KR100986585B1 - 방열몸체를 갖는 초음파 진동자 및 그것을 구비한 초음파 세정장치 - Google Patents
방열몸체를 갖는 초음파 진동자 및 그것을 구비한 초음파 세정장치 Download PDFInfo
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Abstract
본 발명의 초음파 진동자는, 전원을 공급받아 진동하는 압전소자; 상기 압전소자가 부착되며, 초음파가 출력될 때 발생되는 압전소자 주변의 열을 외부로 빠르게 방출하기 위한 방열몸체; 상기 방열몸체에 부착되고 반도체 기판의 세정액에 녹거나 부식되지 않는 재질로 이루어져 있는 진동출력몸체; 및 상기 방열몸체의 상부에 결합되고, 압전소자에 전원을 인가하기 위한 전선이 연결되어 있는 하우징;을 포함하여 구성된다.
본 발명의 초음파 진동자는, 고장발생률이 낮고 초음파 성능을 일정하게 유지할 수 있다.
따라서 본 발명의 초음파 진동자를 구비한 세정장치도 고장발생율이 낮고, 초음파 성능을 일정하게 유지할 수 있어 우수한 세정효과를 얻을 수 있는 특징이 있다.
Description
도 2는 종래 로드 타입 초음파 진동자의 분해 사시도
도 3은 종래 또 다른 형태의 로드 타입 초음파 진동자의 분해 사시도
도 4는 본 발명이 적용된 플레이트 타입 초음파 진동자의 사시도
도 5는 본 발명이 적용된 플레이트 타입 초음파 진동자의 단면도
도 6은 본 발명이 적용된 로드 타입 초음파 진동자의 사시도
도 7은 본 발명이 적용된 또 다른 로드 타입 초음파 진동자의 사시도
2a. 초음파출력연장부 3. 하우징
4. 패킹 5. 볼트
10. 압전소자 20. 진동출력몸체
20a. 초음파출력연장부 30. 하우징
40. 패킹 50. 방열몸체
60. 볼트
Claims (7)
- 초음파 진동자에 있어서,
전원을 공급받아 진동하는 압전소자(10);
상기 압전소자(10)가 부착되며, 초음파가 출력될 때 발생되는 압전소자(10) 주변의 열을 외부로 빠르게 방출하기 위한 방열몸체(50);
상기 방열몸체(50)에 부착되고 반도체 기판의 세정액에 녹거나 부식되지 않는 재질로 이루어져 있는 진동출력몸체(20);
상기 방열몸체(50)의 상부에 결합되고, 압전소자(10)에 전원을 인가하기 위한 전선이 연결되어 있는 하우징(30);을 포함하여 구성되어 있되
상기 진동출력몸체(20)는 플레이트 타입으로 구현되어 있고 진동출력몸체(20)의 두께는 방열몸체(50)의 두께와 동일한 것을 특징으로 하는, 방열몸체를 갖는 초음파 진동자.
- 초음파 진동자에 있어서,
전원을 공급받아 진동하는 압전소자(10);
상기 압전소자(10)가 부착되며, 초음파가 출력될 때 발생되는 압전소자(10) 주변의 열을 외부로 빠르게 방출하기 위한 방열몸체(50);
상기 방열몸체(50)에 부착되고 반도체 기판의 세정액에 녹거나 부식되지 않는 재질로 이루어져 있는 진동출력몸체(20);
상기 방열몸체(50)의 상부에 결합되고, 압전소자(10)에 전원을 인가하기 위한 전선이 연결되어 있는 하우징(30);을 포함하여 구성되어 있되
상기 진동출력몸체(20)는 로드 타입으로 구현되어 있고 진동출력몸체(20) 중 초음파출력연장부(20a)를 제외한 부분의 두께는 방열몸체(50)의 두께와 동일한 것을 특징으로 하는, 방열몸체를 갖는 초음파 진동자.
- 제 1항에 있어서,
상기 방열몸체(50)는 알루미늄 재질로 이루어진 것을 특징으로 하는, 방열몸체를 갖는 초음파 진동자.
- 제 1항에 있어서,
상기 하우징(30)은 압전소자(10)와 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는, 방열몸체를 갖는 초음파 진동자.
- 제 2항에 있어서,
상기 하우징(30)은 압전소자(10)와 접촉되지 않는 것을 특징으로 하는, 방열몸체를 갖는 초음파 진동자.
- 제 1항 또는 제 2항에 있어서,
상기 하우징(30)과 방열몸체(50)의 사이에는 압전소자(10)가 외부로 소통되는 것을 방지하는 패킹(40)이 위치되어 있는 것을 특징으로 하는, 방열몸체를 갖는 초음파 진동자.
- 제 1항 내지 제 5항 중 어느 한 항의 방열몸체를 갖는 초음파 진동자를 구비한 초음파 세정장치.
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