KR101047460B1 - Micro Coaxial Cable Type Probe Card - Google Patents

Micro Coaxial Cable Type Probe Card Download PDF

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Abstract

본 발명은 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드에 관한 것으로서, 특히 듀얼 타입의 프로브 카드에 있어서, 테두리에 복수의 입출력 패드가 구비되는 원판 형태로 형성되고, 상기 입출력 패드중 출력측 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 1커넥터용 패드가 양측면에 형성되며, 상기 제 1커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터가 구비되는 메인 PCB와; 스틸 재질로 사각 형태로 형성되어 상기 메인 PCB의 저면 중앙부에 체결되는 플레이트와; 상단에 복수의 니들이 배열되고, 상기 플레이트에 고정 설치되어 상기 메인 PCB의 상면으로 돌출 형성되는 복수의 니들 블록과; 직사각형태로 형성되고, 절단면인 상면에 복수의 출력 니들용 접촉 패드가 형성되고, 상기 출력 니들용 접촉 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 2커넥터용 패드가 일측면에 형성되며, 상기 제 2커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 구비하는 복수의 서브 PCB; 및 상기 메인 PCB의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터와 상기 서브 PCB의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 전기적으로 연결시키는 마이크로 동축 케이블로 이루어지는 것을 특징으로 한다.BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a micro coaxial cable type probe card. In particular, in a dual type probe card, a plurality of input / output pads are formed on a rim, and are electrically formed by an output side pad and a through hole among the input / output pads. A main PCB having a first connector pad connected to both sides thereof, the main PCB including a plurality of first micro coaxial cable connectors to which the pad for the first connector and the metal terminal thereof are soldered; A plate formed in a square shape of steel and fastened to a central portion of a bottom surface of the main PCB; A plurality of needle blocks arranged at an upper end thereof and fixedly mounted to the plate to protrude to an upper surface of the main PCB; A plurality of output needle contact pads are formed in a rectangular shape and have a cutting surface, and a second connector pad is formed on one side thereof and electrically connected by the output needle contact pads and through holes. A plurality of sub-PCBs having a pad for two connectors and a plurality of second micro coaxial cable connectors to which a metal terminal thereof is soldered; And a micro coaxial cable electrically connecting the first micro coaxial cable connector of the main PCB and the second micro coaxial cable connector of the sub PCB.

상기와 같은 본 발명에 따르면 마이크로 동축 케이블과 커넥터를 이용하여 배선을 수행함으로써 구조를 단순화시켜 와이어 및 솔더링 부위를 배제함으로써 불량 발생률을 상대적으로 낮추고, 제작 시간을 상대적으로 단축시킬 수 있다.According to the present invention as described above by performing the wiring using a micro coaxial cable and a connector by simplifying the structure to exclude the wires and soldering parts to relatively lower the failure rate, it is possible to relatively shorten the manufacturing time.

프로브 카드, PCB, 플레이트, 마이크로 동축 케이블, 커넥터 Probe card, PCB, plate, micro coaxial cable, connector

Description

마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드{MICRO COAXIAL CABLE TYPE PROBE CARD}Micro coaxial cable type probe card {MICRO COAXIAL CABLE TYPE PROBE CARD}

본 발명은 프로브 카드에 관한 것으로서, 상세하게는 마이크로 동축 케이블과 커넥터를 이용하여 배선을 수행하도록 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드에 관한 것이다.The present invention relates to a probe card, and more particularly, to a micro coaxial cable type probe card for performing wiring using a micro coaxial cable and a connector.

일반적으로 프로브 카드는 반도체 소자의 정상 동작 유무를 확인하는 테스트 공정에 사용된다. 최근의 반도체 소자에 대한 패키지 형태는 다양한 양상을 나타내므로 프로브 카드 또한 테스트되는 반도체 소자의 패키지 형태에 따라 다양한 양상을 가진다.In general, a probe card is used in a test process to check whether a semiconductor device is normally operated. Since the package form of a recent semiconductor device shows various aspects, the probe card also has various aspects depending on the package type of the semiconductor device being tested.

도 1에는 종래 기술에 의한 싱글 타입의 니들 프로브카드(10)의 개략적 평면도가 도시되어 있다. 니들 프로브카드(10)는 일반적으로 PCB기판 또는 Al기판 등의 니들고정기판(12), 상기 니들고정기판(12) 위에 에폭시수지(14)에 의해 고정되어 있는 그 단부가 테스트패드에 접촉되는 다수의 니들(30), 그리고 상기 에폭시수지(14)를 보강하기 위한 세라믹보강링(16)으로 구성된다. 한편, 도 1에는 원형인 니들고정기판(10)이 도시되어 있으나 사각형 등 다양한 형태가 가능하다.1 is a schematic plan view of a needle probe card 10 of a single type according to the prior art. The needle probe card 10 generally includes a needle fixing substrate 12 such as a PCB substrate or an Al substrate, and a plurality of ends of the needle probe card 10 which are fixed by the epoxy resin 14 on the needle fixing substrate 12 in contact with the test pad. The needle 30, and the ceramic reinforcing ring 16 for reinforcing the epoxy resin (14). Meanwhile, although the needle fixing substrate 10 having a circular shape is illustrated in FIG. 1, various shapes such as a square may be possible.

싱글 타입의 니들 프로브카드(10)는 도 1의 상하방향을 기준으로 니들 그룹이 니들고정기판(10) 2개소에 배치되어 1개의 제품만 검사할 수 있도록 구성되어 있다. 한편, 측정효율을 향상시키기 위해 듀얼 타입의 니들 프로브카드는 2개의 제품을 동시에 검사할 수 있도록 상기 싱글 타입의 니들 프로브카드를 개량한 것이다. 즉, 듀얼 타입 니들 프로브카드에서는 니들 그룹을 4개소에 배치하여 일측 2개소의 니들이 하나의 제품을, 타측 2개소의 니들이 또 하나의 제품을 검사하도록 구성되어 있다.The needle probe card 10 of the single type is configured such that the needle group is disposed at two needle fixing substrates 10 on the basis of the up and down direction of FIG. 1 so that only one product can be inspected. Meanwhile, in order to improve measurement efficiency, the dual type needle probe card is an improvement of the single type needle probe card so that two products can be inspected at the same time. That is, in the dual type needle probe card, the needle groups are arranged at four places so that two needles on one side check one product and two needles on the other side check another product.

이하, 도 2를 참조하면서 듀얼 타입 니들 프로브카드의 구조에 대해 보다 상세하게 설명한다. 도 2는 TAB테이프(50)를 검사하기 위해 하방으로 설치된 종래기술에 의한 듀얼 타입 니들 프로브카드(10)의 일부 단면도이다. 도 2에 도시된 바와 같이, 듀얼 타입 니들 프로브카드(10)는 니들고정기판(12), 상기 니들고정기판(12)에 에폭시수지(14)에 의해 고정되어 있는 다수의 니들 그룹들(32,34,36,38)로 구성되어 있다.Hereinafter, the structure of the dual type needle probe card will be described in more detail with reference to FIG. 2. 2 is a partial cross-sectional view of a dual type needle probe card 10 according to the prior art installed downward to inspect the TAB tape 50. As shown in FIG. 2, the dual type needle probe card 10 includes a needle fixing substrate 12 and a plurality of needle groups 32 fixed to the needle fixing substrate 12 by an epoxy resin 14. 34,36,38).

상기 듀얼 타입 니들 프로브카드(10)를 종방향(도 1에서는 상하방향)으로 절단하였을 때, 상기 니들고정기판(12)에는 니들 그룹이 에폭시수지(14)에 의해 4개소에 고정되어 있다. 상기 니들고정기판(12)을 중심으로 좌측(도 2에서)에 제1조 니들(32,34)이, 우측에 제2조 니들(36,38)이 구비되어 있다. 상기 제1조 및 제2조 니들들은 각각 니들고정기판(12)의 중심부에 위치한 내측니들(34,36) 및 그 외측에 위치한 외측니들(32,38)로 구성된다.When the dual type needle probe card 10 is cut in the longitudinal direction (up and down direction in FIG. 1), needle groups are fixed to four places on the needle fixing substrate 12 by epoxy resins 14. The first set needles 32 and 34 are disposed on the left side (in FIG. 2) and the second set needles 36 and 38 on the right side of the needle fixing substrate 12. The first and second needles are composed of inner needles 34 and 36 located at the center of the needle fixing substrate 12 and outer needles 32 and 38 located outside of the needle fixing substrate 12, respectively.

상기 니들들(32,34,36,38)에서 TAB테이프(50)의 패턴 말단부에 부착된 테스 트패드에 접촉되는 전단부(니들팁)을 제1말단(32a,34a,36a,38a)이라 하고 상기 제1말단의 반대측 부분을 제2말단(32b,34b,36b,38b)이라 한다.The front ends (needle tips) contacting the test pads attached to the pattern end of the TAB tape 50 at the needles 32, 34, 36, and 38 are called first ends 32a, 34a, 36a, and 38a. The opposite side of the first end is referred to as the second end 32b, 34b, 36b, 38b.

상기 프로브카드(10)를 이용하여 TAB테이프(50)를 검사하기 위해서는 먼저 상기 니들들의 제1말단(32a,34a,36a,38a)을 테스트하고자 하는 TAB테이프(50)의 패턴 말단부에 부착된 테스트패드에 접촉시킨다. 그런 다음 상기 니들들(32,34,36, 38)을 통해 테스트시스템의 전기적 신호를 전달하여 상기 제품(50)의 결함(short 및 open)을 검사한다.In order to test the TAB tape 50 using the probe card 10, first, a test attached to the pattern end of the TAB tape 50 to test the first ends 32a, 34a, 36a, and 38a of the needles. Contact pad. The needles 32, 34, 36 and 38 then transmit electrical signals of the test system to check for shorts and open defects of the product 50.

이때 상기 제품의 패턴이 오픈되었는지는 상기 패턴말단의 인너리드(inner lead) 측에 설치된 비접촉식 센서인 하부센서(42) 등을 이용하여 확인할 수 있다. 미설명 부호 50a는 디바이스홀(device hole)을 나타낸다.At this time, whether the pattern of the product is opened can be confirmed by using a lower sensor 42 or the like, which is a non-contact sensor installed on the inner lead side of the pattern end. Reference numeral 50a denotes a device hole.

그러나, 이러한 종래의 프로브 카드는 니들 고정기판 상부 또는 하부에는 다수의 배선들이 복잡하게 결선되기 때문에 와이어링 및 솔더링이 어려워 불량 발생률이 높고, 제작 시간이 길어지는 문제점이 있다.However, such a conventional probe card has a problem in that a plurality of wirings are complicatedly connected to the upper or lower portion of the needle fixing substrate, so that wiring and soldering are difficult, resulting in high defect rate and long manufacturing time.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로, 마이크로 동축 케이블과 커넥터를 이용하여 배선을 수행함으로써 구조를 단순화시켜 와이어 및 솔더링 부위를 배제함으로써 불량 발생률을 상대적으로 낮추고, 제작 시간을 상대적으로 단축시키도록 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드를 제공하는데 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, the wiring by using a micro coaxial cable and connector to simplify the structure to exclude the wires and soldering parts to relatively reduce the failure rate and to reduce the manufacturing time relatively It is an object of the present invention to provide a micro coaxial cable type probe card.

또한, 본 발명은 진행성 불량이 발생하는 경우 해당 커넥터와 마이크로 동축 케이블만을 교체하도록 함으로써 수리가 용이한 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드를 제공하는데 다른 목적이 있다.Another object of the present invention is to provide a micro coaxial cable type probe card that is easy to repair by replacing only the connector and the micro coaxial cable when a progression defect occurs.

상기와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징은,Features of the present invention for achieving the above object,

듀얼 타입의 프로브 카드에 있어서, 테두리에 복수의 입출력 패드가 구비되는 원판 형태로 형성되고, 상기 입출력 패드중 출력측 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 1커넥터용 패드가 양측면에 형성되며, 상기 제 1커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터가 구비되는 메인 PCB와; 스틸 재질로 사각 형태로 형성되어 상기 메인 PCB의 저면 중앙부에 체결되는 플레이트와; 상단에 복수의 니들이 배열되고, 상기 플레이트에 고정 설치되어 상기 메인 PCB의 상면으로 돌출 형성되는 복수의 니들 블록과; 직사각형태로 형성되고, 절단면인 상면에 복수의 출력 니들용 접촉 패드가 형성되고, 상기 출력 니들용 접촉 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 2커넥터용 패드가 일측면에 형성되며, 상기 제 2커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 구비하는 복수의 서브 PCB; 및 상기 메인 PCB의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터와 상기 서브 PCB의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 전기적으로 연결시키는 마이크로 동축 케이블로 이루어지는 것을 특징으로 한다.In the dual type probe card, a disk is formed in the shape of a disk having a plurality of input and output pads at the edge, and the first connector pads electrically connected by the output side pads and through holes of the input and output pads are formed on both sides. A main PCB including a plurality of first micro coaxial cable connectors to which a first connector pad and a metal terminal thereof are soldered; A plate formed in a square shape of steel and fastened to a central portion of a bottom surface of the main PCB; A plurality of needle blocks arranged at an upper end thereof and fixedly mounted to the plate to protrude to an upper surface of the main PCB; A plurality of output needle contact pads are formed in a rectangular shape and have a cutting surface, and a second connector pad is formed on one side thereof and electrically connected by the output needle contact pads and through holes. A plurality of sub-PCBs having a pad for two connectors and a plurality of second micro coaxial cable connectors to which a metal terminal thereof is soldered; And a micro coaxial cable electrically connecting the first micro coaxial cable connector of the main PCB and the second micro coaxial cable connector of the sub PCB.

여기에서, 상기 메인 PCB는 중앙부에 사각 형태의 제 1개구홀이 형성되고, 상기 제 1개구홀의 측면에 직사각형태의 제 2개구홀이 형성되며, 상기 제 1개구홀의 양측면에 상기 입출력 패드중 입력측 패드와 쓰루홀을 통해 전기적으로 연결되는 입력 니들용 접촉 패드가 형성된다.Here, the main PCB has a rectangular first opening is formed in the center portion, a rectangular second opening is formed on the side of the first opening, the input side of the input and output pads on both sides of the first opening A contact pad for the input needle is formed that is electrically connected through the pad and the through hole.

여기에서 또한, 상기 복수의 니들 블록은 사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 입력 니들이 배열되고, 각각의 상기 입력 니들의 일단이 상기 메인 PCB에 형성된 입력 니들용 접촉 패드와 일대일 대응되어 솔더링되는 제 1, 2입력 니들 블록과; 사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 출력 니들이 배열되고, 각각의 상기 출력 니들의 일단이 상기 서브 PCB의 복수의 출력 니들용 접촉 패드와 일대일 대응되어 접촉되는 제 1, 2출력 니들 블록으로 이루어진다.Here, the plurality of needle blocks are formed in the shape of a square bar and a plurality of input needles are arranged on the top, and one end of each of the input needles is soldered in one-to-one correspondence with the contact pads for the input needles formed on the main PCB. 1, 2 input needle block; A plurality of output needles are formed in a rectangular bar shape and arranged at an upper end thereof, and one end of each of the output needles includes first and second output needle blocks in one-to-one correspondence with a plurality of output needle contact pads of the sub-PCB.

여기에서 또, 상기 서브 PCB는 상기 제 1출력 니들 블록과 이웃하는 제 1서브 PCB와; 상기 제 2출력 니들 블록과 이웃하는 제 2서브 PCB로 이루어진다.Here, the sub-PCB and the first sub-PCB neighboring the first output needle block; And a second sub PCB adjacent to the second output needle block.

여기에서 또, 상기 제 1, 2서브 PCB는 상기 플레이트에 고정되도록 디귿자 형태로 형성되어 상기 제 1, 2서브 PCB의 측면에 각각 부착되는 제 1고정 부재와; 상기 플레이트에 고정되도록 니은자 형태로 형성되어 상기 제 1, 2서브 PCB의 측면에 각각 부착되는 제 2고정 부재를 더 구비한다.Here, the first and second sub-PCB are formed in the form of a recess to be fixed to the plate and the first fixing member attached to the side of the first and second sub-PCB respectively; It is further provided with a second fixing member formed in the shape of the needle-shaped to be fixed to the plate and attached to the side of the first and second sub-PCB respectively.

여기에서 또, 상기 플레이트는 사각 형태의 복수의 얼라인 홀과; 상기 서브 PCB가 각각 관통하는 관통홀과; 상기 제 1고정 부재가 안착되는 복수의 안착홈과; 상면에 상기 니들 블록이 고정되는 복수의 핀홀; 및 상기 메인 PCB와 니들 블록 및 제 1, 2고정 부재를 각각 고정시키기 위한 복수의 볼트홀을 더 구비한다.Herein, the plate may include a plurality of alignment holes having a rectangular shape; A through hole through which each of the sub-PCBs passes; A plurality of mounting grooves on which the first fixing member is mounted; A plurality of pinholes on which the needle block is fixed; And a plurality of bolt holes for fixing the main PCB, the needle block, and the first and second fixing members, respectively.

여기에서 또, 상기 핀홀은 그 내부 중심에 가이드링이 몰탈에 의해 고정된 다.Here, the pinhole is fixed to the inner center of the guide ring by mortar.

여기에서 또, 상기 니들 블록은 저면 양단에 상기 핀홀의 가이드링에 삽입 고정되는 맞춤핀이 결합된다.Here, the needle block is coupled to the alignment pin which is fixed to the guide ring of the pin hole at both ends of the bottom surface.

여기에서 또, 상기 제 1고정 부재는 그 양단의 두께가 상기 플레이트의 안착홈의 길이보다 더 작게 형성되어 좌우 방향 조절볼트에 의해 좌우 방향이 조절되고, 상하 방향 조절볼트에 의해 상하 방향이 조절된다.Here, the first fixing member has a thickness at both ends thereof smaller than the length of the seating groove of the plate, so that the left and right directions are adjusted by the left and right adjustment bolts, and the up and down direction is adjusted by the up and down direction adjustment bolts. .

여기에서 또, 상기 제 1고정 부재는 상기 서브 PCB 사이에 폴리 아미드 재질의 절연 스페이서를 삽입하여 전후 방향 및 틸트각을 조절한다.Here, the first fixing member inserts an insulating spacer made of polyamide between the sub-PCBs to adjust the front-rear direction and the tilt angle.

여기에서 또, 상기 서브 PCB의 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터는 상기 메인 PCB의 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터와 대응되는 개수로 구비된다.Here, the plurality of second micro coaxial cable connectors of the sub-PCB are provided in a number corresponding to the plurality of first micro coaxial cable connectors of the main PCB.

상기와 같이 구성되는 본 발명인 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드에 따르면, 마이크로 동축 케이블과 커넥터를 이용하여 배선을 수행함으로써 구조를 단순화시켜 와이어 및 솔더링 부위를 배제함으로써 불량 발생률을 상대적으로 낮추고, 제작 시간을 상대적으로 단축시킬 수 있는 이점이 있다.According to the micro-coaxial cable type probe card of the present invention configured as described above, by simplifying the structure by performing the wiring using the micro coaxial cable and the connector to eliminate the wire and soldering parts to relatively lower the failure rate, the production time is relatively There is an advantage that can be shortened to.

또한, 본 발명인 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드에 따르면 진행성 불량이 발생하는 경우 해당 커넥터와 마이크로 동축 케이블만을 교체하도록 함으로써 수리를 용이하게 수행할 수 있는 다른 이점이 있다.In addition, according to the micro-coaxial cable type probe card of the present invention has another advantage that can be easily performed by replacing only the connector and the micro coaxial cable when a progression failure occurs.

이하, 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the configuration of a micro coaxial cable type probe card according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

하기에서 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 기능 또는 구성에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 불필요하게 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략할 것이다. 그리고 후술되는 용어들은 본 발명에서의 기능을 고려하여 정의된 용어들로서 이는 사용자, 운용자의 의도 또는 관례 등에 따라 달라질 수 있다. 그러므로 그 정의는 본 명세서 전반에 걸친 내용을 토대로 내려져야 할 것이다.In the following description of the present invention, if it is determined that a detailed description of a related known function or configuration may unnecessarily obscure the subject matter of the present invention, the detailed description thereof will be omitted. The following terms are defined in consideration of the functions of the present invention, and may be changed according to the intentions or customs of the user, the operator, and the like. Therefore, the definition should be based on the contents throughout this specification.

도 3은 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 사시도이고, 도 4는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 배면 사시도이며, 도 5는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 단면도이고, 도 6은 도 5의 "A" 부분 확대도이며, 도 7은 도 3의 A-A 단면도이고, 도 8은 도 3의 B-B 단면도이며, 도 9는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 분해 사시도이다.Figure 3 is a perspective view showing the configuration of a micro coaxial cable type probe card according to the present invention, Figure 4 is a rear perspective view showing the configuration of a micro coaxial cable type probe card according to the present invention, Figure 5 is a micro coaxial according to the present invention 6 is an enlarged view of a portion “A” of FIG. 5, FIG. 7 is an AA sectional view of FIG. 3, FIG. 8 is a BB sectional view of FIG. 3, and FIG. 9 is an embodiment of the present invention. Is an exploded perspective view showing the configuration of a micro coaxial cable type probe card.

도 3 내지 도 9를 참조하면, 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드(100)는, 메인 PCB(110)와, 플레이트(120)와, 니들 블록(130)과, 서브 PCB(140)와, 마이크로 동축 케이블(150)로 구성된다.3 to 9, the micro coaxial cable type probe card 100 according to the present invention includes a main PCB 110, a plate 120, a needle block 130, a sub-PCB 140, , Micro coaxial cable 150.

먼저, 메인 PCB(110)는 최외곽에 종래와 동일하게 쓰루홀(미도시)에 의한 복수의 입출력 패드(111)가 구비되는 원판 형태로 형성되고, 입출력 패드(111)중 출 력측 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 1커넥터용 패드(112)가 양측면에 형성되며, 제 1커넥터용 패드(112)와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)가 구비된다.First, the main PCB 110 is formed in the shape of a disc having a plurality of input and output pads 111 through a through hole (not shown) in the outermost as in the prior art, the output side pads and through of the input and output pads 111 First connector pads 112 electrically connected by holes are formed at both sides, and the first connector pads 112 and a plurality of first micro coaxial connector 113 soldered by metal terminals thereof are provided. do.

여기에서, 메인 PCB(110)는 중앙부에 사각 형태의 제 1개구홀(114)이 형성되고, 제 1개구홀(114)의 측면에 직사각형태의 제 2개구홀(115)이 형성되며, 제 1개구홀(114)의 양측면에 입출력 패드(111)중 입력측 패드와 쓰루홀을 통해 전기적으로 연결되는 입력 니들용 접촉 패드(116)가 형성된다.Here, the main PCB 110 has a rectangular first opening 114 is formed in the central portion, the second opening 115 of the rectangular shape is formed on the side of the first opening 114, Contact pads 116 for input needles are electrically connected to the input side pads and through holes of the input / output pads 111 on both side surfaces of the one opening 114.

그리고, 플레이트(120)는 내구성 향상, 변형을 방지, 니들 평탄도 및 얼라인 향상을 통해 컨택의 안정성을 향상하도록 스틸(SKD11, 두께 6㎜) 재질로 사각 형태로 형성되어 메인 PCB(110)의 저면 중앙부에 체결된다.In addition, the plate 120 is formed in a square shape made of steel (SKD11, 6 mm thick) to improve contact stability by improving durability, preventing deformation, improving needle flatness, and aligning, thereby forming the main PCB 110. It is fastened to the bottom center part.

여기에서, 플레이트(120)는 사각 형태의 복수의 얼라인 홀(121)과, 하기에서 설명할 서브 PCB(140)가 각각 관통하는 관통홀(122)과, 하기에서 설명할 고정 부재(146)가 안착되는 복수의 안착홈(123)과, 상면에 니들 블록(130)이 고정되는 복수의 핀홀(124)과, 메인 PCB(110)와, 니들 블록(130) 및 고정 부재(146)를 각각 고정시키기 위한 복수의 볼트홀(125)을 더 구비한다.Here, the plate 120 includes a plurality of square alignment holes 121, a through hole 122 through which the sub-PCB 140 to be described below passes, and the fixing member 146 to be described below. A plurality of seating grooves 123 to which seats are mounted, a plurality of pinholes 124 to which the needle block 130 is fixed on the upper surface, a main PCB 110, a needle block 130, and a fixing member 146, respectively. Further provided with a plurality of bolt holes 125 for fixing.

여기에서 또한, 핀홀(124)은 그 내부 중심에 가이드링(126)이 몰탈(127)에 의해 고정되는 데, 가이드링(126)은 정밀 치구에 의해 몰탈(127)이 양생될 때까지 정위치를 유지하는 것이 바람직하다.Here, the pinhole 124 is fixed to the inner center of the guide ring 126 by the mortar 127, the guide ring 126 is in place until the mortar 127 is cured by the precision jig It is desirable to maintain.

또한, 니들 블록(130)은 제 1입력 니들 블록(131)과, 제 1출력 니들 블록(132)과, 제 2입력 니들 블록(133)과, 제 2출력 니들 블록(134)으로 구성되고, 플레이트(120)의 상면에서 착탈 가능하도록 고정 설치되어 메인 PCB(110)의 개구홀(115)을 통해 메인 PCB(110)의 상면으로 돌출 형성된다.In addition, the needle block 130 includes a first input needle block 131, a first output needle block 132, a second input needle block 133, and a second output needle block 134. It is fixed to be detachable from the upper surface of the plate 120 is formed to protrude to the upper surface of the main PCB 110 through the opening hole 115 of the main PCB 110.

제 1, 2입력 니들 블록(131, 133)은 사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 입력 니들(135)이 배열되고, 각각의 입력 니들(135)의 일단이 메인 PCB(110)에 형성된 입력 니들용 접촉 패드(116)와 일대일 대응되어 솔더링된다.The first and second input needle blocks 131 and 133 are formed in the shape of a square bar so that a plurality of input needles 135 are arranged on the upper end, and one end of each input needle 135 is formed on the main PCB 110. One-to-one correspondence with the contact pad 116 for the needle is soldered.

제 1, 2출력 니들 블록(132, 134)은 사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 출력 니들(136)이 배열되고, 각각의 출력 니들(136)의 일단이 서브 PCB(140)의 복수의 출력 니들용 접촉 패드(143)와 일대일 대응되어 접촉된다.The first and second output needle blocks 132 and 134 are formed in the shape of a square bar, and a plurality of output needles 136 are arranged at an upper end thereof, and one end of each of the output needles 136 is formed in the plurality of sub PCBs 140. One-to-one correspondence with the contact pad 143 for the output needle is in contact.

한편, 제 1, 2입력 니들 블록(131, 133)의 저면 양단에 플레이트(120)의 핀홀(124)에 구비된 가이드링(126)에 삽입 고정되는 맞춤핀(137)이 결합되고, 플레이트(120)의 볼트홀(125)과 대응되는 볼트홀(138)이 형성된다.Meanwhile, alignment pins 137 inserted into and fixed to the guide rings 126 provided in the pinholes 124 of the plate 120 are coupled to both ends of the bottoms of the first and second input needle blocks 131 and 133, and the plate ( A bolt hole 138 corresponding to the bolt hole 125 of the 120 is formed.

또한, 제 1, 2출력 니들 블록(132, 134)의 저면 양단에는 플레이트(120)의 볼트홀(125)과 대응되는 볼트홀(138)이 형성된다.In addition, bolt holes 138 corresponding to the bolt holes 125 of the plate 120 are formed at both ends of the bottom of the first and second output needle blocks 132 and 134.

또, 입력 니들(135)은 에폭시에 의해 핀이 고정된 핀 타입으로 형성되는 것이 바람직하고, 출력 니들(136)은 에폭시에 의해 핀이 고정된 핀 타입으로 형성될 수도 있고, 블레이드가 세라믹에 삽입 고정된 블레이드 타입으로도 형성될 수 있으며 어떠한 타입으로도 형성이 가능하며, 입력 니들(135) 및 출력 니들(136)은 일정 개수의 니들을 한 군으로 하여 이들을 대각선으로 형성하여 집적도를 향상시키고, 메인 PCB(110)의 입력 니들용 접촉 패드(119)와 서브 PCB(140)의 출력 니들용 접촉 패드(143)를 이와 대응되는 형태로 형성하여 집적도를 향상시키는 것이 바람직하다.In addition, the input needle 135 may be formed in a pin type in which pins are fixed by epoxy, and the output needle 136 may be formed in a pin type in which pins are fixed by epoxy, and a blade is inserted into the ceramic. It can be formed as a fixed blade type and can be formed in any type, the input needle 135 and the output needle 136 to form a certain number of needles in a group to form them diagonally to improve the degree of integration, The contact pad 119 for the input needle of the main PCB 110 and the contact pad 143 for the output needle of the sub-PCB 140 may be formed in a shape corresponding thereto to improve the degree of integration.

또한, 서브 PCB(140)는 제 1출력 니들 블록(132)과 이웃하는 제 1서브 PCB(141)와, 제 2출력 니들 블록(134)과 이웃하는 제 2서브 PCB(142)로 구성된다.In addition, the sub-PCB 140 includes a first sub-PCB 141 adjacent to the first output needle block 132 and a second sub-PCB 142 adjacent to the second output needle block 134.

제 1, 2서브 PCB(141, 142)는 직사각형태로 형성되고, 절단면인 상면에 복수의 출력 니들용 접촉 패드(143)가 형성되고, 출력 니들용 접촉 패드(143)와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 커넥터용 패드(144)가 일측면에 형성되며, 커넥터용 패드(144)와 이의 금속 단자(145-1)가 솔더링되는 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)를 구비한다.The first and second sub-PCBs 141 and 142 are formed in a rectangular shape, and a plurality of contact pads for output needles 143 are formed on an upper surface that is a cut surface, and are electrically connected by the contact pads 143 and through holes for the output needles. The connector pads 144 connected to each other are formed on one side, and the connector pads 144 and the plurality of second micro coaxial cable connectors 145 to which the metal terminals 145-1 are soldered are provided.

한편, 제 1, 2서브 PCB(141, 142)는 플레이트(120)에 고정되도록 디귿자 형태로 형성된 제 1고정 부재(146)가 일측면에 부착되고, 니은자 형태로 형성된 제 2고정 부재(147)가 타측면에 부착된다. 또, 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)는 메인 PCB(110)의 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)와 대응되는 개수로 구비된다.Meanwhile, the first and second sub PCBs 141 and 142 have a first fixing member 146 formed in the form of a recess to be fixed to the plate 120 and attached to one side thereof, and the second fixing member 147 formed in the form of a needle thread. ) Is attached to the other side. In addition, the second micro coaxial connector 145 is provided in a number corresponding to the plurality of first micro coaxial connector 113 of the main PCB (110).

이때, 제 1고정 부재(146)는 그 양단의 두께가 플레이트(120)의 안착홈(123)의 길이보다 더 작게 형성되어 좌우 방향 조절볼트(103)에 의해 좌우 방향(X방향)이 조절되고, 상하 방향 조절볼트(101)에 의해 상하 방향(Z방향)이 조절되며, 제 1, 2서브 PCB(141, 142)에 필름 형태의 폴리 아미드 재질의 절연 스페이서(148)가 삽입되어 전후 방향(Y방향) 및 틸트각이 조절된다.At this time, the first fixing member 146 has a thickness at both ends smaller than the length of the seating groove 123 of the plate 120 so that the left and right direction (X direction) is adjusted by the left and right adjustment bolt 103 , Up and down direction (Z direction) is adjusted by the up and down direction adjustment bolt 101, the insulating spacer 148 of the polyamide material of the film form is inserted into the first and second sub-PCB (141, 142) and the front and rear direction ( Y direction) and tilt angle are adjusted.

또, 마이크로 동축 케이블(150)은 작업 불량, 진행성 불량 감소를 위해 솔더링 공정을 배제하고, 와이어를 감소하여 구조 및 외관을 단순화시키며, 리키지(LEAKAGE) 등의 전기적 특성이 우수해지도록 메인 PCB(110)의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)와 서브 PCB(140)의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)를 상호 연결시킨다.In addition, the micro coaxial cable 150 excludes the soldering process to reduce work defects and progressive defects, reduces wires, simplifies the structure and appearance, and improves the main PCB (LEAKAGE) such as electrical characteristics. The first micro coaxial cable connector 113 of 110 and the second micro coaxial cable connector 145 of the sub-PCB 140 are interconnected.

이하, 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 조립 과정 및 작용을 첨부된 도면을 참조하여 상세하게 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the assembly process and operation of the micro coaxial cable type probe card according to the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

먼저, 플레이트(120) 상의 각각의 핀홀(124)에 몰탈을 붓고, 정밀 치구에 고정된 가이드링(126)을 안착한 후 가이드링(126)의 센터를 맞춘 다음, 몰탈(127)이 양생될 때까지 가이드링(126)을 정위치로 유지시켜 가이드링(126)을 고정시킨다.First, the mortar is poured into each of the pinholes 124 on the plate 120, the guide ring 126 fixed to the precision jig is seated, and then the center of the guide ring 126 is aligned, and then the mortar 127 is cured. The guide ring 126 is held in place until the guide ring 126 is fixed.

그리고, 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)가 부착된 서브 PCB(140)의 일측면에 제 1고정 부재(146)를, 타측면에 제 2고정 부재(147)를 각각 볼트로 결합시킨 후 서브 PCB(140)가 플레이트(120)를 관통하여 고정되도록 제 1고정 부재(146)를 플레이트(120)의 안착홈(123)에 안착시킨다.Then, the first fixing member 146 is coupled to one side of the sub PCB 140 to which the plurality of second micro coaxial connectors 145 are attached, and the second fixing member 147 is bolted to the other side, respectively. After the sub-PCB 140 is fixed through the plate 120, the first fixing member 146 is seated in the mounting groove 123 of the plate 120.

그리고, 제 1고정 부재(146) 및 제 2고정 부재(147)에 볼트를 관통시켜 플레이트(120)에 고정시키고, 제 1고정 부재(146)에 상하 방향 조절볼트(101)를 가체결한다.Then, the bolt is passed through the first fixing member 146 and the second fixing member 147 to be fixed to the plate 120, and the vertical adjustment bolt 101 is temporarily fastened to the first fixing member 146.

그런 다음, 제 1입력 니들 블록(131)과, 제 1출력 니들 블록(132)과, 제 2입력 니들 블록(133)과, 제 2출력 니들 블록(134)으로 이루어지는 니들 블록(130)을 순차적으로 각각 플레이트(120) 상면에 고정 설치하는 데, 니들 블록(130)의 맞춤핀(137)을 플레이트(120)에 고정된 핀홀(124)의 가이드링(126)에 삽입 고정한 후 플레이트(120)의 볼트홀(125)과 니들 블록(130)의 볼트홀(138)에 볼트를 체결하여 니들 블록(130)을 플레이트(120)에 고정시킨다.Next, the needle block 130 including the first input needle block 131, the first output needle block 132, the second input needle block 133, and the second output needle block 134 is sequentially formed. In order to fix the upper surface of the plate 120, the pin 120 of the needle block 130 is fixed to the guide ring 126 of the pinhole 124 fixed to the plate 120. The needle block 130 is fixed to the plate 120 by fastening the bolt to the bolt hole 125 and the bolt hole 138 of the needle block 130.

이러한 상태에서, 메인 PCB(110)에 니들 블록(130)과 서브 PCB(140)이 고정된 플레이트(120)를 고정시킨다.In this state, the plate 120 to which the needle block 130 and the sub PCB 140 are fixed to the main PCB 110 is fixed.

그리고, 제 1, 2입력 니들 블록(131, 133)의 입력 니들(135)의 일단을 메인 PCB(110)에 형성된 입력 니들용 접촉 패드(116)와 일대일 대응시키며 솔더링한다.One end of the input needle 135 of the first and second input needle blocks 131 and 133 is soldered in a one-to-one correspondence with the contact pad 116 for the input needle formed on the main PCB 110.

그런 다음, 메인 PCB(110)의 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)와 서브 PCB(140)의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)에 마이크로 동축 케이블(150)을 결합시킨다.Then, the micro coaxial cable 150 is coupled to the plurality of first micro coaxial cable connectors 113 of the main PCB 110 and the second micro coaxial cable connector 145 of the sub-PCB 140.

이러한 상태에서, 가체결된 상하 방향 조절볼트(101)를 조절하여 서브 PCB(140)를 상하 방향(Z방향)으로 이동시켜 상하 얼라인을 맞추고, 플레이트(120)의 볼트홀(125)에 좌우 방향 조절볼트(103)를 체결한 후 이를 조절하여 좌우 방향(X방향)으로 이동시켜 좌우 얼라인을 맞춘다.In this state, by adjusting the pre-up and down adjustment bolt 101 to move the sub-PCB 140 in the vertical direction (Z direction) to align the vertical alignment, left and right to the bolt hole 125 of the plate 120 After tightening the direction adjustment bolt 103, it is adjusted to the left and right direction (X direction) to adjust the left and right alignment.

그리고, 서브 PCB(140)의 전후 방향(Y방향) 및 틸트각은 제 1, 2서브 PCB(141, 142)와 제 1고정 부재(146) 사이에 수십 ㎛의 두께를 갖는 절연 스페이서(148)를 삽입하여 얼라인을 맞추는 데, 틸트각을 맞추는 경우 한쪽에만 절연 스 페이서(148)를 삽입하여 맞추는 것이 바람직하다.In addition, the front-rear direction (Y direction) and the tilt angle of the sub-PCB 140 have an insulating spacer 148 having a thickness of several tens of micrometers between the first and second sub-PCBs 141 and 142 and the first fixing member 146. In order to align the alignment, when the tilt angle is adjusted, it is preferable to insert and insulate the insulation spacer 148 only on one side.

한편, 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 신호 전달 과정을 살펴보면, 먼저 테스트 장비(미도시)에서 메인 PCB(110)의 입출력 패드(111)중 입력측 패드로 테스트 신호를 인가하면, 테스트 신호는 입력측 패드와 쓰루홀을 통해 연결된 입력 니들용 접촉 패드(116)로 전달된다.Meanwhile, referring to the signal transmission process of the micro coaxial cable type probe card according to the present invention, first, when a test signal is applied to an input side pad of the input / output pad 111 of the main PCB 110 from the test equipment (not shown), the test signal Is transmitted to the contact pad 116 for the input needle connected through the input side pad and the through hole.

그러면, 입력 니들용 접촉 패드(116)와 물리적으로 접촉되어 있는 제 1, 2입력 니들 블록(131, 133)의 입력 니들(135)을 통해 TAB테이프(미도시)의 입력 패턴으로 테스트 신호가 인가되고, 테스트 신호는 다시 TAB테이프의 출력 패턴을 통해 제 1, 2출력 니들 블록(132, 134)의 출력 니들(136)로 전달된다.Then, the test signal is applied to the input pattern of the TAB tape (not shown) through the input needle 135 of the first and second input needle blocks 131 and 133 which are in physical contact with the contact pad 116 for the input needle. The test signal is transmitted to the output needles 136 of the first and second output needle blocks 132 and 134 through the output pattern of the TAB tape.

그리고, 출력 니들(136)로 전달된 테스트 신호는 출력 니들(136)이 물리적으로 접촉하고 있는 서브 PCB(140)의 출력 니들용 접촉 패드(143)로 전달되고, 출력 니들용 접촉 패드(143)와 쓰루홀을 통해 연결된 서브 PCB(140)의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)로 전달된다.The test signal transmitted to the output needle 136 is transmitted to the contact pad 143 for the output needle of the sub-PCB 140 to which the output needle 136 is in physical contact, and the contact pad 143 for the output needle. And a second micro coaxial cable connector 145 of the sub-PCB 140 connected through the through hole.

제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터(145)로 전달된 테스트 신호는 다시 마이크로 동축 케이블(150)과 메인 PCB(110)의 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)로 전달되고, 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터(113)와 쓰루홀을 통해 연결된 입출력 패드(111)중 출력측 패드를 통해 먼저 테스트 장비로 테스트 신호가 전달되어 테스트 장비에서 TAB테이프의 결함 여부를 검사한다.The test signal transmitted to the second micro coaxial cable connector 145 is transmitted to the micro coaxial cable 150 and the plurality of first micro coaxial cable connectors 113 of the main PCB 110 and the first micro coaxial. The test signal is first transmitted to the test equipment through the output side pad of the input / output pad 111 connected through the cable connector 113 and the through hole, and the test equipment checks whether the TAB tape is defective.

또한, 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드(100)는 플레이트(120)에 니들 블록(130) 및 서브 PCB(140)의 착탈이 가능하기 때문에 다른 사 양의 니들 블록 및 서브 PCB를 부착하여 다양한 모델 적용이 가능하다.In addition, the micro coaxial cable type probe card 100 according to the present invention is attached to the needle block 130 and the sub-PCB 140 of the plate 120, so that the needle block and sub-PCB of different specifications can be attached to Various models can be applied.

본 발명은 다양하게 변형될 수 있고 여러 가지 형태를 취할 수 있으며 상기 발명의 상세한 설명에서는 그에 따른 특별한 실시 예에 대해서만 기술하였다. 하지만 본 발명은 상세한 설명에서 언급되는 특별한 형태로 한정되는 것이 아닌 것으로 이해되어야 하며, 오히려 첨부된 청구범위에 의해 정의되는 본 발명의 정신과 범위 내에 있는 모든 변형물과 균등물 및 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.As those skilled in the art would realize, the described embodiments may be modified in various ways, all without departing from the spirit or scope of the present invention. It is to be understood, however, that the present invention is not limited to the specific forms referred to in the description, but rather includes all modifications, equivalents, and substitutions within the spirit and scope of the invention as defined by the appended claims. Should be.

도 1은 종래 기술에 의한 싱글 타입의 니들 프로브카드)의 개략적으로 나타낸 평면도,1 is a plan view schematically showing a needle probe card of a single type according to the prior art;

도 2는 종래 기술에 의한 싱글 타입의 니들 프로브카드)의 개략적으로 나타낸 단면도,2 is a schematic cross-sectional view of a needle probe card of a single type according to the prior art;

도 3은 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 사시도,3 is a perspective view showing the configuration of a micro coaxial cable type probe card according to the present invention;

도 4는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 배면 사시도,4 is a rear perspective view showing the configuration of a micro coaxial cable type probe card according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 단면도,5 is a cross-sectional view showing the configuration of a micro coaxial cable type probe card according to the present invention;

도 6은 도 5의 "A" 부분 확대도,6 is an enlarged view of a portion “A” of FIG. 5;

도 7은 도 3의 A-A 단면도,7 is a cross-sectional view taken along line A-A of FIG.

도 8은 도 3의 B-B 단면도,8 is a cross-sectional view taken along line B-B of FIG.

도 9는 본 발명에 따른 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드의 구성을 나타낸 분해 사시도.9 is an exploded perspective view showing the configuration of a micro coaxial cable type probe card according to the present invention.

<도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명><Explanation of symbols on main parts of the drawings>

110 : 메인 PCB 120 : 플레이트110: main PCB 120: plate

130 : 니들 블록 140 : 서브 PCB130: needle block 140: sub PCB

150 : 마이크로 동축 케이블150: micro coaxial cable

Claims (11)

듀얼 타입의 프로브 카드에 있어서,In the dual type probe card, 테두리에 복수의 입출력 패드가 구비되는 원판 형태로 형성되고, 상기 입출력 패드중 출력측 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 1커넥터용 패드가 양측면에 형성되며, 상기 제 1커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터가 구비되는 메인 PCB와;It is formed in the shape of a disc having a plurality of input and output pads on the edge, the first connector pads are electrically connected by the output side pad and the through hole of the input and output pads are formed on both sides, the first connector pad and the metal thereof A main PCB having a plurality of first micro coaxial connectors for soldering terminals; 스틸 재질로 사각 형태로 형성되어 상기 메인 PCB의 저면 중앙부에 체결되는 플레이트와;A plate formed in a square shape of steel and fastened to a central portion of a bottom surface of the main PCB; 상단에 복수의 니들이 배열되고, 상기 플레이트에 고정 설치되어 상기 메인 PCB의 상면으로 돌출 형성되는 복수의 니들 블록과;A plurality of needle blocks arranged at an upper end thereof and fixedly mounted to the plate to protrude to an upper surface of the main PCB; 직사각형태로 형성되고, 절단면인 상면에 복수의 출력 니들용 접촉 패드가 형성되고, 상기 출력 니들용 접촉 패드와 쓰루홀에 의해 전기적으로 연결되는 제 2커넥터용 패드가 일측면에 형성되며, 상기 제 2커넥터용 패드와 이의 금속 단자가 솔더링되는 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 구비하는 복수의 서브 PCB; 및A plurality of output needle contact pads are formed in a rectangular shape and have a cutting surface, and a second connector pad is formed on one side thereof and electrically connected by the output needle contact pads and through holes. A plurality of sub-PCBs having a pad for two connectors and a plurality of second micro coaxial cable connectors to which a metal terminal thereof is soldered; And 상기 메인 PCB의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터와 상기 서브 PCB의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터를 전기적으로 연결시키는 마이크로 동축 케이블로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드. And a micro coaxial cable electrically connecting the first micro coaxial cable connector of the main PCB and the second micro coaxial cable connector of the sub-PCB. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 메인 PCB는,The main PCB, 중앙부에 사각 형태의 제 1개구홀이 형성되고, 상기 제 1개구홀의 측면에 직사각형태의 제 2개구홀이 형성되며, 상기 제 1개구홀의 양측면에 상기 입출력 패드중 입력측 패드와 쓰루홀을 통해 전기적으로 연결되는 입력 니들용 접촉 패드가 형성되는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.The first opening is formed in the center of the rectangular shape, the second opening is formed in the rectangular shape on the side of the first opening, the electrical through the input side pad and the through hole of the input and output pads on both sides of the first opening A micro coaxial cable type probe card, characterized in that a contact pad for the input needle is connected to. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 복수의 니들 블록은,The plurality of needle blocks, 사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 입력 니들이 배열되고, 각각의 상기 입력 니들의 일단이 상기 메인 PCB에 형성된 입력 니들용 접촉 패드와 일대일 대응되어 솔더링되는 제 1, 2입력 니들 블록과;First and second input needle blocks formed in a rectangular bar shape and having a plurality of input needles arranged at an upper end thereof, one end of each of the input needles being soldered in a one-to-one correspondence with a contact pad for an input needle formed on the main PCB; 사각바 형태로 형성되어 상단에 복수의 출력 니들이 배열되고, 각각의 상기 출력 니들의 일단이 상기 서브 PCB의 복수의 출력 니들용 접촉 패드와 일대일 대응되어 접촉되는 제 1, 2출력 니들 블록으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.It is formed in the shape of a square bar and a plurality of output needles are arranged on the upper end, each end of the output needle is made of a first, second output needle block which is in one-to-one correspondence with the plurality of output needle contact pads of the sub-PCB A micro coaxial cable type probe card. 제 3 항에 있어서,The method of claim 3, wherein 상기 서브 PCB는,The sub-PCB, 상기 제 1출력 니들 블록과 이웃하는 제 1서브 PCB와;A first sub PCB adjacent to the first output needle block; 상기 제 2출력 니들 블록과 이웃하는 제 2서브 PCB로 이루어지는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.And a second sub PCB adjacent to the second output needle block. 제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein 상기 제 1, 2서브 PCB는,The first and second sub PCB, 상기 플레이트에 고정되도록 디귿자 형태로 형성되어 상기 제 1, 2서브 PCB의 측면에 각각 부착되는 제 1고정 부재와;A first fixing member formed in the form of a recess so as to be fixed to the plate and attached to side surfaces of the first and second sub PCBs; 상기 플레이트에 고정되도록 니은자 형태로 형성되어 상기 제 1, 2서브 PCB의 측면에 각각 부착되는 제 2고정 부재를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.And a second fixing member which is formed in a needle-shaped shape to be fixed to the plate and attached to side surfaces of the first and second sub PCBs, respectively. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 플레이트는,The plate, 사각 형태의 복수의 얼라인 홀과;A plurality of alignment holes in a square shape; 상기 서브 PCB가 각각 관통하는 관통홀과;A through hole through which each of the sub-PCBs passes; 상기 제 1고정 부재가 안착되는 복수의 안착홈과;A plurality of mounting grooves on which the first fixing member is mounted; 상면에 상기 니들 블록이 고정되는 복수의 핀홀; 및A plurality of pinholes on which the needle block is fixed; And 상기 메인 PCB와 니들 블록 및 제 1, 2고정 부재를 각각 고정시키기 위한 복수의 볼트홀을 더 구비하는 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.And a plurality of bolt holes for fixing the main PCB, the needle block, and the first and second fixing members, respectively. 제 6 항에 있어서,The method of claim 6, 상기 핀홀은,The pinhole is, 그 내부 중심에 가이드링이 몰탈에 의해 고정되는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.A micro coaxial cable type probe card, wherein the guide ring is fixed to the inner center by mortar. 제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein 상기 니들 블록은,The needle block, 저면 양단에 상기 핀홀의 가이드링에 삽입 고정되는 맞춤핀이 결합되는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.Micro coaxial cable type probe card, characterized in that the bottom end is coupled to the dowel pin inserted and fixed to the guide ring of the pinhole. 제 5 항에 있어서,The method of claim 5, 상기 제 1고정 부재는,The first fixing member, 그 양단의 두께가 상기 플레이트의 안착홈의 길이보다 더 작게 형성되어 좌우 방향 조절볼트에 의해 좌우 방향이 조절되고, 상하 방향 조절볼트에 의해 상하 방향이 조절되는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.The thickness of both ends is smaller than the length of the seating groove of the plate, the left and right direction is adjusted by the left and right direction adjustment bolt, the vertical direction is adjusted by the up and down direction adjustment bolt micro coaxial cable type probe card . 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 제 1고정 부재는,The first fixing member, 상기 서브 PCB 사이에 폴리 아미드 재질의 절연 스페이서를 삽입하여 전후 방향 및 틸트각을 조절하는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.And inserting a polyamide insulating spacer between the sub-PCBs to adjust the front-back direction and the tilt angle. 제 1 항에 있어서,The method of claim 1, 상기 서브 PCB의 복수의 제 2마이크로 동축 케이블용 커넥터는,The plurality of second micro coaxial cable connectors of the sub-PCB, 상기 메인 PCB의 복수의 제 1마이크로 동축 케이블용 커넥터와 대응되는 개수로 구비되는 것을 특징으로 하는 마이크로 동축 케이블 타입 프로브 카드.The micro coaxial cable type probe card, characterized in that provided in the number corresponding to the plurality of the first micro coaxial cable connector of the main PCB.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11266344B2 (en) 2016-09-21 2022-03-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Method for measuring skin condition and electronic device therefor

Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10761146B2 (en) * 2017-05-29 2020-09-01 Samsung Electronics Co., Ltd. Wafer probe card for evaluating micro light emitting diodes, analysis apparatus including the same, and method of fabricating the wafer probe card
KR102452488B1 (en) * 2017-05-29 2022-10-11 삼성전자주식회사 Wafer probe card and analysis apparatus thereof and method for fabricating the wafer probe card
KR102387464B1 (en) * 2017-10-12 2022-04-15 삼성전자주식회사 Apparatus and method for testing interconnect circuit, and method for manufacturing semiconductor device comprising the method
CN113960338B (en) * 2021-10-08 2022-08-16 西安交通大学 Micro-coaxial radio frequency probe based on multi-material additive manufacturing process

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100671282B1 (en) 2005-11-25 2007-01-19 주식회사 케이티엘 Probe block and probe card
KR100721031B1 (en) 2006-06-30 2007-05-28 호서대학교 산학협력단 A probe card for inspecting a tab ic
KR100843224B1 (en) 2007-01-04 2008-07-02 삼성전자주식회사 Probe card for testing wafer
KR20090126897A (en) * 2008-06-05 2009-12-09 (주)유비프리시젼 Direct contact probe card

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100671282B1 (en) 2005-11-25 2007-01-19 주식회사 케이티엘 Probe block and probe card
KR100721031B1 (en) 2006-06-30 2007-05-28 호서대학교 산학협력단 A probe card for inspecting a tab ic
KR100843224B1 (en) 2007-01-04 2008-07-02 삼성전자주식회사 Probe card for testing wafer
KR20090126897A (en) * 2008-06-05 2009-12-09 (주)유비프리시젼 Direct contact probe card

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US11266344B2 (en) 2016-09-21 2022-03-08 Samsung Electronics Co., Ltd. Method for measuring skin condition and electronic device therefor

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