KR100997461B1 - Corrosion inhibitor composition for shadow mask - Google Patents

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조삼영
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주식회사 동진쎄미켐
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Abstract

포토레지스트를 이용한 패턴 형성 공정과, 열처리 공정이 수행되는 새도우 마스크에 대한 세정 및 방청력이 우수한 새도우 마스크용 방청제 조성물이 개시된다. 상기 방청제 조성물은 무기 수산화물, 유기 수산화물, 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 수산화물과 무기염 부식방지제 및 물을 포함하며, 상기 무기염 부식방지제의 사용량은 0.001 내지 5 중량부이고, 상기 무기 수산화물의 사용량은 0.001 내지 30 중량부, 상기 유기 수산화물의 사용량은 0.001 내지 30 중량부이고, 상기 물의 사용량은 0.001 내지 99 중량부이다. A pattern forming process using a photoresist and a rust preventive composition for a shadow mask having excellent cleaning and rust preventing properties for a shadow mask to which a heat treatment process is performed are disclosed. The anti-corrosive composition includes a hydroxide selected from the group consisting of inorganic hydroxides, organic hydroxides, and mixtures thereof, inorganic salt preservatives and water, and the amount of the inorganic salt preservatives is 0.001 to 5 parts by weight, and the inorganic hydroxide The amount of is used in 0.001 to 30 parts by weight, the amount of the organic hydroxide is used in 0.001 to 30 parts by weight, the amount of water is used in 0.001 to 99 parts by weight.

새도우 마스크, 방청제, 무기염 부식방지제, 무기 수산화물, 유기 수산화물, 아미노알코올 화합물Shadow masks, rust inhibitors, inorganic salt preservatives, inorganic hydroxides, organic hydroxides, aminoalcohol compounds

Description

새도우 마스크용 방청제 조성물{Corrosion inhibitor composition for shadow mask} Corrosion inhibitor composition for shadow mask             

도 1은 텔레비전, 모니터 등의 화상 표시장치에 일반적으로 사용되는 캐쏘오드 레이 튜브의 개략도.1 is a schematic diagram of a cathode ray tube generally used in image display devices such as televisions, monitors, and the like.

도 2는 캐쏘오드 레이 튜브에 사용되는 새도우 마스크의 제조과정을 설명하기 위한 도면.
2 is a view for explaining the manufacturing process of the shadow mask used in the cathode ray tube.

본 발명은 새도우 마스크용 방청제 조성물에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 포토레지스트를 이용한 패턴 형성 공정과, 열처리 공정이 수행되는 새도우 마스크에 대한 세정 및 방청력이 우수한 새도우 마스크용 방청제 조성물에 관한 것이다.
The present invention relates to a rust inhibitor composition for shadow masks, and more particularly, to a pattern mask process using a photoresist and a rust preventive composition for shadow masks having excellent cleaning and rust resistance for a shadow mask to which a heat treatment process is performed.

텔레비전, 모니터 등의 화상 표시장치에 일반적으로 사용되는 캐쏘오드 레이 튜브(Cathode ray tube: CRT)는, 도 1에 도시된 바와 같이, R, G, B 화상 신호에 따라 전자빔을 방출하는 전자총(10), 상기 전자총(10)에서 방출된 전자빔의 진행방향을 바꾸어 원하는 위치의 형광면(22)에 전자빔을 주사하기 위한 편향요크(12), 및 형광면(22)의 R, G, B 영역에 대응하는 다수의 홀(hole)이 형성되어 있어, 편향된 전자빔이 형광면(22)의 R, G, B 영역에 정확히 입사할 수 있도록 하는 새도우 마스크(20)를 포함한다. 도 1에서 도면 부호 14는 캐쏘오드 레이 튜브의 외형을 구성하는 펀넬(funnel)을 나타내고, 도면 부호 24는 형광면(22)이 형성되는 패널(24)을 나타낸다. 도 2를 참조하여, 이와 같은 새도우 마스크(20)의 제조과정을 설명하면, 먼저 새도우 마스크를 형성하는 원재료인 철판(40)에 존재하는 이물질을 제거하는 탈지 과정을 수행하고, 이물질이 제거된 철판(40)에 감광막(42)을 도포한 다음(도 2의 A 참조), 감광막(42)이 도포된 철판(40)에 소정 패턴을 가지는 마스크를 장착하고, 빛을 주사하여, 상기 감광막(42)을 소정 패턴으로 노광시킨다(도 2의 B 참조). 다음으로, 감광막(42)의 노광되지 않은 미노광부(42a)를 물로 세척, 제거하여 현상한 다음(도 2의 C 참조), 염화제이철 등의 에칭 용액을 이용하여 감광막이 제거된 철판(40) 부분을 에칭하여, 철판(40)에 소정 패턴으로 다수의 홀(hole, 44)을 형성한다(도 2의 D 참조). 도 2의 D에서 각각의 홀(44)은 현상된 미노광부(42a) 영역에 생성된 것으로, 도 2의 B 및 C는 현상된 미노광부(42a) 하나만을 도시하였으나, 도 2의 D 편의상 2개의 홀(44)을 도시하였다. 이와 같이 새도우 마스크를 구성하는 철판(40)에 소정 패턴의 홀(hole, 44)이 형성되면, 박리액으로 감광막(42)을 제거한 다음(도 2의 E 참조), 새도우 마스크가 부식되는 것을 방 지하지 위하여 방청제를 이용하여 방청 처리를 하고, 철판을 1매씩 절단하여 최종제품인 새도우 마스크를 제조한다. 상술한 바와 같은 새도우 마스크의 제조 공정에서, 소정 패턴의 홀을 형성한 후, 감광막을 제거하는 방법에 대하여는 대한민국 공개특허 특2000-0059974호에 상세히 개시되어 있다. 상기 문헌을 참조하여, 감광막을 제거하는 방법을 살펴보면, 먼저 감광막이 도포된 철판을 박리액에 침적시켜 감광막을 팽윤시킴으로서, 철판과의 부착력을 저하시키고, 감광막이 팽윤된 철판에 초음파와 함께 순수를 분사하여 철판에 존재하는 잔사를 박리시킨 다음, 철판에 고압의 물을 경사지도록 분사시켜 철판 표면에서 감광막을 완전히 제거하고, 철판을 방청액에 침적시켜 철판 표면에 방청액을 코팅하여 후속공정에서 철판이 부식되지 않도록 한다. 끝으로, 방청액이 코팅된 철판에 순수 등의 세정액을 분사하여 철판 표면에 부착된 이물질을 최종적으로 제거한다.
Cathode ray tubes (CRTs), which are generally used in image display devices such as televisions and monitors, are electron guns 10 that emit electron beams in accordance with R, G, and B image signals, as shown in FIG. ), The deflection yoke 12 for scanning the electron beam on the fluorescent surface 22 at a desired position by changing the traveling direction of the electron beam emitted from the electron gun 10, and corresponding to the R, G, and B regions of the fluorescent surface 22 A plurality of holes are formed to include a shadow mask 20 to allow the deflected electron beam to be incident precisely on the R, G, and B regions of the fluorescent surface 22. In FIG. 1, reference numeral 14 denotes a funnel constituting the outline of the cathode ray tube, and reference numeral 24 denotes a panel 24 in which a fluorescent surface 22 is formed. Referring to FIG. 2, a manufacturing process of the shadow mask 20 will be described. First, a degreasing process of removing foreign matter present in the iron plate 40, which is a raw material for forming the shadow mask, is performed, and the iron plate from which the foreign matter is removed. After applying the photosensitive film 42 to 40 (refer to A of FIG. 2), a mask having a predetermined pattern is mounted on the iron plate 40 to which the photosensitive film 42 is applied, and light is scanned to form the photosensitive film 42. ) Is exposed in a predetermined pattern (see B in FIG. 2). Next, the unexposed portion 42a of the photosensitive film 42 is washed with water, removed, and developed (see FIG. 2C), and then the iron plate 40 from which the photosensitive film is removed using an etching solution such as ferric chloride. The portion is etched to form a plurality of holes 44 in the iron plate 40 in a predetermined pattern (see D in FIG. 2). In FIG. 2D, each hole 44 is formed in the developed unexposed portion 42a. Although B and C of FIG. 2 show only one developed unexposed portion 42a, for convenience of D in FIG. Two holes 44 are shown. As described above, when holes 44 having a predetermined pattern are formed in the iron plate 40 constituting the shadow mask, the photoresist film 42 is removed with a stripping solution (see FIG. 2E), and the shadow mask is prevented from being corroded. In order to prevent this, the antirust treatment is performed using a rust preventive agent, and the iron sheet is cut one by one to produce a shadow mask as a final product. In the manufacturing process of the shadow mask as described above, a method of removing the photosensitive film after forming a predetermined pattern of holes is disclosed in detail in Korean Patent Laid-Open No. 2000-0059974. Referring to the above document, a method of removing the photoresist film is first observed by dipping the iron plate coated with the photoresist film on a stripping solution to swell the photoresist film, thereby lowering the adhesion to the iron plate and applying pure water together with ultrasonic waves to the iron plate on which the photoresist film is swelled. After spraying, peeling off the residues on the iron plate, spraying high pressure water on the iron plate to incline to completely remove the photoresist on the surface of the iron plate, depositing the iron plate on the rust solution to coat the anti-rust solution on the iron plate surface in the subsequent process Do not corrode. Finally, a cleaning solution such as pure water is sprayed onto the iron plate coated with the rust preventive solution to finally remove foreign substances adhering to the iron plate surface.

이와 같은 새도우 마스크의 제조 공정에서, 새도우 마스크를 형성하는 철판에 방청액을 코팅하는 과정은 (i) 새도우 마스크 제품 출하 후, 장기간 보관 시 발생할 수 있는 새도우 마스크의 부식을 억제하여, 새도우 마스크 품질을 장기간 유지할 수 있으므로 새도우 마스크의 전체 제조 수율을 향상시킬 수 있으며, (ii) 후공정인 브라운관 제조 후, 발생될 수 있는 새도우 마스크의 부식을 억제하여, 최종 제품인 브라운관의 제조 수율을 향상시킨다는 측면에서 매우 중요하다. 또한, 최근 평판 표시장치(Flat Panel Display: FPD)에 대응하여 개발되는 완전평면 TV, 완전평면 모니터 등과 같은 CRT는 그 화면이 평면화, 고화질화, 대형화되어 가고 있 다. 이와 같이 평면, 대형 CRT를 제조하면서도, 충분한 내충격성을 가지는 새도우 마스크를 제조하기 위하여, 새도우마스크에 장력(Tension)을 가하거나, 새도우 마스크의 철판 내의 탄소 함량을 증가시키는 방법이 사용되고 있으며, 이와 같은 방법에 의하여 50 내지 100㎛의 박판을 사용하면서도 기존의 두꺼운 철판과 유사한 기계적 강도를 얻을 수 있다. 그러나, 이와 같은 박막 새도우 마스크는 높은 탄소 함량으로 인하여 부식에 약한 단점이 있으므로, 새도우 마스크의 부식 방지가 평면, 대형 새도우 마스크의 생산에서 더욱 중요한 문제가 되고 있다. 또한 장력(Tension)을 가하는 인장형 새도우 마스크는, 새도우 마스크 제조 공정 시 발생된 박판 내의 잔류응력에 의하여, 새도우 마스크가 쉽게 파손되므로, 이를 방지하기 위하여 장력을 가하기 전에 490℃에서 2시간 정도 열처리하는 공정 즉, 소둔공정(Annealing)을 거치게 되며, 이때 박판 표면에 존재하는 이물질이 산화되면서 새도우 마스크의 부식을 더욱 촉진시키는 것으로 알려져 있다. 따라서, 이와 같은 박판, 인장형 새도우 마스크에 대하여는, 잔류 감광막의 제거를 주요 기능으로 하는 기존의 수산화나트륨계 방청액으로는 새도우 마스크의 부식을 충분히 방지할 수 없는 단점이 있다.
In the manufacturing process of the shadow mask, coating the anti-corrosive solution on the iron plate forming the shadow mask (i) suppresses corrosion of the shadow mask that may occur during long-term storage after shipping the shadow mask product, thereby improving the quality of the shadow mask. Since it can be maintained for a long time, it is possible to improve the overall manufacturing yield of the shadow mask, and (ii) to suppress the corrosion of the shadow mask that may occur after the manufacturing of the crown tube, which is a post-process. It is important. In addition, CRTs such as a flat panel TV, a flat panel monitor, etc., which are developed in response to a flat panel display (FPD), are being flattened, high quality, and large in size. As described above, in order to manufacture a shadow mask having sufficient impact resistance while manufacturing a flat and large CRT, a method of applying a tension to the shadow mask or increasing the carbon content in the iron plate of the shadow mask is used. By using the method, it is possible to obtain a mechanical strength similar to that of a conventional thick iron sheet while using a thin sheet of 50 to 100 µm. However, since such thin shadow masks have a weak disadvantage in corrosion due to high carbon content, corrosion prevention of shadow masks becomes more important in the production of flat and large shadow masks. In addition, the tension shadow mask applying tension is easily damaged by the residual stress in the thin plate generated during the shadow mask manufacturing process, so that the heat treatment is performed at 490 ° C. for about 2 hours before the tension is applied to prevent this. The process, that is, the annealing process (Annealing), and is known to further promote the corrosion of the shadow mask as the foreign matter present on the thin plate surface is oxidized. Therefore, with respect to such thin and tensile shadow masks, there is a disadvantage in that corrosion of the shadow masks cannot be sufficiently prevented with existing sodium hydroxide anticorrosive liquids whose main function is to remove residual photoresist.

따라서 본 발명의 목적은 새도우 마스크의 방청 효과가 우수하여, 새도우 마스크 제조 후 장기간 보관하는 경우에도, 새도우 마스크의 부식을 방지할 수 있는 방청제 조성물을 제공하는 것이다. Accordingly, an object of the present invention is to provide an anticorrosive composition which is excellent in the antirust effect of a shadow mask, and can prevent corrosion of the shadow mask even when stored for a long time after the manufacture of the shadow mask.                         

본 발명의 다른 목적은 새도우 마스크 표면에 존재하는 잔류 감광막 및 이물질을 완전히 제거하여, 추후의 열처리 공정에서 이물질에 의한 산화물이 새도우 마스크 표면에 발생하는 것을 방지할 수 있는 방청제 조성물을 제공하는 것이다.Another object of the present invention is to provide a rust preventive composition capable of completely removing residual photoresist film and foreign matter present on the shadow mask surface, thereby preventing oxides caused by foreign matter from occurring on the shadow mask surface in a subsequent heat treatment process.

본 발명의 또 다른 목적은 새도우 마스크를 무기염 부식 방지제로 처리하여, 새도우 마스크 표면을 개질함으로서, 열처리 후에도 방청 기능을 수행할 수 있는 방청제 조성물을 제공하는 것이다.
Still another object of the present invention is to provide a rust preventive composition capable of performing a rust preventive function even after heat treatment by modifying the shadow mask surface by treating the shadow mask with an inorganic salt corrosion inhibitor.

상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명은 무기염 부식방지제, 물, 및 무기 수산화물, 유기 수산화물 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택된 수산화물을 포함하는 새도우 마스크용 방청제 조성물을 제공한다. 여기서, 상기 방청제 조성물은 수용성 아미노알코올 화합물을 더욱 포함하는 것이 바람직하다. 또한 상기 무기염 부식방지제의 사용량은 0.001 내지 5 중량부이고, 상기 무기 수산화물의 사용량은 0.001 내지 30 중량부이고, 상기 유기 수산화물의 사용량은 0.001 내지 30 중량부이며, 상기 수용성 아미노알코올 화합물의 사용량은 0.001 내지 99 중량부이고, 상기 물의 사용량은 0.001 내지 99 중량부인 것이 바람직하다. 상기 무기염 부식방지제로는 크롬산염, 규산염, 아질산염, 인산염, 붕산염 등을 사용하고, 상기 무기 수산화물로는 수산화리튬, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화루비듐, 수산화세슘 등을 사용하며, 상기 유기 수산화물로는 수산화암모늄, 테트라메틸암모늄하이드록사이드, 테트라에틸암모늄하이드록사이드, 테트라프로필암모늄하이드록사 이드, 테트라부틸암모늄하이드록사이드 등을 사용하고, 상기 수용성 아미노알코올 화합물로는 모노에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민, N-메틸에탄올아민, N-에틸에탄올아민, 이소프로판올아민, N,N-디메틸에탄올아민, N,N-디에틸에탄올아민, N,N-디부틸에탄올아민, N-(2-아미노에틸)에탄올아민, N-메틸디에탄올아민, 3-아미노-1프로판올 등을 사용할 수 있다.
In order to achieve the above object, the present invention provides an anticorrosive composition for a shadow mask comprising an inorganic salt corrosion inhibitor, water and a hydroxide selected from the group consisting of inorganic hydroxides, organic hydroxides and mixtures thereof. Here, it is preferable that the said rust preventive composition further contains a water-soluble amino alcohol compound. In addition, the amount of the inorganic salt corrosion inhibitor is 0.001 to 5 parts by weight, the amount of the inorganic hydroxide is 0.001 to 30 parts by weight, the amount of the organic hydroxide is 0.001 to 30 parts by weight, the amount of the water-soluble amino alcohol compound is 0.001 to 99 parts by weight, and the amount of water used is preferably 0.001 to 99 parts by weight. As the inorganic salt corrosion inhibitor, chromate, silicate, nitrite, phosphate, borate, and the like are used, and the inorganic hydroxide is lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, rubidium hydroxide, cesium hydroxide, and the like. Ammonium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide, and the like, and as the water-soluble aminoalcohol compound, monoethanolamine and diethanolamine , Triethanolamine, N-methylethanolamine, N-ethylethanolamine, isopropanolamine, N, N-dimethylethanolamine, N, N-diethylethanolamine, N, N-dibutylethanolamine, N- (2- Aminoethyl) ethanolamine, N-methyldiethanolamine, 3-amino-1propanol and the like can be used.

이하, 본 발명을 상세히 설명하면 다음과 같다.Hereinafter, the present invention will be described in detail.

본 발명에 따른 새도우 마스크용 방청제 조성물은 새도우 마스크 제조 과정에서, 박막공정 후 방청 공정에 사용되는 조성물로서, 잔류 감광막, 각종 이물질 등을 세정함과 동시에, 새도우 마스크 표면을 개질하는 기능을 하는 것으로서, 본 발명에 따른 방청제 조성물은 (i) 무기염 부식방지제 및 (ii) 물과 함께, (iii) 무기 수산화물, 유기 수산화물 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 수산화물을 포함한다.
The anti-corrosive composition for shadow masks according to the present invention is a composition used for the anti-rust process after the thin film process in the manufacturing process of the shadow mask, and serves to clean the residual photoresist film, various foreign substances, etc., and to modify the shadow mask surface. The rust inhibitor composition according to the present invention comprises a hydroxide selected from the group consisting of (i) inorganic hydroxides, organic hydroxides and mixtures thereof, with (i) an inorganic salt preservative and (ii) water.

본 발명에 따른 방청제 조성물에 필수적으로 사용되는 무기염 부식방지제는 방청력이 우수하며, 새도우 마스크의 표면을 개질하여, 소둔 공정의 열처리 후에도, 새도우 마스크 표면에 잔류하여 방청 기능을 하는 것으로서, 이와 같은 무기염 부식방지제로는 크롬산염, 규산염, 아질산염, 인산염, 붕산염 등을 단독 또는 혼합하여 사용할 수 있으며, 더욱 구체적으로는 상기 크롬산염으로서 크롬산나트륨, 크롬산칼륨을 사용할 수 있고, 상기 규산염으로서는 규산나트륨을 사용할 수 있고, 상기 인산염으로는 인산나트륨을, 상기 붕산염으로는 붕산나트륨을, 상기 아질산염으로는 아질산나트륨, 아질산칼륨, 아질산칼슘 등을 사용할 수 있다.
Inorganic salt corrosion inhibitors which are essentially used in the anti-corrosive composition according to the present invention have excellent anti-rusting properties, and modify the surface of the shadow mask to remain on the surface of the shadow mask even after the heat treatment of the annealing process, and thus to prevent rust. As the inorganic salt corrosion inhibitor, chromate, silicate, nitrite, phosphate, borate, etc. may be used alone or in combination. More specifically, sodium chromate and potassium chromate may be used as the chromate, and sodium silicate may be used as the silicate. Sodium phosphate may be used as the phosphate, sodium borate may be used as the borate, sodium nitrite, potassium nitrite, calcium nitrite and the like may be used as the nitrite.

본 발명에 따른 방청제 조성물은 유기 및/또는 무기 수산화물을 포함한다. 상기 무기 수산화물은 새도우 마스크 표면이 존재하는 잔류 감광막을 팽윤(swelling)시켜 제거하는 기능을 하는 것으로서, 이와 같은 무기 수산화물의 구체적인 예로는 수산화리튬(LiOH), 수산화나트륨(NaOH), 수산화칼륨(KOH), 수산화루비듐(RbOH), 수산화세슘(CsOH), 이들의 혼합물 등의 금속 수산화물을 예시할 수 있다. 본 발명에 따른 방청제 조성물에 사용될 수 있는 유기 수산화물은 새도우 마스크 표면에 존재하는 잔류 감광막을 제거하고, 이물질을 세정하는 기능을 하는 것으로서, 상기 유기 수산화물의 구체적인 예로는 수산화암모늄(ammonium hydroxide, NH4OH), 테트라메틸암모늄하이드록사이드(tetramethyl ammonium hydroxide, (CH3)4NOH), 테트라에틸암모늄하이드록사이드(tetraethyl ammonium hydroxide, (C2H5)4NOH), 테트라프로필암모늄하이드록사이드(tetrapropyl ammonium hydroxide, (C3H7)4NOH), 테트라부틸암모늄하이드록사이드(tetrabutyl ammonium hydroxide, (C4H9)4NOH), 이들의 혼합물 등의 유기 암모늄하이드록사이드를 예시할 수 있다. 본 발명에 따른 방청제 조성물은 필요에 따라 수용성 아미노알코올 화합물을 더욱 포함할 수 있으며, 상기 수용성 아미노알코올 화합물은 금속 표면에 부 착된 유기물의 세정 및 제품 출하 후 방청력을 향상시키는 기능을 하는 물질로서, 바람직하게는 하기 화학식 1의 구조를 가지는 화합물을 사용할 수 있다.The rust preventive composition according to the invention comprises organic and / or inorganic hydroxides. The inorganic hydroxide functions to swell and remove the residual photoresist film on which the shadow mask surface exists. Specific examples of such inorganic hydroxides include lithium hydroxide (LiOH), sodium hydroxide (NaOH), and potassium hydroxide (KOH). And metal hydroxides such as rubidium hydroxide (RbOH), cesium hydroxide (CsOH), and mixtures thereof. The organic hydroxide that can be used in the rust inhibitor composition according to the present invention removes residual photoresist film present on the surface of the shadow mask and cleans foreign substances. Specific examples of the organic hydroxide include ammonium hydroxide (NH 4 OH). ), Tetramethyl ammonium hydroxide (CH 3 ) 4 NOH, tetraethyl ammonium hydroxide, (C 2 H 5 ) 4 NOH), tetrapropyl ammonium hydroxide (tetrapropyl) organic ammonium hydroxides such as ammonium hydroxide, (C 3 H 7 ) 4 NOH), tetrabutyl ammonium hydroxide, (C 4 H 9 ) 4 NOH, and mixtures thereof. The anti-corrosive composition according to the present invention may further include a water-soluble aminoalcohol compound, if necessary, the water-soluble aminoalcohol compound is a material that functions to improve the rust resistance after cleaning the product and shipping the organic material attached to the metal surface, Preferably, a compound having the structure of Formula 1 may be used.

Figure 112003017355918-pat00001
Figure 112003017355918-pat00001

상기 식에서, R1, R2, 및 R3는 각각 독립적으로 수소 또는 탄소수 1 내지 5의 알킬, 아미노알킬 또는 알킬알코올로서, R1, R2, 및 R3의 적어도 하나는 탄소수 1 내지 5의 알킬알코올이다. 상기 수용성 아미노알코올 화합물의 구체적인 예로는 모노에탄올아민(Monoethanolamine), 디에탄올아민(Diethanolamine), 트리에탄올아민(Triethanolamine), N-메틸에탄올아민(N-methylethanolamine), N-에틸에탄올아민(N-ethlyethanolamine), 이소프로판올아민(Isopropanol amine), N,N-디메틸에탄올아민 (N,N-dimethylethanolamine), N,N-디에틸에탄올아민(N,N-Dimethylethanolamine), N,N-디부틸에탄올아민(N,N-dibutylethanolamine), N-(2-아미노에틸)에탄올아민(N-(2-Aminoethyl) ethanolamine), N-메틸디에탄올아민(N-methlydiethanolamine), 3-아미노-1프로판올(3-Amino-1-propanol), 이들의 혼합물 등을 예시할 수 있다.
Wherein R 1 , R 2 , and R 3 are each independently hydrogen or alkyl, aminoalkyl or alkylalcohol having 1 to 5 carbon atoms, wherein at least one of R 1 , R 2 , and R 3 has 1 to 5 carbon atoms Alkyl alcohols. Specific examples of the water-soluble amino alcohol compound include monoethanolamine, monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, N-methylethanolamine, N-ethylethanolamine, and N-ethlyethanolamine. , Isopropanol amine, N, N-dimethylethanolamine, N, N-diethylethanolamine, N, N-dibutylethanolamine, N-dibutylethanolamine), N- (2-aminoethyl) ethanolamine (N- (2-Aminoethyl) ethanolamine), N-methyldiethanolamine, 3-amino-1propanol (3-Amino-1 -propanol), mixtures thereof, and the like.

본 발명에 따른 방청제 조성물은 상기 4가지 물질, 즉, 무기물, 유기물을 모두 용해시킬 수 있는 용매로서 물, 바람직하게는 순수(deionized water)를 포함한 다. 본 발명에 따른 방청제 조성물에 있어서, 상기 무기염 부식방지제, 무기 수산화물, 유기 수산화물, 수용성 아미노알코올 화합물 및 물의 사용량은 적용되는 방청 공정에 따라 광범위하게 변동될 수 있으나, 각각 0.001 내지 5 중량부, 0.001 내지 30 중량부, 0.001 내지 30 중량부, 0.001 내지 99 중량부 및 0.001 내지 99 중량부인 것이 바람직하고, 각각 0.01 내지 2 중량부, 1 내지 15 중량부, 1 내지 15 중량부, 30 내지 70 중량부 및 30 내지 70 중량부이면 더욱 바람직하다. 만일 상기 무기염 부식방지제의 사용량이 0.001중량부 미만이면, 새도우 마스크의 열처리 후 방청효과를 얻을 수 없으며, 5 중량부를 초과하면 유기물과 무기물의 혼합이 어려운 문제가 있다. 또한 상기 무기 수산화물 또는 유기 수산화물의 사용량이 0.001중량부 미만이면 잔류 감광막 제거능력이 떨어지는 문제가 있고, 30중량부를 초과하면 새도우 마스크의 변색이 발생될 우려가 있으며, 상기 수용성 아미노알코올 화합물의 사용량이 0.001중량부 미만이면 표면 이물 제거 능력이 저하되는 문제가 있고, 99중량부를 초과하면 무기계 부식방지제의 석출이 발생하는 문제가 있다. 이와 같은 성분들은 통상의 방법으로 혼합하여 본 발명에 따른 새도우 마스크용 방청제 조성물을 제조할 수 있으며, 제조된 방청제 조성물을 새도우 마스크에 도포하거나, 새도우 마스크를 방청제에 침지시키는 통상의 방법에 의하여, 새도우 마스크를 방청 처리할 수 있다.
The anti-corrosive composition according to the present invention includes water, preferably deionized water, as a solvent capable of dissolving all four materials, that is, inorganic and organic materials. In the anti-corrosive composition according to the present invention, the amount of the inorganic salt corrosion inhibitor, the inorganic hydroxide, the organic hydroxide, the water-soluble aminoalcohol compound and the water may vary widely depending on the antirust process to be applied, respectively, 0.001 to 5 parts by weight, 0.001 to 30 parts by weight, 0.001 to 30 parts by weight, 0.001 to 99 parts by weight and 0.001 to 99 parts by weight, preferably 0.01 to 2 parts by weight, 1 to 15 parts by weight, 1 to 15 parts by weight, 30 to 70 parts by weight and It is more preferable if it is 30-70 weight part. If the amount of the inorganic salt corrosion inhibitor is less than 0.001 parts by weight, it is not possible to obtain a rust prevention effect after the heat treatment of the shadow mask, if it exceeds 5 parts by weight there is a problem that the mixing of organic and inorganic materials. In addition, if the amount of the inorganic hydroxide or the organic hydroxide is less than 0.001 parts by weight, there is a problem that the removal of the residual photoresist film is inferior, and if it exceeds 30 parts by weight, there is a fear that discoloration of the shadow mask occurs, the amount of the water-soluble amino alcohol compound is 0.001 If it is less than the weight part, there exists a problem that the surface foreign matter removal ability falls, and if it exceeds 99 weight part, there exists a problem of precipitation of an inorganic corrosion inhibitor. Such components may be mixed in a conventional manner to prepare a rust inhibitor composition for shadow masks according to the present invention, and by applying the prepared rust inhibitor composition to a shadow mask, or by immersing the shadow mask in the rust inhibitor, The mask can be rust prevented.

이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 기재한다. 그러나 하기 실시예는 본 발명을 예시하기 위한 것이며, 본 발명이 하기 실시예에 의하여 한정되는 것은 아니 다.
Hereinafter, preferred embodiments of the present invention are described. However, the following examples are for illustrating the present invention, and the present invention is not limited by the following examples.

[실시예 1 내지 4, 비교예 1][Examples 1 to 4 and Comparative Example 1]

두께가 0.05mm이며, 철 함유량이 99.9% 이상인 박막 철판을 탈지 처리하여, 박막 철판 표면의 이물질을 제거한 다음, 카제인 감광액(Casein PR)을 이용하여 감광막을 도포하고, 소정의 패턴으로 노광하고, 미노광부를 물로 세척, 제거하여 현상하였다. 다음으로 현상된 박막 철판을 염화제이철 용액을 이용하여 에칭하여, 다수의 홀(hole)을 형성한 다음, 박리액으로 감광막을 제거하였으며, 이들 박판을 7.5x7.5cm로 절단하여 시편을 제조하였다. 제조된 시편을 하기 표 1에 나타낸 바와 같은 각각의 방청액 조성물에 40℃에서, 5분 침적한 후, 5분간 순수로 세정하고, 에어나이프(Air Knife)로 건조하였다.The thin film iron plate having a thickness of 0.05 mm and an iron content of 99.9% or more is degreased to remove foreign substances on the surface of the thin film iron plate. The miner was developed by washing with water and removing. Next, the developed thin iron plate was etched using a ferric chloride solution to form a plurality of holes, and then the photoresist was removed by a stripping solution, and the thin plates were cut to 7.5 × 7.5 cm to prepare a specimen. The prepared specimens were immersed in each of the anticorrosive composition as shown in Table 1 at 40 ° C. for 5 minutes, washed with pure water for 5 minutes, and dried with Air Knife.

조성(중량부)Composition (part by weight) 실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 실시예 4Example 4 비교예 1Comparative Example 1 KOHKOH 1010 -- 1010 1010 -- MEAMEA 4040 4040 -- 4040 -- TMAHTMAH 44 44 88 -- -- 소듐 크로메이트Sodium chromate 1One 1One 1One 1One -- 순수(Deionized water)Deionized water 4545 5555 8181 4949 7979 NaOHNaOH -- -- -- -- 2020 기존 첨가제Existing additive -- -- -- -- 1One

상기 표 1에서 KOH는 수산화칼륨을, MEA는 모노에탄올아민(Monoethanolamine), TMAH는 테트라메틸암모늄하이드록사이드 (Tetramethyl Ammoniumhydroxide)를, 소듐크로메이트는 크롬산나트륨(NaCrO4)을, 기존 첨가제는 에틸렌 옥사이드 계열의 통상적인 계면활성제를 나타낸다.
In Table 1, KOH is potassium hydroxide, MEA is monoethanolamine, TMAH is tetramethyl ammoniumhydroxide, sodium chromate is sodium chromate (NaCrO 4 ), and an existing additive is an ethylene oxide series. Typical surfactant of is shown.

각 실시예 및 비교예의 방청제 조성물의 방청력은 건조된 시편을 80℃, 습도 80%인 항온, 항습 오븐에 넣고, 2주일 보관 후 표면에 생긴 점녹의 수를 측정하여 평가하였다. 또한 잔류 감광막 및 이물질에 대한 세정력을 평가하기 위하여, 새도우 마스크를 490℃에서 2시간 동안 소둔한 다음, 새도우 마스크의 표면색으로부터 새도우 마스크의 산화 정도를 파악하였다. 이때 푸른색, 또는 검푸른색으로 산화된 경우 표면에 이물질이 없는 깨끗한 상태이며, 붉은색으로 산화된 경우 표면에 감광막 잔막 또는 유기 이물질이 잔류한 상태로 판단할 수 있다.The anti-rusting power of the anti-corrosive composition of each of Examples and Comparative Examples was evaluated by placing the dried specimens in a constant temperature oven at 80 ° C., a humidity of 80%, a humidity cabinet, and measuring the number of rust on the surface after two weeks of storage. In addition, in order to evaluate the cleaning ability of the residual photoresist and foreign matter, the shadow mask was annealed at 490 ° C. for 2 hours, and then the degree of oxidation of the shadow mask was determined from the surface color of the shadow mask. At this time, when oxidized to blue or dark blue color, a clean state without foreign substances on the surface may be judged as a state where a photoresist residual film or organic foreign matter remains on the surface when oxidized to red color.

구분division 실시예 1Example 1 실시예 2Example 2 실시예 3Example 3 실시예 4Example 4 비교예 1Comparative Example 1 점녹수Green ice 33 22 66 88 141141 산화색Oxidation 검푸른색Dark blue 검푸른색Dark blue 검푸른색Dark blue 검푸른색Dark blue 붉은색Red 방청력 순위Rust rating 22 1One 33 44 55

[실시예 5, 비교예 1 내지 4][Example 5, Comparative Examples 1 to 4]

하기 표 3에 나타낸 바와 같은 방청액 조성물을 사용한 것을 제외하고는 실시예 1과 동일한 방법으로 시편을 만들고 방청 시험을 실시하여, 그 결과를 표 4에 나타내었다.Except for using the anti-corrosive composition as shown in Table 3, the specimen was made in the same manner as in Example 1 and subjected to a rust-proof test, the results are shown in Table 4.

조성(중량부)Composition (part by weight) 실시예 5Example 5 비교예 2Comparative Example 2 비교예 3Comparative Example 3 비교예 4Comparative Example 4 비교예 1Comparative Example 1 MEAMEA 4040 4040 4040 4040 -- TEAHTEAH 44 44 44 44 -- 부식방지제(1중량부)Corrosion inhibitor (1 part by weight) 포타슘
크로메이트Potassium
Chromate 소듐
포스페이트Sodium
Phosphate 소듐
보레이트Sodium
Borate 소듐
실리케이트Sodium
Silicate -- 순수(Deionized water)Deionized water 4545 4545 4545 4545 7979 NaOHNaOH 1010 1010 1010 1010 2020 기존 첨가제Existing additive -- -- -- -- 1One

상기 표 3에서 MEA는 모노에탄올아민(Monoethanolamine)을, TEAH는 테트라에틸암모늄하이드록사이드 (Tetraethyl ammoniumhydroxide)를, 기존 첨가제는 일반 계면활성제(에틸렌 옥사이드 계열)를 나타낸다.In Table 3, MEA represents monoethanolamine, TEAH represents tetraethyl ammonium hydroxide, and existing additives represent general surfactants (ethylene oxide series).

구분division 실시예 5Example 5 비교예 2Comparative Example 2 비교예 3Comparative Example 3 비교예 4Comparative Example 4 비교예 1Comparative Example 1 점녹수Green ice 33 2020 2121 5050 141141 산화색Oxidation 검푸른색Dark blue 검푸른색Dark blue 검푸른색Dark blue 검푸른색Dark blue 붉은색Red 방청력 순위Rust rating 1One 22 33 44 55

상기 표 1 내지 4에 나타낸 바와 같이, 종래의 방청제의 경우, 추후의 소둔공정에서 산화되어, 그 이후로는 방청 역할을 하지 못하므로, 최종 제품인 브라운관 제조 후, 제품불량이 발생할 수 있는 반면, 본 발명의 방청제는 새도우 마스크를 열처리한 후에도 방청 기능을 유지할 뿐만 아니라, 새도우 마스크의 이물질 제거 성능이 우수함을 알 수 있다.
As shown in Tables 1 to 4, the conventional anti-corrosive agent is oxidized in a subsequent annealing process, and since it does not play a role of rust prevention thereafter, product defects may occur after manufacture of the final product CRT. The rust preventive agent of the present invention not only maintains the rust preventive function even after heat treatment of the shadow mask, and it can be seen that the shadow mask has excellent foreign material removal performance.

이상 상술한 바와 같이, 본 발명에 따른 방청액 조성물은 새도우 마스크의 방청 효과가 우수하여, 새도우 마스크 제조 후 장기간 보관하는 경우에도, 새도우 마스크의 부식을 방지할 수 있다. 또한 본 발명에 따른 방청액 조성물은 새도우 마스크 표면에 존재하는 잔류 감광막 및 이물질을 완전히 세정, 제거하여, 추후의 열처리 공정에서 새도우 마스크 표면에 이물질에 의한 산화물이 생성되는 것을 방지할 수 있을 뿐만 아니라, 무기염 부식 방지제를 포함하고 있으므로, 열처리 후에도 방청 기능을 유지하는 장점이 있다.As described above, the anti-corrosive composition according to the present invention is excellent in the anti-corrosion effect of the shadow mask, even when stored for a long time after the manufacture of the shadow mask, it is possible to prevent the corrosion of the shadow mask. In addition, the anti-corrosive composition according to the present invention completely cleans and removes the residual photoresist film and foreign substances present on the shadow mask surface, thereby preventing the formation of oxides due to the foreign substances on the shadow mask surface in a subsequent heat treatment process. Since the inorganic salt corrosion inhibitor is included, there is an advantage of maintaining the rust preventing function even after heat treatment.

Claims (8)

무기염 부식방지제로서 크롬산염; Chromate as an inorganic salt preservative; 물; 및 water; And 무기 수산화물, 유기 수산화물, 및 이들의 혼합물로 이루어지는 군으로부터 선택되는 수산화물을 포함하는 새도우 마스크용 방청제 조성물. An anticorrosive composition for shadow masks comprising a hydroxide selected from the group consisting of inorganic hydroxides, organic hydroxides, and mixtures thereof. 제1항에 있어서, 수용성 아미노알코올 화합물을 더욱 포함하는 새도우 마스크용 방청제 조성물. The anti-corrosive composition for shadow masks according to claim 1, further comprising a water-soluble aminoalcohol compound. 제2항에 있어서, 상기 무기염 부식방지제의 사용량은 0.001 내지 5 중량부이고, 상기 무기 수산화물의 사용량은 0.001 내지 30 중량부이고, 상기 유기 수산화물의 사용량은 0.001 내지 30 중량부이고, 상기 수용성 아미노알코올 화합물의 사용량은 0.001 내지 99 중량부이고, 상기 물의 사용량은 0.001 내지 99 중량부인 것인 새도우 마스크용 방청제 조성물. The amount of the inorganic salt corrosion inhibitor is 0.001 to 5 parts by weight, the amount of the inorganic hydroxide is 0.001 to 30 parts by weight, the amount of the organic hydroxide is 0.001 to 30 parts by weight, and the water-soluble amino The amount of the alcohol compound is used in 0.001 to 99 parts by weight, the amount of water is used in 0.001 to 99 parts by weight of the shadow mask rust inhibitor composition. 삭제delete 제1항에 있어서, 상기 무기 수산화물은 수산화리튬, 수산화나트륨, 수산화칼륨, 수산화루비듐, 수산화세슘 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인 새도우 마스크용 방청제 조성물. The anti-corrosive composition for shadow mask according to claim 1, wherein the inorganic hydroxide is selected from the group consisting of lithium hydroxide, sodium hydroxide, potassium hydroxide, rubidium hydroxide, cesium hydroxide and mixtures thereof. 제1항에 있어서, 상기 유기 수산화물은 수산화암모늄, 테트라메틸암모늄하이드록사이드, 테트라에틸암모늄하이드록사이드, 테트라프로필암모늄하이드록사이드, 테트라부틸암모늄하이드록사이드 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인 새도우 마스크용 방청제 조성물. The method of claim 1, wherein the organic hydroxide is selected from the group consisting of ammonium hydroxide, tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide, tetrapropylammonium hydroxide, tetrabutylammonium hydroxide and mixtures thereof. Anticorrosive composition for a shadow mask. 제2항에 있어서, 상기 수용성 아미노알코올 화합물은 하기 화학식 1의 구조를 가지는 화합물인 것인 새도우 마스크용 방청제 조성물. The anti-corrosive composition for shadow masks according to claim 2, wherein the water-soluble amino alcohol compound is a compound having a structure represented by the following Chemical Formula 1. [화학식 1]
Figure 112003017355918-pat00002
[Formula 1]
Figure 112003017355918-pat00002
 상기 식에서, R1, R2, 및 R3는 각각 독립적으로 수소 또는 탄소수 1 내지 5의 알킬, 아미노알킬 또는 알킬알코올로서, R1, R2, 및 R3의 적어도 하나는 탄소수 1 내지 5의 알킬알코올이다.Wherein R 1 , R 2 , and R 3 are each independently hydrogen or alkyl, aminoalkyl or alkylalcohol having 1 to 5 carbon atoms, wherein at least one of R 1 , R 2 , and R 3 has 1 to 5 carbon atoms Alkyl alcohols. 제2항에 있어서, 상기 수용성 아미노알코올 화합물은 모노에탄올아민, 디에탄올아민, 트리에탄올아민, N-메틸에탄올아민, N-에틸에탄올아민, 이소프로판올아 민, N,N-디메틸에탄올아민, N,N-디에틸에탄올아민, N,N-디부틸에탄올아민, N-(2-아미노에틸)에탄올아민, N-메틸디에탄올아민, 3-아미노-1프로판올 및 이들의 혼합물로 이루어진 군으로부터 선택되는 것인 새도우 마스크용 방청제 조성물.The method of claim 2, wherein the water-soluble amino alcohol compound is monoethanolamine, diethanolamine, triethanolamine, N-methylethanolamine, N-ethylethanolamine, isopropanolamine, N, N-dimethylethanolamine, N, N Diethylethanolamine, N, N-dibutylethanolamine, N- (2-aminoethyl) ethanolamine, N-methyldiethanolamine, 3-amino-1propanol and mixtures thereof Anticorrosive composition for phosphor shadow mask.
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