KR101029937B1 - Carrier frame structure - Google Patents
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Abstract
Description
본 발명은 LCD 제조 공정 중 C/F SPUTTER 공정에 사용되는 캐리어 프레임의 재가공 구조에 대한 것으로서 더욱 상세하게는 좌,우,상,하측으로 각각의 프레임으로 조립 구성되는 캐리어 프레임 중 종래 알루미늄 재질로 구성된 상, 하부프레임을 티타늄 재질로 캐리어 몸체와 분리 착탈구조로 재가공함으로써 기존 상, 하부프레임이 좌, 우측프레임보다 먼저 마모가 되어 사용 중 신품으로 교체하여야하는 불합리를 개선하며 소모품의 원가를 대폭 절감하며 작업 공수 또한 감소시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 캐리어 프레임 구조에 대한 것이다.
The present invention relates to a reprocessing structure of a carrier frame used in the C / F SPUTTER process of the LCD manufacturing process, and more specifically, consisting of a conventional aluminum material of the carrier frame is composed of each frame in the left, right, up, down By reprocessing the upper and lower frames with the carrier body and detachable structure, the upper and lower frames are worn out before the left and right frames, improving the irrationality of replacing the new ones while using them and significantly reducing the cost of consumables. It also relates to a carrier frame structure which can also reduce labor and improve productivity.
일반적으로 LCD 생산 공정 중 일부인 컬러 필터 공정에 있어서 글래스에 ITO 막을 성막하는 과정에는 ITO 타겟이 있는 진공 챔버 내로 글래스를 투입을 하여야 하며 이때 사용되는 글래스 무빙 장치를 통상 "캐리어" 라고 명명한다.In general, in the color filter process which is a part of the LCD production process, the glass is deposited into the vacuum chamber in which the ITO target is formed in the process of depositing the ITO film on the glass, and the glass moving device used at this time is generally called a "carrier."
도 1은 종래 캐리어의 개략적인 구성을 나타내는 도면이고, 도 2는 종래 캐리어의 상, 하부프레임 구조를 나타내는 도면이다.1 is a view showing a schematic configuration of a conventional carrier, Figure 2 is a view showing the upper, lower frame structure of a conventional carrier.
이러한 캐리어의 기능으로는 글래스가 안착할 수 있는 안착부와 이동시 움직임이 없도록 하는1 클램프 장치(6) 그리고 글래스의 원하는 부분에 ITO 성막이 이루어질 수 있도록 하는 마스크 역할 3가지를 큰 기능으로 하여 만들어진다. The functions of such a carrier are made of three functions: a seating portion on which the glass can be seated, a 1
도면을 참조하면, 캐리어(1)는 구동 시 도 1의 (b)와 같이 세워진 상태에서 구동하기 때문에 전체 하중을 아래 방향으로 받게 되며 이때 캐리어(1)의 좌, 우측프레임(4,5)은 캐리어(1)의 구동 시 하중을 가장 많이 받는 부분이라 티타늄 재질로 구성되어 있어 강한 프레임 구조를 형성한다.Referring to the drawing, since the
아울러 캐리어(1)의 전체적인 무게를 고려하여 상, 하부프레임(2,3)은 알루미늄 재질로 가볍게 하여 구동 시 하중을 최소로 줄이도록 형성된다.In addition, in consideration of the overall weight of the carrier (1), the upper and lower frames (2, 3) is formed to reduce the load at the time of driving by lightly made of aluminum.
이러한 조립구조는 이종 재질을 사용하여 변형 발생을 고려하면서 동시에 전체 무게를 줄여야 하는 두가지 설계 요건을 충족하여야 함은 물론이며, 캐리어가ITO 성막 진행 과정에서 마스크의 역할을 담당하고 있기 때문에 스퍼터링 공정의 필수 조건인 일정 회차의 성막 과정에서 캐리어 표면에 ITO 성막이 적층되게 된다.This assembly structure must meet the two design requirements of using different materials to reduce deformation and reduce the overall weight. Also, since the carrier plays the role of a mask in the ITO film formation process, the sputtering process is essential. ITO deposition is deposited on the surface of the carrier during the constant deposition process.
이에 따라 일정 회차의 성막 과정 후에는 PARTICLE ISSUE로 불량 방지를 위한 적정 관리량 이상의 ITO 성막이 캐리어 표면에 적층되는 것을 방지하고자 대략 3일 정도 주기로 정기적 화학 세정작업이 실시되게 된다. Accordingly, after a certain cycle of film formation, a periodic chemical cleaning operation is performed every 3 days to prevent the ITO film formation more than an appropriate amount of management to prevent the defect is deposited on the carrier surface by the PARTICLE ISSUE.
이러한 세정 과정은 재질별로 다른 공정으로 진행하며 좌, 우측프레임은 티타늄이기 때문에 일반 화학세정을 통해 캐리어 표면에 부착된 ITO 성막을 제거하나, 상, 하부프레임은 화학세정에는 알루미늄 재질이 화학 반응을 하여 부식을 일으키기 때문에 글래스 안착면은 샌딩페이퍼와 수세미 등을 이용하여 표면 이물 제거 및 표면 조도를 높이기 위한 사상 작업을 하고 글래스 안착면의 마스킹 후 반대편의 ITO 성막 부분을 샌딩처리로 성막 제거 후 세정 작업을 실시한다. This cleaning process proceeds with different processes for each material, and since the left and right frames are titanium, ITO deposition on the carrier surface is removed through general chemical cleaning, but the upper and lower frames are chemically reacted with aluminum during chemical cleaning. As it causes corrosion, the glass seating surface uses sanding paper and scrubber to finish the surface foreign matter removal and to improve the surface roughness, and after masking of the glass seating surface, sanding treatment on the other side of ITO film formation is performed after sanding removal. Conduct.
이에 따라 샌딩페이퍼와 수세미가 알루미늄 재질인 상, 하부프레임의 글래스 안착면을 계속해서 식각시키는 현상을 유발하게 되어 화학세정만 실시하는 캐리어 좌, 우측프레임에 비해 수명이 짧고 주기적으로 교체해야 하는 문제점이 발생된다.As a result, the sanding paper and the scrubber are made of aluminum, so that the glass seating surface of the lower frame is continuously etched. Therefore, the life of the sanding paper and the scrubbing brush are shorter than those of the carrier left and right frames, which only perform chemical cleaning. Is generated.
이러한 부품 교체는 소모품의 증가에 따른 원가 상승은 물론 교체 작업에 투입되는 인적 공수 비용까지 상승시킴으로써 생산효율이 저하되는 문제를 초래하였다.
The replacement of parts caused a problem in that the production efficiency was lowered by increasing the cost of consumables as well as the human labor cost of the replacement work.
본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서 좌,우,상,하의 각각의 프레임으로 조립 구성되는 캐리어 프레임 중 종래 알루미늄 재질로 구성된 상, 하부프레임을 티타늄 재질로 캐리어 몸체와 분리 착탈구조로 재가공 조립시킴으로써 기존 상, 하부프레임이 좌, 우측프레임보다 먼저 마모가 되어 사용 중 신품으로 교체하여야하는 불합리를 개선하며 소모품의 원가를 대폭 절감하며 작업 공수 또한 감소시킬 수 있어 생산성을 향상시킬 수 있는 캐리어 프레임 구조를 제공함에 그 목적이 있다.
The present invention has been made in order to solve the above problems, the upper, lower frame made of a conventional aluminum material of the carrier frame, which is composed of each of the left, right, top, and bottom of the frame is reprocessed with a carrier body and a detachable detachable structure in a titanium material By assembling, the upper and lower frames are worn out before the left and right frames, which improves the irrationality of replacing the new ones in use, greatly reducing the cost of consumables and reducing the number of labors. The purpose is to provide a structure.
본 발명은 상기의 목적을 달성하기 위해 아래와 같은 특징을 갖는다.The present invention has the following features to achieve the above object.
본 발명은 글래스를 수용하여 이동시키기 위해 메인 바디와 상, 하부프레임 및 좌, 우측프레임으로 형성되는 캐리어 프레임 구조에 있어서, 상기 상, 하부 프레임은 메인 바디와 볼트와 같은 고정수단에 의해 착탈가능하도록 결합되되 상기 상, 하부프레임의 일측 결합면에는 수평면상으로 돌출되는 돌출로가 형성되어 상기 상, 하부프레임과 결합하는 메인 바디의 결합면에 형성되는 홈로와 형성적으로 대응되어 결합될 수 있도록 한다.The present invention is a carrier frame structure formed of the main body and the upper body, the lower frame and the left, right frame to receive and move the glass, the upper and lower frames are detachable by fixing means such as the main body and bolts Is coupled to one side of the upper, lower frame is formed with a protruding path protruding in a horizontal plane to form a corresponding groove and formed in the coupling surface of the main body to be coupled to the upper, lower frame to form a corresponding .
여기서 상기 고정수단은 상기 상, 하부프레임의 돌출로에 형성되는 제 1관통홀과, 상기 메인 바디의 홈로 상에 형성되는 제 2관통홀에 관통 설치되어 상기 상, 하부프레임 및 메인 바디가 안정적으로 결합될 수 있도록 한다.Here, the fixing means is installed through the first through hole formed in the protruding path of the upper, lower frame, and the second through hole formed on the groove of the main body, so that the upper, lower frame and the main body are stably provided. To be combined.
아울러 상기 상, 하부프레임과 착탈되는 메인 바디의 결합부는 캐리어 프레임 구조가 상, 하부프레임과 메인 바디가 일체로 형성되어 있는 경우, 상기 상, 하부프레임과 형상적으로 대응되어 결합될 수 있도록 절단 가공되며, 상기 메인 바디와 착탈 가능하도록 결합되는 상, 하부프레임은 재질이 티타늄인 것이 바람직하다.
In addition, the coupling portion of the main body detachably attached to the upper and lower frames, when the carrier frame structure is integrally formed with the upper, lower frames and the main body, the cutting process so that the upper and lower frames can be coupled in shape corresponding to the upper and lower frames And, the upper and lower frames are coupled to the main body detachably, the material is preferably titanium.
본 발명에 따르면 일정기간 사용 후 폐기되는 캐리어의 상, 하부프레임에 대하여 주기적인 세정으로 인해 식각되는 캐리어의 글래스 안착부에 대하여 샌딩페이퍼와 수세미로 작업하지 않고도 화학 세정만을 통해 세정이 이루어질 수 있음에 따라 식각을 방지하여 제품 수명을 연장할 수 있는 효과가 있다.According to the present invention, since the cleaning of the glass seat of the carrier, which is etched by the periodic cleaning of the upper and lower frames of the carrier discarded after a certain period of time, the cleaning may be performed only by chemical cleaning without working with sanding paper and a loofah. Therefore, it is possible to prevent the etching and extend the life of the product.
아울러 이를 통해 세정 작업의 인력 감소와 주기적인 부품 수급을 위해 추가 비용이 발생되지 않음에 따라 원가를 대폭 절감할 수 있어 생산성 향상을 꾀할 수 있다.
In addition, this reduces the manpower of cleaning work and the additional cost for periodic supply of parts, resulting in significant cost savings resulting in increased productivity.
도 1은 종래 캐리어의 개략적인 구성을 나타내는 도면이다.
도 2는 종래 캐리어의 상, 하부프레임 구조를 나타내는 도면이다.
도 3은 본 발명에 따른 상, 하부프레임 구조를 나타내는 도면이다.
도 4는 도 3의 배면 조립사시도이다.
도 5는 도 3의 전면 조립사시도이다.
도 6은 본 발명에 따른 상, 하부프레임의 단면도이다.1 is a view showing a schematic configuration of a conventional carrier.
2 is a view showing the upper, lower frame structure of a conventional carrier.
3 is a view showing the upper, lower frame structure according to the present invention.
4 is a rear perspective view of FIG. 3.
5 is an assembled perspective view of the front of FIG. 3.
6 is a cross-sectional view of the upper and lower frames according to the present invention.
이하에서는 본 발명에 따른 캐리어 프레임 구조에 대해 첨부되는 도면과 함께 상세하게 설명하도록 한다. Hereinafter, a carrier frame structure according to the present invention will be described in detail with the accompanying drawings.
도 3은 본 발명에 따른 상, 하부프레임 구조를 나타내는 도면이며, 도 4는 도 3의 배면 조립사시도이고, 도 5는 도 3의 전면 조립사시도이며, 도 6은 본 발명에 따른 상, 하부프레임의 단면도이다.Figure 3 is a view showing the upper, lower frame structure according to the invention, Figure 4 is a rear assembled perspective view of Figure 3, Figure 5 is a front assembled perspective view of Figure 3, Figure 6 is an upper, lower frame according to the present invention It is a cross section of.
도면을 참조하면, 본 발명에 따른 캐리어 프레임 구조는 크게 메인 바디(10)와 상, 하부프레임(20) 및 좌, 우측프레임으로 이루어진다.Referring to the drawings, the carrier frame structure according to the present invention consists of the
본 발명의 가장 큰 특징이 상기 상, 하부프레임(20)을 기존 메인 바디(10)와 일체형으로 형성된 프레임 구조를 분리형으로 결합될 수 있도록 재가공 또는 신규 제작함으로써, 기존 상, 하부프레임(20)이 가지는 세정작업에 대한 취약함으로 인해 잦은 캐리어 프레임 교체의 문제점을 해결하기 위함인 것이다.The biggest feature of the present invention is that the upper,
이러한 상, 하부프레임(20)은 고정수단(30)에 의해 착탈가능하도록 결합되는데, 이러한 고정수단(30)으로는 볼트인 것이 바람직하며, 이외에 메인 바디(10)와 결합할 수 있는 어떠한 고정수단도 본 발명에 포함될 것임은 물론이다. In this case, the
한편 상기 상, 하부프레임(20)은 메인 바디(10)와 결합시 고정수단(30)으로만 수용하중이 전담되지 않도록 메인 바디(10)와 결합되는 상, 하부프레임(20)의 측면 결합부에 수평선상으로 돌출로(21)가 형성되고, 이와 대응되도록 메인 바디(10)에는 형상적으로 대응되는 홈로(11)가 형성된다.Meanwhile, the upper and
이러한 돌출로(21)와 홈로(11)의 결합구성은 전술한 바와 같이 하중 부담을 고정수단(30)으로만 전담시킬 경우 쉽게 고정수단(30)이 파손될 수 있어 잦은 수리 및 교체 등의 관리 공수가 증가하게 되어 비용 상승 및 생산효율 저하를 가져오게 된다.The combination of the
따라서, 돌출로(21)와 홈로(11)의 형성 및 이의 결합 구성에 따라 조립 시 누구나 용이하게 결합할 수 있게 되며, 결합 후 글래스 수용하중 부담을 돌출로와 홈로측에서 일정부분 분담할 수 있어 캐리어 프레임의 내구성을 향상시킬 수 있게 된다.Therefore, according to the formation of the
아울러 본 발명에 따른 분리형 구조를 가지는 캐리어가 이동하게 되면 기존 일체형에 비해 상, 하부프레임측이 어느 정도 흔들릴 수 있어 글래스 이동의 안정성을 담보하기가 어려운 부분이 발생하게 되는데, 상기와 같이 돌출로(21) 및 홈로(11)에 따른 결합 구조는 유격을 최소화 할 경우 상기와 같은 흔들림 문제도 방지할 수 있다.In addition, when the carrier having a separable structure according to the present invention is moved, the upper and lower frame sides may be shaken to some extent as compared with the existing one-piece structure, which makes it difficult to secure the stability of the glass movement. 21) and the coupling structure according to the
한편 상기 홈로(11) 및 돌출로(21)에는 각각 제 1관통홀(12), 제 2관통홀(22)이 형성되어 고정수단(30)이 이를 관통하여 설치될 수 있도록 하며, 고정수단(30)이 홈로(11) 및 돌출로(21)의 결합경로 상에 설치되는 것이 전술한 흔들림을 최소할 수 있다. Meanwhile, the
또한 상기 상, 하부프레임(20)은 티타늄 재질로 이루어지는 것이 바람직한데, 이는 상용되는 소재 중 기존 알루미늄을 대체 할 수 있는 강성을 가지며 변형이 적고 동시에 무게가 적은 재질로서 조건을 충족시키는 소재이며, 기존 캐리어 좌, 우측프레임의 세정 방법과 동일한 방법으로 세정 작업을 할 수 있기 때문에 재질 변경으로 인한 화학세정 기준을 별도로 가지지 않아도 되는 업무 효율성 또한 높일 수 있기 때문이다.In addition, the upper,
이에 따라 종래 상, 하부프레임이 알루미늄 재질로 이루어짐에 따라 여러 문제가 야기되는 부분을 개선할 수 있게 된다. Accordingly, in the related art, as the lower frame is made of aluminum, it is possible to improve a portion that causes various problems.
이러한 본 발명에 따른 캐리어 프레임 구조는 세정작업에 의해 식각되어 교체되어야 하는 기존 일체형 캐리어를 재활용하는 케이스와, 캐리어 프레임 신규 제작시 적용되는 케이스로 크게 분류될 수 있으며, 본 발명의 특징은 상기 두 케이스 중 전자에 대해 보다 큰 효과를 도출할 수 있다. The carrier frame structure according to the present invention can be broadly classified into a case for recycling an existing integrated carrier to be etched and replaced by a cleaning operation, and a case applied when a new carrier frame is manufactured. Greater effects can be derived for heavy electrons.
이는 폐기하여야 하는 캐리어의 상, 하부프레임 부분을 절단 분리 후 본 발명에 따른 티타늄 재질의 상, 하부프레임(20)으로 교체 결합함으로써 상, 하부프레임 외에 아직 수명이 남은 캐리어 부품을 재사용할 수 있게 되어 비용을 대폭 절감할 수 있으며, 절단 분리한 알루미늄 재질의 상, 하부프레임을 신규 제작하는 메인 바디의 재료로 활용할 수 있는 장점 또한 가지게 되는 것이다. This is to replace the upper and lower frame portion of the carrier to be discarded after the separation separation of the titanium frame according to the present invention, the
아울러 사용 중이었던 캐리어의 좌, 우측프레임과의 조립성과 그 외 클램핑 장치와 같은 여러 부품들 또한 신규 제작 후 사용 시에 이미 검증된 제품이므로 여러 조정 과정이 생략될 수 있게 되어 작업 공수를 또 줄일 수 있게 된다.
In addition, many components such as the assembly of left and right frames of the carrier and other clamping devices, which were in use, are also already proven at the time of new production. Will be.
이와 같이 본 발명은 도면에 도시된 실시예들로 설명되었으나, 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. As described above, the present invention has been described in the embodiments shown in the drawings, but this is merely exemplary, and it will be understood by those skilled in the art that various modifications and equivalent other embodiments are possible. .
따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호범위는 첨부된 특허청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.
Therefore, the true technical protection scope of the present invention will be defined by the technical spirit of the appended claims.
10 : 메인 바디 11 : 홈로
12 : 제 1관통홀 20 : 상, 하부프레임
21 : 돌출로 22 : 제 2관통홀
30 : 고정수단 100 : 캐리어 10: main body 11: home
12: first through hole 20: upper, lower frame
21: protrusion 22: second through hole
30: fixing means 100: carrier
Claims (4)
상기 상, 하부 프레임은 메인 바디와 볼트와 같은 고정수단에 의해 착탈가능하도록 결합되되 상기 상, 하부프레임의 일측 결합면에는 수평면상으로 돌출되는 돌출로가 형성되어 상기 상, 하부프레임과 결합하는 메인 바디의 결합면에 형성되는 홈로와 형상적으로 대응되어 결합될 수 있도록 하되,
상기 고정수단은 상기 상, 하부프레임의 돌출로에 형성되는 제 1관통홀과, 상기 메인 바디의 홈로 상에 형성되는 제 2관통홀에 관통 설치되어 상기 상, 하부프레임 및 메인 바디가 안정적으로 결합될 수 있도록 하며,
상기 상, 하부프레임과 착탈되는 메인 바디의 결합부는
캐리어 프레임 구조가 알루미늄 재질의 상, 하부프레임과 메인 바디가 일체로 형성되어 있는 경우, 상기 상, 하부프레임과 형상적으로 대응되어 결합될 수 있도록 일체로 형성되어 있는 캐리어 프레임 구조 상의 상, 하부프레임 부분을 절단 가공하여 티타늄 재질의 상, 하부프레임으로 결합되도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 캐리어 프레임 구조.
In the carrier frame structure formed of the upper body, the lower frame and the left, right frame of the main body and titanium to receive and move the glass,
The upper and lower frames are coupled to be detachable by a fixing means such as a main body and a bolt, but a protruding path protruding in a horizontal plane is formed on one side of the upper and lower frames to be coupled to the upper and lower frames. To be coupled in shape and corresponding to the groove formed on the mating surface of the body,
The fixing means is installed through the first through hole formed in the protruding path of the upper and lower frames, and the second through hole formed on the groove of the main body, so that the upper, lower frame and the main body are stably coupled. To be able to
The coupling portion of the main body detachable from the upper and lower frames
When the carrier frame structure is formed of an aluminum material, the lower frame and the main body integrally, the upper and lower frames on the carrier frame structure integrally formed so that the carrier frame structure can be coupled correspondingly to the upper and lower frames. Carrier frame structure characterized in that the cutting portion is made to be coupled to the upper, lower frames made of titanium.
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Legal Events
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A302 | Request for accelerated examination | ||
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E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
N231 | Notification of change of applicant | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
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