KR101013071B1 - mask test apparatus - Google Patents

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Abstract

본 발명은 백라이트의 열에 의한 마스크의 변형을 방지하고, 구성을 단순화 하여 효율을 높일 수 있도록 된 새운 구조의 마스크 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a mask inspection apparatus having a novel structure that prevents deformation of the mask due to heat of the backlight and improves efficiency by simplifying the configuration.

본 발명에 따른 마스크 검사장치는 백라이트(50)가 다수개의 LED그룹(52)으로 나뉘어져, 카메라(41)를 이용하여 촬영되는 부분의 LED그룹(52)만을 선택적으로 점등시키므로, 백라이트(50)에 의해 발생되는 열을 최소화할 수 있을 뿐 아니라, 상기 백라이트(50)의 LED(51)가 다수개의 열로 나뉘어져, 각 열의 LED(51)가 서로 다른 색의 빛을 발광하도록 하여 각기 다른 카메라(41)의 조명을 담당하므로써, LED(51)의 배열 및 on-off 제어가 매우 간단해지는 장점이 있다. In the mask inspection apparatus according to the present invention, since the backlight 50 is divided into a plurality of LED groups 52 to selectively light only the LED group 52 of the portion photographed using the camera 41, In addition to minimizing the heat generated by the LED, the LED 51 of the backlight 50 is divided into a plurality of rows, so that the LEDs 51 of each row emit light of different colors, so that different cameras 41 are different. By taking charge of the lighting, the arrangement and the on-off control of the LED 51 is very simple.

마스크, 검사장치, 백라이트, LED, 그룹, 열 Mask, Inspection Device, Backlight, LED, Group, Thermal

Description

마스크 검사장치{mask test apparatus}Mask test apparatus

본 발명은 백라이트의 열에 의한 마스크의 변형을 방지하고, 구성을 단순화 하여 효율을 높일 수 있도록 된 새운 구조의 마스크 검사장치에 관한 것이다.The present invention relates to a mask inspection apparatus having a novel structure that prevents deformation of the mask due to heat of the backlight and improves efficiency by simplifying the configuration.

일반적으로, LCD 등과 같은 디스플레이패널의 제조에 사용되는 마스크는 두께 50~150μm 내외의 두께를 갖는 박판에 다수개의 슬릿이나 관통공을 형성한 것으로, 두께가 매우 얇아서, 도 1에 도시한 바와 같이, 중앙부에 상하방향의 관통공(11)이 형성된 사각 테두리형상으로 구성된 마스크프레임(10)에 고정된 상태로 취급된다.In general, a mask used in the manufacture of a display panel such as an LCD is formed of a plurality of slits or through holes in a thin plate having a thickness of about 50 ~ 150μm, the thickness is very thin, as shown in Figure 1, It is handled in a state fixed to the mask frame 10 which is formed in the rectangular frame shape in which the through hole 11 in the vertical direction is formed in the center portion.

한편, 이와같이 구성된 마스크(1)를 검사하는 마스크(1)검사장치는 도 2에 도시한 바와 같이, 베드(20)와; 상기 베드(20)에 구비되며 상면에 마스크프레임(10)을 올려놓아 고정할 수 있도록 된 클램프스테이지(30)와; 상기 클램프스테이지(30)의 상부에 설치되어 마스크프레임(10)에 고정된 마스크(1)를 촬영하는 카메라유닛(40)이 구비되어, 상기 카메라유닛(40)을 이용하여 마스크(1)의 각부를 촬영 한 후, 영상을 판독하여, 마스크(1)의 이상유무를 측정한다.On the other hand, the mask (1) inspection device for inspecting the mask (1) configured as described above, as shown in Figure 2, the bed (20); A clamp stage 30 provided on the bed 20 to fix the mask frame 10 on the upper surface thereof; A camera unit 40 is provided on the clamp stage 30 and photographs the mask 1 fixed to the mask frame 10. Each part of the mask 1 is provided using the camera unit 40. After photographing, the image is read and the presence of abnormality of the mask 1 is measured.

이때, 상기 베드(20)에는 마스크프레임(10)에 설치된 마스크(1)의 배면을 조명하는 백라이트(50)가 구비된다. 상기 백라이트(50)는 도 3에 도시한 바와 같이, 상기 마스크프레임(10)의 하부에 위치되도록 상기 베드(20)에 메트릭스 형태로 배치된 다수개의 LED(51)가 구비된 것으로, 상기 LED(51)는 상기 베드(20)에 구비된 평판형상의 판평상의 케이스(54)의 내부에 구비되어, LED(51)를 보호할 수 있도록 구성된다. In this case, the bed 20 is provided with a backlight 50 that illuminates the rear surface of the mask 1 installed in the mask frame 10. As shown in FIG. 3, the backlight 50 includes a plurality of LEDs 51 arranged in a matrix form on the bed 20 so as to be positioned below the mask frame 10. 51 is provided inside the flat plate-like case 54 provided in the bed 20, and is configured to protect the LED 51.

따라서, 상기 카메라유닛(40)을 이용하여 마스크(1)의 각부를 촬영할 때 LED(51)를 점등시켜 마스크(1)의 배면을 강하게 조명하므로써, 마스크(1)에 형성된 슬릿이나 관통공의 절단면이 더욱 명확히 보일 수 있도록 한다.Therefore, when photographing each part of the mask 1 using the camera unit 40, the LED 51 is turned on so that the back surface of the mask 1 is strongly illuminated, thereby cutting the slit or through hole formed in the mask 1. Make this more visible.

그런데, 이러한 백라이트(50)는 다수개의 LED(51)가 한꺼번에 점등되어 마스크(1)의 하부면 전체를 조명하므로, 적지 않은 열이 발생되며, 이와같이 발생된 열에 의해 상기 마스크프레임(10)에 고정된 마스크(1)가 열변형 되는 문제점이 있었다. 이러한 문제점을 해결하기 위하여, 상기 카메라유닛(40)의 위치를 이동시킬 때는 백라이트(50)를 off 시키고, 카메라유닛(40)으로 마스크(1)를 촬영할 때만 백라이트(50)를 on 시키고 있으나, 이러한 방법만으로는 백라이트(50)의 열에 의해 마스크(1)가 변형되는 것을 완전히 방지할 수 없는 문제점이 있었다.However, since the backlight 50 illuminates the entire lower surface of the mask 1 by lighting a plurality of LEDs 51 at the same time, a considerable amount of heat is generated and thus fixed to the mask frame 10 by the generated heat. There was a problem that the mask 1 was thermally deformed. In order to solve this problem, the backlight 50 is turned off when the position of the camera unit 40 is moved, and the backlight 50 is turned on only when the mask 1 is photographed by the camera unit 40. There is a problem that the method alone cannot completely prevent deformation of the mask 1 by the heat of the backlight 50.

특히, 상기 카메라유닛(40)은 다수개의 카메라(41)로 이루어져 각 카메라(41)가 서로 다른 기능을 하도록 구성되며, 상기 백라이트(50)는 서로 다른 색의 빛을 발광하는 여러종류의 LED(51)를 구비하여, 각 카메라(41)의 기능에 따라 백색이나 적색, 청색과 같이, 서로 다른 색의 빛을 발광할 수 있도록 구성된다. In particular, the camera unit 40 is composed of a plurality of cameras 41, each camera 41 is configured to have a different function, the backlight 50 is a variety of LEDs that emit light of different colors ( 51, it is configured to emit light of different colors, such as white, red, and blue, depending on the function of each camera 41.

따라서, 백색이나 적색 및 청색 LED(51)가 혼합되어 배열되므로, LED(51)의 배열 및 on-off 제어가 매우 복잡한 문제점이 있었다.Therefore, since the white, red, and blue LEDs 51 are mixed and arranged, there is a problem in that the arrangement and on-off control of the LEDs 51 are very complicated.

본 발명은 상기의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 백라이트의 발열량을 최소화하여, 마스크의 변형을 방지할 수 있을 뿐 아니라, 백라이트를 이루는 LED의 배치가 간단한 새로운 구조의 마스크 검사장치를 제공함에 그 목적이 있다.The present invention is to solve the above problems, to minimize the amount of heat generated by the backlight, to prevent the deformation of the mask, as well as to provide a mask inspection apparatus of a novel structure of a simple arrangement of the LED forming the backlight. have.

상기한 목적을 달성하기 위한 본 발명은, The present invention for achieving the above object,

베드(20)와; 상기 베드(20)에 구비되며 상면에 마스크프레임(10)을 올려놓아 고정할 수 있도록 된 클램프스테이지(30)와; 상기 클램프스테이지(30)의 상부에 설치되어 마스크프레임(10)에 고정된 마스크(1)를 촬영하는 카메라유닛(40)과; 클램프스테이지(30)의 하측에 구비된 다수개의 LED(51)가 구비되며 상기 마스크프레임(10)에 고정된 마스크(1)의 배면을 조명하는 백라이트(50):를 포함하는 마스크 검사장치에 있어서, Bed 20; A clamp stage 30 provided on the bed 20 to fix the mask frame 10 on the upper surface thereof; A camera unit 40 installed on the clamp stage 30 to photograph the mask 1 fixed to the mask frame 10; In the mask inspection apparatus comprising a plurality of LEDs (51) provided on the lower side of the clamp stage 30, the backlight 50 for illuminating the back of the mask (1) fixed to the mask frame (10) ,

상기 백라이트(50)의 LED(51)는 다수개의 LED그룹(52)으로 나뉘어지며, 각각의 LED그룹(52)은 제어유닛(70)에 연결되어 상기 제어유닛(70)에 의해 각기 별도로 점멸제어되는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치가 제공된다.The LEDs 51 of the backlight 50 are divided into a plurality of LED groups 52, and each LED group 52 is connected to the control unit 70 and controlled separately by the control unit 70. Mask inspection apparatus is provided, characterized in that.

본 발명에 따른 마스크 검사장치는 백라이트가 다수개의 LED그룹으로 나뉘어 져, 카메라를 이용하여 촬영되는 부분의 LED그룹만을 선택적으로 점등시키므로, 백라이트에 의해 발생되는 열을 최소화할 수 있을 뿐 아니라, 상기 백라이트의 LED가 다수개의 열로 나뉘어져, 각 열의 LED가 서로 다른 색의 빛을 발광하도록 하여 각기 다른 카메라의 조명을 담당하므로써, LED의 배열 및 on-off 제어가 매우 간단해지는 장점이 있다. In the mask inspection apparatus according to the present invention, the backlight is divided into a plurality of LED groups, and selectively lights only the LED group of the portion photographed using the camera, thereby minimizing heat generated by the backlight, as well as the backlight. Since the LEDs are divided into a plurality of columns, and the LEDs in each column emit light of different colors, so that they are in charge of different cameras, the arrangement and on-off control of the LEDs are very simple.

이하, 본 발명을 첨부된 도면에 의거하여 상세히 설명한다.Hereinafter, the present invention will be described in detail with reference to the accompanying drawings.

본 발명에 따른 마스크 검사장치는 도 2 및 도 3에 도시한 바와 같이, 베드(20)와; 상기 베드(20)에 구비되며 상면에 마스크프레임(10)을 올려놓아 고정할 수 있도록 된 클램프스테이지(30)와; 상기 클램프스테이지(30)의 상부에 설치되어 마스크프레임(10)에 고정된 마스크(1)를 촬영하는 카메라유닛(40)과; 클램프스테이지(30)의 하측에 구비된 다수개의 LED(51)가 구비되며 상기 마스크프레임(10)에 고정된 마스크(1)의 배면을 조명하는 백라이트(50)로 구성된 것은 종래와 동일하다.Mask inspection apparatus according to the present invention, as shown in Figures 2 and 3, the bed 20; A clamp stage 30 provided on the bed 20 to fix the mask frame 10 on the upper surface thereof; A camera unit 40 installed on the clamp stage 30 to photograph the mask 1 fixed to the mask frame 10; A plurality of LEDs 51 provided on the lower side of the clamp stage 30 is provided, and the backlight 50 for illuminating the rear surface of the mask 1 fixed to the mask frame 10 is the same as the conventional art.

이때, 상기 클램프스테이지(30)는 도 4내지 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 베드(20)의 Y축 방향으로 이송가능하게 상기 베드(20)에 장착되어 도시안된 이송장치에 의해 Y축 방향으로 슬라이드된다.In this case, as shown in FIGS. 4 to 7, the clamp stage 30 is mounted on the bed 20 so as to be transportable in the Y-axis direction of the bed 20, and is moved in the Y-axis direction by a conveying device not shown. Slides to.

그리고, 상기 카메라유닛(40)은 서로 기능이 다른 복수개(본 실시예의 경우 3대)의 카메라(41)로 이루어지며, 각각의 카메라(41)는 상호 상기 베드(20)의 Y축 방향으로 이격된 상태에서 상기 베드(20)의 상부에 X축으로 배치된 지지대(24)에 슬라이드가능하게 장착되어 도시안된 이송장치에 의해 X축 방향으로 슬라이드되므로써, 카메라유닛(40)이 X축 방향으로 슬라이드될 때 각 카메라(41)의 이동경로가 상호 겹쳐지지 않도록 구성된다.In addition, the camera unit 40 is composed of a plurality of cameras 41 (three in the present embodiment) having different functions, and each camera 41 is spaced apart from each other in the Y-axis direction of the bed 20. The slide unit is slidably mounted on the support 24 arranged in the X-axis on the upper part of the bed 20 and slides in the X-axis direction by a conveying device, not shown, so that the camera unit 40 slides in the X-axis direction. It is configured so that the movement paths of the respective cameras 41 do not overlap each other when they are.

또한, 상기 백라이트(50)의 LED(51)는 메트릭스 형상으로 배치되며, 상기 베드(20)의 상면에 구비된 케이스(54)의 내부에 설치된다. 상기 케이스(54)는 상기 카메라유닛(40)의 이송방향과 동일하게 X축 방향으로 길게 배치된 개구부(54a)가 상면에 형성된 박스형태로 구성된 것으로, 내부에는 상기 LED(51)가 설치되는 PCB(55)가 구비되고, 상기 PCB(55)의 하측에는 LED(51)에서 발생되는 열을 방출하기 위한 방열판(56)이 구비된다. In addition, the LEDs 51 of the backlight 50 are arranged in a matrix shape and are installed in the case 54 provided on the upper surface of the bed 20. The case 54 is configured in the form of a box formed on the upper surface of the opening 54a arranged long in the X-axis direction in the same direction as the transfer direction of the camera unit 40, the PCB 51 is installed inside 55 is provided, and the lower side of the PCB 55 is provided with a heat sink 56 for dissipating heat generated by the LED (51).

그리고, 상기 백라이트(50)의 LED(51)는 도 6에 도시한 바와 같이, 다수개의 LED그룹(52)으로 나뉘어지며, 각각의 LED그룹(52)은 제어유닛(70)에 연결되어 상기 제어유닛(70)에 의해 각기 별도로 점멸제어된다. And, the LED 51 of the backlight 50 is divided into a plurality of LED groups 52, as shown in Figure 6, each LED group 52 is connected to a control unit 70 to control Each unit 70 is controlled to flash separately.

또한, 상기 백라이트(50)의 LED(51)는 도 7에 도시한 바와 같이, 베드(20)의 X축 방향으로 길게 배치된 복수개의 LED열(53)(본 실시예의 경우, 상기 카메라유닛(40)이 3대의 카메라(41)로 이루어지므로, 상기 LED열(53) 역시 3열로 구성됨)로 이루어지며, 각각의 LED열(53)은 각각 상기 카메라(41)의 하측에 위치되도록 Y축 방향으로 상호 이격배치되어, 각각의 카메라(41)가 하측에 위치된 서로 다른 LED열(53)을 따라 X축 방향으로 이송될 수 있다.In addition, as shown in FIG. 7, the LED 51 of the backlight 50 includes a plurality of LED rows 53 arranged long in the X-axis direction of the bed 20 (in the present embodiment, the camera unit ( 40 is made of three cameras 41, the LED column 53 is also composed of three columns), each of the LED column 53 is located in the Y-axis direction so that each of the LED row 53 is located below the camera 41 Spaced apart from each other, each of the cameras 41 can be transported in the X-axis direction along different LED rows 53 located below.

또한, 각 LED열(53)을 이루는 LED(51)는 상부에 위치된 카메라(41)의 기능에 적합하게 서로 다른 색의 빛을 발광하도록 구성된다. 즉, 상기 LED열(53)에 배치되는 LED(51)는 상부에 구비된 카메라(41)의 기능에 따라, 백색, 적색 청색 등과 같이, 특정한 색을 발광하는 LED(51)를 이용하므로써, 각 LED열(53)에서 각기 다른 색의 빛을 발광하도록 구성된다.In addition, the LED 51 constituting each of the LED strings 53 is configured to emit light of different colors to suit the function of the camera 41 located above. That is, the LED 51 arranged in the LED column 53 uses the LED 51 that emits a specific color, such as white, red, blue, etc., depending on the function of the camera 41 provided thereon. LED rows 53 are configured to emit light of different colors.

그리고, 상기 LED(51)의 상부에는 투광성 합성수지재의 확산패널(60)이 구비된다. 상기 확산패널(60)은 아크릴과 같이 빛을 난반사하는 투광성 재질로 구성된 것으로, 다수개의 LED(51)에서 발광된 빛이 상기 확산패널(60)을 통과하면서 난반사되어 확산패널(60)의 면 전체가 발광되는 효과를 얻을 수 있다. 이때, 상기 확산패널(60)은 투명한 재질로 구성되며, X축 방향으로 긴 스트립형상으로 구성되어, 각각의 LED열(53)의 상부위치에 대응되도록 상기 케이스(54)의 개구부(54a)에 고정설치된다.In addition, a diffusion panel 60 of a translucent synthetic resin material is provided on the LED 51. The diffusion panel 60 is made of a light-transmissive material that diffuses light, such as acrylic, the light emitted from a plurality of LEDs 51 is diffusely reflected while passing through the diffusion panel 60, the entire surface of the diffusion panel 60 The effect of emitting light can be obtained. At this time, the diffusion panel 60 is made of a transparent material, is formed in a strip shape long in the X-axis direction, the opening 54a of the case 54 to correspond to the upper position of each LED row 53 It is fixedly installed.

이와같이 구성된 마스크 검사장치는 상기 백라이트(50)의 LED(51)가 다수개의 LED그룹(52)으로 나뉘어져, 상기 카메라유닛(40)이 X축 방향으로 위치이동될 때, 카메라(41)의 하측에 위치된 LED그룹(52) 만을 선택적으로 on 시키므로써, 동시에 점등되는 LED(51)의 개수를 최소화시키고, LED(51)에서 발생되는 열을 최소화시킬 수 있다. 따라서, LED(51)에서 발생되는 열에 의해 베드(20)의 상부에 설치되는 마스크(1)가 변형되는 것을 방지할 수 있는 장점이 있다.In the mask inspection apparatus configured as described above, the LEDs 51 of the backlight 50 are divided into a plurality of LED groups 52 so that the camera unit 40 is positioned below the camera 41 when the camera unit 40 is moved in the X-axis direction. By selectively turning on only the LED group 52 located, it is possible to minimize the number of LEDs 51 that are simultaneously turned on, and to minimize the heat generated by the LEDs 51. Therefore, there is an advantage that the mask 1 installed on the upper part of the bed 20 can be prevented from being deformed by the heat generated from the LED 51.

또한, 상기 백라이트(50)의 LED(51) 상부에는 확산패널(60)이 구비되어, LED(51)에 의해 확산패널(60)의 면 전체가 발광되는 효과를 얻으므로써, 위치에 따라 빛의 강도가 달라지는 것을 방지할 뿐 아니라, 상기 확산패널(60)은 열전도율이 낮은 합성수지로 구성되어 LED(51)에서 발생된 열을 차단하므로, LED(51)의 열이 상부로 전달되어 베드(20)에 설치되는 마스크(1)가 열변형되는 것을 더욱 효과적으로 방지하는 부가적인 효과를 얻을 수 있다.In addition, a diffusion panel 60 is provided above the LEDs 51 of the backlight 50 to obtain the effect that the entire surface of the diffusion panel 60 is emitted by the LEDs 51. In addition to preventing the intensity change, the diffusion panel 60 is made of a synthetic resin having a low thermal conductivity to block the heat generated by the LED 51, the heat of the LED 51 is transferred to the upper bed 20 The additional effect of more effectively preventing the mask 1 installed in the thermal deformation is obtained.

그리고, 상기 클램프스테이지(30)는 상기 베드(20)의 Y축 방향으로 이송가능하게 상기 베드(20)에 장착되고, 상기 카메라유닛(40)의 카메라(41)는 상호 상기 베드(20)의 Y축 방향으로 이격된 상태에서 X축 방향으로 이송가능하게 장착됨과 동시에, 상기 LED(51)가 X축 방향으로 연장된 다수개의 열로 배열되어, 각 LED열(53)이 각각의 카메라(41)의 하측에 배치되도록 하므로써, 각 LED열(53)이 상부의 카메라(41)의 기능에 적합한 한가지 색의 빛만을 발광하도록 구성하는 것이 가능하다.In addition, the clamp stage 30 is mounted to the bed 20 to be transportable in the Y-axis direction of the bed 20, the camera 41 of the camera unit 40 is mutually of the bed 20 The LEDs 51 are arranged in a plurality of rows extending in the X-axis direction while being mounted to be transportable in the X-axis direction while being spaced in the Y-axis direction, so that each LED row 53 is a respective camera 41. By being arranged underneath, it is possible to configure each LED row 53 to emit light of only one color suitable for the function of the upper camera 41.

따라서, 여러 가지 색의 LED(51)를 혼합하여 배열하여야 하는 종래의 백라이트(50)에 비해, LED(51)의 배열 및 on-off 제어가 매우 간단해지는 장점이 있다.Therefore, as compared with the conventional backlight 50, in which LEDs 51 of various colors are mixed and arranged, there is an advantage in that the arrangement and on-off control of the LEDs 51 are very simple.

또한, 상기 LED(51)의 상부에 확산패널(60)이 구비되므로, LED(51)의 열을 차단하는 단열효과와, LED(51)의 빛을 확산시켜 확산패널(60)의 면전체가 밝게 빛나도록 하므로써 조명의 효율을 높이는 효과가 있는 장점이 있다.In addition, since the diffusion panel 60 is provided on the upper part of the LED 51, the heat insulating effect to block the heat of the LED 51 and the entire surface of the diffusion panel 60 by diffusing the light of the LED 51. By shining brightly, there is an advantage of increasing the efficiency of lighting.

또한, 상기 백라이트(50)의 각 LED열(53)이 서로 다른 색으로 발광되므로, 각 열에 배치되는 LED(51)를 모두 백색 LED(51)로 구성하고, LED(51)의 상부에 배치되는 확산패널(60)을 필요한 색으로 착색하므로써, 각 LED열(53)에서 발광되는 색을 서로 다르게 하는 것이 가능하다. 이러한 경우, 각 LED열(53)의 LED(51)를 동 일한 색으로 구성할 수 있어서, 여러 가지 색의 LED(51)를 이용하는 것에 비해 코스트를 절감할 수 있을 뿐 아니라, 각 LED열(53)의 상부에 구비되는 카메라(41)를 다른 기능의 것으로 교체함에 따라 LED열(53)의 색을 바꾸어야 할 경우, 상기 LED열(53)을 교체하지 않고, 확산패널(60)만 교체하는 것으로 간단하게 LED열(53)에서 발광되는 빛의 색을 교체할 수 있는 장점이 있다.In addition, since each LED column 53 of the backlight 50 emits light of a different color, all the LEDs 51 arranged in each column are composed of white LEDs 51 and are disposed on the LEDs 51. By coloring the diffusion panel 60 to the required color, it is possible to make the colors emitted from the respective LED rows 53 different. In this case, the LEDs 51 of the respective LED rows 53 can be configured with the same color, so that not only can the cost be reduced, but also the respective LED rows 53 can be used compared to the LEDs 51 of various colors. When the color of the LED column 53 is to be changed by replacing the camera 41 provided at the upper part with another function, the LED panel 53 is not replaced, and only the diffusion panel 60 is replaced. There is an advantage that can simply replace the color of the light emitted from the LED column (53).

그리고, 상기 백라이트(50)의 LED(51)는 상기 베드(20)에 별도로 설치된 케이스(54)의 내부에 구비하는 것을 예시하였으나, 필요에 따라, 상기 백라이트(50)의 LED(51)를 상기 베드(20)에 직접 매입설치하는 것도 가능하다.In addition, although the LED 51 of the backlight 50 is provided in the case 54 separately installed in the bed 20, the LED 51 of the backlight 50 may be provided as necessary. It is also possible to install directly to the bed (20).

도 1은 마스크와 마스크 프레임의 일예를 도시한 참고도,1 is a reference diagram illustrating an example of a mask and a mask frame;

도 2는 마스크 검사장치의 일예를 도시한 사시도,2 is a perspective view showing an example of a mask inspection apparatus;

도 3은 마스크 검사장치의 일예를 도시한 정면도,3 is a front view showing an example of a mask inspection apparatus;

도 4는 본 발명에 따른 마스크검사장치의 백라이트와 카메라유닛을 도시한 평면도,4 is a plan view showing a backlight and a camera unit of the mask inspection apparatus according to the present invention;

도 5는 본 발명에 따른 마스크 검사장치의 백라이트를 도시한 부분단면 사시도,5 is a partial cross-sectional perspective view showing a backlight of the mask inspection apparatus according to the present invention;

도 6은 본 발명에 따른 마스크 검사장치의 백라이트의 정단면과 카메라유닛의 배치를 도시한 구성도,6 is a configuration diagram showing the front end surface of the backlight and the camera unit of the mask inspection apparatus according to the present invention;

도 7은 본 발명에 따른 마스크 검사장치의 백라이트의 측단면과 카메라유닛의 배치를 도시한 구성도이다.7 is a configuration diagram showing the side cross-section of the backlight and the camera unit of the mask inspection apparatus according to the present invention.

Claims (5)

베드(20)와; 상기 베드(20)에 구비되며 상면에 마스크프레임(10)을 올려놓아 고정할 수 있도록 된 클램프스테이지(30)와; 상기 클램프스테이지(30)의 상부에 설치되어 마스크프레임(10)에 고정된 마스크(1)를 촬영하는 카메라유닛(40)과; 클램프스테이지(30)의 하측에 구비된 다수개의 LED(51)가 구비되며 상기 마스크프레임(10)에 고정된 마스크(1)의 배면을 조명하는 백라이트(50):Bed 20; A clamp stage 30 provided on the bed 20 to fix the mask frame 10 on the upper surface thereof; A camera unit 40 installed on the clamp stage 30 to photograph the mask 1 fixed to the mask frame 10; A backlight 50 is provided with a plurality of LEDs 51 provided below the clamp stage 30 and illuminates the rear surface of the mask 1 fixed to the mask frame 10. 를 포함하는 마스크 검사장치에 있어서, In the mask inspection apparatus comprising: 상기 백라이트(50)의 LED(51)는 다수개의 LED그룹(52)으로 나뉘어지며, 각각의 LED그룹(52)은 제어유닛(70)에 연결되어 상기 제어유닛(70)에 의해 각기 별도로 점멸제어되는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.The LEDs 51 of the backlight 50 are divided into a plurality of LED groups 52, and each LED group 52 is connected to the control unit 70 and controlled separately by the control unit 70. Mask inspection apparatus characterized in that. 제 1항에 있어서, 상기 클램프스테이지(30)는 상기 베드(20)의 Y축 방향으로 이송되고, 상기 카메라유닛(40)은 서로 기능이 다른 복수개의 카메라(41)로 이루어져 각각의 카메라(41)가 상호 X축 방향으로 이격된 상태에서 Y축 방향으로 이송되도록 구성되는 한편,The method of claim 1, wherein the clamp stage 30 is transferred in the Y-axis direction of the bed 20, the camera unit 40 is composed of a plurality of cameras 41 having different functions from each other (41) ) Is conveyed in the Y-axis direction while being spaced apart from each other in the X-axis direction, 상기 백라이트(50)의 LED(51)는 베드(20)의 X축 방향으로 길게 배치되며 Y축 방향으로 상호 이격되어 상기 카메라(41)의 하측에 각각 위치되는 복수개의 LED열(53)을 이루는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.The LEDs 51 of the backlight 50 are arranged long in the X-axis direction of the bed 20 and are spaced apart from each other in the Y-axis direction to form a plurality of LED rows 53 respectively positioned below the camera 41. Mask inspection apparatus, characterized in that. 제 2항에 있어서, 각각의 LED열(53)에 구비된 LED(51)는 상부에 구비된 카메라(41)의 기능에 적합한 색으로 발광되는 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.3. A mask inspection apparatus according to claim 2, wherein the LEDs (51) provided in the respective LED rows (53) emit light with a color suitable for the function of the camera (41) provided thereon. 제 2항에 있어서, 각 LED열(53)의 상부에는 투광성 합성수지재의 확산패널(60)이 구비된 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치. 3. A mask inspection apparatus according to claim 2, wherein a diffusion panel (60) of a translucent synthetic resin material is provided on each of the LED rows (53). 제 4항에 있어서, 상기 확산패널(60)은 상부에 배치되는 카메라(41)의 기능에 적합한 색으로 착색된 것을 특징으로 하는 마스크 검사장치.5. The mask inspection apparatus according to claim 4, wherein the diffusion panel (60) is colored with a color suitable for the function of the camera (41) disposed thereon.
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