KR101041591B1

KR101041591B1 - 제진대 수평유지장치

Info

Publication number: KR101041591B1
Application number: KR1020090018648A
Authority: KR
Inventors: 정석균
Original assignee: 주식회사 알엠에스기산
Priority date: 2009-03-04
Filing date: 2009-03-04
Publication date: 2011-06-15
Also published as: KR20100100013A

Abstract

본 발명은 제진대 수평유지장치에 관한 것으로서, 그 주요 구성은 수평 유지할 장비를 지지하는 제진대; 상기 제진대의 저면에 부착되어 상기 제진대 위의 하중 변화에 따라 내부 압력이 변화하면서 상기 제진대를 평형상태로 유지하도록 되어 있는 복수의 공압스프링; 및 지지 하중의 변화로 인해 상기 제진대에 움직임이 발생한 때 상기 공압스프링의 내부 압력을 변화시켜 상기 공압스프링이 상기 제진대를 평형상태로 유지할 수 있도록 하는 복수의 제어밸브 조립체;로 이루어지며, 상기 제어밸브 조립체는, 외체를 이루는 케이스; 압력공급라인을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링의 공기압을 증대시키도록 되어 있는 가압밸브; 압력배출라인 중에 설치되어 상기 압력배출라인을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링의 공기압을 감소시키도록 되어 있는 감압밸브; 및 상기 가압밸브 또는 상기 감압밸브를 개폐하도록 되어 있는 푸시로드;로 구성되며, 위와 같은 구성에 따르면 제진대 위에 지지된 각종 장비에 내적인 또는 외적인 요인으로 인해 하중 변화가 발생하더라도 신속하게 이를 제거 또는 보완할 수 있으며, 이에 필요한 각종 부품을 단순화, 합리화시켜 제조단가와 유지관리비용을 절감할 수 있게 된다.

수평유지, 제진, 평형, 공압스프링

Description

제진대 수평유지장치{Apparatus for maintaining horizontality provided with a disturbance control plate}

본 발명은 제진대 수평유지장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 평형 유지가 필수적인 각종 장비를 설치할 때 장비를 지지하는 데 사용함으로써 동작 등 내적인 요인이나 하중 변화 등 외적인 요인으로 인해 평형이 깨지더라도 신속히 장비의 수평상태를 복원할 수 있도록 해주는 제진대 수평유지장치에 관한 것이다.

지금까지, 반도체와 같은 초정밀 제품을 제조하는 데 있어서 계측이나 측정 장비 뿐 아니라 연마장치 등 제품 생산과 관련되는 대부분의 장비가 제품의 높은 품질을 확보하기 위해 수평을 유지하는 것이 매우 중요한 과제로 대두되어 왔으며, 이러한 과제를 해결하기 위해 제안된 수단의 하나가 제진장치이다.

일반적으로 제진장치는 도 1에 도면부호 101로 도시된 것처럼, 4개의 공기스프링(103) 위에 놓인 제진테이블(105) 상에 지지하고자 하는 각종 장비를 놓아두도록 되어 있는 바, 각각의 공기스프링(103)은 유로를 통하여 연결된 압축공기공급원(107)으로부터 공기압력을 받도록 되어 있으며, 지지대(2)에는 제진테이블(105) 의 진동을 감지하는 진동감지센서(109)가 구비되어 제진테이블(105)의 진동을 감지하도록 되어 있다.

따라서, 진동감지센서(109)에서 검출된 제진테이블(105)의 진동량에 따라 제어밸브(111)를 개폐하여 압축공기공급원(107)의 압축공기를 공기스프링(103)으로 공급하거나 공기스프링(103)에서 빼내 압력을 증감시킴으로써 제진테이블(105)의 진동을 제어하게 된다.

그런데, 종래의 제진장치(101)는 위와 같이 제진테이블(105)의 진동을 제어하기 위해 기계식의 진동감지센서(109)를 구비하고 있으며, 또 이러한 진동감지센서(109) 기계적인 감지값을 전기적으로 변화시켜 제어밸브(111)를 전기적으로 제어하도록 되어 있는 바, 진동을 감지하기 위해서는 반드시 진동감지센서(109)를 필요로 하며, 따라서 진동감지센서(109)로 인해 제조단가와 유지관리 수요가 증대되고, 진동감지센서(109)에 의해 진동을 감지하는 과정에서 감지값의 정확도가 떨어질 수 있는 등 성능저하가 우려되는 문제점이 있었다.

본 발명은 위와 같은 종래의 제진장치가 가지고 있는 문제점을 해결하기 위해 제안된 것으로, 장비를 설치하도록 되어 있는 제진대의 평형상태를 별도의 감지센서 없이 제어밸브 조립체에 의해 직접적으로 유지하도록 함으로써 제진대의 제어 응답성을 높이고, 감지센서로 인한 제조단가와 유지관리 비용의 상승을 억제할 수 있도록 하는 데 그 목적이 있다.

따라서, 본 발명은 위와 같은 목적을 달성하기 위해, 수평 유지할 장비를 지지하는 제진대; 상기 제진대의 저면에 부착되어 상기 제진대 위의 하중 변화에 따라 내부 압력이 변화하면서 상기 제진대를 평형상태로 유지하도록 되어 있는 복수의 공압스프링; 및 지지 하중의 변화로 인해 상기 제진대에 움직임이 발생한 때 상기 공압스프링의 내부 압력을 변화시켜 상기 공압스프링이 상기 제진대를 평형상태로 유지할 수 있도록 하는 복수의 제어밸브 조립체;로 이루어지며, 상기 제어밸브 조립체는, 외체를 이루는 케이스; 공압원에서 상기 공압스프링으로 이어진 압력공급라인 중에 설치되어 상기 압력공급라인을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링의 공기압을 증대시키도록 되어 있는 가압밸브; 상기 가압밸브와 상기 공압스프링을 연결하는 압력배출라인 중에 설치되어 상기 압력배출라인을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링의 공기압을 감소시키도록 되어 있는 감압밸브; 및 상기 제진대에 의해 가압되도록 상기 케이스에 장착되어 상기 제진대의 움직임에 따라 이동하면서 상기 가압밸브 또는 상기 감압밸브를 개폐하도록 되어 있는 푸시로드;로 구성되고, 상기 가압밸브와 상기 감압밸브는 상기 외체 내에 서로 마주보도록 위치하고 있으며, 상기 가압밸브는 제1 밸브스템의 상단을 가압 또는 해제하도록 상기 감압밸브와 마주보는 외벽면에 제1 푸시암이 힌지 결합되어 있고, 상기 감압밸브는 제2 밸브스템의 상단을 가압 또는 해제하도록 상기 가압밸브와 마주보는 외벽면에 상기 제1 푸시암에 대해 도립된 상태로 제2 푸시암이 힌지 결합되어 있으며, 상기 푸시로드는 평형상태에서 중립에 위치하며, 중립위치에서 상하 어느 한 쪽 방향으로 가압되기 시작할 때 상기 제1 푸시암을 가압하여 상기 가압밸브의 개방을 개시하도록 되어 있고, 중립위치에서 상하 다른 한 쪽 방향으로 가압되기 시작할 때 상기 제2 푸시암을 가압하여 상기 감압밸브의 개방을 개시하도록 되어 있는 제진대 수평유지장치를 제공한다.

삭제

또한, 상기 푸시로드는 상기 가압밸브와 상기 감압밸브 사이에 위치하는 중앙 부분에 반경방향으로 돌출되도록 가압링이 장착되어 있으며, 상기 제1 푸시암 및 제2 푸시암은 자유단의 외면에 수압돌기가 각각 돌출되어 상기 가압링에 의해 보다 확실하게 가압되도록 되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 푸시로드는 상단 스토퍼와 상기 케이스 상면 사이에 압축 반발스프링이 끼워져, 상기 제진대에 의해 눌릴 때 상기 상단 스토퍼로 상기 압축 반발스프링을 압축하도록 되어 있는 것이 바람직하다.

또한, 상기 푸시로드는 하단 스토퍼와 상기 케이스 저면 사이에 인장 반발스프링이 끼워져, 상기 제진대가 이격되어 올라갈 때 상기 하단 스토퍼에 부착된 상기 인장 반발스프링에 의해 끌려올라가도록 되어 있는 것이 바람직하다.

따라서, 본 발명의 제진대 수평유지장치에 의하면, 고도의 정밀작업을 요하는 각종 장비의 수평을 평형상태에서 유지할 수 있으며, 이들 장비를 지지하는 제진대에 장비 내적인 또는 외적인 요인으로 인해 하중 변화가 발생하고, 이로 인해 과도적으로 평형상태가 깨지더라도 이를 신속하게 이를 제거 또는 보완하여 장비를 빠르게 평형상태로 복귀시킬 수 있게 된다.

또한, 위와 같이 신속하게 장비의 수평자세를 복원함에 있어 제진대에 의해 공압스프링의 압력을 제어하는 제어밸브 조립체를 직접적으로 제어할 수 있으므로, 제어동작의 신속성을 보다 향상시킬 수 있음은 물론이고, 수평 여부를 판단하는 감지센서의 존재가 필요치 않으므로, 전체적인 제조단가와 유지관리 비용을 상당 수준 절감할 수 있게 된다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제진대 수평유지장치를 첨부도면을 참조로 상세히 설명한다.

본 발명의 제진대 수평유지장치는 도 2 및 도 3에 도면부호 1로 도시된 바와 같이, 크게 제진대(3), 복수의 공압스프링(5), 및 제어밸브 조립체(7)로 이루어져 있는 바, 먼저 상기 제진대(3)는 수평 유지를 요하는 각종 장비(10)를 설치할 수 있도록 넓게 펼쳐져 있는 판재로 되어 있다.

또한, 상기 공압스프링(5)은 바닥(20) 위에 놓여져 적어도 두 지점 이상에서 제진대(3)를 지지하는 공압실린더로서 에어실린더라고도 하며, 바람직하게는 도 2 및 도 3에 도시된 것처럼 세 지점에서 제진대(3)를 지지하도록 되어 있는 바, 제진대(3)의 저면에 부착되어 제진대(3) 위의 하중 변화에 따라 내부 압력이 변화하면서 제진대(3)를 평형상태로 유지하도록 되어 있다. 이때 공압스프링(5) 자체의 구성은 이미 공압실린더로서 공지된 기술이므로, 여기에서는 그 상세한 설명을 생략한다. 다만, 도 4 내지 도 6에 개략적으로 도시된 바와 같이, 공압스프링(5)은 압 력공급라인(13)에 연결된 실린더부(51)와 상단에 제진대(3)가 부착되는 피스톤부(53)로 이루어진다.

끝으로, 상기 제어밸브 조립체(7)는 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 각각의 공압스프링(5)에 일대일 대응하도록 장착되어 지지 하중의 변화로 인해 제진대(3)가 움직일 때 공압스프링(5)의 내부 압력을 변화시켜 공압스프링(5)이 제진대(3)를 평형상태로 유지하게 하는 과도응답(transient response) 수단으로서, 크게 케이스(11), 가압밸브(21), 감압밸브(23), 및 푸시로드(25)로 이루어져 있다.

여기에서, 상기 케이스(11)는 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 내부 구성을 둘러싸고 있는 하나의 함체로서 상자 형태로 되어 있으며 연결블록(41)을 통해 바닥(20)에 부착되어 있다.

상기 가압밸브(21)는 공압원(P)에서 공압스프링(5)으로 이어진 압력공급라인(13) 중에 설치되어 이 압력공급라인(13)을 개폐하는 수단으로서, 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 감압밸브(23)와 함께 서로 마주보도록 케이스(11) 내에 설치되어 있으며, 따라서 개방되었을 때 공압원(P)으로부터 공급되는 공기압에 의해 공압스프링(5) 내부 압력을 증대시키도록 되어 있다.

여기에서, 가압밸브(21)는 통상의 개폐밸브와 동일한 내부 구조를 가지므로 그 상세한 설명은 생략한다. 다만, 개폐를 위해 외부에서 동작시키도록 되어 있는 제1 밸브스템(22)은 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 푸시암(31)에 의해 가압 또는 해제되도록 그리고, 가압 시 가압밸브(21)를 개방하고, 해제 시 폐쇄하도록 가압밸브(21) 내에 탄력적으로 장착되어 가압밸브(21)의 외벽 밖으로 돌출되 어 있다. 이때, 제1 푸시암(31)은 감압밸브(23)와 마주보는 외벽면 상단에 힌지 결합되어 푸시로드(25)에 의해 가압될 때 피벗 회전하여 제1 밸브스템(22)을 가압함으로써 가압밸브(21)를 개방하고, 반대로 푸시로드(25)에 의한 가압이 해제될 때 제1 밸브스템(22)에 의해 원위치로 복귀하여 가압밸브(21)를 폐쇄하게 된다.

또한, 상기 감압밸브(23)는 가압밸브(21)와 공압스프링(5)을 연결하는 압력배출라인(15) 중에 설치되어 이 압력배출라인(15)을 개폐하는 수단으로서, 도 6에 도시된 바와 같이, 개방되었을 때 제진대(3)가 평형상태에 이를 때까지 공압스프링(5)의 공기압을 압력배출라인(15)을 통해 외부로 배출하여 공압스프링(5) 내부의 압력을 감소시키도록 되어 있다. 이때, 압력배출라인(15)의 말단에는 소음기(43)를 장착하여 압력배출라인(15)에서 작동유체가 빠져나갈 때 발생하는 소음을 제거 또는 감소시키는 것이 바람직하다.

여기에서, 감압밸브(23)도 통상의 개폐밸브와 동일한 내부 구조를 가지므로 그 상세한 설명은 생략하나, 도 2 내지 도 6에 도시된 바와 같이, 제2 밸브스템(24)이 개폐를 위해 몸체 밖으로 돌출되어 제2 푸시암(33)에 의해 가압 또는 해제되도록 그리고, 가압 시 감압밸브(23)를 개방하고, 해제 시 폐쇄하도록 감압밸브(23) 내에 탄력적으로 장착되어 있다. 이때, 제2 푸시암(33)은 제1 푸시암(31)과 반대로 가압밸브(21)와 마주보는 외벽면 하단에 힌지 결합되어 푸시로드(25)에 의해 가압될 때 피벗 회전하여 제2 밸브스템(24)을 가압함으로써 감압밸브(23)를 개방하고, 푸시로드(25)에 의한 가압이 해제될 때 제2 밸브스템(24)에 의해 원위치로 복귀하여 감압밸브(23)를 폐쇄하게 된다.

또한, 상기 푸시로드(25)는 위와 같이 가압밸브(21) 또는 감압밸브(23)를 개폐하는 밸브 작동수단으로서, 제진대(3) 저면에 부착되어 케이스(11)의 중앙에 상하로 관통 삽입됨으로써 제진대(3)의 움직임에 따라 이동하도록 되어 있는 바, 도 4에 도시된 바와 같이 평형상태에서 중립에 위치하며, 중립위치에서 예컨대 아래로 가압되기 시작할 때 제1 푸시암(31)을 가압하여 가압밸브(21)의 개방을 개시하도록 되어 있고, 하사점에서 도 5에 도시된 것처럼 제1 푸시암(31)을 최대로 가압함으로써 가압밸브(21)를 완전 개방하게 된다. 반대로, 중립위치에서 위로 가압되기 시작하면 제2 푸시암(33)을 가압하여 감압밸브(23)의 개방을 개시하도록 되어 있으며, 상사점에서 도 6에 도시된 것처럼 제2 푸시암(33)을 최대로 가압함으로써 감압밸브(23)를 완전 개방하게 된다.

이와 같이 푸시로드(25)는 제진대(3)와 연동시키기 위해 제진대(3) 저면에 직접 부착하거나 연결돌기(45)를 통해 부착할 수 있으며, 바람직하게는 도 2 내지 도 6에 도시된 것처럼, 제진대(3)에 부착된 연결돌기(45)의 하단에 장착된 롤러(47)를 통해 미끄럼 접촉시킬 수 있다. 다만, 이때 푸시로드(25)를 탄력적으로 지지하기 위해, 푸시로드(25)의 상단에는 압축 반발스프링(35)이, 하단에는 인장 반발스프링(37)이 각각 끼워져 있으며, 푸시로드(25)의 상단에는 상단 스토퍼(27)가, 하단에는 하단 스토퍼(28)가 각각 반경방향으로 돌출되어 있으며, 이에 따라 상단 스토퍼(27)와 케이스(11)의 상면 사이에 압축 반발스프링(35)이, 하단 스토퍼(28)와 케이스(11)의 저면 사이에 인장 반발스프링(37)이 각각 지지되는 바, 압축 반발스프링(35)은 상단 스토퍼(27)에 의해 눌리도록 되어 있는 반면, 인장 반발 스프링(37)은 하단 스토퍼(28)에 의해 아래로 늘어나도록 되어 있다. 따라서, 푸시로드(25)는 제진대(3)에 의해 눌렸을 때 상단 스토퍼(27)를 통해 위쪽으로 반발하는 힘을 받으며, 반대로 제진대(3)가 위로 올라갔을 때 하단 스토퍼(28)를 통해 위로 밀려올라가는 힘을 받게 된다.

아울러, 푸시로드(25)는 가압밸브(21)나 감압밸브(23)에 대한 가압 성능을 높이기 위해 가압밸브(21)와 감압밸브(23) 사이에 위치하는 중앙 부분에 푸시로드(25)의 반경방향으로 돌출된 가압링(39)을 장착하는 것이 바람직하며, 푸시로드(25)와 접촉하는 제1 푸시암(31) 및 제2 푸시암(33)은 자유단의 외면에 수압돌기(32,34)가 각각 돌출되어 가압링(39)에 의한 가압을 보다 확실하게 하는 것이 바람직하다.

이제, 위와 같이 구성된 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 제진대 수평유지장치(1)의 작용을 설명한다.

본 발명의 제진대 수평유지장치(1)는 도 2에 도시된 것처럼 제진대(3)에 장비(10)가 놓여 지면, 장비(10)의 중량(W)으로 인해 복수의 공압스프링(5)에 균분된 가압력이 작용한다.

이때, 공압스프링(5) 내에는 도 4에 A로 도시된 바와 같이, 초기압력(P1)이 작용하여 장비의 중량(W)과 일차 평형상태(P1=W)를 이루게 되며, 제어밸브 조립체(7) 및 푸시로드(25)는 중립위치에 있게 되고, 따라서 가압 및 감압밸브(21,23)는 모두 폐쇄 상태를 유지하게 된다. 이때, 압축 및 인장 반발스프링(35,37)은 각각 상단 및 하단 스토퍼(27,28)에 의해 중간 정도의 힘으로 압축 또는 인장된 상태 를 유지하게 된다.

위와 같은 최초의 일차 평형상태에서 도 2에 화살표로 표시된 것처럼, 제진대(3)의 일측에 예컨대, 작업자가 올라서는 등의 하중(F)이 발생하면, 제진대(3)는 하중(F)이 작용하는 쪽으로 기울어지기 시작하며, 이때 순간적으로 공압스프링(5)을 내리 누르게 된다. 이와 동시에, 제진대(3)는 연결돌기(45)와 롤러(47)를 통해 접촉된 푸시로드(25)를 하중(F)에 의해 눌리는 쪽에서 아래로 가압하기 시작한다.

이에 따라, 푸시로드(25)는 점차 하향 이동하면서 가압링(39)에 의해 수압돌기(32)를 눌러 제1 푸시암(31)을 시계방향으로 회전 가압하고, 가압된 제1 푸시암(31)을 통해 제1 밸브스템(22)을 내리누르게 되며, 도 5에 도시된 것처럼 하사점에 이르러 가압밸브(21)를 최대로 개방하게 된다. 이와 같이 가압밸브(21)가 개방되기 시작하여 최대로 개방될 때까지 공압스프링(5)에는 공압원(P)으로부터 압력공급라인(13)을 통해 고압의 작동유체가 공급되면서 내부 압력(P1+△P)은 최종값(P2)이 도 4에 B로 표시된 것처럼, 장비의 중량(W)과 외란 하중(F)의 합과 같아져 이차 평형상태(P2=W+F)가 될 때까지 점차 증대된다. 이에 따라 공압스프링(5)은 다시 팽창하여 도 4에 도시된 원래의 상태로 되돌아가고, 이와 같이 공압스프링(5)이 팽창함에 따라 제진대(3)도 순간적으로 눌려 내려가다가 압축 반발스프링(35)의 반발력에 의해 밀려 올라와 원래의 수평상태를 되찾게 되며, 푸시로드(25)도 제진대(3)를 따라 도 4에 도시된 것처럼, 원래의 중립위치로 복귀하게 된다.

이와 같은 이차 평형상태(P2=W+F)에서, 작업자가 제진대(3)로부터 뛰어내리는 등 외란에 의한 하중(F)이 갑자기 제거되면, 평형상태는 무너지게 되고(P2 〉 W), 공압스프링(5)의 내부압력(P2)이 설비 중량(W)을 웃도는 만큼 공압스프링(5)은 제진대(3)를 밀어 올리게 된다.

이에 따라, 푸시로드(25)는 가압 해제 상태로 되며, 인장 반발스프링(37)의 복원력에 의해 점차 상향 이동하면서 가압링(39)에 의해 수압돌기(34)를 밀어 제2 푸시암(33)을 시계방향으로 회전 가압하며, 가압된 제2 푸시암(33)을 통해 제2 밸브스템(24)을 내리누르게 되고, 최종적으로 도 6에 도시된 것처럼 상사점에 이르러 감압밸브(23)를 최대로 개방하게 된다. 감압밸브(23)가 개방되기 시작하면서 압력배출라인(15)을 통해 공압스프링(5) 내의 작동유체를 외부로 방출하게 되면, 공압스프링(5)은 내부압력(P2-△P)이 P1이 될 때까지 인장 반발스프링(37)을 다시 인장시키면 점차 낮아져 일차 평형상태(P1=W)로 되돌아가게 된다.

이와 같이 순간적으로 팽창되던 공압스프링(5)이 압축됨에 따라 제진대(3)도 순간적으로 위로 올라갔다가 다시 내려와 원래의 수평상태를 되찾게 되며, 푸시로드(25)도 제진대(3)를 따라 도 4에 도시된 것처럼, 원래의 중립위치로 복귀하게 된다.

도 1은 종래의 제진장치를 도시한 개략도.

도 2는 본 발명에 따른 제진대 수평유지장치의 일실시예를 도시한 사시도.

도 3은 도 2의 정면도.

도 4는 최초의 일차 평형상태에서 도 2에 도시된 제어밸브 조립체와 공압스프링을 개략적으로 도시한 도면.

도 5는 도 4에서 푸시로드가 하사점으로 이동하여 가압밸브가 완전 개방된 상태를 도시한 도면.

도 6은 도 4에서 푸시로드가 상사점으로 이동하여 감압밸브가 완전 개방된 상태를 도시한 도면.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

1 : 수평유지장치 3 : 제진대

5 : 공압스프링 7 : 제어밸브 조립체

10 : 장비 11 : 케이스

13 : 압력공급라인 15 : 압력배출라인

20 : 바닥 21 : 가압밸브

23 : 감압밸브 25 : 푸시로드

27, 28 : 상하단 스토퍼 31, 33: 제1 및 제2 푸시암

32, 34 : 수압돌기 35, 37 : 압축 및 인장 반발스프링

39 : 가압링 43 : 소음기

45 : 연결돌기 47 : 롤러

Claims

삭제
수평 유지할 장비(10)를 지지하는 제진대(3);

상기 제진대(3)의 저면에 부착되어 상기 제진대(3) 위의 하중 변화에 따라 내부 압력이 변화하면서 상기 제진대(3)를 평형상태로 유지하도록 되어 있는 복수의 공압스프링(5); 및

지지 하중의 변화로 인해 상기 제진대(3)에 움직임이 발생한 때 상기 공압스프링(5)의 내부 압력을 변화시켜 상기 공압스프링(5)이 상기 제진대(3)를 평형상태로 유지할 수 있도록 하는 복수의 제어밸브 조립체(7);로 이루어지며,

상기 제어밸브 조립체(7)는,

외체를 이루는 케이스(11);

공압원(P)에서 상기 공압스프링(5)으로 이어진 압력공급라인(13) 중에 설치되어 상기 압력공급라인(13)을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링(5)의 공기압을 증대시키도록 되어 있는 가압밸브(21);

상기 가압밸브(21)와 상기 공압스프링(5)을 연결하는 압력배출라인(15) 중에 설치되어 상기 압력배출라인(15)을 개폐함으로써 개방 시 상기 공압스프링(5)의 공기압을 감소시키도록 되어 있는 감압밸브(23); 및

상기 제진대(3)에 의해 가압되도록 상기 케이스(11)에 장착되어 상기 제진대(3)의 움직임에 따라 이동하면서 상기 가압밸브(21) 또는 상기 감압밸브(23)를 개폐하도록 되어 있는 푸시로드(25);로 구성되고,

상기 가압밸브(21)와 상기 감압밸브(23)는 상기 케이스(11) 내에 서로 마주보도록 위치하고 있으며,

상기 가압밸브(21)는 제1 밸브스템(22)의 상단을 가압 또는 해제하도록 상기 감압밸브(23)와 마주보는 외벽면에 제1 푸시암(31)이 힌지 결합되어 있고,

상기 감압밸브(23)는 제2 밸브스템(24)의 상단을 가압 또는 해제하도록 상기 가압밸브(21)와 마주보는 외벽면에 상기 제1 푸시암(31)에 대해 도립된 상태로 제2 푸시암(33)이 힌지 결합되어 있으며,

상기 푸시로드(25)는 평형상태에서 중립에 위치하며, 중립위치에서 상하 어느 한 쪽 방향으로 가압되기 시작할 때 상기 제1 푸시암(31)을 가압하여 상기 가압밸브(21)의 개방을 개시하도록 되어 있고, 중립위치에서 상하 다른 한 쪽 방향으로 가압되기 시작할 때 상기 제2 푸시암(33)을 가압하여 상기 감압밸브(23)의 개방을 개시하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 제진대 수평유지장치.
제 2 항에 있어서,

상기 푸시로드(25)는 상기 가압밸브(21)와 상기 감압밸브(23) 사이에 위치하는 중앙 부분에 반경방향으로 돌출되도록 가압링(39)이 장착되어 있으며, 상기 제1 푸시암(31) 및 제2 푸시암(33)은 자유단의 외면에 수압돌기(32,34)가 각각 돌출되어 상기 가압링(39)에 의해 보다 확실하게 가압되도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 제진대 수평유지장치.
제3 항에 있어서,

상기 푸시로드(25)는 상단 스토퍼(27)와 상기 케이스(11) 상면 사이에 압축 반발스프링(35)이 끼워져, 상기 제진대(3)에 의해 눌릴 때 상기 상단 스토퍼(27)로 상기 압축 반발스프링(35)을 압축하도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 제진대 수평유지장치.
제3 항에 있어서,

상기 푸시로드(25)는 하단 스토퍼(28)와 상기 케이스(11) 저면 사이에 인장 반발스프링(37)이 끼워져, 상기 제진대(3)가 이격되어 올라갈 때 상기 하단 스토퍼(28)에 부착된 상기 인장 반발스프링(37)에 의해 끌려올라가도록 되어 있는 것을 특징으로 하는 제진대 수평유지장치.