KR101050797B1 - 독성가스 분리 배기장치 및 이를 이용한 유독물 저장장치 - Google Patents

독성가스 분리 배기장치 및 이를 이용한 유독물 저장장치 Download PDF

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Abstract

유독물에서 발생되는 독성가스를 보다 효과적으로 처리하여 배기시킬 수 있도록, 독성가스 이송관 상에 설치되어 독성가스에 포함되어 있는 유독물과 가스를 분리하는 분리기와, 분리기를 거친 가스에 포함되어 있는 유독성분을 제거한 후 배출처리하기 위한 가스처리기를 포함하는 처리장치를 제공한다.
분리기, 가스처리기, 배기부, 물, 흡착제

Description

독성가스 분리 배기장치 및 이를 이용한 유독물 저장장치{DEVICE FOR FILTERING TOXIC GAS AND TOXIC GAS STORAGE DEVICE USING IT}
본 발명은 유독물에서 발생되는 독성가스를 처리하기 위한 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게 본 발명은 독성가스를 보다 효과적으로 분리 배기시킬 수 있도록 된 독성가스 분리 배기장치와 이 장치가 구비된 유독물 저장장치에 관한 것이다.
예컨대, 발전소는 설비 특성상 순수를 이용하게 된다. 이 순수를 제조하기 위해서는 수산화암모니아나 하이드라진, 염화수소, 수산화나트륨 등의 유독물이 이용된다. 상기 유독물은 저장탱크에 보관된다. 상기 저장탱크 내에서는 보관된 유독물로부터 지속적으로 독성가스가 발생하게 된다.
유독물에서 발생되는 독성가스는 저장탱크 상단의 배출관을 통해 배출 처리된다. 그러나 이렇게 대기중으로 방출되는 독성가스는 환경오염의 원인이 된다. 저장탱크가 실내에 설치된 경우에는 작업인원이 독성가스에 노출되어 안전사고가 발생할 위험이 높다.
이에 유독물에서 발생되는 독성가스를 보다 효과적으로 처리하여 배기시킬 수 있도록 된 독성가스 분리 배기장치를 제공한다.
또한, 유독물이 저장되는 저장탱크에서 발생되는 독성가스를 효과적으로 처리하여 외부로 배기시킬 수 있도록 된 독성가스 분리 배기장치를 이용한 유독물 저장장치를 제공한다.
이를 위해 본 장치는 독성가스 이송관 상에 설치되어 독성가스에 포함되어 있는 유독물과 가스를 분리하는 분리기와, 분리기를 거친 가스에 포함되어 있는 유독성분을 제거한 후 배출처리하기 위한 가스처리기를 포함할 수 있다.
여기서 분리기는 물이 수용되는 분리통과, 이송관에 연결되고 분리통 바닥으로 연장되어 독성가스를 분출하는 가스관, 분리통 저부에 연결설치되어 분리된 유독물을 배출시키기 위한 배출관, 상기 분리통으로 물을 공급하기 위한 물공급관을 포함할 수 있다.
상기 배출관은 분리통 저부에 연결되고 위쪽으로 절곡된 U자형 관 구조일 수 있다. 이에 분리통의 수위가 상승되면 배출관을 통해 분리통 내의 물이 배출처리될 수 있게 된다.
상기 물공급관은 끝단에 물보충을 위한 보충포트가 더욱 설치될 수 있다.
상기 분리통은 투명재질로 이루어질 수 있다.
상기 가스처리기는 분리기 상단에 연통설치되어 분리통을 거친 가스가 통과하는 흡착통과, 이 흡착통 내부에 충진되어 가스에 포함된 유독성분을 흡착 제거하는 흡착제를 포함할 수 있다.
상기 흡착통과 상기 분리통 사이에는 흡착제의 낙하 방지와 가스의 유통을 위해 타공판이 설치될 수 있다.
상기 흡착통의 상단 외측에는 흡착제를 거친 청정가스를 배출하기 위한 배기홀이 더욱 형성될 수 있다.
상기 흡착통은 투명 재질로 이루어질 수 있다.
또한, 본 장치는 유독물이 보관된 저장탱크와 상기 독성 가스 이송관 사이에 설치되어 저장탱크내에 발생된 독성가스를 선택적으로 상기 이송관으로 배기시키기 위한 배기부를 더욱 포함할 수 있다.
상기 배기부는 탱크 상에 연통설치되는 배기통과 상기 이송관과 연통설치되고 배기관에 연결되는 연결통, 상기 배기통과 연결통 사이에 설치되고 탱크내부 압력에 따라 팽창되어 개방되는 배출판을 포함할 수 있다.
상기 배출판은 신축가능한 재질로 이루어지고 표면에는 배출홀이 형성되며, 상기 배출홀은 배출판 팽창시 벌어져 개방되고 수축시 오므라져 닫히는 구조일 수있다.
한편, 본 유독물 저장장치는 유독물이 저장되는 저장탱크와, 이 저장탱크 일측에 설치되어 내부의 유독물로부터 발생되는 독성가스를 분리하여 배기처리하기 위한 독성가스 분리 배기장치를 포함할 수 있다.
이와 같이 본 장치는 독성가스로부터 독성물질을 제거한 후 배기 처리함으로써 독성가스에 의한 환경오염이나 인체 피해를 방지할 수 있게 된다.
또한, 본 장치는 기존 유독물 저장탱크 등에 간단히 설치하여 사용할 수 있다.
이하, 첨부한 도면을 참고로 하여 본 발명의 실시예에 대하여 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자가 용이하게 실시할 수 있도록 상세히 설명한다. 그러나 본 발명은 여러 가지 상이한 형태로 구현될 수 있으며 여기에서 설명하는 실시예에 한정되지 않는다.
어느 부분이 다른 부분의 "위에" 있다고 언급하는 경우, 이는 바로 다른 부분의 위에 있을 수 있거나 그 사이에 다른 부분이 수반될 수 있다. 대조적으로 어느 부분이 다른 부분의 "바로 위에" 있다고 언급하는 경우, 그 사이에 다른 부분이 개재되지 않는다.
여기서 사용되는 전문용어는 단지 특정 실시예를 언급하기 위한 것이며, 본 발명을 한정하는 것을 의도하지 않는다. 여기서 사용되는 단수 형태들은 문구들이 이와 명백히 반대의 의미를 나타내지 않는 한 복수 형태들도 포함한다. 명세서에서 사용되는 "포함하는"의 의미는 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소 및/또는 성분을 구체화하며, 다른 특정 특성, 영역, 정수, 단계, 동작, 요소, 성분 및/또는 군의 존재나 부가를 제외시키는 것은 아니다.
다르게 정의하지는 않았지만, 여기에 사용되는 기술용어 및 과학용어를 포함하는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자가 일반적으로 이해하는 의미와 동일한 의미를 가진다. 보통 사용되는 사전에 정의된 용어들은 관련기술문헌과 현재 개시된 내용에 부합하는 의미를 가지는 것으로 추가 해석되고, 정의되지 않는 한 이상적이거나 매우 공식적인 의미로 해석되지 않는다.
도면들은 개략적이고 축적에 맞게 도시되지 않았다는 것을 일러둔다. 도면에 있는 부분들의 상대적인 치수 및 비율은 도면에서의 명확성 및 편의를 위해 그 크기에 있어 과장되거나 감소되어 도시되었으며 임의의 치수는 단지 예시적인 것이지 한정적인 것은 아니다. 그리고 둘 이상의 도면에 나타나는 동일한 구조물, 요소 또는 부품에는 동일한 참조 부호가 다른 실시예에서 대응하거나 유사한 특징을 나타내기 위해 사용된다.
사시도를 참조하여 설명된 본 발명의 실시예는 본 발명의 이상적인 실시예를 구체적으로 나타낸다. 그 결과, 도해의 다양한 변형, 예를 들면 제조 방법 및/또는 사양의 변형이 예상된다. 따라서 실시예는 도시한 영역의 특정 형태에 국한되지 않으며, 예를 들면 제조에 의한 형태의 변형도 포함한다. 예를 들면, 편평하다고 도시되거나 설명된 영역은 일반적으로 거칠거나/거칠고 비선형인 특성을 가질 수 있다. 또한, 날카로운 각도를 가지는 것으로 도시된 부분은 라운드질 수 있다. 따라서 도면에 도시된 영역은 원래 대략적인 것에 불과하며, 이들의 형태는 영역의 정확한 형태를 도시하도록 의도된 것이 아니고, 본 발명의 범위를 좁히려고 의도된 것이 아니다.
도 1은 본 실시예에 따른 독성가스 분리 배기장치가 설치된 유독물 저장탱크를 도시하고 있다.
상기한 도면에 의하면, 본 저장장치는 유독물이 저장되는 저장탱크(10)와, 이 저장탱크(10)에서 발생되는 독성가스를 처리하여 배기시키는 독성가스 분리 배기장치를 포함한다.
상기 저장탱크(10)는 내부에 유독물이 저장된 통 구조물이다. 상기 저장탱크(10)는 그 구조에 있어서 특별히 한정되지 않으며 기존에 설치되어 사용중인 것도 적용가능하다. 이에 본 저장장치는 기존에 설치되어 있는 저장탱크(10)에 본 독성가스 분리 배기장치를 간단히 장착하여 구성될 수 있다.
상기 독성가스 분리 배기장치는 독성가스를 처리하기 위한 분리기(20)와 가스처리기(40)를 포함한다. 본 실시예에서 상기 분리기(20)와 가스처리기(40)는 한 몸체를 이룬다. 상기 저장탱크(10)의 상단에는 독성가스가 배출되는 이송관(11)이 연결설치된다. 상기 이송관(11) 상에 한 몸체로 된 분리기(20)와 가스처리기(40)가 설치된다.
또한, 상기 이송관(11)과 저장탱크(10) 사이에는 저장탱크(10) 내부에서 발생된 독성가스를 선택적으로 이송관(11)으로 배출하는 배기부(60)가 더욱 설치된다.
이에 저장탱크(10)에서 발생된 독성가스는 배기부(60)를 통해 이송관(11)으로 배출된 후 관로를 따라 분리기(20)와 가스처리기(40)를 거친 후 청정공기로 배출된다.
상기 분리기(20)는 독성가스에 포함된 소량의 유독물을 분리시켜 가스와 유독물을 각각 배출시키기 위한 것이다. 분리기(20)의 구조를 살펴보면 다음과 같다.
도 2와 도 3은 상기 분리기(20)의 구성을 도시하고 있다.
상기한 도면에 의하면, 상기 분리기(20)는 물이 수용되는 분리통(22)과, 이송관(11)에 연결되고 분리통(22) 바닥으로 연장되어 독성가스를 분출하는 가스관(24), 분리통(22) 저부에 연결설치되어 분리된 유독물을 포함하는 물을 배출시키기 위한 배출관(26), 상기 분리통(22)으로 물을 공급하기 위한 물공급관(28)을 포함한다.
이에 가스관(24)으로부터 분출되는 독성가스는 분리통(22)에 채워져 있는 물 내부에서 기포화되어 올라오게 된다. 이 과정에서 독성가스에 포함된 유독물은 분리되어 물에 남게 되고 가스만이 물 밖으로 올라가게 된다.
상기 분리통(22)은 상부가 개방된 구조로 되어 있다. 상기 분리통(22)의 바닥 중앙에는 홀(29)이 형성되어 상기 물공급관(28)과 연결된다. 또한, 상기 분리통(22)은 투명 재질로 이루어진다. 이는 외부에서 분리통(22) 내의 수위 등을 용이하게 확인할 수 있기 위함이다.
도 2에 도시된 바와 같이 본 실시예의 물공급관(28)은 분리통(22) 저부에 연결설치되고 U자형태로 절곡되어 끝단이 분리통(22)을 지나 위쪽으로 올라간 구조로 되어 있다. 상기 물공급관(28)의 상단에는 물공급관(28)을 통해 물을 보충할 수 있도록 보충포트(30)가 설치된다. 또한, 물공급관(28) 일측에는 물공급밸브(32)가 설치되어 필요시 물공급량을 조절하게 된다. 미설명된 도면부호 (31)은 보충포트(30) 를 덮는 덮개이다. 상기 보충포트(30)는 최소한 분리통(22)의 상단보다는 위쪽에 위치할 필요가 있다. 이는 별도의 동력원없이 물을 분리통(22) 내로 유입시키기 위함이다. 즉, 보충포트(30)가 분리통(22)보다 위쪽에 위치함으로써 높이차에 의해 물이 물공급관(28)을 통해 분리통(22)으로 유입되는 것이다.
상기 물공급관(28) 일측에는 분리통(22) 내의 물을 배출시키기 위한 배출관(26)이 연결설치된다. 상기 배출관(26)은 물공급관(28)에 연결되어 하부로 연장된다. 상기 배출관(26) 일측에는 유독물 배출밸브(34)가 설치된다. 상기 배출관(26)의 설치 위치는 U자형태로 절곡된 물공급관(28)의 저부와 분리통(22)의 상단 사이이다. 이에 분리통(22)의 수위가 높아지게 되면 분리통(22)보다 낮은 위치에 연결설치된 배출관(26)을 통해 유극물이 혼합된 물이 배출될 수 있게 된다. 배출관(26)을 통해 배출된 물은 집수조 등으로 보내져 재처리된다.
여기서 본 실시예에 의하면, U자 형태로 절곡된 부분 즉, 상기 물공급관(28) 중 분리통(22) 저부에서 배출관(26)과 연결되는 부분까지는 분리통(22)으로 물을 공급하는 물공급관이기도 하면서 물을 배출하는 배출관이기도 하다.
상기와 같이 물을 공급하고 배출하는 부분이 U자 형태로 이루어짐으로써 분리통(22)은 적정 수위를 유지할 수 있게 된다. 여기서 적정수위라 함은 물이 분리통(22)에서 넘치지 않고 가스관(24)이 물에 계속 잠긴 상태의 수위를 의미한다. 분리통(22) 내에 채워진 물에 독성가스로부터 분리된 유독물이 혼합되어 수위가 배출관(26) 설치 위치보다 높아지게 되면 물은 배출관(26)을 통해 배출처리된다. 반대로 수위가 배출관(26) 설치위치보다 낮아진 경우에는 물공급밸브(32)를 조절함으로 써 보충포트(30)내의 물이 분리통(22)으로 유입되어 수위를 높이게 된다.
또한, 상기 분리기(20)는 분리통(22) 내의 수위 이상시 유독물을 바이패스시키기 위한 바이패스관(36)을 더욱 포함한다. 상기 바이패스관(36)은 U자형태의 물공급관(28) 최저부에 연결설치되고 끝단은 하부로 연장되어 배출관(26)과 연결된다. 상기 바이패스관(36) 일측에는 바이패스관(36) 개폐를 위한 밸브(38)가 설치된다. 이에 밸브(38)를 개방시키게 되면 유독물이 혼합된 물은 바이패스관(36)을 통해 배출관(26)으로 바로 빠져나가게 된다.
상기 분리기(20)가 정상 운전중인 경우에는, 바이패스관(36)에 설치된 밸브(38)는 폐쇄작동되고 배출관(26)에 설치된 유독물 배출밸브(34)는 개방된다. 상기 배출관(26) 내부를 청소하고자 하는 경우에는 물공급밸브(32)를 조정하여 물을 보충하면서 유독물 배출밸브(34)와 밸브를 개방작동시켜 관로 내의 이물질 및 산화물을 제거한다.
상기 분리기(20)를 거치면서 유독물이 분리된 가스는 가스처리기(40)를 통해 유독성분이 제거되어 대기중으로 방출된다.
도 3은 상기 가스처리기(40)를 도시하고 있다.
상기한 도면에 의하면, 상기 가스처리기(40)는 상기 분리기(20) 상단에 연통설치되어 분리통(22)을 거친 가스가 통과하는 흡착통(42)과, 이 흡착통(42) 내부에 충진되어 가스에 포함된 유독성분을 흡착 제거하는 흡착제(44)를 포함한다.
상기 흡착통(42)은 분리통(22) 상단에 배치된다. 상기 흡착통(42)은 분리통(22)과의 사이에 별도로 설치되는 연결통(46)을 매개로 분리통(22) 상단에 설치 된다.
상기 흡착통(42) 내부에는 흡착제(44)가 충진되는 데, 흡착제(44)의 낙하 방지와 가스의 유통을 위해 상기 흡착통(42)과 상기 연결통(46) 사이에는 타공판(48)이 설치된다. 상기 타공판(48)은 표면에 다수개의 구멍이 형성되고, 중앙에는 상부에서 분리통(22) 내부로 진입되는 가스관(24)이 관통되는 관통홀(50)이 형성된다. 이에 분리통(22)으로부터 배출되는 가스는 타공판(48)의 구멍을 통해 흡착통(42)으로 유입된다.
상기 흡착통(42)의 상단에는 외주면을 따라 다수개의 배기홀(52)이 형성되어 흡착제(44)를 거친 청정가스를 외부로 배기시키게 된다. 또한, 흡착통(42)의 상단에는 커버판(54)이 설치되어 내부를 밀폐시키게 된다. 상기 커버판(54)은 중앙에 독성가스가 유통되는 홀(56)이 형성된다. 상기 커버판(54)의 상부로는 독성가스 이송관(11)이 연통설치된다. 그리고 상기 커버판(54)의 하부에는 상기 홀(56)과 연통되도록 가스관(24)이 수직으로 설치된다. 이에 상기 커버판(54)이 흡착통(42) 상단에 설치되면 가스관(24)은 흡착통(42)의 중앙을 지나 타공판(48)의 중앙 관통홀(50)을 통과하여 분리통(22) 바닥으로 연장된다.
상기 흡착제(44)는 크세로겔(xerogel) 또는 KDC겔(KDC-Gel;크로마토그래피용 실리카겔) 또는 네오알루미나 실리카 겔(Neo-Alumina Silica-Gel) 등이 사용될 수 있다. 상기 흡착제(44)는 가스에 포함된 다양한 물질들을 흡착할 수 있는 성분의 물질이면 특별히 한정되지 않는다.
여기서 상기 연결통(46) 및 상기 흡착통(42)은 투명 재질로 이루어진다. 이 에 외부에서 상기 가스처리기(40) 내부를 용이하게 확인할 수 있게 된다.
도 4는 상기 가스처리기(40)와 분리기(20)의 결합구조를 예시하고 있다.
도시된 바와 같이, 가스처리기(40)와 분리기(20)는 서로 연통되어 하나의 몸체를 이룬다. 하단에는 분리기(20)가 배치되며 상단에는 가스처리기(40)가 배치된다. 가스관(24)은 가스처리기(40)의 중앙을 지나 분리통(22) 내측 바닥까지 연장된다.
한 몸체를 이루는 가스처리기(40)와 분리기(20)는 상단에 설치되는 커버판(54)과 하단의 분리통(22)에 의해 내부가 밀폐된다. 따라서 가스관(24)을 통해 유입된 가스는 오직 흡착통(42) 상단에 형성된 배기홀(52)을 통해 외부로 나오게 된다.
본 실시예에서 흡착통(42)과 분리통(22) 및 연결통(46)은 관 구조물로 상호 체결을 위해 선단에는 외측으로 플랜지가 형성된다. 그리고 각 플랜지에는 체결홀이 형성되어 볼트와 너트 또는 리벳 등을 매개로 상호 연결설치된다.
한편, 본 장치는 유독물이 보관된 저장탱크(10)와 상기 독성 가스 이송관(11) 사이에 설치되어 탱크(10)내에 발생된 독성가스를 선택적으로 상기 이송관(11)으로 배기시키기 위한 배기부(60)를 더욱 포함한다.
도 5와 본 실시예에 따른 상기 배기부(60)의 구조를 예시하고 있다.
상기한 도면에 의하면, 배기부(60)는 저장탱크(10) 상에 연통설치되는 배기통(62)과 상기 이송관(11)과 연통설치되고 배기관에 연결되는 연결통(64), 상기 배기통(62)과 연결통(64) 사이에 설치되고 탱크(10)내부 압력에 따라 팽창되어 개방 되는 배출판(66)을 포함한다.
상기 배기통(62)은 관 구조물로 선단에는 체결용 플랜지가 돌출형성되어 저장탱크(10) 상단에 볼트 등을 매개로 연통 설치된다. 상기 연결통(64)은 관 구조물로 선단에는 체결용 플랜지가 설치되어 배출판(66)을 사이에 두고 연결통(64)에 볼트 등을 매개로 설치된다. 상기 연결통(64)의 상단에는 커버판(70)이 설치되며 커버판(70)의 중앙에는 독성가스 유통을 위한 홀(72)이 형성되어 이송관(11)과 연결설치된다.
도 6에 도시된 바와 같이, 상기 배출판(66)은 신축가능한 고무 재질로 이루어지고 표면에는 독성가스가 유통되는 배출홀(68)이 형성된다. 상기 배출홀(68)은 배출판(66) 팽창시 벌어져 개방되고 수축시 오므라져 닫히는 구조로 되어 있다.예컨대, 상기 배출홀(68)은 배출판(66)을 팽팽하게 잡아당겨 팽창시킨 상태에서 형성된다. 이에 배출판(66)이 팽창되지 않은 상태에서는 배출홀(68) 내주면이 배출판(66) 자체의 탄성력에 의해 오므라들어 밀착되면서 닫혀진 상태가 된다. 그리고 저장탱크(10) 내부 가스압에 의해 배출판(66)이 외측으로 팽창되면 내주면이 밀착되어 있던 배출홀(68)도 벌어지면서 닫혀져 있던 배출홀(68)이 점차적으로 커져 개방되는 것이다.
이하, 본 장치의 작용에 대해 설명한다.
저장탱크(10) 내의 유독물로부터 발생된 독성가스에 의해 저장탱크(10) 내부 압력이 커짐에 따라 배기부(60)의 배출판(66)이 점차적으로 외측으로 팽창된다. 배출판(66)이 계속 팽창되면 배출판(66)이 늘어나면서 막혀있던 배출홀(68)이 개방된 다. 이에 저장탱크(10) 내의 독성가스는 배출판(66)의 배출홀(68)을 통해 배출된다.
저장탱크(10)로부터 배출된 독성가스는 유독물과 유독성분을 포함하고 있다. 이러한 독성가스는 연결통(64)에 설치된 이송관(11)을 통해 유통된다. 그리고 상기 이송관(11)에 연결되어 있는 가스관(24)으로 유입되어 가스관(24) 끝단을 통해 배출된다.
상기 가스관(24)은 그 끝단이 분리통(22) 내부로 연장되어 있어서, 독성가스는 가스관(24)을 통해 분리통(22) 내에 채워져 있는 물 속으로 분출된다.
분리통(22) 내로 분출된 독성가스는 물 속에서 기포로 분출되어 분리통(22) 상부로 올라오게 된다. 이 과정에서 독성가스 내에 포함되어 있는 액상의 유독물이 물에 혼합된다. 그리고 액상의 유독물이 분리된 가스만이 물 밖으로 올라가게 된다.
액상의 유독물이 혼합된 분리통(22) 내의 물은 저부에 연결된 물공급관(28)과 이 물공급관(28)에 연결된 배출관(26)을 통해 배출 처리된다.
액상의 유독물이 분리된 가스는 분리통(22) 상부에 설치되어 있는 타공판(48)을 통해 흡착통(42) 내부로 유입된다.
상기 흡착통(42) 내부에는 흡착제(44)가 충진되어 있어서, 상기 가스는 흡착제(44)를 통과하게 된다. 이 과정에서 가스에 포함되어 있는 유독성분의 물질들이 흡착제(44)에 흡수된다.
따라서 가스는 흡착통(42)을 거치면서 유독성분이 제거되어 청정한 가스로 바뀌게 된다. 청정가스는 흡착통(42) 상부에 형성된 배기홀(52)을 통해 대기 중으로 방출된다.
상기에서는 본 발명의 바람직한 실시예에 대하여 설명하였지만, 본 발명은 이에 한정되는 것이 아니고 특허청구범위와 발명의 상세한 설명 및 첨부한 도면의 범위 안에서 여러 가지로 변형하여 실시하는 것이 가능하고 이 또한 본 발명의 범위에 속하는 것은 당연하다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 독성가스 분리 배기장치가 구비된 저장장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명의 실시예에 따른 독성가스 분리 배기장치의 분리기를 도시한 사시도이다.
도 3은 본 발명의 실시예에 따른 독성가스 분리 배기장치의 가스처리기를 도시한 분해 사시도이다.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 독성가스 분리 배기장치의 일부 구성 단면도이다.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 독성가스 분리 배기장치의 배기부를 도시한 분해 사시도이다.
도 6은 본 발명의 실시예에 따른 독성가스 분리 배기장치의 배기부 작용 설명을 위한 개략적인 단면도이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *
10 : 저장탱크 11 : 이송관
20 : 분리기 22 : 분리통
24 : 가스관 26 : 배출관
28 : 물공급관 30 : 보충포트
40 : 가스처리기 42 : 흡착통
44 : 흡착제 48 : 타공판
52 : 배기홀 60 : 배기부
66 : 배출판 68 : 배출홀

Claims (20)

  1. 독성가스 이송관 상에 설치되어 독성가스에 포함되어 있는 유독물과 가스를 분리하는 분리기와, 상기 분리기를 거친 가스에 포함되어 있는 유독성분을 제거한 후 배출처리하기 위한 가스처리기를 포함하고,
    상기 분리기는 물이 수용되는 분리통과, 상기 이송관에 연결되고 분리통 바닥으로 연장되어 독성가스를 분출하는 가스관, 상기 분리통 저부에 연결설치되어 분리된 유독물을 배출시키기 위한 배출관, 상기 분리통으로 물을 공급하기 위한 물공급관을 포함하는 독성가스 분리 배기장치.
  2. 삭제
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 배출관은 분리통 저부에 연결되고 위쪽으로 절곡된 U자형 관 구조인 독성가스 분리 배기장치.
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 물공급관은 끝단에 물보충을 위한 보충포트가 더욱 설치된 독성가스 분리 배기장치.
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 분리통은 투명재질로 이루어어진 독성가스 분리 배기장치.
  6. 제 1 항 또는 제 3 항 또는 제 4 항에 있어서,
    상기 가스처리기는 분리기 상단에 연통설치되어 분리통을 거친 가스가 통과하는 흡착통과,
    상기 흡착통 내부에 충진되어 가스에 포함된 유독성분을 흡착 제거하는 흡착제
    를 포함하는 독성가스 분리 배기장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 흡착통과 상기 분리통 사이에는 타공판이 설치되는 독성가스 분리 배기장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 흡착통의 상단 외측에는 흡착제를 거친 청정가스를 배출하기 위한 배기 홀이 더욱 형성되는 독성가스 분리 배기장치.
  9. 제 6 항에 있어서,
    상기 흡착통은 투명 재질로 이루어진 독성가스 분리 배기장치.
  10. 제 6 항에 있어서,
    상기 독성 가스 이송관에 설치되어 유독물이 저장된 저장탱크로부터 독성가스를 선택적으로 상기 이송관으로 배기시키기 위한 배기부를 더욱 포함하는 독성가스 분리 배기장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 배기부는 저장탱크 상에 연통설치되는 배기통과,
    상기 이송관과 연통설치되고 배기관에 연결되는 연결통,
    상기 배기통과 연결통 사이에 설치되고 탱크내부 압력에 따라 팽창되어 개방되는 배출판
    을 포함하는 독성가스 분리 배기장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 배출판은 신축가능한 재질로 이루어지고 표면에는 배출홀이 형성되며, 상기 배출홀은 배출판 팽창시 벌어져 개방되고 수축시 오므라져 닫히는 구조인 독 성가스 분리 배기장치.
  13. 유독물이 저장되는 저장탱크와, 상기 저장탱크 일측에 설치되어 내부의 유독물로부터 발생되는 독성가스를 분리하여 배기처리하기 위한 독성가스 분리 배기장치를 포함하고,
    상기 독성가스 분리 배기장치는 독성가스 이송관 상에 설치되어 독성가스에 포함되어 있는 유독물과 가스를 분리하는 분리기와, 상기 분리기를 거친 가스에 포함되어 있는 유독성분을 제거한 후 배출처리하기 위한 가스처리기를 포함하며,
    상기 분리기는 물이 수용되는 분리통과, 상기 이송관에 연결되고 분리통 바닥으로 연장되어 독성가스를 분출하는 가스관, 상기 분리통 저부에 연결설치되어 분리된 유독물을 배출시키기 위한 배출관, 상기 분리통으로 물을 공급하기 위한 물공급관을 포함하는 유독물 저장장치.
  14. 삭제
  15. 삭제
  16. 제 13 항에 있어서,
    상기 배출관은 분리통 저부에 연결되고 위쪽으로 절곡된 U자형 관 구조인 유독물 저장장치.
  17. 제 13항 또는 제 16 항에 있어서,
    상기 가스처리기는 분리기 상단에 연통설치되어 분리통을 거친 가스가 통과하는 흡착통과,
    상기 흡착통 내부에 충진되어 가스에 포함된 유독성분을 흡착 제거하는 흡착제
    를 포함하는 유독물 저장장치.
  18. 제 17 항에 있어서,
    상기 저장탱크와 상기 독성 가스 이송관 사이에 설치되어 저장탱크 내에 발생된 독성가스를 선택적으로 상기 이송관으로 배기시키기 위한 배기부를 더욱 포함하는 유독물 저장장치.
  19. 제 18 항에 있어서,
    상기 배기부는 저장탱크 상에 연통설치되는 배기통과,
    상기 이송관과 연통설치되고 배기관에 연결되는 연결통,
    상기 배기통과 연결통 사이에 설치되고 탱크내부 압력에 따라 팽창되어 개방되는 배출판
    을 포함하는 유독물 저장장치.
  20. 제 19 항에 있어서,
    상기 배출판은 신축가능한 재질로 이루어지고 표면에는 배출홀이 형성되며, 상기 배출홀은 배출판 팽창시 벌어져 개방되고 수축시 오므라져 닫히는 구조인 유독물 저장장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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US20040107833A1 (en) * 2002-12-09 2004-06-10 Sweeney Joseph D Method and apparatus for the abatement of toxic gas components from a semiconductor manufacturing process effluent stream
US20050056148A1 (en) * 2002-12-09 2005-03-17 Sweeney Joseph D. Method and apparatus for the abatement of toxic gas components from a semiconductor manufacturing process effluent stream
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