KR101014659B1 - Fluid ejection apparatus - Google Patents
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Abstract
본 발명은 내부를 가시할 수 있는 유체 토출장치에 관한 것으로, 유체 토출장치는 투명 재질의 몸체; 상기 몸체 내부에 마련되어 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부; 및 상기 유체 수용부로부터 공급되는 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿 노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성에 의하여 본 발명은 몸체 내부의 유체 수용부 및 슬릿을 외부에서 가시할 수 있어 유체 흐름 막힘, 이물질의 축적 등의 노즐 내부의 불량을 간단하게 검출할 수 있는 효과를 제공할 수 있다.The present invention relates to a fluid discharge device that can be visible inside, the fluid discharge device comprises a body of a transparent material; A fluid receiving part provided inside the body to receive a fluid supplied from the outside; And a slit nozzle for discharging the fluid supplied from the fluid accommodating part to the outside. By such a configuration, the present invention can provide a fluid receiving portion and a slit inside the body from the outside, thereby providing an effect of simply detecting a defect in the nozzle, such as a blockage of fluid, accumulation of foreign matter, and the like.
노즐, 유체, 투명, 립, 슬릿 Nozzle, fluid, transparent, lip, slit
Description
본 발명은 유체 토출장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 내부를 가시할 수 있는 유체 토출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid discharge device, and more particularly, to a fluid discharge device that can be visible inside.
도 1a는 종래의 유체 토출장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 1b는 도 1a의 A-A 라인의 단면을 나타내는 단면도이다.FIG. 1A is a view for explaining a conventional fluid discharge device, and FIG. 1B is a cross-sectional view illustrating a cross section taken along the line A-A of FIG. 1A.
도 1a 및 도 1b를 참조하면, 종래의 유체 토출장치(10)는 몸체(12); 유체 수용부(14); 및 노즐(16)을 포함하여 구성된다.1A and 1B, a conventional
몸체(12)는 스테인리스와 같은 불투명한 금속재질로 형성된다.The
유체 수용부(14)는 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(30)를 수용함과 아울러 유체 공급장치로부터 공급되는 유체(30)의 압력에 따라 수용된 유체(30)를 노즐(16)로 공급한다.The
노즐(16)은 유체 수용부(14)로부터 공급되는 유체(30)를 기판(20) 상에 토출하여 기판(20) 상에 막(32)을 형성한다.The
이와 같은, 종래의 액 토출장치(10)는 기판(20) 상에서 일정한 방향으로 이동하면서 기판(20) 제조공정에 상응하는 유체(30)를 기판(20) 상에 토출함으로써 기판(20) 상에 막(32)을 형성한다.As described above, the conventional liquid ejecting
상술한 종래의 유체 토출장치(10)에서는 유체(30)에 포함된 기포 및/또는 이물질 등에 의해 토출 불량 및 유체 흐름 막힘 등의 불량이 발생하게 된다. 그러나, 종래의 유체 토출장치(10)는 불명투명한 금속재질로 형성되기 때문에 몸체(10) 내부를 관찰할 수 없으므로, 상기의 불량 발생시 몸체(10)를 해체하여 확인하여야만 하는 문제점이 있다.In the above-described conventional
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 내부를 가시할 수 있는 유체 토출장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and it is a technical object of the present invention to provide a fluid discharge device that can see the inside.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유체 토출장치는 투명 재질의 몸체; 상기 몸체 내부에 마련되어 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부; 및 상기 유체 수용부로부터 공급되는 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿 노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Fluid discharge device of the present invention for achieving the above object is a body of a transparent material; A fluid receiving part provided inside the body to receive a fluid supplied from the outside; And a slit nozzle for discharging the fluid supplied from the fluid accommodating part to the outside.
상기 슬릿 노즐은 상기 유체 수용부에 연통된 슬릿; 및 상기 슬릿의 토출구로부터 경사진 경사면을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The slit nozzle includes a slit in communication with the fluid receiving portion; And an inclined surface inclined from the discharge port of the slit.
상기 유체 토출장치는 상기 토출구 및 상기 경사면에 설치되어 상기 슬릿 노즐을 보호하는 노즐 보호부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The fluid discharge device is characterized in that it further comprises a nozzle protection member installed on the discharge port and the inclined surface to protect the slit nozzle.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 유체 토출장치는 외부로부터 공급되는 유체 를 수용하는 유체 수용부 및 상기 유체 수용부에 수용된 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿 노즐을 가지는 제 1 립(Lip); 및 상기 제 1 립에 결합되는 제 2 립을 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 립 중 적어도 하나는 투명 재질인 것을 특징으로 한다.In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a fluid ejecting apparatus including: a first lip having a fluid accommodating part accommodating a fluid supplied from the outside and a slit nozzle discharging the fluid contained in the fluid accommodating part to the outside; And a second lip coupled to the first lip, wherein at least one of the first and second lips is a transparent material.
상기 제 1 및 제 2 립 각각은 상기 슬릿 노즐의 토출구로부터 경사진 경사면을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Each of the first and second ribs may include an inclined surface inclined from the discharge port of the slit nozzle.
상기 유체 토출장치는 상기 제 1 및 제 2 립 중 투명 재질로 형성된 립의 상기 토출구 및 상기 경사면에 설치되어 상기 슬릿 노즐을 보호하는 노즐 보호부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The fluid discharge device may further include a nozzle protection member installed at the discharge port of the lip formed of the transparent material among the first and second lips and the inclined surface to protect the slit nozzle.
상기 노즐 보호부재는 금속재질인 것을 특징으로 한다.The nozzle protection member is characterized in that the metal material.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 유체 토출장치는 불투명 재질의 몸체; 투명 재질로 형성되어 상기 몸체에 삽입됨과 아울러 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부; 및 상기 유체 수용부로부터 공급되는 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿 노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Fluid ejection apparatus according to another embodiment of the present invention comprises a body of opaque material; A fluid receiving part formed of a transparent material and inserted into the body and receiving a fluid supplied from the outside; And a slit nozzle for discharging the fluid supplied from the fluid accommodating part to the outside.
본 발명의 다른 실시 예에 따른 유체 토출장치는 불투명 재질로 형성되어 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿을 가지는 제 1 립; 투명 재질로 형성되어 상기 제 1 립에 삽입되는 유체 수용부; 및 상기 제 1 립에 결합되는 제 2 립을 포함하며, 상기 유체 수용부는 외부로부터 공급되는 유체를 수용함과 아울러 수용된 유체를 상기 슬릿에 공급하는 것을 특징으로 한다.A fluid discharge device according to another embodiment of the present invention is formed of an opaque material having a slit for discharging the fluid to the outside; A fluid receiving part formed of a transparent material and inserted into the first lip; And a second lip coupled to the first lip, wherein the fluid receiving part receives the fluid supplied from the outside and supplies the received fluid to the slit.
상기 유체 수용부는 상기 투명 재질로 형성된 블록; 및 상기 제 2 립과 마주보도록 상기 블록에 내면에 오목하게 형성됨과 아울러 상기 슬릿에 연통되는 유체 수용홈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The fluid receiving unit is a block formed of the transparent material; And a fluid receiving groove which is concave on the inner surface of the block to face the second lip and communicates with the slit.
상기 유체 토출장치는 상기 제 1 립과 상기 블록 사이를 밀봉하기 위한 밀봉부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The fluid discharge device is characterized in that it further comprises a sealing member for sealing between the first lip and the block.
상기 투명 재질은 석영 또는 아크릴 재질인 것을 특징으로 한다.The transparent material is characterized in that the quartz or acrylic material.
상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 본 발명은 몸체의 전체 또는 일부를 투명한 재질로 형성함으로써 몸체 내부의 유체 수용부 및 슬릿을 외부에서 가시할 수 있어 유체 흐름 막힘, 이물질의 축적 등의 노즐 내부의 불량을 간단하게 검출할 수 있는 효과를 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, the present invention can form the whole or part of the body made of a transparent material so that the fluid receiving portion and the slit inside the body can be visible from the outside, thereby preventing the flow of fluid, accumulation of foreign matter, etc. It is possible to provide an effect of simply detecting a defect.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.
도 2는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 유체 토출장치(110)를 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 도 2의 B-B 라인의 단면을 나타내는 단면도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 유체 토출장치(110)는 투명 재질로 형성된 몸체(112); 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(130)를 수용하는 유체 수용부(114); 및 유체 수용부(114)와 연통되어 유체(130)를 기판(120) 상에 형성하는 슬릿 노즐(116)을 포함하여 구성된다.2 and 3, the
몸체(112)는 투명한 재질로 형성된다. 예를 들어, 몸체(12)는 석영(Quartz) 또는 아크릴(Acrylic) 등이 될 수 있다.The
이러한, 몸체(112)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 투명한 재질로 이루어진 제 1 및 제 2 립(Lip)(112a, 112b)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 3, the
제 1 립(112a)은 유체 수용홈(114a); 및 제 1 노즐부(117)를 포함하여 구성된다.The
제 1 노즐부(117)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 립(112a)의 하단부에 수평하게 마련된 제 1 토출부(117a); 제 1 토출부(117a)로부터 일정한 기울기(θ1)를 가지도록 경사진 제 1 경사면(117b); 및 제 1 토출부(117a)와 유체 수용부(114) 사이에 형성된 슬릿(117c)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 4, the
제 1 경사면(117b)은 제 1 토출부(117a)로부터 60도 정도의 기울기를 가질 수 있다.The first
슬릿(117c)은 제 1 토출부(117a)와 유체 수용부(114)에 연통되도록 제 1 립(112a)의 내면으로부터 일정한 깊이로 형성된다.The
유체 수용홈(114a)은 제 2 립(112b)과 마주보도록 제 1 립(112a)의 내면(113a)으로부터 오목하게 형성된다. 이때, 유체 수용홈(114a)은 유체에 포함된 기포가 상부 쪽으로 유동되거나, 유체에 포함된 이물질이 하부 쪽으로 유동될 수 있도록 중앙부를 기준으로 일정한 각도(θ2)로 경사지게 형성될 수 있다. 예를 들어, 유체 수용홈(114a)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 중앙부를 기준으로 아래쪽으로 2 ~ 7도 정도의 기울기를 가지도록 빗살 형태를 형성될 수 있다.The
한편, 제 1 립(112a)에는 유체 수용홈(114a)의 중앙, 좌측, 우측 중 적어도 하나에 연통되도록 형성된 적어도 하나의 벤트 홀(Vent Hole)(115a, 115b, 115c)이 형성될 수 있다. 이러한, 적어도 하나의 벤트 홀(115a, 115b, 115c)은 유체 수용 홈(114a)에 공급된 유체에 포함된 기포를 외부로 배출시킨다.Meanwhile, at least one
제 2 립(112b)은 제 2 노즐부(118); 및 슬릿 노즐(116)의 갭(G)을 조정하기 위한 갭 조정부(119)를 포함하여 구성된다. 여기서, 제 1 립(112a)과 마주보는 제 2 립(112b)의 내면(113b)은 평면 형태로 형성된다.The
제 2 노즐부(118)는 제 2 립(112b)의 하단부에 수평하게 마련된 제 2 토출부(118a); 및 제 2 토출부(118a)로부터 일정한 기울기를 가지도록 경사진 제 2 경사면(118b)을 포함하여 구성된다.The
제 2 토출부(118a)는 제 1 토출부(117a)와 같은 폭으로 형성되거나 일정한 비율로 작게 형성될 수 있다.The
제 2 경사면(118b)은 제 2 토출부(118a)로부터 60도 정도의 기울기를 가질 수 있다.The second
갭 조정부(119)는 제 2 립(112b)의 외면으로부터 오목하게 형성된 갭 조정홈(119a); 갭 조정홈(119b)에 삽입된 체결부재(119b); 및 체결부재(119b)에 체결되어 슬릿 노즐(116)의 갭(G)을 조정하는 갭 조정 볼트(119c)를 포함하여 구성된다. 이러한, 갭 조정부(119)는 갭 조정 볼트(119c)의 회전에 의한 체결부재(119b)와의 체결에 따라 제 2 노즐부(118)의 제 2 토출부(118a)를 제 1 노즐부(117)에 근접시키거나 이격시킴으로써 슬릿 노즐(116)의 토출구의 갭(G)을 조정한다.The
유체 수용부(114)는 제 1 및 제 2 립(112a, 112b)의 형합에 의해 제 1 립(112a)의 유체 수용홈(114a)와 제 2 립(112b)의 내면(113a) 사이에 마련된다. 이러한, 유체 수용부(114)는 제 1 및 제 2 립(112a, 112b) 중 적어도 하나에 형성 된 유체 공급홀(미도시)을 통해 유체 공급장치로부터 공급되는 유체(130)를 수용한다. 이러한, 유체 수용부(114)는 상술한 바와 같이 중앙부를 기준으로 일정한 각도(θ2)로 경사지게 형성된다.The
슬릿 노즐(116)은 제 1 립(112a)의 제 1 노즐부(117)와 제 2 립(112b)의 제 2 노즐부(118)의 결합에 의해 마련됨으로써 제 1 립(112a)에 형성된 슬릿(117c)을 통해 유체 수용부(114)로부터 공급되는 유체(130)를 토출한다.The
한편, 상술한 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 유체 토출장치(110)에서는 몸체(110)를 구성하는 제 1 및 제 2 립(112a, 112b) 모두를 투명 재질로 형성하였으나, 이에 한정되지 않고, 몸체(110) 내부를 가시할 수 있는 범위 내에서 제 1 및 제 2 립(112a, 112b) 중 적어도 하나를 투명 재질로 형성할 수 있다.Meanwhile, in the
이와 같은, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 유체 토출장치(110)는 몸체(112)를 투명한 재질로 형성함으로써 몸체(112) 내부의 유체 수용부(114) 및 슬릿(117c)을 외부에서 가시할 수 있어 유체 흐름 막힘, 이물질의 축적 등의 노즐 내부의 불량을 간단하게 검출할 수 있다.As such, the
도 5는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 유체 토출장치(210)를 설명하기 위한 사시도이고, 도 6은 도 5의 D-D 라인의 단면을 나타내는 단면도이다.5 is a perspective view illustrating a
도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 유체 토출장치(210)는 투명 재질로 형성된 몸체(112); 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(130)를 수용하는 유체 수용부(114); 유체 수용부(114)와 연통되어 유체(130)를 기판(120) 상에 형성하는 슬릿 노즐(116); 및 슬릿 노즐(116)의 외부를 배치된 노즐 보호부재(220) 를 포함하여 구성된다. 이러한 구성의 유체 토출장치(210)는 노즐 보호부재(220)를 제외하고는 상술한 제 1 실시 예와 동일한 구성을 가지므로, 동일한 구성에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.5 and 6, the
노즐 보호부재(220)는 슬릿 노즐(116)에 설치되어 외부 충격 또는 유체(130)에 포함된 이물질에 의한 노즐 토출구의 손상을 방지함으로써 노즐 토출구의 손상에 의해 기판(120) 상에 형성되는 막(132)의 불량을 방지한다. 이를 위해, 노즐 보호부재(220)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성될 수 있다.The
한편, 노즐 보호부재(220)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 노즐 보호부재(220a, 220b)를 포함하여 구성될 수 있다.Meanwhile, as illustrated in FIG. 6, the
제 1 노즐 보호부재(220a)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성되어 제 1 노즐부(117)의 제 1 토출부(117a)과 제 1 경사면(117b)에 설치된다. 제 2 노즐 보호부재(220b)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성되어 제 2 노즐부(118)의 제 2 토출부(118a)과 제 2 경사면(118b)에 설치된다.The first
다른 한편으로, 노즐 보호부재(220)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 슬릿 노즐(116)의 노출 토출구에 대응되는 홀(222)을 포함하도록 슬릿 노즐(116)과 동일한 형태를 가지도록 일체형으로 형성되어 몸체(112)에 설치될 수도 있다.On the other hand, the
도 8은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 유체 토출장치(310)를 설명하기 위한 단면도이다.8 is a cross-sectional view for describing a
도 8을 참조하면, 유체 토출장치(310)는 불투명한 금속재질의 제 1 립(112a) 및 투명한 재질의 제 2 립(112b)으로 구성된 몸체(112); 외부의 유체 공급장치(미 도시)로부터 공급되는 유체(130)를 수용하는 유체 수용부(114); 유체 수용부(114)와 연통되어 유체(130)를 기판(120) 상에 형성하는 슬릿 노즐(116); 및 제 2 립(112b)의 제 2 노즐부(118)에 설치되어 슬릿 노즐(116)을 보호하는 노즐 보호부재(320)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성의 유체 토출장치(310)는 몸체(112)와 노즐 보호부재(320)를 제외하고는 상술한 제 1 또는 제 2 실시 예와 동일한 구성을 가지므로, 동일한 구성에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.Referring to FIG. 8, the
몸체(112)는 제 1 립(112a)을 불투명한 금속재질로 형성하고, 제 2 립(112b)을 투명한 재질로 형성하는 것을 제외하고는 상술한 실시 예와 동일한 구성을 갖는다. 다만, 제 2 립(112b)의 제 2 토출부(118a)는 노즐 보호부재(320)의 높이로 인하여 제 1 립(112a)의 제 1 토출부(117a)와 단차지지 않도록 제 1 립(112a)의 제 1 토출부(117a)보다 낮은 높이로 형성된다.The
노즐 보호부재(320)는 제 2 노즐부(118)의 제 2 토출부(118a)와 제 2 경사면(118b)에 설치된다. 이때, 노즐 보호부재(320)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성되거나, 제 1 립(112a)과 동일한 재질로 형성될 수 있다. 이러한, 노즐 보호부재(320)의 하단부는 제 1 립(112a)의 제 1 토출부(117a)와 동일한 수평면을 이루게 된다.The
한편, 본 발명의 제 3 실시 예에서 몸체(112)는 불투명한 금속재질의 제 1 립(112a) 및 투명한 재질의 제 2 립(112b)으로 구성되었으나, 이에 한정되지 않고, 투명 재질의 제 1 립(112a) 및 불투명한 재질의 제 2 립(112b)으로 구성될 수 있으며, 이 경우 노즐 보호부재(320)는 투명 재질의 제 1 립(112a)을 구성하는 제 1 노 즐부(117)의 제 1 토출부(117a)와 제 1 경사면(117b)에 설치될 수 있다.Meanwhile, in the third embodiment of the present invention, the
도 9는 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 유체 토출장치(410)를 설명하기 위한 단면도이고, 도 10은 도 9의 E-E 라인의 단면을 나타내는 단면도이다.9 is a cross-sectional view for describing a
도 9 및 도 10을 참조하면, 유체 토출장치(310)는 몸체(412); 투명 재질로 형성되어 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(130)를 수용하는 유체 수용(414); 및 유체 수용부(414)와 연통되어 유체(130)를 기판(120) 상에 형성하는 슬릿 노즐(116)을 포함하여 구성된다.9 and 10, the
몸체(412)는 불투명한 금속 재질, 예를 들어 스테인리스 재질로 형성될 수 있다. 이러한, 몸체(112)는 제 1 및 제 2 립(412a, 412b)을 포함하여 구성된다.The
제 1 립(412a)은 유체 수용부 삽입홈(414a); 및 제 1 노즐부(117)를 포함하여 구성된다.The
유체 수용부 삽입홈(414a)은 유체 수용부(414)가 삽입되어 밀봉될 수 있도록 제 1 립(412a)에 형성된다. 이때, 유체 수용홈 삽입홈(414a)에는 외부로의 유체 공급장치로부터 공급되는 유체를 유체 수용부(414)로 공급하기 위한 유체 공급홀(미도시)에 연통된다.The fluid receiving
제 1 노즐부(117)는 상술한 본 발명의 제 1 실시 예에 동일하게 제 1 토출부(117a); 제 1 경사면(117b); 및 슬릿(117c)을 포함하여 구성되므로 이들에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.The
유체 수용부(414)는, 도 11에 도시된 바와 같이, 블록(500); 및 유체 수용홈(510)을 포함하여 구성된다.The
블록(500)은 제 1 립(412a)의 유체 수용부 삽입홈(414a)에 삽입 가능하도록 석영 또는 아크릴 등의 투명 재질로 형성된다. 이때, 블록(500)과 유체 수용부 삽입홈(414a) 사이의 밀봉을 위하여, 블록(500)은 억지끼움 방식으로 유체 수용부 삽입홈(414a)에 삽입되어 유체 수용부 삽입홈(414a)에 형합된다.The
한편, 블록(500)과 유체 수용부 삽입홈(414a) 사이의 밀봉을 위하여, 블록(500)과 유체 수용부 삽입홈(414a) 각각의 형합부는 도 12에 도시된 바와 같이 계단 형태로 형성될 수 있다.On the other hand, for sealing between the
다른 한편, 블록(500)과 유체 수용부 삽입홈(414a) 사이의 밀봉을 위하여, 블록(500)과 유체 수용부 삽입홈(414a) 사이에는 도 13에 도시된 바와 같이 밀봉부재(540)가 설치될 수 있다. 여기서, 밀봉부재(540)는 오-링(O-Ring)이 될 수 있다.On the other hand, for sealing between the
도 11에서, 유체 수용홈(510)은 슬릿 노즐(116)의 슬릿(117c)에 연통됨과 아울러 제 1 립(412b)에 마주보도록 블록(500)의 내면에 오목하게 형성된다. 이때, 유체 수용홈(510)은 상술한 제 1 실시 예와 동일하게 중앙부를 기준으로 일정한 각도로 경사지게 형성될 수 있다.In FIG. 11, the
한편, 블록(500))에는 유체 수용홈(510)의 중앙, 좌측, 우측 중 적어도 하나에 연통됨과 아울러 몸체(412)에 형성된 적어도 하나의 벤트 홀(115a, 115b, 115c)에 연통되는 적어도 하나의 관통 홀(530a, 530b, 530c)이 형성될 수 있다. 이러한, 적어도 하나의 관통 홀(530a, 530b, 530c)은 유체 수용홈(510)에 공급된 유체에 포함된 기포를 벤트 홀(115a, 115b, 115c)을 통해 외부로 배출시킨다.On the other hand, the
슬릿 노즐(116)은 상술한 제 1 실시 예와 동일하므로 이에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.Since the
이와 같은, 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 유체 토출장치(410)는 몸체(412)에 투명 재질의 블록 형태를 가지는 유체 수용부(414)를 삽입함으로써 몸체(112) 내부를 외부에서 가시할 수 있어 유체 흐름 막힘, 이물질의 축적 등의 노즐 내부의 불량을 간단하게 검출할 수 있으며, 노즐 불량시 유체 수용부(414)만을 교체하면 되므로 유지 보수를 단순화할 수 있다.As such, the
상술한 바와 같은 본 발명의 실시 예들에 따른 유체 토출장치는 액정 표시장치를 포함하는 평판 표시장치 또는 반도체 소자 등의 제조 공정 중 기판 패터닝 공정시 유체를 토출하여 기판 상에 막을 형성하기 위한 공정에 적용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 유체 토출장치는 노즐을 통해 유체를 토출시키는 과정을 포함하는 잉크젯 프린팅(Inkjet Printing), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스핀 코팅(Spin Coating), 및 롤러 코팅(Roller Coating) 등에 적용될 수 있다.The fluid discharge device according to the embodiments of the present invention as described above is applied to a process for forming a film on a substrate by discharging the fluid during the substrate patterning process of a flat panel display or a semiconductor device including a liquid crystal display Can be. For example, the fluid ejection apparatus of the present invention includes inkjet printing, slit coating, spin coating, and roller coating, which include discharging fluid through a nozzle. And the like.
본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those skilled in the art to which the present invention pertains will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features. Therefore, it is to be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention. do.
도 1a는 종래의 유체 토출장치를 설명하기 위한 도면.1A is a view for explaining a conventional fluid discharge device.
도 1b는 도 1a의 A-A 라인의 단면을 나타내는 단면도.FIG. 1B is a sectional view of a section A-A of FIG. 1A. FIG.
도 2는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.2 is a perspective view for explaining a fluid discharge device according to a first embodiment of the present invention.
도 3은 도 2의 B-B 라인의 단면을 나타내는 단면도.3 is a cross-sectional view showing a section of the B-B line of FIG.
도 4는 도 2의 C-C 라인의 단면을 나타내는 단면도.4 is a cross-sectional view showing a section of the C-C line of FIG.
도 5는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.5 is a perspective view for explaining a fluid discharge device according to a second embodiment of the present invention.
도 6은 도 5의 D-D 라인의 단면을 나타내는 단면도.FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a cross section of the D-D line of FIG. 5. FIG.
도 7은 본 발명의 실시 예에 다른 실시 예에 따른 노즐 보호부재를 설명하기 위한 사시도.7 is a perspective view for explaining a nozzle protection member according to another embodiment of the present invention.
도 8은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.8 is a perspective view for explaining a fluid discharge device according to a third embodiment of the present invention.
도 9는 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.9 is a perspective view for explaining a fluid discharge device according to a fourth embodiment of the present invention.
도 10은 도 9의 E-E 라인의 단면을 나타내는 단면도.10 is a cross-sectional view illustrating a cross section of the E-E line in FIG. 9.
도 11은 본 발명의 실시 예에 따른 유체 수용부를 설명하기 위한 사시도.11 is a perspective view for explaining a fluid receiving unit according to an embodiment of the present invention.
도 12는 도 9의 E-E 라인의 다른 단면을 나타내는 단면도.12 is a cross-sectional view showing another section of the E-E line in FIG. 9;
도 13은 도 9의 E-E 라인의 또 다른 단면을 나타내는 단면도.FIG. 13 is a cross-sectional view showing still another cross section of the E-E line in FIG. 9; FIG.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 ><Explanation of Signs of Major Parts of Drawings>
110: 유체 토출장치 112: 몸체110: fluid discharge device 112: body
112a: 제 1 립 112b: 제 2 립112a:
114: 유체 수용부 116: 슬릿 노즐114: fluid receiving portion 116: slit nozzle
117: 제 1 노즐부 118: 제 2 노즐부117: first nozzle portion 118: second nozzle portion
119: 갭 조정부 120: 기판119: gap adjusting unit 120: substrate
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