KR100994718B1 - 유리기판 합착시스템 - Google Patents
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Abstract
Description
도 2는 본 발명에 따른 유리기판 합착시스템의 구성을 개략적으로 도시한 개략도이고,
도 3과 도4는 본 발명에 따른 유리기판 합착시스템의 구성을 도시한 측면도이고,
도 5는 본 발명에 따른 유리기판 합착시스템의 하부스테이지의 구성을 확대하여 도시한 도면이고,
도 6과 도7은 본 발명에 따른 유리기판 합착시스템이 필름결합방식에 의해 기판을 합착하는 과정을 도시한 예시도이고,
도 8과 도9는 본 발명에 따른 유리기판 합착시스템이 결합액방식에 의해 기판을 합착하는 과정을 도시한 예시도이다.
100 : 하부스테이지 110 : 하부스테이지 본체
120 : 얼라인 보정부 130 : 가압롤러부
131 : 롤러본체 133 : 이송실린더
135 : 서보모터 200 : 상부스테이지
210 : 상부스테이지본체 220 : 승강실린더
230 : 추가가압실린더 300 : 얼라인부
310 : 상부카메라 320 : 하부카메라
400 : 이송로봇 410 : 제1이송로봇
420 : 제2이송로봇 421 : 회전로봇
430 : 제3이송로봇 500 : 플라즈마세정부
510 : 플라즈마세정본체 520 : 플라즈마세정헤드
530 : 플라즈마이송부 600 : 디스펜싱부
610 : 디스펜싱헤드 620 : 디스펜싱니들
630 : UV경화부 700 : 가압부
800 : 제어부
Claims (5)
- 상부유리기판과 하부유리기판을 상호 합착시키는 유리기판합착 시스템에 있어서,
하부유리기판을 지지하는 하부스테이지와;
상부유리기판을 지지하는 상부스테이지와;
상기 상부유리기판과 상기 하부유리기판이 초기위치에서 서로 결합되는 결합위치로 이동되도록 상기 하부스테이지와 상기 상부스테이지를 이동시키는 제1이송로봇 및 제2이송로봇과;
상기 결합위치에서 상기 상부유리기판과 상기 하부유리기판의 상호 위치를 정렬시키는 얼라인부와;
상기 제2이송로봇에 의해 상기 초기위치에서 상기 결합위치로 이동될 때 상기 상부유리기판의 결합면으로 플라즈마를 분사하여 결합면을 세정하는 플라즈마세정부와;
상기 제2이송로봇에 의해 상기 초기위치에서 상기 결합위치로 이동될 때 상기 상부유리기판의 결합면으로 결합액을 도포하는 디스펜싱부와;
상기 결합위치의 상부스테이지를 가압하는 가압부와;
상기 상부스테이지에 지지된 상부유리기판이 상기 플라즈마세정부 또는 상기 디스펜싱부를 선택적으로 경유하도록 상기 제1이송로봇 및 제2이송로봇의 이동궤적을 제어하여, 상기 상부유리기판과 상기 하부유리기판이 하부유리기판의 표면에 부착된 결합필름에 의해 상호 합착하는 필름결합방식과, 상기 디스펜싱부에 의해 상기 상부유리기판 표면에 도포된 결합액에 의해 상호 합착되는 결합액방식 중 어느 하나에 의해 합착되도록 제어하는 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 합착시스템.
- 제1항에 있어서,
상기 하부스테이지는,
상면에 하부유리기판이 적재되는 하부스테이지본체와;
상기 얼라인부에 의한 보정 후에 상기 하부스테이지본체의 위치를 최종적으로 정렬하는 얼라인보정부와;
상기 하부스테이지본체의 일측에 이동가능하게 구비되어 상기 상부유리기판과 상기 하부유리기판에 선접촉하며 상기 상부유리기판과 상기 하부유리기판을 가압하는 가압롤러부를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 합착시스템.
- 제2항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 필름결합방식으로 상기 상부유리기판과 상기 하부유리기판을 합착할 때, 상기 가압부의 가압에 의해 가압하는 방식과 상기 가압롤러부의 가압에 의해 가압하는 방식 중 적어도 어느 하나를 사용하도록 제어하는 것을 특징으로 하는 유리기판 합착시스템.
- 제1항에 있어서,
상기 제어부는,
상기 결합액방식으로 상기 상부유리기판과 상기 하부유리기판을 합착할 경우,
상기 디스펜싱부에 의해 결합액이 도포된 상기 상부유리기판이 상기 하부유리기판과 대향되도록 하강될 때, 상기 상부유리기판에 도포된 결합액이 떨어지면서 상기 하부유리기판에 도포되는 속도에 대응되는 속도로 상기 상부유리기판이 하강되도록 상기 제2이송로봇의 하강속도를 제어하는 것을 특징으로 하는 유리기판 합착시스템.
- 제4항에 있어서,
상기 상부스테이지는,
상부유리기판이 흡착되는 상부스테이지본체와;
상기 상부스테이지본체를 승강시켜 Z축 변위를 조절하는 승강실린더와;
상기 승강실린더의 일측에 구비되어 상기 상부스테이지본체를 공압을 이용하여 상기 하부스테이지를 향해 가압하는 추가가압실린더를 포함하는 것을 특징으로 하는 유리기판 합착시스템.
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- 2010-07-30 KR KR1020100074299A patent/KR100994718B1/ko active IP Right Grant
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