KR100988798B1 - 반도체장비의 상판 이송 및 회전장치 - Google Patents

반도체장비의 상판 이송 및 회전장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치에 관한 것으로, 상부프레임의 상부레일 및 보조레일에 안착되어서 이를 따라 이송되는 거더프레임구동부; 거더프레임에 설치되어서 상판을 승강시키는 상판승강부; 하부프레임의 터닝부지지다리의 상부에 설치되고 거더프레임구동부에 의해 수평방향으로 이송된 후 상판승강부에 의해 하강된 상판의 양측이 결합되는 하부커넥터와, 터닝부지지다리의 상부에 설치되고 상기 하부커넥터에 연결되어서 하부커넥터를 회전시키는 구동부로 이루어진 터닝부;를 포함하여 이루어진다.
따라서, 반도체장비의 상판을 이송시키고 터닝시키는 작업을 간편하게 자동으로 할 수 있고, 터닝된 상판이 상판고정실린더에 의해 안정적으로 지지되며, 작업자가 본체의 상부에 올라가서 작업하기 전에 상부보조대를 접철실린더로 간편하게 접철시킬 수 있다.
Figure R1020080112431
하부프레임, 상부프레임, 접철실린더, 상판승강부, 터닝부, 상판

Description

반도체장비의 상판 이송 및 회전장치{Upper frame transfer and rotation equipment of semiconductor equipment}
본 발명은 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치에 관한 것으로, 더 상세하게는 반도체장비의 상판을 이송시키고 터닝시키는 작업을 간편하게 할 수 있고, 터닝된 상판이 안정적으로 지지되며, 작업자가 본체의 상부에 올라가서 작업하기 전에 상부보조대를 간편하게 접철시킬 수 있는 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치에 관한 것이다.
액정표시장치(liquid crystal display; LCD)의 조립라인에는 액정표시장치를 굽기 위한 반도체장비가 설치되어 있다. 이 반도체장비는 다수의 액정표시장치가 내장되는 본체와, 본체의 상부에 개폐되며 저면에 다수의 부품들이 설치되는 상판이 구비된다. 이러한 반도체장비는, 중량의 상판을 들어 올린 후 본체의 내부를 개방하여서 그 내부에 액정표시장치를 내장시키기도 하고 다수의 부품을 설치하기도 한다. 그리고 들어 올린 상판은 뒤집어서 그 저면이 상측을 향하도록 한 후 상판의 저면에 다수의 부품을 설치한다.
그런데 이러한 종래 반도체장비의 상판은, 그 크기가 크고 매우 무겁기 때문 에 이를 들어 올리고 뒤집는 작업과 부품 조립작업 후 다시 뒤집은 후 본체의 상부에 안착시키는 작업이 매우 힘들었으며, 이러한 일련의 작업들이 효율적으로 수행되지 못하였다.
상술한 문제점을 해결하기 위한 본 발명의 목적은, 반도체장비의 상판을 이송시키고 터닝시키는 작업을 간편하게 할 수 있도록 한 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은, 터닝된 상판이 안정적으로 지지되도록 한 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은, 작업자가 본체의 상부에 올라가서 작업하기 전에 상부보조대를 간편하게 접철시킬 수 있도록 한 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치는, 본체 및 양측에 중간커넥터가 각각 형성된 상판으로 이루어진 반도체장비의 일측에 설치되고, 하부수평대들 및 이들을 지지하는 하부지지다리들이 구비되며, 상기 하부지지다리들 사이에 터닝부지지다리들이 구비된 하부프레임; 상기 하부프레임의 상부에 설치되고, 상부레일이 설치된 상부수평대들 및 이들을 지지하는 상부지지다리들이 구비되며, 상기 상부수평대들에 보조레일이 설치된 상부보조대들이 접철되도록 힌지축으로 설치되는 상부프레임; 상기 상부프레임의 상부레일 및 보조레일의 상부에 안착되어서 이를 따라 이송되는 횡행휠들과, 상기 횡행휠들에 연결되어서 이를 구동시키는 횡행모터들과, 상기 횡행휠들을 지지하는 새들프레임들에 연결되는 거더프레임으로 이루어진 거더프레임구동부; 상기 거더프레임에 설치되는 권취드럼과, 상기 권취드럼에 연결되어서 이들 회전시키는 권취모터와, 상기 권취드럼과 권취모터 사이에 설치되어서 상기 권취모터의 회전력을 감속하여 전달하는 감속기와, 상기 권취드럼에 권취되고 권취드럼의 회전시 이에 감기거나 풀리는 와이어와, 상기 와이어의 하측 단부에 연결되어서 와이어의 승강시 이와 함께 승강되며 상기 상판에 연결되는 상부커넥터와, 상기 거더프레임 및 상부커넥터에 연결되고 상기 와이어의 둘레에 설치되어서 상기 와이어를 보호하는 와이어가이드실린더로 이루어진 상판승강부; 상기 하부프레임의 터닝부지지다리의 상부에 설치되고 상기 거더프레임구동부에 의해 수평방향으로 이송된 후 상기 상판승강부에 의해 하강된 상판의 양측이 결합되는 하부커넥터와, 터닝부지지다리의 상부에 설치되고 상기 하부커넥터에 연결되어서 상기 하부커넥터를 회전시키는 구동부로 이루어진 터닝부; 상기 프레임구동부, 상판승강부, 터닝부에 연결되어서 이들의 구동을 제어하는 컨트롤러;로 이루어진 것을 특징으로 한다.
본 발명 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치의 다른 특징은, 상기 상부수평대들 및 상부보조대들에는, 상기 상부보조대들이 상기 힌지축들을 중심으로 자동으로 접철되도록 접철실린더가 설치된다.
본 발명 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치의 또 다른 특징은, 상기 상부커넥터는, 상기 와이어가이드실린더의 하단에 고정되는 상부고정부와, 상기 상부고정부에 연결되고 중간커넥터의 제1결합부가 안착되도록 내측으로 오목한 상부결합홈이 형성되며 상기 상부결합홈을 관통하도록 상부체결구멍이 형성된 상부결합부 와, 상기 상부결합부의 일측에 구비되고 상부체결구멍 및 제1결합부의 제1체결구멍에 착탈되는 상부실린더로드를 가지는 상부실린더로 이루어진다.
본 발명 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치의 또 다른 특징은, 상기 와이어가이드실린더는, 상기 거더프레임의 하부에 결합되고 상기 와이어의 둘레에 설치되어서 이를 보호하는 중공형상의 제1관과, 상기 제1관의 내주면에 슬라이드되도록 설치되고 상기 와이어의 둘레를 보호하는 중공형상의 제2관과, 상기 제2관의 내주면에 슬라이드되도록 설치되고 상기 와이어의 둘레를 보호하는 중공형상의 제3관으로 이루어지며, 상기 와이어의 하단이 승강될 때마다 상기 제1관, 제2관, 제3관이 그 중심축 방향으로 접히거나 펼쳐지도록 구비된다.
본 발명 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치의 또 다른 특징은, 상기 하부커넥터는, 상기 구동부에 고정되는 하부고정부와, 상기 하부고정부에 연결되고 중간커넥터의 제2결합부가 안착되도록 내측으로 오목한 하부결합홈이 형성되며 상기 하부결합홈을 관통하도록 하부체결구멍이 형성된 하부결합부와, 상기 하부결합부의 일측에 구비되고 하부체결구멍 및 제2결합부의 제2체결구멍에 착탈되는 하부실린더로드를 가지는 하부실린더로 이루어진다.
본 발명 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치의 또 다른 특징은, 상기 구동부는, 터닝부지지다리의 상부에 설치되는 구동모터와, 상기 구동모터에 연결되어서 그 회전동력이 전달되는 감속기와, 감속기의 감속기축에 연결되어서 감속된 동력이 전달되는 전동기어와, 상기 전동기어의 중심에 결합되어서 이와 함께 회전되는 웜축과, 상기 웜축 상에 결합되어서 이와 함께 회전되는 웜과, 상기 웜에 치합되어서 그 동력을 전달받아 회전되는 웜휠과, 상기 웜휠의 중심에 결합되어서 이와 함께 회전되고 상기 하부커넥터의 하부고정부에 연결되어서 하부커넥터를 회전시키는 웜휠축으로 이루어진다.
이상에서와 같은 본 발명은, 상판의 승강, 이송, 터닝작업이 연속 동작에 의해 자동으로 이루어진다. 즉, 거더프레임구동부 및 상판승강부에 의해 상부커넥터가 중간커넥터에 안착되면 상부실린더가 작동되어서 서로 체결되고, 상부커넥터 및 중간커넥터가 체결되면 상판승강부에 의해 상판이 상승되며, 거더프레임구동부에 의해 터닝부 측으로 수평이송된다. 상판이 수평이송되면 상판승강부에 의해 하강되어서 상판의 중간커넥터가 하부커넥터에 안착되도록 하고, 이들이 서로 안착되면 하부실린더가 작동되어서 서로 체결되며, 터닝부가 구동되어서 상판을 회전시킨다. 따라서 거더프레임구동부, 상판승강부, 터닝부가 컨트롤러에 의해 제어되면서 중량의 상판을 자동으로 승강, 이송 및 터닝시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 터닝된 상판이 안정적으로 지지된다. 터닝부에 의해 상판이 터닝되면 상판고정실린더의 로드가 전진되어서 상판의 상판고정홈에 삽입된다. 따라서 상판의 네 부분이 로드에 의해 지지되므로 터닝된 상판이 유동되는 것이 방지된다. 그러므로 터닝된 상판이 상판고정실린더에 의해 안정적으로 지지되므로 상판의 저면에 부품 설치작업 등을 정확하게 수행할 수 있다.
그리고 본 발명의 상부보조대는 접철이 가능하다. 상판을 이송시키기 위해 거더프레임구동부 및 상판승강부가 반도체장비의 상측으로 이동될 때에는 접철실린 더의 실린더로드가 전진하여서 상부보조대를 힌지축을 중심으로 펼쳐지도록 하고, 상판이 터닝부 측으로 이송된 후에는 접철실린더의 실린더로드를 후진시켜서 상부보조대를 접는다. 따라서 상판을 터닝부 측으로 이송시킨 후 작업자가 본체의 상부에 올라가서 작업하기 전에 상부보조대를 간편하게 접철시킬 수 있으므로 상부보조대에 의해 본체 상부의 작업이 방해되지 않는다.
본 발명의 구체적인 특징 및 이점은 첨부된 도면을 참조한 이하의 설명으로 더욱 명확해질 것이다.
도 1은 상판의 중간커넥터가 상판승강부의 상부커넥터에 결합된 후 상판이 상측으로 들린 상태를 보인 개략적 정면도이고, 도 2는 상판이 터닝장치에 설치된 상태를 보인 개략적 측면도이며, 도 3은 도 1의 개략적 평면도로써, 이러한 본 발명의 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치는, 본체(121) 및 상판(122)으로 이루어진 반도체장비(120), 하부프레임(10), 상부프레임(20), 거더프레임구동부(40), 상판승강부(50), 터닝부(80), 컨트롤러(110)로 이루어진다.
반도체장비(120)의 상판(122)에는 도 3에 도시한 바와 같이 상판고정실린더(136)의 로드(137)가 삽입되어서 상판(122)의 네 모서리 부분을 지지하도록 상판고정홈(123)들이 형성되어 있다. 이러한 상판(122)의 전후방 중간 부분에는 도 9, 도 11a 내지 도 11c에 도시한 바와 같이 중간커넥터(130)가 결합되어 있다. 이 중간커넥터(130)는 상판(122)의 대응 부위에 고정되는 중간고정부(131)와, 이 중간고정부(131)의 일측 상부에 이와 일체로 형성되고 제1체결구멍(133)이 형성된 제1결 합부(132)와, 중간고정부(131)의 일측 하부에 이와 일체로 형성되고 제2체결구멍(135)이 형성된 제2결합부(134)로 이루어진다.
하부프레임(10)은, 도 4a 내지 도 4c에 도시한 바와 같이 본체(121) 및 상판(122)으로 이루어진 반도체장비(120)의 일측에 설치되고, 하부수평대(12)들 및 이들을 지지하는 하부지지다리(11)들이 구비되며, 상기 하부지지다리(11)들 사이에 터닝부지지다리(13)들이 구비된다.
상부프레임(20)은, 도 4a 내지 도 4c에 도시한 바와 같이 하부프레임(10)의 상부에 설치된다. 이러한 상부프레임(20)은, 상부레일(23)이 설치된 상부수평대(22)들 및 이들을 지지하는 상부지지다리(21)들이 구비되며, 상부수평대(22)들에는 보조레일(25)이 설치된 상부보조대(24)들이 힌지축(26)으로 연결되어 있다. 따라서 상부보조대(24)들은 이 힌지축(26)을 중심으로 접철된다.
상부수평대(22)들 및 상부보조대(24)들에는, 도 5에 도시한 바와 같이 상부보조대(24)들이 힌지축(26)들을 중심으로 자동으로 접철되도록 접철실린더(30)가 설치되어 있다. 이 접철실린더(30)는 상부수평대(22)의 일측에 설치되어 있고, 그 실린더로드(31)의 단부는 상부보조대(24)의 일측에 고정된 결합리브(32)에 결합되어 있다. 따라서 실린더로드(31)가 전후진되면 상부보조대(24)가 상부수평대(22) 측으로 접철된다.
거더프레임구동부(40)는, 도 6a 내지 도 6c에 도시한 바와 같이 상부프레임(20)의 상부레일(23) 및 보조레일(25)의 상부에 안착되어서 이를 따라 이송되는 횡행휠(43)들과, 횡행휠(43)들에 연결되어서 이를 구동시키는 횡행모터(44)들과, 횡행휠(43)에 결합되어서 이들을 지지하는 새들프레임(42)과, 횡행휠(43)들을 지지하는 새들프레임(42)들에 연결되는 거더프레임(41)으로 이루어진다.
상판승강부(50)는, 도 1, 도 2, 도 7에 도시한 바와 같이 거더프레임(41)에 설치되는 권취드럼(51)과, 권취드럼(51)에 연결되어서 이를 회전시키는 권취모터(54)와, 권취드럼(51)과 권취모터(54) 사이에 설치되어서 권취모터(54)의 회전력을 감속하여 전달하는 감속기(53)와, 권취드럼(51)에 권취되고 권취드럼(51)의 회전시 이에 감기거나 풀리는 와이어(52)와, 와이어(52)의 하측 단부에 연결되어서 와이어(52)의 승강시 이와 함께 승강되며 상판(122)에 연결되는 상부커넥터(70)와, 거더프레임(41) 및 상부커넥터(70)에 연결되고 와이어(52)의 둘레에 설치되어서 와이어(52)를 보호하는 와이어가이드실린더(60)로 이루어진다.
상판승강부(50)의 상부커넥터(70)는, 도 7, 도 9, 도 10, 도 12a 내지 도 12c에 도시한 바와 같이 와이어가이드실린더(60)의 하단에 고정되는 상부고정부(71)와, 상부고정부(71)에 연결되고 중간커넥터(130)의 제1결합부(132)가 안착되도록 내측으로 오목한 상부결합홈(73)이 형성되며 상부결합홈(73)을 관통하도록 상부체결구멍(74)이 형성된 상부결합부(72)와, 상부결합부(72)의 일측에 구비되고 상부체결구멍(74) 및 제1결합부(132)의 제1체결구멍(133)에 착탈되는 상부실린더로드(76)를 가지는 상부실린더(75)로 이루어진다.
상판승강부(50)의 와이어가이드실린더(60)는, 도 7에 도시한 바와 같이 거더프레임(41)의 하부에 결합되고 와이어(52)의 둘레에 설치되어서 이를 보호하는 중공형상의 제1관(61)과, 제1관(61)의 내주면에 슬라이드되도록 설치되고 와이어(52) 의 둘레를 보호하는 중공형상의 제2관(62)과, 제2관(62)의 내주면에 슬라이드되도록 설치되고 와이어(52)의 둘레를 보호하는 중공형상의 제3관(64)으로 이루어지며, 와이어(52)의 하단이 승강될 때마다 제1관(61), 제2관(62), 제3관(64)이 그 중심축 방향으로 접히거나 펼쳐지도록 되어 있다.
여기서, 제2관(62)의 상단 둘레에는 제1관(61)의 내주면 둘레에 접촉되도록 제2부시(63)가 구비되어 있으며, 제3관(64)의 상단 둘레에는 제2관(62)의 내주면 둘레에 접촉되도록 제3부시(65)가 구비되어 있다.
터닝부(80)는, 도 1, 도 2, 도 7, 도 8a, 도 8b, 도 9에 도시한 바와 같이 하부프레임(10)의 터닝부지지다리(13)의 상부에 설치되고 거더프레임구동부(40)에 의해 수평방향으로 이송된 후 상판승강부(50)에 의해 하강된 상판(122)의 양측이 결합되는 하부커넥터(100)와, 터닝부지지다리(13)의 상부에 설치되고 하부커넥터(100)에 연결되어서 하부커넥터(100)를 회전시키는 구동부(81)로 이루어진다.
터닝부(80)의 하부커넥터(100)는, 도 9, 도 10a, 도 10b, 도 13a 내지 도 13c에 도시한 바와 같이 후술할 구동부(81)에 고정되는 하부고정부(101)와, 하부고정부(101)에 연결되고 중간커넥터(130)의 제2결합부(134)가 안착되도록 내측으로 오목한 하부결합홈(103)이 형성되며 하부결합홈(103)을 관통하도록 하부체결구멍(104)이 형성된 하부결합부(102)와, 하부결합부(102)의 일측에 구비되고 하부체결구멍(104) 및 제2결합부(134)의 제2체결구멍(135)에 착탈되는 하부실린더로드(106)를 가지는 하부실린더(105)로 이루어진다.
터닝부(80)의 구동부(81)는, 도 8a 및 도 8b에 도시한 바와 같이 터닝부지지 다리(13)의 상부에 설치되는 케이싱(82)과 이 케이싱(82)의 외주면에 설치되는 구동모터(83)와, 구동모터(83)에 연결되어서 그 회전동력이 전달되는 감속기(84)와, 감속기(84)의 감속기축(85)에 연결되어서 감속된 동력이 전달되는 전동기어(86)와, 전동기어(86)의 중심에 결합되어서 이와 함께 회전되는 웜축(89)과, 웜축(89) 상에 결합되어서 이와 함께 회전되는 웜(90)과, 웜(90)에 치합되어서 그 동력을 전달받아 회전되는 웜휠(91)과, 웜휠(91)의 중심에 결합되어서 이와 함께 회전되고 하부커넥터(100)의 하부고정부(101)에 연결되어서 하부커넥터(100)를 회전시키는 웜휠축(92)으로 이루어진다.
여기서 웜축(89)은, 케이싱(82)의 하부 양측에 설치된 제1하부커버(87) 및 제2하부커버(88)에 그 양단이 회전되도록 설치되며, 웜휠축(92)은, 케이싱(82)의 상부 양측에 설치된 제1상부커버(93) 및 제2상부커버(94)에 그 양단이 회전되도록 설치된다.
컨트롤러(110)는, 접철실린더(30), 횡행모터(44), 권취모터(54), 상부실린더(75), 구동모터(83), 하부실린더(105), 상판고정실린더(136)에 연결되어서 이들을 제어한다.
이러한 구성의 본 발명 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치는 다음과 같이 동작된다.
먼저, 상판승강부(50)의 권취모터(54)가 구동되어서 감속기(53) 및 권취드럼(51)을 회전시키면 와이어(52)가 권취드럼(51)으로부터 풀리면서 와이어(52) 단 부에 연결된 상부커넥터(70)가 하강된다. 상부커넥터(70)가 하강됨에 따라 와이어가이드실린더(60)의 제1관(61), 제2관(62), 제3관(64)이 펼쳐지면서 와이어(52)의 둘레를 보호한다.
상부커넥터(70)가 하강되어서 그 상부결합홈(73)이 중간커넥터(130)의 제1결합부(132)에 안착되면 상부커넥터(70)의 상부체결구멍(74)과, 중간커넥터(130)의 제1체결구멍(133)이 서로 일치된다. 이와 같은 상태에서 상부커넥터(70)의 상부실린더(75)가 작동되며 이에 따라 상부실린더로드(76)가 전진되면서 상부체결구멍(74) 및 제1체결구멍(133)에 삽입된다. 따라서 상부커넥터(70) 및 중간커넥터(130)가 서로 체결된다.
상부커넥터(70) 및 중간커넥터(130)가 서로 체결되면, 권취모터(54)가 역회전되어서 와이어(52)를 권취드럼(51)에 감으며, 이에 따라 도 1에 도시한 바와 같이 상판(122)이 본체(121)의 상측으로 인양된다.
반도체장비(120)의 상판(122)이 상측으로 들어 올려지면 거더프레임구동부(40)의 횡행모터(44)가 구동되어서 횡행휠(43)을 회전시킨다. 횡행휠(43)이 회전됨에 따라 거더프레임구동부(40)는 상부보조대(24)의 보조레일(25) 및 상부수평대(22)의 상부레일(23)을 따라 이송된다.
거더프레임구동부(40)가 이송되어서 도 14와 같이 상부커넥터(70)가 터닝부(80)의 상부에 위치되면 횡행모터(44)의 구동이 정지되고, 상판승강부(50)의 권취모터(54)가 구동된다. 권취모터(54)가 구동되어서 감속기(53) 및 권취드럼(51)을 회전시키면 와이어(52)가 권취드럼(51)으로부터 풀리면서 와이어(52) 단부에 연결 된 상부커넥터(70)가 하강되며,
도 7 및 도 15에 도시한 바와 같이 중간커넥터(130)의 제2결합부(134)가 하부커넥터(100)의 하부결합홈(103)에 안착된다. 중간커넥터(130)가 하부커넥터(100)에 안착되면 상부커넥터(70)는 중간커넥터(130)로부터 분리되고 하부커넥터(100)는 중간커넥터(130)와 체결된다.
즉, 상부커넥터(70)의 상부실린더(75)가 작동되어서 상부실린더로드(76)가 중간커넥터(130)의 제1체결구멍(133) 및 상부커넥터(70)의 상부체결구멍(74)으로부터 분리되도록 하고, 하부커넥터(100)의 하부실린더(105)가 작동되어서 하부실린더로드(106)가 중간커넥터(130)의 제2체결구멍(135) 및 하부커넥터(100)의 하부체결구멍(104)에 삽입되도록 한다. 이와 같이 하여서 상부커넥터(70)는 상판(122)의 중간커넥터(130)로부터 분리되고, 터닝부(80)의 하부커넥터(100)는 상판(122)의 중간커넥터(130)에 체결된다.
상판(122)이 터닝부(80)에 장착되면 거더프레임구동부(40) 및 상판승강부(50)는 도 16에 도시한 바와 같이 초기 위치로 이송되고, 상판(122)은 터닝되는바, 그 터닝과정은 다음과 같다.
터닝부(80)의 구동모터(83)가 구동되면 감속기(84), 감속기축(85)이 회전되면서 전동기어(86)가 회전된다. 전동기어(86)가 회전되면 웜축(89)이 회전되며 웜축(89) 상에 설치된 웜(90)이 회전된다. 웜(90)이 회전되면 이에 치합된 웜휠(91)이 회전되고 웜휠축(92)이 회전된다. 웜휠축(92)이 회전되면 이에 고정된 하부커넥터(100)가 회전되며 하부커넥터(100)에 고정된 상판(122)이 도 16에 도시한 바와 같이 회전된다.
이러한 본 발명의 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치는 다음과 같은 장점을 갖는다.
먼저, 본 발명은 상판(122)의 승강, 이송, 터닝작업이 연속 동작에 의해 자동으로 이루어진다. 즉, 거더프레임구동부(40) 및 상판승강부(50)에 의해 상부커넥터(70)가 중간커넥터(130)에 안착되면 상부실린더(75)가 작동되어서 서로 체결되고, 상부커넥터(70) 및 중간커넥터(130)가 체결되면 상판승강부(50)에 의해 상판(122)이 상승되며, 거더프레임구동부(40)에 의해 터닝부(80) 측으로 수평이송된다. 상판(122)이 수평이송되면 상판승강부(50)에 의해 하강되어서 상판(122)의 중간커넥터(130)가 하부커넥터(100)에 안착되도록 하고, 이들이 서로 안착되면 하부실린더(105)가 작동되어서 서로 체결되며, 터닝부(80)가 구동되어서 상판(122)을 회전시킨다. 따라서 거더프레임구동부(40), 상판승강부(50), 터닝부(80)가 컨트롤러(110)에 의해 제어되면서 중량의 상판(122)을 자동으로 승강, 이송 및 터닝시킬 수 있다.
또한, 본 발명은 터닝된 상판(122)이 안정적으로 지지된다. 터닝부(80)에 의해 상판(122)이 터닝되면 상판고정실린더(136)의 로드(137)가 전진되어서 상판(122)의 상판고정홈(123)에 삽입된다. 따라서 상판(122)의 네 부분이 로드(137)에 의해 지지되므로 터닝된 상판(122)이 유동되는 것이 방지된다. 그러므로 터닝된 상판(122)이 상판고정실린더(136)에 의해 안정적으로 지지되므로 상판(122)의 저면 에 부품 설치작업 등을 정확하게 수행할 수 있다.
그리고 본 발명의 상부보조대(24)는 접철이 가능하다. 상판(122)을 이송시키기 위해 거더프레임구동부(40) 및 상판승강부(50)가 반도체장비(120)의 상측으로 이동될 때에는 접철실린더(30)의 실린더로드(31)가 전진하여서 상부보조대(24)를 힌지축(26)을 중심으로 펼쳐지도록 하고, 상판(122)이 터닝부(80) 측으로 이송된 후에는 접철실린더(30)의 실린더로드(31)를 후진시켜서 상부보조대(24)를 접는다. 따라서 상판(122)을 터닝부(80) 측으로 이송시킨 후 작업자가 본체(121)의 상부에 올라가서 작업하기 전에 상부보조대(24)를 간편하게 접철시킬 수 있으므로 상부보조대(24)에 의해 본체(121) 상부의 작업이 방해되지 않는다.
도 1은 상판의 중간커넥터가 상판승강부의 상부커넥터에 결합된 후 상판이 상측으로 들린 상태를 보인 개략적 정면도
도 2는 상판이 터닝장치에 설치된 상태를 보인 개략적 측면도
도 3은 도 1의 개략적 평면도
도 4a 내지 도 4c는 하부프레임 및 상부프레임을 보인 개략적 정면도, 측면도, 평면도
도 5는 도 4c의 접철실린더 부분을 보인 부분 확대 평면도
도 6a 내지 도 6c는 거더프레임구동부를 보인 정면도, 측면도, 평면도
도 7은 상판승강부를 보인 부분 확대 측면도
도 8a 및 도 8b는 터닝부를 보인 개략적 부분 확대 정단면도 및 부분 확대 측단면도
도 9는 상부커넥터, 하부커넥터, 중간커넥터를 보인 분리 측면도
도 10a 및 도 10b는 상부커넥터, 하부커넥터, 중간커넥터가 결합된 상태를 보인 개략적 정면도 및 측면도
도 11a 내지 도 11c는 중간커넥터를 보인 정면도, 측면도, 평면도
도 12a 내지 도 12c는 상부커넥터를 보인 정면도, 측면도, 저면도
도 13a 내지 도 13c는 하부커넥터를 보인 정면도, 측면도, 평면도
도 14는 도 1과 같은 상태에서 거더프레임구동부가 구동되어서 상판이 터닝부의 상측으로 이동된 상태를 보인 개략적 정면도
도 15는 상부승강부가 하강되어서 상판의 중간커넥터가 터닝부의 하부커넥터에 결합된 상태를 보인 개략적 정면도
도 16은 터닝부가 작동되어서 상판이 회전되는 상태를 보인 개략적 정면도
*도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
10 : 하부프레임 11 : 하부지지다리
12 : 하부수평대 13 : 터닝부지지다리
20 : 상부프레임 21 : 상부지지다리
22 : 상부수평대 23 : 상부레일
24 : 상부보조대 25 : 보조레일
26 : 힌지축 30 : 접철실린더
31 : 실린더로드 32 : 결합리브
40 : 거더프레임구동부 41 : 거더프레임
42 : 새들프레임 43 : 횡행휠
44 : 횡행모터 50 : 상판승강부
51 : 권취드럼 52 : 와이어
53 : 감속기 54 : 권취모터
60 : 와이어가이드실린더 61 : 제1관
62 : 제2관 63 : 제2부시
64 : 제3관 65 : 제3부시
70 : 상부커넥터 71 : 상부고정부
72 : 상부결합부 73 : 상부결합홈
74 : 상부체결구멍 75 : 상부실린더
76 : 상부실린더로드 80 : 터닝부
81 : 구동부 82 : 케이싱
83 : 구동모터 84 : 감속기
85 : 감속기축 86 : 전동기어
87 : 제1하부커버 88 : 제2하부커버
89 : 웜축 90 : 웜
91 : 웜휠 92 : 웜휠축
93 : 제1상부실린더 94 : 제2상부실린더
100 : 하부커넥터 101 : 하부고정부
102 : 하부결합부 103 : 하부결합홈
104 : 하부체결구멍 105 : 하부실린더
106 : 하부실린더로드 110 : 컨트롤러
120 : 반도체장비 121 : 본체
122 : 상판 130 : 중간커넥터
131 : 중간고정부 132 : 제1결합부
133 : 제1체결구멍 134 : 제2결합부
135 : 제2체결구멍 136 : 상판고정실린더
137 : 로드

Claims (6)

  1. 본체(121) 및 양측에 중간커넥터(130)가 각각 형성된 상판(122)으로 이루어진 반도체장비(120)의 일측에 설치되고, 하부수평대(12)들 및 이들을 지지하는 하부지지다리(11)들이 구비되며, 상기 하부지지다리(11)들 사이에 터닝부지지다리(13)들이 구비된 하부프레임(10);
    상기 하부프레임(10)의 상부에 설치되고, 상부레일(23)이 설치된 상부수평대(22)들 및 이들을 지지하는 상부지지다리(21)들이 구비되며, 상기 상부수평대(22)들에 보조레일(25)이 설치된 상부보조대(24)들이 접철되도록 힌지축(26)으로 설치되는 상부프레임(20);
    상기 상부프레임(20)의 상부레일(23) 및 보조레일(25)의 상부에 안착되어서 이를 따라 이송되는 횡행휠(43)들과, 상기 횡행휠(43)들에 연결되어서 이를 구동시키는 횡행모터(44)들과, 상기 횡행휠(43)들을 지지하는 새들프레임(42)들에 연결되는 거더프레임(41)으로 이루어진 거더프레임구동부(40);
    상기 거더프레임(41)에 설치되는 권취드럼(51)과, 상기 권취드럼(51)에 연결되어서 이를 회전시키는 권취모터(54)와, 상기 권취드럼(51)과 권취모터(54) 사이에 설치되어서 상기 권취모터(54)의 회전력을 감속하여 전달하는 감속기(53)와, 상기 권취드럼(51)에 권취되고 권취드럼(51)의 회전시 이에 감기거나 풀리는 와이어(52)와, 상기 와이어(52)의 하측 단부에 연결되어서 와이어(52)의 승강시 이와 함께 승강되며 상기 상판(122)에 연결되는 상부커넥터(70)와, 상기 거더프레임(41) 및 상부커넥터(70)에 연결되고 상기 와이어(52)의 둘레에 설치되어서 상기 와이어(52)를 보호하는 와이어가이드실린더(60)로 이루어진 상판승강부(50);
    상기 하부프레임(10)의 터닝부지지다리(13)의 상부에 설치되고 상기 거더프레임구동부(40)에 의해 수평방향으로 이송된 후 상기 상판승강부(50)에 의해 하강된 상판(122)의 양측이 결합되는 하부커넥터(100)와, 터닝부지지다리(13)의 상부에 설치되고 상기 하부커넥터(100)에 연결되어서 상기 하부커넥터(100)를 회전시키는 구동부(81)로 이루어진 터닝부(80);
    상기 구동부(81), 상판승강부(50), 터닝부(80)에 연결되어서 이들의 구동을 제어하는 컨트롤러(110);로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치.
  2. 제1항에 있어서, 상기 상부수평대(22)들 및 상부보조대(24)들에는,
    상기 상부보조대(24)들이 상기 힌지축(26)들을 중심으로 자동으로 접철되도록 접철실린더(30)가 설치되는 것을 특징으로 하는 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치.
  3. 제1항에 있어서, 상기 상부커넥터(70)는,
    상기 와이어가이드실린더(60)의 하단에 고정되는 상부고정부(71)와,
    상기 상부고정부(71)에 연결되고 중간커넥터(130)의 제1결합부(132)가 안착되도록 내측으로 오목한 상부결합홈(73)이 형성되며 상기 상부결합홈(73)을 관통하 도록 상부체결구멍(74)이 형성된 상부결합부(72)와,
    상기 상부결합부(72)의 일측에 구비되고 상부체결구멍(74) 및 제1결합부(132)의 제1체결구멍(133)에 착탈되는 상부실린더로드(76)를 가지는 상부실린더(75)로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치.
  4. 제1항에 있어서, 상기 와이어가이드실린더(60)는,
    상기 거더프레임(41)의 하부에 결합되고 상기 와이어(52)의 둘레에 설치되어서 이를 보호하는 중공형상의 제1관(61)과, 상기 제1관(61)의 내주면에 슬라이드되도록 설치되고 상기 와이어(52)의 둘레를 보호하는 중공형상의 제2관(62)과, 상기 제2관(62)의 내주면에 슬라이드되도록 설치되고 상기 와이어(52)의 둘레를 보호하는 중공형상의 제3관(64)으로 이루어지며, 상기 와이어(52)의 하단이 승강될 때마다 상기 제1관(61), 제2관(62), 제3관(64)이 그 중심축 방향으로 접히거나 펼쳐지도록 된 것을 특징으로 하는 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치.
  5. 제1항에 있어서, 상기 하부커넥터(100)는,
    상기 구동부(81)에 고정되는 하부고정부(101)와,
    상기 하부고정부(101)에 연결되고 중간커넥터(130)의 제2결합부(134)가 안착되도록 내측으로 오목한 하부결합홈(103)이 형성되며 상기 하부결합홈(103)을 관통하도록 하부체결구멍(104)이 형성된 하부결합부(102)와,
    상기 하부결합부(102)의 일측에 구비되고 하부체결구멍(104) 및 제2결합 부(134)의 제2체결구멍(135)에 착탈되는 하부실린더로드(106)를 가지는 하부실린더(105)로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 구동부(81)는,
    터닝부지지다리(13)의 상부에 설치되는 구동모터(83)와, 상기 구동모터(83)에 연결되어서 그 회전동력이 전달되는 감속기(84)와, 감속기(84)의 감속기축(85)에 연결되어서 감속된 동력이 전달되는 전동기어(86)와, 상기 전동기어(86)의 중심에 결합되어서 이와 함께 회전되는 웜축(89)과, 상기 웜축(89) 상에 결합되어서 이와 함께 회전되는 웜(90)과, 상기 웜(90)에 치합되어서 그 동력을 전달받아 회전되는 웜휠(91)과, 상기 웜휠(91)의 중심에 결합되어서 이와 함께 회전되고 상기 하부커넥터(100)의 하부고정부(101)에 연결되어서 하부커넥터(100)를 회전시키는 웜휠축(92)으로 이루어진 것을 특징으로 하는 반도체장비의 상판 이송 및 터닝장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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