KR100983591B1

KR100983591B1 - Liquid Crystal Display Device having aligning mark

Info

Publication number: KR100983591B1
Application number: KR1020030088532A
Authority: KR
Inventors: 장환수
Original assignee: 엘지디스플레이 주식회사
Priority date: 2003-12-08
Filing date: 2003-12-08
Publication date: 2010-09-27
Also published as: KR20050055334A

Abstract

이웃하는 패널 상,하부의 얼라인 키들이 겹치지 않도록 설계하여 패널(Panel)의 배치 효율을 높일 수 있는 얼라인 마크를 구비한 마스크 및 이를 이용하여 형성된 액정표시장치를 제공하기 위한 것으로, 상기 목적을 달성하기 위한, 얼라인 마크를 구비한 마스크는 패널 정의영역과, 상기 패널 정의영역 이외의 더미영역과, 상기 패널 정의영역 상,하부의 상기 더미영역에 사선으로 엇갈리게 형성된 얼라인 마크를 구비한 것을 특징으로 한다.

그리고, 상기 마스크를 이용하여 형성된 액정표시장치는 기판에 정의된 복수개의 패널영역과; 상기 패널영역 이외의 더미영역과; 상기 각 패널영역 상,하부의 더미영역에 사선으로 엇갈려서 형성된 얼라인 키를 구비한 것을 특징으로 한다.

얼라인 마크, 얼라인 키, 사선, 스크라이브 라인, 패널

It is to provide a mask having an alignment mark that is designed so that the alignment keys of the upper and lower portions of neighboring panels do not overlap to increase the efficiency of arrangement of the panel, and a liquid crystal display device formed using the same. In order to achieve the above, the mask having an alignment mark includes a panel defining region, a dummy region other than the panel defining region, and an alignment mark formed by crossing diagonally on the dummy regions above and below the panel defining region. It features.

The liquid crystal display device formed using the mask includes a plurality of panel regions defined on a substrate; Dummy regions other than the panel region; And an alignment key formed by crossing diagonally on the upper and lower dummy areas of each panel area.

Align mark, align key, diagonal, scribe line, panel

Description

얼라인 마크를 구비한 마스크 및 이를 이용하여 형성된 액정표시장치{Liquid Crystal Display Device having aligning mark}Mask having alignment mark and liquid crystal display device formed using same {Liquid Crystal Display Device having aligning mark}

도 1은 종래 얼라인 마크를 구비한 마스크의 평면도 1 is a plan view of a mask having a conventional alignment mark

도 2는 도 1의 마스크를 이용하여 얼라인 키가 형성된 액정표시장치의 평면도FIG. 2 is a plan view of an LCD in which an align key is formed using the mask of FIG. 1.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 얼라인 마크를 구비한 마스크의 평면도 3 is a plan view of a mask having an alignment mark in accordance with an embodiment of the present invention;

도 4는 도 3의 마스크를 이용하여 얼라인 키가 형성된 액정표시장치의 평면도 FIG. 4 is a plan view of an LCD having an alignment key formed using the mask of FIG. 3.

도 5는 본 발명에 따른 얼라인 키가 구비된 액정표시장치의 하부기판을 도시한 사시도FIG. 5 is a perspective view illustrating a lower substrate of an LCD having an alignment key according to the present invention. FIG.

도 6은 본 발명에 따른 얼라인 키가 구비된 액정표시장치의 상부기판을 도시한 사시도 6 is a perspective view illustrating an upper substrate of a liquid crystal display device having an alignment key according to the present invention;

* 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

30 : 마스크 31 : 패널 정의영역 30: mask 31: panel definition area

32 : 더미영역 33 : 얼라인 마크 32: dummy area 33: alignment mark

40 : 기판 41a, 41b,41c, 41d : 패널영역 40: substrate 41a, 41b, 41c, 41d: panel region

42 : 스크라이브 라인 43a, 43b, 43c, 43d : 얼라인 키 42: scribe lines 43a, 43b, 43c, 43d: alignment key

50 : 하부기판 51 : 게이트라인 50: lower substrate 51: gate line

52 : 데이터라인 53 : 박막 트랜지스터 52: data line 53: thin film transistor

54 : 화소전극 55a, 55b, 55c, 55d : 얼라인 키54: pixel electrodes 55a, 55b, 55c, 55d: alignment key

60 : 상부기판 61 : 블랙 매트릭스층 60: upper substrate 61: black matrix layer

62a, 62b, 62c, 62d : 얼라인 키 62a, 62b, 62c, 62d: alignment key

본 발명은 액정표시장치(Liquid Crystal Display Device: LCD)에 관한 것으로서, 보다 구체적으로 패널(Panel) 배치 효율을 높일 수 있는 얼라인 마크를 구비한 마스크 및 이를 이용하여 형성된 액정표시장치에 관한 것이다. BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display device (LCD). More particularly, the present invention relates to a mask having an alignment mark capable of increasing panel placement efficiency and a liquid crystal display device formed using the same.

정보화 사회가 발전함에 따라 표시장치에 대한 요구도 다양한 형태로 점증하고 있으며, 이에 부응하여 근래에는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), ELD(Electro Luminescent Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display)등 여러 가지 평판 표시 장치가 연구되어 왔고, 일부는 이미 여러 장비에서 표시장치로 활용되고 있다.As the information society develops, the demand for display devices is increasing in various forms.In recent years, liquid crystal display (LCD), plasma display panel (PDP), electro luminescent display (ELD), and vacuum fluorescent display (VFD) have been developed. Various flat panel display devices have been studied, and some of them are already used as display devices in various devices.

그 중에, 현재 화질이 우수하고 경량, 박형, 저소비 전력의 장점으로 인하여 이동형 화상 표시장치의 용도로 CRT(Cathode Ray Tube)를 대체하면서 LCD가 가장 많이 사용되고 있으며, 노트북 컴퓨터의 모니터와 같은 이동형의 용도 이외에도 방송신호를 수신하여 디스플레이하는 텔레비전, 및 컴퓨터의 모니터 등으로 다양하게 개발되고 있다.Among them, LCD is the most widely used as a substitute for CRT (Cathode Ray Tube) for the use of mobile image display device because of the excellent image quality, light weight, thinness, and low power consumption, and mobile type such as monitor of notebook computer. In addition, it is being developed in various ways, such as a television for receiving and displaying broadcast signals, and a monitor of a computer.

이와 같이 액정표시장치가 여러 분야에서 화면 표시장치로서의 역할을 하기 위해 여러 가지 기술적인 발전이 이루어졌음에도 불구하고 화면 표시장치로서 화상의 품질을 높이는 작업은 상기 장점과 배치되는 면이 많이 있다.As described above, although various technical advances have been made in order for the liquid crystal display device to serve as a screen display device in various fields, the task of improving the image quality as the screen display device has many advantages and disadvantages.

따라서, 액정표시장치가 일반적인 화면 표시장치로서 다양한 부분에 사용되기 위해서는 경량, 박형, 저 소비전력의 특징을 유지하면서도 고정세, 고휘도, 대면적 등 고품위 화상을 얼마나 구현할 수 있는가에 발전의 관건이 걸려 있다고 할 수 있다.Therefore, in order for a liquid crystal display device to be used in various parts as a general screen display device, development of high quality images such as high definition, high brightness, and large area is maintained while maintaining the characteristics of light weight, thinness, and low power consumption. It can be said.

이와 같은 액정표시장치는, 화상을 표시하는 액정 패널과 상기 액정 패널에 구동신호를 인가하기 위한 구동부로 크게 구분될 수 있으며, 상기 액정 패널은 공간을 갖고 합착된 제 1, 제 2 유리 기판과, 상기 제 1, 제 2 유리 기판 사이에 주입된 액정층으로 구성된다.Such a liquid crystal display device may be broadly divided into a liquid crystal panel displaying an image and a driving unit for applying a driving signal to the liquid crystal panel, wherein the liquid crystal panel includes first and second glass substrates having a space and are bonded to each other; It consists of a liquid crystal layer injected between the said 1st, 2nd glass substrate.

여기서, 상기 제 1 유리 기판(TFT 어레이 기판)에는, 일정 간격을 갖고 일 방향으로 배열되는 복수개의 게이트 라인과, 상기 각 게이트 라인과 수직한 방향으로 일정한 간격으로 배열되는 복수개의 데이터 라인과, 상기 각 게이트 라인과 데이터 라인이 교차되어 정의된 각 화소영역에 매트릭스 형태로 형성되는 복수개의 화소 전극과 상기 게이트 라인의 신호에 의해 스위칭되어 상기 데이터 라인의 신호를 상기 각 화소 전극에 전달하는 복수개의 박막 트랜지스터가 형성되어 있다.The first glass substrate (TFT array substrate) may include a plurality of gate lines arranged in one direction at a predetermined interval, a plurality of data lines arranged at regular intervals in a direction perpendicular to the gate lines, and A plurality of pixel electrodes formed in a matrix form in each pixel region defined by crossing each gate line and data line, and a plurality of thin films that transmit signals of the data line to each pixel electrode by being switched by signals of the gate line The transistor is formed.

그리고 제 2 유리 기판(컬러필터 기판)에는, 상기 화소 영역을 제외한 부분의 빛을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 컬러 색상을 표현하기 위한 R,G,B 컬러 필터층과 화상을 구현하기 위한 공통 전극이 형성되어 있다. 물론, 횡전계 방식의 액정표시장치에서는 공통전극이 제 1 유리 기판에 형성되어 있다.The second glass substrate (color filter substrate) includes a black matrix layer for blocking light in portions other than the pixel region, an R, G, B color filter layer for expressing color colors, and a common electrode for implementing an image. Is formed. Of course, the common electrode is formed on the first glass substrate in the transverse electric field type liquid crystal display device.

이와 같은 상기 제 1, 제 2 유리 기판은 스페이서(spacer)에 의해 일정 공간을 갖고 액정 주입구를 갖는 씨일재에 의해 합착되고 상기 두 기판 사이에 액정이 주입된다.The first and second glass substrates are bonded by a sealing material having a predetermined space by a spacer and having a liquid crystal injection hole, and a liquid crystal is injected between the two substrates.

이때, 액정 주입 방법은 상기 실재에 의해 합착된 두 기판 사이를 진공 상태로 유지하여 액정 용기에 상기 액정 주입구가 잠기도록 하면 삼투압 현상에 의해 액정이 두 기판 사이에 주입된다. 이와 같이 액정이 주입되면 상기 액정 주입구를 밀봉재로 밀봉하게 된다.In this case, in the liquid crystal injection method, the liquid crystal is injected between the two substrates by osmotic pressure when the liquid crystal injection hole is immersed in the liquid crystal container by maintaining the vacuum state between the two substrates bonded by the reality. When the liquid crystal is injected as described above, the liquid crystal injection hole is sealed with a sealing material.

한편, 상기와 같이 액정표시장치의 구동원리는 액정의 광학적 이방성과 분극성질을 이용한다.On the other hand, the driving principle of the liquid crystal display device as described above uses the optical anisotropy and polarization of the liquid crystal.

상기 액정은 구조가 가늘고 길기 때문에 분자의 배열에 방향을 가지고 있으며, 인위적으로 액정에 전기장을 인가하여 분자배열의 방향을 제어할 수 있다.Since the liquid crystal is thin and long in structure, the liquid crystal has a direction in the arrangement of molecules, and the liquid crystal may be artificially applied to control the direction of the molecular arrangement.

따라서, 상기 액정의 분자배열 방향을 임의로 조절하면, 액정의 분자배열이 변하게 되고, 광학적 이방성에 의하여 편광된 빛이 임의로 변조되어 화상정보를 표현할 수 있다.Accordingly, when the molecular arrangement direction of the liquid crystal is arbitrarily adjusted, the molecular arrangement of the liquid crystal is changed, and light polarized by optical anisotropy may be arbitrarily modulated to express image information.

이러한 액정은 전기적인 특정분류에 따라 유전율 이방성이 양(+)인 포지티브 액정과 음(-)인 네거티브 액정으로 구분될 수 있으며, 유전율 이방성이 양인 액정분자는 전기장이 인가되는 방향으로 액정분자의 장축이 평행하게 배열하고, 유전율 이방성이 음인 액정분자는 전기장이 인가되는 방향과 액정분자의 장축이 수직하게 배열한다.Such liquid crystals may be classified into positive liquid crystals having positive dielectric anisotropy and negative liquid crystals having negative dielectric anisotropy according to an electrical specific classification. The liquid crystal molecules arranged in parallel and having negative dielectric anisotropy are arranged perpendicularly to the direction in which the electric field is applied and the major axis of the liquid crystal molecules.

상기에서 공통전극이 제 1 유리기판에 형성될 경우에는 횡전계 방식의 액정표시장치로써, 액정이 횡전계에 의해서 구동하게 된다. When the common electrode is formed on the first glass substrate, the liquid crystal is driven by the transverse electric field as a transverse electric field type liquid crystal display device.

상기에서 제 1, 제 2 유리기판에 상술한 각각의 구성요소를 정확하게 정렬시키기 위해서는 제 1, 제 2 유리기판의 더미영역에 얼라인 키를 형성해 주어야 한다. In order to accurately align each of the above-described components on the first and second glass substrates, an alignment key should be formed in the dummy regions of the first and second glass substrates.

이때 얼라인 키는 예를 들어, 배향막 인쇄 키, 합착 키, 씨일(Seal) 인쇄 키등을 포함한다. At this time, the alignment key includes, for example, an alignment film printing key, a bonding key, a seal printing key, and the like.

이하, 종래기술에 따른 얼라인 마크를 구비한 마스크 및 이를 이용하여 형성된 액정표시장치에 대하여 설명하기로 한다. Hereinafter, a mask having an alignment mark according to the related art and a liquid crystal display formed using the same will be described.

도 1은 종래 얼라인 마크를 구비한 마스크를 도시한 평면도이고, 도 2는 도 1의 마스크를 이용하여 얼라인 마크가 형성된 액정표시장치의 평면도이다. FIG. 1 is a plan view illustrating a mask having a conventional alignment mark, and FIG. 2 is a plan view of an LCD having an alignment mark formed using the mask of FIG. 1.

먼저, 종래의 마스크는 도 1에 도시한 바와 같이, 패널 정의영역(11)과, 패널 정의영역(11) 외부의 더미영역(12)에 형성된 얼라인 마크(Align mark)(13)로 구성되어 있다. First, as shown in FIG. 1, the conventional mask is composed of a panel defining region 11 and an alignment mark 13 formed in the dummy region 12 outside the panel defining region 11. have.

상기 마스크(10)의 얼라인 마크(13)는 패널 정의영역(11)의 상,하부 더미영역(12)에 대칭되게 패터닝되어 있다. 즉, 얼라인 마크(13)는 도 1의 가상 일직선상(점선)에 배열되도록 패널 정의영역(11)의 상,하부 더미영역(12)에 패턴되어 있다. The alignment marks 13 of the mask 10 are symmetrically patterned on the upper and lower dummy regions 12 of the panel defining region 11. That is, the alignment mark 13 is patterned in the upper and lower dummy regions 12 of the panel defining region 11 so as to be arranged in a virtual straight line (dotted line) in FIG. 1.

상기 얼라인 마크(13)는 마스크(10) 상에 크롬(Cr)과 같은 차광층을 증착한 후, 사진식각 공정에 의해서 차광층을 제거하므로써 형성된다. The alignment mark 13 is formed by depositing a light blocking layer such as chromium (Cr) on the mask 10 and then removing the light blocking layer by a photolithography process.

상기와 같이 얼라인 마크(13)가 구비된 마스크(10)를 이용하여 액정표시장치에 얼라인 키(Align key)들을 형성하는데, 종래에 따른 액정표시장치는 도 2에 도시한 바와 같이, 기판(20)에 패널영역(21a,21b,21c,21d)이 정의되어 있고, 패널영역(21a,21b,21c,21d) 외부의 더미영역에 셀절단 공정에 의해서 잘려나갈 스크라이브 라인(22)이 정의되어 있으며, 상기 각 패널영역(21a,21b,21c,21d) 상,하부의 스크라이브 라인(22)에 서로 대칭을 이루도록 얼라인 키들(23a,23b,23c,23d)이 패터닝되어 있다. As described above, alignment keys are formed in the liquid crystal display using the mask 10 provided with the alignment mark 13. In the conventional liquid crystal display, as shown in FIG. Panel areas 21a, 21b, 21c, and 21d are defined in (20), and scribe lines 22 to be cut out by a cell cutting process are defined in dummy areas outside the panel areas 21a, 21b, 21c, and 21d. Alignment keys 23a, 23b, 23c, and 23d are patterned on the scribe lines 22 above and below the panel regions 21a, 21b, 21c, and 21d so as to be symmetrical with each other.

그러나, 얼라인 키들(23a,23b,23c,23d)을 상기 마스크(10)를 이용하여 상기 각 패널영역(21a,21b,21c,21d) 상,하부의 스크라이브 라인(22)에 노광 공정으로 형성할 때, 얼라인 키들(23a,23b,23c,23d)이 형성되는 스크라이브 라인(22)의 폭이 좁으면 도 2에서와 같이 얼라인 키들(23a,23b,23c,23d)들이 겹치는 현상이 발생될 수 있다. However, the alignment keys 23a, 23b, 23c, and 23d are formed in the scribe lines 22 on the upper and lower portions of the panel areas 21a, 21b, 21c, and 21d using the mask 10 by an exposure process. When the scribe line 22 on which the alignment keys 23a, 23b, 23c, and 23d are formed is narrow, the alignment keys 23a, 23b, 23c, and 23d overlap as shown in FIG. Can be.

이와 같이 얼라인 키들(23a,23b,23c,23d)이 겹치게 되면 그 다음 공정 진행을 할 때 정확한 얼라인을 하기가 어려워지는 문제가 발생한다. As such, when the alignment keys 23a, 23b, 23c, and 23d overlap, a problem arises in that it becomes difficult to align correctly when the next process proceeds.

이를 해결하기 위해서, 기판(20)에 형성되는 패널의 수를 줄여서 스크라이브 라인을 넓히는 방법이 있다. 그러나 이 방법은 기판 효율이 떨어진다는 단점이 있다. In order to solve this problem, there is a method of widening the scribe line by reducing the number of panels formed on the substrate 20. However, this method has a disadvantage of low substrate efficiency.

또한, 상기 얼라인 키가 겹치는 문제를 줄이기 위해서, 마스크의 얼라인 마크 및 기판의 얼라인 키의 사이즈를 작게 할 수 있는데, 이 경우에는 얼라인 키를 형성하기 위한 노광기의 해상도 및 광학 특성을 더 향상시켜야 하는데 이에 따른 추가 개발 기간이 필요하고 비용 또한 많이 소모되는 문제가 있다. In addition, in order to reduce the problem that the alignment keys overlap, the size of the alignment mark of the mask and the alignment key of the substrate can be reduced. In this case, the resolution and optical characteristics of the exposure machine for forming the alignment key are further increased. There is a problem in that it requires additional development periods and is expensive.

본 발명은 상기 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 이웃하는 패널 상,하부의 얼라인 키들이 겹치지 않도록 설계하여 패널(Panel)의 배치 효율을 높일 수 있는 얼라인 마크를 구비한 마스크 및 이를 이용하여 형성된 액정표시장치를 제공하는데 있다. The present invention has been made to solve the above problems, an object of the present invention is to provide an alignment mark that can improve the layout efficiency of the panel (panel) by designing so that the alignment keys of the upper and lower parts of the neighboring panels do not overlap A mask and a liquid crystal display device formed using the same are provided.

상기 목적을 달성하기 위한, 본 발명의 얼라인 마크를 구비한 마스크는 패널 정의영역과, 상기 패널 정의영역 이외의 더미영역과, 상기 패널 정의영역 상,하부의 상기 더미영역에 사선으로 엇갈리게 형성된 얼라인 마크를 구비한 것을 특징으로 한다. In order to achieve the above object, a mask having an alignment mark according to the present invention is formed by diagonally intersecting a panel defining region, a dummy region other than the panel defining region, and the dummy regions above and below the panel defining region. It is characterized by including the mark.

상기 얼라인 마크는 상기 패널 정의영역의 사이즈를 벗어나지 않는 한도내에서 엇갈리게 형성되는 것을 특징으로 한다. The alignment marks may be staggered within a limit without departing from the size of the panel definition area.

상기 얼라인 마크는 크롬(Cr)으로 구성됨을 특징으로 한다. The alignment mark is characterized by consisting of chromium (Cr).

그리고, 상기 마스크를 이용하여 형성된 본 발명에 따른 액정표시장치는 기판에 정의된 복수개의 패널영역과; 상기 패널영역 이외의 더미영역과; 상기 각 패널영역 상,하부의 더미영역에 사선으로 엇갈려서 형성된 얼라인 키를 구비한 것을 특징으로 한다. The liquid crystal display according to the present invention formed using the mask comprises: a plurality of panel regions defined on a substrate; Dummy regions other than the panel region; And an alignment key formed by staggering diagonally in the upper and lower dummy areas of each panel area.

상기 얼라인 키는 상기 패널영역의 사이즈를 벗어나지 않는 한도내에서 엇갈 려서 형성된 것을 특징으로 한다. The alignment keys are formed to be staggered within a limit not departing from the size of the panel area.

상기 기판은 박막 트랜지스터 어레이 기판이나 칼라필터 어레이 기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 한다. The substrate may be any one of a thin film transistor array substrate and a color filter array substrate.

상기 박막 트랜지스터 어레이 기판에는, 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 복수개의 게이트라인 및 데이터라인과, 상기 게이트라인과 상기 데이터라인의 교차영역에 게이트전극, 게이트절연막, 반도체층, 소스/드레인전극으로 구성된 박막 트랜지스터와, 상기 화소영역에 형성된 화소전극으로 구성됨을 특징으로 한다. The thin film transistor array substrate may include a plurality of gate lines and data lines crossing each other horizontally and horizontally to define pixel regions, and gate electrodes, gate insulating layers, semiconductor layers, and source / drain electrodes at intersections of the gate lines and the data lines. And a pixel electrode formed in the pixel region.

상기 얼라인 키는 상기 게이트라인 및 상기 게이트 전극과 동일층에 형성됨을 특징으로 한다. The alignment key is formed on the same layer as the gate line and the gate electrode.

상기 칼라필터 어레이 기판에는, 상기 게이트라인, 데이터라인, 및 박막트랜지스터 형성영역으로 광이 누설되는 것을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과, 상기 블랙 매트릭스층 위에 형성된 칼라 필터층으로 구성됨을 특징으로 한다. The color filter array substrate may include a black matrix layer for blocking light leakage to the gate line, the data line, and the thin film transistor forming region, and a color filter layer formed on the black matrix layer.

상기 얼라인 키는 상기 블랙 매트릭스층과 동일층에 형성됨을 특징으로 한다. The alignment key is formed on the same layer as the black matrix layer.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예에 따른 얼라인 마크를 구비한 마스크 및 이를 이용하여 형성된 액정표시장치에 대하여 설명한다. Hereinafter, a mask having an alignment mark and a liquid crystal display device formed using the same according to an exemplary embodiment of the present invention will be described with reference to the accompanying drawings.

도 3은 본 발명의 실시예에 따른 얼라인 마크를 구비한 마스크의 평면도이고, 도 4는 도 3의 마스크를 이용하여 얼라인 키가 형성된 액정표시장치의 평면도이다. 3 is a plan view of a mask having an alignment mark according to an exemplary embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a plan view of a liquid crystal display device having an alignment key formed using the mask of FIG. 3.

먼저, 본 발명의 실시예에 따른 마스크(30)는 도 3에 도시한 바와 같이, 패 널 정의영역(31)과, 패널 정의영역(31) 외부의 더미영역(32)에 형성된 얼라인 마크(Align mark)(33)로 구성되어 있다. First, as shown in FIG. 3, the mask 30 according to the exemplary embodiment of the present invention has an alignment mark (not shown) formed in the panel defining region 31 and the dummy region 32 outside the panel defining region 31. Align mark) (33).

상기 마스크(30)의 얼라인 마크(33)는 복수개 형성될 수 있으며, 패널 정의영역(31)의 상,하부 더미영역(32)에 서로 비대칭적으로 엇갈리게 배치되어 있다. A plurality of alignment marks 33 of the mask 30 may be formed, and are arranged asymmetrically in the upper and lower dummy regions 32 of the panel defining region 31.

상기 얼라인 마크(33)는 패널 정의영역(31)의 사이즈를 벗어나지 않는 한도에서 엇갈리게 배치할 수 있다. The alignment marks 33 may be alternately disposed as long as they do not exceed the size of the panel defining region 31.

상기 얼라인 마크(33)는 마스크 상에 크롬(Cr)과 같은 차광층을 증착한 후, 사진식각 공정에 의해서 차광층을 제거하므로써 형성된다. The alignment mark 33 is formed by depositing a light blocking layer such as chromium (Cr) on a mask and then removing the light blocking layer by a photolithography process.

상기와 같은 얼라인 마크(33)를 구비한 마스크(30)를 이용하여 액정표시장치에도 얼라인 키(Align key)를 형성한다. An alignment key is also formed in the liquid crystal display using the mask 30 provided with the alignment mark 33 as described above.

이때 액정표시장치의 얼라인 키는 배향막 인쇄 공정, 상,하부기판 합착 공정, 씨일(Seal) 인쇄 공정 및 상,하부기판의 어레이 공정시 정밀도를 높이기 위해서 형성하는 것이다. In this case, the alignment key of the liquid crystal display device is formed in order to increase the precision in the alignment film printing process, the upper and lower substrate bonding process, the seal printing process, and the array process of the upper and lower substrates.

상기 마스크(30)를 이용하여 얼라인 키를 제조한 본 발명에 따른 액정표시장치는, 도 4에 도시한 바와 같이, 대형 기판(40)에 패널영역(41a,41b,41c,41d)이 정의되어 있고, 패널영역(41a,41b,41c,41d) 외부의 더미영역에 셀절단 공정에 의해서 잘려나갈 스크라이브 라인(42)이 정의되어 있으며, 상기 패널영역(41a,41b,41c,41d) 상,하부의 스크라이브 라인(42)에 비대칭적으로 얼라인 키들(43a,43b,43c,43d)이 패턴 형성되어 있다. 이때 각 패널영역 상,하부의 얼라인 키들(43a,43b,43c,43d)은 상기 마스크(30)의 얼라인 마크(33)와 동일 형상 및 위치 에 형성된다. In the liquid crystal display according to the present invention, in which an alignment key is manufactured using the mask 30, panel regions 41a, 41b, 41c, and 41d are defined in the large substrate 40, as shown in FIG. The scribe lines 42 to be cut out by the cell cutting process are defined in the dummy areas outside the panel areas 41a, 41b, 41c, and 41d. On the panel areas 41a, 41b, 41c, and 41d, The alignment keys 43a, 43b, 43c, 43d are asymmetrically formed on the lower scribe line 42. FIG. At this time, the alignment keys 43a, 43b, 43c, and 43d above and below each panel region are formed in the same shape and position as the alignment mark 33 of the mask 30.

그리고 기판(40)에는 복수개의 패널영역이 정의될 수 있는데, 상기에서는 4개의 패널영역이 배치된 예를 보였다. In addition, a plurality of panel regions may be defined in the substrate 40. In the above example, four panel regions are disposed.

그리고 상기 기판(40)의 얼라인 키들(43a,43b,43c,43d)은 각 패널영역(41a,41b,41c,41d)의 상,하부 스크라이브 라인(42)에 사선으로 엇갈리게 배치되어 있으며, 마스크(30)의 얼라인 마크(33)와 마찬가지로 각 패널영역(41a,41b,41c,41d)의 사이즈를 벗어나지 않는 한도내에서 엇갈리게 형성할 수 있다. The alignment keys 43a, 43b, 43c, and 43d of the substrate 40 are alternately arranged diagonally on the upper and lower scribe lines 42 of the panel regions 41a, 41b, 41c, and 41d, respectively. Similar to the alignment mark 33 in (30), they can be staggered within the limits of each panel area 41a, 41b, 41c, 41d without departing from the size.

또한, 도 4에는 각 패널영역(41a,41b,41c,41d)의 좌측 상단과 우측 하단에 각각 얼라인 키들(43a,43b,43c,43d)이 형성되어 있는 것을 도시했으나, 각 패널영역(41a,41b,41c,41d)의 좌측 하단과 우측 상단에 얼라인 키들(43a,43b,43c,43d)을 형성하는 것도 가능하다. 4, alignment keys 43a, 43b, 43c, and 43d are formed at the upper left and lower right of the panel areas 41a, 41b, 41c, and 41d, respectively. It is also possible to form alignment keys 43a, 43b, 43c, and 43d at the lower left and upper right of 41b, 41c, and 41d.

또한, 상기 얼라인 키들(43a,43b,43c,43d)은 얼라인 미스를 방지하기 위한 것으로, '+'형, 'ㅧ'형, 'ㅏ'형, 'ㅓ'형, 또는 'ㅗ'형에 구애받지 않고 다른 다양한 패턴을 사용할 수 있다. In addition, the alignment keys 43a, 43b, 43c, and 43d are for preventing misalignment, and may be '+' type, 'ㅧ' type, 'ㅏ' type, 'ㅓ' type, or 'ㅗ' type. You can use any of a variety of other patterns.

상기 기판의 각 패널영역 상, 하부에 형성된 얼라인 키들은, 얼라인 마크를 구비한 1개의 마스크를 이동하면서 순차적으로 형성하는데, 이때 기판에는 2개이상의 패널영역을 배치시킬 수 있다. Alignment keys formed on and under each panel region of the substrate are sequentially formed while moving one mask having an alignment mark, and two or more panel regions may be disposed on the substrate.

예를 들어, 도 4에는 4개의 패널영역을 형성한 예를 도시하였는데, 1shot,2shot,3shot,4shot의 순서로 각 패널영역(41a,41b,41c,41d)의 상,하부의 스 크라이브 라인에 얼라인 키들을 형성한다. For example, FIG. 4 shows an example in which four panel regions are formed. The upper and lower scribe lines of each of the panel regions 41a, 41b, 41c, and 41d in the order of 1 shot, 2 shot, 3 shot, and 4 shot. To form alignment keys.

상기에서와 같이 얼라인 키들(43a,43b,43c,43d)을 패널영역(41a,41b,41c,41d)의 상, 하부의 스크라이브 라인에 사선으로 엇갈리게 배치하면, 이웃하는 패널영역(41a,41b,41c,41d) 사이의 스크라이브 라인(42)의 폭을 최소화시킬 수 있고, 기판에 패널을 배치시킬 때도 여유 공간을 최소화시킬 수 있으므로 기판(40)의 배치 효율을 향상시킬 수 있다. As described above, if the alignment keys 43a, 43b, 43c, 43d are alternately arranged diagonally on the upper and lower scribe lines of the panel areas 41a, 41b, 41c, 41d, the adjacent panel areas 41a, 41b are disposed. The width of the scribe line 42 between the 41c and 41d can be minimized, and the free space can be minimized even when the panel is disposed on the substrate, thereby improving the placement efficiency of the substrate 40.

또한, 상기와 같이 얼라인 키를 배치시키면 이웃하는 각 패널의 상,하부 스크라이브 라인에 배치된 얼라인 키들이 겹치는 문제가 발생하지 않으므로, 얼라인 키의 사이즈를 스크라이브 라인의 크기만큼 크게 할 수도 있다. In addition, when the alignment keys are arranged as described above, since the alignment keys disposed on the upper and lower scribe lines of the neighboring panels do not overlap, the size of the alignment keys may be as large as the size of the scribe lines. .

상기에서와 같이 얼라인 키를 크게 형성할 수 있으므로, 얼라인 키를 형성하기 위해 높은 해상도 및 광학 특성을 갖는 노광기가 필요하지 않다. Since the align key can be formed large as described above, an exposure machine with high resolution and optical characteristics is not necessary to form the align key.

상술한 바와 같이 기판 상에 형성된 얼라인 키는, 기판의 각 패널영역에 배향막 인쇄, 상,하부기판 합착, 씨일(Seal) 인쇄 공정 및 각 패널의 상,하부기판의 어레이 공정시 정밀도를 높이기 위해서 사용하는 것이다. As described above, the alignment key formed on the substrate is used to increase the accuracy in the alignment film printing, the upper and lower substrate bonding, the seal printing process, and the array process of the upper and lower substrates of each panel. To use.

따라서, 전술한 얼라인 키들은 액정표시장치의 하부기판 또는/및 상부기판에 형성될 수 있다. Therefore, the above-described alignment keys may be formed on the lower substrate and / or the upper substrate of the liquid crystal display.

상기에서 하부기판은 박막 트랜지스터 어레이 기판이고, 상부기판은 칼라필터 어레이 기판을 의미한다. The lower substrate is a thin film transistor array substrate, and the upper substrate is a color filter array substrate.

이하, 얼라인 키가 액정표시장치의 하부기판에 형성된 경우와 상부기판에 형성된 경우를 나누어 설명하기로 한다. Hereinafter, the case in which the alignment key is formed on the lower substrate of the liquid crystal display and the case on the upper substrate will be described.

도 5는 얼라인 키가 액정표시장치의 하부기판에 형성된 경우를 도시한 사시도이다.5 is a perspective view illustrating a case where an align key is formed on a lower substrate of a liquid crystal display.

도 5에서와 같이, 하부기판(50)상에는 서로 종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 복수개의 게이트라인(51) 및 데이터라인(52)이 형성되어 있다. 그리고, 상기 게이트라인(51)과 데이터라인(52)의 교차점에는 게이트전극, 게이트절연막, 반도체층, 소스/드레인전극을 포함하는 박막트랜지스터(53)가 형성되어 있고, 상기 화소영역에는 화소전극(54)이 형성되어 있다.As shown in FIG. 5, a plurality of gate lines 51 and data lines 52 are formed on the lower substrate 50 so as to cross each other in a vertical direction. In addition, a thin film transistor 53 including a gate electrode, a gate insulating film, a semiconductor layer, and a source / drain electrode is formed at the intersection of the gate line 51 and the data line 52, and the pixel electrode ( 54) is formed.

상기 반도체층 위에는 오믹콘택층이 추가로 형성될 수 있고, 또한, IPS모드의 경우는 공통전극이 하부기판(50) 상에 형성될 수 있다.An ohmic contact layer may be further formed on the semiconductor layer, and in the case of IPS mode, a common electrode may be formed on the lower substrate 50.

그리고, 상기 하부기판(50)의 상,하부 더미영역에는 사선으로 엇갈려서 얼라인 키들(55a,55b,55c,55d)이 형성되어 있다. 상기 얼라인 키들(55a,55b,55c,55d)은 전술한 바와 같이 다양한 형태로 형성 가능하다. Alignment keys 55a, 55b, 55c, and 55d are formed in the upper and lower dummy regions of the lower substrate 50 by crossing the diagonal lines. The alignment keys 55a, 55b, 55c, and 55d may be formed in various forms as described above.

이와 같은 얼라인 키들(55a,55b,55c,55d)은 상기 게이트라인(51) 및 게이트 전극을 형성할 때 패터닝하여 형성된다. 따라서, 상기 얼라인 키들(55a,55b,55c,55d)은 상기 게이트 전극과 동일층에 형성되게 된다. The alignment keys 55a, 55b, 55c, and 55d are formed by patterning the gate lines 51 and the gate electrodes. Accordingly, the alignment keys 55a, 55b, 55c, and 55d are formed on the same layer as the gate electrode.

도 6은 얼라인 키가 액정표시장치의 상부기판에 형성된 경우를 도시한 사시도이다. 6 is a perspective view illustrating a case where an align key is formed on an upper substrate of a liquid crystal display.

도 6에서와 같이, 상부기판(60)상에는 상기 게이트라인, 데이터라인, 및 박막트랜지스터 형성영역으로 광이 누설되는 것을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층(61)(도면의 빗금영역)이 형성되어 있고, 상기 블랙 매트릭스층(61) 위 에 컬러필터층(미도시)이 형성되어 있다. 또한, 도시하지는 않았으나, 상기 컬러필터층 위에 오버코트층 및/또는 공통전극이 형성될 수 있다. As shown in FIG. 6, a black matrix layer 61 (hatched area in the drawing) is formed on the upper substrate 60 to prevent light leakage into the gate line, data line, and thin film transistor forming region. A color filter layer (not shown) is formed on the black matrix layer 61. Although not shown, an overcoat layer and / or a common electrode may be formed on the color filter layer.

그리고, 상기 상부기판(60)의 상,하부 더미영역에는 사선으로 엇갈리게 패턴된 얼라인 키들(62a,62b,62c,62d)이 형성되어 있다. 상기 얼라인 키들은 전술한 바와 다양한 형태로 변경 형성될 수 있다. Alignment keys 62a, 62b, 62c, and 62d that are alternately patterned with diagonal lines are formed in upper and lower dummy regions of the upper substrate 60. The alignment keys may be modified in various forms as described above.

이와 같은 얼라인 키들(62a,62b,62c,62d)은 블랙 매트릭스층(61)을 형성할 때 함께 패터닝된다. Such alignment keys 62a, 62b, 62c, and 62d are patterned together when forming the black matrix layer 61.

따라서, 상기 얼라인 키들(62a,62b,62c,62d)은 상기 블랙 매트릭스층(61)과 동일층에 형성되게 된다. Accordingly, the alignment keys 62a, 62b, 62c, and 62d are formed on the same layer as the black matrix layer 61.

이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술 사상을 이탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다.Those skilled in the art will appreciate that various changes and modifications can be made without departing from the spirit of the present invention.

따라서, 본 발명의 기술 범위는 상기 실시예에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명한 범위내에서 변경 실시될 수 있을 것이다. Therefore, the technical scope of the present invention is not limited to the contents described in the above embodiments, but may be modified within the scope obvious to those skilled in the art.

상기 구성에 의한 본 발명에 따른 얼라인 마크를 구비한 마스크 및 이를 이용하여 형성된 액정표시장치는 다음과 같은 효과가 있다. The mask having the alignment mark according to the present invention and the liquid crystal display formed using the same have the following effects.

얼라인 마크(키)를 마스크 및 기판의 상,하부 더미영역에 사선으로 엇갈리게 형성하므로써, 이웃하는 상, 하부 패널의 얼라인 키가 겹치는 현상을 방지할 수 있고, 얼라인 키의 크기를 더미영역의 폭만큼 크게 형성할 수 있으므로 얼라인 키를 패턴하기 용이하다. By aligning the alignment marks (keys) diagonally in the upper and lower dummy regions of the mask and the substrate, the overlapping of the alignment keys of the adjacent upper and lower panels can be prevented, and the size of the alignment keys can be reduced. It can be formed as large as the width of the align key is easy to pattern.

이웃하는 상, 하부 패널의 얼라인 키들이 겹치지 않으므로, 스크라이브 라인의 폭을 좁게하여 기판 효율을 향상시킬 수 있다. Since the alignment keys of the lower and lower panels do not overlap each other, the width of the scribe line can be narrowed to improve substrate efficiency.

Claims

패널 정의영역과,The panel definition area,

상기 패널 정의영역 이외의 더미영역과, A dummy region other than the panel definition region,

상기 패널 정의영역 상,하부의 상기 더미영역에 사선으로 엇갈리게 형성된 얼라인 마크를 구비한 것을 특징으로 하는 마스크. And an alignment mark formed on the panel defining region by upper and lower portions of the dummy region in an diagonal line.

제 1 항에 있어서,The method of claim 1,

상기 얼라인 마크는 상기 패널 정의영역의 사이즈를 벗어나지 않는 한도내에서 엇갈리게 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크. And the alignment marks are staggered within a limit of the alignment of the panel defining region.

제 1 항에 있어서,The method of claim 1,

상기 얼라인 마크는 크롬(Cr)으로 구성됨을 특징으로 하는 마스크. The alignment mark is a mask, characterized in that consisting of chromium (Cr).

기판에 정의된 복수개의 패널영역과;A plurality of panel regions defined on the substrate;

상기 패널영역 이외의 더미영역과; Dummy regions other than the panel region;

상기 각 패널영역 상,하부의 더미영역에 사선으로 엇갈려서 형성된 얼라인 키를 구비한 것을 특징으로 하는 액정표시장치. And an alignment key formed by crossing diagonally on upper and lower dummy regions of each panel region.

제 4 항에 있어서, The method of claim 4, wherein

상기 얼라인 키는 상기 패널영역의 사이즈를 벗어나지 않는 한도내에서 엇갈려서 형성된 것을 특징으로 하는 액정표시장치. And the alignment keys are staggered within a limit not to exceed the size of the panel area.

제 4 항에 있어서,The method of claim 4, wherein

상기 기판은 박막 트랜지스터 어레이 기판이나 칼라필터 어레이 기판 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 액정표시장치. Wherein the substrate is one of a thin film transistor array substrate and a color filter array substrate.

제 6 항에 있어서, The method of claim 6,

상기 박막 트랜지스터 어레이 기판에는, In the thin film transistor array substrate,

종횡으로 교차되어 화소영역을 정의하는 복수개의 게이트라인 및 데이터라인과, A plurality of gate lines and data lines crossing vertically and horizontally to define a pixel area;

상기 게이트라인과 상기 데이터라인의 교차영역에 게이트전극, 게이트절연막, 반도체층, 소스/드레인전극으로 구성된 박막 트랜지스터와, A thin film transistor including a gate electrode, a gate insulating film, a semiconductor layer, and a source / drain electrode at an intersection of the gate line and the data line;

상기 화소영역에 형성된 화소전극으로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치. And a pixel electrode formed in the pixel region.

제 7 항에 있어서,The method of claim 7, wherein

상기 얼라인 키는 상기 게이트라인 및 상기 게이트 전극과 동일층에 형성됨을 특징으로 하는 액정표시장치. And the alignment key is formed on the same layer as the gate line and the gate electrode.

제 6 또는 제 7 항에 있어서,The method according to claim 6 or 7,

상기 칼라필터 어레이 기판에는, The color filter array substrate,

상기 게이트라인, 데이터라인, 및 박막트랜지스터 형성영역으로 광이 누설되는 것을 차단하기 위한 블랙 매트릭스층과,A black matrix layer for preventing light from leaking to the gate line, the data line, and the thin film transistor forming region;

상기 블랙 매트릭스층 위에 형성된 칼라 필터층으로 구성됨을 특징으로 하는 액정표시장치.And a color filter layer formed on the black matrix layer.

제 9 항에 있어서,The method of claim 9,

상기 얼라인 키는 상기 블랙 매트릭스층과 동일층에 형성됨을 특징으로 하는 액정표시장치. And the alignment key is formed on the same layer as the black matrix layer.