KR101008253B1

KR101008253B1 - 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치

Info

Publication number: KR101008253B1
Application number: KR1020080132207A
Authority: KR
Inventors: 이혜영; 이동만
Original assignee: 이혜영
Priority date: 2008-12-23
Filing date: 2008-12-23
Publication date: 2011-01-14
Also published as: KR20100073507A

Abstract

본 발명은 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치에 관한 것이다. 이는 케이싱과; 상기 케이싱의 내부에 구비되며 기판으로부터 유기성 오염물질을 제거하는 유기물세정부와; 상기 유기물세정부의 측부에 설치되며 기판의 표면으로부터 무기성 오염물질을 분리하는 무기물세정부와; 상기 케이싱 내에 고정된 상태로 공기를 하향 분출하여 케이싱 외부의 공기가 케이싱 내부로 들어오지 못하도록 에어커튼의 역할을 하는 급기부와; 상기 유기물세정부와 무기물세정부에 의해 기판으로부터 분리된 오염물질 및 케이싱내의 불순 가스를 케이싱 외부로 배출하는 배기부를 포함한다.

상기와 같이 이루어지는 본 발명은, 유기물세정부와 무기물세정부가 하나의 케이스 안에 내장되어 있으므로 유기물과 무기물을 동시에 세정할 수 있어 세정능력이 뛰어남은 물론 장치가 컴팩트하여 좁은 장소에도 얼마든지 설치가 가능하고, 특히 물을 사용하지 않으므로 급배수 시설이나 오수처리시설 등이 필요 없어 그만큼 구성이 간단하며 원가를 절감할 수 있고 셋업이 간단하여 사용이 편리하다.

기판세정, 엑시머UV, 플라즈마, 유기물, 무기물

Description

기판용 건식 유무기물 동시 세정장치{Dry type cleaning device for cleaning organic and inorganic matter on substrate}

본 발명은 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치에 관한 것이다.

이를테면 액정표시장치나 평판표시장치 등에 사용되는 기판을 제조하는 공정에는, 소정의 표면처리가 완료된 기판으로부터 각종 유기성 및 무기성 오염물질을 제거하는 세정공정이 포함된다.

이러한 세정공정은 메인 공정에 투입되기 전, 또는 메인 공정중의 기판 표면으로부터 각종 오염물질을 제거함으로써, 불량이 발생하지 않도록 함은 물론 더 나아가 예컨대 증착될 박막의 접착력을 증대시키고 소자의 특성을 향상하기 위한 매우 중요한 과정이다. 이에 상기한 세정공정을 위한 다양한 세정장치가 개발 및 사용되고 있다.

도 1은 기판을 세정하기 위한 종래의 기판 세정장치의 구성 및 문제점을 설명하기 위하여 도시한 도면이다.

기본적으로 종래의 기판 세정장치는, 유기성 오염물질과 무기성 오염물질을 일괄 처리할 수 없으며 특히 그 규모가 거대하고 세정을 위해 다량의 물을 소모한 다는 문제를 갖는다.

도 1에 도시한 바와같이, 종래의 기판 세정장치는, 상호 독립적으로 동작하는 별도의 유기물세정장치(11)와 무기물세정장치(15)로 이루어진다.

상기 유기물세정장치(11)는, 세정 처리할 기판(A)을 수평 이송시키는 콘베이어(11b)와, 상기 콘베이어(11b)를 그 내부로 통과시키며 콘베이어(11b)에 의해 이송되는 기판(A)표면의 유기성 오염물질(이하, 유기물)을 제거하는 유기물세정기(11a)로 이루어진다.

상기 유기물세정기(11a)에 의해 유기물이 제거된 상태의 기판(A)은 이송카트(13)에 의해 무기물세정장치(15)로 이동된다. 경우에 따라 유기물세정장치(11)의 콘베이어(11b)와 무기물세정장치(15)의 콘베이어(15b)를 연접시켜, 이송카트(13) 없이 기판(A)이 무기물세정장치(15)측으로 넘어가게 할 수 도 있으나, 유기물세정장치(11)와 무기물세정장치(15)의 처리속도가 다르기 때문에 이송카트(13) 등의 별도의 이송수단을 사용하는 것이 보통이다.

여하튼, 상기 유기물세정기(11a)에 의해 유기물이 제거된 기판(A)은, 무기물세정장치(15)의 콘베이어(15b)를 타고 무기물세정기(15a) 내부를 통과한다.

상기 무기물세정장치(15)는, 일정속도로 이송되는 기판(A) 표면의 각종 무기성 오염물질(이하, 무기물)을 제거하는 것으로서, 상기 콘베이어(15b)를 그 내부로 통과시키는 무기물세정기(15a)를 갖는다. 상기 무기물세정기(15a)는 다량의 물을 사용하는 습식방식으로서, 세정부(15c)와, 린스부(15d)와, 건조부(15e)로 구성된다.

상기 세정부(15c)는, 기판(A)에 물을 접촉시키거나 물을 분사하여 기판(A) 표면의 무기물질을 떼어내는 역할을 한다. 또한 린스부(15d)는 세정부(15c)를 통과한 기판(A)을 린싱(rinsing)하는 것이며, 건조부(15e)는 기판을 건조시키는 기능을 한다.

도면부호 15f는 무기물세정기(15a)의 내부를 들어다 볼 수 있게 설치한 감시창이다. 작업자는 상기 감시창(15f)을 통해 무기물세정기(15a)의 내부 작동 상태를 볼 수 있다. 상기 감시창(15f)은 작업자가 허리를 굽히지 않고 들여다 볼 수 있을 정도의 높이에 위치한다.

그런데 상기한 구성을 갖는 종래의 기판 세정장치는, 무엇보다 그 크기가 매우 크고 구성이 복잡하기 때문에, 한 사람의 작업자가 운전중의 각종 상황에 민첩히 대응하기가 용이하지 않다는 문제를 갖는다. 또한 대량의 물을 사용하므로 급배수 시설이 충족되어야 함은 물론 특히 배출되는 오염된 물을 처리하기 위한 공해방지용 수처리장치 등의 부대시설이 반드시 설치되어야 한다.

아울러 유기물세정과 무기물세정이 별도의 따로 따로 분리된 장치에서 독립적으로 수행되므로 그만큼 작업 효율이 낮다. 이를테면 유기물세정장치(11)의 처리속도와 무기물세정장치(15)의 처리속도를 맞추지 못할 경우 원활한 연속작업이 불가능하여 효율성이 현저히 떨어질 수 있는 것이다.

본 발명은 상기한 문제점을 해소하고자 창출한 것으로서, 유기물세정부와 무기물세정부가 하나의 케이스 안에 내장되어 있으므로 유기물과 무기물을 동시에 세정할 수 있어 세정능력이 뛰어남은 물론 장치가 컴팩트하여 좁은 장소에도 얼마든지 설치가 가능하고, 특히 물을 사용하지 않으므로 급배수 시설이나 오수처리시설 등이 필요 없어 그만큼 구성이 간단하며 원가를 절감할 수 있고 셋업이 간단하여 사용이 편리한 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치를 제공함에 목적이 있다.

상기 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치는, 각종 유기성 오염물질 및 무기성 오염물질로 오염되어 있는 기판을 통과시키며, 기판으로부터 유무기성 오염물질을 한 번에 제거하기 위한 것으로서, 상기 기판의 이송경로 상부에 설치되는 케이싱과; 상기 케이싱의 내부에 구비되며 이송경로 상부에 오존분위기를 형성하여 오존으로 하여금 이송경로를 따라 이송되는 기판 표면의 유기성 오염물질을 제거하게 하는 유기물세정부와; 상기 유기물세정부의 측부에 설치되며 이송되고 있는 기판에 초음파를 가하여 기판의 표면으로부터 무기성 오염물질을 분리하는 무기물세정부와; 상기 케이싱 내에 고정된 상태로 공기를 하향 분출하여 케이싱 외부의 공기가 케이싱 내부로 들어오지 못하도록 에어커튼의 역할을 하는 급기부와; 상기 유기물세정부와 무기물세정부에 의해 기판으로부터 분리된 오염물질 및 케이싱내의 불순 가스를 케이싱 외부로 배출하는 배기부를 포함 하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 유기물세정부는; 기판의 이송경로 상부에 플라즈마를 발생하여 상기 오존을 유도하는 상압플라즈마발생기를 포함하는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 유기물세정부는; 상기 이동경로를 따라 이동하는 기판에 엑시머UV를 조사하여 기판과의 사이에 상기 오존이 생성되도록 함으로써 기판에 붙어있는 유기성 오염물질을 산화 제거하는 엑시머 UV발생기를 포함하는 것을 특징으로 한다.

아울러, 상기 무기물세정부는; 상기 이송경로와 나란한 수평의 저면을 가지며, 초음파 이동의 매질 역할을 하는 바디와, 상기 바디에 밀착 고정되며 초음파를 발생하여 바디 하부에 초음파 분위기를 형성하는 초음파발생기를 포함하고, 상기 바디의 내부에는, 외부의 블로워로부터 공기를 공급받으며 공급받은 공기를 바디의 하부로 토출하는 에어토출로와, 상기 바디 하부의 공기 및 오염물질을 흡기하여 케이싱 외부로 배출하는 배출로가 형성되어 있는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 케이스는; 상기 이송경로의 상부에 수평으로 고정되는 하부케이스와, 상기 하부케이스의 상부에 탈착 가능하게 장착되는 상부케이스로 이루어지는 것을 특징으로 한다.

이하, 본 발명에 따른 하나의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.

도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치의 외부 형상을 나타내 보인 사시도이다.

기본적으로 본 실시예에 따른 건식 유무기물 동시 세정장치(31)는, 예컨대 콘베이어(41)와 같은 이송수단의 상부에 위치하여, 콘베이어(41)를 따라 이송되는 기판(A) 표면의 유기물과 무기물을 동시에 세정하는 기능을 갖는다. 이를 위해 유기물세정부(43,59)와 무기물세정부(49)가 하나의 케이싱(37)에 내장되어 있다. 아울러 본 실시예에서 상기 유기물세정부(43,59)는 두 가지 방식이 적용된다.

도 2를 참조하면, 본 실시예에 따른 건식 유무기물 동시 세정장치(31)는, 다수의 다리(35)에 의해 수평으로 지지되는 케이싱(37)을 포함한다. 상기 다리(35)는 케이싱(37)을 일정 높이로 지지하여 이를테면 케이싱(37)을 콘베이어(41)의 상부에 수평 위치시킨다.

특히 상기 케이싱(37)은, 하부케이싱(37a)과 상부케이싱(37b)으로 이루어진다. 상기 하부케이싱(37a)은 다리(35)의 상단부에 고정되며 수평의 지지력을 제공하고, 상부케이싱(37b)은 하부케이싱(37a)에 개폐 가능하도록 장착된다. 상기 상부케이싱(37b)은 잠금고리(39)를 통해 하부케이싱(37a)에 고정된다.

상기 잠금고리(39)는 통상적인 것으로서 하부케이싱(37a)에 상부케이싱(37b)을 고정시킨다. 유지보수 등의 필요에 따라 케이싱(37)을 개방해야 할 경우 상기 잠금고리(39)를 풀어 상부케이싱(37b)을 들어올리면 케이싱(37)이 열린다.

도 3은 상기 도 2에 도시한 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치의 내부 구성을 나타내 보인 도면이고, 도 4는 상기 도 3에 도시한 세정장치의 동작을 설명하기 위하여 도시한 구성도이다.

도시한 바와같이, 본 실시예에 따른 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치(31)는, 상기 콘베이어(41)의 상부에 수평으로 위치하는 케이싱(37)과, 상기 케이싱(37)의 내부에 나란하게 설치되는 유기물세정부(43) 및 무기물세정부(49)와, 외부의 블로워(53)로부터 제공되는 공기를 하향 분사함으로써 케이싱(37) 내부로 오염된 주변의 공기가 들어오지 못하도록 에어커튼의 역할을 하는 다수의 토출부(45)와, 세정 과정 중 케이싱(37) 내부에서 발생한 오염물질을 외부로 배출하는 배기구(47)로 구성된다.

상기 유기물세정부(43)는 그 하부에 상압플라즈마영역(P)을 구현하는 상압플라즈발생기(43a)를 갖는다. 상기 상압플라즈마발생기(43a)는 기존에 많이 사용되는 것으로서 외부로부터 반응가스와 전력을 공급받아 상압플라즈마를 발생한다.

공지의 사실과 같이 상기 상압플라즈마는 방전가스로 비활성가스에 미량의 활성가스를 첨가하였을 때 오존 및 라디칼 등의 활성이 높은 입자를 쉽게 대량으로 만들 수 있으므로, 상기 상압플라즈마영역(P)의 내부에는 다량의 오존이 존재한다. 상기 오존은 반도체 제조공정 중 기판의 소독 및 유기물질 세정에 중요하게 사용되 고 있는 물질이다.

결국 상기 콘베이어(41)의 작동에 의해 케이싱(37) 하부로 진입하여 플라즈마영역(P)을 통과하는 기판(A)은 오존에 접촉되고 그에 따라 기판 표면의 유기성 오염물질이 상기 오존의 작용에 의해 제거된다.

상기 유기물세정부(43)의 측부에 설치되는 무기물세정부(49)는, 기판(A) 표면에 부착되어 있는 각종 무기성 오염물질을 제거하는 것으로서 그 하부에 초음파영역(S)을 만든다. 상기 초음파영역(S)은 두 개의 초음파발생기(51)로부터 비롯된 것이다.

상기 무기물세정부(49)는 알루미늄으로 주물 제작되며 상기 이송경로와 나란한 수평의 저면(49m)을 갖는 바디(49a)와, 상기 바디(49a)의 양측부에 밀착 고정되며 초음파를 발생하는 두 개의 초음파발생기(51)로 이루어진다.

상기 바디(49a)는 일정한 밀도를 가지며 초음파의 매질 역할을 한다. 상기 초음파발생기(51)로부터 발생한 초음파는 바디(49a)를 통과해 저면(49m)으로 유도되어 이송경로 측으로 전달된다.

아울러 상기 바디(49a)의 내부에는 배기통로(49b)와 중간통로(49c)가 위 아래로 배치되어 있다. 또한 상기 배기통로(49b)와 중간통로(49c)는 연결관(49e)을 통해 이어져 있다. 상기 배기통로(49b)는 진공파이프(55a)를 통해 외부의 진공펌프(55)에 연결되어 있고, 중간통로(49c)는 흡기구(49d)를 통해 하부로 개방되어 있다.

상기 배기통로(49b)와 중간통로(49c) 및 연결관(49e)은 무기물세정부(49)의 하부에서 발생하는 각종 파티클이나 오염된 가스 등을 케이싱(37) 외부로 배출하는 것이다.

또한, 상기 중간통로(49c)의 양측부에는 급기구(49k)를 통해 하부로 개방된 급기통로(49f)가 하나씩 형성되어 있다. 상기 급기통로(49f)는 급기파이프(53a)를 통해 외부로부터 공급되는 공기나 필요한 가스를 받아들여 하향 분출함으로서 기판의 표면으로부터 오염물질을 떼어내는 역할을 한다. 상기 급기통로(49f)가 급기파이프(53a)를 통해 외부의 블로워(53)와 이어져 있음은 물론이다.

상기 초음파발생기(51)는 공지의 것으로서 바디(49a)의 양측면에 대칭으로 밀착 고정된 상태로 초음파를 발생한다. 상기 초음파발생기(51)로부터 발생한 초음파는 바디(49a)를 매질로 삼아 이동하여 바디(49a)의 하부에 초음파영역(S)을 구현한다.

따라서 상기 콘베이어(41)에 의해 초음파영역(S)을 통과하는 기판(A)에 초음파 파동이 전달되어 기판에 붙어있던 오염물질이 기판으로부터 떼어진다. 상기 기판(A)으로부터 분리된 각종 무기물은 흡기구(49d)로 빨려들어가 중간통로(49c)와 연결관(49e)과 배기통로(49b)를 거쳐 외부로 배출된다.

한편, 상기 상압플라즈마발생기(43a)와 바디(49a)의 외측부 즉 케이싱(37)의 외부를 향하는 위치에는 토출부(45)가 설치된다. 상기 토출부(45)는 외부로부터 공급된 기체를 하향 분사하는 것으로서, 케이싱(37)의 내부공간을 외부로부터 차단하는 이른바 에어커튼의 역할은 물론, 상기 플라즈마영역(P)이나 초음파영역(S)내의 오염물질을 배기구(47)측으로 쓸고 나가는 역할도 한다.

상기 토출부(45)는 급기파이프(53a)를 통해 블로워(53)에 연결되어 있다. 아울러 상기 급기파이프(53a)에는 필터부(53c) 및 건조부(53d)가 구비되어 있다. 상기 필터부(53c)는 급기파이프(53a)를 내부 유동하는 기체내의 이물질을 필터링하는 것이며, 건조부(53d)는 상기 기체 내부의 습기를 제거하는 것이다. 상기 필터부(53c)나 건조부(53d)는 일반적인 필터나 건조기를 사용할 수 있다.

여하튼 상기 토출부(45)에는 상기 급기파이프(53a)에 연결되는 급기관(45a)과, 상기 급기관(45a)에 연통하여 수직 하부로 연장되며 하부로 개방된 분기관(45b)이 마련되어 있다. 상기 분기관(45b)을 통해 하부로 분출되는 기체는 필터링 및 건조를 마친 청정한 상태로서, 새로이 진입하는 기판(A) 표면의 먼지나 이물질 등을 1차로 털어 내며, 세정을 마치고 케이싱(37)을 벗어나는 기판(A)에 남아 있을지 모르는 미세한 오염물질을 날려 보내는 기능을 겸한다.

상기 유기물세정부(43)와 무기물세정부(49)의 사이에는 배기부(47)가 구비되어 있다. 상기 배기부(47)는 케이싱(37) 내부에서 발생하는 오염된 기체나 오염물질을 케이싱(37) 외부로 배출하는 것이다. 상기 바디(49a) 내부에 마련되어 있는 중간통로(49c) 및 배기통로(49b)는 주로 초음파영역(S)에서 발생하는 오염물질을 배출하는 용도이고, 배기부(47)는 플라즈마영역(P)에서 나오는 유기성 오염물질이나 미처 배출되지 못한 무기성 오염물질 및 가스를 배출하는 역할을 한다.

상기 배기부(47)의 내부에는 진공파이프(55a)에 연결되는 배기관(47a)과, 상기 배기관(47a)에 연통하며 하부로 개방된 수직튜브(47b)가 마련되어 있다. 상기 진공펌프(55)가 동작하면 배기관(47a)의 내부에 음압이 걸리고 그에 따라 배기 부(47) 주변의 가스나 오염물질이 수직튜브(47b)로 빨려 들어가게 됨은 물론이다.

도 5는 상기 도 2에 도시한 유무기물 동시 세정장치의 다른 구성예를 나타내 보인 도면이고, 도 6은 상기 도 5에 도시한 동시 세정장치의 동작을 설명하기 위하여 도시한 구성도이다.

상기한 도면부호와 동일한 도면부호는 동일한 기능의 동일한 부재를 가리키며 반복되는 설명은 생략하기로 한다.

도시한 바와같이, 다른 구성예에 따른 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치(31)는, 유기물을 세정하기 위한 유기물세정부(59)로서 엑시머(Eximer)UV발생기(59a)를 갖는다. 상기 엑시머UV발생기(59a)는 액정표시장치나 평판표시장치용 기판의 세정을 위한 공정에 사용되는 공지의 장비이다.

상기 엑시머UV발생기(59a)는 기판(A)을 향해 엑시머UV를 하향 조사하여 그 하부에 UV영역(Z)을 형성한다. 이를 위해 상기 엑시머UV발생기(59a)의 하측부에는 다수의 엑시머UV램프(59b)가 구비되어 있다.

상기 엑시머UV램프(59b)로부터 발생하는 자외선 영역의 파장은 별도로 제공된 반응성 가스와 광화학 반응을 하여 오존을 발생한다. 따라서 상기 UV영역(Z)의 내부에는 오존이 존재하게 된다. 오존이 기판(A) 표면의 유기물을 제거할 수 있음은 상기한 바와같다.

상기 엑시머UV발생기(59a)나 상압플라즈마발생기(43a)는 다른 장치이지만 오존을 발생하는 공통의 역할을 한다.

결국 상기한 구성을 갖는 본 실시예의 기판용 건식 유무기물 동시 세정장 치(31)는, 콘베이어(41)에 의해 소정 속도로 이송되는 기판(A)을 그 하부로 통과시키며, 유기물세정부(43,59) 및 무기물세정부(49)로 하여금 기판(A)에 붙어 있는 유기성 오염물질과 무기성 오염물질을 한 번에 제거하게 하는 것이다.

이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정하지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위내에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.

도 3은 상기 도 2에 도시한 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치의 내부 구성을 나타내 보인 도면이다.

도 4는 상기 도 3에 도시한 세정장치의 동작을 설명하기 위하여 도시한 구성도이다.

도 5는 상기 도 2에 도시한 유무기물 동시 세정장치의 다른 구성예를 나타내 보인 도면이다.

도 6은 상기 도 5에 도시한 동시 세정장치의 동작을 설명하기 위하여 도시한 구성도이다.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

11:유기물세정장치 11a:유기물세정기 11b:콘베이어

13:이송카트 15:무기물세정장치 15a:무기물세정기

15b:콘베이어 15c:세정부 15d:린스부

15e:건조부 15f:감시창 31:유무기물 동시 세정장치

35:다리 37:케이싱 37a:하부케이싱

37b:상부케이싱 39:잠금고리 41:콘베이어

43:유기물세정부 43a:상압 플라즈마발생기 45:토출부

45a:급기관 45b:분기관 47:배기부

47a:배기관 47b:수직튜브 49:무기물세정부

49a:바디 49b:배기통로 49c:중간통로

49d:흡기구 49e:연결관 49f:급기통로

49k:급기구 49m:저면 51:초음파발생기

53:블로워 53a:급기파이프 53c:필터부

53d:건조부 55:진공펌프 55a:진공파이프

59:유기물세정부 59a:엑시머UV발생기 59b:엑시머UV램프

Claims

각종 유기성 오염물질 및 무기성 오염물질로 오염되어 있는 기판을 통과시키며, 기판으로부터 유무기성 오염물질을 한 번에 제거하기 위한 것으로서,

상기 기판의 이송경로 상부에 설치되는 케이싱과;

상기 케이싱의 내부에 구비되며 이송경로 상부에 오존분위기를 형성하여 오존으로 하여금 이송경로를 따라 이송되는 기판 표면의 유기성 오염물질을 제거하게 하는 유기물세정부와;

상기 유기물세정부의 측부에 설치되며 이송되고 있는 기판에 초음파를 가하여 기판의 표면으로부터 무기성 오염물질을 분리하는 무기물세정부와;

상기 케이싱 내에 고정된 상태로 공기를 하향 분출하여 케이싱 외부의 공기가 케이싱 내부로 들어오지 못하도록 에어커튼의 역할을 하는 급기부와;

상기 유기물세정부와 무기물세정부에 의해 기판으로부터 분리된 오염물질 및 케이싱내의 불순 가스를 케이싱 외부로 배출하는 배기부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치.
제 1항에 있어서,

상기 유기물세정부는;

기판의 이송경로 상부에 플라즈마를 발생하여 상기 오존을 유도하는 상압플라즈마발생기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 건식 유무기물 동시 세정장 치.
제 1항에 있어서,

상기 유기물세정부는;

상기 이동경로를 따라 이동하는 기판에 엑시머UV를 조사하여 기판과의 사이에 상기 오존이 생성되도록 함으로써 기판에 붙어있는 유기성 오염물질을 산화 제거하는 엑시머 UV발생기를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치.
제 2항 또는 제 3항에 있어서,

상기 무기물세정부는;

상기 이송경로와 나란한 수평의 저면을 가지며, 초음파 이동의 매질 역할을 하는 바디와,

상기 바디에 밀착 고정되며 초음파를 발생하여 바디 하부에 초음파 분위기를 형성하는 초음파발생기를 포함하고,

상기 바디의 내부에는,

외부의 블로워로부터 공기를 공급받으며 공급받은 공기를 바디의 하부로 토출하는 에어토출로와,

상기 바디 하부의 공기 및 오염물질을 흡기하여 케이싱 외부로 배출하는 배출로가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치.
제 1항에 있어서,

상기 케이싱은;

상기 이송경로의 상부에 수평으로 고정되는 하부케이싱과,

상기 하부케이싱의 상부에 탈착 가능하게 장착되는 상부케이싱으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판용 건식 유무기물 동시 세정장치.