KR100976400B1 - Loadlock chamber for chemical vapor deposition apparatus - Google Patents

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Abstract

화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버가 개시된다. 본 발명의 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버는, 적어도 하나의 구획벽에 의해 구획되어 기판이 수용되는 복수개의 단위 챔버를 구비하는 챔버 바디; 상호 이격되게 마련되며, 구획벽의 저면에 착탈 가능하게 결합되어 구획벽이 처지는 것을 저지하기 위하여 구획벽에 대한 강도를 보강하는 복수개의 강도보강유닛; 및 복수개의 강도보강유닛에 착탈 가능하게 결합되어 기판을 접촉지지하는 복수개의 접촉지지바아를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 로봇아암의 인입 및 인출을 허용하면서 챔버의 구획벽에 대한 강도를 보강할 수 있으며, 특히 제작이 용이하여 그 제조비용을 감소시킬 수 있고, 나아가 간단하고 단순한 구조로 인해 유지보수가 용이하여 기판 핸들링에 따른 생산성을 향상시킬 수 있다.A load lock chamber of a chemical vapor deposition apparatus is disclosed. The load lock chamber of the chemical vapor deposition apparatus of the present invention includes: a chamber body having a plurality of unit chambers partitioned by at least one partition wall to accommodate a substrate; A plurality of strength reinforcing units provided to be spaced apart from each other and detachably coupled to the bottom of the partition wall to reinforce the strength of the partition wall so as to prevent the partition wall from sagging; And a plurality of contact support bars detachably coupled to the plurality of strength reinforcing units to support the substrate. According to the present invention, it is possible to reinforce the strength of the partition wall of the chamber while allowing the robot arm to be pulled in and pulled out, and in particular, it is easy to manufacture to reduce the manufacturing cost, and furthermore, due to the simple and simple structure It is easy to improve the productivity of the substrate handling.

Description

화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버{LOADLOCK CHAMBER FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS}LOADLOCK CHAMBER FOR CHEMICAL VAPOR DEPOSITION APPARATUS}

본 발명은, 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 로봇아암의 인입 및 인출을 허용하면서 챔버의 구획벽에 대한 강도를 보강할 수 있으며, 특히 제작이 용이하여 그 제조비용을 감소시킬 수 있고, 나아가 간단하고 단순한 구조로 인해 유지보수가 용이하여 기판 핸들링에 따른 생산성을 향상시킬 수 있는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버에 관한 것이다.The present invention relates to a load lock chamber of a chemical vapor deposition apparatus, and more particularly, it is possible to reinforce the strength to the partition wall of the chamber while allowing the robot arm to be pulled in and pulled out, in particular easy to manufacture The present invention relates to a load lock chamber of a chemical vapor deposition apparatus capable of reducing costs and further improving maintenance due to easy handling due to a simple and simple structure.

평면디스플레이는 개인 휴대단말기를 비롯하여 TV나 컴퓨터의 모니터 등으로 널리 채용된다.Flat panel displays are widely used in personal handheld terminals, as well as TVs and computer monitors.

이러한 평면디스플레이는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel) 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등으로 그 종류가 다양하다.Such flat displays include liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and organic light emitting diodes (OLEDs).

이들 중에서, 특히 LCD(Liquid Crystal Display)는 2장의 얇은 상하 유리기판 사이에 고체와 액체의 중간물질인 액정을 주입하고, 상하 유리기판의 전극 전압차로 액정분자의 배열을 변화시킴으로써 명암을 발생시켜 숫자나 영상을 표시하는 일종의 광스위치 현상을 이용한 소자이다.Among them, liquid crystal displays (LCDs) inject liquid crystals, which are solid and liquid intermediates, between two thin upper and lower glass substrates, and generate contrast by changing the arrangement of liquid crystal molecules by the electrode voltage difference between the upper and lower glass substrates. It is a device using a kind of optical switch phenomenon to display an image.

LCD는 현재, 전자시계를 비롯하여, 전자계산기, TV, 노트북 PC 등 전자제품에서 자동차, 항공기의 속도표시판 및 운행시스템 등에 이르기까지 폭넓게 사용되고 있다.LCDs are now widely used in electronic clocks, electronic calculators, TVs, notebook PCs, electronic products, automobiles, aircraft speed displays and driving systems.

종전만 하더라도 LCD TV는 20인치 내지 30인치 정도의 크기를 가지며, 모니터는 17인치 이하의 크기를 갖는 것이 대부분이었다. 하지만, 근래에 들어서는 40인치 이상의 대형 TV와 20인치 이상의 대형 모니터가 출시되어 판매되고 있으며 이에 대한 선호도가 나날이 높아지고 있는 실정이다.Previously, LCD TVs had a size of about 20 inches to about 30 inches, and most monitors had a size of 17 inches or less. However, in recent years, large TVs of 40 inches or more and large monitors of 20 inches or more have been released and sold, and the preference for them is increasing day by day.

따라서 LCD를 제조하는 제조사의 경우, 보다 넓은 유리기판을 제작하고자 연구 중에 있으며, 현재에는 가로/세로의 폭이 2미터 내외에 이르는 소위, 8세대라 불리는 유리기판의 양산이 일부 제조사에서 진행되고 있거나 목전에 두고 있다.Therefore, manufacturers who manufacture LCDs are researching to produce wider glass substrates. Currently, mass production of so-called 8th generation glass substrates with widths and widths of about 2 meters is in progress at some manufacturers. It is in sight.

이러한 LCD는 증착(Deposition), 사진식각(Photo Lithography), 식각(Etching), 화학 기상 증착(Chemical Vapor Deposition) 등의 공정이 반복적으로 수행되는 TFT 공정, 상하 유리기판을 합착하는 Cell 공정, 그리고 기구물을 완성하는 모듈(Module) 공정을 통해 제품으로 출시된다.Such LCD is a TFT process in which deposition, photolithography, etching, chemical vapor deposition, etc. are repeatedly performed, a cell process for bonding upper and lower glass substrates, and an apparatus It is released as a product through a module process that completes the process.

전술한 TFT 공정 중 하나인 화학 기상 증착 공정은 해당 공정의 진행을 위한 최적의 환경이 조성된 해당 프로세스 챔버(process chamber)에서 진행된다. 특히 최근에는 단시간에 많은 기판을 처리할 수 있도록, 일정한 간격으로 배치되는 복수개의 프로세스 챔버를 구비하는 화학 기상 증착 장치가 널리 사용되고 있다.The chemical vapor deposition process, which is one of the above-described TFT processes, is performed in a process chamber in which an optimal environment for the process is established. In particular, in recent years, a chemical vapor deposition apparatus having a plurality of process chambers arranged at regular intervals to process many substrates in a short time has been widely used.

이러한 화학 기상 증착 장치는, 화학 기상 증착 공정을 수행하는 복수개의 프로세스 챔버와, 해당 프로세스 챔버로 기판이 진입되기 전에 기판이 프로세스 챔 버로 진입될 수 있는 환경을 조성하는 로드락 챔버(loadlock chamber)와, 프로세스 챔버와 로드락 챔버를 연결하며 로드락 챔버 내의 기판을 해당 프로세스 챔버로 이송하거나 해당 프로세스 챔버 내의 기판을 로드락 챔버로 이송하는 로봇아암이 설치되는 트랜스퍼 챔버(transfer chamber)를 구비한다.Such a chemical vapor deposition apparatus includes a plurality of process chambers for performing a chemical vapor deposition process, a loadlock chamber for creating an environment in which the substrate may enter the process chamber before the substrate enters the process chamber; And a transfer chamber that connects the process chamber and the load lock chamber, and is provided with a robot arm for transferring a substrate in the load lock chamber to the process chamber or transferring a substrate in the process chamber to the load lock chamber.

프로세스 챔버는, 일반적으로 고온 저압의 환경에서 기판에 대한 화학 기상 증착 공정을 수행한다. 이때 대기압 상태에 있는 기판을 직접 고온 저압의 프로세스 챔버로 진입시키는 과정에 어려움이 있기 때문에, 기판을 해당 프로세스 챔버로 이송하기 전에 프로세스 챔버와 동일한 환경을 조성해주어야 하는데, 이러한 역할을 담당하는 것이 로드락 챔버이다. 즉, 로드락 챔버는 외부로부터 기판이 프로세스 챔버로 인입되기 전 또는 프로세스 챔버로부터 기판이 외부로 인출되기 전에 프로세스 챔버의 환경 또는 외부의 환경과 실질적으로 동일한 상태로 기판을 수용하는 챔버를 제공한다.The process chamber generally performs a chemical vapor deposition process on a substrate in an environment of high temperature and low pressure. At this time, since it is difficult to directly enter the substrate at atmospheric pressure into the process chamber of high temperature and low pressure, it is necessary to create the same environment as the process chamber before transferring the substrate to the process chamber. Chamber. That is, the load lock chamber provides a chamber for receiving the substrate in a state substantially the same as the environment of the process chamber or the environment outside before the substrate is drawn from the outside into the process chamber or before the substrate is drawn out from the process chamber.

최근에는 공정 효율을 높이고 생산성을 향상시키기 위해 복수개의 단위 챔버를 구비하는 이른바 '멀티 로드락 챔버'가 사용되고 있다.Recently, a so-called 'multi load lock chamber' having a plurality of unit chambers has been used to increase process efficiency and improve productivity.

도 1 및 도 2는 종래의 멀티 로드락 챔버의 개략적인 단면도이다.1 and 2 are schematic cross-sectional views of a conventional multi load lock chamber.

도 1을 참조하면, 멀티 로드락 챔버(10)는, 3개의 단위 챔버 즉 제1, 제2 및 제3 단위 챔버(11a,12a,13a)가 적층된 구조로서, 로드락 챔버(10)의 상부면을 구성하는 상부벽(15)과, 로드락 챔버(10)의 하부면을 구성하는 하부벽(16)과, 상부벽(15)과 하부벽(16) 사이에서 수직 방향으로 적층되는 제1, 제2 및 제3 챔버 프레임(11,12,13)과, 제1 챔버 프레임(11)과 제2 챔버 프레임(12) 사이에 개재되는 제1 구획벽(17)과, 제2 챔버 프레임(12)과 제3 챔버 프레임(13) 사이에 개재되는 제2 구획벽(18)을 구비한다. 한편, 로드락 챔버(10)의 일측면 및 타측면에는 기판을 인입하거나 기판을 인출하기 위한 3개의 챔버 슬롯(10a)이 각각 형성된다.Referring to FIG. 1, the multi load lock chamber 10 has a structure in which three unit chambers, namely, first, second, and third unit chambers 11a, 12a, and 13a, are stacked. The upper wall 15 constituting the upper surface, the lower wall 16 constituting the lower surface of the load lock chamber 10, and the first stacked between the upper wall 15 and the lower wall 16 in a vertical direction First, second and third chamber frames 11, 12, 13, a first partition wall 17 interposed between the first chamber frame 11 and the second chamber frame 12, and the second chamber frame. A second partition wall 18 is interposed between the 12 and the third chamber frame 13. On the other hand, one side and the other side of the load lock chamber 10 is formed with three chamber slots (10a) for entering or withdrawing the substrate, respectively.

이러한 3단 적층 구조를 갖는 멀티 로드락 챔버(10)는, 단일 챔버를 갖는 로드락 챔버(미도시)에 비해 공정 효율 및 생산성이 향상되는 이점이 있지만, 트랜스퍼 챔버(미도시) 내에 설치되는 로봇아암(미도시)의 효율적인 Z축(도 1 및 도 2에서 상하 방향임) 스트로크 측면에서 기판이 대형화되더라도 로드락 챔버(10)의 전체 높이가 제한된다.The multi-load lock chamber 10 having such a three-stage stacked structure has an advantage of improving process efficiency and productivity compared to a load lock chamber (not shown) having a single chamber, but a robot installed in a transfer chamber (not shown). The overall height of the load lock chamber 10 is limited even when the substrate is enlarged in terms of the efficient Z-axis stroke (up and down in FIGS. 1 and 2) of the arm (not shown).

이에 따라, 기판이 대형화되는 현실에서, 로드락 챔버(10)를 구성하는 상부벽(15), 제1 및 제2 구획벽(17,18), 하부벽(16)은 단위 챔버들 사이의 압력 차이에 의해 발생하는 굽힘 응력에 대해 충분한 강도를 갖는 두께를 확보하기가 곤란한 문제점이 있다.Accordingly, in a case where the substrate is enlarged, the upper wall 15, the first and second partition walls 17 and 18, and the lower wall 16 constituting the load lock chamber 10 are pressured between the unit chambers. There is a problem in that it is difficult to secure a thickness having sufficient strength against bending stress caused by the difference.

즉, 3개의 단위 챔버 중 적어도 하나의 단위 챔버가 진공 상태로 유지되는 경우, 로드락 챔버(10)의 수직 방향으로 대기압에 해당되는 압력이 발생하고, 이러한 압력은 상부벽(15), 제1 구획벽(17), 제2 구획벽(18) 및 하부벽(16)에 대한 굽힘 응력으로 작용하여 이들 중 적어도 하나에 상측 방향 또는 하측 방향으로의 처짐을 발생시킨다. That is, when at least one unit chamber among the three unit chambers is maintained in a vacuum state, a pressure corresponding to atmospheric pressure is generated in the vertical direction of the load lock chamber 10, and the pressure is the upper wall 15, the first pressure. It acts as a bending stress on the partition wall 17, the second partition wall 18, and the lower wall 16, causing deflection in the upward direction or the downward direction to at least one of them.

예를 들어, 도 2에 도시된 바와 같이 제1 단위 챔버(11a)와 제3 단위 챔버(13a)는 대기압 상태(ATM.)로 유지되고, 제2 단위 챔버(12a)는 진공 상태(VAC.)로 유지되는 경우, 제1 및 제3 단위 챔버(11a,13a)와 제2 단위 챔버(12a) 사이의 압력 차이에 의해 발생하는 굽힘 응력에 의해 제1 구획벽(17)은 하측 방향, 그리고 제2 구획벽(18)은 상측 방향으로 처짐이 발생한다.For example, as shown in FIG. 2, the first unit chamber 11a and the third unit chamber 13a are maintained at an atmospheric pressure (ATM.), And the second unit chamber 12a is in a vacuum state (VAC. ), The first partition wall 17 is lowered due to bending stress caused by the pressure difference between the first and third unit chambers 11a and 13a and the second unit chamber 12a. The second partition wall 18 sags in the upward direction.

이러한 처짐 현상은, 제1 및 제2 구획벽(17,18)과 챔버 프레임(11,12,13) 사이의 마찰에 의한 파티클(particle)을 발생시켜 공정에 악 영향을 초래할 뿐만 아니라 결과적으로 로드락 챔버(10)의 구조 변형을 일으켜 정확한 기판의 인입 및 인출을 방해하는 요소가 되며, 더 나아가 로드락 챔버(10)에 결합되는 슬롯 밸브(미도시)까지 굽힘 응력이 전달되어 슬롯 밸브의 하우징을 변형시켜 누출(leak)을 발생시키는 문제점을 야기하므로 이에 대한 고려가 있어야 한다.This deflection phenomenon generates particles due to friction between the first and second partition walls 17 and 18 and the chamber frames 11, 12 and 13, which not only adversely affects the process but also results in rod loading. It causes structural deformation of the lock chamber 10 to be an element that prevents accurate ingress and withdrawal of the substrate, and furthermore, bending stress is transmitted to the slot valve (not shown) coupled to the load lock chamber 10 so that the housing of the slot valve Since this causes the problem of generating a leak, it should be considered.

뿐만 아니라, 멀티 로드락 챔버(10)에서 제1, 제2 및 제3 단위 챔버(11a,12a,13a)들의 저면은 로봇아암이 기판을 파지할 수 있도록 구성되어야 하므로 이에 대한 고려도 필요하다. 따라서 이를 위하여 각 단위 챔버의 바닥면에 일체로 형성되되 로봇아암이 인입 및 인출될 수 있도록 복수의 그루브를 형성하는 방안이 고려될 수도 있겠으나, 이 경우 제조공정이 복잡하고 제조비용이 높아지는 문제점이 발생된다.In addition, since the bottoms of the first, second, and third unit chambers 11a, 12a, and 13a in the multi load lock chamber 10 should be configured to hold the substrate, the robot arm needs to be considered. Therefore, for this purpose, a method of forming a plurality of grooves may be considered to be integrally formed on the bottom surface of each unit chamber so that the robot arm can be drawn in and drawn out, but in this case, the manufacturing process is complicated and the manufacturing cost increases. Is generated.

또한 기판을 지지하는 부분에 대해 어느 한 곳이 고장난 경우 등 수리를 필요로 하는 경우 작업자가 단위 챔버 내부로 일일이 들어가서 작업하고 있는데 이는 상당히 불편하며, 수리를 위해 해당 부분들을 해체하는 것이 복잡한 구조로 되어 있으므로 이 역시 고려되어야 할 것이다.In addition, if any part of the board supporting part needs to be repaired, such as when one is broken, the worker enters the inside of the unit chamber one by one, which is quite inconvenient, and it is complicated to disassemble the part for repair. This should also be considered.

본 발명의 목적은, 로봇아암의 인입 및 인출을 허용하면서 챔버의 구획벽에 대한 강도를 보강할 수 있으며, 특히 제작이 용이하여 그 제조비용을 감소시킬 수 있고, 나아가 간단하고 단순한 구조로 인해 유지보수가 용이하여 기판 핸들링에 따른 생산성을 향상시킬 수 있는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버를 제공하는 것이다.The object of the present invention is to reinforce the strength of the partition wall of the chamber while allowing the robot arm to be pulled in and pulled out, and in particular, it is easy to manufacture to reduce its manufacturing cost, and furthermore, it is maintained due to the simple and simple structure. It is to provide a load lock chamber of a chemical vapor deposition apparatus that can be easily repaired to improve the productivity of the substrate handling.

상기 목적은, 본 발명에 따라, 적어도 하나의 구획벽에 의해 구획되어 기판이 수용되는 복수개의 단위 챔버를 구비하는 챔버 바디; 상호 이격되게 마련되며, 상기 구획벽의 저면에 착탈 가능하게 결합되어 상기 구획벽이 처지는 것을 저지하기 위하여 상기 구획벽에 대한 강도를 보강하는 복수개의 강도보강유닛; 및 상기 복수개의 강도보강유닛에 착탈 가능하게 결합되어 상기 기판을 접촉지지하는 복수개의 접촉지지바아를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버에 의해 달성된다.The object is, according to the present invention, a chamber body having a plurality of unit chambers partitioned by at least one partition wall to accommodate the substrate; A plurality of strength reinforcing units provided to be spaced apart from each other and detachably coupled to a bottom of the partition wall to reinforce the strength of the partition wall so as to prevent the partition wall from sagging; And a plurality of contact support bars detachably coupled to the plurality of strength reinforcing units to contact and support the substrate.

여기서, 상기 강도보강유닛은, 몸체를 형성하는 긴 막대 형상의 보강바아; 및 상기 보강바아와 상기 구획벽 사이에 마련되는 더미판을 포함할 수 있다.Here, the strength reinforcing unit, the long bar-shaped reinforcement bar to form a body; And it may include a dummy plate provided between the reinforcing bar and the partition wall.

상기 보강바아와 상기 더미판은 볼트 결합방식에 의해 상기 구획벽의 저면에 착탈 가능하게 결합될 수 있다.The reinforcing bar and the dummy plate may be detachably coupled to the bottom of the partition wall by a bolt coupling method.

상기 더미판은 테프론 재질로 제작될 수 있다.The dummy plate may be made of Teflon material.

상기 더미판은 상기 보강바아의 길이 방향을 따라 분할된 복수개의 단위판으로 형성될 수 있으며, 상기 보강바아의 밑면에는 상기 복수개의 단위판이 각각 삽 입 배치되는 복수개의 단위판 삽입배치홈이 형성될 수 있다.The dummy plate may be formed of a plurality of unit plates divided along the longitudinal direction of the reinforcement bar, and a plurality of unit plate insertion arrangement grooves in which the plurality of unit plates are inserted and disposed are formed on the bottom of the reinforcement bar. Can be.

상기 접촉지지바아의 표면에는 실질적으로 상기 기판이 지지되는 복수개의 볼 트랜스퍼가 마련될 수 있다.The surface of the contact support bar may be provided with a plurality of ball transfer substantially supporting the substrate.

상기 접촉지지바아는 알루미늄 재질로 제작될 수 있다.The contact support bar may be made of aluminum.

상기 보강바아는 최상단을 형성하는 제1 상면과, 상기 제1 상면과 나란하며 상기 제1 상면보다 낮은 위치에 형성되는 제2 상면을 갖는 계단 형상을 가질 수 있으며, 상기 접촉지지바아는 상기 보강바아의 제2 상면에 결합될 수 있으며, 상기 보강바아에 대해 상기 접촉지지바아를 착탈 가능하게 슬라이딩 결합시키는 슬라이딩 착탈 결합부를 더 포함할 수 있다.The reinforcement bar may have a step shape having a first upper surface forming a top end and a second upper surface parallel to the first upper surface and formed at a lower position than the first upper surface, wherein the contact support bar is the reinforcement bar. It may be coupled to the second upper surface of, and may further include a sliding detachable coupling portion for detachably sliding coupling the contact support bar with respect to the reinforcing bar.

상기 슬라이딩 착탈 결합부는, 상기 접촉지지바아의 양 단부 영역에서 상기 접촉지지바아의 길이 방향을 따라 각각 형성되는 슬라이딩 홈부; 및 상기 보강바아의 제2 상면 단부 영역에서 높이 방향을 따라 돌출되어 상기 슬라이딩 홈부들이 각각 슬라이딩 가능하게 끼워져 결합되는 한 쌍의 슬라이딩 돌기부를 포함할 수 있다.The sliding detachable coupling portion, the sliding groove portion which is formed along the longitudinal direction of the contact support bar in both end regions of the contact support bar; And a pair of sliding protrusions protruding along the height direction from the second upper surface end region of the reinforcing bar to which the sliding grooves are slidably fitted.

상기 슬라이딩 착탈 결합부는, 상기 한 쌍의 슬라이딩 돌기부의 상단에 상기 한 쌍의 슬라이딩 돌기부보다 큰 단면적을 가지고 결합되어 상기 접촉지지바아에 대한 상하 방향으로의 유동을 저지시키는 스토퍼를 더 포함할 수 있다.The sliding detachable coupling part may further include a stopper coupled to an upper end of the pair of sliding protrusions having a larger cross-sectional area than the pair of sliding protrusions to prevent flow in the vertical direction with respect to the contact support bar.

본 발명에 따르면, 로봇아암의 인입 및 인출을 허용하면서 챔버의 구획벽에 대한 강도를 보강할 수 있으며, 특히 제작이 용이하여 그 제조비용을 감소시킬 수 있고, 나아가 간단하고 단순한 구조로 인해 유지보수가 용이하여 기판 핸들링에 따른 생산성을 향상시킬 수 있다.According to the present invention, it is possible to reinforce the strength of the partition wall of the chamber while allowing the robot arm to be pulled in and pulled out, and in particular, easy to manufacture to reduce the manufacturing cost, and furthermore, maintenance due to the simple and simple structure It is easy to improve the productivity of the substrate handling.

본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.In order to fully understand the present invention, the operational advantages of the present invention, and the objects achieved by the practice of the present invention, reference should be made to the accompanying drawings which illustrate preferred embodiments of the present invention and the contents described in the accompanying drawings.

이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.Hereinafter, the present invention will be described in detail by explaining preferred embodiments of the present invention with reference to the accompanying drawings. Like reference numerals in the drawings denote like elements.

참고로, 이하에서 설명할 기판이란, LCD(Liquid Crystal Display) 기판, PDP(Plasma Display Panel) 기판 및 OLED(Organic Light Emitting Diodes) 기판 등을 포함하는 평면디스플레이(Flat Panel Display, FPD)를 가리키나, 설명의 편의를 위해 이들을 구분하지 않고 기판이라 하기로 한다.For reference, the substrate to be described below refers to a flat panel display (FPD) including a liquid crystal display (LCD) substrate, a plasma display panel (PDP) substrate, an organic light emitting diodes (OLED) substrate, and the like. For the convenience of description, these will be referred to as substrates without being divided.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버가 적용되는 화학 기상 증착 장치의 개략적인 구성도이며, 도 4는 도 3에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 사시도이고, 도 5는 도 4의 A-A 선에 따른 로드락 챔버의 개략적인 단면도이다.3 is a schematic configuration diagram of a chemical vapor deposition apparatus to which a load lock chamber is applied according to an embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a perspective view of the load lock chamber according to the embodiment of the present invention shown in FIG. 5 is a schematic cross-sectional view of the load lock chamber along line AA of FIG. 4.

이들 도면을 참조하되 주로 도 3을 참조하면, 본 실시예의 로드락 챔버(100)가 적용되는 화학 기상 증착 장치는, 평면디스플레이 제조용 화학 기상 증착 장치로서, 화학 기상 증착 공정을 수행하는 복수개의 프로세스 챔버(200, process chamber)와, 해당 프로세스 챔버(200)로 기판이 진입되기 전에 기판이 프로세스 챔버(200)로 진입될 수 있는 환경을 조성하는 로드락 챔버(100, loadlock chamber)와, 프로세스 챔버(200)와 로드락 챔버(100)를 연결하는 트랜스퍼 챔버(300, transfer chamber)를 구비한다. 트랜스퍼 챔버(300)에는 로드락 챔버(100) 내의 기판을 해당 프로세스 챔버(200)로 이송하거나 해당 프로세스 챔버(200) 내의 기판을 로드락 챔버(100)로 이송하는 로봇아암(310)이 마련된다.Referring to these drawings but mainly referring to FIG. 3, the chemical vapor deposition apparatus to which the load lock chamber 100 of the present embodiment is applied is a chemical vapor deposition apparatus for manufacturing a flat display, and includes a plurality of process chambers for performing a chemical vapor deposition process. (200, process chamber), a loadlock chamber (100) for creating an environment in which the substrate can enter the process chamber 200 before the substrate enters the process chamber 200, and a process chamber ( 200 and a transfer chamber 300 connecting the load lock chamber 100. The transfer chamber 300 is provided with a robot arm 310 which transfers the substrate in the load lock chamber 100 to the process chamber 200 or the substrate in the process chamber 200 to the load lock chamber 100. .

프로세스 챔버(200)는 고온 저압의 환경에서 기판에 대한 화학 기상 증착 공정을 수행한다. 도시하고 있지는 않지만, 프로세스 챔버(200)는 서셉터 상에 놓여진 기판의 표면에 전극으로부터 방출된 소정의 반응성 가스 이온이 소정의 두께만큼 증착되는 장소로서, 기판에 대한 실질적인 증착 과정이 진행되는 장소이다. 본 실시예의 경우, 로드락 챔버(100)를 기준으로 총 5개의 프로세스 챔버(200)가 마련되어 있기 때문에 그 생산성을 향상시킬 수 있는 이점이 있다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 프로세스 챔버(200)는 5개보다 많아도 좋고 혹은 적어도 무방하다.The process chamber 200 performs a chemical vapor deposition process on a substrate in an environment of high temperature and low pressure. Although not shown, the process chamber 200 is a place where a predetermined thickness of reactive gas ions emitted from an electrode is deposited on a surface of a substrate placed on a susceptor by a predetermined thickness. . In the present embodiment, since five process chambers 200 are provided based on the load lock chamber 100, the productivity may be improved. However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the number of process chambers 200 may be more than five or at least.

한편, 프로세스 챔버(200)에서 기판에 대한 증착 공정이 진행되기 위해 로봇아암(310)이 작업 대상의 기판을 해당 프로세스 챔버(200)로 이송시키게 되는데, 이때 대기압 상태에 있는 기판을 직접 고온 저압의 프로세스 챔버(200)로 진입시키는 과정에 어려움이 있기 때문에, 기판을 해당 프로세스 챔버(200)로 이송하기 전에 프로세스 챔버(200)와 동일한 환경을 조성해줄 필요가 있다. 이를 위해 로드락 챔버(100)가 마련된다.On the other hand, in order to proceed with the deposition process for the substrate in the process chamber 200, the robot arm 310 to transfer the substrate of the work to the process chamber 200, wherein the substrate in the atmospheric pressure of the high temperature low pressure Since the process of entering the process chamber 200 is difficult, it is necessary to create the same environment as the process chamber 200 before transferring the substrate to the process chamber 200. To this end, the load lock chamber 100 is provided.

구체적으로, 로드락 챔버(100)는 이송 로봇(미도시)에 의해 외부로부터 화학 기상 증착 공정의 대상이 되는 기판이 인입되면, 내부의 환경을 프로세스 챔버(200)와 실질적으로 동일한 온도와 압력으로 조성한다. 이처럼 프로세스 챔버(200)와 실질적으로 동일한 환경이 조성된 로드락 챔버(100) 내의 기판은 트랜스퍼 챔버(300)에 마련되는 로봇아암(310)에 의해 인출되어 해당 프로세스 챔버(200)로 이송된 후 해당 증착 공정이 수행된다. 반대로 프로세스 챔버(200) 내에서 화학 기상 증착 공정이 완료된 기판은 로봇아암(310)에 의해 인출되어 외부와 실질적으로 동일한 온도와 압력을 유지하는 로드락 챔버(100)로 이송된 후 최종적으로 이송 로봇(미도시)에 의해 외부로 인출된다.In detail, when the load lock chamber 100 receives a substrate, which is the target of the chemical vapor deposition process, from the outside by a transfer robot (not shown), the internal environment is maintained at substantially the same temperature and pressure as the process chamber 200. To create. As such, the substrate in the load lock chamber 100 having substantially the same environment as the process chamber 200 is drawn out by the robot arm 310 provided in the transfer chamber 300 and then transferred to the process chamber 200. The deposition process is performed. On the contrary, the substrate in which the chemical vapor deposition process is completed in the process chamber 200 is transferred by the robot arm 310 to the load lock chamber 100 which maintains substantially the same temperature and pressure as the outside, and finally the transfer robot. It is withdrawn to the outside by (not shown).

이와 같이, 로드락 챔버(100)는 외부로부터 기판이 프로세스 챔버(200)로 인입되기 전 또는 프로세스 챔버(200)로부터 기판이 외부로 인출되기 전에 프로세스 챔버(200)의 환경 또는 외부의 환경과 실질적으로 동일한 상태로 기판을 수용하는 챔버를 제공한다.As such, the load lock chamber 100 may be substantially different from the environment of or outside the process chamber 200 before the substrate is drawn from the outside into the process chamber 200 or before the substrate is drawn out from the process chamber 200. To provide a chamber for receiving the substrate in the same state.

이러한 로드락 챔버(100)는, 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이, 내부에 기판이 수용되는 3개의 단위 챔버(111a,112a,113a)가 마련되는 챔버 바디(110)와, 챔버 바디(110)의 강도 보강을 위해 챔버 바디(110)의 전측면 및 후측면에 각각 결합되는 2개의 보강판(120,130)과, 챔버 바디(110)의 상부면 및 하부면에 각각 마련되는 복수개의 보강리브(140,150)를 구비한다.As shown in FIGS. 4 and 5, the load lock chamber 100 includes a chamber body 110 in which three unit chambers 111a, 112a, and 113a are accommodated, and a chamber body ( Two reinforcement plates 120 and 130 coupled to the front and rear surfaces of the chamber body 110 and the plurality of reinforcement ribs respectively provided on the upper and lower surfaces of the chamber body 110 for strength reinforcement of the chamber body 110. (140,150).

챔버 바디(110)는, 챔버 바디(110)의 상부면을 구성하는 상부벽(115)과, 챔버 바디(110)의 하부면을 구성하는 하부벽(116)과, 상부벽(115)과 하부벽(116) 사 이에서 수직 방향(Z축 방향)으로 적층되는 제1, 제2 및 제3 챔버 프레임(111,112,113)과, 제1 챔버 프레임(111)과 제2 챔버 프레임(112) 사이에 개재되는 제1 구획벽(117)과, 제2 챔버 프레임(112)과 제3 챔버 프레임(113) 사이에 개재되는 제2 구획벽(118)을 구비한다. 제1 및 제2 구획벽(117,118)은 3개의 단위 챔버(111a,112a,113a)가 마련되도록 챔버 바디(110)의 내부를 구획하는 역할을 담당한다. 챔버 바디(110)의 각각의 구성요소는 알루미늄 재질로 제작되며 다수의 볼트(미도시)에 의해 상호 결합되어 챔버 바디(110)를 형성한다.The chamber body 110 includes an upper wall 115 constituting an upper surface of the chamber body 110, a lower wall 116 constituting a lower surface of the chamber body 110, an upper wall 115 and a lower portion. Interposed between the first, second, and third chamber frames 111, 112, 113 stacked between the walls 116 in the vertical direction (Z-axis direction), and between the first chamber frame 111 and the second chamber frame 112. The first partition wall 117 is provided, and the second partition wall 118 is interposed between the second chamber frame 112 and the third chamber frame 113. The first and second partition walls 117 and 118 serve to partition the interior of the chamber body 110 so that three unit chambers 111a, 112a and 113a are provided. Each component of the chamber body 110 is made of aluminum and are coupled to each other by a plurality of bolts (not shown) to form the chamber body 110.

이러한 3단 적층 구조에 의해 챔버 바디(110)는 그 내부에 3개의 단위 챔버(111a,112a,113a)가 형성된다. 즉, 챔버 바디(110)는 상부벽(115), 제1 챔버 프레임(111) 및 제1 구획벽(117)에 의해 형성되는 제1 단위 챔버(111a)와, 제1 구획벽(117), 제2 챔버 프레임(112) 및 제2 구획벽(118)에 의해 형성되는 제2 단위 챔버(112a)와, 제2 구획벽(118), 제3 챔버 프레임(113) 및 하부벽(116)에 의해 형성되는 제3 단위 챔버(113a)를 구비한다.By the three-stage stacked structure, the chamber body 110 has three unit chambers 111a, 112a, and 113a formed therein. That is, the chamber body 110 includes a first unit chamber 111a formed by the upper wall 115, the first chamber frame 111, and the first partition wall 117, the first partition wall 117, On the second unit chamber 112a formed by the second chamber frame 112 and the second partition wall 118, the second partition wall 118, the third chamber frame 113 and the lower wall 116. It is provided with a third unit chamber 113a.

이처럼 본 실시예의 로드락 챔버(100)는, 3개의 제1 내지 제3 단위 챔버(111a,112a,113a)가 적층되어 구성됨으로써, 단일 챔버를 갖는 로드락 챔버(100)에 비해 공정 효율 및 생산성이 향상되는 이점이 있다. 다만, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 2개 또는 4개 이상의 단위 챔버(미도시)가 적층되어 구성될 수도 있을 것이다.As described above, the load lock chamber 100 of the present embodiment is configured by stacking three first to third unit chambers 111a, 112a, and 113a, and thus process efficiency and productivity are higher than that of the load lock chamber 100 having a single chamber. This has the advantage of being improved. However, the present invention is not limited thereto, and two or four unit chambers (not shown) may be stacked.

챔버 바디(110)의 전측면에는 외부로부터 단위 챔버(111a,112a,113a)로 기판을 인입하거나 단위 챔버(111a,112a,113a)로부터 외부로 기판을 인출하기 위한 3개 의 챔버 슬롯(111b,112b,113b, chamber slot)이 형성된다. 3개의 챔버 슬롯(111b,112b,113b)은 각각 제1 단위 챔버(111a), 제2 단위 챔버(112a) 및 제3 단위 챔버(113a)에 대응되도록 형성된다. 도 4 및 도 5에 도시되지 않았지만 로드락 챔버(100)의 전측에는 3개의 챔버 슬롯(111b,112b,113b)을 선택적으로 개폐시키기 위한 슬롯 밸브(미도시)가 마련되어 기판의 인입 및 인출 시에 해당 챔버 슬롯(111b,112b,113b)을 열고, 기판의 인입 및 인출 동작이 완료되면 해당 챔버 슬롯(111b,112b,113b)을 닫도록 구성된다.Three chamber slots 111b for drawing the substrate into the unit chambers 111a, 112a, and 113a from the outside or withdrawing the substrate from the unit chambers 111a, 112a and 113a to the outside of the chamber body 110. 112b, 113b, and chamber slots are formed. The three chamber slots 111b, 112b, and 113b are formed to correspond to the first unit chamber 111a, the second unit chamber 112a, and the third unit chamber 113a, respectively. Although not shown in FIGS. 4 and 5, the front side of the load lock chamber 100 is provided with a slot valve (not shown) for selectively opening and closing the three chamber slots 111b, 112b, and 113b, when the substrate is pulled in and out. The chamber slots 111b, 112b and 113b are opened and the chamber slots 111b, 112b and 113b are closed when the drawing and drawing operations of the substrate are completed.

한편, 챔버 바디(110)의 후측면은 트랜스퍼 챔버(300)와 연결되는 부분이며, 이러한 챔버 바디(110)의 후측면에도 프로세스 챔버(200)로부터 단위 챔버(111a,112a,113a)로 기판을 인입하거나 단위 챔버(111a,112a,113a)로부터 프로세스 챔버(200)로 기판을 인출하기 위한 3개의 챔버 슬롯(111c,112c,113c)이 형성된다. 3개의 챔버 슬롯(111c,112c,113c)은 각각 제1 단위 챔버(111a), 제2 단위 챔버(112a) 및 제3 단위 챔버(113a)에 대응되도록 형성된다. 도 4 및 도 5에 도시되지 않았지만 로드락 챔버(100)의 후측에는 슬롯 밸브(미도시)가 마련되는데, 이러한 슬롯 밸브는 로드락 챔버(100)와 트랜스퍼 챔버(300)를 연결하며, 3개의 챔버 슬롯(111c,112c,113c)을 선택적으로 개폐시킨다. 즉, 슬롯 밸브는 기판의 인입 및 인출 시에 해당 챔버 슬롯(111c,112c,113c)을 열고, 기판의 인입 및 인출 동작이 완료되면 해당 챔버 슬롯(111c,112c,113c)을 닫도록 구성된다.On the other hand, the rear side of the chamber body 110 is a portion that is connected to the transfer chamber 300, the substrate on the rear side of the chamber body 110 from the process chamber 200 to the unit chambers (111a, 112a, 113a). Three chamber slots 111c, 112c, and 113c are formed for drawing in and withdrawing the substrate from the unit chambers 111a, 112a, and 113a to the process chamber 200. The three chamber slots 111c, 112c, and 113c are formed to correspond to the first unit chamber 111a, the second unit chamber 112a, and the third unit chamber 113a, respectively. Although not shown in FIGS. 4 and 5, a slot valve (not shown) is provided at a rear side of the load lock chamber 100, and the slot valve connects the load lock chamber 100 and the transfer chamber 300. The chamber slots 111c, 112c, and 113c are selectively opened and closed. That is, the slot valve is configured to open the corresponding chamber slots (111c, 112c, 113c) when the substrate is pulled in and out, and close the chamber slots (111c, 112c, 113c) when the drawing and withdrawal operation of the substrate is completed.

챔버 바디(110)의 전측면 및 후측면에는 한 쌍의 보강판(120,130)이 각각 결합된다. 한 쌍의 보강판(120,130)은 단위 챔버(111a,112a,113a)들 사이의 압력 차 이에 의해 발생하는 굽힘 응력에 대해 챔버 바디(110)의 강도를 보강한다. 본 실시예에서는, 챔버 바디(110)의 전측면 및 후측면에 한 쌍의 보강판(120,130)이 각각 결합되지만, 본 발명은 이에 한정되지 아니하며, 챔버 바디(110)의 전측면 및 후측면 중 어느 일면에만 보강판이 결합되도록 구성할 수 있으며, 어느 일면에 복수개의 보강판이 중첩 결합되도록 구성할 수 있음은 물론이다.A pair of reinforcing plates 120 and 130 are coupled to the front side and the rear side of the chamber body 110, respectively. The pair of reinforcement plates 120 and 130 reinforce the strength of the chamber body 110 against the bending stress caused by the pressure difference between the unit chambers 111a, 112a and 113a. In the present embodiment, a pair of reinforcing plates 120 and 130 are coupled to the front side and the rear side of the chamber body 110, respectively, but the present invention is not limited thereto, and among the front side and the rear side of the chamber body 110. The reinforcement plate may be configured to be coupled to only one surface, and a plurality of reinforcement plates may be configured to overlap and coupled to any one surface.

전술한 바와 같이, 3개의 단위 챔버(111a,112a,113a) 중 적어도 하나의 단위 챔버가 진공 상태로 유지되는 경우, 챔버 바디(110)의 수직 방향(Z축 방향)으로 대기압에 해당되는 압력이 발생하고, 이러한 압력은 상부벽(115), 제1 구획벽(117), 제2 구획벽(118) 및 하부벽(116)에 대한 굽힘 응력으로 작용하여 이들 중 적어도 하나에 상측 방향 또는 하측 방향으로의 처짐을 발생시킨다. As described above, when at least one unit chamber of the three unit chambers 111a, 112a, and 113a is maintained in a vacuum state, a pressure corresponding to atmospheric pressure in a vertical direction (Z-axis direction) of the chamber body 110 is increased. And this pressure acts as a bending stress on the upper wall 115, the first partition wall 117, the second partition wall 118, and the lower wall 116 so as to be directed upward or downward to at least one of them. Causing sagging.

예를 들어, 제1 단위 챔버(111a)와 제3 단위 챔버(113a)는 대기압 상태로 유지되고, 제2 단위 챔버(112a)는 진공 상태로 유지되는 경우, 제1 및 제3 단위 챔버(111a,113a)와 제2 단위 챔버(112a) 사이의 압력 차이에 의해 발생하는 굽힘 응력에 의해 제1 구획벽(117)은 하측 방향으로 처짐이 발생하고 제2 구획벽(118)은 상측 방향으로 처짐이 발생한다. 이러한 처짐 현상은, 제1 및 제2 구획벽(117,118)과 챔버 프레임(111,112,113) 사이의 마찰에 의한 파티클(particle)을 발생시켜 공정에 악 영향을 초래하며, 결과적으로 로드락 챔버(100)의 구조 변형을 일으켜 정확한 기판의 인입 및 인출을 방해하는 요소가 되며, 더 나아가 로드락 챔버(100)에 결합되는 슬롯 밸브(미도시)까지 굽힘 응력이 전달되어 슬롯 밸브의 하우징을 변형시켜 누출(leak)을 발생시키는 문제점을 야기한다.For example, when the first unit chamber 111a and the third unit chamber 113a are maintained at atmospheric pressure, and the second unit chamber 112a is maintained at a vacuum state, the first and third unit chambers 111a are maintained. The first partition wall 117 sags downward and the second partition wall 118 sags upward due to bending stress caused by the pressure difference between the 113a and the second unit chamber 112a. This happens. This deflection phenomenon generates particles due to friction between the first and second partition walls 117 and 118 and the chamber frames 111, 112 and 113, which adversely affects the process, and consequently, the load lock chamber 100 It causes structural deformation to prevent the entry and withdrawal of the correct substrate, and furthermore, bending stress is transmitted to the slot valve (not shown) coupled to the load lock chamber 100 to deform the housing of the slot valve to leak. Cause problems that occur.

보강판(120,130)은, 이러한 문제점을 해결하기 위한 수단으로서, 단위 챔버(111a,112a,113a)들 사이의 압력 차이에 의해 발생하는 굽힘 응력에 대한 챔버 바디(110)의 구조적 강도를 보강하여 챔버 바디(110)의 구조 변형을 최소화하는 한편, 슬롯 밸브로 전달될 수 있는 굽힘 응력을 차단하여 슬롯 밸브의 하우징의 구조 변형에 의한 누출을 방지하는 역할을 담당한다.The reinforcing plates 120 and 130 are means for solving the problem, and reinforce the structural strength of the chamber body 110 against the bending stress caused by the pressure difference between the unit chambers 111a, 112a, and 113a. While minimizing the structural deformation of the body 110, it blocks the bending stress that can be transmitted to the slot valve, thereby preventing leakage due to the structural deformation of the housing of the slot valve.

이러한 보강판(120,130)은, 도 4에 도시된 바와 같이 상단, 하단, 좌측단 및 우측단이 챔버 바디(110)의 상부면, 하부면, 좌측면 및 우측면에 대해 각각 돌출되는 크기를 갖는 것이 바람직한데, 이는 보강판(120,130)을 챔버 바디(110)의 전측면(또는 후측면)보다 작거나 실질적으로 동일한 크기로 제작하는 것에 비해 구조 역학상 챔버 바디(110)의 구조적 강도를 더욱 향상시킬 수 있기 때문이다. 또한, 보강판(120,130)에는 단위 챔버(111a,112a,113a)로 기판의 인입 또는 단위 챔버(111a,112a,113a)로부터 기판의 인출을 방해하지 않도록, 3개의 챔버 슬롯(111b,112b,113b 또는 111c,112c,113c)에 대응되는 3개의 개구(121,122,123 또는 131,132,133)가 형성된다.As shown in FIG. 4, the reinforcement plates 120 and 130 have a size at which the top, bottom, left and right ends protrude from the top, bottom, left and right surfaces of the chamber body 110, respectively. This is desirable, because it will further improve the structural strength of the chamber body 110 in structural mechanics compared to fabricating the reinforcement plates 120, 130 to be smaller or substantially the same size than the front side (or rear side) of the chamber body 110. Because it can. In addition, the three reinforcing plates 120 and 130 have three chamber slots 111b, 112b, and 113b so as not to interfere with the introduction of the substrate into the unit chambers 111a, 112a and 113a or withdrawal of the substrate from the unit chambers 111a, 112a and 113a. Or three openings 121, 122, 123 or 131, 132, 133 corresponding to 111c, 112c, and 113c.

챔버 바디(110)의 상부면 및 하부면에는, 챔버 바디(110)의 폭 방향(X축 방향)으로 연장되는 보강리브(140,150)가 챔버의 길이 방향(Y축 방향)을 따라 소정의 간격을 두고 3개씩 배치 결합된다. 이때, 챔버 바디(110)의 상부면에 마련되는 3개의 보강리브(140)와 챔버 바디(110)의 하부면에 마련되는 3개의 보강리브(150)는 도 5에 도시된 바와 같이 상호 대응되도록 배치되는데, 이는 이러한 배치 형태가 구조 역학상 챔버 바디(110)의 강도를 더욱 향상시킬 수 있기 때문이다. 다만, 본 발명에서 보강리브(140,150)의 개수 및 배치는 이에 한정되지 아니하고 챔버 바디(110)의 형상 및 크기에 따라 다양하게 변경될 수 있을 것이다. 이러한 보강리브(140,150)는 전술한 보강판(120,130)과 함께 단위 챔버(111a,112a,113a)들 사이의 압력 차이에 의해 발생하는 굽힘 응력에 대한 챔버 바디(110)의 강도를 한층 더 보강하여 챔버 바디(110)의 구조 변형을 최소화하는 역할을 담당한다. 본 실시예의 보강리브(140,150)는 전술한 보강판(120,130)과 마찬가지로 기계적 강도를 갖는 스틸(steel) 재질(바람직하게는 기계적 강도와 내식성이 우수한 스테인리스 스틸(Stainless Steel) 재질)로 제작되며 다수의 볼트(145,155)에 의해 챔버 바디(110)의 상부면 또는 하부면에 고정 결합된다.On the upper and lower surfaces of the chamber body 110, reinforcing ribs 140 and 150 extending in the width direction (X-axis direction) of the chamber body 110 are spaced a predetermined distance along the longitudinal direction (Y-axis direction) of the chamber. Place and put together three batches. In this case, the three reinforcement ribs 140 provided on the upper surface of the chamber body 110 and the three reinforcement ribs 150 provided on the lower surface of the chamber body 110 may correspond to each other as shown in FIG. 5. This is because such a configuration can further enhance the strength of the chamber body 110 in structural mechanics. However, the number and arrangement of the reinforcing ribs 140 and 150 in the present invention is not limited thereto, and may be variously changed according to the shape and size of the chamber body 110. The reinforcing ribs 140 and 150 further reinforce the strength of the chamber body 110 against the bending stress caused by the pressure difference between the unit chambers 111a, 112a and 113a together with the reinforcing plates 120 and 130 described above. Minimizes structural deformation of the chamber body 110. The reinforcing ribs 140 and 150 of the present embodiment are made of a steel material having a mechanical strength (preferably stainless steel material having excellent mechanical strength and corrosion resistance) similar to the reinforcing plates 120 and 130 described above. The bolts 145 and 155 are fixedly coupled to the upper or lower surface of the chamber body 110.

챔버 바디(110)의 좌측면 및 우측면에는, 투명한 재질로 이루어지는 다수의 시창(119, 視唱)이 마련된다. 이러한 시창(119)을 통해 공정 작업자는 로드락 챔버(100)의 내부를 관찰하여 로드락 챔버(100)의 진행 상황을 확인할 수 있게 된다.On the left side and the right side of the chamber body 110, a plurality of sight windows 119 made of a transparent material are provided. Through the sight glass 119, the process worker can check the progress of the load lock chamber 100 by observing the inside of the load lock chamber 100.

한편, 본 실시예의 로드락 챔버(100)에는 기판의 얼라인을 위한 수단이 더 구비되는데, 이에 대해 도 10 내지 도 14를 참조하여 먼저 설명하도록 한다.Meanwhile, the load lock chamber 100 of the present embodiment is further provided with a means for aligning the substrate, which will be described first with reference to FIGS. 10 to 14.

도 10은 도 6의 부분 절취 확대 분해 사시도이고, 도 11은 도 10에 도시된 얼라이너의 정면 사시도이며, 도 12는 도 11의 배면 사시도이고, 도 13은 얼라이너의 평면도이며, 도 14는 도 13의 동작 상태를 도시한 도면이다.FIG. 10 is a partially cut-away exploded perspective view of FIG. 6, FIG. 11 is a front perspective view of the aligner shown in FIG. 10, FIG. 12 is a rear perspective view of FIG. 11, FIG. 13 is a plan view of the aligner, and FIG. 14 is FIG. 13. It is a figure which shows the operation state of.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 로드락 챔버(100)에는 챔버 바디(110)의 어느 일 영역에 결합되어 단위 챔버(111a,112a,113a)들 내로 인입되는 기판을 얼라인(align)시키기 위하여 기판을 접촉 가압하는 복수의 얼라이너(180) 와, 각 얼라이너(180)와 상호작용하도록 각 얼라이너(180)에 각각 인접하게 마련되며, 각 얼라이너(180)의 회전을 제한하여 기판을 정렬시키는 얼라인 기준플레이트(165)가 구비되어 있다.As shown in these figures, in the load lock chamber 100 of the present embodiment, the substrate coupled to any one region of the chamber body 110 and aligned into the unit chambers 111a, 112a, and 113a is aligned. In order to interact with each of the aligner 180 and a plurality of aligner 180 for contact pressure pressurizing the substrate to be provided adjacent to each aligner 180, by limiting the rotation of each aligner 180 An alignment reference plate 165 for aligning the substrate is provided.

이러한 복수의 얼라이너(180)와 얼라인 기준플레이트(165)로 인해 종래보다 간단하고 단순한 구조를 가지면서도 기판에 대한 정확한 얼라인(align) 작업을 구현할 수 있으며, 특히 기판에 대한 정확한 얼라인 작업이 제대로 진행되지 못해 얼라인 작업을 추가로 더 실시하는 경우를 종래보다 현저히 감소시켜 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.Due to the plurality of aligners 180 and the alignment reference plate 165, a simpler and simpler structure than the related art can be realized, and precise alignment of the substrate can be realized. In this case, it is possible to improve productivity by remarkably reducing the number of additional alignment work due to the problem.

참고로, 복수의 얼라이너(180)와 얼라인 기준플레이트(165)는 각 단위 챔버(111a,112a,113a)들마다 모두 마련되어 있는데, 이하의 설명에서는 설명의 편의를 위해 제1 단위 챔버(111a) 영역에 구비된 복수의 얼라이너(180)와 얼라인 기준플레이트(165)에 대해서만 설명하기로 한다.For reference, the plurality of aligners 180 and the alignment reference plates 165 may be provided for each of the unit chambers 111a, 112a, and 113a. In the following description, the first unit chamber 111a is provided for convenience of description. Only the plurality of aligner 180 and the alignment reference plate 165 provided in the region will be described.

복수의 얼라이너(180)는 제1 단위 챔버(111a)에 2개 마련된다. 2개의 얼라이너(180)는 도 6에 도시된 바와 같이, 제1 단위 챔버(111a)의 대각 모서리 영역에 하나씩 마련되어 해당 위치에서 제1 단위 챔버(111a)로 인입되는 기판에 대한 얼라인 작업을 수행한다.The plurality of aligners 180 are provided in the first unit chamber 111a. As shown in FIG. 6, the two aligners 180 are arranged at diagonal corners of the first unit chamber 111a to align the substrates introduced into the first unit chamber 111a at the corresponding positions. To perform.

특히, 본 실시예의 얼라이너(180)는 도 11 및 도 12에 도시된 바와 같이 하나의 유닛(unit) 단위로 제작되며, 챔버 프레임(111)의 관통부(H, 도 10 참조) 영역에 착탈 가능하게 결합된다(도 10 참조). 즉, 본 실시예에서 유닛 단위로 제작된 얼라이너(180)는 챔버 프레임(111)의 관통부(H) 영역에 결합되는데, 일부는 제1 단 위 챔버(111a)의 내부를 향하도록, 그리고 나머지는 제1 단위 챔버(111a)의 외측으로 노출되도록 마련된다. 본 실시예와 같이, 얼라이너(180)를 도 11 및 도 12에 도시된 유닛 단위로 제작한 후, 챔버 프레임(111)의 관통부(H) 영역에 결합시킬 경우, 얼라이너(180)의 설치가 편리해짐은 물론 추후에 유지 보수의 작업 역시 수월해지는 이점이 있게 된다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 반드시 이에 제한되는 것은 아니다.In particular, the aligner 180 of the present embodiment is manufactured in one unit unit as shown in FIGS. 11 and 12, and is attached to and detached from the penetrating portion H (see FIG. 10) of the chamber frame 111. Possibly combined (see FIG. 10). That is, in the present embodiment, the aligner 180 manufactured in unit units is coupled to the penetrating portion H region of the chamber frame 111, and part of the aligner 180 faces the inside of the first unit chamber 111 a, and The rest is provided to be exposed to the outside of the first unit chamber 111a. As in the present embodiment, after the aligner 180 is manufactured in unit units illustrated in FIGS. 11 and 12, the aligner 180 is coupled to the penetrating portion H region of the chamber frame 111. Not only is it easy to install, but it is also easier to perform maintenance later. However, the scope of the present invention is not necessarily limited thereto.

이러한 얼라이너(180)는, 몸체부(186)와, 몸체부(186)로부터 연장된 축 지지용 브래킷(187)과, 하단이 축 지지용 브래킷(187)에 결합되어 지지되는 결합되는 축부(181)와, 일단이 축부(181)에 회전 가능하게 결합되는 롤러지지부(182)와, 롤러지지부(182)에 대해 상대회전 가능하게 결합되는 복수개의 롤러뭉치(183)와, 복수개의 롤러뭉치(183)들 각각에 결합되어 기판의 측면에 접촉되는 복수개의 접촉롤러(184)와, 몸체부(186)에 결합되어 축부(181)를 기준으로 롤러지지부(182)를 회전구동시키는 회전구동부(185)를 포함한다.The aligner 180 may include a body portion 186, a shaft support bracket 187 extending from the body portion 186, and a shaft portion having a lower end coupled to and supported by the shaft support bracket 187 ( 181, a roller support portion 182, one end of which is rotatably coupled to the shaft portion 181, a plurality of roller bundles 183 that are rotatably coupled relative to the roller support portion 182, and a plurality of roller bundles ( 183, a plurality of contact rollers 184 coupled to the side surfaces of the substrate, and a rotation driving unit 185 coupled to the body 186 to rotate the roller support 182 based on the shaft portion 181. ).

몸체부(186)는 챔버 프레임(111)의 외측으로 노출되도록 관통부(H, 도 10 참조)에 결합된다. 이러한 몸체부(186)에는 회전구동부(185)가 결합된다. 즉, 회전구동부(185)의 실린더본체(185a)는 몸체부(186) 내에 마련된다.The body portion 186 is coupled to the through portion H (see FIG. 10) to be exposed to the outside of the chamber frame 111. Rotating drive unit 185 is coupled to the body portion 186. That is, the cylinder body 185a of the rotation driving unit 185 is provided in the body portion 186.

축부(181)는 롤러지지부(182)를 회전 가능하게 지지하는 부분으로서, 그 하단은 축 지지용 브래킷(187)에 결합된다. 축부(181)의 높이는 제1 단위 챔버(111a)로 인입된 기판의 측면이 접촉롤러(184)들에 접촉되어 지지될 수 있는 정도로 설계된다. 축부(181)가 축 지지용 브래킷(187)에 결합되기 위해 축부(181)의 하단에는 체결용 플랜지(181a)가 마련되어 있다.Shaft portion 181 is a portion for rotatably supporting the roller support portion 182, the lower end is coupled to the shaft support bracket 187. The height of the shaft portion 181 is designed such that the side surface of the substrate introduced into the first unit chamber 111a can be supported by being in contact with the contact rollers 184. A fastening flange 181a is provided at the lower end of the shaft portion 181 so that the shaft portion 181 is coupled to the shaft support bracket 187.

롤러지지부(182)는 롤러뭉치(183)들과 접촉롤러(184)들을 지지하는 부분으로서, 그 일단이 축부(181)에 결합되어 축부(181)를 기준으로 정역 방향으로 소정 각도 회전된다. 이러한 롤러지지부(182)는 일정한 두께를 갖는 판상체로 제작되는데, 롤러뭉치(183)들의 배치를 고려하여 도시된 바와 같이 일정하게 굴곡진 형상을 갖는다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 롤러지지부(182)가 도시된 형상으로 반드시 제작되어야 하는 것은 아니다.The roller support part 182 is a part for supporting the roller bundles 183 and the contact rollers 184, one end of which is coupled to the shaft part 181 and rotates a predetermined angle with respect to the shaft part 181. The roller support 182 is made of a plate-like body having a constant thickness, and has a constant curved shape as shown in consideration of the arrangement of the roller bundles (183). However, since the scope of the present invention is not limited thereto, the roller support part 182 is not necessarily manufactured in the shape shown.

복수개의 롤러뭉치(183)는 접촉롤러(184)들을 지지하는 부분으로서 롤러지지부(182)에 결합된다. 본 실시예의 경우, 롤러지지부(182)에는 2개의 롤러뭉치(183)가 마련되는데, 각각의 롤러뭉치(183)들은 롤러지지부(182) 상에서 상호 교차하는 방향으로 배치된다. 이는, 기판이 보통 사각형 형상을 갖는 것을 고려한 것이다.The plurality of roller bundles 183 are coupled to the roller support part 182 as a part for supporting the contact rollers 184. In the present embodiment, the roller support 182 is provided with two roller bundles 183, each of the roller bundles 183 are disposed in the direction cross each other on the roller support 182. This takes into account that the substrate usually has a rectangular shape.

종래기술의 경우, 롤러뭉치(183)가 롤러지지부(182)에 고정된 경우도 있었으나, 본 실시예의 경우에는 롤러지지부(182)에 대해 롤러뭉치(183)는 소정 각도 정역 방향으로 자유회전 가능하게 마련된다. 따라서 기판에 대한 얼라인 작업의 효과를 종래보다 향상시킬 수 있다. 롤러뭉치(183)는 롤러지지부(182)와는 달리 엔지니어링 플라스틱(engineering plastic)으로 제작될 수 있는데, 본 발명의 권리범위기 이에 제한되지는 않는다.In the prior art, although the roller bundle 183 was fixed to the roller support 182 in some cases, the roller bundle 183 relative to the roller support 182 may be freely rotated in a predetermined angle forward and reverse direction in this embodiment. Prepared. Therefore, the effect of the aligning operation on a board | substrate can be improved than before. Unlike the roller support unit 182, the roller bundle 183 may be made of engineering plastics, but the scope of the present invention is not limited thereto.

접촉롤러(184)들은 실질적으로 기판에 접촉되는 부분으로서, 각 롤러뭉치(183)들마다 2개씩 결합된다. 물론, 경우에 따라 각 롤러뭉치(183)들에 하나씩, 혹은 3개 이상씩 결합되어도 좋으나, 효율면에서 2개씩 결합되는 것이 바람직하다.The contact rollers 184 are substantially in contact with the substrate, and two roller rollers 183 are coupled to each other. Of course, in some cases, one or three or more may be coupled to each of the roller bundles 183, but in terms of efficiency, it is preferable to combine two.

이러한 접촉롤러(184)들 역시, 롤러뭉치(183)에 대해 소정 각도 정역 방향으로 자유회전 가능하게 마련된다. 이처럼, 축부(181)에 대해 롤러지지부(182)가 정역 방향으로 회전할 수 있고, 또한 롤러지지부(182)에 대해 롤러뭉치(183)들이, 그리고 롤러뭉치(183)들에 대해 접촉롤러(184)들이 상대회전 가능하게 결합됨에 따라 기판에 대한 얼라인 작업의 효율을 종래보다 월등히 향상시킬 수 있게 되는 것이다. 참고로, 접촉롤러(184)들은 기판에 손상을 주지 않는 예를 들어, 고무나 실리콘과 같은 탄성체로 제작되는 것이 바람직할 것이다.These contact rollers 184 are also provided to be free to rotate in a predetermined angle forward and reverse direction with respect to the roller bundle (183). As such, the roller support 182 can rotate in the forward and reverse directions with respect to the shaft portion 181, and also the roller bundles 183 with respect to the roller support 182 and the contact rollers 184 with respect to the roller bundles 183. ) Are combined to be able to rotate relative to the efficiency of the alignment operation on the substrate can be significantly improved than before. For reference, the contact rollers 184 may be made of an elastomer such as rubber or silicon, which does not damage the substrate.

회전구동부(185)는 몸체부(186)에 결합되어 축부(181)를 기준으로 롤러지지부(182)를 회전구동시키는 역할을 한다.The rotary drive unit 185 is coupled to the body portion 186 serves to rotate the roller support 182 based on the shaft portion 181.

이러한 회전구동부(185)는 다양한 형태로 제작될 수 있는데, 본 실시예의 경우 회전구동부(185)를 실린더(185)로 적용하고 있다. 이때의 실린더(185)는 유압이나 공압, 혹은 유공압을 복합적으로 사용하는 실린더 중 어느 하나가 될 수 있다.The rotary drive unit 185 may be manufactured in various forms, in the case of the present embodiment is applied to the rotary drive unit 185 as the cylinder 185. At this time, the cylinder 185 may be any one of a cylinder using a combination of hydraulic, pneumatic, or oil pressure.

실린더(185)는 챔버 프레임(111) 영역에서 구획벽(117)의 판면 방향을 따라 배치되는 실린더본체(185a)와, 실린더본체(185a)에 대해 길이가 연장 및 축소 가능하게 마련되며, 단부가 롤러지지부(182)의 하면 일측에 형성된 돌기부(182a)에 회전 가능하게 결합되는 실린더로드(185b)를 구비한다. 실린더로드(185b)에는 실린더로드(185b)가 동작되더라도 제1 단위 챔버(111a) 내의 진공이 임의로 해제되는 것을 저지하기 위한 수단으로서 벨로우즈(185c)가 더 구비된다. 본 실시예의 벨로우즈(185c)는 금속 재질로 제작된다.The cylinder 185 is provided with a cylinder body 185a disposed along the plate surface direction of the partition wall 117 in the region of the chamber frame 111, and can extend and contract with respect to the cylinder body 185a. A cylinder rod 185b rotatably coupled to the protrusion 182a formed on one side of the lower surface of the roller support 182 is provided. The cylinder rod 185b is further provided with a bellows 185c as a means for preventing the vacuum in the first unit chamber 111a from being arbitrarily released even when the cylinder rod 185b is operated. The bellows 185c of this embodiment is made of a metal material.

이에 따라, 실린더본체(185a)에 대해 실린더로드(185b)의 길이가 연장되면 회전구동부(185)는 정 방향(도 12의 R1)으로 회전될 수 있고, 실린더본체(185a)에 대해 실린더로드(185b)의 길이가 축소되면 회전구동부(185)는 역 방향(도 12의 R2)으로 회전될 수 있게 된다. 한편, 본 실시예에서 롤러지지부(182)는 스테인리스 스틸(Stainless Steel)로 제작되나 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니다.Accordingly, when the length of the cylinder rod 185b is extended with respect to the cylinder body 185a, the rotation driving unit 185 may be rotated in the forward direction (R1 of FIG. 12), and the cylinder rod (with respect to the cylinder body 185a). When the length of 185b is reduced, the rotation driving unit 185 may be rotated in the reverse direction (R2 of FIG. 12). On the other hand, in this embodiment, the roller support 182 is made of stainless steel (Stainless Steel), but the scope of the present invention is not limited thereto.

한편, 전술한 바와 같이 본 실시예의 경우에는, 기판의 정확한 얼라인을 위하여 2개의 접촉롤러(184)를 하나의 유닛으로 묶는 롤러뭉치(183)가 롤러지지부(182)에 상대회전 가능하게 결합되기 때문에 그 회전을 일정하게 제한할 필요가 있는데, 이를 위해 얼라인 기준플레이트(165)가 구비된다. 즉 롤러뭉치(183)가 어느 정도 회전하다 보면 접촉롤러(184)들이 얼라인 기준플레이트(165)에 접촉될 수 있게 되고, 따라서 롤러뭉치(183)의 회전은 제한될 수 있게 된다.On the other hand, as described above, in the present embodiment, the roller bundle 183 for tying the two contact rollers 184 into one unit for accurate alignment of the substrate is coupled to the roller support 182 to be relatively rotatable. Therefore, it is necessary to constantly limit the rotation, for this purpose the alignment reference plate 165 is provided. That is, when the roller bundle 183 rotates to some extent, the contact rollers 184 may be in contact with the alignment reference plate 165, and thus the rotation of the roller bundle 183 may be limited.

이러한 얼라인 기준플레이트(165)는 접촉롤러(184)들의 회전을 제한함으로써 자동적으로 접촉롤러(184)들에 의하여 이동하는 기판의 최종 위치를 결정하게 되므로 기판의 얼라인 기준 역할을 하게 되는 것이다. 본 실시예의 얼라인 기준플레이트(165)는 대략 한글 "ㄱ"자 형상을 갖는다.The alignment reference plate 165 serves to align the substrate since the final position of the substrate moved by the contact rollers 184 is automatically determined by limiting the rotation of the contact rollers 184. The alignment reference plate 165 of the present embodiment has an approximately Korean letter "a" shape.

얼라인 기준플레이트(165)는 후술할 강도보강유닛(160)에 결합된다. 보다 구체적으로 살펴보면, 얼라인 기준플레이트(165)는 강도보강유닛(160)의 보강바아(161)에 결합되는데, 특히 보강바아(161)의 일단부 영역의 제1 상면(161a)에 결합된다.Alignment reference plate 165 is coupled to the strength reinforcing unit 160 to be described later. In more detail, the alignment reference plate 165 is coupled to the reinforcing bar 161 of the strength reinforcing unit 160, in particular, to the first upper surface 161a of one end region of the reinforcing bar 161.

한편, 도 6은 제1 단위 챔버의 평면도이고, 도 7은 도 6의 사시도이며, 도 8 은 도 7의 부분 분해 사시도이고, 도 9는 도 8의 요부 확대도이다.6 is a plan view of the first unit chamber, FIG. 7 is a perspective view of FIG. 6, FIG. 8 is a partially exploded perspective view of FIG. 7, and FIG. 9 is an enlarged view of a main part of FIG. 8.

이들 도면에 도시된 바와 같이, 본 실시예의 로드락 챔버(100)에는, 구획벽(117,118)이 처지는 것이 저지되도록 구획벽(117,118)의 저면에 착탈 가능하게 결합되어 구획벽(117,118)에 대한 강도를 보강하는 복수개의 강도보강유닛(160)과, 복수개의 강도보강유닛(160)에 착탈 가능하게 결합되어 기판이 접촉지지되는 복수개의 접촉지지바아(170)를 구비한다.As shown in these figures, the load lock chamber 100 of the present embodiment is detachably coupled to the bottom of the partition walls 117 and 118 so that the partition walls 117 and 118 are prevented from sagging, and thus the strength to the partition walls 117 and 118. It is provided with a plurality of strength reinforcing unit 160 and a plurality of contact support bars 170 detachably coupled to the plurality of strength reinforcing unit 160 to support the substrate.

참고로, 본 실시예에서 기술하는 처짐이라 함은 도 2에 도시된 바와 같이, 구획벽(117,118)이 상하로 휘는 것을 포함하여 구획벽(117,118)의 일부분이 뒤틀리거나 변형되는 것을 모두 포함하는 용어로 간주한다.For reference, the deflection described in the present embodiment is a term that includes both a portion of the partition walls 117 and 118 twisted or deformed, including the partition walls 117 and 118 bent up and down, as shown in FIG. 2. To be considered.

이러한 강도보강유닛(160)들과 접촉지지바아(170)들에 의해, 로봇아암(310)의 인입 및 인출을 허용하면서 구획벽(117,118)에 대한 강도를 보강할 수 있으며, 특히 제작이 용이하여 그 제조비용을 감소시킬 수 있고, 나아가 간단하고 단순한 구조로 인해 유지보수가 용이하여 기판 핸들링에 따른 생산성을 향상시킬 수 있게 되는 것이다.By the strength reinforcing unit 160 and the contact support bar 170, it is possible to reinforce the strength of the partition wall (117, 118) while allowing the robot arm 310 to pull in and out, in particular easy to manufacture The manufacturing cost can be reduced, and furthermore, the maintenance is easy due to the simple and simple structure, thereby improving productivity due to substrate handling.

강도보강유닛(160)들과 접촉지지바아(170)들은 구획벽(117,118)들 모두에 마련되고 있으나, 이하의 설명에서는 설명의 편의를 위해 제1 단위 챔버(111a)의 바닥면을 이루는 구획벽(117)에 대해서만 설명하기로 한다.Although the strength reinforcing units 160 and the contact support bars 170 are provided on both of the partition walls 117 and 118, the following description will define a partition wall forming the bottom surface of the first unit chamber 111 a for convenience of description. Only 117 will be described.

도 6 내지 도 9에 도시된 바와 같이, 강도보강유닛(160)은, 몸체를 형성하는 긴 막대 형상의 보강바아(161)와, 보강바아(161)와 구획벽(117) 사이에 마련되는 더미판(163)을 구비한다.6 to 9, the strength reinforcing unit 160 is a dummy provided between the reinforcing bar 161 and the reinforcing bar 161 and the partition wall 117 to form a body. The plate 163 is provided.

보강바아(161)는 더미판(163)과 접촉지지바아(170)에 비해 상대적으로 부피가 크게 제작되어 실질적으로 구획벽(117)의 처짐을 저지하는 역할을 한다. 이러한 보강바아(161)는 단면 구조가 대략 계단 형상을 가지는데, 이에 따라 그 상면은 최상단을 형성하는 제1 상면(161a)과, 제1 상면(161a)과 나란하며 제1 상면(161a)보다 낮은 위치에 형성되는 제2 상면(161b)을 갖는다. 보강바아(161)는 알루미늄이나 스틸 재질로 제작될 수 있다.The reinforcement bar 161 is made to have a relatively large volume compared to the dummy plate 163 and the contact support bar 170 to substantially prevent the deflection of the partition wall 117. The reinforcement bar 161 has a substantially stepped cross-sectional structure, so that the upper surface thereof is parallel to the first upper surface 161a and the first upper surface 161a that form the uppermost portion, and thus, the first upper surface 161a is lower than the first upper surface 161a. It has a second upper surface 161b formed at a lower position. The reinforcement bar 161 may be made of aluminum or steel.

더미판(163)은 보강바아(161)와 구획벽(117) 사이에 마련되는 것으로서, 보강바아(161)와는 달리 테프론 재질로 제작될 수 있다. 더미판(163)이 테프론 재질로 제작됨에 따라 보강바아(161)와 구획벽(117) 사이의 마찰에 의한 파티클(particle) 발생을 저지시킬 수 있게 된다.The dummy plate 163 is provided between the reinforcing bar 161 and the partition wall 117 and, unlike the reinforcing bar 161, may be made of a Teflon material. As the dummy plate 163 is made of Teflon material, it is possible to prevent particle generation due to friction between the reinforcing bar 161 and the partition wall 117.

보강바아(161)와 더미판(163)은 볼트 결합방식에 의해 구획벽(117)의 저면에 결합될 수 있다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 볼트 결합방식 외에, 예컨대, 압입방식 등이 적용되어도 무방하다.The reinforcement bar 161 and the dummy plate 163 may be coupled to the bottom surface of the partition wall 117 by a bolt coupling method. However, since the scope of the present invention is not limited thereto, in addition to the bolt coupling method, for example, a press-fit method may be applied.

이러한 더미판(163)은 보강바아(161)와 구획벽(117) 사이에 마련되기 때문에 그 크기는 보강바아(161)의 밑면과 실질적으로 동일하거나 작게 형성된 일체형 널빤지 구조를 가질 수 있다. 하지만, 본 실시예에서는 더미판(163)을 보강바아(161)의 길이 방향을 따라 분할된 복수개의 단위판(163a)으로 마련하고 있다. 이러한 경우, 보강바아(161)의 밑면에는 단위판(163a)들의 상면이 부분적으로 삽입 배치되는 복수개의 단위판 삽입배치홈(162)이 형성될 수 있다. 하지만, 본 발명의 권리범위가 이에 제한되는 것은 아니므로 보강바아(161)의 밑면에 단위판 삽입배치홈(162) 이 반드시 형성되어야 하는 것은 아니다. 다만, 본 실시예와 같이, 단위판 삽입배치홈(162)들이 보강바아(161)의 밑면에 형성되는 경우, 보강바아(161)와 단위판(163a)들 간의 상대적인 결합위치가 정확하게 세팅(setting)될 수 있어 작업이 편리해지는 이점이 있을 것이다.Since the dummy plate 163 is provided between the reinforcing bar 161 and the partition wall 117, the dummy plate 163 may have an integrated plank structure whose size is substantially the same as or smaller than the bottom of the reinforcing bar 161. However, in the present embodiment, the dummy plate 163 is provided as a plurality of unit plates 163a divided along the longitudinal direction of the reinforcing bar 161. In this case, the bottom of the reinforcing bar 161 may be formed with a plurality of unit plate insertion arrangement grooves 162 in which the top surface of the unit plates 163a is partially inserted. However, since the scope of the present invention is not limited thereto, it is not necessary that the unit plate inserting groove 162 be formed on the bottom of the reinforcing bar 161. However, as in this embodiment, when the unit plate insertion arrangement grooves 162 are formed on the bottom surface of the reinforcing bar 161, the relative coupling position between the reinforcing bar 161 and the unit plate 163a is accurately set (setting). There may be an advantage that the operation is convenient.

이처럼 강도보강유닛(160)이 보강바아(161)와 더미판(163)에 의해 형성되어 구획벽(117)의 저면에서 상호간 등간격으로 결합됨에 따라 제작이 용이하여 그 제조비용을 감소시킬 수 있으면서도 로봇아암(131)의 인입 및 인출 동작을 허용할 수 있게 되는 것이다. 로봇아암(131)에 대해서는 자세히 도시하고 있지 않지만, 기판 핸들링용 로봇아암(131)은 보통, 포크 형상을 가지므로 강도보강유닛(160)들 사이의 공간으로 포크 형상의 로봇아암(131)이 인입되거나 인출될 수 있으므로 강도보강유닛(160)으로 인해 자연스럽게 로봇아암(131)의 인입 및 인출 동작을 허용할 수 있게 되는 것이다.As such, the strength reinforcing unit 160 is formed by the reinforcing bar 161 and the dummy plate 163 and is coupled to each other at equal intervals at the bottom of the partition wall 117, so that the manufacturing cost can be easily reduced and the manufacturing cost thereof can be reduced. The robot arm 131 is to be able to allow the operation of pulling in and out. Although the robot arm 131 is not shown in detail, the robot arm 131 for substrate handling usually has a fork shape, and thus the fork-shaped robot arm 131 is drawn into a space between the strength reinforcing units 160. Since the strength reinforcement unit 160 may naturally allow the withdrawal and withdrawal operation of the robot arm 131.

한편, 접촉지지바아(170)는 복수개의 강도보강유닛(160, 본 실시예의 경우 6개가 개시됨)에 하나씩 착탈 가능하게 결합된다. 접촉지지바아(170)는 알루미늄 재질로 제작될 수 있다.On the other hand, the contact support bar 170 is detachably coupled to a plurality of strength reinforcing unit 160 (in this embodiment, six are disclosed) one by one. The contact support bar 170 may be made of aluminum.

이러한 접촉지지바아(170)의 표면에는 실질적으로 기판이 지지되는 복수개의 볼 트랜스퍼(171)가 마련되어 있다. 볼 트랜스퍼(171)들은 접촉지지바아(170)의 길이 방향을 따라 상호 등간격으로 배열되어 있다. 이처럼 볼 트랜스퍼(171)에 기판이 지지되도록 함으로써 기판과의 접촉면적을 줄일 수 있게 되고, 따라서 기판에 스크래치가 발생되는 현상을 감소시킬 수 있게 된다.The surface of the contact support bar 170 is provided with a plurality of ball transfer 171, the substrate is substantially supported. The ball transfers 171 are arranged at equal intervals along the longitudinal direction of the contact support bar 170. As described above, the substrate is supported by the ball transfer 171, thereby reducing the contact area with the substrate, thereby reducing the phenomenon of scratches on the substrate.

접촉지지바아(170)의 설치 위치와 관련해서 살펴보면, 본 실시예에서 접촉지지바아(170)는 보강바아(161)의 제2 상면(161b)에 결합된다. 전술한 바와 같이, 보강바아(161)의 제2 상면(161b)은 제1 상면(161a)보다 낮은 위치에 형성되었지만, 보강바아(161)의 제2 상면(161b)에 접촉지지바아(170)가 결합됨에 따라 접촉지지바아(170)의 볼 트랜스퍼(171)들은 제1 상면(161a)보다 높게 위치될 수 있게 된다.Looking at the installation position of the contact support bar 170, in this embodiment the contact support bar 170 is coupled to the second upper surface (161b) of the reinforcement bar (161). As described above, although the second upper surface 161b of the reinforcement bar 161 is formed at a position lower than the first upper surface 161a, the contact support bar 170 is in contact with the second upper surface 161b of the reinforcement bar 161. As is coupled, the ball transfer 171 of the contact support bar 170 can be positioned higher than the first upper surface (161a).

반복해서 설명하는 바와 같이, 접촉지지바아(170)는 실질적으로 기판이 지지되는 곳이므로, 기판과 빈번하게 마찰된다. 따라서 접촉지지바아(170)에 결합된 볼 트랜스퍼(171)들은 손쉽게 교체될 필요가 있다. 다만, 볼 트랜스퍼(171)의 교체를 위해 작업자가 단위 챔버(111a,112a,113a)들 내로 들어가 작업하는 것은 상당히 불편할 수 있다. 이에, 본 실시예에서는 강도보강유닛(160)에 대해 접촉지지바아(170)가 손쉽게 착탈 결합될 수 있도록 함으로써 접촉지지바아(170)의 유지보수 작업이나 혹은 볼 트랜스퍼(171)의 교체 작업 등을 용이하게 구현하고 있는 것이다.As will be described repeatedly, the contact support bar 170 is where the substrate is substantially supported, and therefore frequently rubs against the substrate. Therefore, the ball transfers 171 coupled to the contact support bar 170 need to be easily replaced. However, it may be quite inconvenient for the worker to enter and work in the unit chambers 111a, 112a, and 113a to replace the ball transfer 171. Thus, in this embodiment, the contact support bar 170 can be easily detachably coupled to the strength reinforcing unit 160 to perform maintenance work of the contact support bar 170 or replacement of the ball transfer 171. It is easily implemented.

강도보강유닛(160)의 보강바아(161)에 대한 접촉지지바아(170)의 착탈 구조는 다양하게 적용될 수 있는데, 본 실시예에서는 슬라이딩 착탈 결합부(173)를 마련하여 보강바아(161)에 대해 접촉지지바아(170)를 착탈 가능하게 슬라이딩 결합될 수 있도록 하고 있다.The detachable structure of the contact support bar 170 to the reinforcement bar 161 of the strength reinforcing unit 160 may be applied in various ways, in this embodiment by providing a sliding detachable coupling portion 173 to the reinforcement bar (161). The contact support bar 170 is to be detachably slidably coupled.

슬라이딩 착탈 결합부(173)는, 접촉지지바아(170)의 양 단부 영역에서 접촉지지바아(170)의 길이 방향을 따라 각각 형성되는 슬라이딩 홈부(173a)와, 보강바아(161)의 제2 상면(161b) 단부 영역에서 높이 방향을 따라 돌출되어 슬라이딩 홈 부(173a)들이 각각 슬라이딩 가능하게 끼워져 결합되는 한 쌍의 슬라이딩 돌기부(173b)를 구비한다. 또한 슬라이딩 착탈 결합부(173)는, 한 쌍의 슬라이딩 돌기부(173b)의 상단에 한 쌍의 슬라이딩 돌기부(173b)보다 큰 직경을 가지고 결합되어 접촉지지바아(170)에 대한 상하 방향으로의 유동을 저지시키는 스토퍼(173c)를 더 구비한다.The sliding detachable coupling part 173 includes sliding grooves 173a respectively formed along the longitudinal direction of the contact support bar 170 at both end regions of the contact support bar 170 and the second upper surface of the reinforcement bar 161. 161b includes a pair of sliding protrusions 173b that protrude along the height direction in the end region, and the sliding groove portions 173a are slidably fitted to each other. In addition, the sliding detachable coupling unit 173 is coupled to the upper end of the pair of sliding protrusions 173b with a diameter larger than that of the pair of sliding protrusions 173b to allow flow in the vertical direction to the contact support bar 170. A stopper 173c for blocking is further provided.

이러한 구성에 의해, 만약 접촉지지바아(170)의 유지보수 작업이나 혹은 볼 트랜스퍼(171)의 교체 작업 등을 진행하려 한다면, 우선 체결되어 있는 스토퍼(173c)를 분리한 후, 접촉지지바아(170)를 강도보강유닛(160)의 보강바아(161)로부터 용이하게 분리할 수 있으며, 접촉지지바아(170)가 보강바아(161)로부터 분리되면 단위 챔버(111a,112a,113a)의 외부에서 용이하게 작업할 수 있게 된다.With this configuration, if the maintenance work of the contact support bar 170 or the ball transfer 171 replacement work is to be performed, the contact support bar 170 is first detached after the stopper 173c is fastened. ) Can be easily separated from the reinforcing bar 161 of the strength reinforcing unit 160, and if the contact support bar 170 is separated from the reinforcing bar 161, the outside of the unit chambers (111a, 112a, 113a). To work.

유지보수 작업이 완료되면, 다시 접촉지지바아(170)의 슬라이딩 홈부(173a)가 슬라이딩 돌기부(173b)에 슬라이딩 결합되도록 한 다음, 다시 스토퍼(173c)를 체결하면 상방으로의 이동이 저지된 상태가 되므로 손쉽게 접촉지지바아(170)를 강도보강유닛(160)의 보강바아(161)에 결합시킬 수 있게 된다.After the maintenance work is completed, the sliding groove 173a of the contact support bar 170 is slidably coupled to the sliding protrusion 173b, and when the stopper 173c is tightened again, the upward movement is prevented. Therefore, the contact support bar 170 can be easily coupled to the reinforcement bar 161 of the strength reinforcement unit 160.

이와 같이, 본 실시예에 따르면, 로봇아암(131)의 인입 및 인출을 허용하면서 구획벽(117,118)에 대한 강도를 보강할 수 있으며, 특히 제작이 용이하여 그 제조비용을 감소시킬 수 있고, 나아가 간단하고 단순한 구조로 인해 유지보수가 용이하여 기판 핸들링에 따른 생산성을 향상시킬 수 있게 된다.As such, according to the present embodiment, the strength of the partition walls 117 and 118 can be reinforced while allowing the robot arm 131 to be pulled in and pulled out, and in particular, it is easy to manufacture to reduce the manufacturing cost thereof. The simple and simple structure allows for easy maintenance and improves productivity due to substrate handling.

이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에 서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.As described above, the present invention is not limited to the described embodiments, and various modifications and changes can be made without departing from the spirit and scope of the present invention, which will be apparent to those skilled in the art. Therefore, such modifications or variations will have to be belong to the claims of the present invention.

도 1 및 도 2는 종래의 멀티 로드락 챔버의 개략적인 단면도이다.1 and 2 are schematic cross-sectional views of a conventional multi load lock chamber.

도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버가 적용되는 화학 기상 증착 장치의 개략적인 구성도이다.3 is a schematic diagram of a chemical vapor deposition apparatus to which a load lock chamber according to an embodiment of the present invention is applied.

도 4는 도 3에 도시된 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 사시도이다.4 is a perspective view of a load lock chamber according to an embodiment of the present invention shown in FIG.

도 5는 도 4의 A-A 선에 따른 로드락 챔버의 개략적인 단면도이다.5 is a schematic cross-sectional view of the load lock chamber taken along the line A-A of FIG.

도 6은 제1 단위 챔버의 평면도이다.6 is a plan view of the first unit chamber.

도 7은 도 6의 사시도이다.7 is a perspective view of FIG. 6.

도 8은 도 7의 부분 분해 사시도이다.8 is a partially exploded perspective view of FIG. 7.

도 9는 도 8의 요부 확대도이다.9 is an enlarged view illustrating main parts of FIG. 8.

도 10은 도 6의 부분 절취 확대 분해 사시도이다.10 is a partially cut-away exploded perspective view of FIG. 6.

도 11은 도 10에 도시된 얼라이너의 정면 사시도이다.FIG. 11 is a front perspective view of the aligner shown in FIG. 10.

도 12는 도 11의 배면 사시도이다.12 is a rear perspective view of FIG. 11.

도 13은 얼라이너의 평면도이다.13 is a plan view of the aligner.

도 14는 도 13의 동작 상태를 도시한 도면이다.14 is a diagram illustrating an operating state of FIG. 13.

* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명* Explanation of symbols for the main parts of the drawings

100 : 로드락 챔버 110 : 챔버 바디100: load lock chamber 110: chamber body

111a, 112a, 113a : 단위 챔버 111, 112, 113 : 챔버 프레임111a, 112a, 113a: unit chamber 111, 112, 113: chamber frame

115 : 상부벽 116 : 하부벽115: upper wall 116: lower wall

117 : 제1 구획벽 118 : 제2 구획벽117: first partition wall 118: second partition wall

120, 130 : 보강판 140, 150 : 보강리브120, 130: reinforcement plate 140, 150: reinforcement rib

160 : 강도보강유닛 161 : 보강바아160: strength reinforcing unit 161: reinforcement bar

163 : 더미판 163a : 단위판163: dummy plate 163a: unit plate

170 : 접촉지지바아 171 : 볼 트랜스퍼170: contact support bar 171: ball transfer

173 : 슬라이딩 착탈 결합부173: sliding detachable coupling portion

Claims (10)

적어도 하나의 구획벽에 의해 구획되어 기판이 수용되는 복수개의 단위 챔버를 구비하는 챔버 바디;A chamber body having a plurality of unit chambers partitioned by at least one partition wall to accommodate a substrate; 상호 이격되게 마련되며, 상기 구획벽의 저면에 착탈 가능하게 결합되어 상기 구획벽이 처지는 것을 저지하기 위하여 상기 구획벽에 대한 강도를 보강하는 복수개의 강도보강유닛; 및A plurality of strength reinforcing units provided to be spaced apart from each other and detachably coupled to a bottom of the partition wall to reinforce the strength of the partition wall so as to prevent the partition wall from sagging; And 상기 복수개의 강도보강유닛에 착탈 가능하게 결합되어 상기 기판을 접촉지지하는 복수개의 접촉지지바아를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버.And a plurality of contact supporting bars detachably coupled to the plurality of strength reinforcing units to support the substrate. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 강도보강유닛은,The strength reinforcing unit, 몸체를 형성하는 긴 막대 형상의 보강바아; 및Reinforcing bars of long rod shape forming a body; And 상기 보강바아와 상기 구획벽 사이에 마련되는 더미판을 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버.And a dummy plate provided between the reinforcing bar and the partition wall. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 보강바아와 상기 더미판은 볼트 결합방식에 의해 상기 구획벽의 저면에 착탈 가능하게 결합되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버.The reinforcement bar and the dummy plate is detachably coupled to the bottom of the partition wall by a bolt coupling method. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 더미판은 테프론 재질로 제작되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버.The dummy plate is a load lock chamber of the chemical vapor deposition apparatus, characterized in that made of Teflon material. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 더미판은 상기 보강바아의 길이 방향을 따라 분할된 복수개의 단위판으로 형성되어 있으며,The dummy plate is formed of a plurality of unit plates divided along the longitudinal direction of the reinforcing bar, 상기 보강바아의 밑면에는 상기 복수개의 단위판이 각각 삽입 배치되는 복수개의 단위판 삽입배치홈이 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버.The bottom of the reinforcement bar is a load lock chamber of the chemical vapor deposition apparatus, characterized in that a plurality of unit plate insertion grooves are formed are inserted into the plurality of unit plates, respectively. 제1항에 있어서,The method of claim 1, 상기 접촉지지바아의 표면에는 상기 기판이 지지되는 복수개의 볼 트랜스퍼가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버.The surface of the contact support bar is a load lock chamber of the chemical vapor deposition apparatus, characterized in that a plurality of ball transfer for supporting the substrate is provided. 제6항에 있어서,The method of claim 6, 상기 접촉지지바아는 알루미늄 재질로 제작되는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버.The contact support bar is a load lock chamber of the chemical vapor deposition apparatus, characterized in that made of aluminum. 제2항에 있어서,The method of claim 2, 상기 보강바아는 최상단을 형성하는 제1 상면과, 상기 제1 상면과 나란하며 상기 제1 상면보다 낮은 위치에 형성되는 제2 상면을 갖는 계단 형상을 가지며,The reinforcement bar has a step shape having a first upper surface forming a top end, and a second upper surface parallel to the first upper surface and formed at a position lower than the first upper surface, 상기 접촉지지바아는 상기 보강바아의 제2 상면에 결합되며,The contact support bar is coupled to the second upper surface of the reinforcement bar, 상기 보강바아에 대해 상기 접촉지지바아를 착탈 가능하게 슬라이딩 결합시키는 슬라이딩 착탈 결합부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버.The load lock chamber of the chemical vapor deposition apparatus further comprises a sliding detachable coupling for detachably sliding the contact support bar with respect to the reinforcing bar. 제8항에 있어서,The method of claim 8, 상기 슬라이딩 착탈 결합부는,The sliding detachable coupling portion, 상기 접촉지지바아의 양 단부 영역에서 상기 접촉지지바아의 길이 방향을 따라 각각 형성되는 슬라이딩 홈부; 및Sliding grooves respectively formed along the longitudinal direction of the contact support bar at both end regions of the contact support bar; And 상기 보강바아의 제2 상면 단부 영역에서 높이 방향을 따라 돌출되어 상기 슬라이딩 홈부들이 각각 슬라이딩 가능하게 끼워져 결합되는 한 쌍의 슬라이딩 돌기부를 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버.And a pair of sliding protrusions protruding along the height direction in the second upper end portion region of the reinforcing bar, the sliding grooves being slidably fitted to each other. 제9항에 있어서,10. The method of claim 9, 상기 슬라이딩 착탈 결합부는, 상기 한 쌍의 슬라이딩 돌기부의 상단에 상기 한 쌍의 슬라이딩 돌기부보다 큰 단면적을 가지고 결합되어 상기 접촉지지바아에 대한 상하 방향으로의 유동을 저지시키는 스토퍼를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 화학 기상 증착 장치의 로드락 챔버.The sliding detachable coupling part may further include a stopper coupled to an upper end of the pair of sliding protrusions having a larger cross-sectional area than the pair of sliding protrusions to prevent flow in the vertical direction with respect to the contact support bar. Load lock chamber of the chemical vapor deposition apparatus.
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