KR101050546B1 - 탄소나노튜브를 이용한 가동 전기접속 구동체와 이를 이용한 마이크로 위치 감지기 및 이들의 제조방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 탄소나노튜브를 이용한 가동 전기접속 구동체와 이를 이용한 마이크로 위치 감지기 및 이들의 제조방법에 관한 것이다. 본 발명에 따른 가동 전기접속 구동체는 상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극, 및 상기 전극 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층을 포함하는 것을 특징으로 하며, 상기와 같은 본 발명에 의하면 접속부가 마모되지 않고 윤활제와 같은 소비재의 보급없이 반영구적으로 작동 가능한 가동 전기 접속 구조체의 구현이 가능하며, 탄소나노튜브 층의 합성시 접촉 경계면이 자가정렬되기 때문에 정밀 간극 조절 등의 후속 작업이 불필요하다.

탄소나노튜브, 가동 전기접속 구동체, 마이크로 위치 감지기

Description

탄소나노튜브를 이용한 가동 전기접속 구동체와 이를 이용한 마이크로 위치 감지기 및 이들의 제조방법 {Carbon Nanotubes-Based Movable Electrical Contact Structure And Micro Position Sensor Using The Same, And Manufacturing Methods Thereof}

본 발명은 탄소나노튜브를 이용한 가동 전기접속 구동체와 이를 이용한 마이크로 위치 감지기 및 이들의 제조방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는, 상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극, 및 상기 전극 사이의 접촉면에 각각 형성된 탄소나노튜브 층으로 구성되며, 상기 전극 간의 스위치 또는 미끄럼 방식 등의 상대적 움직임을 통한 상기 탄소나노튜브 층 간의 기계적 접촉을 통하여 전기가 흐르는 가동 전기접속 구동체 및 이를 이용한 마이크로 위치 감지기 및 이들의 제조방법에 대한 것이다.

기계적인 접촉을 통해 전기를 전달하는 가동 전기 접속 구조체는 필요한 경우에만 전기가 통하게 하기 위한 스위치 및 회전 운동 중에도 꾸준히 전력을 공급 하는 브러쉬 등의 형태를 일반적으로 가지며, 대부분의 기계장치에 필수적인 역할을 담당하고 있다.

이러한 구조의 가동 전기 접속 구조체가 필연적으로 가지고 있는 문제점인 전압강하 및 마모에 따른 수명 감소 등은 기계 장치의 효율을 저하시키는 요소로 작용하고 있어, 이를 개선하기 위한 연구가 진행되어왔다.

전기 전도성을 유지하며 우수한 내마모성을 갖춘 가동 전기접속 구조체를 구현하기 위하여 Johnson and Moberly 연구 그룹은 금속-그래파이트 합성물을 브러쉬 재료로 적용하였으며(IEEE Transaction on Components Hybrids and Manufacturing Technology, Vol.1, pp.36-40, 1978), W.G. Sawyer 연구 그룹은 소모성 고체 윤활제에 기반한 전기접속 구조체를 개발하였다(Wear, Vol.267, pp.1462-1469, 2009).

하지만 이러한 연구들은 접속부의 마모를 줄이는 것에는 어느 정도 기여하였으나, 여전히 주기적인 접속부의 교체 및 윤활제의 공급을 완전히 피할 수는 없었다.

최근 연구로 B. Bhushana 과 B. Galassob 연구 그룹은 탄소나노튜브가 기계적 접촉에 의해 마모가 되지 않아 접촉면을 구성하기에 적합한 소재임을 실험적으로 증명하였고(Philosophical Magazine Letters, Vol. 88, No. 12, 909-916, December 2008), Robert Vajtai, Pulickel M. Ajayan 연구 그룹은 이를 응용하여 탄소 나노튜브와 금속간의 접촉에 기반한 브러쉬를 구현하였다(Advanced Materials, Vol. 21, 2054-2058, 2009).

그러나 상기와 같은 연구에서도 탄소 나노튜브/금속 간의 기계적 접촉에 의 한 금속면의 마모는 피할 수 없었으며, 지속적인 소비재의 보급없이 반영구적으로 작동하는 전기 접속 구조체는 개발되지 못하고 있는 실정이다.

이에, 본 발명자는 접속부가 마모되지 않고 윤활제와 같은 소비재의 보급없이 반영구적으로 작동 가능한 가동 전기접속 구조체 및 이의 응용을 개발하기에 이르렀다.

본 발명의 목적은 접속부가 마모되지 않고 윤활제와 같은 소비재의 보급없이 반영구적으로 작동 가능한 가동 전기접속 구동체와 이를 이용한 마이크로 위치 감지기 및 이들의 제조방법을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 목적은 접속부의 접촉 경계면이 자가정렬되어 정밀 간극 조절 등의 후속 작업이 불필요한 가동 전기접속 구동체와 이를 이용한 마이크로 위치 감지기 및 이들의 제조방법을 제공하는 것이다.

또한, 본 발명의 목적은 마찰력에 따른 에너지 손실이 통상적인 크기의 전기 접속 구조체에 비해 훨씬 크기 때문에 구현하기 어려웠던 미끄럼 방식의 마이크로 가동 전기 접속 구조체와 이를 이용한 마이크로 위치 감지기 및 이들의 제조방법을 제공하는 것이다.

상술한 바와 같은 본 발명의 목적은 상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극, 및 상기 전극 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층을 포함하는 가동 전기접속 구동체를 제공함으로써 달성된다.

상기 가동 전기접속 구동체는 상기 탄소나노튜브 층 간의 기계적 접촉을 통하여 전기가 흐르게 되며, 상기 전극 간의 상대적인 움직임은 스위치 방식 또는 미끄럼 방식으로 이루어질 수 있다.

또한, 상기와 같은 가동 전기접속 구동체는 i) 상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극을 준비하는 단계, 및 ⅱ) 상기 한쌍의 전극 간의 접촉면에 탄소나노튜브를 증착하여 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계를 통하여 제조된다.

상기 전극은 DRIE(Deep Reactive Ion Etching)와 같은 벌크 마이크로머시닝(Bulk Micromachining) 또는 표면 마이크로머시닝(Surface Micromachining)을 이용하여 구현될 수 있으며, 상기 탄소나노튜브 층은 촉매 화학 기상 증착법(Catalystic Chemical Vapor Deposition)을 통해 전극 표면에 직접 형성될 수 있다. 이때, 상기 탄소나노튜브 층 간의 접촉 경계면은 자가정렬(self-alignment)되는 것을 특징으로 한다.

한편, 상술한 바와 같은 본 발명의 목적은 한쌍의 전극부, 상기 한쌍의 전극부 사이에 위치하는 구동부, 상기 한쌍의 전극부와 상기 구동부 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 합성된 탄소나노튜브 층으로 이루어진 접속부를 포함하며, 상기 접속부의 탄소나노튜브 층들이 서로 기계적 접촉을 하고 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기를 제공함으로써 달성된다.

여기서, 상기 접속부의 탄소나노튜브 층들 간의 기계적 접촉면적이 상기 가동 구조체의 움직임에 의하여 변화하며, 상기 접촉면적의 변화에 의하여 상기 접속부의 탄소나노튜브층들 간의 접촉 저항이 변화하는 것을 특징으로 한다. 이때, 상기 구동부의 전극부에 대한 상대적인 움직임이 미끄럼 방식으로 이루어질 수 있다.

또한, 상기와 같이 한쌍의 전극, 상기 한쌍의 전극 사이에 위치하는 가동 구동체, 상기 한쌍의 전극과 상기 가동 구동체 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층을 포함하는 마이크로 위치 감지기는 i) 기판 상에 탄소나노튜브 층 형성 부분을 에칭하여 한쌍의 전극과 상기 한쌍의 전극 사이의 가동 구동체를 분리 형성하는 단계, ⅱ) 상기 한쌍의 전극과 가동 구동체가 분리 형성된 기판 상에 촉매를 증착하는 단계, ⅲ) 상기 한쌍의 전극과 가동 구동체 사이의 접촉면에 형성된 촉매만 남도록 상기 기판 상의 촉매 부분을 에칭하는 단계, 및 ⅳ) 상기 접촉면의 촉매 형성 부분에 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계를 통하여 제조될 수 있다.

여기서, 상기 전극과 가동 구동체 사이의 접촉면에 형성된 탄소나노튜브 층들이 서로 기계적 접촉을 하며, 상기 탄소나노튜브 층들의 접촉 경계면이 자가정렬하는 것을 특징으로 하며, 상기 에칭은 DRIE(Deep Reactive Ion Etching)와 같은 벌크 마이크로머시닝(Bulk Micromachining) 또는 표면 마이크로머시닝(Surface Micro machining)을 이용하여 이루어질 수 있다. 또한, 상기 탄소나노튜브 층의 형성은 촉매 화학 기상 증착법(Catalystic Chemical Vapor Deposition)을 통해 이루어질 수 있다.

본 발명의 탄소나노튜브를 이용한 가동 전기접속 구동체는 접속부가 마모되지 않고 윤활제와 같은 소비재의 보급없이 반영구적으로 작동 가능하며, 접속부의 탄소나노튜브 층 형성시 접촉 경계면이 자가정렬되어 정밀 간극 조절 등의 후속 작업이 불필요하다는 장점이 있다. 또한, 본 발명을 통하여 마찰력으로 인하여 기존 에는 구현하기 어려웠던 미끄럼 방식의 마이크로 가동 전기접속 구조체 및 이를 이용한 다양한 어플리케이션들을 구현할 수 있다.

본 발명에 따른 탄소나노튜브를 이용한 가동 전기접속 구동체와 이를 이용한 마이크로 위치 감지기 및 이들의 제조방법을 도면을 참조하여 이하 상세하게 설명하기로 한다. 도 1은 본 발명의 가동 전기접속 구동체의 구성을 보여주는 단면도 및 부분 확대도이며, 도 2 내지 4는 본 발명의 가동 전기접속 구동체 및 탄소나노튜브 층의 주사 전자 현미경 사진이고, 도 5 내지 도 6은 본 발명의 가동 전기접속 구동체의 스위치 방식 및 미끄럼 방식의 작동 모식도이며, 도 7은 본 발명의 마이크로 위치 감지기의 구성을 보여주는 단면도이고, 도 8은 본 발명의 마이크로 위치 감지기 일실시예의 제조과정을 보여주는 흐름도이다.

본 발명의 가동 전기접속 구동체는 도 1에서 도시된 바와 같이, 상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극(10), 및 상기 전극(10) 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층(20)을 포함하는 것을 특징으로 한다.

기계적인 접촉에 의해 전력 및 전기 신호를 전달하는 가동 전기접속 구조체는 대부분의 전기 소자에 필수 부품으로 사용되고 있으나, 전압강하, 마모에 따른 수명 감소, 마찰력에 의한 에너지 손실 등의 문제를 해결하기 위하여 주기적으로 접속부 및 윤활제를 교체 또는 공급해 주어야 하는 문제가 있었다.

또한, 현재 활발히 연구되고 있는 마이크로 기전 시스템 분야에서는 마찰력요인이 일반적인 전기 소자에 비해 크게 작용하기 때문에 기존의 가동 전기접속 구조체로는 기계적인 접촉에 의한 점착을 극복하고 작동하는 가동 전기 접속 구조체를 구현할 수가 없었다.

본 발명에서는 상기 구성과 같이 뛰어난 탄성력과 내마모성을 가지는 고전도성의 탄소나노튜브 층들로 접속부를 구성함으로써, 기존의 한계들을 극복하여 높은 전기 전도성을 유지하면서도 낮은 마찰계수를 가지며 마모가 거의 없어 반영구적으로 사용 가능한 접속 구조체를 구현하였다. 또한, 접속면 사이의 기계적인 마찰로 인해 소실되는 에너지가 거의 없어 효율적인 측면에서도 뛰어난 성능을 보인다.

본 발명의 전기접속 구조체는 도 2 내지 4의 주사 전자 현미경 사진에서도 볼 수 있듯이, 상대적인 움직임이 가능하며 소정의 간격으로 배치되는 두 전도판을 통해 상호 접속부의 전극를 구현하고, 상기 두 전극의 마주보는 면에 탄소 나노튜브를 증착하여, 상기 탄소나노튜브 층간의 접촉을 통해 전기가 흐르도록 하였다.

이때, 상호 접속부 간의 간격을 제어하여 필요에 따라 전기를 흐르게 할 수 있으며, 상기 상호 접속부 간의 간격을 조절한 후 회전 운동 또는 미끄럼 움직임 등이 있어도 일정한 전류를 흐르게 할 수 있다.

상기 상호 접속부 간의 상대적인 움직임은 도 5와 도 6에 도시된 바와 같이, 스위치 방식 또는 미끄럼 방식 등 다양한 방식으로 구현될 수 있으며, 본 발명의 접속부를 구성하는 탄소나노튜브 층 간의 마찰력이 적기 때문에 미끄럼 방식으로 구현되는 경우에도 큰 에너지 손실없이 작동할 수 있다.

한편, 상기에서 설명한 바와 같이 상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극과 상기 전극 사이의 접촉면에 각각 형성된 탄소나노튜브 층을 포함하는 가동 전기접속 구동체는 i) 상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극을 준비하는 단계, 및 ⅱ) 상기 한쌍의 전극 사이의 접촉면에 각각 탄소나노튜브를 증착하여 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계로 제조할 수 있다.

이때, 상기 전극은 DRIE(Deep Reactive Ion Etching)와 같은 벌크 마이크로머시닝(Bulk Micromachining) 또는 표면 마이크로머시닝(Surface Micromachining)을 이용하여 구현된 마이크로 전극을 사용할 수 있는데, 이는 마찰력에 따른 에너지 손실로 인하여 마이크로 단위의 구조체를 구현하기 어려웠던 기존의 마이크로 가동 전기접속 구조체와 달리 본 발명은 탄소나노튜브 층을 접속체로 이용함으로써 큰 마찰력 손실없이 구조체가 작동할 수 있기 때문이다.

상기 탄소나노튜브 층은 다양한 방식으로 형성될 수 있으나, 바람직하게는 촉매 화학 기상 증착법(Catalystic Chemical Vapor Deposition)을 통해 전극 표면에 직접 형성될 수 있다.

또한, 상기와 같은 제조방법으로 전극 표면에 탄소나노튜브 층의 형성시 탄소나노튜브 층 표면이 자가정렬(self-alignment)하는 특성으로 인하여 일반적으로 요구되어지는 정밀 간극 조절 등의 후속 작업이 불필요하다.

상기 탄소나노튜브 층 간의 상대적인 움직임은 다양한 방식으로 구현될 수 있으며, 예를 들어 전자기력 방식, 전열 방식, 정전기 방식, 압전 방식, 형상 기억 합금 방식, 유압 방식, 자기력을 응용한 방식 등 다양한 방식으로 구현될 수 있다.

이렇게 구현되는 본 발명의 가동 전기접속 구동체는 에너지 발생기, 에너지 포집기, 작동기, 감지기 등 다양한 분야에 응용될 수 있으며, 기존에 나와있는 가동 전기 접속 구조체를 포함하는 소자에 뿐만 아니라 새로운 방식의 소자를 구현하는데에도 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 가동 전기 접속 구조체는 마이크로 기전 시스템에서 기존에 도입된 적이 없었던 미끄럼 움직임 기반의 응용소자를 구현하는데에도 효과적으로 사용될 수 있다.

한편, 상기의 탄소나노튜브를 이용한 가동 전기접속 구동체를 응용한 마이크로 위치 감지기는 도 7에 도시된 바와 같이, 한쌍의 전극부(100), 상기 한쌍의 전극부(100) 사이에 위치하는 구동부(200), 상기 한쌍의 전극부(100)과 상기 구동부(200) 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층으로 이루어진 접속부(300)를 포함하고, 상기 접속부(300)의 탄소나노튜브 층들이 서로 기계적 접촉을 하고 있는 것을 특징으로 한다.

상기 마이크로 위치 감지기는 상기 접속부(300)의 탄소나노튜브층들 간의 기계적 접촉면적이 상기 구동부(200)의 움직임에 의하여 변화하게 되며, 상기 접촉면적의 변화에 의하여 상기 접속부(300)의 탄소나노튜브층들 간의 접촉 저항이 변화함으로서 위치나 움직임을 감지하게 된다.

이때, 상기 구동부(200)의 전극부(100)에 대한 상대적인 움직임은 다양한 방식이 가능하나, 바람직하게는 미끄럼 방식으로 이루어질 수 있으며, 이를 통하여 마이크로 단위의 소자에서 불가능하였던 미끄럼 운동 하의 가동 전기 접속 구조를 구현할 수 있다.

상기와 같이 한쌍의 전극, 상기 한쌍의 전극 사이에 위치하는 가동 구동체, 상기 한쌍의 전극과 상기 가동 구동체 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층을 포함하는 마이크로 위치 감지기는 i) 기판 상에 탄소나노튜브 층 형성 부분을 에칭하여 한쌍의 전극과 상기 한쌍의 전극 사이의 가동 구동체를 분리 형성하는 단계, ⅱ) 상기 한쌍의 전극과 가동 구동체가 분리 형성된 기판 상에 촉매를 증착하는 단계, ⅲ) 상기 한쌍의 전극과 가동 구동체 사이의 접촉면에 형성된 촉매만 남도록 상기 기판 상의 촉매 부분을 에칭하는 단계, 및 ⅳ) 상기 접촉면의 촉매 형성 부분에 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계를 통하여 제조될 수 있다.

기판은 필요에 따라 다양한 소재가 사용될 수 있으며, 전극 부분을 고정시키기 위하여 별도의 지지수단을 형성할 수도 있다. 도 8은 본 발명의 일 실시예로서 실리콘 기판을 사용하여 전극부분에 별도의 지지수단을 함께 형성한 경우의 제조 과정을 보여주고 있다.

도면에서 볼 수 있듯이, 산화막으로 분리된 전면 기판과 후면 기판에 각각 마스킹 및 에칭을 통해 전극부분, 가동 구동체 부분 및 지지부를 분리 형성한 후, 최종적으로 전면기판과 후면 기판 사이의 분리막을 에칭하여 탄소나노튜브 층이 형성되는 접속부를 구현할 수 있다.

상기 에칭은 다양한 방식이 사용될 수 있으며, 바람직하게는 DRIE(Deep Reactive Ion Etching)와 같은 벌크 마이크로머시닝(Bulk Micromachining) 또는 표면 마이크로머시닝(Surface Micromachining)을 이용하여 이루어질 수 있다.

상기와 같이 에칭된 기판 상의 탄소나노튜브 층이 형성되게 될 접촉면에 촉매층을 먼저 증착 및 에칭 과정을 통하여 형성시킨 후, 접촉면에 탄소나노튜브 층을 형성시키게 되는데, 이때 상기 탄소나노튜브 층의 형성은 다양한 방식으로 이루어질 수 있으나 바람직하게는 촉매 화학 기상 증착법(Catalystic Chemical Vapor Deposition)을 통해 이루어질 수 있다.

이때 상기 전극과 가동 구동체 사이의 접촉면에 형성된 탄소나노튜브 층들은 서로 기계적 접촉을 하며, 탄소나노튜브 층 형성시 접촉 경계면이 자가정렬하게 된다.

상기에서 살펴본 바와 같이, 본 발명은 탄소나노튜브 층들을 이용하여, 접속부가 마모되지 않고 윤활제와 같은 소비재의 보급없이 반영구적으로 작동 가능하며, 접촉 경계면의 정밀 간극 조절 등의 후속 작업이 불필요한 다양한 작동 방식의 마이크로 가동 전기접속 구동체 및 이를 이용한 다양한 어플리케이션들을 구현할 수 있다.

본 발명은 상술한 특정의 실시예 및 설명에 한정되지 아니하며, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능하며, 그와 같은 변형은 본 발명의 보호 범위 내에 있게 된다.

도 1은 본 발명의 가동 전기접속 구동체의 구성을 보여주는 단면도 및 부분 확대도이다.

도 2는 본 발명의 가동 전기접속 구동체의 주사 전자 현미경 사진이다.

도 3과 도 4는 본 발명의 가동 전기접속 구동체의 접속면에 형성된 탄소나노튜브 층을 확대한 주사 전자 현미경 사진이다.

도 5와 도 6은 본 발명의 가동 전기접속 구동체의 스위치 방식 및 미끄럼 방식의 작동 모식도이다.

도 7은 본 발명의 마이크로 위치 감지기의 구성을 보여주는 단면도이다.

도 8은 본 발명의 마이크로 위치 감지기 일실시예의 제조과정을 보여주는 흐름도이다.

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *

10 : 전극 20 : 탄소나노튜브층

100 : 전극부 200 : 구동부

300 : 접속부

Claims (14)

1. 상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극(10), 및 상기 전극(10) 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층(20)을 포함하는 가동 전기접속 구동체.
2. 제1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 층(20) 간의 기계적 접촉을 통하여 전기가 흐르는 것을 특징으로 하는 가동 전기접속 구동체.
3. 제1항에 있어서, 상기 전극(10) 간의 상대적인 움직임이 스위치 방식 또는 미끄럼 방식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 가동 전기접속 구동체.
4. 상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극과 상기 전극 사이의 접촉면에 각각 형성된 탄소나노튜브 층을 포함하는 가동 전기접속 구동체의 제조방법에 있어서,

   i) 상대적인 움직임이 가능한 한쌍의 전극을 준비하는 단계; 및

   ⅱ) 상기 한쌍의 전극 사이의 접촉면에 각각 탄소나노튜브를 증착하여 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계;

   포함하는 가동 전기접속 구동체의 제조방법.
5. 제4항에 있어서, 상기 전극이 DRIE(Deep Reactive Ion Etching)와 같은 벌크 마이크로머시닝(Bulk Micromachining) 또는 표면 마이크로머시닝(Surface Micro machining)을 이용하여 구현된 마이크로 전극인 것을 특징으로 하는 가동 전기접속 구동체의 제조방법.
6. 제4항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 층이 촉매 화학 기상 증착법(Catalystic Chemical Vapor Deposition)을 통해 전극 표면에 직접 형성되는 것을 특징으로 하는 가동 전기접속 구동체의 제조방법.
7. 제6항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 층의 형성시 접촉 경계면이 자가정렬(self-alignment)되는 것을 특징으로 하는 가동 전기접속 구동체의 제조방법.
8. 한쌍의 전극부(100), 상기 한쌍의 전극부(100) 사이에 위치하는 구동부(200), 상기 한쌍의 전극부(100)과 상기 구동부(200) 사이의 접촉면에 각각 형성 되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층으로 이루어진 접속부(300)를 포함하며, 상기 접속부(300)의 탄소나노튜브 층들이 서로 기계적 접촉을 하고 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기.
9. 제8항에 있어서, 상기 접속부(300)의 탄소나노튜브층들 간의 기계적 접촉면적이 상기 구동부(200)의 움직임에 의하여 변화하며, 상기 접촉면적의 변화에 의하여 상기 접속부(300)의 탄소나노튜브층들 간의 접촉 저항이 변화하는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기.
10. 제9항에 있어서, 상기 구동부(200)의 전극부(100)에 대한 상대적인 움직임이 미끄럼 방식으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기.
11. 한쌍의 전극, 상기 한쌍의 전극 사이에 위치하는 가동 구동체, 상기 한쌍의 전극과 상기 가동 구동체 사이의 접촉면에 각각 형성되며 상기 접촉면에 수직한 방향으로 증착된 탄소나노튜브 층을 포함하는 마이크로 위치 감지기의 제조방법에 있어서,

    i) 기판 상에 탄소나노튜브 층 형성 부분을 에칭하여 한쌍의 전극과 상기 한 쌍의 전극 사이의 가동 구동체를 분리 형성하는 단계;

    ⅱ) 상기 한쌍의 전극과 가동 구동체가 분리 형성된 기판 상에 촉매를 증착하는 단계;

    ⅲ) 상기 한쌍의 전극과 가동 구동체 사이의 접촉면에 형성된 촉매만 남도록 상기 기판 상의 촉매 부분을 에칭하는 단계; 및

    ⅳ) 상기 접촉면의 촉매 형성 부분에 탄소나노튜브 층을 형성하는 단계;

    를 포함하는 마이크로 위치 감지기의 제조방법.
12. 제11항에 있어서, 상기 전극과 가동 구동체 사이의 접촉면에 형성된 탄소나노튜브 층들이 서로 기계적 접촉을 하며, 접촉 경계면이 탄소나노튜브 층 형성시 자가정렬하는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기의 제조방법.
13. 제11항에 있어서, 상기 에칭이 DRIE(Deep Reactive Ion Etching)와 같은 벌크 마이크로머시닝(Bulk Micromachining) 또는 표면 마이크로머시닝(Surface Micro machining)을 이용하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기의 제조방법.
14. 제11항에 있어서, 상기 탄소나노튜브 층의 형성이 촉매 화학 기상 증착법(Catalystic Chemical Vapor Deposition)을 통해 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 위치 감지기의 제조방법.

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