KR100978856B1 - Method and equipment for treating substrate - Google Patents

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Abstract

본 발명은 카세트들의 적재 및 공급이 가능한 기판 처리 설비에 관한 것이다. 본 발명의 기판 처리 설비는 카세트의 도어를 개폐하는 카세트 오프너; 및 상기 카세트 오프너 전방에 위치되며, 카세트 물류 장치가 카세트를 갖다놓거나 가져가는 로드 포트를 포함하되; 상기 로드 포트는 카세트를 상기 카세트 오프너로 공급하거나 또는 카세트를 상기 카세트 오프너로부터 회수하도록 상기 카세트 오프너로 슬라이드 이동되는 이동 테이블을 포함한다.The present invention relates to a substrate processing facility capable of loading and supplying cassettes. The substrate processing equipment of the present invention comprises a cassette opener for opening and closing a door of a cassette; And a load port positioned in front of the cassette opener, wherein the cassette logistics device carries or takes a cassette; The load port includes a moving table that slides to the cassette opener to supply a cassette to the cassette opener or to retrieve a cassette from the cassette opener.

OHT,공급,오프너,인덱스,카세트 OHT, supply, opener, index, cassette

Description

기판 처리 설비 및 방법{METHOD AND EQUIPMENT FOR TREATING SUBSTRATE}Substrate Processing Equipment and Method {METHOD AND EQUIPMENT FOR TREATING SUBSTRATE}

본 발명은 기판 처리를 위한 설비에 관한 것으로, 더 상세하게는 카세트들의 적재 및 공급이 가능한 기판 처리 설비 및 방법에 관한 것이다. The present invention relates to an apparatus for substrate processing, and more particularly, to a substrate processing apparatus and method capable of loading and supplying cassettes.

일반적으로 반도체 소자는, 기판인 웨이퍼(wafer) 상에 여러 가지 물질을 박막형태로 증착하고 이를 패터닝하여 구현되는데, 이를 위하여 증착공정, 식각공정, 세정공정, 건조공정 등 여러 단계의 서로 다른 공정이 요구된다.Generally, a semiconductor device is implemented by depositing and patterning various materials on a wafer, which is a substrate, in a thin film form. For this purpose, different processes such as deposition, etching, cleaning, and drying are performed. Required.

이러한 각각의 공정에서 처리 대상물인 웨이퍼는 해당공정의 진행에 적절한 환경을 가지고 있는 반도체 제조 설비로 이송되어 처리되며, 이상과 같은 각 반도체 제조 설비로의 웨이퍼 이송은 대부분 약 25매의 웨이퍼가 적재되는 웨이퍼 카세트 단위로 수행된다. In each of these processes, the wafers to be processed are transferred to a semiconductor manufacturing facility having an environment suitable for the process, and processed, and the wafer transfer to each semiconductor manufacturing facility as described above is mostly loaded with about 25 wafers. It is performed in wafer cassette units.

따라서, 작업자 또는 소정 이송수단에 의하여 약 25매의 웨이퍼가 적재된 웨이퍼 카세트가 반도체 제조 설비로 이송되면, 반도체 제조설비는 웨이퍼 카세트에 적재된 웨이퍼를 순차적으로 인출한 다음 공정을 진행하고, 공정을 진행한 후에는 웨이퍼가 인출된 카세트로 웨이퍼를 다시 수납시키거나 별도로 마련된 빈 카세트로 웨이퍼를 수납시키는 방법으로 공정을 진행한다. Therefore, when a wafer cassette loaded with about 25 wafers is transferred to a semiconductor manufacturing facility by an operator or a predetermined transfer means, the semiconductor manufacturing facility sequentially withdraws the wafers loaded in the wafer cassette and then proceeds the process. After proceeding, the process is carried out by storing the wafer in the cassette from which the wafer is taken out or storing the wafer in an empty cassette provided separately.

카세트는 카세트 물류 시스템의 물류 장치에 의해 반도체 제조 설비의 전방에 배치되는 인덱스의 카세트 오프너로 제공된다. 만약, 카세트 물류 시스템의 오류, 정체, 지연 등의 이유로 카세트가 카세트 오프너로 적시에 공급되거나 회수되지 않으면, 반도체 제조 설비에서의 공정이 일시 중단될 수 있다. 따라서, 반도체 제조 설비의 생산성은 반도체 물류 장치의물류 제어 능력에 따라 결정된다고 해도 과언이 아니다.The cassette is provided to the cassette opener of the index disposed in front of the semiconductor manufacturing facility by the distribution device of the cassette distribution system. If the cassette is not supplied or recovered to the cassette opener in a timely manner due to errors, congestion, delay, etc. of the cassette logistics system, the process at the semiconductor manufacturing facility may be suspended. Therefore, it is no exaggeration to say that the productivity of the semiconductor manufacturing equipment is determined by the logistics control capability of the semiconductor logistics apparatus.

본 발명은 카세트의 연속 공급이 가능한 기판 처리 설비 및 방법을 제공한다.The present invention provides a substrate processing apparatus and method capable of continuously supplying a cassette.

본 발명은 카세트 물류 시스템의 비 정상적인 상태에서도 연속적인 공정이 가능한 기판 처리 설비 및 방법을 제공한다.The present invention provides a substrate processing apparatus and method capable of continuous processing even in an abnormal state of a cassette logistics system.

본 발명이 해결하고자 하는 과제는 여기에 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다. The problem to be solved by the present invention is not limited thereto, and other problems not mentioned will be clearly understood by those skilled in the art from the following description.

본 발명은 기판 처리 설비를 제공한다. 본 발명의 일 실시예에 의하면, 기판 처리 설비는 카세트의 도어를 개폐하는 카세트 오프너; 및 상기 카세트 오프너 전방에 위치되며, 카세트 물류 장치가 카세트를 갖다놓거나 가져가는 로드 포트를 포함하되; 상기 로드 포트는 카세트를 상기 카세트 오프너로 공급하거나 또는 카세트를 상기 카세트 오프너로부터 회수하도록 상기 카세트 오프너로 슬라이드 이동되는 이동 테이블을 포함한다.The present invention provides a substrate processing facility. According to one embodiment of the present invention, a substrate processing apparatus includes a cassette opener for opening and closing a door of a cassette; And a load port positioned in front of the cassette opener, wherein the cassette logistics device carries or takes a cassette; The load port includes a moving table that slides to the cassette opener to supply a cassette to the cassette opener or to retrieve a cassette from the cassette opener.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판 처리 설비는 상기 로드 포트의 상부에 위치되는 그리고 카세트가 적재되는 선반들을 더 포함한다.According to an embodiment of the invention, the substrate processing facility further comprises shelves located on top of the load port and on which a cassette is loaded.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 선반은 상기 카세트 물류 장치가 상기 로드 포트에 카세트를 갖다놓거나 가져갈 수 있도록 상기 카세트 오프너가 있는 후방으로 슬라이드 이동된다.According to an embodiment of the present invention, the shelf is slid backwards with the cassette opener so that the cassette distribution device can bring or take a cassette to the load port.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판 처리 설비는 상기 선반이 상기 로드 포트에 놓여지는 카세트와의 충돌하지 않도록 상기 선반을 전후 방향으로 이동시키는 수평 이동부재를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the substrate processing apparatus further includes a horizontal moving member for moving the shelf in the front-rear direction so that the shelf does not collide with the cassette placed in the load port.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 선반은 상기 로드 포트에서 카세트를 가져가거나 상기 로드 포트에 카세트를 올려놓을 수 있도록 승강된다.According to an embodiment of the present invention, the shelf is elevated to take a cassette from the load port or to place a cassette on the load port.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판 처리 설비는 상기 선반이 상기 로드 포트에서 카세트를 가져가거나 상기 로드 포트에 카세트를 올려놓을 수 있도록 상기 선반을 수직 방향으로 승강시키는 수직 이동부재를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the substrate processing apparatus further includes a vertical moving member for elevating the shelf in a vertical direction so that the shelf may take a cassette at the load port or place a cassette at the load port.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 기판 처리 설비는 상기 선반이 상기 로드 포트에 놓여지는 카세트와의 충돌하지 않도록 상기 선반을 전후 방향으로 이동시키는 수평 이동부재; 및 상기 선반이 상기 로드 포트에서 카세트를 가져가거나 상기 로드 포트에 카세트를 올려놓을 수 있도록 상기 선반을 수직 방향으로 승강시키는 수직 이동부재를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the substrate processing equipment includes a horizontal moving member for moving the shelf in the front and rear direction so that the shelf does not collide with the cassette placed in the load port; And a vertical moving member for elevating the shelf in the vertical direction so that the shelf can take the cassette from the load port or place the cassette on the load port.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 선반은 다단으로 배치되며, 상기 선반은 상기 로드 포트의 동일 선상에 위치되도록 설비의 전방으로 슬라이드 이동되거나 또는 상기 로드 포트의 동일 선상으로부터 벗어나도록 설비의 후방으로 슬라이드 이동된다.According to an embodiment of the present invention, the shelf is arranged in multiple stages, and the shelf slides forward of the facility to be located on the same line of the load port or slides backward of the facility to deviate from the same line of the load port. Is moved.

본 발명의 또 다른 실시예의 기판 처리 설비는 카세트의 도어를 개폐하는 카세트 오프너들을 갖는 인덱스부; 및 상기 인덱스부의 전방에 설치되어 상기 카세트 오프너들로 카세트를 공급하고, 상기 카세트 오프너들로부터 카세트를 회수하는 카세트 공급부를 포함한다.A substrate processing apparatus of another embodiment of the present invention includes an index unit having cassette openers for opening and closing a door of a cassette; And a cassette supply unit installed in front of the index unit to supply cassettes to the cassette openers and to recover cassettes from the cassette openers.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 카세트 공급부는 카세트 물류 장치와 카세트를 주고받는 그리고, 카세트를 상기 카세트 오프너로 공급하고, 상기 카세트 오프너로부터 카세트를 회수하는 로드 포트들; 상기 로드 포트들 각각의 상부에 위치되며 카세트가 적재되는 선반들; 및 상기 선반들 각각에 설치되며, 상기 선반이 상기 로드 포트에 놓여진 카세트를 가져오거나, 보관중인 카세트를 상기 로드 포트에 올려놓도록 상기 선반을 상기 로드 포트를 향해 승강시키는 수직 이동부재를 포함한다.According to an exemplary embodiment of the present invention, the cassette supply unit may include: load ports for exchanging a cassette with a cassette logistics device, supplying a cassette to the cassette opener, and recovering a cassette from the cassette opener; Shelves positioned above each of the load ports and loaded with a cassette; And a vertical moving member installed on each of the shelves, and lifting the shelf toward the load port so as to bring a cassette placed on the load port or to place a cassette in storage on the load port.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 카세트 공급부는 상기 카세트 물류 장치와 상기 로드 포트간의 이송되는 카세트와의 충돌하지 않도록 상기 선반을 전후 방향으로 이동시키는 수평 이동부재를 더 포함한다.According to an embodiment of the present invention, the cassette supply unit further includes a horizontal moving member for moving the shelf in the front and rear directions so as not to collide with the cassette transported between the cassette distribution device and the load port.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 선반들은 다단으로 설치된다.According to an embodiment of the invention, the shelves are installed in multiple stages.

본 발명의 기판 처리 방법은 공정 처리전 기판들이 수납된 카세트는 카세트 물류 장치에 의해 로드 포트로 제공되고, 상기 로드 포트에 놓여진 카세트는 카세 트 오프너로 반송되거나 또는 상기 로드 포트의 상부에 위치한 선반에 적재되어 대기한다.In the substrate processing method of the present invention, a cassette in which substrates are stored before processing is provided to a load port by a cassette logistics device, and the cassette placed on the load port is conveyed to a cassette opener or placed on a shelf located above the load port. Load and wait

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 카세트 오프너에 카세트가 이미 로딩되어 있는 경우, 공정 처리전 기판들이 수납된 카세트는 카세트 물류 장치에 의해 상기 선반에 직접 적재된다.According to an embodiment of the present invention, when a cassette is already loaded in the cassette opener, the cassette in which the substrates are stored before the processing is directly loaded onto the shelf by a cassette distribution device.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 카세트 물류 장치에서 상기 로드 포트로 카세트가 제공될 때, 상기 선반은 카세트와의 충돌하지 않도록 후방으로 슬라이드 이동된다.According to an embodiment of the present invention, when a cassette is provided to the load port in the cassette distribution device, the shelf is slid backwards so as not to collide with the cassette.

본 발명의 실시예에 따르면, 상기 선반에 적재된 카세트는 상기 선반의 하강 동작에 의해 상기 로드 포트에 놓여진다.According to an embodiment of the present invention, the cassette loaded on the shelf is placed in the load port by the lowering operation of the shelf.

본 발명에 의하면, 인덱스의 카세트 오프너들로의 신속한 카세트 공급과 회수가 가능하다. According to the present invention, a rapid cassette supply and withdrawal to the cassette openers of the index is possible.

또한, 본 발명에 의하면, OHT의 정체 및 지연으로 인해 원활한 카세트 공급 및 회수가 어렵다 하더라도 카세트 오프너들로 카세트 공급과 회수가 가능하다.In addition, according to the present invention, even if a smooth cassette supply and recovery is difficult due to stagnation and delay of OHT, cassette supply and recovery are possible with cassette openers.

또한, 본 발명에 의하면, 인덱스에서 기판을 준비하는 시간을 단축하여 기판들의 연속 투입이 가능하게 함으로써 생산성의 한계를 극복할 수 있다. In addition, according to the present invention, it is possible to overcome the limitation of productivity by shortening the time to prepare the substrate in the index to enable the continuous input of the substrates.

이하, 본 발명의 실시 예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 9g를 참조하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발 명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다. Hereinafter, exemplary embodiments of the present invention will be described in more detail with reference to FIGS. 1 to 9G. The embodiments of the present invention can be modified in various forms, and the scope of the present invention should not be construed as being limited to the following embodiments. This embodiment is provided to more completely explain the present invention to those skilled in the art. Therefore, the shape of the elements in the drawings are exaggerated to emphasize a more clear description.

본 실시예에서 기판은 반도체 웨이퍼 또는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display), VFD(Vacuum Fluorescent Display), FED(FieldEmission Display), ELD(Electro Luminescence Display)와 같은 평판 디스플레이(flat panel display, 이하 'FPD') 소자를 제조하기 위한 기판일 수 있다. In this embodiment, the substrate may be a semiconductor wafer or a flat panel display such as a liquid crystal display (LCD), a plasma display (PDP), a vacuum fluorescent display (VFD), a field emission display (FED), or an electroluminescence display (ELD). It may be a substrate for manufacturing a 'FPD' device.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 개략적인 구성도이다. 도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 사시도이다. 도 2b는 도 2a에 표시된 P1의 확대도이다. 도 3은 기판 처리 설비의 정면도이다. 도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 인덱스부와 카세트 공급부를 보여주는 단면도이다. 1 is a schematic configuration diagram of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. 2A is a perspective view according to an embodiment of the present invention. FIG. 2B is an enlarged view of P1 shown in FIG. 2A. 3 is a front view of the substrate processing equipment. 4 is a cross-sectional view showing an index portion and a cassette supply portion of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비(1)는 후방에 기판에 대한 공정처리가 이루어지는 공정 처리부(100), 카세트로부터 기판들을 인출하여 공정 처리부(100)로 제공하는 인덱스부(200), 그리고 설비의 최전방에는 카세트 공급부(400)가 구비된다. 1 to 4, a substrate processing apparatus 1 according to an exemplary embodiment of the present invention is a process processing unit 100 in which process processing is performed on a substrate at a rear side thereof, and withdraws substrates from a cassette to the process processing unit 100. The index unit 200 is provided, and the cassette supply unit 400 is provided at the front of the facility.

공정 처리부(100)는 복수개의 공정 챔버(미도시됨)들을 포함하며, 이들은 독립적인 모듈의 형태로 제공될 수 있다. 모듈이라 함은 각 공정 챔버들이 각각의 기판 처리 기능을 수행함에 있어서 독립적인 동작이 가능하도록 관련 파트들이 하나의 독립적인 하우징 내에 설치된 것을 말한다. 모듈의 형태로 제공되는 공정 챔버 들은 기판 처리 설비의 레이아웃에 따라 공정 처리부를 구성하게 된다.The process processor 100 includes a plurality of process chambers (not shown), which may be provided in the form of independent modules. Module means that the relevant parts are installed in one independent housing so that each process chamber can perform independent operation in performing each substrate processing function. Process chambers provided in the form of modules form a process processing unit according to the layout of the substrate processing facility.

인덱스부(200)는 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module; EFEM)이라고 불리기도 하지만, 본 발명에서는 인덱스부(200)가 설비 전방 단부에 설치되지 않기 때문에 설비 전방 단부 모듈이라는 명칭은 적절하다 할 수 없다. 인덱스부(200)는 기판 반송 로봇(210)과 4개의 카세트 오프너(220)를 포함한다. 기판 반송 로봇(210)은 기판 이송을 담당하며 회동, 승강 및 하강이 가능하다. 기판 반송 로봇(210)은 카세트(C)로부터 일회 동작에 적어도 한 장의 기판을 반출하여 공정처리부(100)로 반입할 수 있다. 이를 위하여 기판 반송 로봇(210)은 적어도 한 개의 엔드 이펙터(end effector)(212)를 구비한 싱글 암 구조의 로봇을 사용할 수 있다. Although the index unit 200 is also called an equipment front end module (EFEM), in the present invention, since the index unit 200 is not installed at the equipment front end, the name of the equipment front end module is appropriate. Can't. The index unit 200 includes a substrate transfer robot 210 and four cassette openers 220. The substrate transfer robot 210 is responsible for the substrate transfer and can be rotated, raised and lowered. The substrate transfer robot 210 may carry out at least one substrate from the cassette C in one operation and carry it into the processing unit 100. To this end, the substrate transfer robot 210 may use a single arm robot having at least one end effector 212.

이와 같이 기판 반송 로봇(210)은 본 실시예에서 보여주는 싱글 암 구조의 방식 이외에도 통상적인 반도체 제조 공정에서 사용되는 다양한 로봇들이 사용될 수 있다. As described above, the substrate transfer robot 210 may use various robots used in a conventional semiconductor manufacturing process, in addition to the single arm structure shown in the present embodiment.

카세트 오프너(220)는 카세트(C)의 도어를 개폐하기 위한 것으로, 예컨대 카세트(C)는 기판을 수평한 상태로 수납하여 운반 및 보관하는 300mm 기판용 밀폐형 저장 용기인 프론트 오픈 유니파이드 포드(Front Open Unified Pod: FOUP)(밀폐형 카세트)일 수 있다. The cassette opener 220 is for opening and closing the door of the cassette C. For example, the cassette C is a front open unified pod (Front), which is a sealed storage container for a 300 mm substrate that receives, transports, and stores the substrate in a horizontal state. Open Unified Pod: FOUP) (closed cassette).

카세트 오프너(220)는 카세트(C)가 놓여지는 스테이지(222)와, 스테이지(222)에 놓여진 카세트(C)의 도어를 개폐하는 도어 개폐부재(224)를 포함하는 통상의 구성으로 이루어진다. 카세트 오프너(220)에는 카세트 공급부(400)의 로드 포 트에 의해 카세트(C)가 로딩/언로딩된다. 스테이지(222)는 카세트의 가장자리를 지지하며, 전방으로부터 로드 포트의 테이블이 진입할 수 있는 공간(223)이 제공된다. The cassette opener 220 has a conventional configuration including a stage 222 on which the cassette C is placed, and a door opening and closing member 224 for opening and closing the door of the cassette C placed on the stage 222. The cassette C is loaded / unloaded into the cassette opener 220 by a load port of the cassette supply unit 400. The stage 222 supports the edge of the cassette and is provided with a space 223 into which the table of load ports can enter from the front.

카세트 공급부(400)는 카세트 물류 장치(20)로부터 카세트(C)를 제공받아 카세트 오프너(220)로 공급(카세트 로딩)하고, 카세트 오프너(220)로부터 카세트를 회수(카세트 언로딩)하여 카세트 물류 장치(20)로 제공한다. 카세트 공급부(400)는 이미 반도체 생산 라인에 설치된 기판 처리 설비의 인덱스부(200) 전방에 설치할 수 있도록 독립적인 모듈의 형태로 제공될 수 있다. 이처럼, 카세트 공급부(400)는 설비의 전방 단부에 설치되기 때문에 앞에서 언급한 설비 전방 단부 모듈(equipment front end module; EFEM)이라 할 수 있다. The cassette supply unit 400 receives the cassette C from the cassette distribution device 20 and supplies the cassette C to the cassette opener 220 (cassette loading). To the device 20. The cassette supply unit 400 may be provided in the form of an independent module to be installed in front of the index unit 200 of the substrate processing equipment already installed in the semiconductor production line. As such, since the cassette supply unit 400 is installed at the front end of the facility, the cassette supply unit 400 may be referred to as the aforementioned equipment front end module (EFEM).

카세트 공급부(400)는 4개의 로드 포트(410), 4개의 선반들(420) 그리고 각각의 선반을 수평 이동시키는 수평 이동부재(430)와 선반을 수직 이동시키는 수직 이동부재(440)를 포함한다. The cassette supply unit 400 includes four load ports 410, four shelves 420, a horizontal moving member 430 for horizontally moving each shelf, and a vertical moving member 440 for vertically moving the shelves. .

로드포트(410)들은 카세트 공급부(400)의 전면 패널(402), 즉 기판 처리 설비의 최전방에 설치된다. 로드 포트(410)들은 카세트 오프너(220)들과 일대일로 대응되도록 배치된다. 로드포트(410)는 카세트(C)가 놓여지는 테이블(412)을 갖으며, 도 5a에서와 같이 테이블(412)은 카세트 오프너(220)로의 카세트 로딩 및 카세트 오프너(220)로부터의 카세트 언로딩을 위해 전후 방향으로 슬라이드 이동된다. 물론, 카세트 공급부(400)의 전면 패널(402)은 카세트가 놓여진 테이블(412)이 로드 포트(410)의 후방에 위치한 카세트 오프너(220)로 진입할 수 있도록 제1개 구(404)들을 갖는다. The load ports 410 are installed at the front panel 402 of the cassette supply unit 400, that is, at the front of the substrate processing facility. The load ports 410 are arranged to correspond one-to-one with the cassette openers 220. The load port 410 has a table 412 on which the cassette C is placed, and as shown in FIG. 5A, the table 412 loads a cassette into the cassette opener 220 and a cassette unloading from the cassette opener 220. The slide is moved in the forward and backward directions for the purpose. Of course, the front panel 402 of the cassette supply 400 has first openings 404 to allow the table 412 on which the cassette is placed to enter the cassette opener 220 located behind the load port 410. .

카세트(C)는 반도체 생산 라인의 천장에 설치되어 있는 카세트 물류 장치의 하나인 오버헤드 호이스트 트랜스포트(이하; OHT라고 함)(20)를 통해 이송되어 로드포트(410)의 테이블(412)에 놓여진다. 로드 포트들은 OHT(20)의 이동 경로 상에 위치된다. 로드 포트(410)에 놓여진 카세트(C)는 테이블(412)의 슬라이드 이동에 의해 제1개구(404)를 통해 설비 안쪽으로 반입되어 카세트 오프너(220)의 스테이지(222)에 놓여진다. The cassette C is conveyed through an overhead hoist transport (hereinafter referred to as OHT) 20, which is one of the cassette distribution apparatuses installed on the ceiling of the semiconductor production line, to the table 412 of the load port 410. Is placed. The load ports are located on the movement path of the OHT 20. The cassette C placed in the load port 410 is carried into the facility through the first opening 404 by the slide movement of the table 412 and is placed on the stage 222 of the cassette opener 220.

본 발명에서 로드 포트의 테이블(412)과 카세트 오프너의 스테이지(222)는 카세트 반송 로봇을 통하지 않고 직접 카세트를 주고받을 수 있도록 구성된다. 로드 포트의 테이블(412)은 로드 포트의 몸체(411)에 설치된 슬라이드 부재(414)에 의해 카세트 오프너(220)의 스테이지(222)까지 이동된다. 로드 포트(410)의 테이블(412)과 카세트 오프너(220)의 스테이지(222)는 카세트(C)를 옮기는 과정에서 서로 충돌되지 않아야 한다. 따라서, 테이블(412)과 스테이지(222)는 서로 중첩되지 않는 형상을 갖는다. 예컨대, 테이블(412)은 카세트(C)의 저면 중심부분을 지지하는 형상이고, 스테이지(222)는 카세트(C)의 저면 가장자리를 지지하는 형상으로, 스테이지(222)는 테이블(412)이 삽입되는 공간(223)을 제공한다. 물론, 본 실시예에서 도시한 테이블 및 스테이지의 형상은 다양하게 변경될 수 있다. In the present invention, the table 412 of the load port and the stage 222 of the cassette opener are configured to directly exchange cassettes without passing through the cassette carrier robot. The table 412 of the load port is moved to the stage 222 of the cassette opener 220 by the slide member 414 installed in the body 411 of the load port. The table 412 of the load port 410 and the stage 222 of the cassette opener 220 should not collide with each other in the process of moving the cassette C. Accordingly, the table 412 and the stage 222 do not overlap each other. For example, the table 412 is shaped to support the central portion of the bottom surface of the cassette C, the stage 222 is shaped to support the bottom edge of the cassette C, and the stage 222 is inserted into the table 412. Space 223 is provided. Of course, the shapes of the table and the stage shown in the present embodiment can be variously changed.

선반(420)들은 로드 포트(410)들과 일대일로 대응되도록 로드 포트(410)의 상단에 동일 높이로 설치된다. 선반(420)들 각각에는 카세트(C)가 적재된다. 선반(420)은 로드 포트(410)와 카세트 물류 장치(20) 사이의 카세트 이송 통로상에 위치된다. 따라서, 선반(420)들 각각은 로드 포트(410)와 카세트 물류 장치(20)간의 원활한 카세트 반송을 위해 후방으로 슬라이드 이동된다. 선반의 슬라이드 이동은 수평 이동 부재(430)에 의해 이루어진다. 카세트(C)가 놓여진 선반(420)은 수평 이동 부재(430)에 의해 카세트 공급부(400)의 전면 패널(402)에 형성된 제2개구(407)를 통해 설비의 후방으로 이동된다. 도 6에서와 같이, 카세트 물류 장치(20)와 로드 포트 간의 카세트 반송은 선반(420)이 설비의 후방으로 이동된 상태에서 이루어진다. The shelves 420 are installed at the same height on the top of the load port 410 to correspond one-to-one with the load ports 410. Each of the shelves 420 is loaded with a cassette (C). The shelf 420 is located on the cassette transport passage between the load port 410 and the cassette logistics device 20. Thus, each of the shelves 420 is slid rearward for smooth cassette conveyance between the load port 410 and the cassette logistics device 20. The slide movement of the shelf is made by the horizontal moving member 430. The shelf 420 on which the cassette C is placed is moved to the rear of the facility through the second opening 407 formed in the front panel 402 of the cassette supply part 400 by the horizontal moving member 430. As shown in FIG. 6, the cassette conveyance between the cassette distribution device 20 and the load port is performed while the shelf 420 is moved to the rear of the facility.

도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 인덱스부와 카세트 공급부를 보여주는 평면도이다. 도 5b는 도 5a에 표시된 P2 부분의 확대도이다.5A is a plan view showing an index portion and a cassette supply portion of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention. FIG. 5B is an enlarged view of a portion P2 shown in FIG. 5A.

도 2b 및 5b에서와 같이, 수평 이동 부재(430)는 기어 구동 방식으로 이루어진다. 수평 이동 부재(430)는 구동모터(432)에 연결되는 피니언 기어(434)와, 피니언 기어(434)와 맞물려서 전후 방향으로 이동하도록 선반(420)의 측면에 설치되는 랙기어(436)를 포함한다. 구동모터(432)는 지지블럭(450)에 설치되며, 지지블럭(450)과 선반(420)은 가이드 레일과 이동 레일(437,438)에 의해 상호 지지된다. 한편, 선반(420)을 양쪽에서 지지하는 지지 블럭(450)은 수직 이동 부재(440)에 의해 수직 방향으로 이동된다. As shown in Figures 2b and 5b, the horizontal moving member 430 is made in a gear drive manner. The horizontal moving member 430 includes a pinion gear 434 connected to the drive motor 432, and a rack gear 436 installed on the side of the shelf 420 to mesh with the pinion gear 434 and move in the front-back direction. do. The drive motor 432 is installed on the support block 450, and the support block 450 and the shelf 420 are mutually supported by the guide rails and the moving rails 437 and 438. On the other hand, the support block 450 for supporting the shelf 420 on both sides is moved in the vertical direction by the vertical moving member 440.

선반(420)은 로드 포트(410)로부터 카세트(C)를 가져오거나, 로드 포트(410)에 카세트(C)를 올려놓을 수 있도록 수직 이동 부재(440)에 의해 승강된다. 수직 이동 부재(440)는 선반(420)이 로드 포트(410)에서 카세트를 가져가거나 로드 포트(410)에 카세트(C)를 올려놓을 수 있도록 선반(420)을 수직 방향으로 승강시킨 다. The shelf 420 is lifted by the vertical moving member 440 to take the cassette C from the load port 410 or to place the cassette C on the load port 410. The vertical moving member 440 raises and lowers the shelf 420 in the vertical direction so that the shelf 420 may take the cassette from the load port 410 or place the cassette C on the load port 410.

이처럼, 본 발명에서 로드 포트(410)의 테이블(412)과 선반(420)은 반송 장치를 통하지 않고 직접 카세트를 주고받을 수 있도록 구성된다. 선반(420)은 수직 이동 부재(440)에 의해 로드 포트(410)의 테이블(412) 보다 낮은 높이까지 수직 하강된다. 선반(420)과 로드 포트(410)의 테이블(412)은 카세트(C)를 주고받는 과정에서 서로 충돌되지 않아야 한다. 그래서, 선반(420)은 로드 포트의 테이블(412)과 중첩되지 않는 형상을 갖는다. 예컨대, 선반(420)은 카세트(C)의 저면 가장자리를 지지하는 형상으로, 선반(420)에는 테이블(412)이 위치되는 공간(428)이 제공된다. As such, in the present invention, the table 412 and the shelf 420 of the load port 410 are configured to directly exchange cassettes without passing through the conveying apparatus. The shelf 420 is vertically lowered to a height lower than the table 412 of the load port 410 by the vertical moving member 440. The table 412 of the shelf 420 and the load port 410 should not collide with each other in the process of exchanging the cassette (C). Thus, the shelf 420 has a shape that does not overlap with the table 412 of the load port. For example, the shelf 420 is shaped to support the bottom edge of the cassette C, and the shelf 420 is provided with a space 428 in which the table 412 is located.

수직 이동 부재(440)는 선반(420)의 수직 이동을 위해 볼스크류 방식으로 이루어진다. 수직 이동 부재(440)는 볼스크류(442), 구동모터(443), 이송너트(444) 그리고 가이드부재(445)를 포함한다. 볼스크류(442)는 전면패널에 수직하게 배치되어 양단이 브라켓(442a)에 베어링으로 지지된다. 볼스크류(442)는 일단에 정역회전하는 구동모터(443)가 연결된다. 볼스크류(442)에는 이송너트(444)가 나사결합식으로 조립된다. 이송너트(444)는 볼스크류(442)가 구동모터(443)에 의해 정회전 또는 역회전함에 따라 볼스크류를 따라 이동하게 된다. 이송너트(444)는 선반(420)을 지지하는 지지블럭(450)에 고정 설치된다. 한편, 가이드부재(445)는 볼스크류(442)와 평행하게 전면패널(402)에 수직하게 설치되는 가이드레일(445a)과, 지지블럭(450)(이송너트가 설치된 지지블럭의 반대편 지지블럭)에 설치되어 가이드레일(445a)을 따라 슬라이드이동하는 이동레일(445b)을 포함한다. 본 실시예에서 도시하고 있는 볼스크류 방식의 수직 이동 부재는 하나의 실시예일 뿐이며, 수직 이 동 부재는 볼스크류 방식 이외에 벨트와 풀리를 이용한 방식, 실린더를 이용한 방식과 같은 다양한 리프트 방식이 사용될 수 있다.The vertical moving member 440 is made in a ball screw manner for vertical movement of the shelf 420. The vertical moving member 440 includes a ball screw 442, a drive motor 443, a transfer nut 444, and a guide member 445. The ball screw 442 is disposed perpendicular to the front panel so that both ends are supported by the bearing on the bracket 442a. The ball screw 442 is connected to the driving motor 443 is rotated forward and reverse. The transfer nut 444 is assembled to the ball screw 442 by screwing. The transfer nut 444 moves along the ball screw as the ball screw 442 rotates forward or reverse by the driving motor 443. The transfer nut 444 is fixedly installed on the support block 450 supporting the shelf 420. On the other hand, the guide member 445 is a guide rail 445a which is installed perpendicular to the front panel 402 in parallel with the ball screw 442, and the support block 450 (support block on the opposite side of the support block provided with the transfer nut) It is installed in the slide comprises a moving rail (445b) along the guide rail (445a). The ball screw type vertical moving member shown in this embodiment is only one embodiment, and the vertical moving member may be used in various lift methods such as a belt and pulley method and a cylinder type method in addition to the ball screw method. .

도 7a 내지 도 7c는 선반이 로드포트에 놓여진 카세트를 가져가는 과정을 보여주는 도면들이다. 7A to 7C are views showing a process of taking a cassette placed on a load port of a shelf.

도 7a 내지 도 7c에서와 같이, 선반(420)은 로드포트(410)로부터 카세트(C)를 가져가기 위해 로드포트(410)의 테이블(412)보다 낮은 높이(하강 위치)에서 대기한다(도 7a 참조). 로드 포트(410)의 테이블(412)에 놓여지는 카세트(C)는 OHT로부터 제공받거나 또는 카세트 오프너로부터 가져오게 된다. 이렇게 로드 포트(410)에 카세트(C)가 위치되면(도 7b 참조), 선반(420)은 수직 이동 부재(440)에 의해 상승하여 보관 위치로 이동되고, 카세트(C)는 선반(420)에 의해 들어 올려지면서 적재된다(도 7c 참조). 카세트(C)는 선반(420)에서 대기한 후 OHT에 의해 회수되거나 또는 카세트 오프너(220)로 제공되기 위해 로드 포트(410)에 올려놓게 된다. As in FIGS. 7A-7C, the shelf 420 waits at a lower height (falling position) than the table 412 of the load port 410 to take the cassette C from the load port 410 (FIG. 7a). The cassette C, which is placed on the table 412 of the load port 410, may be provided from the OHT or may be taken from the cassette opener. When the cassette C is positioned in the load port 410 (see FIG. 7B), the shelf 420 is lifted by the vertical moving member 440 to be moved to the storage position, and the cassette C is the shelf 420. It is loaded while being lifted by (see FIG. 7C). The cassette C is placed on the load port 410 to be recovered by OHT after being waited on the shelf 420 or provided to the cassette opener 220.

도 8a 내지 도 8c는 선반에 놓여진 카세트를 로드포트에 올려놓는 과정을 보여주는 도면들이다. 8A to 8C are diagrams illustrating a process of placing a cassette placed on a shelf in a load port.

도 8a 내지 도 8c에서와 같이, 선반(420)에 놓여진 카세트(C)는 선반(420)이 하강 위치로 이동하면 로드 포트(410)의 테이블(412)에 놓여지게 된다(도 8a, 도 8b 참조). 그리고 로드 포트(410)에 놓여진 카세트는 카세트 오프너(220)로 제공된다(도 8c 참조). As in FIGS. 8A-8C, the cassette C placed on the shelf 420 is placed on the table 412 of the load port 410 when the shelf 420 moves to the lowered position (FIGS. 8A, 8B). Reference). And the cassette placed in the load port 410 is provided to the cassette opener 220 (see Fig. 8c).

상술한 바와 같이, 카세트 공급부(400)는 인덱스부(200)의 카세트 오프너(220)들로의 신속한 카세트 공급과 회수를 위한 것이다. 즉, 본 발명의 기판 처 리 설비(1)는 OHT(20)의 정체 및 지연으로 인해 원활한 카세트 공급 및 회수가 어려운 경우에도 설비 자체에 구비된 카세트 공급부(400)에서 카세트의 공급과 회수가 가능하다. 일반적으로 OHT(20)는 저속으로 운행하기 때문에 카세트가 기판 처리 설비로 적시에 공급되기 어렵다. 따라서, 본 발명에서는 OHT를 통해 충분한 양의 카세트들을 지속적으로 제공받아 카세트 공급부(400)의 선반들에 적재함으로써 인덱스부(200)에서 요구하는 신속한 카세트의 교체가 가능한 것이다.As described above, the cassette supply unit 400 is for rapid cassette supply and recovery to the cassette openers 220 of the index unit 200. That is, the substrate processing facility 1 of the present invention can supply and recover cassettes from the cassette supply unit 400 provided in the facility itself even when it is difficult to smoothly supply and recover cassettes due to the congestion and delay of the OHT 20. Do. In general, since the OHT 20 runs at a low speed, it is difficult for the cassette to be supplied to the substrate processing equipment in a timely manner. Therefore, in the present invention, by receiving a sufficient amount of cassettes continuously through the OHT and loading them on the shelves of the cassette supply unit 400, it is possible to quickly replace the cassette required by the index unit 200.

본 발명의 기판 처리 설비에서의 카세트 공급 과정을 살펴보면 다음과 같다.Looking at the cassette supply process in the substrate processing equipment of the present invention.

도 9a 내지 도 9g를 참조하면, 카세트(C)는 반도체 생산 라인의 천장에 설치되어 있는 OHT(20)를 통해 이송되어 로드포트(410)의 테이블(412)에 놓여진다(도 9a). 로드 포트(410)에 놓여진 카세트(C)는 테이블(412)의 슬라이드 이동에 의해 개구(404)를 통해 설비 안쪽으로 반입되어 카세트 오프너(220)에 놓여진다(도 9b). 만약, 카세트 오프너(220)에 카세트가 이미 놓여져 있는 경우, 카세트(C)는 로드포트(410)가 아닌 선반(420)에 놓여진다(도 9c). 본 발명의 기판 처리 설비(1)의 카세트 공급부(400)는 카세트(C)가 선반(420)들에 모두 적재될 때까지 공정 흐름에 상관없이 지속적으로 OHT(20)로부터 카세트를 제공받는 것이 바람직하다. 카세트 오프너(220)는 카세트의 도어를 개방하고, 공정 처리전 기판들은 기판 반송 로봇(210)에 의해 카세트(C)로부터 인출되어 공정 처리부(100)로 제공된다. 공정 처리부(100)에서 공정을 마친 기판들은 기판 반송 로봇(210)에 의해 다시 카세트(C)에 수납된다. 카세트에 공정을 마친 기판들이 모두 수납되면, 로드 포트(410)의 테이블(412)로 옮겨진다(도 9d). 카세트가 테이블(412)과 함께 설비의 전면으로 반출 되면, OHT(20)가 카세트를 회수하며(도 9e), 선반(420)에서 대기하고 있는 카세트가 로드포트의 테이블(412)로 공급된다(도 9f). 로드 포트(410)에 놓여진 카세트(C)는 테이블(412)의 슬라이드 이동에 의해 개구(404)를 통해 설비 안쪽으로 반입되어 카세트 오프너(220)에 놓여진다(도 9g).9A to 9G, the cassette C is transferred through the OHT 20 installed on the ceiling of the semiconductor production line and placed on the table 412 of the load port 410 (FIG. 9A). The cassette C placed in the load port 410 is carried into the apparatus through the opening 404 by the slide movement of the table 412 and placed in the cassette opener 220 (FIG. 9B). If the cassette is already placed in the cassette opener 220, the cassette C is placed on the shelf 420 instead of the load port 410 (FIG. 9C). The cassette supply unit 400 of the substrate processing apparatus 1 of the present invention preferably receives the cassette from the OHT 20 continuously regardless of the process flow until the cassette C is loaded on the shelves 420. Do. The cassette opener 220 opens the cassette's door, and the substrates before the process are removed from the cassette C by the substrate transfer robot 210 and provided to the process processor 100. Substrates that have been processed by the process processor 100 are stored in the cassette C again by the substrate transfer robot 210. When all the processed substrates are stored in the cassette, they are transferred to the table 412 of the load port 410 (FIG. 9D). When the cassette is taken out with the table 412 to the front of the facility, the OHT 20 collects the cassette (FIG. 9E), and the cassette waiting on the shelf 420 is supplied to the table 412 of the load port (see FIG. 9E). 9f). The cassette C placed in the load port 410 is carried into the equipment through the opening 404 by the slide movement of the table 412 and placed in the cassette opener 220 (FIG. 9G).

이처럼, 본 발명에서는 공정 처리된 기판들이 카세트에 수납되면 카세트 오프너(220)로부터 신속하게 언로딩되고, 공정 처리전 기판들이 수납된 카세트가 신속하게 카세트 오프너(220)로 로딩된다. 따라서,본 발명의 기판 처리 설비(1)는 OHT(20)가 카세트를 회수하기 위해 이동되는 동안 카세트 오프너(220)에서 카세트를 대기시킬 필요가 없다. As such, in the present invention, when the processed substrates are stored in the cassette, the substrates are quickly unloaded from the cassette opener 220, and the cassettes containing the substrates before the processing are quickly loaded into the cassette opener 220. Thus, the substrate processing equipment 1 of the present invention does not need to hold the cassette in the cassette opener 220 while the OHT 20 is moved to recover the cassette.

일반적으로 기판 처리 설비는 기판 반송 기능 및 플로우 그리고 프로세스 타임 개선 등으로 어느 정도의 생산성 향상이 가능하지만, 카세트를 반송하는 반도체 생산 라인의 물류제어 능력에 따라 생산성에 한계가 발생된다. 하지만, 본 발명에서와 같이 복수개의 카세트를 적재할 수 있는 그리고 신속하게 카세트 오프너(220)에서 카세트(처리된 기판들이 수납된 카세트)를 언로딩(회수)하고 새로운 카세트(처리전 기판들이 수납된 카세트)를 로딩(공급)할 수 있는 카세트 공급부(400)를 인덱스부(200)의 전방에 추가함으로써 기판을 준비하는 시간을 단축하여 기판들의 연속 투입이 가능하게 함으로써 생산성의 한계를 극복할 수 있다. 즉, 본 발명은 카세트 물류 시스템의 정체 및 지연문제가 발생하더라도 기판 처리 설비의 생산성을 향상시킬 수 있는 것이다. In general, the substrate processing equipment can improve the productivity to some extent by improving the substrate transfer function, flow, and process time, but the productivity is limited by the logistics control capability of the semiconductor production line that carries the cassette. However, as in the present invention, it is possible to load a plurality of cassettes and to quickly unload (recover) the cassette (the cassette in which the processed substrates are stored) in the cassette opener 220 and to insert the new cassette (the substrate in which the pre-processing substrates are stored). By adding a cassette supply unit 400 capable of loading (supplying) the cassette in front of the index unit 200, the preparation time of the substrates can be shortened to enable continuous feeding of the substrates, thereby overcoming the limitation of productivity. . In other words, the present invention can improve the productivity of the substrate processing equipment even if the problem of congestion and delay of the cassette logistics system.

도 1은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 개략적인 구성도이다. 1 is a schematic configuration diagram of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 2a는 본 발명의 실시예에 따른 사시도이다. 2A is a perspective view according to an embodiment of the present invention.

도 2b는 도 2a에 표시된 P1부분의 확대도이다. FIG. 2B is an enlarged view of the portion P1 shown in FIG. 2A.

도 3은 기판 처리 설비의 정면도이다. 3 is a front view of the substrate processing equipment.

도 4는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 인덱스부와 카세트 공급부를 보여주는 단면도이다.4 is a cross-sectional view showing an index portion and a cassette supply portion of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 5a는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 인덱스부와 카세트 공급부를 보여주는 평면도이다.5A is a plan view showing an index portion and a cassette supply portion of a substrate processing apparatus according to an embodiment of the present invention.

도 5b는 도 5a에 표시된 P2 부분의 확대도이다.FIG. 5B is an enlarged view of a portion P2 shown in FIG. 5A.

도 6은 선반이 후방으로 이동된 상태를 보여주는 도면이다.6 is a view showing a state in which the shelf is moved to the rear.

도 7a 내지 도 7c는 선반이 로드포트에 놓여진 카세트를 가져가는 과정을 보여주는 도면들이다. 7A to 7C are views showing a process of taking a cassette placed on a load port of a shelf.

도 8a 내지 도 8c는 선반에 놓여진 카세트를 로드포트에 올려놓는 과정을 보여주는 도면들이다. 8A to 8C are diagrams illustrating a process of placing a cassette placed on a shelf in a load port.

도 9a 내지 도 9g는 본 발명의 기판 처리 설비에서의 카세트 공급 과정을 단계적으로 보여주는 도면들이다. 9A to 9G are diagrams showing step by step the cassette supply process in the substrate processing equipment of the present invention.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 *Explanation of symbols on the main parts of the drawings

100 : 공정 처리부 200 : 인덱스부100: process processing unit 200: index unit

400 : 카세트 공급부400: cassette supply unit

Claims (16)

기판 처리 설비에 있어서: In substrate processing equipment: 카세트의 도어를 개폐하는 카세트 오프너; 및A cassette opener for opening and closing the door of the cassette; And 상기 카세트 오프너 전방에 위치되며, 카세트 물류 장치가 카세트를 갖다놓거나 가져가는 로드 포트를 포함하되;Located in front of the cassette opener, the cassette logistics device including a load port for carrying or taking a cassette; 상기 로드 포트는 The load port is 카세트를 상기 카세트 오프너로 공급하거나 또는 카세트를 상기 카세트 오프너로부터 회수하도록 상기 카세트 오프너로 슬라이드 이동되는 이동 테이블을 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a moving table which slides to the cassette opener to supply a cassette to the cassette opener or to recover a cassette from the cassette opener. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 기판 처리 설비는The substrate processing equipment 상기 로드 포트의 상부에 위치되는 그리고 카세트가 적재되는 선반들을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.Further comprising shelves located above the load port and on which the cassette is loaded. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 선반은 The shelf is 상기 카세트 물류 장치가 상기 로드 포트에 카세트를 갖다놓거나 가져갈 수 있도록 상기 카세트 오프너가 있는 후방으로 슬라이드 이동되는 것을 특징으로 하 는 기판 처리 설비.And the cassette dispensing device is slid to the rear with the cassette opener so that the cassette dispensing device can bring or take a cassette in the load port. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 기판 처리 설비는The substrate processing equipment 상기 선반이 상기 로드 포트에 놓여지는 카세트와의 충돌하지 않도록 상기 선반을 전후 방향으로 이동시키는 수평 이동부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a horizontal moving member for moving the shelf in the front-rear direction so that the shelf does not collide with the cassette placed in the load port. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 선반은 상기 로드 포트에서 카세트를 가져가거나 상기 로드 포트에 카세트를 올려놓을 수 있도록 승강되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And said shelf is elevated to take a cassette from said load port or to place a cassette on said load port. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 기판 처리 설비는The substrate processing equipment 상기 선반이 상기 로드 포트에서 카세트를 가져가거나 상기 로드 포트에 카세트를 올려놓을 수 있도록 상기 선반을 수직 방향으로 승강시키는 수직 이동부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a vertical moving member for elevating the shelf in a vertical direction so that the shelf can take a cassette from the load port or place a cassette on the load port. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 기판 처리 설비는The substrate processing equipment 상기 선반이 상기 로드 포트에 놓여지는 카세트와의 충돌하지 않도록 상기 선반을 전후 방향으로 이동시키는 수평 이동부재; 및A horizontal moving member which moves the shelf in the front-rear direction so that the shelf does not collide with the cassette placed in the load port; And 상기 선반이 상기 로드 포트에서 카세트를 가져가거나 상기 로드 포트에 카세트를 올려놓을 수 있도록 상기 선반을 수직 방향으로 승강시키는 수직 이동부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a vertical moving member for elevating the shelf in a vertical direction so that the shelf can take a cassette from the load port or place a cassette on the load port. 제2항에 있어서, The method of claim 2, 상기 선반은 다단으로 배치되며,The shelves are arranged in multiple stages, 상기 선반은 상기 로드 포트의 동일 선상에 위치되도록 설비의 전방으로 슬라이드 이동되거나 또는 상기 로드 포트의 동일 선상으로부터 벗어나도록 설비의 후방으로 슬라이드 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And the shelf is slidably moved forward of the fixture to be located on the same line of the load port or slidably moved backward of the fixture to deviate from the same line of the load port. 기판 처리 설비에 있어서: In substrate processing equipment: 카세트의 도어를 개폐하는 카세트 오프너들을 갖는 인덱스부; 및An index unit having cassette openers for opening and closing the door of the cassette; And 상기 인덱스부의 전방에 설치되며, 카세트 물류 장치가 카세트를 갖다놓거나 가져가는 그리고 상기 카세트 오프너들로 카세트를 공급하고, 상기 카세트 오프너들로부터 카세트를 회수하는 카세트 공급부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비. And a cassette supplying unit installed in front of the index unit, wherein the cassette distribution apparatus includes a cassette supply unit for carrying or carrying a cassette, supplying cassettes to the cassette openers, and recovering cassettes from the cassette openers. . 제9항에 있어서, 10. The method of claim 9, 상기 카세트 공급부는 The cassette supply unit 카세트 물류 장치와 카세트를 주고받는 그리고, 카세트를 상기 카세트 오프너로 공급하고, 상기 카세트 오프너로부터 카세트를 회수하는 로드 포트들; Load ports for exchanging a cassette with a cassette logistics device, for supplying a cassette to the cassette opener, and for recovering the cassette from the cassette opener; 상기 로드 포트들 각각의 상부에 위치되며 카세트가 적재되는 선반들; 및Shelves positioned above each of the load ports and loaded with a cassette; And 상기 선반들 각각에 설치되며, 상기 선반이 상기 로드 포트에 놓여진 카세트를 가져오거나, 보관중인 카세트를 상기 로드 포트에 올려놓도록 상기 선반을 상기 로드 포트를 향해 승강시키는 수직 이동부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.It is installed on each of the shelves, characterized in that the shelf includes a vertical moving member for lifting the shelf toward the load port to bring the cassette placed in the load port, or to put the cassette in storage on the load port Substrate processing equipment. 제10항에 있어서, The method of claim 10, 상기 카세트 공급부는 The cassette supply unit 상기 카세트 물류 장치와 상기 로드 포트간의 이송되는 카세트와 충돌하지 않도록 상기 선반을 전후 방향으로 이동시키는 수평 이동부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And a horizontal moving member for moving the shelf in the front-rear direction so as not to collide with the cassette transported between the cassette distribution device and the load port. 제10항에 있어서, The method of claim 10, 상기 선반들은 다단으로 설치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.And said shelves are installed in multiple stages. 기판 처리 방법에 있어서:In the substrate processing method: 공정 처리전 기판들이 수납된 카세트는 카세트 물류 장치에 의해 로드 포트로 제공되고, 상기 로드 포트에 놓여진 카세트는 카세트 오프너로 반송되거나 또는 상기 로드 포트의 상부에 위치한 선반에 적재되어 대기하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.The cassette containing the substrates before the process is provided to the load port by the cassette logistics device, and the cassette placed in the load port is conveyed to the cassette opener or loaded on a shelf located above the load port, characterized in that the stand-by Substrate processing method. 제13항에 있어서, The method of claim 13, 상기 카세트 오프너에 카세트가 이미 로딩되어 있는 경우, 공정 처리전 기판들이 수납된 카세트는 카세트 물류 장치에 의해 상기 선반에 직접 적재되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.And when the cassette is already loaded in the cassette opener, the cassette in which the substrates are stored before the processing is directly loaded onto the shelf by a cassette distribution device. 제13항에 있어서, The method of claim 13, 상기 카세트 물류 장치에서 상기 로드 포트로 카세트가 제공될 때, 상기 선반은 카세트와의 충돌하지 않도록 후방으로 슬라이드 이동되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.And when the cassette is provided from the cassette distribution device to the load port, the shelf slides backward so as not to collide with the cassette. 제13항에 있어서, The method of claim 13, 상기 선반에 적재된 카세트는 상기 선반의 하강 동작에 의해 상기 로드 포트에 놓여지는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법. And a cassette loaded on the shelf is placed in the load port by the lowering operation of the shelf.
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