KR101020046B1 - 기판 표면 검사장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 기판 표면 검사장치에 관한 것이다.
본 발명은 기판 표면으로 레이저를 조사하고 반사되는 상태를 파악하여 기판의 표면 상태를 검사하는 기판 표면 검사장치에 있어서, 기판 건조 또는 냉각용 챔버 내에 수용되어 기판 건조가 진행되는 동안 위치변경하면서 정지된 기판 표면으로 레이저를 조사하고 반사되는 상태를 파악하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 건조단계에서 건조공정이 진행되는 동안 기판 표면의 이상 유무 즉, 파티클 존재여부 및 스크래치(균열) 발생여부를 동시에 수행함으로써, 건조단계 후 별도의 기판 표면 검사 수행단계를 생략하여, 제조 공정 및 제조 시간을 단축할 수 있다.

Description

기판 표면 검사장치{SUBSTRATE SURFACE INSPECTION EQUIPMENT}
본 발명은 글라스 또는 웨이퍼 또는 포토마스크 등과 같은 반도체 기판 건조 또는 냉각용 챔버 내에서 기판의 표면 상태를 검사할 수 있도록 하는 기판 표면 검사장치에 관한 것이다.
일반적으로, 반도체 제조 공정 시, 생기는 결함 등을 제품출하 이전에 검사관리 제거하여야 품질을 높일 수 있고, 제품수율을 높일 수 있다.
현재 유수 공정 결함 검사장치(Process induced Defects)는 기판 공정 검사 장치와 포토마스크 공정 검사 및 엘씨디 글라스 검사 장치 등으로 분류할 수 있다.
이때, 포토마스크는 광을 투과하는 석영이기 때문에 포토마스크를 결함을 검사하는 기술적인 방법은, 포토마스크 상면에서 수직 반사되는 광(Reflectance Light)과 투과되는 광(Transmittance Light)의 정보를 분석하여 포토마스크에 있는 결함과 정상적인 크롬패턴 혹은 위상반전물질(Phase Shift Material)을 구분하게 되는 것이다.
한편, 상기 포토마스크와는 반대로 웨이퍼의 결함을 검사하는 방법은, 불투 명의 실리콘기판을 사용하므로 순전히 반사된 빛만을 가지고 결함을 검사한다.(리플렉턴스방식)
상기 웨이퍼를 검사하는 방법은 주로 수직으로 입사하는 레이저광을 이용하여 결함을 검사한다. 일부에서는 웨이퍼를 스테이지의 척 위에 설치하여 진공으로 흡착 고정하고 측면에서 경사지게 레이저광을 조사하여 결함부위에서 산란된 빛을 검출하고 주변 패턴과 비교하여 결함여부를 검사한다.(스캐터링방식)
이러한 종래기판 표면 검사장치의 구성은 기판을 저면에서 지지하는 척(Chuck)과; 상기 척에 진공압력을 가하여 흡착 고정시키도록 하는 진공흡입부와; 상기 척을 저면에서 지지하고 수평으로 이동하도록 하는 스테이지와; 기판에 경사지게 레이저광을 조사하는 광원과; 상기 광원에서 조사된 레이저광의 반사광을 받아들여서 분석하는 CCD카메라;로 구성된다.
상기 구성의 작동 상태를 보면, 상기 기판이 척에 안착되면, 진공흡입부가 진공압력을 가하여 고정시킨다.
이러한 상태에서 상기 광원에서 레이저광을 조사하고, 기판에서 반사되는 상태를 CCD카메라가 파악하여 결함 여부를 검사하게 된다.
그러나, 상기와 같은 종래 기판 표면 검사장치는 기판의 세정단계와 건조 단계를 거친 후 별도의 검사를 수행하게 되므로, 반도체 기판의 제조 공정이 다공정으로 진행되며, 이로 인해 제조 시간이 길어지는 문제점이 있다.
또한, 상기와 같은 종래 기판 표면 검사장치는 광원이 고정된 상태에서 기판 표면 전체에 레이저광을 조사하고, 역시 고정된 상태의 CCD카메라가 반사 또는 산란되는 레이저광의 영상을 찍어서 불규칙한 반사 또는 산란이 있는지를 판독하게 되므로, 검사부위 주변에서 부유하는 파티클이 있을 경우, 기판 표면에 파티클이 잔류하는 것으로 오판하게 되는 문제점이 있다.
본 발명은 기판 표면으로 레이저를 조사하고 반사되는 상태를 파악하여 기판의 표면 상태를 검사하는 기판 표면 검사장치에 있어서, 기판 건조 또는 냉각용 챔버 내에 수용되어 기판 건조가 진행되는 동안 위치변경하면서 정지된 기판 표면으로 레이저를 조사하고 반사되는 상태를 파악하는 광원부 및 수광부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
본 발명은 건조단계에서 건조공정이 진행되는 동안 기판 표면의 이상 유무 즉, 파티클 존재여부 및 스크래치(균열) 발생여부를 동시에 수행함으로써, 건조단계 후 별도의 기판 표면 검사 수행단계를 생략하여, 제조 공정 및 제조 시간을 단축할 수 있다.
또한, 본 발명은 위치변경 즉, 레이저의 조사/수광 높이 또는 각도를 조절하면서 기판 표면을 검사하게 되므로, 최적의 레이저 조사 및 수광 조건을 만족시켜, 정확한 기판 표면 검사를 수행할 수 있다.
또한, 본 발명은 높이 이동하면서 레이저를 조사/수광하는 구조에서 자칫 챔버의 높이가 높아지는 것을 고려하여, 높이 이동을 제한하고 제한된 높이에 도달하면, 레이저 조사/수광의 각도 조절을 통해 기판 표면을 검사하게 되므로, 높이 이동하면서 레이저를 조사/수광하는 구조에 따른 챔버의 크기 확장을 최소화할 수 있다.
또한, 본 발명은 비교적 공정시간이 긴 건조와 냉각공정에서 기판 표면을 검사하게 되므로, 미세하고 정밀한 표면검사가 진행될 수 있다.
본 발명을 설명하기에 앞서 기술의 이해를 돕도록 제시하는 첨부 도면 도 1은 본 발명의 실시예에 따른 구성을 간략히 도시한 단면도이고, 도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 구성을 보다 구체적으로 도시한 단면도이고, 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 주요부의 구성을 도시한 부분 확대 단면도이고, 도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 표면 검사 상태를 도시한 단면도이고, 도 6은 본 발명의 실 시예 중 각도조절부의 구성을 도시한 부분 확대 단면도이고, 도 7은 도 6의 동작 상태를 도시한 단면도이고, 도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 구성을 도시한 부분 확대 단면도이고, 도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 동작상태를 도시한 단면도이며, 도 10은 본 발명이 적용되는 다른 예를 간략히 도시한 단면도이다.
이와 같이 제시한 첨부 도면을 참고로 하여 본 발명을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 본 발명은 첨부 도면 도 1 내지 도 4에 도시된 바와 같이, 기판(G) 표면으로 빛을 조사하고 반사되는 상태를 파악하여 기판(G)의 표면 상태를 검사하는 기판 표면 검사장치(10)에 있어서, 기판 건조 또는 냉각용 챔버(1) 내에 수용되어 기판 건조가 진행되는 동안 위치변경하면서 정지된 기판(G) 표면으로 빛을 조사하고 반사되는 상태를 파악하는 광원부(11) 및 수광부(12)를 포함하여서 될 수 있다.
참고로, 상기 챔버(1) 내 중앙 부분에는 기판(G)을 가열 건조시키는 히터가 탑재된 핫플레이트를 포함하는 히팅부(2) 또는 가열된 기판(G)을 냉각시키는 열교환용 냉각수가 순환하는 쿨플레이트 또는 냉풍을 제공하는 팬(Fan)을 포함하는 쿨링부(3)가 마련될 수 있다.
여기서, 본 발명 중 상기 광원부(11)는 빛을 발생시키는 광발생수단(11a); 광발생수단(11a)을 상하 승강시키는 승강수단1(11b);을 포함하여 구성될 수 있다.
이때, 상기 광발생수단(11a)은 레이저광을 발생시켜 기판(G)의 폭에 대해 직선상으로 동시에 조사(照射)하는 레이저발생기일 수 있다.
또한, 상기 승강수단1(11b)은 광발생수단(11a)의 양단에 축설되어 모터 예컨 대, 스텝모터에 의해 회전하는 평기어와 평기어의 회전 이송 경로를 수직상으로 제공하는 렉기어 및 상기 평기어를 렉기어에 밀착시켜 이탈을 방지하는 가이더를 포함하여 구성될 수 있다.
이때, 상기 평기어와 렉기어는 치합되며, 가이더는 챔버(1)의 내측 일측 방향에서 광발생수단(11a)을 관통하여 수직으로 고정될 수 있다.
한편, 본 발명 중 상기 수광부(12)는 기판(G)을 가로질러 광발생수단(11a)의 반대 방향에 위치하여 반사되는 빛을 수집하는 광수집수단(12a); 광수집수단(12a)을 상하 승강시키는 승강수단2(12b); 광수집수단(12a)에서 수집된 빛의 신호를 사전에 설정 저장된 빛의 신호값과 비교하여 오차발생을 판단하는 수광신호판단수단(12c);을 포함하여 구성될 수 있다.
이때, 상기 광수집수단(12a)은 반사되면서 산란되는 레이저광을 수신하여 전기신호로 변환하는 광센서일 수 도 있고, 반사되면서 산란되는 레이저광을 촬영하는 CCD카메라일 수 도 있다.
이때, CCD카메라는 촬영된 영상신호에서 밝기 변화가 발생되면, 변화된 밝기 값이 사전에 설정된 기준값 또는 주변의 밝기 값과 비교하였을 때 오차범위에 포함되는지 여부를 비교하는 비교기를 포함할 수 도 있다.
이때, 상기 광센서는 빛이 입사되면 전기신호로 변환하는 광감응수단(光感應手段)일 수 있다.
또한, 상기 CCD카메라는 광량의 변화를 촬영하여 모니터를 통해 영상으로 출력할 수 있다.
또한, 상기 승강수단2(12b)는 광수집수단(12a)의 양단에 축설되어 모터 예컨대, 스텝모터에 의해 회전하는 평기어와 평기어의 회전 이송 경로를 수직상으로 제공하는 렉기어 및 상기 평기어를 렉기어에 밀착시켜 이탈을 방지하는 가이더를 포함하여 구성될 수 있다.
이때, 상기 평기어와 렉기어는 치합되며, 가이더는 챔버(1)의 내측 일측 방향에서 광수집수단(12a)을 관통하여 수직으로 고정될 수 있다.
또한, 상기 수광신호판단수단(12c)은 광수집수단(12a)에서 입력되는 빛에 대한 전기신호를 사전에 설정 저장된 기준값과 비교하여 오차발생을 판단하는 비교기일 수 있다.
이때, 상기 기준값은 정상적으로 수집되는 광량에 대해 사전에 저장된 평균값일 수 도 있고, 바로 직전에 수집된 광량에 대한 전기신호 값일 수 도 있다.
상기와 같이 바로 직전에 수집된 광량에 대한 전기신호 값이 기준값일 경우는 현재 입력되는 광량에 대한 전기신호의 변화가 있는지 여부를 판단하여 변화가 있으면, 그 부분에 파티클 내지는 스크래치 등이 존재함으로 판단하게 된다.
여기서, 본 발명은 광발생수단(11a)을 승강시키는 승강수단1(11b)과 광수집수단(12a)을 승강시키는 승강수단2(12b)는 높이에 대한 위치이동이 상호 반대로 동작하는 것이 바람직하다.
그리하여야만, 높이의 변경에 따라 광발생수단(11a)에서 발생된 빛이 기판(G)에 대해 입사/반사되는 부위의 위치가 변화하는 것을 따라서 광수집수단(12a)이 수집할 수 있기 때문이다.
그리고, 본 발명은 상기 챔버(1)의 건조 또는 냉각 동작 즉, 프로세싱시간과 온도(습도 포함) 및 압력을 제어하고, 프로세싱시간에 비례하여 상기 승강수단1,2(11b)(12b)의 승강 속도 및 방향을 제어하는 구동제어부(13)를 더 포함하여 구성될 수 있다.
그리되면, 챔버(1)의 건조 또는 냉각동작 시간에 대해 기판의 표면 검사를 분배하여 진행할 수 있다.
이와 같이 구성되는 본 발명은 첨부 도면 도 5에 도시된 바와 같이, 기판(G)이 챔버(1) 내로 인입되어 히팅부(2) 또는 쿨링부(3)에 안착 또는 간격을 두고 위치하면, 구동제어부(13)가 사전에 설정된 시간과 온도 및 압력으로 챔버(1)의 조건을 제어함과 동시에, 설정된 상기 시간에 대해 광발생수단(11a)과 승강수단1(11b) 및 광수집수단(12a)과 승강수단2(12b)의 동작 시간을 제어한다.
즉, 챔버(1) 내에서 기판(G)이 건조 또는 냉각되는 상태에서 구동제어부(13)의 제어신호에 의해 광발생수단(11a)이 동작하고, 광수집수단(12a)이 동작한다.
이때, 상기 승강수단1(11b)은 광발생수단(11a)을 챔버(1)의 상방에 위치(기판과 멀리 떨어진 위치)시키고, 승강수단2(12b)는 광수집수단(12a)을 챔버(1)의 하방에 위치(기판과 근접한 위치)시킨 상태에서 승강수단1(11b)은 하강 동작하고, 승강수단2(12b)는 상승 동작한다.
이때, 상기 광발생수단(11a)이 하강하게 되면, 광발생수단(11a) 자신이 위치한 기판(G)의 반대쪽 부분에서부터 자신이 위치한 부분으로 이동하면서 빛을 조사하여, 완전히 하강한 상태에서는 기판(G) 전체를 순차적으로 조사 완료하게 된다.
이때, 상기 광수집수단(12a)은 역으로 상승하면서 기판(G)으로부터 반사되어져 오는 빛을 수집하게 된다.
이와 같이 광발생수단(11a)이 기판(G)에 빛을 조사하면, 기판(G)은 빛을 반사시키게 되는데, 이때, 기판(G) 표면에 파티클이 잔류하거나, 스크래치(균열 포함)가 존재하면, 빛이 일정한 경로를 이탈하여 굴절하거나 빛이 산란하면서 광량의 변화가 발생하게 된다.
이러한, 빛의 굴절 및 광량의 변화는 광수집수단(12a)에 의해 수집 포착되며, 전기적인 신호 변화가 발생하여 수광신호판단수단(12c)으로 입력된다.
이와 같이, 수광신호판단수단(12c)으로 입력된 신호는 사전에 설정 저장된 기준값과 비교하여 오차발생을 판단하게 되는데, 상기 기준값이 정상적으로 수집되는 광량에 대해 사전에 저장된 평균값일 경우에는 기준 광량에 대한 전기신호와 현재 입력된 전기신호를 비교하여 정상으로 인정할 수 있는 오차범위 안에 포함되면 정상으로, 오차범위를 벗어나면 비정상으로 판단한다.
또한, 상기 기준값이 바로 직전에 수집된 광량에 대한 전기신호값 즉, 바로 직전에 기판(G)으로부터 반사되어 수집된 광량의 전기신호가 비교기를 통해 궤환(피드백)되어 기준값으로 작용할 경우에는 표면의 변화를 보다 정확하게 판단할 수 있다.
이와 같이, 본 발명은 건조단계에서 건조공정이 진행되는 동안 기판 표면의 이상 유무 즉, 파티클 존재여부 및 스크래치(균열) 발생여부를 동시에 수행함으로써, 건조단계 후 별도의 기판 표면 검사 수행단계를 생략하여, 제조 공정 및 제 조 시간을 단축시키고, 위치변경 즉, 레이저의 조사/수광 높이 또는 각도를 조절하면서 기판 표면을 검사하게 되므로, 최적의 레이저 조사 및 수광 조건을 만족시켜, 정확한 기판 표면 검사를 수행하며, 비교적 공정시간이 긴 건조와 냉각공정에서 기판 표면을 검사하게 되므로, 미세하고 정밀한 표면검사가 진행된다.
한편, 본 발명은 첨부 도면 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 광원부(11)의 광발생수단(11a) 및 수광부(12)의 광수집수단(12a)이 모터 예컨대, 스텝모터를 포함하는 각도조절수단1,2(11c)(12d)에 의해 회전 동작할 수 도 있다.
이와 같이 되면, 첨부 도면 도 7에 도시된 바와 같이, 상기 승강수단1(11b)은 광발생수단(11a)을 챔버(1)의 상방에 위치(기판과 멀리 떨어진 위치)시키고, 승강수단2(12b)는 광수집수단(12a)을 챔버(1)의 하방에 위치(기판과 근접한 위치)시킨 상태에서 승강수단1(11b)은 하강 동작하고, 승강수단2(12b)는 상승 동작하되, 광발생수단(11a)은 각도조절수단1(11c)에 의해 틸팅(Tilting)동작하면서 기판(G)에 대해 빛을 조사하며, 광수집수단(12a) 역시 각도조절수단2(12d)에 의해 틸팅 동작하면서 기판(G)으로부터 반사되어 오는 빗을 수광하게 된다.
이와 같이, 상기 광발생수단(11a)이 하강하면서 틸딩 동작을 반복하게 되면, 광발생수단(11a) 자신이 위치한 기판(G)의 반대쪽 부분에서부터 자신이 위치한 부분으로 이동하면서 빛을 조사하여, 완전히 하강한 상태에서는 기판(G) 전체를 순차적으로 조사하게 된다.
이와 같이 되면, 기판(G)의 길이 만큼에 비례하여 승강수단1,2(11b)(12b)의 높이가 높아지는 것을 최소화할 수 있다.
즉, 높이 이동하면서 레이저를 조사/수광하는 구조에서 자칫 챔버의 높이가 높아지는 것을 고려하여, 높이 이동을 제한하고 제한된 높이에 도달하면, 레이저 조사/수광의 각도 조절을 통해 기판 표면을 검사하게 되므로, 높이 이동하면서 레이저를 조사/수광하는 구조에 따른 챔버의 크기 확장을 최소화할 수 있다.
또 한편, 본 발명은 첨부 도면 도 8 및 도 9에 도시된 바와 같이, 챔버(1) 내에 위치하는 기판(G)의 상방에, 스텝모터에 의해 회전하는 평기어와 평기어의 회전 이송 경로를 수평상으로 제공하는 렉기어 및 상기 평기어를 렉기어에 밀착시켜 이탈을 방지하는 가이더를 포함하는 수평이송수단(14)에 상기 광발생수단(11)과 광수집수단(12)을 마련하여서 될 수 도 있다.
상기, 광발생수단(11)과 광수집수단(12)은 수평이송수단(14) 하단에 빛을 조사하고 조사된 빛이 기판(G)에 반사되어 수광되는 각도를 유지하면서 고정될 수 있다.
이와 같이 되면, 수평이송수단(14)이 광원부(11)와 수광부(12)를 기판(G)에 대해 좌우로 이송시키면서 기판 표면을 검사할 수 있으며, 이로 인해, 상기 광원부(11)와 수광부(12)가 수직으로 높이가 변경되는 구조보다 챔버(1)의 높이를 높게 확보하지 않아도 된다.
또 한편, 본 발명은 도 10에 도시된 바와 같이, 상기 수광부(12)가 기판(G) 상방의 챔버(1) 내측에 고정되어 기판(G) 표면에서 산란되는 빛을 수집하는 광수집수단2(12e); 상기 광수집수단2(12e)에서 수집된 빛의 신호를 사전에 설정 저장된 빛의 신호값과 비교하여 오차발생을 판단하는 수광신호판단수단2(12f);을 포함하여 구성돨 수 도 있다.
이때, 상기 광수집수단2(12e)는 반사되면서 산란되는 레이저광을 수신하여 전기신호로 변환하는 광센서일 수 도 있고, 반사되면서 산란되는 레이저광을 촬영하는 CCD카메라일 수 도 있다.
또한, 상기 수광신호판단수단2(12f)는 광수집수단2(12e)에서 입력되는 빛에 대한 전기신호를 사전에 설정 저장된 기준값과 비교하여 오차발생을 판단하는 비교기일 수 도 있고, 광수집수단2(12e)에서 입력되는 빛에 대한 전기신호의 변화 유무를 비교하여 판단하는 비교기를 포함하여 구성될 수 도 있고, 광수집수단2(12e)에서 입력되는 빛에 대한 영상신호를 사전에 설정 저장된 기준값과 비교하여 오차발생을 판단하는 비교기를 포함하여 구성될 수 도 있고, 광수집수단2(12e)에서 입력되는 빛에 대한 영상신호의 변화 유무를 비교하여 판단하는 비교기를 포함하여 구성될 수 도 있다.
이때, 상기 CCD카메라는 촬영된 영상신호에서 밝기 변화가 발생되면, 변화된 밝기 값이 사전에 설정된 기준값 또는 주변의 밝기 값과 비교하였을 때 오차범위에 포함되는지 여부를 비교하는 비교기를 포함할 수 도 있다.
또한, 본 발명에서 언급된 비교기들 역시, 입력되는 전기신호 또는 촬영된 영상신호에서 레벨변화 또는 밝기 변화가 발생되면, 변화된 값이 사전에 설정된 기준값 또는 주변의 밝기 값과 비교하였을 때 오차범위에 포함되는지 여부를 비교하는 동작을 수행할 수 있다.
본 발명인 기판 표면 검사장치(10)는 기판 건조 또는 냉각용 챔버에 적용된 것이 특징이나, 건조와 냉각을 하나의 챔버장치에서 수행하는 즉, 첨부 도면 도 11에 도시된 바와 같은 다층용 챔버에 적용할 수 도 있다.
이때, 본 발명인 기판 표면 검사장치(10)는 냉각용 챔버층에만 적용될 수 도 있으나, 전 층에 모두 적용될 수 도 있다.
또한, 본 발명에서는 출력장치를 별도로 도시하지는 않았으나, 상기 광수집수단(12a) 또는 광수집수단2(12e)에서 수집된 신호가 모니터 또는 스피커와 같은 A/V출력장치를 통해 출력될 수 도 있고, 수광신호판단수단(12c) 또는 수광신호판단수단2(12f)에서 처리된 신호가 모니터 또는 스피커와 같은 A/V출력장치를 통해 출력될 수 도 있어, 출력장치를 통해 출력되는 수치를 확인하여 검사하거나, 출력장치를 통해 출력되는 영상을 작업자가 목시(目視 ; 육안 확인)하여 검사할 수 도 있다.
이상, 본 발명을 본 발명의 원리를 예시하기 위한 바람직한 실시예와 관련하여 설명하고 도시하였지만, 본 발명은 그와 같이 도시되고 설명된 그대로의 구성 및 작용으로 한정되는 것이 아니다.
오히려, 첨부된 청구범위의 사상 및 범주를 일탈함이 없이 본 발명에 대한 다수의 변경 및 수정이 가능함을 당업자들은 잘 이해할 수 있을 것이다.
따라서, 그러한 모든 적절한 변경 및 수정과 균등물들도 본 발명의 범위에 속하는 것으로 간주되어야 할 것이다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 구성을 간략히 도시한 단면도.
도 2 및 도 3은 본 발명의 실시예에 따른 구성을 보다 구체적으로 도시한 단면도.
도 4는 본 발명의 실시예에 따른 주요부의 구성을 도시한 부분 확대 단면도.
도 5는 본 발명의 실시예에 따른 기판 표면 검사 상태를 도시한 단면도.
도 6은 본 발명의 실시예 중 각도조절부의 구성을 도시한 부분 확대 단면도.
도 7은 도 6의 동작 상태를 도시한 단면도.
도 8은 본 발명의 다른 실시예에 따른 구성을 도시한 부분 확대 단면도.
도 9는 본 발명의 다른 실시예에 따른 동작상태를 도시한 단면도.
도 10은 본 발명의 또 다른 실시예에 따른 구성을 도시한 단면도.
도 11은 본 발명이 적용되는 예를 간략히 도시한 단면도.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
10 : 기판 표면 검사장치 11 : 광원부
11a : 광발생수단 11b : 승강수단1
11c : 각도조절수단1 12 : 수광부
12a,12e : 광수집수단 12b : 승강수단2
12c,12f : 수광신호판단수단 12d : 각도조절수단2
13 : 구동제어부 14 : 수평이동수단
1 : 챔버 2,3 : 히팅부, 쿨링부
G : 기판

Claims (27)

  1. 기판이 건조되거나 또는 냉각되는 공간을 형성하는 챔버(1);
    상기 챔버(1)내에 구비되며, 챔버(1) 내의 정지된 기판(G)의 표면을 향해 빛을 조사하고 반사되는 빛을 수광하도록 구비되며 적어도 어느 하나는 챔버 내에서 위치가 변경되도록 이루어지는 광원부(11)와 수광부(12);
    상기 광원부(11) 및 수광부(12)의 위치변경속도 및 방향을 제어하는 구동제어부(13);
    를 포함하여 이루어져, 상기 기판(G) 표면으로 빛을 조사하고 반사되는 상태를 파악하여 기판(G)의 표면 상태를 검사하는 기판 표면 검사장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 챔버(1) 내 중앙 부분에는 기판(G)을 가열 건조시키는 히터가 탑재된 핫플레이트를 포함하는 히팅부(2)가 설치됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 챔버(1) 내 중앙 부분에는 가열된 기판(G)을 냉각시키는 열교환용 냉각수가 순환하는 쿨플레이트 또는 냉풍을 제공하는 팬을 포함하는 쿨링부(3)가 설치됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  4. 제 1항에 있어서, 상기 기판(G)은 엘씨디 글라스임을 특징으로 하는 기판 표 면 검사장치.
  5. 제 1항에 있어서, 상기 광원부(11)는 빛을 발생시키는 광발생수단(11a); 광발생수단(11a)을 상하 승강시키는 승강수단1(11b);을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 광발생수단(11a)은 레이저광을 발생시켜 기판(G)에 대해 경사지게 조사하는 레이저발생기임을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  7. 제 5항에 있어서, 상기 승강수단1(11b)은 광발생수단(11a)의 양단에 축설되어, 스텝모터에 의해 회전하는 평기어와 평기어의 회전 이송 경로를 수직상으로 제공하는 렉기어 및 상기 평기어를 렉기어에 밀착시켜 이탈을 방지하는 가이더를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  8. 제 1항에 있어서, 상기 수광부(12)는 기판(G)을 가로질러 광발생수단(11a)의 반대 방향에 위치하여 반사되는 빛을 수집하는 광수집수단(12a); 광수집수단(12a) 을 상하 승강시키는 승강수단2(12b); 광수집수단(12a)에서 수집된 빛의 신호를 사전에 설정 저장된 빛의 신호값과 비교하여 오차발생을 판단하는 수광신호판단수단(12c);을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  9. 제 8항에 있어서, 상기 광수집수단(12a)은 반사되면서 산란되는 레이저광을 수신하여 전기신호로 변환하는 광센서임을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  10. 제 8항에 있어서, 상기 광수집수단(12a)은 반사되면서 산란되는 레이저광을 촬영하는 CCD카메라임을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  11. 제 8항에 있어서, 상기 승강수단2(12b)는 광수집수단(12a)의 양단에 축설되어, 스텝모터에 의해 회전하는 평기어와 평기어의 회전 이송 경로를 수직상으로 제공하는 렉기어 및 상기 평기어를 렉기어에 밀착시켜 이탈을 방지하는 가이더를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  12. 제 8항에 있어서, 상기 수광신호판단수단(12c)은 광수집수단(12a)에서 입력 되는 빛에 대한 전기신호를 사전에 설정 저장된 기준값과 비교하여 오차발생을 판단하는 비교기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  13. 제 8항에 있어서, 상기 수광신호판단수단(12c)은 광수집수단(12a)에서 입력되는 빛에 대한 전기신호의 변화 유무를 비교하여 판단하는 비교기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  14. 제 8항에 있어서, 상기 수광신호판단수단(12c)는 광수집수단(12a)에서 입력되는 빛에 대한 영상신호를 사전에 설정 저장된 기준값과 비교하여 오차발생을 판단하는 비교기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  15. 제 8항에 있어서, 상기 수광신호판단수단(12c)는 광수집수단(12a)에서 입력되는 빛에 대한 영상신호의 변화 유무를 비교하여 판단하는 비교기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  16. 제 1항에 있어서, 상기 구동제어부(13)는, 상기 챔버(1)의 건조 또는 냉각에 따른 프로세싱시간과 온도 및 압력을 제어하고, 프로세싱시간에 비례하여 상기 광원부(11)에 포함되는 승강수단1(11b)와 수광부(12)에 포함되는 승강수단2(12b)의 위치변경 속도 및 방향을 제어하도록 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  17. 제 1항에 있어서, 상기 광원부(11)에 포함되어 레이저광을 발생시켜 기판(G)에 대해 경사지게 조사하는 광발생수단(11a) 및 수광부(12)에 포함되어 반사되는 빛을 수집하는 광수집수단(12a)을 스텝모터를 포함하는 각도조절수단1,2(11c)(12d)가 각각 회전 동작시켜서 됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  18. 제 1항에 있어서, 상기 챔버(1) 내에 위치하는 기판(G)의 상방에, 스텝모터에 의해 회전하는 평기어와 평기어의 회전 이송 경로를 수평상으로 제공하는 렉기어 및 상기 평기어를 렉기어에 밀착시켜 이탈을 방지하는 가이더를 포함하는 수평이송수단(14)에 상기 광원부(11)에 포함되어 레이저광을 발생시켜 하방의 기판(G)에 대해 직하방으로 조사하는 광발생수단(11a) 및 수광부(12)에 포함되어 반사되는 빛을 수집하는 광수집수단(12a)을 마련하여서 됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  19. 제 1항에 있어서, 상기 광원부(11)와 수광부(12)는 건조와 냉각을 하나의 챔버장치에서 수행하는 다층 챔버에 설치됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  20. 제 19항에 있어서, 상기 광원부(11)와 수광부(12)는 다층 챔버 중 냉각챔버에 설치됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  21. 제 1항에 있어서, 상기 수광부(12)는 기판(G) 상방의 챔버(1) 내측에 고정되어 기판(G) 표면에서 산란되는 빛을 수집하는 광수집수단2(12e); 상기 광수집수단2(12e)에서 수집된 빛의 신호를 사전에 설정 저장된 빛의 신호값과 비교하여 오차발생을 판단하는 수광신호판단수단2(12f);을 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  22. 제 21항에 있어서, 상기 광수집수단2(12e)는 반사되면서 산란되는 레이저광을 수신하여 전기신호로 변환하는 광센서임을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  23. 제 21항에 있어서, 상기 광수집수단2(12e)는 반사되면서 산란되는 레이저광을 촬영하는 CCD카메라임을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  24. 제 21항에 있어서, 상기 수광신호판단수단2(12f)는 광수집수단2(12e)에서 입력되는 빛에 대한 전기신호를 사전에 설정 저장된 기준값과 비교하여 오차발생을 판단하는 비교기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
  25. 제 21항에 있어서, 상기 수광신호판단수단2(12f)는 광수집수단2(12e)에서 입력되는 빛에 대한 전기신호의 변화 유무를 비교하여 판단하는 비교기를 포함하여 구성됨을 특징으로 하는 기판 표면 검사장치.
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