 본 발명에 의한 SIPM의 제조 과정을 나타낸 공정 단면도이다.

Claims (12)

  1. 기판;
    상기 기판의 상부에 형성되어 입력광에 의한 전류의 생성 및 증폭이 이루어지는 활성층;
    상기 활성층 보다 더 깊게 형성되고, 전기적 절연 및 광반사 기능을 갖는 물질로 내부가 매립되어, 인접한 마이크로픽셀 간의 누화를 억제하는 트렌치;
    상기 활성층의 상부면에 각각 형성된 애노드 전극 및 캐소드 전극; 및
    상기 활성층의 애노드 전극 및 캐소드 전극이 형성되지 않은 나머지 상부면에 형성된 절연층을 포함하는 실리콘 포토멀티플라이어.
  2. 제1항에 있어서, 상기 활성층은,
    상기 기판 위에 상기 기판과 같은 타입의 불순물을 낮은 에너지로 이온 주입한 후, 그 위에 에피층을 형성함에 의해 이루어진 매몰층을 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 포토멀티플라이어.
  3. 제1항에 있어서,
    상기 트렌치의 내부의 매립 물질은, 실리콘 산화막, 실리콘 질화막, 및 폴리 실리콘막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 포토멀티플라이어.
  4. 제1항에 있어서,
    상기 절연층은, 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는 실리콘 포토멀티플라이어.
  5. 기판위에 활성층을 형성하는 단계;
    인접한 마이크로픽셀의 경계부에서 깊이 방향으로 상기 활성층에서 기판까지 식각하여 트렌치를 형성하는 단계;
    전기적 절연 및 광학적 반사 기능을 갖는 하나 이상의 물질로 상기 트렌치의 내부를 매립하는 단계;
    상기 트렌치에 의해 격리된 활성층의 상부에 애노드 전극 및 캐소드 전극을 형성하는 단계; 및
    상기 애노드 전극 및 캐소드 전극이 형성되지 않은 활성층의 상부면에 절연층을 형성하는 단계를 포함하는 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법.
  6. 제5항에 있어서, 활성층을 형성하는 단계는
    상기 기판 상부에서 상기 기판과 같은 타입의 불순물을 낮은 에너지로 이온주입한 후 에피층의 형성을 통해 매몰층을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법.
  7. 제5항에 있어서, 상기 트렌치의 내부를 매립하는 단계는,
    상기 트렌치의 표면에 절연막과, 반사막을 형성하는 단계인 것을 특징으로 하는 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 절연막은 실리콘 산화막으로 이루어지고, 상기 반사막은 실리콘 질화막 및 폴리 실리콘막으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법.
  9. 제7항에 있어서, 상기 트렌치의 내부를 매립하는 단계는,
    상기 활성층의 상부면에 존재하는 상기 절연막과 반사막을 제거하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법.
  10. 제5항에 있어서,
    캐소드 전극과 활성층의 옴 접촉을 위하여, 상기 활성층의 상부면중 상기 캐소드 전극이 형성될 부분에 상기 기판과 같은 타입의 불순물을 이온 주입하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법.
  11. 제5항에 있어서,
    상기 애노드 전극을 형성하기 전에, 상기 애노드 전극과 접하는 상기 활성층의 상부 영역에 상기 기판과 다른 타입의 불순물을 이온주입하여 반송자를 만들어 내는 접합부를 형성하는 단계를 더 포함하는 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법.
  12. 제5항에 있어서,
    상기 절연층은 실리콘 산화막인 것을 특징으로 하는 실리콘 포토멀티플라이어의 제조 방법.
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