KR101022656B1 - 전자 방출 표시 장치와, 이의 제조 방법 - Google Patents

전자 방출 표시 장치와, 이의 제조 방법 Download PDF

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Abstract

전자 방출 표시 장치와, 이의 제조 방법를 개시한다. 본 발명은 기판상에 제 1 전극을 형성하고, 절연층을 매개로 하여 제 2 전극을 형성하고, 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 형성된 전계에 의하여 전자를 방출하는 금속 산화물계 나노 와이어로 이루어진 전자 방출원을 형성하는 것을 포함하는 것으로서, 금속 산화물계 나노 와이어를 사용함에 따라서, 제조 공정이 단순화되고, 전자 방출 특성이 향상된다.

Description

전자 방출 표시 장치와, 이의 제조 방법{Electron emission display and the fabrication method thereof}
도 1은 종래의 냉음극형 전자 방출 표시 장치를 도시한 단면도,
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출 표시 장치를 도시한 단면도,
도 3a 내지 도 3h는 도 2의 전자 방출 표시 장치를 제조하기 위한 과정을 순차적으로 도시한 것으로서,
도 3a는 본 발명의 기판에 제 1 전극을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 3b는 도 3a의 기판상에 절연층을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 3c는 도 3b의 기판상에 제 2 전극을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도,도 3d는 도 3c의 기판상에 에미터 홀을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 3e는 도 3d의 기판상에 금속 산화물을 전면 도포한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 3f는 도 3e의 기판상에 노광하는 상태를 도시한 단면도,
도 3g는 도 3f의 기판상에 전자 방출원을 형성한 이후의 상태를 도시한 단면도,
도 3h는 도 3a 내지 도 3g를 통하여 형성된 전자 방출 표시 장치를 도시한 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
200...전자 방출 표시 장치 210...전면 기판
220...배면 기판 230...애노우드 전극
240...제 1 전극 250...절연층
260...제 2 전극 270...전자 방출원
280...스페이서 290R...적색 형광체층
290G...녹색 형광체층 290B...청색 형광체층
300...흑색층 310...에미터 홀
본 발명은 전자 방출 표시 장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 금속 산화물계 나노 와이어를 이용하여 전계 방출 특성을 향상시킨 전자 방출 표시 장치와, 이의 제조 방법에 관한 것이다.
통상적으로, 전자 방출 표시 장치(electron emisson display)는 제 1 기판쪽에 방출된 전자를 제 2 기판에 형성된 형광체층에 충돌시켜 이의 발광을 이용해 소정의 영상을 구현하는 평판 표시 장치(flat display device)로서, 전자원으로서 열음극을 이용하는 방식과 냉음극을 이용하는 방식이 있다.
이중에서 냉음극을 이용하는 방식의 전자 방출 표시 장치로는 FEA(Field Emitter Array)형 전자 방출 표시 장치와, MIM(metal-insulator-metal)형 전자 방출 표시 장치와, MIS(metal-insulator-semiconductor)형 전자 방출 표시 장치 및 표면 전도(surface conduction)형 전자 방출 표시 장치등이 알려져 있다.
상기 전자 방출 표시 장치는 전계가 가해지면 전자를 방출하는 물질들로 전자 방출원을 형성하고, 전자 방출을 제어하기 위한 전극들을 구비하여 소정의 표시를 행한다. 이러한 전자 방출 표시 장치는 전자 방출원의 특성에 따라 표시 장치의 전체 품질이 큰 영향을 받게 된다.
도 1을 참조하면, 종래의 냉음극형 전자 발출 표시 장치(100)는 스페이서(180)에 의하여 유지되는 진공 갭을 사이에 두고 전면 기판(110)과, 배면 기판(120)이 설치되고, 상기 전면 기판(110)에는 형광체가 도포된 애노우드 전극(anode electrode, 130)이 형성되며, 배면 기판(120)에는 캐소우드 전극(cathode electrode, 140)과, 상기 캐소우드 전극(140)상에 절연층(150)을 사이에 두고 게이트 전극(gate electrede, 160)이 형성되어 있다. 또한, 상기 게이트 전극(160)과 절연층(150)을 통하여 형성된 에미터 홀(190)내에는 상기 캐소우드 전극(140)과 전기적으로 연결되도록 금속 팁(metal tip) 형상의 전자 방출원(170)이 형성되어 있다.
초기의 전자 방출원(170)은 몰리브덴(Mo) 등을 주재질로 하는 선단이 뽀족한 마이크로 팁형을 사용하였다. 그런데, 마이크로 팁형의 전자 방출원(170)을 가지는 전자 방출 표시 장치(100)을 제조하기 위해서는 공지의 반도체 공정을 이용해야 하므로 제조 공정이 복잡하고, 고난이도의 기술과 고가의 장비를 필요로 하며, 대화 면 표시 장치의 제조의 어려운 단점이 있다.
이러한 현상을 극복하기 위하여, 고전자 방출 효율과 안정성을 가지는 탄소 나노 튜브(carbon nano tube)를 전자 방출원으로 이용하고자 하는 노력이 있어 왔다.
탄소 나노 튜브를 전자 방출원으로 이용하고자 할 경우, 이를 제조하는 방법으로는 다이렉트 성장(direct growth)법이나, 전기 영동법이나, 스크린 프린팅(direct printing)법등이 연구중이다.
그러나, 다이렉트 성장법은 기판의 변형을 고려한 탄소 나노 튜브의 합성 조건(예를 들면, 온도)의 제약 때문에 제조하기가 어려우며, 전기 영동법은 기판 전면에 걸쳐서 탄소 나노 튜브가 규일하게 형성되기가 어려운 단점이 있다.
반면에, 스크린 프린팅법은 탄소 나노 튜브를 수지, 유기 용매와 혼합하여 페이스트(paste) 상태로 제조하고, 이 페이스트를 기판에 스크린 프린팅하여서 전자 방출원을 형성하는 방법을 말한다.
이러한 방법은 다이렉트 성장법이나 전기 영동법에 비하여 대면적 기판에 적용하기가 용이하고, 공정 조건이 간단하다는 장점이 있다. 이렇게 탄소 나노 튜브로 된 전자 방출원을 소망되는 위치에 형성하기 위해서는 감광성 물질을 첨가한 페이스트를 스크린 프린팅하고, 이를 노광 및 현상하는 공정을 거쳐야 한다.
그러나, 탄소 나노 튜브가 자외선을 흡수하는 특성으로 인하여 전면 노광을 할 경우에는 전자 방출원의 패턴이 제대로 형성되지 못하는 문제점이 있다. 이를 극복하기 위하여, 종래에는 이미 형성된 전극 패턴 위에 페이스트를 인쇄한 후에 배면 노광으로 전자 방출원을 소망하는 위치에 부착시키고, 나머지 부분을 현상하여 제거하는 공정이 제시되고 있다.
이러한 배면 노광법은 탄소 나노 튜브로 된 페이스트와 반응하지 않는 희생층 물질을 찾아야 하고, 이를 캐소우드 전극에 형성하고, 패터닝하는 공정이 진행되어야 하며, 전자 방출원의 형성후에 희생층을 박리해야 하는 후속 공정이 요구된다 할 것이다.
본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 금속 산화물계 나노 와이어를 전자 방출원으로 이용하여서 제조 공정이 용이함과 동시에 전자 방출 특성을 향상시킨 냉음극형 전자 방출 표시 장치와, 이의 제조 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 목적을 달성하기 위하여 본 발명의 일 측면에 따른 전자 방출 표시 장치의 제조 방법은,
기판상에 제 1 전극을 형성하는 단계;
상기 기판상에 절연층을 매개로 하여 제 2 전극을 형성하는 단계; 및
상기 기판상에 제 1 전극과 제 2 전극 사이에 형성된 전계에 의하여 전자를 방출하는 금속 산화물계 나노 와이어로 이루어진 전자 방출원을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 제 1 전극을 형성하는 단계에서는,
상기 기판상에 스트립 형상의 캐소우드 전극을 라인 패턴화시키는 것을 특징으로 한다.
게다가, 제 2 전극을 형성하는 단계에서는,
상기 제 1 전극과 교차하는 방향으로 스트립 형상의 게이트 전극을 라인 패턴화시키는 것을 특징으로 한다.
더욱이, 전자 방출원을 형성하는 단계에서는,
징크 옥사이드 나노 와이어로 된 전자 방출원을 형성하는 것을 특징으로 한다.
나아가, 전자 방출원을 형성하는 단계에서는,
금속 산화물계 나노 와이어용 분말을 수지와 유기 용매에 혼합하여 페이스트화하는 단계;
상기 페이스트를 상기 기판상에 전면 인쇄하는 단계; 및
상기 전면 인쇄된 기판상에 노광 및 현상하여 전자 방출원의 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 금속 산화물계 나노 와이어의 단부가 수직 배열되도록 표면 처리하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 측면에 따른 전자 방출 표시 장치는,
전면 기판;
상기 전면 기판의 내표면에 형성된 애노우드 전극;
상기 애노우드 전극상에 형성된 형광체층;
상기 전면 기판과 대향되게 배치된 배면 기판;
상기 배면 기판의 내표면에 형성된 제 1 전극;
절연층에 의하여 상기 제 1 전극과 전기적으로 절연된 제 2 전극; 및
상기 배면 기판상에 형성되며, 제 1 및 제 2 전극의 전위차에 의하여 형성된 전계에 의하여 전자를 상기 형광체층으로 방출하는 금속 산화물계 나노 와이어로 이루어진 전자 방출원;을 포함하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 제 1 전극은 스트립 형상으로 라인 패턴화된 캐소우드 전극인 것을 특징으로 한다.
게다가, 상기 제 2 전극은 상기 제 1 전극과 교차하는 방향으로 스트립 형상으로 라인 패턴화된 게이트 전극인 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 전자 방출원은 징크 옥사이드 나노 와이어인 것을 특징으로 한다.
나아가, 상기 전자 방출원은 상기 제 1 전극과 제 2 전극이 교차하는 부분에 절연층과 제 2 전극을 관통하여 형성된 에미터 홀을 통하여, 상기 제 1 전극과 전기적으로 연결된 것을 특징으로 한다.
이하에서, 첨부된 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 전자 방출 표시 장치를 상세하게 설명하고자 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출 표시 장치(200)를 도시한 것이다.
도면을 참조하면, 상기 전자 방출 표시 장치(200)는 투명한 전면 기판(210) 과, 상기 전면 기판(210)과 대향되게 배치되는 배면 기판(220)을 포함하고 있으며, 상기 배면 기판(220)에는 전계를 가하면 전자를 방출하는 구성이 형성되며, 상기 전면 기판(210)에는 방출된 전자에 의하여 소정의 이미지를 구현하는 구성이 형성되어 있다.
보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
상기 배면 기판(220)의 내표면에는 제 1 전극에 해당하는 다수의 캐소우드 전극(240)이 형성되어 있다. 상기 캐소우드 전극(240)은 스트립 형상이며, Y축 방향과 나란한 방향으로 라인 패턴화되어 있다. 상기 캐소우드 전극(240)으로는 ITO막이나, IZO막과 같은 투명화 도전성 막이나, Mo, Ni, Ti, Cr, W, Al 또는 Ag와 같은 전도성이 우수한 금속막과 같은 소재로 이루어져 있다.
상기 캐소우드 전극(240)은 절연층(250)에 의하여 매립되어 있다. 상기 절연층(250)은 배면 기판(220)의 전체 영역에 걸쳐서 형성되어 있으며, 그 절연 기능을 위하여 충분한 두께를 확보하고 있다. 상기 절연층(250)은 실리콘 옥사이드계 또는 실리콘 나이트라이드계로 이루어져 있다.
상기 절연층(250)의 윗면에는 제 2 전극에 해당되는 게이트 전극(260)이 형성되어 있다. 상기 게이트 전극(260)은 스트립 형상이며, X축 방향과 나란한 방향으로 라인 패턴화되어 있다. 상기 게이트 전극(260)은 상기 캐소우드 전극(240)과 교차하는 방향으로 배치되어 있다. 이러한 게이트 전극(260)은 ITO막이나, IZO막과 같은 투명화 도전성 막이나, Mo, Ni, Ti, Cr, W, Al 또는 Ag와 같은 전도성이 우수한 금속막과 같은 소재로 이루어져 있다. 상기 캐소우드 전극(240)과, 게이트 전극(260)의 패턴은 상기의 구조에 한정되지 않고, 다양한 패턴으로 형성가능함은 물론이다.
상기 캐소우드 전극(240)과, 게이트 전극(260)이 서로 교차하는 지점, 즉, 각각의 픽셀 영역에는 에미터 홀(310)이 형성되어 있다. 상기 에미터 홀(310)은 절연층(250)과, 게이트 전극(260)을 공히 관통하여 형성되어 있고, 캐소우드 전극(240)의 일부를 노출하고 있다.
상기 에미터 홀(310) 내에는 면 전자원, 즉 전자 방출원(270)이 형성되어 있다. 상기 전자 방출원(270)은 금속 산화물계 나노 와이어, 예컨대 징크 옥사이드(ZnO) 나노 와이어(nanowire)로 이루어져 있다. 대안으로는, 마그네슘 옥사이드(MgO)나, 리이드 옥사이드(PbO)등 타금속 산화물로 이루어져 있다. 이를 페이스트 형태로 제조한 다음에 스크린 프린팅하여 형성할 수가 있다.
징크 옥사이드 나노 와이어로 된 전자 방출원(270)은 화학적으로 안정적이고, 구조적으로 강성이 있으며, 고온에서 안정적이다. 또한, 소성 온도를 높일 수가 있으며, 공기중에서도 소성이 가능하다. 그리고, 합성된 형상을 살펴보면 뒤틀림이 없으며, 표면 결함(surface defect)이 적다. 이에 따라서, 전도성이 우수하고, 전자 방출 특성이 우수하다.
이처럼, 징크 옥사이드 나노 와이어로 된 전자 방출원(270)은 상술한 구조처럼 전자 방출 표시 장치(200)의 제 1 전극인 캐소우드 전극(240)과 제 2 전극인 게이트 전극(260)이 교차하는 영역에만 선택적으로 형성될 수는 것이다.
대안으로는, 금속 산화물계 나노 와이어로 이루어진 전자 방출원은 기판상에 라인 패턴화된 게이트 전극이 형성되고, 그 상면에 절연층에 의하여 절연된 캐소우드 전극이 형성된 전자 방출 표시 장치 또는 기판상에 라인 패턴화된 게이트 전극과 캐소우 전극이 형성된 전자 방출 표시 장치에도 적용 가능하다.
상기 배면 기판(220)과 평행하게 배치된 전면 기판(210)의 내표면에는 상기 전자 방출원(270)으로부터 방출된 전자를 가속하기 위하여 필요한 고전압, 이를테면 1 내지 5 kV가 인가되는 애노우드 전극(230)이 형성되어 있다. 상기 애노우드 전극(230)은 개구율을 고려하여 ITO막과 같은 투명한 도전막으로 이루어져 있다.
상기 애노우드 전극(230)의 아랫면에는 전자에 의하여 여기되어 가시광을 방출하는 적,녹,청색의 형광막(290R)(290G)(290B)이 형성되어 있다. 상기 적,녹,청색의 형광막(290R)(290G)(290B)은 상기 전자 방출원(270)이 형성된 영역과 대응되는 곳에 형성되어 있다.
상기 적,녹,청색의 형광막(290R)(290G)(29OB) 사이에는 콘트라스트를 향상시키기 위하여 흑색층(300)이 형성되어 있다. 상기 흑색층(300)은 적색의 형광막(290R)과, 녹색의 형광막(290G)과, 청색의 형광막(290B) 사이의 영역에 각각 형성되어 있다.
한편, 상기 전면 기판(210)과 배면 기판(220)의 사이에는 결합된 내부 공간을 진공 상태로 유지하면서 일정한 셀 갭을 유지하기 위하여 다수의 스페이서(280)이 배치되어 있다.
상기와 같은 구성을 가지는 전자 방출 표시 장치(200)의 작용을 살펴보면 다음과 같다.
상기 캐소우드 전극(240)과, 게이트 전극(260) 사이에 소정의 전압을 인가하고, 상기 애노우드 전극(230)에 전자 가속에 필요한 고전압을 인가하게 되면 전자 방출 표시 장치(200)가 구현하게 된다.
즉, 제 1 전극인 캐소우드 전극(240)에는 수 내지 수십 볼트(V)의 － 전압을 인가하고, 제 2 전극인 게이트 전극(260)에는 수 내지 수십 볼트(V)의 ＋ 전압을 인가하고, 상기 애노우드 전극(230)에는 1 내지 5 킬로볼트(kV)의 ＋ 전압이 인가되면, 상기 캐소우드 전극(240)과 게이트 전극(260) 사이로 전계를 형성하면서 상기 전자 방출원(270)으로부터 전자를 방출하고, 이 방출된 전자들을 전자빔화하여 형광체층(290R)(290G)(290B)으로 유도함으로서 이를 타격하여 발생되는 가시광으로 소정의 칼라 이미지를 구현할 수가 있게 된다.
보다 상세하게는 상기 캐소우드 전극(240), 게이트 전극(260)의 전위차이에 의하여 전자 방출원(270) 주위에 강한 전계가 형성되며, 형성된 전계에 의하여 상기 전자 방출원(270)으로부터 양자역학적 터널링 효과(quantum mechanical tunneling effect)에 의하여 전자들이 방출되고, 상기 전자들이 애노우드 전극(230)에 인가된 전압에 의하여 형광체층(290R)(290G)(290B)에 높은 에너지를 가지고 충돌하여 이를 발광시켜 이미지를 형성하게 된다.
상기와 같은 전자 방출 표시 장치(200)의 구동 특성상 전면 및 배면 기판(210)(220)의 내부 공간은 10-6Torr 이상의 고진공을 유지해야 한다.
내부 공간이 고진공으로 유지되지 않으면, 결합된 기판의 내부 공간에 존재 하고 있는 입자들과 전자 방출원(270)에서 방출된 전자가 충돌하여 이온들이 발생하게 되고, 이온들에 의한 스퍼터링으로 인하여 표시 장치가 열화되기도 하며, 애노우드 전극(230)에 의하여 가속된 전자들이 잔류 입자들과 충돌하여 에너지를 잃게 되어 형광체층(290R)(290G)(290B)에 충돌할 때 발광 휘도가 낮아지기도 한다.
따라서, 전면 및 배면 기판(210)(220)이 결합된 내부 공간을 고진공으로 밀봉해야 한다. 전면 및 배면 기판(210)(220)의 대향되는 면의 가장자리를 따라서는 내부 공간을 고진공으로 유지하기 위하여 추후 설명될 프릿트 글래스(frit glass)와 같은 밀봉 부재가 개재되어 있다.
이상과 같은 구조를 가지는 본 발명의 일 실시예에 따른 전자 방출 표시 장치(200)를 제조하는 과정을 순차적으로 살펴보면 도 3a 내지 도 3h에 도시된 바와 같다.
먼저, 도 3a에 도시된 바와 같이, 투명한 글래스로 된 배면 기판(220)을 마련하고, 상기 배면 기판(220)의 윗면에 투명한 전도성 소재를 이용하여 제 1 전극인 캐소우드 전극(240)을 스트립 형상으로 라인 패턴화시킨다. 상기 캐소우드 전극(240)은 스크린 프린팅 또는 스퍼터링등의 방법에 의하여 형성시킬 수가 있다.이어서, 도 3b에 도시된 바와 같이, 상기 캐소우드 전극(240)이 형성된 배면 기판(220)상에 실리콘 옥사이드계 또는 실리콘 나이트라이드계 글래스 페이스트를 수회 스크린 프린트하여 절연층(250)을 형성하게 된다. 상기 절연층(250)은 전면 인쇄되며, 상기 캐소우드 전극(240)을 매립하게 된다.
다음으로, 도 3c에 도시된 바와 같이, 상기 절연층(250)의 윗면에 ITO, IZO 와 같은 투명한 도전막이나, Mo, Ni, Ti, Cr, W, Ag, Al과 같은 금속막을 이용하여서 제 2 전극인 게이트 전극(260)을 스트립 형상으로 라인 패턴화시킨다. 이때, 상기 게이트 전극(260)은 상기 캐소우드 전극(240)과 수직으로 교차하는 방향으로 형성시킨다.
이어서, 도 3d에 도시된 바와 같이, 상기 절연층(250)과 게이트 전극(260)을 공히 관통하는 에미터 홀(310)을 형성하게 된다. 상기 에미터 홀(310)이 형성될 때, 상기 캐소우드 전극(240)의 표면이 노출된다.
상기 에미터 홀(310)의 형성이 완료되면, 상기 에미터 홀(310)을 통하여 상기 캐소우드 전극(240)의 표면에 이와 전기적으로 연결되는 금속계 산화물 나노 와이어, 바람직하게는 징크 옥사이드 나노 와이어로 이루어진 전자 방출원(270)을 형성하게 된다.
즉, 도 3e에 도시된 바와 같이, 징크 옥사이드 나노 와이어용 페이스트를 준비하고, 이 페이스트를 스크린 메쉬와 같은 수단을 통하여 상기 배면 기판(220)상에 전면 스크린 프린팅하게 된다.상기 징크 옥사이드 나노 와이어는 징크 옥사드 나노 와이어 분말을 용질 및 용매로 구성된 비히클(vehicle)과 혼합하여 스크린 프린팅 가능한 페이스트화하여 전자 방출원(270)을 형성하게 된다.
비히클을 구성하는 용질로는 아크릴계 수지나, 에폭시계 수지, 에틸 셀룰로오스 또는 니트로 셀룰로오스와 같은 셀룰로오수계 수지등이 사용될 수 있고, 용매로는 부틸 카르비톨 아세테이트(BCA), 터피네올(terpineol)이 사용될 수가 있다.
상술한 성분의 페이스트를 스크린 인쇄한 다음에는 소성 공정을 통하여 페이 스트를 경화시키고, 도 3f에 도시된 바와 같이, 노광 및 현상하여서 전자 방출원(270)의 패턴을 형성하게 된다.
패턴이 형성된 전자 방출원(270)은 도 3g에 도시된 바와 같이 표면 처리 부재를 이용하여 표면 처리를 하여서 징크 옥사이드 나노 와이어를 활성화시킨다.
이에 따라, 징크 옥사이드 나노 와이어는 전자 방출원(270)의 표면으로부터 수직으로 정렬하게 된다. 이것은 각각의 징크 옥사이드 나노 와이어의 단부가 애노우드 전극(230)과 보다 가깝게 직선형으로 위치한 것을 의미한다.
한편, 상기 전면 기판(210)의 내면에는 도 3h에 도시된 바와 같이 투명한 도전막으로 이루어진 애노우드 전극(230)을 형성하고, 상기 애노우드 전극(230)의 내면에 적,녹,청색의 형광체층(290R)(290G)(290B)을 형성하고, 상기 적,녹,청색의 형광체층(290R)(290G)(290B) 사이에 흑색층(300)을 형성하게 된다. 이때, 상기 적,녹,청색의 형광체층(290R)(290G)(290B)는 상기 전자 방출원(270)과 대응되는 곳에 위치하고 있다.
상기와 같이 완성된 전면 및 배면 기판(210)(220)은 대향되는 면의 가장자리를 따라서 프릿트 글라스와 같은 밀봉 부재(330)를 이용하여 밀봉하게 된다. 상기 밀봉 부재(330)는 디스펜싱(dispensing)이나 스크린 프린팅에 의하여 소정 두께로 형성하게 된다. 다음으로, 상기 밀봉 부재(330)을 소성시켜서, 상기 전면 및 배면 기판(21)(220)의 밀봉을 완료하게 된다.
이상의 설명에서와 같이, 본 발명의 전자 방출 표시 장치와, 이의 제조 방법 는 다음과 같은 효과를 얻을 수 있다.
첫째, 전자 방출원으로서, 금속 산화물계 나노 와이어를 사용함에 따라서, 전자 방출원의 형성 공정에 수반되는 희생층 공정을 생략할 수가 있다.
둘째, 금속 산화물계 나노 와이어로 된 전자 방출원을 채용함에 따라서 전계 방출 특성이 향상된다.
셋째, 전면 노광이 가능하게 됨에 따라서, 소망하는 패턴의 전자 방출원을 형성시킬 수가 있다.
넷째, 스크린 프린팅법에 의하여 제조가능하므로, 제조 공정이 단순화된다.
다섯째, 제조 공정이 단순화됨에 따라서, 제조 원가가 절감되고, 제조 공정이 안정화될 수가 있다.
본 발명은 도면에 도시된 일 실시예를 참고로 설명되었으나 이는 예시적인 것에 불과하며, 본 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자라면 이로부터 다양한 변형 및 균등한 타 실시예가 가능하다는 점을 이해할 것이다. 따라서, 본 발명의 진정한 기술적 보호 범위는 첨부된 등록청구범위의 기술적 사상에 의해 정해져야 할 것이다.

Claims (11)

  1. 기판 상에 캐소우드 전극을 형성하는 단계;와,
    상기 기판 상에 절연층을 매개로 하여 게이트 전극을 형성하는 단계;와,
    상기 기판 상의 캐소우드 전극과 게이트 전극 사이에 형성된 전계에 의하여 전자를 방출하는 전자 방출원을 형성하는 단계;를 포함하되,
    상기 캐소우드 전극과 게이트 전극이 서로 교차하는 지점의 각 픽셀 영역에는 상기 절연층과 게이트 전극을 관통하는 에미터 홀을 형성하고,
    상기 에미터 홀에는 상기 캐소우드 전극에 대하여 전기적으로 연결되며, 징크 옥사이드 나노 와이어로 된 상기 전자 방출원이 형성되는 것을 특징으로 하는 전자 방출 표시 장치의 제조 방법.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 캐소우드 전극을 형성하는 단계에서는,
    상기 기판 상에 스트립 형상의 상기 캐소우드 전극을 라인 패턴화시키는 것을 특징으로 하는 전자 방출 표시 장치의 제조 방법.
  3. 제 1 항에 있어서,
    상기 게이트 전극을 형성하는 단계에서는,
    상기 캐소우드 전극에 대하여 교차하는 방향으로 스트립 형상의 상기 게이트 전극을 라인 패턴화시키는 것을 특징으로 하는 전자 방출 표시 장치의 제조 방법.
  4. 삭제
  5. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자 방출원을 형성하는 단계에서는,
    징크 옥사이드 나노 와이어용 분말을 수지와 유기 용매에 혼합하여 페이스트화하는 단계;
    상기 페이스트를 상기 기판 상에 전면 인쇄하는 단계; 및
    상기 전면 인쇄된 기판상에 노광 및 현상하여 상기 전자 방출원의 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는 전자 방출 표시 장치의 제조 방법.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 전자 방출원의 단부가 수직 배열되도록 표면 처리하는 단계를 더 포함하는 전자 방출 표시 장치의 제조 방법.
  7. 전면 기판;과,
    상기 전면 기판의 내표면에 형성된 애노우드 전극;과,
    상기 애노우드 전극상에 형성된 형광체층;과,
    상기 전면 기판과 대향되게 배치된 배면 기판;과,
    상기 배면 기판의 내표면에 형성된 캐소우드 전극;과,
    절연층에 의하여 상기 캐소우드 전극과 전기적으로 절연된 게이트 전극;과,
    상기 배면 기판상에 형성되며, 상기 캐소우드 전극 및 게이트 전극의 전위차에 의하여 형성된 전계에 의하여 전자를 상기 형광체층으로 방출하는 전자 방출원;을 포함하되,
    상기 전자 방출원은 상기 캐소우드 전극과 게이트 전극이 서로 교차하는 부분에서 상기 절연층 및 게이트 전극을 관통하여 형성된 에미터 홀을 통하여 상기 캐소우드 전극에 대하여 전기적으로 연결된 징크 옥사이드 나노 와이어인 것을 특징으로 하는 전자 방출 표시 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 캐소우드 전극은 스트립 형상으로 라인 패턴화된 것을 특징으로 하는 전자 방출 표시 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 게이트 전극은 상기 캐소우드 전극에 대하여 교차하는 방향으로 스트립 형상으로 라인 패턴화된 것을 특징으로 하는 전자 방출 표시 장치.
  10. 삭제
  11. 삭제
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