KR101005881B1 - 기판 처리장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (8)
- 기판의 처리 공정이 이루어지는 공간을 제공하는 챔버;상기 챔버 안에 구비되고, 상기 기판을 처리하기 위한 처리 유체를 제공하는 처리 유닛;상기 챔버의 외부에 위치하고, 일단이 상기 챔버의 측벽에 결합되며, 상기 챔버 안의 흄과 미세 파티클을 외부로 배기하는 배기관; 및상기 배기관의 입력단에 설치되고, 회전하여 상기 챔버 안의 기류가 상기 배기관 측으로 흐르도록 유도하는 제1 팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제1항에 있어서, 상기 제1 팬은 상기 챔버 안에 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 삭제
- 제1항 또는 제2항에 있어서,상기 배기관의 출력단에 연결되고, 회전하여 상기 배기관의 기류가 상기 입력단으로부터 상기 출력단 측으로 흐르도록 유도하는 제2 팬을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 기판의 처리 공정이 이루어지는 공간을 제공하는 챔버;상기 챔버 안에 구비되고, 상기 기판을 처리하기 위한 처리 유체를 제공하는 처리 유닛;상기 챔버의 외부에 위치하고, 일단이 상기 챔버의 측벽에 결합되며, 상기 챔버 안의 흄과 미세 파티클을 외부로 배기하는 배기관; 및상기 챔버 안에서 상기 챔버 안의 흄과 미세 파티클이 상기 배기관으로 유입되는 경로 상에 위치하고, 회전하여 상기 챔버 안의 기류가 상기 배기관 측으로 흐르도록 유도하는 제1 팬을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제5항에 있어서, 상기 제1 팬은 상기 배기관의 입구에 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제5항에 있어서, 상기 제1 팬은 상기 배기관의 내부에서 상기 배기관의 입구와 인접하게 위치하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
- 제5항 내지 제7항 중 어느 한 항에 있어서,상기 배기관의 출력단에 연결되고, 회전하여 상기 배기관의 기류가 상기 배기관의 입력단으로부터 상기 출력단 측으로 흐르도록 유도하는 제2 팬을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리장치.
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