KR101014659B1 - Fluid ejection apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 내부를 가시할 수 있는 유체 토출장치에 관한 것으로, 유체 토출장치는 투명 재질의 몸체; 상기 몸체 내부에 마련되어 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부; 및 상기 유체 수용부로부터 공급되는 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿 노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다. 이러한 구성에 의하여 본 발명은 몸체 내부의 유체 수용부 및 슬릿을 외부에서 가시할 수 있어 유체 흐름 막힘, 이물질의 축적 등의 노즐 내부의 불량을 간단하게 검출할 수 있는 효과를 제공할 수 있다.The present invention relates to a fluid discharge device that can be visible inside, the fluid discharge device comprises a body of a transparent material; A fluid receiving part provided inside the body to receive a fluid supplied from the outside; And a slit nozzle for discharging the fluid supplied from the fluid accommodating part to the outside. By such a configuration, the present invention can provide a fluid receiving portion and a slit inside the body from the outside, thereby providing an effect of simply detecting a defect in the nozzle, such as a blockage of fluid, accumulation of foreign matter, and the like.

노즐, 유체, 투명, 립, 슬릿 Nozzle, fluid, transparent, lip, slit

Description

유체 토출장치{FLUID EJECTION APPARATUS}Fluid Discharge Device {FLUID EJECTION APPARATUS}

본 발명은 유체 토출장치에 관한 것으로, 보다 구체적으로, 내부를 가시할 수 있는 유체 토출장치에 관한 것이다.The present invention relates to a fluid discharge device, and more particularly, to a fluid discharge device that can be visible inside.

도 1a는 종래의 유체 토출장치를 설명하기 위한 도면이고, 도 1b는 도 1a의 A-A 라인의 단면을 나타내는 단면도이다.FIG. 1A is a view for explaining a conventional fluid discharge device, and FIG. 1B is a cross-sectional view illustrating a cross section taken along the line A-A of FIG. 1A.

도 1a 및 도 1b를 참조하면, 종래의 유체 토출장치(10)는 몸체(12); 유체 수용부(14); 및 노즐(16)을 포함하여 구성된다.1A and 1B, a conventional fluid ejection apparatus 10 includes a body 12; Fluid receiving portion 14; And a nozzle 16.

몸체(12)는 스테인리스와 같은 불투명한 금속재질로 형성된다.The body 12 is formed of an opaque metal material such as stainless steel.

유체 수용부(14)는 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(30)를 수용함과 아울러 유체 공급장치로부터 공급되는 유체(30)의 압력에 따라 수용된 유체(30)를 노즐(16)로 공급한다.The fluid receiving unit 14 accommodates the fluid 30 supplied from an external fluid supply device (not shown), and receives the fluid 30 received in accordance with the pressure of the fluid 30 supplied from the fluid supply device. 16).

노즐(16)은 유체 수용부(14)로부터 공급되는 유체(30)를 기판(20) 상에 토출하여 기판(20) 상에 막(32)을 형성한다.The nozzle 16 discharges the fluid 30 supplied from the fluid receiving portion 14 onto the substrate 20 to form a film 32 on the substrate 20.

이와 같은, 종래의 액 토출장치(10)는 기판(20) 상에서 일정한 방향으로 이동하면서 기판(20) 제조공정에 상응하는 유체(30)를 기판(20) 상에 토출함으로써 기판(20) 상에 막(32)을 형성한다.As described above, the conventional liquid ejecting apparatus 10 discharges the fluid 30 corresponding to the manufacturing process of the substrate 20 onto the substrate 20 while moving in a predetermined direction on the substrate 20. The film 32 is formed.

상술한 종래의 유체 토출장치(10)에서는 유체(30)에 포함된 기포 및/또는 이물질 등에 의해 토출 불량 및 유체 흐름 막힘 등의 불량이 발생하게 된다. 그러나, 종래의 유체 토출장치(10)는 불명투명한 금속재질로 형성되기 때문에 몸체(10) 내부를 관찰할 수 없으므로, 상기의 불량 발생시 몸체(10)를 해체하여 확인하여야만 하는 문제점이 있다.In the above-described conventional fluid ejection apparatus 10, defects such as poor ejection and clogged fluid flow may occur due to bubbles and / or foreign matter included in the fluid 30. However, since the conventional fluid discharge device 10 is formed of an opaque metal material, the inside of the body 10 cannot be observed, and thus, when the failure occurs, the fluid 10 must be disassembled and checked.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 내부를 가시할 수 있는 유체 토출장치를 제공하는 것을 기술적 과제로 한다.SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-described problems, and it is a technical object of the present invention to provide a fluid discharge device that can see the inside.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 유체 토출장치는 투명 재질의 몸체; 상기 몸체 내부에 마련되어 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부; 및 상기 유체 수용부로부터 공급되는 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿 노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Fluid discharge device of the present invention for achieving the above object is a body of a transparent material; A fluid receiving part provided inside the body to receive a fluid supplied from the outside; And a slit nozzle for discharging the fluid supplied from the fluid accommodating part to the outside.

상기 슬릿 노즐은 상기 유체 수용부에 연통된 슬릿; 및 상기 슬릿의 토출구로부터 경사진 경사면을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The slit nozzle includes a slit in communication with the fluid receiving portion; And an inclined surface inclined from the discharge port of the slit.

상기 유체 토출장치는 상기 토출구 및 상기 경사면에 설치되어 상기 슬릿 노즐을 보호하는 노즐 보호부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The fluid discharge device is characterized in that it further comprises a nozzle protection member installed on the discharge port and the inclined surface to protect the slit nozzle.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 유체 토출장치는 외부로부터 공급되는 유체 를 수용하는 유체 수용부 및 상기 유체 수용부에 수용된 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿 노즐을 가지는 제 1 립(Lip); 및 상기 제 1 립에 결합되는 제 2 립을 포함하며, 상기 제 1 및 제 2 립 중 적어도 하나는 투명 재질인 것을 특징으로 한다.In accordance with another aspect of the present invention, there is provided a fluid ejecting apparatus including: a first lip having a fluid accommodating part accommodating a fluid supplied from the outside and a slit nozzle discharging the fluid contained in the fluid accommodating part to the outside; And a second lip coupled to the first lip, wherein at least one of the first and second lips is a transparent material.

상기 제 1 및 제 2 립 각각은 상기 슬릿 노즐의 토출구로부터 경사진 경사면을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Each of the first and second ribs may include an inclined surface inclined from the discharge port of the slit nozzle.

상기 유체 토출장치는 상기 제 1 및 제 2 립 중 투명 재질로 형성된 립의 상기 토출구 및 상기 경사면에 설치되어 상기 슬릿 노즐을 보호하는 노즐 보호부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The fluid discharge device may further include a nozzle protection member installed at the discharge port of the lip formed of the transparent material among the first and second lips and the inclined surface to protect the slit nozzle.

상기 노즐 보호부재는 금속재질인 것을 특징으로 한다.The nozzle protection member is characterized in that the metal material.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 유체 토출장치는 불투명 재질의 몸체; 투명 재질로 형성되어 상기 몸체에 삽입됨과 아울러 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부; 및 상기 유체 수용부로부터 공급되는 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿 노즐을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.Fluid ejection apparatus according to another embodiment of the present invention comprises a body of opaque material; A fluid receiving part formed of a transparent material and inserted into the body and receiving a fluid supplied from the outside; And a slit nozzle for discharging the fluid supplied from the fluid accommodating part to the outside.

본 발명의 다른 실시 예에 따른 유체 토출장치는 불투명 재질로 형성되어 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿을 가지는 제 1 립; 투명 재질로 형성되어 상기 제 1 립에 삽입되는 유체 수용부; 및 상기 제 1 립에 결합되는 제 2 립을 포함하며, 상기 유체 수용부는 외부로부터 공급되는 유체를 수용함과 아울러 수용된 유체를 상기 슬릿에 공급하는 것을 특징으로 한다.A fluid discharge device according to another embodiment of the present invention is formed of an opaque material having a slit for discharging the fluid to the outside; A fluid receiving part formed of a transparent material and inserted into the first lip; And a second lip coupled to the first lip, wherein the fluid receiving part receives the fluid supplied from the outside and supplies the received fluid to the slit.

상기 유체 수용부는 상기 투명 재질로 형성된 블록; 및 상기 제 2 립과 마주보도록 상기 블록에 내면에 오목하게 형성됨과 아울러 상기 슬릿에 연통되는 유체 수용홈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The fluid receiving unit is a block formed of the transparent material; And a fluid receiving groove which is concave on the inner surface of the block to face the second lip and communicates with the slit.

상기 유체 토출장치는 상기 제 1 립과 상기 블록 사이를 밀봉하기 위한 밀봉부재를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 한다.The fluid discharge device is characterized in that it further comprises a sealing member for sealing between the first lip and the block.

상기 투명 재질은 석영 또는 아크릴 재질인 것을 특징으로 한다.The transparent material is characterized in that the quartz or acrylic material.

상술한 바와 같이 본 발명에 따르면, 본 발명은 몸체의 전체 또는 일부를 투명한 재질로 형성함으로써 몸체 내부의 유체 수용부 및 슬릿을 외부에서 가시할 수 있어 유체 흐름 막힘, 이물질의 축적 등의 노즐 내부의 불량을 간단하게 검출할 수 있는 효과를 제공할 수 있다.As described above, according to the present invention, the present invention can form the whole or part of the body made of a transparent material so that the fluid receiving portion and the slit inside the body can be visible from the outside, thereby preventing the flow of fluid, accumulation of foreign matter, etc. It is possible to provide an effect of simply detecting a defect.

이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시 예에 대해 상세히 설명한다.Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

도 2는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 유체 토출장치(110)를 설명하기 위한 사시도이고, 도 3은 도 2의 B-B 라인의 단면을 나타내는 단면도이다.FIG. 2 is a perspective view illustrating a fluid discharge device 110 according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 3 is a cross-sectional view illustrating a cross-sectional view of the B-B line of FIG. 2.

도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 유체 토출장치(110)는 투명 재질로 형성된 몸체(112); 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(130)를 수용하는 유체 수용부(114); 및 유체 수용부(114)와 연통되어 유체(130)를 기판(120) 상에 형성하는 슬릿 노즐(116)을 포함하여 구성된다.2 and 3, the fluid discharge device 110 of the present invention is a body 112 formed of a transparent material; A fluid receiving unit 114 for receiving a fluid 130 supplied from an external fluid supply device (not shown); And a slit nozzle 116 in communication with the fluid receiving unit 114 to form the fluid 130 on the substrate 120.

몸체(112)는 투명한 재질로 형성된다. 예를 들어, 몸체(12)는 석영(Quartz) 또는 아크릴(Acrylic) 등이 될 수 있다.The body 112 is formed of a transparent material. For example, the body 12 may be quartz or acrylic.

이러한, 몸체(112)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 투명한 재질로 이루어진 제 1 및 제 2 립(Lip)(112a, 112b)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 3, the body 112 includes first and second lips 112a and 112b made of a transparent material.

제 1 립(112a)은 유체 수용홈(114a); 및 제 1 노즐부(117)를 포함하여 구성된다.The first lip 112a includes a fluid receiving groove 114a; And a first nozzle unit 117.

제 1 노즐부(117)는, 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 립(112a)의 하단부에 수평하게 마련된 제 1 토출부(117a); 제 1 토출부(117a)로부터 일정한 기울기(θ1)를 가지도록 경사진 제 1 경사면(117b); 및 제 1 토출부(117a)와 유체 수용부(114) 사이에 형성된 슬릿(117c)을 포함하여 구성된다.As shown in FIG. 4, the first nozzle unit 117 may include a first discharge part 117a provided horizontally at a lower end of the first lip 112a; A first inclined surface 117b inclined from the first discharge part 117a to have a constant inclination θ1; And a slit 117c formed between the first discharge part 117a and the fluid receiving part 114.

제 1 경사면(117b)은 제 1 토출부(117a)로부터 60도 정도의 기울기를 가질 수 있다.The first inclined surface 117b may have an inclination of about 60 degrees from the first discharge part 117a.

슬릿(117c)은 제 1 토출부(117a)와 유체 수용부(114)에 연통되도록 제 1 립(112a)의 내면으로부터 일정한 깊이로 형성된다.The slit 117c is formed to a certain depth from the inner surface of the first lip 112a so as to communicate with the first discharge portion 117a and the fluid receiving portion 114.

유체 수용홈(114a)은 제 2 립(112b)과 마주보도록 제 1 립(112a)의 내면(113a)으로부터 오목하게 형성된다. 이때, 유체 수용홈(114a)은 유체에 포함된 기포가 상부 쪽으로 유동되거나, 유체에 포함된 이물질이 하부 쪽으로 유동될 수 있도록 중앙부를 기준으로 일정한 각도(θ2)로 경사지게 형성될 수 있다. 예를 들어, 유체 수용홈(114a)은, 도 4에 도시된 바와 같이, 중앙부를 기준으로 아래쪽으로 2 ~ 7도 정도의 기울기를 가지도록 빗살 형태를 형성될 수 있다.The fluid receiving groove 114a is formed concave from the inner surface 113a of the first lip 112a so as to face the second lip 112b. At this time, the fluid receiving groove 114a may be formed to be inclined at a predetermined angle (θ2) with respect to the center portion so that bubbles contained in the fluid may flow to the upper side, or foreign substances contained in the fluid may flow to the lower side. For example, as shown in FIG. 4, the fluid receiving groove 114a may have a comb teeth shape to have a slope of about 2 to 7 degrees downward from the center portion.

한편, 제 1 립(112a)에는 유체 수용홈(114a)의 중앙, 좌측, 우측 중 적어도 하나에 연통되도록 형성된 적어도 하나의 벤트 홀(Vent Hole)(115a, 115b, 115c)이 형성될 수 있다. 이러한, 적어도 하나의 벤트 홀(115a, 115b, 115c)은 유체 수용 홈(114a)에 공급된 유체에 포함된 기포를 외부로 배출시킨다.Meanwhile, at least one vent hole 115a, 115b, or 115c may be formed in the first lip 112a to communicate with at least one of the center, the left side, and the right side of the fluid receiving groove 114a. The at least one vent hole 115a, 115b, 115c discharges bubbles contained in the fluid supplied to the fluid receiving groove 114a to the outside.

제 2 립(112b)은 제 2 노즐부(118); 및 슬릿 노즐(116)의 갭(G)을 조정하기 위한 갭 조정부(119)를 포함하여 구성된다. 여기서, 제 1 립(112a)과 마주보는 제 2 립(112b)의 내면(113b)은 평면 형태로 형성된다.The second lip 112b includes a second nozzle portion 118; And a gap adjusting unit 119 for adjusting the gap G of the slit nozzle 116. Here, the inner surface 113b of the second lip 112b facing the first lip 112a is formed in a planar shape.

제 2 노즐부(118)는 제 2 립(112b)의 하단부에 수평하게 마련된 제 2 토출부(118a); 및 제 2 토출부(118a)로부터 일정한 기울기를 가지도록 경사진 제 2 경사면(118b)을 포함하여 구성된다.The second nozzle part 118 may include a second discharge part 118a provided horizontally at the lower end of the second lip 112b; And a second inclined surface 118b inclined to have a constant inclination from the second discharge part 118a.

제 2 토출부(118a)는 제 1 토출부(117a)와 같은 폭으로 형성되거나 일정한 비율로 작게 형성될 수 있다.The second discharge part 118a may be formed to have the same width as the first discharge part 117a or may be formed small in a constant ratio.

제 2 경사면(118b)은 제 2 토출부(118a)로부터 60도 정도의 기울기를 가질 수 있다.The second inclined surface 118b may have an inclination of about 60 degrees from the second discharge part 118a.

갭 조정부(119)는 제 2 립(112b)의 외면으로부터 오목하게 형성된 갭 조정홈(119a); 갭 조정홈(119b)에 삽입된 체결부재(119b); 및 체결부재(119b)에 체결되어 슬릿 노즐(116)의 갭(G)을 조정하는 갭 조정 볼트(119c)를 포함하여 구성된다. 이러한, 갭 조정부(119)는 갭 조정 볼트(119c)의 회전에 의한 체결부재(119b)와의 체결에 따라 제 2 노즐부(118)의 제 2 토출부(118a)를 제 1 노즐부(117)에 근접시키거나 이격시킴으로써 슬릿 노즐(116)의 토출구의 갭(G)을 조정한다.The gap adjusting unit 119 includes a gap adjusting groove 119a formed concave from the outer surface of the second lip 112b; A fastening member 119b inserted into the gap adjusting groove 119b; And a gap adjusting bolt 119c fastened to the fastening member 119b to adjust the gap G of the slit nozzle 116. As such, the gap adjusting unit 119 may connect the second discharge part 118a of the second nozzle part 118 to the first nozzle part 117 as the gap adjusting bolt 119c is engaged with the fastening member 119b by the rotation of the gap adjusting bolt 119c. The gap G of the discharge port of the slit nozzle 116 is adjusted by approaching or spaced apart.

유체 수용부(114)는 제 1 및 제 2 립(112a, 112b)의 형합에 의해 제 1 립(112a)의 유체 수용홈(114a)와 제 2 립(112b)의 내면(113a) 사이에 마련된다. 이러한, 유체 수용부(114)는 제 1 및 제 2 립(112a, 112b) 중 적어도 하나에 형성 된 유체 공급홀(미도시)을 통해 유체 공급장치로부터 공급되는 유체(130)를 수용한다. 이러한, 유체 수용부(114)는 상술한 바와 같이 중앙부를 기준으로 일정한 각도(θ2)로 경사지게 형성된다.The fluid receiving part 114 is provided between the fluid receiving groove 114a of the first lip 112a and the inner surface 113a of the second lip 112b by combining the first and second lips 112a and 112b. do. The fluid receiving unit 114 receives the fluid 130 supplied from the fluid supply device through a fluid supply hole (not shown) formed in at least one of the first and second lips 112a and 112b. As described above, the fluid receiving portion 114 is formed to be inclined at a constant angle θ2 with respect to the center portion.

슬릿 노즐(116)은 제 1 립(112a)의 제 1 노즐부(117)와 제 2 립(112b)의 제 2 노즐부(118)의 결합에 의해 마련됨으로써 제 1 립(112a)에 형성된 슬릿(117c)을 통해 유체 수용부(114)로부터 공급되는 유체(130)를 토출한다.The slit nozzle 116 is provided by the combination of the first nozzle portion 117 of the first lip 112a and the second nozzle portion 118 of the second lip 112b, thereby forming a slit formed in the first lip 112a. The fluid 130 supplied from the fluid accommodating part 114 is discharged through 117c.

한편, 상술한 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 유체 토출장치(110)에서는 몸체(110)를 구성하는 제 1 및 제 2 립(112a, 112b) 모두를 투명 재질로 형성하였으나, 이에 한정되지 않고, 몸체(110) 내부를 가시할 수 있는 범위 내에서 제 1 및 제 2 립(112a, 112b) 중 적어도 하나를 투명 재질로 형성할 수 있다.Meanwhile, in the fluid discharge device 110 according to the first embodiment of the present invention, all of the first and second ribs 112a and 112b constituting the body 110 are formed of a transparent material, but is not limited thereto. At least one of the first and second ribs 112a and 112b may be formed of a transparent material within a visible range of the body 110.

이와 같은, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 유체 토출장치(110)는 몸체(112)를 투명한 재질로 형성함으로써 몸체(112) 내부의 유체 수용부(114) 및 슬릿(117c)을 외부에서 가시할 수 있어 유체 흐름 막힘, 이물질의 축적 등의 노즐 내부의 불량을 간단하게 검출할 수 있다.As such, the fluid discharge device 110 according to the first embodiment of the present invention forms the body 112 with a transparent material so that the fluid receiving part 114 and the slit 117c inside the body 112 are visible from the outside. It is possible to easily detect defects in the nozzle such as clogged fluid flow and accumulation of foreign matter.

도 5는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 유체 토출장치(210)를 설명하기 위한 사시도이고, 도 6은 도 5의 D-D 라인의 단면을 나타내는 단면도이다.5 is a perspective view illustrating a fluid discharge device 210 according to a second embodiment of the present invention, and FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a cross section of the D-D line of FIG. 5.

도 5 및 도 6을 참조하면, 본 발명의 유체 토출장치(210)는 투명 재질로 형성된 몸체(112); 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(130)를 수용하는 유체 수용부(114); 유체 수용부(114)와 연통되어 유체(130)를 기판(120) 상에 형성하는 슬릿 노즐(116); 및 슬릿 노즐(116)의 외부를 배치된 노즐 보호부재(220) 를 포함하여 구성된다. 이러한 구성의 유체 토출장치(210)는 노즐 보호부재(220)를 제외하고는 상술한 제 1 실시 예와 동일한 구성을 가지므로, 동일한 구성에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.5 and 6, the fluid discharge device 210 of the present invention is a body 112 formed of a transparent material; A fluid receiving unit 114 for receiving a fluid 130 supplied from an external fluid supply device (not shown); A slit nozzle 116 in communication with the fluid receiving portion 114 to form a fluid 130 on the substrate 120; And a nozzle protection member 220 disposed outside the slit nozzle 116. Since the fluid discharge device 210 having the above configuration has the same configuration as the above-described first embodiment except for the nozzle protection member 220, the description of the same configuration will be replaced with the above description.

노즐 보호부재(220)는 슬릿 노즐(116)에 설치되어 외부 충격 또는 유체(130)에 포함된 이물질에 의한 노즐 토출구의 손상을 방지함으로써 노즐 토출구의 손상에 의해 기판(120) 상에 형성되는 막(132)의 불량을 방지한다. 이를 위해, 노즐 보호부재(220)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성될 수 있다.The nozzle protection member 220 is installed on the slit nozzle 116 to prevent damage to the nozzle discharge port due to external impact or foreign matter contained in the fluid 130, thereby forming a film formed on the substrate 120 by damage to the nozzle discharge port. The failure of 132 is prevented. To this end, the nozzle protection member 220 may be formed of a metal material such as stainless steel.

한편, 노즐 보호부재(220)는, 도 6에 도시된 바와 같이, 제 1 및 제 2 노즐 보호부재(220a, 220b)를 포함하여 구성될 수 있다.Meanwhile, as illustrated in FIG. 6, the nozzle protection member 220 may include first and second nozzle protection members 220a and 220b.

제 1 노즐 보호부재(220a)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성되어 제 1 노즐부(117)의 제 1 토출부(117a)과 제 1 경사면(117b)에 설치된다. 제 2 노즐 보호부재(220b)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성되어 제 2 노즐부(118)의 제 2 토출부(118a)과 제 2 경사면(118b)에 설치된다.The first nozzle protection member 220a is formed of a metal material such as stainless steel, and is installed on the first discharge part 117a and the first inclined surface 117b of the first nozzle part 117. The second nozzle protection member 220b is formed of a metal material such as stainless steel and is installed on the second discharge part 118a and the second inclined surface 118b of the second nozzle part 118.

다른 한편으로, 노즐 보호부재(220)는, 도 7에 도시된 바와 같이, 슬릿 노즐(116)의 노출 토출구에 대응되는 홀(222)을 포함하도록 슬릿 노즐(116)과 동일한 형태를 가지도록 일체형으로 형성되어 몸체(112)에 설치될 수도 있다.On the other hand, the nozzle protection member 220 is integrally formed to have the same shape as the slit nozzle 116 to include a hole 222 corresponding to the exposure discharge port of the slit nozzle 116, as shown in FIG. It may be formed to be installed on the body 112.

도 8은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 유체 토출장치(310)를 설명하기 위한 단면도이다.8 is a cross-sectional view for describing a fluid discharge device 310 according to a third embodiment of the present invention.

도 8을 참조하면, 유체 토출장치(310)는 불투명한 금속재질의 제 1 립(112a) 및 투명한 재질의 제 2 립(112b)으로 구성된 몸체(112); 외부의 유체 공급장치(미 도시)로부터 공급되는 유체(130)를 수용하는 유체 수용부(114); 유체 수용부(114)와 연통되어 유체(130)를 기판(120) 상에 형성하는 슬릿 노즐(116); 및 제 2 립(112b)의 제 2 노즐부(118)에 설치되어 슬릿 노즐(116)을 보호하는 노즐 보호부재(320)를 포함하여 구성된다. 이러한 구성의 유체 토출장치(310)는 몸체(112)와 노즐 보호부재(320)를 제외하고는 상술한 제 1 또는 제 2 실시 예와 동일한 구성을 가지므로, 동일한 구성에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.Referring to FIG. 8, the fluid discharge device 310 may include a body 112 including an opaque metal first lip 112a and a transparent second lip 112b; A fluid receiver 114 for receiving a fluid 130 supplied from an external fluid supply device (not shown); A slit nozzle 116 in communication with the fluid receiving portion 114 to form a fluid 130 on the substrate 120; And a nozzle protection member 320 installed at the second nozzle unit 118 of the second lip 112b to protect the slit nozzle 116. Since the fluid discharge device 310 having such a configuration has the same configuration as the above-described first or second embodiment except for the body 112 and the nozzle protection member 320, the description of the same configuration will be described above. I will replace it with

몸체(112)는 제 1 립(112a)을 불투명한 금속재질로 형성하고, 제 2 립(112b)을 투명한 재질로 형성하는 것을 제외하고는 상술한 실시 예와 동일한 구성을 갖는다. 다만, 제 2 립(112b)의 제 2 토출부(118a)는 노즐 보호부재(320)의 높이로 인하여 제 1 립(112a)의 제 1 토출부(117a)와 단차지지 않도록 제 1 립(112a)의 제 1 토출부(117a)보다 낮은 높이로 형성된다.The body 112 has the same configuration as the above-described embodiment except that the first lip 112a is made of an opaque metal material and the second lip 112b is made of a transparent material. However, the second discharge portion 118a of the second lip 112b may not be stepped with the first discharge portion 117a of the first lip 112a due to the height of the nozzle protection member 320. Is formed at a height lower than that of the first discharge portion 117a.

노즐 보호부재(320)는 제 2 노즐부(118)의 제 2 토출부(118a)와 제 2 경사면(118b)에 설치된다. 이때, 노즐 보호부재(320)는 스테인리스 등의 금속재질로 형성되거나, 제 1 립(112a)과 동일한 재질로 형성될 수 있다. 이러한, 노즐 보호부재(320)의 하단부는 제 1 립(112a)의 제 1 토출부(117a)와 동일한 수평면을 이루게 된다.The nozzle protection member 320 is provided on the second discharge part 118a and the second inclined surface 118b of the second nozzle part 118. In this case, the nozzle protection member 320 may be formed of a metal material such as stainless steel, or may be formed of the same material as the first lip 112a. The lower end of the nozzle protection member 320 forms the same horizontal plane as the first discharge part 117a of the first lip 112a.

한편, 본 발명의 제 3 실시 예에서 몸체(112)는 불투명한 금속재질의 제 1 립(112a) 및 투명한 재질의 제 2 립(112b)으로 구성되었으나, 이에 한정되지 않고, 투명 재질의 제 1 립(112a) 및 불투명한 재질의 제 2 립(112b)으로 구성될 수 있으며, 이 경우 노즐 보호부재(320)는 투명 재질의 제 1 립(112a)을 구성하는 제 1 노 즐부(117)의 제 1 토출부(117a)와 제 1 경사면(117b)에 설치될 수 있다.Meanwhile, in the third embodiment of the present invention, the body 112 includes an opaque metal first lip 112a and a transparent second lip 112b, but is not limited thereto. It may be composed of a lip (112a) and a second lip (112b) of opaque material, in this case the nozzle protection member 320 of the first nozzle portion 117 constituting the first lip (112a) of a transparent material It may be installed on the first discharge part 117a and the first inclined surface 117b.

도 9는 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 유체 토출장치(410)를 설명하기 위한 단면도이고, 도 10은 도 9의 E-E 라인의 단면을 나타내는 단면도이다.9 is a cross-sectional view for describing a fluid discharge device 410 according to a fourth embodiment of the present invention, and FIG. 10 is a cross-sectional view showing a cross section of the E-E line of FIG. 9.

도 9 및 도 10을 참조하면, 유체 토출장치(310)는 몸체(412); 투명 재질로 형성되어 외부의 유체 공급장치(미도시)로부터 공급되는 유체(130)를 수용하는 유체 수용(414); 및 유체 수용부(414)와 연통되어 유체(130)를 기판(120) 상에 형성하는 슬릿 노즐(116)을 포함하여 구성된다.9 and 10, the fluid discharge device 310 includes a body 412; A fluid receiving 414 formed of a transparent material to receive the fluid 130 supplied from an external fluid supply device (not shown); And a slit nozzle 116 in communication with the fluid receiving portion 414 to form the fluid 130 on the substrate 120.

몸체(412)는 불투명한 금속 재질, 예를 들어 스테인리스 재질로 형성될 수 있다. 이러한, 몸체(112)는 제 1 및 제 2 립(412a, 412b)을 포함하여 구성된다.The body 412 may be formed of an opaque metal material, for example, stainless steel material. This body 112 is configured to include first and second lips 412a and 412b.

제 1 립(412a)은 유체 수용부 삽입홈(414a); 및 제 1 노즐부(117)를 포함하여 구성된다.The first lip 412a includes a fluid receiving groove 414a; And a first nozzle unit 117.

유체 수용부 삽입홈(414a)은 유체 수용부(414)가 삽입되어 밀봉될 수 있도록 제 1 립(412a)에 형성된다. 이때, 유체 수용홈 삽입홈(414a)에는 외부로의 유체 공급장치로부터 공급되는 유체를 유체 수용부(414)로 공급하기 위한 유체 공급홀(미도시)에 연통된다.The fluid receiving portion insertion groove 414a is formed in the first lip 412a so that the fluid receiving portion 414 can be inserted and sealed. At this time, the fluid receiving groove insertion groove 414a communicates with a fluid supply hole (not shown) for supplying the fluid supplied from the fluid supply device to the fluid receiving unit 414.

제 1 노즐부(117)는 상술한 본 발명의 제 1 실시 예에 동일하게 제 1 토출부(117a); 제 1 경사면(117b); 및 슬릿(117c)을 포함하여 구성되므로 이들에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.The first nozzle unit 117 may include the first discharge unit 117a as in the first embodiment of the present invention described above; First inclined surface 117b; And a slit 117c, so a description thereof will be replaced with the above description.

유체 수용부(414)는, 도 11에 도시된 바와 같이, 블록(500); 및 유체 수용홈(510)을 포함하여 구성된다.The fluid receiving portion 414 may include a block 500, as shown in FIG. 11; And a fluid receiving groove 510.

블록(500)은 제 1 립(412a)의 유체 수용부 삽입홈(414a)에 삽입 가능하도록 석영 또는 아크릴 등의 투명 재질로 형성된다. 이때, 블록(500)과 유체 수용부 삽입홈(414a) 사이의 밀봉을 위하여, 블록(500)은 억지끼움 방식으로 유체 수용부 삽입홈(414a)에 삽입되어 유체 수용부 삽입홈(414a)에 형합된다.The block 500 is formed of a transparent material such as quartz or acrylic so as to be inserted into the fluid receiving portion insertion groove 414a of the first lip 412a. At this time, in order to seal between the block 500 and the fluid receiving portion insertion groove 414a, the block 500 is inserted into the fluid receiving portion insertion groove 414a in an interference fit manner to the fluid receiving portion insertion groove 414a. Are matched.

한편, 블록(500)과 유체 수용부 삽입홈(414a) 사이의 밀봉을 위하여, 블록(500)과 유체 수용부 삽입홈(414a) 각각의 형합부는 도 12에 도시된 바와 같이 계단 형태로 형성될 수 있다.On the other hand, for sealing between the block 500 and the fluid receiving portion insertion groove 414a, the mating portion of each of the block 500 and the fluid receiving portion insertion groove 414a is formed in a step shape as shown in FIG. Can be.

다른 한편, 블록(500)과 유체 수용부 삽입홈(414a) 사이의 밀봉을 위하여, 블록(500)과 유체 수용부 삽입홈(414a) 사이에는 도 13에 도시된 바와 같이 밀봉부재(540)가 설치될 수 있다. 여기서, 밀봉부재(540)는 오-링(O-Ring)이 될 수 있다.On the other hand, for sealing between the block 500 and the fluid receiver insertion groove 414a, a sealing member 540 is provided between the block 500 and the fluid receiver insertion groove 414a as shown in FIG. Can be installed. Here, the sealing member 540 may be an O-ring.

도 11에서, 유체 수용홈(510)은 슬릿 노즐(116)의 슬릿(117c)에 연통됨과 아울러 제 1 립(412b)에 마주보도록 블록(500)의 내면에 오목하게 형성된다. 이때, 유체 수용홈(510)은 상술한 제 1 실시 예와 동일하게 중앙부를 기준으로 일정한 각도로 경사지게 형성될 수 있다.In FIG. 11, the fluid receiving groove 510 is recessed in the inner surface of the block 500 so as to communicate with the slit 117c of the slit nozzle 116 and face the first lip 412b. In this case, the fluid receiving groove 510 may be formed to be inclined at a predetermined angle with respect to the center portion as in the first embodiment.

한편, 블록(500))에는 유체 수용홈(510)의 중앙, 좌측, 우측 중 적어도 하나에 연통됨과 아울러 몸체(412)에 형성된 적어도 하나의 벤트 홀(115a, 115b, 115c)에 연통되는 적어도 하나의 관통 홀(530a, 530b, 530c)이 형성될 수 있다. 이러한, 적어도 하나의 관통 홀(530a, 530b, 530c)은 유체 수용홈(510)에 공급된 유체에 포함된 기포를 벤트 홀(115a, 115b, 115c)을 통해 외부로 배출시킨다.On the other hand, the block 500 is at least one in communication with at least one of the center, left, and right of the fluid receiving groove 510 and at least one vent hole 115a, 115b, 115c formed in the body 412. Through holes 530a, 530b, and 530c may be formed. The at least one through hole 530a, 530b, 530c discharges bubbles contained in the fluid supplied to the fluid receiving groove 510 to the outside through the vent holes 115a, 115b, and 115c.

슬릿 노즐(116)은 상술한 제 1 실시 예와 동일하므로 이에 대한 설명은 상술한 설명으로 대신하기로 한다.Since the slit nozzle 116 is the same as the first embodiment described above, a description thereof will be replaced with the above description.

이와 같은, 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 유체 토출장치(410)는 몸체(412)에 투명 재질의 블록 형태를 가지는 유체 수용부(414)를 삽입함으로써 몸체(112) 내부를 외부에서 가시할 수 있어 유체 흐름 막힘, 이물질의 축적 등의 노즐 내부의 불량을 간단하게 검출할 수 있으며, 노즐 불량시 유체 수용부(414)만을 교체하면 되므로 유지 보수를 단순화할 수 있다.As such, the fluid discharge device 410 according to the fourth exemplary embodiment of the present invention can visually view the inside of the body 112 from the outside by inserting the fluid receiving part 414 having a block shape of a transparent material into the body 412. It is possible to easily detect a defect in the nozzle, such as clogged fluid flow, accumulation of foreign matters, and can simplify the maintenance because only the fluid receiving portion 414 need to be replaced when the nozzle is defective.

상술한 바와 같은 본 발명의 실시 예들에 따른 유체 토출장치는 액정 표시장치를 포함하는 평판 표시장치 또는 반도체 소자 등의 제조 공정 중 기판 패터닝 공정시 유체를 토출하여 기판 상에 막을 형성하기 위한 공정에 적용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 유체 토출장치는 노즐을 통해 유체를 토출시키는 과정을 포함하는 잉크젯 프린팅(Inkjet Printing), 슬릿 코팅(Slit Coating), 스핀 코팅(Spin Coating), 및 롤러 코팅(Roller Coating) 등에 적용될 수 있다.The fluid discharge device according to the embodiments of the present invention as described above is applied to a process for forming a film on a substrate by discharging the fluid during the substrate patterning process of a flat panel display or a semiconductor device including a liquid crystal display Can be. For example, the fluid ejection apparatus of the present invention includes inkjet printing, slit coating, spin coating, and roller coating, which include discharging fluid through a nozzle. And the like.

본 발명이 속하는 기술분야의 당업자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로, 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적인 것이 아닌 것으로 이해해야만 한다. 본 발명의 범위는 상기 상세한 설명보다는 후술하는 특허청구범위에 의하여 나타내어지며, 특허청구범위의 의미 및 범위 그리고 그 등가 개념으로부터 도출되는 모든 변경 또는 변형된 형태가 본 발명의 범위에 포함되는 것으로 해석되어야 한다.Those skilled in the art to which the present invention pertains will understand that the present invention can be implemented in other specific forms without changing the technical spirit or essential features. Therefore, it is to be understood that the embodiments described above are exemplary in all respects and not restrictive. The scope of the present invention is shown by the following claims rather than the detailed description, and all changes or modifications derived from the meaning and scope of the claims and their equivalent concepts should be construed as being included in the scope of the present invention. do.

도 1a는 종래의 유체 토출장치를 설명하기 위한 도면.1A is a view for explaining a conventional fluid discharge device.

도 1b는 도 1a의 A-A 라인의 단면을 나타내는 단면도.FIG. 1B is a sectional view of a section A-A of FIG. 1A. FIG.

도 2는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.2 is a perspective view for explaining a fluid discharge device according to a first embodiment of the present invention.

도 3은 도 2의 B-B 라인의 단면을 나타내는 단면도.3 is a cross-sectional view showing a section of the B-B line of FIG.

도 4는 도 2의 C-C 라인의 단면을 나타내는 단면도.4 is a cross-sectional view showing a section of the C-C line of FIG.

도 5는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.5 is a perspective view for explaining a fluid discharge device according to a second embodiment of the present invention.

도 6은 도 5의 D-D 라인의 단면을 나타내는 단면도.FIG. 6 is a cross-sectional view illustrating a cross section of the D-D line of FIG. 5. FIG.

도 7은 본 발명의 실시 예에 다른 실시 예에 따른 노즐 보호부재를 설명하기 위한 사시도.7 is a perspective view for explaining a nozzle protection member according to another embodiment of the present invention.

도 8은 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.8 is a perspective view for explaining a fluid discharge device according to a third embodiment of the present invention.

도 9는 본 발명의 제 4 실시 예에 따른 유체 토출장치를 설명하기 위한 사시도.9 is a perspective view for explaining a fluid discharge device according to a fourth embodiment of the present invention.

도 10은 도 9의 E-E 라인의 단면을 나타내는 단면도.10 is a cross-sectional view illustrating a cross section of the E-E line in FIG. 9.

도 11은 본 발명의 실시 예에 따른 유체 수용부를 설명하기 위한 사시도.11 is a perspective view for explaining a fluid receiving unit according to an embodiment of the present invention.

도 12는 도 9의 E-E 라인의 다른 단면을 나타내는 단면도.12 is a cross-sectional view showing another section of the E-E line in FIG. 9;

도 13은 도 9의 E-E 라인의 또 다른 단면을 나타내는 단면도.FIG. 13 is a cross-sectional view showing still another cross section of the E-E line in FIG. 9; FIG.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호설명 ><Explanation of Signs of Major Parts of Drawings>

110: 유체 토출장치 112: 몸체110: fluid discharge device 112: body

112a: 제 1 립 112b: 제 2 립112a: first lip 112b: second lip

114: 유체 수용부 116: 슬릿 노즐114: fluid receiving portion 116: slit nozzle

117: 제 1 노즐부 118: 제 2 노즐부117: first nozzle portion 118: second nozzle portion

119: 갭 조정부 120: 기판119: gap adjusting unit 120: substrate

Claims (12)

투명 재질의 몸체;Body of transparent material; 상기 몸체 내부에 마련되어 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부;A fluid receiving part provided inside the body to receive a fluid supplied from the outside; 상기 유체 수용부에 연통되어 상기 유체 수용부로부터 공급되는 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿과 상기 슬릿의 토출구로부터 경사진 경사면을 포함하는 슬릿 노즐; 및A slit nozzle communicating with the fluid receiving part and including a slit for discharging the fluid supplied from the fluid receiving part to the outside and an inclined surface inclined from the discharge port of the slit; And 상기 토출구를 제외한 상기 토출구의 주변과 경사면에 설치되어 상기 슬릿의 토출구를 보호하는 금속 재질의 노즐 보호부재를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 토출장치.And a nozzle protection member made of a metal material disposed on the periphery and the inclined surface of the discharge port other than the discharge port to protect the discharge port of the slit. 삭제delete 삭제delete 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부, 상기 유체 수용부에 수용된 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿, 및 상기 슬릿의 토출구로부터 경사진 제 1 경사면을 가지는 제 1 립(Lip);A first lip having a fluid accommodating portion accommodating a fluid supplied from the outside, a slit discharging the fluid contained in the fluid accommodating portion to the outside, and a first inclined surface inclined from an outlet of the slit; 상기 제 1 립에 결합되어 상기 토출구를 형성하며, 상기 토출구로부터 경사진 제 2 경사면을 가지는 제 2 립;A second lip coupled to the first lip to form the discharge port and having a second inclined surface inclined from the discharge port; 상기 제 2 립의 외면으로부터 오목하게 형성된 갭 조정홈, 상기 갭 조정홈에 삽입된 체결부재, 및 상기 체결부재에 체결되어 상기 슬릿과 상기 제 2 립 사이의 거리를 조정하여 상기 슬릿과 상기 제 2 립 사이의 갭을 조정하는 갭 조정 볼트를 가지는 갭 조정부; 및A gap adjusting groove formed concave from an outer surface of the second lip, a fastening member inserted into the gap adjusting groove, and fastened to the fastening member to adjust a distance between the slit and the second lip to adjust the distance between the slit and the second lip. A gap adjusting portion having a gap adjusting bolt for adjusting a gap between the lip; And 상기 슬릿의 토출구를 보호하는 금속 재질의 노즐 보호부재를 포함하며,It comprises a metal nozzle protection member for protecting the discharge port of the slit, 상기 제 1 및 제 2 립 중 적어도 하나는 투명 재질로 형성되며,At least one of the first and second lips is formed of a transparent material, 상기 노즐 보호부재는 상기 투명 재질로 형성된 상기 립의 토출구를 제외한 상기 토출구의 주변과 경사면에 설치된 것을 특징으로 하는 유체 토출장치.The nozzle protection member is a fluid discharge device, characterized in that installed on the periphery and the inclined surface of the discharge port except the discharge port of the lip formed of the transparent material. 삭제delete 삭제delete 삭제delete 투명 재질로 이루어져 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부;A fluid receiving part which is made of a transparent material and receives a fluid supplied from the outside; 금속 재질로 형성되며, 상기 유체 수용부가 삽입되는 유체 수용부 삽입홈, 및 상기 유체 수용부로부터 공급되는 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿 노즐을 가지는 몸체; 및A body formed of a metal material and having a fluid receiving part insertion groove into which the fluid receiving part is inserted, and a slit nozzle for discharging the fluid supplied from the fluid receiving part to the outside; And 상기 유체 수용부 삽입홈과 상기 유체 수용부 사이를 밀봉하기 위한 밀봉부재를 포함하며,A sealing member for sealing between the fluid receiving portion insertion groove and the fluid receiving portion, 상기 유체 수용부는,The fluid receiving portion, 상기 투명 재질로 형성되어 상기 밀봉부재에 의해 밀봉되도록 상기 유체 수용부 삽입홈에 삽입되는 블록; 및A block formed of the transparent material and inserted into the fluid receiving portion insertion groove to be sealed by the sealing member; And 상기 블록의 내면에 오목하게 형성됨과 아울러 상기 슬릿에 연통되는 유체 수용홈을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유체 토출장치.And a fluid receiving groove which is formed concave in the inner surface of the block and communicates with the slit. 투명 재질로 이루어져 외부로부터 공급되는 유체를 수용하는 유체 수용부;A fluid receiving part which is made of a transparent material and receives a fluid supplied from the outside; 금속 재질로 형성되며, 상기 유체 수용부가 삽입되는 유체 수용부 삽입홈, 및 상기 유체 수용부로부터 공급되는 상기 유체를 외부로 토출하는 슬릿을 가지는 제 1 립;A first lip formed of a metal material and having a fluid receiving part insertion groove into which the fluid receiving part is inserted, and a slit for discharging the fluid supplied from the fluid receiving part to the outside; 상기 유체 수용부 삽입홈과 상기 유체 수용부 사이를 밀봉하기 위한 밀봉부재;A sealing member for sealing between the fluid receiving portion insertion groove and the fluid receiving portion; 상기 제 1 립에 결합되어 상기 슬릿의 토출구를 형성하는 제 2 립; 및A second lip coupled to the first lip to form an outlet of the slit; And 상기 제 2 립의 외면으로부터 오목하게 형성된 갭 조정홈, 상기 갭 조정홈에 삽입된 체결부재, 및 상기 체결부재에 체결되어 상기 슬릿과 상기 제 2 립 사이의 거리를 조정하여 상기 슬릿과 상기 제 2 립 사이의 갭을 조정하는 갭 조정 볼트를 가지는 갭 조정부를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 특징으로 하는 유체 토출장치.A gap adjusting groove formed concave from an outer surface of the second lip, a fastening member inserted into the gap adjusting groove, and fastened to the fastening member to adjust a distance between the slit and the second lip to adjust the distance between the slit and the second lip. And a gap adjusting portion having a gap adjusting bolt for adjusting a gap between the ribs. 제 9 항에 있어서,The method of claim 9, 상기 유체 수용부는,The fluid receiving portion, 상기 투명 재질로 형성되어 상기 유체 수용부 삽입홈에 삽입되는 블록;A block formed of the transparent material and inserted into the fluid receiving portion insertion groove; 상기 제 2 립과 마주보도록 상기 블록의 내면에 오목하게 형성됨과 아울러 상기 슬릿에 연통되는 유체 수용홈을 포함하며,Concave on the inner surface of the block to face the second lip and includes a fluid receiving groove communicated with the slit, 상기 유체 수용부 삽입홈과 상기 블록 사이는 상기 밀봉부재에 의해 밀봉되는 것을 특징으로 하는 유체 토출장치.And between the fluid receiving portion insertion groove and the block is sealed by the sealing member. 삭제delete 제 1 항, 제 4 항, 제 8 항 및 제 9 항 중 어느 한 항에 있어서,The method according to any one of claims 1, 4, 8 and 9, 상기 투명 재질은 석영 또는 아크릴 재질인 것을 특징으로 하는 유체 토출장치.The transparent material is a fluid discharge device, characterized in that the quartz or acrylic material.
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